CN214956809U - 一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置，包括：位置工作台；薄片；大尺寸卡盘台，该大尺寸卡盘台固定在位置工作台上并且承载所述薄片；卡盘销，该卡盘销设置在位置工作台上并且围绕大尺寸卡盘台的圆周设置，该卡盘销定位大尺寸卡盘台上承载的薄片；以及大尺寸臂式真空吸盘，该大尺寸臂式真空吸盘吸附薄片。通过本实用新型的装置，本实用新型可以有效承载薄片，抵消翘曲过大影响，使得卡盘销可以定位，真空吸盘也可以吸附住翘曲薄片更大面积，从而避免传送过程中碰擦，实现薄片产品的安全传送，进而实现对减薄后的异常产品进行重工，挽救产品。

Description

一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置

技术领域

本实用新型涉及对减薄后产品进行重工的技术，并且更具体地，涉及一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置。

背景技术

BGBM制程中会使用研磨机台BG对正常厚度晶圆晶背进行减薄以满足后续工艺需求，但减薄后的湿法蚀刻步骤如发生问题，可对晶圆晶背造成外观异常，脱落等异常，按照现行管理方式，减薄后产品会报废。对客户以及公司造成极大的资源浪费，因此针对减薄后的异常产品如何重工，是我们巫需解决的难题。

然而，在现有技术中，减薄后的产品存在翘曲大，无法自动传送等特性，因此，一种能够实现薄片产品的机台自动定位、传送，同时兼顾产品CP测试评估减薄厚度，从而可以对减薄后产品进行重工，解决晶背异常以挽救产品的装置是令人期望的。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的在于提供一种令人期望的晶背减薄机台薄片产品重工的装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：

根据本实用新型的方面，提供一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置，包括：

位置工作台；

薄片；

大尺寸卡盘台，该大尺寸卡盘台固定在位置工作台上并且承载薄片；

卡盘销，该卡盘销设置在位置工作台上并且围绕大尺寸卡盘台的圆周设置，卡盘销定位大尺寸卡盘台上承载的薄片；以及

大尺寸臂式真空吸盘，该大尺寸臂式真空吸盘吸附薄片。

在本实用新型的一个实施例中，薄片采用厚片替代法进行替代，厚片的厚度为100-120mm。

在本实用新型的一个实施例中，大尺寸卡盘台的外径为180mm。

在本实用新型的一个实施例中，位置工作台上设置有薄片检测传感器，大尺寸卡盘台上设置有用于固定到位置工作台上的定位螺丝孔和用于容纳薄片检测传感器的开孔。

在本实用新型的一个实施例中，定位螺丝孔的数量为3个并且以三角形的形式布置，薄片检测传感器是光感传感器。

在本实用新型的一个实施例中，卡盘销的数量是6个。

在本实用新型的一个实施例中，大尺寸臂式真空吸盘包括机械臂、固定支架、缓冲弹簧柱、真空吸盘和卡扣固定板，其中真空吸盘与所述缓冲弹簧柱固定连接，缓冲弹簧柱连接到固定支架，固定支架与卡扣固定板连接，卡扣固定板连接到机械臂。

在本实用新型的一个实施例中，缓冲弹簧柱围绕真空吸盘的中心的真空管路的圆周布置，缓冲弹簧柱的数量是3个。

在本实用新型的一个实施例中，固定支架的外径是100mm。

在本实用新型的一个实施例中，真空吸盘的外径是150mm。

通过采用上述技术方案，本实用新型相比于现有技术具有如下优点：

本实用新型可以有效承载薄片，抵消翘曲过大影响，使得卡盘销可以定位，真空吸盘也可以吸附住翘曲薄片更大面积，从而避免传送过程中碰擦，实现薄片产品的安全传送，进而实现对减薄后的异常产品进行重工，挽救产品。

附图说明

图1示出了位置工作台及其上连接的部件的结构示意图；

图2a-2b分别示出了现有技术中改造前的卡盘台和本实用新型中改造后的大尺寸卡盘台的结构示意图；

图3a-3b分别示出了现有技术中改造前的卡盘台承载薄片和本实用新型中改造后的大尺寸卡盘台承载薄片的侧视图；

图4a-4b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘的侧视图；

图5a-5b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘的主视图；

图6a-6b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘吸附薄片和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘吸附薄片的结构示意图。

附图标记列表

1位置工作台、2改造前的卡盘台、21改造前的螺丝定位孔、2'改造后的大尺寸卡盘台、20'开孔、21'改造后的螺丝定位孔、3卡盘销、4薄片检测传感器、5薄片、6改造前的臂式真空吸盘、61螺丝固定板、62改造前的固定支架、63改造前的缓冲弹簧柱、64改造前的真空吸盘、6'改造后的大尺寸臂式真空吸盘、61'卡扣固定板、62'改造后的固定支架、63'改造后的缓冲弹簧柱、64'改造后的真空吸盘、65改造前的真空管路、65'改造后的真空管路。

具体实施方式

应当理解，在示例性实施例中所示的本实用新型的实施例仅是说明性的。虽然在本实用新型中仅对少数实施例进行了详细描述，但本领域技术人员很容易领会在未实质脱离本实用新型主题的教导情况下，多种修改是可行的。相应地，所有这样的修改都应当被包括在本实用新型的范围内。在不脱离本实用新型的主旨的情况下，可以对以下示例性实施例的设计、操作条件和参数等做出其他的替换、修改、变化和删减。

本实用新型针对现有技术的BG机台负荷端薄片无法正常抓取，卡盘台尺寸小而不能有效承载薄片，卡盘销也无法实现定位，臂式真空吸盘尺寸也较小，不能有效吸附住翘曲薄片，无法实现薄片的产品的安全传送的问题而提出。

在本实用新型中，本实用新型在于对上述现有技术的结构进行改造，本实用新型采用大尺寸卡盘台有效承载薄片，能够有效抵消薄片的翘曲影响，并且本实用新型采用大尺寸臂式真空吸盘吸附住翘曲薄片，从而实现薄片产品的安全传送。

如图1、2a-2b、3a-3b、4a-4b、5a-5b和6a-6b所示，在现有技术的装置中，改造前的卡盘台2和改造前的臂式真空吸盘6的尺寸都较小，通常会出现改造前的卡盘台2无法有效承载薄片5，改造前的臂式真空吸盘6不能有效吸附翘曲薄片5。对此，本实用新型对上述现有技术中改造前的卡盘台2和改造前的臂式真空吸盘6进行了改造，形成了满足要求的改造后的大尺寸卡盘台2'和改造后的大尺寸臂式真空吸盘6'。

具体地，如图1所示，示出了位置工作台1及其上连接的部件的结构示意图，该位置工作台上1上设置有改造前的卡盘台2、卡盘销3和用于检测薄片的薄片检测传感器4，卡盘销3围绕改造前的卡盘台2的圆周等距离分布且分布数量为6个。在承载薄片5时，往往会出现改造前的卡盘台2尺寸小而不能有效承载薄片5，卡盘销3也无法实现定位。

如图2a-2b所示，图2a-2b分别示出了现有技术中改造前的卡盘台2和本实用新型中改造后的大尺寸卡盘台2'的结构示意图，在现有技术中，改造前的卡盘台2的外径为50mm左右，在该改造前的卡盘台2上设置有以三角形分布的改造前的螺丝定位孔21，而在本实用新型中，改造后的大尺寸卡盘台2'的外径为180mm左右，在该改造后的大尺寸卡盘台2'上同样设置有用于固定到位置工作台1上的以三角形分布的改造后的螺丝定位孔21'，并且还设置有用于容纳位置工作台1上的薄片检测传感器4的开孔20'。

如图3a-3b所示，图3a-3b分别示出了现有技术中改造前的卡盘台2承载薄片5和本实用新型中改造后的大尺寸卡盘台2'承载薄片5的侧视图，如图3a所示，在现有技术中，改造前的卡盘台2较小，当将薄片5放置于改造前的卡盘台2上时，该改造前的卡盘台2不能有效地承载薄片5，薄片5的翘曲会达到17mm以上。而通过本实用新型的改造后，如图3b所示，本实用新型采用了改造后的大尺寸卡盘台2'，该改造后的大尺寸卡盘台2'能够有效地承载薄片5，抵消了薄片5的翘曲。

如图4a-4b和5a-5b所示，图4a-4b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘的侧视图，图5a-5b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘的主视图，在现有技术中，如图4a和5a所示，改造前的臂式真空吸盘6包括机械臂(未示出)、改造前的固定支架62、改造前的缓冲弹簧柱63、改造前的真空吸盘64和螺丝固定板61，其中改造前的真空吸盘64与改造前的缓冲弹簧柱63固定连接，改造前的缓冲弹簧柱63连接到改造前的固定支架62，改造前的固定支架62与螺丝固定板61连接，螺丝固定板61连接到机械臂，并且改造前的缓冲弹簧柱63仅为一个且与改造前的真空管路65在同一竖直线上，改造前的真空吸盘64的外径在35mm左右。而通过本实用新型的改造后，如图4b和5b所示，改造后的臂式真空吸盘6'包括机械臂(未示出)、改造后的固定支架62'、3个改造后的缓冲弹簧柱63'、改造后的真空吸盘64'和卡扣固定板61'，其中改造后的真空吸盘64'与3个改造后的缓冲弹簧柱63'固定连接，3个改造后的缓冲弹簧柱63'都连接到改造后的固定支架62'，改造后的固定支架62'与卡扣固定板61'连接，卡扣固定板61'连接到机械臂，并且3个改造后的缓冲弹簧柱63'围绕改造后的真空吸盘64'的中心的改造后的真空管路65'的圆周布置，改造后的固定支架62'的外径在100mm左右，改造后的真空吸盘64'的外径在150mm左右。

如图6a-6b所示，图6a-6b分别示出了现有技术中改造前的臂式真空吸盘吸附薄片和本实用新型中改造后的大尺寸臂式真空吸盘吸附薄片的结构示意图，在现有技术中或在改造前，如图6a所示，改造前的臂式真空吸盘6吸附薄片5，由于改造前的卡盘台2的尺寸小，不能有效承载薄片5，从而会导致薄片的翘曲在17mm左右，翘曲大，而且改造前的臂式真空吸盘6的尺寸也较小，由此在该改造前的臂式真空吸盘6吸附该薄片5时不能有效吸附住薄片，而在本实用新型的改造后，如图6b所示，本实用新型改造后采用了大尺寸卡盘台2'，由此抵消了薄片5翘曲过大影响，使得本实用新型薄片5的翘曲仅在2mm左右，并且本实用新型中改造后采用了大尺寸臂式真空吸盘6'，该改造后的大尺寸臂式真空吸盘6'能够吸附住翘曲薄片5更大面积。

由此可见，本实用新型通过对现有技术中的上述结构改造，本实用新型可以有效承载薄片，抵消翘曲过大影响，使得卡盘销可以定位，真空吸盘也可以吸附住翘曲薄片更大面积，从而避免传送过程中碰擦，实现薄片产品的安全传送，进而实现对减薄后的异常产品进行重工，挽救产品。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；如果不脱离本实用新型的精神和范围，对本实用新型进行修改或者等同替换，均应涵盖在本实用新型权利要求的保护范围当中。

Claims (10)

1.一种晶背减薄机台薄片产品重工的装置，其特征在于，包括：

位置工作台；

薄片；

大尺寸卡盘台，所述大尺寸卡盘台固定在所述位置工作台上并且承载所述薄片；

卡盘销，所述卡盘销设置在所述位置工作台上并且围绕所述大尺寸卡盘台的圆周设置，所述卡盘销定位所述大尺寸卡盘台上承载的所述薄片；以及

大尺寸臂式真空吸盘，所述大尺寸臂式真空吸盘吸附所述薄片。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述薄片采用厚片替代法进行替代，所述厚片的厚度为100-120mm。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述大尺寸卡盘台的外径为180mm。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位置工作台上设置有薄片检测传感器，所述大尺寸卡盘台上设置有用于固定到所述位置工作台上的定位螺丝孔和用于容纳所述薄片检测传感器的开孔。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述定位螺丝孔的数量为3个并且以三角形的形式布置，所述薄片检测传感器是光感传感器。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述卡盘销的数量是6个。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述大尺寸臂式真空吸盘包括机械臂、固定支架、缓冲弹簧柱、真空吸盘和卡扣固定板，其中所述真空吸盘与所述缓冲弹簧柱固定连接，所述缓冲弹簧柱连接到固定支架，所述固定支架与所述卡扣固定板连接，所述卡扣固定板连接到机械臂。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述缓冲弹簧柱围绕所述真空吸盘的中心的真空管路的圆周布置，所述缓冲弹簧柱的数量是3个。

9.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述固定支架的外径是100mm。

10.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述真空吸盘的外径是150mm。

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