KR20240030196A - 표면 개질을 위한 광 조사 장치 - Google Patents

표면 개질을 위한 광 조사 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20240030196A
KR20240030196A KR1020220108922A KR20220108922A KR20240030196A KR 20240030196 A KR20240030196 A KR 20240030196A KR 1020220108922 A KR1020220108922 A KR 1020220108922A KR 20220108922 A KR20220108922 A KR 20220108922A KR 20240030196 A KR20240030196 A KR 20240030196A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
light
light irradiation
electrode
surface modification
light emitting
Prior art date
Application number
KR1020220108922A
Other languages
English (en)
Inventor
윤주영
김은식
정홍채
박성권
Original Assignee
유니램 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 유니램 주식회사 filed Critical 유니램 주식회사
Priority to KR1020220108922A priority Critical patent/KR20240030196A/ko
Publication of KR20240030196A publication Critical patent/KR20240030196A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/04—Electrodes; Screens; Shields
    • H01J61/06—Main electrodes
    • H01J61/073—Main electrodes for high-pressure discharge lamps
    • H01J61/0732—Main electrodes for high-pressure discharge lamps characterised by the construction of the electrode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/025—Associated optical elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/12—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature
    • H01J61/16—Selection of substances for gas fillings; Specified operating pressure or temperature having helium, argon, neon, krypton, or xenon as the principle constituent
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/30—Vessels; Containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02—Details
    • H01J61/52—Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
    • H01J61/523—Heating or cooling particular parts of the lamp
    • H01J61/526—Heating or cooling particular parts of the lamp heating or cooling of electrodes

Landscapes

  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명의 실시예들은 광을 이용하여 피조사체인 물체의 표면 개질을 처리할 수 있는 표면 개질을 위한 광 조사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 구비되는 제1 전극과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극과 대응되도록 구비되는 제2 전극을 포함하는 램프 유닛; 및 상기 램프 유닛을 통해 방출되는 광이 피조사체에 조사되어 상기 피조사체의 표면을 개질하기 위한 내부 공간을 제공하며, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향 외측면이 상기 내부 공간을 향하도록 상기 램프 유닛이 적어도 하나 이상으로 배치되는 램프 하우징;을 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치가 제공된다.

Description

표면 개질을 위한 광 조사 장치 {LIGHT IRRADIATION DEVICE FOR SURFACE MODIFICATION}
본 발명의 실시예들은 광을 이용하여 피조사체인 물체의 표면 개질을 처리할 수 있는 표면 개질을 위한 광 조사 장치에 관한 것이다.
최근에 자외선을 이용한 광 조사 장치는 산업, 환경, 의료, 살균 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 특히, 인쇄 또는 코팅용 기판, 의료용 임플란트 등의 친수성이 필요한 물체의 표면을 개질하기 위하여 광을 이용한 표면 개질 기술이 이용되고 있으며, 이와 같은 표면 개질을 위한 광원으로는 대표적으로 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)에 의해 진공 자외선 영역과 UV-C 영역의 광을 방출하는 엑시머 램프가 주로 사용되고 있다.
이때, 유전체 배리어 방전이란, 절연 유전체에 의해 분리된 두 전극 사이에 발생하는 방전을 의미하며, 이 방전을 통해 광을 방출하여 조사하는 램프가 엑시머 램프이다.
상술한 인쇄 또는 코팅용 기판과 같은 대면적 표면 개질 공정에서는 내측관 및 외측관으로 이루어진 이중관 형태의 엑시머 램프 또는 사각 형태의 엑시머 램프와 같은 중대형 엑시머 램프가 일반적으로 사용될 수 있으나, 의료 분야에서의 표면 개질 공정에서는 처리 대상이 의료용 임플란트와 같은 소형의 물체를 처리하기 위해 소형 엑시머 램프가 사용될 수 있다.
종래 소형 물체를 표면 개질하기 위한 방법으로는 다음과 같은 방법이 사용되고 있다.
첫 번째 방법은, 피조사체인 물체와 이중관 형태의 엑시머 램프가 일정 거리 떨어져 물체에 광을 조사하는 방법으로, 물체의 표면에 균일한 광 조사가 이루어지기 위하여 물체를 회전시키거나, 물체의 주변에 다수의 이중관 형태의 엑시머 램프를 배치하는 구조를 적용하고 있으며, 이러한 방법은 다수의 물체를 동시에 처리할 수 있는 장점이 있으나, 장치의 크기가 증가하고 처리 시간이 오래 걸리는 문제점이 있었다.
두 번째 방법은, 물체의 처리 시간을 단축하기 위하여 이중관 형태의 엑시머 램프의 내측관 내부에 물체를 삽입하여 표면 개질을 실시하는 구조가 사용되고 있다. 그러나, 상기 구조를 적용하기 위해서는 이중관 엑시머 램프의 내측관 내부에 광이 투과하는 구조를 가진 내부 전극이 사용되어야 한다. 이때, 상기 내부 전극은 엑시머 램프가 점등 중에 발광관과의 밀착도가 하락하게 되면 조도가 떨어지는 문제가 발생하게 되므로 발광관과의 밀착도를 증가하기 위한 별도의 고정 구조가 설계 적용되어야 하며 이로 인해 엑시머 램프의 제작 난이도가 증가하고 제작 공정이 추가되어 생산효율이 저하되는 문제점이 있었다.
그리고, 상기 구조의 이중관 형태의 엑시머 램프는 물체의 표면 개질 처리 시간을 단축하기 위하여 외측관 외부 표면에 박 형태의 금속 반사판을 적용하여 광 효율을 증가시키는 구조를 적용하고 있으나, 외측관 외부 표면에 반사판을 고정하기 위한 별도의 고정 구조가 적용되어 엑시머 램프의 제작 난이도가 증가하고 제작 공정이 추가되어 생산효율이 저하되는 문제점이 있었다.
또한, 상기 구조의 이중관 형태의 엑시머 램프는 점등 중에 발생하는 열에 의해 램프의 조도가 하락되는 문제가 존재하여 별도의 냉각 장치를 적용해야 하거나, 한번의 표면 개질 처리 후 일정 시간의 냉각(대기) 시간이 필요하여 연속적인 작업이 진행될 수 없는 문제점이 있었다.
대한민국 등록특허공보 제10-1198903호 (2012.11.01.)
본 발명의 실시예들은 방열 기능을 할 수 있는 전극을 포함한 엑시머 램프 적용으로 표면 개질 과정 중에 발생하는 열의 냉각 시간을 최소화할 수 있고 연속적인 표면 개질 처리가 가능한 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
그리고, 본 발명의 실시예들은 반사 기능을 갖는 전극을 이용하여 발광관의 광 조사 효율을 향상할 수 있는 표면 개질을 위한 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 본 발명의 실시예들은 별도의 냉각 장치 및 반사 부재가 필요하지 않기 때문에 제작이 간단하고 생산효율을 증가시킬 수 있는 표면 개질을 위한 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 구비되는 제1 전극과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극과 대응되도록 구비되는 제2 전극을 포함하는 램프 유닛; 및 상기 램프 유닛을 통해 방출되는 광이 피조사체에 조사되어 상기 피조사체의 표면을 개질하기 위한 내부 공간을 제공하며, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향 외측면이 상기 내부 공간을 향하도록 상기 램프 유닛이 적어도 하나 이상으로 배치되는 램프 하우징;을 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치가 제공된다.
이때, 상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은, 상기 발광관의 외측면과 접촉되는 내측면 중심으로부터 상기 내측면과 마주보는 외측면까지의 수직거리가 1.5mm 이상으로 형성될 수 있다.
상기 발광관은 상기 제1·2 전극에 전압 인가시 발생하는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)에 의해 광을 방출하는 엑시머 램프를 포함할 수 있다.
상기 발광관은 Xe, Kr, Cl, I, Br, Ne, F, Ar 중 적어도 어느 하나의 불활성 가스인 방전 가스가 봉입될 수 있다.
상기 제1·2 전극은, 상기 발광관의 외측면과 접촉되는 내측면이 반사면으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 반사면은 상기 각 전극의 내측면을 연마하여 형성될 수 있다.
본 실시예의 표면 개질을 위한 광 조사 장치는, 상기 내부 공간에 구비되어 상기 피조사체의 표면 개질시 상기 피조사체를 지지하는 지지 부재를 포함할 수 있다.
이때, 상기 지지 부재는, 상기 피조사체가 일측에 탈착 가능하게 구비될 수 있고, 상기 발광관의 길이방향을 따라 상기 내부 공간에 왕복 이동 가능하게 구비되어, 상기 피조사체를 상기 내부 공간으로 진입시키거나 배출시킬 수 있다.
상기 내부 공간은, 상기 피조사체의 표면 개질 시 진공 상태를 가질 수 있다.
또한, 상기 내부 공간은, 상기 피조사체의 표면 개질 시 공기가 유입될 수 있다.
한편, 상기 램프 하우징에 상기 램프 유닛이 복수로 구비될 시, 상기 복수의 램프 유닛은, 상기 내부 공간을 중심으로 원주방향을 따라 이격 배치되는 복수의 발광관과, 상기 복수의 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 연결되는 일체형의 제1 전극과, 상기 복수의 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극과 대응되도록 연결되는 일체형의 제2 전극을 포함하여 구성될 수도 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 방열 기능을 할 수 있는 전극을 포함한 엑시머 램프 적용으로 표면 개질 과정 중에 발생하는 열의 냉각 시간을 최소화할 수 있고 연속적인 표면 개질 처리가 가능한 이점이 있다.
그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 반사 기능을 갖는 전극을 이용하여 발광관의 광 조사 효율을 향상할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 냉각 장치 및 반사 부재가 필요하지 않기 때문에 제작이 간단하고 생산효율을 증가시킬 수 있는 이점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 종단면도
도 2는 도 1의 내부 공간에 피조사체가 구비되어 표면 개질 동작을 수행하는 상태를 개략적으로 나타낸 종단면도
도 3은 도 2의 평면도
도 4는 도 1의 램프 유닛을 정면측에서 개략적으로 나타낸 단면도
도 5는 도 4의 램프 유닛을 측면측에서 개략적으로 나타낸 단면도
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치의 내부 공간에 피조사체가 구비되어 표면 개질 동작을 수행하는 상태를 개략적으로 나타낸 종단면도
도 7은 도 6의 평면도
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 개시되는 실시예들은 이에 제한되지 않는다.
실시예들을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 개시되는 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 개시되는 실시예들에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 종단면도이고, 도 2는 도 1의 내부 공간에 피조사체가 구비되어 표면 개질 동작을 수행하는 상태를 개략적으로 나타낸 종단면도이며, 도 3은 도 2의 평면도이다. 그리고, 도 4는 도 1의 램프 유닛을 정면측에서 개략적으로 나타낸 단면도이고, 도 5는 도 4의 램프 유닛을 측면측에서 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치(100)는, 크게 피조사체(10)에 표면 개질을 위한 광을 방출하여 조사하는 램프 유닛(110)과, 상기 램프 유닛(110)을 통해 방출되는 광이 상기 피조사체(10)에 조사되어 표면 개질되는 내부 공간(S)을 제공하고 상기 램프 유닛(110)으로부터 방출되는 광이 상기 내부 공간(S)을 향해 조사되도록 내부에 상기 램프 유닛(110)이 적어도 하나 이상으로 배치되는 램프 하우징(120)을 포함하여 구성될 수 있다.
여기서, 도 4 및 도 5를 더 참조하면, 상기 램프 유닛(110)은, 광을 방출하는 발광관(111)과, 상기 발광관(111)의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 구비되는 제1 전극(112)과, 상기 발광관(111)의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극(112)과 대응되도록 구비되는 제2 전극(113)을 포함할 수 있다.
그리고, 상기 램프 하우징(120)의 내부에는 상기 램프 유닛(110)이 구비되는데, 이때 상기 램프 유닛(110)은 상기 피조사체(10)에 광이 조사되는 광 조사 효율을 높이기 위하여 상기 내부 공간(S)을 중심으로 원주방향을 따라 복수, 특히 사방에서 상기 피조사체(10)로 광 조사가 가능하도록 4개로 구비되는 것이 바람직하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이때, 상기 각 램프 유닛(110)은 해당되는 발광관(111)의 외측면 중 광조사 방향 외측면이 상기 내부 공간(S)을 향하도록 배치된다.
이에 따라, 상기 제1 전극(112) 및 상기 제2 전극(113)은, 상기 발광관(111)의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 나란하게 구비될 수 있다.
이때, 상기 각 전극(112, 113)은 상기 발광관(111)의 외측면과 접촉되는 내측면 중심으로부터 상기 내측면과 마주보는 외측면까지의 수직거리(d)가 1.5mm 이상으로 형성되는 것이 바람직하다.
이는, 상기 제1 전극(112) 및 상기 제2 전극(113)은, 상기와 같이 1.5mm 이상의 수직거리(d)를 갖는 사이즈로 형성될 경우 상기 발광관(111)의 광 방출시 발생되는 열을 자체적으로 효과적으로 방열할 수 있어 별도의 냉각장치가 필요없고 상기 피조사체(10)의 연속적인 표면 개질이 가능할 수 있다.
한편, 상기 램프 유닛(110)의 각 발광관(111)은 상기 제1·2 전극(112, 113)에 전압 인가시 발생하는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)에 의해 광을 방출하는 엑시머 램프를 포함할 수 있다.
여기서, 상기 발광관(111)의 내부에는 Xe, Kr, Cl, I, Br, Ne, F, Ar 중 적어도 어느 하나의 불활성 가스인 방전 가스가 봉입될 수 있다.
이에 따라, 상기 제1·2 전극(112, 113)에 서로 다른 영역의 전압이 인가되면 상기 제1·2 전극(112, 113) 사이에서 발생하는 전계에 의해 상기 발광관(111)은 상술한 유전체 배리어 방전을 일으키며 광을 방출하게 된다.
이때, 상기 발광관(111)은 유전체 배리어 방전에 의해 광이 투과될 수 있으면 소재로 형성될 수 있고, 본 실시예에서 원형의 단면을 갖는 형상으로 형성된 것을 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다각형의 단면을 갖는 형상으로 형성될 수도 있다.
한편, 상기 발광관(111)에서 172nm 등의 파장을 갖는 진공 자외선이 방출되는 경우 산소 등의 가스에 의해 광의 세기가 감소되는 것을 방지하기 위하여 상기 내부 공간(S)은 진공 상태(분위기)를 가질 수 있다.
또한, 상기 발광관(111)에서 172nm 등의 파장을 갖는 진공 자외선 또는 222nm 등의 파장을 갖는 UV-C 영역의 광이 방출되는 경우 광에 의해 오존 발생을 이용하여 표면 개질 효과를 증가하기 위하여 상기 내부 공간(S) 내에 산소 등을 포함하는 공기가 유입되도록 할 수도 있다.
한편, 상기 피조사체(10)로 상기 발광관(111)의 광 조사 효율을 높이기 위하여, 상기 제1·2 전극(112, 113)은, 상기 발광관(111)의 외측면과 접촉되는 내측면(112a, 113a)이 반사면으로 형성될 수 있다.
이때, 상기 반사면은 상기 각 전극(112, 113)의 내측면을 연마하여 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
이에 따라, 상기 발광관(111)에서 방출되는 광 중 상기 제1·2 전극(112, 113)으로 방출되는 광은 반사면으로 이루어진 각 전극(112, 113)의 내측면(112a, 113a)에 의해 반사되어 상기 내부 공간(S)으로 조사되기 때문에 상기 피조사체(10)에 조사되는 광의 조사 효율이 증가하게 됨으로써 상기 피조사체(10)의 표면 개질 처리 시간이 단축되는 효과를 얻을 수 있다.
이때, 상기 제1·2 전극(112, 113)은 상기 발광관(111)과의 수직 거리(d)가 1.5mm 이상을 갖는 일정 체적으로 형성됨으로써 자체적으로 최적의 방열 기능을 가지게 되며, 이에 상기 램프 유닛(110)의 점등 시 발생하는 열을 효과적으로 제거할 수 있기 때문에 별도의 냉각 장치가 필요하지 않아 제품의 소형화가 가능하고 상기 피조사체(10)의 연속적인 표면 개질 작업이 가능함으로써 제작비용 절감 및 장치 활용성을 높일 수 있다.
한편, 본 실시예의 표면 개질을 위한 광 조사 장치(100)는, 상기 내부 공간(S)에 구비되어 상기 피조사체(10)의 표면 개질시 상기 피조사체(10)를 지지하는 지지 부재(130)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 지지 부재(130)는, 상기 피조사체(10)가 일측에 탈착 가능하게 구비될 수 있고, 상기 램프 유닛(110)의 발광관(111)의 길이방향을 따라 상기 내부 공간(S)에 왕복 이동 가능하게 구비되어, 상기 피조사체(10)를 상기 내부 공간(S)으로 진입시키거나 배출시킬 수 있다.
이를 위해, 상기 램프 하우징(120)은 상기 지지 부재(130)에 의한 상기 피조사체(10)의 진입 및 배출을 위한 진출입부(120a)를 가질 수 있다.
이때, 자세하게 도시하진 않았지만, 상기 진출입부(120a)는 상기 램프 하우징(120)의 일측에 형성된 개구부와 상기 개구부에 구비되어 상기 개구부를 개폐하는 부재 등으로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치의 내부 공간에 피조사체가 구비되어 표면 개질 동작을 수행하는 상태를 개략적으로 나타낸 종단면도이며, 도 7은 도 6의 평면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 표면 개질을 위한 광 조사 장치(200) 역시 전술한 실시예의 광 조사 장치와 마찬가지로 피조사체(10)로 광을 조사하는 램프 유닛(210)과, 상기 피조사체(10)의 표면 개질 공간인 내부 공간(S)을 가지며 상기 램프 유닛(210)이 내부에 구비되는 램프 하우징(220)을 포함하여 구성될 수 있다.
그러나, 본 실시예는 이전 실시예와 달리 상기 램프 하우징(220)의 내부에 상기 램프 유닛(210)이 복수로 구비될 시, 상기 복수의 램프 유닛(210)은 상기 내부 공간(S)을 중심으로 원주방향을 따라 이격 배치되는 복수의 발광관(211)과, 상기 복수의 발광관(211)의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 연결되는 일체형의 제1 전극(212)과, 상기 복수의 발광관(211)의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극(212)과 대응되도록 연결되는 일체형의 제2 전극(213)을 포함할 수 있다.
즉, 본 실시예의 램프 유닛(210)은 전술한 실시예와 달리 복수의 발광관(211)의 외측면에 하나의 일체형 제1 전극(212) 및 하나의 일체형 제2 전극(213)으로 연결되는 구조를 가지며, 이때 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213)은 전술한 실시예와 유사하게 상기 복수의 발광관(211)의 외측면과 접촉되는 내측면 중심으로부터 상기 내측면과 마주보는 외측면까지의 수직거리가 1.5mm 이상으로 형성될 수 있다.
따라서, 본 실시예의 표면 개질을 위한 광 조사 장치(200) 역시 상기 복수의 발광관(211)의 광 방출시 발생되는 열을 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213) 자체적으로 효과적으로 방열할 수 있어 별도의 냉각장치가 필요없고 상기 피조사체(10)의 연속적인 표면 개질이 가능할 수 있다.
특히, 본 실시예는 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213)이 상기 복수의 발광관(211)을 한번에 연결하는 일체형으로 형성되기 때문에 전술한 실시예보다 상기 광 조사 장치(200)의 전체 사이즈 변경없이 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213)의 전체 체적을 증가시켜 전술한 실시예보다 방열효율을 더욱 높일 수 있다.
한편, 본 실시예의 표면 개질을 위한 광 조사 장치(200) 역시 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213)의 내측면을 반사면으로 형성할 수 있고 상기 램프 하우징(220)의 일측에 지지부재(230)를 통한 피조사체(10)의 진출입을 위한 진출입부(220a)가 형성되는 등 상기 제1 전극(212) 및 상기 제2 전극(213)의 구조 이외에는 전술한 실시예의 구조가 유사하게 적용될 수 있다.
이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10 : 피조사체
100 : 광 조사 장치
110 : 램프 유닛
111 : 발광관
112 : 제1 전극
113 : 제2 전극
120 : 램프 하우징
120a : 진출입부
130 : 지지부재
S : 내부 공간

Claims (10)

  1. 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 구비되는 제1 전극과, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극과 대응되도록 구비되는 제2 전극을 포함하는 램프 유닛; 및
    상기 램프 유닛을 통해 방출되는 광이 피조사체에 조사되어 상기 피조사체의 표면을 개질하기 위한 내부 공간을 제공하며, 상기 발광관의 외측면 중 광조사 방향 외측면이 상기 내부 공간을 향하도록 상기 램프 유닛이 적어도 하나 이상으로 배치되는 램프 하우징;을 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1 전극 및 상기 제2 전극은,
    상기 발광관의 외측면과 접촉되는 내측면 중심으로부터 상기 내측면과 마주보는 외측면까지의 수직거리가 1.5mm 이상으로 형성되는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 발광관은 상기 제1·2 전극에 전압 인가시 발생하는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)에 의해 광을 방출하는 엑시머 램프를 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 발광관은 Xe, Kr, Cl, I, Br, Ne, F, Ar 중 적어도 어느 하나의 방전 가스가 봉입되는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 제1·2 전극은, 상기 발광관의 외측면과 접촉되는 내측면이 반사면으로 형성되는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부 공간에 구비되어 상기 피조사체의 표면 개질시 상기 피조사체를 지지하는 지지 부재를 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 지지 부재는,
    상기 피조사체가 일측에 탈착 가능하게 구비되고, 상기 발광관의 길이방향을 따라 상기 내부 공간에 왕복 이동 가능하게 구비되어, 상기 피조사체를 상기 내부 공간으로 진입시키거나 배출시키는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부 공간은, 상기 피조사체의 표면 개질 시 진공 상태를 갖는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 내부 공간은, 상기 피조사체의 표면 개질 시 공기가 유입되는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 램프 하우징에 상기 램프 유닛이 복수로 구비 시,
    상기 복수의 램프 유닛은, 상기 내부 공간을 중심으로 원주방향을 따라 이격 배치되는 복수의 발광관과, 상기 복수의 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 연결되는 일체형의 제1 전극과, 상기 복수의 발광관의 외측면 중 광조사 방향과 대향된 외측면에 상기 제1 전극과 대응되도록 연결되는 일체형의 제2 전극을 포함하는, 표면 개질을 위한 광 조사 장치.
KR1020220108922A 2022-08-30 2022-08-30 표면 개질을 위한 광 조사 장치 KR20240030196A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220108922A KR20240030196A (ko) 2022-08-30 2022-08-30 표면 개질을 위한 광 조사 장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220108922A KR20240030196A (ko) 2022-08-30 2022-08-30 표면 개질을 위한 광 조사 장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20240030196A true KR20240030196A (ko) 2024-03-07

Family

ID=90272077

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220108922A KR20240030196A (ko) 2022-08-30 2022-08-30 표면 개질을 위한 광 조사 장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20240030196A (ko)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101198903B1 (ko) 2010-08-17 2012-11-07 동성루맥스 주식회사 의료용 엘이디 광 조사 장치

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101198903B1 (ko) 2010-08-17 2012-11-07 동성루맥스 주식회사 의료용 엘이디 광 조사 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107921157B (zh) 杀菌装置
EP2517268B1 (en) Uv led based lamp for compact uv curing lamp assemblies
US6379024B1 (en) Dielectric barrier excimer lamp and ultraviolet light beam irradiating apparatus with the lamp
JP6558376B2 (ja) 紫外線放射装置
US20190216962A1 (en) Ozone generation device
KR20160018345A (ko) 자외선 조사식 정수기
US12080542B2 (en) Light irradiation device
JP7346687B2 (ja) 放電ランプおよびオゾン生成方法
CN105493235A (zh) 光照射装置
JP2007073412A (ja) 高輝度放電ランプおよびその高輝度放電ランプを用いた照射装置
JP7145597B2 (ja) オゾン生成装置およびエキシマランプ点灯方法
KR20240030196A (ko) 표면 개질을 위한 광 조사 장치
JP6831268B2 (ja) 放電ランプ
TW201009888A (en) Ultraviolet radiation device
JP2005222905A (ja) エキシマランプ
TW201724228A (zh) 用於將暴露於uv照射的液體介質施予在基板上的裝置
US11130158B2 (en) Device for applying a liquid medium which is exposed to UV radiation to a substrate
CN220526865U (zh) 紫外线照射装置
CN114450034B (zh) 表面辐照装置
US11881389B2 (en) Excimer lamp and light irradiation device having the same
KR20230063625A (ko) 살균 장치
US20220392760A1 (en) Light irradiation device
KR20240061892A (ko) 자외선 조사 장치
JP2017205700A (ja) 水処理方法および水処理装置
JP3674589B2 (ja) 誘電体バリア放電ランプを使用した処理方法、および処理装置