KR20240026153A - Scanner device and electrical inspection device - Google Patents
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Abstract
[요약] 대형화되기 어려워지는 스캐너 장치, 및 전기 검사 장치를 제공한다. [해결 수단] 전기 검사 장치(1)에 탑재되는 스캐너 장치(3)이며, 제1 방향으로 연장되는 판상의 회로 기판인 제1 독립 기판(31)과, 판상의 회로 기판이며, 제1 독립 기판(31)과 평행하게 배치된 제1 공통 기판(41)과, 판상의 회로 기판이며, 제1 독립 기판(31) 및 제1 공통 기판(41)을 전기적으로 접속하는 제2 공통 기판(42)을 구비하고, 제1 공통 기판(41)의 X 방향의 길이는, 제1 독립 기판(31)의 X 방향의 길이보다도 긴 스캐너 장치.[Summary] A scanner device that is difficult to enlarge and an electrical inspection device are provided. [Solution] A scanner device 3 mounted on an electrical inspection device 1, including a first independent board 31, which is a plate-shaped circuit board extending in a first direction, and a first independent board 31, which is a plate-shaped circuit board and A first common board 41 arranged in parallel with (31) and a second common board 42, which is a plate-shaped circuit board and electrically connects the first independent board 31 and the first common board 41. A scanner device comprising: a scanner device, wherein the length of the first common substrate (41) in the X direction is longer than the length of the first independent substrate (31) in the X direction.
Description
본 발명은, 복수의 프로브와 검사 처리부의 접속 관계를 전환하는 스캐너 장치, 및 이것을 사용한 전기 검사 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a scanner device that switches the connection relationship between a plurality of probes and an inspection processing unit, and an electrical inspection device using the same.
종래부터, 접점이 마련된 기체의 반대 측의 면에, 선택 회로를 갖는 모듈 기판을 커넥터에 의해 거의 수직으로 보유 지지하고, 마이크로컴퓨터가 선택 회로를 제어하여, 검사용 접점을 순차적으로 선택하도록 한, 소위 스캐너 장치가 알려져 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).Conventionally, a module board having a selection circuit is held almost vertically by a connector on the side opposite to the body where the contact points are provided, and a microcomputer controls the selection circuit to sequentially select inspection contact points. So-called scanner devices are known (see, for example, Patent Document 1).
그런데, 근년, 검사 대상이 되는 회로 기판이나 반도체 등의 미세화 및 회로 규모의 증대가 현저하다. 그 때문에, 프로브를 접촉시키는 검사점의 수가 증대되고 있다. 검사점의 수가 증대되면, 스캐너 장치는 보다 많은 검사점 중에서 선택해야만 하기 때문에, 선택 회로의 회로 규모가 증대된다. 선택 회로의 회로 규모가 증대되면, 스캐너 장치가 대형화된다.However, in recent years, the miniaturization and increase in circuit scale of circuit boards and semiconductors that are subject to inspection have been remarkable. For this reason, the number of inspection points that the probe touches is increasing. As the number of test points increases, the scanner device must select from more test points, thus increasing the circuit size of the selection circuit. As the circuit scale of the selection circuit increases, the scanner device becomes larger.
본 발명의 목적은, 대형화되기 어려워지는 스캐너 장치, 및 전기 검사 장치를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to provide a scanner device and an electrical inspection device that are difficult to enlarge.
본 발명의 일례에 관한 스캐너 장치는, 전기 검사 장치에 탑재되는 스캐너 장치이며, 제1 방향으로 연장되는 판상의 회로 기판인 제1 독립 기판과, 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판과 평행하게 배치된 제1 공통 기판과, 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판 및 상기 제1 공통 기판을 전기적으로 접속하는 제2 공통 기판을 구비하고, 상기 제1 공통 기판의 상기 제1 방향의 길이는, 상기 제1 독립 기판의 상기 제1 방향의 길이보다도 길다.A scanner device according to an example of the present invention is a scanner device mounted on an electrical inspection device, and includes a first independent board, which is a plate-shaped circuit board extending in a first direction, and a plate-shaped circuit board, and is parallel to the first independent board. It has a first common board disposed in such a way that it has a second common board, which is a plate-shaped circuit board and electrically connects the first independent board and the first common board, and The length is longer than the length of the first independent substrate in the first direction.
또한, 본 발명의 일례에 관한 스캐너 장치는, 전기 신호에 기초하여 검사를 행하는 검사 처리부와의 전기적인 접속 관계를 전환하는 스캐너 장치이며, 소정의 제1 방향으로 연장되는 판상으로 형성되는 제1 독립 기판이, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 복수 병렬 배치되는 독립 기판군과, 상기 독립 기판군의 제1 독립 기판 중 하나와 병렬 배치된 제1 공통 기판과, 상기 복수의 제1 독립 기판의 각각의 단부면과 전기적으로 접속됨과 함께, 상기 제1 공통 기판의 판상 표면과 전기적으로 접속되는 판상의 제2 공통 기판을 구비한다.In addition, the scanner device according to one example of the present invention is a scanner device that switches the electrical connection relationship with an inspection processing unit that performs inspection based on an electric signal, and has a first independent device formed in a plate shape extending in a predetermined first direction. A group of independent substrates arranged in parallel in a second direction perpendicular to the first direction, a first common substrate arranged in parallel with one of the first independent substrates of the independent substrate group, and the plurality of first independent substrates and a second plate-shaped common substrate electrically connected to each end surface of the substrate and electrically connected to the plate-shaped surface of the first common substrate.
또한, 본 발명의 일례에 관한 전기 검사 장치는, 상술한 스캐너 장치를 구비한다.Additionally, the electrical inspection device according to one example of the present invention includes the scanner device described above.
이와 같은 구성의 스캐너 장치 및 전기 검사 장치는, 스캐너 장치가 대형화되기 어려워진다.For a scanner device and an electrical inspection device with such a configuration, it becomes difficult for the scanner device to be enlarged.
도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 스캐너 장치를 사용한 전기 검사 장치의 구성을 개념적으로 도시하는 모식도이다.
도 2는 도 1에 도시한 측정부(2U, 2L)의 구조를 모식적으로 도시하는 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시한 스캐너 장치(3)의 구성의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시한 스캐너 장치(3)를, -Y 방향으로부터 본 모식적인 측면도이다.
도 5는 도 3에 도시한 스캐너 장치(3)를 -Z 방향으로부터 본 모식적인 측면도이다.
도 6은 스캐너 장치(3)의 구성에 의한 대형화되기 어려워지는 효과를 설명하기 위한 설명도이다.
도 7은 도 3에 도시한 스캐너 장치의 변형예를 도시하는 모식적인 사시도이다.1 is a schematic diagram conceptually showing the configuration of an electrical inspection device using a scanner device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side view schematically showing the structure of the
FIG. 3 is a perspective view schematically showing an example of the configuration of the
FIG. 4 is a schematic side view of the
FIG. 5 is a schematic side view of the
Figure 6 is an explanatory diagram to explain the effect of making it difficult to enlarge the
FIG. 7 is a schematic perspective view showing a modified example of the scanner device shown in FIG. 3.
이하, 본 발명에 관한 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일한 부호를 부여한 구성은, 동일한 구성인 것을 나타내고, 그 설명을 생략한다. 각 도면에는, 방향 관계를 명확하게 하기 위해 적절히 XYZ 직교 좌표축을 나타내고 있다. X축이, 상하 방향에 대응하고 있다. 도 1에 도시한 전기 검사 장치(1)는, 검사 대상물 B를 검사하기 위한 장치이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment concerning this invention will be described based on the drawings. In addition, the components given the same reference numerals in each drawing indicate the same configuration and their description is omitted. In each drawing, the XYZ orthogonal coordinate axes are appropriately indicated to clarify the direction relationship. The X-axis corresponds to the vertical direction. The electrical inspection device 1 shown in FIG. 1 is an device for inspecting inspection object B.
검사 대상물 B는, 예를 들어 프린트 배선 기판, 유리 에폭시 기판, 플렉시블 기판, 세라믹 다층 배선 기판, 반도체 패키지용의 패키지 기판, 인터포저 기판, 필름 캐리어 등의 기판이어도 되고, 반도체 기판, 반도체 칩, CSP(Chip Size Package), 반도체 소자(IC: Integrated Circuit) 등의 전자 부품이어도 되고, 액정 디스플레이, EL(Electro-Luminescence) 디스플레이, 터치 패널 디스플레이 등의 디스플레이용의 전극판이나, 터치 패널용 등의 전극판이어도 되고, 그 밖에 전기적인 검사를 행하는 대상이 되는 것이면 된다.The inspection object B may be, for example, a printed wiring board, a glass epoxy board, a flexible board, a ceramic multilayer wiring board, a package board for a semiconductor package, an interposer board, or a film carrier, or may be a semiconductor board, a semiconductor chip, or a CSP. (Chip Size Package), semiconductor elements (IC: Integrated Circuit), etc. may be electronic components, electrode plates for displays such as liquid crystal displays, EL (Electro-Luminescence) displays, and touch panel displays, or electrodes for touch panels, etc. It may be a plate or anything else that is subject to electrical inspection.
도 1에 도시한 전기 검사 장치(1)는, 측정부(2U, 2L)와, 고정 장치(101)와, 이동 기구(102)와, 검사 처리부(20)와, 이들을 수용하는 하우징(103)을 주로 구비하고 있다. 고정 장치(101)는, 검사 대상물 B를 소정의 위치에 고정하도록 구성되어 있다.The electrical inspection device 1 shown in FIG. 1 includes
측정부(2U)는, 고정 장치(101)에 고정된 검사 대상물 B의 상방에 위치한다. 측정부(2L)는, 고정 장치(101)에 고정된 검사 대상물 B의 하방에 위치한다. 측정부(2U, 2L)는, 검사 대상물 B에 마련된 복수의 도전부에 프로브 Pr을 접촉시키기 위한 측정 지그(4U, 4L)를 구비하고 있다.The
측정 지그(4U, 4L)에는, 복수의 프로브 Pr이 설치되어 있다. 측정 지그(4U, 4L)는, 검사 대상물 B의 표면에 마련된 측정 대상의 도전부(검사점)의 배치와 대응하도록 복수의 프로브 Pr을 배치, 보유 지지한다. 이동 기구(102)는, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 측정부(2U, 2L)를 하우징(103) 내에서 적절히 이동시켜, 측정 지그(4U, 4L)의 프로브 Pr을 검사 대상물 B의 각 검사점에 접촉시킨다.A plurality of probes Pr are installed in the
또한, 전기 검사 장치(1)는, 측정부(2U, 2L) 중 어느 한쪽만을 구비하는 구성이어도 된다.In addition, the electrical inspection device 1 may be configured to include only one of the
검사 처리부(20)는, 예를 들어 소정의 연산 처리를 실행하는 CPU(Central Processing Unit)와, 데이터를 일시적으로 기억하는 RAM(Random Access Memory)과, 소정의 제어 프로그램을 기억하는 ROM(Read Only Memory), HDD(Hard Disk Drive) 등의 불휘발성의 기억부와, 이들의 주변 회로 등을 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 검사 처리부(20)는, 예를 들어 기억부에 기억된 제어 프로그램을 실행함으로써, 검사 대상물 B를 검사한다.The
도 2에 도시한 측정부(2U)는, 2대의 스캐너 장치(3, 3), 측정 지그(4U), 알루미늄 플레이트(21), 및 배선 기판(22)을 구비하고 있다. 알루미늄 플레이트(21)의 상면에는 스캐너 장치(3, 3)가 설치되고, 알루미늄 플레이트(21)의 하면에는, 배선 기판(22)이 적층되어 있다. 배선 기판(22)의 하면에는, 측정 지그(4U)가 설치되어 있다.The
측정 지그(4U)의 각 프로브 Pr의 후단부는 배선 기판(22)에 접속되고, 스캐너 장치(3, 3)는, 알루미늄 플레이트(21)에 형성된 도시하지 않은 개구부를 통해 배선 기판(22)에 접속되어 있다. 배선 기판(22)에는, 각 프로브 Pr과, 스캐너 장치(3, 3)를 접속하는 배선이 형성되어 있다. 이에 의해, 각 프로브 Pr과, 스캐너 장치(3, 3)가 전기적으로 접속되어 있다.The rear end of each probe Pr of the
측정 지그(4L)는, 상(+X), 하(-X) 반전되는 점을 제외하고 측정 지그(4U)와 대략 마찬가지로 구성되어 있기 때문에 그 설명을 생략한다. 이하, 측정부(2U, 2L)를 총칭하여 측정부(2)라 칭하고, 측정 지그(4U, 4L)를 총칭하여 측정 지그(4)라 칭한다.Since the
측정 지그(4)와 스캐너 장치(3, 3)는, 알루미늄 플레이트(21)에 의해 고정되어 있다. 이동 기구(102)는, 프로브 Pr을 검사 대상물 B의 검사점에 위치 결정할 때, 알루미늄 플레이트(21)에 의해 지지된 측정부(2) 전체를 이동시킨다. 측정 지그(4U, 4L)는, 각각, 1000 내지 20000개 정도의 프로브 Pr을 구비하고 있다.The measurement jig 4 and the
스캐너 장치(3)는, 전기 신호에 기초하여 검사를 행하는 검사 처리부(20)와의 전기적인 접속 관계를 전환한다. 스캐너 장치(3)는, 검사 대상물 B를 검사하기 위한 전원 회로, 전압계, 및 전류계 등을 구비하고 있다. 또한, 스캐너 장치(3)는, 측정 지그(4)가 구비하는 각 프로브 Pr과, 이들 전원 회로, 전압계, 및 전류계 등과의 접속 관계를, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 전환하는 전환 회로를 구비하고 있다. 그 때문에, 1대의 스캐너 장치(3)에 대하여 수천개, 예를 들어 4096개의 프로브 Pr이, 배선 기판(22)을 통해 전기적으로 접속되어 있다.The
스캐너 장치(3)와 검사 처리부(20)는, 도시하지 않은 케이블 등에 의해 접속되어, 스캐너 장치(3) 내의 각 부와 검사 처리부(20) 사이에서, 신호의 송수신이 가능하게 되어 있다. 이에 의해, 전환 회로에 의해 선택된 프로브 Pr로부터 얻어진 신호에 기초하여 전압계 또는 전류계 등의 측정 회로에 의해 측정된 측정 결과가 검사 처리부(20)로 송신된다. 즉, 스캐너 장치(3)는, 복수의 프로브 Pr과, 검사 처리부(20) 사이에서, 복수의 프로브 Pr 중 검사에 사용되는 프로브 Pr을 전환한다.The
도 3, 도 4에 도시한 스캐너 장치(3)는, 독립 기판군(33), 제2 독립 기판(32), 제1 공통 기판(41), 제2 공통 기판(42), 제3 공통 기판(43), 및 평행 기판(51)을 구비한다. 독립 기판군(33)은, 4매의 제1 독립 기판(31)을 포함한다. 또한, 독립 기판군(33)이 포함하는 제1 독립 기판(31)은, 복수이면 되고, 4매에 한하지 않는다. 도 3에서는, 설명을 간결하게 하기 위해 독립 기판군(33)이 포함하는 제1 독립 기판(31)을 4매로 하였지만, 현실적으로는 32매 정도의 매수가 상정된다.The
제1 독립 기판(31)은, X 방향(제1 방향)으로 연장되는 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 복수의 제1 독립 기판(31)은, X 방향과 직교하는 Y 방향(제2 방향)으로 서로 대향 배치되며, 평행하게 배열되어 있다. 제1 공통 기판(41)의 -X측 단부는, 도시하지 않은 커넥터 등에 의해, 배선 기판(22)과 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 공통 기판(41)의 -X측 단부에 마련된 배선은, 배선 기판(22)을 통해 프로브 Pr과 전기적으로 접속된다.The first
예를 들어, 1대의 스캐너 장치(3)에 접속되는 프로브 Pr이 4096개, 독립 기판군(33)에 포함되는 제1 독립 기판(31)이 32매이면, 1매의 제1 독립 기판(31)에 대하여 128개의 프로브 Pr이 전기적으로 접속된다. 제1 독립 기판(31)에는, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 프로브 Pr을 선택하는 전환 회로, 소위 멀티플렉서가 실장되어 있다.For example, if there are 4096 probes Pr connected to one
1매의 제1 독립 기판(31)에 대하여 예를 들어 128개의 프로브 Pr이 접속되는 경우, 128개의 프로브 Pr 중에서 임의의 프로브 Pr을 선택할 필요가 있고, 제1 독립 기판(31)에 접속되는 프로브 Pr의 수가 증가할수록, 제1 독립 기판(31)에 실장되는 전환 회로의 회로 규모가 증대된다.For example, when 128 probes Pr are connected to one first
제1 공통 기판(41)은, X 방향으로 연장되는 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 제1 공통 기판(41)은, 복수의 제1 독립 기판(31) 중 하나, 예를 들어 가장 +Y측에 위치하는 제1 독립 기판(31)과 평행하게 대향 배치되어 있다. 제1 공통 기판(41)의 X 방향의 길이 L41은, 제1 독립 기판(31)의 X 방향의 길이 L31x보다도 길다. 이에 의해, 제1 공통 기판(41)은, 독립 기판군(33)의 +X측으로 돌출된다.The first
제1 공통 기판(41)에는, 상술한 전원 회로, 전압계, 및 전류계 중 적어도 하나가 실장되어 있다. 전원 회로는, 검사 대상물 B의 도통, 단선, 혹은 전기 저항 측정 등에 사용되는 전압, 전류를 프로브 Pr을 통해 공급하거나, 검사 대상물 B에 포함되는 반도체 회로의 동작용 전원 전압을 프로브 Pr을 통해 공급하거나 한다. 전압계, 전류계는, 검사 대상물 B로부터 프로브 Pr에 의해 얻어진 전압, 전류를 측정한다. 제1 공통 기판(41)에서 측정된 전압 또는 전류 등의 측정 결과가 검사 처리부(20)로 송신된다.At least one of the above-described power supply circuit, voltmeter, and ammeter is mounted on the first
제2 공통 기판(42)은, Y 방향으로 연장되는 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 제2 공통 기판(42)의 면 방향은, XY 평면을 따르고 있다. 제2 공통 기판(42)의 -X측 단부는, 독립 기판군(33)의 모든 제1 독립 기판(31)의 +X측 단부와, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 전기적으로 접속되어 있다.The second
또한, 제2 공통 기판(42)의 +Y측 단부는, 제1 공통 기판(41)의 -Y측 기판면(판상 표면)과, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 공통 기판(41)은, 제2 공통 기판(42)을 통해 각 제1 독립 기판(31)과 전기적으로 접속되어 있다.Additionally, the +Y side end of the second
도 3에 도시한 바와 같이, 제1 공통 기판(41)의 길이 L41이 제1 독립 기판(31)의 길이 L31x보다도 길어, 제1 공통 기판(41)이 독립 기판군(33)의 +X측으로 돌출됨으로써, 제2 공통 기판(42)의 +Y측 단부를, 제1 공통 기판(41)의 -Y측의 판상 표면에 전기적으로 접속하는 것이 용이해진다.As shown in FIG. 3, the length L41 of the first
제2 공통 기판(42)에는, 제1 공통 기판(41)의 전원 회로, 전압계, 및 전류계와, 각 제1 독립 기판(31)의 전환 회로에 연결되는 신호 배선 사이의 접속 관계를, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 전환하는 전환 회로, 소위 멀티플렉서가 실장되어 있다.On the second
즉, 제1 공통 기판(41)의 전원 회로, 전압계, 및 전류계와, 각 프로브 Pr 사이의 접속 관계를, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 전환하는 전환 회로가, 복수의 제1 독립 기판(31)과 제2 공통 기판(42)에 분산 배치되어 있다.That is, the switching circuit that switches the connection relationship between the power supply circuit, voltmeter, and ammeter of the first
제2 공통 기판(42)은 1매여도 되고, 예를 들어 도 4에 도시한 바와 같이, 제2 공통 기판(42)을 평행하게 복수매 마련해도 된다. 제2 공통 기판(42)을 복수로 함으로써, 제2 공통 기판(42)에 실장할 수 있는 전환 회로의 회로 규모를 증대시키는 것이 용이해진다.The number of second
도 3에 도시한 바와 같이, 제1 독립 기판(31)에 대하여 제1 공통 기판(41)을 대향 배치하고, 제1 공통 기판(41)이, 제2 공통 기판(42)을 통해 각 제1 독립 기판(31)과 전기적으로 접속되는 구성으로 함으로써, 스캐너 장치(3)가 대형화되기 어려워진다.As shown in FIG. 3, the first
만약, 도 3에 도시한 스캐너 장치(3)의 구성을 채용하지 않고, 제1 공통 기판(41)과 제2 공통 기판(42)을 합한 회로를 1매의 기판(400)에 실장한 경우, 도 6에 도시한 바와 같이 된다.If the configuration of the
즉, 기판(400)에 있어서의, 제2 공통 기판(42)에 상당하는 회로를 실장하는 데 필요한 제2 공통 기판 영역(42')과, 제1 독립 기판(31)을 합한 X 방향의 길이는, 도 3과의 대비에 의해 명백해지는 바와 같이, 길이 L41이다. 또한, 기판(400)에는 제1 공통 기판(41)과 동등한 회로를 실장할 필요가 있기 때문에, 제1 독립 기판(31)의 Z 방향의 길이 L31z와, 기판(400)의 Y 방향의 길이 L400이 동등하다고 가정한 경우, 제1 공통 기판(41)에 상당하는 회로를 실장하는 데 필요한 제1 공통 기판 영역(41')은 길이 L41이 된다. 따라서, 도 6에 도시한 구성을 채용한 스캐너 장치는, X 방향의 길이가 L41의 2배가 된다.That is, the length of the
한편, 도 3에 도시한 스캐너 장치(3)의 X 방향의 길이는 L41이기 때문에, 도 6에 도시한 구성의 스캐너 장치를 대하여 X 방향의 길이는 절반이 되어, 스캐너 장치(3)는 대형화되기 어려워진다.On the other hand, since the length in the X direction of the
스캐너 장치(3)가 대형화되기 어려워짐으로써, 측정 지그(4)와 함께 스캐너 장치(3)를 이동 기구(102)에 의해 이동시키는 것이 용이해진다. 스캐너 장치가 대형화되면, 이동 기구(102)에 의해 이동시키는 것이 곤란하다. 그 경우, 제1 공통 기판(41)에 탑재되는 전원 회로, 전압계, 및 전류계 등을, 스캐너 장치의 외부에 배치하여 케이블로 각 프로브 Pr과 접속하는 것이 생각된다. 그러나, 케이블로 신호 라인을 길게 늘이면, 프로브 Pr로부터 얻어지는 신호가 케이블의 저항이나 임피던스의 영향을 받아, 측정 정밀도가 저하된다.As the
한편, 대형화되기 어려운 스캐너 장치(3)에 의하면, 신호 라인을 케이블로 길게 늘이지 않고, 스캐너 장치(3)를 측정 지그(4)와 함께 이동시키는 것이 용이하다. 그 결과, 스캐너 장치(3)에 의한 검사 대상물 B의 측정 정밀도를 향상시키는 것이 용이해진다.On the other hand, according to the
도 4, 도 5에 도시한 바와 같이, 제2 독립 기판(32)은, 제1 독립 기판(31)과 면 방향이 동일한 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 제2 독립 기판(32)은, 각 제1 독립 기판(31)에 대하여 하나씩 마련되어 있다. 또한, 제1 독립 기판(31) 2매마다 제2 독립 기판(32)을 1매 마련하여, 1매의 제2 독립 기판(32)에 2매의 제1 독립 기판(31)을 접속하는 구성으로 해도 된다. 이와 같이 하면, 예를 들어 32매의 제1 독립 기판(31)에 대해, 16매의 제2 독립 기판(32)을 마련하면 되므로, 제2 독립 기판(32)의 기판 매수를 삭감할 수 있다.As shown in FIGS. 4 and 5, the second
제2 독립 기판(32)의 Z 방향의 길이 L32는, 제1 독립 기판(31)의 Z 방향의 길이 L31z보다 짧다. 제2 독립 기판(32)의 -X측 단부가, 제1 독립 기판(31)의 +X측 단부에 있어서의 제2 공통 기판(42)과 접속되어 있지 않은 부분에, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 접속되어 있다.The length L32 of the second
또한, 제2 독립 기판(32)은, 반드시 모든 제1 독립 기판(31)과 접속되는 예에 한하지는 않고, 제1 독립 기판(31) 중 적어도 하나와 접속되어 있으면 된다. 혹은, 스캐너 장치(3)는, 제2 독립 기판(32)을 구비하고 있지 않아도 된다.In addition, the second
제3 공통 기판(43)은, 면 방향이, YZ 평면을 따르는 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 제3 공통 기판(43)은, 하나 또는 복수의 제2 독립 기판(32)의 +X측 단부에, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 접속되어 있다. 또한, 제3 공통 기판(43)은, 예를 들어 도시하지 않은 케이블에 의해, 스캐너 장치(3)의 외부와 접속되어 있다.The third
검사 대상물 B의 측정을 행하는 경우, 측정 대상의 신호는, 반드시 고정밀도의 측정이 요구되는 것에 한하지는 않는다. 측정 대상의 신호 중에는, 예를 들어 고전압이거나, 저주파수이거나, 케이블의 저항이나 임피던스의 영향을 받아도 문제없는 것이 있다. 따라서, 제2 독립 기판(32)은, 제1 독립 기판(31)으로부터, 케이블의 저항이나 임피던스의 영향을 받아도 문제없는 신호를 인출하여, 제3 공통 기판(43) 및 도시하지 않은 케이블을 통해 스캐너 장치(3)의 외부에 배치된 측정 회로에 접속 가능하게 한다.When measuring inspection object B, the signal of the measurement target is not necessarily limited to those requiring high-precision measurement. Among the signals to be measured, for example, some may be high voltage, low frequency, or may be affected by cable resistance or impedance. Therefore, the second
이와 같이, 스캐너 장치(3)에, 제2 독립 기판(32) 및 제3 공통 기판(43)을 마련함으로써, 케이블의 저항이나 임피던스의 영향을 받아도 문제없는 신호를 인출하여, 스캐너 장치(3)의 외부에서 측정하는 것이 용이해진다. 그 결과, 케이블의 저항이나 임피던스의 영향을 받아도 문제없는 신호를 처리하기 위한 측정 회로를 스캐너 장치(3) 내에 마련할 필요가 없으므로, 스캐너 장치(3)를 더 대형화하기 어렵게 하는 것이 용이해진다.In this way, by providing the second
또한, 제3 공통 기판(43)을 마련하지 않고, 제2 독립 기판(32)으로부터 직접 케이블 등으로, 스캐너 장치(3)의 외부에 마련된 측정 회로에 접속하는 구성으로 해도 된다. 또한, 제2 독립 기판(32) 및 제3 공통 기판(43)을 구비하지 않아도 된다.Alternatively, the third
도 4, 도 5에 도시한 평행 기판(51)은, 예를 들어 대략 직사각형 판상의 형상을 갖고, 제2 공통 기판과 평행하게 대향 배치되어 있다. 평행 기판(51)의 -X측 단부는, 독립 기판군(33)의 모든 제1 독립 기판(31)의 +X측 단부와, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 평행 기판(51)의 +X측 단부는, 예를 들어 도시하지 않은 케이블에 의해, 스캐너 장치(3)의 외부와 접속되어 있다.The
또한, 평행 기판(51)은, 반드시 모든 제1 독립 기판(31)과 접속되는 예에 한하지는 않고, 제1 독립 기판(31) 중 적어도 하나와 접속되어 있으면 된다. 혹은, 스캐너 장치(3)는, 평행 기판(51)을 구비하고 있지 않아도 된다.In addition, the
도 7에 도시한 스캐너 장치(3a)는, 도 3에 도시한 스캐너 장치(3)와는, 제2 공통 기판(42) 대신에 제2 공통 기판(42a)를 구비하는 점에서 다르다. 그 밖의 점에서는, 스캐너 장치(3)와 마찬가지로 구성되어 있으므로 그 설명을 생략하고, 이하, 스캐너 장치(3a)의 특징적인 점에 대하여 설명한다.The
제2 공통 기판(42a)은, Y 방향으로 연장되는 대략 직사각형 판상 형상을 갖는 회로 기판이다. 제2 공통 기판(42a)의 면 방향은, YZ 평면을 따르고 있다. 제2 공통 기판(42a)의 -X측 기판면은, 독립 기판군(33)의 모든 제1 독립 기판(31)의 +X측 단부와, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 전기적으로 접속되어 있다.The second
또한, 제2 공통 기판(42a)의 +Y측 단부는, 제1 공통 기판(41)의 -Y측 기판면과, 예를 들어 도시하지 않은 커넥터 등에 의해 전기적으로 접속되어 있다. 이에 의해, 제1 공통 기판(41)은, 제2 공통 기판(42a)을 통해 각 제1 독립 기판(31)과 전기적으로 접속되어 있다.Additionally, the +Y side end of the second
도 7에 도시한 바와 같이, 제1 공통 기판(41)의 길이 L41이 제1 독립 기판(31)의 길이 L31x보다도 길어, 제1 공통 기판(41)이 독립 기판군(33)의 +X측으로 돌출됨으로써, 제2 공통 기판(42a)의 +Y측 단부를, 제1 공통 기판(41)의 -Y측의 판상 표면에 전기적으로 접속하는 것이 용이해진다.As shown in FIG. 7, the length L41 of the first
제2 공통 기판(42a)에는, 제2 공통 기판(42)과 마찬가지로, 제1 공통 기판(41)의 전원 회로, 전압계, 및 전류계와, 각 제1 독립 기판(31)의 전환 회로에 연결되는 신호 배선 사이의 접속 관계를, 검사 처리부(20)로부터의 제어 신호에 따라서 전환하는 전환 회로, 소위 멀티플렉서가 실장되어 있다.The second
제2 공통 기판(42a)은 1매여도 되고, 예를 들어 도 7에 도시한 바와 같이, 제2 공통 기판(42a)을 평행하게 복수매 마련해도 된다. 제2 공통 기판(42a)을 복수로 함으로써, 제2 공통 기판(42a)에 실장할 수 있는 전환 회로의 회로 규모를 증대시키는 것이 용이해진다.The number of second
도 7에 도시한 바와 같이, 제1 독립 기판(31)에 대하여 제1 공통 기판(41)을 대향 배치하고, 제1 공통 기판(41)이, 제2 공통 기판(42a)을 통해 각 제1 독립 기판(31)과 전기적으로 접속되는 구성으로 함으로써, 스캐너 장치(3a)를 대형화하기 어렵게 하는 것이 용이해진다.As shown in FIG. 7, the first
또한, 스캐너 장치(3a)는, 제2 공통 기판(42a)의 면 방향이 YZ 평면을 따르고, X 방향은 제2 공통 기판(42a)의 판 두께 방향이 된다. 그 결과, 제2 공통 기판(42)의 면 방향이 X 방향으로 연장되는 스캐너 장치(3)보다도, 스캐너 장치(3a) 쪽이, 보다 대형화되기 어려워진다.Additionally, in the
즉, 본 발명의 일례에 관한 스캐너 장치는, 전기 검사 장치에 탑재되는 스캐너 장치이며, 제1 방향으로 연장되는 판상의 회로 기판인 제1 독립 기판과, 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판과 평행하게 배치된 제1 공통 기판과, 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판, 및 상기 제1 공통 기판을 전기적으로 접속하는 제2 공통 기판을 구비하고, 상기 제1 공통 기판의 상기 제1 방향의 길이는, 상기 제1 독립 기판의 상기 제1 방향의 길이보다도 길다.That is, the scanner device according to an example of the present invention is a scanner device mounted on an electrical inspection device, and includes a first independent substrate that is a plate-shaped circuit board extending in a first direction, and a plate-shaped circuit board, and the first independent substrate and a first common substrate disposed in parallel with a second common substrate, which is a plate-shaped circuit board and electrically connects the first independent substrate and the first common substrate, and the second common substrate of the first common substrate is provided. The length in one direction is longer than the length of the first independent substrate in the first direction.
이 구성에 의하면, 제1 독립 기판과 제1 공통 기판이 평행하게 배치되므로, 제1 독립 기판과 제1 공통 기판을 직선 상으로 배치하는 것보다도, 스캐너 장치가 대형화되기 어렵다.According to this configuration, since the first independent substrate and the first common substrate are arranged in parallel, it is difficult to enlarge the scanner device than if the first independent substrate and the first common substrate are arranged in a straight line.
또한, 본 발명의 일례에 관한 스캐너 장치는, 전기 신호에 기초하여 검사를 행하는 검사 처리부와의 전기적인 접속 관계를 전환하는 스캐너 장치이며, 소정의 제1 방향으로 연장되는 판상으로 형성되는 제1 독립 기판이, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 복수 병렬 배치되는 독립 기판군과, 상기 독립 기판군의 제1 독립 기판 중 하나와 병렬 배치된 제1 공통 기판과, 상기 복수의 제1 독립 기판의 각각의 단부면과 전기적으로 접속됨과 함께, 상기 제1 공통 기판의 판상 표면과 전기적으로 접속되는 판상의 제2 공통 기판을 구비한다.In addition, the scanner device according to one example of the present invention is a scanner device that switches the electrical connection relationship with an inspection processing unit that performs inspection based on an electric signal, and has a first independent device formed in a plate shape extending in a predetermined first direction. A group of independent substrates arranged in parallel in a second direction perpendicular to the first direction, a first common substrate arranged in parallel with one of the first independent substrates of the independent substrate group, and the plurality of first independent substrates and a second plate-shaped common substrate electrically connected to each end surface of the substrate and electrically connected to the plate-shaped surface of the first common substrate.
이 구성에 의하면, 복수의 제1 독립 기판이 복수 병렬 배치되어 있으므로, 제1 독립 기판에 프로브를 접속하도록 하면, 제1 독립 기판의 수를 증가시킴으로써 프로브수를 증가시키는 것이 용이해진다. 또한, 제1 독립 기판이, 복수 병렬 배치된 독립 기판군 중 1개와 병렬 배치되고, 제2 공통 기판이, 복수의 제1 독립 기판의 각각의 단부면과 전기적으로 접속됨과 함께 제1 공통 기판의 판상 표면과 전기적으로 접속되므로, 독립 기판군의 테두리부를 따라서, 제1 공통 기판과 제2 공통 기판을 L자형으로 절곡된 것처럼 배치하는 것이 용이해진다. 따라서, 제1 공통 기판과 제2 공통 기판에 실장되는 회로를, 콤팩트하게 배치할 수 있으므로, 스캐너 장치를 대형화하기 어렵게 하는 것이 용이해진다.According to this configuration, since a plurality of first independent substrates are arranged in parallel, it becomes easy to increase the number of probes by increasing the number of first independent substrates by connecting probes to the first independent substrates. In addition, the first independent substrate is arranged in parallel with one of a plurality of independent substrate groups arranged in parallel, and the second common substrate is electrically connected to each end surface of the plurality of first independent substrates, and the second common substrate is electrically connected to the end surface of each of the plurality of first independent substrates. Since they are electrically connected to the plate-shaped surface, it becomes easy to arrange the first common substrate and the second common substrate as if bent into an L shape along the edge of the independent substrate group. Accordingly, the circuits mounted on the first common board and the second common board can be arranged compactly, making it easy to make it difficult to enlarge the scanner device.
또한, 상기 제2 공통 기판의 면 방향은, 상기 제1 독립 기판과 상기 제1 공통 기판의 이격 방향인 제2 방향 및 상기 제1 방향을 따르는 것이 바람직하다.Additionally, it is preferable that the surface direction of the second common substrate follows the first direction and the second direction, which is the direction of separation between the first independent substrate and the first common substrate.
이 구성에 의하면, 제1 독립 기판의 일단부 중, 제2 공통 기판과 접속되는 스페이스가 적어도 되므로, 제1 독립 기판의 일단부 중 제2 공통 기판과 접속되지 않는 스페이스에 다른 회로 기판 등을 접속하는 것이 용이해진다.According to this configuration, the space connected to the second common board among one ends of the first independent board is minimal, so another circuit board, etc. can be connected to the space among one end of the first independent board that is not connected to the second common board. It becomes easier to do.
또한, 상기 제2 공통 기판을 복수 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 제2 공통 기판에 실장 가능한 회로 규모를 증가시키는 것이 용이해진다. 그 결과, 프로브수의 증가에 대응하는 것이 용이해진다.Additionally, it is preferable to have a plurality of second common substrates. According to this configuration, it becomes easy to increase the scale of circuits that can be mounted on the second common board. As a result, it becomes easier to cope with an increase in the number of probes.
또한, 상기 제2 공통 기판과 평행하게 배치된 평행 기판을 더 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 평행 기판에 의해 회로 실장 스페이스가 증대되므로, 스캐너 장치의 회로 규모를 증대시키는 것이 용이해진다.In addition, it is preferable to further include a parallel substrate disposed in parallel with the second common substrate. According to this configuration, the circuit mounting space is increased by the parallel substrate, making it easy to increase the circuit scale of the scanner device.
또한, 상기 제1 독립 기판과 면 방향이 동일한 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판의 상기 제1 방향의 일단부와 접속되는 제2 독립 기판을 더 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 제1 독립 기판으로부터 얻어지는 신호 중, 제1 공통 기판에서 처리할 필요가 없는 신호를, 제2 독립 기판에서 처리하는 것이 용이해진다.In addition, it is preferable to further include a second independent board, which is a plate-shaped circuit board having the same surface direction as the first independent board, and is connected to one end of the first independent board in the first direction. According to this configuration, it becomes easy to process signals obtained from the first independent substrate that do not need to be processed by the first common substrate by using the second independent substrate.
또한, 판상의 회로 기판이며 면 방향이 상기 제1 방향과 직교하는 제3 공통 기판을 더 구비하고, 상기 제2 독립 기판은, 상기 제3 공통 기판과, 상기 제1 독립 기판 사이에 배치되고, 상기 제3 공통 기판은, 상기 제2 독립 기판과 접속되는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 제2 독립 기판으로부터 얻어지는 신호를, 또한 제3 공통 기판에서 처리하는 것이 용이해진다.In addition, it further includes a third common substrate that is a plate-shaped circuit board whose surface direction is perpendicular to the first direction, wherein the second independent substrate is disposed between the third common substrate and the first independent substrate, The third common substrate is preferably connected to the second independent substrate. According to this configuration, it becomes easy to process signals obtained from the second independent substrate by the third common substrate.
또한, 상기 제2 공통 기판의 면 방향은, 상기 제1 방향과 직교하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 제2 공통 기판을, 제1 독립 기판의 테두리부를 덮도록 배치하는 것이 용이해진다.Additionally, it is preferable that the surface direction of the second common substrate is perpendicular to the first direction. According to this configuration, it becomes easy to arrange the second common substrate so as to cover the edge portion of the first independent substrate.
또한, 상기 제2 공통 기판을 복수 구비하는 것이 바람직하다. 이 구성에 의하면, 제2 공통 기판에 실장 가능한 회로 규모를 증가시키는 것이 용이해진다.Additionally, it is preferable to have a plurality of second common substrates. According to this configuration, it becomes easy to increase the scale of circuits that can be mounted on the second common board.
또한, 본 발명의 일례에 관한 전기 검사 장치는, 상술한 스캐너 장치를 구비한다. 이와 같은 구성의 전기 검사 장치는, 스캐너 장치가 대형화되기 어려워진다.Additionally, the electrical inspection device according to one example of the present invention includes the scanner device described above. For an electrical inspection device with such a configuration, it becomes difficult for the scanner device to be enlarged.
1: 전기 검사 장치
2, 2U, 2L: 측정부
3, 3a: 스캐너 장치
4, 4U, 4L: 측정 지그
20: 검사 처리부
21: 알루미늄 플레이트
22: 배선 기판
31: 제1 독립 기판
32: 제2 독립 기판
33: 독립 기판군
41: 제1 공통 기판
41': 제1 공통 기판 영역
42, 42a: 제2 공통 기판
42': 제2 공통 기판 영역
43: 제3 공통 기판
51: 평행 기판
101: 고정 장치
102: 이동 기구
103: 하우징
400: 기판
B: 검사 대상물
L31x, L31z, L32, L400, L41: 길이
Pr: 프로브1: Electrical inspection device
2, 2U, 2L: Measuring section
3, 3a: scanner device
4, 4U, 4L: Measuring jig
20: Inspection processing department
21: aluminum plate
22: wiring board
31: first independent substrate
32: second independent board
33: Independent board group
41: first common substrate
41': first common substrate area
42, 42a: second common substrate
42': second common substrate region
43: third common substrate
51: parallel substrate
101: Fixing device
102: Moving mechanism
103: housing
400: substrate
B: Inspection object
L31x, L31z, L32, L400, L41: Length
Pr: Probe
Claims (10)
제1 방향으로 연장되는 판상의 회로 기판인 제1 독립 기판과,
판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판과 평행하게 배치된 제1 공통 기판과,
판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판, 및 상기 제1 공통 기판을 전기적으로 접속하는 제2 공통 기판을 구비하고,
상기 제1 공통 기판의 상기 제1 방향의 길이는, 상기 제1 독립 기판의 상기 제1 방향의 길이보다도 긴, 스캐너 장치.It is a scanner device mounted on an electrical inspection device,
A first independent board, which is a plate-shaped circuit board extending in a first direction,
a first common board, which is a plate-shaped circuit board and is arranged parallel to the first independent board;
It is a plate-shaped circuit board, and has a first independent board and a second common board electrically connecting the first common board,
A scanner device wherein the length of the first common substrate in the first direction is longer than the length of the first independent substrate in the first direction.
소정의 제1 방향으로 연장되는 판상으로 형성되는 제1 독립 기판이, 상기 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로 복수 병렬 배치되는 독립 기판군과,
상기 독립 기판군의 제1 독립 기판 중 하나와 병렬 배치된 제1 공통 기판과,
상기 복수의 제1 독립 기판의 각각의 단부면과 전기적으로 접속됨과 함께, 상기 제1 공통 기판의 판상 표면과 전기적으로 접속되는 판상의 제2 공통 기판을 구비하는, 스캐너 장치.It is a scanner device that switches the electrical connection relationship with an inspection processing unit that performs inspection based on electrical signals,
a group of independent substrates in which a plurality of first independent substrates formed in a plate shape extending in a predetermined first direction are arranged in parallel in a second direction perpendicular to the first direction;
a first common substrate disposed in parallel with one of the first independent substrates of the independent substrate group;
A scanner device comprising a plate-shaped second common substrate electrically connected to each end surface of the plurality of first independent substrates and electrically connected to a plate-shaped surface of the first common substrate.
상기 제2 공통 기판의 면 방향은, 상기 제1 독립 기판과 상기 제1 공통 기판의 이격 방향인 제2 방향 및 상기 제1 방향을 따르는, 스캐너 장치.According to claim 1 or 2,
The surface direction of the second common substrate is along the first direction and a second direction that is a separation direction between the first independent substrate and the first common substrate.
상기 제2 공통 기판을 복수 구비하는, 스캐너 장치.According to paragraph 3,
A scanner device comprising a plurality of second common substrates.
상기 제2 공통 기판과 평행하게 배치된 평행 기판을 더 구비하는, 스캐너 장치.According to clause 3 or 4,
A scanner device further comprising a parallel substrate disposed parallel to the second common substrate.
상기 제1 독립 기판과 면 방향이 동일한 판상의 회로 기판이며, 상기 제1 독립 기판의 상기 제1 방향의 일단부와 접속되는 제2 독립 기판을 더 구비하는, 스캐너 장치.According to any one of claims 3 to 5,
The scanner device is a plate-shaped circuit board having the same surface direction as the first independent board, and further includes a second independent board connected to one end of the first independent board in the first direction.
판상의 회로 기판이며 면 방향이 상기 제1 방향과 직교하는 제3 공통 기판을 더 구비하고,
상기 제2 독립 기판은, 상기 제3 공통 기판과, 상기 제1 독립 기판 사이에 배치되고,
상기 제3 공통 기판은, 상기 제2 독립 기판과 접속되는, 스캐너 장치.According to clause 6,
Further comprising a third common board, which is a plate-shaped circuit board whose surface direction is perpendicular to the first direction,
The second independent substrate is disposed between the third common substrate and the first independent substrate,
The scanner device wherein the third common substrate is connected to the second independent substrate.
상기 제2 공통 기판의 면 방향은, 상기 제1 방향과 직교하는, 스캐너 장치.According to claim 1 or 2,
A scanner device wherein a surface direction of the second common substrate is perpendicular to the first direction.
상기 제2 공통 기판을 복수 구비하는, 스캐너 장치.According to clause 8,
A scanner device comprising a plurality of second common substrates.
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