KR20240026083A - 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은, 밸브체를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하는 것에 의해, 보다 적은 전류 또는 전압으로 유체 제어를 행할 수 있는 것으로, 내부 유로(2R)가 형성된 유로 블록(2)과, 유로 블록(2)에 고정되어 있고, 밸브 시트면(5a)을 가지는 오리피스(5)와, 밸브 시트면(5a)에 착좌하는 착좌면(6a)을 가지는 자성체로 이루어지는 밸브체(6)와, 밸브체(6)를 자력에 의해서 구동하는 액츄에이터부(7)를 구비하고, 액츄에이터부(7)는, 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)에 대향하여 마련된 철심(71)과, 철심(71)에 권회된 솔레노이드 코일(72)과, 철심(71) 및 솔레노이드 코일(72)을 수용하는 자성체로 이루어지는 케이싱(73)을 가지며, 케이싱(73)은, 밸브체(6)의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있다.

Description

유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치{FLUID CONTROL VALVE AND FLUID CONTROL APPARATUS}

본 발명은, 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치에 관한 것이다.

종래, 유체 제어 밸브로서는, 특허 문헌 1에 개시되어 있는 것과 같이, 솔레노이드 코일을 이용한 비례 전자 밸브가 이용되고 있다. 이 비례 전자 밸브는, 밸브체를 가지는 가동 철심을 자성체에 의해 구성하고, 당해 가동 철심을 구동하는 액츄에이터로서, 고정 철심 및 당해 고정 철심에 권회(卷回)된 코일을 이용하고 있다. 그리고, 코일을 통전하는 것에 의해서, 고정 철심 및 가동 철심에 자속이 통과하여, 가동 철심이 고정 철심에 흡인되어, 밸브 시트에 대한 밸브체의 위치가 조정된다.

특허 문헌 1 : 일본 특허공개 제2011-145800호 공보

그런데, 유체 제어 밸브를 반도체 제조 장치에서의 프로세스 가스의 공급 라인에 이용하는 경우에는, 그 프로세스 가스와의 접(接)가스 면적을 가능한 한 감소시키는 것이 바람직하다. 이 때문에, 프로세스 가스가 흐르는 내부 유로가 형성된 유로 블록의 내부에, 밸브 시트를 가지는 오리피스를 수용하는 것을 생각할 수 있다. 오리피스를 유로 블록에 수용하는 것에 의해서, 밸브 시트를 지나는 유로의 길이를 짧게 할 수 있고, 이것에 의해서, 접가스 면적을 감소시키는 것을 기대할 수 있다.

그렇지만, 오리피스를 유로 블록에 수용하는 구성으로 하면, 오리피스에 대향하여 배치되는 밸브체 및 당해 밸브체를 구동하는 액츄에이터부를 유로 블록에 장착하는 구성이 된다. 그렇게 하면, 액츄에이터부로부터 발생한 자속을 효율 좋게 밸브체에 통과시킬 수 없어, 자기 성능이 저하하여 버린다. 그 결과, 밸브체를 변위시키기 위해서 액츄에이터로 통전시키는 전류 또는 전압을 크게 할 필요가 생긴다.

그래서, 본 발명은, 앞서 설명한 문제를 해결하기 위해서 이루어진 것으로, 밸브체를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하는 것에 의해, 보다 적은 전류 또는 전압으로 유체 제어를 행하는 것을 그 주된 과제로 하는 것이다.

즉, 본 발명에 따른 유체 제어 밸브는, 내부 유로가 형성된 유로 블록과, 상기 유로 블록에 수용되어 있고, 밸브 시트면을 가지는 오리피스와, 상기 밸브 시트면에 착좌되는 착좌면을 가지는 자성체로 이루어지는 밸브체와, 상기 밸브체를 자력에 의해서 구동하는 액츄에이터부를 구비하고, 상기 액츄에이터부는, 상기 밸브체의 착좌면과는 반대측의 면에 대향하여 마련된 철심과, 상기 철심에 권회된 솔레노이드 코일과, 상기 철심 및 상기 솔레노이드 코일을 수용하는 자성체로 이루어지는 케이싱을 가지고, 상기 케이싱은, 상기 밸브체의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있는 것을 특징으로 한다.

이와 같은 유체 제어 밸브에 의하면, 밸브 시트면을 가지는 오리피스를 유로 블록에 수용하고 있으므로, 밸브 시트를 지나는 유로의 길이를 짧게 할 수 있고, 이것에 의해서, 접가스 면적을 감소시키는 것을 기대할 수 있다. 이 구성에서, 철심 및 솔레노이드 코일을 수용하는 자성체로 이루어지는 케이싱이, 자성체로 이루어지는 밸브체의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있고, 솔레노이드 코일에 의해 발생한 자속을 밸브체의 주위로 안내하는 자로가 형성되므로, 밸브체를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하여 자기 특성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 보다 적은 전류 또는 전압으로 유체 제어를 행하는 것이 가능하게 된다.

상기 케이싱이 상기 밸브체의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있는 구성예로서는, 상기 밸브체의 착좌면과는 반대측의 면은, 상기 케이싱에서의 상기 유로 블록측의 선단면(先端面)보다도, 상기 철심측에 위치하고 있는 것을 들 수 있다.

또, 본 발명에 따른 유체 제어 밸브는, 상기 철심과 상기 밸브체와의 거리를 조정하는 거리 조정 기구를 더 구비하는 것이 바람직하다.

이 거리 조정 기구에 의해 철심과 밸브체와의 거리를 조정함으로써, 최적인 자계(자속 밀도)가 되도록 조정(증감)할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 풀 오픈시의 밸브 개도를 조정할 수 있다. 예를 들면 일정 전압을 인가하면서 유체를 흐르게 함으로써, 조정하고 싶은 풀스케일(FS)의 유체가 되도록 밸브의 개도 설정을 행할 수 있게 된다. 또, 예를 들면 미소 유량을 제어하고 싶은 경우에는, 철심과 밸브체와의 거리를 떨어뜨리는 것에 의해, 밸브체를 흡인하는 자력이 약해져, 미소 유량의 제어가 가능하게 된다.

유체 제어 밸브의 구체적인 실시의 태양으로서는, 유체 제어 밸브가, 상기 유로 블록에 장착되고, 상기 밸브체를 수용하는 장착 블록을 더 구비하고, 상기 철심은, 상기 케이싱에 고정되어 있는 것을 생각할 수 있다.

이 구성이면, 유로 블록에 대해서 장착 블록을 떼어내는 것에 의해서, 밸브체와 함께 액츄에이터부를 떼어낼 수 있고, 분해가 용이하게 되어, 메인터넌스를 용이하게 할 수 있다. 또, 상기 장착 블록에 상기 케이싱이 장착되는 것에 의해, 상기 철심이 상기 밸브체의 착좌면과는 반대측의 면에 대향하여 마련되게 된다.

이 구성에서, 거리 조정 기구의 구체적인 실시의 태양으로서는, 상기 거리 조정 기구는, 상기 케이싱 및 상기 장착 블록에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.

거리 조정 기구의 구체적인 실시의 태양으로서는, 상기 케이싱 또는 상기 장착 블록 중 일방에 형성된 수나사부와, 상기 케이싱 또는 상기 장착 블록 중 타방에 형성되고, 상기 수나사부가 나사 결합하는 암나사부를 가지는 것을 생각할 수 있다.

이 구성이면, 장착 블록에 대해서 케이싱을 회전시킨다고 하는 간단한 조작에 의해, 철심과 밸브체와의 거리를 조정할 수 있다.

상기 장착 블록에는, 상기 케이싱에 대해서 진퇴 가능하게 마련되고, 상기 장착 블록에 대해서 상기 케이싱을 고정하는 고정부가 마련되어 있는 것이 바람직하다.

이 구성이면, 거리 조정 기구에 의해 철심과 밸브체와의 거리를 조정한 후에 고정부에서 케이싱을 고정함으로써, 철심과 밸브체와의 거리를 확실히 유지할 수 있다.

고정부에 의해 케이싱을 고정하기 위한 구체적인 실시의 태양으로서는, 상기 케이싱은, 상기 유로 블록측인 선단부에 원통 단부를 가지고 있고, 상기 장착 블록은, 상기 원통 단부를 수용하는 슬릿을 가지고 있으며, 상기 장착 블록에서의 상기 슬릿을 형성하는 측벽부에 상기 고정부가 마련되어 있고, 상기 원통 단부는, 상기 고정부에 의해서, 상기 장착 블록에서의 상기 슬릿을 형성하는 측벽부에 고정되는 것이 바람직하다.

상기 케이싱은, 상기 장착 블록의 내부에 위치하는 육박부(肉薄部)와, 상기 장착 블록의 외부에 위치하고 상기 육박부보다도 벽 두께가 큰 육후부(肉厚部)를 가지는 것이 바람직하다. 또, 상기 수나사부 또는 상기 암나사부가 형성되는 육박부와, 당해 육박부보다도 상기 유로 블록과는 반대측에 형성된 육후부를 가지는 것이 바람직하다.

이 구성이면, 케이싱이 육후부를 가지므로, 자력선이 외부로 누설되기 어려워져, 밸브체에 자력선을 효율적으로 통과시킬 수 있고, 밸브체를 끌어올리기 쉽게 할 수 있다. 또, 육후부가 장착 블록의 외부에 위치하고 있으므로, 육박부의 외경을 작게 할 수 있어, 장착 블록을 대형화할 필요가 없다. 또, 장착 블록에 대해서 케이싱을 회전시킬 때에 육후부를 조작하게 되고, 회전 토크가 작게 되어, 케이싱을 회전시키기 쉽게 할 수 있다.

각 부재의 치수 공차를 흡수하여 솔레노이드 코일을 고정하기 위해서는, 상기 철심 및 상기 케이싱은 상기 솔레노이드 코일에 대해서 슬라이드 이동 가능하게 마련되어 있고, 상기 거리 조정 기구에 의한 상기 철심 및 상기 케이싱의 이동에 관계없이, 상기 솔레노이드 코일과 상기 밸브체와의 상대 위치는 변화하지 않도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.

유체 제어 밸브의 분해 및 조립을 용이하게 하여 메인터넌스를 용이하게 하기 위해서는, 상기 유로 블록은, 상기 오리피스를 수용하는 수용 오목부를 가지고 있는 것이 바람직하다.

또, 유체 제어 밸브의 조립을 용이하게 하기 위해서는, 상기 장착 블록은, 상기 유로 블록에 장착되는 것에 의해, 상기 수용 오목부에 수용된 오리피스를 고정하는 것인 것이 바람직하다.

솔레노이드 코일에 선직경이 굵은 선재를 이용한 경우에는, 저항값이 내려가고, 전류값이 크게 된다. 그 때문에, 자력이 높게 되지만, 발열하기 쉽다. 한편, 솔레노이드 코일에 선직경이 가는 선재를 이용한 경우에는, 저항값이 올라가고, 전류값이 작게 된다. 그 때문에, 자력이 낮게 되지만, 발열하기 어렵다.

이들의 성질을 조합하여 자력을 높게 하면서 발열하기 어려운 구성으로 하기 위해서는, 상기 솔레노이드 코일은, 선직경이 서로 다른 복수의 선재를 이용하여 구성되어 있는 것이 바람직하다.

선직경이 서로 다른 복수의 선재를 이용하는 구체적인 구성으로서는, 상기 솔레노이드 코일은, 상기 철심의 축방향을 따라서 복수의 코일 요소로 분할되어 있고, 그들 복수의 코일 요소의 선재는, 서로 선직경이 다른 것이 바람직하다.

예를 들면, 철심의 축방향을 따라서 밸브체측을 향하여 선직경이 작게 되는 구성으로 하면, 밸브체측에서의 코일의 발열을 억제할 수 있어, 코일의 발열이 유체나 주변 기기 등에 주는 온도 영향을 저감할 수 있다. 또, 유체 제어 밸브와 함께 열식 유량 센서가 이용되는 경우에는, 코일의 발열이 열식 유량 센서에 주는 온도 영향을 저감할 수 있다.

또, 철심의 축방향을 따라서 밸브체측을 향하여 선직경이 크게 되는 구성으로 하면, 밸브체측에서의 코일의 발열을 크게 할 수 있어, 유체 제어 밸브를 흐르는 유체를 가열할 수 있다. 예를 들면 유체 제어 밸브를 흐르는 유체가 증기압이 낮은 가스이면, 코일의 발열에 의해 가스의 액화를 막을 수 있어, 액화에 의해 생기는 밸브체 등의 부식을 막을 수 있다.

상기 솔레노이드 코일은, 공심(空芯) 코일(보빈리스 코일이라고도 불림)인 것이 바람직하다.

이 구성이면, 자기 저항이 되는 보빈이 없기 때문에, 솔레노이드 코일에 의해 발생하는 자속을 효율 좋게 밸브체에 통과시킬 수 있다.

본 발명의 유체 제어 밸브를 소위 노멀 클로우즈 타입인 것으로 하려면 , 상기 착좌면을 상기 밸브 시트면을 향하여 가압하는 탄성체를 더 가지고, 상기 액츄에이터부는, 상기 밸브체를 자력에 의해서 밸브가 열리는 방향으로 구동하는 것으로 하는 것을 생각할 수 있다. 이 구성에서, 밸브체가 구동되고 있지 않은 상태에서 확실하게 착좌면을 밸브 시트면에 착좌시키기 위해서는, 상기 밸브체와 상기 탄성체가 접합되어 있는 것이 바람직하다. 여기서, 접합에는, 기계 접합, 용접 접합 또는 접착 접합이 포함된다.

또, 본 발명에 관한 유체 제어 장치는, 앞서 설명한 유체 제어 밸브와, 유체의 유량 또는 압력을 측정하는 유체 센서와, 상기 유체 센서에서 측정되는 측정값과 소정의 목표값에 근거하여, 상기 유체 제어 밸브의 개도를 제어하는 제어부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

이와 같이 구성한 본 발명에 의하면, 밸브체를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하는 것에 의해, 보다 적은 전류 또는 전압으로 유체 제어를 행할 수 있다.

도 1은　본 발명의 일 실시 형태에 관한 유체 제어 장치를 나타내는 모식도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 닫힘 상태)의 단면도이다.
도 3은　본 발명의 일 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 열림 상태)의 부분 확대 단면도이다.
도 4는　본 발명의 일 실시 형태의 지지 부재(탄성체) 및 밸브체를 착좌면에서 본 도면이다. 도 4의 (a)는 평면도이고 (b)는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태의 거리 조정 전후의 상태를 나타내는 부분 확대 단면도이다. 도 5의 (1)은 철심과 밸브체와의 거리를 좁힌 상태를 나타내고, 도 5의 (2)는 철심과 밸브체와의 거리를 넓힌 상태를 나타낸다.
도 6은　변형 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 열림 상태)의 부분 확대 단면도이다.
도 7은　변형 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 닫힘 상태)의 단면도이다.
도 8은 변형 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 닫힘 상태)의 단면도이다.
도 9는 변형 실시 형태의 유체 제어 밸브(밸브 닫힘 상태)의 단면도이다.

이하에, 본 발명에 따른 유체 제어 밸브를 이용한 유체 제어 장치의 일 실시 형태에 대해서, 도면을 참조하여 설명한다.

또한, 이하에 나타내는 모든 도면에 대해서, 이해하기 쉽게 하기 위해서, 적절하게 생략하고 또는 과장하여 모식적으로 그려져 있다. 동일한 구성요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙여 설명을 적절하게 생략한다.

<장치 구성>

본 실시 형태의 유체 제어 장치(100)는, 예를 들면 반도체 제조 장치에 조립되는 것에 의해 반도체 제조 프로세스에 이용되는 것으로, 예를 들면 반도체 처리 챔버에 접속된 하나 또는 복수의 가스 공급 라인에 마련되어, 각 가스 공급 라인을 흐르는 프로세스 가스의 유량을 제어하는 것이다.

구체적으로 유체 제어 장치(100)는, 이른바 차압식 매스 플로우 컨트롤러(차압식 MFC)이고, 도 1에 나타내는 것과 같이, 내부 유로(2R)가 형성된 유로 블록(2)과, 당해 유로 블록(2)에 탑재된 유량 센서(31) 및 유체 제어 밸브(32)를 포함하는 유체 제어 기기(3)를 구비하고 있다.

유로 블록(2)은, 직사각 형상인 것으로, 소정면에 유량 센서(31) 및 유체 제어 밸브(32)가 마련되어 있다. 또, 유로 블록(2)에는, 소정면에 유체 제어 밸브(32)를 장착하기 위한 오목 모양의 수용 오목부(2M)가 형성되어 있고, 수용 오목부(2M)에 의해서 내부 유로(2R)가 상류측 유로(2R1)와 하류측 유로(2R2)로 분단되어 있다. 그리고, 수용 오목부(2M)에는, 예를 들면 저면에 상류측 유로(2R1)의 일단이 개구하고 있음과 아울러, 예를 들면 저면에 하류측 유로(2R2)의 일단이 개구하고 있다.

유체 제어 기기(3)는, 내부 유로(2R)의 유체를 제어하는 것으로, 내부 유로(2R)를 흐르는 유체의 유량을 측정하는 유량 센서(31)와, 유량 센서(31)의 상류측에 마련된 유체 제어 밸브(32)를 가지고 있다. 또한, 유체 제어 밸브(32)는, 후술하는 제어부(4)에 의해서, 그 밸브 개도가 피드백 제어된다.

유량 센서(31)는, 차압식 유량 센서이고, 내부 유로(2R)에 마련된 리스트릭터 또는 오리피스 등의 유체 저항 소자(33)의 상류측에 마련된 상류측 압력 센서(31a)와, 유체 저항 소자(33)의 하류측에 마련된 하류측 압력 센서(31b)를 가지고 있다. 상류측 압력 센서(31a) 및 하류측 압력 센서(31b)는, 유로 블록(2)의 소정면에서 유체 제어 밸브(32)와 함께 일렬로 늘어서게 장착되어 있다. 그리고, 후술하는 제어부(4)의 유량 산출부(4a)에 의해서, 상류측 압력 센서(31a)에 의해 검출된 유체 저항 소자(33)의 상류측 압력(P1) 및 하류측 압력 센서(31b)에 의해 검출된 유체 저항 소자(33)의 하류측 압력(P2)을 이용하여, 내부 유로(2R)를 흐르는 유체의 유량(Q)이 산출된다.

유체 제어 밸브(32)는, 차압식 유량 센서(31)의 상류측에 마련되어 있다. 구체적으로 유체 제어 밸브(32)는, 솔레노이드에 의해 밸브체를 밸브 시트에 대해서 진퇴 이동시키는 것에 의해, 유량을 제어하는 솔레노이드 밸브(전자 밸브)이다. 본 실시 형태에서는, 밸브체를 구동하고 있지 않는 상태에서 전폐(全閉) 상태가 되는 소위 노멀 클로우즈 타입의 것이다. 또한, 유체 제어 밸브(32)는, 제어부(4)의 밸브 제어부(4b)에 의해 제어된다. 유체 제어 밸브(32)의 상세 구성은 후술한다.

제어부(4)는, 상류측 압력(P1) 및 하류측 압력(P2)에 근거하여 내부 유로(2R)를 흐르는 유체의 유량(Q)을 산출하는 유량 산출부(4a)와, 유량 산출부(4a)에 의해 산출된 유량(Q) 및 목표 유량(설정값)에 근거하여 유체 제어 밸브(32)를 제어하는 밸브 제어부(4b)를 가지고 있다. 또한, 제어부(4)는, 예를 들면 CPU, 메모리, A/D·D/A 컨버터, 입출력 수단을 구비하는 이른바 컴퓨터로서, 메모리에 격납되어 있는 유량 제어 프로그램이 실행되어 각종 기기가 협동하는 것에 의해, 유량 산출부(4a) 및 밸브 제어부(4b) 등으로서의 기능을 발휘한다.

<유체 제어 밸브(32)의 상세 구성>

본 실시 형태의 유체 제어 밸브(32)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 것과 같이, 평면 모양의 밸브 시트면(5a)을 가지는 오리피스(5)와, 밸브 시트면(5a)에 면접촉 하여 착좌하는 평면 모양의 착좌면(6a)을 가지는 밸브체(6)와, 밸브체(6)를 자력에 의해서 구동하는 액츄에이터부(7)를 구비하고 있다.

오리피스(5)는, 개략 회전체 형상을 이루는 것으로, 도 2 및 도 3에 나타내는 것과 같이, 유로 블록(2)의 수용 오목부(2M)에 수용되어 있다. 그리고, 오리피스(5)에는, 수용 오목부(2M)의 개구측을 향하는 상면에 링 모양의 밸브 시트면(5a)이 형성되어 있다. 또한, 오리피스(5)는, 예를 들면 SUS316L 등의 오스테나이트계 스테인리스강과 같은 비자성체로 형성되어 있다.

또, 오리피스(5)에는, 밸브 시트면(5a)의 내측에서 그 중앙부에 밸브 시트면(5a)측으로부터 당해 밸브 시트면(5a)과는 반대면측으로 관통하는 관통공(51)이 형성되어 있다. 이 관통공(51)은, 수용 오목부(2M)의 저면에 개구하는 상류측 유로(2R1)에 연통하고 있다. 또한, 관통공(51)의 주위와 수용 오목부(2M)의 저면과의 사이에는, O링 등의 씰 부재(S1)가 마련되어 있어, 액밀(液密)하게 씰되어 있다.

또한, 오리피스(5)에는, 밸브 시트면(5a)으로부터 내부로 유입된 유체를 하류측 유로(2R2)로 유출하는 도출로(52)가 형성되어 있다. 본 실시 형태의 도출로(52)는, 밸브 시트면(5a)의 외측에서 밸브 시트면(5a)측으로부터 당해 밸브 시트면(5a)과는 반대면측으로 관통하는 관통공이다. 이 도출로(52)는, 수용 오목부(2M)의 저면에 개구하는 하류측 유로(2R2)에 연통하고 있다.

밸브체(6)는, 개략 회전체 형상을 이루는 것으로, 도 2 및 도 3에 나타내는 것과 같이, 수용 오목부(2M)에 수용된 오리피스(5)에 대향하여 마련되어 있다. 또, 밸브체(6)는, 꼭대기면에 평면 모양의 착좌면(6a)을 가지는 볼록부(61)를 가지고 있다. 또한, 밸브체(6)는, 예를 들면 KM45 등의 전자 스테인리스강과 같은 자성체로 형성되어 있다.

이 밸브체(6)는, 유로 블록(2)의 소정면(상면)에 장착되는 장착 블록(8)에 수용되어 있다. 또한, 장착 블록(8)은, 예를 들면 KM45 등의 전자 스테인리스강과 같은 자성체로 형성되어 있다. 그리고, 밸브체(6)는, 장착 블록(8)에 대해서 예를 들면 판스프링 등의 탄성체로 이루어지는 지지 부재(9)에 의해서 지지되어 있다. 이 지지 부재(9)는, 밸브체(6)의 착좌면(6a)이 밸브 시트면(5a)측을 향하게 한 상태로 지지하는 것이다. 구체적으로 지지 부재(9)는, 도 4에 나타내는 것과 같이, 링 모양을 이루는 것으로, 그 중앙 개구부(91)에 밸브체(6)의 볼록부(61)가 삽입 통과되어, 밸브체(6)를 지지하는 것이다. 또, 이 지지 부재(9) 및 밸브체(6)는, 예를 들면 레이저 용접 등의 용접 접합에 의해 일체 구조로 되어 있다. 또한, 지지 부재(9) 및 밸브체(6)를 일체 구조로 하는 접합은, 기계 접합 또는 접착 접합라도 괜찮다. 또, 지지 부재(9)는, 예를 들면 SUS316L 등의 오스테나이트계 스테인리스강과 같은 비자성체로 형성되어 있다. 또한, 지지 부재(9)는, 스프링성을 가지고, 투자율을 고려한 반도체 접가스부에 적절한 내식성이 있는 재료로 형성되어 있다.

그리고, 밸브체(6)에는, 도 3에 나타내는 것과 같이, 링 모양의 밸브 시트면(5a)에 대응한 원 형상의 착좌면(6a)이 형성되어 있다. 또, 밸브체(6)는, 액츄에이터부(7)에 의한 구동력이 가해져 있지 않은 상태, 즉, 유체 제어 밸브(100)를 조립한 상태에서는, 지지 부재(9)가 탄성 변형하고 있고, 착좌면(6a)이 지지 부재(9)에 의해 밸브 시트면(5a)에 대해서 탄성력에 의해서 가압되어, 착좌면(6a)이 밸브 시트면(5a)에 착좌된 상태가 된다.

또, 장착 블록(8)은, 유로 블록(2)에 장착되는 것에 의해, 수용 오목부(2M)에 수용된 오리피스(5)를 고정하는 것이기도 하다. 구체적으로는, 장착 블록(8)의 유로 블록(2)을 향하는 면(하면)이 오리피스(5)의 상면에 접촉하고, 오리피스(5)의 하면을 수용 오목부(2M)의 저면에 대해서 씰 부재(S1)를 사이에 두고 압압 고정한다. 또한, 장착 블록(8)과 유로 블록(2)과의 사이에는, 금속 씰 등의 씰 부재(S2)가 마련되어 있어, 액밀하게 씰되어 있다.

액츄에이터부(7)는, 도 2 및 도 3에 나타내는 것과 같이, 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)에 대향하여 마련된 철심(71)과, 철심(71)에 권회된 솔레노이드 코일(72)과, 철심(71) 및 솔레노이드 코일(72)을 수용하는 케이싱(73)을 가지고 있다.

철심(71)은, 개략 원기둥 형상을 이루는 것으로, 그 일단부(도 2에서 상단부)가 케이싱(73)에 접속되어 있고, 타단부(도 2에서 하단부)가 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)에 대향한다. 또한, 철심은, 예를 들면 S45C 등의 기계 구조용 탄소강재와 같은 자성체에 의해 형성되어 있다.

솔레노이드 코일(72)은, 철심(71)의 외측 둘레면을 둘러싸도록 권회하여 배치되어 있고, 구체적으로는, 철심(71)이 삽입 통과되는 보빈(721)에 권회되어 있다. 여기서, 보빈(721)은, 철심(71)에 대해서 슬라이드 이동 가능하게 마련되어 있다. 또한, 보빈(721)은, 예를 들면 SUS316L 등의 오스테나이트계 스테인리스강과 같은 비자성체로 형성되어 있다.

케이싱(73)은, 원통 형상을 이루는 것이고, 그 상벽부가 철심(71)의 상단부에 접속되어 있다. 또, 케이싱(73)의 상벽부와 솔레노이드 코일(72)(구체적으로는 보빈(721)의 상단부)과의 사이에는, 웨이브 스프링 등의 탄성체(74)가 마련되어 있다. 또한, 케이싱(73)은, 예를 들면 S45C 등의 기계 구조용 탄소강재와 같은 자성체에 의해 형성되어 있다. 또, 케이싱(73) 및 철심(71)은 일체로 형성해도 괜찮다.

또, 케이싱(73)은, 장착 블록(8)에 장착되는 것으로, 당해 케이싱(73)이 장착 블록(8)에 장착되는 것에 의해, 케이싱(73)에 접속된 철심(71)이 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)에 대향하여 마련되게 된다.

그리고, 케이싱(73)은, 밸브체(6)의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있고, 솔레노이드 코일(72)에 의해 발생한 자속을 밸브체(6)의 주위로 안내하는 자로를 형성하고 있다. 도 3 및 도 6에서의 화살표는 자속을 모식적으로 나타낸다. 밸브체(6)의 주위를 둘러싸는 위치는, 밸브체(6)의 진퇴 방향에 직교하는 방향에서 밸브체(6)의 외측 둘레면에 대향하는 위치이다. 이 구성에 의해, 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)(도 2 및 도 3에서 상면)은, 케이싱(73)에서의 유로 블록(2)측의 선단면(도 2 및 도 3에서 하면)보다도, 철심(71)측(상측)에 위치하고 있다. 구체적으로 케이싱(73)은, 예를 들면, 밸브 닫힘 상태에 있는 밸브체(6)의 주위에서 밸브체(6)의 외측 둘레면의 적어도 상반분(上半分)을 둘러싸는 위치까지 연장되어 있다.

그리고, 본 실시 형태에서는, 도 2, 도 3 및 도 5에 나타내는 것과 같이, 철심(71)과 밸브체(6)와의 거리를 조정하는 거리 조정 기구(10)를 구비하고 있다.

이 거리 조정 기구(10)는, 철심(71)과 밸브체(6)와의 대향면 사이의 거리를 조정하는 것으로, 케이싱(73) 및 장착 블록(8)의 사이에 개재되고, 케이싱(73) 및 장착 블록(8)에 의해 구성되어 있다. 여기서, 철심(71)과 밸브체(6)와의 대향면은, 철심(71)의 하단면(71a) 및 밸브체(6)의 착좌면(6a)과는 반대측의 면(6b)이다.

구체적으로 거리 조정 기구(10)는, 케이싱(73)의 외측 둘레면에 형성된 수나사부(10a)와, 장착 블록(8)에 형성되고, 수나사부(10a)가 나사 결합하는 암나사부(10b)를 가지고 있다. 이 구성에 의해, 수나사부(10a) 및 암나사부(10b)를 나사 결합시키는 것에 의해, 케이싱(73)이 장착 블록(8)에 장착된다. 또, 케이싱(73)을 장착 블록(8)에 대해서 회전시키는 것에 의해, 도 5에 나타내는 것과 같이, 케이싱(73)이 장착 블록(8)에 대해서 축방향으로 진퇴하여, 철심(71)과 밸브체(6)와의 대향면 사이의 거리가 조정된다.

여기서, 장착 블록(8)에는, 도 2, 도 3 및 도 5에 나타내는 것과 같이, 암나사부(10b)가 형성된 측벽부(81)에서, 케이싱(73)에 대해서 진퇴 가능하게 마련되고, 장착 블록(8)에 대해서 케이싱(73)을 고정하는 고정부인 고정 나사(11)가 마련되어 있다. 이 고정 나사(11)는, 거리 조정 기구(10)에 의한 케이싱(73)의 이동 방향과는 직교하는 방향으로 진퇴 가능하게 되어 있다.

구체적으로 케이싱(73)은, 도 2, 도 3 및 도 5에 나타내는 것과 같이, 수나사부(10a)보다도 유로 블록측인 선단부에 원통 단부(73x)를 가지고 있고, 고정 나사(11)는 당해 원통 단부(73x)에 압압 접촉하여, 장착 블록(8)에 대해서 케이싱(73)을 고정한다. 본 실시 형태의 원통 단부(73x)는, 케이싱(73)에서 솔레노이드 코일(72)을 수용하고 있는 수용 본체부(73y)와 동일 내경을 가지는 것이다. 즉, 케이싱(73)은, 장착 블록(8)에 장착하기 위한 플랜지부를 가지지 않는 구성이다.

보다 상세하게는, 장착 블록(8)은, 도 3에 나타내는 것과 같이, 원통 단부(73x)를 수용하는 링 모양의 슬릿(8S)을 가지고 있고, 당해 슬릿(8S)을 형성하는 지름 방향 외측의 측벽부(811)에 고정 나사(11)가 마련되어 있다. 또, 당해 슬릿(8S)을 형성하는 지름 방향 내측의 측벽부(812)는, 밸브체(6)의 외측 둘레면을 둘러싸도록 마련되어 있다. 그리고, 원통 단부(73x)는, 고정 나사(11)에 의해서, 슬릿(8S)을 형성하는 지름 방향 내측의 측벽부(812)에 압압 고정된다. 이 구성에 의해, 케이싱(73)의 원통 단부(73x)에 도달한 자속은, 지름 방향 내측의 측벽부(812)를 지나, 밸브체(6)로 흐른다.

본 실시 형태에서는, 상기의 거리 조정 기구(10)에 의해서 케이싱(73) 및 철심(71)이 장착 블록(8)에 대해서 이동해도, 솔레노이드 코일(72)과 장착 블록(8)(밸브체(6))과의 상대 위치가 변화하지 않도록 구성되어 있다(도 5 참조). 구체적으로는, 솔레노이드 코일(72)이 철심(71) 및 케이싱(73)에 대해서 슬라이드 이동 가능하게 마련되어 있다. 또, 케이싱(73)의 상벽부와 솔레노이드 코일(72)(보빈(721)의 상단부)과의 사이에 마련된 웨이브 스프링(74)에 의해서 장착 블록(8)측으로 압압되도록 구성되어 있다. 이 웨이브 스프링(74)는, 치수 공차를 흡수하여 솔레노이드 코일(72)을 고정하는 것이다. 또한, 각 부재의 치수 정밀도가 나와 있으면, 웨이브 스프링(74)을 마련하지 않는 구성으로 해도 괜찮다.

또한, 보빈(721)의 하단면과 장착 블록(8)의 상단면과의 사이에는, 도 3에 나타내는 것과 같이, 다이아프램 씰(12)이 마련되어 있고, 보빈(721)의 하단면과 장착 블록(8)의 상단면과의 사이를 액밀하게 씰하고 있다. 또한, 다이아프램 씰(12)은, 예를 들면 SUS316L 등의 오스테나이트계 스테인리스강과 같은 비자성체로 형성되어 있다.

다음으로 본 실시 형태의 유체 제어 밸브(32)의 동작에 대해서 간단하게 설명한다.

액츄에이터부(7)의 솔레노이드 코일(72)에 전류가 흐르고 있지 않은 전폐 상태에서, 밸브체(6)는 지지 부재(9)의 탄성력에 의해서 오리피스(5)측으로 가압되어 있고, 밸브체(6)의 착좌면(6a)은 오리피스(5)의 밸브 시트면(5a)에 압압 접촉하고 있다.

그리고, 솔레노이드 코일(72)에 전류를 흐르게 하면, 솔레노이드 코일(72)에 의해서 자속이 발생하여, 철심(71) 및 케이싱(73)을 지나 밸브체(6)로 자속이 흐른다. 이것에 의해, 밸브체(6)는 철심(71)에 흡인되어, 밸브체(6)의 착좌면(6a)이 오리피스(5)의 밸브 시트면(5a)으로부터 떨어져 밸브 열림 상태가 된다. 또한, 유체 제어 밸브(32)의 밸브 개도는, 솔레노이드 코일(72)에 통전되는 전류를 제어하는 것에 의해서 조정된다. 여기서, 케이싱(73)의 원통 단부(73x)는, 밸브체(6)를 둘러싸는 위치로 연장되어 있고, 케이싱(73)의 원통 단부(73x)로부터 슬릿(8S)의 지름 방향 내측의 측벽부(812)를 지나, 밸브체(6)로 자속이 흐른다. 이것에 의해, 밸브체(6)를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하여 자기 특성을 향상시킬 수 있다.

<본 실시 형태의 효과>

이와 같이 구성한 본 실시 형태의 유체 제어 장치(100)에 의하면, 밸브 시트면(5a)을 가지는 오리피스(5)를 유로 블록(2)에 수용하고 있으므로, 밸브 시트면(5a)을 지나는 유로의 길이를 짧게 할 수 있고, 이것에 의해서, 접가스 면적을 감소시키는 것을 기대할 수 있다. 이 구성에서, 철심(71) 및 솔레노이드 코일(72)을 수용하는 자성체로 이루어지는 케이싱(73)이, 자성체로 이루어지는 밸브체(6)의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있고, 솔레노이드 코일(72)에 의해 발생한 자속을 밸브체(6)의 주위로 안내하는 자로를 형성하고 있으므로, 밸브체(6)를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하여 자기 특성을 향상시킬 수 있다. 그 결과, 보다 적은 전류 또는 전압으로 유체 제어를 행하는 것이 가능하게 된다.

또, 본 실시 형태에서는, 밸브체(6)를 포함하는 자로의 자기 저항을 작게 하여 자기 특성을 향상시키는 것에 의해, 솔레노이드 코일(72)을 통전하였을 때의 철심(71)으로의 흡인력을 크게 할 수 있다. 그 결과, 착좌면(6a)을 밸브 시트면(5a)에 압압 접촉시키는 지지 부재(9)의 탄성력(스프링 상수)을 크게 할 수 있어, 전폐 상태에서의 시트 리크(액 누설)를 억제할 수 있다.

또한, 본 실시 형태에서는, 철심(71)과 밸브체(6)와의 거리를 조정하는 거리 조정 기구(10)를 구비하고 있으므로, 거리 조정 기구(10)에 의해 철심(71)과 밸브체(6)와의 거리를 조정함으로써, 최적인 자계(자속 밀도)가 되도록 조정(증감)할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 풀 오픈시의 밸브 개도를 조정할 수 있다. 예를 들면 일정 전압을 인가하면서 유체를 흐르게 함으로써, 조정하고 싶은 풀스케일(FS)의 유체가 되도록 밸브의 개도 설정을 행할 수 있도록 된다. 또, 예를 들면 미소 유량을 제어하고 싶은 경우에는, 철심(71)과 밸브체(6)와의 거리를 떨어뜨리는 것에 의해, 밸브체(6)를 흡인하는 자력이 약해져, 미소 유량의 제어가 가능하게 된다.

<그 외의 실시 형태>

예를 들면, 상기 실시 형태의 거리 조정 기구(10)는, 수나사부(10a) 및 암나사부(10b)에 의해 구성되어 있지만, 도 6에 나타내는 것과 같이, 고정 나사(11)에 의해 구성해도 된다. 이 경우, 장착 블록(8)에 원통 단부(73x)를 수용하는 링 모양의 슬릿(8S)을 형성하고, 당해 슬릿(8S)에서 원통 단부(73x)를 상하 방향으로 조정한 후에, 고정 나사(11)으로 고정하는 구성으로 하는 것을 생각할 수 있다.

또, 상기 실시 형태의 거리 조정 기구(10)의 수나사부(10a) 및 암나사부(10b)를 반대의 구성, 즉, 장착 블록(8)에 수나사부(10a)를 형성하고, 케이싱의 내측 둘레면에 암나사부(10b)를 형성해도 된다.

또한, 도 7에 나타내는 것과 같이, 솔레노이드 코일(72)을, 선직경이 서로 다른 복수의 선재를 이용하여 구성해도 된다. 구체적으로 솔레노이드 코일(72)은, 철심(71)의 축방향을 따라서 복수의 코일 요소(72A~72C)로 분할되어 있다. 또한, 도 7에서는, 3개의 코일 요소로 분할되어 있지만, 2개의 코일 요소로 분할되어도 되고, 4개 이상의 코일 요소로 분할되어도 괜찮다. 또한, 각 코일 요소(72A~72C)는, 보빈(721A~721C)에 각각 감겨져 구성되어 있다.

그리고, 복수의 코일 요소(72A~72C)의 선재는, 서로 선직경이 다르다. 도 7에서는, 각 코일 요소(72A~72C)의 내경 및 외경이 대략 동일하고, 각 코일 요소(72A~72C)에서, 선직경이 큰 것인 만큼, 그 권수가 적게 되는 구성이다.

그리고, 철심(71)의 축방향을 따라서 밸브체(6)를 향하여 선직경이 작게 되는 구성으로 하면, 밸브체(6)측에서의 솔레노이드 코일(72)(코일 요소(72A))의 발열을 억제할 수 있어, 코일 요소(72A)의 발열이 유체에 주는 온도 영향을 저감할 수 있다. 또, 유체 제어 밸브(32)와 함께 열식 유량 센서가 이용되는 경우에는, 코일 요소(72A)의 발열이 열식 유량 센서에 주는 온도 영향을 저감할 수 있다.

또, 철심(71)의 축방향을 따라서 밸브체(6)측을 향하여 선직경이 크게 되는 구성으로 하면, 밸브체(6)측에서의 솔레노이드 코일(72)(코일 요소(72A))의 발열을 크게 할 수 있어, 유체 제어 밸브(32)를 흐르는 유체를 가열할 수 있다. 예를 들면 유체 제어 밸브(32)를 흐르는 유체가 증기압이 낮은 가스이면, 코일 요소(72A)의 발열에 의해 가스의 액화를 막을 수 있고, 액화에 의해 생기는 밸브체(6) 등의 부식을 막을 수 있다. 솔레노이드 코일(72)은, 철심(71)의 축방향을 따라서 분할하는 구성 외에, 철심(71)의 지름 방향을 따라서 분할하는 구성(지름 방향 내측의 코일 요소 및 지름 방향 외측의 코일 요소를 가지는 구성)으로 해도 괜찮다.

또, 솔레노이드 코일(72)은, 도 8에 나타내는 것과 같이, 보빈(721)을 이용하지 않는 공심 코일(보빈리스 코일이라고도 불림)이라도 괜찮다. 이 구성이면, 자기 저항이 되는 보빈(721)이 없기 때문에, 솔레노이드 코일(72)에 의해 발생하는 자속을 효율 좋게 밸브체(6)에 통과시킬 수 있다.

또한, 케이싱(73)은, 도 9에 나타내는 것과 같이, 장착 블록(8)의 내부에 위치하는 육박부(73a)와, 장착 블록(8)의 외부에 위치하고 육박부(73a)보다도 벽 두께가 두꺼운 육후부(73b)를 가지고 있어도 괜찮다.

여기서, 육박부(73a)는, 외측 둘레면에 수나사부(10a)가 형성되어 있고, 육후부(73b)는, 육박부(73a)보다도 유로 블록(2)과는 반대측에 형성되어 있다. 육박부(73a) 및 육후부(73b)는, 수용 본체부(73y)에 의해 구성되어 있다. 또, 도 9에서는, 육박부(73a)의 내측 둘레면과 육후부(73b)의 내측 둘레면은 단차 없이 연속하고 있는데, 단차가 있어도 된다. 또한, 육후부(73b)는, 철심(71)의 축방향을 따라서 등단면(等斷面) 형상을 이루는 것이지만, 축방향을 따라서 등단면 형상이 아니어도 된다.

이 구성이면, 케이싱(73)이 육후부(73b)를 가지므로, 자력선이 외부로 누설되기 어렵게 되어, 밸브체(6)에 자력선을 효율적으로 통과시킬 수 있고, 밸브체(6)를 끌어올리기 쉽게 할 수 있다. 또, 수나사부(10a)가 형성되는 육박부(73a)보다도 유로 블록(2)과는 반대측에 육후부(73b)를 형성하고 있으므로, 육박부(73a)의 외경을 작게 할 수 있어, 장착 블록(8)을 대형화할 필요가 없다. 또, 장착 블록(8)에 대해서 케이싱(73)을 회전시킬 때에 육후부(73b)를 조작하게 되어, 회전 토크가 작게 되고, 케이싱(73)을 회전시키기 쉽게 할 수 있다.

또한, 상기 실시 형태의 유체 제어 밸브(32)는, 노멀 클로우즈 타입의 것 외에, 밸브체(6)를 구동하고 있지 않는 상태에서 전개(全開) 상태가 되는 소위 노멀 오픈 타입인 것이라도 괜찮다. 노멀 클로우즈 타입에서는, 솔레노이드 코일(72)에 전류를 흐르게 하면, 솔레노이드 코일(72)에 의해서 자속이 발생하여, 철심(71) 및 케이싱(73)을 지나 밸브체(6)로 자속이 흐른다. 이것에 의해, 밸브체(6)는 철심(71)에 흡인되어, 밸브체(6)의 착좌면(6a)이 오리피스(5)의 밸브 시트면(5a)으로부터 떨어져 밸브 열림 상태가 되는 구조가 되는데, 밸브체(6)를 지지하는 지지 부재(9)의 지지력과 밸브체(6)의 자성체의 자력의 밸런스를 조정하는 것에 의해, 노멀 오픈 타입의 유체 제어 밸브로 변경하는 구성도 생각할 수 있다.

또, 상기 실시 형태에서는, 유체 제어 밸브(32)는, 유량 센서(31)의 상류측에 마련된 구성이었지만, 유량 센서(31)의 하류측에 마련된 구성이라도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 유체 제어 장치(100)의 유량 센서(31)로서 압력식 유량 센서를 사용하고 있지만, 열식 유량 센서를 사용해도 괜찮다. 이 경우에는, 유체 제어 밸브(32)의 상류측에 열식 유량 센서를 설치하는 것을 생각할 수 있다. 또, 유량 센서 외에 압력 센서 등의 유체 센서를 이용해도 괜찮다.

또, 유체 제어 장치(100)로서는, 압력식 및 열식인 것에 한정하지 않고, 유체 제어 밸브(32)에 밸브 시트면(5a)과 착좌면(6a)과의 상대 위치를 측정하는 위치 센서를 마련하고, 당해 위치 센서의 측정값에 근거하여 밸브 개도를 피드백 제어하는 것이라도 괜찮다. 또, 본 발명의 유체 제어 장치는, 상기 실시 형태의 유량 제어 장치에 한정되지 않고, 유체의 압력을 제어하는 압력 제어 장치에 적용하는 것도 가능하다.

그 외, 본 발명의 취지에 반하지 않는 한에서 여러가지 실시 형태의 변형이나 조합을 행해도 상관없다.

100 : 유체 제어 장치 2 : 유로 블록
2R : 내부 유로 2M : 수용 오목부
32 : 유체 제어 밸브 31 : 유체 센서
4 : 밸브 제어부 5 : 오리피스
5a : 밸브 시트면 6 : 밸브체
6a : 착좌면 7 : 액츄에이터부
71 : 철심 72 : 솔레노이드 코일
72A : 코일 요소 72B : 코일 요소
72C : 코일 요소 73 : 케이싱
73x : 원통 단부 73a : 육박부
73b : 육후부 8 : 장착 블록
8S : 링 모양의 슬릿 811 : 지름 방향 외측의 측벽부
812 : 지름 방향 내측의 측벽부 10 : 거리 조정 기구
10a : 수나사부 10b : 암나사부
11 : 고정 나사

Claims (16)

1. 내부 유로가 형성된 유로 블록과,
   상기 유로 블록에 수용되어 있고, 밸브 시트면을 가지는 오리피스와,
   상기 밸브 시트면에 착좌하는 착좌면을 가지는 자성체로 이루어지는 밸브체와,
   상기 밸브체를 자력에 의해서 구동하는 액츄에이터부를 구비하고,
   상기 액츄에이터부는,
   상기 밸브체의 착좌면과는 반대측의 면에 대향하여 마련된 철심과,
   상기 철심에 권회된 솔레노이드 코일과,
   상기 철심 및 상기 솔레노이드 코일을 수용하는 자성체로 이루어지는 케이싱을 가지고,
   상기 케이싱은, 상기 밸브체의 주위를 둘러싸는 위치까지 연장되어 있는, 유체 제어 밸브.
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 밸브체의 착좌면과는 반대측의 면은, 상기 케이싱에서의 상기 유로 블록측의 선단면보다도, 상기 철심측에 위치하고 있는, 유체 제어 밸브.
3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
   상기 철심과 상기 밸브체와의 거리를 조정하는 거리 조정 기구를 더 구비하는, 유체 제어 밸브.
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 유로 블록에 장착되고, 상기 밸브체를 수용하는 장착 블록을 더 구비하고,
   상기 철심은, 상기 케이싱에 고정되어 있으며,
   상기 거리 조정 기구는, 상기 케이싱 및 상기 장착 블록에 의해 구성되어 있는, 유체 제어 밸브.
5. 청구항 4에 있어서,
   상기 거리 조정 기구는,
   상기 케이싱 또는 상기 장착 블록 중 일방에 형성된 수나사부와,
   상기 케이싱 또는 상기 장착 블록 중 타방에 형성되고, 상기 수나사부가 나사 결합하는 암나사부를 가지는, 유체 제어 밸브.
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 장착 블록에는, 상기 케이싱에 대해서 진퇴 가능하게 마련되고, 상기 장착 블록에 대해서 상기 케이싱을 고정하는 고정부가 마련되어 있는, 유체 제어 밸브.
7. 청구항 6에 있어서,
   상기 케이싱은, 상기 유로 블록측의 선단부에 원통 단부를 가지고 있고,
   상기 장착 블록은, 상기 원통 단부를 수용하는 슬릿을 가지고 있으며,
   상기 장착 블록에서의 상기 슬릿을 형성하는 측벽부에 상기 고정부가 마련되어 있고,
   상기 원통 단부는, 상기 고정부에 의해서, 상기 장착 블록에서의 상기 슬릿을 형성하는 측벽부에 고정되는, 유체 제어 밸브.
8. 청구항 5 내지 청구항 7 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 케이싱은, 상기 장착 블록의 내부에 위치하는 육박부(肉薄部)와, 상기 장착 블록의 외부에 위치하고 상기 육박부보다도 벽 두께가 두꺼운 육후부(肉厚部)를 가지는, 유체 제어 밸브.
9. 청구항 3 내지 청구항 8 중 어느 하나의 항에 있어서,
   상기 철심 및 상기 케이싱은 상기 솔레노이드 코일에 대해서 슬라이드 이동 가능하게 마련되어 있고,
   상기 거리 조정 기구에 의한 상기 철심 및 상기 케이싱의 이동에 상관없이, 상기 솔레노이드 코일과 상기 밸브체와의 상대 위치는 변화하지 않도록 구성되어 있는, 유체 제어 밸브.
10. 청구항 1 내지 청구항 9 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 유로 블록은, 상기 오리피스를 수용하는 수용 오목부를 가지고 있는, 유체 제어 밸브.
11. 청구항 10에 있어서,
    상기 장착 블록은, 상기 유로 블록에 장착되는 것에 의해, 상기 수용 오목부에 수용된 오리피스를 고정하는 것인, 유체 제어 밸브.
12. 청구항 1 내지 청구항 11 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 솔레노이드 코일은, 선직경이 서로 다른 복수의 선재를 이용하여 구성되어 있는, 유체 제어 밸브.
13. 청구항 1 내지 청구항 12 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 솔레노이드 코일은, 상기 철심의 축방향을 따라서 복수의 코일 요소로 분할되어 있고, 그들 복수의 코일 요소의 선재는, 서로 선직경이 다른, 유체 제어 밸브.
14. 청구항 1 내지 청구항 13 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 솔레노이드 코일은, 공심(空芯) 코일인, 유체 제어 밸브.
15. 청구항 1 내지 청구항 14 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 착좌면을 상기 밸브 시트면을 향하여 가압하는 탄성체를 더 가지고,
    상기 액츄에이터부는, 상기 밸브체를 자력에 의해서 밸브가 열리는 방향으로 구동하는 것이며,
    상기 밸브체와 상기 탄성체가 접합되어 있는, 유체 제어 밸브.
16. 청구항 1 내지 청구항 15 중 어느 하나의 항에 기재된 유체 제어 밸브와,
    유체의 유량 또는 압력을 측정하는 유체 센서와,
    상기 유체 센서에서 측정되는 측정값과 소정의 목표값에 근거하여, 상기 유체 제어 밸브의 개도를 제어하는 제어부를 구비하는 유체 제어 장치.

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