KR20240025960A - 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치 - Google Patents

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KR20240025960A
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박상균
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Abstract

본 발명은 설정된 주행 경로를 따라 이동하는 본체부(100); 상기 본체부(100)에 결합되고, 승강 및 하강 작동이 이루어지도록 구성되는 업다운 유닛부(210)와, 상기 업다운 유닛부(210)와 회전 가능하게 결합되는 제1암 구동부(230)와, 상기 제1암 구동부(230)의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 제2암 구동부(250)를 포함하는 암 어셈블리(200); 및 상기 제2암 구동부(250)에 회전 가능하게 결합되며, 고중량 프로브 카드를 파지하여 상기 본체부(100)에 안착시키는 그리퍼부(300);를 포함하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 제공하는 것을 특징으로 한다.

Description

고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치{Heavy-duty probe card transfer and loading device}
본 발명은 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 설정된 주행 경로를 따라 이동하면서 고중량 프로브 카드를 픽업, 이송 및 적재함으로써, 고가의 고중량 프로브 카드를 안정적으로 적시 공급이 가능함에 따라 생산 효율성을 극대화할 수 있으며, 작업자를 배치하지 않은 상태에서도 무인 이송 및 적재가 가능한 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치에 관한 것이다.
일반적으로, 프로브 카드는 제조되는 반도체소자에 따라 다양하게 교체, 변경하여 사용되어야 한다.
이때, 프로브 카드의 교체는 검사장치에 구비되어 있는 프로브 카드 교체장치에 의해 이루어지고, 프로브 카드 교체장치에 프로브 카드를 공급하여 안착시키는 작업은 작업자에 의해 수작업으로 이루어지고 있다.
하지만, 고중량의 프로브 카드의 경우 그 무게가 25 kg ~ 40 kg 에 달하며, 이로 인해 고중량 프로브 카드를 공급 및 안착시켜 교체하는 경우, 작업자가 교체시킬 프로브 카드를 옮겨와 상기 프로브 카드 교체장치에 직접 안착시켜야 하므로 위와 같은 프로브 카드의 대직경 및 고중량은 작업자에게 부담이 될 수밖에 없고, 이로 인해 프로브 카드의 교체시간이 증가될 수밖에 없으며, 상기 프로브 카드의 교체시간이 증가된다는 의미는 결국 프로브 카드의 검사 공정에 대한 작업 시간이 증가되는 것으로 프로브 카드의 생산성이 감소될 수밖에 없다.
또한, 과도한 힘을 써서 작업하던 작업자의 실수로 인해 프로브 카드에 충격이 가해질 우려가 있고, 이는 결국 프로브 카드의 손상이나 파손을 유발하기 때문에 작업성 및 생산성이 심각하게 떨어지는 문제점이 있다.
그리고, 프로브 카드를 교체할 경우, 작업자가 검사장치의 측면 가까이에서 사용이 끝난 프로브 카드를 프로브 카드 교체장치에서 분리시키고, 새로운 프로브 카드를 공급하여 안착시켜야 하기 때문에 검사장치가 다수 존재하는 작업라인에 있어서, 상기 프로브 카드 교체를 위한 별도의 작업 공간을 각각의 검사장치들 마다 확보되어야만 하는 문제점이 있다.
여기서 전술한 배경기술 또는 종래기술은 본 발명의 기술적 의의를 이해하는데 도움이 되기 위한 것일 뿐, 본 발명의 출원 전에 이 발명이 속하는 기술분야에서 널리 알려진 기술을 의미하는 것은 아니다.
대한민국 등록특허 제10-0833285호
이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명은 전술한 배경기술에 의해서 안출된 것으로, 설정된 주행 경로를 따라 이동하면서 고중량 프로브 카드를 픽업, 이송 및 적재함으로써, 고가의 고중량 프로브 카드를 안정적으로 적시 공급이 가능함에 따라 생산 효율성을 극대화할 수 있는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 작업자를 배치하지 않은 상태에서도 설정된 자율 주행 경로를 따라 고중량의 프로브 카드에 대한 무인 이송 및 적재가 가능하기 때문에 작업자가 배치되어야 할 공간이 불필요하며, 주행 경로에 대한 최소한이 작업 공간만으로도 고중량의 프로브 카드의 이송 및 적재가 가능한 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
다만, 본 발명의 목적은 이에만 제한되는 것은 아니며, 명시적으로 언급하지 않더라도 과제의 해결수단이나 실시 형태로부터 파악될 수 있는 목적이나 효과도 이에 포함됨은 물론이다.
이와 같은 과제를 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따르면, 설정된 주행 경로를 따라 이동하는 본체부(100); 상기 본체부(100)에 결합되고, 승강 및 하강 작동이 이루어지도록 구성되는 업다운 유닛부(210)와, 상기 업다운 유닛부(210)와 회전 가능하게 결합되는 제1암 구동부(230)와, 상기 제1암 구동부(230)의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 제2암 구동부(250)를 포함하는 적재 암 어셈블리(200); 및 상기 제2암 구동부(250)에 회전 가능하게 결합되며, 고중량 프로브 카드를 파지하여 상기 본체부(100)에 안착시키는 그리퍼부(300);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 본체부(100)는, 상기 주행 경로를 따라 이동하는 이송수단(120)이 구비된 이송 본체부(110); 상기 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 구동 제어부 및 배터리가 내장되며, 상기 적재 암 어셈블리(200)가 장착되는 컨트롤 본체부(130); 상기 컨트롤 본체부(130)의 상부에 결합되고, 프로브 카드가 정위치에 안착될 수 있도록 지지하는 적재 상판(140); 상기 적재 상판(140)에 구성되며, 프로브 카드의 안착 여부를 감지하여 상기 구동 제어부로 전송하는 거치 감지 센서(150); 및 상기 컨트롤 본체부(130)에 형성되며, 상기 배터리와 도킹장치의 전기적 연결이 이루어지도록 구성되는 충전 유닛부(160);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 컨트롤 본체부(130)에는, 장애물을 인식하고, 인식한 장애물을 회피하여 주행이 이루어질 수 있도록 하는 Safety Lasar Sensor(132); 및 상기 적재 암 어셈블리(200)의 동작 여부를 감지하여 상기 적재 암 어셈블리(200)에 대한 동작 상태를 파악할 수 있도록 하는 적재 암 동작 탐색부(134);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 컨트롤 본체부(130)에는, 상기 Safety Lasar Sensor(132) 및 적재 암 동작 탐색부(134)로부터 전송되는 정보들을 분석하여 프로브 카드의 취출 및 교체 위치, 취출된 프로브 카드를 반송할 반송 위치에 대한 경로 정보를 생성하는 구동 제어부; 및 상기 구동 제어부로 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 제어신호를 전송하는 조작모듈(139)을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 업다운 유닛부(210)는, 구동 제어부의 제어에 따라 구동하는 승강모터(212)와, 상기 승강모터(212)의 구동시 승강 및 하강 작동이 이루어지는 볼 스크류(214)와, 상기 볼 스크류(214)의 작동시 승강 및 하강하며 그 상측 중앙부로 상기 제1암 구동부(230)와 연결되는 승강축(220)이 구성되는 승강 안내패널(218)과, 상기 볼 스크류(214)의 작동시 승강 안내패널(218)의 승강 및 하강 작동을 안내하는 LM 가이드 부재(216);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제1암 구동부(230)는, 통신 및 제어부(242)가 구성되는 제1암 구동 하우징(232); 상기 제1암 구동 하우징(232)의 전방 및 후방부에 구성되며, 상기 제2암 구동부(250) 및 상기 업다운 유닛부(210)와 각각 연결되는 제1암 회전수단(234); 상기 제1암 회전수단(234)과 회전 가능하게 연결되고, 상기 제1암 구동 하우징(232)을 회전시키는 후방측 연결 드라이브(236); 및 상기 제1암 회전수단(234)과 회전 가능하게 연결되고, 상기 제2암 구동부(250)를 회전시키는 전방측 연결 드라이브(238);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 제2암 구동부(250)는, 제2암 구동 하우징(252); 상기 제2암 구동 하우징(252)의 후방부에 구성되며, 상기 후방측 연결 드라이브(238)와 연결되는 암 연결부재(256); 상기 제2암 구동 하우징(252)의 전방부에 구성되며, 그리퍼부(300)가 회전 가능하게 결합되는 그리퍼 연결 드라이브(258); 및 상기 그리퍼 연결 드라이브(258)를 회전시키는 제2암 회전수단(254);을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 그리퍼부(300)는, 상기 고중량 프로브 카드를 파지하는 그리퍼(340); 상기 제2암 구동부(250)에 회전 가능하게 결합되는 장착 프레임(320); 상기 장착 프레임(320)에 결합되며, 상기 그리퍼(340)의 파지 위치를 파악하는 비전 카메라(310);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 장착 프레임(320)은, 전방측 단부에 결합되고, 상기 그리퍼(340)의 위치를 조절하는 위치 조작부재(326)가 장착되는 위치 안내 프레임(324)과, 상기 위치 안내 프레임(324)의 하단부에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 그리퍼(340)가 결합되는 그리퍼 팁(328)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명의 실시예에 의하면, 설정된 주행 경로를 따라 이동하면서 고중량 프로브 카드를 픽업, 이송 및 적재함으로써, 고가의 고중량 프로브 카드를 안정적으로 적시 공급이 가능함에 따라 생산 효율성을 극대화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 의하면, 작업자를 배치하지 않은 상태에서도 설정된 자율 주행 경로를 따라 고중량의 프로브 카드에 대한 무인 이송 및 적재가 가능하기 때문에 작업자가 배치되어야 할 공간이 불필요하며, 주행 경로에 대한 최소한이 작업 공간만으로도 고중량의 프로브 카드의 이송 및 적재가 가능한 효과가 있다.
더불어, 본 발명의 다양하면서도 유익한 장점과 효과는 상술한 내용에 한정되지 않으며, 본 발명의 구체적인 실시 형태를 설명하는 과정에서 보다 쉽게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 나타낸 사시도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 나타낸 측면도,
도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 나타낸 정면도 및 배면도,
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치를 나타낸 평면도,
도 6 내지 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치의 업다운 유닛부를 나타낸 도면,
도 9 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치의 제1암 구동부를 나타낸 도면,
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치의 제2암 구동부를 나타낸 도면,
도 12 내지 도 14는 본 발명의 일 실시예에 따른 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치의 그리퍼부를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조 부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 이하에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "가지다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재될 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 하며, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 또한, 본 발명의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 식별부호를 사용할 수 있다. 이러한 식별부호는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것이고, 설명의 편의를 위하여 사용되는 것일 뿐, 그 식별부호에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속" 된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하도록 한다.
도시된 바와 같이, 본 발명의 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치는 고중량의 프로브 카드의 반송이 이루어질 수 있도록 자율 주행 방식으로 이동하고, 프로브 카드가 안착될 수 있도록 지지하는 본체부(100)와, 본체부(100)의 상부에 결합되며, 프로브 카드를 설비에서 취출, 이송 및 적재시키는 암 어셈블리(200)와, 암 어셈블리(200)에 구성되며, 프로브 카드의 위치를 인식하고, 인식한 프로브 카드를 파지하는 그리퍼부(300)를 포함하여 구성된다.
본체부(100)는 본 발명의 프로브 카드 이송 및 적재장치가 이동할 수 있도록 이송수단(120)이 구성되는 이송 본체부(110)와, 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 구동 제어부(미도시)와 배터리(미도시)가 내장되며, 암 어셈블리(200)의 업다운 유닛부(210)가 장착되는 컨트롤 본체부(130)와, 컨트롤 본체부(130)의 상부에 결합되고, 프로브 카드가 정위치에 안착될 수 있도록 지지하는 적재 상판(140)을 포함하여 구성된다.
이송 본체부(110)는 구동 제어부의 제어에 따라 소정의 회전력을 제공하는 이송수단 구동부 모터(126)와, 이송수단 구동부 모터(126)와 결합되어 본체부(100)를 이송시키는 제1 및 제2이송수단(122, 124)으로 구성된다.
이송수단 구동부 모터(126)는 통상의 휠 모터로 이루어질 수 있으며, 제1 및 제2이송수단(122, 124) 각각에 결합되어 소정의 회전력을 제공하도록 구성될 수 있다.
이때, 제1이송수단(122)은 이송 본체부(110)의 하부 양측부에 구성되어, 본체부(100)의 방향을 전환할 수 있도록 구성될 수 있다. 또한, 제2이송수단(124)은 제1이송수단(122)의 전방 및 후방부에 각각 구성되며, 본체부(100)의 직진 이동이 이루어질 수 있도록 구성된다.
아울러, 이송 본체부(110)에는 일측, 또는 양측부에 각각 구성되며, 이송수단 구동부 모터(126)의 구동시 소정의 빛을 발광하는 발광 유닛(112)이 더 구성될 수 있다.
컨트롤 본체부(130)는 이송 본체부(110)의 상부에 구성되며, 미리 설정된 주행 경로를 따라 본체부(100), 즉 본 발명의 프로브 카드 이송 및 적재장치가 이동할 수 있도록 이송수단 구동부 모터(126)의 구동을 제어하는 구동 제어부가 구성되며, 본 발명의 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 위한 전원을 공급하는 배터리가 내장되도록 구성된다.
이러한 컨트롤 본체부(130)에는 상기 구동 제어부와 네트워크로 연결되며, 프로프 카드를 적재하는 적재 암 어셈블리(200)의 동작시 장애물을 인식하고, 인식한 장애물을 회피하여 주행이 이루어질 수 있도록 하는 Safety Lasar Sensor(132)가 구성된다.
이러한 Safety Lasar Sensor(132)는 이송 본체부(110)에 구성되는 이송수단(120)이 구동 제어부에 의해 설정된 경로를 이탈하는 경우, 이를 감지하여 경로 이탈 정보를 생성하며, 생성한 경로 이탈 정보를 구동 제어부로 전송하여 이송수단(120)의 구동을 제어하도록 구성될 수 있다.
Safety Lasar Sensor(132)는 정해진 경로 정보를 포함하는 인식 마크를 인식하도록 구성될 수 있으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
여기서, Safety Lasar Sensor(132)는 프로브 카드 이송 및 적재장치의 자율 주행이 이루어질 때, 설정된 경로 정보를 따라 이동이 이루어지고 있는지 여부를 확인할 수 있도록 경로 탐색 기능을 더 수행할 수 있으나, 이에 한정하는 것은 안다.
또한, 컨트롤 본체부(130)에는 적재 암 어셈블리(200)의 동작 여부를 감지하고, 감지한 적재 암 어셈블리(200)의 동작 신호를 구동 제어부로 전송하여 이 적재 암 어셈블리(200)에 대한 동작 상태의 파악이 이루어질 수 있도록 하는 적재 암 동작 탐색부(134)가 구성된다.
또한, 컨트롤 본체부(130)에는 구동 제어부로 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 제어신호를 전송하는 조작모듈(139)이 구성된다.
구동 제어부는 상기 Safety Lasar Sensor(132) 및 적재 암 동작 탐색부(134)로부터 전송되는 정보들을 분석하여 프로브 카드의 취출 및 교체 위치, 취출된 프로브 카드를 반송할 반송 위치에 대한 경로 정보를 생성하며, 생성한 경로 정보를 조작모듈(139)로 전송하여 표시가 이루어지도록 구성될 수 있다.
한편, 본 발명의 구동 제어부는 프로브 카드 이송 및 적재장치가 이동해야할 경로에 대한 정보를 생성하고, 생성한 경로 정보를 바탕으로 이송수단 구동부 모터(126)의 구동을 제어한다.
또한, 구동 제어부는, 조작모듈(139)과 네트워크로 연결되며, 이 조작모듈(139)을 통해 수동으로 입력된 경로 정보를 바탕으로 프로브 카드 이송 및 적재 장치의 이동이 이루어질 수 있도록 이송수단 구동부 모터(126)의 구동을 제어할 수 있다.
한편, 본 발명의 구동 제어부는 배터리와 연동하여 이 배터리로부터 충전 요청 신호를 수신받아 이송수단 구동부 모터(126)의 구동을 제어할 수 있다.
이때, 구동 제어부는 전원 충전이 이루어질 위치 정보가 저장될 수 있으며, 상기 전원 충전 위치는 후술할 충전 유닛부(160)와 전기적 연결이 이루어지는 도킹장치의 위치일 수 있다.
아울러, 컨트롤 본체부(130)에는 적재 상판(140)의 중앙부에 위치하도록 구성되고, 구동 제어부와 네트워크로 연결되어 프로브 카드의 안착 여부를 감지하며, 감지한 감지 신호를 구동 제어부로 전송하는 거치 감지 센서(150)가 구성된다.
이때, 거치 감지 센서(150)는 후술할 그리퍼부(300)의 비전 카메라(310)와 동축선상에 위치할 수 있도록 구성되어 프로브 카드가 안착될 위치에 대한 정보를 제공할 수 있도록 구성된다.
또한, 컨트롤 본체부(130)에는 후면부에 형성되며, 배터리 및 도킹장치(미도시)와 각각 전기적 연결이 이루어지도록 구성되고, 상기 도킹장치와의 연결이 이루어지는 경우 배터리를 충전시키는 충전 유닛부(160)가 더 구성된다.
한편, 본 발명의 컨트롤 본체부(130)에는 그 상부면으로 프로브 카드가 안착되며, 안착된 프로브 카드가 안정적으로 반송될 수 있도록 지지하는 적재 상판(140)이 결합된다.
적재 상판(140)은 컨트롤 본체부(130)의 상측 전방부 및 후방부에 각각 구성되며, 취출된 프로브 카드(사용이 완료된 프로브 카드)와 교체할 프로브 카드(미사용 프로브 카드)가 각각 안착이 이루어지도록 구성된다.
이러한 적재 상판(140)에는 프로브 카드가 안착되며, 안착된 프로브 카드를 고정시키는 거치턱(144)이 형성되어 프로브 카드 이송 및 적재 장치의 자율 주행이 이루어질 때 발생하는 진동이나 충격 등에 의해 안착된 프로브 카드의 위치가 임의적으로 변경되는 것을 방지하는 거치부재(142)가 구성된다.
여기서, 거치부재(142)는 적재 상판(140)의 중심을 기준으로 등간격으로 구성되되, 다수개로 구성될 수 있으며, 본 발명에서는 120도 간격으로 총 3개로 구성되는 것으로 도시하였으나, 이에 한정하는 것은 아니다.
아울러, 본 발명의 컨트롤 본체부(130)에는 후술할 암 어셈블리(200)의 업다운 유닛부(210)가 장착되며, 구동 제어부와 업다운 유닛부(210)가 네트워크로 연결될 수 있게 지지하고, 구동 제어부의 제어에 따라 업다운 유닛부(210)의 구동 제어가 이루어지도록 구성될 수 있다.
암 어셈블리(200)는 컨트롤 본체부(130)에 고정 결합되고, 구동 제어부의 제어에 따라 승강 및 하강 작동이 이루어지도록 구성되는 업다운 유닛부(210)와, 일단부가 업다운 유닛부(210)와 회전 가능하게 결합되는 제1암 구동부(230)와, 제1암 구동부(230)의 타단부에 회전 가능하게 결합되고, 그 선단부에 그리퍼부(300)가 결합되는 제2암 구동부(250)를 포함하여 구성된다.
업다운 유닛부(210)는 도 6 내지 도 8에 도시된 바와 같이, 제1 및 제2암 구동부(230)와 제2암 구동부(230)에 연결되는 그리퍼부(300)의 높이를 조절할 수 있도록 승강 및 하강 작동이 이루어지며, 제1암 구동부(230)가 X축 방향, 즉 좌,우로의 회전 작동이 이루어질 수 있도록 지지하는 역할을 한다.
이러한 업다운 유닛부(210)는 내부 양측에 각각 구성되되, 서로 대응되는 위치에 결합되고, 구동 제어부의 제어에 따라 구동하는 승강모터(212)와, 이 승강모터(212)의 구동시 승강 및 하강 작동이 이루어지는 볼 스크류(214)와, 볼 스크류(214)의 작동시 승강 및 하강하며 그 상측 중앙부로 제1암 구동부(230)와 연결되는 승강축(220)이 구성되는 승강 안내패널(218)과, 승강모터(212)의 양측부에 각각 구성되며, 볼 스크류(214)의 작동시 승강 안내패널(218)이 정밀하고 안정적으로 승강 및 하강할 수 있도록 안내하는 LM 가이드 부재(216)를 포함하여 구성된다.
여기서, 승강축(220)은 그 상단부에 제1암 구동부(230)의 후방측 연결 드라이브(236)가 삽입 및 고정되는 드라이브 고정부가 구성된다.
아울러, 업다운 유닛부(210)에는 승강축(220)의 승강 및 하강 작동시 작업자를 보호하며, 업다운 유닛부(210)를 이루는 구성요소들이 내장되도록 지지하는 보호 가이드(215)가 더 구성될 수 있다.
제1암 구동부(230)는 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 승강축(220)의 상단부에 삽입 및 고정되고, 이 승강축(220)의 축 중심을 기준으로 X축 방향에 대한 회전 작동이 이루어는 것으로 고중량 프로브 카드의 픽업, 취출, 이송, 적재 및 반입이 이루어질 수 있도록 하는 구성요소로서, 제1암 구동 하우징(232), 제1암 회전수단(234), 후방측 연결 드라이브(236), 전방측 연결 드라이브(238)로 구성된다.
제1암 구동 하우징(232)은 후방 및 전방부에 각각 관통홀을 형성하여 후방측 연결 드라이브(236)와 전방측 연결 드라이브(238)가 삽입 및 관통하도록 구성되며, 이 후방측 연결 드라이브(236)와 전방측 연결 드라이브(238)가 각각 승강축(220)과 제2암 구동부(250)의 암 연결부재(256)와 연결될 수 있도록 구성된다.
이러한 제1암 구동 하우징(232)은 상기 후방측 연결 드라이브(236)와 전방측 연결 드라이브(238)를 회전시키는 제1암 회전수단(234)이 장착되고, 이 제1암 회전수단(234)의 구동 여부를 제어할 수 있도록 구동 제어부, 또는 작업자의 휴대폰이나 작업용 컴퓨터 등과 같은 단말장치와 무선 네트워크로 연결되어 상기 제1암 회전수단(234)의 구동 제어 신호를 수신받는 통신 및 제어부(242)가 구성된다.
또한, 제1암 구동 하우징(232)에는 통신 및 제어부(242)에 의해 제1암 구동부(230)의 구동시 소정의 빛을 발광하여 제1암 구동부(230)가 작동중임을 알려주는 램프 유닛(244)이 더 구성될 수 있다.
제1암 회전수단(234)은 통상의 휠 모터일 수 있으며, 후방측 연결 드라이브(236)와 벨트 등과 같은 동력 제공 수단에 의해 연결되는 후방측 암 회전수단(234a)과, 전방측 연결 드라이브(238)와 연결되는 전방측 암 회전수단(234b)으로 구성된다.
후방측 연결 드라이브(236)는 승강축(220)과 연결되어 이 승강축(220)의 승강 및 하강 작동시 제1암 구동부(230)의 승강 및 하강이 이루어지도록 구성되며, 전술한 후방측 암 회전수단(234a)의 구동시 X축 방향에 대한 회전 작동이 이루어질 수 있도록 구성된다.
전방측 연결 드라이브(238)는 제2암 구동부(250)의 암 연결부재(256)가 삽입 및 고정되고, 상기 전방측 암 회전수단(234b)의 구동 여부에 따라 상기 제2암 구동부(250)를 X축 방향으로 회전 작동이 이루어질 수 있도록 구성된다.
제2암 구동부(250)는 도 11에 도시된 바와 같이, 후방부가 제1암 구동부(230)와 연결되게 구성되며, 전방부가 그리퍼부(300)와 연결되게 구성되어 이 제1암 구동부(230)의 구동시 그리퍼부(300)를 X축 방향으로 회전시키는 것으로, 제2암 구동 하우징(252), 제2암 회전수단(254), 암 연결부재(256), 그리퍼 연결 드라이브(258)를 포함하여 구성된다.
제2암 구동 하우징(252)은 후방부에 제1암 구동부(230)의 전방측 연결 드라이브(238)와 연결되며, 이 전방측 연결 드라이브(238)의 회전 방향을 따라 제2암 구동부(250)의 회전이 이루어지도록 하는 암 연결부재(256)가 결합된다.
또한, 제2암 구동 하우징(252)에는 그 전방부에 구성되며, 그리퍼부(300)의 장착 프레임(320)을 X축 방향으로 회전시킬 수 있도록 회전력을 제공하는 제2암 회전수단(254)과, 제2암 회전수단(254)과 동력 제공 수단과 연결되며, 장착 프레임(320)과 연결되어 그리퍼부(300)를 회전시키는 그리퍼 연결 드라이브(258)가 결합된다.
이때, 제2암 회전수단(254)은 전술한 통신 및 제어부(242)의 제어에 의해 구동하도록 구성될 수 있다.
그리퍼부(300)는 제2암 구동부(250)와 회전 가능하게 결합되며, 고중량 프로브 카드의 픽업, 취출, 이송, 적재 및 반입시키는 것으로, 비전 카메라(310), 장착 프레임(320), 그리퍼(340)를 포함하여 구성된다.
비전 카메라(310)는 장착 프레임(320)의 일측부에 결합되어 그리퍼(340)의 파지 위치를 파악하며, 그리퍼(340)가 고중량 프로브 카드를 안전하게 파지할 수 있도록 구성된다.
이러한 비전 카메라(310)는 제2암 구동부(250)에 의해 장착 프레임(320)과 함께 X축 방향으로 회전하면서 그리퍼(340)의 파지 위치에 대한 파악이 이루어지도록 구성되며, 바람직하게는 고중량 프로브 카드에 구성되는 정렬마크를 인식하여 통신 및 제어부(242)로 전송하여 제2암 구동부(250) 회전 작동 및 그리퍼부(300)의 파지 작동이 이루어지도록 구성된다.
장착 프레임(320)은 제2암 구동부(250)와 회전 가능하게 결합되고, 그리퍼(340)의 위치 이동이 이루어질 수 있도록 지지하는 것으로, 제2암 구동부(250)의 그리퍼 연결 드라이브(258)와 결합되어 이 그리퍼 연결 드라이브(258)의 작동 여부에 따라 회전하도록 구성된다.
또한, 장착 프레임(320)에는 그 전방측 단부에 결합되고, 일측으로 그리퍼(340)의 위치를 조절하는 위치 조작부재(326)가 장착되는 위치 안내 프레임(324)과, 위치 안내 프레임(324)의 하단부에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 그리퍼 팁(328)을 포함하여 구성된다.
여기서, 위치 안내 프레임(324)의 하단부에는 그리퍼 팁(328)의 슬라이딩 이동을 안내하는 안내 레일홈이 형성될 수 있다.
그리퍼 팁(328)은 통상의 레일부재로 이루어질 수 있으며, 그리퍼(340)와 결합된다.
이때, 그리퍼 팁(328)에는 위치 안내 프레임(324)의 안내 레일홈을 따라 슬라이딩 이동이 이루어질 수 있도록 하는 구동수단이 더 구성될 수 있을 것이다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 프로브 카드
100: 본체부 110: 이송 본체부
112: 발광 유닛 120: 이송수단
122: 제1이송수단 124: 제2이송수단
126: 이송수단 구동부 모터 130: 컨트롤 본체부
132: Safety Lasar Sensor 134: 적재 암 동작 탐색부
139: 조작모듈 140: 적재 상판
142: 거치부재 144: 거치턱
150: 거치 감지 센서 160: 충전 유닛부
200: 적재 암 어셈블리 210: 업다운 유닛부
212: 승강모터 214: 볼 스크류
215: 보호 가이드 216: LM 가이드
218: 승강 안내패널 220: 승강축
230: 제1암 구동부 232: 제1암 구동 하우징
234: 제1암 회전수단 234a: 후방측 암 회전수단
234b: 전방측 암 회전수단 236: 후방측 연결 드라이브
238: 전방측 연결 드라이브 242: 통신 및 제어부
244: 램프 유닛 250: 제2암 구동부
252: 제2암 구동 하우징 254: 제2암 회전수단
256: 암 연결부재 258: 그리퍼 연결 드라이브
300: 그리퍼부 310: 비전 카메라
320: 장착 프레임 324: 위치 안내 프레임
326: 조작부재 328: 그리퍼 팁
340: 그리퍼

Claims (9)

  1. 설정된 주행 경로를 따라 이동하는 본체부(100);
    상기 본체부(100)에 결합되고, 승강 및 하강 작동이 이루어지도록 구성되는 업다운 유닛부(210)와, 상기 업다운 유닛부(210)와 회전 가능하게 결합되는 제1암 구동부(230)와, 상기 제1암 구동부(230)의 타단부에 회전 가능하게 결합되는 제2암 구동부(250)를 포함하는 적재 암 어셈블리(200); 및
    상기 제2암 구동부(250)에 회전 가능하게 결합되며, 고중량 프로브 카드를 파지하여 상기 본체부(100)에 안착시키는 그리퍼부(300);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체부(100)는,
    상기 주행 경로를 따라 이동하는 이송수단(120)이 구비된 이송 본체부(110);
    상기 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 구동 제어부 및 배터리가 내장되며, 상기 적재 암 어셈블리(200)가 장착되는 컨트롤 본체부(130);
    상기 컨트롤 본체부(130)의 상부에 결합되고, 프로브 카드가 정위치에 안착될 수 있도록 지지하는 적재 상판(140);
    상기 적재 상판(140)에 구성되며, 프로브 카드의 안착 여부를 감지하여 상기 구동 제어부로 전송하는 거치 감지 센서(150); 및
    상기 컨트롤 본체부(130)에 형성되며, 상기 배터리와 도킹장치의 전기적 연결이 이루어지도록 구성되는 충전 유닛부(160);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 컨트롤 본체부(130)에는,
    장애물을 인식하고, 인식한 장애물을 회피하여 주행이 이루어질 수 있도록 하는 Safety Lasar Sensor(132); 및
    상기 적재 암 어셈블리(200)의 동작 여부를 감지하여 상기 적재 암 어셈블리(200)에 대한 동작 상태를 파악할 수 있도록 하는 적재 암 동작 탐색부(134);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 컨트롤 본체부(130)에는,
    상기 Safety Lasar Sensor(132) 및 적재 암 동작 탐색부(134)로부터 전송되는 정보들을 분석하여 프로브 카드의 취출 및 교체 위치, 취출된 프로브 카드를 반송할 반송 위치에 대한 경로 정보를 생성하는 구동 제어부; 및
    상기 구동 제어부로 프로브 카드 이송 및 적재장치의 구동을 제어하는 제어신호를 전송하는 조작모듈(139)
    이 더 구성되는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 업다운 유닛부(210)는,
    구동 제어부의 제어에 따라 구동하는 승강모터(212)와,
    상기 승강모터(212)의 구동시 승강 및 하강 작동이 이루어지는 볼 스크류(214)와,
    상기 볼 스크류(214)의 작동시 승강 및 하강하며 그 상측 중앙부로 상기 제1암 구동부(230)와 연결되는 승강축(220)이 구성되는 승강 안내패널(218)과,
    상기 볼 스크류(214)의 작동시 승강 안내패널(218)의 승강 및 하강 작동을 안내하는 LM 가이드 부재(216)
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1암 구동부(230)는,
    통신 및 제어부(242)가 구성되는 제1암 구동 하우징(232);
    상기 제1암 구동 하우징(232)의 전방 및 후방부에 구성되며, 상기 제2암 구동부(250) 및 상기 업다운 유닛부(210)와 각각 연결되는 제1암 회전수단(234);
    상기 제1암 회전수단(234)과 회전 가능하게 연결되고, 상기 제1암 구동 하우징(232)을 회전시키는 후방측 연결 드라이브(236); 및
    상기 제1암 회전수단(234)과 회전 가능하게 연결되고, 상기 제2암 구동부(250)를 회전시키는 전방측 연결 드라이브(238);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2암 구동부(250)는,
    제2암 구동 하우징(252);
    상기 제2암 구동 하우징(252)의 후방부에 구성되며, 상기 후방측 연결 드라이브(238)와 연결되는 암 연결부재(256);
    상기 제2암 구동 하우징(252)의 전방부에 구성되며, 그리퍼부(300)가 회전 가능하게 결합되는 그리퍼 연결 드라이브(258); 및
    상기 그리퍼 연결 드라이브(258)를 회전시키는 제2암 회전수단(254);
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 그리퍼부(300)는,
    상기 고중량 프로브 카드를 파지하는 그리퍼(340);
    상기 제2암 구동부(250)에 회전 가능하게 결합되는 장착 프레임(320);
    상기 장착 프레임(320)에 결합되며, 상기 그리퍼(340)의 파지 위치를 파악하는 비전 카메라(310);
    를 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 장착 프레임(320)은,
    전방측 단부에 결합되고, 상기 그리퍼(340)의 위치를 조절하는 위치 조작부재(326)가 장착되는 위치 안내 프레임(324)과,
    상기 위치 안내 프레임(324)의 하단부에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 그리퍼(340)가 결합되는 그리퍼 팁(328)
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 고중량 프로브 카드 이송 및 적재장치.
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