KR20240020084A - Cleaning air injection nozzle module and dry cleaning unit having the same - Google Patents

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KR20240020084A
KR20240020084A KR1020220098097A KR20220098097A KR20240020084A KR 20240020084 A KR20240020084 A KR 20240020084A KR 1020220098097 A KR1020220098097 A KR 1020220098097A KR 20220098097 A KR20220098097 A KR 20220098097A KR 20240020084 A KR20240020084 A KR 20240020084A
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Abstract

본 발명은 본 발명은 세정에어 분사노즐모듈을 제공한다. 상기 세정에어 분사노즐모듈은, 외부로부터 공급되는 세정 에어가 유동되는 메인 유로가 형성되는 노즐 몸체부; 및 상기 메인 유로와 연결되도록 상기 노즐 몸체부의 설정된 설치 영역에 탈착 가능하도록 배치되는 분사 노즐부를 포함하되, 상기 분사 노즐부는, 상기 설치 영역에 결합됨을 통해 유동되는 상기 세정 에어를 분사시키는 노즐홀들을 형성한다.The present invention provides a cleaning air injection nozzle module. The cleaning air injection nozzle module includes a nozzle body portion in which a main flow path through which cleaning air supplied from the outside flows is formed; and a spray nozzle portion detachably disposed in a set installation area of the nozzle body so as to be connected to the main passage, wherein the spray nozzle unit is coupled to the installation area to form nozzle holes that spray the cleaning air flowing through. do.

Description

세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트{Cleaning air injection nozzle module and dry cleaning unit having the same}Cleaning air injection nozzle module and dry cleaning unit including the same {Cleaning air injection nozzle module and dry cleaning unit having the same}

본 발명은 세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 분사 노즐의 하단부를 교체 가능하게 구현하여 다양한 형상의 노즐홀을 교체 사용하도록 할 수 있는 세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트에 관한 것이다.The present invention relates to a cleaning air injection nozzle module and a dry cleaning unit including the same. More specifically, a cleaning air injection nozzle module that allows the lower end of the injection nozzle to be replaced so that nozzle holes of various shapes can be replaced. and a dry cleaning unit including the same.

일반적으로 반도체나 LCD 혹은 OLED 같은 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조 공정에서, 주변 환경으로부터 발생하는 파티클 등의 이물질을 제거하기 위해서 에어 블로잉(Air-Blowing) 공정이 적용된다.Generally, in the manufacturing process of flat panel displays (FPD) such as semiconductors, LCDs, or OLEDs, an air-blowing process is applied to remove foreign substances such as particles generated from the surrounding environment.

예를 들어, LCD 디스플레이 제조공정 중에서 마지막 단계인 AOI 검사 공정의 경우, 단순한 부유성 파티클 한 개만 떨어져 있어도 검사장비는 불량으로 인식하기 때문에 검사 수율 저하를 초래하므로, 검사 직전에 검사 대상물의 표면을 에어(Air)로 불어주는 공정이 유용하다.For example, in the case of the AOI inspection process, which is the last step in the LCD display manufacturing process, even if just one floating particle is separated, the inspection equipment recognizes it as defective, resulting in a decrease in inspection yield. Therefore, the surface of the inspection object must be aired immediately before inspection. The process of blowing with (air) is useful.

그러나 에어 블로잉의 경우, 10μm 이하의 파티클은 제거되지 않는데에 비해서 최근 디스플레이의 픽셀 사이즈는 계속 작아지기 때문에 에어 블로잉보다 더 강력한 세정력을 갖는 건식세정이 요구되고 있다.However, in the case of air blowing, particles smaller than 10 μm are not removed, but the pixel size of recent displays continues to decrease, so dry cleaning with stronger cleaning power than air blowing is required.

특히 건식 세정을 실시하는 경우 세정 대상물의 종류 및 세정 대상물의 세정면의 형상에 따라 노즐홀의 형상을 결정하는 것이 중요하다. 상기 노줄홀의 형상에 따라 세정면에 대한 세정 효율이 서로 상이할 수 있다.In particular, when performing dry cleaning, it is important to determine the shape of the nozzle hole according to the type of object to be cleaned and the shape of the cleaning surface of the object to be cleaned. Depending on the shape of the nozzle hole, the cleaning efficiency for the cleaning surface may be different.

종래에는 서로 상이한 세정면을 가지는 세정 대상물들에 따라 각기 다른 노즐홀 형상을 갖는 세정 장치를 다수로 사용한다. 따라서 종래에는 서로 다른 세정 대상물을 세정하는 공정에 투입되는 장치들이 증가함에 따라 세정 공정 비용이 증가하고, 각각의 세정 대상물에 대한 세정 효율을 개별적으로 관리하여야 하는 문제점이 있다.Conventionally, a number of cleaning devices with different nozzle hole shapes are used depending on the cleaning objects having different cleaning surfaces. Therefore, in the related art, as the number of devices used in the process of cleaning different objects increases, the cost of the cleaning process increases, and there is a problem in that the cleaning efficiency for each object must be managed individually.

대한민국 등록특허 제10-2312841호(등록일자 : 2021년 10월 07일)Republic of Korea Patent No. 10-2312841 (Registration Date: October 7, 2021)

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 세정 에어가 유동되는 유로와 연결되는 노즐 몸체부의 하단부에 분사 노즐부를 탈착 가능하게 구성함을 통해, 서로 다른 노즐홀을 갖는 분사 노즐부를 선택적으로 교체할 수 있는 세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트를 제공하는 것이다.The present invention was devised to solve the above-described problem. The purpose of the present invention is to provide a detachable spray nozzle portion at the lower end of the nozzle body connected to the flow path through which cleaning air flows, thereby having different nozzle holes. To provide a cleaning air injection nozzle module that can selectively replace the injection nozzle portion and a dry cleaning unit including the same.

또한 본 발명의 다른 목적은 노즐 몸체부에 분사 노즐부를 다수로 구비하도록 하고, 이 분사 노즐부들 중 세정 대상물의 세정면에 대한 세정 요건에 부합되는 노즐홀이 배치되도록 해당 분사 노즐부를 자동으로 배치하여 교체할 수 있는 세정에어 분사노즐모듈 및 이를 포함하는 건식세정 유니트를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a plurality of spray nozzle parts on the nozzle body, and automatically arrange the spray nozzle parts so that nozzle holes that meet the cleaning requirements for the cleaning surface of the object to be cleaned are arranged among the spray nozzle parts. The aim is to provide a replaceable cleaning air injection nozzle module and a dry cleaning unit including the same.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the objects mentioned above, and other objects and advantages of the present invention that are not mentioned can be understood by the following description and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Additionally, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention can be realized by the means and combinations thereof indicated in the patent claims.

상기의 목적들을 달성하기 위해 본 발명은 세정에어 분사노즐모듈을 제공한다.To achieve the above objectives, the present invention provides a cleaning air injection nozzle module.

상기 세정에어 분사노즐모듈은, 외부로부터 공급되는 세정 에어가 유동되는 메인 유로가 형성되는 노즐 몸체부; 및,The cleaning air injection nozzle module includes a nozzle body portion in which a main flow path through which cleaning air supplied from the outside flows is formed; and,

상기 메인 유로와 연결되도록 상기 노즐 몸체부의 설정된 설치 영역에 탈착 가능하도록 배치되는 분사 노즐부를 포함하되,It includes a spray nozzle portion detachably disposed in a set installation area of the nozzle body portion to be connected to the main flow passage,

상기 분사 노즐부는,The spray nozzle part,

상기 설치 영역에 결합됨을 통해 유동되는 상기 세정 에어를 분사시키는 노즐홀들을 형성한다.Nozzle holes that spray the cleaning air flowing through the installation area are formed.

여기서 상기 메인 유로는,Here, the main flow path is,

상기 노즐 몸체부의 상단에서 하단을 따라 형성되고,Formed from the top to the bottom of the nozzle body,

상기 노즐 몸체부의 하단에는,At the bottom of the nozzle body,

상기 메인 유로와 연결되는 설치홈이 형성되되,An installation groove connected to the main flow path is formed,

상기 설치홈은, 상기 설치 영역인 것이 바람직하다.The installation groove is preferably the installation area.

그리고 상기 분사 노즐부는,And the spray nozzle part,

상기 설치홈에 끼워져 결합되는 노즐 블록과,A nozzle block fitted and coupled to the installation groove,

상기 노즐 블록의 상단에 상기 메인 유로의 내측을 따라 돌출되는 가이드 블록을 포함하되,Includes a guide block protruding along the inside of the main passage at the top of the nozzle block,

상기 노즐 블록의 양측면에는, 노즐홈들이 형성되고,Nozzle grooves are formed on both sides of the nozzle block,

상기 노즐 블록의 양측면이 상기 설치홈의 양측 내벽에 밀착되는 상태에서 상기 노즐홈들과 상기 양측 내벽의 사이는 상기 노즐홀들을 형성하는 것이 바람직하다.Preferably, the nozzle holes are formed between the nozzle grooves and the both inner walls, with both sides of the nozzle block in close contact with the inner walls on both sides of the installation groove.

또한 상기 가이드 블록은,Additionally, the guide block is

상방을 따라 폭이 점진적으로 좁아지도록 다수의 단차를 형성하는 것이 바람직하다.It is desirable to form a number of steps so that the width gradually narrows along the top.

또한 상기 분사 노즐부는,In addition, the spray nozzle part,

상기 노즐 몸체부의 측부에서 진입되는 결합핀이 끼워져 상기 설치홈에 결합되는 것이 바람직하다.It is preferable that a coupling pin entering from the side of the nozzle body is inserted and coupled to the installation groove.

또한 상기 노즐 몸체부는,In addition, the nozzle body part,

상기 설치홈의 중심축선을 경계를 이루어 서로 결합되도록 한 쌍의 단위 노즐 몸체를 이루는 것이 바람직하다.It is preferable to form a pair of unit nozzle bodies so that they are coupled to each other bordering the central axis of the installation groove.

특히, 상기 노즐 블록의 양측부는, 상기 설치홈의 양측 내벽과 단차 결합된다.In particular, both sides of the nozzle block are steppedly coupled to inner walls on both sides of the installation groove.

또한 상기 단차 결합되는 부분에는, 기밀을 위한 기밀 부재가 배치된다.Additionally, an airtight member for airtightness is disposed at the step-coupled portion.

또한 상기 분사 노즐부는,In addition, the spray nozzle part,

상기 노즐 몸체부의 측부에 형성되는 인입홀을 통해 인입되어 상기 설치홈에 배치된다.It is introduced through an inlet hole formed on a side of the nozzle body and placed in the installation groove.

또한 상기 노즐 몸체부의 양단부에는 한 쌍의 삽입홀이 형성되고,In addition, a pair of insertion holes are formed at both ends of the nozzle body,

상기 노즐 몸체부는 이동부를 구비하고,The nozzle body portion has a moving part,

상기 분사 노즐부는,The spray nozzle part,

서로 다른 형상의 노즐홈들이 형성되도록 상기 분사 노즐부의 길이 방향을 따라 다수의 영역을 형성하고,Forming a plurality of areas along the longitudinal direction of the spray nozzle unit so that nozzle grooves of different shapes are formed,

상기 다수의 영역 각각의 길이는, 상기 설치홈의 길이에 상응하고,The length of each of the plurality of regions corresponds to the length of the installation groove,

상기 분사 노즐부의 하단에는 기어이가 형성되고,A gear tooth is formed at the bottom of the spray nozzle portion,

상기 이동부는,The moving part,

기어와, 상기 기어를 회전시키는 기어 모터를 구비하고,Equipped with a gear and a gear motor that rotates the gear,

상기 기어는, 상기 기어이와 치합되고,The gear is meshed with the gear teeth,

상기 기어 모터는 제어기의 제어에 의해 회전되어 상기 기어를 회전시키고,The gear motor is rotated under the control of a controller to rotate the gear,

상기 회전되는 기어는 상기 분사 노즐부의 하단의 기어이와 치합되는 상태로 상기 분사 노즐부를 이동시키고,The rotating gear moves the spray nozzle unit in a state where it engages with gear teeth at the bottom of the spray nozzle unit,

상기 제어기에는,In the controller,

세정 대상물의 종류에 따라 상기 노즐홈들의 형상이 미리 설정되고,The shapes of the nozzle grooves are preset according to the type of cleaning object,

선택기를 통해 상기 세정 대상물의 종류가 선택되면, 상기 제어기는 상기 노즐홈들의 형상 중, 선택된 상기 세정 대상물의 종류에 부합되는 노즐홀의 형상을 결정하고, 결정된 상기 노즐홀들이 상기 설치홈에 위치되도록 상기 기어 모터를 사용하여 상기 분사 노즐부를 수평 이동시킬 수 있다.When the type of the cleaning object is selected through the selector, the controller determines a shape of a nozzle hole that matches the selected type of the cleaning object among the shapes of the nozzle grooves, and the determined nozzle holes are positioned in the installation groove. The spray nozzle unit can be horizontally moved using a gear motor.

다른 실시예에 따라 본 발명은 세정에어 분사노즐모듈; 및,According to another embodiment, the present invention includes a cleaning air injection nozzle module; and,

상기 세정에어 분사노즐모듈에 결합되어 상기 세정 에어를 공급하는 유니트 몸체를 포함하는 건식세정 유니트를 제공한다.A dry cleaning unit is provided including a unit body that is coupled to the cleaning air injection nozzle module and supplies the cleaning air.

본 발명은 세정 에어가 유동되는 유로와 연결되는 노즐 몸체부의 하단부에 분사 노즐부를 탈착 가능하게 구성함을 통해, 서로 다른 노즐홀을 갖는 분사 노즐부를 선택적으로 교체할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention has the effect of allowing the spray nozzle portion having different nozzle holes to be selectively replaced by configuring the spray nozzle portion to be detachable at the lower end of the nozzle body portion connected to the flow path through which cleaning air flows.

또한 본 발명은 노즐 몸체부에 분사 노즐부를 다수로 구비하도록 하고, 이 분사 노즐부들 중 세정 대상물의 세정면에 대한 세정 요건에 부합되는 노즐홀이 배치되도록 해당 분사 노즐부를 자동으로 배치하여 교체할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention provides a plurality of spray nozzle parts on the nozzle body, and the spray nozzle parts can be automatically arranged and replaced so that nozzle holes that meet the cleaning requirements for the cleaning surface of the object are arranged among the spray nozzle parts. It has an effect.

상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, specific effects of the present invention are described below while explaining specific details for carrying out the invention.

도 1은 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 분해 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 결합 사시도이다.
도 4는 도 1의 선 I-I를 따르는 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 분사 노즐부를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 일부를 보여주는 저면 사시도이다.
도 7은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 일부를 보여주는 평면도이다.
도 8은 한 쌍의 노즐 몸체부를 이루는 예를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 노즐 블록과 설치홈과 단차 결합을 이루는 것을 보여주는 단면도이다.
도 10은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 교체의 다른 예를 보여주는 도면이다.
도 11은 분사 노즐부가 이동되는 구조를 보여주는 저면도이다.Figure 1 is a perspective view showing a cleaning air injection nozzle module according to the present invention.
Figure 2 is an exploded perspective view showing the cleaning air injection nozzle module according to the present invention.
Figure 3 is a combined perspective view showing the cleaning air injection nozzle module according to the present invention.
Figure 4 is a cross-sectional view taken along line II in Figure 1;
Figure 5 is a perspective view showing a spray nozzle unit according to the present invention.
Figure 6 is a bottom perspective view showing a portion of the injection nozzle portion according to the present invention.
Figure 7 is a plan view showing a part of the spray nozzle portion according to the present invention.
Figure 8 is a diagram showing an example of forming a pair of nozzle body parts.
Figure 9 is a cross-sectional view showing a step coupling between the nozzle block and the installation groove according to the present invention.
Figure 10 is a diagram showing another example of replacement of the injection nozzle unit according to the present invention.
Figure 11 is a bottom view showing the structure in which the spray nozzle part is moved.

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.The above-mentioned objects, features, and advantages will be described in detail later with reference to the attached drawings, so that those skilled in the art will be able to easily implement the technical idea of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of known technologies related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. In the drawings, identical reference numerals are used to indicate identical or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다. Hereinafter, the “top (or bottom)” of a component or the arrangement of any component on the “top (or bottom)” of a component means that any component is placed in contact with the top (or bottom) of the component. Additionally, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다. Additionally, when a component is described as being “connected,” “coupled,” or “connected” to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but the other component is “interposed” between each component. It should be understood that “or, each component may be “connected,” “combined,” or “connected” through other components.

이하 첨부되는 도면들을 참조하여 본 발명의 세정에어 분사노즐모듈을 설명한다.Hereinafter, the cleaning air injection nozzle module of the present invention will be described with reference to the attached drawings.

본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈은 세정 에어가 공급되는 유니트 몸체의 하단에 결합되어 세정 에어를 공급 받아 하부로 분사할 수 있다. 상기 하부에는 세정 대상물이 배치된다. 상기 분사되는 세정 에어는 세정 대상물의 표면을 세정할 수 있다.The cleaning air injection nozzle module according to the present invention is coupled to the bottom of the unit body to which cleaning air is supplied, and can receive cleaning air and spray it downward. A cleaning object is disposed in the lower portion. The sprayed cleaning air can clean the surface of the object to be cleaned.

상기 세정에어 분사노즐모듈의 구성을 설명한다.The configuration of the cleaning air injection nozzle module will be described.

도 1은 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 사시도이다. 도 2는 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 분해 사시도이다. 도 3은 본 발명에 따른 세정에어 분사노즐모듈을 보여주는 결합 사시도이다. 도 4는 도 1의 선 I-I를 따르는 단면도이다.Figure 1 is a perspective view showing a cleaning air injection nozzle module according to the present invention. Figure 2 is an exploded perspective view showing the cleaning air injection nozzle module according to the present invention. Figure 3 is a combined perspective view showing the cleaning air injection nozzle module according to the present invention. Figure 4 is a cross-sectional view taken along line I-I in Figure 1;

도 1 내지 도 4를 참조 하면 본 발명에 따른 건식세정 유니트는 유니트 몸체(미도시)와, 세정에어 분사노즐모듈을 포함한다.Referring to Figures 1 to 4, the dry cleaning unit according to the present invention includes a unit body (not shown) and a cleaning air injection nozzle module.

상기 유니트 몸체에는 세정 에어가 공급되는 유로가 형성된다. 세정에어 분사노즐모듈은 상기 유니트 몸체의 상단에 결합된다.A flow path through which cleaning air is supplied is formed in the unit body. The cleaning air injection nozzle module is coupled to the top of the unit body.

상기 유로는 상기 세정에어 분사노즐모듈의 메인 유로에 연결될 수 있다.The flow path may be connected to the main flow path of the cleaning air injection nozzle module.

상기 세정에어 분사노즐모듈은 노즐 몸체부(100)와, 분사 노즐부(200)를 구비한다.The cleaning air injection nozzle module includes a nozzle body portion 100 and a spray nozzle portion 200.

상기 노즐 몸체부(100)는 일정 길이를 갖고, 상단에서 하단을 따라 폭이 점진적으로 좁아지도록 형성된다.The nozzle body 100 has a certain length and is formed to gradually narrow in width from the top to the bottom.

상기 노즐 몸체부(100)에는 상하를 관통하는 메인 유로(110)가 형성된다. 상기 메인 유로(110)는 노즐 몸체부의 중심축선을 따라 일정 길이 및 폭을 이루어 형성된다.A main passage 110 passing through the top and bottom is formed in the nozzle body 100. The main flow path 110 is formed to have a certain length and width along the central axis of the nozzle body.

상기 메인 유로(110)는 상부에서 공급되는 세정 에어가 유동되는 홀이다.The main flow path 110 is a hole through which cleaning air supplied from the top flows.

상기 노즐 몸체부(100)의 상단은 평면 형상으로 형성된다.The top of the nozzle body 100 is formed in a flat shape.

상기 노즐 몸체부(100)의 하단에는 설치 영역이 형성된다. 상기 설치 영역은 설치홈(120)으로 형성된다.An installation area is formed at the bottom of the nozzle body 100. The installation area is formed by an installation groove 120.

상기 설치홈(120)은 메인 유로(110)와 연결되도록 노즐 몸체부(100)의 하단 중앙에서 노즐 몸체부(100)의 길이 방향을 따라 일정 길이를 이루어 형성된다.The installation groove 120 is formed at a certain length along the longitudinal direction of the nozzle body 100 at the bottom center of the nozzle body 100 so as to be connected to the main passage 110.

도 4를 참조 하면, 노즐 몸체부(100)에 형성된 메인 유로(110)는 그 내벽이 하방을 따라 간격이 좁아지는 단차를 형성할 수 있다. 상기 단차는 하향 경사를 이루어 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4, the inner wall of the main passage 110 formed in the nozzle body 100 may form a step in which the gap narrows along the lower side. The step may be formed with a downward slope.

상기 메인 유로(110)는 제 1폭을 갖는 제 1홀(111)과, 상기 제 2폭을 갖는 제 2홀(112)을 갖는다. 상기 제 2홀(112)은 제 1홀(111)의 하부에 형성된다. 상기 제 2폭은 상기 제 1폭 보다 좁게 형성된다. 상기 제 1홀(111)과 상기 제 2홀(112)의 사이에는 경사진 제 1단차(111a)가 형성된다.The main flow path 110 has a first hole 111 having a first width and a second hole 112 having a second width. The second hole 112 is formed below the first hole 111. The second width is formed to be narrower than the first width. An inclined first step 111a is formed between the first hole 111 and the second hole 112.

그리고 상기 제 2홀(112)의 하단에는 폭이 점진적으로 좁아지는 경사진 제 2단차(112a)가 형성된다.And at the bottom of the second hole 112, an inclined second step 112a whose width gradually narrows is formed.

상기 제 2단차(112a)의 하단에는 상술한 설치홈(120)이 형성된다. 상기 설치홈(120)의 하부는 개방된다. 상기 설치홈(120)의 폭은 균일할 수 있고, 후술되는 분사 노즐부(200)의 노즐 볼록(210)의 폭과 실질적으로 동일하게 형성될 수 있다.The above-described installation groove 120 is formed at the bottom of the second step 112a. The lower part of the installation groove 120 is open. The width of the installation groove 120 may be uniform and may be formed to be substantially the same as the width of the nozzle convex 210 of the spray nozzle unit 200, which will be described later.

본 발명에 따른 분사 노즐부(200)는 상기 메인 유로(110)와 연결되도록 상기 노즐 몸체부(100)의 설정된 설치홈(120)에 탈착 가능하도록 배치된다.The injection nozzle unit 200 according to the present invention is detachably disposed in the installation groove 120 of the nozzle body 100 so as to be connected to the main passage 110.

상기 분사 노즐부(200)는 설치홈(120)에 결합됨을 통해 유동되는 상기 세정 에어를 분사시키는 노즐홀들을 형성한다.The spray nozzle unit 200 is coupled to the installation groove 120 to form nozzle holes that spray the cleaning air flowing.

여기서 상기 메인 유로(110)는 상기 노즐 몸체부(100)의 상단에서 하단을 따라 형성된다.Here, the main passage 110 is formed along the top to the bottom of the nozzle body 100.

도 5는 본 발명에 따른 분사 노즐부를 보여주는 사시도이다. 도 6은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 일부를 보여주는 저면 사시도이다. 도 7은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 일부를 보여주는 평면도이다.Figure 5 is a perspective view showing a spray nozzle unit according to the present invention. Figure 6 is a bottom perspective view showing a portion of the injection nozzle portion according to the present invention. Figure 7 is a plan view showing a part of the spray nozzle portion according to the present invention.

도 5 내지 도 7을 참조 하면 상기 분사 노즐부(200)는 상기 설치홈(120)에 끼워져 결합되는 노즐 블록(210)과, 상기 노즐 블록(210)의 상단에 상기 메인 유로(110)의 내측을 따라 돌출되는 가이드 블록(220)으로 형성된다.Referring to FIGS. 5 to 7, the spray nozzle unit 200 includes a nozzle block 210 fitted and coupled to the installation groove 120, and an inner side of the main flow path 110 at the top of the nozzle block 210. It is formed of a guide block 220 that protrudes along.

상기 노즐 블록(210)의 양측면에는 노즐홈들(211)이 형성된다.Nozzle grooves 211 are formed on both sides of the nozzle block 210.

상기 노즐 블록(210)의 양측면이 상기 설치홈(120)의 양측 내벽에 밀착되는 상태에서 상기 노즐홈들(211)과 상기 양측 내벽의 사이는 상기 노즐홀들(201)을 형성한다.With both sides of the nozzle block 210 in close contact with the inner walls on both sides of the installation groove 120, the nozzle holes 201 are formed between the nozzle grooves 211 and the inner walls on both sides.

상기 노즐홈들(211)은 노즐 블록(210)의 양측면에서 노즐 블록(210)의 길이 방향을 따라 간격을 이루어 다수로 형성된다.The nozzle grooves 211 are formed on both sides of the nozzle block 210 at intervals along the length of the nozzle block 210.

상기 노즐홈들(211)은 그 상단에서 하단은 따라 폭이 점진적으로 줄어들며, 이들 사이에는 경사진 단차가 형성될 수 있다.The width of the nozzle grooves 211 gradually decreases from the top to the bottom, and an inclined step may be formed between them.

상기 설치홈(120)의 양측 내벽은 평면으로 형성되는 것이 좋다. 상기 설치홈(120)의 내벽에는 박판의 기밀판(미도시)이 일체를 이루어 더 형성될 수 있다.The inner walls on both sides of the installation groove 120 are preferably formed as flat surfaces. A thin airtight plate (not shown) may be formed integrally with the inner wall of the installation groove 120.

그리고 상기 가이드 블록(220)은 상방을 따라 폭이 점진적으로 좁아지도록 다수의 단차(221)를 형성한다. 상기 단차(221)는 상향 경사지는 경사를 이루고, 가이드 블록(220)의 상단 중앙은 뾰족한 형상으로 형성될 수 있다.And the guide block 220 forms a plurality of steps 221 so that the width gradually narrows along the upper side. The step 221 may be inclined upwardly, and the upper center of the guide block 220 may be formed in a sharp shape.

상기 가이드 블록(220)의 상단 중앙은 메인 유로(110)의 중앙축선을 따라 배치될 수 있다.The upper center of the guide block 220 may be disposed along the central axis of the main passage 110.

다음은 상기와 같이 구성되는 분사 노즐부가 노즐 몸체부에 결합되는 과정을 설명한다.Next, a process in which the spray nozzle unit configured as above is coupled to the nozzle body will be described.

도 1 내지 도 7을 참조 하면, 노즐 몸체부(100)의 메인 유로(110) 및 설치홈(120)은 서로 연결되는 상태를 이룬다.1 to 7, the main passage 110 and the installation groove 120 of the nozzle body 100 are connected to each other.

본 발명에 따른 분사 노즐부(200)는 노즐 몸체부(100)의 하단을 통해 상기 설치홈(120)에 끼워질 수 있다.The injection nozzle unit 200 according to the present invention can be inserted into the installation groove 120 through the lower end of the nozzle body unit 100.

상기 분사 노즐부(200)의 노즐 블록(210)의 양측면은 설치홈(120)의 양측 내벽에 밀착될 수 있다.Both sides of the nozzle block 210 of the spray nozzle unit 200 may be in close contact with both inner walls of the installation groove 120.

이를 통해 노즐 블록(210)의 양측면에 형성된 다수의 노즐홈들(211)과 설치홈(120)의 양측 내벽이 밀착됨을 통해 노즐홀들(201)이 형성될 수 있다.Through this, nozzle holes 201 can be formed through close contact between the plurality of nozzle grooves 211 formed on both sides of the nozzle block 210 and the inner walls on both sides of the installation groove 120.

그리고 노즐 블록(210)의 상단에 형성된 가이드 블록(220)은 메인 유로의 내부에 노출된다. 상기 가이드 블록(220)의 양측 하단에 형성된 각각의 경사진 단차(221)는 메인 유로의 제 2홀(112)의 제 2단차(112a)와 마주보도록 배치되면, 단면 상 V 형상의 홈으로 형성된다.And the guide block 220 formed at the top of the nozzle block 210 is exposed to the inside of the main flow path. When each of the inclined steps 221 formed at the lower ends of both sides of the guide block 220 is arranged to face the second step 112a of the second hole 112 of the main flow path, it is formed as a V-shaped groove in cross section. do.

각각의 V 형상의 홈의 하단은 상기와 같이 형성된 노즐홀들(201)의 상단부에 연결될 수 있다.The lower end of each V-shaped groove may be connected to the upper end of the nozzle holes 201 formed as described above.

이를 통해 본 발명에 따른 메인 유로(110)는 가이드 블록(220)에 의해 2갈래의 유로로 형성되고, 이들은 해당 위치에서의 노즐홀들(201)과 연결될 수 있다.Through this, the main flow path 110 according to the present invention is formed into a two-branched flow path by the guide block 220, and these can be connected to the nozzle holes 201 at the corresponding positions.

따라서 메인 유로(110)로 공급되는 세정 에어는 메인 유로를 통해 노즐홀들(201) 각각을 통해 세정에어 분사노즐모듈의 하부에 배치되는 세정 대상물의 표면으로 분사될 수 있다.Accordingly, the cleaning air supplied to the main flow path 110 may be sprayed onto the surface of the cleaning object disposed below the cleaning air injection nozzle module through each of the nozzle holes 201 through the main flow path.

한편 본 발명에 따른 분사 노즐부(200)는 상기 노즐 몸체부(100)의 측부에서 진입되는 결합핀(P)이 끼워져 상기 설치홈(120)에 결합될 수 있다.Meanwhile, the injection nozzle unit 200 according to the present invention can be coupled to the installation groove 120 by inserting a coupling pin (P) entering from the side of the nozzle body unit 100.

도 8은 한 쌍의 노즐 몸체부를 이루는 예를 보여주는 도면이다.Figure 8 is a diagram showing an example of forming a pair of nozzle body parts.

도 8을 참조 하면 상기 노즐 몸체부(100)는 상기 설치홈(120)의 중심축선을 경계를 이루어 서로 결합되도록 한 쌍의 단위 노즐 몸체(101)를 이룰 수도 있다.Referring to FIG. 8, the nozzle body portion 100 may form a pair of unit nozzle bodies 101 that are coupled to each other along the central axis of the installation groove 120.

도 9는 본 발명에 따른 노즐 블록과 설치홈과 단차 결합을 이루는 것을 보여주는 단면도이다.Figure 9 is a cross-sectional view showing a step coupling between the nozzle block and the installation groove according to the present invention.

도 9를 참조 하면 본 발명에 따른 노즐 블록(210)의 양측부는, 상기 설치홈(120)의 양측 내벽과 단차 결합될 수 있다. 상기 설치홈(120)의 양측 내벽에는 걸림홈(121)이 형성되고, 노즐 블록(210)의 상단 양측부에는 걸림돌기(212)가 형성된다. 상기 걸림 돌기(212)가 걸림홈(121)에 걸림을 통해 단차 결합이 이루어질 수 있다.Referring to Figure 9, both sides of the nozzle block 210 according to the present invention may be steppedly coupled to both inner walls of the installation groove 120. Locking grooves 121 are formed on both inner walls of the installation groove 120, and locking protrusions 212 are formed on both upper sides of the nozzle block 210. Step coupling can be achieved by engaging the locking protrusion 212 in the locking groove 121.

이를 통해 분사 노즐부(200)는 노즐 몸체부(100)의 설치홈에 끼워져 결합된 상태로 하방으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.Through this, the injection nozzle unit 200 can be prevented from being separated downward while being inserted into and coupled to the installation groove of the nozzle body unit 100.

더하여 메인 유로(110)로 공급되는 세정 에어의 압력에 의해 분사 노즐부(200)의 결합 위치가 틀어지는 것을 효율적으로 방지하여, 안정적인 또는 균입한 압력으로 세정 에어가 분사되도록 할 수 있다.In addition, it is possible to effectively prevent the coupling position of the spray nozzle unit 200 from being distorted due to the pressure of the cleaning air supplied to the main passage 110, so that the cleaning air is sprayed at a stable or even pressure.

또한 상기 단차 결합되는 부분에는, 기밀을 위한 기밀 부재(미도시)가 배치될 수 있다.Additionally, an airtight member (not shown) for airtightness may be disposed at the step-coupled portion.

도 10은 본 발명에 따른 분사 노즐부의 교체의 다른 예를 보여주는 도면이다. 도 11은 분사 노즐부가 이동되는 구조를 보여주는 저면도이다.Figure 10 is a diagram showing another example of replacement of the injection nozzle unit according to the present invention. Figure 11 is a bottom view showing the structure in which the spray nozzle part is moved.

도 10 및 도 11을 참조 하면 상기 분사 노즐부(200)는 상기 노즐 몸체부(100)의 측부에 형성되는 인입홀(130)을 통해 인입되어 상기 설치홈(120)에 배치된다.Referring to FIGS. 10 and 11 , the spray nozzle unit 200 is inserted through the entry hole 130 formed on the side of the nozzle body 100 and placed in the installation groove 120.

인입홀(130)은 노즐 몸체부(100)의 양단부에 형성될 수 있다.The inlet hole 130 may be formed at both ends of the nozzle body 100.

상기 노즐 몸체부(100)는 이동부(300)를 구비한다.The nozzle body portion 100 is provided with a moving portion 300.

상기 분사 노즐부(200)는 서로 다른 형상의 노즐홈들(211)이 형성되도록 상기 분사 노즐부(200)의 길이 방향을 따라 다수의 영역(A)을 형성한다.The spray nozzle unit 200 forms a plurality of areas A along the longitudinal direction of the spray nozzle unit 200 so that nozzle grooves 211 of different shapes are formed.

상기 다수의 영역(A) 각각의 길이는, 상기 설치홈(120)의 길이에 상응한다.The length of each of the plurality of areas A corresponds to the length of the installation groove 120.

상기 분사 노즐부(200)의 노즐 블록(210) 하단에는 기어이(213)가 형성된다.A gear tooth 213 is formed at the bottom of the nozzle block 210 of the injection nozzle unit 200.

상기 이동부(300)는 기어(310)와, 상기 기어(310)를 회전시키는 기어 모터(320)를 구비한다.The moving unit 300 includes a gear 310 and a gear motor 320 that rotates the gear 310.

상기 기어(310)는, 상기 기어이(213)와 치합될 수 있다.The gear 310 may be meshed with the gear tooth 213.

상기 기어 모터(320)는 제어기(400)의 제어에 의해 회전되어 상기 기어(310)를 회전시킬 수 있다.The gear motor 320 may be rotated under the control of the controller 400 to rotate the gear 310.

상기 회전되는 기어(310)는 상기 분사 노즐부(200)의 하단의 기어이(213)와 치합되는 상태로 상기 분사 노즐부(200)를 이동시킬 수 있다.The rotating gear 310 may move the spray nozzle unit 200 in a state of engagement with the gear teeth 213 at the bottom of the spray nozzle unit 200.

상기 제어기(400)에는 세정 대상물의 종류에 따라 상기 노즐홈들(211)의 형상이 미리 설정된다.In the controller 400, the shapes of the nozzle grooves 211 are preset according to the type of object to be cleaned.

선택기(410)를 통해 상기 세정 대상물의 종류가 선택되면, 상기 제어기(400)는 상기 노즐홈들(211)의 형상 중, 선택된 상기 세정 대상물의 종류에 부합되는 노즐홀의 형상을 결정하고, 결정된 상기 노즐홀들이 상기 설치홈(120)에 위치되도록 상기 기어 모터(320)를 사용하여 상기 분사 노즐부(200)를 수평 이동시킬 수 있다.When the type of the cleaning object is selected through the selector 410, the controller 400 determines the shape of the nozzle hole that matches the selected type of the cleaning object among the shapes of the nozzle grooves 211, and the determined The spray nozzle unit 200 can be horizontally moved using the gear motor 320 so that the nozzle holes are located in the installation grooves 120.

이를 통해 요구되는 노즐홀이 설치홈(120)에서 형성되도록 분사 노즐부(200)의 다수 영역(A)을 교체 배치할 수 있는 이점이 있다.Through this, there is an advantage that multiple areas (A) of the spray nozzle unit 200 can be replaced and arranged so that the required nozzle hole is formed in the installation groove 120.

상기의 구성 및 작용을 통해 본 발명은 세정 에어가 유동되는 유로와 연결되는 노즐 몸체부의 하단부에 분사 노즐부를 탈착 가능하게 구성함을 통해, 서로 다른 노즐홀을 갖는 분사 노즐부를 선택적으로 교체할 수 있고, 노즐 몸체부에 분사 노즐부를 다수로 구비하도록 하고, 이 분사 노즐부들 중 세정 대상물의 세정면에 대한 세정 요건에 부합되는 노즐홀이 배치되도록 해당 분사 노즐부를 자동으로 배치하여 교체할 수 있다.Through the above configuration and operation, the present invention provides a detachable spray nozzle portion at the lower end of the nozzle body connected to the flow path through which cleaning air flows, so that the spray nozzle portion having different nozzle holes can be selectively replaced. , the nozzle body is provided with a plurality of spray nozzle parts, and the corresponding spray nozzle parts can be automatically arranged and replaced so that nozzle holes that meet the cleaning requirements for the cleaning surface of the cleaning object are arranged among these spray nozzle parts.

전술한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.The above-described present invention may be subject to various substitutions, modifications, and changes without departing from the technical spirit of the present invention to those skilled in the art to which the present invention pertains. It is not limited by .

100 : 노즐 몸체부
110 : 메인 유로
111 : 제 1홀
111a : 제 1단차
112 : 제 2홀
112a : 제 2단차
120 : 설치홈
121 : 걸림홈
200 : 분사 노즐부
201 노즐홀
210 : 노즐 블록
211 : 노즐홈
212 : 걸림 돌기
213 : 기어이
220 : 가이드 블록
221 : 단차
300 : 이동부
310 : 기어
320 : 기어 모터
400 : 제어기
410 : 선택기100: nozzle body
110: main euro
111: Hole 1
111a: 1st step
112: 2nd hole
112a: 2nd step
120: Installation groove
121: Locking groove
200: Spray nozzle part
201 nozzle hole
210: nozzle block
211: nozzle groove
212: Jamming protrusion
213: Geari
220: Guide block
221: step
300: moving part
310: gear
320: gear motor
400: controller
410: selector

Claims (7)

외부로부터 공급되는 세정 에어가 유동되는 메인 유로가 형성되는 노즐 몸체부; 및,
상기 메인 유로와 연결되도록 상기 노즐 몸체부의 설정된 설치 영역에 탈착 가능하도록 배치되는 분사 노즐부를 포함하되,
상기 분사 노즐부는,
상기 설치 영역에 결합됨을 통해 유동되는 상기 세정 에어를 분사시키는 노즐홀들을 형성하는 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
a nozzle body portion in which a main flow path through which cleaning air supplied from the outside flows is formed; and,
It includes a spray nozzle portion detachably disposed in a set installation area of the nozzle body portion to be connected to the main flow passage,
The spray nozzle part,
A cleaning air injection nozzle module, characterized in that it is coupled to the installation area and forms nozzle holes for spraying the cleaning air flowing through it.
 제 1항에 있어서,
상기 메인 유로는,
상기 노즐 몸체부의 상단에서 하단을 따라 형성되고,
상기 노즐 몸체부의 하단에는,
상기 메인 유로와 연결되는 설치홈이 형성되되,
상기 설치홈은, 상기 설치 영역인 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
According to clause 1,
The main flow path is,
Formed from the top to the bottom of the nozzle body,
At the bottom of the nozzle body,
An installation groove connected to the main flow path is formed,
The cleaning air injection nozzle module is characterized in that the installation groove is the installation area.
 제 2항에 있어서,
상기 분사 노즐부는,
상기 설치홈에 끼워져 결합되는 노즐 블록과,
상기 노즐 블록의 상단에 상기 메인 유로의 내측을 따라 돌출되는 가이드 블록을 포함하되,
상기 노즐 블록의 양측면에는, 노즐홈들이 형성되고,
상기 노즐 블록의 양측면이 상기 설치홈의 양측 내벽에 밀착되는 상태에서 상기 노즐홈들과 상기 양측 내벽의 사이는 상기 노즐홀들을 형성하는 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
According to clause 2,
The spray nozzle part,
A nozzle block fitted and coupled to the installation groove,
Includes a guide block protruding along the inside of the main passage at the top of the nozzle block,
Nozzle grooves are formed on both sides of the nozzle block,
A cleaning air spray nozzle module, wherein both sides of the nozzle block are in close contact with both inner walls of the installation groove, and the nozzle holes are formed between the nozzle grooves and the both inner walls.
 제 3항에 있어서,
상기 가이드 블록은,
상방을 따라 폭이 점진적으로 좁아지도록 다수의 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
According to clause 3,
The guide block is,
A cleaning air injection nozzle module characterized by forming a plurality of steps so that the width gradually narrows along the upper side.
 제 4항에 있어서,
상기 분사 노즐부는,
상기 노즐 몸체부의 측부에서 진입되는 결합핀이 끼워져 상기 설치홈에 결합되는 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
According to clause 4,
The spray nozzle part,
A cleaning air injection nozzle module, characterized in that a coupling pin entering from the side of the nozzle body is inserted and coupled to the installation groove.
 제 5항에 있어서,
상기 노즐 몸체부는,
상기 설치홈의 중심축선을 경계를 이루어 서로 결합되도록 한 쌍의 단위 노즐 몸체를 이루는 것을 특징으로 하는 세정에어 분사노즐모듈.
According to clause 5,
The nozzle body part,
A cleaning air injection nozzle module, characterized in that it forms a pair of unit nozzle bodies so that they are coupled to each other bordering the central axis of the installation groove.
 제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항의 세정에어 분사노즐모듈; 및,
상기 세정에어 분사노즐모듈에 결합되어 상기 세정 에어를 공급하는 유니트 몸체를 포함하는 것을 특징으로 하는 건식세정 유니트.The cleaning air injection nozzle module of any one of claims 1 to 6; and,
A dry cleaning unit comprising a unit body coupled to the cleaning air injection nozzle module to supply the cleaning air.
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KR102312841B1 (en) 2021-03-16 2021-10-14 여정동 Nozzle bar and cleaning unit

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