KR102312841B1 - Nozzle bar and cleaning unit - Google Patents

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KR102312841B1
KR102312841B1 KR1020210034185A KR20210034185A KR102312841B1 KR 102312841 B1 KR102312841 B1 KR 102312841B1 KR 1020210034185 A KR1020210034185 A KR 1020210034185A KR 20210034185 A KR20210034185 A KR 20210034185A KR 102312841 B1 KR102312841 B1 KR 102312841B1
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여정동
여환겸
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여정동
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Abstract

The present invention provides a nozzle bar for a dry cleaning device. The nozzle bar for a dry cleaning device comprises: a nozzle bar body having a supply passage through which cleaning air is supplied; and a plurality of nozzles formed inside the nozzle bar body and formed along the longitudinal direction of the nozzle bar body. The plurality of nozzles are formed inside the nozzle bar body. The plurality of nozzles receive the cleaning air from the supply passage to increase a flow rate to a certain level or more so as to spray the same to a lower part of the nozzle bar body. The present invention also provides a cleaning unit including the nozzle bar.

Description

건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛{Nozzle bar and cleaning unit}Nozzle bar and cleaning unit having same for dry cleaning device

본 발명은 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 세정대상물에 일렬을 이루어 세정에어를 분사하여 세정함과 동시에 세정시 발생되는 이물질이 외부에 비산되지 않도록 흡입되도록 할 수 있는 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a nozzle bar for a dry cleaning device and a cleaning unit having the same, and more particularly, to be cleaned by spraying cleaning air in a line on the object to be cleaned, and at the same time to be sucked in so that foreign substances generated during cleaning are not scattered to the outside. It relates to a nozzle bar for a dry cleaning device capable of performing the same, and to a cleaning unit having the same.

일반적으로 반도체나 LCD 혹은 OLED 같은 평판 디스플레이(FPD; flat panel display)의 제조 공정에서, 주변 환경으로부터 발생하는 파티클 등의 이물질을 제거하기 위해서 에어 블로잉(Air-Blowing) 공정이 적용된다.In general, in the manufacturing process of a flat panel display (FPD) such as a semiconductor, LCD, or OLED, an air-blowing process is applied to remove foreign substances such as particles generated from the surrounding environment.

예를 들어, LCD 디스플레이 제조공정 중에서 마지막 단계인 AOI 검사 공정의 경우, 단순한 부유성 파티클 한 개만 떨어져 있어도 검사장비는 불량으로 인식하기 때문에 검사 수율 저하를 초래하므로, 검사 직전에 검사 대상물의 표면을 에어(Air)로 불어주는 공정이 유용하다.For example, in the case of the AOI inspection process, which is the last step in the LCD display manufacturing process, even if there is only one floating particle away, the inspection equipment recognizes it as a defect, causing a decrease in inspection yield. (Air) blowing process is useful.

그러나 에어 블로잉의 경우, 10μm 이하의 파티클은 제거되지 않는데에 비해서 최근 디스플레이의 픽셀 사이즈는 계속 작아지기 때문에 에어 블로잉보다 더 강력한 세정력을 갖는 건식세정이 요구되고 있다.However, in the case of air blowing, particles of 10 μm or less are not removed, but since the pixel size of recent displays continues to decrease, dry cleaning with a stronger cleaning power than air blowing is required.

건식 세정공정 중에 가장 대표적인 것이 CO2 스노우 세정 기술인데, 이산화탄소의 상변화에 의해 만들어진 승화성 드라이아이스 입자를 세정 대상물 표면에 분사하여 그때 발생하는 충돌 에너지에 의해서 파티클 같은 이물질을 제거하는 세정기술이 US Patent 5,125,979에 제안된 바 있다.The most representative of the dry cleaning process is the CO2 snow cleaning technology, which is a cleaning technology that sprays sublimable dry ice particles made by the phase change of carbon dioxide on the surface of the object to be cleaned and removes foreign substances such as particles by collision energy generated at that time. 5,125,979.

본 발명은 상술한 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 세정대상물에 일렬을 이루어 세정에어를 분사하여 세정함과 동시에 세정시 발생되는 이물질이 외부에 비산되지 않도록 흡입되도록 할 수 있는 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛을 제공하는 것이다.The present invention has been devised to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to spray cleaning air in a line on the object to be cleaned, and at the same time to clean and to suck in foreign substances generated during cleaning so as not to scatter to the outside. To provide a nozzle bar for a dry cleaning device and a cleaning unit having the same.

또한, 본 발명의 다른 목적은 노즐 바를 단품으로 구현하여 건식 세정이 요구되는 장치에서 세정에어를 분사하는 분사부에 탈착 가능하도록 하여 범용으로 사용하도록 할 수 있는 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is a nozzle bar for a dry cleaning device that can be used for general purpose by realizing the nozzle bar as a single unit so that it can be detached from the spraying part that sprays cleaning air in a device requiring dry cleaning, and cleaning having the same to provide the unit.

본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적으로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있고, 본 발명의 실시예에 의해 보다 분명하게 이해될 것이다. 또한, 본 발명의 목적 및 장점들은 특허 청구 범위에 나타낸 수단 및 그 조합에 의해 실현될 수 있음을 쉽게 알 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects and advantages of the present invention not mentioned may be understood by the following description, and will be more clearly understood by the examples of the present invention. Moreover, it will be readily apparent that the objects and advantages of the present invention may be realized by the means and combinations thereof indicated in the claims.

상기의 목적들을 달성하기 위해 본 발명은 건식세정장치용 노즐 바를 제공한다.In order to achieve the above objects, the present invention provides a nozzle bar for a dry cleaning apparatus.

상기 건식세정장치용 노즐 바는, 세정에어가 공급되는 공급유로가 형성되는 노즐 바 몸체;The nozzle bar for the dry cleaning device includes: a nozzle bar body having a supply passage through which cleaning air is supplied;

상기 노즐 바 몸체의 내부에 형성되며, 상기 노즐 바 몸체의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 노즐;을 포함하되,A plurality of nozzles formed inside the nozzle bar body and formed along the longitudinal direction of the nozzle bar body; including,

상기 다수의 노즐은, 상기 노즐 바 몸체의 내부에 성형되고, 상기 공급유로부터 상기 세정에어를 공급받아, 유속을 일정 이상으로 증가시켜 상기 노즐 바 몸체의 하부로 분사한다.The plurality of nozzles are molded in the nozzle bar body, receive the cleaning air from the supply oil, increase the flow rate to a certain level or more, and spray the nozzle bar body into a lower portion of the nozzle bar body.

여기서 상기 다수의 노즐 각각은,Wherein each of the plurality of nozzles,

설정된 제 1내경 및 제 1길이를 형성하는 제 1노즐 몸체와,a first nozzle body defining a set first inner diameter and a first length;

상기 제 1노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 2내경이 점진적으로 줄어드는 제 2길이를 갖는 제 2노즐 몸체와,a second nozzle body connected to an end of the first nozzle body and having a second length in which the second inner diameter is gradually reduced;

상기 제 2노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 3내경이 점진적으로 확장되는 제 3길이를 이루어 상기 세정에어를 분사하는 제 3노즐 몸체를 포함하되,and a third nozzle body connected to the end of the second nozzle body and configured to have a third length in which a third inner diameter is gradually expanded and spraying the cleaning air,

상기 제 2노즐 몸체의 제 2내경은,The second inner diameter of the second nozzle body is,

상기 제 3노즐 몸체의제 3 내경 보다 더 벌어지도록 형성되는 것이 바람직하다.It is preferable that the third nozzle body is formed to be wider than the third inner diameter.

그리고 상기 제 1노즐 몸체와 상기 제 2노즐 몸체의 경계와, 상기 제 2노즐 몸체와 상기 제 3노즐 몸체의 경계는 곡률이 형성되는 것이 바람직하다.A boundary between the first nozzle body and the second nozzle body and a boundary between the second nozzle body and the third nozzle body may have a curvature.

또한 상기 노즐 바 몸체는,In addition, the nozzle bar body,

길이 방향을 따라 다수의 단위 몸체가 배치되는 배치홀들이 형성되고,Arrangement holes in which a plurality of unit bodies are disposed along the longitudinal direction are formed,

상기 배치홀들에 배치되는 상기 다수의 단위 몸체를 승강시키는 승강기들이 배치되고,Elevators for elevating the plurality of unit bodies disposed in the arrangement holes are disposed,

상기 다수의 단위 몸체에는,In the plurality of unit bodies,

상기 다수의 노즐이 각각 형성되고,The plurality of nozzles are each formed,

상기 승강기들은, 제어기의 제어에 따라 상기 배치홀들에 배치된 상기 다수의 단위 몸체 각각을 승강시켜 승강 위치를 가변시키는 것이 바람직하다.It is preferable that the elevators change the lifting position by elevating each of the plurality of unit bodies disposed in the arrangement holes under the control of the controller.

특히, 상기 노즐 바 몸체의 하부에는 세정 대상물이 안착되는 스테이지가 배치된다.In particular, a stage on which the object to be cleaned is mounted is disposed under the nozzle bar body.

상기 노즐 바 몸체의 하단에는, 상기 스테이지에 안착되는 상기 세정 대상물의 상면에 대한 영상을 취득하는 영상 취득기가 배치된다An image acquisition device for acquiring an image of the upper surface of the cleaning object seated on the stage is disposed at the lower end of the nozzle bar body

상기 영상 취득기는 제어기로 취득된 상기 영상을 전송한다.The image acquirer transmits the acquired image to the controller.

상기 제어기는 상기 영상을 이미지 처리하여 상기 세정 대상물의 상면과의 거리값을 산출하되, 상기 다수의 노즐이 배치된 위치에서의 거리값들을 산출한다.The controller calculates a distance value from the upper surface of the object to be cleaned by image processing the image, and calculates distance values at positions where the plurality of nozzles are disposed.

상기 제어기에는 기준 거리값이 설정된다. 상기 제어기는 산출된 거리값들이 상기 기준 거리값에 이르도록 상기 승강기들의 구동을 제어하여 상기 다수의 단위 몸체 각각의 승강 높이를 실시간으로 제어한다.A reference distance value is set in the controller. The controller controls driving of the elevators so that the calculated distance values reach the reference distance value to control the elevation height of each of the plurality of unit bodies in real time.

또한, 상기 다수의 노즐 내부에 형성되는 유로의 내벽에는 스파이럴 형상의 돌기가 더 형성된다.In addition, a spiral-shaped protrusion is further formed on the inner wall of the flow path formed inside the plurality of nozzles.

다른 실시예에 따라, 본 발명은 상술한 노즐 바를 포함하는 세정유닛을 제공한다.According to another embodiment, the present invention provides a cleaning unit including the above-described nozzle bar.

상기 세정 유닛은,The cleaning unit is

외부에서 제공되는 세정 에어를 공급받는 유닛 몸체와,A unit body receiving cleaning air provided from the outside;

상기 유닛 몸체의 일단에 결합되어, 상기 세정 에어를 분출하는 분출 유로가 형성되는 연결 몸체와,a connection body coupled to one end of the unit body to form a jet passage for jetting the cleaning air;

상기 연결 몸체의 하단에 탈착 가능하게 설치되는, 상기 노즐 바를 포함하되,Including the nozzle bar, which is detachably installed at the lower end of the connection body,

상기 연결 몸체의 분출 유로는, 상기 공급 유로와 연결된다.The ejection passage of the connection body is connected to the supply passage.

또한, 상기 연결 몸체는 상기 노즐 바가 연결되는 중앙 몸체와,In addition, the connection body includes a central body to which the nozzle bar is connected,

상기 중앙 몸체의 양측에 형성되며, 상기 노즐 바의 양측부에 공간을 이루어 배치되는 한 쌍의 측부 몸체를 구비한다.It is formed on both sides of the central body, and a pair of side bodies arranged to form a space on both sides of the nozzle bar.

상기 한 쌍의 측부 몸체 하단 각각에는, 가이드 몸체가 설치되되,A guide body is installed at each of the lower ends of the pair of side bodies,

각각의 상기 가이드 몸체는, L 형상의 제 1가이드와, 상기 제 1가이드의 하단에서 일정각도 상향 경사지는 제 2가이드와, 상기 제 2가이드의 상단에서 수평을 이루어 연장되는 제 3가이드를 포함하고,Each of the guide bodies includes an L-shaped first guide, a second guide inclined upward at a predetermined angle from the lower end of the first guide, and a third guide extending horizontally from the upper end of the second guide, ,

상기 제 2가이드에는 제 1홀이 형성되고, 상기 제 3가이드에는 제 2홀이 형성되되, 상기 제 2홀의 크기는 상기 제 1홀의 크기 보다 크게 형성된다.A first hole is formed in the second guide, and a second hole is formed in the third guide, and the size of the second hole is larger than that of the first hole.

각각의 상기 가이드 몸체는, 상기 노즐 바를 경계로 대칭을 이루도록 배치된다.Each of the guide bodies is arranged to form a symmetrical boundary with the nozzle bar.

상기 제 3가이드는, 상기 노즐 바 몸체의 측면에서 일정 거리 이격된다. 상기 제 3가이드는 상기 노즐의 측부에 배치되고, 상기 제 3가이드의 단부는, 상기 노즐의 경사에 상응하는 경사면을 형성한다.The third guide is spaced a predetermined distance from the side of the nozzle bar body. The third guide is disposed on the side of the nozzle, and an end of the third guide forms an inclined surface corresponding to the inclination of the nozzle.

상기 제 1가이드의 하단은, 상기 제 3몸체의 하단과 실질적으로 동일 선상에 위치된다.The lower end of the first guide is positioned substantially on the same line as the lower end of the third body.

상기 승강기들 각각은, 상기 연결 몸체에 설치되며, 상기 노즐 바 몸체의 상단에 연결되고, 승강되는 축을 갖는 실린더일 수 있다.Each of the elevators may be a cylinder installed on the connection body, connected to an upper end of the nozzle bar body, and having an ascending shaft.

본 발명의 또 다른 실시예를 따르는 세정 유닛은 다수의 노즐이 형성되며, 일정 길이를 갖는 노즐 바; 상기 노즐 바의 상단에 배치되며, 상기 다수의 노즐로 세정 에어를 공급하는 세정 에어 공급관; 및, 상기 노즐 바의 둘레 및 상기 세정 에어 공급관을 에워싸도록 설치되며, 상기 다수의 노즐로부터 분사되는 세정 에어가 그 하부에 배치되는 세정 대상물에 공급되어 비산되는 세정후 에어를 회수하고, 상기 노즐 바의 외면 및 상기 세정 에어 공급관의 외면과 이격된 공간을 배기 유로로 사용하여 외부로 배기시키는 배기부를 포함한다.A cleaning unit according to another embodiment of the present invention is formed with a plurality of nozzles, the nozzle bar having a predetermined length; a cleaning air supply pipe disposed on the upper end of the nozzle bar and configured to supply cleaning air to the plurality of nozzles; And, it is installed to surround the circumference of the nozzle bar and the cleaning air supply pipe, and the cleaning air sprayed from the plurality of nozzles is supplied to the cleaning object disposed below the nozzle bar and the scattered cleaning air is recovered, and the nozzle and an exhaust part for exhausting the outside using the outer surface of the bar and the space spaced apart from the outer surface of the cleaning air supply pipe as an exhaust passage.

여기서 상기 다수의 노즐 각각은,Wherein each of the plurality of nozzles,

설정된 제 1내경 및 제 1길이를 형성하는 제 1노즐 몸체와,a first nozzle body defining a set first inner diameter and a first length;

상기 제 1노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 2내경이 점진적으로 줄어드는 제 2길이를 갖는 제 2노즐 몸체와,a second nozzle body connected to an end of the first nozzle body and having a second length in which the second inner diameter is gradually reduced;

상기 제 2노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 3내경이 점진적으로 확장되는 제 3길이를 이루어 상기 세정에어를 분사하는 제 3노즐 몸체를 포함하되,and a third nozzle body connected to the end of the second nozzle body and configured to have a third length in which a third inner diameter is gradually expanded and spraying the cleaning air,

상기 제 2노즐 몸체의 제 2내경은,The second inner diameter of the second nozzle body is,

상기 제 3노즐 몸체의 제 3내경 보다 더 벌어지도록 형성되되,Formed to be wider than the third inner diameter of the third nozzle body,

상기 제 1노즐 몸체는 상기 세정 에어 공급관과 연결될 수 있다.The first nozzle body may be connected to the cleaning air supply pipe.

또한, 상기 제 1노즐 몸체와 상기 제 2노즐 몸체의 경계와, 상기 제 2노즐 몸체와 상기 제 3노즐 몸체의 경계는 곡률이 형성될 수 있다.In addition, a boundary between the first nozzle body and the second nozzle body and a boundary between the second nozzle body and the third nozzle body may be formed with a curvature.

본 발명은 세정대상물에 일렬을 이루어 세정에어를 분사하여 세정함과 동시에 세정시 발생되는 이물질이 외부에 비산되지 않도록 흡입되도록 할 수 있는 효과를 갖는다.The present invention has the effect of allowing the cleaning air to be sprayed in a line on the object to be cleaned and at the same time to be sucked in so that foreign substances generated during cleaning are not scattered to the outside.

또한, 본 발명은 노즐 바를 단품으로 구현하여 건식 세정이 요구되는 장치에서 세정에어를 분사하는 분사부에 탈착 가능하도록 하여 범용으로 사용하도록 할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention has the effect of making it possible to use the nozzle bar as a single unit so that it can be used for general purpose by making it detachable from the spraying part for spraying cleaning air in a device requiring dry cleaning.

또한, 본 발명은 노즐을 이루는 다수의 단위 몸체를 승강시켜 세정 대상물의 다수 위치에서의 표면과의 거리를 일정하게 유지한 상태에서 세정에어를 분사시켜 세정 효율을 상승시킬 수 있음과 아울러, 세정 과정에서 발생되는 이물질 등이 세정 대상물의 표면으로 비산되지 않도록 할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, according to the present invention, cleaning efficiency can be increased by elevating a plurality of unit bodies constituting the nozzle to spray cleaning air while maintaining a constant distance from the surface at a plurality of positions of the object to be cleaned, and the cleaning process It has the effect of preventing foreign substances, etc. generated from scattering on the surface of the object to be cleaned.

상술한 효과들과 더불어 본 발명의 구체적인 효과는 이하 발명을 실시하기 위한 구체적인 사항을 설명하면서 함께 기술한다.In addition to the above-described effects, the specific effects of the present invention will be described together while describing specific details for carrying out the invention below.

도 1은 본 발명에 따른 세정 유닛의 전체적인 구성을 보여주는 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 세정 유닛의 전체적인 구성을 보여주는 단면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 세정 유닛을 보여주는 정면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 일부 절개 사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 단면도이다.
도 7은 본 발명에 따른 노즐 바의 하단을 보여주는 저면도이다.
도 8은 본 발명에 따른 노즐의 형상의 예를 보여주는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 노즐 바의 유동 해석 결과를 보여주는 도면들이다.
도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 노즐들의 위치가 가변 가능한 예를 보여주는 도면들이다.
도 12는 본 발명에 따른 다른 실시예를 따른 세정 유닛을 보여주는 사시도이다.
도 13은 본 발명에 따른 공급관과 배기부의 일부와의 결합 상태를 보여주는 사시도이다.
도 14는 본 발명에 따른 배기 유로를 보여주는 사시도이다.
도 15는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 사시도이다.
도 16은 본 발명에 따른 노즐 바의 일부를 보여주는 확대 사시도이다.
도 17은 본 발명에 따른 세정 유닛을 보여주는 일부 절개 단면도이다.
도 18은 도 17의 표시 부호 A를 보여주는 도면이다.1 is a view showing the overall configuration of a cleaning unit according to the present invention.
2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of a cleaning unit according to the present invention.
3 is a front view showing a cleaning unit according to the present invention.
4 is a perspective view showing a nozzle bar according to the present invention.
5 is a partially cut-away perspective view showing a nozzle bar according to the present invention.
6 is a cross-sectional view showing a nozzle bar according to the present invention.
7 is a bottom view showing the lower end of the nozzle bar according to the present invention.
8 is a view showing an example of a shape of a nozzle according to the present invention.
9 is a view showing a flow analysis result of a nozzle bar according to the present invention.
10 and 11 are views showing an example in which the positions of the nozzles according to the present invention are variable.
12 is a perspective view showing a cleaning unit according to another embodiment according to the present invention.
13 is a perspective view showing a coupling state of a part of the supply pipe and the exhaust part according to the present invention.
14 is a perspective view showing an exhaust flow path according to the present invention.
15 is a perspective view showing a nozzle bar according to the present invention.
16 is an enlarged perspective view showing a part of a nozzle bar according to the present invention.
17 is a partially cut-away cross-sectional view showing a cleaning unit according to the present invention.
FIG. 18 is a view showing reference numeral A of FIG. 17 .

전술한 목적, 특징 및 장점은 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 후술되며, 이에 따라 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 것이다. 본 발명을 설명함에 있어서 본 발명과 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 상세한 설명을 생략한다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 도면에서 동일한 참조부호는 동일 또는 유사한 구성요소를 가리키는 것으로 사용된다.The above-described objects, features and advantages will be described below in detail with reference to the accompanying drawings, and accordingly, those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will be able to easily implement the technical idea of the present invention. In describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a known technology related to the present invention may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description will be omitted. Hereinafter, preferred embodiments according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, the same reference numerals are used to indicate the same or similar components.

이하에서 구성요소의 "상부 (또는 하부)" 또는 구성요소의 "상 (또는 하)"에 임의의 구성이 배치된다는 것은, 임의의 구성이 상기 구성요소의 상면 (또는 하면)에 접하여 배치되는 것뿐만 아니라, 상기 구성요소와 상기 구성요소 상에 (또는 하에) 배치된 임의의 구성 사이에 다른 구성이 개재될 수 있음을 의미할 수 있다. In the following, that an arbitrary component is disposed on the "upper (or lower)" of a component or "upper (or below)" of a component means that any component is disposed in contact with the upper surface (or lower surface) of the component. Furthermore, it may mean that other components may be interposed between the component and any component disposed on (or under) the component.

또한 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 상기 구성요소들은 서로 직접적으로 연결되거나 또는 접속될 수 있지만, 각 구성요소 사이에 다른 구성요소가 "개재"되거나, 각 구성요소가 다른 구성요소를 통해 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있는 것으로 이해되어야 할 것이다. Also, when it is described that a component is "connected", "coupled" or "connected" to another component, the components may be directly connected or connected to each other, but other components are "interposed" between each component. It is to be understood that “or, each component may be “connected,” “coupled,” or “connected” through another component.

이하 첨부되는 도면들을 참조하여 본 발명의 건식세정장치용 노즐 바 및 이를 갖는 세정유닛을 설명한다.Hereinafter, a nozzle bar for a dry cleaning apparatus of the present invention and a cleaning unit having the same will be described with reference to the accompanying drawings.

상기 노즐 바는 세정유닛의 구성에 포함되는 구성으로서, 세정유닛을 설명함에 포함하여 설명한다.The nozzle bar is a configuration included in the configuration of the cleaning unit, and will be described including the description of the cleaning unit.

도 1은 본 발명에 따른 세정 유닛의 전체적인 구성을 보여주는 도면이고, 도 2는 본 발명에 따른 세정 유닛의 전체적인 구성을 보여주는 단면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 세정 유닛을 보여주는 정면도이다.1 is a view showing the overall configuration of a cleaning unit according to the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view showing the overall configuration of the cleaning unit according to the present invention, and FIG. 3 is a front view showing the cleaning unit according to the present invention.

도 1 내지 도 3을 참조 하면, 본 발명에 따른 세정 유닛은 외부에서 제공되는 세정 에어를 공급받는 유닛 몸체(100)와, 상기 유닛 몸체(100)의 일단에 결합되어, 상기 세정 에어를 분출하는 분출 유로(211)가 형성되는 연결 몸체(200)와, 노즐 바(300)를 포함한다.1 to 3 , the cleaning unit according to the present invention includes a unit body 100 that receives cleaning air supplied from the outside, and one end of the unit body 100 to eject the cleaning air. It includes a connection body 200 in which the ejection passage 211 is formed, and a nozzle bar 300 .

상기 유닛 몸체(100)는 외부에서 공급받는 세정 에어를 일단에서 타단으로 유동시키도록 일정 길이를 이루며, 관 형상으로 형성된다.The unit body 100 has a predetermined length so that the cleaning air supplied from the outside flows from one end to the other end, and is formed in a tubular shape.

상기 연결 몸체(200)는 상기 유닛 몸체(100)의 타단에 연결된다.The connection body 200 is connected to the other end of the unit body 100 .

상기 연결 몸체(200)는 중앙 몸체(210)와, 한 쌍의 측부 몸체(220)를 갖는다.The connection body 200 has a central body 210 and a pair of side bodies 220 .

상기 중앙 몸체(210)에는 분출 유로(211)가 형성된다. 상기 분출 유로(211)는 중앙 몸체(210)의 길이 방향을 따라 형성된다. 상기 분출 유로211()는 유닛 몸체(100)에서 세정 에어가 유동되는 유로와 연결된다.An ejection passage 211 is formed in the central body 210 . The ejection passage 211 is formed along the longitudinal direction of the central body 210 . The ejection flow path 211 ( ) is connected to a flow path through which the cleaning air flows in the unit body 100 .

이에 상기 세정 에어는 유닛 몸체(100)의 유로와 상기 중앙 몸체(210)의 분출 유로(211)를 통해 유동된다. 상기 분출 유로(211)는 중앙 몸체(210)의 하단으로 개방되는 배출구(212)를 통해 노출된다.Accordingly, the cleaning air flows through the flow passage of the unit body 100 and the ejection passage 211 of the central body 210 . The ejection passage 211 is exposed through the outlet 212 that is opened to the lower end of the central body 210 .

상기 중앙 몸체(210)의 하단은 평면으로 형성된다.The lower end of the central body 210 is formed in a flat surface.

본 발명에 따른 노즐 바(300)는 상기 중앙 몸체(210)의 하단에 결합된다. 결합은 레일 및 레일홈 방식으로 결합될 수도 있고, 서로 맞대응되어 볼트와 같은 결합 수단을 통해 서로 결합될 수도 있으며, 중앙 몸체(210)와 노즐 바(300)의 상단 사이에는 기밀을 형성할 수 있는 가스켓이 더 설치될 수도 있다.The nozzle bar 300 according to the present invention is coupled to the lower end of the central body 210 . The coupling may be coupled to a rail and a rail groove method, may be coupled to each other through coupling means such as bolts, and may be coupled to each other through coupling means such as bolts, and airtightness may be formed between the central body 210 and the upper end of the nozzle bar 300 A gasket may be further installed.

상기 한 쌍의 측부 몸체(220)는 상기 중앙 몸체(210)의 양측 상단에 형성되며, 하방으로 일정 길이를 갖도록 형성된다.The pair of side body 220 is formed on both upper ends of the central body 210, is formed to have a predetermined length downward.

상기 한 쌍의 측부 몸체(220)의 하단은 후술되는 노즐 바(300)의 하단과 실질적으로 동일선 상에 위치된다.The lower ends of the pair of side bodies 220 are positioned substantially on the same line as the lower ends of the nozzle bar 300 to be described later.

상기 한 쌍의 측부 몸체(220)는 상기 노즐 바(300)의 양측부로부터 일정 간격을 이루어 일정의 공간을 형성하도록 배치된다.The pair of side body 220 is arranged to form a predetermined space by forming a predetermined interval from both sides of the nozzle bar (300).

다음은, 상기 중앙 몸체(210)의 하단에 설치되는 본 발명에 따른 노즐 바(300)를 설명한다.Next, the nozzle bar 300 according to the present invention installed at the lower end of the central body 210 will be described.

도 4는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 일부 절개 사시도이고, 도 6은 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 노즐 바의 하단을 보여주는 저면도이고, 도 8은 본 발명에 따른 노즐의 형상의 예를 보여주는 도면이다.4 is a perspective view showing a nozzle bar according to the present invention, FIG. 5 is a partially cut-away perspective view showing a nozzle bar according to the present invention, FIG. 6 is a cross-sectional view showing a nozzle bar according to the present invention, and FIG. 7 is a nozzle bar according to the present invention is a bottom view showing the lower end of the, Figure 8 is a view showing an example of the shape of the nozzle according to the present invention.

도 4 내지 도 7을 참조 하면, 본 발명에 따른 노즐 바(300)는 세정에어가 공급되는 공급유로(311)가 형성되는 노즐 바 몸체(310)와, 상기 노즐 바 몸체(310)의 내부에 형성되며, 상기 노즐 바 몸체(310)의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 노즐(320)을 갖는다.4 to 7 , the nozzle bar 300 according to the present invention includes a nozzle bar body 310 in which a supply passage 311 to which cleaning air is supplied is formed, and the nozzle bar body 310 inside the nozzle bar body 310 . It has a plurality of nozzles 320 formed along the longitudinal direction of the nozzle bar body (310).

상기 다수의 노즐(320)은, 상기 노즐 바 몸체(310)의 내부에 성형되고, 상기 공급유로(311)부터 상기 세정에어를 공급받아, 유속을 일정 이상으로 증가시켜 상기 노즐 바 몸체(310)의 하부로 분사한다.The plurality of nozzles 320 are molded in the nozzle bar body 310, receive the cleaning air from the supply flow path 311, and increase the flow rate to a certain level or higher to increase the nozzle bar body 310. spray to the bottom of

상기 노즐 바 몸체(310)는 전체적으로 역삼각형 형상으로 형성된다.The nozzle bar body 310 is formed in an inverted triangular shape as a whole.

여기서 도 8을 참조 하면, 상기 다수의 노즐(320) 각각은 설정된 제 1내경 및 제 1길이를 형성하는 제 1노즐 몸체(321)와, 상기 제 1노즐 몸체(321)의 단부에 연결되며, 제 2내경이 점진적으로 줄어드는 제 2길이를 갖는 제 2노즐 몸체(322)와, 상기 제 2노즐 몸체(322)의 단부에 연결되며, 제 3내경이 점진적으로 확장되는 제 3길이를 이루어 상기 세정에어를 분사하는 제 3노즐 몸체(323)를 포함한다.8, each of the plurality of nozzles 320 is connected to a first nozzle body 321 forming a set first inner diameter and a first length, and an end of the first nozzle body 321, A second nozzle body 322 having a second length in which the second inner diameter is gradually reduced, is connected to the end of the second nozzle body 322, and forms a third length in which the third inner diameter is gradually expanded. and a third nozzle body 323 for spraying air.

상기 제 2노즐 몸체(322)의 제 2내경은 상기 제 3노즐 몸체(323)의 제 3 내경 보다 더 벌어지도록 형성된다.The second inner diameter of the second nozzle body 322 is formed to be wider than the third inner diameter of the third nozzle body 323 .

그리고 상기 제 1노즐 몸체(321)와 상기 제 2노즐 몸체(322)의 경계와, 상기 제 2노즐 몸체(322)와 상기 제 3노즐 몸체(323)의 경계는 곡률을 형성한다.A boundary between the first nozzle body 321 and the second nozzle body 322 and the boundary between the second nozzle body 322 and the third nozzle body 323 form a curvature.

상기와 같이 구성되는 노즐 바(300)는 중앙 몸체(210)의 하단에 결합된다. 이때, 노즐 바 몸체(310)의 상단은 중앙 몸체(210)의 하단에 결합된다.The nozzle bar 300 configured as described above is coupled to the lower end of the central body 210 . At this time, the upper end of the nozzle bar body 310 is coupled to the lower end of the central body 210 .

상기 노즐 바 몸체(310)의 상단은 평면으로 형성된다.The upper end of the nozzle bar body 310 is formed in a flat surface.

도 9는 본 발명에 따른 노즐 바의 유동 해석 결과를 보여주는 도면이다.9 is a view showing a flow analysis result of a nozzle bar according to the present invention.

도 9를 참조 하면, 본 발명에 따른 상기 한 쌍의 측부 몸체(220) 하단 각각에는, 가이드 몸체(230)가 설치된다.Referring to FIG. 9 , a guide body 230 is installed at each of the lower ends of the pair of side body 220 according to the present invention.

각각의 상기 가이드 몸체(230)는, L 형상의 제 1가이드(231)와, 상기 제 1가이드(231)의 하단에서 일정각도 상향 경사지는 제 2가이드(232)와, 상기 제 2가이드(232)의 상단에서 수평을 이루어 연장되는 제 3가이드(233)를 포함한다.Each of the guide bodies 230 includes an L-shaped first guide 231 , a second guide 232 inclined upward at a predetermined angle from the lower end of the first guide 231 , and the second guide 232 . ) and a third guide 233 extending horizontally from the upper end.

상기 제 2가이드(232)에는 제 1홀(232a)이 형성되고, 상기 제 3가이드(233)에는 제 2홀(233a)이 형성되되, 상기 제 2홀(233a)의 크기는 상기 제 1홀(232a)의 크기 보다 크게 형성된다.A first hole 232a is formed in the second guide 232 , and a second hole 233a is formed in the third guide 233 , and the size of the second hole 233a is the same as that of the first hole. It is formed larger than the size of (232a).

각각의 상기 가이드 몸체(230)는, 상기 노즐 바(300)를 경계로 대칭을 이루도록 배치된다.Each of the guide bodies 230 is disposed to form a symmetry with respect to the nozzle bar 300 as a boundary.

상기 제 3가이드(233)는, 상기 노즐 바 몸체(310)의 측면에서 일정 거리 이격된다. 상기 제 3가이드(233)는 상기 노즐(320)의 측부에 배치되고, 상기 제 3가이드(233)의 단부는, 상기 노즐(320)의 경사에 상응하는 경사면(미도시)을 형성한다.The third guide 233 is spaced apart from the side of the nozzle bar body 310 by a predetermined distance. The third guide 233 is disposed on the side of the nozzle 320 , and an end of the third guide 233 forms an inclined surface (not shown) corresponding to the inclination of the nozzle 320 .

상기 제 1가이드(231)의 하단은, 상기 제 3노즐 몸체(323)의 하단과 실질적으로 동일 선상에 위치된다.The lower end of the first guide 231 is positioned substantially on the same line as the lower end of the third nozzle body 323 .

이를 통해 연결 몸체(210)의 분출 유로(211)를 통해 유동되는 세정 에어는 노즐 바 몸체(310)에 형성된 공급 유로(311)로 유동된다.Through this, the cleaning air flowing through the ejection passage 211 of the connection body 210 flows into the supply passage 311 formed in the nozzle bar body 310 .

상기 공급 유로(311)로 유동된 세정 에어는 균일한 내경을 갖는 제 1노즐 몸체(321)를 통해 유동되고, 제 2노즐 몸체(322)를 통해 유동되면서 유속이 일정 이상으로 증가되고, 제 3노즐 몸체(323)를 통해 확장되면서 유체의 속도가 일정 이상으로 증가된 상태에서 분사되는 영역이 일정 이상으로 증가될 수 있다.The cleaning air flowing into the supply flow path 311 flows through the first nozzle body 321 having a uniform inner diameter, and as it flows through the second nozzle body 322, the flow rate increases to a certain level or more, and the third As it expands through the nozzle body 323, the sprayed area may be increased more than a certain level while the velocity of the fluid is increased over a certain level.

이에 따라 노즐 바 몸체(310)의 하부에 배치된 스테이지(10) 상에 안착된 세정 대상물의 표면을 건식 세정함에 있어서, 건식 에어의 유속을 물리적으로 증가시키지 않아도 본 발명에 따른 노즐 바(300)를 사용하여 유속을 증가시키면서 일정 이상의 세정 영역을 증가시킬 수 있다.Accordingly, in dry cleaning the surface of the object to be cleaned seated on the stage 10 disposed under the nozzle bar body 310, the nozzle bar 300 according to the present invention does not physically increase the flow rate of the dry air. can be used to increase the flow rate while increasing the cleaning area above a certain level.

도 10 및 도 11은 본 발명에 따른 노즐들의 위치가 가변 가능한 예를 보여주는 도면들이다.10 and 11 are views showing an example in which the positions of the nozzles according to the present invention are variable.

도 10 및 도 11을 참조 하면, 본 발명에 따른 노즐 바 몸체(310)는 길이 방향을 따라 다수의 단위 몸체(310')가 배치되는 배치홀들(312)이 형성된다.10 and 11 , in the nozzle bar body 310 according to the present invention, arrangement holes 312 in which a plurality of unit bodies 310 ′ are disposed along the longitudinal direction are formed.

상기 배치홀들(312)에 배치되는 상기 다수의 단위 몸체(310')를 승강시키는 승강기들(600)이 배치된다.Elevators 600 for elevating the plurality of unit bodies 310 ′ disposed in the arrangement holes 312 are disposed.

상기 승강기들(600) 각각은, 상기 연결 몸체(200)의 중앙 몸체(210)에 설치된다.Each of the elevators 600 is installed in the central body 210 of the connection body 200 .

상기 승강기들(210) 각각은 상기 노즐 바 몸체(310)의 상단에 연결되고 승강되는 축(610)을 갖는 실린더(600)일 수 있다.Each of the elevators 210 may be a cylinder 600 connected to an upper end of the nozzle bar body 310 and having an ascending shaft 610 .

여기서, 상기 배치홀(312)의 내주와 상기 단위 몸체들(310') 간 사이에는 기밀을 이룰 수 있는 오링들(미도시)이 더 설치될 수 있다.Here, between the inner periphery of the arrangement hole 312 and the unit bodies 310 ′, O-rings (not shown) capable of achieving airtightness may be further installed.

상기 다수의 단위 몸체(310')에는 상기 다수의 노즐(320)이 각각 형성된다.The plurality of nozzles 320 are respectively formed on the plurality of unit bodies 310 ′.

상기 승강기들(600)은, 제어기(500)의 제어에 따라 상기 배치홀들(312)에 배치된 상기 다수의 단위 몸체(310') 각각을 승강시켜 승강 위치를 가변시킨다.The elevators 600 elevate each of the plurality of unit bodies 310 ′ disposed in the arrangement holes 312 under the control of the controller 500 to change the lifting position.

본 발명에 따른 노즐 바 몸체(310)의 하부에는 세정 대상물(20)이 안착되는 스테이지(10)가 배치된다.A stage 10 on which the object to be cleaned 20 is seated is disposed under the nozzle bar body 310 according to the present invention.

상기 노즐 바 몸체(310)의 하단에는, 상기 스테이지(10)에 안착되는 상기 세정 대상물(20)의 상면에 대한 영상을 취득하는 영상 취득기(400)가 배치된다An image acquirer 400 for acquiring an image of the upper surface of the cleaning object 20 seated on the stage 10 is disposed at the lower end of the nozzle bar body 310 .

상기 영상 취득기(400)는 제어기(500)로 취득된 상기 영상을 전송한다.The image acquirer 400 transmits the acquired image to the controller 500 .

상기 제어기(500)는 상기 영상을 이미지 처리하여 상기 세정 대상물(20)의 상면과의 거리값을 산출하되, 상기 다수의 노즐(320)이 배치된 위치에서의 거리값들을 산출한다.The controller 500 image-processes the image to calculate a distance value from the upper surface of the cleaning object 20 , and calculates distance values at positions where the plurality of nozzles 320 are disposed.

상기 제어기(500)에는 기준 거리값이 설정된다. 상기 제어기(500)는 산출된 거리값들이 상기 기준 거리값에 이르도록 상기 승강기들(600)의 구동을 제어하여 상기 다수의 단위 몸체(310') 각각의 승강 높이를 실시간으로 제어한다.A reference distance value is set in the controller 500 . The controller 500 controls the driving of the elevators 600 so that the calculated distance values reach the reference distance value to control the elevation height of each of the plurality of unit bodies 310 ′ in real time.

또한, 상기 다수의 노즐(320) 내부에 형성되는 유로의 내벽에는 스파이럴 형상의 돌기(미도시)가 더 형성된다.In addition, a spiral-shaped protrusion (not shown) is further formed on the inner wall of the flow path formed inside the plurality of nozzles 320 .

상기의 구성을 통해, 스테이지(10) 상에 세정 대상물(20)이 안착되면, 영상 취득기(400)는 세정 대상물(20)의 상면에 대한 영상을 취득하고, 이를 제어기(500)로 전송한다.Through the above configuration, when the cleaning object 20 is seated on the stage 10 , the image acquirer 400 acquires an image of the upper surface of the cleaning object 20 , and transmits it to the controller 500 . .

상기 제어기(500)는 취득한 영상을 이미지 처리하여, 세정 대상물(20)의 표면에 대한 영상에서의 설정된 규격을 이루는 격자 위치에 따른 단위 몸체들(310')의 하단과, 격자 위치에서의 거리값들을 산출한다.The controller 500 image-processes the acquired image, and the lower end of the unit bodies 310' according to the grid position forming the standard set in the image for the surface of the cleaning object 20 and the distance value at the grid position produce them

상기 제어기(500)는 산출된 거리값들이 기설정되는 기준 거리값에 이르도록 승강기들(600)을 구동시켜 단위 몸체들(310') 각각의 승강 높이 또는 승강 위치를 조절한다.The controller 500 drives the elevators 600 so that the calculated distance values reach a preset reference distance value to adjust the elevation height or elevation position of each of the unit bodies 310 ′.

이에 따라 노즐들(320)의 하단과 세정 대상물(20)의 상면 다수 위치에서의 거리값은 동일해 질 수 있다.Accordingly, the distance values between the lower ends of the nozzles 320 and the plurality of positions on the upper surface of the object 20 to be cleaned may be the same.

이의 상태에서 세정 에어는 상술한 바와 같이 노즐들을 통해 유속이 일정 이상으로 증가되는 상태로 세정 대상물의 표면에 분사되기 때문에, 세정 대상물의 표면 상태에 구애 받지 않고 균일한 분사 높이를 이루어 세정 에어를 분사시킬 수 있다.In this state, since the cleaning air is sprayed onto the surface of the object to be cleaned in a state in which the flow rate is increased above a certain level through the nozzles as described above, the cleaning air is sprayed with a uniform spray height regardless of the surface state of the object to be cleaned. can do it

상기의 구성 및 작용에 따라 본 발명은 세정대상물에 일렬을 이루어 세정에어를 분사하여 세정함과 동시에 세정시 발생되는 이물질이 외부에 비산되지 않도록 흡입되도록 할 수 있는 효과를 갖는다.According to the above configuration and action, the present invention has the effect of allowing the cleaning object to be cleaned by spraying cleaning air in line with the object to be cleaned, and at the same time, the foreign substances generated during cleaning can be sucked so as not to scatter to the outside.

또한, 본 발명은 노즐 바를 단품으로 구현하여 건식 세정이 요구되는 장치에서 세정에어를 분사하는 분사부에 탈착 가능하도록 하여 범용으로 사용하도록 할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, the present invention has the effect of making it possible to use the nozzle bar as a single unit so that it can be used for general purpose by making it detachable from the spraying part for spraying cleaning air in a device requiring dry cleaning.

또한, 본 발명은 노즐을 이루는 다수의 단위 몸체를 승강시켜 세정 대상물의 다수 위치에서의 표면과의 거리를 일정하게 유지한 상태에서 세정에어를 분사시켜 세정 효율을 상승시킬 수 있음과 아울러, 세정 과정에서 발생되는 이물질 등이 세정 대상물의 표면으로 비산되지 않도록 할 수 있는 효과를 갖는다.In addition, according to the present invention, cleaning efficiency can be increased by elevating a plurality of unit bodies constituting the nozzle to spray cleaning air while maintaining a constant distance from the surface at a plurality of positions of the object to be cleaned, and the cleaning process It has the effect of preventing foreign substances, etc. generated from scattering on the surface of the object to be cleaned.

도 12는 본 발명에 따른 다른 실시예를 따른 세정 유닛을 보여주는 사시도이다.12 is a perspective view showing a cleaning unit according to another embodiment according to the present invention.

도 12를 참조 하면, 본 발명에 따른 세정 유닛은 다수의 노즐(320)이 형성되며, 일정 길이를 갖는 노즐 바(300)와, 상기 노즐 바(300)의 상단에 배치되며, 상기 다수의 노즐(320)로 세정 에어를 공급하는 세정 에어 공급관(400)과, 상기 노즐 바(300)의 둘레 및 상기 세정 에어 공급관(400)을 에워싸도록 설치되며, 상기 다수의 노즐(320)로부터 분사되는 세정 에어가 그 하부에 배치되는 세정 대상물에 공급되어 비산되는 세정후 에어를 회수하고, 상기 노즐 바(300)의 외면 및 상기 세정 에어 공급관(400)의 외면과 이격된 공간을 배기 유로로 사용하여 외부로 배기시키는 배기부(500)를 포함한다.12 , in the cleaning unit according to the present invention, a plurality of nozzles 320 are formed, a nozzle bar 300 having a predetermined length, and disposed on the upper end of the nozzle bar 300 , the plurality of nozzles The cleaning air supply pipe 400 for supplying cleaning air to the 320 is installed to surround the circumference of the nozzle bar 300 and the cleaning air supply pipe 400 , and is sprayed from the plurality of nozzles 320 . The cleaning air is supplied to the object to be cleaned disposed under it and the scattered air is recovered after cleaning, and the space spaced apart from the outer surface of the nozzle bar 300 and the outer surface of the cleaning air supply pipe 400 is used as an exhaust passage. It includes an exhaust unit 500 for exhausting to the outside.

상기 다수의 노즐(320) 각각은 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이 설정된 제 1내경 및 제 1길이를 형성하는 제 1노즐 몸체(310)와, 상기 제 1노즐 몸체(310)의 단부에 연결되며, 제 2내경이 점진적으로 줄어드는 제 2길이를 갖는 제 2노즐 몸체(320)와, 상기 제 2노즐 몸체(320)의 단부에 연결되며, 제 3내경이 점진적으로 확장되는 제 3길이를 이루어 상기 세정 에어를 분사하는 제 3노즐 몸체(330)를 포함한다.Each of the plurality of nozzles 320 includes a first nozzle body 310 forming a first inner diameter and a first length set as shown in FIGS. 5 and 6, and at the end of the first nozzle body 310. a second nozzle body 320 having a second length in which the second inner diameter is gradually reduced, and a third length connected to the end of the second nozzle body 320 and gradually expanding the third inner diameter and a third nozzle body 330 for spraying the cleaning air.

여기서 상기 제 2노즐 몸체(320)의 제 2내경은 상기 제 3노즐 몸체(330)의 제 3내경 보다 더 벌어지도록 형성된다.Here, the second inner diameter of the second nozzle body 320 is formed to be wider than the third inner diameter of the third nozzle body 330 .

상기 제 1노즐 몸체(310)는 상기 세정 에어 공급관(400)과 연결된다.The first nozzle body 310 is connected to the cleaning air supply pipe 400 .

그리고 상기 제 1노즐 몸체(310)와 상기 제 2노즐 몸체(320)의 경계와, 상기 제 2노즐 몸체(320)와 상기 제 3노즐 몸체(330)의 경계는 곡률이 형성된다.A boundary between the first nozzle body 310 and the second nozzle body 320 and the boundary between the second nozzle body 320 and the third nozzle body 330 is formed with a curvature.

도 13은 본 발명에 따른 공급관과 배기부의 일부와의 결합 상태를 보여주는 사시도이고, 도 14는 본 발명에 따른 배기 유로를 보여주는 사시도이고, 도 15는 본 발명에 따른 노즐 바를 보여주는 사시도이고, 도 16은 본 발명에 따른 노즐 바의 일부를 보여주는 확대 사시도이다.13 is a perspective view showing a coupling state between a supply pipe and a part of an exhaust unit according to the present invention, FIG. 14 is a perspective view showing an exhaust flow path according to the present invention, FIG. 15 is a perspective view showing a nozzle bar according to the present invention, and FIG. 16 is an enlarged perspective view showing a part of the nozzle bar according to the present invention.

도 17은 본 발명에 따른 세정 유닛을 보여주는 일부 절개 단면도이고, 도 18은 도 17의 표시 부호 A를 보여주는 도면이다.17 is a partially cut-away cross-sectional view showing the cleaning unit according to the present invention, and FIG. 18 is a view showing the reference symbol A of FIG. 17 .

도 12 내지 도 14를 참조 하면, 본 발명에 따른 배기부(500)는 직사각 틀 형상의 하단 몸체(510)와, 직사각 틀 형상의 연결 몸체(520)와, 배기관(530)을 포함한다.12 to 14 , the exhaust unit 500 according to the present invention includes a lower body 510 having a rectangular frame shape, a connecting body 520 having a rectangular frame shape, and an exhaust pipe 530 .

상기 하단 몸체(510) 내부에는 본 발명에 따른 노즐 바(300)가 배치된다.The nozzle bar 300 according to the present invention is disposed inside the lower body 510 .

상기 노즐 바(300)의 구성은 상술한 구성과 동일할 수 있다.The configuration of the nozzle bar 300 may be the same as the configuration described above.

상기 노즐 바(300)는 노즐 바 몸체(310)와, 다수의 노즐(320)을 갖는다.The nozzle bar 300 has a nozzle bar body 310 and a plurality of nozzles 320 .

상기 노즐 바 몸체(320)의 상단은 세정 에어 공급관(530)과 연결되어 공급 유로를 형성한다.The upper end of the nozzle bar body 320 is connected to the cleaning air supply pipe 530 to form a supply flow path.

상기 하단 몸체(510)의 상단에는 중간 플레이트(540)가 설치된다. 상기 중간 플레이트(540)에는 배기홀들(541)이 형성된다. 상기 배기홀들(541)은 일정 간격을 이루어 장홀 형상으로 형성된다.An intermediate plate 540 is installed on the upper end of the lower body 510 . Exhaust holes 541 are formed in the intermediate plate 540 . The exhaust holes 541 are formed in a long hole shape at regular intervals.

상기 중간 플레이트(540)의 상단에는 연결 몸체(520)가 설치된다.A connection body 520 is installed on the upper end of the intermediate plate 540 .

상기 연결 몸체(520)의 상단에는 배기관(530)이 연결된다. 상기 배기관(530)의 하단은 절개되어 상기 연결 몸체(520) 사이 공간에 연통된다.An exhaust pipe 530 is connected to the upper end of the connection body 520 . The lower end of the exhaust pipe 530 is cut to communicate with the space between the connection bodies 520 .

이에 따라, 상기 하단 몸체(510) 내부 공간, 상기 연결 몸체(520) 내부 공간 및 상기 배기관(530)을 연결하는 배기 유로가 형성된다.Accordingly, an exhaust passage connecting the inner space of the lower body 510 , the inner space of the connecting body 520 and the exhaust pipe 530 is formed.

상기 배기관(530)의 양단은 하방을 따라 벤딩되는 형상으로 형성된다. 물론, 상기 벤딩되는 배기관의 양단은 주름관으로 형성되어 방향성이 변경될 수도 있다.Both ends of the exhaust pipe 530 are formed to be bent along the lower side. Of course, both ends of the bent exhaust pipe may be formed as a corrugated pipe, so that the direction may be changed.

이를 통해, 세정 에어는 세정 에어 공급관(530)을 통해 노즐 바 몸체(310)에 형성된 유입홀들(311)을 통해 각각의 노즐(320)로 공급된다.Through this, the cleaning air is supplied to each nozzle 320 through the inlet holes 311 formed in the nozzle bar body 310 through the cleaning air supply pipe 530 .

각 노즐(320)로 공급되는 세정 에어는 일정한 유량으로 공급되면서, 제 1,2,3노즐 몸체(321, 322, 323)를 유동하면서 유속이 일정 이상으로 증가되어 하방으로 분사된다.The cleaning air supplied to each nozzle 320 is supplied at a constant flow rate and flows through the first, second, and third nozzle bodies 321 , 322 , and 323 while increasing the flow rate to a certain level or more, and is sprayed downward.

하방으로 분사되는 세정 에어에 의해 그 하부에 배치된 세정 대상물의 표면을 건식 세정할 수 있다.The surface of the object to be cleaned disposed thereunder can be dry cleaned by the cleaning air sprayed downward.

그리고, 세정을 마친 이후의 세정 후 에어는 하단 몸체(510)와의 내부 공간으로 회수된다.And, after cleaning, the air after cleaning is recovered to the inner space with the lower body 510 .

이때, 배기관(530)은 배기 펌프(미도시)와 연결되고, 배기 펌프의 구동을 통해 강제 배기가 이루어질 수 있다.In this case, the exhaust pipe 530 may be connected to an exhaust pump (not shown), and forced exhaust may be performed by driving the exhaust pump.

그리고 상기 세정 후 에어는 상술한 배기 유로를 통해 배기관(530)으로 유입되면서 외부로 배출될 수 있다.And, after the cleaning, the air may be discharged to the outside while being introduced into the exhaust pipe 530 through the above-described exhaust passage.

따라서 본 발명에서는 세정 대상물을 세정한 이후의 세정 에어가 다시 세정에 투입됨에 따라 세정 대상물의 표면에 이물질을 다시 존재하게 만드는 현상을 방지할 수 있다.Therefore, in the present invention, as the cleaning air after cleaning the object is again injected into the cleaning process, it is possible to prevent the phenomenon of re-existing foreign substances on the surface of the object to be cleaned.

특히, 도면에 도시되지는 않았지만 상기 하단 몸체의 하단에는 슬라이딩 방식으로 결합되는 사각 틀 형상의 보조 몸체가 더 설치될 수 있다.In particular, although not shown in the drawings, an auxiliary body having a rectangular frame shape coupled in a sliding manner may be further installed at the lower end of the lower body.

상기 보조 몸체는 상가 하단 몸체에 설치되는 실린더의 축에 연결된다.The auxiliary body is connected to the shaft of the cylinder installed in the lower body of the shopping mall.

제어기는 실린더의 축을 승강시켜 상기 보조 몸체의 승강 위치를 조절한다. 상기 보조 몸체에는 그 하부에 배치된 세정 대상물과의 거리를 측정하고, 이를 제어기로 전송하는 센서가 설치된다.The controller adjusts the lifting position of the auxiliary body by raising and lowering the shaft of the cylinder. The auxiliary body is provided with a sensor that measures the distance to the object to be cleaned and transmits it to the controller.

상기 제어기는 설정된 거리를 이루도록 상기 실린더를 구동시켜 상기 보조 몸체의 승강 위치를 가변적으로 조절한다.The controller variably adjusts the lifting position of the auxiliary body by driving the cylinder to achieve a set distance.

또한 노즐 바 몸체의 상단에 형성된 유입홀들 각각은 공급 라인들과 연결된다.In addition, each of the inlet holes formed at the top of the nozzle bar body is connected to the supply lines.

상기 공급 라인들은 세정 에어 공급관과 연결된다.The supply lines are connected to the cleaning air supply pipe.

상기 공급 라인들 각각에는 유량 조절 밸브들이 설치된다.Flow control valves are installed in each of the supply lines.

상기 노즐 바 몸체의 하단에는, 스테이지에 안착되는 세정 대상물의 상면에 대한 영상을 취득하는 영상 취득기가 배치된다.An image acquisition device for acquiring an image of the upper surface of the cleaning object seated on the stage is disposed at the lower end of the nozzle bar body.

상기 영상 취득기는 제어기로 취득된 상기 영상을 전송한다.The image acquirer transmits the acquired image to the controller.

상기 제어기는 상기 영상을 이미지 처리하여 세정 대상물의 표면에서 일정 이상 돌출되는 영역을 선정할 수 있다.The controller may image-process the image to select an area that protrudes more than a certain amount from the surface of the object to be cleaned.

이 돌출되는 영역에는 일정 이상 분사압을 이루도록 세정 에어가 분사됨이 필요할 수 있다.In this protruding area, it may be necessary to spray cleaning air to achieve a predetermined or higher injection pressure.

상기 제어기는 상기 돌출되는 영역을 선정하고, 상기 다수의 노즐 중, 선정된 상기 돌출되는 영역 상부에 위치되는 노즐을 선정한다.The controller selects the protruding area, and selects a nozzle positioned above the selected protruding area from among the plurality of nozzles.

상기 제어기는 상기 다수의 노즐 중, 상기 돌출되는 영역 이외의 영역 상부에 배치되는 노즐로 기설정된 기준 분사압을 이루도록 해당 유량 조절 밸브의 개폐각을 조절한다.The controller adjusts the opening/closing angle of the corresponding flow rate control valve to achieve a preset reference injection pressure with a nozzle disposed above an area other than the protruding area among the plurality of nozzles.

아울러 상기 제어기는 상기 선정된 돌출되는 영역의 상부에 배치되는 노즐로 기설정된 기준 분사압 이상을 이루도록 유량 조절 밸브의 개폐각을 조절할 수도 있다.In addition, the controller may adjust the opening/closing angle of the flow control valve to achieve a predetermined reference injection pressure or more with a nozzle disposed above the selected protruding area.

도 19는 본 발명에 따른 세정 유닛이 승강 장치를 구비하는 예를 보여주는 도면이고, 도 20은 본 발명에 따른 승강 장치를 보여주는 도면이다.19 is a view showing an example in which the cleaning unit according to the present invention includes a lifting device, and FIG. 20 is a view showing the lifting device according to the present invention.

도 19를 참조 하면, 본 발명에 따른 세정 유닛은 승강 장치(700)와 연결된다.Referring to FIG. 19 , the cleaning unit according to the present invention is connected to the lifting device 700 .

상기 승강 장치(700)는 플레이트 부(710)와, 승강 모듈(720)을 구비한다. 상기 승강 모듈(720)은 제어기(500)의 제어에 의해 승강되는 승강축(721)을 갖는 실린더일 수 있다.The elevating device 700 includes a plate portion 710 and an elevating module 720 . The elevating module 720 may be a cylinder having an elevating shaft 721 that is elevated by the control of the controller 500 .

상기 플레이트 부(710)는 승강 플레이트(711)와 고정 플레이트(712)를 구비한다.The plate part 710 includes a lifting plate 711 and a fixing plate 712 .

상기 고정 플레이트(712)는 세정 장치 또는 설비의 설정된 설치 위치에 고정될 수 있다.The fixing plate 712 may be fixed to a set installation position of the cleaning device or equipment.

상기 고정 플레이트(712)의 중앙부에는 승강 모듈(720)이 장착된다. 상기 승강축(721)은 상하를 따라 승강되도록 구성된다.The lifting module 720 is mounted on the central portion of the fixing plate 712 . The lifting shaft 721 is configured to be lifted up and down along the top and bottom.

상기 승강축(721)의 상단에는 고정 부재(722)가 설치된다. 상기 고정 부재(722)는 ‘ㅠ’형상으로 형성된다.A fixing member 722 is installed at the upper end of the lifting shaft 721 . The fixing member 722 is formed in a 'ㅠ' shape.

상기 고정 부재(722)의 상단은 상기 승강축(721)의 상단에 고정된다.The upper end of the fixing member 722 is fixed to the upper end of the lifting shaft 721 .

상기 고정 부재(722)의 하단은 승강 플레이트(711)에 연결된다.A lower end of the fixing member 722 is connected to the lifting plate 711 .

상기 배기관(530)의 상단부 다수 위치에는 고정 블록들(740)이 설치된다. 상기 고정 블록들(540)은 고리 부재들(541)에 의해 승강 플레이트(711)의 전면부 일정 위치에 걸려 고정된다.Fixing blocks 740 are installed at multiple positions of the upper end of the exhaust pipe 530 . The fixing blocks 540 are hooked and fixed to a predetermined position in the front portion of the lifting plate 711 by the ring members 541 .

또한 상기 승강 플레이트(711)의 양측 하단에는 상기 노즐 바(300) 양단을 회전 지지하는 회전 지지 블록(711a)이 각각 설치된다.In addition, rotation support blocks 711a for rotationally supporting both ends of the nozzle bar 300 are installed at both lower ends of the lifting plate 711 .

제어기(500)는 승강 모듈(720)을 구동시켜 승강축(721)을 승강시킨다.The controller 500 drives the elevating module 720 to elevate the elevating shaft 721 .

이에 따라, 노즐 바(300)의 상하 위치를 가변적으로 조절될 수 있다. 이를 통해 노즐 바(300) 하부의 스테이지에 배치되는 세정 대상물과의 상하 유격을 일정하게 유지되도록 가변적으로 조절할 수 있다.Accordingly, the vertical position of the nozzle bar 300 may be variably adjusted. Through this, it is possible to variably adjust the vertical clearance with the object to be cleaned disposed on the stage under the nozzle bar 300 to be constantly maintained.

도 21은 본 발명에 따른 세정 유닛의 후면부를 보여주는 사시도이고, 도 22는 본 발명에 따른 회전부를 보여주는 사시도이다.21 is a perspective view showing a rear surface of a cleaning unit according to the present invention, and FIG. 22 is a perspective view showing a rotating part according to the present invention.

고정 플레이트(712)와 승강 플레이트(711)는 마주보도록 배치된다.The fixing plate 712 and the lifting plate 711 are disposed to face each other.

상기 승강 플레이트(711)의 하단부에는 상술한 바와 같이 노즐 바(300)가 설치된다. 다수의 노즐은 하방을 따라 세정 에어를 분사하도록 배치된다.The nozzle bar 300 is installed at the lower end of the lifting plate 711 as described above. A plurality of nozzles are arranged to spray cleaning air along a downward direction.

상기 승강 플레이트(711)의 후면부 하단에는 회전부(800)가 설치된다.A rotating part 800 is installed at the lower end of the rear part of the lifting plate 711 .

상기 승강 플레이트(711)의 하단 양측부에는 상기 노즐 바(300)의 양단을 회전 지지하는 회전 블록(711a)이 각각 설치된다.Rotation blocks 711a for rotating and supporting both ends of the nozzle bar 300 are installed at both ends of the lower end of the lifting plate 711 , respectively.

상기 회전부(800)는 모터축(811)을 갖는 모터(810)와, 상기 모터축(811)에 설치되는 캠 부재들(820)을 갖는다.The rotating part 800 includes a motor 810 having a motor shaft 811 and cam members 820 installed on the motor shaft 811 .

상기 모터축(811)은 승강 플레이트(711)의 후면부에 설치되는 회전 지지 부재(830)에 의해 회전 지지된다.The motor shaft 811 is rotationally supported by a rotation support member 830 installed on the rear surface of the lifting plate 711 .

상기 모터축(811)은 승강 플레이트(711)의 하부에 절개되는 절개홈을 통해 노즐 바의(300)의 후면부에 노출된다.The motor shaft 811 is exposed to the rear portion of the nozzle bar 300 through a cut-out groove cut in the lower portion of the lifting plate 711 .

상기 노즐 바(300)의 후면부에는 상기 캠 부재들(830)과 면 접촉되는 롤러(390)가 배치된다.A roller 390 that is in surface contact with the cam members 830 is disposed on the rear surface of the nozzle bar 300 .

상기 모터(810)는 제어기(500)의 제어에 따라 캠 부재들(830)을 회전시킨다.The motor 810 rotates the cam members 830 under the control of the controller 500 .

회전되는 캠 부재들(830)은 롤러(390) 둘레에 접촉되어 회전된다.The rotating cam members 830 are rotated in contact with the circumference of the roller 390 .

이를 통해 노즐 바(300)는 각각의 연결 블록(711a)을 회전 중심으로 하여 캠 부재들(830)의 회전에 따라 전후 방향을 따라 일정 각도로 경사를 이루도록 회전될 수 있다. 이 각도는 5도 이내에서 조절되는 것이 좋다.Through this, the nozzle bar 300 may be rotated to be inclined at a predetermined angle along the front-rear direction according to the rotation of the cam members 830 with each connection block 711a as a rotation center. It is recommended that this angle be adjusted within 5 degrees.

따라서 노즐 바(300)의 하부에 세정 대상물의 표면에 분사되는 세정 에어의 분사각을 가변적으로 조절하여, 세정 대상물의 표면에 홈이 형성되는 경우 이 홈에 잔류되는 이물질을 비스듬하게 세정 에어를 분사하여 용이하게 제거할 수 있다.Therefore, when a groove is formed on the surface of the object to be cleaned by variably adjusting the spray angle of the cleaning air sprayed to the surface of the object to be cleaned under the nozzle bar 300, the cleaning air is sprayed obliquely to the foreign substances remaining in the groove. so it can be easily removed.

전술한 본 발명은, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하므로 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니다.For those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains, various substitutions, modifications and changes are possible within the scope of the present invention without departing from the technical spirit of the present invention. is not limited by

100 : 유닛 몸체
200 : 연결 몸체
300 : 노즐 바
310 : 노즐 바 몸체
320 : 노즐
321 : 제 1노즐 몸체
322 : 제 2노즐 몸체
323 : 제 3노즐 몸체100: unit body
200: connecting body
300: nozzle bar
310: nozzle bar body
320: nozzle
321: first nozzle body
322: second nozzle body
323: third nozzle body

Claims (8)

세정에어가 공급되는 공급유로가 형성되는 노즐 바 몸체;
상기 노즐 바 몸체의 내부에 형성되며, 상기 노즐 바 몸체의 길이 방향을 따라 형성되는 다수의 노즐;을 포함하되,
상기 다수의 노즐은,
상기 노즐 바 몸체의 내부에 성형되고, 상기 공급유로부터 상기 세정에어를 공급받아, 유속을 일정 이상으로 증가시켜 상기 노즐 바 몸체의 하부로 분사하되,
상기 노즐 바 몸체는,
길이 방향을 따라 다수의 단위 몸체가 배치되는 배치홀들이 형성되고,
상기 배치홀들에 배치되는 상기 다수의 단위 몸체를 승강시키는 승강기들이 배치되고,
상기 다수의 단위 몸체에는,
상기 다수의 노즐이 각각 형성되고,
상기 승강기들은, 제어기의 제어에 따라 상기 배치홀들에 배치된 상기 다수의 단위 몸체 각각을 승강시켜 승강 위치를 가변시키는 것을 특징으로 하는 건식세정장치용 노즐 바.
a nozzle bar body in which a supply passage through which cleaning air is supplied is formed;
A plurality of nozzles formed inside the nozzle bar body and formed along the longitudinal direction of the nozzle bar body; including,
The plurality of nozzles,
It is molded inside the nozzle bar body, receives the cleaning air from the supply oil, increases the flow rate to a certain level or more, and sprays it to the lower part of the nozzle bar body,
The nozzle bar body,
Arrangement holes in which a plurality of unit bodies are disposed along the longitudinal direction are formed,
Elevators for elevating the plurality of unit bodies disposed in the arrangement holes are disposed,
In the plurality of unit bodies,
The plurality of nozzles are each formed,
The nozzle bar for a dry cleaning apparatus, characterized in that the elevators elevate each of the plurality of unit bodies disposed in the arrangement holes under the control of a controller to vary the lifting position.
 제 1항에 있어서,
상기 다수의 노즐 각각은,
설정된 제 1내경 및 제 1길이를 형성하는 제 1노즐 몸체와,
상기 제 1노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 2내경이 점진적으로 줄어드는 제 2길이를 갖는 제 2노즐 몸체와,
상기 제 2노즐 몸체의 단부에 연결되며, 제 3내경이 점진적으로 확장되는 제 3길이를 이루어 상기 세정에어를 분사하는 제 3노즐 몸체를 포함하되,
상기 제 2노즐 몸체의 제 2내경은,
상기 제 3노즐 몸체의 제 3내경 보다 더 벌어지도록 형성되는 것을 특징으로 하는 건식세정장치용 노즐 바.
The method of claim 1,
Each of the plurality of nozzles,
a first nozzle body defining a set first inner diameter and a first length;
a second nozzle body connected to an end of the first nozzle body and having a second length in which the second inner diameter is gradually reduced;
and a third nozzle body connected to the end of the second nozzle body and configured to have a third length in which a third inner diameter is gradually expanded and spraying the cleaning air,
The second inner diameter of the second nozzle body is,
Nozzle bar for a dry cleaning device, characterized in that it is formed to be wider than the third inner diameter of the third nozzle body.
 제 2항에 있어서,
상기 제 1노즐 몸체와 상기 제 2노즐 몸체의 경계와, 상기 제 2노즐 몸체와 상기 제 3노즐 몸체의 경계는 곡률이 형성되는 것을 특징으로 하는 건식세정장치용 노즐 바.
3. The method of claim 2,
A nozzle bar for a dry cleaning device, characterized in that a boundary between the first nozzle body and the second nozzle body and a boundary between the second nozzle body and the third nozzle body are formed with curvature.
 삭제delete 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항의 노즐 바;를 포함하는 것을 특징으로 하는 세정유닛.A cleaning unit comprising a; the nozzle bar of any one of claims 1 to 3. 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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