KR20240012793A - 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛 - Google Patents

로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛 Download PDF

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KR20240012793A
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Abstract

본 발명은 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛에 관한 것이다.
본 발명의 일측면에 따르면, 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비를 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비가 움직이지 않도록 고정하는 검사전테이블수단; 및 상기 검사전테이블수단의 상부에 복층 구조로 제공되며, 광학 검사가 종료된 피씨비를 제공받아 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비를 언로딩하기 위해 제공되는 검사후테이블수단;을 포함하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.

Description

로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛{DOUBLE-LAYERED PCB TABLE UNIT CAPABLE OF LOADING AND UNLOADING}
본 발명은 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛에 관한 것이다.
일반적으로, 표면실장 기술(Surface Mount Technology; SMT) 시스템은 인쇄회로기판 공급기(로더)를 통해서 인쇄회로기판이 공급되면, 스크린 프린터를 이용하여 솔더 페이스를 표면실장 부품이 장착된 패턴에 도포하고, 부품 공급장치를 통해서 표면실장 장치로 부품이 공급되면, 솔더 페이스트가 도포된 패턴에 해당 부품을 장착하며, 부품이 장착된 인쇄회로기판을 리플로우 오븐으로 투입하여 솔더 페이스트를 녹인 후 경화시키는 처리 과정을 갖는다.
한편, 표면실장 기술 라인에서는 자동 광학 외관 검사(Automated Optical Inspection; 이하 "AOI"라고 한다)를 수행하는 바, AOI는 최종적으로 저항, 콘덴서, IC와 같은 부품이 인쇄회로기판(Printed Circuit Board; PCB)에 정상적으로 조립되었는지 여부를 검사하는 불량 검사이다.
조립이 완료된 인쇄회로기판에 대한 영상을 획득하고 처리하여, 부품의 위치 이탈 등의 오장착 여부, 과납, 미납, 단락과 같은 납땜 상태의 불량 여부 등을 검사하게 된다.
이와 같은 AOI 장비는 검사를 위한 사전 작업으로 인쇄회로기판 위에 장착된 부품들의 위치를 등록하고, 검사 기준을 설정하는 티칭 작업이 필요하다. 기존의 티칭 작업을 통한 티칭 데이터의 생성 방법은 카메라를 이용하여 인쇄회로기판 전체의 2차원 영상을 취득한 후, 인쇄회로기판 위에 장착된 부품의 위치 및 기타 검사 조건을 직접 입력하는 방법이 사용되어 왔다.
이와 같이 AOI는 인쇄회로기판에 마운팅된 부품에 대해 광학 검사를 수행하여 부품이 올바로 마운트되었는지를 판단하고, 판단 결과 불량으로 판정된 것은 NG 버퍼로 이송할 수 있다. 반면, AOI에서 양품으로 판단된 인쇄회로기판은 언로더에 적재되어 출하될 수 있다.
종래 AOI 장비는 인쇄회로기판의 광학 검사를 위해 인쇄회로기판을 공급하는 로더가 제공될 수 있고, 광학 검사가 종료된 양품의 인쇄회로기판을 다시 원위치에 적재하기 위한 언로더가 제공될 수 있다.
그러나, 종래에는 상술한 바와 같이 광학 검사를 위해 인쇄회로기판을 공급 및 출하하는 로드 장비 및 언로드 장비가 검사부의 각각 서로 다른 곳에 설치되기 때문에 AOI 장비의 전체 공간이 커지는 문제가 있다.
한국공개특허공보 제10-2017-0012911호(2017.02.06. 공개)
본 발명의 일 실시예에 따른 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 제안된 것으로서, 인쇄회로기판(피씨비)의 로딩과 언로딩이 한 곳에서 모두 가능하도록 하여 로딩 및 언로딩에 각각 필요하던 공간을 절약함으로써 전체 시스템의 크기를 축소하는데 그 목적이 있다.
또한, 로봇을 이용하여 피씨비의 로딩과 언로딩을 수행하는 경우 로딩 및 언로딩 공간을 복층 구조의 이중 테이블 구조로 제공하여 로딩과 언로딩에 필요한 공간의 활용도를 높이는데 있다.
본 발명의 일측면에 따르면, 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비를 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비가 움직이지 않도록 고정하는 검사전테이블수단; 및 상기 검사전테이블수단의 상부에 복층 구조로 제공되며, 광학 검사가 종료된 피씨비를 제공받아 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비를 언로딩하기 위해 제공되는 검사후테이블수단;을 포함하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사전테이블수단은, 정위치로 정렬된 피씨비를 진공 흡착을 통해 고정하고, 진공 흡착된 피씨비를 광학 검사전 이물질 제거를 위해 클리닝유닛으로 투입하는 것을 특징으로 하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사전테이블수단은, 상부에 피씨비가 안착 가능하게 제공되는 검사전테이블부; 상기 검사전테이블부의 상부에 위치하며, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공되어 상기 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비를 파지하여 상기 검사전테이블부에 올려놓는 검사전클램핑부; 및 상기 검사전테이블부의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격 배치되며, 상기 검사전테이블부에 올려진 피씨비를 정위치로 정렬시키는 검사전정렬부;를 포함하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사전테이블부는, 상부면에 놓여진 피씨비가 움직이지 않고 고정되도록 상부면에는 진공압이 작용하는 복수 개의 진공흡착홀이 제공되는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사전테이블부는, 상부면에 피씨비가 진공 흡착된 상태에서 클리닝유닛을 통과하여 이동되도록 일측에서 상기 클리닝유닛을 통과하는 곳까지 연장되는 가이드레일; 및 상기 검사전테이블부의 하부에서 상기 검사전테이블부를 지지하며, 상기 가이드레일에 설치되어 상기 가이드레일을 따라 상기 검사전테이블부를 이동시키는 이동블록;을 포함하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 이동블록은, 상기 검사전테이블부를 이동시키기 위한 동력부를 포함하고, 상기 동력부는 제어 신호에 따라 기 설정된 타이밍에 상기 검사전테이블부를 상기 클리닝유닛 쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사후테이블수단은, 기판픽업수단으로부터 전달받은 광학 검사 종료된 피씨비가 안착 가능하게 제공되는 검사후테이블부; 상기 검사후테이블부의 상부에 위치하며, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공되어 상기 검사후테이블부에 놓인 피씨비를 파지한 후 상승시켜 언로딩 수단에게 전달하는 검사후클램핑부; 및 상기 검사후테이블부의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격 배치되며, 상기 검사후클램핑부가 파지하기 전에 상기 검사후테이블부에 올려진 피씨비를 정위치로 정렬시키는 검사후정렬부;를 포함하는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
또한, 상기 검사후테이블부는, 상부면에 놓여진 피씨비가 움직이지 않고 고정되도록 상부면에는 진공압이 작용하는 복수 개의 진공흡착홀이 제공되는, 복층 구조의 기판 테이블 유닛이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛은 피비씨의 로딩 및 언로딩이 한 곳에서 모두 수행 가능하기 때문에 종래 각각 별도로 필요하던 공간이 절약되어 공간 활용도를 높일 수 있으며 로딩과 언로딩에 편의성이 향상되고 전체 시스템의 크기를 축소할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 광학검사용 기판공급시스템(10)을 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)을 나타낸 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)과 기판픽업수단(600)을 도시한 정면도이다.
도 4는 도 2를 반대 방향에서 바라본 사시도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)에서 검사전테이블부를 확대하여 도시한 확대도이다.
이하에서는 본 발명의 구체적인 실시예들에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 아울러 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 이하의 설명은 특허 청구 가능한 본 발명의 여러 측면 중 하나이며, 하기의 설명은 본 발명에 대한 상세한 기술의 일부를 이룰 수 있다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예들을 포함할 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명을 통해 설명할 수 있다. 그러나 이는 본 발명의 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 해당 구성요소들은 이와 같은 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 이 용어들은 하나의 구성요소들을 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 '연결되어' 있다거나 '접속되어' 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명한다.
도 1은 광학검사용 기판공급시스템(10)을 도시한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)을 나타낸 사시도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)과 기판픽업수단(600)을 도시한 정면도이다. 도 4는 도 2를 반대 방향에서 바라본 사시도이다. 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)에서 검사전테이블부를 확대하여 도시한 확대도이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)은 검사전테이블수단(410) 및 검사후테이블수단(420)을 포함하는 것으로, 기판 테이블 유닛(400) 도 1과 같은 광학검사용 기판공급시스템의 일 구성으로 적용될 수 있다.
본 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)을 설명하기 전에, 도 1을 참조하여 광학검사용 기판공급시스템에 대해 간략하게 설명한다.
광학검사용 기판공급시스템(AOI)은 복수 개의 피씨비(인쇄회로기판)가 적재된 기판보관유닛(200)으로부터 피씨비(1)를 낱장 로딩하여 클리닝 공정을 거친 후 광학 검사를 위하여 광학검사실(20)에 투입하고, 광학 검사가 종료된 피씨비(1)를 기판보관유닛(200)에 다시 언로딩하기 위해 제공될 수 있다.
여기에서, 본 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)은 피씨비(1)의 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비(1)를 클리닝 공정과 광학 검사 공정을 거치기 전에 정위치로 정렬한 상태에서 준비시키거나, 광학 검사가 종료된 피씨비(1)를 전달받아 기판보관유닛(200)에 언로딩하기 전에 정위치 정렬하기 위해 제공될 수 있다.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 기판 테이블 유닛(400)에 구체적으로 설명한다.
기판 테이블 유닛(400)은 검사전테이블수단(410)과 검사후테이블수단(420)이 한 곳에 높이 방향, 즉 복층 구조로 제공됨에 따라 로딩과 언로딩에 필요한 공간을 절약할 수 있다.
즉, 검사전테이블수단(410)은 하부에 배치되고 검사후테이블수단(420)은 검사전테이블수단(410)의 상부에 배치되어 공간 효율성을 높일 수 있는 복층 구조로 제공될 수 있다.
검사전테이블수단(410)은 피씨비(1)를 로딩할 수 있는 로딩 수단, 예컨대 로봇유닛(300)으로부터 피씨비(1)를 전달받아 피씨비(1)를 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비(1)가 움직이지 않도록 고정하여 피씨비(1)에 존재하는 이물질을 제거할 수 있는 클리닝유닛(500)으로 투입하기 위해 제공될 수 있다.
또한, 검사후테이블수단(420)은 검사전테이블수단(410)의 상부에 복층 구조로 제공되어 별도의 공간을 소비하지 않고 공간 효율성을 높일 수 있도록 구성되는 것으로, 광학검사실(20)로부터 검사 종료된 피씨비(1)를 제공받아 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비(1)를 언로딩할 수 있는 로봇유닛(300)을 통해 기판보관유닛(200)에 전달하기 위해 제공될 수 있다.
구체적으로, 검사전테이블수단(410)은 검사전테이블부(411), 검사전클램핑부(412) 및 검사전정렬부(413)를 포함할 수 있다.
검사전테이블부(411)는 그 상부에 로봇유닛(300)으로부터 전달받은 피씨비(1)가 안착될 수 있도록 제공된다. 검사전테이블부(411)는 피씨비(1)가 놓이는 부분으로 피씨비(1)의 크기와 형상에 대응되는 형태로 구성될 수 있으며, 평판 형상으로 제공될 수 있다.
또한, 도 5에 도시된 바와 같이 검사전테이블부(411)는 피씨비(1)가 상부면에 놓이면 피씨비(1)가 자유롭게 움직이지 않고 고정되도록 그 상부면에는 진공압이 작용하는 복수 개의 진공흡착홀(411a)이 형성될 수 있다.
즉, 검사전테이블부(411)에 피씨비(1)가 놓인 상태에서 정위치 정렬이 끝나면 진공흡착홀(411a)을 통해 진공압이 피씨비(1)에 작용함으로써 피씨비(1)는 진공에 의해 검사전테이블부(411)의 상부면에 고정될 수 있다.
또한, 검사전클램핑부(412)는 검사전테이블부(411)의 상부에 위치하는 것으로, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공될 수 있다. 검사전클램핑부(412)는 피씨비(1)의 적어도 네 지점을 파지하도록 복수 개로 제공될 수 있으며, 피씨비(1)를 사이에 두고 상하 방향으로 멀어지거나 가까워지는 동작을 통해 피씨비(1)를 파지할 수 있다.
로봇유닛(300)이 기판보관유닛(200)으로부터 피씨비(1)를 낱장 로딩하여 검사전테이블수단(410) 쪽으로 이동하면 검사전클램핑부(412)가 검사전테이블부(411)의 상부로 상승하고 피씨비(1)를 파지할 수 있도록 상하 방향으로 벌어진 다음, 피씨비(1)가 검사전클램핑부(412)의 사이에 위치하면 간격이 다시 줄어들면서 피씨비(1)의 복수 지점을 파지하게 된다.
피씨비(1)를 파지한 검사전클램핑부(412)는 하강하여 검사전테이블부(411)의 상부에 피씨비(1)를 올려 놓게 된다.
또한, 검사전정렬부(413)는 검사전테이블부(411)에 올려진 피씨비(1)를 정위치로 정렬하기 위해 제공되는 것으로, 도 5에 도시된 바와 같이 검사전테이블부(411)의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격되게 배치될 수 있다.
검사전클램핑부(412)가 피씨비(1)를 검사전테이블부(411)에 올려둘 때 피씨비(1)는 정위치에 안착되지 않고 검사전테이블부(411)의 상부면 가장자리보다 돌출되어 놓이는 경우가 발생하는데, 피씨비(1)가 정위치에 안착되지 않고 검사전테이블부(411) 상에서 외측으로 돌출되면 다음 공정인 클리닝유닛(500)을 통과할 때 피씨비(1)가 걸리거나 클리닝 공정이 제대로 수행되지 않을 수 있는 문제가 발생하므로, 이를 미연에 방지하기 위해 피씨비(1)의 정위치 정렬이 선행된다.
도 5에서 보듯이 검사전정렬부(413)는 검사전테이블부(411)의 가장자리를 따라 간격을 두고 이격되게 배치되는데, 검사전정렬부(413)는 상방으로 돌출되는 돌출스템(413a)을 포함할 수 있다.
또한, 돌출스템(413a)이 돌출될 때 검사전테이블부(411)의 가장자리를 통과하도록 검사전테이블부(411)의 가장자리에는 개방형 관통홀(411d)이 형성될 수 있다.
따라서, 검사전테이블부(411)의 상부면에 피씨비(1)가 놓여진 후 검사전정렬부(413)가 동작하여 검사전테이블부(411)의 가장자리를 따라 돌출스템(413a)이 상승하면 피씨비(1)는 돌출스템(413a)에 의하여 돌출된 반대 방향으로 미끄러지면서 검사전테이블부(411) 상의 정위치에 정렬하게 된다.
이렇게 피씨비(1)가 검사전테이블부(411) 상에서 정위치 정렬되고 나면 진공흡착홀(411a)이 작동하여 피씨비(1)를 검사전테이블부(411) 상에 진공흡착하여 고정시키게 된다.
또한, 피씨비(1)가 진공 흡착된 검사전테이블부(411)는 피씨비(1)의 클리닝 공정을 수행하기 위하여 피씨비(1)가 진공 흡착된 상태에서 검사전테이블부(411)가 클리닝유닛(500) 쪽으로 이동하여 클리닝유닛(500)으로 투입되거나 필요에 따라 클리닝유닛(500)을 통과하게 된다.
이에 검사전테이블부(411)는 클리닝유닛(500) 쪽으로 이동하기 위해 가이드레일(411b) 및 이동블록(411c)을 포함할 수 있다.
도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 가이드레일(411b)은 상부면에 피씨비(1)가 진공 흡착된 상태에서 클리닝유닛(500)을 통과하는 방향으로 검사전테이블부(411)가 이동되도록 일측에서 클리닝유닛(500)을 통과하는 곳까지 길게 연장 형성될 수 있다.
가이드레일(411b)은 검사전테이블부(411)의 하부에서 검사전테이블부(411)의 이동을 안정적으로 안내하도록 서로 평행하게 복수 개가 제공될 수 있다.
또한, 이동블록(411c)은 검사전테이블부(411)의 하부와 가이드레일(411b) 사이에서 검사전테이블부(411)를 지지하며 가이드레일(411b)에 설치되어 가이드레일(411b)을 따라 검사전테이블부(411)를 이동시킬 수 있다.
이동블록(411c)에는 검사전테이블부(411)를 이동시키기 위한 동력부가 포함될 수 있으며, 별도로 마련되는 제어부의 제어 신호에 따라 기 설정된 타이밍에 검사전테이블부(411)를 클리닝유닛(500) 쪽으로 이동시킬 수 있다. 검사전테이블부(411)가 클리닝유닛(500)을 통과하는 동안 검사전테이블부(411)의 상부면에 진공 흡착된 피씨비(1)의 상부면은 클리닝유닛(500)에 의하여 이물질이 제거될 수 있다.
한편, 도 2 내지 도 4를 참조하여 검사후테이블수단(420)에 대해 구체적으로 설명하면, 검사후테이블수단(420)은 검사후테이블부(421), 검사후클램핑부(422) 및 검사후정렬부(423)를 포함할 수 있다.
검사후테이블부(421)는 검사전테이블부(411)의 상방에 높이 방향으로 소정 간격 이격되게 위치하는 것으로, 기판픽업수단(600)으로부터 전달받은 광학 검사 종료된 피씨비(1)가 안착 가능하게 제공된다. 검사후테이블부(421)의 구성 및 구조에는 앞에서 설명한 검사전테이블부(411)와 동일하므로 더 이상의 설명은 생략한다.
또한 검사후클램핑부(422)는 검사후테이블부(421)의 상부에 위치하며, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공될 수 있다. 검사후클램핑부(422)는 검사후테이블부(421)에 놓인 피씨비(1)를 파지한 후 이를 소정 높이로 상승시켜 피씨비(1)를 언로딩하는 로봇유닛(300)이 파지할 수 있도록 제공된다.
검사후클램핑부(422) 역시 앞에서 설명한 검사전클램핑부(412)와 동일하게 구성되므로 자세한 설명은 생략한다.
또한, 검사후정렬부(423)는 검사후테이블부(421)의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격 배치되며, 검사후클램핑부(422)가 피씨비(1)를 파지하기 전에 검사후테이블부(421)에 올려진 피씨비(1)를 정위치로 정렬시킬 수 있다. 이에 따라 검사후클램핑부(422)는 정위치에 놓인 피씨비(1)를 파지할 수 있으며, 로봇유닛(300) 역시 피씨비(1)를 정위치로 파지할 수 있다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 테이블 유닛(400)의 작용에 대해 간략하게 설명한다.
기판 로딩 수단(예컨대, 로봇유닛(300))이 복수 개의 검사전 피씨비(1)가 적재된 기판보관유닛(200)에서 피씨비(1)를 낱장 인출하면, 인출된 피씨비(1)는 로딩 수단에 의하여 기판 테이블 유닛(400)의 검사전테이블수단(410)에 안착될 수 있다.
즉, 로봇유닛(300)은 기판보관유닛(200)으로부터 피씨비(1)를 로딩한 후 검사전테이블수단(410)의 검사전테이블부(411)에 올려 놓을 수 있다. 이 과정에서 검사전테이블수단(410)의 검사전클램핑부(412)가 로봇유닛(300)으로부터 피씨비(1)를 전달받아 검사전테이블부(411)에 올려 놓을 수 있다.
검사전클램핑부(412)가 피씨비(1)를 검사전테이블부(411)에 올려둘 때 피씨비(1)는 검사전테이블부(411)의 정위치에 안착되지 않고 검사전테이블부(411)의 상부면 가장자리보다 돌출되게 위치하는 경우가 발생하는데, 만약 피씨비(1)가 정위치에 안착되지 않고 검사전테이블부(411) 상에서 외측으로 돌출되면 다음 공정인 클리닝유닛(500)을 통과할 때 피씨비(1)가 걸리거나 클리닝 공정이 제대로 수행되지 않을 수 있는 문제가 발생하므로, 이를 미연에 방지하기 위해 검사전테이블부(411)에 올려진 피씨비(1)는 검사전정렬부(413)에 의해 정위치로 정렬된다.
정위치 정렬을 위해 검사전정렬부(413)가 동작하면 검사전테이블부(411)의 가장자리를 따라 돌출스템(413a)이 상승하게 되고, 이에 따라 피씨비(1)는 돌출스템(413a)에 의하여 돌출된 반대 방향으로 미끄러지면서 검사전테이블부(411) 상의 정위치에 정렬하게 된다. 이렇게 피씨비(1)가 검사전테이블부(411) 상에서 정위치 정렬되고 나면, 진공흡착홀(411a)이 작동하여 피씨비(1)를 검사전테이블부(411) 상에 진공 흡착하여 고정시키게 된다.
한편, 검사전테이블부(411)에 진공흡착된 피씨비(1)는 검사전테이블부(411)와 함께 기판 테이블 유닛(400)의 후공정에 해당하는 클리닝유닛(500)을 통과하게 된다.
클리닝유닛(500)을 통과하는 과정에서 클리닝하우징(510)의 내부에 회전 가능하게 설치된 클리닝롤과 피씨비(1)가 서로 접촉하면서 클리닝롤의 점착성분에 의해 피씨비(1)의 일측면에 존재하는 먼지와 같은 이물질이 제거될 수 있다.
또한, 클리닝유닛(500)을 통과하여 이물질이 제거되고 청정 상태가 된 피씨비(1)는 기판픽업수단(600)에 의하여 광학검사실(20)의 입구로 이송될 수 있다. 광학검사실(20)의 입구에 놓인 피씨비(1)는 광학검사실(20) 내부로 튜입되어 자동 광학 외관 검사를 받게 되고, 이곳에서 저항, 콘덴서, IC와 같은 부품이 피씨비(1)에 정상적으로 조립되었는지 여부를 검사하여 불량 여부를 가리게 된다.
또한, 광학검사실(20)에서 자동 광학 검사가 종료되면, 광학검사실(20)의 출구에 놓인 피씨비(1)를 기판픽업수단(600)이 픽업하여 기판테이블유닛(400)의 검사후테이블수단(420)에 안착시키고 로봇유닛(300)과 같은 기판 언로딩 수단을 이용하여 기판보관유닛(200)에 언로딩시킬 수 있다.
이 과정에서 기판픽업수단(600)이 광학검사실(20)의 출구에 배출된 검사후 피씨비(1)를 픽업하여 검사후테이블수단(420)의 검사후테이블부(421)에 올려두면, 검사후정렬부(423)에 의해 피씨비(1)의 정위치 정렬이 수행될 수 있다. 이때, 검사후정렬부(423)에 의해 피씨비(1)의 정위치 정렬이 수행되는 과정은 앞에서 설명한 검사전정렬부(413)의 정위치 정렬 과정과 동일하다.
또한, 검사후테이블수단(420)에서 피씨비(1)의 정위치 정렬이 완료되면 언로딩 수단을 이용하여 검사후테이블부(421)에 올려진 피씨비(1)를 기판보관유닛(200)에 언로딩해야 하는데, 이 과정에서 검사후클램핑부(422)는 검사후테이블부(421)에 놓여진 피씨비(1)를 파지하여 검사후테이블부(421)로부터 소정 높이만큼 상승시킴으로써 로봇유닛(300)과 같은 언로딩 수단이 피씨비(1)를 용이하게 전달받도록 할 수 있다.
피씨비(1)를 전달받은 언로딩 수단은 이 피씨비(1)를 기판보관유닛(200)의 기 설정 위치에 언로딩(적재)할 수 있다.
이상 본 발명의 실시예에 따른 로딩 및 언로딩이 가능한 복층 구조의 기판 테이블 유닛을 구체적인 실시 형태로서 설명하였으나, 이는 예시에 불과한 것으로서 본 발명은 이에 한정되지 않는 것이며, 본 명세서에 개시된 기초 사상에 따르는 최광의 범위를 갖는 것으로 해석되어야 한다. 당업자는 개시된 실시 형태들을 조합, 치환하여 적시되지 않은 실시 형태를 실시할 수 있으나, 이 역시 본 발명의 권리범위를 벗어나지 않는 것이다. 이외에도 당업자는 본 명세서에 기초하여 개시된 실시형태를 용이하게 변경 또는 변형할 수 있으며, 이러한 변경 또는 변형도 본 발명의 권리범위에 속함은 명백하다.
1 : 피씨비 20 : 광학검사실
200 : 기판보관유닛
300 : 로봇유닛
400 : 기판 테이블 유닛 410 : 검사전테이블수단
411 : 검사전테이블부 411a : 진공흡착홀
411b : 가이드레일 411c : 이동블록
411d : 관통홀 412 : 검사전클램핑부
413 : 검사전정렬부 413a : 돌출스템
420 : 검사후테이블수단 421 : 검사후테이블부
422 : 검사후클램핑부 423 : 검사후정렬부
500 : 클리닝유닛
600 : 기판픽업수단

Claims (8)

  1. 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비를 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비가 움직이지 않도록 고정하는 검사전테이블수단; 및
    상기 검사전테이블수단의 상부에 복층 구조로 제공되며, 광학 검사가 종료된 피씨비를 제공받아 정위치로 정렬하고, 정렬된 피씨비를 언로딩하기 위해 제공되는 검사후테이블수단;을 포함하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 검사전테이블수단은, 정위치로 정렬된 피씨비를 진공 흡착을 통해 고정하고, 진공 흡착된 피씨비를 광학 검사전 이물질 제거를 위해 클리닝유닛으로 투입하는 것을 특징으로 하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 검사전테이블수단은,
    상부에 피씨비가 안착 가능하게 제공되는 검사전테이블부;
    상기 검사전테이블부의 상부에 위치하며, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공되어 상기 로딩 수단으로부터 전달받은 피씨비를 파지하여 상기 검사전테이블부에 올려놓는 검사전클램핑부; 및
    상기 검사전테이블부의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격 배치되며, 상기 검사전테이블부에 올려진 피씨비를 정위치로 정렬시키는 검사전정렬부;를 포함하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 검사전테이블부는,
    상부면에 놓여진 피씨비가 움직이지 않고 고정되도록 상부면에는 진공압이 작용하는 복수 개의 진공흡착홀이 제공되는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 검사전테이블부는,
    상부면에 피씨비가 진공 흡착된 상태에서 클리닝유닛을 통과하여 이동되도록 일측에서 상기 클리닝유닛을 통과하는 곳까지 연장되는 가이드레일; 및
    상기 검사전테이블부의 하부에서 상기 검사전테이블부를 지지하며, 상기 가이드레일에 설치되어 상기 가이드레일을 따라 상기 검사전테이블부를 이동시키는 이동블록;을 포함하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 이동블록은, 상기 검사전테이블부를 이동시키기 위한 동력부를 포함하고,
    상기 동력부는 제어 신호에 따라 기 설정된 타이밍에 상기 검사전테이블부를 상기 클리닝유닛 쪽으로 이동시키는 것을 특징으로 하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 검사후테이블수단은,
    기판픽업수단으로부터 전달받은 광학 검사 종료된 피씨비가 안착 가능하게 제공되는 검사후테이블부;
    상기 검사후테이블부의 상부에 위치하며, 상하 방향으로 승강 가능하게 제공되어 상기 검사후테이블부에 놓인 피씨비를 파지한 후 상승시켜 언로딩 수단에게 전달하는 검사후클램핑부; 및
    상기 검사후테이블부의 가장 자리를 따라 소정 간격으로 이격 배치되며, 상기 검사후클램핑부가 파지하기 전에 상기 검사후테이블부에 올려진 피씨비를 정위치로 정렬시키는 검사후정렬부;를 포함하는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
  8. 제7 항에 있어서,
    상기 검사후테이블부는,
    상부면에 놓여진 피씨비가 움직이지 않고 고정되도록 상부면에는 진공압이 작용하는 복수 개의 진공흡착홀이 제공되는,
    복층 구조의 기판 테이블 유닛.
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