KR20240009582A - 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법 - Google Patents

마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시예는, 개구영역을 구비하는 마스크 프레임 및 상기 개구영역을 덮도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 제1영역 및 상기 제1영역을 둘러싸도록 배치되는 제2영역을 포함하는 마스크 시트를 포함하고, 상기 제1영역은 하프에칭된 제1개구패턴을 포함하고, 상기 제2영역은 관통된 제2개구패턴을 포함하며, 평면도 상에서 상기 제1개구패턴과 상기 제2개구패턴은 상이한, 마스크 조립체를 개시한다.

Description

마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법{MASK ASSEMBLY AND METHOD FOR MANUFACTURING MASK ASSEBLY}
본 발명은 장치 및 방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법에 관한 것이다.
최근 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 전자 기기는 이동형 전자 기기와 고정형 전자 기기와 같이 다양하게 이용되고 있으며, 이러한 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위해 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공할 수 있는 표시장치를 포함한다.
표시장치 중 화상을 표시하는 영역이 차지하는 면적이 확대되면서, 표시장치에 접목 또는 연계하는 다양한 기능들이 추가되고 있다. 다양한 기능을 추가하기 위한 방안으로, 화상을 표시하면서 다양한 기능을 수행하는 영역을 갖는 표시장치의 연구가 계속되고 있다. 한편, 화상을 표시하면서 다양한 기능을 위한 영역은 그 기능을 수행하기 위해 빛 또는 음향 등에 대한 높은 투과율을 유지할 필요가 있다.
이러한 표시장치는 유기층, 금속층 등의 다양한 층을 증착하여 형성된다. 표시장치의 복수의 층을 형성하기 위해 증착물질을 증착할 수 있다. 즉, 증착원으로부터 증착물질이 분사되어 마스크 조립체를 통해 기판에 증착되도록 이용된다.
이때 마스크 조립체, 특히 마스크 시트의 변형이 발생하는 경우, 증착물질이 기판 상의 요구되는 위치에 증착되지 못하여 증착 품질이 저하되는 문제가 있었다.
전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지 기술이라 할 수는 없다.
본 발명의 실시예들은 마스크 조립체의 변형을 방지하여 증착품질이 향상된 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만 이러한 과제는 예시적인 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다.
본 발명의 일 실시예는, 개구영역을 구비하는 마스크 프레임 및 상기 개구영역을 덮도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 제1영역 및 상기 제1영역을 둘러싸도록 배치되는 제2영역을 포함하는 마스크 시트를 포함하고, 상기 제1영역은 하프에칭된 제1개구패턴을 포함하고, 상기 제2영역은 관통된 제2개구패턴을 포함하며, 평면도 상에서 상기 제1개구패턴과 상기 제2개구패턴은 상이한, 마스크 조립체를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1개구패턴은, 제1방향으로 연장되는 복수 개의 제1리브, 제2방향으로 연장되는 복수 개의 제2리브 및 상기 제1리브와 상기 제2리브에 의해 획정되는 복수 개의 하프개구부를 포함하고, 상기 제2개구패턴은, 제3방향으로 연장되는 복수 개의 제3리브, 제4방향으로 연장되는 복수 개의 제4리브 및 상기 제3리브와 상기 제4리브에 의해 획정되는 복수 개의 개구부를 포함하며, 상기 제3방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제4방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1리브가 연장되는 제1방향과 상기 제3리브가 연장되는 제3방향은 45˚의 사이각을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수 개의 하프개구부가 정렬되는 방향과 상기 복수 개의 개구부가 정렬되는 방향은 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수 개의 하프개구부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향을 따라 정렬되고, 상기 복수 개의 개구부는 상기 제3방향 및 상기 제4방향을 따라 정렬될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수 개의 하프개구부 중 2개의 하프개구부의 중심 사이의 거리 중에서 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 하프개구부의 중심 사이의 거리가 최소 거리이고, 상기 복수 개의 개구부 중 2개의 개구부의 중심 사이의 거리 중에서 상기 제3방향 및 상기 제4방향 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 개구부의 중심 사이의 거리가 최소 거리일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 형상과 상기 복수 개의 개구부의 형상은 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 하프개구부의 형상은 원형일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 크기와 상기 복수 개의 개구부의 크기는 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제1리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제3리브의 개수와 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제2리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제4리브의 개수와 상이할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예는, 제1영역 및 상기 제1영역을 둘러싸도록 배치되는 제2영역을 포함하는 마스크 시트를 준비하는 단계, 상기 제1영역에 하프에칭된 제1개구패턴을 형성하고, 상기 제2영역에 관통된 제2개구패턴을 형성하는 단계 및 상기 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임 상에 고정하는 단계를 포함하고, 평면도 상에서 상기 제1개구패턴과 상기 제2개구패턴은 상이한, 마스크 조립체의 제조방법을 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 제1개구패턴을 형성하는 단계는, 제1방향으로 연장되는 복수 개의 제1리브, 제2방향으로 연장되는 복수 개의 제2리브 및 상기 제1리브와 상기 제2리브에 의해 획정되는 복수 개의 하프개구부를 형성하는 단계를 포함하고, 상기 제2개구패턴을 형성하는 단계는, 제3방향으로 연장되는 복수 개의 제3리브, 제4방향으로 연장되는 복수 개의 제4리브 및 상기 제3리브와 상기 제4리브에 의해 획정되는 복수 개의 개구부를 형성하는 단계를 포함하며, 상기 제3방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제1리브가 연장되는 방향은 동일할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제2리브가 연장되는 방향은 수직일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제3리브가 연장되는 방향은 교차될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제3리브가 연장되는 방향은 45˚의 사이각을 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수 개의 하프개구부가 정렬되는 방향과 상기 복수 개의 개구부가 정렬되는 방향은 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 형상과 상기 복수 개의 개구부의 형상은 상이할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제1리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제3리브의 개수와 상이할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 마스크 조립체의 변형을 방지하여 증착 품질을 향상시키고 쉐도우 현상을 최소화할 수 있는 마스크 조립체 및 마스크 조립체의 제조방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 단면의 일부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 표시패널을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 표시요소 및 이에 전기적으로 연결된 화소회로를 개략적으로 나타내는 등가회로도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 일부를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트를 개략적으로 나타내는 평면도로서, 도 8의 IX 영역을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타내는 도면들이다.
도 11은 도 10의 XI 영역을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법과 비교를 위한 도면이다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 마스크 시트를 개략적으로 나타내는 평면도이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
이하의 실시예에서, X축, Y축 및 Z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, X축, Y축 및 Z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
일 실시예에 따른 표시장치(1)는 동영상이나 정지영상을 표시하는 장치로서, 모바일 폰(mobile phone), 스마트 폰(smart phone), 태블릿 PC(tablet personal computer), 이동 통신 단말기, 전자 수첩, 전자 책, PMP(portable multimedia player), 내비게이션, UMPC(Ultra Mobile PC) 등과 같은 휴대용 전자 기기 뿐만 아니라, 텔레비전, 노트북, 모니터, 광고판, 사물 인터넷(internet of things, IOT) 장치 등의 다양한 제품의 표시 화면으로 사용될 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 표시장치(1)는 스마트 워치(smart watch), 워치 폰(watch phone), 안경형 디스플레이, 및 헤드 장착형 디스플레이(head mounted display, HMD)와 같이 웨어러블 장치(wearable device)에 사용될 수 있다. 또한, 일 실시예에 따른 표시장치(1)는 자동차의 계기판, 및 자동차의 센터페시아(center fascia) 또는 대쉬보드에 배치된 CID(Center Information Display), 자동차의 사이드 미러를 대신하는 룸 미러 디스플레이(room mirror display), 자동차의 뒷좌석용 엔터테인먼트로, 앞좌석의 배면에 배치되는 디스플레이로 사용될 수 있다. 도 1은 설명의 편의를 위하여 표시장치(1)가 스마트 폰으로 사용되는 것을 도시한다.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 표시장치(1)는 표시영역(DA)과 표시영역(DA) 외측의 비표시영역(NDA)을 포함한다. 표시영역(DA)은 보조표시영역(ADA)과, 보조표시영역(ADA)을 적어도 부분적으로 둘러싸는 메인표시영역(MDA)을 포함할 수 있다. 보조표시영역(ADA)은 보조 이미지를 표시하고, 메인표시영역(MDA)은 메인 이미지를 표시할 수 있으며, 보조표시영역(ADA)과 메인표시영역(MDA)은 개별적으로 또는 함께 이미지를 표시할 수 있다. 표시영역(DA)은 비표시영역(NDA)에 의해 전체적으로 둘러싸일 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 메인표시영역(MDA)이 하나의 컴포넌트영역(CA)의 적어도 일부를 둘러싸도록 위치한 것을 도시한다. 다른 실시예로, 표시장치(1)는 2개 이상의 보조표시영역(ADA)들을 가질 수 있고, 복수 개의 보조표시영역(ADA)들의 형상 및 크기는 서로 상이할 수 있다. 표시장치(1)의 상면에 대략 수직인 방향에서 보았을 시, 보조표시영역(ADA)의 형상은 원형, 타원형, 사각형 등의 다각형, 별 형상 또는 다이아몬드 형상 등 다양한 형상을 가질 수 있다.
도 1a 및 도 1b에서는 표시장치(1)의 상면에 대략 수직인 방향에서 보았을 시 대략 사각형 형상을 갖는 메인표시영역(MDA)의 상측 중앙(즉, +y 방향)에 보조표시영역(ADA)이 배치된 것으로 도시하고 있으나, 보조표시영역(ADA)은 사각형인 메인표시영역(MDA)의 일측, 예를 들어 우상측 또는 좌상측에 배치될 수도 있다.
표시장치(1)는 메인표시영역(MDA)에 배치된 복수 개의 메인 부화소(Pm)들과 보조표시영역(ADA)에 배치된 복수 개의 보조 부화소(Pa)들을 이용하여 이미지를 제공할 수 있다. 보조표시영역(ADA)은 컴포넌트영역(CA)과, 컴포넌트영역(CA)을 적어도 부분적으로 둘러싸는 중간영역(MA)을 포함할 수 있다. 따라서, 중간영역(MA)은 컴포넌트영역(CA)과 메인표시영역(MDA) 사이에 위치할 수 있다.
도 1a 및 도 1b에 있어서, 보조표시영역(ADA)은 다양한 형상으로 구현될 수 있다. 보조표시영역(ADA)은 도 1a와 같이 일측이 연장되어 비표시영역(NDA)과 접할 수 있고, 도 1b와 같이 메인표시영역(MDA) 내측에 위치할 수도 있다. 컴포넌트영역(CA)에는 도 2a를 참조하여 후술하는 것과 같이, 컴포넌트영역(CA)에 대응하여 표시패널의 하부에 전자 요소인 컴포넌트(40, 도 2a)가 배치될 수 있다. 컴포넌트영역(CA)은 컴포넌트(40)로부터 외부로 출력되거나 외부로부터 컴포넌트(40)를 향해 진행하는 빛 또는/및 음향 등이 투과할 수 있는 투과영역(TA)을 포함할 수 있다.
보조표시영역(ADA)에는 복수 개의 보조 부화소(Pa)들이 배치될 수 있다. 보조 부화소(Pa)는 컴포넌트영역(CA)에 배치된 제1보조 부화소(Pa1), 및 중간영역(MA)에 위치하는 제2보조 부화소(Pa2)를 포함할 수 있다.
복수 개의 보조 부화소(Pa)들은 빛을 방출하여, 소정의 이미지를 제공할 수 있다. 보조표시영역(ADA)에서 표시되는 이미지는 메인표시영역(MDA)에서 표시 되는 이미지와 비교하여 해상도가 같거나 작을 수 있다. 일 실시예에서, 컴포넌트영역(CA)은 투과영역(TA)을 갖기에, 컴포넌트영역(CA)의 해상도는 메인표시영역(MDA)의 해상도보다 작을 수 있다. 예컨대, 컴포넌트영역(CA)의 해상도는 메인표시영역(MDA)의 해상도의 약 1/2, 3/8, 1/3, 1/4, 2/9, 1/8, 1/9, 1/16 등일 수 있다. 예컨대, 메인표시영역(MDA)의 해상도는 약 400ppi 이상이고, 컴포넌트영역(CA)의 해상도는 약 200ppi 또는 약 100ppi 일 수 있다.
일 실시예에서, 보조표시영역(ADA) 내의 컴포넌트영역(CA)은 빛 및 음향이 투과할 수 있는 투과영역(TA)을 구비하므로, 투과영역(TA) 상에 부화소가 배치되지 않는 경우, 단위 면적 당 배치될 수 있는 제1보조 부화소(Pa1)들의 수가 메인표시영역(MDA)에 단위 면적 당 배치되는 메인 부화소(Pm)들의 수에 비해 적을 수 있다.
도 2a 및 도 2b는 각각 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 단면의 일부를 개략적으로 도시한 단면도들이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 표시장치(1)는 표시패널(DP) 및 상기 표시패널(DP)과 중첩 배치된 컴포넌트(40)을 포함할 수 있다.
컴포넌트(40)는 빛 또는 음향을 이용하는 전자 요소일 수 있다. 예컨대, 전자 요소는 근접센서와 같이 거리를 측정하는 센서, 사용자의 신체의 일부(예, 지문, 홍채, 얼굴 등)을 인식하는 센서, 빛을 출력하는 소형 램프이거나, 화상을 캡쳐하는 이미지 센서(예, 카메라) 등일 수 있다. 빛을 이용하는 전자 요소는, 가시광, 적외선광, 자외선광 등 다양한 파장 대역의 빛을 이용할 수 있다. 음향을 이용하는 전자요소는, 초음파 또는 다른 주파수 대역의 음향을 이용할 수 있다. 일부 실시예에서, 컴포넌트(40)는 발광부와 수광부와 같이 서브-컴포넌트들을 포함할 수 있다. 발광부와 수광부는 일체화된 구조이거나, 물리적으로 분리된 구조로 한 쌍의 발광부와 수광부가 하나의 컴포넌트(40)를 이룰 수 있다.
컴포넌트영역(CA)을 통해 광이 투과하도록 할 시, 광 투과율은 약 10% 이상, 보다 바람직하게 40% 이상이거나, 25% 이상이거나 50% 이상이거나, 85% 이상이거나, 90% 이상일 수 있다.
표시패널(DP)은 보조 이미지가 표시되는 보조표시영역(ADA) 및 메인 이미지가 표시되는 메인표시영역(MDA)를 포함할 수 있다. 보조표시영역(ADA)은 컴포넌트(40)와 중첩되는 영역인 컴포넌트영역(CA)와 컴포넌트영역(CA)을 둘러싸는 중간영역(MA)을 포함할 수 있다.
표시패널(DP)은 기판(100), 기판(100) 상의 표시층(DPL), 터치스크린층(TSL) 및 광학기능층(OFL)을 포함할 수 있다.
표시층(DPL)은 박막트랜지스터(TFTm, TFTa1, TFTa2)를 포함하는 표시회로층(PCL), 발광소자인 표시요소(EDm, EDa1, EDa2)를 포함하는 표시요소층(EDL) 및 박막봉지층(TFE) 또는 밀봉기판(미도시)과 같은 밀봉부재(ENM)를 포함할 수 있다. 기판(100)과 표시층(DPL) 사이, 표시층(DPL) 내에는 절연층(IL, IL')이 배치될 수 있다. 예컨대, 표시요소(EDm, EDa1, EDa2)는 발광다이오드를 포함할 수 있으며, 일 실시예로 유기발광다이오드(OLED)일 수 있다. 이하에서는, 발광다이오드가 유기발광다이오드를 포함하는 것을 설명하지만, 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 다른 실시예로서, 본 발명의 표시요소는 무기물을 포함하는 발광다이오드이거나, 양자점을 포함하는 양자점 발광다이오드일 수 있다. 예컨대, 표시요소의 발광층은 유기물을 포함하거나, 무기물을 포함하거나, 양자점을 포함하거나, 유기물과 양자점을 포함하거나, 무기물과 양자점을 포함할 수 있다.
기판(100)은 유리, 석영, 고분자 수지 등의 절연 물질로 이루어질 수 있다. 기판(100)은 단단한(rigid) 기판이거나 벤딩(bending), 폴딩(folding), 롤링(rolling) 등이 가능한 플렉서블(flexible) 기판일 수 있다.
표시패널(DP)의 메인표시영역(MDA)에는 메인 표시요소(EDm) 및 이와 연결된 메인 부화소회로(PCm)가 배치될 수 있다. 메인 부화소회로(PCm)는 적어도 하나의 박막트랜지스터(TFTm)을 포함하며, 메인 표시요소(EDm)의 동작을 제어할 수 있다. 메인 부화소(Pm)는 메인 표시요소(EDm)의 발광에 의해서 구현될 수 있다.
표시패널(DP)의 컴포넌트영역(CA)에는 제1보조 표시요소(EDa1)가 배치되어 제1보조 부화소(Pa1)를 구현할 수 있다. 일 실시예에서, 도 2a와 같이, 제1보조 표시요소(EDa1)를 구동하는 제1보조 부화소회로(PCa1)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되지 않고, 메인표시영역(MDA)와 컴포넌트영역(CA)의 사이의 중간영역(MA)에 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 도 2b와 같이, 제1보조 표시요소(EDa1)를 구동하는 제1보조 부화소회로(PCa1)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되지 않고, 비표시영역(NDA)에 배치될 수 있다. 즉, 제1보조 부화소회로(PCa1)는 제1보조 표시요소(EDa1)와 비중첩하도록 배치될 수 있다.
제1보조 부화소회로(PCa1)는 적어도 하나의 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)를 포함하며, 연결배선(TWL)에 의해서 제1보조 발광 소자(EDa)와 전기적으로 연결될 수 있다. 연결배선(TWL)은 투명 전도성 물질로 구비될 수 있다. 제1보조 부화소회로(PCa1)는 제1보조 표시요소(EDa1)의 동작을 제어할 수 있다. 제1보조 부화소(Pa1)는 제1보조 표시요소(EDa1)의 발광에 의해서 구현될 수 있다.
컴포넌트영역(CA) 중 제1보조 표시요소(EDa1)가 배치되지 않는 영역을 투과영역(TA)으로 정의 할 수 있다. 투과영역(TA)은 컴포넌트영역(CA)에 대응하여 배치된 컴포넌트(40)로부터 방출되는 빛/신호 및/또는 컴포넌트(40)로 입사되는 빛/신호가 투과(transmission)되는 영역일 수 있다.
제1보조 부화소회로(PCa1)와 제1보조 표시요소(EDa1)를 연결하는 연결배선(TWL)은 투과영역(TA)에 배치될 수 있다. 연결배선(TWL)은 투과율이 높은 투명 전도성 물질로 구비될 수 있는 바, 투과영역(TA)에 연결배선(TWL)이 배치된다고 하더라도 투과영역(TA)의 투과율을 확보할 수 있다. 본 실시예에서는, 컴포넌트영역(CA)에 보조 부화소회로(PCa)가 배치되지 않는 바, 투과영역(TA)의 면적을 확장하기에 용이하며 광 투과율이 보다 향상될 수 있다.
표시패널(DP)의 중간영역(MA)에는 제2보조 표시요소(EDa2) 및 이와 연결된 제2보조 부화소회로(PCa2)가 배치되어 제2보조 부화소(Pa2)를 구현할 수 있다. 중간영역(MA)에 배치된 제1보조 부화소회로(PCa1) 및 제2보조 부화소회로(PCa2)는 상호 인접하며 교번하여 배치될 수 있다.
표시요소층(EDL)은 도 2a 및 도 2b와 같이 박막봉지층(TFE)으로 커버되거나, 또는 밀봉기판으로 커버될 수 있다. 일 실시예로, 박막봉지층(TFE)은 적어도 하나의 무기봉지층 및 적어도 하나의 유기봉지층을 포함할 수 있다. 예컨대, 박막봉지층(TFE)은 제1 및 제2무기봉지층(310, 330) 및 이들 사이의 유기봉지층(320)을 포함할 수 있다.
제1무기봉지층(310) 및 제2무기봉지층(330)은 실리콘산화물(SiOx), 실리콘질화물(SiNx), 실리콘산질화물(SiOxNy), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 아연산화물(ZnO2)과 같은 하나 이상의 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 화학기상증착법(CVD) 등에 의해 형성될 수 있다. 유기봉지층(320)은 폴리머(polymer)계열의 소재를 포함할 수 있다. 폴리머 계열의 소재로는 실리콘계 수지, 아크릴계 수지(예컨대, 폴리메틸메타크릴레이트, 폴리아크릴산 등), 에폭시계 수지, 폴리이미드 및 폴리에틸렌 등을 포함할 수 있다.
제1무기봉지층(310), 유기봉지층(320) 및 제2무기봉지층(330)은 메인표시영역(MDA) 및 보조표시영역(ADA)을 커버하도록 일체로 형성될 수 있다.
터치스크린층(TSL)은 외부의 입력, 예컨대 터치 이벤트에 따른 좌표 정보를 획득할 수 있다. 터치스크린층(TSL)은 터치전극 및 터치전극과 연결된 터치 배선들을 포함할 수 있다. 터치스크린층(TSL)은 자기 정전 용량 방식 또는 상호 정전 용량 방식으로 외부 입력을 감지할 수 있다.
터치스크린층(TSL)은 박막봉지층(TFE) 상에 형성될 수 있다. 또는, 터치스크린층(TSL)은 터치기판 상에 별도로 형성된 후 광학 투명 접착제(OCA)와 같은 점착층을 통해 박막봉지층(TFE) 상에 결합될 수 있다. 일 실시예로서, 터치스크린층(TSL)은 박막봉지층(TFE) 바로 위에 직접 형성될 수 있으며, 이 경우 점착층은 터치스크린층(TSL)과 박막봉지층(TFE) 사이에 개재되지 않을 수 있다.
광학기능층(OFL)은 반사 방지층을 포함할 수 있다. 반사 방지층은 외부에서 표시장치(1)를 향해 입사하는 빛(외부광)의 반사율을 감소시킬 수 있다. 일 실시예로, 광학기능층(OFL)은 편광 필름일 수 있다. 다른 실시예로, 광학기능층(OFL)은 투과영역(TA)에 대응하는 개구(미도시)를 구비할 수 있다. 이에 따라, 투과영역(TA)의 광투과율이 현저히 향상될 수 있다. 이러한 개구에는 광투명수지(OCR, optically clear resin)와 같은 투명한 물질이 채워질 수 있다. 다른 실시예로, 광학기능층(OFL)은 블랙매트릭스와 컬러필터들을 포함하는 필터 플레이트로 구비될 수 있다.
패널 보호 부재(PB)는 기판(100)의 하부에 부착되어, 기판(100)을 지지하고 보호하는 역할을 할 수 있다. 패널 보호 부재(PB)는 컴포넌트영역(CA)에 대응하는 개구(PB_OP)를 구비할 수 있다. 패널 보호 부재(PB)에 개구(PB_OP)를 구비함으로써, 컴포넌트영역(CA)의 광 투과율을 향상시킬 수 있다. 패널 보호 부재(PB)은 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethyeleneterepthalate) 또는 폴리이미드(polyimide)를 포함하여 구비될 수 있다. 컴포넌트영역(CA)의 면적은 컴포넌트(40)가 배치되는 면적에 비해서 크게 구비될 수 있다. 이에 따라, 패널 보호 부재(PB)에 구비된 개구(PB_OP)의 면적은 상기 컴포넌트영역(CA)의 면적과 일치하지 않을 수 있다. 도 2a 및 도 2b에서는 컴포넌트(40)가 표시패널(DP)의 일측에 이격되어 배치된 것을 도시하나, 컴포넌트(40)의 적어도 일부는 패널 보호 부재(PB)에 구비된 개구(PB_OP) 내에 삽입될 수도 있다.
컴포넌트영역(CA)에는 컴포넌트(40)가 하나 또는 복수 개 배치될 수 있다. 복수의 컴포넌트(40)들은 서로 기능을 달리할 수 있다. 예컨대, 컴포넌트(40)들은 카메라(촬상소자), 태양전지, 플래시(flash), 근접 센서, 조도 센서, 홍채 센서 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
한편, 도 2a 및 도 2b와 같이 중간영역(MA)의 제1 및/또는 제2보조 부화소회로(PCa1, PCa2)의 하부에 배면금속층(bottom metal layer, BML)이 배치될 수 있다. 배면금속층(BML)은 부화소회로들을 보호하기 위해 부화소회로들과 중첩하여 배치될 수 있다. 일 실시예로, 배면금속층(BML)은 중간영역(MA)에 대응한 기판(100)과 제1 및/또는 제2보조 부화소회로(PCa1, PCa2) 사이에서, 제1 및/또는 제2보조 부화소회로(PCa1, PCa2)와 중첩되도록 배치될 수 있다. 이러한 배면금속층(BML)은 외부 광이 제1 및/또는 제2보조 부화소회로(PCa1, PCa2)에 도달하는 것을 차단할 수 있다. 또한, 메인표시영역(MDA)의 메인부화소회로(Pm)의 하부에도 배면금속층(BML)이 배치될 수 있다. 메인부화소회로(Pm)의 하부에 위치한 배면금속층(BML)은 제1 및/또는 제2부화소회로(PCa1, PCa2)의 하부에 위치한 배면금속층(BML)과 이격되어 배치될 수 있다. 다른 실시예로, 배면금속층(BML)은 표시영역(DA) 전체에 대응하도록 형성되고, 컴포넌트영역(CA)에 대응하는 하부-홀을 포함하도록 구비될 수도 있다. 다른 실시예로, 배면금속층(BML)은 생략될 수도 있다.
도 3a 및 도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치에 제공된 표시패널을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 3a 및 도 3b를 참조하면, 표시패널(DP)을 이루는 각종 구성 요소들은 기판(100) 상에 배치된다.
메인표시영역(MDA)에는 복수의 메인 부화소(Pm)들이 배치된다. 메인 부화소(Pm)들은 각각 유기발광다이오드(OLED)와 같은 표시요소에 의해 발광소자로 구현될 수 있다. 상기 메인 부화소(Pm)를 구동하는 메인 부화소회로(PCm)는 메인표시영역(MDA)에 배치되며, 메인 부화소회로(PCm)는 메인 부화소(Pm)와 중첩되어 배치될 수 있다. 각 메인 부화소(Pm)는 예컨대 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 광을 방출할 수 있다. 메인표시영역(MDA)은 밀봉부재로 커버되어, 외기 또는 수분 등으로부터 보호될 수 있다.
보조표시영역(ADA)은 전술한 바와 같이 메인표시영역(MDA)의 일측에 위치거나, 표시영역(DA)의 내측에 배치되어 메인표시영역(MDA)에 의해 둘러싸일 수 있다. 보조표시영역(ADA)에는 복수 개의 보조 부화소(Pa1, Pa2)들이 배치된다. 복수 개의 보조 부화소(Pa1, Pa2)들은 각각 유기발광다이오드와 같은 표시요소에 의해 발광소자로 구현될 수 있다. 각 보조 부화소(Pa)는 예컨대, 적색, 녹색, 청색 또는 백색의 광을 방출할 수 있다. 보조표시영역(ADA)은 밀봉부재로 커버되어, 외기 또는 수분 등으로부터 보호될 수 있다.
보조표시영역(ADA)은 컴포넌트영역(CA)과 이를 적어도 부분적으로 둘러싸는 중간영역(MA)을 포함할 수 있다. 제1보조 부화소(Pa1)는 컴포넌트영역(CA) 상에서 구현되고, 제2보조 부화소(Pa2)는 중간영역(MA) 상에서 구현될 수 있다. 이는 즉, 제1보조 부화소(Pa1)는 컴포넌트영역(CA)에서 실질적으로 발광하고, 제2보조 부화소(Pa2)는 중간영역(MA)에서 실질적으로 발광하는 것을 의미할 수 있다.
도 3a를 참조하면, 제1보조 부화소(Pa1)를 구현하는 제1보조 표시요소(EDa1, 도 2a)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되고, 제1보조 부화소회로(PCa1)는 중간영역(MA)에 배치되므로, 제1보조 표시요소(EDa1, 도 2a)와 제1보조 부화소회로(PCa1)는 연결배선(TWL)에 의해 연결될 수 있다.
다른 실시예로서, 도 6b를 참조하면, 제1보조 부화소(Pa1)를 구현하는 제1보조 표시요소(EDa1, 도 5b)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되고, 제1보조 부화소회로(PCa1)는 비표시영역(NDA)에 배치되므로, 제1보조 표시요소(EDa1, 도 5b)와 제1보조 부화소회로(PCa1)은 연결배선(TWL)에 의해 연결될 수 있다.
도 3a와 도 3b를 참조하면, 제1보조 표시요소(EDa1, 도 2a)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되나, 제1보조 표시요소(EDa1, 도 2a)에 전기적으로 연결된 제1보조 부화소회로(PCa1)는 컴포넌트영역(CA)에 배치되지 않는다. 본 발명의 비교예로서, 다양한 종류의 신호선들 및 전압선들에 연결된 트랜지스터들 및 스토리지 커패시터를 포함하는 제1보조 부화소회로(PCa1)가 컴포넌트영역(CA)에 배치되는 경우, 제1보조 부화소회로(PCa1)의 존재에 의해 투과영역(TA)의 면적을 충분히 확보하기 어려울 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따르면, 제1보조 부화소회로(PCa1)을 중간영역(MA) 또는 비표시영역(NDA)에 배치하고, 제1보조 표시요소(EDa1, 도 2a)을 컴포넌트영역(CA)에 배치함으로써, 컴포넌트영역(CA)에서의 해상도를 유지하며 투과영역(TA)의 면적은 증가시킬 수 있다.
표시영역(DA) 상의 부화소들(Pm, Pa1, Pa2)을 구동하는 부화소회로들(PCm, PCa1, PCa2) 각각은 비표시영역(NDA)에 배치된 외곽회로들과 전기적으로 연결될 수 있다. 비표시영역(NDA)에는 제1스캔구동회로(SDR1), 제2스캔구동회로(SDR2), 단자부(PAD), 구동전압 공급라인(11) 및 공통전압 공급라인(13)이 배치될 수 있다.
제1스캔구동회로(SDR1)는 스캔선(SL)을 통해 메인 부화소(Pm)를 구동하는 메인 부화소회로(PCm)에 스캔 신호를 인가할 수 있다. 또한, 제1스캔구동회로(SDR1)는 발광제어선(EL)을 통해 각 화소회로에 발광 제어 신호를 인가할 수 있다. 제2스캔구동회로(SDR2)는 메인표시영역(MDA)을 중심으로 제1스캔구동회로(SDR1)와 대칭적으로 배치될 수 있다. 메인표시영역(MDA)의 메인 부화소(Pm)의 메인 부화소회로(PCm) 중 일부는 제1스캔구동회로(SDR1)와 전기적으로 연결될 수 있고, 나머지는 제2스캔구동회로(SDR2)에 전기적으로 연결될 수 있다.
단자부(PAD)는 기판(100)의 일측에 배치될 수 있다. 단자부(PAD)는 절연층에 의해 덮이지 않고 노출되어 표시 회로 보드(30)와 연결된다. 표시 회로 보드(30)에는 표시 구동부(32)가 배치될 수 있다.
표시 구동부(32)는 제1스캔구동회로(SDR1)와 제2스캔구동회로(SDR2)에 전달하는 제어 신호를 생성할 수 있다. 표시 구동부(32)는 데이터 신호를 생성하며, 생성된 데이터 신호는 팬아웃 배선(FW) 및 팬아웃 배선(FW)과 연결된 데이터선(DL)을 통해 메인 부화소회로(PCm)에 전달될 수 있다.
표시 구동부(32)는 구동전압 공급라인(11)에 구동전압(ELVDD)을 공급할 수 있고, 공통전압 공급라인(13)에 공통전압(ELVSS)을 공급할 수 있다. 구동전압(ELVDD)은 구동전압 공급라인(11)과 연결된 구동전압선(PL)을 통해 부화소들(Pm, Pa)의 화소회로에 인가되고, 공통전압(ELVSS)은 공통전압 공급라인(13)과 연결되어 표시요소의 대향전극에 인가될 수 있다.
구동전압 공급라인(11)은 메인표시영역(MDA)의 하측에서 x방향으로 연장되어 구비될 수 있다. 공통전압 공급라인(13)은 루프 형상에서 일측이 개방된 형상을 가져, 메인표시영역(MDA)을 부분적으로 둘러쌀 수 있다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 표시요소 및 이에 전기적으로 연결된 부화소회로(PC)를 개략적으로 나타낸 등가회로도이다.
도 4에 도시된 부화소회로(PC)는 도 3a 및 도 3b에서 전술한 메인 부화소회로(PCm), 제1보조 부화소회로(PCa1) 및 제2보조 부화소회로(PCa2) 각각에 해당할 수 있다.
도 4에 도시된 표시요소(EDL)는 도 6a 및 도 6b에서 전술한 표시요소인 메인 표시요소(EDm), 제1보조 표시요소(EDa1), 제2보조 표시요소(EDa2)) 각각에 해당할 수 있다. 일 실시예로, 표시요소(EDL)는 유기발광다이오드일 수 있다.
도 4를 참조하면, 부화소회로(PC)는 구동 박막트랜지스터(T1), 스위칭 박막트랜지스터(T2), 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다.
스위칭 박막트랜지스터(T2)는 스캔선(SL) 및 데이터선(DL)에 각각 전기적으로 연결되며, 스캔선(SL)으로부터 입력되는 스캔 신호 또는 스위칭 전압에 기초하여 데이터선(DL)으로부터 입력된 데이터 신호 또는 데이터 전압을 구동 박막트랜지스터(T1)로 전달할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 스위칭 박막트랜지스터(T2)와 구동전압선(PL)에 전기적으로 연결되며, 스위칭 박막트랜지스터(T2)로부터 전달받은 전압과 구동전압선(PL)에 공급되는 구동전압(ELVDD)의 차이에 해당하는 전압을 저장할 수 있다.
구동 박막트랜지스터(T1)는 구동전압선(PL)과 스토리지 커패시터(Cst)에 각각 전기적으로 연결되며, 스토리지 커패시터(Cst)에 저장된 전압 값에 대응하여 구동전압선(PL)으로부터 표시요소(EDL)를 흐르는 구동 전류를 제어할 수 있다. 표시요소(EDL)는 구동 전류에 의해 소정의 휘도를 갖는 빛을 방출할 수 있다. 표시요소(EDL)의 대향전극은 공통전압(ELVSS)을 공급받을 수 있다.
도 4는 부화소회로(PC)가 2개의 박막트랜지스터와 1개의 스토리지 커패시터를 포함하는 것을 도시하고 있으나, 부화소회로(PC)는 3개 또는 그 이상의 박막트랜지스터를 포함할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시패널의 일부를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 5를 참조하면, 보조표시영역(ADA)의 컴포넌트영역(CA) 상에는 제1보조 부화소(Pa1)가 배치되고, 보조표시영역(ADA)의 중간영역(MA) 상에는 제2보조 부화소(Pa2)가 배치될 수 있다. 제1보조 부화소(Pa1)는 제1보조 부화소(Pa1)에 해당하는 표시요소, 예컨대 유기발광다이오드(OLED)의 발광영역에 해당하고, 제2보조 부화소(Pa2)는 제2보조 부화소(Pa2)에 해당하는 표시요소, 예컨대 유기발광다이오드(OLED')의 발광영역에 해당한다.
중간영역(MA) 상에는 제1보조 부화소회로(PCa1) 및 제2보조 부화소회로(PCa2)가 배치될 수 있다. 제1보조 부화소회로(PCa1) 및 제2보조 부화소회로(PCa2)는 서로 인접하며, 이웃하게 배치될 수 있다. 제1보조 부화소회로(PCa1) 및 제2보조 부화소회로(PCa2)에 설명의 편의상, 각각 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1) 및 제2보조 박막트랜지스터(TFTa2)를 포함하는 것을 도시한다.
제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)과 제2보조 박막트랜지스터(TFTa2)는 동일한 구조를 가지므로, 이하에서는 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)를 기준으로 설명한다.
제1보조 부화소(Pa1)에 해당하는 유기발광다이오드(OLED)는 연결배선(TWL)을 통해 제1보조 부화소회로(PCa1)와 연결될 수 있다. 연결배선(TWL)의 일측은 제1보조 부화소회로(PCa1)와 연결되고, 타측은 표시요소인 유기발광다이오드(OLED)의 제1전극(210)과 연결될 수 있다. 연결배선(TWL)과 제1전극(210) 사이에는 콘택전극(CM)이 개재되어, 콘택전극(CM)을 매개로 연결배선(TWL)과 제1전극(210)이 전기적으로 연결될 수 있다.
일 실시예로 도 5에 도시된 바와 같이, 연결배선(TWL)은 제1유기절연층(117) 상에 배치된 투광성 도전층(TWLa)을 포함할 수 있다. 투광성 도전층(TWLa)은 도전라인(TWLa-C)을 통해 제1보조 부화소회로(PCa1)와 연결될 수 있다. 다른 실시예에서, 투광성 도전층(TWLa)은 도전라인(TWLa-C)을 구비하지 않고, 제1보조 부화소회로(PCa1)와 직접 연결될 수도 있다.
기판(100)은 글라스이거나 폴리에테르술폰(polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(polyethylene naphthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide), 폴리이미드(polyimide), 폴리카보네이트(polycarbonate), 셀룰로오스 트리 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate) 등과 같은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 기판(100)은 전술한 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 배리어층(미도시)을 포함하는 다층 구조일 수 있다. 고분자 수지를 포함하는 기판(100)은 플렉서블, 롤러블, 벤더블 특성을 가질 수 있다.
화소회로층(PCL)은 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 화소회로층(PCL)은 제1보조 부화소회로(PCa1), 제2보조 부화소회로(PCa2), 및 절연층들을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 절연층들은 무기절연층으로, 버퍼층(111), 제1게이트절연층(112), 제2게이트절연층(113), 제1층간절연층(114), 제2층간절연층(115), 및 제3층간절연층(116)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 절연층들은 유기절연층으로, 제1유기절연층(117), 제2유기절연층(118), 제3유기절연층(119)을 포함할 수 있다.
제1보조 부화소회로(PCa1)는 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1) 및 스토리지 커패시터(Cst)를 포함할 수 있다. 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)는 제1반도체층(AS1), 제1게이트전극(GE1), 제1소스전극(SE1), 및 제1드레인전극(DE1)을 포함할 수 있다. 스토리지 커패시터(Cst)는 하부 전극(CE1) 및 상부 전극(CE2)을 포함할 수 있다. 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)은 구동 박막트랜지스터로서 기능할 수 있다.
버퍼층(111)은 기판(100) 상에 배치될 수 있다. 버퍼층(111)은 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON) 및 실리콘산화물(SiO2)과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있으며, 전술한 무기절연물을 포함하는 단층 또는 다층일 수 있다.
배면금속층(BML)은 기판(100)과 버퍼층(111) 사이에 배치될 수 있다. 배면금속층(BML)은 제1보조 부화소회로(PCa1)의 하부에 부화소회로를 보호하기 위해, 중첩하여 배치될 수 있다. 배면금속층(BML)은 반사형 금속으로 형성될 수 있으며, 예컨대 은(Ag), 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 알루미늄 질화물(AlN), 텅스텐(W), 텅스텐 질화물(WN), 구리(Cu), 및 티타늄(Ti), 실리콘(Si) 등을 포함할 수 있다
제1반도체층(AS1)은 실리콘 반도체를 포함할 수 있다. 제1반도체층(AS1)은 폴리 실리콘을 포함할 수 있다. 또는, 제1반도체층(AS1)은 비정질(amorphous) 실리콘을 포함할 수 있다. 일부 실시예에서, 제1반도체층(AS1)은 산화물 반도체를 포함하거나, 유기 반도체 등을 포함할 수 있다. 제1반도체층(AS1)은 채널영역 및 채널영역의 양측에 각각 배치된 드레인영역 및 소스영역을 포함할 수 있다. 제1게이트전극(GE1)은 채널영역과 중첩할 수 있다.
제1게이트전극(GE1)은 제1반도체층(AS1)과 중첩할 수 있다. 제1게이트전극(GE1)은 저저항 금속 물질을 포함할 수 있다. 제1게이트전극(GE1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다.
제1반도체층(AS1)과 제1게이트전극(GE1) 사이에는 제1게이트절연층(112)이 배치될 수 있다. 따라서, 제1반도체층(AS1)은 제1게이트전극(GE1)과 절연될 수 있다. 제1게이트절연층(112)은 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 및/또는 징크산화물(ZnO)등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
제2게이트절연층(113)은 제1게이트전극(GE1)을 덮을 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 제1게이트전극(GE1) 상에 배치될 수 있다. 제2게이트절연층(113)은 제1게이트절연층(112)과 유사하게 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 및/또는 징크산화물(ZnO) 등과 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
상부 전극(CE2)은 제2게이트절연층(113) 상에 배치될 수 있다. 상부 전극(CE2)은 그 아래의 제1게이트전극(GE1)과 중첩할 수 있다. 이러한 경우, 상부 전극(CE2) 및 제1게이트전극(GE1)은 제2게이트절연층(113)을 사이에 두고 중첩하여 스토리지 커패시터(Cst)를 형성할 수 있다. 즉, 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)의 제1게이트전극(GE1)은 스토리지 커패시터(Cst)의 하부 전극(CE1)으로 기능할 수 있다.
이와 같이, 스토리지 커패시터(Cst)와 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)가 중첩되어 형성될 수 있다. 일부 실시예에서, 스토리지 커패시터(Cst)는 제1보조 박막트랜지스터(TFTa1)와 중첩되지 않도록 형성될 수도 있다.
상부 전극(CE2)은 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 은(Ag), 마그네슘(Mg), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr), 칼슘(Ca), 몰리브덴(Mo), 티타늄(Ti), 텅스텐(W), 및/또는 구리(Cu)를 포함할 수 있으며, 전술한 물질의 단일층 또는 다층일 수 있다.
제1층간절연층(114) 및 제2층간절연층(115)은 상부 전극(CE2)을 덮을 수 있다. 일 실시예에서, 제1층간절연층(114) 및 제2층간절연층(115)은 제1게이트전극(GE1)을 덮을 수 있다. 제1층간절연층(114) 및 제2층간절연층(115)은 각각 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX), 실리콘산질화물(SiON), 알루미늄산화물(Al2O3), 티타늄산화물(TiO2), 탄탈산화물(Ta2O5), 하프늄산화물(HfO2), 또는 징크산화물(ZnO) 등을 포함할 수 있다. 제1층간절연층(114) 및 제2층간절연층(115)은 전술한 무기절연물을 포함하는 단일층 또는 다층일 수 있다.
제1소스전극(미도시) 및 제1드레인전극(DE1)은 제3층간절연층(116) 상에 배치될 수 있다. 제1소스전극(미도시) 및 제1드레인전극(DE1)은 제1반도체층(AS1)과 연결될 수 있다. 제1소스전극 및 제1드레인전극(DE1)은 절연층들의 컨택홀들을 통해 제1반도체층(AS1)과 연결될 수 있다.
제1소스전극, 제1드레인전극(DE1)은 몰리브덴(Mo), 알루미늄(Al), 구리(Cu), 티타늄(Ti) 등을 포함하는 도전 물질을 포함할 수 있고, 상기의 재료를 포함하는 다층 또는 단층으로 형성될 수 있다. 일 실시예로, 제1소스전극(미도시) 및 제1드레인전극(DE1)은 Ti/Al/Ti의 다층 구조를 가질 수 있다.
제1유기절연층(117)은 제1소스전극(미도시) 및 제1드레인전극(DE1)을 덮으며 배치될 수 있다. 제1유기절연층(117) 상에는 데이터신호를 전달하기 위한 데이터선(DL), 구동전압을 전달하기 위한 구동전압선(미도시)이 배치될 수 있다. 제1소스전극(미도시), 제1드레인전극(DE1)은 이러한 데이터선(DL) 또는 구동전압선(미도시)과 직접 또는 다른 박막트랜지스터를 통해서 연결될 수 있다.
또한, 제1유기절연층(117) 상에는 제1소스전극(미도시) 또는 제1드레인전극(DE1)과 연결된 도전라인(TWLa-C)이 배치될 수 있고, 도전라인(TWLa-C)과 연결배선(TWL)을 통해 연결된 콘택전극(CM)이 배치될 수 있다.
제2유기절연층(118) 및 제3유기절연층(119)은 도전라인(TWLa-C) 및 콘택전극(CM)을 덮으며 배치될 수 있다. 제1유기절연층(117) 내지 제3유기절연층(119)은 유기절연물을 포함할 수 있고, 예컨대, BCB(Benzocyclobutene), 폴리이미드(polyimide), HMDSO(Hexamethyldisiloxane), Polymethylmethacrylate(PMMA)나, Polystyrene(PS)과 같은 일반 범용고분자, 페놀계 그룹을 갖는 고분자 유도체, 아크릴계 고분자, 이미드계 고분자, 아릴에테르계 고분자, 아마이드계 고분자, 불소계고분자, p-자일렌계 고분자, 비닐알콜계 고분자 및 이들의 블렌드 등을 포함할 수 있다.
표시요소층(EDL)은 화소회로층(PCL) 상에 배치될 수 있다. 표시요소층(EDL)은 표시요소를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 표시요소층(EDL)은 컴포넌트영역(CA)에 배치된 표시요소로서 유기발광다이오드(OLED)를 포함할 수 있다.
유기발광다이오드(OLED)는 제3유기절연층(119) 상에 배치될 수 있다. 표시요소로서 유기발광다이오드(OLED)는 제1보조 부화소회로(PCa1)과 전기적으로 연결되어 제1보조 부화소(Pa1)을 구현할 수 있다. 유기발광다이오드(OLED)는 제1전극(210), 유기발광층을 포함하는 중간층(220) 및 제1전극(210)에 대향하는 제2전극(230)을 포함할 수 있다.
제1전극(210)은 화소전극일 수 있다. 제1전극(210)은 제1유기절연층(117) 상에 구비된 콘택홀을 통해 콘택전극(CM)과 전기적으로 연결될 수 있다. 제1전극(210)은 반사 전극일 수 있다. 일 실시예로, 제1전극(210)은 은(Ag), 마그네슘(Mg), 알루미늄(Al), 백금(Pt), 팔라듐(Pd), 금(Au), 니켈(Ni), 네오디뮴(Nd), 이리듐(Ir), 크롬(Cr) 또는 이들의 화합물을 포함하는 반사층과, 반사층 상에 형성된 투명 또는 반투명 전극층을 구비할 수 있다. 투명 또는 반투명 전극층은 인듐틴옥사이드(ITO; indium tin oxide), 인듐징크옥사이드(IZO; indium zinc oxide), 징크옥사이드(ZnO; zinc oxide), 인듐옥사이드(In2O3; indium oxide), 인듐갈륨옥사이드(IGO; indium gallium oxide) 및 알루미늄징크옥사이드(AZO; aluminum zinc oxide)를 포함하는 그룹에서 선택된 적어도 하나 이상을 구비할 수 있다. 예를 들어, 제1전극(210)은 ITO/Ag/ITO의 다층 구조를 가질 수 있다.
제3유기절연층(119) 상에는 뱅크층(120)이 배치될 수 있다. 뱅크층(120)은 제1전극(210)의 가장자리와 제1전극(210) 상부의 제2전극(230)의 사이의 거리를 증가시킴으로써 제1전극(210)의 가장자리에서 아크 등이 발생하는 것을 방지하는 역할을 할 수 있다.
뱅크층(120)은 폴리이미드, 폴리아마이드(Polyamide), 아크릴 수지, 벤조사이클로부텐 및 페놀 수지로 이루어진 군에서 선택되는 하나 이상의 유기 절연 물질로, 스핀 코팅 등의 방법으로 형성될 수 있다. 뱅크층(120)은 투명하거나, 차광성 물질을 포함하여 검은색을 가질 수 있다.
유기발광다이오드(OLED)의 중간층(220)은 뱅크층(120)에 의해 형성된 개구(120OP) 내에 배치될 수 있다. 뱅크층(120)의 개구(120OP)에 의해 유기발광다이오드(OLED)의 발광영역이 정의될 수 있다.
중간층(220)은 발광층(220b)을 포함할 수 있다. 발광층(220b)은 적색, 녹색, 청색, 또는 백색의 빛을 방출하는 형광 또는 인광 물질을 포함하는 유기물을 포함할 수 있다. 발광층(220b)은 저분자 유기물 또는 고분자 유기물일 수 있으며, 발광층(220b)의 아래 및 위에는, 홀 수송층(HTL; hole transport layer), 홀 주입층(HIL; hole injection layer)을 포함하는 제1기능층(220a), 전자 수송층(ETL; electron transport layer) 및 전자 주입층(EIL; electron injection layer)을 포함하는 제2기능층(220c)이 선택적으로 더 배치될 수 있다.
제2전극(230)은 반사 전극일 수 있다. 일부 실시예에서, 제2전극(230)은 Li, Ca, LiF/Ca, LiF/Al, Al, Ag, Mg 및 이들의 화합물을 포함하는 일함수가 작은 금속 박막으로 형성될 수 있다. 또한, 금속 박막 위에 ITO, IZO, ZnO 또는 In2O3 등의 TCO(transparent conductive oxide)막이 더 배치될 수 있다. 제2전극(230)은 표시영역(DA) 전면에 걸쳐 일체(一體)로 형성되어, 중간층(220)과 뱅크층(120)의 상부에 배치될 수 있다.
제2전극(230) 상에는 유기물질을 포함하는 상부층(250)이 형성될 수 있다. 상부층(250)은 제2전극(230)을 보호하는 동시에 광 추출 효율을 높이기 위해서 마련된 층일 수 있다. 상부층(250)은 제2전극(230) 보다 굴절률이 높은 유기물질을 포함할 수 있다. 또는, 상부층(250)은 굴절률이 서로 다른 층들이 적층되어 구비될 수 있다. 예컨대, 상부층(250)은 고굴절률층/저굴절률층/고굴절률층이 적층되어 구비될 수 있다. 이 때, 고굴절률층의 굴절률은 1.7이상 일 수 있으며, 저굴절률층의 굴절률은 1.3이하 일 수 있다.
상부층(250)은 추가적으로 플루오린화리튬(LiF)을 포함할 수 있다. 또는, 상부층(250) 추가적으로 실리콘산화물(SiO2), 실리콘질화물(SiNX)와 같은 무기 절연물을 포함할 수 있다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 개략적으로 나타내는 도면이다. 일 실시예에서 도 6의 표시장치의 제조장치는 전술한 표시장치를 제조하기 위해 이용될 수 있다.
표시장치의 제조장치(2)는 챔버(10), 제1지지부(20), 제2지지부(30), 마스크 조립체(400), 증착원(50), 자기력부(60), 비젼부(70) 및 압력조절부(80)를 포함할 수 있다.
챔버(10)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(400)가 수납될 수 있다. 이때 챔버(10)의 일부는 개구되도록 형성될 수 있으며, 챔버(10)의 개구된 부분에는 게이트밸브(11)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(11)의 작동에 따라서 챔버(10)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다.
이때 표시기판(DS)은 전술한 기판(100)에 유기층, 무기층 및 금속층 중 적어도 하나의 층이 증착된, 표시장치의 제조 중에 있는 표시기판(DS)을 의미할 수 있다. 또는 표시기판(DS)은 유기층, 무기층 및 금속층 중 어느 층도 아직 증착되지 않은 기판(100)일 수 있다.
제1지지부(20)는 표시기판(DS)을 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)는 챔버(10) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(20)는 표시기판(DS)이 안착되며, 챔버(10) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(20)는 챔버(10)에 고정되거나 챔버(10) 내부에서 이동 가능하도록 챔버(10)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다.
제2지지부(30)는 마스크 조립체(400)를 지지할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(30)는 마스크 조립체(400)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(400)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다.
다른 실시예로서 제2지지부(30)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(30)는 마스크 조립체(400)가 안착되며, 마스크 조립체(400)를 이송할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(30)는 챔버(10) 외부로 이동하여 마스크 조립체(400)가 안착된 후 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 진입할 수 있다.
상기와 같은 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 마스크 조립체(400) 상에 표시기판(DS)이 안착된 상태로 마스크 조립체(400)와 표시기판(DS)을 고정시키는 구조를 포함하며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다.
다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(20)와 제2지지부(30)는 챔버(10) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
증착원(50)은 마스크 조립체(400)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 증착원(50)에는 증착물질이 수납될 수 있으며, 증착물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 증착원(50)은 챔버(10) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(10) 내부에 배치되는 것도 가능하다.
마스크 조립체(400)는 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 이때 마스크 조립체(400)는 마스크 프레임(410) 및 마스크 시트(420)를 포함할 수 있다. 이에 대해서는 후술하여 자세히 설명하도록 한다. 증착물질은 마스크 조립체(400)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착될 수 있다.
자기력부(60)는 표시기판(DS) 및/또는 마스크 조립체(400)와 대향하도록 챔버(10) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(60)는 마스크 조립체(400)에 자기력을 가하여 표시기판(DS) 측으로 마스크 조립체(400)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(60)는 마스크 시트(420)의 쳐짐을 방지할 뿐 아니라 마스크 시트(420)를 표시기판(DS)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(60)는 마스크 시트(420)와 표시기판(DS) 사이의 간격을 균일하게 유지시킬 수 있다.
비젼부(70)는 챔버(10)에 배치되며, 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(400)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 파악할 수 있고, 마스크 조립체(400)의 변형을 확인할 수 있다. 또한 상기 이미지를 근거로 제1지지부(20)에서 표시기판(DS)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(400)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(30)에서 마스크 조립체(400)의 위치를 미세 조정하여 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되어 챔버(10) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(80)는 챔버(10) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10)와 연결되는 연결배관(81)과 연결배관(81)에 설치되는 펌프(82)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(82)의 작동에 따라서 연결배관(81)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(10) 내부의 기체를 연결배관(81)을 통하여 외부로 안내할 수 있다.
한편, 상기와 같은 표시장치의 제조장치(2)를 이용하여 표시장치(미도시)를 제조하는 방법을 살펴보면, 먼저 표시기판(DS)이 준비될 수 있다.
압력조절부(80)는 챔버(10) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 유지시킬 수 있으며, 게이트밸브(11)가 작동하여 챔버(10)의 개구된 부분을 개방할 수 있다.
이후 표시기판(DS)을 챔버(10) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 표시기판(DS)은 다양한 방식으로 챔버(10)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 표시기판(DS)은 챔버(10) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(20)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(20)가 챔버(10) 내부에서 챔버(10) 외부로 반출된 후 챔버(10) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 표시기판(DS)을 제1지지부(20)에 안착시키고 제1지지부(20)가 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
마스크 조립체(400)는 상기와 같이 챔버(10) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(400)는 표시기판(DS)과 동일 또는 유사하게 챔버(10) 외부에서 챔버(10) 내부로 장입하는 것도 가능하다.
표시기판(DS)이 챔버(10) 내부로 장입되면, 표시기판(DS)은 제1지지부(20)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(70)는 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 촬영할 수 있다. 비젼부(70)에서 촬영된 이미지를 근거로 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시장치의 제조장치(2)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치를 파악할 수 있다.
표시기판(DS)과 마스크 조립체(400)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(30)는 마스크 조립체(400)의 위치를 미세 조정할 수 있다.
이후 증착원(50)이 작동하여 증착물질을 마스크 조립체(400) 측으로 공급하고, 마스크 시트(420)의 복수 개의 패턴홀을 통과한 증착물질은 표시기판(DS)에 증착될 수 있다. 이때, 증착원(50)이 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(400)에 대해 평행하게 이동하거나, 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(400)가 증착원(50)에 대해 평행하게 이동할 수 있다. 즉, 증착원(50)은 표시기판(DS) 및 마스크 조립체(400)와 상대이동할 수 있다. 이때, 펌프(82)는 챔버(10) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(10) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다.
상기와 같이 증착원(50)에서 공급된 증착물질은 마스크 조립체(400)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착되고, 이에 따라 전술할 표시장치에 적층되는 복수 개의 층, 예를 들어 유기층, 무기층, 금속층 중 적어도 하나를 형성할 수 있다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 개략적으로 나타내는 사시도로서, 전술한 표시장치의 제조장치에 이용될 수 있는 마스크 조립체를 도시한다.
도 7을 참조하면, 마스크 조립체(400)는 마스크 프레임(410) 및 마스크 시트(420)을 포함할 수 있다.
마스크 프레임(410)은 복수 개의 변들이 연결되어 형성될 수 있으며, 복수 개의 변들에 의해 정의되는 개구영역(OA)을 포함할 수 있다. 즉, 개구영역(OA)은 복수 개의 변들에 의해 둘러싸여 형성될 수 있으며, 개구영역(OA)은 마스크 프레임(410)의 중앙에서 관통되어 형성될 수 있다.
이때 마스크 프레임(410)의 내부, 즉 개구영역(OA)을 가로지르도록 제1방향, 예를 들어 도 7에서와 같이 x 방향으로 연장되는 차폐스틱(411)이 배치될 수 있다. 마스크 프레임(410)에는 차폐스틱(411)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 차폐스틱(411)은 마스크 프레임(410)의 홈에 배치되며 복수 개의 마스크 프레임(410)의 사이에 위치하도록 배치되어 인접한 2개의 마스크 프레임(410) 사이를 증착물질이 통과하지 못하도록 차폐할 수 있다. 차폐스틱(411)은 복수 개로 구비되어 제2방향, 예를 들어 도 7에서와 같이 y 방향으로 이격되며 서로 평행하도록 배치될 수 있다.
또한 마스크 프레임(410)의 내부, 즉 개구영역(OA)을 가로지르도록 제2방향, 예를 들어 도 7에서와 같이 y 방향으로 연장되는 지지스틱(412)이 배치될 수 있다. 지지스틱(412)은 개구영역(OA)에서 차폐스틱(411)과 교차하며 차폐스틱(411)의 상부에 위치할 수 있다. 마스크 프레임(410)에는 지지스틱(412)의 양 단부를 수용하기 위한 홈이 배치될 수 있다. 지지스틱(412)은 개구영역(OA)에서 마스크 시트(420)를 지지하여 마스크 시트(420)의 처짐을 방지할 수 있다.
마스크 프레임(410)은 일 실시예에서 사각형의 프레임일 수 있다. 물론 마스크 프레임(410)의 형상은 이에 제한되는 것은 아니며, 다양한 형태의 다각형의 형상일 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 마스크 프레임(410)은 사각형의 프레임인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
마스크 시트(420)는 마스크 프레임(410)에 배치될 수 있다. 마스크 프레임(410)의 중앙의 개구영역(OA)은 마스크 시트(420)에 의해 덮일 수 있다. 일 실시예로 마스크 시트(420)는 적어도 하나 이상 구비될 수 있으며, 마스크 시트(420)가 2개 이상으로 구비되는 경우, 마스크 시트(420)들은 서로 나란하도록 마스크 프레임(410) 상에 배치될 수 있다. 예를 들어 마스크 시트(420)들은 제2방향(예를 들어, 도 7의 y 방향)으로 나란히 배열될 수 있다. 이때, 마스크 시트(420) 각각은 제1방향(예를 들어, 도 7의 x 방향)으로 길게 연장된 형상일 수 있다. 마스크 시트(420)의 양 단부는 예를 들어 용접에 의한 방식으로 마스크 프레임(410)에 고정될 수 있다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트를 나타내는 평면도이다.
도 8을 참조하면, 마스크 시트(420)는 제1영역(A1) 및 제1영역(A1)을 둘러싸도록 배치되는 제2영역(A2)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서 마스크 시트(420)는 복수 개의 표시장치를 위해 증착물질이 통과되도록 할 수 있다. 즉, 하나의 마스크 시트(420)를 통해 복수 개의 셀에 동시에 증착물질을 증착할 수 있다. 이때, 제1영역(A1)은 전술한 표시장치의 보조표시영역(ADA, 도 1 참조)에 대응되는 영역일 수 있다. 즉, 표시기판(DS, 도 6 참조)에 인접하게 마스크 시트(420)를 배치한 경우 제1영역(A1)에 대응되는 표시기판(DS)의 영역이 보조표시영역(ADA)이 될 수 있다. 또한 제2영역(A2)은 전술한 표시장치의 메인표시영역(MDA, 도 1 참조)에 대응되는 영역일 수 있다. 즉, 표시기판(DS, 도 6 참조)에 인접하게 마스크 시트(420)를 배치한 경우 제2영역(A2)에 대응되는 표시기판(DS)의 영역이 메인표시영역(MDA)이 될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이 제1영역(A1)은 평면도 상에서 사각형일 수 있으나, 이에 제한되는 것은 아니며 원형 또는 타원형일 수 있음이 이해될 것이다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 제1영역(A1)은 사각형인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 시트를 개략적으로 나타내는 평면도로서, 도 8의 IX 영역을 확대하여 나타낸 도면이다.
도 9를 참조하면, 마스크 시트(420)는 개구패턴들을 포함할 수 있다. 구체적으로, 마스크 시트(420)는 제1영역(A1)에 배치되는 제1개구패턴(PT1) 및 제2영역(A2)에 배치되는 제2개구패턴(PT2)을 포함할 수 있다. 개구패턴들은 증착물질이 마스크 시트(420)를 통과하여 표시기판(DS)에 증착될 때 증착되는 패턴을 형성하도록 할 수 있다. 즉, 마스크 시트(420)의 개구패턴은 표시기판(DS)의 증착되는 패턴에 대응될 수 있다.
일 실시예에서 제1개구패턴(PT1)은 하프에칭된 패턴일 수 있다. 즉 제1개구패턴(PT1)은 두께 방향(예를 들어, 도 9의 z 방향)으로 일부만 식각되어 형성된 패턴일 수 있다. 이에 따른 제1개구패턴(PT1)은 관통된 패턴이 아닌 비관통된 패턴일 수 있다.
제1개구패턴(PT1)은 증착물질이 통과하지는 않으나 마스크 시트(420)의 증착품질을 위해 하프에칭에 의해 형성될 수 있다. 구체적으로, 제1영역(A1)이 하프에칭되지 않는 경우, 관통되는 제2개구패턴(PT2)이 배치된 제2영역(A2)과 비교하여 평균 두께의 차이가 클 수 있다. 즉, 제1영역(A1)이 하프에칭되는 경우, 제1영역(A1)의 평균 두께와 제2영역(A2)의 평균 두께 사이의 차이가 감소될 수 있다. 이는 전술한 자기력부(60)에 의한 자기력의 영향의 차이를 감소시켜 마스크 시트(420)를 균일하게 유지할 수 있다. 여기서 평균 두께라고 함은 특정 영역의 부피를 특정 영역의 면적으로 나눈 두께를 의미할 수 있다. 예를 들어 제1영역(A1)의 평균 두께는 제1영역(A1)에서 마스크 시트(420)의 부피를 제1영역(A1)의 면적으로 나눈 두께를 의미할 수 있다. 마찬가지로, 제2영역(A2)의 평균 두께는 제2영역(A2)에서 마스크 시트(420)의 부피를 제2영역(A2)의 면적으로 나눈 두께를 의미할 수 있다.
제1개구패턴(PT1)은 제1영역(A1)에서 제1방향(DR1)(예를 들어, 도 9의 x 방향)으로 연장되는 제1리브(R1), 제1방향(DR1)과 교차하는 제2방향(DR2)(예를 들어, 도 9의 y 방향)으로 연장되는 제2리브(R2)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서 제1리브(R1)가 연장되는 제1방향(DR1)은 제2리브(R2)가 연장되는 제2방향(DR2)과 수직일 수 있다. 제1리브(R1)는 복수 개로 구비되어 제2방향(DR2)으로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 제2리브(R2)는 복수 개로 구비되어 제1방향(DR1)으로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 이에 따라 복수 개의 제1리브(R1) 및 복수 개의 제2리브(R2)에 의해 복수 개의 하프개구부(421)가 획정될 수 있다.
하프개구부(421)는 하프에칭되어 두께 방향으로 일부만 식각된 비관통 개구일 수 있다. 하프개구부(421)는 일 실시예에서 제1방향(DR1)으로 연장되는 제1리브(R1)와 제2방향(DR2)으로 연장되는 제2리브(R2)에 의해 사각형의 형상을 가질 수 있다. 도 9에서 설명의 편의를 위해 하프개구부(421)는 제1영역(A1)에 5행 5열로 배치된 것을 도시하였으나, 이에 제한되는 것은 아니며 제1영역(A1)의 크기에 따라 보다 많은 개수의 하프개구부(421)가 배치될 수 있음이 이해될 것이다.
일 실시예에서 제2개구패턴(PT2)은 관통된 패턴일 수 있다. 즉 제2개구패턴(PT2)은 두께 방향(예를 들어, 도 9의 z 방향)으로 완전히 관통되도록 식각되어 형성된 패턴일 수 있다.
제2개구패턴(PT2)은 제2영역(A2)에서 제3방향(DR3)으로 연장되는 제3리브(R3), 제3방향(DR3)과 교차하는 제4방향(DR4)으로 연장되는 제4리브(R4)를 포함할 수 있다. 일 실시예에서 제3리브(R3)가 연장되는 제3방향(DR3)은 제4리브(R4)가 연장되는 제4방향(DR4)과 수직일 수 있다. 제3리브(R3)는 복수 개로 구비되어 제4방향(DR4)으로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 제4리브(R4)는 복수 개로 구비되어 제3방향(DR3)으로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 이에 따라 복수 개의 제3리브(R3) 및 복수 개의 제4리브(R4)에 의해 복수 개의 개구부(422)가 획정될 수 있다.
개구부(422)는 두께 방향으로 완전히 식각된 관통 개구일 수 있다. 개구부(422)는 일 실시예에서 제3방향(DR3)으로 연장되는 제3리브(R3)와 제4방향(DR4)으로 연장되는 제4리브(R4)에 의해 사각형의 형상을 가질 수 있다. 또는 제3리브(R3)와 제4리브(R4)에 의해 획정되는 가상의 사각형 내에서 개구부(422)는 다양한 형상으로 형성될 수 있을 것이다. 이하에서는 설명의 편의를 위해 개구부(422)가 사각형인 경우를 중심으로 설명하도록 한다.
일 실시예에서 제1리브(R1)의 연장 방향인 제1방향(DR1)과 제3리브(R3)의 연장 방향인 제3방향(DR3)은 교차할 수 있다. 이때 제2리브(R2)의 연장 방향인 제2방향(DR2)도 제3리브(R3)의 연장 방향인 제3방향(DR3)과 교차할 수 있다. 즉, 제3방향(DR3)은 제1방향(DR1)과 제2방향(DR2) 사이의 방향일 수 있다. 일 실시예에서 제3방향(DR3)과 제1방향(DR1) 사이의 사이각은 45˚일 수 있다. 또한 제2방향(DR2)과 제3방향(DR3) 사이의 사이각은 45˚일 수 있다.
마찬가지로, 제1리브(R1)의 연장 방향인 제1방향(DR1)과 제4리브(R4)의 연장 방향인 제4방향(DR4)은 교차할 수 있고, 제2리브(R2)의 연장 방향인 제2방향(DR2)도 제4리브(R4)의 연장 방향인 제4방향(DR4)과 교차할 수 있다. 이때 도 9에 도시된 바와 같이 제2방향(DR2)은 제3방향(DR3)과 제4방향(DR4) 사이의 방향일 수 있다. 일 실시예에서 제4방향(DR4)과 제2방향(DR2) 사이의 사이각은 45˚일 수 있다. 또한 제4방향(DR4)과 제1방향(DR1) 사이의 사이각은 135˚일 수 있다.
이와 같이 제1영역(A1)에서 리브들(R1, R2)의 연장방향은 제2영역(A2)에서 리브들(R3, R4)의 연장방향과 일치하지 않고 교차할 수 있다. 구체적으로, 도 9의 우측에 도시된 바와 같이 제1영역(A1)에서 제1리브(R1) 및 제2리브(R2)의 연장 방향인 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)을 반시계방향으로 회전이동시키면 제2영역(A2)에서 제3리브(R3) 및 제4리브(R4)의 연장 방향인 제3방향(DR3) 및 제4방향(DR4)과 일치할 수 있다.
일 실시예에서 복수 개의 하프개구부(421)는 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)으로 정렬될 수 있다. 다르게 말하면, 복수 개의 하프개구부(421)는 제1리브(R1) 및 제2리브(R2)의 연장 방향을 따라 이격되어 정렬될 수 있다. 여기서 복수 개의 하프개구부(421)가 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)으로 정렬된다는 것은 인접한 4개의 하프개구부(421)의 중심을 연결했을 때 형성되는 가상의 사각형(VS)의 변의 방향이 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2)임을 의미할 수 있다. 따라서 복수 개의 하프개구부(421) 중 임의의 2개의 하프개구부(421)의 중심 사이의 거리는 제1방향(DR1) 및 제2방향(DR2) 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 하프개구부(421)의 중심 사이의 거리가 최소 거리일 수 있다. 즉 도 9와 같이 가상의 사각형(VS)이 정사각형인 경우, 2개의 하프개구부(421)의 중심 사이의 거리 중 최소가 되는 것은 제1방향(DR1)으로 인접한 2개의 하프개구부(421)의 중심 사이의 거리 및 제2방향(DR2)으로 인접한 2개의 하프개구부(421)의 중심 사이의 거리일 수 있다.
이때 복수 개의 개구부(422)는 제3방향(DR3) 및 제4방향(DR4)으로 정렬될 수 있다. 다르게 말하면, 복수 개의 개구부(422)는 제3리브(R3) 및 제4리브(R4)의 연장 방향을 따라 이격되어 정렬될 수 있다. 따라서 복수 개의 개구부(422) 중 임의의 2개의 개구부(422)의 중심 사이의 거리는 제3방향(DR3) 및 제4방향(DR4) 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 개구부(422)의 중심 사이의 거리가 최소 거리일 수 있다.
전술한 바와 같이 제3방향(DR3)은 제1방향(DR1)과 제2방향(DR2) 사이의 방향일 수 있으므로, 복수 개의 개구부(422)의 정렬 방향은 복수 개의 하프개구부(421)의 정렬 방향과 상이할 수 있다.
한편, 일 실시예에서 하프개구부(421)의 형상은 평면도 상에서 개구부(422)의 형상과 실질적으로 동일할 수 있다. 또한 하프개구부(421)의 크기는 평면도 상에서 개구부(422)의 크기와 실질적으로 동일할 수 있다. 이를 다르게 말하면, 하프개구부(421)를 포함하는 제1개구패턴(PT1)과 개구부(422)를 포함하는 제2개구패턴(PT2)은 정렬되는 방향만 다른 실질적으로 동일한 패턴일 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법을 개략적으로 나타내는 도면들이다. 도 11은 도 10의 XI 영역을 확대하여 나타낸 도면이다. 도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법과 비교를 위한 도면이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 전술한 도 7 내지 도 9의 마스크 시트(420)가 준비될 수 있다. 마스크 시트(420)는 길이 방향, 즉 제1방향(DR1)으로 인장될 수 있다.
이때 일 실시예에서 마스크 시트(420)의 인장 방향은 제1영역(A1)에 배치된 제1리브(R1)의 연장 방향과 동일할 수 있다. 또한 마스크 시트(420)의 인장 방향은 제1영역(A1)에 배치된 제2리브(R2)의 연장 방향과 수직일 수 있다. 다르게 표현하면, 마스크 시트(420)의 인장 방향은 복수 개의 하프개구부(421)의 정렬 방향과 동일할 수 있다.
이때 일 실시예에서 마스크 시트(420)의 인장 방향은 제2영역(A2)에 배치된 제3리브(R3)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 또한 마스크 시트(420)의 인장 방향은 제2영역(A2)에 배치된 제4리브(R4)의 연장 방향과 교차할 수 있다. 예를 들어 마스크 시트(420)의 인장 방향은 제3리브(R3)의 연장 방향과 45˚의 사이각을 가질 수 있다. 제4리브(R4)의 연장 방향은 제3리브(R3)의 연장 방향과 수직일 수 있다. 다르게 표현하면, 마스크 시트(420)의 인장 방향은 복수 개의 개구부(422)의 정렬 방향과 교차할 수 있고, 예를 들어 45˚의 사이각을 가질 수 있다.
이와 같이 마스크 시트(420)의 인장 방향이 제1리브(R1)의 연장 방향과 동일한 경우, 마스크 시트(420)의 인장으로 인해 제1개구패턴(PT1)의 하프개구부(421)에 발생되는 응력 집중을 완화할 수 있다.
구체적으로 도 12를 참조하면, 좌측 도면과 같이 제1영역(A1), 즉 하프에칭된 영역이 제2영역(A2), 즉 완전에칭된 영역과 동일하게 마스크 시트(420)의 인장 방향과 교차하는 방향(특히 0˚ 초과 90˚ 미만)으로 연장되는 리브들을 포함하는 경우 응력이 하프개구부(421)의 둘레를 따라 집중될 수 있다. 이는 하프개구부(421), 특히 그 둘레에서 하프개구부(421)를 약화시키고 이에 따라 특히 마스크 시트(420)의 세정 시 하프개구부(421)가 솟아오르는 덴트(dent) 및/또는 복수 개의 하프개구부(421)가 배치되는 영역 전체가 솟아오르는 덴트(dent)를 발생시킬 수 있다. 이러한 덴트의 발생은 마스크 시트(420)의 불량을 발생시킬 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따르면, 우측 도면과 같이 제1영역(A1), 즉 하프에칭된 영역이 제2영역(A2), 즉 완전에칭된 영역과 다르게 마스크 시트(420)의 인장 방향과 동일한 방향 및 90˚로 교차하는 방향으로 연장되는 리브들을 포함하는 경우 응력이 하프개구부(421)가 아닌 리브, 특히 제1리브(R1)에 집중될 수 있다. 제1리브(R1)는 하프개구부(421)보다 상대적으로 두께가 두껍고 강건하므로 덴트(dent)가 발생되지 않을 수 있다. 이에 따라 마스크 시트(420)의 불량을 방지할 수 있고 증착물질의 증착품질이 향상될 수 있다.
또한 응력이 상대적으로 약한 하프개구부(421)가 아닌, 상대적으로 강건한 제1리브(R1)에 집중되므로 기존과 비교하여 마스크 시트(420)의 두께를 전체적으로 얇게 형성할 수 있다. 즉 기존에 하프개구부(421)의 덴트를 우려하여 마스크 시트(420)의 두께를 얇게 형성하는 것에 제한이 있었다. 본 발명의 일 실시예에 따르면 하프개구부(421)에 응력이 집중되지 않고 상대적으로 응력에 강한 제1리브(R1)에 응력이 집중됨에 따라 두께를 보다 얇게 형성할 수 있다. 이는 증착물질의 증착 시 마스크 시트(420)의 두께로 인한 쉐도우 현상 등을 감소시킬 수 있고 표시장치의 품질을 향상시킬 수 있다.
다시 도 10을 참조하면, 인장된 마스크 시트(420)는 마스크 프레임 상에 고정되도록 배치될 수 있다. 일 실시예에서 마스크 시트(420)는 스팟 용접의 방식으로 마스크 프레임 상에 고정될 수 있다. 도 10에서는 하나의 마스크 시트(420)만을 도시하였으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체의 제조방법에 따르면 복수 개의 마스크 시트(420) 중 하나가 인장되고 용접된 후, 차례로 다른 마스크 시트(420)들이 인장되고 용접될 수 있다. 또는 복수 개의 마스크 시트(420)들 모두가 동시에 인장되고 용접될 수 있다.
도 13 및 도 14는 본 발명의 다양한 실시예에 따른 마스크 시트를 개략적으로 나타내는 평면도이다. 본 실시예들에 따른 마스크 시트는 전술한 마스크 시트 및와 유사하므로, 이하에서는 설명의 편의를 위해 차이점을 중심으로 설명하도록 한다.
도 13을 참조하면, 일 실시예에서 하프개구부(421)의 형상은 평면도 상에서 개구부(422)의 형상과 상이할 수 있다. 하프개구부(421)의 형상은 도 13에 도시된 제1리브(R1)와 제2리브(R2)에 의해 획정되는 가상의 사각형(VS2) 내에서 다양한 형상으로 형성될 수 있다. 예를 들어 하프개구부(421)의 형상은 도 13과 같이 원형으로 형성될 수 있다. 이 경우 하프개구부(421)의 둘레가 각진 경우와 비교하여 하프개구부(421)의 둘레에서 응력 집중이 분산될 수 있고, 하프개구부(421)의 덴트를 방지할 수 있다.
도 14를 참조하면, 일 실시예에서 하프개구부(421)의 크기는 개구부(422)의 크기와 상이할 수 있다. 예를 들어 하프개구부(421)의 크기는 개구부(422)의 크기보다 작거나, 또는 도면에 도시되지는 않았으나 클 수 있다. 이하에서는 하프개구부(421)의 크기가 개구부(422)의 크기보다 작은 경우를 중심으로 설명하도록 한다. 이때 하프개구부(421)의 형상은 개구부(422)의 형상과 실질적으로 동일할 수 있다. 예를 들어 도 4에 도시된 바와 같이 하프개구부(421)의 형상과 개구부(422)의 형상은 변들의 비율이 동일한 사각형들일 수 있다.
하프개구부(421)의 크기가 개구부(422)의 크기보다 작은 경우, 하프개구부(421)는 상대적으로 많은 개수로 배치될 수 있다. 즉, 평면도 상에서 단위면적 당 배치되는 하프개구부(421)의 개수는 단위면적 당 배치되는 개구부(422)의 개수보다 많을 수 있다. 또한, 하프개구부(421)는 제1리브(R1) 및 제2리브(R2)에 의해 획정되고, 개구부(422)는 제3리브(R3) 및 제4리브(R4)에 의해 획정되므로, 평면도 상에서 단위면적 당 배치되는 제1리브(R1) 및 제2리브(R2)의 개수는 단위면적 당 배치되는 제3리브(R3) 및 제4리브(R4)의 개수보다 많을 수 있다. 예를 들어 도 14와 같은 경우, 단위면적당 제1리브(R1)의 개수는 단위면적당 제3리브(R3)의 개수의 약 2배일 수 있다. 또한 단위면적당 제2리브(R2)의 개수는 단위면적당 제3리브(R3)의 개수의 약 2배일 수 있다.
또한 도면에 도시되지는 않았으나, 도 14와 같이 하프개구부(421)의 크기가 개구부(422)의 크기보다 작으면서 하프개구부(421)의 형상과 개구부(422)의 형상이 상이할 수 있다. 예를 들어 하프개구부(421)는 원형으로 형성되고 개구부(422)는 사각형으로 형성될 수 있다.
상기와 같은 경우들에 있어서도, 전술한 바와 같이 제1리브(R1)의 연장 방향이 마스크 시트(420)의 인장 방향과 동일하므로 하프개구부(421)에 응력이 집중되는 것을 방지하고 응력을 리브들로 분산시킬 수 있다. 이에 따라 마스크 시트(420)의 불량을 방지하고 표시장치의 증착품질을 향상시킬 수 있다.
이와 같이 도면에 도시된 실시예를 참고로 본 발명을 설명하였으나, 이는 예시에 불과하다. 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 실시예로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 충분히 이해할 수 있다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위에 기초하여 정해져야 한다.
1: 표시장치
2: 표시장치의 제조장치
400: 마스크 조립체
410: 마스크 프레임
420: 마스크 시트
421: 하프개구부
422: 개구부
R1: 제1리브
R2: 제2리브
R3: 제3리브
R4: 제4리브
A1: 제1영역
A2: 제2영역

Claims (21)

  1. 개구영역을 구비하는 마스크 프레임; 및
    상기 개구영역을 덮도록 상기 마스크 프레임에 배치되며, 제1영역 및 상기 제1영역을 둘러싸도록 배치되는 제2영역을 포함하는 마스크 시트;를 포함하고,
    상기 제1영역은 하프에칭된 제1개구패턴을 포함하고, 상기 제2영역은 관통된 제2개구패턴을 포함하며,
    평면도 상에서 상기 제1개구패턴과 상기 제2개구패턴은 상이한, 마스크 조립체.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1개구패턴은,
    제1방향으로 연장되는 복수 개의 제1리브, 제2방향으로 연장되는 복수 개의 제2리브 및 상기 제1리브와 상기 제2리브에 의해 획정되는 복수 개의 하프개구부를 포함하고,
    상기 제2개구패턴은,
    제3방향으로 연장되는 복수 개의 제3리브, 제4방향으로 연장되는 복수 개의 제4리브 및 상기 제3리브와 상기 제4리브에 의해 획정되는 복수 개의 개구부를 포함하며,
    상기 제3방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향인, 마스크 조립체.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제4방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향인, 마스크 조립체.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제1리브가 연장되는 제1방향과 상기 제3리브가 연장되는 제3방향은 45˚의 사이각을 갖는, 마스크 조립체.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 복수 개의 하프개구부가 정렬되는 방향과 상기 복수 개의 개구부가 정렬되는 방향은 상이한, 마스크 조립체.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 복수 개의 하프개구부는 상기 제1방향 및 상기 제2방향을 따라 정렬되고,
    상기 복수 개의 개구부는 상기 제3방향 및 상기 제4방향을 따라 정렬되는, 마스크 조립체.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 복수 개의 하프개구부 중 2개의 하프개구부의 중심 사이의 거리 중에서 상기 제1방향 및 상기 제2방향 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 하프개구부의 중심 사이의 거리가 최소 거리이고,
    상기 복수 개의 개구부 중 2개의 개구부의 중심 사이의 거리 중에서 상기 제3방향 및 상기 제4방향 중 적어도 한 방향으로 인접한 2개의 개구부의 중심 사이의 거리가 최소 거리인, 마스크 조립체.
  8. 제2항에 있어서,
    평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 형상과 상기 복수 개의 개구부의 형상은 상이한, 마스크 조립체.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 하프개구부의 형상은 원형인, 마스크 조립체.
  10. 제2항에 있어서,
    평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 크기와 상기 복수 개의 개구부의 크기는 상이한, 마스크 조립체.
  11. 제2항에 있어서,
    평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제1리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제3리브의 개수와 상이한, 마스크 조립체.
  12. 제11항에 있어서,
    평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제2리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제4리브의 개수와 상이한, 마스크 조립체.
  13. 제1영역 및 상기 제1영역을 둘러싸도록 배치되는 제2영역을 포함하는 마스크 시트를 준비하는 단계;
    상기 제1영역에 하프에칭된 제1개구패턴을 형성하고, 상기 제2영역에 관통된 제2개구패턴을 형성하는 단계; 및
    상기 마스크 시트를 인장하여 마스크 프레임 상에 고정하는 단계;를 포함하고,
    평면도 상에서 상기 제1개구패턴과 상기 제2개구패턴은 상이한, 마스크 조립체의 제조방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제1개구패턴을 형성하는 단계는, 제1방향으로 연장되는 복수 개의 제1리브, 제2방향으로 연장되는 복수 개의 제2리브 및 상기 제1리브와 상기 제2리브에 의해 획정되는 복수 개의 하프개구부를 형성하는 단계를 포함하고,
    상기 제2개구패턴을 형성하는 단계는, 제3방향으로 연장되는 복수 개의 제3리브, 제4방향으로 연장되는 복수 개의 제4리브 및 상기 제3리브와 상기 제4리브에 의해 획정되는 복수 개의 개구부를 형성하는 단계를 포함하며,
    상기 제3방향은 상기 제1방향 및 상기 제2방향과 교차하는 방향인, 마스크 조립체의 제조방법.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제1리브가 연장되는 방향은 동일한, 마스크 조립체의 제조방법.
  16. 제14항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제2리브가 연장되는 방향은 수직인, 마스크 조립체의 제조방법.
  17. 제14항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제3리브가 연장되는 방향은 교차되는, 마스크 조립체의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 마스크 시트를 인장하는 방향과 상기 복수 개의 제3리브가 연장되는 방향은 45˚의 사이각을 갖는, 마스크 조립체의 제조방법.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 복수 개의 하프개구부가 정렬되는 방향과 상기 복수 개의 개구부가 정렬되는 방향은 상이한, 마스크 조립체의 제조방법.
  20. 제14항에 있어서,
    평면도 상에서, 상기 복수 개의 하프개구부의 형상과 상기 복수 개의 개구부의 형상은 상이한, 마스크 조립체의 제조방법.
  21. 제14항에 있어서,
    평면도 상에서, 단위면적에 대한 상기 제1리브의 개수는 단위면적에 대한 상기 제3리브의 개수와 상이한, 마스크 조립체의 제조방법.
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