KR20240009505A - 위치 검출기 및 리니어 반송 장치 - Google Patents

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요시나오 다테이
다케시 무샤
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미쓰비시덴키 가부시키가이샤
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Abstract

가동자가 탑재된 복수의 캐리어 각각에 설치된 위치 검출용 자석부(12)와, 고정자가 탑재된 반송 레일에 설치된 위치 검출부(22)를 구비한 위치 검출기(5)로서, 위치 검출용 자석부(12)는 캐리어의 반송 방향을 따라서 상이한 자극이 교대로 늘어서도록 배치된 복수의 자석(121)과, 위치 검출용 자석부(12) 중 캐리어의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부(122)를 구비하고, 위치 검출부(22)는 캐리어의 반송 방향과 평행하게 배치된 처리 기판(222)과, 처리 기판(222) 중 캐리어와 대향하는 면인 표면에, 캐리어의 반송 방향을 따라서 늘어서서 배치된 복수의 자기 검출 소자(221)와, 처리 기판(222) 중 캐리어와 대향하는 면인 표면의 반대측의 면인 이면에 자기 검출 소자와 대향하여 설치된 기판측 자기 차폐부(223)를 구비한다.

Description

위치 검출기 및 리니어 반송 장치
본 개시는 자석이 탑재된 가동자의 위치를 검출하는 위치 검출기 및 리니어 반송 장치에 관한 것이다.
가동자와 고정자를 가지는 리니어 모터는, 물품을 반송하는 리니어 반송 장치의 구동 기구에 이용되고 있다. 특허 문헌 1에는, 복수의 캐리어를 구비한 리니어 반송 장치가 개시되어 있다. 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 캐리어의 하부에 가동자가 마련되어 있다. 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 하나의 고정자와 복수의 가동자를 구비하고 있다. 캐리어에는, 가동자로서 상이한 자극을 교대로 배치한 영구 자석이 마련되어 있고, 코일로 이루어지는 고정자가 설치된 반송 레일에는 영구 자석의 자계를 검출하기 위한 홀 소자가 마련되어 있고, 캐리어의 영구 자석과 반송 레일의 홀 소자가 위치 검출기를 형성하고 있다. 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 홀 소자가 검출한 자계에 의해 캐리어의 위치를 검출한다.
특허 문헌 1: 일본 공개특허공보 2013－090417호
특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 캐리어끼리가 접근하여 캐리어끼리의 간격이 작아지면, 각각의 캐리어에 탑재된 자석끼리가 자기적으로 간섭한다. 캐리어에 탑재된 자석끼리가 자기적으로 간섭하면, 위치 검출 대상인 캐리어의 자석을 반송 레일의 홀 소자에서 검출해야 할 때, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어의 자석으로부터의 자계도 동일하게 홀 소자에서 검출되어 버린다. 이 때문에, 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 위치 검출 대상인 캐리어가 동일한 위치에 있어도, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어가 위치 검출 대상인 캐리어에 접근하고 있는 경우와 접근하고 있지 않는 경우에서, 위치 검출 결과가 달라져 버린다. 이 때문에, 특허 문헌 1에 개시되는 리니어 반송 장치는, 캐리어끼리가 접근하면, 캐리어의 위치 검출 정밀도가 낮아져 버린다.
본 개시는 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 캐리어끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 위치 검출기를 얻는 것을 목적으로 한다.
상술한 과제를 해결하여 목적을 달성하기 위해서, 본 개시에 따른 위치 검출기는, 가동자가 탑재된 복수의 캐리어 각각에 설치된 위치 검출용 자석부와, 고정자가 탑재된 반송 레일에 설치된 위치 검출부를 구비한다. 위치 검출용 자석부는, 캐리어의 반송 방향을 따라서 상이한 자극이 교대로 늘어서도록 배치된 복수의 자석과, 위치 검출용 자석부 중 캐리어의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부를 구비한다. 위치 검출부는 캐리어의 반송 방향과 평행하게 배치된 처리 기판과 처리 기판 중 캐리어와 대향하는 면인 표면에, 캐리어의 반송 방향을 따라서 늘어서서 배치된 복수의 자기 검출 소자와, 처리 기판 중 캐리어와 대향하는 면인 표면의 반대측의 면인 이면에 자기 검출 소자와 대향하여 설치된 기판측 자기 차폐부를 구비한다.
본 개시에 따른 위치 검출기는, 캐리어끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다고 하는 효과를 달성한다.
도 1은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 시스템의 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 캐리어의 반송 방향에 수직인 단면도이다.
도 3은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 측면도이다.
도 4는 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계 강도의 파형을 나타내는 도면이다.
도 5는 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부와 자기 검출 소자와의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 6은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부와 자기 검출 소자와의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 7은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부와 자기 검출 소자와의 위치 관계를 나타내는 도면이다.
도 8은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 나타내는 도면이다.
도 9는 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 위치 검출용 자석부의 측면도이다.
도 10은 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 측면도이다.
도 11은 실시 형태 1, 실시 형태 2 및 실시 형태 3 각각에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 나타내는 도면이다.
도 12는 실시 형태 4에 따른 리니어 반송 장치의 캐리어의 반송 방향을 따른 단면도이다.
이하에, 실시 형태에 따른 위치 검출기 및 리니어 반송 장치를 도면에 기초하여 상세하게 설명한다.
실시 형태 1.
도 1은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 시스템의 구성을 나타내는 도면이다. 도 2는 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 캐리어의 반송 방향에 수직인 단면도이다. 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 시스템(50)은, 물품을 상면에 실어 반송하는 복수의 캐리어(1) 및, 캐리어(1)를 반송 방향으로 이동시키는 반송 레일(2)를 구비한 리니어 반송 장치(100)와, 캐리어(1)의 이동을 제어하는 제어 장치(3)를 가진다. 캐리어(1)는 구동용의 자계를 발생시키는 가동자(11)와 위치 검출용의 자계를 발생시키는 위치 검출용 자석부(12)를 구비하고 있다. 반송 레일(2)은 구동용의 자계를 발생시키는 고정자(21)와, 가동자(11)의 위치를 검출하는 위치 검출부(22)를 구비하고 있다. 가동자(11) 및 고정자(21)는, 리니어 모터(4)를 형성하고 있다. 위치 검출용 자석부(12) 및 위치 검출부(22)는, 위치 검출기(5)를 형성하고 있다.
캐리어(1)는 반송 대상의 물품을 적재하고 반송 방향으로 이동하는 것에 의해, 물품을 반송한다. 또한, 캐리어(1)는 반송 대상의 물품을 매달거나, 흡착하거나 하여 물품을 유지해도 된다.
도 3은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 측면도이다. 리니어 반송 장치(100)가 캐리어(1)를 두 개 가지고 있기 때문에, 위치 검출기(5)는 두 개의 위치 검출용 자석부(121, 122)를 구비하고 있다. 이하의 설명에 있어서, 위치 검출용 자석부(121)와 위치 검출용 자석부(122)를 구별하는 경우에는, 위치 검출용 자석부(121) 또는 위치 검출용 자석부(122)로 표기하고, 구별하지 않는 경우에는 위치 검출용 자석부(12)로 표기한다. 위치 검출용 자석부(12)는 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 늘어서진 복수의 자석(121)과, 캐리어(1)의 반송 방향의 양측면에 마련된 측면 자기 차폐부(122)와, 복수의 자석(121) 중 반송 레일(2)과 대향하는 면인 표면과는 반대측의 면인 이면을 덮어 설치된 이면 자기 차폐부(123)를 구비한다. 실시 형태 1에서는, 캐리어(1)의 반송 방향과 수직이며 자석(121)의 표면으로부터 이면을 향하는 방향에 있어서의 자석(121)의 두께 T는, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S와 동일하다. 도 3에 있어서, 실선의 화살표는, 위치 검출용 자석부(121)의 자석(121)이 발생시키는 자계를 나타내고 있다. 또, 도 3에 있어서, 파선의 화살표는, 위치 검출용 자석부(122)의 자석(121)이 발생시키는 자계를 나타내고 있다. 또, 도 3에 있어서, 자석(121) 내의 하얀 화살표는, 자석(121) 내부의 자계의 방향을 나타내고 있다.
복수의 자석(121)은 교대로 상이한 자극이 배치되도록 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 늘어서져 있다. 즉, 도 3에서 나타낸 복수의 자석(121)은, 교대로 상이한 자계의 방향을 가지는 자석(121)이 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 늘어서져 있다. 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)에서는, 14개의 자석(121)이 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 늘어서져 있다. 또한, 자석(121)은, 하나의 자성체에 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 복수의 자극을 형성한 것이어도 된다.
측면 자기 차폐부(122) 및 이면 자기 차폐부(123)는, 철 등의 투자율이 1을 초과하는 재료를 이용하여 형성되어 있다. 위치 검출부(22)는 캐리어(1)의 반송 방향과 평행하게 설치된 처리 기판(222)과, 처리 기판(222) 중 캐리어(1)와 대향하는 면인 표면에, 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 복수 배치된 자기 검출 소자(221)와, 처리 기판(222) 중 자기 검출 소자(221)가 탑재된 면인 표면의 반대측의 면인 이면에 설치된 기판측 자기 차폐부(223)를 가진다. 자기 검출 소자(221)는 위치 검출용 자석부(12)의 자석(121)이 발생시키는 자계를 검출한다. 또한, 도 3에는, 캐리어(1)의 반송 방향을 따라서 늘어서진 복수의 자기 검출 소자(221) 중, 하나만을 도시하고 있다. 도 3에 있어서 도시한 자기 검출 소자(221)의 검출 대상의 캐리어(1)는, 대향해서 배치되어 있는 위치 검출용 자석부(121)를 구비하는 캐리어(1)이다. 한편, 도 3에 있어서 도시한 자기 검출 소자(221)는, 위치 검출용 자석부(122)와는 대향하고 있지 않기 때문에, 위치 검출용 자석부(122)를 구비한 캐리어(1)는, 도 3에서 나타낸 자기 검출 소자(221)의 위치 검출 대상은 아니다. 또, 도 3에서는, 처리 기판(222)의 이면의 전면에 걸쳐서 기판측 자기 차폐부(223)가 설치되어 있는 형태를 나타내고 있다.
가동자(11) 및 고정자(21)는, 일방에는 전자석을 이용하여, 타방에는 전자석 또는 영구 자석을 이용할 수 있다. 또한, 가동자(11)에 영구 자석을 이용하고, 고정자(21)에 전자석을 이용함으로써, 복수 존재하고 또한 이동하는 캐리어(1)와 제어 장치(3)의 접속을 위한 배선이 불필요해져, 배선이 캐리어(1)의 이동을 방해하는 일이 없어진다.
위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 위치 검출 대상인 캐리어(1)로부터 떨어져 있는 경우, 자기 검출 소자(221)는 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(121)의 자석(121)이 발생시키는 자계만을 검출한다.
위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 접근했을 경우, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)의 자석(121)이 발생시키는 자계를 차단하는 것이 없으면, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)의 자석(121)이 발생시키는 자계가 자기 검출 소자(221)에서 검출되어, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도가 저하되어 버린다.
실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)에서는, 위치 검출용 자석부(12)에는, 캐리어(1)의 반송 방향의 측면에 측면 자기 차폐부(122)가 마련되어 있기 때문에, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)로부터의 자력 중, 자력선이 작은 루프가 되는 쪽은, 측면 자기 차폐부(122)에 의해서 차단되어 자기 검출 소자(221)에 미치지 않는다. 또, 위치 검출용 자석부(12)에는, 이면 자기 차폐부(123)가 마련되어 있고, 또한 위치 검출부(22)에 기판측 자기 차폐부(223)가 마련되어 있기 때문에, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)로부터의 자력 중, 자력선이 큰 루프가 되는 쪽은, 이면 자기 차폐부(123) 또는 기판측 자기 차폐부(223)에 의해서 차단되어, 자기 검출 소자(221)에 미치지 않는다.
도 4는 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계 강도의 파형을 나타내는 도면이다. 도 4의 가로축은, 캐리어(1)의 반송 방향에 있어서의 위치이며, 도 4의 세로축은, 자석 중앙부의 진폭을 100으로서 규격화한 자속 밀도의 상대값이다. 또한, 도 4의 세로축은, 자기 검출 소자(221)의 표면으로부터 이면의 방향으로 자계가 인가되는 경우를 양으로 하고 있다. 또, 실선은, 실시 형태 1에 있어서의 자계 강도의 파형을 나타내고, 파선은 비교를 위해서 측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 경우의 파형을 나타낸다. 여기서, 각각의 캐리어(1)의 반송 방향에 있어서의 자석(121)의 길이는 P이며, 자석(121)은, 간격 P의 등피치로 배열되어 있는 것으로 한다. 도 5, 도 6 및 도 7은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부와 자기 검출 소자와의 위치 관계를 나타내는 도면이다. 도 5, 도 6 및 도 7에 있어서, 자기 검출 소자(221)의 표면으로부터 이면을 향하는 방향은, 지면의 아래 방향이다. 도 5, 도 6 및 도 7에 있어서, 자석(121) 내의 화살표는, 자석(121) 내부의 자계의 방향을 나타내고 있다. 도 5는 위치 검출용 자석부(12)가 0P의 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 도 6은 위치 검출용 자석부(12)가 13P의 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 도 7은 위치 검출용 자석부(12)가 15P의 위치에 배치되어 있는 상태를 나타내고 있다. 위치 검출용 자석부(12)가 15P의 위치에 배치되어 있을 때, 위치 검출용 자석부(12)는 자석단으로부터 2P정도 위치 검출 대상 범위 밖에 위치하고 있다. 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12)가 14개의 자석(121)으로 구성되어 있기 때문에, 자기 검출 소자(221)는, 위치 검출용 자석부(12)가 0P에서 13P까지의 범위에 배치되어 있는 경우에, 위치 검출용 자석부(12)의 자계를 검출할 필요가 있고, 0P에서 13P의 범위 밖에 배치되어 있는 위치 검출용 자석부(12)의 자계는 검출할 필요가 없다.
도 8은 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 나타내는 도면이다. 비교를 위해, 도 8에는, 측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 파선으로 나타내고 있다. 측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 리니어 반송 장치의 위치 검출용 자석부는, 자기 검출 소자의 하나에 주목하면, 주목한 자기 검출 소자에 대해서 2P정도 위치 검출 대상 범위 밖에 위치하고 있을 때에, 위치 검출용 자석부의 중앙의 9% 정도의 자계를 자기 검출 소자에 인가하고 있다. 따라서, 위치 검출 대상인 캐리어의 위치 검출용 자석부가 주목한 자기 검출 소자에 대해서 0P의 위치에 배치되어 있을 때에, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어의 위치 검출용 자석부가, 위치 검출 대상인 캐리어에 가까워져 16P의 위치에 배치되면, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어의 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 9%의 오차 성분이 중첩된다.
한편, 도 8에는, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부(12)에 의해서 자기 검출 소자(221)에 인가되는 자계의 강도를 실선으로 나타내고 있다. 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12)가, 주목한 자기 검출 소자(221)에 대해서 0P에서 14P의 범위 밖에 배치되었을 때, 자기 검출 소자(221)에 거의 자계를 인가시키고 있지 않다. 따라서, 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 접근해도, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)의 자석(121)이 발생시키는 자계는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치지 않는다.
이와 같이, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)와 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)와의 간격이 작아졌을 경우에도, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(122)로부터의 자력은, 측면 자기 차폐부(122), 이면 자기 차폐부(123) 및 기판측 자기 차폐부(223)에 의해서 차단되어 자기 검출 소자(221)에는 미치지 않기 때문에, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도가 저하하는 것을 억제할 수 있다.
실시 형태 2.
도 9는 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 위치 검출용 자석부의 측면도이다. 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 캐리어(1)의 반송 방향과 수직이며 자석(121)의 표면으로부터 이면을 향하는 방향에 있어서의 자석(121)의 두께 T보다도, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S가 커지고 있다. 즉, 위치 검출용 자석부(12) 중 캐리어(1)의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부(122)가, 자석(121)보다도 반송 레일(2)측으로 돌출되어 있는 점에서 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)와 상위하다.
실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12) 중 캐리어(1)의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부(122)가, 자석(121)보다도 반송 레일(2)측으로 돌출되어 있기 때문에, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(12)로부터의 자력이 측면 자기 차폐부(122)에 의해 차단되기 쉽다. 따라서, 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12)가 캐리어(1)의 반송 방향에 있어서의 외측에 자계를 발생시키는 범위가 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치와 비교하여 좁아진다. 이 때문에, 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)와 비교하면, 캐리어(1)끼리를 보다 가깝게 해도, 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도가 저하하는 것을 억제할 수 있다.
실시 형태 3.
도 10은 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출기의 측면도이다. 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12) 중 캐리어(1)의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부(122)보다도, 자석(121)이 반송 레일(2)측으로 돌출되어 있는 점에서 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)와 상위하다. 바꾸어 말하면, 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 캐리어(1)의 반송 방향과 수직이며 자석(121)의 표면으로부터 이면을 향하는 방향에 있어서의 자석(121)의 두께 T보다도, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S의 쪽이 작아져 있다.
실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 캐리어(1)가 반송 방향을 따라서 기울어진 경우, 위치 검출용 자석부(12)의 양단부에 마련되어 있는 측면 자기 차폐부(122) 중 일방과 위치 검출부(22)와의 간격은 좁아진다. 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12)의 측면 자기 차폐부(122)보다도 자석(121)의 쪽이 반송 레일(2)측으로 돌출되어 있기 때문에, 캐리어(1)가 반송 방향으로 기울어진 경우에도, 측면 자기 차폐부(122)가 위치 검출부(22)에 접촉하는 것을 억제할 수 있다.
도 11은 실시 형태 1, 실시 형태 2 및 실시 형태 3 각각에 따른 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 나타내는 도면이다. 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)는 자석(121)의 두께 T와, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S가 S=T의 관계에 있는 것으로 한다. 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)는 자석(121)의 두께 T와, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S가 S=6T/5의 관계에 있는 것으로 한다. 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)는 자석(121)의 두께 T와, 측면 자기 차폐부(122)의 길이 S가 S=4T/5의 관계에 있는 것으로 한다. 도 11 중의 실선은, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부(12)에 의해서 자기 검출 소자(221)에 인가되는 자계의 강도를 나타내고 있다. 또, 도 11 중의 점선은, 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치(100)의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부(12)에 의해서 자기 검출 소자(221)에 인가되는 자계의 강도를 나타내고 있다. 도 11 중의 일점 쇄선은, 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치(100)의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부(12)에 의해서 자기 검출 소자(221)에 인가되는 자계의 강도를 나타내고 있다. 비교를 위해, 도 11에는, 측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 리니어 반송 장치의 위치 검출 대상이 아닌 위치 검출용 자석부에 의해서 자기 검출 소자에 인가되는 자계의 강도를 파선으로 나타내고 있다.
측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 리니어 반송 장치에서는, 자기 검출 소자로부터 8P정도 떨어진 위치인 22P의 위치보다도 위치 검출 대상의 캐리어에 가까운 위치에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어의 위치 검출용 자석부가 배치되어 있으면, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어의 위치 검출용 자석부의 자계가 자기 검출 소자에 인가되어 있다. 이것에 대해, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치에서는 16P, 실시 형태 2에 따른 리니어 반송 장치에서는 15P, 실시 형태 3에 따른 리니어 반송 장치에서는 18P 이원(以遠)의 위치에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(12)가 배치되어 있으면, 자기 검출 소자(221)에 자계가 인가되지 않는다. 또, 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)의 위치 검출용 자석부(12)에 의해서 자기 검출 소자(221)에 인가되는 자계의 힘은, 측면 자기 차폐부, 이면 자기 차폐부 및 기판측 자기 차폐부를 구비하지 않은 리니어 반송 장치와 비교하면 작아져 있다. 따라서, 실시 형태 1, 실시 형태 2 및 실시 형태 3 각각에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 가까워져도, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있어, 캐리어(1)끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
실시 형태 4.
도 12는 실시 형태 4에 따른 리니어 반송 장치의 캐리어의 반송 방향을 따른 단면도이다. 실시 형태 4에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출용 자석부(12)에 대해 이면 자기 차폐부(123)가 마련되어 있지 않은 점에서, 실시 형태 1에 따른 리니어 반송 장치(100)와 상위하다.
실시 형태 4에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 측면 자기 차폐부(122)를 구비하고 있기 때문에, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치기 쉬운 자력선이 작은 루프를 그리는 자계를 차단할 수 있다. 한편으로, 이면 자기 차폐부(123)에 의해 자계를 차단할 수 없지만, 이면 자기 차폐부(123)가 차단하는 자계는, 자력선이 큰 루프를 그리는 자계이기 때문에, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 미치는 영향은, 측면 자기 차폐부(122)에 의해서 차단되는 자력선이 작은 루프를 그리는 자계보다도 작다. 또, 자력선이 큰 루프를 그리는 자계는, 자기 검출 소자(221)에 인가되기 전에 처리 기판(222)의 이면에 마련된 기판측 자기 차폐부(223)에 의해서 차폐할 수 있다. 따라서, 실시 형태 4에 따른 리니어 반송 장치(100)는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 가까워져도, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있어, 캐리어(1)끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
이상의 실시 형태에 나타낸 구성은, 내용의 일례를 나타내는 것이며, 다른 공지의 기술과 조합하는 것도 가능하며, 요지를 일탈하지 않는 범위에서, 구성의 일부를 생략, 변경하는 것도 가능하다.
예를 들면, 상술의 실시 형태에서는, 처리 기판(222)의 이면의 전면(全面)에 걸쳐서 기판측 자기 차폐부(223)가 설치되어 있는 형태를 나타냈지만, 기판측 자기 차폐부(223)는 처리 기판(222)의 표면에 배치된 자기 검출 소자(221)와 대향하여 처리 기판(222)의 이면에 설치되어 있으면 된다. 예를 들면, 기판측 자기 차폐부(223)는 처리 기판(222)의 이면에 설치될 때에, 처리 기판(222)의 표면에 배치된 자기 검출 소자(221)와 처리 기판(222)을 사이에 두고 대향하는 위치에만 처리 기판(222)의 이면에 부분적으로 설치하는 구성으로 해도 되고, 처리 기판(222)의 표면에 배치된 자기 검출 소자(221)와 처리 기판(222)을 사이에 두고 대향하는 위치를 포함하여 자기 검출 소자(221)의 주위를 둘러싸도록 처리 기판(222)의 이면에 부분적으로 설치하는 구성으로 해도 된다. 이러한 구성이어도, 리니어 반송 장치(100) 및 위치 검출기(5)는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 가까워져도, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있어, 캐리어(1)끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
또, 상술의 실시 형태에서는, 위치 검출용 자석부(12)는 가동자(11)와는 다른 자석으로서 캐리어(1)에 마련되어 있는 형태를 설명했지만, 이러한 형태로 한정되지 않아도 된다. 예를 들면, 가동자(11)에 포함되는 영구 자석 또는 전자석의 일부 또는 전부가 위치 검출용 자석부(12)로서도 기능하는 구성으로 해도 된다. 이러한 구성이어도, 리니어 반송 장치(100) 및 위치 검출기(5)는, 위치 검출 대상인 캐리어(1)에 위치 검출 대상이 아닌 캐리어(1)가 가까워져도, 위치 검출 대상인 캐리어(1)의 위치 검출 정밀도에 영향을 미치는 것을 억제할 수 있어, 캐리어(1)끼리가 접근해도 위치 검출 정밀도의 저하를 억제할 수 있다.
1: 캐리어 2: 반송 레일
3: 제어 장치 4: 리니어 모터
5: 위치 검출기 11: 가동자
12, 121, 122: 위치 검출용 자석부 21: 고정자
22: 위치 검출부 50: 리니어 반송 시스템
100: 리니어 반송 장치 121: 자석
122: 측면 자기 차폐부 123: 이면 자기 차폐부
221: 자기 검출 소자 222: 처리 기판
223: 기판측 자기 차폐부

Claims (5)

  1. 가동자가 탑재된 복수의 캐리어 각각에 설치된 위치 검출용 자석부와, 고정자가 탑재된 반송 레일에 설치된 위치 검출부를 구비한 위치 검출기로서,
    상기 위치 검출용 자석부는 상기 캐리어의 반송 방향을 따라서 상이한 자극이 교대로 늘어서도록 배치된 복수의 자석과, 상기 위치 검출용 자석부 중 상기 캐리어의 반송 방향의 단부에 설치된 측면 자기 차폐부를 구비하고,
    상기 위치 검출부는, 상기 캐리어의 반송 방향과 평행하게 배치된 처리 기판과, 상기 처리 기판 중 상기 캐리어와 대향하는 면인 표면에, 상기 캐리어의 반송 방향을 따라서 늘어서서 배치된 복수의 자기 검출 소자와, 상기 처리 기판 중 상기 캐리어와 대향하는 면인 표면의 반대측의 면인 이면에 상기 자기 검출 소자와 대향하여 설치된 기판측 자기 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 위치 검출기.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 위치 검출용 자석부는 복수의 상기 자석 중 상기 반송 레일과 대향하는 면인 표면의 반대측의 면인 이면을 덮어 설치된 이면 자기 차폐부를 구비하는 것을 특징으로 하는 위치 검출기.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 측면 자기 차폐부는 복수의 상기 자석보다도 상기 반송 레일측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출기.
  4. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    복수의 상기 자석은 상기 측면 자기 차폐부보다도 상기 반송 레일측으로 돌출되어 있는 것을 특징으로 하는 위치 검출기.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 위치 검출기를 구비하고,
    상기 가동자 및 상기 고정자는 리니어 모터를 형성하는 것을 특징으로 하는 리니어 반송 장치.
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