KR20230162537A - Grip unit for OHT vehicle - Google Patents

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KR20230162537A
KR20230162537A KR1020230058959A KR20230058959A KR20230162537A KR 20230162537 A KR20230162537 A KR 20230162537A KR 1020230058959 A KR1020230058959 A KR 1020230058959A KR 20230058959 A KR20230058959 A KR 20230058959A KR 20230162537 A KR20230162537 A KR 20230162537A
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oht
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KR1020230058959A
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최광열
이진영
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시너스텍 주식회사
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Abstract

본 발명의 OHT 대차용 그립유닛은, 오픈형 카세트를 파지하는 그립퍼; 및 상기 그립퍼를 틸트 업 시키는 틸팅 어셈블리;를 포함하되,
상기 틸팅 어셈블리는, 수평하게 배치된 어퍼 플레이트와, 상기 어퍼 플레이트와 힌지축에 의해 결합되며 상기 그립퍼가 설치된 로워 플레이트와, 상기 로워 플레이트를 힌지축을 중심으로 회전시키는 구동모듈로 구성된 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 틸팅 어셈블리에 의해 오픈형 카세트의 개방부위를 틸트 업(tilt up) 하여 웨이퍼의 흔들림을 억제한다.The grip unit for an OHT bogie of the present invention includes a gripper for gripping an open cassette; And a tilting assembly that tilts up the gripper.
The tilting assembly is characterized by consisting of a horizontally arranged upper plate, a lower plate coupled to the upper plate and a hinge axis and on which the gripper is installed, and a drive module that rotates the lower plate about the hinge axis.
Accordingly, the opening portion of the open cassette is tilted up by the tilting assembly to suppress wafer shaking.

Description

ＯＨＴ 대차용 그립유닛{Grip unit for OHT vehicle}Grip unit for OHT vehicle {Grip unit for OHT vehicle}

본 발명은 OHT 대차용 그립유닛에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 오픈형 카세트를 이송시키는 OHT 대차용 그립유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a grip unit for an OHT bogie, and more specifically, to a grip unit for an OHT bogie that transports an open cassette.

반도체 제조 설비에 있어서 스토커에 저장된 반도체 웨이퍼들은 통상적으로 풉(FOUP: Front Opening Unified Pod), 포스비(FOSB: Front Opening Shipping Box), 스토리지 박스(Storage Box) 등과 같은 폐쇄형 캐리어나 오픈형 카세트와 같은 개방형 캐리어에 적재되고, 이와 같은 캐리어들은 천장 하부에 매달린 트랙을 따라 주행하는 오버헤드 호이스트 수송 차량(OHT: Overhead Hoist Transport)에 의해 수송된다.In semiconductor manufacturing facilities, semiconductor wafers stored in stockers are usually carried in closed carriers such as FOUP (Front Opening Unified Pod), FOSB (Front Opening Shipping Box), storage box, etc., or in open carriers such as open cassettes. They are loaded on carriers, and these carriers are transported by an overhead hoist transport (OHT) that runs along a track suspended from the lower part of the ceiling.

상기의 캐리어들 중 폐쇄형 캐리어들은 외부의 충격이나 진동으로부터 내부에 적재된 웨어퍼 등의 제품을 효과적으로 보호할 수 있는 장점이 있으나, 내부를 밀폐하는 커버를 탈거 및 부착하는 공정을 필요로 하기 때문에 이러한 공정을 수행하기 위한 별도의 설비를 필요로 한다는 점에서 전반적인 시스템의 설치 및 운용비용이 높다는 단점이 있다.Among the above carriers, closed carriers have the advantage of effectively protecting products such as wafers loaded inside from external shock or vibration, but they require a process of removing and attaching a cover that seals the inside. The disadvantage is that the overall system installation and operation costs are high in that separate facilities are required to perform this process.

한편, 오픈형 캐리어의 일종인 오픈형 카세트는 별도의 커버를 구비하는 것이 아니라는 점에서 상기한 폐쇄형 캐리어의 단점을 극복할 수 있다는 장점이 있다.Meanwhile, an open cassette, which is a type of open carrier, has the advantage of being able to overcome the disadvantages of the closed carrier described above in that it does not have a separate cover.

이러한 오픈형 카세트는 단결정 실리콘 잉곳에서 절단, 연삭, 화학 기계 연마 및 세정을 포함한 고정을 통해 생산되는 웨이퍼(Wafer)를 공정 간 이송 시에 사용되며, 오픈형 카세트는 세정 용이성을 확보하기 위해 개방형 구조로 설계된 제품이다.These open cassettes are used to transfer wafers produced from single crystal silicon ingots through fixing, including cutting, grinding, chemical mechanical polishing, and cleaning, between processes. The open cassettes are designed with an open structure to ensure ease of cleaning. It's a product.

다만, 오픈형 카세트는 OHT와 같은 자동화 장비를 이용하여 이송하는 경우 진동으로 인한 파손 또는 OHT 주행 중 웨이퍼가 카세트로부터 임의로 이탈하게 되는 문제가 발생할 우려가 있다.However, when the open-type cassette is transported using automated equipment such as OHT, there is a risk of damage due to vibration or wafers randomly being separated from the cassette while the OHT is running.

특히, 주행 방향과 수평 방향으로 웨이퍼가 삽입되는 수평 슬롯 타입의 카세트의 경우 OHT 주행 중 전후 또는 측면 개방된 부분을 통해 웨이퍼가 슬롯에서 이탈하는 문제가 발생한다.In particular, in the case of a horizontal slot type cassette where the wafer is inserted in a direction horizontal to the traveling direction, a problem occurs where the wafer falls out of the slot through the front/back or side openings during OHT travel.

또한, 오픈형 카세트의 수평 슬롯은 웨이퍼의 삽입을 원활하게 하기 위해 웨이퍼와의 갭(gap)이 존재하며 필연적으로 흔들림이 발생한다.In addition, the horizontal slot of the open cassette has a gap with the wafer to facilitate insertion of the wafer, and shaking inevitably occurs.

따라서, 오픈형 카세트를 이용하여 웨이퍼를 이송할 경우 웨이퍼에 가해지는 진동으로 인한 손상 및 웨이퍼의 이탈을 방지할 수 있는 장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.Therefore, there is a need to develop a device that can prevent damage and separation of the wafer due to vibration applied to the wafer when transferring the wafer using an open cassette.

등록특허공보 제1820794호(2018.01.16. 등록)Registered Patent Publication No. 1820794 (registered on January 16, 2018)

본 발명은 전술한 종래의 제반 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 웨이퍼의 흔들림을 억제하여 OHT 대차의 승·하강, 직선 또는 곡선부 주행시에 웨이퍼의 낙하와 진동을 방지하여, 제품의 안정성을 확보할 수 있는 OHT 대차용 그립유닛을 제공하는 데 있다.The present invention was created to solve the above-described conventional problems. The purpose of the present invention is to suppress the shaking of the wafer and prevent the wafer from falling and vibrating when the OHT cart is raised/lowered or driven in a straight line or curved section, The goal is to provide a grip unit for OHT bogies that can ensure product stability.

본 발명의 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속한 기술분야의 통상의 기술자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The technical problems of the present invention are not limited to the technical problems mentioned above, and other technical problems not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description below.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 OHT 대차용 그립유닛은, 오픈형 카세트를 파지하는 그립퍼; 및 상기 그립퍼를 틸트 업 시키는 틸팅 어셈블리;를 포함하되,The grip unit for an OHT bogie of the present invention to achieve the above object includes a gripper for gripping an open cassette; And a tilting assembly that tilts up the gripper.

상기 틸팅 어셈블리는, 수평하게 배치된 어퍼 플레이트와, 상기 어퍼 플레이트와 힌지축에 의해 결합되며 상기 그립퍼가 설치된 로워 플레이트와, 상기 로워 플레이트를 힌지축을 중심으로 회전시키는 구동모듈로 구성된 것을 특징으로 한다.The tilting assembly is characterized by consisting of a horizontally arranged upper plate, a lower plate coupled to the upper plate and a hinge axis and on which the gripper is installed, and a drive module that rotates the lower plate about the hinge axis.

또한, 상기 구동모듈은, 상기 어퍼 플레이트에 고정 설치된 모터; 및 상기 로워 플레이트에 결합되며 상기 모터의 회전에 의해 승강이 이루어지는 리프터로 구성된 것을 특징으로 한다.In addition, the driving module includes a motor fixedly installed on the upper plate; and a lifter coupled to the lower plate and lifted and lowered by rotation of the motor.

또한, 상기 모터의 구동축에 편심 설치된 캠 샤프트와, 상기 리프터에 형성되며 상기 캠 샤프트와 연동되는 종동캠이 더 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, a camshaft eccentrically installed on the drive shaft of the motor and a driven cam formed on the lifter and interlocked with the camshaft are further provided.

또한, 상기 로워 플레이트에 설치되며 상기 리프터와 힌지 결합된 힌지부재가 더 구비된 것을 특징으로 한다.In addition, a hinge member installed on the lower plate and hinged to the lifter is further provided.

또한, 상기 리프터에 구비된 센서부재와, 상기 어퍼 플레이트에 구비되며 상기 센서부재를 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized in that it further includes a sensor member provided on the lifter, and a sensor provided on the upper plate and detecting the sensor member.

또한, 상기 로워 플레이트에 구비되며 가이드 홈이 형성된 가이드 부재와, 상기 어퍼 플레이트에 구비되며 상기 가이드 홈에 설치된 가이드 돌기가 더 포함되는 것을 특징으로 한다.In addition, it is characterized in that it further includes a guide member provided on the lower plate and formed with a guide groove, and a guide protrusion provided on the upper plate and installed in the guide groove.

본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛에 따르면, 틸팅 어셈블리에 의해 오픈형 카세트의 개방부위를 틸트 업(tilt up) 하여 웨이퍼의 흔들림을 억제한다.According to the grip unit for the OHT truck according to the present invention, the opening portion of the open cassette is tilted up by a tilting assembly to suppress wafer shaking.

즉, 틸팅된 오픈형 카세트에 의해 웨이퍼는 개방부위 반대 단부인 폐쇄 측으로 밀착시키며 오픈형 카세트에 수납된 웨이퍼를 정렬시켜 OHT가 승하강, 직선 또는 곡선부를 주행할 때 웨이퍼의 진동을 방지하고, 웨이퍼의 이탈을 방지한다.That is, by the tilted open cassette, the wafer is brought into close contact with the closed side, which is the opposite end of the open area, and the wafers stored in the open cassette are aligned to prevent vibration of the wafer when the OHT moves up and down, in a straight line or in a curved section, and prevent the wafer from coming off. prevent.

도 1은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 사시도이다.
도 2는은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 저면 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛과 오픈형 카세트를 분해 도시한 저면 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 측면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 커버를 제거한 상태를 도시한 사시도이다.
도 6a, 6b는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 구동모듈을 도시한 사시도이다.
도 7a, 7b는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 틸트 업 상태를 도시한 사용 상태도이다.Figure 1 is a perspective view showing a grip unit for an OHT bogie according to the present invention.
Figure 2 is a bottom perspective view showing a grip unit for an OHT bogie according to the present invention.
Figure 3 is an exploded bottom perspective view of the OHT bogie grip unit and open cassette according to the present invention.
Figure 4 is a side view showing a grip unit for an OHT bogie according to the present invention.
Figure 5 is a perspective view showing a state in which the cover of the grip unit for an OHT bogie according to the present invention has been removed.
Figures 6a and 6b are perspective views showing the driving module of the grip unit for an OHT bogie according to the present invention.
Figures 7a and 7b are use state diagrams showing the tilt-up state of the OHT bogie grip unit according to the present invention.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the attached drawings. The advantages and features of the present invention and methods for achieving them will become clear by referring to the embodiments described in detail below along with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various different forms. The present embodiments are merely intended to ensure that the disclosure of the present invention is complete, and that the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and is provided by those skilled in the art It is provided to fully inform those who have the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout the specification.

다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.Unless otherwise defined, all terms (including technical and scientific terms) used in this specification may be used with meanings that can be commonly understood by those skilled in the art to which the present invention pertains. Additionally, terms defined in commonly used dictionaries are not interpreted ideally or excessively unless clearly specifically defined.

또한, 본 명세서에서 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함될 수 있다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.Additionally, in this specification, the singular form may also include the plural form unless specifically stated in the phrase. As used herein, “comprises” and/or “comprising” refers to the presence of one or more other components, steps, operations and/or elements. or does not rule out addition.

도 1은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 사시도이고, 도 2는은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 저면 사시도이며, 도 3은 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛과 오픈형 카세트를 분해 도시한 저면 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛을 도시한 측면도이며, 도 5는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 커버를 제거한 상태를 도시한 사시도이고, 도 6a, 6b는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 구동모듈을 도시한 사시도이며, 도 7a, 7b는 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛의 틸트 업 상태를 도시한 사용 상태도이다.Figure 1 is a perspective view showing a grip unit for an OHT bogie according to the present invention, Figure 2 is a bottom perspective view showing a grip unit for an OHT bogie according to the present invention, and Figure 3 is a grip unit for an OHT bogie according to the present invention. and an open-type cassette are disassembled and shown from the bottom, Figure 4 is a side view showing the grip unit for the OHT bogie according to the present invention, and Figure 5 is a perspective view showing the grip unit for the OHT bogie according to the present invention with the cover removed. 6A and 6B are perspective views showing the driving module of the grip unit for the OHT truck according to the present invention, and Figures 7A and 7B are diagrams showing the tilt-up state of the grip unit for the OHT truck according to the present invention.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 OHT 대차용 그립유닛(A)은 개방된 형태의 웨이퍼 케리어인 오픈형 카세트(C)가 수평면에서 기울어진 상태에서 이송되도록 함으로써 웨이퍼(W)를 오픈형 카세트(C)의 슬롯 내 측으로 정렬시키고 웨이퍼(W)의 흔들림을 억제한다.The grip unit (A) for the OHT truck according to a preferred embodiment of the present invention allows the open cassette (C), which is an open wafer carrier, to be transferred in a tilted state in the horizontal plane, thereby transferring the wafer (W) to the open cassette (C). It is aligned inside the slot and the shaking of the wafer (W) is suppressed.

도 1 내지 도 7b에 도시한 바와 같이, 본 발명에 따른 OHT 대차용 그립유닛(A)은, 오픈형 카세트(C)를 파지하는 그립퍼(100) 및 상기 그립퍼(100)를 틸트 업(tilt up) 시키는 틸팅 어셈블리(200)로 구성된다.As shown in FIGS. 1 to 7B, the grip unit (A) for an OHT bogie according to the present invention includes a gripper (100) for gripping an open cassette (C) and a tilt up of the gripper (100). It consists of a tilting assembly (200).

도시하지는 않았으나, 상기 그립퍼(100)는 틸팅 어셈블리(200) 내측에 LM 가이드와 별도의 구동장치에 의해 측 방향으로 이동하도록 구비됨으로써 오픈형 카세트(C)를 파지 또는 분리한다.Although not shown, the gripper 100 is provided inside the tilting assembly 200 to move laterally by a driving device separate from the LM guide, thereby gripping or separating the open cassette C.

또한, 도 5, 도 7a, 7b에 도시한 바와 같이, 상기 틸팅 어셈블리(200)는, 그립유닛(A)의 주행 방향과 수평하게 배치된 어퍼 플레이트(210)와, 상기 어퍼 플레이트(210)와 힌지축(201)에 의해 결합되며 상기 그립퍼(100)가 설치된 로워 플레이트(220)와, 상기 로워 플레이트(220)를 힌지축(201)을 중심으로 회전시키는 구동모듈(230) 구성된다.In addition, as shown in FIGS. 5, 7A, and 7B, the tilting assembly 200 includes an upper plate 210 disposed horizontally to the traveling direction of the grip unit A, the upper plate 210, and It is coupled by a hinge axis 201 and consists of a lower plate 220 on which the gripper 100 is installed, and a drive module 230 that rotates the lower plate 220 about the hinge axis 201.

즉, 도 7a 내지 도 7b와 같이 상기 어퍼 플레이트(210)는 OHT 대차에 고정 설치되며, 상기 로워 플레이트(220)는 힌지축(201)을 중심으로 어퍼 플레이트(210)에 대해 회전이 이루어지도록 구성된다. 이때, 그립퍼(100)는 로워 플레이트(220)에 설치되어 있으므로 로워 플레이트(220)의 회전은 그립퍼(100)를 통해 오픈형 카세트(C)로 전달된다.That is, as shown in FIGS. 7A to 7B, the upper plate 210 is fixedly installed on the OHT bogie, and the lower plate 220 is configured to rotate about the upper plate 210 about the hinge axis 201. do. At this time, since the gripper 100 is installed on the lower plate 220, the rotation of the lower plate 220 is transmitted to the open cassette C through the gripper 100.

이에 따라, 도 7b와 같이 상기 틸팅 어셈블리(200)에 의해 오픈형 카세트(C)의 개방부위를 틸트 업(tilt up) 하여 웨이퍼(W)의 흔들림을 억제한다.Accordingly, as shown in FIG. 7B, the opening portion of the open cassette C is tilted up by the tilting assembly 200 to suppress shaking of the wafer W.

그리고, 상기 틸팅 어셈블리(200)에는 어퍼 플레이트(210), 로워 플레이트(220) 및 구동모듈(230)을 내측으로 수용하며 마감하는 커버(240)가 더 구비된다.In addition, the tilting assembly 200 is further provided with a cover 240 that accommodates and finishes the upper plate 210, lower plate 220, and drive module 230 inside.

한편, 도 6a, 6b에 도시한 바와 같이, 상기 로워 플레이트(220)를 어퍼 플레이트(210)에 대해 상대 회전시키는 구동모듈(230)은, 상기 어퍼 플레이트(210)에 고정 설치된 모터(231) 및 상기 로워 플레이트(220)에 결합되며 상기 모터(231)의 회전에 의해 승강이 이루어지는 리프터(232)로 구성된다.Meanwhile, as shown in FIGS. 6A and 6B, the drive module 230 that rotates the lower plate 220 relative to the upper plate 210 includes a motor 231 fixed to the upper plate 210 and It is coupled to the lower plate 220 and consists of a lifter 232 that is lifted and lowered by rotation of the motor 231.

이때, 상기 모터(231)는 특정한 각도 또는 단계(step)로 회전하는 스텝모터(step motor)가 적용된다. 스텝모터에 의해 상기 리프터(232)의 승강을 정밀하게 제어한다. At this time, the motor 231 is a step motor that rotates at a specific angle or step. The lifting and lowering of the lifter 232 is precisely controlled by a step motor.

더욱이, 상기 모터(231)에는 회전수와 토크를 조절할 수 있는 감속기(231a)가 구비된다.Moreover, the motor 231 is equipped with a reducer 231a that can adjust the rotation speed and torque.

또한, 상기 리프터(232)는 어퍼 플레이트(210)를 가로질러 설치되며 상기 모터(231)의 정,역방향 회전 구동에 의해서 상하로 이동한다.In addition, the lifter 232 is installed across the upper plate 210 and moves up and down by the forward and reverse rotation drive of the motor 231.

그리고, 상기 모터(231)의 구동축(231b)에 편심 설치된 캠 샤프트(233)와, 상기 리프터(232)에 형성되며 상기 캠 샤프트(233)와 연동되는 캠 프로파일이 형성된 종동캠(234)이 더 구비된다. 즉, 편심 회전하는 캠 샤프트(233)의 회전은 캠 프로파일이 형성된 종동캠(234)에 의해 직선 운동으로 변환된다.In addition, a camshaft 233 eccentrically installed on the drive shaft 231b of the motor 231, and a driven cam 234 formed on the lifter 232 and having a cam profile interlocked with the camshaft 233 are further provided. It is provided. That is, the rotation of the eccentrically rotating cam shaft 233 is converted into linear motion by the driven cam 234 having a cam profile.

이에 따라, 상기 모터(231)의 회전은 캠샤프트(233)로 전달되고 캠샤프트(233)의 회전은 종동캠(234)을 통해 리프터(232)로 전달되고, 상기 리프터(232)는 로워 플레이트(220)를 승강시키게 된다.Accordingly, the rotation of the motor 231 is transmitted to the camshaft 233, and the rotation of the camshaft 233 is transmitted to the lifter 232 through the driven cam 234, and the lifter 232 is connected to the lower plate. (220) is raised and lowered.

그리고, 상기 로워 플레이트(220)의 회전 중심은 도 7a, 7b 기준으로 좌측 힌지축(201)으로 회전하며, 상기 리프터(232)에 의해 당겨지는 부분은 상기 로워 플레이트(220)의 회전 중심인 힌지축(201)과 반대 단부인 도 7a, 7b 기준 우측에 형성된다. In addition, the center of rotation of the lower plate 220 rotates toward the left hinge axis 201 based on FIGS. 7A and 7B, and the portion pulled by the lifter 232 is the hinge that is the center of rotation of the lower plate 220. It is formed on the right side of the end opposite to the axis 201, based on FIGS. 7A and 7B.

즉, 상기 리프터(232)에 의해 당겨지는 로워 플레이트(220)의 단부는 아크를 그리며 선회하기 때문에 상기 리프터(232)로 당기는 동작은 동작 간섭이 발생할 수 있다.That is, since the end of the lower plate 220 pulled by the lifter 232 rotates in an arc, the pulling operation by the lifter 232 may cause motion interference.

이를 방지하기 위해 상기 로워 플레이트(220)에 설치되며 상기 리프터(232)와 힌지 결합된 힌지부재(235)가 더 구비된다.To prevent this, a hinge member 235 is installed on the lower plate 220 and hinged to the lifter 232.

이에 따라, 상기 리프터(232)와 로워 플레이트(220)는 힌지부재(235)에 의해 회전이 이루어지며 당겨지기 때문에 간섭없이 원활하게 동작이 이루어진다.Accordingly, the lifter 232 and the lower plate 220 are rotated and pulled by the hinge member 235, so they operate smoothly without interference.

한편, 본 발명은 오픈형 카세트(C)의 개방부위가 틸팅된 상태에서만 그립장치가 구비된 OHT 대차는 주행이 이루어진다. 이를 위해 카세트(C)가 틸팅된 상태를 센싱하는 수단이 더 구비된다.Meanwhile, in the present invention, the OHT bogie equipped with the grip device is driven only when the open portion of the open cassette (C) is tilted. For this purpose, a means for sensing the tilted state of the cassette C is further provided.

구체적으로, 상기 리프터(232)에 구비된 센서부재(236)와, 상기 어퍼 플레이트(210)에 구비되며 상기 센서부재(236)를 감지하는 센서(237)가 더 구비된다.Specifically, a sensor member 236 provided on the lifter 232 and a sensor 237 provided on the upper plate 210 and detecting the sensor member 236 are further provided.

이때, 상기 센서(237)는 하이 센서(237a)와 로우 센서(237b)로 구성되며, 하이 센서(237a)는 오픈형 카세트(C)가 설정각도로 틸팅된 상태를 감지하며, 상기 로우 센서(237b)는 오픈형 카세트(C)가 지면과 수평한 상태를 감지한다.At this time, the sensor 237 consists of a high sensor 237a and a low sensor 237b. The high sensor 237a detects the state in which the open cassette C is tilted at a set angle, and the low sensor 237b ) detects that the open cassette (C) is horizontal to the ground.

이외에도 상기 센서(237)는 모터(231)의 구동을 제어하는 역할도 함께하며, 구체적으로 상기 모터(231)의 과 회전 또는 오동작을 제한하는 리미트 스위치의 역할도 함께한다.In addition, the sensor 237 also serves to control the driving of the motor 231, and specifically serves as a limit switch to limit over-rotation or malfunction of the motor 231.

또한, 상기 로워 플레이트(220)에는 가이드 홈(221a)이 형성된 가이드 부재(221)가 구비되며, 상기 어퍼 플레이트(210)에는 상기 가이드 홈(221a)을 따라 이동하는 가이드 돌기(211)가 구비된다.In addition, the lower plate 220 is provided with a guide member 221 in which a guide groove 221a is formed, and the upper plate 210 is provided with a guide protrusion 211 that moves along the guide groove 221a. .

이에 따라, 상기 가이드홈(221a)과 가이드 돌기(211)에 의해 오픈형 카세트(C), 그립퍼(100) 로워 플레이트(220)의 회전 범위를 물리적으로 제한한다. 이외에도 가이드홈(221a)과 가이드 돌기(211)에 의해 로워 플레이트(220)의 회전 경로를 안내하는 역할도 함께한다. Accordingly, the rotation range of the lower plate 220 of the open cassette C and the gripper 100 is physically limited by the guide groove 221a and the guide protrusion 211. In addition, the guide groove 221a and the guide protrusion 211 also serve to guide the rotation path of the lower plate 220.

뿐만 아니라, 상기 가이드홈(221a)과 가이드 돌기(211)에 의해 상기 로워 플레이트(220)의 수평을 유지한다.In addition, the level of the lower plate 220 is maintained by the guide groove 221a and the guide protrusion 211.

그리고, 상기 로워 플레이트(220)에는 리프터(232)가 가로질러 설치되는 절개홈(222)이 형성된다. 이러한 상기 절개홈(222)에 의해 리프터(232)와의 간섭을 방지한다.In addition, a cut groove 222 through which the lifter 232 is installed is formed in the lower plate 220. Interference with the lifter 232 is prevented by the cut groove 222.

본 발명에 따르면, 틸팅 어셈블리(200)에 의해 오픈형 카세트(C)의 개방부위를 틸트 업(tilt up) 하여 웨이퍼(W)의 흔들림을 억제한다.According to the present invention, the tilting assembly 200 tilts up the open portion of the open cassette C to suppress shaking of the wafer W.

즉, 틸팅된 오픈형 카세트(C)에 의해 웨이퍼(W)는 개방부위 반대 단부인 폐쇄 측으로 밀착시키며 오픈형 카세트(C)에 수납된 웨이퍼(W)를 정렬시켜 OHT가 승하강, 직선 또는 곡선부를 주행할 때 웨이퍼(W)의 진동을 방지하고, 웨이퍼(W)의 이탈을 방지한다.In other words, the tilted open cassette (C) brings the wafer (W) into close contact with the closed side, which is the opposite end of the open area, and the wafer (W) stored in the open cassette (C) is aligned so that the OHT goes up and down and travels on a straight or curved section. Prevents vibration of the wafer (W) and prevents the wafer (W) from leaving.

이상, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 기술적 범위는 전술한 실시 예에 한정되지 않고 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 이때, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 고려해야 할 것이다.Above, preferred embodiments of the present invention have been described in detail, but the technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and should be interpreted in accordance with the scope of the patent claims. At this time, those skilled in the art should consider that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

A - 그립 유닛
100 - 그립퍼 200 - 틸팅 어셈블리
210 - 어퍼 플레이트 220 - 로워 플레이트
230 - 구동모듈 231 - 모터
232 - 리프터 233 - 캠 샤프트
234 - 종동캠 235 - 힌지부재
C - 카세트 W - 웨이퍼A - Grip Unit
100 - Gripper 200 - Tilting assembly
210 - Upper plate 220 - Lower plate
230 - Drive module 231 - Motor
232 - lifter 233 - camshaft
234 - Followed cam 235 - Hinge member
C - Cassette W - Wafer

Claims (6)

오픈형 카세트를 파지하는 그립퍼; 및
상기 그립퍼를 틸트 업 시키는 틸팅 어셈블리;를 포함하되,
상기 틸팅 어셈블리는,
수평하게 배치된 어퍼 플레이트와, 상기 어퍼 플레이트와 힌지축에 의해 결합되며 상기 그립퍼가 설치된 로워 플레이트와, 상기 로워 플레이트를 힌지축을 중심으로 회전시키는 구동모듈로 구성된 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.
A gripper that grips the open cassette; and
Including a tilting assembly that tilts up the gripper,
The tilting assembly,
A grip unit for an OHT bogie, comprising a horizontally arranged upper plate, a lower plate coupled to the upper plate and a hinge axis and on which the gripper is installed, and a drive module that rotates the lower plate about the hinge axis.
 제 1항에 있어서,
상기 구동모듈은,
상기 어퍼 플레이트에 고정 설치된 모터; 및
상기 로워 플레이트에 결합되며 상기 모터의 회전에 의해 승강이 이루어지는 리프터로 구성된 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.
According to clause 1,
The driving module is,
a motor fixedly installed on the upper plate; and
A grip unit for an OHT bogie, characterized in that it consists of a lifter that is coupled to the lower plate and is lifted and lowered by rotation of the motor.
 제 2항에 있어서,
상기 모터의 구동축에 편심 설치된 캠 샤프트와, 상기 리프터에 형성되며 상기 캠 샤프트와 연동되는 종동캠이 더 구비된 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.
According to clause 2,
A grip unit for an OHT bogie, characterized in that it is further provided with a cam shaft eccentrically installed on the drive shaft of the motor, and a driven cam formed on the lifter and interlocked with the cam shaft.
 제 3항에 있어서,
상기 로워 플레이트에 설치되며 상기 리프터와 힌지 결합된 힌지부재가 더 구비된 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.
According to clause 3,
A grip unit for an OHT bogie, characterized in that it is further provided with a hinge member installed on the lower plate and hinged to the lifter.
 제 3항에 있어서,
상기 리프터에 구비된 센서부재와, 상기 어퍼 플레이트에 구비되며 상기 센서부재를 감지하는 센서를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.
According to clause 3,
A grip unit for an OHT bogie, characterized in that it further comprises a sensor member provided on the lifter, and a sensor provided on the upper plate to detect the sensor member.
 제 1항에 있어서,
상기 로워 플레이트에 구비되며 가이드 홈이 형성된 가이드 부재와, 상기 어퍼 플레이트에 구비되며 상기 가이드 홈에 설치된 가이드 돌기가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 OHT 대차용 그립유닛.According to clause 1,
A grip unit for an OHT bogie, characterized in that it further includes a guide member provided on the lower plate and formed with a guide groove, and a guide protrusion provided on the upper plate and installed in the guide groove.
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