KR20230152556A - 정압 밸브 - Google Patents

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KR20230152556A
KR20230152556A KR1020230017354A KR20230017354A KR20230152556A KR 20230152556 A KR20230152556 A KR 20230152556A KR 1020230017354 A KR1020230017354 A KR 1020230017354A KR 20230017354 A KR20230017354 A KR 20230017354A KR 20230152556 A KR20230152556 A KR 20230152556A
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valve body
valve
flow path
ptfe
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KR1020230017354A
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Inventor
키미히토 사사오
Original Assignee
아드반스 덴키 고교 가부시키가이샤
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Publication date
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Abstract

[과제] 다이어프램의 굴곡성이 우수함과 함께 파티클의 발생을 저감시킬 수 있는 정압　밸브를 제공한다.
[해결 수단] 밸브체(21)에는, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브체측 맞닿음면(21x)이 형성되고, 샤프트(31)에는, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 샤프트측 맞닿음면(31x)이 형성되고, 유량 제어 유로(13)에는, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브 시트측 맞닿음면(41x)이 형성되고, 밸브체측 맞닿음면(21x) 또는 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)가 형성되고, 밸브체측 맞닿음면(21x) 또는 샤프트측 맞닿음면(31x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)가 형성되고, 샤프트(31)와 샤프트측 다이어프램(32)을, PTFE와 가교 PTFE를 접합한 복합재로 형성하고, 샤프트측 다이어프램(32)을, PTFE에 의해서 형성하고, 샤프트측 맞닿음면(31x)을, 가교 PTFE에 의해서 형성했다.

Description

정압 밸브{CONSTANT PRESSURE VALVE}
본 발명은, 유입 유로로부터 유입되는 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 변동되어도, 유출 유로로부터 유출되는 피제어 유체에 의한 유출측 압력을 일정하게 유지하는 정압　밸브에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조의 실리콘 웨이퍼 프로세스에서의 세정, 박리 공정에서는, 강산이나 강알칼리 등의 부식성이 높은 약액을 사용한다.
또, 밸브로부터의 금속이나 유기물 용질은 허용되지 않아, 세정, 박리 공정에서 사용되는 약액에는, 지극히 높은 청정도가 요구된다. 그 때문에, 약액을 흘리는 밸브에는, 내산성, 내알칼리성이 우수하여 저용출 재료인 불소 수지가 채용된다.
반도체 제조 공정에 있어서의 유체의 유통 경로에 파티클이 혼입하는 것은, 제품의 수율에 큰 영향을 미치기 때문에, 밸브로부터의 파티클의 발생은 허용되지 않는다.
그 때문에, 고순도 약액, 초순수(超純水)의 공급용 밸브로서, 밸브의 접액부에 접동부(摺動部)로부터의 발진이 영향을 미치지 않도록, 다이어프램으로 구동부와 접액부를 격리시키는 구조가 채용되고 있다.
예를 들어 특허문헌 1에서는, 피제어 유체가 유입되는 유입 유로와, 피제어 유체가 유출되는 유출 유로와, 유입 유로와 유출 유로 사이에 위치하는 유량 제어 유로와, 유량 제어 유로에 배치되는 밸브체(弁體)와, 밸브체를 변위시키는 밸브체측 다이어프램과, 밸브체를 압박하는 샤프트와, 샤프트를 변위시키는 샤프트측 다이어프램을 가지고, 밸브체측 다이어프램의 한쪽에는 유입 유로가 연통되고, 밸브체측 다이어프램의 다른 쪽에는 밸브체측 가압실이 형성되고, 샤프트측 다이어프램의 한쪽에는 유출 유로가 연통되고, 샤프트측 다이어프램의 다른 쪽에는 샤프트측 가압실이 형성된 정압　밸브를 제안하고 있다.
일본 특허 공개 제2000－193106호 공보
내약품성 및 굴곡성이 우수하고, 장수명인 재료로서 PTFE(사플루오린화(四弗化) 에틸렌 수지)가 있다.
그러나, 요즈음(昨今)에는, 가일층의 반도체 제조 프로세스의 미세화(10 ㎚ 프로세스 이하)의 개발에 수반하여, 절삭 가공면으로부터의 발진에 대해서도 개선이 요구되게 되었으며, PTFE를 사용해도 요구에 충분히 대응하기 어렵게 되었다.
또한, 가교 PTFE는, PTFE와 동등한 내약품성과 굴곡성을 가지고, PTFE보다도 더욱 내마모성이 우수한 재료지만, 제조 공정이 PTFE보다도 많아진다는 점에서 고액이어서, 밸브체 모두를 가교 PTFE로 구성하기 어렵다.
그래서 본 발명은, 다이어프램의 굴곡성이 우수함과 함께 파티클의 발생을 저감시킬 수 있는 정압　밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.
청구항 1 기재의 본 발명의 정압　밸브는, 피제어 유체가 유입되는 유입 유로(11)와, 상기 피제어 유체가 유출되는 유출 유로(12)와, 상기 유입 유로(11)와 상기 유출 유로(12) 사이에 위치하는 유량 제어 유로(13)와, 상기 유량 제어 유로(13)에 배치되는 밸브체(21)와, 상기 밸브체(21)를 변위시키는 밸브체측 다이어프램(22)과, 상기 밸브체(21)를 압박하는 샤프트(31)와, 상기 샤프트(31)를 변위시키는 샤프트측 다이어프램(32)을 가지고, 상기 밸브체측 다이어프램(22)의 한쪽에는 상기 유입 유로(11)가 연통되고, 상기 밸브체측 다이어프램(22)의 다른 쪽에는 밸브체측 가압실(14)이 형성되고, 상기 샤프트측 다이어프램(32)의 한쪽에는 상기 유출 유로(12)가 연통되고, 상기 샤프트측 다이어프램(32)의 다른 쪽에는 샤프트측 가압실(15)이 형성되어, 상기 유입 유로(11)로부터 유입되는 상기 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 변동되어도, 상기 밸브체측 다이어프램(22) 및 상기 샤프트측 다이어프램(32)이 변형됨으로써, 상기 유출 유로(12)로부터 유출되는 상기 피제어 유체에 의한 유출측 압력을 일정하게 유지하는 정압　밸브로서, 상기 밸브체(21)에는, 상기 밸브체(21) 및 상기 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브체측 맞닿음면(當接面)(21x)이 형성되고, 상기 샤프트(31)에는, 상기 밸브체(21) 및 상기 샤프트(31)의 상기 이동 방향에 대해서 수직인 샤프트측 맞닿음면(31x)이 형성되고, 상기 유량 제어 유로(13)에는, 상기 밸브체(21) 및 상기 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브 시트측(弁座側) 맞닿음면(41x)이 형성되고, 상기 밸브체측 맞닿음면(21x) 또는 상기 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용(弁閉塞用) 맞닿음부(41y)가 형성되고, 상기 밸브체측 맞닿음면(21x) 또는 상기 샤프트측 맞닿음면(31x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용(押壓用) 맞닿음부(31y)가 형성되고, 상기 샤프트(31)와 상기 샤프트측 다이어프램(32)을, PTFE와 가교 PTFE를 접합한 복합재로 형성하고, 상기 샤프트측 다이어프램(32)을, 상기 PTFE에 의해서 형성하고, 상기 샤프트측 맞닿음면(31x)을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 2 기재의 본 발명은, 청구항 1에 기재된 정압　밸브에 있어서, 상기 밸브체(21)와 상기 밸브체측 다이어프램(22)을, 상기 복합재로 형성하고, 상기 밸브체측 다이어프램(22)을, 상기 PTFE에 의해서 형성하고, 상기 밸브체측 맞닿음면(21x)을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 3 기재의 본 발명은, 청구항 1에 기재된 정압　밸브에 있어서, 상기 밸브체측 맞닿음면(21x)을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 4 기재의 본 발명은, 청구항 1에 기재된 정압　밸브에 있어서, 상기 밸브 폐색용 맞닿음부(41y) 및 상기 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)를, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 5 기재의 본 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 정압　밸브에 있어서, 유로 형성용 바디(41)와, 밸브체측 바디(42)와, 샤프트측 바디(43)로 바디(40)를 구성하고, 상기 유로 형성용 바디(41)는, 상기 유입 유로(11)와 상기 유출 유로(12)와 상기 유량 제어 유로(13)를 형성하고, 상기 밸브체측 바디(42)는, 상기 밸브체측 가압실(14)을 형성하고, 상기 샤프트측 바디(43)는, 상기 샤프트측 가압실(15)을 형성하고, 상기 밸브체측 다이어프램(22)은, 상기 밸브체측 바디(42)에 의해서 상기 유로 형성용 바디(41)에 고정되고, 상기 샤프트측 다이어프램(32)은, 상기 샤프트측 바디(43)에 의해서 상기 유로 형성용 바디(41)에 고정되고, 상기 밸브체측 바디(42) 및 상기 샤프트측 바디(43)를 상기 PTFE에 의해서 형성하고, 상기 유로 형성용 바디(41)를 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 6 기재의 본 발명은, 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 기재된 정압　밸브에 있어서, 유로 형성용 바디(41)와 밸브체측 바디(42)와 샤프트측 바디(43)로 바디(40)를 구성하고, 상기 유로 형성용 바디(41)는, 상기 유입 유로(11)와 상기 유출 유로(12)와 상기 유량 제어 유로(13)를 형성하고, 상기 밸브체측 바디(42)는, 상기 밸브체측 가압실(14)을 형성하고, 상기 샤프트측 바디(43)는, 상기 샤프트측 가압실(15)을 형성하고, 상기 밸브체측 다이어프램(22)은, 상기 밸브체측 바디(42)에 의해서 상기 유로 형성용 바디(41)에 고정되고, 상기 샤프트측 다이어프램(32)은, 상기 샤프트측 바디(43)에 의해서 상기 유로 형성용 바디(41)에 고정되고, 상기 밸브체측 바디(42) 및 상기 샤프트측 바디(43)를, 상기 PTFE에 의해서 형성하고, 상기 유로 형성용 바디(41)를, PFA에 의해서 형성한 것을 특징으로 한다.
청구항 7 기재의 본 발명은, 청구항 6에 기재된 정압　밸브에 있어서, 저항 가열에 의해서 상기 유로 형성용 바디(41)에 접합된 상기 가교 PTFE를 상기 밸브 시트측 맞닿음면(41x)으로 한 것을 특징으로 한다.
청구항 8 기재의 본 발명은, 청구항 7에 기재된 정압　밸브에 있어서, 시트형의 상기 가교 PTFE에 의해서 상기 밸브 시트측 맞닿음면(41x)이 형성되고, 상기 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)를 상기 밸브체측 맞닿음면(21x)에 형성한 것을 특징으로 한다.
본 발명의 정압　밸브에 의하면, 밸브체측 맞닿음면, 샤프트측 맞닿음면 및 밸브 시트측 맞닿음면을, 밸브체 및 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 면으로 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부에 의해서 밸브체측 맞닿음면과 밸브 시트측 맞닿음면을 맞닿게 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부에 의해서 밸브체측 맞닿음면과 샤프트측 맞닿음면을 맞닿게 하기 때문에, 맞닿음에 의한 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트와 샤프트측 다이어프램을 복합재로 형성함으로써, 샤프트와 샤프트측 다이어프램이 별도의 부재로 형성되는 경우와 비교해서 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트측 다이어프램을 PTFE에 의해서 형성함으로써 굴곡성이 우수하고, 샤프트측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
도 1은,　본 발명의 일 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도.
도 2는, 그 정압 밸브의 동작 상태를 나타내는 단면도.
도 3은, 본 발명의 다른 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도.
도 4는, 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도.
본 발명의 제1 실시 형태에 따른 정압　밸브는, 밸브체에는, 밸브체 및 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브체측 맞닿음면이 형성되고, 샤프트에는, 밸브체 및 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 샤프트측 맞닿음면이 형성되고, 유량 제어 유로에는, 밸브체 및 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브 시트측 맞닿음면이 형성되고, 밸브체측 맞닿음면 또는 밸브 시트측 맞닿음면에는, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부가 형성되고, 밸브체측 맞닿음면 또는 샤프트측 맞닿음면에는, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부가 형성되고, 샤프트와 샤프트측 다이어프램을, PTFE와 가교 PTFE를 접합한 복합재로 형성하고, 샤프트측 다이어프램을, PTFE에 의해서 형성하고, 샤프트측 맞닿음면을, 가교 PTFE에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 밸브체측 맞닿음면, 샤프트측 맞닿음면 및 밸브 시트측 맞닿음면을, 밸브체 및 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 면으로 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부에 의해서, 밸브체측 맞닿음면과 밸브 시트측 맞닿음면을 맞닿게 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부에 의해서, 밸브체측 맞닿음면과 샤프트측 맞닿음면을 맞닿게 하기 때문에, 맞닿음에 의한 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트와 샤프트측 다이어프램을 복합재로 형성함으로써, 샤프트와 샤프트측 다이어프램이 다른 부재로 형성되는 경우와 비교해서 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트측 다이어프램을 PTFE에 의해서 형성함으로써 굴곡성이 우수하고, 샤프트측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 제2 실시 형태는, 제1 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 밸브체와 밸브체측 다이어프램을 복합재로 형성하고, 밸브체측 다이어프램을 PTFE에 의해서 형성하고, 밸브체측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 밸브체와 밸브체측 다이어프램을 복합재로 형성함으로써, 밸브체와 밸브체측 다이어프램이 다른 부재로 형성되는 경우와 비교해서 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 밸브체측 다이어프램을 PTFE에 의해서 형성함으로써 굴곡성이 우수하고, 밸브체측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 제3 실시 형태는, 제1 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 밸브체측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 밸브체측 맞닿음면을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 제4 실시 형태는, 제1 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 밸브 폐색용 맞닿음부 및 밸브체 압박용 맞닿음부를, 가교 PTFE에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 밸브 폐색용 맞닿음부 및 밸브체 압박용 맞닿음부를 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 제5 실시 형태는, 제1 내지 제4 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 유로 형성용 바디와 밸브체측 바디와 샤프트측 바디로 바디를 구성하고, 유로 형성용 바디는, 유입 유로와 유출 유로와 유량 제어 유로를 형성하고, 밸브체측 바디는 밸브체측 가압실을 형성하고, 샤프트측 바디는 샤프트측 가압실을 형성하고, 밸브체측 다이어프램은 밸브체측 바디에 의해서 유로 형성용 바디에 고정되고, 샤프트측 다이어프램은, 샤프트측 바디에 의해서 유로 형성용 바디에 고정되고, 밸브체측 바디 및 샤프트측 바디를 PTFE에 의해서 형성하고, 유로 형성용 바디를 가교 PTFE에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 유로 형성용 바디를 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
본 발명의 제6 실시 형태는, 제1 내지 제4 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 유로 형성용 바디와 밸브체측 바디와 샤프트측 바디로 바디를 구성하고, 유로 형성용 바디는, 유입 유로와 유출 유로와 유량 제어 유로를 형성하고, 밸브체측 바디는 밸브체측 가압실을 형성하고, 샤프트측 바디는 샤프트측 가압실을 형성하고, 밸브체측 다이어프램은, 밸브체측 바디에 의해서 유로 형성용 바디에 고정되고, 샤프트측 다이어프램은, 샤프트측 바디에 의해서 유로 형성용 바디에 고정되고, 밸브체측 바디 및 샤프트측 바디를 PTFE에 의해서 형성하고, 유로 형성용 바디를 PFA에 의해서 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 유로 형성용 바디에 점도가 낮은 PFA를 사용함으로써, 유로 형성용 바디를 사출 성형할 수 있다.
본 발명의 제7 실시 형태는, 제6 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 저항 가열에 의해서 유로 형성용 바디에 접합된 가교 PTFE를 밸브 시트측 맞닿음면으로 한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 유로 형성용 바디에 가교 PTFE를 얹어 놓고(재치하고), 저항 가열로 직접 가열되는 히팅 블록을, 가교 PTFE측으로부터 밀어댐으로써 밸브 시트측 맞닿음면을 접합할 수 있다. 가교 PTFE를 가교 PTFE의 융점 온도 이상으로 히팅 블록에 의해서 직접 가열함으로써, 가교 PTFE는 연화 또는 반용해되고, 또 PFA로 이루어지는 유로 형성용 바디는, 가교 PTFE로부터의 가열에 의해서, 가교 PTFE와의 접촉 계면이 가열되어 용해되기 때문에, 강고한 접합을 행할 수 있다. 또, 가교 PTFE를 저항 가열로 직접 가열함으로써, 접촉 계면에서의 온도 제어를 용이하게 행할 수 있어, 용융면 온도 응답성이 높은 온도 제어를 실현할 수 있다. 따라서, 가열이 접촉 계면에 한정되기 때문에 유로 형성용 바디의 변형이 발생하지 않아, 가교 PTFE의 평탄화를 행할 수 있다.
본 발명의 제8 실시 형태는, 제7 실시 형태에 따른 정압　밸브에 있어서, 시트형의 가교 PTFE에 의해서 밸브 시트측 맞닿음면이 형성되고, 밸브 폐색용 맞닿음부를 밸브체측 맞닿음면에 형성한 것이다. 본 실시 형태에 의하면, 밸브 시트측 맞닿음면을 시트형의 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써, 멜트 플로우 레이트의 변동(불균일)이 발생하기 어려워, 형상을 유지해서 용착 접합할 수 있고, 균질한 접합 강도를 얻을 수가 있다.
[실시예]
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 정압　밸브에 대하여 설명한다.
도 1은 본 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도이고, 도 1의 (a)는 정압　밸브 전체, 도 1의 (b)는 샤프트 및 샤프트측 다이어프램, 도 1의 (c)는 밸브체 및 밸브체측 다이어프램, 도 1의 (d)는 바디를 나타내고 있다.
본 실시예에 따른 정압　밸브는, 피제어 유체가 유입되는 유입 유로(11)와, 피제어 유체가 유출되는 유출 유로(12)와, 유입 유로(11)와 유출 유로(12) 사이에 위치하는 유량 제어 유로(13)와, 유량 제어 유로(13)에 배치되는 밸브체(21)와, 밸브체(21)를 변위시키는 밸브체측 다이어프램(22)과, 밸브체(21)를 압박하는 샤프트(31)와, 샤프트(31)를 변위시키는 샤프트측 다이어프램(32)을 가지고 있다.
본 실시예에 따른 정압　밸브는, 밸브체측 다이어프램(22)의 한쪽에는 유입 유로(11)가 연통되고, 밸브체측 다이어프램(22)의 다른 쪽에는 밸브체측 가압실(14)이 형성되고, 샤프트측 다이어프램(32)의 한쪽에는 유출 유로(12)가 연통되고, 샤프트측 다이어프램(32)의 다른 쪽에는 샤프트측 가압실(15)이 형성된다.
밸브체측 가압실(14)에는, 밸브체측 다이어프램(22)을 압박하는 압박(押壓) 부재(14a)가 배치된다. 압박 부재(14a)는, 탄성 부재(14b)에 의해서 밸브체측 다이어프램(22)의 방향으로 바이어스(付勢)된다.
샤프트측 가압실(15)에는 가압 기체가 도입되고, 도입되는 가압 기체에 의해서 샤프트측 다이어프램(32)이 압박된다.
한편, 본 실시예에서는, 밸브체측 가압실(14)에는 탄성 부재(14b)를 마련하고 있지만, 탄성 부재(14b)와 함께, 또는 탄성 부재(14b) 대신에 유체에 의해 바이어스해도 된다.
또, 본 실시예에서는, 샤프트측 가압실(15)로는 가압 기체를 도입하지만, 가압 기체와 함께 또는 가압 기체 대신에 스프링재를 마련해도 된다.
한편, 도면 중에 있어서 묵색(먹빛)은 가교 PTFE인 것을 나타내고 있다.
도 1의 (b)에 나타내는 바와 같이, 샤프트(31)와 샤프트측 다이어프램(32)은, 샤프트측 부재(30)로서 수지에 의해 일체로 성형되어 있다. 샤프트측 부재(30)는, PTFE(사플루오린화 에틸렌 수지)와 가교 PTFE(사플루오린화 에틸렌·퍼플루오로알콕시에틸렌 공중합 수지)를 접합한 복합재로 형성하고 있다.
가교 PTFE는, 독립되어 있던 분자끼리를 가교하는 반응에서 생겨나는 PTFE이고, 예를 들어 화학 가교나 방사선 가교 등의 가교 방법에 의해서 제작된다. 가교 PTFE는, 접동 특성에 있어서, PTFE에 대해서 1,000배 이상의 내마모성이 있어, 접동 상대의 재료가 손상되기 어렵다. 또, 가교 PTFE는, 내변성이 높아 하중에 대해서 변형되기 어렵고, 실온 및 고온의 어디에서나 PTFE보다 내변성이 우수하다. 또, 가교 PTFE는, 절삭, 용접 및 첩부(貼付) 등의 가공성, 내약품성, 비점착성, 전기 특성은 PTFE와 동등하다. PTFE와 가교 PTFE의 접합은, 가압·가열 접합에 의해 행한다.
샤프트(31)는, 샤프트측 다이어프램(32)으로 이어지는 접속부(31a)와, 밸브체(21)를 압박하는 맞닿음부(31b)를 가진다.
접속부(31a)는, 원뿔대(圓錐台) 형상을 하고 있으며, 바닥면이 샤프트측 다이어프램(32)으로 이어지고, 천정면(天面)이 맞닿음부(31b)로 이어진다.
맞닿음부(31b)는, 원기둥 형상을 하고 있으며, 한쪽 단면이 접속부(31a)의 천정면으로 이어지고, 다른 쪽 단면이 샤프트측 맞닿음면(31x)이 된다.
샤프트측 맞닿음면(31x)은, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 면이 된다.
샤프트측 맞닿음면(31x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)가 형성되어 있다. 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)는, 샤프트측 맞닿음면(31x)의 외주에 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)의 외경은, 맞닿음부(31b)의 외경과 동일하게 하는 것이 바람직하다.
샤프트측 다이어프램(32)은, 샤프트(31)로 이어지는 후육부(肉厚部)(32a)와, 후육부(32a)의 외주에 형성되는 박육부(薄肉部)(32b)와, 박육부(32b)의 더욱 외주에 형성되는 고정부(32c)를 가진다. 샤프트측 다이어프램(32)은, 후육부(32a)의 중앙부에서 후육부(32a)와 이어진다.
샤프트측 다이어프램(32)은, PTFE에 의해서 형성하고, 샤프트측 맞닿음면(31x) 및 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)는, 가교 PTFE에 의해서 형성한다.
본 실시예에서는, 샤프트측 다이어프램(32), 접속부(31a) 및 맞닿음부(31b)의 접속부(31a)측을 PTFE에 의해서 형성하고, 맞닿음부(31b)의 샤프트측 맞닿음면(31x)측을 가교 PTFE에 의해서 형성하고 있다.
도 1의 (c)에 나타내는 바와 같이, 밸브체(21)와 밸브체측 다이어프램(22)은, 밸브체측 부재(20)로서 수지에 의해 일체로 성형되어 있다. 밸브체측 부재(20)는, PTFE와 가교 PTFE를 접합한 복합재로 형성하고 있다.
밸브체(21)는, 밸브체측 다이어프램(22)으로 이어지는 접속부(21a)와, 샤프트(31)에 의해서 압박됨과 함께 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에 맞닿는 맞닿음부(21b)를 가진다.
접속부(21a)는, 원기둥 형상을 하고 있으며, 한쪽 단면이 밸브체측 다이어프램(22)으로 이어지고, 다른 쪽 단면이 맞닿음부(21b)로 이어진다.
맞닿음부(21b)는, 원기둥 형상을 하고 있으며, 한쪽 단면이 접속부(21a)의 다른 쪽 단면으로 이어지고, 다른 쪽 단면이 밸브체측 맞닿음면(21x)이 된다.
맞닿음부(21b)는, 접속부(21a)보다도 큰 외경으로 형성되어 있다.
밸브체측 맞닿음면(21x)은, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 면이 된다.
밸브체측 다이어프램(22)은, 밸브체(21)로 이어지는 박육부(22a)와, 박육부(22a)의 외주에 형성되는 고정부(22b)를 가진다. 밸브체측 다이어프램(22)은, 박육부(22a)의 중앙부에서 박육부(22a)와 이어진다.
밸브체측 다이어프램(22)은 PTFE에 의해서 형성하고, 밸브체측 맞닿음면(21x)은 가교 PTFE에 의해서 형성된다.
본 실시예에서는, 밸브체측 다이어프램(22), 접속부(21a) 및 맞닿음부(21b)의 접속부(21a)측을 PTFE에 의해서 형성하고, 맞닿음부(21b)의 밸브체측 맞닿음면(21x)측을 가교 PTFE에 의해서 형성하고 있다.
도 1의 (d)에 나타내는 바와 같이, 바디(40)는, 유로 형성용 바디(41)와, 밸브체측 바디(42)와, 샤프트측 바디(43)를 가지고 있다.
유로 형성용 바디(41)는, 유입 유로(11)와, 유출 유로(12)와, 유량 제어 유로(13)를 형성한다.
밸브체측 바디(42)는, 밸브체측 가압실(14)과, 밸브체측 가압실(14)에 연통되는 호흡공(呼吸孔)(14c)을 형성한다.
밸브체측 부재(20)는, 밸브체측 바디(42)에 의해서 유로 형성용 바디(41)에 고정된다.
샤프트측 바디(43)는, 샤프트측 가압실(15)과, 샤프트측 가압실(15)에 연통되는 설정 에어포트(15a) 및 배기 포트(15b)를 형성한다.
샤프트측 부재(30)는, 샤프트측 바디(43)에 의해서 유로 형성용 바디(41)에 고정된다.
밸브 시트측 맞닿음면(41x)은, 유량 제어 유로(13)에, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 면으로서 형성된다.
밸브 시트측 맞닿음면(41x)에는, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)가 형성되어 있다. 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)는, 밸브 시트측 맞닿음면(41x)의 내주에 형성하는 것이 바람직하다. 즉, 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)의 내경은, 밸브 시트측 맞닿음면(41x)의 내경과 동일하게 하는 것이 바람직하다.
밸브 시트측 맞닿음면(41x) 및 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)는 가교 PTFE에 의해서 형성하고, 밸브 시트측 맞닿음면(41x) 이외의 유로 형성용 바디(41)와, 밸브체측 바디(42)와, 샤프트측 바디(43)는 PTFE에 의해서 형성한다.
또, 밸브 시트측 맞닿음면(41x) 및 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)는 가교 PTFE에 의해서 형성하고, 밸브 시트측 맞닿음면(41x) 이외의 유로 형성용 바디(41)를 PFA(사플루오린화 에틸렌·퍼플루오로알콕시에틸렌 공중합 수지)에 의해서 형성하고, 밸브체측 바디(42)와 샤프트측 바디(43)는 PTFE에 의해서 형성한다.
유로 형성용 바디(41)에 점도가 낮은 PFA를 사용함으로써, 유로 형성용 바디(41)를 사출 성형할 수 있다.
PFA에 의한 유로 형성용 바디(41)에 가교 PTFE에 의한 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 접합하려면, 유로 형성용 바디(41)에 가교 PTFE를 얹고, 저항 가열로 직접 가열되는 히팅 블록을, 가교 PTFE측으로부터 밀어댄다. 가교 PTFE를 가교 PTFE의 융점 온도 이상으로 히팅 블록에 의해서 직접 가열함으로써, 가교 PTFE는 연화 또는 반용해되고, 또 PFA로 이루어지는 유로 형성용 바디(41)는, 가교 PTFE로부터의 가열에 의해서, 가교 PTFE와의 접촉 계면이 가열되어 용해되기 때문에, 강고한 접합을 행할 수 있다. 또, 가교 PTFE를 저항 가열로 직접 가열함으로써, 접촉 계면에서의 온도 제어를 용이하게 행할 수 있어, 용융면 온도 응답성이 높은 온도 제어를 실현할 수 있다. 따라서, 가열이 접촉 계면에 한정되기 때문에 유로 형성용 바디(41)의 변형이 발생하지 않아, 가교 PTFE의 평탄화를 행할 수 있다.
밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 형성하려면, 0.05 ㎜∼0.5 ㎜ 두께의 시트형의 가교 PTFE를 사용하는 것이 바람직하다. 시트형의 가교 PTFE가 0.05 ㎜보다 얇으면 PFA가 침투해서 씰면에 도달하는 일이 있고, 시트형의 가교 PTFE가 0.5 ㎜보다 두꺼우면 용융 시간이 길어져 버림으로써 유로 형성용 바디(41)의 변형을 일으켜 버리는 일이 있다.
이와 같이, PFA에 의한 유로 형성용 바디(41)에 가교 PTFE에 의한 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 접합함으로써, 고분자의 뒤엉킴에 의한 마찰 접합의 강도를 넘는 접합 강도에 의해서 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 유로 형성용 바디(41)에 접합할 수 있다.
또, 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 시트형의 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써, 멜트 플로우 레이트의 변동이 발생하기 어려워, 형상을 유지해서 용착 접합할 수 있고, 균질한 접합 강도를 얻을 수가 있다. 한편, 이 경우에는 도 4에 나타내는 바와 같이, 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)를 밸브체측 맞닿음면(21x)에 형성한다.
도 2는 본 실시예에 따른 정압　밸브의 동작 상태를 나타내는 단면도이고, 도 2의 (a)는 피제어 유체가 흐르고 있는 상태, 도 2의 (b)는 유출측 압력이 높아진 상태를 나타내고 있다.
도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 유입 유로(11)로부터 유입되는 피제어 유체는, 유량 제어 유로(13)를 지나, 유출 유로(12)로부터 유출된다.
샤프트측 다이어프램(32)은, 샤프트측 가압실(15)의 기체 압력에 의해서 샤프트(31)가 밸브체(21)를 압박하는 방향으로 변형된다. 설정 에어포트(15a)로부터 가압 기체를 도입하거나, 또는 배기 포트(15b)로부터 가압 기체를 배출함으로써, 샤프트측 가압실(15)의 설정 압력을 조정한다.
밸브체측 다이어프램(22)은, 밸브체측 가압실(14)의 압박력에 의해서 밸브체(21)가 샤프트(31)를 압박하는 방향으로 변형된다. 밸브체측 가압실(14)의 압박력은, 탄성 부재(14b)에 의해서 설정된다.
도 2의 (a)에 나타내는 바와 같이, 유량 제어 유로(13)에 피제어 유체가 흐르고 있는 상태에서는, 샤프트(31)는 샤프트측 다이어프램(32)에 의해서 밸브체(21)를 압박하고, 밸브체(21)는 밸브체측 다이어프램(22)에 의해서 샤프트(31)를 압박하므로, 밸브체(21)와 샤프트(31)는 맞닿은 상태이다.
도 2의 (a)에 나타내는 상태에 있어서, 유입 유로(11)로부터 유입되는 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 상승하여, 설정 압력에 비해서 높아지면, 샤프트측 다이어프램(32)은, 유입측 압력에 의해서 샤프트(31)가 밸브체(21)로부터 이격되는 방향으로 변위한다.
샤프트(31)가 밸브체(21)로부터 이격되는 방향으로 변위함으로써 밸브체(21)는 샤프트(31)와 함께 변위한다. 즉, 밸브체(21)는, 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에 근접하는 방향으로 변위하기 때문에, 유량 제어 유로(13)가 좁아진다.
유량 제어 유로(13)가 좁아짐으로써, 유출 유로(12)로부터 유출되는 피제어 유체에 의한 유출측 압력이 상승하는 것을 방지할 수가 있다.
한편, 도 2의 (a)에 나타내는 상태에 있어서, 유입 유로(11)로부터 유입되는 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 저하되어, 설정 압력에 대해서 낮아지면, 샤프트측 다이어프램(32)은, 샤프트(31)가 밸브체(21)를 압박하는 방향으로 변위한다.
샤프트(31)가 밸브체(21)를 압박하는 방향으로 변위함으로써 밸브체(21)는 변위한다. 즉, 밸브체(21)는, 밸브 시트측 맞닿음면(41x)으로부터 이격되는 방향으로 변위하기 때문에, 유량 제어 유로(13)가 확대된다.
유량 제어 유로(13)가 확대됨으로써, 유출 유로(12)로부터 유출되는 피제어 유체에 의한 유출측 압력이 저하되는 것을 방지할 수가 있다.
이와 같이 본 실시예에 따른 정압　밸브는, 유입 유로(11)로부터 유입되는 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 변동되어도, 샤프트측 다이어프램(32)이 변형됨으로써, 유출 유로(12)로부터 유출되는 피제어 유체에 의한 유출측 압력을 일정하게 유지할 수가 있다. 또한, 밸브체(21)를 샤프트(31)와 함께 변위시키기 위해, 밸브체측 다이어프램(22)도, 유입측 압력의 변동과 함께 변위한다.
도 2의 (b)는 유출측 압력이 높아진 상태를 나타내고 있다.
유출측 압력이 높아지면, 샤프트측 다이어프램(32)은, 유출측 압력에 의해서 샤프트(31)가 밸브체(21)로부터 이격되는 방향으로 변위한다.
샤프트(31)가 밸브체(21)로부터 이격되는 방향으로 변위함으로써, 밸브체(21)는 샤프트(31)와 함께 변위하고, 밸브체(21)는 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에 맞닿는다.
밸브체(21)가 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에 맞닿은 상태에서도, 유출측 압력이 설정 압력보다도 높은 경우에는, 도 2의 (b)에 나타내는 바와 같이, 샤프트(31)는 밸브체(21)로부터 이격된다.
따라서, 유출측 압력이 높아져, 밸브체(21)가 밸브 시트측 맞닿음면(41x)에 맞닿아도, 밸브체(21)에는, 탄성 부재(14b)에 의한 압박력뿐이고, 유출측 압력에 의한 부하가 가해지는 일이 없다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도이다.
상기 실시예와 동일 기능 부재에는 동일 부호를 붙여 설명을 생략한다.
본 실시예에서는, 유로 형성용 바디(41)를 가교 PTFE에 의해서 형성한 점이 상기 실시예와 상위하며, 그 밖의 구성은 동일하다.
본 실시예와 같이, 유로 형성용 바디(41)를, 모두 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써, 유입 유로(11), 유출 유로(12) 및 유량 제어 유로(13)에 있어서의 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 정압　밸브를 나타내는 단면도이다.
상기 실시예와 동일 기능 부재에는 동일 부호를 부가하여 설명을 생략한다.
본 실시예에서는, 밸브체 압박용 맞닿음부(31y) 및 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)를, 밸브체측 맞닿음면(21x)에 마련한 점이 상기 실시예와 상위하고, 그 밖의 구성은 동일하다.
본 실시예와 같이, 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)를 샤프트측 맞닿음면(31x)이 아니라, 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)를 밸브 시트측 맞닿음면(41x)이 아니라, 밸브체측 맞닿음면(21x)에 형성해도 된다.
또한, 도 3에 도시한 실시예를, 도 4에 도시한 실시예에 적용해도 된다.
이상과 같이, 본 실시예에 의하면, 밸브체측 맞닿음면(21x), 샤프트측 맞닿음면(31x) 및 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을, 밸브체(21) 및 샤프트(31)의 이동 방향에 대해서 수직인 면으로 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부(41y)에 의해서, 밸브체측 맞닿음면(21x)과 밸브 시트측 맞닿음면(41x)을 맞닿게 하고, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)에 의해서, 밸브체측 맞닿음면(21x)과 샤프트측 맞닿음면(31x)을 맞닿게 하기 때문에, 맞닿음에 의한 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트(31)와 샤프트측 다이어프램(32)을 복합재로 형성함으로써, 샤프트(31)와 샤프트측 다이어프램(32)이 별도의 부재로 형성되는 경우와 비교해서 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 샤프트측 다이어프램(32)을 PTFE에 의해서 형성함으로써 굴곡성이 우수하고, 샤프트측 맞닿음면(31x)을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
또, 본 실시예에 의하면, 밸브체(21)와 밸브체측 다이어프램(22)을 복합재로 형성함으로써, 밸브체(21)와 밸브체측 다이어프램(22)이 별도의 부재로 형성되는 경우와 비교해서 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다. 또, 밸브체측 다이어프램(22)을 PTFE에 의해서 형성함으로써 굴곡성이 우수하고, 밸브체측 맞닿음면(21x)을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
또, 본 실시예에 의하면, 밸브체측 맞닿음면(21x)을 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
또, 본 실시예에 의하면, 밸브 폐색용 맞닿음부(41y) 및 밸브체 압박용 맞닿음부(31y)를 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
또, 본 실시예에 의하면, 유로 형성용 바디(41)를 가교 PTFE에 의해서 형성함으로써 파티클의 발생을 저감시킬 수 있다.
도 1 및 도 2에 나타내는 정압　밸브에 대해서, 모든 부재를 PTFE로 한 경우를 비교예로 해서 파티클 발생량에 대하여 실증 실험을 행했다. 그 결과, 본 실시예에 따른 정압　밸브는, 비교예에 대해서 15 ㎚ 이하의 파티클 발생량이, 정상 제어 상태에서 1/10로 저감되었다.
본 발명은, 반도체 제조 분야에 있어서 정밀한 유량 제어 및 고청정도가 요구되는 정압　밸브에 적합하다.
11: 유입 유로
12: 유출 유로
13: 유량 제어 유로
14: 밸브체측 가압실
14a: 압박 부재
14b: 탄성 부재
14c: 호흡공
15: 샤프트측 가압실
15a: 설정 에어포트
15b: 배기 포트
21: 밸브체
21a: 접속부
21b: 맞닿음부
21x: 밸브체측 맞닿음면
22: 밸브체측 다이어프램
22a: 박육부
22b: 고정부
30: 샤프트측 부재
31: 샤프트
31a: 접속부
31b: 맞닿음부
31x: 샤프트측 맞닿음면
31y: 밸브체 압박용 맞닿음부
32: 샤프트측 다이어프램
32a: 후육부
32b: 박육부
32c: 고정부
40: 바디
41: 유로 형성용 바디
41x: 밸브 시트측 맞닿음면
41y: 밸브 폐색용 맞닿음부
42: 밸브체측 바디
43: 샤프트측 바디

Claims (8)

  1. 피제어 유체가 유입되는 유입 유로와,
    상기 피제어 유체가 유출되는 유출 유로와,
    상기 유입 유로와 상기 유출 유로 사이에 위치하는 유량 제어 유로와,
    상기 유량 제어 유로에 배치되는 밸브체와,
    상기 밸브체를 변위시키는 밸브체측 다이어프램과,
    상기 밸브체를 압박하는 샤프트와,
    상기 샤프트를 변위시키는 샤프트측 다이어프램
    을 가지고,
    상기 밸브체측 다이어프램의 한쪽에는 상기 유입 유로가 연통되고, 상기 밸브체측 다이어프램의 다른 쪽에는 밸브체측 가압실이 형성되고,
    상기 샤프트측 다이어프램의 한쪽에는 상기 유출 유로가 연통되고, 상기 샤프트측 다이어프램의 다른 쪽에는 샤프트측 가압실이 형성되고,
    상기 유입 유로로부터 유입되는 상기 피제어 유체에 의한 유입측 압력이 변동되어도, 상기 밸브체측 다이어프램 및 상기 샤프트측 다이어프램이 변형됨으로써, 상기 유출 유로로부터 유출되는 상기 피제어 유체에 의한 유출측 압력을 일정하게 유지하는 정압　밸브로서,
    상기 밸브체에는, 상기 밸브체 및 상기 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브체측 맞닿음면이 형성되고,
    상기 샤프트에는, 상기 밸브체 및 상기 샤프트의 상기 이동 방향에 대해서 수직인 샤프트측 맞닿음면이 형성되고,
    상기 유량 제어 유로에는, 상기 밸브체 및 상기 샤프트의 이동 방향에 대해서 수직인 밸브 시트측 맞닿음면이 형성되고,
    상기 밸브체측 맞닿음면 또는 상기 밸브 시트측 맞닿음면에는, 링형으로 돌출시킨 밸브 폐색용 맞닿음부가 형성되고,
    상기 밸브체측 맞닿음면 또는 상기 샤프트측 맞닿음면에는, 링형으로 돌출시킨 밸브체 압박용 맞닿음부가 형성되고,
    상기 샤프트와 상기 샤프트측 다이어프램을, PTFE와 가교 PTFE를 접합한 복합재로 형성하고,
    상기 샤프트측 다이어프램을, 상기 PTFE에 의해서 형성하고,
    상기 샤프트측 맞닿음면을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 밸브체와 상기 밸브체측 다이어프램을, 상기 복합재로 형성하고,
    상기 밸브체측 다이어프램을, 상기 PTFE에 의해서 형성하고,
    상기 밸브체측 맞닿음면을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 밸브체측 맞닿음면을, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 밸브 폐색용 맞닿음부 및 상기 밸브체 압박용 맞닿음부를, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    유로 형성용 바디와, 밸브체측 바디와, 샤프트측 바디로 바디를 구성하고,
    상기 유로 형성용 바디는, 상기 유입 유로와, 상기 유출 유로와, 상기 유량 제어 유로를 형성하고,
    상기 밸브체측 바디는, 상기 밸브체측 가압실을 형성하고,
    상기 샤프트측 바디는, 상기 샤프트측 가압실을 형성하고,
    상기 밸브체측 다이어프램은, 상기 밸브체측 바디에 의해서 상기 유로 형성용 바디에 고정되고,
    상기 샤프트측 다이어프램은, 상기 샤프트측 바디에 의해서 상기 유로 형성용 바디에 고정되고,
    상기 밸브체측 바디 및 상기 샤프트측 바디를, 상기 PTFE에 의해서 형성하고,
    상기 유로 형성용 바디를, 상기 가교 PTFE에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    유로 형성용 바디와, 밸브체측 바디와, 샤프트측 바디로 바디를 구성하고,
    상기 유로 형성용 바디는, 상기 유입 유로와, 상기 유출 유로와, 상기 유량 제어 유로를 형성하고,
    상기 밸브체측 바디는, 상기 밸브체측 가압실을 형성하고,
    상기 샤프트측 바디는, 상기 샤프트측 가압실을 형성하고,
    상기 밸브체측 다이어프램은, 상기 밸브체측 바디에 의해서 상기 유로 형성용 바디에 고정되고,
    상기 샤프트측 다이어프램은, 상기 샤프트측 바디에 의해서 상기 유로 형성용 바디에 고정되고,
    상기 밸브체측 바디 및 상기 샤프트측 바디를, 상기 PTFE에 의해서 형성하고,
    상기 유로 형성용 바디를, PFA에 의해서 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  7. 제6항에 있어서,
    저항 가열에 의해서 상기 유로 형성용 바디에 접합된 상기 가교 PTFE를 상기 밸브 시트측 맞닿음면으로 한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
  8. 제7항에 있어서,
    시트형의 상기 가교 PTFE에 의해서 상기 밸브 시트측 맞닿음면이 형성되고,
    상기 밸브 폐색용 맞닿음부를 상기 밸브체측 맞닿음면에 형성한
    것을 특징으로 하는 정압　밸브.
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