KR20230143766A

KR20230143766A - 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치 및 이를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법

Info

Publication number: KR20230143766A
Application number: KR1020220042787A
Authority: KR
Inventors: 심현욱; 정성진; 김무성; 최남규
Original assignee: 주식회사 팀즈
Priority date: 2022-04-06
Filing date: 2022-04-06
Publication date: 2023-10-13

Abstract

본 발명은 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치 및 이를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법으로서, 더욱 상세하게는 초음파세척기의 내부공간에서 노즐 내부로 세정액을 반복적으로 주입 및 흡입하고 노즐 내경보다 작은 직경을 갖는 미세바늘을 이용하여 노즐의 내부를 세정함으로써 세정 시 노즐의 파손 및 손상을 최소화하여 노즐의 반복사용이 가능한, 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치 및 이를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법에 관한 것이다.

Description

디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치 및 이를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법{Apparatus For Cleaning Nozzle For Dispenser And Method For Cleaning The Inside Of Nozzle using thereof}

현대 산업에서 디스펜싱 공정은 정밀 부품을 생산하는 데에 필수적인 공정으로, 부품의 집적화로 인하여 고정밀 미세 디스펜싱 공정에 대한 수요가 증가하고 있다. 고정밀 미세 디스펜싱 공정에 사용되는 디스펜서는 일반적으로 미세한 내경을 갖는 노즐을 구비하고 노즐을 통해 페이스트 등의 액제를 토출하는 작업을 수행한다.

최근 사용량이 증대되고 있는 세라믹 재질의 노즐은 온도의 변화에 대한 변형이 적고 미세 노즐의 형태를 유지하는 데에 유리하다. 다만 재질 특성 상 가격적인 측면에서 다른 재질 대비 고가로 형성되고 있으며, 공정 중 노즐이 파손되지 않는 한 반영구적으로 사용할 수 있음에도 노즐의 내부를 세정하는 데에 어려움이 있어 재사용되지 않고 버려지고 있는 문제점이 있다.

즉 고정밀 디스펜싱 공정에 사용되는 노즐의 사용을 지속하기 위하여, 노즐 내부를 세정하는 장치에 대한 기술의 개발이 시급한 실정이다.

본 발명은 초음파세척기의 내부공간에서 노즐 내부로 세정액을 반복적으로 주입 및 흡입하고 노즐 내경보다 작은 직경을 갖는 미세바늘을 이용하여 노즐의 내부를 세정함으로써 세정 시 노즐의 파손 및 손상을 최소화하여 노즐의 반복사용이 가능한, 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치 및 이를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예는 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치로서, 내부공간에 세정액을 수용하고, 복수의 진동자가 구비된 초음파모듈; 상기 초음파모듈의 상측에 배치되고, 좌측면에 세정액주입구가 형성되어 주입밸브가 결합되고, 우측면에서 상기 세정액주입구와 마주보는 위치에 세정액흡입구가 형성되어 흡입밸브가 결합되고, 상면에 제1삽입홀이 형성되고, 하면에서 상기 제1삽입홀과 마주보는 위치에 제2삽입홀이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성되어 있는 세정블록모듈; 상기 세정블록모듈의 상측에 배치되고, 수직방향으로 이동가능한 바늘지지부재; 및 상기 디스펜서의 노즐의 내경보다 비교적 작은 직경을 가지고, 상기 바늘지지부재의 하면의 일부에 결합된 상태에서 상기 세정블록모듈의 제1삽입홀 및 제2삽입홀에 삽입되는 바늘부재;를 포함하는, 세정바늘모듈; 상기 세정액주입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하고, 상기 세정액흡입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하는 동작을 수행하는 펌프; 및 제어부;를 포함하고, 상기 노즐은 사용자에 의하여 상기 세정블록모듈의 하측에서 내주면이 상기 세정바늘모듈의 바늘부재의 외주면으로부터 기설정된 거리로 이격되도록 결합되어, 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되고, 상기 노즐세정장치는 상기 제어부에 의하여 상기 복수의 진동자에 의한 힘, 및 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 주입되거나 흡입되는 세정액에 의한 힘이 가해지는 상태에서 상기 바늘지지부재를 반복적으로 수직방향으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거할 수 있는, 노즐세정장치를 제공한다.

본 발명의 몇 실시예에서는, 상기 노즐세정장치는, 상기 펌프를 동작시켜 상기 주입밸브를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 세정액을 주입하여 상기 노즐의 내부로 압력을 가함으로써 상기 세정액이 상기 노즐의 내주면의 오염물의 일부를 상기 노즐의 하단부 측으로 밀어내도록 하고, 상기 세정블록모듈의 수용공간에 세정액이 주입되는 상태에서, 상기 바늘지지부재를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 바늘부재가 상기 노즐의 내주면의 오염물의 나머지 일부를 상기 노즐의 하단부 측으로 제거하도록 하고, 상기 오염물이 제거된 이후에, 상기 펌프를 동작시켜 상기 흡입밸브를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 수용된 세정액을 흡입할 수 있다.

본 발명의 몇 실시예에서는, 상기 제어부는, 상기 노즐을 세정하기 위한 사용자의 입력을 수신하는 입력수신부; 상기 세정블록모듈을 제어하여 상기 세정블록모듈을 수직방향으로 이동시키거나, 상기 주입밸브 및 상기 흡입밸브를 열린 상태로 제어하거나 닫힌 상태로 제어하는 세정블록모듈제어부; 상기 세정바늘모듈을 제어하여 상기 바늘지지부재가 수직방향으로 이동할 수 있도록 제어하는 세정바늘모듈제어부; 상기 펌프를 제어하여 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하거나 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하도록 제어하는 펌프제어부; 및 상기 바늘부재의 위치를 감지하여 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물이 제거되었는 지에 대한 여부를 판단하는 세정여부판단부;를 포함할 수 있다.

본 발명의 몇 실시예에서는, 상기 제어부는, 사용자에 의하여 상기 노즐이 상기 세정블록모듈의 하측에 결합된 상태에서, 상기 세정블록모듈을 하측방향으로 이동시키는 노즐세정준비단계; 상기 주입밸브를 열린 상태로 조작하고 상기 흡입밸브를 닫힌 상태로 조작하고, 상기 펌프를 동작시켜 상기 세정블록모듈을 통해 상기 노즐의 내부로 세정액을 주입한 후에 상기 바늘지지부재를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부를 1차적으로 세정하는 제1세정단계; 상기 바늘부재의 위치를 감지하여 상기 바늘부재가 기설정된 높이범위에 위치하는 지에 대한 여부를 판단하는 세정여부판단단계; 상기 세정여부판단단계에서 상기 바늘부재가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단한 경우에, 상기 바늘지지부재를 상측방향으로 이동시키고, 상기 주입밸브를 닫힌 상태로 조작하고 상기 흡입밸브를 열린 상태로 조작하고, 상기 펌프를 동작시켜 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액 및 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용된 세정액을 흡입함으로써 상기 노즐의 내부를 2차적으로 세정하면서 상기 세정블록모듈의 내부를 세정하는 제2세정단계; 및 상기 주입밸브 및 흡입밸브를 닫힌 상태로 조작하여 상기 세정블록모듈 및 상기 노즐의 내부에 주입된 세정액을 상기 초음파모듈의 내부공간으로 배출하고, 상기 세정블록모듈을 상측방향으로 이동시키는 세정완료단계;를 수행할 수 있다.

본 발명의 몇 실시예에서는, 상기 제어부는, 상기 초음파모듈을 제어하여 상기 복수의 진동자의 동작을 제어하는 초음파모듈제어부;를 더 포함하고, 사용자에 의하여 상기 노즐이 상기 세정블록모듈의 하측에 결합되어 상기 노즐의 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되는 경우에, 상기 복수의 진동자를 동작시켜 상기 복수의 진동자로부터 가해지는 힘에 의하여 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거하는 초음파세정단계;를 수행할 수 있다.

상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 본 발명의 일 실시예는 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법으로서, 상기 노즐세정장치는 내부공간에 세정액을 수용하고, 복수의 진동자가 구비된 초음파모듈; 상기 초음파모듈의 상측에 배치되고, 좌측면에 세정액주입구가 형성되어 주입밸브가 결합되고, 우측면에서 상기 세정액주입구와 마주보는 위치에 세정액흡입구가 형성되어 흡입밸브가 결합되고, 상면에 제1삽입홀이 형성되고, 하면에서 상기 제1삽입홀과 마주보는 위치에 제2삽입홀이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성되어 있는 세정블록모듈; 상기 세정블록모듈의 상측에 배치되고, 수직방향으로 이동가능한 바늘지지부재; 및 상기 디스펜서의 노즐의 내경보다 비교적 작은 직경을 가지고, 상기 바늘지지부재의 하면의 일부에 결합된 상태에서 상기 세정블록모듈의 제1삽입홀 및 제2삽입홀에 삽입되는 바늘부재;를 포함하는, 세정바늘모듈; 상기 세정액주입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하고, 상기 세정액흡입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하는 동작을 수행하는 펌프; 및 제어부;를 포함하고, 상기 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법은, 상기 노즐이 사용자에 의하여 상기 세정블록모듈의 하측에서 내주면이 상기 세정바늘모듈의 바늘부재의 외주면으로부터 기설정된 거리로 이격되도록 결합되어, 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되고, 상기 제어부에 의하여 상기 복수의 진동자에 의한 힘, 및 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 주입되거나 흡입되는 세정액에 의한 힘이 가해지는 상태에서 상기 바늘지지부재를 반복적으로 수직방향으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거할 수 있는, 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 초음파세척기의 내부공간에서 노즐 내부로 세정액을 반복적으로 주입 및 흡입하고 노즐 내경보다 작은 직경을 갖는 미세바늘을 이용하여 노즐의 내부를 세정함으로써 세정 시 노즐의 파손 및 손상을 최소화하여 노즐의 반복사용이 가능한 노즐세정장치를 제공할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 사용자가 노즐을 결합한 이후에 제어부에 의하여 노즐의 내부를 세정하기 위한 동작이 수행되는 자동세척을 구현함으로써, 세정 시 노즐의 파손 및 손상을 최소화할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐 내부의 오염물을 제거하여 세정함에 따라 액제 교체 및 변환 시 동일한 노즐을 재사용할 수 있어 경제성을 확보할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 바늘부재가 세정블록모듈에 형성된 삽입홀에 삽입되어 노즐의 내부에서 수직방향으로 이동할 수 있도록 가이딩됨에 따라, 바늘부재가 노즐의 내부를 따라서 안정적으로 이동할 수 있어 노즐세정장치의 수명을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 노즐의 내부에 형성된 오염물에 초음파모듈에 구비된 복수의 진동자에 의한 힘, 세정블록모듈의 내부로 주입되는 세정액에 의한 힘, 및 세정바늘모듈에 의한 물리적인 힘이 가해지면서 노즐의 내부를 세정함에 따라, 세정 시 노즐의 파손 및 손상을 최소화할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐세정장치의 사시도를 개략적으로 도시한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐세정장치의 단면도를 개략적으로 도시한다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 세부구성을 개략적으로 도시한다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부의 수행단계를 개략적으로 도시한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부에서 노즐세정준비단계를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부에서 제1세정단계를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부에서 세정여부판단단계를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부에서 제2세정단계 및 세정완료단계를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.

이하에서는, 다양한 실시예들 및/또는 양상들이 이제 도면들을 참조하여 개시된다. 하기 설명에서는 설명을 목적으로, 하나이상의 양상들의 전반적 이해를 돕기 위해 다수의 구체적인 세부사항들이 개시된다. 그러나, 이러한 양상(들)은 이러한 구체적인 세부사항들 없이도 실행될 수 있다는 점 또한 본 발명의 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 인식될 수 있을 것이다. 이후의 기재 및 첨부된 도면들은 하나 이상의 양상들의 특정한 예시적인 양상들을 상세하게 기술한다. 하지만, 이러한 양상들은 예시적인 것이고 다양한 양상들의 원리들에서의 다양한 방법들 중 일부가 이용될 수 있으며, 기술되는 설명들은 그러한 양상들 및 그들의 균등물들을 모두 포함하고자 하는 의도이다.

또한, 다양한 양상들 및 특징들이 다수의 디바이스들, 컴포넌트들 및/또는 모듈들 등을 포함할 수 있는 시스템에 의하여 제시될 것이다. 다양한 시스템들이, 추가적인 장치들, 컴포넌트들 및/또는 모듈들 등을 포함할 수 있다는 점 그리고/또는 도면들과 관련하여 논의된 장치들, 컴포넌트들, 모듈들 등 전부를 포함하지 않을 수도 있다는 점 또한 이해되고 인식되어야 한다.

본 명세서에서 사용되는 "실시예", "예", "양상", "예시" 등은 기술되는 임의의 양상 또는 설계가 다른 양상 또는 설계들보다 양호하다거나, 이점이 있는 것으로 해석되지 않을 수도 있다.

더불어, 용어 "또는"은 배타적 "또는"이 아니라 내포적 "또는"을 의미하는 것으로 의도된다. 즉, 달리 특정되지 않거나 문맥상 명확하지 않은 경우에, "X는 A 또는 B를 이용한다"는 자연적인 내포적 치환 중 하나를 의미하는 것으로 의도된다. 즉, X가 A를 이용하거나; X가 B를 이용하거나; 또는 X가 A 및 B 모두를 이용하는 경우, "X는A 또는 B를 이용한다"가 이들 경우들 어느 것으로도 적용될 수 있다. 또한, 본 명세서에 사용된 "및/또는"이라는 용어는 열거된 관련 아이템들 중 하나 이상의 아이템의 가능한 모든 조합을 지칭하고 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

또한, "포함한다" 및/또는 "포함하는"이라는 용어는, 해당 특징 및/또는 구성요소가 존재함을 의미하지만, 하나이상의 다른 특징, 구성요소 및/또는 이들의 그룹의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 제1, 제2 등과 같이 서수를 포함하는 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되지는 않는다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.

또한, 본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

또한, 본 발명의 실시예들에서, 별도로 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명의 실시예에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.

종래에는 고정밀 미세 디스펜싱 공정에 사용되는 미세노즐(2)의 내부를 세정하는 데에 어려움이 있어, 페이스트와 같은 액제를 교체하거나 공정을 한 번 수행한 노즐(2)은 다시 사용하지 않고 폐기하였다.

다만 미세노즐(2)의 형태를 유지하는 데에 유리하여 사용량이 증가하고 있는 세라믹 재질의 노즐(2)의 경우, 공정 중에 노즐(2)이 파손되지 않는 한 반영구적으로 사용이 가능함에도 폐기되고 있으며, 재질 특성 상 가격적인 측면에서 타 재질 대비 비교적 고가로 형성되고 있어 경제성이 매우 저하될 수 있는 문제점이 있다.

이를 해결하기 위하여 본 발명에서는 노즐(2)의 내부를 세정할 수 있는 노즐세정장치(1)를 제공하였다.

보다 상세하게는, 본 발명은 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치(1)에 해당한다. 상기 노즐세정장치(1)는 노즐(2)이 장착된 상태에서 상기 노즐(2)을 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 배치하고, 상기 노즐(2) 내부로 세정액(L)을 반복적으로 주입 및 흡입시키면서, 노즐(2) 내경보다 작은 직경을 갖는 미세바늘로 상기 노즐(2) 내부의 오염물을 외부로 밀어내어 제거할 수 있다.

즉 본 발명은 노즐(2)의 내부를 자동으로 세정할 수 있는 노즐세정장치(1)에 해당하고, 세정 시 노즐(2)의 파손 및 손상을 최소화하여 액제를 교체하거나 변환하는 경우에도 동일한 노즐(2)을 다시 사용할 수 있도록 한다.

이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐세정장치(1)에 대하여 보다 상세하게 서술하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐세정장치(1)의 사시도를 개략적으로 도시하고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 노즐세정장치(1)의 단면도를 개략적으로 도시한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치(1)는, 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치(1)로서, 내부공간에 세정액(L)을 수용하고, 복수의 진동자(110)가 구비된 초음파모듈(100); 상기 초음파모듈(100)의 상측에 배치되고, 좌측면에 세정액주입구(211)가 형성되어 주입밸브(220)가 결합되고, 우측면에서 상기 세정액주입구(211)와 마주보는 위치에 세정액흡입구(212)가 형성되어 흡입밸브(230)가 결합되고, 상면에 제1삽입홀(213)이 형성되고, 하면에서 상기 제1삽입홀(213)과 마주보는 위치에 제2삽입홀(214)이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성되어 있는 세정블록모듈(200); 상기 세정블록모듈(200)의 상측에 배치되고, 수직방향으로 이동가능한 바늘지지부재(310); 및 상기 디스펜서의 노즐(2)의 내경보다 비교적 작은 직경을 가지고, 상기 바늘지지부재(310)의 하면의 일부에 결합된 상태에서 상기 세정블록모듈(200)의 제1삽입홀(213) 및 제2삽입홀(214)에 삽입되는 바늘부재(320);를 포함하는, 세정바늘모듈(300); 상기 세정액주입구(211)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간으로 세정액(L)을 주입하고, 상기 세정액흡입구(212)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 주입된 세정액(L)을 흡입하는 동작을 수행하는 펌프(400);를 포함할 수 있다.

상기 초음파모듈(100)은 공지의 초음파세척기에 해당하는 구성으로, 노즐(2)의 내부의 오염물이 상기 노즐(2)의 내부면으로부터 분리되도록 할 수 있다.

상기 세정블록모듈(200)은 사용자가 노즐(2)을 장착할 수 있는 지지모듈에 해당하는 구성으로, 페이스트와 같은 액제를 교체하거나 변환하는 경우에 사용자가 디스펜서로부터 분리한 노즐(2)을 하면에 결합할 수 있다. 이때 상기 노즐(2)은 사용자에 의하여 상기 세정블록모듈(200)의 하측에서 내주면이 세정바늘모듈(300)의 바늘부재(320)의 외주면으로부터 기설정된 거리로 이격되도록 결합되는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 실시예에서, 상기 세정블록모듈(200)은 수직방향으로 이동가능하다. 즉 상기 세정블록모듈(200)은 사용자가 노즐(2)을 장착하는 경우에는 상측으로 이동하여 장착공간을 확보할 수 있고, 노즐(2)이 장착된 이후에는 하측으로 이동하여 상기 노즐(2)의 일부가 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용될 수 있도록 할 수 있다. 이 경우 상기 노즐(2)의 일부는 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L) 속에 담가지도록 배치되는 것이 바람직하다. 노즐(2) 세정이 완료된 후에는, 상기 세정블록모듈(200)은 다시 상측으로 이동하여 사용자가 상기 노즐(2)을 분리할 수 있도록 분리공간을 확보할 수 있다.

또한 상기 세정블록모듈(200)은 상기 노즐(2) 내부로 세정액(L)이 주입 및 흡입될 수 있도록 하는 통로에 해당하는 구성으로, 상기 노즐(2)의 내부로 세정액(L)을 주입하는 유로를 제공하거나 상기 노즐(2)의 내부에 주입된 세정액(L) 혹은 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L)을 상기 노즐(2)의 내부를 지나 흡입하는 유로를 제공할 수 있다.

바람직하게는, 상기 세정블록모듈(200)은, 세정액주입구(211), 세정액흡입구(212), 제1삽입홀(213), 및 제2삽입홀(214)이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성된 블록본체(210); 상기 블록본체(210)에 형성된 세정액주입구(211)에 결합되고, 상기 블록본체(210)의 수용공간으로 세정액(L)이 주입되도록 열린 상태를 유지하거나, 상기 블록본체(210)의 수용공간에 주입된 세정액(L)이 흡입되도록 닫힌 상태를 유지하는 주입밸브(220); 및 상기 블록본체(210)에 형성된 세정액흡입구(212)에 결합되고, 상기 블록본체(210)의 수용공간에 주입된 세정액(L)이 흡입되도록 열린 상태를 유지하거나, 상기 블록본체(210)의 수용공간으로 세정액(L)이 주입되도록 닫힌 상태를 유지하는 흡입밸브(230);를 포함할 수 있다.

이러한 구조에 의하여, 상기 세정블록모듈(200)은 상기 주입밸브(220)가 열린 상태인 경우에 상기 블록본체(210)의 수용공간으로 세정액(L)이 주입될 수 있어 상기 블록본체(210)의 하측에 결합된 상기 노즐(2)의 내부에 상기 세정액(L)을 주입시킬 수 있다. 이때 상기 세정액(L)에 의한 힘이 상기 노즐(2)의 내부로 가해질 수 있고, 이로 인하여 상기 노즐(2)의 내부의 오염물이 상기 노즐(2)의 내부면으로부터 분리되도록 할 수 있다. 이 경우 상기 세정블록모듈(200)의 흡입밸브(230)는 닫힌 상태인 것이 바람직하다.

또한 상기 세정블록모듈(200)은 상기 흡입밸브(230)가 열린 상태인 경우에 상기 블록본체(210)의 수용공간에 주입된 세정액(L)이 흡입될 수 있어 상기 블록본체(210)의 하측에 결합된 상기 노즐(2)의 내부에 주입된 세정액(L)을 흡입시킬 수 있다. 이때 상기 세정액(L)에 의한 힘이 상기 노즐(2)의 내부로 가해질 수 있고, 이로 인하여 상기 노즐(2)의 내부의 오염물의 잔여물이 상기 노즐(2)의 내부에서 제거되도록 할 수 있다. 이 경우 상기 세정블록모듈(200)의 주입밸브(220)는 닫힌 상태인 것이 바람직하다.

상기 세정바늘모듈(300)은 상기 노즐(2)의 내부의 오염물을 실질적으로 제거하는 도구에 해당하는 구성이다.

상기 세정바늘모듈(300)은 상기 바늘지지부재(310)에 의하여 전체적으로 상측방향 혹은 하측방향으로 반복적으로 이동할 수 있다. 상기 세정바늘모듈(300)이 상기 바늘지지부재(310)에 의하여 하측방향으로 이동하는 경우, 상기 바늘부재(320)는 하단이 상기 노즐(2)의 내부의 오염물을 물리적으로 분해시켜 상기 오염물에 의하여 막혀있던 상기 노즐(2)의 토출구(21)를 뚫을 수 있다.

상기 바늘부재(320)는 상기 세정블록모듈(200)의 제1삽입홀(213) 및 제2삽입홀(214)에 삽입되어, 상기 노즐(2)의 내부에서 수직방향으로 이동할 수 있도록 가이딩될 수 있다. 이러한 가이딩 구조에 의하여 상기 바늘부재(320)가 상기 바늘지지부재(310)에 의하여 수직방향으로 반복적으로 이동될 때 상기 노즐(2)의 내부를 따라서 안정적으로 이동할 수 있다. 즉 상기 바늘부재(320)가 상기 세정블록모듈(200)에 형성된 삽입홀에 삽입되어 노즐(2)의 내부에서 수직방향으로 이동할 수 있도록 가이딩됨에 따라, 상기 바늘부재(320)가 노즐(2)의 내부를 따라서 안정적으로 이동할 수 있어 노즐세정장치(1)의 수명을 향상시킬 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

상기 펌프(400)는 상기 노즐(2) 내부로 세정액(L)을 반복적으로 주입 및 흡입하기 위한 압력을 제공하는 구성이다. 보다 상세하게는, 상기 펌프(400)는 일단이 상기 세정블록모듈(200)의 세정액주입구(211)와 연결되어 있고, 상기 세정액주입구(211)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 내부로 세정액(L)을 주입하는 통로의 역할을 하는 제1유로(410); 및 일단이 상기 세정블록모듈(200)의 세정액흡입구(212)와 연결되어 있고, 상기 세정액흡입구(212)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 내부에 주입된 세정액(L)을 흡입하는 통로의 역할을 하는 제2유로(420);를 포함할 수 있다.

상기와 같은 장치구조에 의하여, 본 발명의 노즐세정장치(1)는 상기 제어부(500)에 의하여 상기 복수의 진동자(110)에 의한 힘, 및 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간으로 주입되거나 흡입되는 세정액(L)에 의한 힘이 가해지는 상태에서 상기 바늘지지부재(310)를 반복적으로 수직방향으로 이동시킴으로써 상기 노즐(2)의 내부에 형성된 오염물을 제거할 수 있다.

보다 상세하게는, 상기 노즐세정장치(1)는, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 주입밸브(220)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 세정액(L)을 주입하여 상기 노즐(2)의 내부로 압력을 가함으로써 상기 세정액(L)이 상기 노즐(2)의 내주면의 오염물의 일부를 상기 노즐(2)의 하단부 측으로 밀어내도록 하고, 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 세정액(L)이 주입되는 상태에서, 상기 바늘지지부재(310)를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 바늘부재(320)가 상기 노즐(2)의 내주면의 오염물의 나머지 일부를 상기 노즐(2)의 하단부 측으로 제거하도록 하고, 상기 오염물이 제거된 이후에, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 흡입밸브(230)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 수용된 세정액(L)을 흡입할 수 있다.

즉 본 발명의 노즐세정장치(1)는 노즐(2)의 내부에 형성된 오염물에 초음파모듈(100)에 구비된 복수의 진동자(110)에 의한 힘, 세정블록모듈(200)의 내부로 주입되는 세정액(L)에 의한 힘, 및 세정바늘모듈(300)에 의한 물리적인 힘이 가해지면서 노즐(2)의 내부를 세정함에 따라, 세정 시 노즐(2)의 파손 및 손상을 최소화할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

또한 본 발명의 노즐세정장치(1)는 노즐(2) 내부의 오염물을 제거하여 세정함에 따라 액제 교체 및 변환 시 동일한 노즐(2)을 재사용할 수 있어 경제성을 확보할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

또한, 도 1 및 도 2에는 도시되어 있지 않으나, 본 발명의 일 실시예에 따른 상기 노즐세정장치(1)는 제어부(500);를 포함한다. 상기 제어부(500)의 세부구성 및 제어에 대해서는 후술하는 도면에서 상세하게 서술하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)의 세부구성을 개략적으로 도시한다.

본 발명의 일 실시예에 따른 상기 제어부(500)는, 상기 노즐(2)을 세정하기 위한 사용자의 입력을 수신하는 입력수신부(510); 상기 세정블록모듈(200)을 제어하여 상기 세정블록모듈(200)을 수직방향으로 이동시키거나, 상기 주입밸브(220) 및 상기 흡입밸브(230)를 열린 상태로 제어하거나 닫힌 상태로 제어하는 세정블록모듈제어부(520); 상기 세정바늘모듈(300)을 제어하여 상기 바늘지지부재(310)가 수직방향으로 이동할 수 있도록 제어하는 세정바늘모듈제어부(530); 상기 펌프(400)를 제어하여 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간으로 세정액(L)을 주입하거나 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 주입된 세정액(L)을 흡입하도록 제어하는 펌프제어부(540); 및 상기 바늘부재(320)의 위치를 감지하여 상기 노즐(2)의 내부에 형성된 오염물이 제거되었는 지에 대한 여부를 판단하는 세정여부판단부(550);를 포함할 수 있다.

본 발명의 노즐세정장치(1)는 노즐(2)의 내부를 자동으로 세정할 수 있는 장치로서, 보다 상세하게는 공정이 완료되거나 액제 교체 혹은 변환 시 사용자가 디스펜서의 노즐(2)을 결합하는 경우에 상기 노즐(2)의 내부를 자동으로 세정할 수 있다. 상기 노즐세정장치(1)는 상기 제어부(500)에 의하여 전체적인 동작이 제어될 수 있고, 상기 제어부(500)는 상기 세정블록모듈(200), 상기 세정바늘모듈(300), 및 상기 펌프(400)와 전기적으로 연결되어 있어 사용자의 입력신호에 따라 상기 초음파모듈(100), 상기 세정블록모듈(200), 상기 세정바늘모듈(300), 및 상기 펌프(400) 각각의 동작을 제어할 수 있는 것이 바람직하다.

한편, 본 발명의 일 실시예에서 상기 제어부(500)는 상기 초음파모듈(100)을 제어하여 상기 복수의 진동자(110)의 동작을 제어하는 초음파모듈제어부(560);를 더 포함할 수 있다. 이 경우 상기 제어부(500)는 상기 초음파모듈(100)과 전기적으로 연결되어 있어 사용자의 입력신호에 따라 상기 초음파모듈(100)의 동작을 제어할 수 있는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)의 수행단계를 개략적으로 도시한다.

상기 제어부(500)는 노즐세정준비단계(S10), 제1세정단계(S20), 세정여부판단단계(S30), 제2세정단계(S40), 및 세정완료단계(S50)를 수행할 수 있다.

보다 상세하게는, 상기 노즐세정준비단계(S10)에서는 사용자에 의하여 상기 노즐(2)이 상기 세정블록모듈(200)의 하측에 결합된 상태에서, 상기 세정블록모듈(200)을 하측방향으로 이동시킬 수 있다.

이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 입력수신부(510)를 통해 노즐(2)을 세정하기 위한 사용자의 입력을 수신하고, 상기 세정블록모듈제어부(520)를 통해 상기 세정블록모듈(200)을 하측방향으로 이동시켜 상기 노즐(2)의 일부가 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용될 수 있도록 배치하는 것이 바람직하다.

상기 제1세정단계(S20)에서는 상기 주입밸브(220)를 열린 상태로 조작하고 상기 흡입밸브(230)를 닫힌 상태로 조작하고, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 세정블록모듈(200)을 통해 상기 노즐(2)의 내부로 세정액(L)을 주입한 후에 상기 바늘지지부재(310)를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 노즐(2)의 내부를 1차적으로 세정할 수 있다.

이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 세정블록모듈제어부(520)를 통해 상기 주입밸브(220) 및 상기 흡입밸브(230)를 조작하고, 상기 펌프제어부(540)를 통해 상기 펌프(400)가 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간으로 세정액(L)을 주입하도록 제어하고, 상기 세정바늘모듈제어부(530)를 통해 상기 바늘지지부재(310)가 상측방향 혹은 하측방향으로 이동할 수 있도록 제어하는 것이 바람직하다. 상기 제어부(500)는 상기 세정바늘모듈제어부(530)에 의한 제어를 반복적으로 수행하여 상기 바늘지지부재(310)가 수직방향으로 반복적으로 이동할 수 있다.

즉 상기 노즐세정장치(1)는 상기 제1세정단계(S20)를 통해 상기 노즐(2)의 내부를 실질적으로 세정할 수 있다.

상기 세정여부판단단계(S30)에서는 상기 바늘부재(320)의 위치를 감지하여 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치하는 지에 대한 여부를 판단할 수 있다.

이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 세정여부판단부(550)를 통해 상기 바늘부재(320)의 위치를 감지한다. 보다 상세하게는, 상기 제어부(500)는 상기 바늘부재(320)의 하단이 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터의 거리에서 기설정된 높이범위로 이격되어 있는 지에 대한 여부를 판단함으로써 상기 바늘부재(320)의 위치를 감지할 수 있다.

예를들어, 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터의 거리가 A라고 할 때, 상기 제어부(500)는 상기 세정여부판단부(550)를 통해 상기 바늘부재(320)의 하단이 A에서 기설정된 범위 내에 있는 경우에 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단할 수 있고, 상기 바늘부재(320)의 하단이 A에서 기설정된 범위 이외에 있는 경우에 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치하지 않는다고 판단할 수 있다.

상기 제2세정단계(S40)에서는 상기 세정여부판단계(S30)에서 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단한 경우에, 상기 바늘지지부재(310)를 상측방향으로 이동시키고, 상기 주입밸브(220)를 닫힌 상태로 조작하고 상기 흡입밸브(230)를 열린 상태로 조작하고, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 세정블록모듈(200)을 통해 상기 노즐(2)의 내부로 주입된 세정액(L) 및 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L)을 흡입함으로써 상기 노즐(2)의 내부를 2차적으로 세정하면서 상기 세정블록모듈(200)의 내부를 세정할 수 있다.

이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 세정블록모듈제어부(520)를 통해 상기 주입밸브(220) 및 상기 흡입밸브(230)를 조작하고, 상기 펌프제어부(540)를 통해 상기 펌프(400)가 상기 세정블록모듈(200)의 수용공간에 주입된 세정액(L) 및 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L)을 흡입하도록 제어하고, 상기 세정바늘모듈제어부(530)를 통해 상기 바늘지지부재(310)를 상측방향으로 이동할 수 있도록 제어하는 것이 바람직하다.

즉 상기 노즐세정장치(1)는 상기 제2세정단계(S40)를 통해 상기 노즐(2)의 내부 및 상기 세정블록모듈(200)에 잔존하는 부유물 혹은 오염물의 잔해를 외부로 배출시킬 수 있다.

상기 세정완료단계(S50)에서는 상기 주입밸브(220) 및 흡입밸브(230)를 닫힌 상태로 조작하여 상기 세정블록모듈(200) 및 상기 노즐(2)의 내부에 주입된 세정액(L)을 상기 초음파모듈(100)의 내부공간으로 배출하고, 상기 세정블록모듈(200)을 상측방향으로 이동시킬 수 있다.

이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 세정블록모듈제어부(520)를 통해 상기 흡입밸브(230)를 조작하고, 상기 세정블록모듈(200)을 상측방향으로 이동시켜 사용자가 세정이 완료된 노즐(2)을 제거할 수 있도록 공간을 확보하는 것이 바람직하다.

한편, 상기 제어부(500)는 전술한 바와 같이 초음파모듈제어부(560)를 포함함에 따라, 사용자에 의하여 상기 노즐(2)이 상기 세정블록모듈(200)의 하측에 결합되어 상기 노즐(2)의 일부가 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용되는 경우에, 상기 복수의 진동자(110)를 동작시켜 상기 복수의 진동자(110)로부터 가해지는 힘에 의하여 상기 노즐(2)의 내부에 형성된 오염물을 제거하는 초음파세정단계;를 수행할 수 있다. 이 단계에서 상기 제어부(500)는, 상기 초음파모듈제어부(560)를 통해 상기 초음파모듈(100)에 구비된 복수의 진동자(110)를 동작시키는 것이 바람직하다.

또한 상기 제어부(500)는 상기 노즐세정준비단계(S10) 이후에 상기 초음파세정단계를 지속적으로 수행할 수 있다. 바람직하게는, 상기 제어부(500)는 상기 노즐세정준비단계(S10)를 수행한 이후에, 상기 제1세정단계(S20), 상기 세정여부판단단계(S30), 및 상기 제2세정단계(S40)를 수행하면서 상기 초음파세정단계를 동시에 수행할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 노즐세정장치(1)는, 사용자가 노즐(2)을 결합한 이후에 제어부(500)에 의하여 상기 노즐(2)의 내부를 세정하기 위한 동작이 수행되는 자동세척을 구현함으로써, 세정 시 노즐(2)의 파손 및 손상을 최소화할 수 있는 효과를 발휘할 수 있다.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)에서 노즐세정준비단계(S10)를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.

본 발명의 노즐세정장치(1)는 노즐(2)을 세정하지 않는 상태에서는 구성요소들이 도 5(a)에 도시된 바와 같이 배치될 수 있다. 이때 상기 제어부(500)는 세정블록모듈(200)을 상측방향으로 이동시켜 사용자가 노즐(2)을 상기 세정블록모듈(200)의 하측에 결합하기 위한 공간을 확보시킬 수 있다. 이후에 도 5(b)에서와 같이 사용자가 상기 세증블록모듈의 하측에 상기 노즐(2)을 결합한 이후에는, 도 5(c)에 도시된 바와 같이 상기 제어부(500)는 상기 세정블록모듈(200)을 하측방향으로 이동시켜 도 5(d)에서와 같이 상기 노즐(2)의 일부가 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용될 수 있도록 위치시킬 수 있다.

이때 도 5(d)에 도시된 바와 같이, 상기 노즐(2)의 일부는 상기 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L)에 담가지는 것이 바람직하고, 이 상태에서 상기 초음파모듈(100)에 구비된 복수의 진동자(110)가 동작하여 상기 노즐(2) 측으로 상기 복수의 진동자(110)에 의한 힘이 가해져 상기 노즐(2)의 내부의 오염물의 일부가 상기 노즐(2)의 내부벽으로부터 분리될 수 있다.

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)에서 제1세정단계(S20)를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.

상기 제어부(500)는 상기 제1세정단계(S20)에서, 도 6(a)에서와 같이 상기 주입밸브(220)를 열린 상태로 조작하고 상기 흡입밸브(230)를 닫힌 상태로 조작한 상태에서, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 세정블록모듈(200)을 통해 상기 노즐(2)의 내부로 세정액(L)을 주입한다. 이 경우 상기 세정액(L)에 의한 힘이 상기 노즐(2)의 내부의 오염물로 가해져 상기 오염물의 일부가 상기 노즐(2)의 내부벽으로부터 분리될 수 있으나, 상기 노즐(2)의 토출구(21)가 뚫리지 않아 상기 오염물이 외부로 배출되지 않는다. 이로 인하여 바늘부재(320)의 하단은 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터 D1의 높이만큼 이격되어 위치할 수 있다.

이후에 상기 제어부(500)는 도 6(b)에서와 같이 상기 세정블록모듈(200)을 상측방향으로 이동시킨다. 이 경우 도 6(a) 대비 비교적 많은 세정액(L)이 상기 노즐(2)의 내부로 주입될 수 있어, 상기 세정액(L)에 의한 힘은 도 6(a) 대비 도 6(b)에서 비교적 강해질 수 있고, 상기 오염물의 일부가 상기 노즐(2)의 내부벽으로부터 보다 효과적으로 분리될 수 있다.

이후에 상기 제어부(500)는 도 6(c)에서와 같이 상기 세정블록모듈(200)을 하측방향으로 이동시킨다. 이 경우 상기 세정블록모듈(200)의 이동에 의한 힘이 바늘부재(320)의 하단을 통해 상기 노즐(2)의 내부의 오염물로 가해질 수 있다. 다만 이 경우에도 상기 노즐(2)의 토출구(21)가 뚫리지 않아 상기 오염물이 외부로 배출되지 않으며, 상기 바늘부재(320)의 하단은 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터 D2의 높이만큼 이격되어 위치한다. 이때 상기 D2는 상기 D1 대비 비교적 낮은 높이에 해당하는 것이 바람직하다.

상기 제어부(500)는 도 6(b) 및 도 6(c)를 반복적으로 수행할 수 있다. 이로 인하여 도 6에는 도시되어 있지 않으나, 상기 오염물은 상기 초음파모듈(100)의 복수의 진동자(110)에 의한 힘과 상기 세정액(L)에 의한 힘에 의하여 상기 노즐(2)의 내부벽으로부터 일부 분리된 상태에서 상기 바늘부재(320)에 의하여 물리적으로 분해되고, 상기 노즐(2)의 토출구(21)가 뚫리면서 내부가 세정될 수 있다. 상기 제어부(500)는 도 6(b) 및 도 6(c)를 반복할수록 상기 바늘지지부재(310)를 점점 더 하측으로 이동시키는 것이 바람직하다.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)에서 세정여부판단단계(S30)를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.

전술한 바와 같이, 상기 제어부(500)는 세정여부판단단계(S30)를 수행함으로써, 상기 바늘부재(320)의 하단이 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터의 거리에서 기설정된 높이범위로 이격되어 있는 지에 대한 여부를 판단함으로써 상기 바늘부재(320)의 위치를 감지할 수 있다.

예를들어, 본 발명의 일 실시예에서 도 7(a)는 제1세정단계(S20)가 수행되는 상태에 해당하며, 상기 바늘부재(320)의 하단은 노즐(2)의 내부의 오염물에 의하여 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터 D2의 높이만큼 이격되어 배치되어 있다. 상기 D2가 기설정된 범위 이외에 해당하는 경우, 상기 제어부(500)는 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단하지 않고 전술한 제1세정단계(S20)를 다시 수행한다.

반면 도 7(b)는 제1세정단계(S20)에서 상기 세정블록모듈(200)이 수직방향으로 반복적으로 이동이 완료되어, 상기 노즐(2)의 토출구(21)가 뚫린 상태에 해당한다. 이때 상기 바늘부재(320)의 하단은 상기 초음파모듈(100)의 바닥면으로부터 D3의 높이만큼 이격되어 배치되어 있다. 상기 D3가 기설정된 범위 내에 해당하는 경우, 상기 제어부(500)는 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단한다.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 제어부(500)에서 제2세정단계(S40) 및 세정완료단계(S50)를 수행하는 실시예를 개략적으로 도시한다.

상기 제어부(500)는 상기 제2세정단계(S40)에서 상기 바늘부재(320)가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단한 경우에, 도 8(a)에서와 같이 상기 바늘지지부재(310)를 상측방향으로 이동시키고 상기 흡입밸브(230)를 열린 상태로 조작하고 상기 주입밸브(220)를 닫힌 상태로 조작한 상태에서, 상기 펌프(400)를 동작시켜 상기 세정블록모듈(200)을 통해 상기 노즐(2)의 내부에 주입된 세정액(L) 및 초음파모듈(100)의 내부공간에 수용된 세정액(L)을 흡입한다. 이 경우 상기 세정액(L)에 의한 힘이 상기 노즐(2)의 내부와 상기 세정블록모듈(200)의 내부공간에 잔존하는 오염물을 제2유로(420)를 통해 상기 세정블록모듈(200)의 외부로 배출할 수 있다.

이후에 상기 제어부(500)는 상기 세정완료단계(S50)에서, 도 8(b)에서와 같이 상기 흡입밸브(230)를 닫힌 상태로 조작하여 상기 세정블록모듈(200) 및 상기 노즐(2)의 내부에 주입된 세정액(L)을 상기 초음파모듈(100)의 내부공간으로 배출하고, 도 8(c)에서와 같이 상기 세정블록모듈(200)을 상측방향으로 이동시켜 사용자가 세정이 완료된 노즐(2)을 제거하기 위한 공간을 확보시킬 수 있다.

이상과 같이 실시 예들이 비록 한정된 실시 예와 도면에 의해 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 시스템, 구조, 장치, 회로 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다. 그러므로, 다른 구현들, 다른 실시예들 및 특허청구범위와 균등한 것들도 후술하는 특허청구범위의 범위에 속한다.

1: 노즐세정장치
100: 초음파모듈 110: 진동자
200: 세정블록모듈 210: 블록본체
211: 세정액주입구 212: 세정액흡입구
213: 제1삽입홀 214: 제2삽입홀
220: 주입밸브 230: 흡입밸브
300: 세정바늘모듈
310: 바늘지지부재 320: 바늘부재
400: 펌프
410: 제1유로 420: 제2유로
500: 제어부
510: 입력수신부 520: 세정블록모듈제어부
530: 세정바늘모듈제어부 540: 펌프제어부
550: 세정여부판단부 560: 초음파모듈제어부
2: 노즐 21: 토출구
L: 세정액

Claims

디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치로서,
내부공간에 세정액을 수용하고, 복수의 진동자가 구비된 초음파모듈;
상기 초음파모듈의 상측에 배치되고, 좌측면에 세정액주입구가 형성되어 주입밸브가 결합되고, 우측면에서 상기 세정액주입구와 마주보는 위치에 세정액흡입구가 형성되어 흡입밸브가 결합되고, 상면에 제1삽입홀이 형성되고, 하면에서 상기 제1삽입홀과 마주보는 위치에 제2삽입홀이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성되어 있는 세정블록모듈;
상기 세정블록모듈의 상측에 배치되고, 수직방향으로 이동가능한 바늘지지부재; 및 상기 디스펜서의 노즐의 내경보다 비교적 작은 직경을 가지고, 상기 바늘지지부재의 하면의 일부에 결합된 상태에서 상기 세정블록모듈의 제1삽입홀 및 제2삽입홀에 삽입되는 바늘부재;를 포함하는, 세정바늘모듈;
상기 세정액주입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하고, 상기 세정액흡입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하는 동작을 수행하는 펌프; 및
제어부;를 포함하고,
상기 노즐은 사용자에 의하여 상기 세정블록모듈의 하측에서 내주면이 상기 세정바늘모듈의 바늘부재의 외주면으로부터 기설정된 거리로 이격되도록 결합되어, 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되고,
상기 노즐세정장치는 상기 제어부에 의하여 상기 복수의 진동자에 의한 힘, 및 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 주입되거나 흡입되는 세정액에 의한 힘이 가해지는 상태에서 상기 바늘지지부재를 반복적으로 수직방향으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거할 수 있는, 노즐세정장치.
청구항 1에 있어서,
상기 노즐세정장치는,
상기 펌프를 동작시켜 상기 주입밸브를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 세정액을 주입하여 상기 노즐의 내부로 압력을 가함으로써 상기 세정액이 상기 노즐의 내주면의 오염물의 일부를 상기 노즐의 하단부 측으로 밀어내도록 하고,
상기 세정블록모듈의 수용공간에 세정액이 주입되는 상태에서, 상기 바늘지지부재를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 바늘부재가 상기 노즐의 내주면의 오염물의 나머지 일부를 상기 노즐의 하단부 측으로 제거하도록 하고,
상기 오염물이 제거된 이후에, 상기 펌프를 동작시켜 상기 흡입밸브를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 수용된 세정액을 흡입하는, 노즐세정장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
상기 노즐을 세정하기 위한 사용자의 입력을 수신하는 입력수신부;
상기 세정블록모듈을 제어하여 상기 세정블록모듈을 수직방향으로 이동시키거나, 상기 주입밸브 및 상기 흡입밸브를 열린 상태로 제어하거나 닫힌 상태로 제어하는 세정블록모듈제어부;
상기 세정바늘모듈을 제어하여 상기 바늘지지부재가 수직방향으로 이동할 수 있도록 제어하는 세정바늘모듈제어부;
상기 펌프를 제어하여 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하거나 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하도록 제어하는 펌프제어부; 및
상기 바늘부재의 위치를 감지하여 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물이 제거되었는 지에 대한 여부를 판단하는 세정여부판단부;를 포함하는, 노즐세정장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
사용자에 의하여 상기 노즐이 상기 세정블록모듈의 하측에 결합된 상태에서, 상기 세정블록모듈을 하측방향으로 이동시키는 노즐세정준비단계;
상기 주입밸브를 열린 상태로 조작하고 상기 흡입밸브를 닫힌 상태로 조작하고, 상기 펌프를 동작시켜 상기 세정블록모듈을 통해 상기 노즐의 내부로 세정액을 주입한 후에 상기 바늘지지부재를 수직방향으로 반복적으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부를 1차적으로 세정하는 제1세정단계;
상기 바늘부재의 위치를 감지하여 상기 바늘부재가 기설정된 높이범위에 위치하는 지에 대한 여부를 판단하는 세정여부판단단계;
상기 세정여부판단단계에서 상기 바늘부재가 기설정된 높이범위에 위치한다고 판단한 경우에, 상기 바늘지지부재를 상측방향으로 이동시키고, 상기 주입밸브를 닫힌 상태로 조작하고 상기 흡입밸브를 열린 상태로 조작하고, 상기 펌프를 동작시켜 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액 및 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용된 세정액을 흡입함으로써 상기 노즐의 내부를 2차적으로 세정하면서 상기 세정블록모듈의 내부를 세정하는 제2세정단계; 및
상기 주입밸브 및 흡입밸브를 닫힌 상태로 조작하여 상기 세정블록모듈 및 상기 노즐의 내부에 주입된 세정액을 상기 초음파모듈의 내부공간으로 배출하고, 상기 세정블록모듈을 상측방향으로 이동시키는 세정완료단계;를 수행하는, 노즐세정장치.
청구항 1에 있어서,
상기 제어부는,
상기 초음파모듈을 제어하여 상기 복수의 진동자의 동작을 제어하는 초음파모듈제어부;를 더 포함하고,
사용자에 의하여 상기 노즐이 상기 세정블록모듈의 하측에 결합되어 상기 노즐의 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되는 경우에, 상기 복수의 진동자를 동작시켜 상기 복수의 진동자로부터 가해지는 힘에 의하여 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거하는 초음파세정단계;를 수행하는, 노즐세정장치.
디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법으로서,
상기 노즐세정장치는 내부공간에 세정액을 수용하고, 복수의 진동자가 구비된 초음파모듈; 상기 초음파모듈의 상측에 배치되고, 좌측면에 세정액주입구가 형성되어 주입밸브가 결합되고, 우측면에서 상기 세정액주입구와 마주보는 위치에 세정액흡입구가 형성되어 흡입밸브가 결합되고, 상면에 제1삽입홀이 형성되고, 하면에서 상기 제1삽입홀과 마주보는 위치에 제2삽입홀이 형성되고, 내부에 수용공간이 형성되어 있는 세정블록모듈; 상기 세정블록모듈의 상측에 배치되고, 수직방향으로 이동가능한 바늘지지부재; 및 상기 디스펜서의 노즐의 내경보다 비교적 작은 직경을 가지고, 상기 바늘지지부재의 하면의 일부에 결합된 상태에서 상기 세정블록모듈의 제1삽입홀 및 제2삽입홀에 삽입되는 바늘부재;를 포함하는, 세정바늘모듈; 상기 세정액주입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 세정액을 주입하고, 상기 세정액흡입구를 통해 상기 세정블록모듈의 수용공간에 주입된 세정액을 흡입하는 동작을 수행하는 펌프; 및 제어부;를 포함하고,
상기 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법은,
상기 노즐이 사용자에 의하여 상기 세정블록모듈의 하측에서 내주면이 상기 세정바늘모듈의 바늘부재의 외주면으로부터 기설정된 거리로 이격되도록 결합되어, 일부가 상기 초음파모듈의 내부공간에 수용되고,
상기 제어부에 의하여 상기 복수의 진동자에 의한 힘, 및 상기 세정블록모듈의 수용공간으로 주입되거나 흡입되는 세정액에 의한 힘이 가해지는 상태에서 상기 바늘지지부재를 반복적으로 수직방향으로 이동시킴으로써 상기 노즐의 내부에 형성된 오염물을 제거할 수 있는, 디스플레이/반도체 공정에서 사용되는 디스펜서용 노즐세정장치를 이용하여 노즐의 내부를 세정하는 방법.