KR20230138271A - 도전성 진공 흡착 실린더 - Google Patents

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KR20230138271A
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문종명
성병삼
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한국에스엠씨 주식회사
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Abstract

본 발명은 도전성 진공 흡착 실린더에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 몸체부, 워크를 흡착하는 패드가 고정되는 패드 홀더부, 패드 홀더부와 결합되며, 반대편에 몸체부와 슬라이딩 가능하게 결합되고, 관통된 유로를 포함하는 진공부, 몸체부에 형성된 홈에 슬라이딩 가능하게 결합되는 피스톤 및 피스톤의 일측이 관통되며 몸체부에 형성된 홈을 닫는 피스톤 커버를 포함하는 구동부, 및 진공부와 구동부가 각각 결합되며, 워크에 가해지는 충격을 완충하는 완충부를 포함하는 버퍼부를 포함하며, 구동부 및 버퍼부는 스프링을 포함하고, 구동부 및 버퍼부 중 적어도 하나는 스프링과 결합되는 스프링 결합홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

도전성 진공 흡착 실린더{Conductive Vacuum Suction Cylinder}
진공을 통해 워크를 흡착해 이송하는 실린더에 대한 것으로, 상세하게는 워크와 접촉하는 과정에서 발생한 정전기를 외부로 내보낼 수 있는 도전성 진공 흡착 실린더에 관한 것이다.
종래에는 반도체에 사용되는 워크를 이송하기 위해서 진공흡착 실린더를 통해 운송했으며, 진공흡착 실린더는 내부의 기압을 대기압보다 낮추어 흡착하는 방식으로 워크를 운송하였고, 내부의 기압을 낮추기 위해 내부의 공기를 외부로 배출할 수 있었다. 이때, 진공흡착 실린더 내부의 낮아진 기압으로 인해 진공흡착 실린더 외부의 공기가 진공흡착 실린더의 내부로 유입되며 공기가 내부로 유입되는 경로에 워크를 배치하여 진공흡착 실린더가 워크를 흡착하였다.
위와 같은 종래의 진공흡착 실린더가 워크를 이송하는 과정에서 워크와 진공흡착 실린더가 접촉하는 순간 정전기가 발생했고, 접촉에 의해 발생한 정전기가 워크에 손상을 일으키는 문제점이 있었다.
(0001) 10-2010-0034936 A (미래산업 주식회사) 공개일:2008.09.25
본 발명은 위와 같은 문제를 해결하기 위해 도출된 것으로 워크가 진공흡착 실린더와 접촉하는 과정에서 발생한 정전기를 안정적으로 유도해줌으로서 워크가 정전기에 의해 손상을 입지 않도록 하는 것을 목적으로 하고 있다.
또한, 내부에 배치된 스프링이 진공흡착 실린더가 작동되는 동안에 접촉면이 변하지 않도록 하는 목적이 있고, 스프링과 진공흡착 실린더가 접촉하는 면을 확대시키는 목적이 있으며, 확대된 접촉면으로 낮은 저항을 형성하려는 것을 목적으로 하고 있다.
상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 진공 흡착 실린더는 몸체부, 워크를 흡착하는 패드가 고정되는 패드 홀더부, 패드 홀더부와 결합되며, 반대편에 몸체부와 슬라이딩 가능하게 결합되고, 관통된 유로를 포함하는 진공부, 몸체부에 형성된 홈에 슬라이딩 가능하게 결합되는 피스톤 및 피스톤의 일측이 관통되며 몸체부에 형성된 홈을 닫는 피스톤 커버를 포함하는 구동부, 및 진공부와 구동부가 각각 결합되며, 워크에 가해지는 충격을 완충하는 완충부를 포함하는 버퍼부를 포함하며, 구동부 및 버퍼부는 스프링을 포함하고, 구동부 및 버퍼부 중 적어도 하나는 스프링과 결합되는 스프링 결합 홈이 형성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 도전성 진공 흡착 실린더는 제1항에 있어서 스프링 결합 홈은 피스톤 및 피스톤 커버 중 적어도 하나의 외부에 스프링과 결합되기 위해 형성된 제1스프링 결합 홈, 및 완충부의 내부에 형성된 제2스프링 결합 홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제1스프링 결합 홈은 스프링의 형태와 대응되도록 형성된 제1사선홈, 및 제1사선홈과 연결된 제1단차홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 완충부는 내벽에 제2스프링 결합 홈이 형성되고, 제2스프링 결합 홈에 스프링의 일측이 결합되는 헤드부, 및 내벽에 제2스프링 결합 홈이 형성되고, 제2스프링 결합 홈에 스프링의 타측이 결합되는 슬리브를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제2스프링 결합 홈은 스프링의 형태와 대응되도록 형성된 제2사선홈, 및 제2사선홈과 연결된 제2단차홈을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 구동부 및 완충부 중 적어도 하나는 구배가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 구동부의 피스톤 및 피스톤 커버의 외벽과, 완충부의 헤드부 및 슬리브의 내벽에 구배가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 몸체부는 진공부 및 구동부로 유체가 흐를 수 있는 유체홀이 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 내부에 유로가 형성되고, 몸체부에 부착되며 진공부 및 구동부의 내부로 유체가 드나들 수 있도록 연결된 노즐부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 스프링은 양끝에는 형성된 제1코일부 사이에 제2코일부가 배치되며, 제1코일부에 비해서 제2코일부의 피치가 큰 것을 특징으로 한다.
상술한 본 발명으로 스프링은 버퍼부 혹은 구동부에 형성된 홈에 배치되는 것을 통해 진공흡착 실린더가 작동되어 발생하는 진동, 충격, 탄성 등의 영향에도 접촉면이 떨어지지 않고 고정(최소화)될 수 있다.
구동부와 버퍼부에 형성된 결합 홈에 고정된 스프링은 구동부 또는 버퍼부와 접촉되는 면적을 넓힐 수 있으며, 넓은 접촉면적으로 스프링과 연결되는 구동부 및 버퍼부는 낮은 저항 값을 가지는 전기가 지나는 경로를 만들 수 있다.
낮은 저항 값을 가지는 경로는 전기가 다른 경로로 흐르지 않고 낮은 저항을 따라서 안정적으로 흐를 수 있게 하며, 이를 통해 전기를 안정적 외부로 내보낼 수 있다.
결국, 워크와 패드간의 접촉에 의해 발생한 전기(정전기)가 외부로 안정적으로 내보내게 되면서 워크의 손상을 방지하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명 실시예 1의 진공 흡착 실린더의 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명 실시예 1의 진공 흡착 실린더의 전체 단면도이다.
도 3은 본 발명 실시예 1의 버퍼부의 확대도이다.
도 4는 본 발명 실시예 1의 헤드부의 확대 단면도이다.
도 5는 본 발명 실시예 1의 슬리브의 확대 단면도이다.
도 6은 본 발명 실시예 1의 구동부의 확대도이다.
도 7은 본 발명 실시예 1의 피스톤 커버의 확대도이다.
도 8은 본 발명 실시예 1의 피스톤의 확대도이다.
도 9는 본 발명 실시예 1의 스프링과 결합된 부품의 확대도이다.
도 10은 본 발명 실시예 1의 진공 흡착 실린더의 전도흐름도이다.
도 11은 본 발명 실시예 1의 진공 흡착 실린더의 작동순서도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 본 명세서 사용되는 용어들은 본 발명의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 하여 내려져야 할 것이다.
아울러, 아래에 개시된 실시예는 본 발명의 권리범위를 한정하는 것이 아니라 본 발명의 청구범위에 제시된 구성요소의 예시적인 사항에 불과하며, 본 발명의 명세서 전반에 걸친 기술사상에 포함되고 청구범위의 구성요소에서 균등물로서 치환 가능한 구성요소를 포함하는 실시예는 본 발명의 권리범위에 포함될 수 있다.
그리고 아래에 개시된 실시예에서의 "제1", "제2", "일측(면)", "타측(면)" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위해 사용되는 것으로서, 구성요소가 상기 용어들에 의해 제한되는 것은 아니다. 이하, 본 발명을 설명함에 있어서, 본 발명의 요지를 흐릴 수 있는 공지 기술에 대한 상세한 설명은 생략한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 도전성 진공 흡착 실린더(1000)는 몸체부(100), 몸체부(100)에 삽입되며 상부로 연장된 진공부(300), 양측이 관통되고 진공부(300)의 일측에 결합되고 워크(3, 도 10 참조)와 흡착되는 패드(2)를 고정시킬 수 있는 패드 홀더부(200), 후술할 구동부(500, 도2 참조)와 진공부(300)를 연결해주고 구동부(500)의 충격을 완화시키는 버퍼부(400) 및 패드(2)와 워크(3)가 접촉하여 흡착할 수 있도록 상하 방향으로 움직이는 구동부(500)를 포함할 수 있다.
추가로 몸체부(100)에 부착되며 진공부(300)와 구동부(500)에 연결된 노즐부(600)를 더 포함할 수 있다. 여기서 구동부(500)는 몸체부(100)와 버퍼부(400)에 삽입되어 있어 미도시 되었으며, 워크(3)는 반도체 소자, 칩 및 디바이스를 포함한다.
몸체부(100)는 진공부(300)와 구동부(500)가 삽입될 수 있는 홈이 형성되어 있고, 진공부(300)와 구동부(500)가 삽입된 홈으로부터 연장된 유체홈(110)이 형성되며, 유체홈(110)은 진공부(300)와 구동부(500) 각각으로 유체가 출입할 수 있는 역할을 한다. 여기서 출입이 자유로운 유체와 진공부(300) 및 구동부(500)간의 상관관계는 도 11을 통해서 상세히 설명한다.
패드 홀더부(200)는 상술한바와 같이 워크(3)에 접촉하는 패드(2)를 고정시키며, 패드(2)가 고정된 부분의 반대편에 진공부(300)가 결합된다. 결합된 진공부(300)와 패드(2)를 이어주는 관이 내부에 형성되어 있으며, 내부에 형성된 관을 통해 패드(2)와 워크(3)가 흡착할 수 있도록 해준다. 여기서 진공부(300), 버퍼부(400), 구동부(500) 및 노즐부(600)에 대한 설명은 도 2를 통해 상세히 설명한다.
도 2에 도시된 바와 같이, 도전성 진공 흡착 실린더(1000)는 상술한 바와 같이 몸체부(100), 진공부(300), 패드 홀더부(200), 진공부(300), 버퍼부(400), 구동부(500) 및 노즐부(600)를 포함할 수 있다. 여기서는 진공부(300), 버퍼부(400), 구동부(500) 및 노즐부(600)에 대해 상세히 설명한다.
진공부(300)는 상술한 패드 홀더부(200)와 결합되며 패드 홀더부(200)가 결합된 부분의 반대편이 몸체부(100)에 형성된 홀에 삽입된다. 몸체부(100)에 형성된 홀에는 진공부(300)가 내부에서 슬라이드 할 수 있도록 결합된다.
구동부(500)는 피스톤 몸체(511)와 피스톤 로드(512)를 포함하는 피스톤(510)과 몸체부(100)에 형성된 홈을 덮고 피스톤 로드(512)가 관통되는 피스톤 커버(520)를 포함하며, 피스톤(510)은 몸체부(100)에 형성된 유체홈(110)을 통해 유입된 기체로 인해 몸체부(100)의 홈에서 움직이게 된다. 바람직하게는 피스톤 커버(520)를 관통한 피스톤 로드(512)가 몸체부(100)에 돌출되어 상하 운동을 한다.
버퍼부(400)는 진공부(300)와 구동부(500)를 연결해주는 역할을 함과 동시에 구동부(500)가 상하 방향으로 움직이는 운동을 함으로서 발생하는 흡수하는 역할을 한다. 버퍼부(400)의 구성에 대한 보다 자세한 설명은 도 7을 통해 설명한다.
상술한 바와 같이 몸체부(100)에 부착된 노즐부(600)는 진공부(300)와 구동부(500)에 각각 기체가 외부로부터 공급받기 쉽도록 내부에 빈 공간이 형성된다. 바람직하게는 구동부(500)에는 복수의 노즐부(600)가 연결된다.
또한, 구동부(500)와 버퍼부(400)에는 스프링(1)이 결합되는 스프링 결합 홈(미도시)이 형성되어 있으며 이와 관련해서는 다른 도면을 통해 상세히 설명한다.
도 3에 도시된 바와 같이, 버퍼부(400)는 진공부(300)와 구동부(500)가 연결되는 연결부(410), 연결부(410)에 삽입되어 구동부(500)와 결합하는 완충부(420)를 포함한다. 그리고 완충부(420)는 헤드부(421), 슬리브(422), 스프링(1)을 포함한다.
연결부(410)는 복수의 홀이 형성되어 있으며, 바람직하게는 도면을 기준으로 측면에서 바라봤을 때 90도로 꺾어진 형태이며, 상부에서 바라봤을 때 복수의 홀이 일렬로 형성된다. 복수의 홀은 제1결합홀(421) 및 제2결합홀(422)로 나뉘며 제1결합홀(421)에는 진공부(300)가 결합되고 제2결합홀(422)에는 구동부(500)가 결합된다. 제2결합홀(422)에는 복수의 단이 형성되어 있다.
완충부(420)는 상술한 바와 같이 제2결합홀(422)에 삽입되고 양측이 관통된 슬리브(422), 슬리브(422)의 내부에 삽입되는 스프링(1) 및 슬리브(422)와 스프링(1)이 결합된 부분과 반대편에 결합하는 헤드부(421)를 포함한다. 완충부(420)의 내부에는 스프링 결합 홈(미도시)에 포함되는 제2스프링 결합 홈(430)이 형성되고 헤드부(421)와 슬리브(422)에 적어도 하나에는 제2스프링 결합 홈(430)이 형성된다.
슬리브(422)는 한쪽에는 피스톤 로드(512)와 결합되고 반대편에는 볼트가 삽입되어 피스톤 로드(512)와 슬리브(422)가 결합된다. 또한, 내벽에 스프링(1)이 결합되는 제2스프링 결합 홈(430)이 형성되어 있으며, 스프링(1)이 제2스프링 결합 홈(430)에 삽입된다.
헤드부(421)는 양측이 관통되고 외벽에 복수의 단이 형성되어 있으며, 연결부(410)와 접촉된다. 헤드부(421)는 전기가 잘 통하는 재질로 구성될 수 있으며, 헤드부(421)의 외벽에는 나사산이 형성되어 연결부와 결합될 수 있으며, 헤드부(421)와 연결부(410)가 접촉하는 면에는 전기 흐름이 원활하게 할 수 있는 도금처리 될 수 있다.
헤드부(421)의 복수의 단 중에서 가장 넓은 직경을 가진 단인 돌출부(421-1)는 연결부(410)에 형성된 제2결합홀(412)보다 직경이 크다. 이를 통해서 구동부(500)의 움직임과 버퍼부(400)의 움직임이 연동될 수 있다. 흡사 돌출부(421-1)는 나사의 헤드와 같은 역할을 할 수 있다.
헤드부(421)와 슬리브(422)에 형성된 제2스프링 결합 홈(430)은 도 4 또는 5를 통해 상세히 설명하며(도4,5), 헤드부(421)와 슬리브(422) 사이에 결합된 스프링(1)에 대한 설명도 도 9를 통해 설명한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 특징을 포함하는 헤드부(421)는 한 쪽의 직경보다 다른 쪽의 직경이 더 크게 관통되어 있으며 더 큰 직경으로 스프링(1, 도 3 참조)이 삽입된다. 바람직하게는 내부에 구배가 형성되어 있다. 이는 스프링(1)이 압축하여도 여유 공간이 있어 스프링(1)간의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 내벽에 제2스프링 결합 홈(430)이 형성되어 있고, 제2스프링 결합 홈(430)은 스프링(1)의 형태와 대응되도록 형성된 제2사선홈(431)과 스프링(1)이 인장되어도 고정시킬 수 있고 스프링(1)의 복수의 링이 삽입될 수 있는 단차가 형성된 제2단차홈(432)으로 이루어지고, 제2사선홈(431)과 제2단차홈(432)은 연결된다.
도 5에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 특징을 포함하는 슬리브(422)는 헤드부(421, 도 4 참조)와 마찬가지로 제2사선홈(431)과 제2단차홈(432)이 포함되는 제2스프링 결합 홈(430)이 형성되고, 내부에 복수의 단이 형성된다. 도면에서 도시된 바를 기준으로 각각의 단에는 아래부터 차례대로 피스톤 몸체(512, 도 3 참조), 나사, 스프링(1)이 배치된다. 바람직하게 슬리브(422)의 내부에는 구배가 형성되어 있고, 스프링(1)은 구배로 형성된 넓은 직경의 홀로 삽입된다. 이로서 앞선 헤드부(421)와 동일한 효과를 엎는다.
바람직하게 슬리브(422)에도 헤드부(421)와 마찬가지로 제2스프링 결합 홈(430)이 형성되며, 헤드부(421)에 형성된 제2스프링 결합 홈(430)의 특징을 포함하기에 중복되는 내용은 생략한다.
도 6에 도시된 바와 같이, 구동부(500)는 피스톤(510), 피스톤 커버(520) 및 스프링(1)을 포함하며 상술한 바와 같이 피스톤(510)은 피스톤 몸체(511)와 피스톤 로드(512)를 포함한다. 피스톤 커버(520)는 피스톤 로드(512)가 통과할 수 있는 홀이 형성되어 있다. 구동부(500)에는 스프링 결합 홈(미도시)가 포함되는 제1스프링 결합 홈(530)이 형성되고 형성되어 있으며, 피스톤(510)과 피스톤 커버(520) 중 적어도 하나에는 제1스프링 결합 홈(530)이 형성된다.
피스톤 몸체(511)와 피스톤 커버(520)의 외벽에는 상술한 제2스프링 결합 홈(430, 도 4 참조)과 흡사한 제1스프링 결합 홈(530)이 형성되어 있다. 여기서 다음 도면을 통해 제1스프링 결합 홈(530)에 대해 상세히 설명한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 피스톤 커버(520)의 외벽에 제1스프링 결합 홈(530)이 형성되며 제1스프링 결합 홈(530)은 구동부(500, 도 6 참조)에 삽입된 스프링(1, 도 6 참조)과 같은 형태로 형성된 제1사선홈(531) 및 제1사선홈(531)과 연결되고 스프링(1)이 인장되어도 고정시킬 수 있는 단차가 형성된 제1단차홈(532)을 포함한다. 제1단차홈(532)은 바람직하게 스프링(1)의 복수의 스프링이 삽입될 수 있는 공간을 갖는다.
피스톤 커버(520)에 형성된 제1사선홈(531)과 제1사선홈(531)과 연결된 제1단차홈(532)은 스프링(1)과 대응되는 형태로 형성될 수 있으며, 제1단차홈(532)은 바람직하게 스프링(1)의 복수의 링이 삽입될 수 있는 공간을 갖는다.
또한, 도면을 기준으로 피스톤 커버(520)의 외벽에 구배가 형성되며 위로 올라갈수록 점차 넓어지는 형태가 형성된다. 여기에 점차 넓어지는 형태를 따라서 스프링(1)을 삽입하여 스프링(1)이 빠지지 않게 고정시킬 수 있다.
바람직하게는 완충부(420, 도 3 참조)의 내벽에 형성되는 제2스프링 결합 홈(430, 도 4 참조)과 외벽에 형성되는 제1스프링 결합 홈(530)은 형성되는 위치는 다르나, 스프링(1)과 대응되는 형태와 단차를 통해 스프링(1)을 고정하는 점이 동일하다.
추가로, 피스톤 커버(520)에는 복수의 단이 형성되어 있으며 복수의 단에는 몸체부(100)에 삽입되어 밀폐 시길 수 있는 오링이 삽입될 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 앞서 설명한 특징을 포함하는 피스톤(510)은 피스톤 몸체(511)와 피스톤 로드(512)를 포함하고, 피스톤 몸체(511)와 피스톤 로드(512)가 결합하는 부분에 구배가 형성되며 도면을 기준으로 아래로 갈수록 점차 넓어지는 형태가 형성된다. 여기에 점차 넓어지는 형태를 따라서 스프링(1 , 도 6 참조)을 삽입하여 스프링(1)이 빠지지 않게 고정 시킬 수 있다.
바람직하게, 피스톤(510)에도 피스톤 커버(520, 도 7 참조)와 마찬가지로 제1사선홈(531)과 제1단차홈(532)를 포함하는 제1스프링 결합 홈(530)이 형성되며, 피스톤 커버(520)에 형성된 제1스프링 결합 홈(530)의 특징을 포함하기에 중복되는 내용은 생략한다.
추가로, 피스톤 몸체(511)는 복수의 단이 형성되어 있고 복수의 단에 몸체부(100, 도 2 참조)에 형성된 유체홈(110, 도 2 참조)으로부터 유입된 유체가 유출되지 않도록 오링이 삽입될 수 있다.
도 9(a)에 도시된 바와 같이, 제2단차홈(432)에 결합되는 제1스프링(1-1)의 피치가 제2단차홈(432)과 결합되지 않는 부분의 제2스프링(1-2)의 피치보다 작다. 바람직하게는 헤드부(421)와 슬리브(422) 양측에 형성된 제2단차홈(432)과 결합되는 제1스프링(1-1)의 피치가 결합되지 않은 부분의 피치보다 작다.
상술한 바와 같이 헤드부(421)와 슬리브(422)에 형성된 구배와 제2스프링 결합 홈(430)은 스프링(1)이 헤드부(421)와 슬리브(422)에 결합하는 과정이 원활할 수 있도록 도와주는 한편, 헤드부(421)와 슬리브(422)의 사이 거리가 줄어드는 과정에서 압축되는 스프링(1)이 움직일 수 있는 공감을 헤드부(421)와 슬리브(422)에 형성된 구배를 통해 확보 할 수 있다. 확보된 공간으로 스프링(1)이 압축되는 과정에서 발생하는 손상을 줄이거나 방지할 수 있다.
도 9(b)에 도시된 바와 같이, 제1단차홈(532)에 결합되는 제1스프링(1-1)의 피치가 제1단차홈(532)과 결합되지 않는 부분의 제2스프링(1-2)의 피치보다 작다. 바람직하게는 피스톤 커버(520)와 피스톤(510)의 양측에 형성된 제1단차홈(532)과 결합되는 제1스프링(1-1)의 피치가 결합되지 않은 부분의 피치보다 작다.
상술한 바와 같이 피스톤 커버(520)와 피스톤(510)의 사이에 배치된 스프링은 억지 끼움을 통해 결합되는데, 이 결합을 보다 용이하게 하기 위해서 구배가 형성된다. 또한, 피스톤 커버(520)와 피스톤(510)에 스프링(1)의 형상(형태)와 대응되도록 형성된 제1스프링 결합 홈(530)은 스프링(1)이 피스톤 커버(520)와 피스톤(510)에 용이하게 결합되도록 한다. 이를 통해서 억지 끼움 결합된 스프링(1)이 견고하게 고정될 수 있고, 구배와 제1스프링 결합 홈(530)을 통해 쉽게 결합할 수 있다.
여기서 도 9의 (a)와 (b)에 사용된 스프링(1)은 동일한 코일 (압축) 스프링일 수 있고, 장치의 성능에 따라서 각기 다른 스프링이 사용될 수 있다. 이에 따라서 제1스프링 결합 홈(530) 및 제2스프링 결합 홈(430)은 각기 다른 스프링(1)에 종속된다.
도 10에 도시된 바와 같이, 도전성 진공 흡착 실린더(1000)에서 워크(3, 도 11 참조)와 접촉하는 패드(2)사이에서 발생하는 정전기는 패드 홀더부(200), 연결부(410), 완충부(420), 구동부(500)의 피스톤(510), 스프링(1), 피스톤 커버(520), 몸체부(100)를 거쳐 외부로 빠져나가게 된다. 여기에 보다 상세히 기재하면 연결부(410)와 완충부(420) 사이에는 연결부(410)와 접촉하는 헤드부(421), 스프링(1), 슬리브(422), 나사의 순으로 정전기가 흐르게 되며 나사에서 피스톤(510)으로 전달하게 된다.
패드 홀더부(200)가 도면을 기준으로 아래로 향하도록 배치된 도 11에 도시된 바와 같이, 다음과 같은 과정으로 워크(3)가 도전성 진공 흡착 실린더(1000)에 의해 이송된다.
a)워크(3)의 상부로 도전성 진공 흡착 실린더(1000)를 위치시킨다.
b)도전성 진공 흡착 실린더(1000)의 노즐부(600)가 구동부(500)에 유체를 주입해서 패드(2)를 도면을 기준으로 아래로 내려가도록 하고, 내려온 패드(2)와 워크(3)가 접촉하게 되며, 버퍼부(400)가 접촉하는 과정에서 발생하는 충격을 완화해준다. 몸체부(100)에 결합된 노즐부(600)가 진공부(300)의 유체를 외부로 빼내면서 패드(2)와 워크(3)를 접촉시킨다.
c)패드(2)가 워크(3)를 흡착할 수 있도록 노즐부(600)가 진공부(300)의 내부의 압력을 유지함과 동시에 구동부(500)에 유체를 주입해서 패드(2)가 도면을 기준으로 위로 이동하도록 한다.
d)워크(3)를 옮길 위치로 도전성 진공 흡착 실린더(1000)를 배치하고, 노즐부(600)를 통해 구동부(500)에 유체를 공급해서 패드(2)를 아래로 내린 뒤, 진공부(300)의 내부로 유체를 공급하여 이송하기 전의 압력으로 돌려놓는다. 그 후에 구동부(500)에 유입시킨 유체를 빼내서 처음 상태의 도전성 진공 흡착 실린더(1000)로 되돌린다.
본 발명의 상기한 실시예에 한정하여 기술적 사상을 해석해서는 안 된다. 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당업자의 수준에서 다양한 변형 실시가 가능하다. 따라서 이러한 개량 및 변경은 당업자에게 자명한 것인 한 본 발명의 보호범위에 속하게 된다.
1 스프링 2 패드
3 워크
1000 도전성 진공 흡착 실린더
100 몸체부 110 유체홈
200 패드 홀더부
300 진공부
400 버퍼부 410 연결부
411 제1결합홀 412 제2결합홀
420 완충부 421 헤드부
421-1 돌출부 422 슬리브
430 제2스프링 결합 홈 431 제2사선홈
432 제2단차홈
500 구동부 510 피스톤
511 피스톤 몸체 512 피스톤 로드
520 피스톤 커버 530 제1스프링 결합 홈
531 제1사선홈 532 제1단차홈
600 노즐부

Claims (10)

  1. 몸체부;
    워크를 흡착하는 패드가 고정되는 패드 홀더부;
    상기 패드 홀더부와 결합되며, 반대편에 상기 몸체부와 슬라이딩 가능하게 결합되고, 관통된 유로를 포함하는 진공부;
    상기 몸체부에 형성된 홈에 슬라이딩 가능하게 결합되는 피스톤 및 상기 피스톤의 일측이 관통되며 상기 몸체부에 형성된 홈을 닫는 피스톤 커버를 포함하는 구동부; 및
    상기 진공부와 상기 구동부가 각각 결합되며, 상기 워크에 가해지는 충격을 완충하는 완충부를 포함하는 버퍼부;를 포함하며,
    상기 구동부 및 상기 버퍼부는 스프링을 포함하고, 상기 구동부 및 버퍼부 중 적어도 하나는 상기 스프링과 결합되는 스프링 결합 홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  2. 제1항에 있어서
    상기 스프링 결합 홈은
    상기 피스톤 및 피스톤 커버 중 적어도 하나의 외부에 상기 스프링과 결합되기 위해 형성된 제1스프링 결합 홈; 및
    상기 완충부의 내부에 형성된 제2스프링 결합 홈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1스프링 결합 홈은
    상기 스프링의 형태와 대응되도록 형성된 제1사선홈; 및
    상기 제1사선홈과 연결된 제1단차홈;을 포함하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 완충부는
    내벽에 상기 제2스프링 결합 홈이 형성되고, 상기 제2스프링 결합 홈에 상기 스프링의 일측이 결합되는 헤드부; 및
    내벽에 상기 제2스프링 결합 홈이 형성되고, 상기 제2스프링 결합 홈에 상기 스프링의 타측이 결합되는 슬리브;를 포함하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2스프링 결합 홈은 상기 스프링의 형태와 대응되도록 형성된 제2사선홈; 및
    상기 제2사선홈과 연결된 제2단차홈;을 포함하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구동부 및 상기 완충부 중 적어도 하나는 구배가 형성된 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 구동부의 피스톤 및 피스톤 커버의 외벽과,
    상기 완충부의 헤드부 및 슬리브의 내벽에 구배가 형성된 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 몸체부는 상기 진공부 및 구동부로 유체가 흐를 수 있는 유체홀이 형성된 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  9. 제1항에 있어서,
    내부에 유로가 형성되고, 상기 몸체부에 부착되며 상기 진공부 및 구동부의 내부로 유체가 드나들 수 있도록 연결된 노즐부를 더 포함하는 도전성 진공 흡착 실린더.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 스프링은
    양끝에는 형성된 제1코일부 사이에 제2코일부가 배치되며, 상기 제1코일부에 비해서 제2코일부의 피치가 큰 것을 특징으로 하는 도전성 진공 흡착 실린더.
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