KR20230136000A - 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법 - Google Patents

전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법 Download PDF

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주영인
심민섭
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삼성물산 주식회사
심민섭
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Abstract

본 발명은 모듈랙의 위치 수정을 전기 동력에 의한 위치 조정 1회로 미세 조정이 가능하고, 오차 발생을 최소화 할 수 있으며, 모듈랙 밑에서 사람이 작업할 때 발생될 수 있는 협착 등의 안전사고를 예방할 수 있도록 한 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법을 제공한다. 본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 모듈랙의 위치를 수정하기 위한 공법에 있어서, 모바일 리프트를 운전하여 모듈랙 미세조정장치를 모바일 리프트에 탑재시켜 놓는 제1단계와, 모바일 리프트를 조작하여 모듈랙을 일정 높이로 리프팅하는 제2단계와, 모듈랙이 안착될 위치에 브라켓과 방진 패드를 설치하는 제3단계와, 모듈랙 미세조정장치의 미세조정을 통해 모듈랙의 위치를 수정하는 제4단계와, 위치가 수정된 모듈랙을 브라켓에 고정시키는 제5단계;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법{Position modification method of module rack using fine adjustment device by electronic control}
본 발명은 모듈랙의 위치 수정 공법에 관한 것으로, 특히 모듈랙의 위치 수정을 전기 동력에 의한 위치 조정 1회로 미세 조정이 가능하고, 오차 발생을 최소화 할 수 있으며, 모듈랙 밑에서 사람이 작업할 때 발생될 수 있는 협착 등의 안전사고를 예방할 수 있도록 한 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법에 관한 것이다.
모듈(Module) 시스템은 외부 제작 공장에서 배관, 덕트 등을 제작, 조립하여 Unit화 된 상태로 현장 반입 후 모듈 간 연결함으로써 공기단축, 원가절감, 품질향상 및 시공 효율성을 극대화 할 수 있다. 반도체 공장에서 반도체 공정 계획 변화나 설계 변경에 대응하기 위해 기존 모듈랙의 위치를 수정해야하는 경우가 발생한다. 기존 작업은 인력에 의존하고 수차례 양중과 위치 조정을 반복하다 보니 작업 시간이 오래 걸려 생산성이 떨어지며, 유압램으로 미세조정 할 시 사람이 하는 것이기 때문에 오차가 발생하며, 협착 등의 안전 사고 리스크를 내제하고 있는 문제점을 가지고 있다.
본 발명의 배경이 되는 선행기술로서 등록특허 등록번호 제10-1466590호(특허문헌 1)에는 공장에서 미리 제작되어 현장에서 상호 연결되어 기본 배관 라인(base pipe line)을 구축하도록 형성되어 있는 사전 배관형 랙 모듈을 제시하고 있고, 등록특허 등록번호 제10-1899515호(특허문헌 2)에는 모듈랙을 구성하는 상부 파이프랙의 상면은 기둥에 설치된 상부브라켓의 하부에 고정되고, 하부 파이프랙의 하면은 기둥에 후 부착 설치되는 하부브라켓에 거치되는 반도체 팹 유틸리티의 모듈 랙 설치구조 및 그 시공방법을 제시하고 있고, 등록특허 등록번호 제10-2135343호(특허문헌 3)에는 기둥 사이 공간으로 파이프 랙 모듈유닛을 위치시키고, 파이프 랙 모듈유닛이 결합될 상부 결합부 하부로 이동시킨 후 파이프 랙 모듈유닛을 리프팅 하여 세로보에 결합시키는 파이프 랙 구조물의 모듈러 시공방법을 제시하고 있다.
이같이 선행발명들에는 종래 유압램을 이용해 인력으로 수행하던 모듈랙의 위치 수정 작업의 문제점에 대한 인식이 없고, 나아가 본원발명에서 제시하고 있는 '전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법'과 대비할 만한 기술구성도 개시되어 있지는 않다.
등록특허 등록번호 제10-1466590호 등록특허 등록번호 제10-1899515호 등록특허 등록번호 제10-2135343호
본 발명은 모듈랙의 위치 수정을 전기 동력에 의한 위치 조정 1회로 미세 조정이 가능하고, 오차 발생을 최소화 할 수 있으며, 모듈랙 밑에서 사람이 작업할 때 발생될 수 있는 협착 등의 안전사고를 예방할 수 있도록 한 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법을 제공함에 그 목적이 있다.
본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 모듈랙의 위치를 수정하기 위한 공법에 있어서, 모바일 리프트를 운전하여 모듈랙 미세조정장치를 모바일 리프트에 탑재시켜 놓는 제1단계와, 모바일 리프트를 조작하여 모듈랙을 일정 높이로 리프팅하는 제2단계와, 모듈랙이 안착될 위치에 브라켓과 방진 패드를 설치하는 제3단계와, 모듈랙 미세조정장치의 미세조정을 통해 모듈랙의 위치를 수정하는 제4단계와, 위치가 수정된 모듈랙을 브라켓에 고정시키는 제5단계;로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 모듈랙 미세조정 장치는 모듈랙의 위치를 전기적 구동을 통해 X축 방향 및 Y축 방향으로 미세하게 이동 조작시키는 드라이빙 모듈과; 모듈랙을 지지함과 동시에 모듈랙에 연동하여 무동력으로 움직이는 아이들모듈; 및 드라이빙 모듈의 구동을 전기적으로 제어하기 위한 컨트롤모듈;을 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 드라이빙 모듈은 상면에 모듈랙의 Y축 방향으로 놓인 가이드레일을 갖고 모바일 리프트에 안착되는 모바일 리프트 안착대와; 가이드레일에 선접촉하여 구름운동하는 가이드 롤러를 통해 모바일 리프트 안착대에 지지되어 Y축 방향으로 이동되도록 한 하부이동대와; 모바일 리프트 안착대에 장착되어 운동변환수단을 통해 하부이동대를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 조절용 기어드모터와; 다수의 아이들롤러를 구비하여 하부이동대에 고정 설치된 아이들롤러 지지대와; 아이들롤러에 지지되어 아이들롤러 지지대의 상부에 설치되며 모듈랙의 안착 지점을 제공하는 모듈랙 안착수대와; 모바일 리프트 안착대에 장착되어 운동변환수단을 통해 모듈랙 안착수대를 X축 방향으로 이동시키는 X축 조절용 기어드모터;를 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 아이들모듈은 상면에 모듈랙의 Y축 방향으로 놓인 가이드레일을 갖고 모바일 리프트에 안착되는 모바일 리프트 안착대와; 가이드레일에 선접촉하여 구름운동하는 가이드 롤러를 통해 모바일 리프트 안착대에 지지되어 Y축 방향으로 이동되도록 한 하부이동대와; 다수의 아이들롤러를 구비하여 하부이동대에 고정 설치된 아이들롤러 지지대와; 아이들롤러에 지지되어 아이들롤러 지지대의 상부에 설치되며 모듈랙의 안착 지점을 제공하는 모듈랙 안착수대를 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 모바일 리프트 안착대는 모바일 리프트의 포크가 진입되는 포크안내홈을 갖는 포크 받이와; 포크 받이에 고정 설치되어 있는 안착대 프레임과; 안착대 프레임의 내부 영역에 배치되고 포크 받이에 고정되어 가이드롤러의 구름운동을 지지하는 가이드레일을 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 아이들롤러 지지대는 모바일 리프트 안착대측에 고정되어 있는 다수의 캐리어 받침대와; 캐리어 받침대에 고정되어 있는 아이들롤러 캐리어와; 아이들롤러 캐리어에 지지되어 있는 다수의 아이들롤러를 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 모듈랙 안착수대는 모듈랙을 하부에서 지지하는 모듈랙 안착판과; 모듈랙 안착판의 하면에 복수개 이상 설치되어 아이들롤러의 상면에 지지되어 있는 다수의 X축 방향 이동대와; 모듈랙 안착판의 하부에 설치되고 아이들롤러 캐리어에 지지되어 모듈랙 안착수대를 X축 방향으로 이동 안내하는 한 쌍의 팔로워 베어링을 포함한 것을 특징으로 한다.
또한, 모듈랙 미세조정 장치는 한 쌍의 드라이빙 모듈이 모듈랙의 Y축 방향으로 일정 간격마다 배치되고, 아이들모듈은 서로 Y축 방향으로 이격되어 있는 드라이빙 모듈간의 사이에 복수 쌍 이상으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법에 따르면, 반도체 공장에서 반도체 공정 계획 변화나 설계 변경에 대응하기 위해 기존 모듈랙 위치를 수정해야하는 경우 모듈랙 미세조정을 전기 동력에 의한 위치 조정 1회로 미세 조정함에 따라 인력에 의존적이고 수차례 양중과 위치 조정 반복 작업을 없애므로써 작업시간을 단축시켜 생산성을 향상 시킬 수 있다. 또한 기존 미세조정 시 사용되는 유압램을 사용하지 않기 때문에 오차 발생을 최소화 할 수 있으며, 모듈랙 밑에서 사람이 작업할 때 발생될 수 있는 협착 등의 안전사고를 예방하는 효과를 낼 수 있다.
본 명세서에서 첨부되는 다음의 도면들은 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 것이며, 발명의 상세한 설명과 함께 본 발명의 기술사상을 더욱 이해시키는 역할을 하는 것이므로, 본 발명은 첨부한 도면에 기재된 사항에만 한정되어서 해석되어서는 아니 된다.
도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 모듈랙 미세조정장치의 배치상태도.
도 2는 도 1의 모듈랙 미세조정장치를 통해 모듈랙을 지지하고 있는 상태도.
도 3a는 도 1에 도시된 모듈랙 미세조정장치의 확대된 평면도.
도 3b는 도 3a에 도시된 모듈랙 미세조정장치에서 아이들롤러 지지대를 제거시킨 상태에서의 평면도.
도 4는 도 3a의 A-A선 단면도.
도 5는 도 4에서 아이들롤러 지지대와 모듈랙 안착수대만을 도시한 단면도.
도 6은 도 4의 일측에서 본 측면도로서 모듈랙 안착수대가 아이들롤러 지지대에 지지되어 있는 상태도.
도 7은 본 발명의 실시 예에 따른 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 순서도.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 제시된 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 예시적인 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다.
본 발명에 따른 모듈랙(10)의 위치를 수정하기 위한 방법에서는 도 1 및 도 2와 같이 모듈랙 미세조정장치(100)를 필요로 한다. 모듈랙 미세조정장치(100)의 구성 및 동작 설명 중 모듈랙(10)의 가로방향을 X축이라 하고, X축에 직교하는 방향을 Y축이라 정의한다.
도 1의 실시 예에서 모듈랙 미세조정장치(100)는 모듈랙(10)의 위치를 전기적 동력을 통해 X축 및 Y축 방향으로 조작시키는 드라이빙 모듈(100a)과, 모듈랙(10)에 연동하여 무동력으로 움직이는 아이들모듈(100b); 및 드라이빙 모듈(100a)의 구동을 제어하기 위한 컨트롤모듈(100c)을 포함한다.
예로, 모듈랙 미세조정장치(100)는 한 쌍의 드라이빙 모듈(100a)(100a)이 모듈랙(10)의 Y축 방향으로 일정 간격마다 배치되고, 아이들모듈(100b)은 서로 Y축 방향으로 이격되어 있는 드라이빙 모듈(100a과 100a)간의 사이에 2쌍이 배치되어 안정적으로 모듈랙(10)의 위치를 조정할 수 있게 되어 있다. 여기서 아이들모듈(100b)은 드라이빙 모듈(100a과 100a)간의 사이에 한 쌍 또는 3쌍 이상으로 설치될 수도 있다.
도 3a 내지 도 6과 같이 드라이빙 모듈(100a)은 상면에 모듈랙(10)의 Y축 방향으로 놓인 한 쌍의 가이드레일(116)을 갖고 모바일 리프트(20)에 안착되는 모바일 리프트 안착대(110)와, 가이드레일(116)에 선접촉하여 구름운동하는 가이드롤러(122)를 통해 모바일 리프트 안착대(110)에 지지되어 Y축 방향으로 이동을 하는 하부이동대(120)와, 모바일 리프트 안착대(110)에 장착되어 운동변환수단을 통해 하부이동대(120)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 조절용 기어드모터(160)와, 다수의 아이들롤러(146)를 갖고 하부이동대(120)에 고정 설치된 아이들롤러 지지대(140)와, 아이들롤러(146)에 지지되어 아이들롤러 지지대(140)의 상부에 설치되며 모듈랙(10)의 안착 지점을 제공하는 모듈랙 안착수대(150)와, 모바일 리프트 안착대(110)에 장착되어 운동변환수단을 통해 모듈랙 안착수대(150)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 조절용 기어드모터(130);를 포함한다.
본 실시 예에서 운동변환수단은 볼스크류(131,161)와 볼너트(132,162)를 사용하였으나 이러한 방식에 한정되는 것은 아니다. 볼너트(132,162)는 직선 이동시키고자 하는 대상체로서 각각 하부이동대(120), 아이들롤러 지지대(140)에 고정 설치된다.
여기서, 모바일 리프트 안착대(110)는 모바일 리프트(20)의 포크가 진입되는 포크안내홈(112a)을 갖는 포크 받이(112)와, 포크 받이(112)에 고정 설치되어 있는 안착대 프레임(114)과, 안착대 프레임(114)의 내부 영역에 배치되어 포크 받이(112)에 고정되어 가이드 롤러(122)의 구름운동을 지지하는 가이드레일(116)을 포함한다.
도 3a 및 도 5에 도시된 바와 같이 아이들롤러 지지대(140)는 모바일 리프트 안착대(110)측에 고정되어 있는 다수의 캐리어 받침대(142)와, 캐리어 받침대(142)에 고정되어 있는 아이들롤러 캐리어(144)와, 아이들롤러 캐리어(144)에 지지되어 있는 다수의 아이들롤러(146)를 포함한다.
모듈랙 안착수대(150)는 모듈랙(10)을 하부에서 지지하는 모듈랙 안착판(152)과, 모듈랙 안착판(152)의 하면에 설치되어 아이들롤러(146)의 상면에 지지되어 있는 다수의 X축 방향 이동대(154)와, 모듈랙 안착판(152)의 하부에 설치되고 아이들롤러 캐리어(144)에 지지되어 모듈랙 안착수대(150)를 X축 방향으로 이동 안내하는 한 쌍의 팔로워 베어링(156)(156)을 포함한다.
따라서 도 3b와 같이 Y축 조절용 기어드모터(160)가 구동되면, 그의 출력축 회전방향에 따라 하부이동대(120)가 모바일 리프트 안착대(110)에 지지된 상태로 Y축 방향으로 미세 이동하게 된다. 이때 하부이동대(120)의 양측에 설치된 가이드 롤러(122)가 모바일 리프트 안착대(110)의 가이드레일(116)에 지지되어 구름운동한다. 이와 함께 하부이동대(120)의 상부에 탑재된 모듈랙 안착수대(150)가 연동하여 동일한 Y축 방향으로 미세 이동하게 된다.
또한, 도 3a 및 도 6과 같이 X축 조절용 기어드모터(130)가 구동되면, 그의 출력축 회전방향에 따라 볼너트(132)에 연결된 모듈랙 안착수대(150)가 X축 방향으로 미세 이동하게 된다. 이때 모듈랙 안착판(152)이 아이들롤러 지지대(140)측 아이들롤러(146)에 지지된 상태에서 모듈랙 안착수대(150)가 이동하며, 아이들롤러(146)는 아이들롤러 캐리어(144)에서 회전한다.
?幣飢?, 아이들모듈(100b)은 드라이빙 모듈(100a)이 갖고 있는 X축 조절용 기어드모터(130)와 Y축 조절용 기어드모터(160) 및 운동변환수단이 제거되어 있다. 따라서 아이들모듈(100b)은 그 이외의 구성이 드라이빙 모듈(100a)과 동일하다. 따라서 아이들모듈(100b)의 상세 구성 및 동작 설명은 생략한다. 이로서 아이들모듈(100b)은 모듈랙(10)의 미세한 위치 조정시 드라이빙 모듈(100a)과 같은 동작을 하면서 모듈랙(10)의 안정된 지지력을 제공함과 동시에 모듈랙(10)의 중량을 드라이빙 모듈(100a)과 함께 분담하는 역할을 수행한다.
이와 같은 모듈랙 미세조정장치(100)를 이용한 모듈랙(10)의 위치를 수정하기 위한 방법은 아래와 같이 이루어진다.
먼저, 도 7의 (a)와 같이 모바일 리프트(20)를 운전하여 모듈랙 미세조정장치(100)를 모바일 리프트(20)에 탑재시켜 놓는 제1단계를 갖는다.
이때 다수의 모바일 리프트(20)가 사용되어 도 1 및 도 2와 같이 모듈랙 미세조정장치(100)는 한 쌍의 드라이빙 모듈(100a)(100a)이 서로 마주보고 모듈랙(10)의 X축 방향으로 일정 간격마다 배치되고, 아이들모듈(100b)은 서로 X축 방향으로 이격되어 있는 드라이빙 모듈(100a과 100a)간의 사이에 2쌍이 배치되어 안정적으로 모듈랙(10)의 위치를 조정할 수 있도록 한다.
그 다음, 도 7의 (b)와 같이 모바일 리프트(20)를 조작하여 모듈랙(10)을 일정 높이로 리프팅하는 제2단계를 갖는다. 이때 모듈랙(10)은 분산 배치된 드라이빙 모듈(100a)과 아이들모듈(100b)에 고르게 지지되어 안정된 상태로 리프팅된다.
그 다음, 도 2와 같이 모듈랙(10)이 안착될 위치에 브라켓(12)과 방진 패드(14)를 설치한다. 브라켓(12)은 모듈랙(10)이 거치되는 기둥(5)측에 설치될 수 있다.
그 다음, 도 7의 (c)와 같이 모듈랙 미세조정장치(100)에 포함된 드라이빙 모듈(100a)의 미세조정을 통해 모듈랙(10)의 위치를 수정하는 제4단계를 갖는다.
드라이빙 모듈(100a)의 미세조정은 컨트롤모듈(100c)의 제어로 신속히 이루어질 수 있다. 즉, X축 조절용 기어드모터(130)와 Y축 조절용 기어드모터(160)의 구동제어를 통해 모듈랙(10)의 위치 수정에 따른 미세 조정을 완료할 수 있다.
그 다음, 위치가 수정된 모듈랙(10)을 브라켓(12)에 고정시키는 제5단계를 갖는다.
이와 같이 본 발명의 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법에 따르면, 모듈랙을 인력이 아닌 전기 동력을 이용하여, 수차례 양중과 위치 조정 반복 작업을 1회로 마무리 할 수 있어 오차 발생을 최소화하여 품질을 향상시키고 작업 시간을 단축시켜 생산성을 향상시킨다. 또한 기존 미세조정 시 사용하던 유압램을 사용하지 않기 때문에 모듈랙 밑에서 사람이 작업할 때 발생될 수 있는 협착 등의 안전 사고를 미연에 예방할 수 있다.
지금까지 본 발명은 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다.
100a: 드라이빙 모듈
100b: 아이들모듈
100c: 컨트롤모듈
110: 모바일 리프트 안착대
120: 하부이동대
130: X축 조절용 기어드모터
140: 아이들롤러 지지대
150: 모듈랙 안착수대
160: Y축 조절용 기어드모터

Claims (8)

  1. 모듈랙(10)의 위치를 수정하기 위한 공법에 있어서,
    모바일 리프트(20)를 운전하여 모듈랙 미세조정장치(100)를 모바일 리프트(20)에 탑재시켜 놓는 제1단계와,
    모바일 리프트(20)를 조작하여 모듈랙(10)을 일정 높이로 리프팅하는 제2단계와,
    모듈랙(10)이 안착될 위치에 브라켓(12)과 방진 패드(14)를 설치하는 제3단계와,
    모듈랙 미세조정장치(100)의 미세조정을 통해 모듈랙(10)의 위치를 수정하는 제4단계와,
    위치가 수정된 모듈랙(10)을 브라켓(12)에 고정시키는 제5단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  2. 제 1항에 있어서,
    모듈랙 미세조정 장치(100)는
    모듈랙(10)의 위치를 전기적 구동을 통해 X축 방향 및 Y축 방향으로 미세하게 이동 조작시키는 드라이빙 모듈(100a)과;
    모듈랙(10)을 지지함과 동시에 모듈랙(10)에 연동하여 무동력으로 움직이는 아이들모듈(100b); 및
    드라이빙 모듈(100a)의 구동을 전기적으로 제어하기 위한 컨트롤모듈(100c);을 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  3. 제 2항에 있어서,
    드라이빙 모듈(100a)은
    상면에 모듈랙(10)의 Y축 방향으로 놓인 가이드레일(116)을 갖고 모바일 리프트(20)에 안착되는 모바일 리프트 안착대(110)와;
    가이드레일(116)에 선접촉하여 구름운동하는 가이드 롤러(122)를 통해 모바일 리프트 안착대(110)에 지지되어 Y축 방향으로 이동되도록 한 하부이동대(120)와;
    모바일 리프트 안착대(110)에 장착되어 운동변환수단을 통해 하부이동대(120)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 조절용 기어드모터(160)와;
    다수의 아이들롤러(146)를 구비하여 하부이동대(120)에 고정 설치된 아이들롤러 지지대(140)와;
    아이들롤러(146)에 지지되어 아이들롤러 지지대(140)의 상부에 설치되며 모듈랙(10)의 안착 지점을 제공하는 모듈랙 안착수대(150)와;
    모바일 리프트 안착대(110)에 장착되어 운동변환수단을 통해 모듈랙 안착수대(150)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 조절용 기어드모터(160);를 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  4. 제 1항에 있어서,
    아이들모듈(100b)은
    상면에 모듈랙(10)의 X축 방향으로 놓인 가이드레일(116)을 갖고 모바일 리프트(20)에 안착되는 모바일 리프트 안착대(110)와;
    가이드레일(116)에 선접촉하여 구름운동하는 가이드 롤러(122)를 통해 모바일 리프트 안착대(110)에 지지되어 Y축 방향으로 이동되도록 한 하부이동대(120)와;
    다수의 아이들롤러(146)를 구비하여 하부이동대(120)에 고정 설치된 아이들롤러 지지대(140)와;
    아이들롤러(146)에 지지되어 아이들롤러 지지대(140)의 상부에 설치되며 모듈랙(10)의 안착 지점을 제공하는 모듈랙 안착수대(150)를 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  5. 제 3항에 있어서,
    모바일 리프트 안착대(110)는
    모바일 리프트(20)의 포크가 진입되는 포크안내홈(112a)을 갖는 포크 받이(112)와;
    포크 받이(112)에 고정 설치되어 있는 안착대 프레임(114)과;
    안착대 프레임(114)의 내부 영역에 배치되고 포크 받이(112)에 고정되어 가이드롤러(122)의 구름운동을 지지하는 가이드레일(116);을 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  6. 제 3항에 있어서,
    아이들롤러 지지대(140)는
    모바일 리프트 안착대(110)측에 고정되어 있는 다수의 캐리어 받침대(142)와;
    캐리어 받침대(142)에 고정되어 있는 아이들롤러 캐리어(144)와;
    아이들롤러 캐리어(144)에 지지되어 있는 다수의 아이들롤러(146);를 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  7. 제 6항에 있어서,
    모듈랙 안착수대(150)는
    모듈랙(10)을 하부에서 지지하는 모듈랙 안착판(152)과;
    모듈랙 안착판(152)의 하면에 복수개 이상 설치되어 아이들롤러(146)의 상면에 지지되어 있는 다수의 X축 방향 이동대(154)와;
    모듈랙 안착판(152)의 하부에 설치되고 아이들롤러 캐리어(144)에 지지되어 모듈랙 안착수대(150)를 X축 방향으로 이동 안내하는 한 쌍의 팔로워 베어링(156)(156);을 포함한 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
  8. 제 2항에 있어서,
    모듈랙 미세조정 장치(100)는 한 쌍의 드라이빙 모듈(100a)(100a)이 모듈랙(10)의 X축 방향으로 일정 간격마다 배치되고, 아이들모듈(100b)은 서로 X축 방향으로 이격되어 있는 드라이빙 모듈(100a과 100a)간의 사이에 복수 쌍 이상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 전자제어식 미세조정 장치를 이용한 모듈랙의 위치 수정 공법.
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KR101899515B1 (ko) 2018-07-25 2018-09-17 (주)삼우종합건축사사무소 반도체 팹 유틸리티의 모듈 랙 설치구조 및 그 시공방법
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