KR20230135510A - 정보 처리 장치, 저장 매체 및 복구 지원 방법 - Google Patents

정보 처리 장치, 저장 매체 및 복구 지원 방법 Download PDF

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료타 아오이
요시타카 에노키
야스히코 오카다
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 본 개시는 열 처리 장치의 복구를 지원하는 기술을 제공한다.
[해결수단] 제조 공장에 설치된 복수의 열 처리 장치의 가동 상황 데이터를 수집하도록 구성된 가동 상황 데이터 수집부와, 가동 상황 데이터를 열 처리 장치마다 보존하도록 구성된 가동 상황 데이터 보존부와, 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지한 경우에, 복수의 열 처리 장치의 복구를 지원하는 정보로서, 가동 상황 데이터 보존부에 보존되어 있는 열 처리 장치마다의 가동 상황 데이터의 일람 정보를 제공하도록 구성된 가동 상황 데이터 제공부를 갖는 정보 처리 장치에 의해 상기 과제를 해결한다.

Description

정보 처리 장치, 저장 매체 및 복구 지원 방법{INFORMATION PROCESSING APPARATUS, STORAGE MEDIUM, AND RESTORATION SUPPORT METHOD}
본 개시는 정보 처리 장치, 프로그램 및 복구 지원 방법에 관한 것이다.
예컨대 업무 데이터의 발생에 따라 백업 데이터를 날마다 최신 상태로 할 수 있으며, 조작 미스 등에 의한 데이터 소실이나 재해 발생 시 등에 복구를 빠르게 행할 수 있도록 하는 원격 백업 시스템은 종래부터 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본 특허 공개 제2008-204036호 공보
본 개시는 열 처리 장치의 복구를 지원하는 기술을 제공한다.
본 개시의 일양태는, 제조 공장에 설치된 복수의 열 처리 장치의 가동 상황 데이터를 수집하도록 구성된 가동 상황 데이터 수집부와, 상기 가동 상황 데이터를 상기 열 처리 장치마다 보존하도록 구성된 가동 상황 데이터 보존부와, 상기 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지한 경우에, 상기 복수의 열 처리 장치의 복구를 지원하는 정보로서, 상기 가동 상황 데이터 보존부에 보존되어 있는 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 제공하도록 구성된 가동 상황 데이터 제공부를 갖는 정보 처리 장치이다.
본 개시에 따르면, 열 처리 장치의 복구를 지원하는 기술을 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 정보 처리 시스템의 일례의 구성도이다.
도 2는 컴퓨터의 일례의 하드웨어 구성도이다.
도 3은 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 일례의 기능 블록도이다.
도 4는 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다.
도 5는 본 실시형태에 따른 가동 상황 데이터의 일례의 구성도이다.
도 6은 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다.
도 7은 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태의 설명을 행한다.
<시스템 구성>
도 1은 본 실시형태에 따른 정보 처리 시스템의 일례의 구성도이다. 도 1에 나타내는 정보 처리 시스템(1)은, 제조 공장(2)에 설치된 열 처리 장치(10) 및 장치 컨트롤러(12)를 갖고 있다. 또한, 정보 처리 시스템(1)은 제조 공장(2)에 있어서 열 처리 장치(10)가 강제적으로 정지하는 것 같은 재해(예컨대 지진, 정전 등)가 발생한 경우라도 가동을 계속할 수 있는 환경에 설치된 정보 처리 장치(14)를 갖고 있다. 정보 처리 장치(14)가 설치되는 환경은, 예컨대 제조 공장(2)으로부터 충분히 거리가 떨어진 원격지 등이다.
또한, 정보 처리 시스템(1)은 제조 공장(2)에 설치된 열 처리 장치(10)를 복구시키는 작업자, 또는 작업자에게 지시를 부여하여 열 처리 장치(10)를 복구시키는 관리자 등이 조작하는 정보 처리 단말(16)을 갖고 있다.
열 처리 장치(10), 장치 컨트롤러(12), 정보 처리 장치(14), 및 정보 처리 단말(16)은 인터넷 및 LAN(Local Area Network) 등의 네트워크(18 및 20)를 통해 통신 가능하게 접속된다. 또한, 정보 처리 장치(14) 및 정보 처리 단말(16)은 제조 공장(2)에 재해가 발생하여 네트워크(18)를 사용할 수 없는 경우라도, 네트워크(20)를 통해 통신이 가능하다.
열 처리 장치(10)는, 반도체 제조 장치 및 성막 장치 등이며, 장치 컨트롤러(12)로부터 레시피에 따른 제어 명령을 접수하여, 레시피의 처리를 실행한다. 레시피의 처리의 진행도는 단계라고 불리는 제어 단위로 관리된다. 레시피의 처리의 진행도는 예컨대 단계 번호 및 단계명 등으로 표시된다.
또한, 열 처리 장치(10)는 도 1에 나타내는 바와 같이 장치 컨트롤러(12)가 탑재되어 있어도 좋고, 통신 가능하게 접속되어 있으면 반드시 탑재되어 있지 않아도 좋다. 장치 컨트롤러(12)는 열 처리 장치(10)를 제어하는 컴퓨터 구성을 갖는 컨트롤러이다. 장치 컨트롤러(12)는 레시피에 따라 열 처리 장치(10)의 제어 부품을 제어하는 제어 명령을 출력한다.
또한, 장치 컨트롤러(12)는 열 처리 장치(10)에 대한 지시를 작업자로부터 접수하며, 열 처리 장치(10)에 관한 정보를 작업자에게 제공하는 맨 머신 인터페이스(MMI)의 기능을 갖는다.
재해가 발생하지 않은 평상 시라면, 장치 컨트롤러(12)는 열 처리 장치(10)의 가동 상황을 나타내는 데이터(가동 상황 데이터)를 정기적(예컨대 10초마다)으로 정보 처리 장치(14)에 송신한다. 가동 상황 데이터는, 열 처리 장치(10)가 실행 중인 레시피의 식별 정보, 실행 중인 레시피의 처리의 진행도를 나타내는 단계의 식별 정보, 및 단계의 실행 상태 정보 등을 포함하는 정보이다.
재해의 발생에 의해 정전이 생기면, 열 처리 장치(10)는 전원을 상실하여 실행 중인 레시피의 처리를 중단한다. 또한, 장치 컨트롤러(12)는 전원을 상실하여 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터를 정보 처리 장치(14)에 송신할 수 없게 된다.
정보 처리 장치(14)는, 평상 시에, 제조 공장(2)의 장치 컨트롤러(12)로부터 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터를 정기적으로 수집하여, 보존한다. 또한, 정보 처리 장치(14)가 보존하는 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터는, 장치 컨트롤러(12)로부터 수신한 최근의 열 처리 장치(10)의 각각의 가동 상황 데이터이다.
따라서, 재해의 발생에 의해 제조 공장(2)이 정전이 되어, 열 처리 장치(10)의 가동이 강제적으로 정지하였다고 해도, 정보 처리 장치(14)에는, 장치 컨트롤러(12)로부터 수신한 최근의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터가 보존되어 있다.
정보 처리 장치(14)는, 재해가 발생하기 전에 장치 컨트롤러(12)로부터 수신한 최근의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보를, 제조 공장(2)에 설치된 복수의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 정보로서 작업자 또는 관리자에게 제공할 수 있다. 제조 공장(2)에 설치된 복수의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 정보의 제공은, 정보 처리 장치(14)의 디스플레이 등에 표시함으로써 행하여도 좋고, 정보 처리 단말(16)의 디스플레이 등에 표시함으로써 행하여도 좋다.
이와 같이, 작업자 또는 관리자는, 재해가 발생하기 전에 정보 처리 장치(14)가 장치 컨트롤러(12)로부터 수신한 최근의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보를 참조함으로써, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)가 재해 발생 시에 실행하고 있던 레시피의 처리를 용이하게 확인할 수 있다. 또한, 작업자 또는 관리자는 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)가 재해 발생 시에 실행하고 있던 레시피의 처리를 확인함으로써, 재해의 발생에 의해 가동이 강제적으로 정지한 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 용이하게 판단할 수 있다.
또한, 도 1의 정보 처리 시스템(1)은 일례이며, 용도나 목적에 따라 여러 가지 시스템 구성예가 있는 것은 물론이다. 예컨대 정보 처리 시스템(1)은, 각각의 열 처리 장치(10)의 장치 컨트롤러(12)가, 복수의 열 처리 장치(10)용의 장치 컨트롤러에 통합된 구성이나, 또한 분할된 구성 등, 여러 가지 구성이 가능하다.
<하드웨어 구성>
도 1에 나타내는 정보 처리 시스템(1)의 장치 컨트롤러(12), 정보 처리 장치(14), 및 정보 처리 단말(16)은 예컨대 도 2에 나타내는 것 같은 하드웨어 구성의 컴퓨터에 의해 실현된다. 도 2는 컴퓨터의 일례의 하드웨어 구성도이다.
도 2의 컴퓨터(500)는, 입력 장치(501), 출력 장치(502), 외부 I/F(인터페이스)(503), RAM(Random Access Memory)(504), ROM(Read Only Memory)(505), CPU(Central Processing Unit)(506), 통신 I/F(507) 및 HDD(Hard Disk Drive)(508) 등을 구비하고, 각각이 버스(B)로 상호 접속되어 있다. 또한, 입력 장치(501) 및 출력 장치(502)는 필요할 때에 접속하여 이용하는 형태여도 좋다.
입력 장치(501)는 키보드나 마우스, 터치 패널 등이며, 작업자 등이 각 조작 신호를 입력하는 데 이용된다. 출력 장치(502)는 디스플레이 등이며, 컴퓨터(500)에 의한 처리 결과를 표시한다. 통신 I/F(507)는 컴퓨터(500)를 네트워크(18 또는 20)에 접속하는 인터페이스이다. HDD(508)는, 프로그램이나 데이터를 저장하고 있는 불휘발성의 기억 장치의 일례이다.
외부 I/F(503)는, 외부 장치와의 인터페이스이다. 컴퓨터(500)는 외부 I/F(503)를 통해 SD(Secure Digital) 메모리 카드 등의 기록 매체(503a)의 판독 및/또는 기록을 행할 수 있다. ROM(505)은, 프로그램이나 데이터가 저장된 불휘발성의 반도체 메모리(기억 장치)의 일례이다. RAM(504)은 프로그램이나 데이터를 일시 유지하는 휘발성의 반도체 메모리(기억 장치)의 일례이다.
CPU(506)는, ROM(505)이나 HDD(508) 등의 기억 장치로부터 프로그램이나 데이터를 RAM(504)상에 판독하여, 처리를 실행함으로써, 컴퓨터(500) 전체의 제어나 기능을 실현하는 연산 장치이다.
도 1의 장치 컨트롤러(12), 정보 처리 장치(14), 및 정보 처리 단말(16)은, 도 2의 컴퓨터(500)의 하드웨어 구성 등에 의해, 각종 기능을 실현할 수 있다.
<기능 구성>
본 실시형태에 따른 정보 처리 시스템(1)의 정보 처리 장치(14)는, 예컨대 도 3에 나타내는 것 같은 기능 블록으로 실현된다. 도 3은 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 일례의 기능 블록도이다. 또한, 도 3의 기능 블록도는 본 실시형태의 설명에 불필요한 구성에 대해서 도시를 생략하고 있다.
도 3의 정보 처리 장치(14)는, 정보 처리 장치(14)용의 프로그램(예컨대 복구 지원 소프트웨어 등)을 실행함으로써, 수집 설정 보존부(50), 가동 상황 데이터 수집부(52), 가동 상황 데이터 보존부(54), 가동 상황 데이터 제공부(56), 조작 접수부(60), 및 출력 제어부(62)를 실현하고 있다.
수집 설정 보존부(50)는, 정보 처리 장치(14)가, 제조 공장(2)에 설치되어 있는 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터를 수집하기 위해 필요한 수집 설정을 보존한다. 수집 설정에는 장치 컨트롤러(12)와 통신을 행하기 위한 통신 설정, 가동 상황 데이터의 수집 타이밍 설정 등의 정보가 포함되어 있다.
가동 상황 데이터 수집부(52)는, 제조 공장(2)에 설치된 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터를 정기적으로 수집하여, 가동 상황 데이터 보존부(54)에 보존한다. 가동 상황 데이터 보존부(54)에는, 제조 공장(2)에 설치된 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터가 정기적으로 보존된다.
가동 상황 데이터 제공부(56)는, 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)을 조작하는 작업자 또는 관리자에게, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 정보로서 가동 상황 데이터의 일람 정보를 제공한다.
예컨대 재해의 발생에 의해 제조 공장(2)이 정전이 되어, 열 처리 장치(10)의 가동이 강제적으로 정지한 경우, 작업자 또는 관리자는 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)에 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보를 표시할 수 있다. 작업자 또는 관리자는 재해 발생 시에 실행하고 있던 레시피의 처리를 확인하기 위해, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)에 접근하여 확인할 필요가 없어진다.
작업자 또는 관리자는, 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)에 표시된 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보를 참조함으로써, 각각의 열 처리 장치(10)가 재해 발생 시에 실행하고 있던 레시피의 처리를 확인하여, 각각의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 판단할 수 있다.
조작 접수부(60)는, 작업자 또는 관리자 등의 사용자로부터 조작을 접수한다. 출력 제어부(62)는, 작업자 또는 관리자 등의 사용자로부터 접수한 조작에 따라, 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)의 디스플레이 등에 정보를 표시 출력한다. 출력 제어부(62)는, 정보를 메일 출력하여도 좋고, 인쇄 출력하여도 좋다.
예컨대 출력 제어부(62)는, 재해가 발생하기 전에 장치 컨트롤러(12)로부터 수신한 최근의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보를, 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)의 디스플레이 등에 표시 출력한다.
<처리>
재해가 발생하지 않은 평상 시, 정보 처리 장치(14)는 도 4에 나타내는 바와 같은 순서로 처리를 실행한다. 도 4는 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다. 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)는, 각각의 장치 컨트롤러(12)로부터 레시피에 따른 제어 명령을 접수하고, 비동기로 레시피의 처리(프로세스)를 실행하는 것으로 한다.
단계 S10에 있어서, 정보 처리 장치(14)의 가동 상황 데이터 수집부(52)는 수집 설정 보존부(50)로부터 수집 설정을 판독한다. 단계 S12에 있어서, 가동 상황 데이터 수집부(52)는 판독한 수집 설정에 포함되는 가동 상황 데이터의 수집 타이밍 설정에 기초하여, 가동 상황 데이터의 수집 타이밍인지의 여부를 판정한다.
가동 상황 데이터 수집부(52)는 가동 상황 데이터의 수집 타이밍으로 판정할 때까지 단계 S12의 처리를 반복한다. 또한, 가동 상황 데이터의 수집 타이밍으로 판정하면, 가동 상황 데이터 수집부(52)는 단계 S14의 처리를 행한다.
단계 S14에 있어서, 가동 상황 데이터 수집부(52)는 수집 설정에 따라, 제조 공장(2)에 설치된 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터를 수집한다. 수집한 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터는 단계 S16에 있어서 가동 상황 데이터 보존부(54)에 보존된다.
가동 상황 데이터 보존부(54)에 보존되는 복수의 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터는 예컨대 도 5에 나타내는 바와 같은 구성이다. 도 5는 본 실시형태에 따른 가동 상황 데이터의 일례의 구성도이다. 도 5의 가동 상황 데이터는, 항목으로서, 장치명, 프로세스종, 실행 상태, 실행 레시피명, 실행 서브 레시피명, 실행 단계명, 단계 경과 시간, 및 데이터 수집 결과를 포함한다.
장치명은, 열 처리 장치(10)의 식별 정보의 일례로서, 예컨대 열 처리 장치(10)의 명칭이다. 프로세스종은, 열 처리 장치(10)가 실행하는 프로세스의 종류를 나타내고 있다. 실행 상태는 단계의 실행 상태 정보의 일례이고, 실행 중, 일시 정지 중, 처리 준비 중 등의 실행 상태를 나타내고 있다. 실행 레시피명은 실행 중인 레시피의 식별 정보의 일례로서, 예컨대 실행 중인 레시피의 명칭이다. 실행 서브 레시피명은 실행 중인 서브 레시피의 식별 정보의 일례로서, 예컨대 실행 중인 서브 레시피의 명칭이다. 실행 단계명은, 실행 중인 단계의 식별 정보의 일례로서, 예컨대 실행 중인 단계의 단계 번호 및 단계명 등이다. 단계 경과 시간은, 단계를 개시한 후의 경과 시간을 나타내고 있다. 데이터 수집 결과는, 데이터 수집의 성공 또는 실패를 나타내고 있다.
가동 상황 데이터는, 또한 항목으로서 데이터 수집 일시, 레시피 개시 일시, 단계 개시 시각, 히터 온도, 또는 보트 엘리베이터 위치를 갖고 있어도 좋지만, 네트워크 부하를 경감하기 위해, 복구의 우선도를 판단하기 위해 필요한 필요 최소한의 항목인 것이 바람직하다.
단계 S18에 있어서, 가동 상황 데이터 수집부(52)는 가동 상황 데이터의 수집을 정지할지의 여부를 판정한다. 가동 상황 데이터 수집부(52)는 가동 상황 데이터의 수집을 정지한다고 판정할 때까지 단계 S12∼S18의 처리를 반복한다. 가동 상황 데이터 수집부(52)는 가동 상황 데이터의 수집을 정지한다고 판정하면, 도 4의 흐름도의 처리를 종료한다.
도 4의 흐름도의 처리에 따르면, 정보 처리 장치(14)는 재해가 발생하지 않은 평상 시에, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 예컨대 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터를 정기적으로 수집하여, 보존할 수 있다.
예컨대 재해의 발생에 의해 제조 공장(2)이 정전이 되어, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 가동이 강제적으로 정지가 된 것으로 한다. 정보 처리 장치(14)에는, 가동이 강제적으로 정지가 된 복수의 열 처리 장치(10)의 최근의 가동 상황 데이터가 예컨대 도 5에 나타내는 바와 같이 보존되어 있다.
정보 처리 장치(14)가 설치되는 환경은, 예컨대 제조 공장(2)으로부터 충분히 거리가 떨어진 원격지 등이기 때문에, 정보 처리 장치(14) 및 정보 처리 단말(16)은 정전 등의 영향을 받지 않는 것으로 한다. 정보 처리 장치(14) 및 정보 처리 단말(16)은, 제조 공장(2)에 재해가 발생하여 네트워크(18)를 사용할 수 없는 경우라도, 네트워크(20)를 통해 통신이 가능하다.
제조 공장(2)에 설치된 열 처리 장치(10)를 복구시키는 작업자, 또는 작업자에게 지시를 부여하여 열 처리 장치(10)를 복구시키는 관리자는, 정보 처리 장치(14) 또는 정보 처리 단말(16)을 조작하여, 제조 공장(2)에 설치된 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보의 참조 요구를 행한다.
정보 처리 장치(14)는, 예컨대 도 6에 나타내는 바와 같은 순서로 처리를 실행한다. 도 6은 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다.
제조 공장(2)에 마련된 열 처리 장치(10)의 가동 상황 데이터의 일람 정보의 참조 요구를 작업자 또는 관리자로부터 접수할 때까지, 가동 상황 데이터 제공부(56)는 단계 S30의 처리를 반복한다. 또한, 참조 요구를 작업자 또는 관리자로부터 접수하면, 가동 상황 데이터 제공부(56)는 단계 S32의 처리를 행한다.
단계 S32에 있어서, 가동 상황 데이터 제공부(56)는, 참조 요구가 있었던 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 예컨대 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터를 가동 상황 데이터 보존부(54)로부터 판독한다. 단계 S34에 있어서, 가동 상황 데이터 제공부(56)는, 단계 S32에서 판독한 가동 상황 데이터의 일람 정보를 표시 출력 등을 함으로써, 참조 요구가 있었던 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 정보를 작업자 또는 관리자에게 제공한다.
예컨대 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터의 일람을 참조한 작업자 또는 관리자는, 각각의 레코드에 대응하는 열 처리 장치(10)가, 재해의 발생에 의해 가동이 강제적으로 정지되었을 때에 실행 중인 레시피, 그 레시피의 처리의 진행도, 및 실행 상태를 확인할 수 있다.
도 5의 장치명 「ToolA」의 열 처리 장치(10)는, 가동이 강제적으로 정지되었을 때에 열 처리를 실행 중이며, 처리 챔버에 가스가 충만할 가능성이 높은 것을 작업자 또는 관리자가 판단할 수 있다.
예컨대 도 5의 장치명 「ToolA」의 열 처리 장치(10)의 복구를 위해서는, 가스 누출 등의 가능성에 대처하기 위해, 가스 마스크의 장비 등이 필요하고, 또한 처리 챔버 안의 웨이퍼를 재이용할 수 있을 가능성이 낮기 때문에, 복구의 우선도가 낮아진다.
도 5의 장치명 「ToolC」의 열 처리 장치(10)는, 가동이 강제적으로 정지되었을 때에 열 처리를 준비 중이며, 처리 챔버에 가스가 충만할 가능성이 낮은 것을 작업자 또는 관리자가 판단할 수 있다.
예컨대 도 5의 장치명 「ToolC」의 열 처리 장치(10)의 복구를 위해서는, 가스 누출 등의 가능성이 낮아, 가스 마스크의 장비 등이 불필요하며, 또한 처리 챔버 안의 웨이퍼를 재이용할 수 있을 가능성이 높기 때문에, 복구의 우선도가 높아진다.
이와 같이, 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터의 일람을 참조한 작업자 또는 관리자는, 도 5의 가동 상황 데이터의 일람 정보로부터, 제조 공장(2)에 설치되어 있는 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 용이하게 판단할 수 있다. 판단한 복구의 우선도에 따름으로써, 작업자 또는 관리자는 신속한 대응이 가능해져, 제조 공장(2)을 복구하여 재가동시키기까지의 시간을 단축하여 피해를 최소한으로 억제하는 것이 가능해진다.
도 6의 흐름도의 처리는, 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터의 일람으로부터 작업자 또는 관리자가 제조 공장(2)에 설치되어 있는 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 판단하는 것이다. 정보 처리 장치(14)는, 예컨대 도 5에 나타낸 가동 상황 데이터의 일람으로부터 제조 공장(2)에 설치되어 있는 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 판단하여, 작업자 또는 관리자에게 제공하여도 좋다.
도 7는 본 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 처리의 일례의 흐름도이다. 단계 S50∼S52의 처리는, 도 6의 단계 S30∼S32와 동일하다. 단계 S54에 있어서, 가동 상황 데이터 제공부(56)는, 단계 S52에서 판독한 가동 상황 데이터의 일람 정보에 기초하여, 참조 요구가 있었던 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 미리 설정해 둔 룰 테이블 등에 기초하여 판단한다.
룰 베이스는, 예컨대 재이용이 가능한 웨이퍼를 회수할 수 있을 가능성이 높은 열 처리 장치(10)의 우선도를 높게, 재이용이 가능한 웨이퍼를 회수할 수 있을 가능성이 낮은 열 처리 장치(10)의 우선도를 낮게, 판단하도록 설정한다. 또한, 룰 베이스는, 예컨대 가스 누출의 가능성이 높은 열 처리 장치(10)의 우선도를 낮게, 가스 누출의 가능성이 낮은 열 처리 장치(10)의 우선도를 높게, 판단하도록 설정한다.
단계 S56에 있어서, 정보 처리 장치(14)는 가동 상황 데이터의 일람 정보와, 단계 S54에서 판단한 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 복구의 우선도를 표시 출력 등을 함으로써, 제조 공장(2)의 복수의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 정보를 작업자 또는 관리자에게 제공할 수 있다.
본 실시형태에 따른 정보 처리 시스템(1)에 의하면, 제조 공장(2)에 있어서 열 처리 장치(10)가 강제적으로 정지하는 재해 또는 사고 등이 생긴 경우라도, 제조 공장(2)의 열 처리 장치(10)의 복구를 지원하는 기술을 제공할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세하게 설명하였지만, 본 발명은 전술한 실시예에 제한되지 않고, 본 발명의 범위를 일탈하는 일없이, 전술한 실시예에 여러 가지의 변형 및 치환을 가할 수 있다.

Claims (8)

  1. 정보 처리 장치에 있어서,
    제조 공장에 설치된 복수의 열 처리 장치의 가동 상황 데이터를 수집하도록 구성된 가동 상황 데이터 수집부와,
    상기 가동 상황 데이터를 상기 열 처리 장치마다 보존하도록 구성된 가동 상황 데이터 보존부와,
    상기 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지한 경우에, 상기 복수의 열 처리 장치의 복구를 지원하는 정보로서, 상기 가동 상황 데이터 보존부에 보존되어 있는 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 제공하도록 구성된 가동 상황 데이터 제공부
    를 포함하는 정보 처리 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 가동 상황 데이터 수집부는, 작업자에 의한 상기 복수의 열 처리 장치의 복구의 우선도를 판단하기 위해 필요한 정보를 상기 복수의 열 처리 장치로부터 정기적으로 수집하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 처리 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 가동 상황 데이터는, 상기 열 처리 장치가 실행 중인 레시피의 식별 정보, 상기 레시피의 처리의 진행도를 나타내는 단계의 식별 정보, 및 상기 단계의 실행 상태 정보를 포함하는 것을 특징으로 하는 정보 처리 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가동 상황 데이터 제공부는, 상기 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지하기 전의 최근에 상기 가동 상황 데이터 보존부에 보존된 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 작업자에게 제공하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 처리 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 가동 상황 데이터 제공부는, 상기 가동 상황 데이터 보존부에 보존되어 있는 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터에 기초하여, 상기 복수의 열 처리 장치의 복구의 우선도를 나타내는 정보를 제공하도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 처리 장치.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제조 공장이 상기 복수의 열 처리 장치의 가동을 강제적으로 정지하는 환경이 되어도, 가동을 계속할 수 있는 환경에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 정보 처리 장치.
  7. 컴퓨터로 하여금 프로세스를 실행하게 하는 프로그램을 저장한 비일시적 컴퓨터 판독가능 저장 매체에 있어서,
    상기 프로세스는,
    제조 공장에 설치된 복수의 열 처리 장치의 가동 상황 데이터를 수집하는 가동 상황 데이터 수집 동작,
    상기 가동 상황 데이터를 상기 열 처리 장치마다 보존하는 가동 상황 데이터 보존 동작,
    상기 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지한 경우에, 상기 복수의 열 처리 장치의 복구를 지원하는 정보로서, 상기 가동 상황 데이터 보존 순서로 보존된 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 제공하는 가동 상황 데이터 제공 동작
    을 포함하는 비일시적 컴퓨터 판독가능 저장 매체.
  8. 제조 공장에 설치된 복수의 열 처리 장치, 상기 복수의 열 처리 장치와 통신 가능하게 접속된 정보 처리 장치, 및 상기 정보 처리 장치와 통신 가능하게 접속된 정보 처리 단말을 갖는 정보 처리 시스템이 실행하는 복구 지원 방법에 있어서,
    상기 복수의 열 처리 장치의 가동 상황 데이터를 수집하는 단계와,
    상기 가동 상황 데이터를 상기 열 처리 장치마다 보존하는 단계와,
    상기 복수의 열 처리 장치의 가동이 강제적으로 정지한 경우에, 상기 복수의 열 처리 장치의 복구를 지원하는 정보로서, 상기 보존한 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 상기 정보 처리 단말에 제공하는 단계와,
    상기 정보 처리 단말이, 상기 열 처리 장치마다의 상기 가동 상황 데이터의 일람 정보를 표시하는 단계
    를 포함하는 복구 지원 방법.
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