KR20230134984A - 연마 방법 및 연마 장치 - Google Patents

Abstract

기판의 연마 프로세스의 안정화를 실현할 수 있는 연마 방법이 제공된다.
연마 방법은, 기판 W의 연마 종료 후, 파인 버블액을 연마 패드(1) 상에 공급한다.

Description

연마 방법 및 연마 장치{POLISHING METHOD AND POLISHING APPARATUS}

본 발명은, 연마 방법 및 연마 장치에 관한 것이다.

반도체 디바이스의 제조 공정에 있어서는, 디바이스 표면의 평탄화 기술이 점점 중요해지고 있다. 이 평탄화 기술 중, 가장 중요한 기술은, 화학적 기계 연마(Chemical Mechanical Polishing 또는 CMP)이다. 이 화학적 기계적 연마(이하, CMP라고 칭함)는 연마 장치를 사용하여, 실리카(SiO₂)나 세리아(CeO₂) 등의 지립을 포함한 연마액(슬러리)을 연마 패드에 공급하면서, 웨이퍼 등의 기판을 보유 지지한 연마 헤드를 연마 패드의 연마면에 미끄럼 접촉시켜서 연마를 행하는 것이다.

기판의 연마 후에 있어서, 연마 패드 상에 액체(예를 들어, 순수)를 공급하여, 기판의 연마 프로세스의 안정화를 도모하는 것이 행해지고 있다. 예를 들어, 기판의 표면에 부착된 연마 부스러기나 연마액의 지립을 제거하기 위해서, 기판을 물 연마하거나, 다음 기판을 연마하기 위한 준비로서, 연마 패드의 표면 상태를 정돈하거나, 연마 패드 표면의 연마 부스러기나 연마액의 지립을 제거하기 위해서, 연마 패드를 드레싱하거나 한다.

일본 특허 공개 제2015-44250호 공보

그러나, 기판의 연마 프로세스의 안정화를 도모하기 위해서, 기판의 물 연마 시에 있어서, 기판에 대한 연마 압력을 높게 하거나, 처리 시간을 길게 하면, 기판의 스루풋이 나빠질 뿐만 아니라, 기판에 결함이 발생해 버릴 우려가 있다.

기판의 연마 프로세스의 안정화를 도모하기 위해서, 연마 패드의 드레싱 시에 있어서, 드레싱 하중을 높게 하거나, 연마 테이블의 회전 속도를 높이거나 해서, 연마 패드를 많이 깎아내면, 연마 패드의 수명이 짧아질 뿐만 아니라, 연마 레이트나 기판의 프로파일에 악영향을 미칠 우려가 있다.

그래서, 본 발명은 기판의 연마 프로세스의 안정화를 실현할 수 있는 연마 방법 및 연마 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

일 양태에서는, 연마 패드를 지지하는 연마 테이블을 회전시켜, 상기 연마 패드 상에 연마액을 공급한 상태에서, 연마 헤드로 보유 지지된 기판을 상기 연마 패드에 압박하여, 상기 기판을 연마하고, 상기 기판의 연마 종료 후, 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 방법이 제공된다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 요동 가능한 노즐 암의, 단수 또는 복수의 노즐로부터 상기 연마 패드 상에 공급된다.

일 양태에서는, 상기 기판을 상기 연마 패드에 압박한 상태에서, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하여, 상기 기판을 상기 파인 버블액으로 연마한다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액을 구비하고 있다.

일 양태에서는, 상기 기판의 연마 종료 후, 상기 기판을 상기 연마 패드로부터 반송하고, 상기 기판의 반송 후, 드레서를 상기 연마 패드 상에 이동시켜서, 상기 연마 패드를 드레싱하고, 상기 연마 패드의 드레싱 중에 있어서, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급한다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액을 구비하고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 연장되는 아토마이저로부터 상기 연마 패드 상에 공급된다.

일 양태에서는, 상기 기판의 연마 종료 후, 상기 기판을 상기 연마 패드로부터 반송하고, 상기 기판의 반송 후, 상기 연마 헤드를 상기 연마 패드의 외부에 위치하는 퇴피 위치로 이동시켜, 상기 파인 버블액을, 상기 퇴피 위치에 배치된 상기 연마 헤드에 공급하여, 상기 연마 헤드를 세정한다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 복수종의 가스 중, 상기 기판의 구조에 대응하는 가스로부터 생성된 버블을 갖고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 상기 가스를 액체에 용해시키는 가압 용해 방식에 의해 생성된다.

일 양태에서는, 파티클 카운터에 의해 상기 파인 버블액에 포함되는 버블수를 계측하고, 상기 버블수가 소정의 기준수에 도달한 후에, 상기 파인 버블액을 공급한다.

일 양태에서는, 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과, 기판을 상기 연마 패드에 압박하는 연마 헤드와, 상기 연마 패드에 액체를 공급하는 액체 공급 기구와, 상기 액체 공급 기구의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하는 연마 장치가 제공된다. 상기 액체 공급 기구는, 상기 기판의 연마 종료 후, 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는 파인 버블액 공급 장치를 구비하고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 요동 가능한 노즐 암과, 상기 노즐 암에 배치된, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는 단수 또는 복수의 파인 버블액 노즐을 구비하고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 연마 헤드가 상기 기판을 상기 연마 패드에 압박한 상태에서, 상기 파인 버블액으로서, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급한다.

일 양태에서는, 상기 연마 장치는, 상기 연마 패드를 드레싱하고, 또한 상기 제어 장치에 전기적으로 접속된 드레싱 장치를 구비하고 있고, 상기 제어 장치는, 상기 기판의 연마가 종료되고, 상기 기판의 반송 후, 상기 드레싱 장치를 조작함으로써, 드레서를 상기 연마 패드 상에 이동시켜서, 상기 연마 패드를 드레싱하고, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 연마 패드의 드레싱 중에 있어서, 상기 파인 버블액으로서, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급한다.

일 양태에서는, 상기 연마 장치는, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 연장되는 아토마이저를 구비하고 있고, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을 상기 아토마이저로부터 상기 연마 패드 상에 공급한다.

일 양태에서는, 상기 제어 장치는, 상기 기판의 연마가 종료되고, 상기 기판의 반송 후, 상기 연마 헤드를 상기 연마 패드의 외부에 위치하는 퇴피 위치로 이동시키고, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을, 상기 퇴피 위치에 배치된 상기 연마 헤드에 공급하여, 상기 연마 헤드를 세정한다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액은, 복수종의 가스 중, 상기 기판의 구조에 대응하는 가스로부터 생성된 버블을 갖고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을, 상기 가스를 액체에 용해시키는 가압 용해 방식에 의해 생성하는 파인 버블액 생성 장치를 구비하고 있다.

일 양태에서는, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액에 포함되는 버블수를 계측하는 파티클 카운터를 구비하고 있고, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파티클 카운터에 의해 계측된 버블수에 기초하여, 상기 버블수가 소정의 기준수에 도달한 후에, 상기 파인 버블액을 공급한다.

기판의 연마 종료 후에, 높은 세정력을 갖는 파인 버블액을 연마 패드 상에 공급함으로써, 기판의 연마 프로세스의 안정화를 실현할 수 있다.

도 1은 연마 장치의 일 실시 형태를 도시하는 도면이다.
도 2는 액체 공급 기구를 도시하는 도면이다.
도 3은 파인 버블액 생성 장치를 도시하는 도면이다.
도 4는 파인 버블액 공급 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다.
도 5는 파인 버블액 생성 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다.
도 6은 제어 장치에 의한, 기판의 처리 플로를 도시하는 도면이다.
도 7은 연마 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다.
도 8은 제어 장치에 의한, 기판의 처리 플로의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대하여 도면을 참조하여 설명한다. 또한, 이하에서 설명하는 도면에 있어서, 동일하거나 또는 상당하는 구성 요소에는, 동일한 부호를 붙이고 중복된 설명을 생략한다.

도 1은, 연마 장치의 일 실시 형태를 도시하는 도면이다. 도 1에 도시하는 바와 같이, 연마 장치 PA는, 연마 패드(1)를 지지하는 연마 테이블(2)과, 웨이퍼 등의 기판 W를 연마 패드(1)에 압박하는 연마 헤드(3)와, 연마 패드(1)에 액체를 공급하기 위한 액체 공급 기구(4)를 구비하고 있다. 액체 공급 기구(4)로부터 연마 패드(1) 상에 공급되는 액체는, 연마액(슬러리), 순수(DIW) 또는 파인 버블액(후술함)이다.

연마 테이블(2)은, 연마 테이블(2)을 지지하는 테이블 축(도시 생략)을 통해, 연마 테이블(2)을 회전시키는 테이블 모터(도시 생략)에 연결되어 있다. 연마 패드(1)는 연마 테이블(2)의 상면에 첩부되어 있고, 연마 패드(1)의 상면이 기판 W를 연마하는 연마면을 구성하고 있다.

연마 헤드(3)는 연마 헤드 샤프트(도시 생략)의 하단에 고정되어 있다. 연마 헤드(3)는, 그 하면에 진공 흡착에 의해 기판 W를 보유 지지할 수 있도록 구성되어 있다. 연마 헤드 샤프트는 회전 기구(도시 생략)에 연결되어 있고, 연마 헤드(3)는 이 회전 기구에 의해 연마 헤드 샤프트를 통해 회전된다.

연마 장치 PA는, 연마 패드(1)를 드레싱하기 위한 드레싱 장치(10)를 더 구비하고 있다. 드레싱 장치(10)는, 연마 패드(1)의 연마면에 미끄럼 접촉되는 드레서(15)와, 드레서(15)를 지지하는 드레서 암(11)과, 드레서 암(11)을 선회시키는 드레서 선회 축(12)을 구비하고 있다. 드레서 선회 축(12)은, 연마 패드(1)의 외측에 배치되어 있다.

드레서 암(11)의 선회에 수반하여, 드레서(15)는 연마면 상을 요동한다. 드레서(15)의 하면은, 다이아몬드 입자 등의 다수의 지립으로 이루어지는 드레싱면을 구성한다. 드레서(15)는, 연마면 상을 요동하면서 회전하고, 연마 패드(1)를 약간 깎아냄으로써 연마면을 드레싱한다.

연마 장치 PA는, 세정액(보다 구체적으로는, 후술하는 파인 버블액)을 연마 패드(1)의 연마면에 분사하여 연마면을 세정하는 아토마이저(20)를 더 구비하고 있다. 아토마이저(20)는, 연마 패드(1)(또는 연마 테이블(2))의 반경 방향을 따라서 연장되어 있고, 연마 패드(1)의 연마면의 상방에 위치하고 있다. 아토마이저(20)는, 대유량의 세정액을 연마면에 분사함으로써, 연마 패드(1)의 연마면으로부터 연마 부스러기 및 연마액에 포함되는 지립을 제거한다. 아토마이저(20)는, 드레서(15)에 의한 연마면의 드레싱 시에 있어서도, 대유량의 세정액을 연마면에 분사한다.

연마 장치 PA는, 그 구성 요소(예를 들어, 연마 테이블(2), 연마 헤드(3), 액체 공급 기구(4), 드레싱 장치(10) 및 아토마이저(20))의 동작을 제어하는 제어 장치(9)를 구비하고 있다. 연마 장치 PA의 구성 요소는, 제어 장치(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 따라서, 제어 장치(9)는, 연마 장치 PA의 구성 요소의 동작을 제어할 수 있다.

도 2는, 액체 공급 기구를 도시하는 도면이다. 도 2에 도시하는 바와 같이, 액체 공급 기구(4)는, 연마 테이블(2)의 반경 방향으로 이동 가능한 노즐 암(30)과, 노즐 암(30)의 선단 부분(30a)에 배치된 슬러리 노즐(31)과, 노즐 암(30)의 암 부분(30b)에 배치된 순수 노즐(32) 및 파인 버블액 노즐(33A, 33B, 33C, 33D, 33E)을 구비하고 있다.

노즐 암(30)은, 노즐 암(30)을 선회시키는 노즐 선회 축(35)에 연결되어 있다(도 1 참조). 노즐 선회 축(35)은, 연마 패드(1)의 외측에 배치되어 있다. 노즐 암(30)은, 노즐 선회 축(35)의 구동(보다 구체적으로는, 노즐 선회 축(35)에 연결된 모터)에 의해, 연마 패드(1)의 외측에 있는 퇴피 위치와 연마 패드(1)의 상방에 있는 처리 위치 사이를 이동 가능하게 구성되어 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 노즐 암(30)이 처리 위치에 있을 때, 노즐 암(30)의 선단 부분(30a)은, 연마 패드(1)의 중심 CL의 상방에 배치된다. 따라서, 노즐 암(30)의 선단 부분(30a)에 배치된 슬러리 노즐(31)은, 그 분사구가 연마 패드(1)의 중심 CL에 대향하도록, 연마 패드(1)의 중심 CL의 상방에 배치된다.

노즐 암(30)이 처리 위치에 있을 때, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E) 각각은, 그 분사구가 연마 패드(1)의 중심 CL과 연마 패드(1)의 외주부 사이의 영역에 대향하도록, 이 영역의 상방에 배치된다. 순수 노즐(32)은, 슬러리 노즐(31)에 인접하여 배치되어 있고, 파인 버블액 노즐(33A)은, 순수 노즐(32)에 인접하여 배치되어 있다.

파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)은, 노즐 암(30)의 선단측(즉, 선단 부분(30a))으로부터 기단측을 향하여, 이 순으로 배치되어 있다. 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E) 각각은, 단관 형상을 가져도 되고, 스프레이 노즐 형상을 가져도 된다.

도 2에 도시하는 실시 형태에서는, 액체 공급 기구(4)는, 복수(보다 구체적으로는, 5개)의 파인 버블액 노즐을 구비하고 있지만, 파인 버블액 노즐의 수는, 본 실시 형태에 한정되지는 않는다. 일 실시 형태에서는, 액체 공급 기구(4)는, 1개의 파인 버블액 노즐을 구비해도 되고, 2개 이상의 파인 버블액 노즐을 구비해도 된다.

액체 공급 기구(4)는, 슬러리 노즐(31)에 접속된 슬러리 라인(42)과, 슬러리 라인(42)를 개폐하는 개폐 밸브(43)와, 슬러리 라인(42)을 통해서, 슬러리 노즐(31)에 슬러리를 공급하는 슬러리 공급원(41)을 구비하고 있다. 마찬가지로, 액체 공급 기구(4)는, 순수 노즐(32)에 접속된 순수 라인(45)과, 순수 라인(45)을 개폐하는 개폐 밸브(46)와, 순수 라인(45)을 통해서, 순수 노즐(32)에 순수를 공급하는 순수 공급원(44)을 구비하고 있다.

개폐 밸브(43, 46)는, 제어 장치(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(9)가 개폐 밸브(43)를 개방하면, 슬러리는, 슬러리 라인(42)을 통해서, 슬러리 공급원(41)으로부터 슬러리 노즐(31)에 공급된다. 마찬가지로, 제어 장치(9)가 개폐 밸브(46)를 개방하면, 순수는, 순수 라인(45)을 통해서, 순수 공급원(44)으로부터 순수 노즐(32)에 공급된다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 액체 공급 기구(4)는, 파인 버블액을 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)의 각각에 공급하는 파인 버블액 공급 장치(50)를 구비하고 있다. 파인 버블액 공급 장치(50)는, 파인 버블액 노즐(33A)에 접속된 파인 버블액 공급 라인(52)과, 파인 버블액 공급 라인(52)에 접속된 분사 노즐(51)과, 파인 버블액 공급 라인(52) 및 파인 버블액 노즐(33B 내지 33E) 각각에 접속된 파인 버블액 복귀 라인(53)을 구비하고 있다.

파인 버블액 공급 장치(50)는, 파인 버블액 공급 라인(52)에 접속된 바이패스 라인(57)과, 파인 버블액 공급 라인(52)에 접속된 마이크로 버블 필터(59)와, 바이패스 라인(57)에 접속된 울트라 파인 버블 필터(58)를 구비하고 있다.

파인 버블액 공급 장치(50)는, 바이패스 라인(57)을 파인 버블액 공급 라인(52)에 접속하는 삼방 밸브(56A, 56B)를 구비하고 있다. 삼방 밸브(56A, 56B) 각각은, 제어 장치(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(9)는, 삼방 밸브(56A, 56B) 각각을 동작시킴으로써, 분사 노즐(51)로부터 분사된 액체(보다 구체적으로는, 후술하는 혼합액)의 흐름을, 마이크로 버블 필터(59)를 통과시키는 흐름과, 울트라 파인 버블 필터(58)를 통과시키는 흐름 사이에서 전환할 수 있다.

마이크로 버블 필터(59)는, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액의 통과를 허용하고, 마이크로 버블보다도 큰 사이즈의 버블을 포착(제거)한다. 따라서, 분사 노즐(51)로부터 분사된 액체가 마이크로 버블 필터(59)를 통과하면, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액이 공급된다.

울트라 파인 버블 필터(58)는, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액의 통과를 허용하고, 울트라 파인 버블보다도 큰 사이즈의 버블을 포착(제거)한다. 따라서, 분사 노즐(51)로부터 분사된 액체가 울트라 파인 버블 필터(58)를 통과하면, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액이 공급된다.

이와 같이 하여, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 마이크로 버블액과, 울트라 파인 버블액을 공급할 수 있다. 본 명세서에 있어서, 파인 버블액은, 마이크로 버블액 및 울트라 파인 버블액을 구비하는 상위 개념이고, 울트라 파인 버블액은, 마이크로 버블액보다도 작은 버블 직경을 갖고 있다.

파인 버블은, 수중에서 장시간 부유하는 성질을 갖고 있고, 또한 큰 비표면적을 갖고 있다. 또한 파인 버블은, 소수성·친유성을 갖고 있다. 이러한 파인 버블을 갖는 파인 버블액은, 계면에서의 화학 반응을 촉진하고, 유지 등의 소수성 물질의 표면에 흡착하기 쉬운 성질을 갖고 있다.

파인 버블액 공급 장치(50)는, 파인 버블액의 흐름 방향에 있어서, 삼방 밸브(56A)의 하류측에 배치된 파티클 카운터(60)를 더 구비해도 된다. 파티클 카운터(60)는, 파인 버블액에 포함되는 버블수를 계측하도록 구성되어 있다. 따라서, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 파티클 카운터(60)에 의해 계측된 버블수에 기초하여, 파인 버블액에 포함되는 버블수가 소정의 기준수에 도달한 후에, 파인 버블액을 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E) 각각으로부터 공급해도 된다. 소정의 기준수를 충족하는 버블을 갖는 파인 버블액은, 그 성질을 충분히 발휘할 수 있다.

도 2에 도시하는 바와 같이, 울트라 파인 버블 필터(58) 및 마이크로 버블 필터(59)는, 노즐 암(30)(보다 구체적으로는, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E))에 인접하여 배치되어 있다. 필터(58, 59)와 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E) 사이의 거리가 크면, 파인 버블액이 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)로 이동하는 동안에, 파인 버블액에 포함되는 버블이 소실되어 버릴 우려가 있다. 본 실시 형태에서는, 이러한 배치에 의해, 파인 버블액에 포함되는 버블의 소실을 확실하게 방지할 수 있다.

파인 버블액 복귀 라인(53)은, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)에 접속된 분기 라인(53A, 53B, 53C, 53D, 53E)을 구비하고 있다. 파인 버블액 공급 장치(50)는, 분기 라인(53A, 53B, 53C, 53D, 53E)에 접속된 개폐 밸브(54A, 54B, 54C, 54D, 54E)와, 파인 버블액 복귀 라인(53)에 접속된 개폐 밸브(55)를 구비하고 있다. 개폐 밸브(54A, 54B, 54C, 54D, 54E) 및 개폐 밸브(55)는, 제어 장치(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A, 54B, 54C, 54D, 54E)의 각각의 동작과, 개폐 밸브(55)의 동작을 제어 가능하다.

파인 버블액을 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)로부터 공급하는 경우에는, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 개방하고, 또한 개폐 밸브(55)를 닫는다. 이 동작에 의해, 파인 버블액 공급 라인(52)을 흐르는 파인 버블액은, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)로부터 공급된다.

개폐 밸브(54A 내지 54E)는, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)에 대응하고 있다. 따라서, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E) 각각을 제어함으로써, 파인 버블액을 공급해야 할 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)을 임의로 선택할 수 있다.

예를 들어, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A)를 개방하고, 개폐 밸브(54B, 54C, 54D, 54E) 및 개폐 밸브(55)를 닫음으로써, 파인 버블액은, 파인 버블액 노즐(33A)로부터만 공급된다. 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(55)를 개방하고, 개폐 밸브(54A, 54B, 54C, 54D, 54E)를 닫음으로써, 파인 버블액은, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)의 어느 것으로부터도 공급되지 않고, 파인 버블액 복귀 라인(53)을 통하여 외부로 배출된다.

도 3은, 파인 버블액 생성 장치를 도시하는 도면이다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 파인 버블액을 생성하는 파인 버블액 생성 장치(100)를 구비하고 있다. 파인 버블액 생성 장치(100)는, 가스를 액체에 용해시키는 가압 용해 방식에 의해 파인 버블액을 생성하는 장치이다.

도 3에 도시하는 바와 같이, 파인 버블액 생성 장치(100)는, 순수와 가스의 혼합액을 저류하는 버퍼 탱크(61)와, 순수를 버퍼 탱크(61)에 공급하기 위한 순수 공급 라인(62)과, 가스(도 3에 도시하는 실시 형태에서는, 불활성 가스로서의 질소 가스)를 버퍼 탱크(61)에 공급하기 위한 가스 공급 라인(63)을 구비하고 있다. 파인 버블액 생성 장치(100)는, 버퍼 탱크(61)에 접속된 이송 라인(65)과, 이송 라인(65)에 접속된 펌프(66)와, 펌프(66)의 구동에 의해 이송된 혼합액을 저류하는 가압 용해 탱크(64)를 구비하고 있다.

제어 장치(9)는, 펌프(66)에 전기적으로 접속되어 있고, 펌프(66)를 구동할 수 있다. 펌프(66)의 구동에 의해, 버퍼 탱크(61) 내의 혼합액은, 이송 라인(65)을 통하여 가압 용해 탱크(64)에 이송된다. 혼합액은, 가압된 상태에서 가압 용해 탱크(64)에 저류된다. 파인 버블액 생성 장치(100)는, 가압 용해 탱크(64) 내의 가압된 혼합액을 분사 노즐(51)에 도입하는 도입 라인(67)과, 도입 라인(67)에 접속된 개폐 밸브(68)를 구비하고 있다. 개폐 밸브(68)는, 제어 장치(9)에 접속되어 있고, 제어 장치(9)가 개폐 밸브(68)를 개방함으로써, 가압된 혼합액은, 도입 라인(67)을 통하여 분사 노즐(51)에 도입된다.

분사 노즐(51)은, 그 내부에 높은 압력 손실을 발생시키는 감압 개방부(도시 생략)를 구비하고 있다. 감압 개방부는, 예를 들어 오리피스이다. 가스가 충분히 용해되어, 가압된 혼합액이 분사 노즐(51)에 도입되면, 혼합액의 압력은 감압 개방부에 의해 급격하게 저하되고, 용해되어 있는 가스가 파인 버블로서 혼합액 중에 발생한다. 분사 노즐(51)로부터 분사된 혼합액에 포함되는 파인 버블은, 마이크로 버블 필터(59) 또는 울트라 파인 버블 필터(58)에 의해, 마이크로 버블 또는 울트라 파인 버블로 선별된다.

도 4는, 파인 버블액 공급 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다. 상술한 바와 같이, 액체 공급 기구(4)(보다 구체적으로는, 파인 버블액 공급 장치(50))는, 하나의 파인 버블액 노즐(33)과, 파인 버블액 노즐(33)에 대응하는 개폐 밸브(54)를 구비해도 된다.

도 4에 도시하는 바와 같이, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 반드시, 울트라 파인 버블 필터(58) 및 마이크로 버블 필터(59)의 양쪽을 구비할 필요는 없고, 울트라 파인 버블 필터(58) 및 마이크로 버블 필터(59)의 어느 것을 구비해도 된다. 또한, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 반드시, 파티클 카운터(60)를 구비할 필요는 없다.

도 5는, 파인 버블액 생성 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다. 도 5에 도시하는 바와 같이, 파인 버블액 생성 장치(100)는, 제1 가스(예를 들어, 질소 가스)를 버퍼 탱크(61)에 공급하기 위한 가스 공급 라인(63A)과, 제2 가스(예를 들어, 산소 가스, 이산화탄소 가스(탄산 가스), 오존 가스)를 버퍼 탱크(61)에 공급하기 위한 가스 공급 라인(63B)을 구비해도 된다.

처리 대상의 기판 W의 구조에 따라, 사용 가능한 가스종이 존재한다. 따라서, 파인 버블액 생성 장치(100)는, 처리 대상의 기판 W의 구조에 대응하는 가스를, 가스 공급 라인(63A, 63B)으로부터 선택적으로 공급한다. 이와 같은 구성에 의해, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 복수종의 가스 중, 기판 W의 구조에 대응하는 가스로부터 생성된 버블을 갖는 파인 버블액을 공급할 수 있다.

도 6은, 제어 장치에 의한, 기판의 처리 플로를 도시하는 도면이다. 제어 장치(9)는, 노즐 암(30)을 동작시켜서, 노즐 암(30)의 선단 부분(30a)을 연마 패드(1)의 중심 CL의 상방에 배치시킨다. 제어 장치(9)는, 연마 테이블(2)을 회전시키면서, 개폐 밸브(43)를 개방하고, 연마 패드(1) 상에 슬러리를 공급한다(도 6의 스텝 S101 참조). 이 상태에서, 제어 장치(9)는, 연마 헤드(3)로 보유 지지된 기판 W를 회전시키면서, 연마 패드(1)에 압박하고, 기판 W를 슬러리 연마한다(스텝 S102 참조). 스텝 S102에 있어서, 제어 장치(9)는, 연마 패드(1) 및 연마 헤드(3)를 동일 방향으로 회전시켜서, 기판 W를 연마한다.

이때, 제어 장치(9)는, 울트라 파인 버블액을 안정적으로 공급하기 위한 공급 준비를, 기판 W의 연마 동작(즉, 스텝 S102)과 병행하여 실행한다(스텝 S103 참조). 보다 구체적으로는, 제어 장치(9)는, 울트라 파인 버블액을 공급하기 위해서, 삼방 밸브(56A, 56B)를 조작하여, 바이패스 라인(57)을 개방한다. 그러면, 분사 노즐(51)로부터 분사된 액체는, 마이크로 버블 필터(59)를 통과하지 않고, 울트라 파인 버블 필터(58)를 통과하고, 결과적으로, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 울트라 파인 버블액을 공급한다.

제어 장치(9)가 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 닫고, 개폐 밸브(55)를 개방함으로써, 울트라 파인 버블액은, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)로부터 공급되지 않고, 파인 버블액 복귀 라인(53)을 통해서, 외부로 배출된다. 제어 장치(9)는, 파티클 카운터(60)에 의해 계측된 버블수에 기초하여, 울트라 파인 버블액의 버블수가 안정되어 있는지의 여부를 판단한다.

그 후, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(43)를 닫고, 기판 W의 슬러리 연마를 종료한다. 기판 W의 슬러리 연마 종료 후, 제어 장치(9)는, 기판 W의 물 연마(본 실시 형태에서는, 파인 버블액 연마)를 개시한다(스텝 S104 참조). 보다 구체적으로는, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E) 중 적어도 하나를 개방하고, 또한 개폐 밸브(55)를 닫고, 울트라 파인 버블액을, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)의 적어도 하나로부터, 연마 패드(1) 상에 공급한다.

울트라 파인 버블액이 연마 패드(1) 상에 공급되면, 울트라 파인 버블액에 포함되는 버블은 파열된다. 파열된 버블의 충격에 의해, 국소적으로 에너지(발광, 고온 고압, 충격파 등)가 방출되고, 이 에너지에 의해 기판 W의 표면에 부착된 연마 부스러기나 연마액의 지립이 제거된다. 또한, 울트라 파인 버블액의 기액 계면이 마이너스의 전위를 띠기 때문에, 울트라 파인 버블액은, 플러스의 전위를 띤 전해질 이온이나 오염을 흡착하고, 제거한다.

버블의 충격의 크기는, 버블 직경에 의존한다. 따라서, 연마 패드(1) 상에 공급되는 파인 버블액이 마이크로 버블액인 경우, 마이크로 버블액에 포함되는 버블의 파열에 기인하는 충격은, 울트라 파인 버블액에 포함되는 버블의 파열에 기인하는 충격보다도 크다.

본 실시 형태에서는, 기판 W는, 울트라 파인 버블액으로 연마된다. 따라서, 버블의 파열에 기인하여 기판 W에 부여되는 충격은 작다. 기판 W는, 미세한 구조를 갖고 있는 경우가 있기 때문에, 기판 W를 울트라 파인 버블액으로 연마함으로써, 기판 W가 받는 대미지를 작게 할 수 있다. 결과로서, 기판 W에 결함이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 이와 같은 구성에 의해, 기판 W의 처리 시간을 길게 할 필요가 없고, 기판 W의 스루풋을 향상시킬 수 있다.

기판 W의 울트라 파인 버블액 연마를 종료한 후, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 닫으면서, 개폐 밸브(46)를 개방하고, 순수를 연마 패드(1) 상에 공급한다. 그 후, 제어 장치(9)는, 연마 테이블(2) 및 연마 헤드(3)를 회전시키면서, 기판 W를 연마 헤드(3)에 흡착시킨다(스텝 S105 참조). 이 상태에서, 제어 장치(9)는, 연마 헤드(3)를 상승시키고, 연마 헤드(3)를 연마 패드(1)의 상방에 위치시킨다.

제어 장치(9)는, 마이크로 버블액을 안정적으로 공급하기 위한 공급 준비를, 기판 W의 반송 동작(즉, 스텝 S105 및 후술하는 스텝 S107)과 병행하여 실행한다(스텝 S106 참조). 보다 구체적으로는, 제어 장치(9)는, 마이크로 버블액을 공급하기 위해서, 삼방 밸브(56A, 56B)를 조작하여, 바이패스 라인(57)을 닫으면서, 파인 버블액 공급 라인(52)의 일부(보다 구체적으로는, 삼방 밸브(56A)의 상류측 및 삼방 밸브(56B)의 하류측)를 개방한다. 그러면, 파인 버블액은, 마이크로 버블 필터(59)를 통과하고, 결과적으로, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 마이크로 버블액을 공급한다.

제어 장치(9)가 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 닫고, 개폐 밸브(55)를 개방함으로써, 마이크로 버블액은, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)로부터 공급되지 않고, 파인 버블액 복귀 라인(53)을 통해서, 외부로 배출된다. 제어 장치(9)는, 파티클 카운터(60)에 의해 계측된 버블수에 기초하여, 마이크로 버블액의 버블수가 안정되어 있는지의 여부를 판단한다.

스텝 S105의 후, 제어 장치(9)는, 기판 W를 흡착한 연마 헤드(3)를 연마 패드(1)의 외부로 이동시키고, 기판 W를 다음 공정으로 반송한다(스텝 S107 참조). 스텝 S107의 후, 제어 장치(9)는, 드레서(15)를 연마 패드(1) 상으로 이동시키면서, 마이크로 버블액을 연마 패드(1) 상에 공급하여, 연마 패드(1)를 드레싱한다(스텝 S108 참조).

연마 패드(1)의 드레싱 시에 있어서, 제어 장치(9)는, 연마 패드(1)의 상방에 배치된 아토마이저(20)로부터 대유량의 세정액을 연마 패드(1)의 표면에 분사시켜도 된다. 일 실시 형태에서는, 노즐 암(30)으로부터 공급되는 파인 버블액의 유량은, 1L/min이고, 아토마이저(20)로부터 공급되는 파인 버블액의 유량은, 10L/min이다.

본 실시 형태에서는, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 노즐 암(30)을 통해서, 파인 버블액을 공급하도록 구성되어 있다. 일 실시 형태에서는, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 아토마이저(20)를 통해서, 파인 버블액을 공급하도록 구성되어도 된다. 이와 같은 구성에 의해, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 노즐 암(30)을 통하여 파인 버블액을 공급할 뿐만 아니라, 아토마이저(20)를 통하여 대유량의 파인 버블액을 연마 패드(1) 상에 공급할 수 있다. 아토마이저(20)로부터 파인 버블액을 공급하는 구조에 대해서는, 노즐 암(30)으로부터 파인 버블액을 공급하는 구조와 동일하기 때문에, 설명을 생략한다.

연마 패드(1)의 드레싱 중에 있어서, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 마이크로 버블액을 연마 패드(1) 상에 공급한다. 보다 구체적으로는, 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E) 중 적어도 하나를 개방하고, 또한 개폐 밸브(55)를 닫아서, 마이크로 버블액을, 파인 버블액 노즐(33A 내지 33E)의 적어도 하나로부터, 연마 패드(1) 상에 공급한다.

상술한 바와 같이, 마이크로 버블액에 포함되는 버블의 파열에 기인하는 충격은, 울트라 파인 버블액에 포함되는 버블의 파열에 기인하는 충격보다도 크다. 따라서, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 버블의 파열에 기인하여 연마 패드(1)의 표면(연마면)에 큰 충격을 부여할 수 있다.

이와 같은 구성에 의해, 연마 패드(1)의 눈막힘을 보다 확실하게 해소할 수 있다. 따라서, 연마 패드(1)의 드레싱 시에 있어서, 연마 패드(1)의 깎임량을 작게 할 수 있다. 결과로서, 연마 패드(1)의 장수명화를 실현할 수 있고, 연마 레이트나 기판 W의 프로파일에 악영향을 미치는 일은 없다. 또한, 드레싱 시간이 단축되고, 스루풋을 향상시킬 수 있다.

본 실시 형태에 따르면, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 기판 W의 연마 종료 후에, 높은 세정력을 갖는 파인 버블액(즉, 울트라 파인 버블액, 마이크로 버블액)을 연마 패드(1) 상에 공급함으로써, 기판 W의 연마 프로세스의 안정화를 실현할 수 있다.

도 7은, 연마 장치의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다. 도 7에 도시하는 바와 같이, 연마 장치 PA(보다 구체적으로는, 파인 버블액 공급 장치(50))는 파인 버블액을 연마 장치 PA의 구성 요소(본 실시 형태에서는, 연마 헤드(3), 액체 공급 기구(4) 및 드레싱 장치(10))에 분배하는 파인 버블액 분배 장치(70)를 구비해도 된다.

파인 버블액 분배 장치(70)는, 파인 버블액 복귀 라인(53)에 접속된 분배 라인(71A)과, 분배 라인(71A)에 접속된 세정 노즐(72A)과, 분배 라인(71A)에 접속된 개폐 밸브(73A)를 구비하고 있다.

세정 노즐(72A)은, 퇴피 위치에 배치된 연마 헤드(3)에 인접하여 배치되어 있고, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 연마 헤드(3)의 하방으로부터 연마 헤드(3)를 향하여 파인 버블액을 분사한다. 높은 세정력을 갖는 파인 버블액의 분사에 의해, 연마 헤드(3)를 보다 효과적으로 세정할 수 있다.

도 6의 스텝 S109에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(9)는, 기판 W의 반송 후, 연마 헤드(3)를 연마 패드(1)의 외부에 위치하는 퇴피 위치로 이동시켜, 파인 버블액을, 퇴피 위치에 배치된 연마 헤드(3)에 공급하여, 연마 헤드(3)를 세정한다. 파인 버블액 공급 장치(50)는, 연마 헤드(3)가 퇴피 위치에 배치된 상태에서, 연마 헤드(3)를 세정하기 때문에, 연마 헤드(3)를 세정한 파인 버블액이 연마 패드(1) 상에 낙하하는 것을 방지할 수 있다.

개폐 밸브(73A)는, 제어 장치(9)에 전기적으로 접속되어 있다. 제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 닫으면서, 개폐 밸브(55)(도 2 참조) 및 개폐 밸브(73A)를 개방하여, 파인 버블액을 연마 헤드(3)에 공급한다. 스텝 S108에 있어서, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 마이크로 버블액을 공급하기 때문에, 스텝 S109에 있어서도, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 연마 헤드(3)에 마이크로 버블액을 공급한다.

도 7에 도시하는 바와 같이, 파인 버블액 분배 장치(70)는, 파인 버블액 복귀 라인(53)에 접속된 분배 라인(71B)과, 분배 라인(71B)에 접속된 세정 노즐(72B, 72D)을 구비해도 된다.

세정 노즐(72B)은, 퇴피 위치에 배치된 노즐 암(30)에 인접하여 배치되어 있다. 세정 노즐(72B)에는, 분배 라인(71B)으로부터 분기된 분기 라인(71Ba)이 접속되어 있고, 분기 라인(71Ba)에는, 개폐 밸브(73B)가 접속되어 있다.

세정 노즐(72D)은, 퇴피 위치에 배치된 드레서(15)에 인접하여 배치되어 있다. 세정 노즐(72D)에 인접하여, 분배 라인(71B)에 접속된 개폐 밸브(73D)가 배치되어 있다.

제어 장치(9)는, 개폐 밸브(54A 내지 54E)를 닫으면서, 개폐 밸브(55) 및 개폐 밸브(73B, 73D)를 개방하여, 파인 버블액을 노즐 암(30) 및 드레서(15)에 공급할 수 있다. 예를 들어, 제어 장치(9)는, 도 6의 스텝 S109에 있어서, 연마 헤드(3)뿐만 아니라, 노즐 암(30) 및 드레서(15) 중 적어도 하나를 세정해도 된다.

도 8은, 제어 장치에 의한, 기판의 처리 플로의 다른 실시 형태를 도시하는 도면이다. 도 8에 도시하는 바와 같이, 제어 장치(9)는, 연마 패드(1) 상에 슬러리를 공급하고, 기판 W를 슬러리 연마한다(스텝 S201, S202 참조). 제어 장치(9)는, 울트라 파인 버블액을 안정적으로 공급하기 위한 공급 준비를, 기판 W의 연마 동작(즉, 스텝 S202)과 병행하여 실행하고, (스텝 S203 참조), 파인 버블액 분배 장치(70)를 통해서, 울트라 파인 버블액을 드레서(15)에 공급해도 된다(스텝 S204 참조). 일 실시 형태에서는, 제어 장치(9)는, 드레서(15)뿐만 아니라, 아토마이저(20)도 세정해도 된다.

그 후, 제어 장치(9)는, 기판 W의 파인 버블액 연마를 개시하고(스텝 S205 참조), 스텝 S205가 종료된 후, 제어 장치(9)는, 기판 W를 연마 헤드(3)에 흡착시킨다(스텝 S206 참조).

스텝 S207에 나타내는 바와 같이, 제어 장치(9)는, 마이크로 버블액을 안정적으로 공급하기 위한 공급 준비를, 기판 W의 반송 동작(즉, 스텝 S206 및 후술하는 스텝 S208)과 병행하여 실행하고, 기판 W를 다음 공정으로 반송한 후(스텝 S208 참조), 마이크로 버블액을 연마 패드(1) 상에 공급하여, 연마 패드(1)를 드레싱한다(스텝 S209 참조).

제어 장치(9)는, 기판 W의 반송 후, 마이크로 버블액을, 퇴피 위치에 배치된 연마 헤드(3)에 공급하고, 연마 헤드(3)를 세정한다(스텝 S210 참조). 도 8에 도시하는 실시 형태에서는, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 스텝 S204에 있어서, 드레서(15)를 세정하고 있기 때문에, 스텝 S210에 있어서, 드레서(15)를 세정할 필요는 없다.

상술한 실시 형태에서는, 파인 버블액 복귀 라인(53)을 통하여 외부로 배출되는 파인 버블액을, 연마 장치 PA의 구성 요소에 공급하는 구성에 대하여 설명했지만, 파인 버블액 공급 장치(50)는, 외부로 배출된 파인 버블액을 저류하는 저류 탱크(도시 생략)를 구비해도 된다. 파인 버블액 공급 장치(50)는, 저류 탱크에 저류된 파인 버블액을, 재이용해도 된다.

상술한 실시 형태는, 본 발명이 속하는 기술분야에 있어서의 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 실시할 수 있는 것을 목적으로 하여 기재된 것이다. 상기 실시 형태의 다양한 변형예는, 당업자라면 당연히 이룰 수 있는 것이고, 본 발명의 기술적 사상은 다른 실시 형태에도 적용할 수 있는 것이다. 따라서, 본 발명은 기재된 실시 형태에 한정되지 않고, 특허 청구 범위에 의해 정의되는 기술적 사상을 따른 가장 넓은 범위로 해야 된다.

1: 연마 패드
2: 연마 테이블
3: 연마 헤드
4: 액체 공급 기구
9: 제어 장치
10: 드레싱 장치
11: 드레서 암
12: 드레서 선회 축
15: 드레서
20: 아토마이저
30: 노즐 암
30a: 선단 부분
30b: 암 부분
31: 슬러리 노즐
32: 순수 노즐
33A 내지 33E: 파인 버블액 노즐
35: 노즐 선회 축
41: 슬러리 공급원
42: 슬러리 라인
43: 개폐 밸브
44: 순수 공급원
45: 순수 라인
46: 개폐 밸브
50: 파인 버블액 공급 장치
51: 분사 노즐
52: 파인 버블액 공급 라인
53: 파인 버블액 복귀 라인
53A 내지 53E: 분기 라인
54A 내지 54E: 개폐 밸브
55: 개폐 밸브
56A, 56B: 삼방 밸브
57: 바이패스 라인
58: 울트라 파인 버블 필터
59: 마이크로 버블 필터
61: 버퍼 탱크
62: 순수 공급 라인
63, 63A, 63B: 가스 공급 라인
64: 가압 용해 탱크
65: 이송 라인
66: 펌프
67: 도입 라인
68: 개폐 밸브
70: 파인 버블액 분배 장치
71A, 71B: 분배 라인
71Ba: 분기 라인
72A, 72B, 72D: 세정 노즐
73A, 73B, 73D: 개폐 밸브
100: 파인 버블액 생성 장치
PA: 연마 장치

Claims (20)

1. 연마 패드를 지지하는 연마 테이블을 회전시켜,
   상기 연마 패드 상에 연마액을 공급한 상태에서, 연마 헤드로 보유 지지된 기판을 상기 연마 패드에 압박하여, 상기 기판을 연마하고,
   상기 기판의 연마 종료 후, 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 요동 가능한 노즐 암의, 단수 또는 복수의 노즐로부터 상기 연마 패드 상에 공급되는, 연마 방법.
3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판을 상기 연마 패드에 압박한 상태에서, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하여, 상기 기판을 상기 파인 버블액으로 연마하는, 연마 방법.
4. 제3항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액을 구비하고 있는, 연마 방법.
5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판의 연마 종료 후, 상기 기판을 상기 연마 패드로부터 반송하고,
   상기 기판의 반송 후, 드레서를 상기 연마 패드 상에 이동시켜서, 상기 연마 패드를 드레싱하고,
   상기 연마 패드의 드레싱 중에 있어서, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 방법.
6. 제5항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액을 구비하고 있는, 연마 방법.
7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 연장되는 아토마이저로부터 상기 연마 패드 상에 공급되는, 연마 방법.
8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판의 연마 종료 후, 상기 기판을 상기 연마 패드로부터 반송하고,
   상기 기판의 반송 후, 상기 연마 헤드를 상기 연마 패드의 외부에 위치하는 퇴피 위치로 이동시켜,
   상기 파인 버블액을, 상기 퇴피 위치에 배치된 상기 연마 헤드에 공급하여, 상기 연마 헤드를 세정하는, 연마 방법.
9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 복수종의 가스 중, 상기 기판의 구조에 대응하는 가스로부터 생성된 버블을 갖고 있는, 연마 방법.
10. 제9항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 상기 가스를 액체에 용해시키는 가압 용해 방식에 의해 생성되는, 연마 방법.
11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 파티클 카운터에 의해 상기 파인 버블액에 포함되는 버블수를 계측하고,
    상기 버블수가 소정의 기준수에 도달한 후에, 상기 파인 버블액을 공급하는, 연마 방법.
12. 연마 패드를 지지하는 연마 테이블과,
    기판을 상기 연마 패드에 압박하는 연마 헤드와,
    상기 연마 패드에 액체를 공급하는 액체 공급 기구와,
    상기 액체 공급 기구의 동작을 제어하는 제어 장치를 구비하고,
    상기 액체 공급 기구는, 상기 기판의 연마 종료 후, 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는 파인 버블액 공급 장치를 구비하고 있는, 연마 장치.
13. 제12항에 있어서, 상기 파인 버블액 공급 장치는,
    상기 연마 테이블의 반경 방향으로 요동 가능한 노즐 암과,
    상기 노즐 암에 배치된, 상기 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는 단수 또는 복수의 파인 버블액 노즐을 구비하고 있는, 연마 장치.
14. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 연마 헤드가 상기 기판을 상기 연마 패드에 압박한 상태에서, 상기 파인 버블액으로서, 1 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 울트라 파인 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 장치.
15. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 연마 장치는, 상기 연마 패드를 드레싱하고, 또한 상기 제어 장치에 전기적으로 접속된 드레싱 장치를 구비하고 있고,
    상기 제어 장치는, 상기 기판의 연마가 종료되고, 상기 기판의 반송 후, 상기 드레싱 장치를 조작함으로써, 드레서를 상기 연마 패드 상으로 이동시켜서, 상기 연마 패드를 드레싱하고,
    상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 연마 패드의 드레싱 중에 있어서, 상기 파인 버블액으로서, 1 마이크로미터로부터 100 마이크로미터 이하의 버블 직경을 갖는 마이크로 버블액을 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 장치.
16. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 연마 장치는, 상기 연마 테이블의 반경 방향으로 연장되는 아토마이저를 구비하고 있고,
    상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을 상기 아토마이저로부터 상기 연마 패드 상에 공급하는, 연마 장치.
17. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 제어 장치는, 상기 기판의 연마가 종료되고, 상기 기판의 반송 후, 상기 연마 헤드를 상기 연마 패드의 외부에 위치하는 퇴피 위치로 이동시키고,
    상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을, 상기 퇴피 위치에 배치된 상기 연마 헤드에 공급하여, 상기 연마 헤드를 세정하는, 연마 장치.
18. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 파인 버블액은, 복수종의 가스 중, 상기 기판의 구조에 대응하는 가스로부터 생성된 버블을 갖고 있는, 연마 장치.
19. 제18항에 있어서, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액을, 상기 가스를 액체에 용해시키는 가압 용해 방식에 의해 생성하는 파인 버블액 생성 장치를 구비하고 있는, 연마 장치.
20. 제12항 또는 제13항에 있어서, 상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파인 버블액에 포함되는 버블수를 계측하는 파티클 카운터를 구비하고 있고,
    상기 파인 버블액 공급 장치는, 상기 파티클 카운터에 의해 계측된 버블수에 기초하여, 상기 버블수가 소정의 기준수에 도달한 후에, 상기 파인 버블액을 공급하는, 연마 장치.

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