KR20230128552A - 전극 부재 - Google Patents
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Abstract
절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것을 가능하게 하는 본 발명에 관련된 전극 부재는, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서, 제 1 금속 세선의 제 1 단부 배선은 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 제 1 단부 배선의 제 1 단면은, 제 1 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서, 제 2 금속 세선의 제 2 단부 배선은 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 제 2 단부 배선의 제 2 단면은, 제 2 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있다.
Description
본 발명은, 터치 센서의 입력 영역에 사용 가능한 전극 부재에 관한 것이다.
종래의 터치 센서의 전극 부재로서, 특허문헌 1 에 기재된 전극이나 특허문헌 2 에 기재된 광투과성 도전 재료가 제안되어 있다. 특허문헌 1 에 있어서는, 형성을 용이하게 하고, 또한, 전극 패턴의 시인성을 높이기 위한 구성으로서, 전극 형성면의 제 1 방향 및 제 2 방향을 따라 각각 연장되는 복수의 띠상 전극을 서로 교차시켜 격자상의 단위 전극 패턴을 형성하고, 그 단위 전극 패턴이 다수 연접하여 형성되어 이루어지는, 제 1 전극 패턴 영역 및 제 2 전극 패턴 영역을 적어도 갖는 전극이 개시되어 있다. 이들 제 1 전극 패턴 영역 및 제 2 전극 패턴 영역은, 인접 부분에 있어서 서로 인접하여 배치됨과 함께 전기적으로 분리되고, 이 인접 부분에 있어서, 제 1 전극 패턴 영역의 띠상 전극의 단부와, 제 2 전극 패턴 영역의 띠상 전극의 단부가, 전극 형성면의 제 1 방향 및 제 2 방향에 교차하는 방향에 있어서 서로 겹치는 중복 부분을 갖고 있다.
특허문헌 2 에 있어서는, 광투과성 전극으로서 바람직하게 시인성을 낮게 하고, 단락의 발생을 저감하기 위한 구성으로서, 기재 상에, 배선부를 개재하여 단자부에 전기적으로 접속된 금속 패턴으로 구성되는 센서부와, 배선부를 개재하여 단자부에 전기적으로 접속되지 않는 금속 패턴으로 구성되는 더미부를 갖는 광투과성 도전 재료가 개시되어 있다. 이 광투과성 도전 재료에 있어서는, 상기 센서부와 더미부의 경계가, 센서부를 구성하는 금속 패턴을 가상의 경계선에 의해 절단하고, 센서부 및 더미부의 적어도 일방을, 가상의 경계선을 따라 어긋나게 한 형상으로 하고 있다.
그러나, 특허문헌 1 에 기재된 전극에서는, 이웃하는 2 개의 전극 패턴 영역의 띠상 전극의 단부가 서로 겹쳐 중복 부분을 형성하기 때문에, 이 부분에 있어서 전극이 시인되기 쉽다. 또한, 중복 부분에 있어서는, 띠상 전극의 단부끼리가 근접하고 있기 때문에 단부끼리간에 에칭액이 체류하기 쉬워, 띠상 전극은 오버 에칭이 되기 쉽다. 이로써, 이웃하는 2 개의 전극 패턴 영역의 간격이 넓어지기 쉬워짐과 함께, 전극의 형상이 원하는 형상으로 되지 않을 우려가 있다. 특허문헌 2 에 기재된 광투과성 도전 재료에 있어서도, 이웃하는 금속 패턴의 단부가 서로 근접하고 있기 때문에, 오버 에칭에 의해 원하는 형상을 얻지 못할 우려가 있다.
그래서 본 발명은, 금속 세선으로 메시상으로 형성된, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴이, 절연 갭을 개재하여 배치된 전극 부재에 있어서, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성, 특히, 이웃하는 금속 세선이 경계 부분에서 서로 분리되어 있는 것이 시인되기 쉬워지는 것을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것을 가능하게 하는 전극 부재를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일 양태에 관련된 전극 부재는, 제 1 전극 패턴과, 제 1 전극 패턴에 대해 절연 갭을 개재하여 형성된 제 2 전극 패턴을 구비한 전극 부재로서, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은, 각각, 절연 갭이 연장되는 방향과 교차하는 제 1 방향으로 연장되는 복수의 제 1 금속 세선과, 절연 갭이 연장되는 방향 및 제 1 방향의 쌍방과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 복수의 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성되고, 제 1 금속 세선은, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 절연 갭측의 단부에 제 1 단부 배선을 갖고, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 제 1 단부 배선은 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 제 1 단부 배선의 제 1 단면은, 제 1 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고, 제 2 금속 세선은, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 절연 갭측의 단부에 제 2 단부 배선을 갖고, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 제 2 단부 배선은 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 제 2 단부 배선의 제 2 단면은, 제 2 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있는 것을 특징으로 한다.
이로써, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
상기 전극 부재에 있어서, 쌍을 이루는 제 1 단부 배선은 제 1 방향으로 연장되고, 제 1 방향과 교차하는 방향으로 소정 간격을 두고 시프트하여 배치되고, 상기 쌍을 이루는 제 2 단부 배선은 제 2 방향으로 연장되고, 제 2 방향과 교차하는 방향으로 소정 간격을 두고 시프트하여 배치되어 있어도 된다.
이와 같이 제 1 단부 배선과 제 2 단부 배선을 배치함으로써, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선이 연속되어 있듯이 인식되기 쉬워져, 이웃하는 금속 세선이 경계 부분에서 서로 분리되어 인식되는 것을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
상기 전극 부재에 있어서, 쌍을 이루는 제 1 단부 배선은, 제 1 단면끼리가 제 1 방향과 교차하는 방향에 있어서 소정 거리를 두고 이간하도록, 제 1 방향에 대해 경사져 연장되는 부분을 갖고, 쌍을 이루는 제 2 단부 배선은, 제 2 단면끼리가 제 2 방향과 교차하는 방향에 있어서 소정 거리를 두고 이간하도록, 제 2 방향에 대해 경사져 연장되는 부분을 갖고 있어도 된다.
이와 같이 제 1 단부 배선과 제 2 단부 배선을 배치함으로써, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선이 연속되어 있듯이 인식되기 쉬워지고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
이 경우에 있어서, 제 1 단부 배선은, 제 2 금속 세선과의 교차 위치로부터, 제 1 방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있고, 제 2 단부 배선은, 제 1 금속 세선과의 교차 위치로부터, 제 2 방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있는 것이 바람직한 경우가 있다.
이로써, 절연 갭을 확보하기 쉬워져, 오버 에칭을 억제하기 쉬워진다.
상기 전극 부재에 있어서, 제 1 단면 및 제 2 단면은 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖는 것이 바람직하다. 이로써, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
상기 전극 부재에 있어서, 제 1 단면 및 제 2 단면은 곡면 형상을 갖는 것이 바람직하다. 이로써, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
상기 전극 부재에 있어서, 절연 갭은, 소정의 폭을 갖고 연장되어 있고, 절연 갭의 폭은 제 1 금속 세선의 폭의 0.5 배 이상 3.5 배 이하인 것이 바람직한 경우가 있다.
이로써, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 용이해지는 경우가 있다.
본 발명의 다른 양태에 관련된 전극 부재는, 금속 세선의 패턴으로 이루어지는, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴과, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 사이에 위치하고, 제 3 방향으로 연장되는 절연 갭을 구비하고, 절연 갭은, 제 3 방향을 따라 보았을 때에, 금속 세선이 위치하지 않는 부분을 간파할 수 있도록, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 사이에 배치되고, 제 1 전극 패턴을 구성하는 금속 세선은, 절연 갭측의 단부에 제 3 단부 배선을 구비하고, 제 2 전극 패턴을 구성하는 금속 세선은, 절연 갭측의 단부에 제 4 단부 배선을 구비하고, 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선은, 절연 갭을 사이에 두고 서로 대향하여 쌍을 이루고, 제 3 방향에 직교하는 제 4 방향에서 보았을 때에, 중복되는 부분을 갖는 것을 특징으로 한다.
이로써, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
상기 다른 양태에 관련된 전극 부재에 있어서, 제 1 전극 패턴은, 제 3 단부 배선 이외에는 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고, 제 2 전극 패턴은, 제 4 단부 배선 이외에는 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고, 제 1 전극 패턴의 기본 패턴과 제 2 전극 패턴의 기본 패턴은, 제 4 방향으로 이격되어 배치되고, 제 3 단부 배선 및 제 4 단부 배선의 적어도 하나는, 기본 패턴의 일부를 이루는 금속 세선이 기본 패턴의 반복에 기초하는 위치에 배치되어 있어도 된다.
상기 다른 양태에 관련된 전극 부재에 있어서, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴은, 제 3 단부 배선 이외 및 제 4 단부 배선 이외에는, 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고, 제 3 단부 배선 및 제 4 단부 배선의 적어도 하나는, 금속 세선이 기본 패턴의 반복에 기초하는 위치로부터 벗어나 배치되어 있어도 된다.
본 발명에 의하면, 절연 갭을 개재하여 이웃하는 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능한 전극 부재를 제공할 수 있다.
도 1 은, 본 발명의 실시형태에 있어서의 정전 용량형 터치 센서의 개략 구성을 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 도 1 의 A 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 3 (a) 는 도 2 의 3A-3A' 선을 따른 단면도이고, (b) 는 도 2 의 3B-3B' 선을 따른 단면도이다.
도 4 는, 본 발명의 실시형태에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 5 (a) 는 도 4 의 B 부분을 확대하여 나타내는 평면도이고, (b) 는 변형예에 있어서의 제 1 단면의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 6 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 1 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 2 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 8 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 3 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 9 (a) 는, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 4 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이고, (b) 는, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 5 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 10 (a) 는, 비교예에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 1 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이고, (b) 는, 비교예에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 4 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 변형예에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 12 (a) 는 도 11 의 C 부분을 확대하여 나타내는 평면도이고, (b) 는 변형예에 있어서의 제 1 단면의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 2 는, 도 1 의 A 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 3 (a) 는 도 2 의 3A-3A' 선을 따른 단면도이고, (b) 는 도 2 의 3B-3B' 선을 따른 단면도이다.
도 4 는, 본 발명의 실시형태에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 5 (a) 는 도 4 의 B 부분을 확대하여 나타내는 평면도이고, (b) 는 변형예에 있어서의 제 1 단면의 형상을 나타내는 평면도이다.
도 6 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 1 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 7 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 2 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 8 은, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 3 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 9 (a) 는, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 4 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이고, (b) 는, 실시형태의 구성에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 5 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 10 (a) 는, 비교예에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 1 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이고, (b) 는, 비교예에 있어서, 절연 갭의 폭을 제 1 금속 세선의 폭의 4 배로 했을 경우의 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 11 은, 변형예에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 12 (a) 는 도 11 의 C 부분을 확대하여 나타내는 평면도이고, (b) 는 변형예에 있어서의 제 1 단면의 형상을 나타내는 평면도이다.
이하, 본 발명의 실시형태에 관련된 전극 부재에 대해 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 설명에서는, 정전 용량형 터치 센서에 적용했을 경우의 실시형태를 예로 들지만, 정전 용량형 이외의 터치 센서에도 사용할 수 있다. 또한, 이하의 실시형태에서는 평판으로서의 기재 상에 전극 부재를 형성한 예를 나타내지만, 전극 부재는 이와 같은 기재 이외에 대해 형성할 수 있다. 예를 들어, 형성면에 요철이나 곡률을 갖는 판재나, 만곡 또는 변형 가능한 재료나, 구·반구 등의 비판상의 재료에 전극 부재를 형성하는 것도 가능하다.
도 1 은, 본 실시형태에 관련된 정전 용량형 터치 센서 (10) 의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다. 도 2 는, 도 1 의 A 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 3 (a) 는, 도 2 의 3A-3A' 선에 있어서의 단면도이고, (b) 는 도 2 의 3B-3B' 선에 있어서의 단면도이다. 또한, 투명 전극은 투명하므로 본래는 시인할 수 없지만, 각 도면에서는 이해를 용이하게 하기 위해 투명 전극의 외형을 나타내고 있다.
도 1, 도 2, 또는, 도 3 에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관련된 정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 기재 (11) 와, 제 1 투명 전극 (21) 과, 제 2 투명 전극 (22) 과, 절연층 (30) 과, 브리지 배선부 (31) 와, 연결부 (32) 와, 광학 투명 점착층 (12) 과, 투광성을 갖는 패널 (13) 과, 검지부 및 제어부 (모두 도시 생략) 를 구비한다. 제 1 투명 전극 (21) 과, 제 2 투명 전극 (22) 과, 절연층 (30) 과, 브리지 배선부 (31) 와, 연결부 (32) 로 전극 부재 (20) 가 구성된다.
도 3 에 나타내는 바와 같이, 패널 (13) 은, 연결부 (32) 에서 보아 기재 (11) 와 반대측에 형성되어 있다. 기재 (11) 와 패널 (13) 의 사이에는, 광학 투명 점착층 (12) (OCA ; Optical Clear Adhesive) 이 형성되어 있다. 기재 (11) 와 연결부 (32) 의 사이에는, 절연물로 이루어지는 절연층 (30) 이 형성되어 있다. 연결부 (32) 가 형성된 부분에 있어서, 광학 투명 점착층 (12) 은, 연결부 (32) 와 패널 (13) 의 사이에 형성되어 있다.
기재 (11) 는, 투광성을 갖고, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 고리형 올레핀 코폴리머나 시클로올레핀 폴리머 그 밖의 폴리올레핀계 폴리머, 폴리카보네이트 등의 수지 필름을 포함하는 수지계 기재나 유리 기재 등으로 형성된다. 기재 (11) 의 일방의 주면인 제 1 면 (11a) 에는, 제 1 투명 전극 (21), 및, 제 2 투명 전극 (22) 이 형성되어 있다.
패널 (13) 은 투광성을 갖고, 패널 (13) 측으로부터 조작자의 손가락 등의 조작체가 접촉 또는 근접되어 투명 전극 부재에 대한 조작이 실시된다. 패널 (13) 의 재료는, 특별히 한정되지는 않지만, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리올레핀계 폴리머, 폴리카보네이트, 폴리메타크릴산메틸 (PMMA ; Polymethylmethacrylate) 등의 수지계 기재, 유리 기재 등을 들 수 있다. 수지계 기재 상에, 투광성의 무기 미립자 (지르코니아나 티타니아가 예시된다.) 가 수지 매트릭스에 분산되어 이루어지는 하드 코트층이 형성되어 있어도 된다. 패널 (13) 은, 기재 (11) 와 패널 (13) 의 사이에 형성된 광학 투명 점착층 (12) 을 개재하여 기재 (11) 와 접합되어 있다. 광학 투명 점착층 (12) 은, 아크릴계 점착제나 양면 점착 테이프 등으로 이루어진다.
본 명세서에 있어서「투명」및「투광성」이란, 가시광선 투과율이 50 ％ 이상 (바람직하게는 80 ％ 이상) 인 상태를 가리킨다. 또한, 헤이즈값이 6 ％ 이하인 것이 바람직하다. 본 명세서에 있어서「차광」및「차광성」이란, 가시광선 투과율이 50 ％ 미만 (바람직하게는 20 ％ 미만) 인 상태를 가리킨다.
정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 패널 (13) 의 표면 (13a) 의 법선을 따른 방향 (Z1-Z2 방향) 에서 보아, 검출 영역 (16) 과 비검출 영역 (17) 으로 이루어진다. 검출 영역 (16) 은, 손가락 등의 조작체에 의해 조작을 실시할 수 있는 영역이며, 비검출 영역 (17) 은, 검출 영역 (16) 의 외주측에 위치하는 프레임상의 영역이다. 비검출 영역 (17) 은, 가식층 (도시 생략) 에 의해 차광되어, 패널 (13) 측에서 기재 (11) 로의 광, 예를 들어 외광, 및, 기재 (11) 측에서 패널 (13) 측으로의 광, 예를 들어, 정전 용량형 터치 센서 (10) 와 조합하여 사용되는 표시 장치의 백라이트로부터의 광은 비검출 영역 (17) 을 투과하기 어렵게 되어 있다.
정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 제 1 전극 연결체 (21s) (제 1 전극층) 와 제 2 전극 연결체 (22s) (제 2 전극층) 가 기재 (11) 의 일방의 주면 (제 1 면 (11a)) 에 형성된 구성, 즉 동일 표면에 형성된 구성을 갖는다.
제 1 전극 연결체 (21s) 는, 투광성을 갖는 제 1 전극층으로서 검출 영역 (16) 에 배치되어, 복수의 제 1 투명 전극 (21) 을 갖는다. 각 제 1 투명 전극 (21) 은, 가늘고 긴 브리지 배선부 (31) 를 개재하여 X1-X2 방향으로 연결되어 있다. 그리고, X1-X2 방향으로 연결된 복수의 제 1 투명 전극 (21) 을 갖는 제 1 전극 연결체 (21s) 가, Y1-Y2 방향으로 간격을 두고 배열되어 있다. 브리지 배선부 (31) 는, 제 1 투명 전극 (21) 과는 별체로서 형성되어 있다. 브리지 배선부 (31) 는, 이웃하는 2 개의 제 1 투명 전극 (21) 을 서로 전기적으로 접속하고 있다.
제 2 전극 연결체 (22s) 는, 투광성을 갖는 제 2 전극층으로서 검출 영역 (16) 에 배치되어, 복수의 제 2 투명 전극 (22) 을 갖는다. 각 제 2 투명 전극 (22) 은, 가늘고 긴 연결부 (32) 를 개재하여 Y1-Y2 방향으로 연결되어 있다. 그리고, Y1-Y2 방향으로 연결된 복수의 제 2 투명 전극 (22) 을 갖는 제 2 전극 연결체 (22s) 가, X1-X2 방향으로 간격을 두고 배열되어 있다. 연결부 (32) 는, 제 2 투명 전극 (22) 과 일체로 형성되어 있다. 또한, Y1-Y2 방향은, X1-X2 방향과 교차하고 있다. 예를 들어, Y1-Y2 방향은, X1-X2 방향과 수직으로 교차하고 있다.
제 1 투명 전극 (21) 은, 제 1 방향으로 연장되는 제 1 금속 세선과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성된다. 제 2 투명 전극 (22) 및 연결부 (32) 는, 제 1 투명 전극 (21) 과 공통으로 동 층으로서, 제 1 방향으로 연장되는 제 1 금속 세선과, 제 1 방향에 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성된다. 도 3 (a) 에 있어서는, 제 2 투명 전극 (22) 의 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선을 일률적으로 금속 세선 (22a) 으로서 표시하고, 도 3 (b) 에 있어서는, 제 1 투명 전극 (21) 의 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선을 일률적으로 금속 세선 (21a) 으로서 표시하고 있다. 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선은, 금속층을 에칭함으로써 형성할 수 있다. 금속층으로부터 금속 세선 (제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선) 을 형성하고자 에칭할 때에, 금속 세선의 일부에 대해 연속하지 않도록 에칭함으로써, 서로 도통하지 않는 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 및 연결부 (32) 를 형성할 수 있다. 금속층에 사용하는 금속으로는, 예를 들어, Cu, Ag, Au, Ni 등의 금속 재료, CuNi, AgPd 등의 합금을 사용할 수 있다. 투명 전극을 금속 세선으로 구성함으로써, 접촉 저항을 저감할 수 있고, 투명 전극의 피시인성을 낮게 할 수 있고, 전극간의 단락의 발생을 억제할 수 있고, 투명 전극의 대면적화가 용이해지고, 게다가 굽힘에 강한 전극 부재를 실현하기 쉬워진다. 금속 세선의 배치나 형상 등에 대해서는 후술한다.
또, 브리지 배선부 (31) 는, ITO (산화인듐주석), IZO (산화인듐산화아연) 등의 투명한 산화물 도전 재료로 형성되어, 기재 (11) 상에 형성된, 도시 생략의 인덱스 매칭층 (IM 층) 상에 형성된다. 이로써, 절연층 (30) 상에 브리지 배선부 (31) 를 형성하는 경우와 비교하여, 불가시성의 점, 즉 패턴이 시인되기 어렵게 할 수 있는 점에서 유리해진다.
제 1 전극 연결체 (21s) 및 제 2 전극 연결체 (22s) 의 주위에는, 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 의 외연을 따라 연장되도록 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 을 노출시킨, 절연 영역 (41) 이 형성되어 있다. 절연 영역 (41) 은, 이웃하는, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 을 서로 절연 가능한 폭을 갖고 있고, 기부 (41a) 와, 기부 (41a) 보다 폭이 좁은 협소부 (41b) 를 구비한다. 협소부 (41b) 는, 브리지 배선부 (31) 와 연결부 (32) 의 근방에 형성되어 있다.
기부 (41a) 는, 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 의 법선을 따라 보았을 때에, 그 내측의 범위에 광학 조정 영역 (42) (더미부) 을 형성하고 있다. 한편, 협소부 (41b) 에는 광학 조정 영역 (42) 을 형성하지 않았다. 광학 조정 영역 (42) 은, 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 과 동일한, 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성된다. 광학 조정 영역 (42) 은, 기부 (41a) 의 폭 방향의 단부에는 형성되어 있지 않다. 이로써, 이웃하는, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 은, 절연 영역 (41) 에 의해 서로 절연된다. 한편, 광학 조정 영역 (42) 은, 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 과 동일한, 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성되어 있기 때문에, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 의 경계 부분의 시인성을 저감시킬 수 있다. 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 을 금속층의 에칭에 의해 형성하는 경우에는, 이들 전극과 마찬가지로 금속층을 에칭함으로써, 금속 세선으로 이루어지는 광학 조정 영역 (42) 을 형성할 수 있다.
각 제 1 투명 전극 (21) 간을 접속하는 브리지 배선부 (31) 의 표면에는, 절연층 (30) 이 형성되어 있다. 절연층 (30) 은, 브리지 배선부 (31) 와 제 2 투명 전극 (22) 의 사이의 공간을 메우고 있다. 절연층 (30) 으로는, 예를 들어 노볼락 수지 (레지스트) 가 사용된다.
연결부 (32) 는, 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 과 동일한, 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성된다. 연결부 (32) 는, 절연층 (30) 의 표면을 덮음과 함께, 절연층 (30) 의 Y1-Y2 방향의 양측에 위치하는 각 제 2 투명 전극 (22) 과 일체로 형성되어 있다. 즉, 연결부 (32) 와 제 2 투명 전극 (22) 은, 각각의 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선이 연속하는 메시상으로 연속하고 있다. 이로써, 연결부 (32) 는, 이웃하는 2 개의 제 2 투명 전극 (22) 을 서로 전기적으로 접속하고 있다. 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 을 금속층의 에칭에 의해 형성하는 경우에는, 절연층 (30) 을 덮도록 금속층을 형성하고, 절연층 (30) 을 덮는 금속층으로부터 제 2 투명 전극 (22) 과 연속하는 메시가 형성되도록 에칭함으로써, 연결부 (32) 를 형성할 수 있다.
브리지 배선부 (31) 의 표면에 대해 형성된 절연층 (30) 의 표면에 이웃하는 2 개의 제 2 투명 전극 (22) 간을 접속하는 연결부 (32) 가 형성되어 있다. 이와 같이, 브리지 배선부 (31) 와 연결부 (32) 의 사이에는 절연층 (30) 이 개재하고, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 은 서로 전기적으로 절연된 상태로 되어 있다. 정전 용량형 터치 센서 (10) 에서는, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 이 동일한 면 (기재 (11) 의 제 1 면 (11a)) 에 형성되어 있기 때문에, 정전 용량형 터치 센서 (10) 의 박형화를 실현할 수 있다.
본 실시형태에 관련된 정전 용량형 터치 센서 (10) 의 설명에서는, 브리지 배선부 (31) 를 덮는 절연층 (30) 의 표면 (30a) 에, 연결부 (32) 가 제 2 투명 전극 (22) 과 일체로 형성되어, Y1-Y2 방향으로 연장되어 제 2 전극 연결체 (22s) 를 구성하는 경우를 예로 들고 있지만, 제 1 전극 연결체 (21s) 와 제 2 전극 연결체 (22s) 의 교차부의 배치 형태는, 상기 서술한 형태로 한정되지는 않는다. 예를 들어, 제 2 전극 연결체 (22s) 가 갖는 복수의 제 2 투명 전극 (22) 이 서로 분리되어 Y1-Y2 방향으로 나열되어 배치되고, 이웃하는 2 개의 제 2 투명 전극 (22) 의 사이에, 브리지 배선부 (31) 와 동일한 구조의 부재가 형성되어, 제 2 전극 연결체 (22s) 가 구성되어도 된다. 이 경우에는, 제 1 전극 연결체 (21s) 는, 브리지 배선부 (31) 대신에, 제 2 전극 연결체 (22s) 의 연결부 (32) 와 동일한 부재를 구비하고 있어도 된다. 즉, 복수의 제 1 투명 전극 (21) 이 X1-X2 방향으로 나열되고, 이웃하는 2 개의 제 1 투명 전극 (21) 은, 그들 제 1 투명 전극 (21) 과 일체로 메시상의 금속 세선으로 형성된 부재 (연결부 (32) 에 대응한다.) 에 의해 전기적으로 접속되어 있어도 된다.
도 1 에 나타내는 바와 같이, 비검출 영역 (17) 에는, 각 제 1 전극 연결체 (21s) 및 각 제 2 전극 연결체 (22s) 로부터 인출된 복수개의 배선부 (14) 가 형성되어 있다. 제 1 전극 연결체 (21s) 및 제 2 전극 연결체 (22s) 의 각각은, 검출 영역 (16) 으로부터 비검출 영역 (17) 으로 연장되는 접속 배선을 개재하여, 각 배선부 (14) 와 전기적으로 접속되어 있다. 도 1 은 개략적으로 나타내고 있기 때문에 접속 배선의 도시는 생략하고 있다. 각 배선부 (14) 는, 도시되지 않은 플렉시블 프린트 기판과 전기적으로 접속되는 외부 접속부 (15) 에 접속되어 있다. 즉, 각 배선부 (14) 는, 제 1 전극 연결체 (21s) 및 제 2 전극 연결체 (22s) 와, 외부 접속부 (15) 를 전기적으로 접속하고 있다. 외부 접속부 (15) 는, 예를 들어 도전 페이스트, Cu, Cu 합금, CuNi 합금, Ni, Ag, Au 등의 금속을 갖는 재료를 개재하여, 도시되지 않은 플렉시블 프린트 기판과 전기적으로 접속되어 있다.
이 플렉시블 프린트 기판과 접속된 프린트 배선판 (도시 생략) 에는, 조작체와 투명 전극 (주로 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22)) 의 사이에 발생하는 정전 용량의 변화를 검지하는 검지부 (도시 생략) 와, 검지부로부터의 신호에 기초하여 조작체의 위치를 산출하는 제어부가 탑재되어 있다. 또한, 상세한 설명은 하지 않지만, 검지부나 제어부에는 집적 회로가 사용되고 있다.
각 배선부 (14) 는, Cu, Cu 합금, CuNi 합금, Ni, Ag, Au 등의 금속을 갖는 재료에 의해 형성되어 있고, 상기 접속 배선 상에 비검출 영역 (17) 내에서 적층되어 전기적으로 접속되어 있다. 접속 배선은, 제 1 투명 전극 (21) 및 제 2 투명 전극 (22) 과 마찬가지로, 제 1 금속 세선과 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성된다.
배선부 (14) 는, 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에 있어서의 비검출 영역 (17) 에 위치하는 부분에 형성되어 있다. 외부 접속부 (15) 도, 배선부 (14) 와 마찬가지로, 기재 (11) 의 제 1 면 (11a) 에 있어서의 비검출 영역 (17) 에 위치하는 부분에 형성되어 있다.
도 1 에서는, 이해를 용이하게 하기 위해서 배선부 (14) 나 외부 접속부 (15) 가 시인되도록 표시하고 있지만, 실제로는, 비검출 영역 (17) 에 위치하는 부분에는, 차광성을 갖는 가식층 (도시 생략) 이 형성되어 있다. 이 때문에, 정전 용량형 터치 센서 (10) 를 패널 (13) 측의 면에서 보면, 배선부 (14) 및 외부 접속부 (15) 는 가식층에 의해 은폐되어 시인되지 않는다. 가식층을 구성하는 재료는, 차광성을 갖는 한 임의이다. 가식층은 절연성을 갖고 있어도 된다.
정전 용량형 터치 센서 (10) 에서는, 패널 (13) 의 표면 (13a) 상에 조작체의 일례로서 손가락을 접촉시키면, 손가락과 손가락에 가까운 제 1 투명 전극 (21) 의 사이, 및, 손가락과 손가락에 가까운 제 2 투명 전극 (22) 의 사이에서 정전 용량이 발생한다. 정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 이 때의 정전 용량의 변화를 검지부에 의해 검지하고, 이 정전 용량 변화에 기초하여, 손가락의 접촉 위치를 제어부에 의해 산출하는 것이 가능하다. 요컨대, 정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 손가락과 제 1 전극 연결체 (21s) 의 사이의 정전 용량 변화에 기초하여 손가락의 위치의 Y 좌표를 검지하고, 손가락과 제 2 전극 연결체 (22s) 의 사이의 정전 용량 변화에 기초하여 손가락의 위치의 X 좌표를 검지한다 (자기 용량 검출형).
이에 대하여, 정전 용량형 터치 센서 (10) 는 상호 용량 검출형이어도 된다. 즉, 정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 제 1 전극 연결체 (21s) 및 제 2 전극 연결체 (22s) 의 어느 일방의 전극 (예를 들어 제 1 전극 연결체 (21s)) 의 일렬에 구동 전압을 인가하고, 제 1 전극 연결체 (21s) 및 제 2 전극 연결체 (22s) 의 어느 타방의 전극 (예를 들어 제 2 전극 연결체 (22s)) 과 손가락의 사이의 정전 용량의 변화를 검지해도 된다. 이 경우에는, 정전 용량형 터치 센서 (10) 는, 어느 제 1 전극 연결체 (21s) 에 전압을 인가했을 때에 정전 용량의 변화가 검출되었는지에 따라 손가락의 위치의 Y 좌표를 검지하고, 어느 제 2 전극 연결체 (22s) 에 있어서 정전 용량이 변화되었는지에 따라 손가락의 위치의 X 좌표를 검지한다.
다음으로, 도 4 와 도 5 (a) 를 참조하면서, 금속 세선을 구비한 전극 패턴에 대해 설명한다. 도 4 는, 본 실시형태에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다. 도 5 (a) 는, 도 4 의 B 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다.
도 4 와 도 5 (a) 에 나타내는, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 은, 소정의 폭 (W1) 을 갖는 절연 갭 (130) 을 개재하여 서로 이웃하여 배치되어 있고, 절연 갭 (130) 에 의해 서로 절연되어 있다. 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 은, 서로 절연된 상태로 이웃하는, 2 개의 전극 패턴으로서, 도 1 ∼ 도 3 에 나타내는 구성에 있어서는, 제 1 투명 전극 (21) 과 제 2 투명 전극 (22) 이 상기 2 개의 전극 패턴에 각각 대응하고, 또는, 제 1 투명 전극 (21) 혹은 제 2 투명 전극 (22) 과 광학 조정 영역 (42) 이, 상기 2 개의 전극 패턴에 각각 대응한다.
제 1 전극 패턴 (110) 은, 제 1 방향 (D1) 으로 연장되는, 복수의 제 1 금속 세선 (111) 과, 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 제 2 방향 (D2) 으로 연장되는, 복수의 제 2 금속 세선 (112) 으로 메시상으로 형성되어 있다. 제 2 전극 패턴 (120) 은, 상기 제 1 방향 (D1) 으로 연장되는, 복수의 제 1 금속 세선 (121) 과, 상기 제 2 방향 (D2) 으로 연장되는, 복수의 제 2 금속 세선 (122) 으로 메시상으로 형성되어 있다.
제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 은, 절연 갭 (130) 이 연장되는 방향 (세로 방향 (Dg), 도 4 와 도 5 (a) 의 상하 방향) 과는 상이한 방향이며, 서로가 교차하는 각도는 0 도 이외의 임의의 각도로 설정할 수 있다. 도 5 (a) 에서는, 이 교차 각도는 2 × φ 로 되어 있고, 절연 갭 (130) 의 폭 방향 (Dw) 을 기준으로 하면, 제 1 방향 (D1) 은 시계 회전 방향으로 각도 (φ) 의 방향으로 연장되어 있고, 제 2 방향 (D2) 은 시계 회전 반대 방향으로 각도 (φ) 의 방향으로 연장되어 있다.
제 1 전극 패턴 (110) 에 있어서의 제 1 금속 세선 (111) 과 제 2 금속 세선 (112) 의 폭은 서로 L1 로 동일하고, 복수의 제 1 금속 세선 (111) 끼리의 간격과 복수의 제 2 금속 세선 (112) 끼리의 간격도 서로 동일하다. 제 1 금속 세선 (111) 및 제 2 금속 세선 (112) 의 각각의 폭, 그리고, 제 1 금속 세선 (111) 끼리의 간격 및 제 2 금속 세선 (112) 끼리의 간격은, 금속 세선의 시인성, 접촉 저항 등을 고려하여 설정하는 것이 바람직하다.
제 2 전극 패턴 (120) 에 있어서의 제 1 금속 세선 (121) 과 제 2 금속 세선 (122) 의 폭은, 제 1 전극 패턴 (110) 에 있어서의 제 1 금속 세선 (111) 과 제 2 금속 세선 (112) 의 폭과 동일하고, 복수의 제 1 금속 세선 (121) 끼리의 간격과 복수의 제 2 금속 세선 (122) 끼리의 간격은, 제 1 전극 패턴 (110) 에 있어서의 복수의 제 1 금속 세선 (111) 끼리의 간격과 복수의 제 2 금속 세선 (112) 끼리의 간격과 동일하다.
제 1 전극 패턴 (110) 은, 절연 갭 (130) 측의 단부 (110e) 에 있어서, 제 1 금속 세선 (111) 과 제 2 금속 세선 (112) 의 교차 위치 (CP11) 로부터, 제 1 단부 배선 (111b) 이 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 2 단부 배선 (112b) 이 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되어 있다. 제 1 단부 배선 (111b) 의 선단면인 제 1 단면 (111a) 및 제 2 단부 배선 (112b) 의 선단면인 제 2 단면 (112a) 은, 절연 갭 (130) 에 면하고 있다. 제 1 전극 패턴 (110) 은, 제 1 단부 배선 (111b) 및 제 2 단부 배선 (112b) 을 제외하고, 평면에서 보아 마름모 형상의 기본 패턴 (P1) 을, 제 1 방향 (D1) 및 제 2 방향 (D2) 의 각각을 따라 반복하여 구성된다.
제 2 전극 패턴 (120) 에 대해서도, 절연 갭 (130) 측의 단부 (120e) 에 있어서, 제 1 금속 세선 (121) 과 제 2 금속 세선 (122) 의 교차 위치 (CP12) 로부터, 제 1 단부 배선 (121b) 이 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 2 단부 배선 (122b) 이 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되어 있다. 제 1 단부 배선 (121b) 의 선단면인 제 1 단면 (121a) 및 제 2 단부 배선 (122b) 의 선단면인 제 2 단면 (122a) 은, 절연 갭 (130) 에 면하고 있다. 제 2 전극 패턴 (120) 은, 제 1 단부 배선 (121b) 및 제 2 단부 배선 (122b) 을 제외하고, 평면에서 보아 마름모 형상의 기본 패턴 (P1) 을, 제 1 방향 (D1) 및 제 2 방향 (D2) 의 각각을 따라 반복하여 구성된다.
도 5 (a) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 전극 패턴 (110) 의 제 1 단부 배선 (111b) 및 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 1 단부 배선 (121b) 은, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 쌍을 이루고 있고, 이들 쌍을 이루는 제 1 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b), 제 1 단부 배선 (121b)) 의 제 1 단면 (제 1 단면 (111a), 제 1 단면 (121a)) 은, 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 방향 (구체적으로는 절연 갭 (130) 의 폭 방향 (Dw)) 으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있다.
제 1 전극 패턴 (110) 의 제 1 금속 세선 (111) 의 단부인 제 1 단부 배선 (111b) 은, 교차 위치 (CP11) 로부터 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되는 금속 세선으로 구성된다. 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 1 금속 세선 (121) 의 단부인 제 1 단부 배선 (121b) 은, 교차 위치 (CP12) 로부터 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되는 금속 세선으로 구성된다.
도 5 (a) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 단부 배선 (111b) 을 구성하는 금속 세선을 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장시키면, 그 금속 세선의 제 2 전극 패턴 (120) 측의 단부가 만드는 가상선 (V1) 과, 제 1 단부 배선 (121b) 을 구성하는 금속 세선의 제 1 전극 패턴 (110) 측의 단부의 사이의 이간 거리는, 금속 세선의 폭 (L1) 과 동등하다. 즉, 제 1 전극 패턴 (110) 의 제 1 단부 배선 (111b) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 1 단부 배선 (121b) 은, 모두 제 1 방향 (D1) 을 따라 이간 거리 (L1) 로 나열되어 연장되는 2 개의 금속 세선의 각각의 일부로 구성되어 있다.
이들 2 개의 금속 세선의 제 1 방향 (D1) 의 폭 방향 (Dw) 으로의 이간 폭은, 전술한 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 의 폭 방향 (Dw) 에 대한 각도는 φ 이기 때문에, L1/sinφ 이 된다. 따라서, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 쌍을 이루는 제 1 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b), 제 1 단부 배선 (121b)) 은, 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 방향 (폭 방향 (Dw)) 으로 소정 간격으로 L1/sinφ 을 두고 시프트하여 배치되어 있다.
제 1 단면 (111a) 과 제 1 단면 (121a) 은, 모두, 세로 방향 (Dg) 을 따라 절단되어 이루어지는 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖는다. 이와 같은 형상으로 함으로써, 세선의 형성시에 형상을 내기 쉬워져, 절연 갭 (130) 의 폭을 확보할 수 있다.
또, 제 1 전극 패턴 (110) 의 제 2 단부 배선 (112b) 및 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 2 단부 배선 (122b) 은, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 쌍을 이루고 있고, 이들 쌍을 이루는 제 2 단부 배선 (제 2 단부 배선 (112b), 제 2 단부 배선 (122b)) 의 제 2 단면 (제 2 단면 (112a), 제 2 단면 (122a) 은, 제 2 방향 (D2) 과 교차하는 방향 (구체적으로 폭 방향 (Dw)) 으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있다.
제 1 전극 패턴 (110) 의 제 2 금속 세선 (112) 의 단부인 제 2 단부 배선 (112b) 은, 교차 위치 (CP11) 로부터 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되는 금속 세선으로 구성된다. 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 2 금속 세선 (122) 의 단부인 제 2 단부 배선 (122b) 은, 교차 위치 (CP12) 로부터 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되는 금속 세선으로 구성된다.
도 5 (a) 에 나타내는 바와 같이, 제 2 단부 배선 (112b) 을 구성하는 금속 세선을 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장시키면, 그 금속 세선의 제 2 전극 패턴 (120) 측의 단부가 만드는 가상선 (V2) 과, 제 2 단부 배선 (122b) 을 구성하는 금속 세선의 제 1 전극 패턴 (110) 측의 단부의 사이의 이간 거리는, 금속 세선의 폭 (L1) 과 동등하다. 즉, 제 1 전극 패턴 (110) 의 제 2 단부 배선 (112b) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 제 2 단부 배선 (122b) 은, 모두 제 2 방향 (D2) 을 따라 이간 거리 (L1) 로 나열되어 연장되는 2 개의 금속 세선의 각각의 일부로 구성되어 있다.
이들 2 개의 금속 세선의 제 2 방향 (D2) 의 폭 방향 (Dw) 으로의 이간 폭은, 전술한 바와 같이, 제 2 방향 (D2) 의 폭 방향 (Dw) 에 대한 각도는 φ 이기 때문에, 이들 쌍을 이루는 제 2 단부 배선 (제 2 단부 배선 (112b), 제 2 단부 배선 (122b)) 은, 제 2 방향 (D2) 과 교차하는 방향 (폭 방향 (Dw)) 으로 소정 간격으로 L1/sinφ 을 두고 시프트하여 배치되어 있다.
제 2 단면 (112a) 과 제 2 단면 (122a) 은, 모두, 세로 방향 (Dg) 을 따라 절단되어 이루어지는 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖는다. 이와 같은 형상으로 함으로써, 세선의 형성시에 형상을 내기 쉬워져, 절연 갭 (130) 의 폭을 확보할 수 있다.
이와 같이, 쌍을 이루는 단면이 적절히 이간되어 있기 때문에, 본 실시형태에 관련된 전극 부재 (20) 는, 세로 방향 (Dg) 을 따라 보았을 때에, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 이 중복되지 않는 영역이 존재하고, 이것이 절연 갭 (130) 을 형성하고 있다. 그러므로, 예를 들어 금속 세선을 금속막으로부터 습식의 에칭 프로세스로 형성할 때에, 금속 세선을 구성하는 재료의 에칭액은, 절연 갭 (130) 을 통해, 검출 영역 (16) 으로부터 용이하게 배출될 수 있다. 따라서, 특허문헌 1 에 개시되는 전극과 대비하여, 본 실시형태에 관련된 전극 부재 (20) 는, 절연 갭 (130) 근방에 위치하는 금속 세선의 가공 정밀도를 적절히 확보할 수 있고, 에칭 잔류물도 잔류하기 어렵다. 이에 비해, 특허문헌 1 에 개시되는 전극을 동일하게 습식으로 형성하고자 하면, 띠상 전극의 단부가 중복되는 영역에 있어서 에칭액이 체류하기 쉽다. 그러므로, 특허문헌 1 에 개시되는 전극에서는, 오버 에칭에 의한 가공 정밀도의 저하나 잔류물의 잔류 등이 우려된다. 절연 갭 (130) 의 시인성을 억제하는 것과 에칭액의 잔류를 적절히 억제하는 것을 양립하는 관점에서, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은, 금속 세선 (제 1 금속 세선 (111 121), 제 2 금속 세선 (112, 122)) 의 폭 (L1) 의 0.5 배 이상 3.5 배 이하로 하는 것이 바람직한 경우가 있다.
또한, 도 4 및 도 5 (a) 에 나타나는 금속 패턴에서는, W1 = 2 L1/sinφ 을 만족하는 경우에는, 폭 방향 (Dw) 에서 보았을 때에, 쌍을 이루는 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b) 및 제 1 단부 배선 (121b), 제 2 단부 배선 (112b) 및 제 2 단부 배선 (122b)) 의 단면 (제 1 단면 (111a) 및 제 1 단면 (121a), 제 2 단면 (112a) 및 제 2 단면 (122a)) 이 서로 완전하게 중복된다. 도 5 (a) 는 이 경우의 금속 패턴을 나타내고 있다. 이 경우보다 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 이 커지면, 쌍을 이루는 단부 배선의 단면의 폭 방향 (Dw) 에서 보았을 때의 중복이 적어져, W1 ＞ 3 L1/sinφ 을 만족하면, 이들 단면이 중복되지 않게 된다. 쌍을 이루는 단부 배선이 연속적으로 시인되는 것을 용이하게 하는 관점, 즉 절연 갭 (130) 의 시인성을 저하시키는 관점에서는, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은, 3 L1/sinφ 이하로 하는 것이 바람직하다. 이 시인성의 관점에서는 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 의 하한은 설정되지 않지만, 오버 에칭의 영향을 억제하는 관점에서, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은, 금속 세선의 폭 (L1) 의 0.5 배 이상인 것이 바람직하고, 1 배 이상인 것이 보다 바람직하다.
이와 같은 폭 방향 (Dw) 에서 보았을 때의 중복 부분을 형성하기 위해서는, 쌍을 이루는 제 1 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b), 제 1 단부 배선 (121b)) 의 제 1 방향 (D1) 에 있어서의 길이의 합계, 및, 쌍을 이루는 제 2 단부 배선 (제 2 단부 배선 (112b), 제 2 단부 배선 (122b)) 의 제 2 방향 (D2) 에 있어서의 길이의 합계를, 모두, 상기 기본 패턴 (P1) 에 있어서의 각 변의 길이보다 길게 하면 된다. 이와 같은 중복되는 부분을 갖는 구성에 의해, 절연 갭 (130) 의 폭을 확보하여 오버 에칭의 영향을 억제하면서, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 사이의 절연 갭 (130) 의 시인성을 억제할 수 있다.
도 5 (b) 는, 도 5 (a) 에 나타내는 제 1 단면 (111a, 121a) 의 형상의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 5 (a) 에 나타내는 제 1 단면 (111a, 121a) 은, 세로 방향 (Dg) 을 따라 절취되어 이루어지는 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖고 있지만, 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b), 제 1 단부 배선 (121b), 제 2 단부 배선 (112b) 및 제 2 단부 배선 (122b)) 을 포함하는 금속 세선이 웨트 에칭 프로세스로 형성되는 경우에는, 그 제거 가공이 등방적으로 진행되기 때문에, 상기 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 정확하게 형성하는 것은 용이하지 않다. 그래서, 단부 배선의 단부 형상을 곡면화함으로써, 가공 형상의 형상 정밀도를 높일 수 있다.
구체적으로는, 도 5 (b) 에 나타내는 바와 같이, 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되는 제 1 단부 배선 (211b) 의 제 1 단면 (211a) 을 반원 형상으로 함으로써, 에칭이 등방적으로 행해져도 단부 형상의 변화가 생기기 어려워진다. 도 5 (b) 에서는, 제 1 단부 배선 (221b) 의 제 1 단면 (221a) 도 반원 형상으로 되어 있다.
또한, 이와 같이 제 1 단면 (211a, 221a) 을 반원 형상으로 하면, 도 5 (a) 에 나타내는 제 1 단면 (111a, 121a) 이 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖는 경우와 대비하여, 단면간의 이간 거리는, 약간 짧아진다. 도 5 (b) 에 나타내는 예에서는, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1') 은, 도 5 (a) 에 나타내는 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 보다 좁고, 70 ％ 정도가 된다. 이 경우여도, 마주보는 제 1 단부 배선 (211b) 과 제 1 단부 배선 (221b) 의 사이에서 절연이 확보되고, 세로 방향 (Dg) 에 금속 세선이 위치하지 않는 부분이 간파되어 있으면, 웨트 에칭 프로세스로 금속 세선의 가공이 실시되어도, 오버 에칭에 의한 가공 정밀도의 저하를 방지할 수 있다. 이와 같은 곡면의 단면 형상은, 인접하여 쌍을 이루는, 제 2 단면 (112a, 122a) 에 대해서도 동일하게 적용 가능하다.
여기서, 제 1 전극 패턴 (110) 의 단부 배선을 제 3 단부 배선이라고 총칭하고, 제 2 전극 패턴 (120) 의 단부 배선을 제 4 단부 배선이라고 총칭하면, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 서로 대향하여 쌍을 이루는 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선은, 제 4 방향으로서의 폭 방향 (Dw) 을 따라 보면, 중복되는 부분을 갖는다. 구체적으로는, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 서로 대향하여 쌍을 이루는, 제 3 단부 배선으로서의 제 1 단부 배선 (111b) 과 제 4 단부 배선으로서의 제 1 단부 배선 (121b) 은, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 을 따라 보면, 중복되는 부분을 갖는다. 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 서로 대향하여 쌍을 이루는, 제 2 단부 배선 (112b) 과 제 2 단부 배선 (122b) 에 대해서도, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 을 따라 보면, 중복되는 부분을 갖는다. 이 중복되는 부분이 존재하기 때문에, 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선의 간극이 시인되기 어려워진다. 한편, 제 3 방향 (세로 방향 (Dg)) 을 따라 보았을 때에는, 금속 세선이 위치하지 않는 부분을 간파할 수 있기 때문에, 금속 세선의 오버 에칭이 적절히 억제된다.
도 4 및 도 5 (a) 에 나타나는 금속 패턴에서는, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 은, 절연 갭 (130) 의 폭 방향 (Dw) (세로 방향 (Dg) 에 직교하는 방향) 으로 폭 L1/sinφ 만큼 서로 이간하도록, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 일방이 시프트된 관계에 있다. 구체적으로는, 제 2 전극 패턴 (120) 은, 제 1 전극 패턴 (110) 을 기준으로 하면, 폭 방향 (Dw) 의 우측으로 폭 L1/sinφ 만큼 시프트된 위치에 있다. 도 5 (b) 에 나타내는 예에서도, 절연 갭 (130) 의 폭 L1/sinφ 만큼 이간하도록 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 일방이 시프트되어 있다. 바꾸어 말하면, 제 1 전극 패턴 (110) 의 기본 패턴 (P1) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 기본 패턴 (P1) 은, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 으로 L/sinφ 만큼 떨어져 배치되어 있다.
그리고, 제 3 단부 배선 및 제 4 단부 배선의 각각은, 기본 패턴 (P1) 의 일부를 이루는 금속 세선이 기본 패턴 (P1) 의 반복에 기초하는 위치에 배치되어 있다. 구체적으로 설명하면, 제 1 전극 패턴 (110) 은, 제 3 단부 배선 (제 1 단부 배선 (111b), 제 2 단부 배선 (112b)) 이외에는, 상기 기본 패턴 (P1) 의 반복에 의해 구성된다. 한편, 제 3 단부 배선을 구성하는 제 1 단부 배선 (111b) 및 제 2 단부 배선 (112b) 은, 모두, 기본 패턴 (P1) 의 일부를 이루는 금속 세선이 상기 기본 패턴 (P1) 의 반복에 기초하는 위치에 배치된 구성을 갖는다. 마찬가지로, 제 2 전극 패턴 (120) 은, 제 4 단부 배선 (제 1 단부 배선 (121b), 제 2 단부 배선 (122b)) 이외에는, 상기 기본 패턴 (P1) 의 반복에 의해 구성된다. 한편, 제 4 단부 배선을 구성하는 제 1 단부 배선 (121b) 및 제 2 단부 배선 (122b) 은, 상기 기본 패턴 (P1) 의 일부를 이루는 금속 세선이 기본 패턴 (P1) 의 반복에 기초하는 위치에 배치된 구성을 갖는다. 도 5 (b) 에 나타내는 예에 있어서도, 제 3 단부 배선 (제 1 단부 배선 (211b)) 및 제 4 단부 배선 (제 1 단부 배선 (221b)) 은, 각각, 기본 패턴 (P1) 의 일부를 이루는 금속 세선이 상기 기본 패턴 (P1) 의 반복에 기초하는 위치에 배치된 구성을 갖는다.
도 6, 도 7, 도 8, 도 9 (a), 및 도 9 (b) 는, 도 4 와 도 5 (a) 에 나타내는 본 실시형태의 구성에 있어서, 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선의 사이에 위치하는 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 을 바꾸었을 경우의 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다. 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은, 도 6 에서는 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 1 배, 도 7 에서는 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 2 배, 도 8 에서는 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 3 배, 도 9 (a) 에서는 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 4 배, 도 9 (b) 에서는 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 5 배로 하고 있다.
또한, 도 6, 도 7, 도 8, 도 9 (a), 및 도 9 (b) 에서는, 제 1 전극 패턴 (110) 의 기본 패턴 (P1) 과 제 2 전극 패턴의 기본 패턴 (P1) 의 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서의 어긋남 폭 (패턴 어긋남 폭) 은 L1/(2 × sinφ) 로 일정하게 되어 있다. 이 패턴 어긋남 폭은, 도 4 및 도 5 (a) 에 나타낸 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 패턴 어긋남 폭의 1/2 이다. 따라서, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 이 0.5 × L1/sinφ ≤ W1 ≤ 2.5 × L1/sinφ 을 만족하는 범위에서는, 쌍을 이루는 제 3 단부 배선 및 제 4 단부 배선을 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에, 이들 단부 배선의 단면은 중복되는 부분을 갖는다. 도 6 (a), 도 7 (a), 도 8 (a), 도 9 (a), 및 도 9 (b) 에서는, 각도 (φ) 는 60°이기 때문에, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 이, 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 0.7 배 정도로부터 3.5 배 정도의 범위에 있어서, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에, 쌍을 이루는 제 3 단부 배선의 단면과 제 4 단부 배선의 단면은 중복되는 부분을 갖는다.
도 6, 도 7 및 도 8 에 나타내는 예에서는, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 1 배에서 3 배이기 때문에, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에, 쌍을 이루는 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선이 중복되는 부분을 갖는다. 이 때문에, 이들 배선은 연속하여 시인되기 쉽다. 즉, 절연 갭 (130) 은 시인되기 어렵다.
도 9 (a) 및 도 9 (b) 에 나타내는 예에서는, 절연 갭 (130) 의 폭 (W1) 은 제 1 금속 세선 (111 121) 의 폭 (L1) 의 4 배 및 5 배이기 때문에, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에, 쌍을 이루는 제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선은 중복되는 부분을 갖지 않는다. 이들 구성에 있어서도, 예를 들어 패턴 어긋남 폭을 넓히면, 절연 갭 (130) 을 사이에 두고 마주보고 쌍을 이루는 단부 배선 (제 3 단부 배선, 제 4 단부 배선) 은, 금속 세선이 연장되는 방향을 따라 길어진다. 그 결과, 상기 쌍을 이루는 단부 배선은, 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에 중복되는 부분을 갖게 된다. 이와 같이 함으로써, 절연 갭 (130) 의 시인성을 저하시키는 것이 가능하다. 구체적으로는, 도 9 (a) 에서는, 패턴 어긋남 폭이 L1/(2 × sinφ) 이지만, 도 5 (a) 에 나타내는 금속 패턴과 같이 패턴 어긋남 폭이 L1/sinφ 이면, 쌍을 이루는 단부 배선 (제 3 단부 배선, 제 4 단부 배선) 은 중복되는 부분을 갖는다.
도 10 (a) 및 도 10 (b) 는, 비교예의 구성에 있어서, 절연 갭 (330) 의 폭 (W3) 을 바꾸었을 경우의 제 1 전극 패턴 (310) 과 제 2 전극 패턴 (320) 의 구성을 개념적으로 나타내는 평면도이다.
도 10 (a) 및 도 10 (b) 에 나타내는 비교예는, 상기 실시형태의 기본 패턴 (P1) 과 동일한 마름모 형상의 패턴이고, 상기 실시형태와 동일한 폭의 제 1 금속 세선 (311, 321), 및, 제 2 금속 세선 (312, 322) 으로 전극 패턴 (310, 320) 이 각각 구성되어 있고, 절연 갭 (330) 을 개재하여 대향하여 쌍을 이루는 제 1 금속 세선 (311, 321) 의 제 1 단부 배선은 동일 직선 상에 배치되고, 또한, 절연 갭 (330) 을 개재하여 대향하여 쌍을 이루는 제 2 금속 세선 (312, 322) 의 제 2 단부 배선도 동일 직선 상에 배치되어 있다. 절연 갭 (330) 이 세로 방향 (Dg) 을 따라 직선상으로 형성됨으로써, 제 1 단부 배선의 제 1 단면과 제 2 단부 배선의 제 2 단면은 각각, 도 6 에서 도 8 에 나타내는 본 실시형태에 있어서의, 제 1 단면과 제 2 단면과 동일한 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상으로 되어 있다.
비교예에 있어서의 절연 갭 (330) 의 폭 (W3) 은, 도 10 (a) 에서는 제 1 금속 세선 (311, 321) 의 폭 (L1) 의 1 배, 도 10 (b) 에서는 제 1 금속 세선 (311, 321) 의 폭 (L1) 의 4 배로 하고 있다. 비교예에서는, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 사이에 패턴 어긋남은 없고, 즉, 패턴 어긋남 폭은 0 이며, 연속한 금속 패턴의 일부에 폭 (W3) 의 절연 갭 (330) 이 배치되어, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 이 형성되는 구조로 되어 있다.
도 10 (a) 에 나타내는 구성에서는, 절연 갭 (330) 이 좁기 때문에, 제 1 전극 패턴 (310) 의 금속 세선과 제 2 전극 패턴 (320) 의 금속 세선은 연속적으로 시인되기 쉽다. 그러나, 이와 같은 구성에서는, 에칭 프로세스에 있어서 단부 배선이 선단으로부터 오버 에칭되기 쉽고, 오버 에칭이 생기면, 세로 방향 (Dg) 및 폭 방향 (Dw) 의 쌍방으로 단부 배선은 금속 세선이 연장되는 방향을 따라 후퇴한다. 이 때문에, 쌍이 되는 단부 배선의 이간 거리는 용이하게 넓어져 버린다. 이에 비하여, 도 6 에서 도 9 에 나타내는 본 실시형태의 구성의 경우에는, 오버 에칭이 발생하여 단부 배선 (제 3 단부 배선과 제 4 단부 배선) 의 선단이 소멸되어도, 폭 방향 (Dw) 에서 보아 이들 배선에 있어서의 중복되어 있던 부분이 소멸되는 것뿐이라면, 쌍이 되는 단부 배선의 이간 거리의 확장으로서 현재화하기 어렵다. 이 때문에, 단부 배선에 오버 에칭이 발생해도, 절연 갭 (130) 의 불가시성이 유지되기 쉽다.
이상과 같이 구성된 점에서, 본 실시형태의 정전 용량형 터치 센서 (10) 에 있어서는, 절연 갭 (130) 을 개재하여 이웃하는, 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 에 있어서의 금속 세선의 시인성을 억제할 수 있고, 절연 갭 (130) 을 개재하여 이웃하는 금속 세선이 연속되어 있듯이 인식되기 쉬워지고, 또한, 금속 세선의 오버 에칭을 억제하여 원하는 형상을 얻는 것이 가능해진다.
이하에 변형예에 대해 설명한다.
도 11 은, 변형예에 있어서의, 제 1 전극 패턴과 제 2 전극 패턴의 구성을 나타내는 평면도이다. 도 12 (a) 는, 도 11 의 C 부분을 확대하여 나타내는 평면도이다. 도 11 과 도 12 (a) 에 나타내는 전극 패턴에서는, 상기 실시형태의 제 1 전극 패턴 (110) 과 제 2 전극 패턴 (120) 과 마찬가지로, 제 1 전극 패턴 (160) 과 제 2 전극 패턴 (170) 이, 소정의 폭 (W2) 을 갖는 절연 갭 (180) 을 개재하여 이웃하여 배치되어 있고, 절연 갭 (180) 에 의해 서로 절연되어 있다. 제 1 전극 패턴 (160) 과 제 2 전극 패턴 (170) 은, 서로 절연된 상태로 이웃하는 2 개의 전극 패턴이다.
제 1 전극 패턴 (160) 은, 제 1 방향 (D1) 으로 연장되는, 복수의 제 1 금속 세선 (161) 과, 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 제 2 방향 (D2) 으로 연장되는, 복수의 제 2 금속 세선 (162) 으로 메시상으로 형성되어 있다. 제 2 전극 패턴 (170) 은, 상기 제 1 방향 (D1) 으로 연장되는, 복수의 제 1 금속 세선 (171) 과, 상기 제 2 방향 (D2) 으로 연장되는, 복수의 제 2 금속 세선 (172) 으로 메시상으로 형성되어 있다. 제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 은, 상기 실시형태와 동일하고, 절연 갭 (180) 이 연장되는 방향 (세로 방향 (Dg)) 과는 상이한 방향이다.
제 1 전극 패턴 (160) 에 있어서의 제 1 금속 세선 (161) 과 제 2 금속 세선 (162), 및, 제 2 전극 패턴 (170) 에 있어서의 제 1 금속 세선 (171) 과 제 2 금속 세선 (172) 은, 단부 배선을 제외하고, 상기 실시형태와 동일하게 구성되어 있다.
도 4 와 도 5 (a) 에 나타내는 실시형태에 있어서는, 제 1 단부 배선 (111b, 121b) 은 제 1 방향 (D1) 을 따라 연장되고, 제 2 단부 배선 (112b, 122b) 은 제 2 방향 (D2) 을 따라 연장되어 있었지만, 도 11 과 도 12 에 나타내는 변형예에 있어서는, 절연 갭 (180) 측의 단부 (160e) 에 있어서, 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 1 단부 배선 (161b) 이 연장되고, 절연 갭 (180) 측의 단부 (170e) 에 있어서, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 1 단부 배선 (171b) 이 연장되어 있다. 제 1 단부 배선 (161b, 171b) 은, 각각 제 1 방향 (D1) 에 대해, 도 12 에 나타내는 평면에서 보아 시계 회전 방향에 있어서 각도 (θ) 를 이루어 연장되어 있다. 또, 절연 갭 (180) 측의 단부 (160e) 에 있어서, 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 2 단부 배선 (162b) 이 연장되고, 절연 갭 (180) 측의 단부 (170e) 에 있어서, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 2 단부 배선 (172b) 이 연장되어 있다. 제 2 단부 배선 (162b, 172b) 은, 각각 제 2 방향 (D2) 에 대해, 평면에서 보아 시계 회전 반대 방향에 있어서 각도 (θ) 를 이루어 연장되어 있다. 여기서 각도 (θ) 는, 평면시에 있어서의 시계 회전 방향 및 시계 회전 반대 방향 중 어느 것에 있어서나, 제로보다 크고, 제 1 방향 (D1) 과 제 2 방향 (D2) 이 이루는 각도보다 작다.
환언하면, 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 1 단부 배선 (161b), 및, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 1 단부 배선 (171b) 은, 각각 제 1 방향 (D1) 에 대해 서로 반대 방향으로 경사져 연장되는 부분을 갖는다. 구체적으로는, 이들 단부 배선은, 제 1 방향 (D1) 에 교차하는 방향 (절연 갭 (180) 의 폭 방향 (Dw)) 에 있어서 소정 거리 (절연 갭 (180) 의 폭 (W2)) 를 두고 이간하도록, 제 1 방향 (D1) 에 교차하는 방향 (폭 방향 (Dw)) 의 성분을 가진 방향으로, 단부 배선의 전체가 연장되어 있다.
또, 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 2 단부 배선 (162b), 및, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 2 단부 배선 (172b) 은, 각각 제 2 방향 (D2) 에 대해 서로 반대 방향으로 경사져 연장되는 부분을 갖는다. 구체적으로는, 이들 단부 배선은, 제 2 방향 (D2) 에 교차하는 방향 (폭 방향 (Dw)) 에 있어서 소정 거리 (폭 (W2)) 를 두고 이간하도록, 제 2 방향 (D2) 에 교차하는 방향 (폭 방향 (Dw)) 의 성분을 가진 방향으로, 각각의 단부 배선의 전체가 연장되어 있다.
여기서, 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 1 단부 배선 (161b) 은, 제 2 금속 세선 (162) 과의 교차 위치 (CP21) 로부터, 평면에서 보아 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 방향으로 직선상으로 연장되어 있고, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 1 단부 배선 (171b) 은, 제 2 금속 세선 (172) 과의 교차 위치 (CP22) 로부터, 평면에서 보아 제 2 방향 (D2) 과 교차하는 방향으로 직선상으로 연장되어 있다. 제 1 전극 패턴 (160) 의 제 2 단부 배선 (162b) 은, 제 2 금속 세선 (162) 과의 교차 위치 (CP21) 로부터, 평면에서 보아 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 방향으로 직선상으로 연장되어 있고, 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 2 단부 배선 (172b) 은, 제 2 금속 세선 (172) 과의 교차 위치 (CP22) 로부터, 평면에서 보아 제 2 방향 (D2) 과 교차하는 방향으로 직선상으로 연장되어 있다.
이상의 구성에 의해, 제 1 전극 패턴 (60) 의 제 1 단부 배선 (161b) 및 제 2 전극 패턴 (170) 의 제 1 단부 배선 (171b) 은, 절연 갭 (180) 을 사이에 두고 쌍을 이루고 있고, 이들 쌍을 이루는 제 1 단부 배선 (제 1 단부 배선 (161b), 제 1 단부 배선 (171b)) 의 제 1 단면 (제 1 단면 (161a), 제 1 단면 (171a)) 은, 제 1 방향 (D1) 과 교차하는 방향 (구체적으로는 폭 방향 (Dw)) 으로 소정 거리 (구체적으로는 폭 (W2)) 를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있다.
절연 갭 (180) 은, 절연 갭 (180) 이 연장되는 방향 (세로 방향 (Dg)) 인 제 3 방향을 따라 보았을 때에, 금속 세선이 위치하지 않는 부분을 간파할 수 있도록, 제 1 전극 패턴 (160) 과 제 2 전극 패턴 (170) 의 사이에 배치되어 있다. 그리고, 쌍을 이루는 단부 배선 (제 3 단부 배선에 속하는 제 1 단부 배선 (161b), 제 4 단부 배선에 속하는 제 1 단부 배선 (171b)) 은, 절연 갭 (180) 을 사이에 두고 서로 대향하고, 제 3 방향 (세로 방향 (Dg)) 에 직교하는 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 에서 보았을 때에, 중복되는 부분을 갖는다. 그 중복되는 부분의 제 3 방향 (세로 방향 (Dg)) 을 따른 길이는 L2 이다.
도 11 에 나타내는 바와 같이, 본 변형예에서는, 제 1 전극 패턴 (160) 을 구성하는 기본 패턴 (P2) 과 제 2 전극 패턴 (170) 을 구성하는 기본 패턴 (P2) 은는 형상이 동일하고, 이들 2 개의 기본 패턴 (P2) 에 제 4 방향 (폭 방향 (Dw)) 의 위치 어긋남도 없다. 이 패턴 위치 어긋남이 없는 점은, 도 4 에 나타나는 예와는 다르다. 본 변형예에서는, 도 12 (a) 에 나타내는 바와 같이, 2 개의 제 3 단부 배선 (제 1 단부 배선 (161b), 제 2 단부 배선 (162b)) 및 2 개의 제 4 단부 배선 (제 1 단부 배선 (171b), 제 2 단부 배선 (172b)) 은, 모두, 기본 패턴 (P2) 의 일부가 기본 패턴 (P2) 의 반복에 기초하는 위치로부터 벗어나 배치되어 있다.
도 12 (b) 는, 도 12 (a) 에 나타내는 제 1 단면의 형상의 변형예를 나타내는 도면이다. 도 12 (b) 에 나타내는, 제 1 단부 배선 (261b) 의 제 1 단면 (261a) 과, 제 1 단부 배선 (271b) 의 제 1 단면 (271a) 은, 도 12 (a) 에 있어서 인접하여 쌍을 이루는, 2 개의 제 1 단면 (161a, 171a) 과 마찬가지로, 절연 갭 (180) 의 폭 (W2) 에 대응하는 소정 간격을 두고 서로 이간되어 있다. 이들 제 1 단면 (261a, 271a) 은, 평면에서 보아 곡면 형상 (구체적으로는 반원 형상) 을 갖고 있고, 절연 갭 (180) 을 개재하여 서로 대향하고 있다. 이로써, 금속 세선을 형성할 때의 형상 안정성이 높아져, 절연 갭 (180) 의 폭 (W2) 의 편차가 적어진다. 이 경향은 금속 세선을 습식의 에칭 프로세스로 형성할 때에 현저하다. 이와 같은 곡면 형상은, 인접하여 쌍을 이루는, 제 2 단면 (162a, 172a) 에 대해서도 동일하게 적용 가능하다.
또한, 상기 실시형태 및 변형예에 대해, 제 1 단부 배선은, 제 2 금속 세선과의 교차 위치와는 다른 위치, 예를 들어, 교차 위치보다 절연 갭에 가까운 위치, 또는, 먼 위치로부터 연장되도록 해도 된다. 이는, 제 2 단부 배선도 마찬가지이고, 제 1 금속 세선과의 교차 위치와는 다른 위치, 예를 들어, 교차 위치보다 절연 갭에 가까운 위치, 또는, 먼 위치로부터 연장되도록 해도 된다. 또, 제 1 단부 배선과 제 2 단부 배선은, 각각의 단면 (제 1 단면 및 제 2 단면) 이 서로 대향하는 부분을 갖고 있으면, 평면에서 보아 곡선을 포함하는 형상이어도 된다.
혹은, 도 4, 도 5 등에 나타내는 바와 같이, 제 1 전극 패턴 (110) 의 기본 패턴 (P1) 과 제 2 전극 패턴 (120) 의 기본 패턴 (P1) 이 폭 방향 (Dw) 으로 어긋나 있는 경우에 있어서, 기본 패턴 (P1) 이 어긋나는 방향은, 세로 방향 (Dg) 을 따른 성분을 갖고 있어도 되고, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 단부 배선을 구성하는 금속 세선이 기본 패턴 (P1) 으로부터 어긋난 위치에 배치되어 있어도 된다.
본 발명에 대해 상기 실시형태를 참조하면서 설명했지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니고, 개량의 목적 또는 본 발명의 사상의 범위 내에 있어서 개량 또는 변경이 가능하다.
10 : 정전 용량형 터치 센서
11 : 기재
11a : 제 1 면
12 : 광학 투명 점착층
13 : 패널
13a : 표면
14 : 배선부
15 : 외부 접속부
16 : 검출 영역
17 : 비검출 영역
20 : 전극 부재
21 : 제 1 투명 전극 (전극 부재)
21a : 금속 세선
21s : 제 1 전극 연결체
22 : 제 2 투명 전극 (전극 부재)
22a : 금속 세선
22s : 제 2 전극 연결체
30 : 절연층 (전극 부재)
30a : 표면
31 : 연결부 (전극 부재)
32 : 브리지 배선부 (전극 부재)
41 : 절연 영역
41a : 기부
41b : 협소부
42 : 광학 조정 영역
110, 160, 310 : 제 1 전극 패턴
120, 170, 320 : 제 2 전극 패턴
110e, 120e, 160e, 170e : 절연 갭측의 단부
111, 121, 161, 171, 311, 321 : 제 1 금속 세선
111a, 121a, 161a, 171a : 제 1 단면
111b, 121b, 161b, 171b : 제 1 단부 배선
112, 122, 162, 172, 312, 322 : 제 2 금속 세선
112a, 122a, 162a, 172a : 제 2 단면
112b, 122b, 162b, 172b : 제 2 단부 배선
130, 180, 330 : 절연 갭
211a, 221a, 261a, 271a : 제 1 단면
211b, 221b, 261b, 271b : 제 1 단부 배선
CP11, CP12, CP21, CP22 : 교차 위치
D1 : 제 1 방향
D2 : 제 2 방향
Dg : 세로 방향
Dw : 폭 방향
L1, L2 : 소정 간격
P1, P2 : 기본 패턴
V1, V2 : 가상선
W1, W1', W2, W3 : 갭 폭
φ, θ : 각도
11 : 기재
11a : 제 1 면
12 : 광학 투명 점착층
13 : 패널
13a : 표면
14 : 배선부
15 : 외부 접속부
16 : 검출 영역
17 : 비검출 영역
20 : 전극 부재
21 : 제 1 투명 전극 (전극 부재)
21a : 금속 세선
21s : 제 1 전극 연결체
22 : 제 2 투명 전극 (전극 부재)
22a : 금속 세선
22s : 제 2 전극 연결체
30 : 절연층 (전극 부재)
30a : 표면
31 : 연결부 (전극 부재)
32 : 브리지 배선부 (전극 부재)
41 : 절연 영역
41a : 기부
41b : 협소부
42 : 광학 조정 영역
110, 160, 310 : 제 1 전극 패턴
120, 170, 320 : 제 2 전극 패턴
110e, 120e, 160e, 170e : 절연 갭측의 단부
111, 121, 161, 171, 311, 321 : 제 1 금속 세선
111a, 121a, 161a, 171a : 제 1 단면
111b, 121b, 161b, 171b : 제 1 단부 배선
112, 122, 162, 172, 312, 322 : 제 2 금속 세선
112a, 122a, 162a, 172a : 제 2 단면
112b, 122b, 162b, 172b : 제 2 단부 배선
130, 180, 330 : 절연 갭
211a, 221a, 261a, 271a : 제 1 단면
211b, 221b, 261b, 271b : 제 1 단부 배선
CP11, CP12, CP21, CP22 : 교차 위치
D1 : 제 1 방향
D2 : 제 2 방향
Dg : 세로 방향
Dw : 폭 방향
L1, L2 : 소정 간격
P1, P2 : 기본 패턴
V1, V2 : 가상선
W1, W1', W2, W3 : 갭 폭
φ, θ : 각도
Claims (10)
- 제 1 전극 패턴과,
상기 제 1 전극 패턴에 대해 절연 갭을 개재하여 형성된 제 2 전극 패턴을 구비한 전극 부재로서,
상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴은, 각각, 상기 절연 갭이 연장되는 방향과 교차하는 제 1 방향으로 연장되는 복수의 제 1 금속 세선과, 상기 절연 갭이 연장되는 방향 및 상기 제 1 방향의 쌍방과 교차하는 제 2 방향으로 연장되는 복수의 제 2 금속 세선으로 메시상으로 형성되고,
상기 제 1 금속 세선은, 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 상기 절연 갭측의 단부에 제 1 단부 배선을 갖고, 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 상기 제 1 단부 배선은 상기 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 상기 제 1 단부 배선의 제 1 단면은, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고,
상기 제 2 금속 세선은, 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 상기 절연 갭측의 단부에 제 2 단부 배선을 갖고, 상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴의 각각에 있어서의 상기 제 2 단부 배선은 상기 절연 갭을 사이에 두고 쌍을 이루고, 당해 쌍을 이루는 상기 제 2 단부 배선의 제 2 단면은, 상기 제 2 방향과 교차하는 방향으로 소정 거리를 두고, 서로 대향하는 부분을 갖도록 위치하고 있는 것을 특징으로 하는 전극 부재. - 제 1 항에 있어서,
상기 쌍을 이루는 상기 제 1 단부 배선은 상기 제 1 방향으로 연장되고, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향으로 소정 간격을 두고 시프트되어 배치되고,
상기 쌍을 이루는 상기 제 2 단부 배선은 상기 제 2 방향으로 연장되고, 상기 제 2 방향과 교차하는 방향으로 상기 소정 간격을 두고 시프트되어 배치되어 있는, 전극 부재. - 제 1 항에 있어서,
상기 쌍을 이루는 상기 제 1 단부 배선은, 상기 제 1 단면끼리가 상기 제 1 방향과 교차하는 방향에 있어서 상기 소정 거리를 두고 이간하도록, 상기 제 1 방향에 대해 경사져 연장되는 부분을 갖고,
상기 쌍을 이루는 상기 제 2 단부 배선은, 상기 제 2 단면끼리가 상기 제 2 방향과 교차하는 방향에 있어서 상기 소정 거리를 두고 이간하도록, 상기 제 2 방향에 대해 경사져 연장되는 부분을 갖는, 전극 부재. - 제 3 항에 있어서,
상기 제 1 단부 배선은, 상기 제 2 금속 세선과의 교차 위치로부터, 상기 제 1 방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있고,
상기 제 2 단부 배선은, 상기 제 1 금속 세선과의 상기 교차 위치로부터, 상기 제 2 방향과 교차하는 방향으로 연장되어 있는, 전극 부재. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 단면 및 상기 제 2 단면은 끝으로 갈수록 가늘어지는 형상을 갖는, 전극 부재. - 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제 1 단면 및 상기 제 2 단면은 곡면 형상을 갖는, 전극 부재. - 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 절연 갭은, 소정의 폭을 갖고 연장되어 있고, 상기 절연 갭의 폭은 상기 제 1 금속 세선의 폭의 0.5 배 이상 3.5 배 이하인, 전극 부재. - 금속 세선의 패턴으로 이루어지는, 제 1 전극 패턴 및 제 2 전극 패턴과,
상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴의 사이에 위치하고, 제 3 방향으로 연장되는 절연 갭을 구비하고,
상기 절연 갭은, 상기 제 3 방향을 따라 보았을 때에, 상기 금속 세선이 위치하지 않는 부분을 간파할 수 있도록, 상기 제 1 전극 패턴과 상기 제 2 전극 패턴의 사이에 배치되고,
상기 제 1 전극 패턴을 구성하는 상기 금속 세선은, 상기 절연 갭측의 단부에 제 3 단부 배선을 구비하고,
상기 제 2 전극 패턴을 구성하는 상기 금속 세선은, 상기 절연 갭측의 단부에 제 4 단부 배선을 구비하고,
상기 제 3 단부 배선과 상기 제 4 단부 배선은, 상기 절연 갭을 사이에 두고 서로 대향하여 쌍을 이루고, 상기 제 3 방향에 직교하는 제 4 방향에서 보았을 때에, 중복되는 부분을 갖는 것을 특징으로 하는 전극 부재. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 전극 패턴은, 상기 제 3 단부 배선 이외에는 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고,
상기 제 2 전극 패턴은, 상기 제 4 단부 배선 이외에는 상기 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고,
상기 제 1 전극 패턴의 상기 기본 패턴과 상기 제 2 전극 패턴의 상기 기본 패턴은, 상기 제 4 방향으로 이격되어 배치되고,
상기 제 3 단부 배선 및 상기 제 4 단부 배선의 적어도 하나는, 상기 기본 패턴의 일부를 이루는 상기 금속 세선이 상기 기본 패턴의 반복에 기초하는 위치에 배치되어 이루어지는, 전극 부재. - 제 8 항에 있어서,
상기 제 1 전극 패턴 및 상기 제 2 전극 패턴은, 상기 제 3 단부 배선 이외 및 상기 제 4 단부 배선 이외에는, 기본 패턴의 반복에 의해 구성되고,
상기 제 3 단부 배선 및 상기 제 4 단부 배선의 적어도 하나는, 상기 금속 세선이 상기 기본 패턴의 반복에 기초하는 위치로부터 벗어나 배치되어 이루어지는, 전극 부재.
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