KR20230106343A - 다기능 복합 봉지층 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

다기능 복합 봉지층 및 그 제조 방법을 개시한다. 본 발명의 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층은, LED 소자부의 상부에 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 것일 수 있다.

Description

다기능 복합 봉지층 및 그 제조 방법{Multifunctional Composite Encapsulation Layer and Manufacturing Method thereof}
기재된 실시예는 디스플레이용 봉지 구조 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
최근 들어, 자연색과 유사한 색을 충실히 재현하는 고색 재현 디스플레이에 대한 수요가 증가하고 있다. 이러한 요구 사항을 만족하는 디스플레이인 OLED(Organic Light Emitting Diodes)는 고체 형태(Rigid Type)에서 플렉서블 형태(Flexible Type)로 그 형태가 변화되고 있다. 그리고, 향후에는 폴더블 형태(Foldable Type)에서 롤러블 형태(Rollable Type)으로까지 형태 변화가 이루어질 것으로 예상된다.
그런데, 이러한 OLED는 유기물을 기반으로 구성된 소자이므로 다양한 폼팩터를 가질 수 있는 장점이 있으나, 수분에 매우 취약한 소재라는 단점이 있다. 따라서, 수분으로부터 OLED 소자를 차단할 수 있는 봉지 기술이 매우 중요하다.
박막 봉지(Thin Film Encapsulation, TFE) 기술 분야에서는 유기/무기물 적층 방식으로 양산하고 있어 대부분 업체들도 이러한 방식을 적용하고 있다. 초기에는 유기/무기물 복합 봉지층이 11층까지 적층된 구조였으나, 현재는 3층으로 간소화된 상태이다. 이러한 유기/무기 복합 봉지층에서 무기 봉지층은 화학 증기 증착 기술인 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 공정에 의한 SiO2 또는 SiOxNy가 사용되고 있으며 1 um 이상의 두께를 적용하고 있다.
무기막으로만 구성된 봉지 구조를 사용한 경우는 산소 및 수분 투과로부터 소자를 보호할 수 있다. 하지만, 무기 봉지막에는 무기 봉지막 제작 중이나 공정 간의 이동 중에 발생하는 파티클, 먼지 등이 포함되는데, 극소량의 파티클이 존재하더라도 이것이 무기막 결함 발생의 원인이 된다. 유/무기 복합 봉지막의 경우에는 유기막이 이러한 파티클을 제거하는 역할을 하고, 무기막들 간의 결함 전달이 되는 것을 억제하면서 다층 박막 간에 발생하는 응력을 완화시켜 준다. 그러므로, 무기막으로만 구성된 봉지막보다 유기막과 무기막으로 구성된 봉지막이 더 우수한 특성을 가지게 되어 산업계에서 대부분 적용되고 있다.
기재된 실시예는 높은 수분 투과 방지 특성을 가지며 봉지 공정에서의 OLED 열화를 방지할 수 있는 박막의 봉지층 및 그 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
기재된 실시예는 다양한 형태의 플렉서블 디스플레이 구조에 적용될 수 있는 박막의 봉지층 및 그 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
기재된 실시예는 플렉서블 OLED에서 OLED 소자의 열화를 방지하고, 플렉서블 OLED 소자 제작 공정에서 발생할 수 있는 결함을 억제하고, 플렉서블 OLED 소자 내부의 응력을 완화할 수 있는 박막의 봉지층 및 그 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
실시예에 따른 다기능 복합 봉지층은, OLED 소자부의 상부에 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 것일 수 있다.
이때, OLED 소자부는, 기판부, 하부 전극, 다층 유기물 및 상부 전극이 순차적으로 증착된 것일 수 있다.
이때, 상부 전극은, 굴절률 조절을 위한 피복층이 포함된 것일 수 있다.
이때, 공정 보호층은, 무기물 또는 유기물도 제작된 것일 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, 공정 보호층의 상부에 증착되되, 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층일 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, Oxide 계 물질로 제작된 것일 수 있다. 또한, 무기 봉지층은 Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된 것일 수 있다.
이때, 유기 보호층은 Alq3(tris(8-hydroxyquinoline)aluminum)으로 제작될 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
이때, 기능성 유기 봉지층은, 공정 보호층 또는 무기 봉지층의 상부에 증착되되, 광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는 것일 수 있다.
이때, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층은, 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 이후에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층이 추가 증착된 것일 수 있다.
실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED는, OLED 소자부 및 OLED 소자부의 상부에 증착된 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들을 포함할 할 수 있다.
이때, OLED 소자부는, 기판부, 하부 전극, 다층 유기물 및 상부 전극이 순차적으로 증착된 것일 수 있다.
이때, 상부 전극은, 굴절률 조절을 위한 피복층이 포함된 것일 수 있다.
이때, 공정 보호층은, 무기물 또는 유기물도 제작된 것일 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, 공정 보호층의 상부에 증착되되, 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층일 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된 것일 수 있다.
이때, 기능성 유기 봉지층은, 공정 보호층 또는 무기 봉지층의 상부에 증착되되, 광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 가질 수 있다.
이때, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 디스플레이 장치는, 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 이후에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층이 추가 증착된 것일 수 있다.
실시예에 따른 다기능 복합 봉지층 제조 방법은, OLED 소자부의 상부에 공정 보호층을 증착하는 단계, 공정 보호층의 상부에 무기 봉지층을 증착하는 단계 및 무기 봉지층의 상부에 기능성 유기 봉지층을 증착하는 단계를 포함할 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, 공정 보호층의 상부에 증착되되, Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층일 수 있다.
이때, 기능성 유기 봉지층은, 광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는 것일 수 있다.
이때, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층 제조 방법은, 기능성 유기 봉지층 상부에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층을 추가 증착하는 단계를 더 포함할 수 있다.
기재된 실시예에 따라, 높은 수분 투과 방지 특성을 가지며 봉지 공정에서의 OLED 열화를 방지할 수 있는 박막의 봉지층을 제공하여, 다양한 형태의 디스플레이 구조에 적용될 수 있다.
기재된 실시예에 따라, 플렉서블 OLED에서 OLED 소자의 열화를 방지하고, 플렉서블 OLED 소자 제작 공정에서 발생할 수 있는 결함을 억제하고, 플렉서블 OLED 소자 내부의 응력을 완화할 수 있는 박막의 봉지층을 제공하여 차세대 다양한 디스플레이 구조에 적용될 수 있다.
도 1은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 개략적인 OLED 소자의 구조도이다.
도 2는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 단면 TEM 이미지 예시도이다.
도 3은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 단면 SEM 이미지 예시도이다.
도 4는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 기능을 설명하기 위한 예시도이다.
도 5 내지 도 8은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 공정 보호층의 LiF 두께에 따른 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 9는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 공정 보호층으로 Alq3를 사용한 경우의 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 10 및 도 11은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 광변환 기능을 포함하는 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 12는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.
비록 "제1" 또는 "제2" 등이 다양한 구성요소를 서술하기 위해서 사용되나, 이러한 구성요소는 상기와 같은 용어에 의해 제한되지 않는다. 상기와 같은 용어는 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용될 수 있다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소 또는 단계가 하나 이상의 다른 구성요소 또는 단계의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다는 의미를 내포한다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 해석될 수 있다. 또한, 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하에서는, 도 1 내지 도 11을 참조하여 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층 및 그 제조 방법, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED가 상세히 설명된다.
도 1은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 개략적인 OLED 구조도이고, 도 2는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 단면 TEM 이미지 예시도이고, 도 3은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 단면 SEM 이미지 예시도이고, 도 4는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자의 기능을 설명하기 위한 예시도이다.
도 1을 참조하면, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층(120)은, OLED 소자부(110)의 상부에서 수분 투과에 대한 방지 또는 지연 특성 뿐만 아니라, 기존 봉지 공정에 대한 OLED 소자 보호 기능을 제공한다.
OLED 소자부(110)는, 기판부(111), 하부 전극(112), 다층 유기물(113) 및 상부 전극(114)이 순차적으로 적층된 것일 수 있다.
이때, 상부 전극(114)은, 굴절률 조절을 위한 피복층(Capping Layer)이 포함된 것일 수 있다.
다기능 복합 봉지층(120)은, 공정 보호층(121), 무기 봉지층(122) 및 기능성 유기 봉지층(123) 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 것일 수 있다.
예컨대, 도 2에 도시된 투과 전자 현미경(Transmission Electron Microscopy, TEM) 이미지를 살펴보면, OLED 소자부(110)의 상부 전극(114)에 포함된 피복층(Capping Layer)(115)의 상부에 다기능 복합 봉지층(120)의 공정 보호층(Protection Layer)(121), 무기 봉지층(Inorganic Encapsulation)(122) 및 투명 유기 봉지층(Organic Encapsulation)(123)이 순차적으로 증착된 것을 확인할 수 있다.
공정 보호층(121)은, 무기 봉지막 제작 공정에서 OLED 소자부(110)를 구성하는 전극 및 유기물이 손상되는 것을 방지하는 기능을 한다.
이때, 공정 보호층(121)은, 무기물 또는 유기물도 제작된 것일 수 있다.
무기 봉지층(122)은, 공정 보호층(121)의 상부에 증착되어 외부로부터 산소 및 수분이 침투하는 것을 방지하는 기능을 한다. 이를 통해 박막의 높은 수분 투과 방지 특성을 가지며 봉지 공정에서의 OLED 열화를 방지할 수 있다.
이때, 무기 봉지층(122)은, 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층일 수 있다. 즉, Oxide계 물질 또는 Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작될 수 있다.
이때, 기능성 유기 봉지층(123)은, 공정 보호층(121) 또는 무기 봉지층(122)의 상부에 증착되되, 광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는 것일 수 있다. 이로써, 기존의 유/무기 복합 봉지막이 수분 투과 방지(지연) 특성만을 보유하는 제한된 기능을 극복하고, 다양한 차세대 디스플레이 구조에 응용 가능하다.
또한, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층(120)은, 공정 보호층(121), 무기 봉지층(122) 및 기능성 유기 봉지층(123) 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 이후에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층이 추가 증착될 수 있다.
예컨대, 도 3에 도시된 주사 전자 현미경(Scanning Electron Microscope, SEM) 이미지를 살펴보면, 다기능 복합 봉지층(120)의 무기 봉지층(Inorganic Encapsulation)(122) 및 투명 유기 봉지층(Organic Encapsulation)(123)이 순차적으로 증착되고, 그 상부에 무기 봉지층(Inorganic Encapsulation)(124)이 증착된 것을 확인할 수 있다.
전술한 바와 같이 제작된 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED 소자는, 높은 수분 투과 방지 특성을 가지며 봉지 공정에서의 OLED 열화를 방지할 수 있는 박막의 봉지층을 제공하여, 예컨대, 도 4에 도시된 바와 같이 휘어짐이 자유로와서 다양한 형태의 디스플레이 구조에 적용될 수 있다.
도 5 내지 도 8은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 공정 보호층의 LiF 두께에 따른 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 5 내지 도 8에는 다기능 봉지층의 공정 보호층의 상부에 무기 봉지막인 Al2O3 층이 증착된 OLED 소자와, 이와 비교 대상으로 공정 보호층의 상부에 무기 봉지막이 아닌 금속형(Can Type) 유리를 부착한 OLED 소자의 특성 평가 그래프가 도시된다.
또한, 도 5 내지 도 8에는 OLED 소자를 TEM 및 SEM을 통해 그 구조를 분석하여, 각각의 공정 보호층인 LiF의 두께가 10nm, 20nm, 30nm 및 40nm일 때의 OLED 소자의 특성 평가 그래프들이다.
이때, 특성 평가 그래프는, OLED 소자의 전류 밀도(Current Density), 전압(Voltage) 및 휘도(Luminance)를 각 축들의 변수로 하고 있다.
도 6 내지 도 8을 참조하면, 20 nm이상의 Al2O3 무기 봉지막이 도입된 OLED 소자는 금속형(can type) 유리를 부착한 OLED 소자와 거의 동등한 전기적 특성이 가진다. 그러나, 도 5를 참조하면, 10nm 두께의 Al2O3 무기 봉지막이 도입된 OLED 소자는 그 특성이 열화된 것을 확인할 수 있다. 이를 통해, 다기능 봉지층 구조에서 20nm 이상의 LiF 공정 보호층이 필요함을 알 수 있다.
도 9는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 공정 보호층으로 Alq3를 사용한 경우의 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 9에 도시된 바와 같이, 공정 보호층으로 유기물인 Alq3가 사용될 수 있으며, 마찬가지로 20nm 이상에서 전기적 특성이 좋은 것을 알 수 있다. 여기서, 공정 보호층으로 사용되는 유기물은 굴절율 조절을 위한 피복층(Capping Layer)로 사용될 수도 있다.
도 10 및 도 11은 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층에서 광변환 기능을 포함하는 OLED 소자의 특성 평가 그래프의 예시도이다.
도 10은 OLED 소자의 OLED 소자의 전류 밀도(Current Density), 전압(Voltage) 및 휘도(Luminance) 그래프이고, 도 10은 발광 스펙트럼이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, OLED 소자의 청색광을 통해 기능성 유기 봉지층에서 녹색 적색으로 광변환된 특성을 확인할 수 있다.
도 12는 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층의 제조 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 12룰 참조하면, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층 제조 방법은, OLED 소자부의 상부에 공정 보호층을 증착하는 단계(S210), 공정 보호층의 상부에 무기 봉지층을 증착하는 단계(S220) 및 무기 봉지층의 상부에 기능성 유기 봉지층을 증착하는 단계(S230)를 포함할 수 있다.
이때, 무기 봉지층은, 공정 보호층의 상부에 증착되되, Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층일 수 있다.
이때, 기능성 유기 봉지층은, 광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는 것일 수 있다.
이때, 실시예에 따른 다기능 복합 봉지층 제조 방법은, 기능성 유기 봉지층 상부에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층을 추가 증착하는 단계(S240)를 더 포함할 수 있다.
이상에서 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
110 : OLED 소자부 111 : 기판부
112 : 하부 전극 113 : 다층 유기물
114 : 상부 전극 120 : 다기능 봉지부
121 : 공정 보호층 122 : 무기 봉지층
123 : 기능성 유기 봉지층

Claims (20)

  1. OLED 소자부의 상부에 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된, 다기능 복합 봉지층.
  2. 제1 항에 있어서, OLED 소자부는,
    기판부;
    하부 전극;
    다층 유기물; 및
    상부 전극이 순차적으로 증착된, 다기능 복합 봉지층.
  3. 제2 항에 있어서, 상부 전극은,
    굴절률 조절을 위한 피복층이 포함된, 다기능 복합 봉지층.
  4. 제1 항에 있어서, 공정 보호층은,
    무기물 또는 유기물도 제작된, 다기능 복합 봉지층.
  5. 제1 항에 있어서, 무기 봉지층은,
    공정 보호층의 상부에 증착되되, 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층인, 다기능 복합 봉지층.
  6. 제5 항에 있어서, 무기 봉지층은,
    Oxide계 물질 또는 Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된, 다기능 복합 봉지층.
  7. 제1 항에 있어서, 기능성 유기 봉지층은,
    공정 보호층 또는 무기 봉지층의 상부에 증착되되,
    광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는, 다기능 복합 봉지층.
  8. 제1 항에 있어서,
    공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 이후에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층이 추가 증착된, 다기능 복합 봉지층.
  9. OLED 소자부; 및
    OLED 소자부의 상부에 증착된 공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들을 포함하는, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  10. 제9 항에 있어서, OLED 소자부는,
    기판부;
    하부 전극;
    다층 유기물; 및
    상부 전극이 순차적으로 증착된, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  11. 제10 항에 있어서, 상부 전극은,
    굴절률 조절을 위한 피복층이 포함된, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  12. 제9 항에 있어서, 공정 보호층은,
    무기물 또는 유기물도 제작된, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  13. 제9 항에 있어서, 무기 봉지층은,
    공정 보호층의 상부에 증착되되, 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층인, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  14. 제13 항에 있어서, 무기 봉지층은,
    Oxide계 물질 또는 Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  15. 제9 항에 있어서, 기능성 유기 봉지층은,
    공정 보호층 또는 무기 봉지층의 상부에 증착되되,
    광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  16. 제9 항에 있어서,
    공정 보호층, 무기 봉지층 및 기능성 유기 봉지층 중 적어도 두 개의 층들이 증착된 이후에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층이 추가 증착된, 다기능 복합 봉지층을 포함하는 OLED.
  17. OLED 소자부의 상부에 공정 보호층을 증착하는 단계;
    공정 보호층의 상부에 무기 봉지층을 증착하는 단계; 및
    무기 봉지층의 상부에 기능성 유기 봉지층을 증착하는 단계를 포함하는, 다기능 복합 봉지층 제조 방법.
  18. 제17 항에 있어서, 무기 봉지층은,
    공정 보호층의 상부에 증착되되, Oxide계 물질 또는 Al2O3, SiO2, TiO2, ZrO2, MgO, ZnO, SiNx 및 SiOxNy 중 하나로 제작된 고밀도 무기 박막의 단층 혹은 복합층인, 다기능 복합 봉지층 제조 방법.
  19. 제17 항에 있어서, 기능성 유기 봉지층은,
    광변환, 흡습, 광산란 및 광흡수를 포함하는 기능들 중 적어도 하나를 갖는, 다기능 복합 봉지층 제조 방법.
  20. 제17 항에 있어서,
    기능성 유기 봉지층 상부에 무기 봉지층 또는 유기 봉지층을 추가 증착하는 단계를 더 포함하는, 다기능 복합 봉지층 제조 방법.
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