KR20230098909A - 진공 펌프 - Google Patents

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KR20230098909A
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에마뉘엘 보종
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파이퍼 배큠
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Abstract

건식 진공 펌프(1)를 개시하며, 이 진공 펌프는,
- 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2); 및
- 상기 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 상기 고정자(2)의 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 회전하도록 구성되는 2개의 로터(4)
를 포함하며, 상기 진공 펌프(1)는 적어도 하나의 로터(4)의 매 회전시마다 상기 고정자(2)의 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)에 면하도록 상기 적어도 하나의 로터(4)에 배치되어, 상기 적어도 하나의 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 상기 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)의 가열을 일으키도록 된 것을 특징으로 한다.

Description

진공 펌프
본 발명은 건식 진공 펌프 또는 터보분자 진공 펌프와 같은 진공 펌프에 관한 것이다.
건식 또는 터보분자 진공 펌프는 고체일 수 있는 반응 부산물을 생성하는 화학 물질을 사용하는 방법에 사용될 수 있다. 예를 들면, 이는, 반도체, 광전지 스크린, 평판 스크린 또는 LED를 제조하는 일부 방법의 경우이다. 이러한 고체 부산물은 진공 펌프에 의해 흡인되어, 특히 로터(들)의 회전을 방해하거나, 최악의 경우 그러한 회전을 심지어 전적으로 막음으로써, 그 진공 펌프의 작동을 저하시킬 수 있다.
이를 방지하기 위해, 고정자와 접촉하게 장착된 칩 저항기를 사용하여 진공 펌프의 고정자를 가열하는 것이 알려져 있다. 고정자를 가열함으로써, 오염 가스 종을 기상 형태로 유지할 수 있으며, 그에 따라 진공 펌프 내부에서 분말 또는 슬러지로 그들의 응축 또는 응고를 방지할 수 있다.
그러나, 과도하게 높은 온도는 건식 진공 펌프의 베어링과 같은 기계 부품을 손상시킬 위험이 있거나, 터보분자 진공 펌프의 로터의 크리프를 초래할 수 있으므로, 가열 온도는 제한되며, 통상 건식 진공 펌프의 경우 대략 110℃이거나 터보분자 진공 펌프의 경우 대략 120℃이다.
이러한 제한된 가열은 진공 펌프에서의 모든 퇴적을 방지하기에 충분하지 않을 수 있다.
본 발명의 목적 중 하나는 종래 기술의 단점들 중 적어도 하나를 극복하는 것이다.
이를 위해, 본 발명은 건식 진공 펌프를 제안하며, 이 건식 진공 펌프는:
- 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버를 갖는 고정자; 및
- 고정자의 흡입 입구와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 고정자의 적어도 하나의 압축 챔버 내에서 회전하도록 구성되는 2개의 로터
를 포함하며, 진공 펌프는 적어도 하나의 로터의 매 회전시마다 고정자의 강자성 재료로 이루어진 표면에 면하도록 적어도 하나의 로터에 배치되는 적어도 하나의 자석을 더 포함하여, 적어도 하나의 로터의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면의 가열을 일으키도록 된 것을 특징으로 한다.
로터의 회전 운동은 자기 유도에 의해 고정자의 추가적인 가열을 일으키는 데에 사용된다. 자석의 회전 운동은 강자성 재료의 표면에 와전류(eddy currents)를 생성하며, 이는 또한 줄 효과(Joule effect)에 의해 열을 생성한다. 와전류는 자석의 회전에 의해 발생하는 자기장의 변화에 의해 생성되는 전류이다. 이러한 가열은 고정자의 표면 온도를, 예컨대 5℃ 내지 30℃만큼 국부적으로 증가시킬 수 있게 할 수 있으며, 이는 오염 가스 종을 기상 형태로 유지시킬 수 있다. 이러한 가열을 얻어질 수 있게 하는 자기장은, 예컨대 0.3T 내지 1.5T 범위이다. 이러한 식으로, 퇴적이 발생하기 쉬운 진공 펌프의 내부 영역에서 국부적인 가열이 고정자와의 접촉 없이 그 표면 상에서 얻어진다. 국부적인 표면 가열은, 종래의 고정자 가열에 의해 도달되는 온도를 넘어 전체적으로 가열되지 않았어야 할, 베어링과 같은 기계 부품의 손상을 방지하는 것이 가능하고, 고정자의 열팽창 문제를 제한할 수 있게 한다.
또한, 건식 진공 펌프는 개별적으로 또는 조합하여 고려되는 이하에 설명된 특징들 중 하나 이상을 가질 수 있다.
예를 들면, 적어도 하나의 자석은, 압축 챔버의 측면(lateral surface)을 스윕(sweep)하도록 구성된 로터 요소의 측부 에지 표면 상에서, 종방향이 로터의 회전 축선에 평행하게, 예를 들면 로터의 로터 요소에서의 축방향으로 연장된다.
예를 들면, 적어도 하나의 자석은, 압축 챔버의 횡방향 표면(transverse surface)을 스윕하도록 구성된 로터 요소의 횡방향 에지 표면 상에서, 일면이 로터의 회전 축선에 수직하게 로터의 로터 요소에서 연장된다.
예를 들면, 횡방향 표면은, 첫번째 또는 마지막 펌핑 스테이지의 압축 챔버의 단부의 표면이며, 횡방향 표면은 고정자의 압축 챔버와 베어링 지지부 사이에 개재된다.
예를 들면, 건식 진공 펌프는, 적어도 하나의 압축 챔버의 각각의 로터 요소를 위한 적어도 하나의 자석, 로터 요소의 측부 에지 표면 상에 배치되는 적어도 하나의 자석, 및/또는 로터 요소의 횡방향 에지 표면 상에 배치되는 적어도 하나의 자석을 포함한다.
건식 진공 펌프는 각각의 로터 요소 또는 각각의 로터를 위한 적어도 2개의 자석을 포함할 수 있으며, 자석들의 극성(polarity)은 두께 또는 길이 방향으로, 또는 각각의 인접한 자석 또는 각각의 인접한 로터 요소에서 반대로 된다.
예를 들면, 건식 진공 펌프는 다단식 저진공 펌프(multi-stage rough vacuum pump)이다. 저진공 펌프는 2개의 로터를 이용하여 대기압의 펌핑 대상 가스를 흡인, 전달(transfer) 및 이어서 급송(deliver)하도록 구성되는 용적형 진공 펌프이다. 다른 예에 따르면, 진공 펌프는 루트 압축기 유형(Roots compressor type)이며, 1개 내지 3개의 펌핑 스테이지를 포함한다. 루트 압축기 유형의 진공 펌프는 저진공 펌프의 상류에 직렬로 장착된다.
러프 압축기 유형인지 루트 압축기 유형인지에 관계 없이, 건식 진공 펌프는 직렬로 배치된 적어도 3개의 펌핑 스테이지를 포함할 수 있으며, 적어도 하나의 자석은 가스의 흐름 방향으로 마지막 및/또는 끝에서 두번째 펌핑 스테이지에서 회전하도록 구성되는 로터 요소에 배치된다.
적어도 하나의 자석은, 고정자의 강자성 재료로 이루어진 샤프트 통로의 표면을 가열하도록 로터의 샤프트에 배치될 수 있다.
적어도 하나의 자석은, 예컨대 NdFeB 또는 희토류 유형이다. 다른 예에 따르면, 적어도 하나의 자석은 페라이트(ferrite)를 포함한다. 페라이트는 저렴하지만, 약한 자기장을 생성하는 단점을 갖는다.
적어도 하나의 자석은, 그 자석을 임의의 부식으로부터 보호하거나 그 자석이 분해에 의해 용이하게 교체되도록 니켈 코팅될 수 있다.
바람직하게는, 적어도 하나의 자석은 로터의 표면에 가능한 한 가까이 배치되거나, 로터의 표면과 동일면으로 맞춰진다. 예를 들면, 적어도 하나의 자석은, 예컨대 접착에 의해 로터의 본체에 체결되거나, 로터 본체의 공동에 수용된다.
강자성 재료의 표면을 갖는 고정자의 적어도 하나의 표면층은, 예컨대 "니레지스트(Ni-resist)"라고도 불리는 니켈-풍부(nickel-enriched) 주철과 같은, "mu-금속(mu-metal)"이라고도 불리는 니켈-철 합금으로 이루어진다. 이는 mu-금속의 투자율(magnetic permeability)이 주철보다 크기 때문이다. 또한, mu-금속은 상당한 줄 효과를 생성할 수 있게 한다는 이점을 갖는다. 고정자 본체는 주철과 같은 제1 재료로 이루어지고 강자성 재료의 표면층을 가질 수 있거나, 고정자는 전체에 걸쳐 니켈-철 합금과 같은 강자성 재료로 이루어질 수 있다.
강자성 재료의 적어도 하나의 표면은 니켈 코팅을 가질 수 있다. 니켈 코팅은 보다 큰 표면 가열이 얻어질 수 있게 한다. 그러한 가열은 코팅의 두께에 따라 증가한다. 예를 들면, 특히 60 내지 250Hz 사이에서 회전하는 로터의 경우 20μm 내지 2cm 사이의 두께를 갖는 코팅이 제공된다.
또한, 본 발명은 터보분자 진공 펌프를 제안하며, 이 터보분자 진공 펌프는:
- 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 압축 챔버를 갖는 고정자; 및
- 고정자의 흡입 입구와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 고정자의 압축 챔버에서 회전하도록 구성되는 로터
를 포함하며, 진공 펌프는 로터의 매 회전시마다 로터의 강자성 재료로 이루어진 표면에 면하도록 고정자에 배치되는 적어도 하나의 자석을 더 포함하여, 로터의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면의 가열을 일으키도록 된 것을 특징으로 한다.
로터의 회전 운동은 자기 유도에 의해 로터의 추가적인 가열을 일으키는 데에 사용된다. 자석(들)에 면하는 로터의 회전 운동은 강자성 재료의 표면에 와전류를 생성하고, 이는 또한 줄 효과에 의해 열을 생성한다. 와전류는 고정자 자석의 자기장에서 로터의 회전에 의해 생성되는 전류이다. 이러한 가열은 로터의 표면 온도를, 예컨대 5℃ 내지 30℃만큼 국부적으로 증가시킬 수 있어, 오염 가스 종을 기상 상태로 유지시킬 수 있다. 이러한 가열을 얻어질 수 있게 하는 자기장은, 예컨대 0.3T 내지 1.5T 범위이다. 이러한 식으로, 퇴적이 발생하기 쉬운 진공 펌프의 내부 영역에서 국부적인 가열이 로터와의 접촉 없이 표면에서 얻어진다. 국부적인 표면 가열은, 로터를 그 전체 부피에 걸쳐 가열하는 것을 방지함으로써, 로터의 손상을 방지하는 것이 가능하고, 고정자의 열팽창 문제를 제한할 수 있게 한다.
또한, 터보분자 진공 펌프는 개별적으로 또는 조합하여 고려되는 이하에 설명된 특성들 중 하나 이상을 가질 수 있다.
터보분자 진공 펌프는 로터의 강자성 재료의 표면에 면하는 영역에서 고정자에 배치된 복수의 자석을 포함할 수 있으며, 인접한 자석들의 극성은 두께 또는 길이 방향으로, 또는 인접한 자석에서 반대로 된다.
로터는 강자성 재료의 표면을 지지하는 홀벡 스커트(Holweck skirt)를 가질 수 있다.
예를 들면, 적어도 하나의 자석은, 진공 펌프의 분자 스테이지에서, 홀벡 스커트를 둘러싸거나 홀벡 스커트 아래에 위치하는 고정자의 영역에 배치된다.
이전과 같이, 적어도 하나의 자석은, 예컨대 NdFeB, 희토류 또는 페라이트 유형이다. 그 적어도 하나의 자석은, 그 자석을 임의의 부식으로부터 보호하거나 그 자석이 분해에 의해 용이하게 교체되도록 니켈 코팅될 수 있다. 바람직하게는, 적어도 하나의 자석은 고정자의 표면에 가능한 한 가까이 배치되거나, 고정자의 표면과 동일면으로 맞춰진다. 예를 들면, 적어도 하나의 자석은, 예컨대 고정자에 접착에 의해 고정자에 체결되거나, 고정자의 공동에 수용된다.
강자성 재료의 표면을 갖는 로터의 적어도 일부는, 예컨대 철, 니켈 또는 코발트로 이루어질 수 있다.
로터는 강자성 재료로 일체형으로 이루어질 수 있다.
또한, 본 발명은 터보분자 진공 펌프를 제안하며, 이 터보분자 진공 펌프는:
- 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 압축 챔버를 갖는 고정자; 및
- 고정자의 흡입 입구와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 고정자의 압축 챔버에서 회전하도록 구성되는 로터
를 포함하며, 진공 펌프는 로터의 매 회전시마다 고정자의 강자성 재료로 이루어진 표면에 면하도록 로터에 배치되는 자화 재료(magnetized material)를 더 포함하여, 로터의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면의 가열을 일으키도록 된 것을 특징으로 한다.
자화 재료는, 예컨대 복합재에 매립된 코발트를 포함하는 섬유 또는 코발트를 포함하는 나노와이어를 포함한다.
로터는, 예컨대 홀벡 스커트를 가지며, 자화 재료는 그 홀벡 스커트에 배치된다.
추가적으로, 전술한 건식 또는 터보분자 진공 펌프의 모든 실시예에서, 로터의 강자성 재료의 적어도 하나의 표면은 니켈 코팅을 가질 수 있다.
본 발명의 기타 특징 및 이점들은 첨부된 도면을 참조하여 비한정적인 예로서 제공되는 이하의 설명으로부터 명백해질 것이다.
도 1은 건식 진공 펌프의 요소들의 개략적 사시도를 도시한다.
도 2는 로터는 파선으로 개략적으로 도시하고 있는, 도 1의 건식 진공 펌프의 고정자의 일 예의 개략적 측단면도를 도시한다.
도 3a는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 일 예의 사시도를 도시한다.
도 3b는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 다른 예의 사시도를 도시한다.
도 3c는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 또 다른 예의 정면도 및 평면도를 도시한다.
도 3d는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 또 다른 예의 정면도 및 평면도를 도시한다.
도 4a는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 또 다른 예의 정면도 및 평면도를 도시한다.
도 4b는 도 1의 건식 진공 펌프의 로터의 로터 요소의 또 다른 예의 정면도 및 평면도를 도시한다.
도 5는 강자성 재료의 표면에서 단면으로 본 고정자의 일 부분을 개략적으로 도시한다.
도 6은 변형예에 따른 건식 진공 펌프의 압축 챔버 내의 2개의 로터를 개략적으로 도시한다.
도 7은 터보 분자 진공 펌프에 대한 실시예의 제1 예의 개략적인 단면도를 도시한다.
도 8은 터보 분자 진공 펌프에 대한 실시예의 제2 예의 개략적인 단면도를 도시한다.
이러한 도면에서, 동일한 요소는 동일한 도면 부호를 갖는다. 이하의 실시예는 예이다. 상세한 설명에서는 하나 이상의 실시예를 인용하지만, 이는 반드시 각각의 참조가 동일한 실시예에 관한 것이라거나 특징들이 오로지 단일 실시예에 적용 가능하다는 것을 나타내는 것은 아니다. 또한, 상이한 실시예들의 단순한 특징들이 다른 실시예를 제공하기 위해 조합되거나 상호 교환될 수 있다.
"상류"는 소정 요소가 펌핑 대상 가스의 흐름 방향에 대해 다른 요소 앞에 배치됨을 의미하는 것으로 간주한다. 반대로, "하류"는 소정 요소가 펌핑 대상 가스의 흐름 방향에 대해 다른 요소의 뒤에 배치됨을 의미하는 것으로 간주한다.
축방향은 진공 펌프의 종방향으로서 정의되며, 이 방향으로 로터 또는 로터들의 회전 축선이 연장된다.
도 1 및 도 2는 진공 펌프(1)의 제1 예를 도시한다.
진공 펌프(1)는 건식 진공 펌프이다.
건식 진공 펌프(1)는 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2), 및 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구(도 1의 화살표 G) 사이에 펌핑 대상 가스를 구동하도록 고정자(2)의 적어도 하나의 압축 챔버에서 회전하도록 구성되는 2개의 로터(4)를 포함한다.
이러한 제1 예에서, 로터(4)들은 펌핑 대상 가스(G)를 구동하기 위해, 고정자(2)의 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 서로 반대 방향으로 동기 회전하도록 구성된다. 로터(4)들은 각각의 로터 요소(6), 특히 압축 챔버(3)에서 로터(4)당 적어도 2개의 로터 요소(6)를 갖는다. 예를 들면, 로터 요소(6)는 루트 유형(Roots type)의 로브(lobe)와 같은 동일한 프로파일의 로브이다. 예를 들면, 각각의 로터(4)는, 도면에 도시된 바와 같이 압축 챔버(3)(8자 모양 또는 강낭콩 형태의 단면을 가짐)당 2개의 로터 요소(6), 또는 그 이상(3-로브, 4-로브(도 6 참조) 또는 5-로브)의 로터 요소, 또는 "클로우(claw)" 유형이거나 다른 유사한 용적형 진공 펌프 원리를 기반으로 하는 로터 요소를 포함한다.
로터(4)의 샤프트(7)는, 급송 출구 또는 흡입 입구(5)와 동일한 단부에서, 진공 펌프(1)의 일단부에 위치하는, 진공 펌프(1)의 동력 시스템(도시 생략)이 모터에 의해 구동된다.
예를 들면, 건식 진공 펌프(1)는 다단식 저진공 펌프이다. 저진공 펌프는 2개의 로터(4)를 이용하여 대기압에서 펌핑 대상 가스를 흡인, 전달 및 이어서 급송하도록 구성되는 용적형 진공 펌프이다. 다른 예에 따르면, 진공 펌프(1)는 루트 압축기 유형이며, 1개 내지 3개의 펌핑 스테이지를 포함한다. 루트 압축기 유형의 진공 펌프는 저진공 펌프의 상류에 직렬로 장착된다.
도시한 예에서, 진공 펌프(1)는 적어도 2개의 펌핑 스테이지, 예컨대 2개 내지 8개의 펌핑 스테이지, 본 예의 경우에 5개의 펌핑 스테이지(T1-T5)를 포함한다. 고정자(2)의 각각의 펌핑 스테이지(T1-T5)는 2개의 상호 맞물리는 로터(4)를 수용하는 압축 챔버(3)에 의해 형성되며, 각각의 압축 챔버(3)는 각각의 입구 및 출구를 포함한다. 연속적인 펌핑 스테이지(T1-T5)들은, 앞선 펌핑 스테이지의 출구(또는 급송 단부)를 다음 스테이지의 입구(흡입구)에 연결하는 각각의 내부 스테이지 채널(8)에 의해, 순차적으로 직렬로 연결된다. 회전 중에, 입구로부터 흡인된 가스는 로터(4) 및 고정자(2)에 의해 형성된 체적에 갇히고, 이어서 로터(4)에 의해 다음 스테이지를 향해 구동된다.
첫번째 펌핑 스테이지(T1)의 입구는 진공 펌프(1)의 흡입 입구(5)와 연통된다. 마지막 펌핑 스테이지(T5)의 출구는 급송 출구와 연통된다. 예를 들면, 로터 요소(6)들 및 압축 챔버(3)들의 축방향 치수는, 동일하거나, 가스 펌핑 방향으로 펌핑 스테이지(T1-T5)의 배치 순서에 따라 감소하여, 흡입 입구(5)와 동일한 단부에 위치하는 펌핑 스테이지(T1)는 가장 큰 축방향 치수를 갖는 로터 요소(6)를 수용한다.
특히, 진공 펌프(1)는, 작동 중에 그 로터(4)들 사이 또는 고정자(2)와의 임의의 기계적 접촉 없이 고정자(2) 내부에서 회전하여, 펌핑 스테이지(T1-T5)에서 오일을 사용할 필요가 없기 때문에, "건식"이라고 불린다.
진공 펌프(1)는 적어도 하나의 로터(4)의 매 회전시마다 고정자(2)의 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)에 면하도록 적어도 하나의 로터(4)에 배치되는 적어도 하나의 자석(9)을 포함하여, 적어도 하나의 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)의 가열을 일으킨다.
로터(4)의 회전 운동은 자기 유도에 의해 고정자(2)의 추가적인 가열을 일으키는 데에 사용된다. 자석(9)의 회전 운동은 강자성 재료(10, 12, 16)의 표면에 와전류를 생성하며, 이는 또한 줄 효과에 의해 열을 생성한다. 와전류는 자석의 회전에 의해 발생하는 자기장의 변화에 의해 생성되는 전류이다. 그러한 가열은 고정자(2)의 표면 온도를, 예컨대 5℃ 내지 30℃만큼 국부적으로 증가시킬 수 있으며, 이는 오염 가스 종을 기상 형태로 유지시킬 수 있다. 이러한 식으로, 퇴적이 발생하기 쉬운 진공 펌프(1)의 내부 영역에서 국부적인 가열이 고정자(2)와의 접촉 없이 표면에서 얻어진다. 국부적인 표면 가열은, 종래의 고정자(2)의 가열에 의해 도달되는 온도를 넘어 전체적으로 가열되지 않았어야 할, 베어링과 같은 기계 부품의 손상을 방지하는 것이 가능하고, 고정자(2)의 열팽창 문제를 제한할 수 있게 한다.
예를 들면, 적어도 하나의 자석(9)은, 예컨대 크기가 3밀리미터 미만인 바(길이가 긴 평행육면체 형상) 또는 플레이트 형태를 갖는다.
실시예의 일 예에 따르면, 도 3a, 도 3b, 도 3c 및 도 3d에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 자석(9)은 종방향이 로터(4)의 회전 축선(I)에 평행하게 로터(4)의 로터 요소(6)에서 축방향으로 연장된다. 적어도 하나의 자석(9)은, 고정자(2)의 압축 챔버(3)의 측면(10)을 가열하기 위해, 압축 챔버(3)의 측면(10)을 스윕(sweep)(접촉 없이)하도록 구성되는 로터 요소(6)의 측부 에지 표면(6a) 상에서 연장된다.
도시한 예에서, 압축 챔버(3)의 측면(10)은 원통형 표면이며, 압축 챔버(3)의 형상은 역시 축방향에 평행한 2개의 평행한 원통형 공동에 내접하고, 그 원통형 공동은 횡방향으로 겹쳐진다(도 1 및 도 2). 따라서, 측부 에지 표면(6a)(로터 요소(6)의 "뒷면") 상에 배치되는 적어도 하나의 자석(9)은 압축 챔버(3)의 "반경 방향" 가열을 허용한다.
진공 펌프(1)는, 예컨대 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 각각의 로터 요소(6)를 위한 적어도 하나의 자석(9)을 포함한다. 예를 들면, 로터 요소(6)의 각각의 측부 에지 표면(6a)에 대해 단일 자석(9)이 존재하며, 이 자석은 예컨대 측부 에지 표면(6a)을 덮거나(도 3c), 동일 표면(6a)에 복수의 자석(9), 예컨대 2개의 자석(9)이 존재한다(도 3a, 도 3b, 도 3d).
실시예의 다른 예에 따르면, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 적어도 하나의 자석(9)은 주면이 로터(4)의 회전 축선(I)에 수직하게(도 4a, 4b) 로터(4)의 로터 요소(6)에서 예컨대 반경 방향으로 연장된다(도 4b). 적어도 하나의 자석(9)은, 고정자(2)의 압축 챔버(3)의 측면(12)을 가열하기 위해, 압축 챔버(3)의 측면(12)을 스윕(접촉 없이)하도록 구성되는 로터 요소(6)의 횡방향 에지 표면(6b) 상에 연장된다.
도시한 예에서, 압축 챔버(3)의 횡방향 표면(12)은 로터(4)의 회전 축선(I)에 수직인 횡방향 에지 표면(6b)의 표면과 같은 평평한 표면이다. 따라서, 횡방향 에지 표면(6b)(로터 요소(6)의 일면) 상에 배치되는 적어도 하나의 자석(9)은, 압축 챔버(3)의 "축방향" 가열을 허용한다.
예를 들면, 진공 펌프(1)는 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 각각의 로터 요소(6)를 위한 적어도 하나의 자석(9)을 포함한다. 예를 들면, 로터 요소(6)의 각각의 횡방향 에지 표면(6b)에 대해 단일 자석(9)이 존재하거나(도 4a), 동일 표면(6a)에 복수의 자석(9), 예컨대 2개의 자석이 존재한다(도 4b).
예를 들면, 각각의 로터 요소(6)의 양쪽 횡방향 에지 표면(6b) 상에 하나 이상의 자석(9)이 존재한다(도 4a).
예를 들면, 적어도 하나의 횡방향 에지 표면(6b)에 적어도 하나의 자석(9)이 존재하며, 측부 에지 표면(6a)에 적어도 하나의 자석(9)이 존재한다.
예를 들면, 압축 챔버(3)의 횡방향 표면(12)은 첫번째 또는 마지막 펌핑 스테이지(T1 또는 T5)의 압축 챔버(3)의 단부의 표면이며, 횡방향 표면(12)은 고정자(2)의 압축 챔버(3)와 베어링(14)을 위한 지지부(13) 사이에 개재된다(도 2). 따라서, 마지막 또는 첫번째 펌핑 스테이지(T5 또는 T1)의 압축 챔버(3)의 단부의 횡방향 표면(12)은 베어링(14)의 손상에 대한 어떠한 우려도 없이 매우 국부적인 방식으로 가열될 수 있다.
진공 펌프(1)가 각각의 로터(4)에 대해 1개보다 많은 자석(9)을 포함하는 경우, 와전류의 생성을 최적화하기 위해 인접한 자석(9)들의 극성을 반대로 하는 것이 유리하다. 이러한 극성 반전은, 이하에 설명되는 바와 같이, 두께 방향(도 3a) 또는 길이 방향에서, 다시 말해 축방향(도 3b)에서, 또는 횡방향, 다시 말해 축방향에 수직(도 3c, 도 3d, 도 4a 및 도 4b)한 방향에서, 또는 각각의 인접한 자석(도 3d, 도 4b) 또는 각각의 인접한 로터 요소(6)에서 생성될 수 있다.
보다 정확하게는, 극성 반전이 두께 방향에서 생성되는 도 3a에서, 동일한 압축 챔버(3) 내에 수용된 각각의 로터 요소(6)에, 2개의 자석(9), 즉 강자성 재료의 표면(10)에 면하는 표면이 "S극"을 갖는 하나의 자석(9)과, 강자성 재료의 표면(10)에 면하는 표면이 "N극"으로 갖는 다른 하나의 자석(9)이 마련된다.
극성 반전이 길이 방향에서 생성되는 도 3b의 경우, 동일한 압축 챔버(3) 내에 수용된 각각의 로터 요소(6)에, 2개의 자석(9), 즉 강자성 재료(10)의 표면에 면하는 표면이 로터 요소(6)의 제1 축방향 단부에서 "S극"을 갖고, 제2 축방향 단부에서 "N극"으로 갖는 하나의 자석(9)과, 강자성 재료의 표면(10)에 면하는 표면이 로터 요소(6)의 제1 축방향 단부에서 "N극"을 갖고 제2 축방향 단부에서 "S극"을 갖는 다른 하나의 자석(9)이 마련된다.
진공 펌프(1)가 적어도 3개의 펌핑 스테이지(T1-T5)를 포함하는 다단 진공 펌프(1)의 경우, 모든 로터 요소(6)에 자석이 반드시 마련되는 것은 아니다. 예를 들면, 자석(9)이 마련되는 로터 요소는, 가스 흐름 방향으로 마지막 및/또는 끝에서 두번째의 펌핑 스테이지(T4 또는 T5)에서 회전하도록 구성되는 로터 요소(6)일 수 있다(도 2). 그러한 펌핑 스테이지들은 압력이 가장 높고 그에 따라 퇴적의 위험이 가장 높은 펌핑 스테이지이다.
도 2에 도시된 실시예의 다른 예에 따르면, 고정자(2)의 샤프트 통로의 표면(16)을 가열하기 위해, 적어도 하나의 자석(9)이 로터(4)의 샤프트(7)에서, 예컨대 다단 진공 펌프(1)의 경우 2개의 압축 챔버(3)들 사이에 배치된다.
적어도 하나의 자석(9)은, 예컨대 NdFeB 또는 희토류 유형이다. 다른 예에 따르면, 적어도 하나의 자석은 페라이트를 포함한다. 페라이트는 저렴하지만, 약한 자기장을 생성하는 단점을 갖는다.
적어도 하나의 자석(9)은, 그 자석을 임의의 부식으로부터 보호하거나 그 자석이 분해에 의해 용이하게 교체되도록 니켈 코팅될 수 있다. 바람직하게는, 적어도 하나의 자석(9)은 로터(4)의 표면에 가능한 한 가까이 배치되거나, 로터(4)의 표면과 동일면으로 맞춰진다. 예를 들면, 적어도 하나의 자석(9)은, 예컨대 접착에 의해 로터(4)의 본체에 체결되거나, 로터(4)의 본체의 공동에 수용된다.
고정자(2)의 본체(2a)는, 예컨대 주철로 이루어진다.
강자성 재료의 표면(10)을 갖는 고정자(2)의 적어도 하나의 표면층(2b)은, 예컨대 "니레지스트"라고도 불리는 니켈 풍부 주철과 같은, "mu-금속"이라고도 불리는 니켈-철 합금으로 이루어진다(도 5). 이는 mu-금속의 투자율이 주철보다 크기 때문이다. 또한, mu-금속은 상당한 줄 효과를 생성할 수 있게 한다는 이점을 갖는다. 고정자(2)의 본체(2a)는 주철과 같은 제1 재료로 이루어지고 강자성 재료의 표면층(2b)을 가질 수 있거나, 고정자(2)(본체(2a) 및 표면층(2b))는 전체에 걸쳐 니켈-철 합금과 같은 강자성 재료로 이루어질 수 있다.
추가적으로, 고정자(2)의 강자성 재료의 적어도 하나의 표면(10)은 니켈 코팅(28)을 가질 수 있다. 니켈 코팅(28)은 보다 큰 표면 가열이 얻어질 수 있게 한다. 이러한 가열은 그 코팅(28)의 두께에 따라 증가한다. 예를 들면, 예를 들어, 특히 60 내지 250Hz에서 회전하는 로터(4)의 경우 20μm 내지 2cm의 두께를 갖는 코팅(28)이 제공된다.
따라서, 도 5에 도시된 강자성 재료의 표면(10)의 실시예의 일 예에 따르면, 고정자(2)의 본체(2a)는 주철로 이루어지고, 고정자(2)의 표면층(2b)은 니켈-철 합금으로 이루어져 니켈 코팅(28)을 갖는다.
예를 들면, 고정자(2)는 서로 조립된 고정자 요소들로 이루어지고, 비용을 제한하기 위해 강자성 재료의 표면(10)을 지지하는 고정자 요소만이 니켈 코팅 mu-금속의 표면층(2b)을 가질 수 있다.
도 1 내지 도 4b는, 각각의 압축 챔버(3)에 대해 180°만큼 오프셋된 2개의 로터 요소(6)를 포함하는 2-로브 유형의 로터(4)의 일 예를 도시하지만, 다른 실시예들이 명백히 실현 가능하다.
도 6은 로터(4)가 4-로브 유형의 로터인, 다시 말해 각각의 압축 챔버(3)에 대해 90°만큼 오프셋된 4개의 로터 요소(6)를 포함하는 또 다른 예를 도시하며, 각각의 로터 요소(6)에는 단일 자석(9)이 마련된다. 전류 생성을 최적화하기 위해, 짝수의 로터 요소(6)를 갖는 로터(4)의 경우에, 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 인접한 로터 요소(6)에서 자석(9)의 극성이 반대로 되도록 마련될 수 있다.
도 7은 진공 펌프(100)의 제2 예를 도시한다.
진공 펌프(100)는 터보분자 진공 펌프이다.
그 진공 펌프는 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2); 및 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구(17) 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하도록 고정자(2)의 압축 챔버(3)에서 회전하도록 구성되는 로터(4)를 포함한다(도 7의 화살표 G).
실시예의 일 예에 따르면, 진공 펌프(100)는 터보분자 스테이지(18) 및 가스의 흐름 방향으로 터보분자 스테이지(18)의 하류에 위치하는 분자 스테이지(19)를 포함한다. 펌핑 대상 가스는, 흡입 입구(5)를 통해 들어가서 먼저 터보분자 스테이지(18)를 통과한 다음 분자 스테이지(19), 이어서 급송 단부를 통과하고, 그런 다음 진공 펌프(100)의 급송 출구(17)를 통해 배출된다. 작동 중에, 급송 출구(17)는 저진공 펌프에 연결된다.
터보분자 스테이지(18)에서, 로터(4)는 적어도 2개의 블레이드 스테이지(20)를 포함하고, 고정자(2)는 적어도 하나의 핀 스테이지(21)를 포함한다. 블레이드 스테이지(20)와 핀 스테이지(21)는 터보분자 스테이지(18)의 로터(4)의 회전 축선(I)을 따라 축방향으로 서로 연속한다. 예를 들면, 로터(4)는 4개보다 많은 블레이드 스테이지(20), 예컨대 4개 내지 8개의 블레이드 스테이지(20)(도 7에 도시된 예에서는 6개)를 포함한다.
로터(4)의 각각의 블레이드 스테이지(20)는, 터보분자 진공 펌프(100)의 샤프트(7)에 체결되는 로터(4)의 허브로부터 실질적 반경 방향으로 연장되는 경사 블레이드를 포함한다. 블레이드(20)들은 허브의 둘레에서 규칙적으로 분포된다.
고정자(2)의 각각의 핀 스테이지(21)는 링을 포함하며, 그 링의 내부 둘레에 규칙적으로 분포되는 경사 핀들은 실질적 반경 방향으로 연장된다. 고정자(2)의 핀 스테이지(21)의 핀들은 로터(4)의 2개의 연속적인 블레이드 스테이지(20)의 블레이드들 사이에 맞물린다. 로터(4)의 블레이드와 고정자(2)의 핀들은 펌핑된 가스 분자를 분자 스테이지(19)로 안내하도록 경사져 있다.
실시예의 일 예에 따르면, 로터(4)는 고정자(2) 내의 나선형 그루브와 대면하여 회전하는 매끈한 실린더에 의해 형성되는, 분자 스테이지(19)의 홀벡 스커트(22)를 포함한다. 나선형 그루브는 펌핑 대상 가스가 압축되어 급송 단부로 안내될 수 있게 한다.
로터(4)는 터보 분자 진공 펌프(100)의 모터(23)에 의해, 예컨대 2만 RPM보다 높은 회전 속도로, 고정자(2)에서 축방향 회전으로 고속 회전 구동되도록 구성된 샤프트(7)에 체결된다. 예를 들면, 모터(23)는 고정자(2)의 벨 형상(bell-shaped) 케이싱 아래에 배치되며, 그 케이싱 자체는 로터(4)의 홀벡 스커트(22) 아래에 배치된다. 로터(4)는 자기식 또는 기계식 베어링(24)에 의해 측방향 및 축방향으로 안내된다. 또한, 진공 펌프(100)는 비상 베어링(25)을 포함할 수 있다.
진공 펌프(100)는 적어도 하나의 로터(4)의 매 회전시마다 로터(4)의 강자성 재료의 표면(27)에 면하도록 고정자(2)에 배치되는 적어도 하나의 자석(9)을 포함하여, 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면(27)의 가열을 일으킨다.
로터(4)의 회전 운동은 자기 유도에 의해 로터(4)의 추가적인 가열을 일으키는 데에 사용된다. 자석(9)(들)에 면하는 로터(4)의 회전 운동은 강자성 재료의 표면(27)에 와전류를 생성하며, 이는 또한 줄 효과에 의해 열을 생성한다. 와전류는 고정자(2)의 자석(9)의 자기장에서 로터(4)의 회전에 의해 생성되는 전류이다. 이러한 가열은 로터(4)의 표면 온도를, 예컨대 5℃ 내지 30℃만큼 국부적으로 증가시킬 수 있어, 오염 가스 종을 기상 상태로 유지시킬 수 있다. 이러한 식으로, 퇴적이 발생하기 쉬운 진공 펌프(1)의 내부 영역에서 국부적인 가열이 로터(4)와의 접촉 없이 표면에서 얻어진다. 국부적인 표면 가열은 로터를 그 전체 부피에 걸쳐 가열하는 것을 방지함으로써, 로터(4)의 손상을 방지하는 것이 가능하고, 고정자(2)의 열팽창 문제를 제한할 수 있게 한다.
예를 들면, 적어도 하나의 자석(9)은 진공 펌프(100)의 분자 스테이지에서, 예컨대 홀백 스커트(22)를 둘러싸거나, 도 7에 도시된 바와 같이 홀벡 스커트(22)의 아래에 위치됨으로써 로터(4)를 둘러싸는 고정자(2)의 영역에 배치된다. 예를 들면, 강자성 재료의 표면(27)은 홀벡 스커트(22)이다.
예를 들면, 진공 펌프(100)는, 예컨대 규칙적으로 분포되는 복수의 자석(9)을 포함하며, 인접한 자석(9)들의 극성은 두께 또는 길이 방향에서, 또는 인접한 자석들 간에 반대로 되어 있다.
전술한 예와 마찬가지로, 적어도 하나의 자석(9)은, 예컨대 NdFeB, 희토류 또는 페라이트 유형이다. 그 적어도 하나의 자석은, 그 자석을 임의의 부식으로부터 보호하거나 그 자석이 분해에 의해 용이하게 교체되도록 니켈 코팅될 수 있다. 바람직하게는, 적어도 하나의 자석(9)은 고정자(2)의 표면에 가능한 한 가까이 배치되거나, 고정자(2)의 표면과 동일면으로 맞춰진다. 예를 들면, 적어도 하나의 자석(9)은, 예컨대 접착에 의해 고정자(2)에 체결되거나, 고정자(2)의 공동에 수용된다.
강자성 재료의 표면(27)을 갖는 로터(4)의 적어도 일부분은, 예컨대 철, 니켈 또는 코발트로 이루어진다.
로터(4)는 강자성 재료로 일체형으로 이루어질 수 있다.
추가적으로, 로터(4)의 강자성 재료의 적어도 하나의 표면(27)은 니켈 코팅(28)을 가질 수 있다.
도 8은 터보분자 진공 펌프(200)의 또 다른 예를 도시한다.
이 경우, 그러한 진공 펌프(200)는, 로터(4)의 매 회전시마다 고정자(2)의 강자성 재료(27)의 표면에 면하도록 자성 재료(29)가 로터(4)에 배치되어, 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 강자성 재료의 표면(27)의 가열을 일으킨다는 점에서 전술한 예의 진공 펌프와 상이하다.
예를 들면, 자성 재료(29)는 로터(4)의 홀벡 스커트(22)에 배치된다. 강자성 재료의 표면(27)은 홀벡 스커트(22)에 면하는 고정자(2)의 표면이다.
예를 들면, 이를 위해, 자화 재료는 복합재에 매립된 코발트 또는 AlNiCo와 같은 코발트를 포함하는 섬유 또는 나노와이어를 포함한다. 이는 터보분자 진공 펌프(200)에서 로터(4)의 회전 속도에 대해 0.6T의 자기장을 달성하는 것을 가능하게 한다.
코발트 나노와이어는, 예컨대 종래의 열적 방법 또는 마이크로웨이브에 의해 폴리올 매체(polyol medium)로 생성될 수 있다. 코발트 나노와이어의 정렬은 매우 높은 자기장(수 테슬라(T))에서 건조에 의해 생성된다.
코발트를 포함하는 나노와이어 또는 섬유들은, PI(폴리이미드), PPS(폴리페닐렌 설파이드), PEI(폴리에테르이미드) 또는 PEEK(폴리에테르 에테르 케톤) 등의 폴리머 복합재에 매립될 수 있다. 유리 섬유와 같은 첨가제는 기계적 강도를 향상시키도록 복합재에 포함될 수 있다.
섬유 또는 나노와이어의 초기 배향은 극성을 결정한다. 예를 들면, 극성은 홀벡 스커트(22)의 주변에서 S극과 N극 자기장을 번갈아 제공하도록 규칙적으로 반대로 된다.
로터(4)는 일체형으로 만들어질 수 있으며, 홀벡 스커트(22)만, 예컨대 자화된다. 추가적으로, 로터(4)의 강자성 재료의 적어도 하나의 표면(27)은 니켈 코팅(28)을 가질 수 있다.
강자성 재료의 표면(27)을 갖는 고정자(2)의 적어도 일부분은, 예컨대 철, 니켈 또는 코발트로 이루어진다.

Claims (12)

  1. 건식 진공 펌프(1)로서,
    - 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2);
    - 상기 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 상기 고정자(2)의 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 회전하도록 구성되는 2개의 로터(4); 및
    - 적어도 하나의 로터(4)의 매 회전시마다 상기 고정자(2)의 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)에 면하도록 상기 적어도 하나의 로터(4)에 배치되어, 상기 적어도 하나의 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 상기 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)의 가열을 일으키도록 된 적어도 하나의 자석(9)
    을 포함하며, 상기 적어도 하나의 자석(9)은, 상기 압축 챔버(3)의 횡방향 표면(transverse surface)을 스윕하도록 구성된 상기 로터 요소(6)의 횡방향 에지 표면(6b) 상에서, 한쪽면이 상기 로터(4)의 회전 축선(I)에 수직인 상태로 상기 로터(4)의 로터 요소(6)에서 연장되며, 상기 횡방향 표면(12)은 첫번째 또는 마지막 펌핑 스테이지(T1 또는 T5)의 압축 챔버(3)의 단부의 표면이며, 상기 횡방향 표면(12)은 상기 고정자(2)의 상기 압축 챔버(3)와 베어링(14)을 위한 지지부(13) 사이에 개재되는 것
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  2. 건식 진공 펌프(1)로서,
    - 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 적어도 하나의 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2);
    - 상기 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 상기 고정자(2)의 적어도 하나의 압축 챔버(3)에서 회전하도록 구성되는 2개의 로터(4); 및
    - 적어도 하나의 로터(4)의 매 회전시마다 상기 고정자(2)의 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)에 면하도록 상기 적어도 하나의 로터(4)에 배치되어, 상기 적어도 하나의 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 상기 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)의 가열을 일으키도록 된 적어도 하나의 자석(9)
    을 포함하며, 상기 적어도 하나의 자석(9)은 상기 고정자(2)의 샤프트 통로의 강자성 재료의 표면(16)을 가열하도록 상기 로터(4)의 샤프트(7)에 배치되는 것
    을 특징으로 하는 진공 펌프.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    적어도 하나의 자석(9)은, 상기 압축 챔버(3)의 측면을 스윕하도록 구성되는 상기 로터 요소(6)의 측부 에지 표면(6b) 상에서, 종방향이 상기 로터(4)의 회전 축선(I)에 평행하게 상기 로터(4)의 로터 요소(6)에서의 축방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1)는 적어도 하나의 압축 챔버(3)의 각각의 로터 요소(6)에 대해 적어도 하나의 자석(9)을 포함하며, 상기 적어도 하나의 자석(9)은 상기 로터 요소(6)의 측부 에지 표면(6a)에 배치되거나 및/또는 상기 적어도 하나의 자석(9)은 상기 로터 요소(6)의 횡방향 에지 표면(6b)에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1; 100)는 각각의 로터 요소(6) 또는 각각의 로터(4)에 대해 적어도 2개의 자석(9)을 포함하며, 인접한 자석(9)들의 극성은 두께 또는 길이 방향에서, 또는 각각의 인접한 자석 또는 각각의 인접 로터 요소에서 반대로 되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 진공 펌프(1)는 직렬로 배치된 적어도 3개의 펌핑 스테이지(T1-T5)를 포함하며, 상기 적어도 하나의 자석(9)은 가스의 흐름 방향으로 마지막 및/또는 끝에서 두번째 스테이지에서 회전하도록 구성되는 로터 요소(6)에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정자(2)의 적어도 하나의 표면층(2b)은 니켈-철 합금으로 이루어지는 강자성 재료의 표면(10, 12, 16)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  8. 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 고정자(2)는 전체에 걸쳐 니켈-철 합금과 같은 강자성 재료로 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 자석(9)은 니켈 코팅되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  10. 터보분자 진공 펌프(200)로서,
    - 펌핑 대상 가스가 내부로 흐르도록 된 압축 챔버(3)를 갖는 고정자(2);
    - 상기 고정자(2)의 흡입 입구(5)와 급송 출구(5) 사이에서 펌핑 대상 가스를 구동하기 위해, 상기 고정자(2)의 압축 챔버(3)에서 회전하도록 구성되는 로터(4); 및
    - 상기 로터(4)의 매 회전시마다 상기 고정자(2)의 강자성 재료의 표면(27)에 면하도록 상기 로터(4)에 배치되어, 상기 로터(4)의 회전이 자기 유도에 의해 상기 강자성 재료의 표면(27)의 가열을 일으키도록 된 자화 재료(29)
    를 포함하며, 상기 자화 재료는 복합재에 매립된 코발트를 포함하는 섬유 또는 나노와이어를 포함하는 것
    을 특징으로 하는 터보분자 진공 펌프.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 로터(4)는 홀벡 스커트(Holweck skirt)(22)를 가지며, 상기 자화 재료(29)는 상기 홀벡 스커트(22)에 배치되는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  12. 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서,
    강자성 재료의 적어도 하나의 표면(10, 12, 16, 27)은 니켈 코팅(28)을 갖는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
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