KR20230094497A - 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치 - Google Patents

단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치 Download PDF

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KR20230094497A
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Abstract

실시예는 챔버; 상기 챔버의 하부에 구비되어, 도가니를 회전 및 승하강시키는 지지부재; 상기 챔버의 상부에 구비되어 단결정 잉곳이 인상되는 영역을 제공하는 인상 챔버; 상기 인상 챔버의 측면에 구비되어 상기 도가니의 실리콘 융액으로부터 성장되는 상기 단결정 잉곳의 외면을 측정하는 빛 밝기 센서; 상기 빛 밝기 센서의 상부에 구비되어 상기 단결정 잉곳 방향으로 레이저를 방출하는 레이저 지그; 및 상기 빛 밝기 센서의 하부에 구비되어, 상기 레이저의 직진도를 검증하는 직진도 검증 지그를 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치를 제공한다.

Description

단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치{VERIFICATION DEVICE OF LIGHT BRIGHTNESS SENSOR FOR GROWING DEVICE OF SINGLE CRYSTAL INGOT}
본 발명은 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 실리콘 단결정 잉곳의 성장 중에 단결정 잉곳의 직경을 측정하는 빛 밝기 센서의 광 직진도와 입사각을 검증하는 장치에 관한 것이다.
통상적인 실리콘 웨이퍼는, 단결정(Ingot)을 만들기 위한 단결정 성장 공정과, 단결정을 절삭(Slicing)하여 얇은 원판 모양의 웨이퍼를 얻는 절삭공정과, 상기 절삭으로 인하여 웨이퍼에 잔존하는 기계적 가공에 의한 손상(Damage)을 제거하는 연삭(Lapping) 공정과, 웨이퍼를 경면화하는 연마(Polishing) 공정과, 연마된 웨이퍼를 경면화하고 웨이퍼에 부착된 연마제나 이물질을 제거하는 세정 공정을 포함하여 이루어진다.
상술한 공정 중 실리콘 단결정을 성장시키는 공정은, 고순도 실리콘 융액을 장입한 성장로를 고온에서 가열하여 원료를 용용한 후, 초크랄스키법(Czochralski Method, 이하 'CZ'법이라 함) 등으로 성장시킬 수 있으며, 본 특허에서 다루고자 하는 방법은 종자결정이 실리콘 융액 상부에 위치하여 단결정을 성장시키는 CZ법에 적용할 수 있다.
도 1은 종래의 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치를 나타낸 도면이다.
실시예에 따른 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치(1000)는 내부에 실리콘 융액(Si melt)으로부터 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)이 성장하기 위한 공간이 형성되는 챔버(100)와, 상기 실리콘 융액(Si melt)이 수용되기 위한 내부 도가니(200) 및 외부 도가니(250)와, 상기 내부, 외부 도가니(200, 250)를 가열하기 위한 가열부(400)와, 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)을 향한 가열부(400)의 열을 차단하기 위하여 도가니(200)의 상부에 위치되는 열차폐체(600)와, 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)의 성장을 위한 시드(미도시)를 고정하기 위한 시드척(10)과, 도가니(250)를 회전시키고 상승시키는 지지부재(300)을 포함하여 이루어진다.
성장되는 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)은 시드척(10)에 의하여 인상될 수 있는데, 상승되는 고온의 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)을 냉각시키기 위하여 수냉관(500)이 배치될 수 있다.
챔버(100)는 실리콘 융액(Si melt)으로부터 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)을 형성시키기 위한 소정의 공정들이 수행되는 공간을 제공한다.
내부, 외부 도가니(200, 250)는 실리콘 융액(Si melt)을 담을 수 있도록 챔버(100)의 내부에 구비될 수 있다. 내부 도가니(250)는 석영으로 이루어질 수 있고, 외부 도가니(250)는 흑연으로 이루어질 수 있다.
외부 도가니(250)는 내부 도가니(200)가 열에 의하여 팽창될 경우를 대비하여, 2개 또는 4개로 분할되어 구비될 수 있다. 예를 들어, 외부 도가니(250)가 2개로 분할될 경우, 2개의 부분 사이에는 간극이 형성되어, 내부 도가니(200)가 팽창되어도 외부 도가니(250)가 손상되지 않을 수 있다.
챔버(100) 내에는 가열부(400)의 열이 방출되지 못하도록 단열재를 구비할 수 있다. 본 실시예에서는 내부, 외부 도가니(200, 250) 상부의 열차폐체(600)만이 도시되고 있으나, 내부, 외부 도가니(200, 250)의 측면과 하부에 각각 단열재가 배치될 수도 있다.
가열부(400)는 내부, 외부 도가니(200, 250) 내에 공급된 다결정의 실리콘을 녹여서 실리콘 융액(Si melt)으로 만들 수 있는데, 가열부(400) 상부에 배치되는 전류 공급 로드(미도시)로부터 전류를 공급받을 수 있다.
내부, 외부 도가니(200, 250)의 바닥면의 중앙에는 지지부재(300)가 배치되어내부, 외부 도가니(200, 250)를 지지할 수 있다. 내부, 외부 도가니(200, 250) 상부의 시드(미도시)로부터 실리콘 융액(Si melt)이 일부 응고되어 실리콘 단결정 잉곳(Ingot)이 성장될 수 있다.
상술한 장치를 사용하여 CZ법에 의하여 단결정 잉곳을 성장시킬 때, 실리콘 융액으로부터 성장되는 단결정 잉곳의 크기를 조절할 필요가 있으며, 시드의 인상 속도 내지 회전 속도에 따라 단결정 잉곳의 크기가 변할 수 있다.
따라서, 실리콘 융액의 계면에서의 단결정 잉곳의 크기를 정확히 관찰할 필요가 있는데, 통상 챔버의 외부에 빛 밝기 센서 등을 구비하여, 실리콘 융액의 계면에서의 단결정 잉곳의 가장 자리에서 방출되는 빛을 상술한 빛 밝기 센서에서 측정하여 특허 숄더 내지 바디의 성장 상태를 확인하며 시드의 인상과 회전 속도를 측정할 수 있다.
그러나, 상술한 단결정 잉곳의 크기(직경) 측정은 다음과 같은 문제점이 있다.
실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치 내의 각종 구성 부품들의 공차가 발생할 수 있고, 또한 성장 장치를 반복 사용하면 지지부재나 핫존 내의 다른 부품들의 위치가 조금씩 변경될 수 있다.
따라서, 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치를 사용하여 반복하여 단결정 잉곳을 사용하는 중에도 단결정 잉곳의 크기를 정확히 측정할 필요가 있다.
본 발명은 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치를 사용하여 반복하여 단결정 잉곳을 사용하는 중에도 단결정 잉곳의 크기를 정확히 측정하기 위하여, 단결정 잉곳의 크기 내지 지름을 빛 밝기 센서를 사용하여 정확하게 측정하고자 한다.
실시예는 챔버; 상기 챔버의 하부에 구비되어, 도가니를 회전 및 승하강시키는 지지부재; 상기 챔버의 상부에 구비되어 단결정 잉곳이 인상되는 영역을 제공하는 인상 챔버; 상기 인상 챔버의 측면에 구비되어 상기 도가니의 실리콘 융액으로부터 성장되는 상기 단결정 잉곳의 외면을 측정하는 빛 밝기 센서; 상기 빛 밝기 센서의 상부에 구비되어 상기 단결정 잉곳 방향으로 레이저를 방출하는 레이저 지그; 및 상기 빛 밝기 센서의 하부에 구비되어, 상기 레이저의 직진도를 검증하는 직진도 검증 지그를 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치를 제공한다.
빛 밝기 센서는, 상기 성장되는 단결정 잉곳의 지름 방향으로 이동하며 상기 단결정 잉곳의 직경을 측정할 수 있다.
빛 밝기 센서의 제1 몸체에 상하 방향으로 관통 홀이 구비되고, 레이저 지그에서 방출된 레이저는 상기 관통 홀을 통하여 상기 직진도 검증 지그로 진행할 수 있다.
직진도 검증 지그는 제2 몸체의 상면에 직선형 스케일이 구비되고, 상기 빛 밝기 센서의 이동에 따라 상기 레이저 지그에서 방출되는 광은, 상기 직선형 스케일 상에서 이동할 수 있다.
빛 밝기 센서의 검증 장치는, 지지부재의 상면에 구비되어 상기 레이저의 도달 위치를 측정하는 각도 측정 지그를 더 포함할 수 있다.
빛 밝기 센서의 제1 몸체에 상하 방향으로 관통 홀이 구비되고, 상기 빛 밝기 센서의 하부에서 상기 챔버에 윈도우가 구비되고, 상기 레이저 지그에서 방출된 레이저는 상기 관통 홀과 상기 윈도우를 통하여 상기 각도 측정 지그로 진행할 수 있다.
각도 측정 지그는 제3 몸체의 상면에 원형 스케일이 구비되고, 상기 지지부재의 승강에 따라, 상기 레이저 지그에서 방출되는 광은, 상기 원형 스케일 위에서 이동할 수 있다.
빛 밝기 센서의 검증 장치는 각도 측정 지그와 인접하여 구비되는 무선 촬상 장치를 포함할 수 있다.
무선 촬상 장치는, 상기 각도 측정 지그의 영상을 수신하는 카메라 및 상기 각도 측정 지그에 광을 출사하는 조명 장치를 포함할 수 있다.
빛 밝기 센서의 검증 장치는, 지지부재를 승강하며, 상기 레이저 지그로부터 방출되어 복수의 높이의 상기 각도 측정 지그에 도달하는 레이저의 입사 위치를 측정할 수 있다.
빛 밝기 센서의 검증 장치는, 복수의 높이의 각도 측정 지그에 입사된 상기 레이저의 입사 위치로부터, 상기 레이저의 입사 각도를 연산하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치, 빛 발기 센서 위에 레이저 지그를 구비하고, 빛 밝기 센서의 제1 몸체의 관통홀을 통하여 레이저를 조사하고, 직진도 검증 지그에서 레이저의 직진도를 검증하여 빛 밝기 센서의 수평 이동을 확인하고, 각도 측정 지그에서 레이저의 입사각을 확인하여 빛 밝기 센서의 배치 각도를 확인할 수 있다.
도 1은 종래의 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치를 나타낸 도면이고,
도 2는 본 발명에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치의 일 실시예를 나타낸 도면이고,
도 3은 도 2에서 빛 밝기 센서와 레이저 지그 및 직진도 검증 지그를 상세히 나타낸 도면이고,
도 4a 및 도 4b는 도 3에서 레이저 검증 지그에 레이저가 조사되는 것을 나타낸 도면이고,
도 5는 도2의 지지부재 위에 구비되는 각도 측정 지그 및 무선 촬상 장치를 나타낸 도면이고,
도 6은 도 2 내지 도 5에 도시된 장치를 사용하여 단결정 잉곳의 성장 장치의 빛 밝기 센서를 검증하는 방법을 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명을 구체적으로 설명하기 위해 실시 예를 들어 설명하고, 발명에 대한 이해를 돕기 위해 첨부도면을 참조하여 상세하게 설명하기로 한다.
그러나, 본 발명에 따른 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되지 않아야 한다. 본 발명의 실시 예들은 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다.
또한, 이하에서 이용되는 "제1" 및 "제2," "상부" 및 "하부" 등과 같은 관계적 용어들은, 그런 실체 또는 요소들 간의 어떠한 물리적 또는 논리적 관계 또는 순서를 반드시 요구하거나 내포하지는 않으면서, 어느 한 실체 또는 요소를 다른 실체 또는 요소와 구별하기 위해서만 이용될 수도 있다.
도 2는 본 발명에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치의 일 실시예를 나타낸 도면이고, 도 3은 도 2에서 빛 밝기 센서와 레이저 지그 및 직진도 검증 지그를 상세히 나타낸 도면이다.
본 발명에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치는, 빛 밝기 센서(2000)와 레이저 지그(2100)와 직진도 검증 지그(2200) 및 각도 측정 지그(2300)를 포함하며, 후술하는 무선 촬상 장치(2400)를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치는, 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치(1000)의 챔버(1100)의 내부에서 내부 도가니(200) 및 외부 도가니와, 열차폐체와 수냉관 등이 제거된 상태에서 배치될 수 있으며, 도가니가 구비될 영역의 측면에 구비된 가열부(1400)도 제거될 수도 있다.
챔버(1100)의 위에는 단결정 잉곳이 인상되는 영역을 제공하는 인상 챔버(1150)가 연장되어 배치될 수 있고, 챔버(1100) 내부의 하부 영역에는 후의 단결정 인상 공정에서 사용될 도가니를 회전 및 승하강시키는 지지부재(1300)가 구비되고, 인상 챔버(1150)의 측면에는 실리콘 융액으로부터 성장되는 상기 단결정 잉곳의 외면을 측정하는 빛 밝기 센서(2000)가 구비되고, 빛 밝기 센서(2000)의 상부에는 성장중인 단결정 잉곳(미도시) 방향으로 레이저를 방출하는 레이저 지그(2100) 및 빛 밝기 센서(2000)의 하부에 구비되어 레이저의 직진도를 검증하는 직진도 검증 지그(2200)가 구비될 수 있다.
또한, 지지부재(1300)의 상면에는 레이저의 도달 위치를 측정하는 각도 측정 지그(2300)가 구비될 수 있다.
빛 밝기 센서(2000)는 인상 챔버(1150)의 측면에 연결 부재(2050)를 통하여 연결되고, 또한 성장되는 단결정 잉곳의 지름 방향, 즉 도면에서 수평 방향으로 이동하며 단결정 잉곳의 직경을 측정할 수 있다. 상세하게는, 빛 밝기 센서(2000)는 수광 소자로서 고온으로 밝게 빛나는 단결정 잉곳의 가장 자리에서 방출되는 광을 수신하여 단결정 잉곳의 지름 내지 크기를 측정할 수 있다.
이때, 장치의 사용에 따라서 각 부재들의 위치가 조금씩 어긋날 수 있으므로, 빛 밝기 센서(2000)의 고정 위치 내지 광을 수신하는 방향이 변경되었는지 확인할 필요가 있다.
레이저 지그(2100)는 빛 밝기 센서의 상부에 구비되어 단결정 잉곳이 성장될 방향으로 레이저를 방출할 수 있다. 빛 밝기 센서(2000)의 제1 몸체에 상하 방향으로 점선으로 도시된 바와 같이 관통 홀이 구비되고, 레이저 지그(2100)에서 방출된 레이저는 상기의 관통 홀을 통하여 직진도 검증 지그(2200)로 진행할 수 있다.
즉, 도 2의 빛 밝기 센서의 검증 장치에서는 단결정 잉곳이 직접 구비되지 않으므로, 직진도 검증 지그(2000)가 챔버(1110)의 상부에 구비되어 레이저 지그(2100)에서 조사되는 광을 수신할 수 있다. 또한, 빛 밝기 센서(2000)의 하부에서 챔버에 윈도우(1110)가 구비되어, 레이저 지그(2100)에서 방출된 레이저는 빛 밝기 센서(2000)에 형성된 관통 홀과 챔버(1100)에 형성된 윈도우(1110)를 통하여 각도 측정 지그(2300)로 진행할 수 있다.
도 4a 및 도 4b는 도 3에서 레이저 검증 지그에 레이저가 조사되는 것을 나타낸 도면이다.
직진도 검증 지그(2200)는 제2 몸체(2210)의 상면에 직선형의 스케일(2250)이 구비될 수 있다. 상술한 빛 밝기 센서(2000)는 도 3에서 수평 방향으로 이동하며, 이때 레이저 지그(2100)도 수평 방향으로 이동하며 직진도 검증 지그(2200) 방향으로 레이저가 조사될 수 있다.
따라서, 도 4a 및 도 4b에 도시된 바와 같이, 레이저 지그(2100)에서 방출되는 광(레이저)은, 직진도 검증 지그(2200)의 직선형의 스케일(2250) 상에서 이동하여 측정될 수 있다.
그리고, 레이저 지그(2100)의 이동에 따라, 레이저가 직선형의 스케일(2250)을 따라 이동하는 형상을 관측하여, 빛 밝기 센서(2000) 및 레이저 지그(2100)가 수평 방향으로 어긋남 없이 이동하는지 확인할 수 있다.
그리고, 빛 밝기 센서(2000)가 수평 방향으로 정확하게 이동하더라도, 단결정 잉곳을 향하여 정확한 각도에 구비되지 않으면, 단결정 잉곳의 지름을 정확히 측정하지 못할 수 있다. 이러한 문제점을 방지하기 위하여, 아래의 각도 측정 지그 등을 설치할 수 있다.
도 5는 도2의 지지부재 위에 구비되는 각도 측정 지그 및 무선 촬상 장치를 나타낸 도면이다.
각도 측정 지그(2300)는 지지 부재(1300)의 위에 배치될 수 있으며, 단결정 잉곳의 성장시에는 각도 측정 지그(2300)가 제거되고, 지지 부재(1300) 위에 도가니가 배치될 수 있다.
각도 측정 지그(2300)는 제3 몸체(2310)와 상기 제3 몸체(2310)의 상면에 구비되는 원형의 스케일(2350)을 포함하는데, 원형의 스케일(2350)은 동심원을 가지는 복수의 스케일(2350)로 이루어질 수 있다.
그리고, 지지부재(1300)의 승강에 따라, 상술한 레이저 지그(2100)에서 방출된 광이, 복수의 스케일(2350) 중 다른 스케일에 도달하게 된다.
이때, 레이저 지그(2100)에서 방출된 레이저가 직진하므로, 지지부재(1300)의 승강에 따른 각도 측정 지그(2300)의 높이 변화와, 레이저가 도달하는 각도 측정 지그(2300)의 특정 스케일(2350)을 확인하면, 레이저의 진행 각도를 측정할 수 있다.
따라서, 레이저 지그(2100)에서 방출된 레이저가 장래의 단결정 잉곳 성장 공정에서 실리콘 융액의 계면에서의 단결정 잉곳의 가장 자리로 정확히 입사될 수 있을지 확인할 수 있다.
즉, 지지부재(1300)가 승강되고, 레이저 지그(2100)로부터 방출되어 서로 다른 높이의 각도 측정 지그에 도달하는 레이저의 입사 위치를 측정하고, 상기 레이저의 입사 위치로부터 레이저의 입사 각도를 연산할 수 있는데, 이러한 작용은 제어부(미도시)에서 이루어질 수 있다.
그리고, 실제로 단결정 잉곳이 성장할 때는 고온의 단결정 잉곳에서 방출되는 광을 빛 밝기 센서(2000)에서 정확히 수광하여 검출할 수 있으나, 도가니와 실리콘 융액 등이 제거된 상태에서는 챔버 내부가 어두워서 스케일(2350) 위에 레이저가 도달하는 위치와 각도 등을 정확히 확인하기 어려울 수 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여, 각도 측정 지그(2300)와 인접하는 영역에 무선 촬상 장치(2400)를 배치할 수 있다. 무선 촬상 장치(2400)는 각도 측정 지그(2300)의 영상을 수신하는 카메라(2410) 및 각도 측정 지그(2300)에 광을 출사하는 조명 장치(2450)를 포함할 수 있다.
조명 장치(2450)에서 광을 조사하며 레이저가 스케일(2350)에 입사하는 형상을 카메라(2410)에서 측정하여, 레이저의 입사 위치와 각도 등을 정확히 측정할 수 있다.
도 6은 도 2 내지 도 5에 도시된 장치를 사용하여 단결정 잉곳의 성장 장치의 빛 밝기 센서를 검증하는 방법을 나타낸 도면이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 레이저 직진도가 중앙에 위치하는지(S110)를 확인한 후, 레이저가 중앙에 도달하지 않을 경우 레이저 직진도를 조정한다(S120).
레이저 직진도의 확인은, 상술한 빛 밝기 검출 센서를 수평 방향으로 이동하며, 레이저가 직진도 검증 지그에서 스케일을 따라 수평 방향으로 이동하는지 확인하여 진행될 수 있다.
그리고, 레이저의 초기 각도가 이론상의 각도와 동일한지 확인하여(S130), 레이저의 초기 각도가 이론상의 각도가 상이하면 레이저의 각도를 조정할 수 있다(S140).
레이저의 초기 각도는 각도 측정 지그에 입사하는 레이저의 입사각을 측정하여 측정할 수 있고, 측정 결과를 설계된 레이저의 입사각도인 이론 상의 각도와 비교할 수 있다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 더욱 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 반드시 이러한 실시예로 국한되는 것은 아니고, 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양하게 변형실시될 수 있다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 제한하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 제한되는 것은 아니다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 제한적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 시드척 100, 1100: 챔버
200: 내부 도가니 250, 250a, 250b: 외부 도가니
252: 홈 256: 플레이트
300, 1300: 지지부재 400, 1400: 가열부
500: 수냉관 600: 열차폐체
1000: 실리콘 단결정 잉곳의 성장 장치
1150: 인상 챔버 2000: 빛 밝기 센서
2100: 레이저 지그 2200: 직진도 검증 지그
2300: 각도 측정 지그 2400: 무선촬상장치

Claims (11)

  1. 챔버;
    상기 챔버의 하부에 구비되어, 도가니를 회전 및 승하강시키는 지지부재;
    상기 챔버의 상부에 구비되어 단결정 잉곳이 인상되는 영역을 제공하는 인상 챔버;
    상기 인상 챔버의 측면에 구비되어 상기 도가니의 실리콘 융액으로부터 성장되는 상기 단결정 잉곳의 외면을 측정하는 빛 밝기 센서;
    상기 빛 밝기 센서의 상부에 구비되어 상기 단결정 잉곳 방향으로 레이저를 방출하는 레이저 지그; 및
    상기 빛 밝기 센서의 하부에 구비되어, 상기 레이저의 직진도를 검증하는 직진도 검증 지그를 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 빛 밝기 센서는, 상기 성장되는 단결정 잉곳의 지름 방향으로 이동하며 상기 단결정 잉곳의 직경을 측정하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  3. 제2 항에 있어서,
    상기 빛 밝기 센서의 제1 몸체에 상하 방향으로 관통 홀이 구비되고,
    상기 레이저 지그에서 방출된 레이저는 상기 관통 홀을 통하여 상기 직진도 검증 지그로 진행하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  4. 제3 항에 있어서,
    상기 직진도 검증 지그는 제2 몸체의 상면에 직선형 스케일이 구비되고,
    상기 빛 밝기 센서의 이동에 따라 상기 레이저 지그에서 방출되는 광은, 상기 직선형 스케일 상에서 이동하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  5. 제2 항에 있어서,
    상기 지지부재의 상면에 구비되어 상기 레이저의 도달 위치를 측정하는 각도 측정 지그를 더 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  6. 제5 항에 있어서,
    상기 빛 밝기 센서의 제1 몸체에 상하 방향으로 관통 홀이 구비되고,
    상기 빛 밝기 센서의 하부에서 상기 챔버에 윈도우가 구비되고,
    상기 레이저 지그에서 방출된 레이저는 상기 관통 홀과 상기 윈도우를 통하여 상기 각도 측정 지그로 진행하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  7. 제6 항에 있어서,
    상기 각도 측정 지그는 제3 몸체의 상면에 원형 스케일이 구비되고,
    상기 지지부재의 승강에 따라, 상기 레이저 지그에서 방출되는 광은, 상기 원형 스케일 위에서 이동하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  8. 제5 항 내지 제7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 각도 측정 지그와 인접하여 구비되는 무선 촬상 장치를 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  9. 제8 항에 있어서,
    상기 무선 촬상 장치는, 상기 각도 측정 지그의 영상을 수신하는 카메라 및 상기 각도 측정 지그에 광을 출사하는 조명 장치를 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 지지부재를 승강하며, 상기 레이저 지그로부터 방출되어 복수의 높이의 상기 각도 측정 지그에 도달하는 레이저의 입사 위치를 측정하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
  11. 제10 항에 있어서,
    상기 복수의 높이의 각도 측정 지그에 입사된 상기 레이저의 입사 위치로부터, 상기 레이저의 입사 각도를 연산하는 제어부를 더 포함하는 단결정 잉곳 성장 장치의 빛 밝기 센서의 검증 장치.
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