KR20230093102A - 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법 및 케이블 길이 선정 장치 - Google Patents

플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법 및 케이블 길이 선정 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법 및 케이블 길이 선정 장치로서, 수십 MHz 이상의 RF 주파수의 전력 공급을 통해 플라즈마 공정을 진행하는 플라즈마 공정 설비에 대한 전력 공급 케이블의 길이를 선정하기 위한 방안을 개시한다.

Description

플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법 및 케이블 길이 선정 장치{Method and apparatus for determining cable length of plasma processing equipment}
본 발명은 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법 및 케이블 길이 선정 장치로서, 보다 상세하게는 수십 MHz 이상의 RF 주파수의 전력 공급을 통해 플라즈마 공정을 진행하는 플라즈마 공정 설비에 대한 전력 공급 케이블의 길이를 선정하기 위한 방안에 대한 것이다.
플라즈마 처리 장치는, 예를 들면 플라즈마를 발생시키는 반응실 내에 마련한 전극에 고주파 전력을 공급하여 플라즈마 방전을 발생시키고, 발생한 플라즈마에 의해서 기판에 표면 처리를 실시하는 장치이며, 반도체 제조 등에 사용된다.
플라즈마 부하에 대해서 전력을 공급할 때, 플라즈마의 방전 개시시에 있어서 부하단에서의 방전 전압이 저하하는 것이 알려져 있다. 이 때문에, 충분한 이그니션(ignition) 전원이 인가되어 있지 않은 경우에는, 부하단에서의 방전 전압의 저하에 의해서 플라즈마의 착화가 불안정하게 되는 경우가 있다. 플라즈마 착화를 안정적으로 하기 위해서는, 플라즈마 부하에 전력을 공급하는 고주파 전원 장치에는, 플라즈마를 발생시키기 위한 이그니션 전압으로서 충분한 고전압을 부하단에 인가하는 것이 요구되고 있다.
일반적으로 플라즈마 설비의 전력 공급을 위한 케이블 길이의 선정시 케이블의 물리적 길이를 산출하여 적용하고 있는데, 이러한 케이블의 물리적 길이 산출에 의하면 저주파에서는 케이블 사용에 문제가 없으나 수십 MHz 이상의 고주파 인가시 케이블의 임피던스 차이로 인해 공정 결과가 상이하게 변화되는 문제가 있다.
일본 특허공개공보 제2004-247401호 일본 등록특허공보 제5210905호
본 발명은 상술한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 플라즈마 설비의 전력 공급을 위한 케이블을 물리적 길이로 선정하는 경우, 고주파에서 케이블의 임피던스 차이로 인해 공정 결과가 상이하게 변화되는 문제를 해소하고자 한다.
본 발명의 목적은 전술한 바에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 본 발명의 다른 목적 및 장점들은 하기의 설명에 의해서 이해될 수 있다.
본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법의 일실시예는, 적용할 전원 공급 케이블의 임피던스를 측정하는 임피던스 측정 단계; 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출 단계; 및 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 케이블 길이 결정 단계를 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 전기적 길이 산출 단계는, 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 전기적 길이 산출 단계는, 하기 [식 1]을 통해 전기적 길이를 산출하며,
[식 1]
Figure pat00001
여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
Figure pat00002
는 파장,
Figure pat00003
는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타낸다.
나아가서 상기 임피던스 측정 단계는, 주파수 분포 상에서 입력 전압과 출력 전압의 대비를 통해 RF 특성을 분석하는 파라미터를 기초로 임피던스를 산출할 수 있다.
바람직하게는 상기 임피던스 측정 단계는, 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 임피던스 측정 단계는, S 파라미터를 통해 반사 계수를 산출할 수 있다.
나아가서 상기 케이블 길이 결정 단계는, 해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치의 일실시예는, 적용할 전원 공급 케이블에 대한 임피던스를 측정하는 임피던스 측정부; 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출부; 및 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블을 결정하는 케이블 선정부를 포함할 수 있다.
바람직하게는 상기 전기적 길이 산출부는, 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 전기적 길이 산출부는, 하기 [식 1]을 통해 전기적 길이를 산출하며,
[식 1]
Figure pat00004
여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
Figure pat00005
는 파장,
Figure pat00006
는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타낸다.
나아가서 상기 임피던스 측정부는, 주파수 분포 상에서 입력 전압과 출력 전압의 대비를 통해 RF 특성을 분석하는 파라미터를 기초로 임피던스를 산출할 수 있다.
일례로서, 상기 임피던스 측정부는, 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출할 수 있다.
바람직하게는 상기 케이블 선정부는, 해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정할 수 있다.
또한 본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법의 바람직한 일실시예는, 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하여 측정하는 임피던스 측정 단계; 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블에서 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출 단계; 및 해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 케이블 길이 결정 단계를 포함할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면, 수십 MHz 이상의 고주파 RF 주파수로 발생시킨 플라즈마 공정 진행시 전원 공급 케이블의 임피던스 차이로 인한 공정 오류를 해소할 수 있는 방안을 제시한다.
기존 물리적 길이로 전원 공급 케이블을 선정시 낮은 저주파수에서는 문제가 없으나 높은 고주파수에서 수십 mm 차이로 인해 임피던스가 변화되는 문제를 해결할 수 있다.
특히, 높은 고주파수에서 케이블 코어와 절연체의 상태까지 임피던스에 영향을 미치는데, 단순히 물리적 길이로 케이블을 선정시 케이블과 절연체의 상태에 따라 임피던스가 변화되어 공정의 수율이 떨어지는 문제를 해소할 수 있게 된다.
나아가서 적절한 임피던스 매칭을 위해 전기적 길이를 반영하여 물리적 길이의 전원 공급 케이블을 선택함으로써 플라즈마 공정 설비에 전원 공급을 위한 전원 공급 케이블의 배치시 임피던스의 편차를 개선할 수 있다.
본 발명의 효과는 위에서 언급한 것들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 효과들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 케이블 길이 선정 장치의 일실시예에 대한 구성도를 도시한다.
도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법의 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
도 3은 물리적 길이로 케이블 선정시 임피던스의 일례를 나타낸다.
도 4는 물리적 길이로 케이블 선정시 공정 수행 결과에 대한 일례를 나타낸다.
도 5는 본 발명에서 임피던스 측정을 위한 S 파라미터의 개념도를 도시한다.
도 6은 본 발명에서 임피던스 측정을 위한 반사 계수 측정의 일례를 나타낸다.
도 7은 본 발명을 통해 전기적 길이를 기초로 케이블을 선정하는 일례를 나타낸다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세하게 설명하지만, 본 발명이 실시예들에 의해 한정되거나 제한되는 것은 아니다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 설명하기 위하여 이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하고 이를 참조하여 살펴본다.
먼저, 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로서, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니며, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함할 수 있다. 또한 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
본 발명은 수십 MHz 이상의 RF 주파수로 전력 공급을 통해 플라즈마 공정을 진행하는 플라즈마 공정 설비에 대한 전력 공급 케이블의 길이를 선정하기 위한 방안에 대한 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 케이블 길이 선정 장치의 일실시예에 대한 구성도를 도시한다.
본 발명에 따른 케이블 길이 선정 장치(100)는, 개략적으로 임피던스 측정부(110), 전기적 길이 산출부(130), 케이블 선정부(150) 등을 포함할 수 있다.
임피던스 측정부(110)는 적용할 전원 공급 케이블에 대한 임피던스를 측정하는 임피던스 계측기를 포함할 수 있다.
여기서 임피던스 측정에는 다양한 방식이 적용될 수 있는데, 일례로서, 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출할 수 있다. 즉, 주파수 분포상에서 입력 전압과 출력 전압의 대비를 통해 RF 특성을 분석하는 파라미터를 적용하여 임피던스를 측정할 수 있다.
바람직하게는 개방 임피던스 S11을 산출하는데, S11은 반사 계수로서 임피던스 차에 의해 발생하는 반사량을 입력 전압 대 반사 전압의 비로 산출한 지수를 의미한다. S11의 수치가 적을수록 반사량이 적고 임피던스 매칭이 적절하게 이루어졌음을 알 수 있다.
전기적 길이 산출부(130)는 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출할 수 있다.
전기적 길이 산출부(130)는 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출할 수 있다.
일례로서, 전기적 길이 산출부(130)는 하기 [식 1]을 통해 전기적 길이를 산출할 수 있다.
[식 1]
Figure pat00007
여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
Figure pat00008
는 파장,
Figure pat00009
는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타낸다. 상기 측정 오차 e는 반복적인 실험결과를 통해 산출된 수치일 수 있다.
케이블 선정부(150)는 해당 플라즈마 공정 설비에 요구되는 전원 공급 사항에 따라 전기적 길이를 고려하여 적용할 전원 공급 케이블의 길이를 선정할 수 있다.
가령, RF 제너레이터를 통해 플라즈마 반응 챔버의 안테나로 전력을 공급하기 위한 물리적 길이 이외에 임피던스 매칭시 케이블과 절연체 등의 다양한 상태에 따른 임피던스 차이를 고려한 전기적 길이를 반영하여 전원 공급 케이블을 선정할 수 있다.　
또한 본 발명에서는 상기의 케이블 길이 선정 장치를 통해 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이를 선정하는 방법을 제시하는데, 도 2는 본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법의 일실시예에 대한 흐름도를 도시한다.
본 발명에 따른 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법은, 적용할 전원 공급 케이블 임피던스를 측정하는 임피던스 측정 단계(S100); 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출 단계(S200); 및 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 케이블 길이 결정 단계(S300)를 포함할 수 있다.
본 발명에서는 플라즈마 공정을 위한 고주파 전원 공급 케이블의 선정시 단순한 물리적 길이만이 아닌 전기적 길이를 산출하여 전원 공급 케이블을 결정함으로써 적합한　임피던스 매칭을　도모할　수　있다.
일반적으로 전원 공급 케이블의 물리적 길이를 실측하여 플라즈마 공정 설비에 적용하는 경우, 낮은 저주파수 전원 공급시에는 문제가 발생되지 않으나, 주파수가 수십 MHz 이상의 고주파수 전원 공급시에는 케이블과 절연체의 상태에 따라 임피던스가 변화되어 적절한 임피던스 매칭이 수행되지 않을 수 있다.
일례로서, 도 3은 물리적 길이로 케이블 선정시 임피던스의 일례를 나타내며, 도 4는 물리적 길이로 케이블 선정시 공정 수행 결과에 대한 일례를 나타낸다.
상기 도 3과 같이 전원 공급 케이블의 실측 물리적 길이는 대략 3m 내외로 일정한 오차 범위 내에 해당되지만, 이러한 물리적 길이가 동일 수준이라도 전원 공급 케이블의 상태에 따라 임피던스는 현저하게 변화될 수 있다.
이러한 동일 수준의 물리적 길이를 갖는 전원 공급 케이블을 적용하는 경우, 상기 도 4의 (a)와 같이 임피던스는 현저하게 차이가 있으며, 임피던스 변화로 인해 상기 도 4의 (b)와 같이 공정 결과의 안정성과 신뢰성을 담보할 수 없어 공정 수율이 현저하게 떨어질 수 있다.
따라서 본 발명에서는 전원 공급 케이블의 임피던스를 측정하고 이를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하여 적정한 전기적 길이를 갖는 전원 공급 케이블을 선정함으로써 임피던스 매칭의 효율을 도모할 수 있다.
먼저 케이블 길이 선정 장치(100)는 적용할 전원 공급 케이블에 대한 임피던스를 측정(S100)하는데, 임피던스 측정은 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 산출할 수 있다.
고주파의 경우 짧은 주기로 인해 어떤 한 측정 지점을 정하여 임피던스를 측정하기 어려운 문제가 있다. 따라서 주파수 분포 상에서 전압(V)과 전류(I)의 비를 이용하여 입출력 신호 간의 상대적인 값을 통해 RF 회로의 특성을 분석할 수 있는데, 이때 S 파라미터를 적용할 수 있다.
그리고 케이블 길이 선정 장치(100)는 측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출(S200)하는데, 이때 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출할 수 있다.
일례로서, 전기적 길이 L은 하기 [식 1]을 통해 산출할 수 있다.
[식 1]
Figure pat00010
여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
Figure pat00011
는 파장,
Figure pat00012
는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타내며, 측정 오차 e는 반복적인 실험결과를 통해 산출된 수치일 수 있다.
상기 [식 1]에서는 개방 임피던스 Z를 적용하는데, 도 5는 본 발명에서 임피던스 측정을 위한 S 파라미터의 개념도를 도시한다.
상기 도 5의 투-포트(two port) 회로에서 입력치와 출력치는 하기 [식 2]와 같은 S 파라미터로 표현될 수 있다.
[식 2]
Figure pat00013
여기서, S11은 입력포트 전압 반사 계수이고, S12는 역방향 전압 이득이고, S21은 순방향 전압 이득이고, S22는 출력단 전압 반사 계수를 나타낸다.
RF 회로에서는 임피던스 매칭이 상당히 중요한데, 적절한 임피던스 매칭이 이루어지지 않는 경우, 반사파가 발생된다. 따라서 반사파를 최소화시킬수록 임피던스 매칭이 적절하게 이루어질 수 있다.
도 6은 본 발명에서 임피던스 측정을 위한 반사 계수 측정의 일례를 나타낸다.
반사 계수는 임피던스 차에 의해 발생되는 반사량을 입력 전압과 반사 전압 대비로 산출한 지표가 될 수 있다.
가령, 상기 도 6에서 반사 계수
Figure pat00014
는 하기 [식 3]으로 산출할 수 있다
[식 3]
Figure pat00015
Figure pat00016
즉, 상기 [식 3]을 통해 S11의 값이 산출될 수 있다.
이와 같이 산출된 S11를 기초로 개방 임피던스 Z를 산출하고, 이를 상기 [식 1]에 반영하여 케이블의 전기적 길이가 산출될 수 있다.
그리고 케이블 길이 선정 장치(100)는 임피던스 매칭을 위한 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 반영하여 요구되는 물리적 길이의 전원 공급 케이블을 선정(S300)할 수 있다.
도 7은 본 발명을 통해 전기적 길이를 기초로 케이블을 선정하는 일례를 나타낸다.
상기 도 7에서 보는 바와 같이 비록 케이블의 물리적 길이에서 상당한 차이가 있더라도 임피던스는 일정 수준 유사치가 나타날 수 있으며, 이러한 임피던스를 반영하여 임피던스 매칭을 위해 요구되는 케이블의 전기적 길이가 선정될 수 있다.
즉, 적절한 임피던스 매칭을 위해 전기적 길이를 반영하여 물리적 길이의 전원 공급 케이블을 선택함으로써 플라즈마 공정 설비에 전원 공급을 위한 전원 공급 케이블의 배치시 임피던스의 편차를 개선할 수 있다.
이와 같은 본 발명에 의하면 수십 MHz 이상의 고주파 RF 주파수로 발생시킨 플라즈마 공정 진행시 전원 공급 케이블의 임피던스 차이로 인한 공정 오류를 해소할 수 있게 된다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 기재된 실시예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상이 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의해서 해석되어야하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
100 : 케이블 길이 선정 장치,
110 : 임피던스 측정부,
130 : 전기적 길이 산출부,
150 : 케이블 선정부.

Claims (14)

  1. 적용할 전원 공급 케이블의 임피던스를 측정하는 임피던스 측정 단계;
    측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출 단계; 및
    산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 케이블 길이 결정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전기적 길이 산출 단계는,
    사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 전기적 길이 산출 단계는,
    하기 [식 1]을 통해 전기적 길이를 산출하며,
    [식 1]
    Figure pat00017

    여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
    Figure pat00018
    는 파장,
    Figure pat00019
    는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타내는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 임피던스 측정 단계는,
    주파수 분포 상에서 입력 전압과 출력 전압의 대비를 통해 RF 특성을 분석하는 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 임피던스 측정 단계는,
    적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 임피던스 측정 단계는,
    S 파라미터를 통해 반사 계수를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 케이블 길이 결정 단계는,
    해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
  8. 적용할 전원 공급 케이블에 대한 임피던스를 측정하는 임피던스 측정부;
    측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블의 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출부; 및
    전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블을 결정하는 케이블 선정부를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 전기적 길이 산출부는,
    사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 전기적 길이 산출부는,
    하기 [식 1]을 통해 전기적 길이를 산출하며,
    [식 1]
    Figure pat00020

    여기서 L은 전기적 길이, n은 파장 주기,
    Figure pat00021
    는 파장,
    Figure pat00022
    는 파수, Z는 개방 임피던스 및 e는 측정 오차를 나타내는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  11. 제 8 항에 있어서,
    상기 임피던스 측정부는,
    주파수 분포 상에서 입력 전압과 출력 전압의 대비를 통해 RF 특성을 분석하는 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 임피던스 측정부는,
    적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  13. 제 8 항에 있어서,
    상기 케이블 선정부는,
    해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 장치.
  14. 적용할 전원 공급 케이블에 대한 S 파라미터를 기초로 임피던스를 산출하여 측정하는 임피던스 측정 단계;
    측정된 임피던스를 기초로 전원 공급 케이블에서 사용하는 주파수에 대한 파장(wave length), 파수(wave number) 및 측정 오차 중 적어도 어느 하나 이상에 따른 상관 관계를 이용하여 전기적 길이를 산출하는 전기적 길이 산출 단계; 및
    해당 플라즈마 공정 설비에서 요구되는 전원 공급 사항에 따른 전기적 길이에 대응되도록 산출된 전기적 길이를 기초로 전원 공급 케이블의 길이를 결정하는 케이블 길이 결정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 공정 설비의 케이블 길이 선정 방법.
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