JP5388434B2 - 可変のインピーダンス分析を用いたマッチングネットワークの特性化するための方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態は、主に半導体処理システムのためのマッチングネットワークに関する。より詳細には、本発明の実施形態はマッチングネットワークの特性化に関する。
エッチング又は蒸着の処理システムなどのプラズマを用いた半導体処理システムにおいて、高周波(RF)マッチングネットワークが、実質的に抵抗性のインピーダンス(例えば、50オーム)を有するRFソースからのRFパワーを負荷に結合するのに用いられ、この負荷は、一般には処理チャンバ内の処理プラズマであり、複素インピーダンスを有する。このマッチングネットワークは、電源からのRFパワーをプラズマに効率的に結合するために、RF電源のインピーダンスをプラズマすなわち負荷のインピーダンスに整合するよう動作する。
従って、マッチングネットワークの等価な直列抵抗の、より改善された近似が可能なマッチングネットワークの分析技術の必要性がある。
PTOTAL=PMW+PLOAD (1)
PTOTAL=IMW 2・RMW+ILOAD 2・RLOAD (2)
PTOTAL=I2・(RMW+RLOAD) (3)
PTOTAL/I2=RMW+RLOAD (4)
PTOTAL/k2・I2=RMW+RLOAD (5)
傾き(Slope) = k2 /PTOTAL (6)
切片(Intercept) = k2 ・RMW/PTOTAL (7)
Y=0.001x−0.0002 (8)
Claims (17)
- 電源のインピーダンスを負荷により提供される負荷インピーダンスの範囲に整合するマッチングネットワークを特性化するための方法であって、
マッチングネットワークを負荷に接続し、
負荷インピーダンスの範囲にかけて、前記マッチングネットワークの出力を計測し、これによって複数の計測された出力を取得し、
負荷インピーダンスの前記範囲にかけて、前記複数の計測された出力と対応する複数の負荷抵抗との間の関係に基づいて前記マッチングネットワークの等価な直列抵抗を計算することを含む方法。 - 前記負荷は可変インピーダンスの代用負荷である請求項1記載の方法。
- 前記代用負荷は所望の範囲のインピーダンスを生成することができる同調可能な回路を含む請求項2記載の方法。
- 前記計算された実効抵抗に基づいて、前記マッチングネットワークの状態を評価することを更に含む請求項1、2又は3のいずれか1項記載の方法。
- 前記負荷はプロセスチャンバ内に形成されたプラズマである請求項1記載の方法。
- 前記プロセスチャンバのパラメータを選択的に制御することにより前記プラズマのインピーダンスを変えることを更に含む請求項5記載の方法。
- 前記選択的に制御されたパラメータは、温度、電力、周波数、抵抗又は圧力のうちの少なくとも1つを含む請求項6記載の方法。
- 前記マッチングネットワークの前記計算された等価直列抵抗を、許容可能な等価な直列抵抗の値のあらかじめ定められた範囲に比較することにより、前記マッチングネットワークは修繕若しくは交換を必要とするかどうかを決定することを更に含む請求項6記載の方法。
- 前記等価な直列抵抗を計算するステップは、更に、前記複数のマッチングネットワークの計測された出力対前記対応する複数の負荷抵抗の線形回帰プロットを生成することを更に含む請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記等価な直列抵抗を計算するステップは、更に、前記対応する複数の負荷抵抗の関数として、前記複数のマッチングネットワークの計測された出力を表す多項式を決定することを含む請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記マッチングネットワークの計測される各出力は電流である請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記マッチングネットワークの計測される各出力は電流に比例する計測値である請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記負荷インピーダンスの範囲は前記マッチングネットワークに対する同調スペースにかけて広がる請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記評価するステップは更に、前記計算された等価な直列抵抗を所定の許容可能な抵抗レベルと比較することを更に含む請求項1、2又は5のいずれか1項記載の方法。
- 前記比較するステップに応じて、前記マッチングネットワークを受け入れることを更に含む請求項14記載の方法。
- 前記比較するステップに応じて、前記マッチングネットワークを拒絶することを更に含む請求項14記載の方法。
- 前記比較するステップに応じて、他のマッチングネットワークを備えた前記マッチングネットワークをグループ化することを更に含む請求項14記載の方法。
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