KR20230092345A - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents

기판 처리 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20230092345A
KR20230092345A KR1020210181647A KR20210181647A KR20230092345A KR 20230092345 A KR20230092345 A KR 20230092345A KR 1020210181647 A KR1020210181647 A KR 1020210181647A KR 20210181647 A KR20210181647 A KR 20210181647A KR 20230092345 A KR20230092345 A KR 20230092345A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
nozzles
substrate
volume
pixel
drop sizes
Prior art date
Application number
KR1020210181647A
Other languages
English (en)
Inventor
이홍주
이무형
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020210181647A priority Critical patent/KR20230092345A/ko
Priority to US18/081,647 priority patent/US20230191780A1/en
Priority to CN202211645424.4A priority patent/CN116265247A/zh
Publication of KR20230092345A publication Critical patent/KR20230092345A/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B41J2/125—Sensors, e.g. deflection sensors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J11/00—Devices or arrangements  of selective printing mechanisms, e.g. ink-jet printers or thermal printers, for supporting or handling copy material in sheet or web form
    • B41J11/0095—Detecting means for copy material, e.g. for detecting or sensing presence of copy material or its leading or trailing end
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/07—Ink jet characterised by jet control
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/165—Prevention or detection of nozzle clogging, e.g. cleaning, capping or moistening for nozzles
    • B41J2/16579—Detection means therefor, e.g. for nozzle clogging
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2121—Ink jet for multi-colour printing characterised by dot size, e.g. combinations of printed dots of different diameter
    • B41J2/2128—Ink jet for multi-colour printing characterised by dot size, e.g. combinations of printed dots of different diameter by means of energy modulation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2139—Compensation for malfunctioning nozzles creating dot place or dot size errors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2132—Print quality control characterised by dot disposition, e.g. for reducing white stripes or banding
    • B41J2/2142—Detection of malfunctioning nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
    • H10K71/10—Deposition of organic active material
    • H10K71/12—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating
    • H10K71/13—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing
    • H10K71/135—Deposition of organic active material using liquid deposition, e.g. spin coating using printing techniques, e.g. ink-jet printing or screen printing using ink-jet printing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/21—Ink jet for multi-colour printing
    • B41J2/2107—Ink jet for multi-colour printing characterised by the ink properties
    • B41J2/2114—Ejecting specialized liquids, e.g. transparent or processing liquids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01—Ink jet
    • B41J2/135—Nozzles
    • B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2002/14475—Structure thereof only for on-demand ink jet heads characterised by nozzle shapes or number of orifices per chamber
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2203/00—Embodiments of or processes related to the control of the printing process
    • B41J2203/01—Inspecting a printed medium or a medium to be printed using a sensing device
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
    • B41J25/001—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface
    • B41J25/003—Mechanisms for bodily moving print heads or carriages parallel to the paper surface for changing the angle between a print element array axis and the printing line, e.g. for dot density changes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J25/00—Actions or mechanisms not otherwise provided for
    • B41J25/304—Bodily-movable mechanisms for print heads or carriages movable towards or from paper surface
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J3/00—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed
    • B41J3/407—Typewriters or selective printing or marking mechanisms characterised by the purpose for which they are constructed for marking on special material

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 팩 단위로 구성하며, 이와 같이 구성된 팩에 속하는 노즐을 이용하여 픽셀 인쇄를 하는 기판 처리 장치 및 방법을 제공한다. 상기 기판 처리 방법은, 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 단계; 추출된 노즐을 팩으로 구성하는 단계; 및 팩에 포함된 노즐을 이용하여 기판 상의 동일 위치에 기판 처리액을 토출하여 기판에 픽셀 인쇄를 하는 단계를 포함한다.

Description

기판 처리 장치 및 방법 {Substrate treating apparatus and method thereof}
본 발명은 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용되는 기판 처리 장치 및 방법에 관한 것이다.
LCD 패널, PDP 패널, LED 패널 등의 디스플레이 장치를 제조하기 위해 투명 기판 상에 인쇄 공정(예를 들어, RGB 패터닝(RGB Patterning))을 수행하는 경우, 잉크젯 헤드 유닛(Inkjet Head Unit)을 구비하는 인쇄 장비가 사용될 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛에 설치되는 다수의 노즐을 이용하여 기판 상에 액적을 토출하면, 기판에 대해 픽셀 인쇄(Pixel Printing)를 할 수 있다. 이 경우, 동일한 드롭 사이즈(Drop Size)를 가지는 복수의 노즐을 하나의 팩(Pack)으로 구성하고, 기판 상에 액적을 토출하는 데에 다수의 팩 중 어느 하나의 팩에 속하는 복수의 노즐을 이용함으로써, 각각의 픽셀이 정해진 크기의 볼륨(Volume)을 가지도록 픽셀 인쇄를 할 수 있다.
그런데, 상기와 같이 동일한 드롭 사이즈의 노즐로 구성되는 팩을 이용하게 되면, 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 하는 데에 오차가 발생하며, 드롭 사이즈가 작은 노즐을 이용하는 경우에는 스캔 작업을 다수 회 수행해야 하는 불편이 따를 수 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제는, 드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 팩 단위로 구성하며, 이와 같이 구성된 팩에 속하는 노즐을 이용하여 픽셀 인쇄를 하는 기판 처리 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 방법의 일 면(Aspect)은, 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 단계; 추출된 노즐을 팩으로 구성하는 단계; 및 상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 기판 상의 동일 위치에 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 하는 단계를 포함한다.
상기 추출하는 단계는 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 적어도 하나 추출할 수 있다.
상기 추출하는 단계는 드롭 사이즈를 복수 개 선택한 후, 각각의 드롭 사이즈와 관련된 노즐을 추출하거나, 또는 노즐의 개수를 선택한 후, 선택된 개수를 토대로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출할 수 있다.
상기 추출하는 단계는 하나의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하거나, 또는 복수 개의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출할 수 있다.
하나의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 경우, 상기 하나의 헤드는 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 복수 개 포함할 수 있다.
복수 개의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 경우, 각각의 헤드는 드롭 사이즈가 동일한 노즐을 복수 개 포함하며, 서로 다른 헤드에 포함된 노즐은 드롭 사이즈가 서로 다를 수 있다.
상기 추출하는 단계 이전에, 상기 기판 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득하는 단계; 및 상기 홈에 대한 정보를 기초로 상기 홈에 형성되는 픽셀의 부피를 결정하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 획득하는 단계는 상기 기판을 촬영하여 얻은 이미지를 기초로 상기 홈에 대한 정보를 획득할 수 있다.
상기 홈에 대한 정보는 상기 홈의 직경 및 상기 홈의 깊이를 포함할 수 있다.
상기 추출하는 단계는 잉크젯 헤드에 포함된 노즐의 드롭 사이즈를 분석하고, 그 분석 결과를 기초로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출할 수 있다.
상기 추출하는 단계 이전에, 구체적으로, 상기 결정하는 단계와 상기 추출하는 단계 사이에, 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능한지 여부를 판별하는 단계를 더 포함할 수 있다.
픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능하지 않은 경우, 상기 추출하는 단계는 상기 픽셀의 부피를 초과하되 상기 픽셀의 부피로부터 오차가 가장 적도록 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출할 수 있다.
상기 획득하는 단계는 크기가 다른 디스플레이 장치를 제조하기 위한 셀 영역이 각각 형성되는 경우, 각각의 셀 영역과 관련하여 상기 홈에 대한 정보를 획득할 수 있다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 방법의 다른 면은, 기판 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득하는 단계; 상기 홈에 대한 정보를 기초로 상기 홈에 형성되는 픽셀의 부피를 결정하는 단계; 상기 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 추출하는 단계; 추출된 노즐을 팩으로 구성하는 단계; 및 상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 상기 기판 상의 동일 위치에 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 하는 단계를 포함하되, 상기 추출하는 단계는 잉크젯 헤드에 포함된 노즐의 드롭 사이즈를 분석하고, 그 분석 결과를 기초로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하며, 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능한지 여부를 판별하고, 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능하지 않은 경우, 상기 추출하는 단계는 상기 픽셀의 부피를 초과하되 상기 픽셀의 부피로부터 오차가 가장 적도록 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출한다.
또한, 상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 기판 처리 장치의 일 면은, 기판이 처리되는 동안 상기 기판을 지지하는 공정 처리 유닛; 복수 개의 노즐을 포함하며, 상기 노즐을 통해 상기 기판 상에 기판 처리액을 토출하는 잉크젯 헤드 유닛; 상기 기판 상에서 상기 잉크젯 헤드 유닛을 이동시키는 갠트리 유닛; 및 상기 노즐의 작동을 제어하는 제어 유닛을 포함하며, 상기 제어 유닛은 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하여 팩으로 구성하고, 상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 상기 기판 상의 동일 위치에 상기 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 한다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구조를 개략적으로 도시한 개념도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 잉크젯 헤드를 구성하는 노즐을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 잉크젯 헤드를 구성하는 노즐을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 4는 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 5는 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 6은 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
도 7은 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 내부 모듈을 개략적으로 도시한 블록도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 다양한 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 다양한 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 11은 100pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 12는 100pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 13은 190.3pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제1 예시도이다.
도 14는 190.3pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 게시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 게시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조부호는 동일 구성요소를 지칭한다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다. 반면, 소자가 "직접 위(directly on)" 또는 "바로 위"로 지칭되는 것은 중간에 다른 소자 또는 층을 개재하지 않은 것을 나타낸다.
공간적으로 상대적인 용어인 "아래(below)", "아래(beneath)", "하부(lower)", "위(above)", "상부(upper)" 등은 도면에 도시되어 있는 바와 같이 하나의 소자 또는 구성요소들과 다른 소자 또는 구성요소들과의 상관관계를 용이하게 기술하기 위해 사용될 수 있다. 공간적으로 상대적인 용어는 도면에 도시되어 있는 방향에 더하여 사용시 또는 동작시 소자의 서로 다른 방향을 포함하는 용어로 이해되어야 한다. 예를 들면, 도면에 도시되어 있는 소자를 뒤집을 경우, 다른 소자의 "아래(below)" 또는 "아래(beneath)"로 기술된 소자는 다른 소자의 "위(above)"에 놓여질 수 있다. 따라서, 예시적인 용어인 "아래"는 아래와 위의 방향을 모두 포함할 수 있다. 소자는 다른 방향으로도 배향될 수 있고, 이에 따라 공간적으로 상대적인 용어들은 배향에 따라 해석될 수 있다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 소자, 구성요소 및/또는 섹션들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 소자, 구성요소 및/또는 섹션들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 소자, 구성요소 또는 섹션들을 다른 소자, 구성요소 또는 섹션들과 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 소자, 제1 구성요소 또는 제1 섹션은 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 소자, 제2 구성요소 또는 제2 섹션일 수도 있음은 물론이다.
본 명세서에서 사용된 용어는 실시예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함한다(comprises)" 및/또는 "포함하는(comprising)"은 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
다른 정의가 없다면, 본 명세서에서 사용되는 모든 용어(기술 및 과학적 용어를 포함)는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 공통적으로 이해될 수 있는 의미로 사용될 수 있을 것이다. 또 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 명백하게 특별히 정의되어 있지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어 도면부호에 상관없이 동일하거나 대응하는 구성요소는 동일한 참조번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
본 발명은 드롭 사이즈(Drop Size)가 다른 복수의 노즐을 팩(Pack) 단위로 구성하며, 이와 같이 구성된 팩에 속하는 노즐을 이용하여 픽셀 인쇄(Pixel Printing)를 하는 제어 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따르면, 팩을 이용한 한 번의 스캔 작업으로 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 할 수 있으며, 이에 따라 인쇄의 스캔 횟수를 감소시킬 수 있어 제품의 생산성 향상을 도모할 수 있다. 이하에서는 도면 등을 참조하여 본 발명을 자세하게 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치의 구조를 개략적으로 도시한 개념도이다.
기판 처리 장치(100)는 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용되는 기판(G)(예를 들어, 유리 기판(Glass))을 처리하는 것이다. 이러한 기판 처리 장치(100)는 잉크젯 헤드 유닛(140)을 이용하여 기판(G) 상에 기판 처리액을 토출(Jetting)하는 잉크젯 설비로 구현될 수 있으며, 특히 기판 처리액에 의해 노즐(Nozzle)이 막히는 것을 방지하기 위해 순환계 잉크젯 설비로 구현될 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 예를 들어, QD(Quantum Dot) CF(Color Filter) 잉크젯(Inkjet) 설비로 마련될 수 있다.
도 1에 따르면, 기판 처리 장치(100)는 공정 처리 유닛(110), 메인터넌스 유닛(Maintenance Unit; 120), 갠트리 유닛(Gantry Unit; 130), 잉크젯 헤드 유닛(Inkjet Head Unit; 140), 기판 처리액 공급 유닛(150) 및 제어 유닛(Controller; 160)을 포함하여 구성될 수 있다.
공정 처리 유닛(110)은 기판(G)에 대해 PT 동작이 수행되는 동안 기판(G)을 지지하는 것이다. 이러한 공정 처리 유닛(110)은 비접촉 방식을 이용하여 기판(G)을 지지할 수 있다. 공정 처리 유닛(110)은 예를 들어, 에어(Air)를 이용하여 기판(G)을 공중으로 부상시켜 기판(G)을 지지할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 공정 처리 유닛(110)은 접촉 방식을 이용하여 기판(G)을 지지하는 것도 가능하다. 공정 처리 유닛(110)은 예를 들어, 상부에 안착면이 마련된 지지 부재를 이용하여 기판(G)을 지지할 수 있다.
한편, 상기에서 PT 동작은 기판 처리액을 이용하여 기판(G)을 인쇄(Printing) 처리하는 것을 말하며, 기판 처리액은 기판(G)을 인쇄 처리하는 데에 이용되는 약액을 말한다. 기판 처리액은 예를 들어, 초미세 반도체 입자를 포함하는 QD(Quantum Dot) 잉크일 수 있다.
공정 처리 유닛(110)은 에어를 이용하여 기판(G)을 지지하는 경우, 제1 스테이지(1st Stage; 111) 및 에어 홀(Air Hole; 112)을 포함하여 구성될 수 있다.
제1 스테이지(111)는 베이스(Base)로서, 그 상부에 기판(G)이 안착될 수 있도록 제공되는 것이다. 에어 홀(112)은 이러한 제1 스테이지(111)의 상부 표면을 관통하여 형성될 수 있으며, 제1 스테이지(111) 상의 PT 영역(PT Zone) 내에 복수 개 형성될 수 있다.
에어 홀(112)은 제1 스테이지(111)의 상부 방향(제3 방향(30))으로 에어를 분사할 수 있다. 에어 홀(112)은 이를 통해 제1 스테이지(111) 상에 안착되는 기판(G)을 공중으로 부상시킬 수 있다.
한편, 도 1에는 도시되지 않았지만, 공정 처리 유닛(110)은 그립퍼(Gripper)를 더 포함할 수 있다. 그립퍼는 기판(G)이 제1 스테이지(111)의 길이 방향(제1 방향(10))을 따라 이동할 때 제1 스테이지(111)에서 이탈하는 것을 방지하기 위한 것이다. 그립퍼는 기판(G)을 파지하여 제1 스테이지(111)에서 이탈하는 것을 방지할 수 있으며, 기판(G)이 이동하는 경우 기판(G)을 파지한 상태로 가이드 레일(Guide Rail; 미도시)을 따라 활주할 수 있다.
메인터넌스 유닛(120)은 기판(G) 상에서의 기판 처리액의 토출 위치(즉, 타점), 기판 처리액의 토출 여부 등을 측정하는 것이다. 메인터넌스 유닛(120)은 잉크젯 헤드 유닛(140)에 구비되는 복수 개의 노즐 각각에 대해 기판 처리액의 토출 위치, 기판 처리액의 토출 여부 등을 측정할 수 있으며, 이와 같이 획득된 측정 결과가 제어 유닛(160)에 제공되게 할 수 있다.
메인터넌스 유닛(120)은 예를 들어, 제2 스테이지(2nd Stage; 121), 제3 가이드 레일(3rd Guide Rail; 122), 제1 플레이트(1st Plate; 123), 캘리브레이션 보드(Calibration Board; 124) 및 비전 모듈(Vision Module; 125)을 포함하여 구성될 수 있다.
제2 스테이지(121)는 제1 스테이지(111)와 마찬가지로 베이스로서, 제1 스테이지(111)와 나란하게 배치될 수 있다. 제2 스테이지(121)는 제1 스테이지(111)와 동일한 크기로 마련될 수 있으나, 제1 스테이지(111)보다 작거나 또는 더 큰 크기를 가지도록 마련되는 것도 가능하다. 제2 스테이지(121)는 그 상부에 MT 영역(MT Zone)을 포함할 수 있다.
제3 가이드 레일(122)은 제1 플레이트(123)의 이동 경로를 가이드하는 것이다. 이러한 제3 가이드 레일(122)은 제2 스테이지(121) 상에 제2 스테이지(121)의 길이 방향(제1 방향(10))을 따라 적어도 하나의 라인으로 마련될 수 있다. 제3 가이드 레일(122)은 예를 들어, LM 가이드 시스템(Linear Motor Guide System)으로 구현될 수 있다.
한편, 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 메인터넌스 유닛(120)은 제4 가이드 레일(4th Guide Rail)을 더 포함할 수 있다. 제4 가이드 레일은 제3 가이드 레일(122)과 마찬가지로 제1 플레이트(123)의 이동 경로를 가이드하는 것으로서, 제2 스테이지(121) 상에 제2 스테이지(121)의 폭 방향(제2 방향(20))을 따라 적어도 하나의 라인으로 마련될 수 있다. 제4 가이드 레일 역시 제3 가이드 레일(122)과 마찬가지로 LM 가이드 시스템으로 구현될 수 있다.
제1 플레이트(123)는 제3 가이드 레일(122) 및/또는 제4 가이드 레일을 따라 제2 스테이지(121) 상에서 이동하는 것이다. 제1 플레이트(123)는 제3 가이드 레일(122)을 따라 기판(G)과 나란히 이동할 수 있으며, 제4 가이드 레일을 따라 기판(G)에 접근하거나 기판(G)으로부터 멀어질 수도 있다.
캘리브레이션 보드(124)는 기판(G) 상에서의 기판 처리액의 토출 위치를 측정하기 위한 것이다. 이러한 캘리브레이션 보드(124)는 얼라인 마크(Align Mark), 눈금자 등을 포함하여 제1 플레이트(123) 상에 설치될 수 있으며, 제1 플레이트(123)의 길이 방향(제1 방향(10))을 따라 마련될 수 있다.
비전 모듈(125)은 기판 처리액의 토출 위치, 기판 처리액의 토출 여부 등을 측정하기 위해 기판(G)에 대한 영상 정보를 획득하는 것이다. 비전 모듈(125)은 에어리어 스캔 카메라(Area Scan Camera), 라인 스캔 카메라(Line Scan Camera) 등을 포함할 수 있으며, 실시간으로 기판(G)에 대한 영상 정보를 획득할 수 있다. 한편, 비전 모듈(125)은 기판 처리액이 토출된 기판(G)에 대한 정보와 더불어 캘리브레이션 보드(124)에 대한 정보도 획득하여 제공할 수 있다.
비전 모듈(125)은 기판(G) 등을 촬영하기 위해 갠트리 유닛(130)의 측부나 하부에 마련될 수 있다. 비전 모듈(125)은 예를 들어, 잉크젯 헤드 유닛(140)의 측면에 부착되는 형태로 설치될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 비전 모듈(125)은 제1 플레이트(123) 상에 마련되는 것도 가능하다. 한편, 비전 모듈(125)은 기판 처리 장치(100) 내에 복수 개 마련될 수도 있으며, 고정 설치되거나 이동 가능하게 설치될 수도 있다.
갠트리 유닛(130)은 잉크젯 헤드 유닛(140)을 지지하는 것이다. 이러한 갠트리 유닛(130)은 잉크젯 헤드 유닛(140)이 기판(G) 상에 기판 처리액을 토출할 수 있도록 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121)의 상부에 마련될 수 있다.
갠트리 유닛(130)은 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121)의 폭 방향(제2 방향(20))을 길이 방향으로 하여 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121) 상에 마련될 수 있다. 갠트리 유닛(130)은 제1 가이드 레일(1st Guide Rail; 170a) 및 제2 가이드 레일(2nd Guide Rail; 170b)을 따라 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121)의 길이 방향(제1 방향(10))으로 이동할 수 있다. 한편, 제1 가이드 레일(170a) 및 제2 가이드 레일(170b)은 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121)의 길이 방향(제1 방향(10))을 따라 제1 스테이지(111) 및 제2 스테이지(121)의 외측에 마련될 수 있다.
한편, 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 기판 처리 장치(100)는 갠트리 이동 유닛을 더 포함할 수 있다. 갠트리 이동 유닛은 제1 가이드 레일(170a) 및 제2 가이드 레일(170b)을 따라 갠트리 유닛(130)을 이동시키는 것이다. 갠트리 이동 유닛은 갠트리 유닛(130)의 내부에 설치될 수 있으며, 제1 이동 모듈(미도시) 및 제2 이동 모듈(미도시)을 포함하여 구성될 수 있다. 제1 이동 모듈 및 제2 이동 모듈은 갠트리 유닛(130) 내에서 양 단부에 제공될 수 있으며, 제1 가이드 레일(170a) 및 제2 가이드 레일(170b)을 따라 갠트리 유닛(130)을 슬라이딩 이동시킬 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(140)은 기판(G) 상에 액적(Droplet) 형태로 기판 처리액을 토출하는 것이다. 이러한 잉크젯 헤드 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)의 측부나 하부에 제공될 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)에 적어도 하나 설치될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(140)이 갠트리 유닛(130)에 복수 개 설치되는 경우, 복수 개의 잉크젯 헤드 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)의 길이 방향(제2 방향(20))을 따라 일렬로 배치될 수 있다.
잉크젯 헤드 유닛(140)은 기판(G) 상에서 원하는 지점에 위치하기 위해 갠트리 유닛(130)의 길이 방향(제2 방향(20))을 따라 이동할 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 잉크젯 헤드 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)의 높이 방향(제3 방향(30))을 따라 이동할 수 있으며, 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전하는 것도 가능하다.
한편, 잉크젯 헤드 유닛(140)은 갠트리 유닛(130)에 고정되도록 설치되는 것도 가능하다. 이 경우, 갠트리 유닛(130)이 이동 가능하게 제공될 수 있다.
한편, 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 기판 처리 장치(100)는 잉크젯 헤드 이동 유닛을 더 포함할 수 있다. 잉크젯 헤드 이동 유닛은 잉크젯 헤드 유닛(140)을 직선 이동시키거나 회전시키는 것이다. 기판 처리 장치(100)가 복수 개의 잉크젯 헤드 유닛(140)을 포함하여 구성되는 경우, 잉크젯 헤드 이동 유닛은 복수 개의 잉크젯 헤드 유닛(140)을 독립적으로 작동시키기 위해 잉크젯 헤드 유닛(140)의 개수에 대응하여 기판 처리 장치(100) 내에 제공될 수 있다. 한편, 잉크젯 헤드 이동 유닛은 복수 개의 잉크젯 헤드 유닛(140)을 통일적으로 작동시키기 위해 기판 처리 장치(100) 내에 단일 개 제공되는 것도 가능하다.
한편, 도 1에는 도시되어 있지 않지만, 잉크젯 헤드 유닛(140)은 노즐 플레이트, 복수 개의 노즐, 압전 소자 등을 포함하여 구성될 수 있다. 노즐 플레이트는 잉크젯 헤드 유닛(140)의 몸체를 구성하는 것이다. 복수 개(예를 들어, 128개, 256개 등)의 노즐은 이러한 노즐 플레이트의 하부에 일정 간격을 두고 다행다열(多行多列)로 제공될 수 있으며, 압전 소자는 노즐 플레이트 내에 노즐의 개수에 대응하는 개수만큼 마련될 수 있다. 잉크젯 헤드 유닛(140)은 이와 같이 구성되는 경우, 압전 소자의 작동에 따라 노즐을 통해 기판(G) 상에 기판 처리액을 토출할 수 있다.
한편, 잉크젯 헤드 유닛(140)은 압전 소자에 인가되는 전압에 따라 각각의 노즐을 통해 제공되는 기판 처리액의 토출량을 독립적으로 조절하는 것도 가능하다.
기판 처리액 공급 유닛(150)은 잉크젯 헤드 유닛(140)에 잉크를 공급하는 것이다. 이러한 기판 처리액 공급 유닛(150)은 저장 탱크(150a) 및 압력 제어 모듈(150b)을 포함하여 구성될 수 있다.
저장 탱크(150a)는 기판 처리액을 저장하는 것이며, 압력 제어 모듈(150b)은 저장 탱크(150a)의 내부 압력을 조절하는 것이다. 저장 탱크(150a)는 압력 제어 모듈(150b)에 의해 제공되는 압력을 기반으로 잉크젯 헤드 유닛(140)에 적정량의 기판 처리액을 공급할 수 있다.
제어 유닛(160)은 잉크젯 헤드 유닛(140)에 대해 유지보수를 수행하게 하는 것이다. 이러한 제어 유닛(160)은 메인터넌스 유닛(120)의 측정 결과를 기초로 잉크젯 헤드 유닛(140)에 구비되는 각각의 노즐의 기판 처리액 토출 위치를 보정하거나, 복수 개의 노즐 중에서 불량 노즐(즉, 기판 처리액을 토출하지 않는 노즐)을 검출하여 불량 노즐에 대해 클리닝 작업이 수행되게 할 수 있다. 제어 유닛(160)은 이를 위해 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각각의 구성의 작동을 제어할 수 있다.
제어 유닛(160)은 프로세스 컨트롤러, 제어 프로그램, 입력 모듈, 출력 모듈(또는 표시 모듈), 메모리 모듈 등을 포함하여 컴퓨터나 서버 등으로 구현될 수 있다. 상기에서, 프로세스 컨트롤러는 기판 처리 장치(100)를 구성하는 각각의 구성에 대해 제어 기능을 실행하는 마이크로 프로세서를 포함할 수 있으며, 제어 프로그램은 프로세스 컨트롤러의 제어에 따라 기판 처리 장치(100)의 각종 처리를 실행할 수 있다. 메모리 모듈은 각종 데이터 및 처리 조건에 따라 기판 처리 장치(100)의 각종 처리를 실행시키기 위한 프로그램 즉, 처리 레시피가 저장되는 것이다.
본 발명에서는 앞서 설명한 바와 같이 드롭 사이즈(Drop Size)가 다른 복수의 노즐을 하나의 팩(Pack)으로 구성하며, 이와 같이 구성된 팩에 속하는 노즐을 이용하여 기판에 대해 픽셀 인쇄를 할 수 있다. 이하에서는 이와 같은 방법에 대해 자세하게 설명하기로 한다.
상기의 방법은 기판 처리 장치(100)를 구성하는 제어 유닛(160)에 의해 수행될 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 상기의 방법을 수행하기 위해, 제어 유닛(160)과 별도로 마련된 제어 장치(예를 들어, 컴퓨터)가 기판 처리 장치(100)에 포함되는 것도 가능하다. 이하에서는 상기의 방법이 기판 처리 장치(100)를 구성하는 제어 유닛(160)에 의해 수행되는 경우를 예로 들어 설명하기로 한다.
동일한 드롭 사이즈를 가지는 복수 개의 노즐을 하나의 팩으로 구성하면, 이 팩을 구성하는 노즐을 이용하여 픽셀(Pixel)이 정해진 크기의 볼륨(Volume)을 가지도록 하는 데에는 어려움이 따른다.
예를 들어 설명하면, 300㎛ 크기의 한 개의 픽셀에 100pl의 볼륨을 채운다고 가정하면, 20㎛ 크기의 노즐 15개가 하나의 팩으로 구성되어 픽셀을 인쇄하는 데에 참여할 수 있다.
상기의 경우, 각각의 노즐이 한 번의 드롭(Drop)으로 6pl의 볼륨을 채울 수 있다면, 1 Swath 및 1 Drop시 15개의 노즐이 90pl의 볼륨을 채울 수 있다. 따라서 100pl의 볼륨을 모두 채우려면 1 Swath 및 2 Drop 이상 인쇄 작업을 진행하거나, 2 Swath 이상 인쇄 작업을 진행해야 100pl의 볼륨을 채우는 것이 가능해진다.
또한, 각각의 노즐이 한 번의 드롭으로 7pl의 볼륨을 채울 수 있다면, 1 Swath 및 1 Drop시 15개의 노즐이 105pl의 볼륨을 채우게 되어, 오히려 5pl을 초과하는 문제가 생길 수 있다.
상기의 예시와 같이 픽셀 인쇄의 경우, 픽셀의 길이만큼 가용하는 노즐을 믹싱(Mixing)하여 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 인쇄하고자 하는 경우, 원하는 볼륨을 채울 수 있을 때까지 1 Scan(2 Swath)을 반복해야 하는 불편이 있으며, 정해진 볼륨에 맞추어 기판 상에 액적을 토출한다는 것이 용이하지 않은 문제가 있다.
본 발명에서는 이러한 문제를 해결하기 위해, 드롭 사이즈가 다른 복수 개의 노즐을 하나의 팩으로 구성하고, 이와 같이 구성된 팩에 속하는 노즐을 이용하여 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 픽셀 인쇄를 하는 것을 특징으로 한다.
예를 들어 설명하면, 앞서 설명한 바와 같이 300㎛ 크기의 한 개의 픽셀에 100pl의 볼륨을 채운다고 가정하자. 이 경우, 20㎛ 크기의 노즐 15개가 하나의 팩으로 구성되어 픽셀을 인쇄하는 데에 참여할 수 있다.
상기의 경우, 7pl의 볼륨을 채울 수 있는 노즐 10개와 6pl의 볼륨을 채울 수 있는 노즐 5개를 하나의 팩으로 구성하면, 1 Swath 및 1 Drop으로 15개의 노즐이 100pl의 볼륨을 정확하게 채울 수가 있다. 따라서 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 인쇄하는 데에 1 Scan을 반복해야 하는 불편이 없으며, 빠른 시간 내에 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 인쇄함으로써 생산성 향상도 도모하는 효과를 얻을 수 있다.
제어 유닛(160)은 픽셀이 정해진 크기의 볼륨을 가지도록 인쇄하기 위해, 드롭 사이즈가 다른 복수 개의 노즐을 하나의 팩으로 구성할 수 있다. 제어 유닛(160)은 드롭 사이즈가 다른 두 종류의 노즐을 각각 적어도 하나 이상 포함하여 하나의 팩을 구성할 수 있다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 제어 유닛(160)은 드롭 사이즈가 다른 세 종류 이상의 노즐을 각각 적어도 하나 이상 포함하여 하나의 팩을 구성하는 것도 가능하다.
하나의 잉크젯 헤드(210)에는 도 2에 도시된 바와 같이 동일한 볼륨(w1)의 액적을 기판 상에 토출하는 노즐(220)이 복수 개 설치될 수 있다. 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따라 잉크젯 헤드를 구성하는 노즐을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 하나의 잉크젯 헤드(210)에는 도 3에 도시된 바와 같이 서로 다른 볼륨(w1, w2, w3, w4)의 액적을 기판 상에 토출하는 노즐(220, 230, 240, 250)이 복수 개 설치되는 것도 가능하다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 잉크젯 헤드를 구성하는 노즐을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
여기서는, 하나의 잉크젯 헤드(210)에 서로 다른 볼륨(w1, w2, w3, w4)의 액적을 기판 상에 토출하는 노즐(220, 230, 240, 250)이 복수 개 설치되는 경우를 예로 들어 설명한다.
먼저 도 4를 참조하여 전자의 경우 즉, 드롭 사이즈가 다른 두 종류의 노즐을 각각 포함하여 하나의 팩을 구성하는 경우에 대해 설명하면 다음과 같다.
복수 개의 잉크젯 헤드(210a, 210b, …, 210k, …, 210n) 중 제k 잉크젯 헤드(210k)에는 4pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제1 노즐(220), 6pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제2 노즐(230), 7pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제3 노즐(240), 9pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제4 노즐(250) 등이 각각 복수 개 설치될 수 있다.
이 경우, 제어 유닛(160)은 제2 노즐(230) 5개와 제3 노즐(240) 10개를 제1 팩(310)으로 구성할 수 있으며, 이 제1 팩(310)을 구성하는 제2 노즐(230) 및 제3 노즐(240)을 이용하여 한 번의 드롭으로 픽셀이 100pl의 볼륨을 가지도록 픽셀 인쇄를 할 수 있다. 도 4는 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제1 예시도이다.
다음으로, 도 5를 참조하여 후자의 경우 즉, 드롭 사이즈가 다른 세 종류의 노즐을 각각 포함하여 하나의 팩을 구성하는 경우에 대해 설명하면 다음과 같다.
상기의 경우, 제어 유닛(160)은 제1 노즐(220) 5개와 제3 노즐(240) 5개 및 제4 노즐(250) 5개를 제2 팩(320)으로 구성할 수 있으며, 이 제2 팩(320)을 구성하는 제1 노즐(220), 제3 노즐(240) 및 제4 노즐(250)을 이용하여 한 번의 드롭으로 픽셀이 100pl의 볼륨을 가지도록 픽셀 인쇄를 할 수 있다. 도 5는 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
한편, 앞서 설명하였지만, 하나의 잉크젯 헤드(210)에는 동일한 볼륨의 액적을 기판 상에 토출하는 노즐만이 설치될 수도 있다. 이하에서는 이 경우에 대해 설명한다.
먼저 도 6을 참조하여 전자의 경우 즉, 드롭 사이즈가 다른 두 종류의 노즐을 각각 포함하여 하나의 팩을 구성하는 경우에 대해 설명한다.
복수 개의 잉크젯 헤드(210a, 210b, …, 210k, …, 210n) 중 제1 잉크젯 헤드(210a)에는 4pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제1 노즐(220)이 복수 개 설치될 수 있다. 그리고, 제2 잉크젯 헤드(210b)에는 6pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제2 노즐(230)이 복수 개 설치될 수 있으며, 제3 잉크젯 헤드(210c)에는 7pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제3 노즐(240)이 복수 개 설치될 수 있다. 또한, 제4 잉크젯 헤드(210d)에는 9pl의 볼륨에 해당하는 액적을 기판 상에 토출하는 제4 노즐(250)이 복수 개 설치될 수 있다.
상기의 경우, 제어 유닛(160)은 제2 잉크젯 헤드(210b)에서 5개의 제2 노즐(230)을 추출하고 제3 잉크젯 헤드(210c)에서 10개의 제3 노즐(240)을 추출하여, 제2 노즐(230) 5개와 제3 노즐(240) 10개를 제3 팩(330)으로 구성할 수 있다. 제어 유닛(160)은 이 제3 팩(330)을 구성하는 제2 노즐(230) 및 제3 노즐(240)을 이용하여 한 번의 드롭으로 픽셀이 100pl의 볼륨을 가지도록 픽셀 인쇄를 할 수 있다. 도 6은 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제3 예시도이다.
다음으로, 도 7을 참조하여 후자의 경우 즉, 드롭 사이즈가 다른 세 종류의 노즐을 각각 포함하여 하나의 팩을 구성하는 경우에 대해 설명한다.
상기의 경우, 제어 유닛(160)은 제1 잉크젯 헤드(210a)에서 5개의 제1 노즐(220)을 추출하고 제3 잉크젯 헤드(210c)에서 5개의 제3 노즐(240)을 추출하고 제4 잉크젯 헤드(210d)에서 5개의 제4 노즐(250)을 추출하여, 제1 노즐(220) 5개와 제3 노즐(240) 5개 및 제4 노즐(250) 5개를 제4 팩(340)으로 구성할 수 있다. 제어 유닛(160)은 이 제4 팩(340)을 구성하는 제1 노즐(220), 제3 노즐(240) 및 제4 노즐(250)을 이용하여 한 번의 드롭으로 픽셀이 100pl의 볼륨을 가지도록 픽셀 인쇄를 할 수 있다. 도 7은 드롭 사이즈에 따라 노즐을 믹싱하여 팩을 구성하는 방법을 설명하기 위한 제4 예시도이다.
이상 도 2 내지 도 7을 참조하여 드롭 사이즈가 다른 복수 개의 노즐을 하나의 팩으로 구성하는 방법에 대하여 설명하였다. 제어 유닛(160)은 드롭 사이즈가 다른 노즐을 하나의 잉크젯 헤드에서 추출하여 팩을 구성할 수 있을 뿐만 아니라, 드롭 사이즈가 다른 노즐을 복수 개의 잉크젯 헤드에서 추출하여 팩을 구성할 수도 있다.
기판 처리 장치(100)가 기판(G) 상에 액적(Droplet)을 토출하여 기판(G)에 픽셀 인쇄를 하는 경우, 제어 유닛(160)은 픽셀의 부피(Volume)에 따라 드롭 사이즈(Drop Size)가 다른 두 종류 이상의 노즐을 혼합(Mixing) 구성하여 하나의 팩(Pack)으로 구성할 수 있다.
이 경우, 제어 유닛(160)은 픽셀의 부피에 따른 팩 구성을 위해 도 8에 도시된 바와 같이 홈 정보 획득부(410), 픽셀 정보 결정부(420), 노즐 추출부(430) 및 팩 구성부(440)를 포함하여 구성될 수 있다. 도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 내부 모듈을 개략적으로 도시한 블록도이다.
홈 정보 획득부(410)는 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득할 수 있다. 노광 공정(Photo-lithography Process)을 거치면, 기판(G) 상에는 픽셀 단위로 홈이 형성될 수 있다. 기판 처리 장치(100)는 기판(G) 상의 상기 홈에 액적을 토출하여 기판(G)에 픽셀 인쇄를 할 수 있다.
홈 정보 획득부(410)는 입력 수단으로 마련되어 관리자로부터 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보를 입력받을 수 있다. 그러나 본 실시예가 이에 한정되는 것은 아니다. 홈 정보 획득부(410)는 통신 수단으로 마련되어 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보를 유선/무선으로 전송받는 것도 가능하다. 한편, 홈 정보 획득부(410)는 기판 처리 장치(100)의 비전 모듈(125)과 연동되어 비전 모듈(125)이 기판(G)을 촬영하여 얻은 이미지 정보로부터 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보를 생성하는 것도 가능하다.
한편, 홈 정보 획득부(410)는 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보로 홈의 직경(또는 반경), 홈의 깊이 등을 획득할 수 있다.
픽셀 정보 결정부(420)는 홈 정보 획득부(410)에 의해 획득된, 기판(G) 상에 형성된 홈에 대한 정보를 바탕으로 각각의 홈에 형성될 픽셀에 대한 정보를 결정할 수 있다. 즉, 픽셀 정보 결정부(420)는 각각의 홈에 형성될 픽셀의 부피(볼륨)를 결정할 수 있다.
노즐 추출부(430)는 픽셀 정보 결정부(420)에 의해 결정된, 기판(G) 상의 각각의 홈에 형성될 픽셀의 부피를 토대로 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출할 수 있다.
노즐 추출부(430)는 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출하기 위해, 잉크젯 헤드에 구비되는 노즐의 드롭 사이즈에 대한 정보를 획득할 수 있다. 노즐 추출부(430)는 노즐의 드롭 사이즈에 대한 정보가 획득되면, 이 정보를 바탕으로 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출할 수 있다.
예를 들어, 잉크젯 헤드에 드롭 사이즈가 스몰 타입(Small Type)인 노즐, 드롭 사이즈가 미디움 타입(Medium Type)인 노즐, 드롭 사이즈가 라지 타입(Large Type)인 노즐 등이 있는 경우, 노즐 추출부(430)는 이러한 노즐들의 드롭 사이즈에 대한 정보를 획득하고, 이후 이 정보를 바탕으로 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출할 수 있다.
노즐 추출부(430)는 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출하는 경우, 드롭 사이즈를 결정한 후, 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출할 수 있다.
예를 들어, 픽셀의 부피가 100pl이고, 잉크젯 헤드에 드롭 사이즈가 6pl인 노즐, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐, 드롭 사이즈가 25pl인 노즐 등이 있는 경우, 노즐 추출부(430)는 드롭 사이즈가 다른 모든 유형의 노즐을 사용하기로 결정한 후, 픽셀의 부피 100pl을 채우기 위해 참여할 노즐로 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 4개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 2개, 드롭 사이즈가 25pl인 노즐 2개 등을 추출할 수 있다.
또는, 노즐 추출부(430)는 드롭 사이즈가 다른 일부 유형의 노즐을 사용하기로 결정한 후, 픽셀의 부피 100pl을 채우기 위해 참여할 노즐로 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 8개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 4개 등을 추출할 수 있다.
한편, 노즐 추출부(430)는 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출하는 경우, 노즐의 개수를 결정한 후, 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐을 추출할 수 있다.
예를 들어, 픽셀의 부피가 100pl이고, 잉크젯 헤드에 드롭 사이즈가 6pl인 노즐, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐, 드롭 사이즈가 25pl인 노즐 등이 있는 경우, 노즐 추출부(430)는 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐의 개수를 8개로 결정할 수 있다. 이 경우, 노즐 추출부(430)는 픽셀의 부피 100pl을 채우기 위해 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 4개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 2개, 드롭 사이즈가 25pl인 노즐 2개 등을 참여 노즐로 추출할 수 있다.
또한, 노즐 추출부(430)는 각각의 홈에 액적을 토출하는 데에 참여할 노즐의 개수를 12개로 결정할 수 있다. 이 경우, 노즐 추출부(430)는 픽셀의 부피 100pl을 채우기 위해 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 8개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 4개 등을 참여 노즐로 추출할 수 있다.
한편, 잉크젯 헤드에 구비된 노즐로 픽셀의 부피를 정확하게 채우지 못하는 경우도 있을 수 있다. 예를 들어, 잉크젯 헤드에 드롭 사이즈가 6pl인 노즐, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐, 드롭 사이즈가 30pl인 노즐 등이 있고, 픽셀의 부피로 105pl을 채워야 하는 경우, 상기 드롭 사이즈를 가지는 노즐들로는 픽셀의 부피 105pl을 정확하게 채울 수가 없다.
따라서 이 경우에는, 기준값(즉, 105pl)을 초과하되, 기준값과의 오차가 가장 적도록(예를 들어, 106pl) 참여 노즐을 추출할 수 있다. 예를 들어, 노즐 추출부(430)는 토탈 106pl의 액적을 토출할 수 있도록 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 4개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 4개, 드롭 사이즈가 30pl인 노즐 1개 등을 참여 노즐로 추출할 수 있다.
또는, 노즐 추출부(430)는 드롭 사이즈가 6pl인 노즐 9개, 드롭 사이즈가 13pl인 노즐 4개 등을 참여 노즐로 추출할 수도 있다.
팩 구성부(440)는 노즐 추출부(430)에 의해 참여 노즐이 추출되면, 이 참여 노즐을 하나의 팩으로 구성할 수 있다. 하나의 팩으로 구성된 복수의 노즐은 기판(G) 상의 동일 홈에 액적을 토출할 수 있다.
한편, 기판(G) 상에는 동일한 크기를 가지는 복수의 홈이 형성될 수 있지만, 서로 다른 크기를 가지는 복수의 홈이 형성될 수도 있다. 예를 들어, 기판(G) 상에는 도 9에 도시된 바와 같이 75인치 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용될 제1 셀 영역(510) 6개가 형성될 수 있다. 이 경우에는 기판(G) 상에 동일한 크기를 가지는 복수의 홈이 형성될 것이므로, 제어 유닛(160)은 도 8을 참조하여 설명한 방법에 따라 드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 추출하여 팩을 구성할 수 있다.
반면, 기판(G) 상에는 도 10에 도시된 바와 같이 75인치 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용될 제1 셀 영역(510) 3개와 65인치 디스플레이 장치를 제조하는 데에 이용될 제2 셀 영역(520) 4개가 형성될 수도 있다. 이 경우에는 기판(G) 상에 제1 셀 영역(510)에 형성된 제1 크기의 홈, 및 제2 셀 영역(520)에 형성된 제1 크기보다 작은 제2 크기의 홈이 각각 형성될 것이므로, 제어 유닛(160)은 다음과 같은 방법에 따라 팩을 구성할 수 있다.
첫째, 제어 유닛(160)은 제1 크기의 홈 및 제2 크기의 홈 중 어느 하나의 홈과 관련하여 도 8을 참조하여 설명한 방법에 따라 드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 추출하여 팩을 구성할 수 있다. 이후, 제어 유닛(160)은 다른 하나의 홈과 관련하여 도 8을 참조하여 설명한 방법에 따라 드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 추출하여 팩을 구성할 수 있다.
둘째, 제어 유닛(160)은 제1 크기의 홈 및 제2 크기의 홈 각각과 관련하여 동시에 드롭 사이즈가 다른 복수의 노즐을 추출하여 팩을 구성할 수 있다. 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 다양한 기능을 설명하기 위한 제1 예시도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 처리 장치를 구성하는 제어 유닛의 다양한 기능을 설명하기 위한 제2 예시도이다.
Pixel 1개의 Drop 볼륨이 100pl, 190.3pl이라고 가정했을 때의 예를 들어 보면 스몰(S) 타입의 Head는 6pl이고, 미디움(M) 타입의 Head는 13pl이다. 본 발명에 따라 Pack을 구성하여 Nozzle을 Mix하면, 전체 Drop 수가 줄어들어 Swath가 개선되고, 타겟 볼륨 대비 오차율도 줄어들게 된다. 이하 예를 들어 이 부분에 대해 설명한다.
종래의 Pack의 경우, S(스몰) 타입을 5개로 구성할 수 있다. 반면, 본 발명에 따른 Pack의 경우, S(스몰) 타입과 M(미디움) 타입을 SMSMS 또는 MSMSM으로 구성할 수 있다. 각 Head의 Nozzle 1 drop의 볼륨은 S = 6pl, M = 13pl을 기준으로 한다.
도 11은 100pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제1 예시도이고, 도 12는 100pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 11에 따르면, 스몰 Head 구성시 16 Drop에 96pl이 가능하고 17 Drop에 102pl이 가능하다. 따라서 전자의 경우 타겟 볼륨 대비 4%의 오차가 발생하고, 후자의 경우 타겟 볼륨 대비 2%의 오차가 발생한다.
반면, 도 12에 따르면, 스몰 + 미디움 Head 구성시 12 Drop에 100pl이 가능하다. 따라서 타겟 볼륨 대비 0%의 오차가 발생하며, 본 발명에 따른 Pack 구성으로 타겟 볼륨을 정확하게 맞추는 효과를 얻을 수 있는 것이다.
도 13은 190.3pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제1 예시도이고, 도 14는 190.3pl의 타겟 볼륨을 맞추는 경우를 설명하기 위한 제2 예시도이다.
도 13에 따르면, 스몰 Head 구성시 32 Drop에 192pl이 가능하다. 따라서 타겟 볼륨 대비 0.885%의 오차가 발생한다.
반면, 도 14에 따르면, 스몰 + 미디움 Head 구성시 20 Drop에 190pl이 가능하다. 따라서 타겟 볼륨 대비 0.157%의 오차가 발생하며, 본 발명에 따른 Pack 구성으로 Drop 수를 감소시켜 Scan 횟수를 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 타겟 볼륨 대비 오차도 감소시키는 효과를 얻을 수 있는 것이다.
본 발명은 잉크젯 헤드 제어 방법에 관한 것으로서, 특히 드롭 사이즈가 다른 노즐이나 서로 다른 헤드의 노즐을 팩 단위로 구성하는 인쇄 방법에 관한 것이다.
본 발명은 잉크젯 헤드를 N개로 구성할 때, 젯팅 시그널(Jetting Signal) 특성이 동일한 Head의 2종, 3종 볼륨이 다른 Pack 구성을 통해서 노즐 & 볼륨 Mix를 할 수 있는 인쇄 방법이다. 미세 Drop 제어를 위해서 다수 Head를 Pack으로 구성할 경우 단일 모델이 아닌 볼륨량이 다른 Head 구성을 통해서 Nozzle과 볼륨을 Mix할 수 있는 인쇄 기능으로, 본 구성을 통해서 인쇄의 Scan(Swath)가 줄어들어 생산성 향상의 결과를 가져올 수 있다.
이상과 같이 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
100: 기판 처리 장치 110: 공정 처리 유닛
120: 메인터넌스 유닛 130: 갠트리 유닛
140: 잉크젯 헤드 유닛 150: 기판 처리액 공급 유닛
160: 제어 유닛 210: 잉크젯 헤드
210a: 제1 잉크젯 헤드 210b: 제2 잉크젯 헤드
210c: 제3 잉크젯 헤드 210d: 제4 잉크젯 헤드
210k: 제k 잉크젯 헤드 220: 제1 노즐
230: 제2 노즐 240: 제3 노즐
250: 제4 노즐 310: 제1 팩
320: 제2 팩 330: 제3 팩
340: 제4 팩 410: 홈 정보 획득부
420: 픽셀 정보 결정부 430: 노즐 추출부
440: 팩 구성부 510: 제1 셀 영역
520: 제2 셀 영역

Claims (20)

  1. 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 단계;
    추출된 노즐을 팩으로 구성하는 단계; 및
    상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 기판 상의 동일 위치에 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 하는 단계를 포함하는 기판 처리 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 추출하는 단계는 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 적어도 하나 추출하는 기판 처리 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 추출하는 단계는 드롭 사이즈를 복수 개 선택한 후, 각각의 드롭 사이즈와 관련된 노즐을 추출하거나, 또는 노즐의 개수를 선택한 후, 선택된 개수를 토대로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 방법.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 추출하는 단계는 하나의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하거나, 또는 복수 개의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    하나의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 경우, 상기 하나의 헤드는 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 복수 개 포함하는 기판 처리 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    복수 개의 헤드에서 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 경우, 각각의 헤드는 드롭 사이즈가 동일한 노즐을 복수 개 포함하며, 서로 다른 헤드에 포함된 노즐은 드롭 사이즈가 서로 다른 기판 처리 방법.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득하는 단계; 및
    상기 홈에 대한 정보를 기초로 상기 홈에 형성되는 픽셀의 부피를 결정하는 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 획득하는 단계는 상기 기판을 촬영하여 얻은 이미지를 기초로 상기 홈에 대한 정보를 획득하는 기판 처리 방법.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 홈에 대한 정보는 상기 홈의 직경 및 상기 홈의 깊이를 포함하는 기판 처리 방법.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 추출하는 단계는 잉크젯 헤드에 포함된 노즐의 드롭 사이즈를 분석하고, 그 분석 결과를 기초로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 방법.
  11. 제 10 항에 있어서,
    픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능한지 여부를 판별하는 단계를 더 포함하는 기판 처리 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능하지 않은 경우, 상기 추출하는 단계는 상기 픽셀의 부피를 초과하되 상기 픽셀의 부피로부터 오차가 가장 적도록 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 방법.
  13. 제 7 항에 있어서,
    상기 획득하는 단계는 크기가 다른 디스플레이 장치를 제조하기 위한 셀 영역이 각각 형성되는 경우, 각각의 셀 영역과 관련하여 상기 홈에 대한 정보를 획득하는 기판 처리 방법.
  14. 기판 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득하는 단계;
    상기 홈에 대한 정보를 기초로 상기 홈에 형성되는 픽셀의 부피를 결정하는 단계
    상기 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 추출하는 단계;
    추출된 노즐을 팩으로 구성하는 단계; 및
    상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 상기 기판 상의 동일 위치에 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 하는 단계를 포함하되,
    상기 추출하는 단계는 잉크젯 헤드에 포함된 노즐의 드롭 사이즈를 분석하고, 그 분석 결과를 기초로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하며,
    픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능한지 여부를 판별하고, 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능하지 않은 경우, 상기 추출하는 단계는 상기 픽셀의 부피를 초과하되 상기 픽셀의 부피로부터 오차가 가장 적도록 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 방법.
  15. 기판이 처리되는 동안 상기 기판을 지지하는 공정 처리 유닛;
    복수 개의 노즐을 포함하며, 상기 노즐을 통해 상기 기판 상에 기판 처리액을 토출하는 잉크젯 헤드 유닛;
    상기 기판 상에서 상기 잉크젯 헤드 유닛을 이동시키는 갠트리 유닛; 및
    상기 노즐의 작동을 제어하는 제어 유닛을 포함하며,
    상기 제어 유닛은 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하여 팩으로 구성하고, 상기 팩에 포함된 노즐을 이용하여 상기 기판 상의 동일 위치에 상기 기판 처리액을 토출하여 상기 기판에 픽셀 인쇄를 하는 기판 처리 장치.
  16. 제 15 항에 있어서,
    상기 제어 유닛은 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 적어도 하나 추출하는 기판 처리 장치.
  17. 제 15 항에 있어서,
    상기 제어 유닛은 드롭 사이즈를 복수 개 선택한 후, 각각의 드롭 사이즈와 관련된 노즐을 추출하거나, 또는 노즐의 개수를 선택한 후, 선택된 개수를 토대로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 장치.
  18. 제 15 항에 있어서,
    상기 제어 유닛은 상기 기판 상에 형성된 홈에 대한 정보를 획득하고, 상기 홈에 대한 정보를 기초로 상기 홈에 형성되는 픽셀의 부피를 결정하며, 픽셀의 부피를 고려하여 드롭 사이즈가 다른 노즐을 각각 추출하는 기판 처리 장치.
  19. 제 15 항에 있어서,
    상기 제어 유닛은 잉크젯 헤드에 포함된 노즐의 드롭 사이즈를 분석하고, 그 분석 결과를 기초로 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 장치.
  20. 제 15 항에 있어서,
    상기 제어 유닛은 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능한지 여부를 판별하고, 픽셀의 부피에 부합하는 양의 기판 처리액이 토출 가능하지 않은 경우, 상기 픽셀의 부피를 초과하되 상기 픽셀의 부피로부터 오차가 가장 적도록 드롭 사이즈가 다른 노즐을 추출하는 기판 처리 장치.
KR1020210181647A 2021-12-17 2021-12-17 기판 처리 장치 및 방법 KR20230092345A (ko)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210181647A KR20230092345A (ko) 2021-12-17 2021-12-17 기판 처리 장치 및 방법
US18/081,647 US20230191780A1 (en) 2021-12-17 2022-12-14 Substrate treating apparatus and method thereof
CN202211645424.4A CN116265247A (zh) 2021-12-17 2022-12-16 基板处理装置以及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210181647A KR20230092345A (ko) 2021-12-17 2021-12-17 기판 처리 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230092345A true KR20230092345A (ko) 2023-06-26

Family

ID=86744423

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210181647A KR20230092345A (ko) 2021-12-17 2021-12-17 기판 처리 장치 및 방법

Country Status (3)

Country Link
US (1) US20230191780A1 (ko)
KR (1) KR20230092345A (ko)
CN (1) CN116265247A (ko)

Also Published As

Publication number Publication date
CN116265247A (zh) 2023-06-20
US20230191780A1 (en) 2023-06-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20160091255A (ko) 3-차원 물체 프린터에서 z-축 프린트헤드 위치의 식별 및 제어를 위한 시스템 및 방법
JP5152058B2 (ja) 液滴吐出ヘッドの検査方法、液滴吐出ヘッドの検査装置及び液滴吐出装置
JP2007256449A (ja) 液滴噴射検査装置、液滴噴射装置及び塗布体の製造方法
US20170305145A1 (en) Pattern formation device, liquid ejection device, and electrical fault detection method
JP5497654B2 (ja) 液滴塗布方法及び装置
KR20230092345A (ko) 기판 처리 장치 및 방법
US9120325B2 (en) Ejection inspection method and liquid ejection device
US9840087B2 (en) Liquid ejecting apparatus and liquid ejecting method
KR102256058B1 (ko) 기판 인쇄 장치 및 방법
KR102611132B1 (ko) 프린지 정보 측정 장치 및 이를 구비하는 기판 처리 시스템
KR20120018971A (ko) 처리액 토출 장치
JP5243954B2 (ja) カラーフィルタ製造方法およびその装置
KR20230083131A (ko) 기판 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20230046773A (ko) 제어 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20230098987A (ko) 노즐 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
US20240034056A1 (en) Droplet analysis unit and substrate treatment apparatus including the same
KR102611146B1 (ko) 기판 처리 장치의 예열 방법 및 이를 위한 컴퓨터 프로그램
JP2009045547A (ja) 吐出重量測定方法、液滴吐出ヘッドの保守方法、液滴吐出装置、及び液滴吐出方法
KR20230029224A (ko) 기판 처리액 공급 유닛 및 이를 구비하는 기판 처리 장치
KR20230142192A (ko) 액적 검사 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치
KR20230030401A (ko) 이물질 처리 모듈 및 이를 구비하는 기판 처리 장치
KR20240018257A (ko) 기판 처리 장치 및 방법
KR20230062262A (ko) 잉크젯 헤드 세정 시스템 및 잉크젯 헤드 세정 방법
KR20230092633A (ko) 기판 처리 장치 및 방법
KR20230060725A (ko) 기판 처리액 배출 모듈 및 이를 포함하는 기판 처리 장치

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal