KR20230088170A - 압전소자 익사이터의 평가용 지그 및 이를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치 - Google Patents

압전소자 익사이터의 평가용 지그 및 이를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치 Download PDF

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양승호
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소윤지
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Abstract

본 발명은 압전소자 익사이터의 평가용 지그와 이를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치와 관련된다. 본 발명은 실시예로 압전소자 익사이터를 고정하여 평가하기 위한 지그로서, 기저대, 상기 기저대로부터 직립하여 연장되고 상기 압전소자 익사이터의 일측면을 지지하는 제1지지부, 상기 제1지지부와 힌지 결합되고 회동하여 상기 제1지지부와 맞닿음으로써 상기 압전소자 익사이터의 다른 일측면을 지지하는 제2지지부 및 상기 제1지지부와 상기 제2지지부의 사이에 개재된 상태의 상기 압전소자 익사이터를 가압하여 고정시키는 고정부재를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 제시한다.

Description

압전소자 익사이터의 평가용 지그 및 이를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치{Jig for evaluation of piezoelectric element exciter and evaluation device of piezoelectric element exciter including the same}
본 발명은 압전소자를 평가하는 장치에 관한 것으로서, 상세하게는 압전소자 익사이터의 음압을 평가하기 위한 평가용 지그와 이를 포함하는 평가장치와 관련된다.
일반적으로 압전소자는 진동이 가해졌을 때 전압이 발생하고, 전압이 가해졌을 때 기계적인 변형이 일어나는 소자로서 기계적인 진동에너지를 전기에너지로, 전기에너지를 기계적인 진동에너지로 상호 변환이 가능하며 변환효율이 매우 높은 소자로 알려져 있다.
이에 따라 압전소자는, 진동을 전기적인 에너지로 변환할 수 있는 원리를 이용하여 가속도센서 등으로 이용되거나 전기적인 에너지를 가청영역의 소리로 상호 변환할 수 있는 원리를 이용하여 레코드 디스크의 픽 업, 마이크로 폰, 스피커, 버저 등의 소자로 이용된다.
최근에는, 전자 기기의 슬림화 및 박형화와 휴대성에 대한 수요자의 요구가 증가하고 있다. 이에 따라, 스마트폰이나 박형 디스플레이 장치, 휴대용 컴퓨터, 자동차의 오디오 등에 적용하는 스피커 또한 그 크기나 두께가 소형화될 것이 요구되고 있다.
이를 만족시키기 위해서, 기존의 보이스 코일 모터형 스피커에 비해 얇고 가벼우며 소비전력이 적고 응답속도가 상대적으로 우수한 압전스피커를 채용하는 경향이 커지고 있다. 이러한 압전스피커는 일반적으로 익사이터를 포함하여 구성된다.
익사이터는 소리에 힘을 넣어 음상의 윤곽을 확실히 하는 이펙터로서 소리의 고음역 배음을 강조시킴으로써 효과를 얻는다. 압전소자 익사이터는 압전소자를 이용한 익사이터로서 압전소자를 포함하며 압전소자의 진동을 증폭시켜 적절한 크기의 소리로서 출력하여 압전스피커로서 기능하게 한다.
따라서 압전스피커의 음압을 측정할 때 실질적으로 압전소자 익사이터의 음압을 측정하게 되는데 종래에는 압전소자 익사이터의 성능을 평가할 때 이를 적절히 고정시키지 못하여 평가할 때마다 음압 특성이 달라져 제대로 된 평가가 어려웠다.
대한민국 공개특허공보 제10-2021-0129185호 (2021.10.27.)
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 압전소자 익사이터의 음압 평가시 압전소자 익사이터를 적절하게 고정시키고 평가를 수행할 수 있음에 따라 압전소자 익사이터의 음압 평가를 정밀하게 수행할 수 있는 압전소자 익사이터의 평가용 지그 및 이를 포함하는 평가장치를 제시한다.
그 외 본 발명의 세부적인 목적은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.
위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 압전소자 익사이터를 고정하여 평가하기 위한 지그로서, 기저대, 상기 기저대로부터 직립하여 연장되고 상기 압전소자 익사이터의 일측면을 지지하는 제1지지부, 상기 제1지지부와 힌지 결합되고 회동하여 상기 제1지지부와 맞닿음으로써 상기 압전소자 익사이터의 다른 일측면을 지지하는 제2지지부 및 상기 제1지지부와 상기 제2지지부의 사이에 개재된 상태의 상기 압전소자 익사이터를 가압하여 고정시키는 고정부재를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 제시한다.
여기에서 상기 고정부재는 상기 제2지지부에 결합되고, 상기 고정부재를 작동시킴에 따라 가압봉이 상기 제2지지부를 관통하여 상기 압전소자 익사이터를 가압함으로써 고정시킬 수 있다.
또한 상기 고정부재는 4개로 이루어지고, 상기 압전소자 익사이터의 상하좌우의 중앙을 각각 고정시킬 수 있다.
위 과제를 해결하기 위하여 본 발명은 상술한 압전소자 익사이터의 평가용 지그, 상기 압전소자 익사이터에 전기신호를 인가하여 진동을 발생시키는 신호발생부 및 상기 압전소자 익사이터로부터 발생하는 소리의 음압을 측정하는 음압측정부를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치를 제시한다.
본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그는 압전소자 익사이터를 적절하게 고정할 수 있으므로 압전소자 익사이터의 음압 평가를 반복적으로 수행하는 경우에도 음압 특성의 편차가 없고 음압 평가를 정밀하게 수행할 수 있다.
그 외 본 발명의 효과들은 이하에 기재되는 구체적인 내용을 통하여, 또는 본 발명을 실시하는 과정 중에 이 기술분야의 전문가나 연구자에게 자명하게 파악되고 이해될 것이다.
도 1과 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 나타내는 도면.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그에서 제1지지부와 제2지지부가 맞닿는 과정을 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 실시예와 비교예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 이용하여 압전소자 익사이터의 음압을 측정한 결과를 나타내는 그래프.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 이용하여 동일한 압전소자 익사이터의 음압을 3회 반복하여 측정하고 그 결과를 나타내는 그래프.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세하게 설명하고자 한다.
그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함 한다. 본 출원에서의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 구성요소 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 구성요소 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그에 대하여 상세하게 설명한다.
본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그(10)는 압전소자 익사이터(20)를 고정하여 평가하기 위한 지그로서, 기저대(1), 제1지지부(2), 제2지지부(3) 및 고정부재(4)를 포함하여 이루어진다.
기저대(1)는 평가 스테이지 위에 놓여지고 각 구성들이 결합되기 위한 기초를 마련하는 구성이다. 이러한 기저대(1)로부터 제1지지부(2)가 직립하여 연장된다. 제1지지부(2)는 음압 평가를 수행할 때 압전소자 익사이터(20)의 일측면을 지지하게 된다.
한편 제2지지부(3)는 제1지지부(2)와 힌지 결합되고 회동하여 제1지지부(2)와 맞닿음으로써 압전소자 익사이터(20)의 다른 일측면을 지지한다. 제1지지부(2)와 제2지지부(3)가 맞닿음으로써 압전소자 익사이터(20)는 제1지지부(2)와 제2지지부(3) 사이에 개재된 상태로 지지되게 된다.
이때 고정부재(4)는 제1지지부(2)와 제2지지부(3)의 사이에 개재된 상태의 압전소자 익사이터(20)를 가압하여 고정시킨다.
이와 같이 고정된 상태에서 압전소자 익사이터의 음압 평가가 이루어지게 되며 균분된 힘에 의해 견고하게 고정이 이루어지므로 압전소자 익사이터의 음압 평가가 편차없이 정밀하게 수행될 수 있다.
이하 각 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1과 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그를 나타내는 도면이다.
기저대(1)는 제1지지부(2)과 제2지지부(3)을 직립하도록 하여 압전소자 익사이터(20)가 독립된 위치에서 음압 평가를 받을 수 있게 하고, 음압 평가에 있어서 외부 요인의 영향을 차단할 수 있다.
도면을 참조하면 기저대(1)는 직육면체의 플레이트로 형성되고 기저대(1)에 제1지지부(2)가 수직으로 결합된다. 이에 따라 제1지지부(2)과 결합되는 제2지지부(3) 및 고정부재(4)도 직립한 상태가 되며 압전소자 익사이터(20)도 직립한 상태에서 음압 평가가 수행될 수 있다.
제1지지부(2)는 음압 평가시 압전소자 익사이터(20)의 일측을 지지하여 주는 기능을 하는 것으로서, 제1플레이트(21)와 제1플레이트(21)에서 단차를 가지고 형성되는 테두리부재(22)를 포함한다.
도면을 참조하면 제1플레이트(21)는 편평한 사각형의 판 형상으로서 중앙에는 사각형의 홀이 형성되어 있고, 압전소자 익사이터(20)의 일측면이 접촉한다. 제1플레이트(21)는 압전소자 익사이터(20)의 면적과 동일하거나 더 큰 면적을 가질 수 있다.
제1플레이트(21)의 내측면에는 가장자리를 따라 쿠션부재(23)가 구비되어 있어 압전소자 익사이터(20)의 외측 가장자리와 접촉하여 압전소자 익사이터(20)를 탄력적으로 지지한다.
테두리부재(22)는 후술하는 제2지지부(3)가 제1지지부(2)와 맞닿을 때 제2지지부(3)의 측면과 대향하도록 이루어진다. 이에 따라 테두리부재(22)는 제2지지부(3)의 측면을 보호하는 형태가 된다.
한편 테두리부재(22)에는 결합부재(24)가 구비된다. 결합부재(24)는 테두리부재(22)에 설치되는 지지블럭(241)과 지지블럭(241)에 회동 가능하게 결합되는 걸림고리(242)를 포함하여 이루어진다. 걸림고리(242)의 끝단은 경사면으로 이루어지는 것이 바람직하다. 걸림고리(242)는 회동한 후 스프링 작용에 의해 탄성적으로 복원이 가능할 수 있다. 이러한 결합부재(24)에 의해 제2지지부(3)가 제1지지부(2)와 겹쳐질 때 맞닿은 상태를 유지할 수 있다.
도면에서 제1지지부(2)는 사각형의 편평한 판 형상으로 이루어 졌지만 제1지지부(2)는 압전소자 익사이터(20)의 형상에 맞게 대응되는 형상을 가질 수 있다.
한편 제1지지부(2)은 일정 수준의 강성을 가지고 노이즈에 영향을 적게 받는 금속 재질로 이루어질 수 있다.
제2지지부(3)는 압전소자 익사이터(20)의 다른 일측을 지지하여 주는 기능을 하는 것으로서, 편평한 판 형상의 제2플레이트(31)를 포함하여 이루어질 수 있다.
도면을 참조하면 제2플레이트(31)는 제1플레이트(21)와 마찬가지로 사각형의 편평한 판 형상으로 이루어질 수 있고 제1플레이트(21)의 형상과 대응되도록 이루어진다. 이러한 형상은 압전소자 익사이터(20)의 형상에 따라 대응되는 형상으로 변경될 수 있다.
제2플레이트(31)의 내측면에는 가장자리를 다라 쿠션부재(32)가 구비되어 제1플레이트(21)의 내측면에 구비된 쿠션부재(23)와 함께 압전소자 익사이터(20)를 탄력적으로 지지한다.
한편 제2플레이트(31)에서 제1플레이트(21)의 테두리부재(22)와 대향하는 측에는 결합돌기(33)가 구비된다. 결합돌기(33)는 테두리부재(22)에 구비된 결합부재(24)의 수와 동일한 수만큼 구비되고 그 길이는 제2플레이트(31)가 제1플레이트(21)와 온전히 맞닿았을 때 걸림고리(242)의 끝단이 걸리게 되도록 설정한다.
이에 따라 도 3에 도시된 바와 같이 제2지지부(3)를 제1지지부(2)의 방향으로 회전시키면 제2플레이트(31)가 걸림고리(242)의 경사면을 가압하게 되고 걸림고리(242)는 외측방향으로 회동하게 된다. 이어서 결합돌기(33)의 측면이 걸림고리(242)와 닿아 걸림고리(242)의 회동상태가 유지되고 제2플레이트(31)가 제1플레이트(21)와 온전히 맞닿게 되면 걸림고리(242)가 결합돌기(33)의 끝단에 걸릴 수 있게 되어 제1플레이트(21)와 제2플레이트(31)의 결합상태가 유지된다.
이와 같은 구성에 의해 압전소자 익사이터(20)를 지그(10) 내부에 손쉽게 안착시킬 수 있다.
한편 결합돌기(33)의 끝단에는 걸림고리(242)가 걸릴 수 있는 홈이 형성될 수 있다. 이에 따라 제1플레이트(21)와 제2플레이트(31)의 결합 상태를 더욱 견고하게 유지시킬 수 있다.
또한 제2지지부(3) 역시 제1지지부(2)와 마찬가지로 일정 수준의 강성을 가지고 노이즈에 영향을 적게 받는 금속 재질로 이루어질 수 있다
고정부재(4)는 제1지지부(2)와 제2지지부(3)가 압전소자 익사이터(20)를 개재하여 결합된 상태에서 압전소자 익사이터(20)를 가압하여 고정되게 한다.
도면을 참조하면 고정부재(4)는 제2지지부(3)의 상하좌우의 중앙에 각 하나씩 구비되는 회전 가압 고정기구로 이루어질 수 있다.
회전 가압 고정기구로는 예를 들면 사용자가 '1'자 형태의 레버(41)를 잡고 돌리면 레버(41)와 일체화된 고정봉이 비스듬한 홈을 타고 전진 또는 후진함으로써 압전소자 익사이터(20)를 가압할 수 있다.
구체적으로 가압봉(42)은 제2지지부(3)에 형성된 홀을 통해 출몰 가능하도록 이루어져 고정부재(4)를 작동시킴에 따라 가압봉(42)이 제2지지부(3)를 관통하여 압전소자 익사이터(20)를 가압하여 고정시킨다.
이때 고정봉의 끝단에는 쿠션부재가 부착될 수 있고 가압봉(42)이 압전소자 익사이터(20)를 가압함으로써 압전소자 익사이터(20)의 더욱 견고한 고정이 가능하다.
이에 따라 압전소자 익사이터(20)가 진동할 때 불필요한 진동을 방지할 수 있고 압전소자가 발생시키는 고유의 음이 압전소자 익사이터(20)에서 발생할 수 있게 하며 노이즈를 제외한 압전소자 익사이터(20)만의 음압만을 온전히 평가할 수 있다.
한편 위와 같은 지그(10)의 구성에 신호발생부(미도시)와 음압측정부(미도시)를 더 포함하여 압전소자 익사이터의 평가장치를 구성할 수 있다.
신호발생부는 압전소자 익사이터(20)에 전기신호를 인가하여 진동을 발생시킨다. 구체적으로 신호발생부는 압전소자 익사이터(20)를 구성하는 압전소자에 전기신호를 인가하게 된다. 한편 음압측정부는 압전소자 익사이터(20)로부터 발생하는 소리의 음압을 측정하게 된다.
이와 같은 평가장치는 상술한 압전소자 익사이터의 평가용 지그(20)를 채용하고 있으므로 노이즈를 최소화하고 정확한 음압을 측정할 수 있으며 정확하게 음압을 평가할 수 있다.
위와 같이 구성된 압전소자 익사이터의 평가장치는 다음과 같이 사용할 수 있다.
도시된 도면에서 압전소자 익사이터(20)는 압전필름(21)과 이 압전필름(21)이 결합되는 진동판(22)으로 이루어진다. 평가 과정에서 압전소자는 압전필름을 사용하지만 다른 압전소자를 사용할 수도 있고, 진동판(22)은 테스트용의 금속판을 사용하지만 실제 적용에서 진동판(22)은 다른 재질이 될 수도 있고 압전필름이 부착되는 기기에 부속된 부분로서 마련될 수도 있다.
먼저 진동판(22)에 압전필름(21)을 부착시켜 압전소자 익사이터(20)를 구성한다. 다음으로 평가용 지그(10)의 제2지지부(3)을 회동시켜 제1지지부(2)와 분리하고, 제1지지부(2)의 내측면에 압전소자 익사이터(20)의 진동판(22)을 위치시킨다.
이때 압전필름(21)에 연결된 케이블은 제1플레이트(21) 또는 제2플레이트(22)에 형성된 홀을 통해 외측으로 인출시킨다.
이어서 제2지지부(3)을 회동시켜 제1지지부(2)쪽으로 접근시키고 압전소자 익사이터(20)의 진동판(22)이 개재된 상태에서 제1지지부(2)과 맞닿게 한다. 이때 걸림고리(242)가 후퇴 회동하였다가 결합돌기(33)의 끝단이 지나가면 전진 회동하여 결합돌기(33)의 끝단에 걸림으로써 제1지지부(2)와 제2지지부(3)의 결합이 완료되고 진동판(22)은 그 사이에서 고정된다.
다음으로 고정부재(4)를 작동시켜 진동판(22)을 견고하게 고정시킨다. 이에 따라 압전소자 익사이터(20)를 지그(10)에 고정시킬 수 있다.
이후. 압전필름에 전기신호를 인가하고 진동판(22)의 진동으로 인해 발생하는 음압을 측정한다. 이에 따라 압전소자 익사이터(20)의 음압을 측정하고 평가할 수 있다.
상술한 압전소자 평가장치를 이용하여 압전소자의 음압을 평가하였다.
음압 평가는 본 발명의 실시예에 따른 지그(10)와 개발 과정 중 시제품으로 제작한 형태의 지그(10)를 비교하였다.
비교예들은 실시예와 비교해 보았을 때 고정부재(4)가 없는 경우이다. 이 중 비교예 1은 실시예와 같이 일측에만 걸림고리(242)를 구비한 것이고, 비교예 2는 제1지지부(2)와 제2지지부(3)가 힌지결합 없이 제1플레이트와 제2플레이트가 그대로 결합되는 형태로서 걸림고리(242)를 상측과 좌우측의 3개측에 구비한 형태이다.
실시예와 비교예의 음압을 측정하여 도 4에 나타내었고, 측정 구간의 평균 음압을 표 1에 나타내었다.
측정구간 실시예 비교예 1 비교예 2
150~8kHz 64.2 dB 60.6 dB 60.7 dB
20~20kHz 75.6 dB 70.9 dB 70.8 dB
표 1과 도 4를 보았을 때 비교예들보다 실시예에서 음압이 더 높게 나타났으며 정확한 측정이 가능함을 확인할 수 있었다.
한편 실시예 3회를 반복측정하여 도 5에 나타내었고, 측정 구간의 평균 음압을 표 2에 나타내었다.
측정구간 1회 2회 3회
150~8kHz 64.2 dB 64.1 dB 64.3 dB
20~20kHz 75.6 dB 75.7 dB 75.9 dB
표 2와 도 5를 보았을 때 실시예의 경우 3회 측정 모두에서 음압이 동등한 수준으로 측정되어 오차 범위 내의 일정한 측정이 가능함을 확인하였다.
이와 같이 본 발명의 실시예에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그와 이를 포함하는 평가장치는 지그 구조의 특성에 따라 음압 평가의 정밀도가 향상된다. 특히 가청주파수 범위내(20~20kHz)의 평균 음압 결과가 오차범위 ± 0.1dB 으로 정밀도가 높다.
상술한 본 발명의 특정한 설명은 당업자에 의하여 다양하게 실시될 가능성이 있는 것이 자명한 일이다.
이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적 사상이나 전망으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며, 이와 같이 변형된 실시예들은 본 발명의 특허청구범위 내에 속한다고 할 것이다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
1 : 기저대
2 : 제1지지부
21 : 제1플레이트 22 : 테두리부재 23 : 쿠션부재
24 : 결합부재 241 : 지지블럭 242 : 걸림고리
3 : 제2지지부
31 : 제2플레이트 32 : 쿠션부재 33 : 결합돌기
4 : 고정부재
41 : 레버 42 : 가압봉
10 : 지그
20 : 압전소자 익사이터 21 : 압전필름 22 : 진동판

Claims (4)

  1. 압전소자 익사이터를 고정하여 평가하기 위한 지그로서,
    기저대,
    상기 기저대로부터 직립하여 연장되고 상기 압전소자 익사이터의 일측면을 지지하는 제1지지부,
    상기 제1지지부와 힌지 결합되고 회동하여 상기 제1지지부와 맞닿음으로써 상기 압전소자 익사이터의 다른 일측면을 지지하는 제2지지부 및
    상기 제1지지부와 상기 제2지지부의 사이에 개재된 상태의 상기 압전소자 익사이터를 가압하여 고정시키는 고정부재
    를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가용 지그.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 고정부재는 상기 제2지지부에 결합되고,
    상기 고정부재를 작동시킴에 따라 가압봉이 상기 제2지지부를 관통하여 상기 압전소자 익사이터를 가압함으로써 고정시키는
    압전소자 익사이터의 평가용 지그.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 고정부재는 4개로 이루어지고,
    상기 압전소자 익사이터의 상하좌우의 중앙을 각각 고정시키는 압전소자 익사이터의 평가용 지그.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 따른 압전소자 익사이터의 평가용 지그,
    상기 압전소자 익사이터에 전기신호를 인가하여 진동을 발생시키는 신호발생부 및
    상기 압전소자 익사이터로부터 발생하는 소리의 음압을 측정하는 음압측정부
    를 포함하는 압전소자 익사이터의 평가장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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