KR20230077657A - 연삭 장치 - Google Patents

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KR20230077657A
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grinding
grinding wheel
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지로 게노조노
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 스핀들의 선단에 연삭 휠을 장착하여 사용하는 연삭 장치에 있어서, 연삭 휠의 교환을 용이하게 한다.
(해결 수단) 연삭 휠을 스핀들의 선단에 연결된 마운트 디스크에 볼트에 의해 체결하는 연삭 장치로서, 마운트 디스크는, 상하면을 관통하고 원주 상에 등간격으로 배치된 적어도 3개의 암나사 구멍과, 장착면으로부터 돌출하는 볼록부를 가지며, 볼트는, 수나사부와, 수나사의 선단의 네크부와, 네크부로부터 비어져 나온 계합부를 갖는다. 연삭 휠은, 환형 베이스의 피장착면에 환형으로 형성되는 환형 개공과, 환형 개공에 접속되고 환형 개공보다 넓은 폭을 가지며 환형 베이스 내에 환형으로 형성되는 환형 홈과, 환형 개공에 적어도 3개 배치되고 계합부를 환형 홈에 삽입 가능한 삽입 구멍과, 볼록부를 삽입 가능한 볼록부 삽입 구멍을 포함한다.

Description

연삭 장치{GRINDING APPARATUS}
본 발명은, 복수의 연삭 지석이 환형으로 배치된 연삭 휠을 구비한 연삭 장치에 관한 것이다.
반도체 웨이퍼 등의 각종 판형의 피가공물을 연삭하는 연삭 장치는, 스핀들의 선단부에 마운트 디스크를 구비하고, 마운트 디스크에 연삭 휠이 장착되어 사용된다. 연삭 휠의 하면 측에는 환형으로 배치된 복수의 연삭 지석을 구비하고, 스핀들을 회전시키는 것에 의해 연삭 지석을 회전시키고, 회전하는 연삭 지석을 피가공물에 접촉시키는 것에 의해 연삭을 실시하고 있다. 연삭 지석이 마모되면, 연삭 휠을 교환할 필요가 있기 때문에, 연삭 휠의 교환을 용이하게 하기 위한 기구가 제안되어 있다.
예를 들어, 하기 특허문헌 1에서는, 스핀들 측의 베이스에 제1 척 클로와 제2 척 클로를 구비하고, 이들이 연삭 휠을 지지하는 구성으로 하여, 나사에 의한 고정 등의 번잡한 작업을 필요로 하지 않는 연삭 장치가 제안되어 있다. 또한, 하기의 특허문헌 2에서는, 연삭 유닛의 휠 계합부를 척 테이블에 재치된 연삭 휠에 근접시켜 가서 연삭 휠에 계합시키는 것에 의해, 연삭 휠을 스핀들에 장착하는 연삭 장치가 제안되어 있다.
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2019-202399호 특허문헌 2: 일본 공개특허공보 2021-112781호
그러나, 기존의 연삭 장치에 상기 특허문헌 1, 2에 개시되어 있는 바와 같은 기구를 구비하기 위해서는, 마운트 디스크를 개조할 필요가 있다. 또한, 개조에 의해 무거워진 마운트 디스크에 대응하여 스핀들을 회전시키는 모터를 제어하는 모터 컨트롤러의 설정을 변경할 필요가 있어, 연삭 장치의 개조 및 설정의 변경에 시간이 걸린다. 또한, 마운트 디스크가 장착되는 스핀들 자체의 교환을 필요로 하는 경우도 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 스핀들의 선단에 연삭 휠을 장착하여 사용하는 연삭 장치에 있어서, 기존의 연삭 장치에 있어서의 마운트 디스크의 개조를 짧은 시간에 실시하여, 연삭 휠의 교환을 용이하게 할 수 있는 연삭 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 따르면, 환형 베이스에 환형으로 복수의 연삭 지석을 고정한 연삭 휠을, 스핀들의 선단에 연결된 마운트 디스크에 볼트에 의해 체결하고, 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 장치로서, 상기 마운트 디스크는, 상하면을 관통하고 원주 상에 등간격으로 배치된 적어도 3개의 암나사 구멍과, 상기 연삭 휠을 장착하는 장착면으로부터 돌출되는 복수의 볼록부를 포함하고, 상기 볼트는, 수나사부와, 그 수나사부의 선단에 연결되는 네크부와, 상기 네크부의 선단에 연결되고 상기 네크부로부터 비어져 나온 계합부를 포함하고, 상기 연삭 휠은, 상기 환형 베이스의 피장착면에 환형으로 형성되는 환형 개공과, 그 환형 개공에 접속되고 상기 환형 개공보다 넓은 폭을 가지며 상기 환형 베이스 내에 환형으로 형성되는 환형 홈과, 상기 환형 개공에 적어도 3개 배치되고 상기 계합부를 상기 환형 홈에 삽입 가능한 삽입 구멍과, 상기 볼록부를 삽입 가능한 복수의 볼록부 삽입 구멍을 포함하고, 상기 마운트 디스크에 상기 연삭 휠을 장착할 때는, 상기 암나사 구멍에 상기 수나사부를 나사 삽입시켜 상기 장착면으로부터 상기 계합부를 돌출시키고, 상기 삽입 구멍으로부터 상기 환형 홈에 상기 계합부를 삽입시킨 후, 상기 마운트 디스크와 상기 연삭 휠을 상대적으로 회전시키고, 상기 볼록부 삽입 구멍과 상기 볼록부가 일치한 위치에서 상기 볼트를 회전시켜, 상기 볼록부 삽입 구멍에 상기 볼록부를 삽입시킴과 함께, 상기 마운트 디스크와 상기 연삭 휠을 상기 볼트로 체결하는 연삭 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 볼록부, 상기 계합부, 상기 삽입 구멍, 상기 볼록부 삽입 구멍은, 원기둥 형상으로 형성되어 있다.
본 발명의 연삭 장치에서는, 마운트 디스크에 복잡한 기구를 구비하지 않고, 연삭 휠의 교환을 용이하게 실시할 수 있기 때문에, 마운트 디스크가 무거워지는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 스핀들을 회전시키는 모터의 컨트롤러의 설정을 바꾸지 않아도 된다. 또한, 연삭 휠을 흡인력에 의해 유지할 필요도 없기 때문에, 흡인원과 연통시킬 필요가 없고, 스핀들을 교환할 필요도 없다.
도 1은, 연삭 장치의 일례를 도시하는 사시도이다.
도 2는, 마운트 디스크의 실시 형태를 도시하는 저면도이다.
도 3은, 마운트 디스크, 볼트 및 연삭 휠의 일부를 확대하여 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는, 환형 베이스의 실시 형태를 도시한 평면도이다.
도 5는, 볼트를 마운트 디스크의 암나사 구멍에 삽입하기 전의 상태를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 6은, 볼트를 마운트 디스크의 암나사 구멍에 삽입한 상태를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 7은, 환형 홈에 계합부가 계합하여, 마운트 디스크와 연삭 휠을 상대적으로 회전시키는 상태를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 8은, 볼록부 삽입 구멍에 마운트 디스크의 볼록부를 삽입하여, 마운트 디스크와 연삭 휠을 볼트에 의해 체결한 상태를 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 1에 도시하는 연삭 장치(1)는, 연삭 기구(3)를 이용하여 척 테이블(2)에 유지된 피가공물을 연삭하는 장치이고, 척 테이블(2)은 이동 기구(4)에 의해 구동되어 Y축 방향으로 이동 가능하며, 연삭 기구(3)는 연삭 이송 기구(5)에 의해 구동되어 Z축 방향으로 이동 가능하게 되어 있다.
척 테이블(2)은, 다공성 부재에 의해 형성된 흡인부(21)와, 흡인부(21)를 지지하는 프레임(22)을 포함하고, 흡인부(21)의 표면은, 피가공물(10)을 유지하는 유지면(210)을 구성하고 있다. 유지면(210)과 프레임(22)의 상면(220)은 동일 평면으로 되어 있다.
척 테이블(2)의 하방에는 테이블 베이스(23)를 구비하고 있고, 테이블 베이스(23)는, 3개의 척 지지부(24)(도 1에서는 2개만 나타냄)에 의해 적어도 3개소가 지지되어 있다. 각 척 지지부(24)에는, 유지면(200)이 유지한 피가공물을 연삭 기구(3)가 누를 때의 수직 하중을 측정하는 하중 측정기(25)가 배치되어 있다. 또한, 적어도 2개의 척 지지부(24)에는, 척 테이블(2)의 높이를 조정하여 유지면(210)의 기울기를 조정하는 기능을 갖고 있다.
연삭 기구(3)는, Z축 방향의 회전축을 갖는 스핀들(30)과, 스핀들(30)을 회전시키는 모터(31)와, 스핀들(30)을 회전 가능하게 지지하는 스핀들 하우징(32)과, 스핀들(30)의 하단에 연결된 마운트 디스크(6)와, 마운트 디스크(33)에 장착된 연삭 휠(34)을 구비하고 있다. 스핀들(30)의 상단에는, 연삭수를 유입시키는 연삭수 유입구(301)를 구비하고 있다. 모터(31)가 스핀들(30)을 회전시키면, 연삭 휠(34)도 회전한다. 연삭 휠(34)은, 마운트 디스크(6)에 고정되는 환형 베이스(7)와, 환형 베이스(7)의 하면에 환형으로 고착된 복수의 연삭 지석(8)으로 구성되어 있다.
이동 기구(4)는, Y축 방향의 회전축을 갖는 볼 나사(40)와, 볼 나사(40)를 회전시키는 모터(41)와, 볼 나사(40)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(42)과, 바닥부가 가이드 레일(42)에 슬라이딩 접촉하여 볼 나사(40)에 나사 결합하는 도시하지 않은 너트를 내부에 갖는 슬라이드 판(43)을 구비하고 있다. 슬라이드 판(43)의 상방에는 척 지지부(24) 및 하중 측정기(25)가 배치되어 있다. 볼 나사(40)가 회전하면, 슬라이드 판(43)이 가이드 레일(42)에 가이드되어 Y축 방향으로 이동하고, 슬라이드 판(43)의 Y축 방향의 이동에 따라, 척 테이블(2)도 같은 방향으로 이동하는 구성으로 되어 있다.
연삭 이송 기구(5)는, Z축 방향의 회전축을 갖는 볼 나사(50)와, 볼 나사(50)를 회전시키는 모터(51)와, 볼 나사(50)와 평행하게 배치된 한 쌍의 가이드 레일(52)과, 측부가 가이드 레일(52)에 슬라이딩 접촉하여 볼 나사(50)에 나사 결합하는 도시하지 않은 너트를 내부에 갖는 승강판(53)과, 승강판(53)에 연결되어 있고 스핀들 하우징(32)을 지지하는 홀더(54)를 구비하고 있다. 볼 나사(50)가 회전하면, 승강판(53)이 가이드 레일(52)에 가이드되어 유지면(200)에 수직인 방향으로 이동하고, 이에 의해 연삭 기구(3)도 같은 방향으로 이동하여, 연삭 지석(8)이 유지면(200)에 대하여 상대적으로 접근하거나 또는 이격되는 구성으로 되어 있다. 연삭 기구(3)의 Z축 방향의 위치는, 모터(51)에 구비한 인코더(55)에 의해 인식된다.
척 테이블(2)의 Y축 방향의 이동 경로의 측방에는, 척 테이블(2)에 유지된 웨이퍼의 두께를 측정하는 두께 측정기(9)가 배치되어 있다. 두께 측정기(9)는, 흡인부(21)의 유지면(210)에 유지된 웨이퍼의 상면의 높이를 측정하는 제1 측정부(91)와, 프레임(22)의 상면(220)의 높이를 측정하는 제2 측정부(92)를 구비하고, 제1 측정부(91)의 측정값과 제2 측정부(92)의 측정값의 차를 웨이퍼의 두께로서 산출한다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 마운트 디스크(6)는 원환형으로 형성되어 있다. 마운트 디스크(6)의 하면, 즉 연삭 휠(34)이 장착되는 장착면(60)에는, 아래쪽으로 돌출하는 원기둥 형상의 2개의 볼록부(61)를 구비하고 있다. 2개의 볼록부(61)는, 동일 원주 상에 180도 이격하여 형성되어 있다.
또한, 볼록부(61)는, 마운트 디스크(6)와 일체로 되어 있어도 되고, 탈착식으로 해도 된다. 탈착식의 경우는, 예를 들어, 마운트 디스크(6)의 장착면(60)에 암나사를 형성하고, 볼록부의 선단에 수나사를 형성하며, 연삭 휠의 종류에 따라 볼록부의 위치를 바꾸어도 좋다. 또한, 연삭 휠의 종류에 따라, 볼록부(61)의 형태를 다각 기둥으로 바꾸어도 좋다.
마운트 디스크(6)에는 8개의 암나사 구멍(62)이 형성되어 있고, 이들은, 동일 원주 상에 등간격으로 형성되어 있다. 도 2에 도시한 예에서는, 암나사 구멍(62)이 8개 형성되어 있지만, 적어도 3개 형성되어 있으면 된다. 도 3에 도시하는 바와 같이, 암나사 구멍(62)은, 마운트 디스크(6)의 상하면을 관통하고 있다. 또한, 마운트 디스크(6)에는, 도 1에 도시되는 연삭수 유입구(301)로부터 유입되고, 스핀들(30)의 내부의 도시하지 않은 유로를 통과하여 마운트 디스크에 유입되는 연삭수의 통로가 되는 연삭수 유로(63)가 형성되어 있다.
이 암나사 구멍(62)에는, 도 3에 도시하는 볼트(64)가 삽입된다. 볼트(64)는, 수나사부(641)와, 수나사부(641)의 선단에 연결된 네크부(neck part)(642)와, 네크부(642)의 선단에 연결되고 네크부(642)보다 대직경으로 형성되며 네크부(642)보다 외주 측으로 비어져 나와 형성된 원기둥 형상의 계합부(643)를 구비하고 있다. 볼트(64)는 스프링(645)으로 돌출 방향으로 부세된 플런저(644)를 갖고 있다. 볼트(64)는 육각 볼트이며, 수나사부(641)에 인접하여 육각 렌치의 계합부(646)가 형성되어 있다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 연삭 휠(34)의 환형 베이스(7)의 상면, 즉 마운트 디스크(6)의 장착면(60)에 장착되는 피장착면(70)에는, 환형 개공(71)이 형성되어 있다. 도 5에 도시되는 바와 같이, 환형 베이스(7)의 내부에는, 환형의 공간인 바닥이 있는 환형 홈(72)이 형성되어 있다. 환형 홈(72)은 환형 개공(71)보다 폭이 넓고, 환형 개공(71)과 상하 방향으로 연통하고 있다. 또한, 환형 베이스(7)에는, 상부가 개구되고 마운트 디스크(6)의 연삭수 유로(63)와 연통되며 하부가 개구되는 연삭수 분출부(73)를 구비하고 있다.
도 4에 도시하는 바와 같이, 환형 개공(71)에는, 계합부(643)를 삽입 통과 가능한, 즉 계합부(643)의 외경보다 내경이 약간 크게 형성된 원기둥 형상의 공간인 삽입 구멍(74)이 등간격으로 형성되어 있다. 삽입 구멍(74)은, 도 4의 예에서는 8개 형성되어 있지만, 적어도 3개 형성되어 있으면 된다.
환형 개공(71)에는 마운트 디스크(6)의 볼록부(61)가 삽입되는 원기둥 형상의 공간인 볼록부 삽입 구멍(75)이 등간격으로 형성되어 있다. 볼록부 삽입 구멍(75)은 볼록부(61)와 동수로 형성된다. 도 2의 예에서는 2개의 볼록부(61)가 180도 간격으로 형성되어 있기 때문에, 이에 대응하여 볼록부 삽입 구멍(75)도 180도 간격으로 2개 형성되어 있다.
다음에, 마운트 디스크(6)에 연삭 휠(34)의 환형 베이스(7)를 부착하는 순서에 대해서 도 5∼8을 참조하여 설명한다. 도 5에 있어서의 마운트 디스크(6)는, 도 2의 A-O-B 단면을 나타내고 있다. 또한, 도 5 및 도 6에 있어서의 연삭 휠(34)은, 도 4에 있어서의 A-O-B 단면을 나타내고 있다.
우선, 도 5에 도시하는 바와 같이, 볼트(64)의 수나사부(641)를 마운트 디스크(6)의 암나사 구멍(62)에 나사 삽입하고, 도 6에 도시하는 바와 같이, 장착면(60)으로부터 계합부(643)를 돌출시킨다. 다음에, 도 4에 도시하는 삽입 구멍(74)에 계합부(643)를 삽입 통과시켜, 계합부(643)를 환형 홈(72)의 깊이까지 삽입한다. 그리고, 계합부(643)가 환형 홈(72)에 위치하고 있는 상태에서, 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)을 상대적으로 회전시킨다.
마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)의 상대적인 회전에 의해서, 도 7에 도시하는 바와 같이, 네크부(642)가 환형 개공(71)에 삽입되는 것과 함께, 계합부(643)가 환형 홈(72)에 삽입하여 계합한다. 그리고, 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)과의 상대적인 회전을 더욱 계속하면, 환형 베이스(7)에 형성된 볼록부 삽입 구멍(75)의 위치와 마운트 디스크(6)에 형성된 볼록부(61)의 위치가 일치한다. 환형 홈(72)에는, 볼록부 삽입 구멍(75)의 위치와 볼록부(61)의 위치가 일치했을 때에, 플런저(64)의 선단이 진입하는 오목부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)과의 상대적인 회전 시에는, 플런저(644)가 스프링(645)에 의해 돌출 방향으로 부세되어 있기 때문에, 플런저(644)의 선단이 환형 홈(72)의 바닥부로 가압되어, 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)이 자유 회전하는 것을 억제하고 있다.
볼록부 삽입 구멍(75)의 위치와 볼록부(61)의 위치가 일치하면, 그 위치에서 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)과의 상대적인 회전을 정지하고, 도 8에 도시하는 바와 같이, 볼트(64)의 렌치 계합부(646)에 육각 렌치를 결합시켜 볼트(64)를 암나사 구멍(62) 안에서 회전시켜, 마운트 디스크(6)와 환형 베이스(7)를 접근시켜 밀착시킨다. 이것에 의해, 볼록부 삽입 구멍(75)에 볼록부(61)가 삽입된다. 그리고 볼트(64)를 추가적으로 회전시켜, 마운트 디스크(6)와 연삭 휠(34)의 환형 베이스(7)를 볼트(64)에 의해 체결한다.
이와 같이 하여, 마운트 디스크(6)의 암나사 구멍(62)에 삽입된 볼트(64)의 계합부(643)를 환형 베이스(7)의 환형 홈(72)에 결합시켜 환형 베이스(7)와 마운트 디스크(6)를 상대적으로 회전시키고, 볼록부 삽입 구멍(75)의 위치와 볼록부(61)의 위치를 일치시킨 상태에서 볼트(64)를 체결하는 것에 의해, 연삭 휠(34)을 마운트 디스크(6)에 장착하는 것이 가능하다. 또한, 볼트(64)를 느슨하게 하여, 환형 베이스(7)와 마운트 디스크(6)를 상대적으로 회전시키고, 삽입 구멍(74)으로부터 계합부(643)를 빼내는 것에 의해, 연삭 휠(34)을 마운트 디스크(6)로부터 분리할 수 있다.
또한, 삽입 구멍(74)의 중심의 환형 홈(72)에 플런저(644)의 선단이 진입하는 오목부를 형성하고 있어도 좋다. 이것에 의해, 작업자는, 연삭 휠(34)을 마운트 디스크(6)로부터 제거하는 위치가 된 것을 알 수 있다.
이와 같이, 마운트 디스크(6)에 복잡한 기구를 구비하지 않고, 연삭 휠(34)의 교환을 용이하게 행할 수 있기 때문에, 마운트 디스크(6)가 무거워지는 것을 회피할 수 있다. 따라서, 스핀들(30)을 회전시키는 모터(31)의 컨트롤러의 설정을 바꾸지 않아도 된다. 또한, 마운트 디스크(6)가 연삭 휠(34)을 흡인력에 의해 유지할 필요도 없기 때문에, 흡인원과 연통시킬 필요가 없고, 스핀들(30)을 교환할 필요도 없다.
또한, 본 실시 형태의 환형 베이스(7)에는, 삽입 구멍(74)과 볼록부 삽입 구멍(75)을 별개로 설치했지만, 삽입 구멍(74)이 볼록부 삽입 구멍(75)을 겸하고 있어도 좋다.
1: 연삭 장치
2: 척 테이블
21: 흡인부, 210: 유지면
22: 프레임, 220: 상면
23: 테이블 베이스 , 24: 척 유지부, 25: 하중 측정기
3: 연삭 기구
30: 스핀들 301: 연삭수 유입구
31: 모터, 32: 스핀들 하우징, 33: 마운트 디스크
34: 연삭 휠
4: 이동 기구
40: 볼 나사, 41: 모터, 42: 가이드 레일, 43: 슬라이드 판
5: 연삭 이송 기구
50: 볼 나사, 51: 모터, 52: 가이드 레일, 53: 승강판, 54: 홀더
55: 인코더
6: 마운트 디스크
60: 장착면, 61: 볼록부, 62: 암나사 구멍, 63: 연삭수 유로
64: 볼트
641: 수나사부, 642: 네크부, 643: 계합부, 644: 플런저
7: 환형 베이스
70: 피장착면, 71: 환형 개공, 72: 환형 홈, 73: 연삭수 분출부, 74: 삽입 구멍
75: 볼록부 삽입 구멍
8: 연삭 지석
9: 두께 측정기, 91: 제1 측정부, 92: 제2 측정부

Claims (3)

  1. 환형 베이스에 환형으로 복수의 연삭 지석을 고정한 연삭 휠을, 스핀들의 선단에 연결된 마운트 디스크에 볼트에 의해 체결하고, 척 테이블에 유지된 피가공물을 상기 연삭 지석에 의해 연삭하는 연삭 장치로서,
    상기 마운트 디스크는, 상하면을 관통하고 원주 상에 등간격으로 배치된 적어도 3개의 암나사 구멍과, 상기 연삭 휠을 장착하는 장착면으로부터 돌출되는 복수의 볼록부를 포함하고,
    상기 볼트는, 수나사부와, 그 수나사부의 선단에 연결되는 네크부와, 그 네크부의 선단에 연결되고 상기 네크부로부터 비어져 나온 계합부를 포함하고,
    상기 연삭 휠은, 상기 환형 베이스의 피장착면에 환형으로 형성되는 환형 개공과, 상기 환형 개공에 접속되고 상기 환형 개공보다 넓은 폭을 가지며 상기 환형 베이스 내에 환형으로 형성되는 환형 홈과, 상기 환형 개공에 적어도 3개 배치되고 상기 계합부를 상기 환형 홈에 삽입 가능한 삽입 구멍과, 상기 볼록부를 삽입 가능한 복수의 볼록부 삽입 구멍을 포함하고,
    상기 마운트 디스크에 상기 연삭 휠을 장착할 때는, 상기 암나사 구멍에 상기 수나사부를 나사 삽입시켜 상기 장착면으로부터 상기 계합부를 돌출시키고, 상기 삽입 구멍으로부터 상기 환형 홈에 상기 계합부를 삽입시킨 후, 상기 마운트 디스크와 상기 연삭 휠을 상대적으로 회전시키고, 상기 볼록부 삽입 구멍과 상기 볼록부가 일치한 위치에서 상기 볼트를 회전시켜, 상기 볼록부 삽입 구멍에 상기 볼록부를 삽입시킴과 함께, 상기 마운트 디스크와 상기 연삭 휠을 상기 볼트로 체결하는, 연삭 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 볼록부 삽입 구멍은, 상기 삽입 구멍인 것인, 연삭 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 볼록부, 상기 계합부, 상기 삽입 구멍, 상기 볼록부 삽입 구멍은, 원기둥 형상으로 형성되는 것인, 연삭 장치.
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