KR20230072672A - 진단 서버를 포함하는 반송 장치 검사 시스템 및 이의 동작 방법 - Google Patents

진단 서버를 포함하는 반송 장치 검사 시스템 및 이의 동작 방법 Download PDF

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Abstract

반송 장치 검사 시스템은 반송 경로를 따라 이동하는 복수의 반송 장치; 상기 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 진단 서버; 상기 진단 서버로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사하는 검사기; 및 상기 검사기로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 복수의 반송 장치를 상기 검사 일정 정보에 따라 순차로 검사 위치로 이동하도록 제어하는 반송 장치 제어기를 포함한다.

Description

진단 서버를 포함하는 반송 장치 검사 시스템 및 이의 동작 방법{TRANSPORT DEVICE INSPECTION SYSTEM INCLUDING DIAGNOSTIC SERVER AND METHOD OF OPERATION THEREOF}
본 개시는 반송 장치를 점검하기 위한 반송 장치 검사 시스템 및 이의 동작 방법에 관한 것이다.
반도체를 제조하기 위한 웨이퍼를 공정 설비들 간에 반송하기 위해서 천장에 설치된 레일을 따라 이동하는 반송 장비가 사용된다. 반송 장비는 천장에 설치된 레일에 위치하기 때문에 가동 중에는 상태를 확인할 수 있는 방법이 없으며, 이에 대체로 고장이 발생한 후 정비를 수행하게 되어 반도체 제조의 생산성에 영향을 줄 수 있다. 또한, 반송 장비는 항상 레일을 따라 이동하고 있기 때문에 점검을 위해 어느 하나의 반송 장비를 정차시키면 다른 반송 장비들의 이동을 방해할 수 있다.
본 개시의 실시예들에 따른 과제는 반송 장치를 효율적으로 점검하기 위한 반송 장치 검사 시스템 및 이의 동작 방법을 제공하는 것이다.
본 개시의 반송 장치 검사 시스템은 반송 경로를 따라 이동하는 복수의 반송 장치; 상기 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 진단 서버; 상기 진단 서버로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사하는 검사기; 및 상기 검사기로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 복수의 반송 장치를 상기 검사 일정 정보에 따라 순차로 검사 위치로 이동하도록 제어하는 반송 장치 제어기를 포함할 수 있다.
본 개시의 반송 장치 검사 시스템은 반송 경로를 따라 이동하는 복수의 반송 장치; 상기 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 진단 서버; 상기 진단 서버로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사하는 검사기; 및 상기 검사기로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 복수의 반송 장치를 상기 검사 일정 정보에 따라 순차로 검사 위치로 이동하도록 제어하는 반송 장치 제어기를 포함하되, 상기 검사기는 상기 검사 위치에 도착한 반송 장치를 검사하는 검사 모듈을 포함하고, 및 상기 진단 서버는 상기 검사기가 상기 반송 장치를 검사한 검사 결과를 수신하고, 상기 검사 결과를 분석하여 상기 반송 장치에 대한 이상 여부를 진단하는 진단부를 포함할 수 있다.
본 개시의 반송 장치 검사 시스템의 동작 방법은 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 것; 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사 위치로 이동시키는 것; 상기 검사 위치에 도착한 상기 반송 장치를 검사하는 것; 상기 반송 장치에 대한 검사 결과를 분석하여 상기 반송 장치에 대한 이상 여부를 진단하는 것; 및 상기 반송 장치에 대한 진단 결과에 따라 상기 반송 장치를 반송 경로로 이동시키거나, 검사기의 투출구로 이동시키는 것을 포함할 수 있다.
본 개시의 실시예에 따르면, 미리 설정된 검사 순서에 따라 반송 장치들을 자동으로 점검할 수 있는 반송 장치 검사 시스템을 제공함으로써, 반송 장치를 효율적이고 안전하게 점검하고, 반송 장치 고장에 의한 반도체 생산 라인의 생산성 저하를 예방할 수 있다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치 검사 시스템에 대한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 반송 장치 검사 시스템의 동작 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 3은 도 1의 반송 장치에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 4는 도 1의 반송 장치를 예시적으로 나타내는 대한 단면도이다.
도 5는 도 1의 진단 서버에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 6은 도 1의 검사기에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치 검사 시스템을 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른 진단 서버가 생성한 검사 일정 정보를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치가 검사기에서 이동하는 모습을 도시한 도면이다.
도 10는 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 거리 센서에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다.
도 11은 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 카메라에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다.
도 12는 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 측정기에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다.
도 13은 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 리프터가 동작하는 모습을 도시한다.
도 1은 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치 검사 시스템에 대한 개략적인 도면이다.
도 1을 참조하면, 반송 장치 검사 시스템(10)은 복수의 반송 장치(100)들, 반송 장치 제어기(200), 검사기(300), 및 진단 서버(400)를 포함할 수 있다. 반송 장치(100)들은 공장에서 물류를 운반하는 장치로 예를 들어, OHT(Overhead Hoist Transfer)일 수 있다. 상기 물류는 웨이퍼를 수용하는 밀폐형 용기일 수 있으며, 예를 들어, 전면 개방 일체식 포드(Front Open Unified Pod, FOUP)일 수 있다.
반송 장치(100)들은 공장에 설치된 반송 경로를 따라 이동할 수 있다. 반송 경로는 주로 공장 천장에 설치되며, 레일로 형성될 수 있다. 반송 장치(100)들은 물류를 탑재한 후 반송 경로를 따라 이동하여 원하는 위치에 물류를 내릴 수 있다. 예를 들어, 반송 장치(100)들은 반송 경로를 따라 이동하여 물류를 반도체 공정 순서에 따라 적절한 반도체 공정 설비로 보낼 수 있다. 뿐만 아니라, 반송 장치(100)들은 반송 장치(100)들에 대한 검사가 필요할 때 반송 경로를 따라 검사가 수행될 수 있는 검사 위치로 이동할 수 있다.
반송 장치 제어기(200)가 반송 장치(100)들의 전반적인 이동 및 반송을 관리할 수 있다. 반송 장치(100)들은 반송 장치 제어기(200)의 제어 명령에 따라 이동하고 물류를 반송할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 반송 장치(100)들이 반도체 공정 순서에 따라 적절한 반도체 공정 설비로 이동하여 물류를 탑재하거나 내릴 수 있도록 제어할 수 있다. 또한, 반송 장치 제어기(200)는 반송 장치(100)들에 대한 검사 일정 정보에 따라 반송 장치(100)들이 적절히 검사를 받을 수 있는 검사 위치로 이동할 수 있도록 제어할 수 있다.
검사기(300)는 반송 장치(100)들에 대한 이상 여부를 점검하는 검사를 수행할 수 있다. 반송 장치(100)들은 반송 장치 제어기(200)의 제어 명령에 따라 반송 경로를 따라 이동하여 순차로 검사 위치에 도착할 수 있다. 예를 들어, 검사 위치는 검사기(300)의 위치와 대응할 수 있다. 검사기(300)는 검사 위치에 도착한 반송 장치(100)에 대한 검사를 수행할 수 있다. 예를 들어, 검사기(300)는 반송 장치(100)의 외관을 검사하거나 구동을 검사할 수 있다.
진단 서버(400)는 반송 장치(100)들에 대한 이상 여부를 진단할 수 있다. 진단 서버(400)는 검사기(300)로부터 반송 장치(100)들에 대한 검사 결과를 수신하고, 검사 결과를 통해 반송 장치(100)들의 이상 여부를 진단할 수 있다. 진단 서버(400)는 검사 결과 및/또는 진단 결과들을 저장할 수 있다.
진단 서버(400)는 반송 장치(100)들에 대한 이상 여부를 점검하는 검사를 관장할 수 있다. 진단 서버(400)는 반송 장치(100)들에 대한 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 검사 일정 정보란 반송 장치(100)들이 검사기(300)에 의해 검사를 받기 위한 검사 순서에 관한 정보를 의미할 수 있다. 진단 서버(400)가 검사 일정 정보를 생성하는 것에 대한 구체적인 내용은 후술한다. 진단 서버(400)는 검사 일정 정보를 검사기(300)를 통해 반송 장치 제어기(200)로 송신할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 수신한 검사 일정 정보에 따라 반송 장치(100)들을 제어하고, 검사기(300) 또한 검사 일정 정보에 따라 반송 장치(100)들을 검사할 수 있다.
진단 서버(400)는 반송 장치(100)들에 대한 검사 일정 정보를 진단 서버(400)에 저장된 정보를 기초로 생성하거나, 반송 장치(100)들로부터 수신한 반송 장치(100)들의 상태 정보를 기초로 생성하거나, 및/또는 사용자로부터 검사를 수행하기 위한 정보(예를 들어, 검사 대상 및/또는 검사 일정)를 입력 받음으로써 검사 일정 정보를 생성할 수 있다.
도 2는 도 1의 반송 장치 검사 시스템의 동작 방법을 설명하기 위한 흐름도이다.
도 2를 참조하면, 진단 서버(400)는 반송 장치(100)들에 대한 검사 일정 정보를 생성할 수 있다(S101). 진단 서버(400)는 검사 일정 정보를 검사기(300)에 송신하면서, 검사기(300)에 반송 장치(100)들에 대한 검사 요청을 송신할 수 있다(S102). 검사기(300)는 진단 서버(400)로부터 검사 일정 정보와 검사 요청을 수신할 수 있다. 검사기(300)는 검사 요청에 응답하여 반송 장치 제어기(200)로 검사 일정 정보와 함께 반송 장치(100)들을 검사기(300)로 이동시키도록 요청할 수 있다(S103). 반송 장치 제어기(200)는 검사기(300)의 이동 요청에 응답하여 반송 장치(100)들이 검사기(300)(즉, 검사 위치)로 이동하도록 반송 장치(100)들을 제어할 수 있다(S104). 반송 장치 제어기(200)는 수신한 검사 일정 정보에 따라 반송 장치(100)들을 검사기(300)로 이동하도록 제어할 수 있다.
반송 장치(100)들 중 적어도 하나가 검사 위치 또는 검사기(300)의 진입부에 도착하면(S105), 도착한 반송 장치(100)는 검사기(300)와 통신하여 검사 위치 또는 진입부에 도착했음을 검사기(300)에 확인시킬 수 있다(S106). 검사기(300)의 진입부는 반송 장치(100)가 검사 위치에 도착하기 전의 임의의 위치로 검사기(300)와 인접한 위치일 수 있다. 반송 장치(100)가 검사기(300) 진입부에 도착한 경우, 검사기(300)는 반송 장치(100)의 도착을 확인한 후 반송 장치(100)를 검사 위치로 이동하도록 제어할 수 있다. 검사기(300)는 검사 위치에 도착한 반송 장치(100)에 대한 검사를 수행할 수 있다(S107). 검사기(300)는 반송 장치(100)에 대한 검사를 수행한 후, 검사 결과를 진단 서버(400)에 송신할 수 있다(S108).
진단 서버(400)는 수신한 검사 결과를 분석하여 검사를 수행한 반송 장치(100)에 대한 이상 여부를 진단할 수 있다(S109). 진단 서버(400)는 검사 결과를 분석하여 진단을 수행한 후, 진단 결과를 기초로 검사기(300)에 반송 장치(100)를 이동시킬 것을 요청할 수 있다(S110). 예를 들어, 진단 서버(400)는 진단 결과를 검사기(300)에 송신함으로써 반송 장치(100)에 대한 이동을 요청할 수 있다.
반송 장치(100)가 정상 또는 점검 요망인 것으로 진단된 경우, 진단 서버(400)는 검사기(300)로 상기 반송 장치(100)를 검사기(즉, 검사 위치)로부터 외부로 이동하도록 요청할 수 있다(S110). 검사기(300)는 이동 요청에 따라 반송 장치 제어기(200)로 상기 반송 장치(100)를 검사기(300) 외부로 이동시킬 것을 요청할 수 있다(S111). 또한, 검사기(300)는 검사기(300) 외부에서는 상기 반송 장치(100)에 대해 반송 장치 제어기(200)가 제어할 것을 요청할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 이동 요청 및 제어 요청에 따라 상기 반송 장치(100)를 검사기(300) 외부로 이동시키고, 검사기(300) 외부에서의 반송 장치(100)의 이동 및 반송을 제어할 수 있다(S112). 즉, 반송 장치 제어기(200)는 정상 또는 점검 요망으로 진단된 반송 장치(100)를 검사기(300)로부터 벗어나 반송 경로를 따라 물류를 반송하도록 제어할 수 있다.
반송 장치(100)가 이상(또는, 긴급 점검)인 것으로 진단된 경우, 진단 서버(400)는 검사기(300)로 상기 반송 장치(100)를 리프트를 통해 투출구로 이동시킬 것을 요청할 수 있다(S110). 검사기(300)는 이동 요청에 따라 상기 반송 장치(100)를 리프트를 통해 검사기(300)의 투출구로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 투출구로 이동한 반송 장치(100)는 이상이 있는 구성에 대한 점검 또는 수리를 받을 수 있다.
일 실시예에 있어서, 반송 장치(100)가 점검 요망인 것으로 진단된 경우, 진단 서버(500)는 진단 결과를 사용자에게 출력한 후, 사용자로부터 반송 장치(100)에 대한 제어 정보를 입력 받고, 상기 제어 정보에 따라 반송 장치(100)를 제어할 수도 있다. 예를 들어, 사용자는 점검 요망인 것으로 진단된 반송 장치(100)를 검사기(300) 외부로 이동하여 물류를 반송하도록 제어할 수도 있고, 또는 리프트를 통해 투출구로 이동하여 점검을 받을 수 있도록 제어할 수도 있다.
도 3은 도 1의 반송 장치에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다. 도 4는 도 1의 반송 장치를 예시적으로 나타내는 대한 단면도이다.
도 1, 도 3 및 도 4를 참조하면, 반송 장치(100)는 반송 경로를 형성하는 레일(RA)에 매달릴 수 있다. 반송 장치(100)는 본체부(101), 구동 장치(110), 호이스트(120), 센서부(130), 및 제어부(140)를 포함할 수 있다. 본체부(101)에 구동 장치(110), 호이스트(120), 센서부(130) 및 제어부(140)가 연결될 수 있다. 본체부(101)의 표면 일부에는 반송 장치(100)의 장비명(ID)이 기재될 수 있다.
구동 장치(110)는 반송 장치(100)가 반송 경로를 따라 이동할 수 있도록 하는 구동부(111)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 구동부(111)는 휠(wheel)(111a)과 이를 구동하는 모터(111b), 및 휠(111a)의 방향을 조절하는 조향부(111c)를 포함할 수 있다. 구동 장치(110)는 구동 신호 생성부(112)를 더 포함할 수 있다. 구동 신호 생성부(112)는 구동부(111)에 대한 구동 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 구동 정보는 모터(111b)의 속도(각속도) 및/또는 토크를 포함할 수 있다.
호이스트(120)는 본체부(101)의 내측에 위치하며, 물류를 탑재하거나 내릴 수 있는 핸들러(122)와 핸들러(122)가 수직 방향으로 이동하거나 수평 방향으로 이동할 수 있도록 하는 호이스트 구동부(121)를 포함할 수 있다. 도면에는 도시되지 않았지만, 호이스트(120)는 호이스트 구동 신호 생성부를 더 포함할 수 있다. 예를 들어, 호이스트 구동 신호 생성부는 호이스트 구동부(121)가 포함하는 모터에 대한 속도(각속도) 및/또는 토크와 같은 구동 정보를 생성할 수 있다.
센서부(130)는 본체부(101)에 부착되며, 반송 장치(100)의 구동 상태나 반송 장치(100)의 주변 환경 상태를 감지할 수 있다. 예를 들어, 센서부(130)는 대차 감지 센서(131), 장애물 감지 센서(132), 물류 감지 센서(133), 및 태그 인식 센서(134)를 포함할 수 있다. 대차 감지 센서(131)는 반송 장치(100)의 전방에 다른 반송 장치(100)가 있는지 감지할 수 있다. 장애물 감지 센서(132)는 반송 장치(100)의 주행 궤적상에 장애물이 있는지 감지할 수 있다. 물류 감지 센서(133)는 호이스트(120)의 핸들러(122)에 물류가 로드되어 있는지 감지할 수 있다. 태그 인식 센서(134)는 레일(RA)(즉, 반송 경로)에 부착된 태그(TA)를 인식할 수 있다. 센서부(130)는 전술한 센서들 외에도 구동부(111)나 호이스트 구동부(121)의 진동, 소음, 속도 등과 같은 반송 장치(100)의 구동 상태를 감지하고 측정할 수 있는 센서들을 포함할 수 있다.
제어부(140)는 반송 장치 제어기(200)의 제어 명령에 따라 구동 장치(110), 호이스트(120), 및 센서부(130)를 제어할 수 있다. 제어부(140)는 구동 장치(110)의 구동부(111)를 제어하여 반송 장치(100)를 반송 경로를 따라 이동시킬 수 있다. 제어부(140)는 호이스트 구동부(121)를 제어하여 핸들러(122)의 상하 또는 좌우로 이동시키고, 핸들러(122)가 물류를 탑재하거나 물류를 공정 설비에 제공하도록 제어할 수 있다. 제어부(140)는 센서부(130)가 반송 장치(100)의 구동 상태나 반송 장치(100)의 주변 환경 상태를 감지하도록 제어할 수 있다.
제어부(140)는 구동 장치(110)의 구동 신호 생성부(112), 호이스트(120)의 호이스트 구동 신호 생성부, 및 센서부(130) 각각으로부터 구동부(111)의 구동 신호, 호이스트 구동부(121)의 구동 신호, 반송 장치(100)의 구동 상태, 및 태그 인식 정보 중 적어도 하나를 포함하는 상태 정보를 수신할 수 있다. 제어부(140)는 수신한 상태 정보를 진단 서버(400)로 송신할 수 있다. 도면에는 도시되지 않았지만, 반송 장치(100)는 통신부를 더 포함하며, 제어부(140)는 통신부를 통해 상태 정보를 진단 서버(400)로 송신할 수 있다.
도 5는 도 1의 진단 서버에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 1 및 도 5을 참조하면, 진단 서버(400)는 진단부(401), 데이터 베이스(402), 스케쥴링부(403), 디스플레이부(404), 및 인터페이스부(405)를 포함할 수 있다. 진단 서버(400)는 통신부를 더 포함할 수 있다.
진단 서버(400)는 통신부를 통해 반송 장치(100)들로부터 반송 장치(100)들 각각에 대한 상태 정보들을 수신할 수 있다. 진단부(401)는 수신한 상태 정보들을 분석하여 반송 장치(100)들 각각에 대한 이상 여부를 진단할 수 있다.
진단부(401)는 통신부를 통해 검사기(300)로부터 반송 장치(100)들에 대한 검사 결과들을 수신할 수 있다. 진단부(401)는 수신한 검사 결과들을 분석하여 반송 장치(100)들에 각각에 대한 이상 여부를 진단할 수 있다.
진단부(401)에서 진단한 진단 결과는 검사 결과들과 함께 데이터 베이스(402)에 저장될 수 있다. 진단부(401)는 진단 결과를 디스플레이부(404)를 통해 사용자에게 출력할 수 있다. 진단 결과는 데이터 베이스(402)에 저장되어, 추후 스케쥴링부(403)가 검사 일정 정보를 생성할 때 사용될 수 있다.
데이터 베이스(402)는 반송 장치(100)들에 대한 정보를 저장할 수 있다. 데이터 베이스(402)는 전술한 바와 같이 반송 장치(100)로부터 수신한 상태 정보, 기존에 검사기(300)가 반송 장치(100)들에 대해 검사를 수행한 검사 결과들을 저장할 수 있으며, 진단부(401)가 상기 상태 정보들과 상기 검사 결과들을 분석하여 반송 장치(100)들에 각각에 대한 이상 여부를 진단한 진단 결과들도 저장할 수 있다. 예를 들어, 데이터 베이스(402)는 각각의 반송 장치(100)들의 사용량(예를 들어, 사용 기간), 반송 장치(100)들이 검사를 받은 횟수, 각각의 반송 장치(100)들이 이상이 있다고 진단된 횟수, 및/또는 각각의 반송 장치(100)들에 이상이 있었던 구성 등의 정보를 저장할 수 있다. 데이터 베이스(402)는 반송 장치(100)에 대한 상태 정보, 검사 결과, 및 진단 결과 중 적어도 하나를 해당 반송 장치(100)의 장비명(ID)과 대응시켜 저장할 수 있다.
스케쥴링부(403)는 반송 장치(100)들에 대한 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 검사 일정 정보는 반송 장치(100)들 중 검사를 받게 될 검사 대상들에 대한 장비명(ID)과 검사 대상들의 검사 순서를 포함할 수 있다. 스케쥴링부(403)는 통신부를 통해 검사 일정 정보를 검사기(300)에 제공할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 스케쥴링부(403)는 진단부(401)로부터 진단 결과들을 수신하고, 진단 결과들을 기초로 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 반송 장치(100)들의 상태 정보를 반송 장치(100)들로부터 진단부(401)가 수신하고, 진단부(401)가 상태 정보를 분석하여 진단 결과들을 생성하면, 스케쥴링부(403)는 진단 결과들을 진단부(401)로부터 수신하여 진단 결과들을 기초로 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 반송 장치(100)들에 대한 검사 결과들을 검사기(300)로부터 진단부(401)가 수신하고, 진단부(401)가 검사 결과를 분석하여 진단 결과들을 생성하면, 스케쥴링부(403)가 진단 결과를 진단부(401)로부터 수신하여 진단 결과를 기초로 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 스케쥴링부(403)는 진단 결과에 따라 상태 정보를 송신한 반송 장치(100)들 중 이상이 있는 것으로 진단된 반송 장치(100)들에 대해서 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 스케쥴링부(403)는 이상이 있는 것으로 진단된 반송 장치(100)들에 대해서 검사기(300)를 통해 검사를 받기 위한 순서를 결정할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 스케쥴링부(403)는 데이터 베이스(402)에 저장된 정보를 기초로 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 스케쥴링부(403)는 데이터 베이스(402)에 저장된 정보를 기초로 반송 장치(100)들에 대한 검사 순서를 결정할 수 있다. 예를 들어, 스케쥴링부(403)는 반송 장치(100)들 중 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수가 많은 반송 장치(100)부터 먼저 검사를 수행할 수 있도록 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제1 반송 장치가 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수가 3회이고, 제2 반송 장치가 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수가 2회이고, 제3 반송 장치가 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수가 5회인 경우, 스케쥴링부(403)는 제3 반송 장치의 검사 순서를 1 순위로 정하고, 제1 반송 장치의 검사 순서를 2 순위로 정하고, 제2 반송 장치의 검사 순서를 3 순위로 정할 수 있다.
예를 들어, 스케쥴링부(403)는 반송 장치(100)들 중 기존에 검사를 받은 횟수가 적은 반송 장치(100)부터 먼저 검사를 수행할 수 있도록 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 예를 들어, 제1 반송 장치(100)가 기존에 검사를 받은 횟수가 5회이고, 제2 반송 장치(100)가 기존에 검사를 받은 횟수가 3회이고, 제3 반송 장치(100)가 기존에 검사를 받은 횟수가 1회인 경우, 스케쥴링부(403)는 제3 반송 장치(100)의 검사 순서를 1순위로 정하고, 제2 반송 장치(100)의 검사 순서를 2순위로 정하고, 제1 반송 장치(100)의 검사 순서를 3순위로 정할 수 있다.
예를 들어, 스케쥴링부(403)는 반송 장치(100)들에 대한 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수 및 반송 장치(100)들이 검사를 받은 횟수에 기초하여 검사 일정 정보를 생성할 수도 있다. 예를 들어, 스케쥴링부(403)는 반송 장치(100)들에 대한 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수에 따라 검사 순서를 결정하되, 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수가 동일한 반송 장치(100)들에 대해서는 기존에 검사를 받은 횟수에 따라 우선 순위를 결정할 수 있다. 또는, 스케쥴링부(403)는 기존에 검사를 받은 횟수에 따라 검사 순서를 결정하되, 기존에 검사를 받은 횟수가 동일한 반송 장치(100)들에 대해서는 기존에 이상이 있다고 진단된 횟수에 따라 우선 순위를 결정할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 스케쥴링부(403)는 사용자로부터 입력 받은 정보를 기초로 검사 일정 정보를 생성할 수 있다. 스케쥴링부(403)는 인터페이스부(405)를 통해 사용자로부터 검사 일정 정보를 생성하기 위한 정보를 입력 받을 수 있다. 사용자는 디스플레이부(404)와 인터페이스부(405)를 통해 반송 장치(100)들 중 검사를 수행할 검사 대상을 지정하고, 검사 대상들에 대한 검사 순서를 정할 수 있다. 디스플레이부(404)는 데이터 베이스(402)에 저장된 정보를 기초로, 반송 장치(100)들에 대한 정보를 사용자에게 출력할 수 있으며, 사용자는 디스플레이부(404)를 통해 반송 장치(100)들에 대한 정보를 확인하고, 이를 토대로 인터페이스부(405)를 통해 검사 대상과 검사 순서를 입력할 수 있다. 스케쥴링부(403)는 인터페이스부(405)를 통해 사용자가 입력한 검사 대상과 검사 순서에 따라 검사 일정 정보를 생성할 수 있다.
도 6은 도 1의 검사기에 대한 구성을 예시적으로 나타내는 블록도이다.
도 1 및 도 6을 참조하면, 검사기(300)는 제어부(301), 검사 모듈(302), 디스플레이부(303), 인터페이스부(304), 및 리프터(305)를 포함할 수 있다. 검사기(300)는 통신부를 더 포함할 수 있다.
제어부(301)는 진단 서버(400)로부터 검사 일정 정보를 수신할 수 있다. 제어부(301)는 통신부를 통해 검사 일정 정보를 수신할 수 있다. 제어부(301)는 수신한 검사 일정 정보를 반송 장치 제어기(200)로 송신할 수 있다. 제어부(301)는 검사 일정 정보를 반송 장치 제어기(200)로 송신함으로써, 반송 장치(100)들을 검사 일정 정보에 따라 이동시킬 것을 반송 장치 제어기(200)에 요청할 수 있다.
제어부(301)는 반송 장치(100)가 검사 위치 또는 검사기(300)의 진입부에 도착한 경우, 반송 장치(100)와 통신하여 반송 장치(100)의 도착을 확인할 수 있다. 제어부(301)는 도착을 확인한 후, 상기 반송 장치(100)가 현재 검사 대상인지 여부를 검사 모듈(302)을 통해 확인할 수 있다. 예를 들어, 제어부(301)는 검사 모듈(302)이 포함하는 카메라(302a)를 제어하여 카메라(302a)가 검사 위치에 도착한 반송 장치(100)의 장비명(예를 들어, ID)을 촬영할 수 있다. 제어부(301)는 촬영된 이미지를 분석하여 장비명을 인식한 후, 인식된 장비명을 검사 일정 정보와 비교할 수 있다. 제어부(301)는 인식된 장비명을 가진 반송 장치(100)가 현재 검사를 진행해야 할 검사 순위에 해당하는 반송 장치인지 확인할 수 있다. 또는, 제어부(301)는 검사 위치 또는 검사기(300)의 진입부에 도착한 반송 장치(100)와 통신하여 상기 반송 장치(100)부터 장비명을 수신함으로써, 상기 반송 장치(100)가 현재 검사 순위에 해당하는 반송 장치인지 확인할 수 있다.
검사 위치 또는 검사기(300)의 진입부에 도착한 반송 장치(100)가 현재 검사를 진행해야 할 검사 순위에 해당하는 반송 장치인 경우, 제어부(301)는 검사 모듈(302)을 제어하여 상기 반송 장치(100)에 대한 검사를 수행할 수 있다. 예를 들어, 검사기(300)의 진입부에 도착한 반송 장치(100)가 현재 검사를 진행해야 할 검사 순위에 해당하는 반송 장치인 경우, 제어부(301)는 반송 장치(100)와 통신하여 반송 장치(100)를 진입부에서 검사 위치로 이동하도록 제어한 후, 검사를 수행할 수 있다.
검사 모듈(302)은 제어부(301)의 제어 신호에 따라 동작하여 검사 위치에 도착한 반송 장치(100)에 대한 검사를 수행할 수 있다. 예를 들어, 검사 모듈(302)은 카메라(302a), 측정기(302b), 및 거리 센서(302c) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다. 다만, 이에 한정되지 않으며, 검사 모듈(302)은 그 밖에 반송 장치(100)의 상태를 관측할 수 있는 다른 검사 장치를 포함할 수도 있다.
제어부(301)는 검사 모듈(302)로부터 반송 장치(100)를 검사한 검사 결과를 수신하여 통신부를 통해 진단 서버(400)로 송신할 수 있다. 또는, 검사 모듈(302)이 직접 통신부를 통해 진단 서버(400)로 검사 결과를 송신할 수도 있다. 제어부(301)는 진단 서버(400)가 검사 결과를 통해 반송 장치(100)의 이상 여부를 진단한 진단 결과를 수신할 수 있다. 제어부(301)는 수신한 진단 결과를 디스플레이부(303)에 출력할 수 있다. 사용자는 진단 결과를 진단 서버(400)의 디스플레이부(404)를 통해서 확인할 수 있을 뿐만 아니라, 검사기(300)의 디스플레이부(303)를 통해서도 확인할 수 있다.
검사기(300)는 인터페이스부(304)를 통해 사용자로부터 검사가 완료된 반송 장치(100)에 대한 제어 정보를 수신할 수 있다. 사용자는 디스플레이부(303)를 통해 검사가 완료된 반송 장치(100)에 대한 진단 결과를 확인하고, 진단 결과에 따라 반송 장치(100)를 어떻게 제어할지 제어 정보를 인터페이스부(304)를 통해 검사기(300)에 입력할 수 있다. 제어부(301)는 인터페이스부(304)를 통해 제어 정보를 수신하여, 제어 정보에 따라 반송 장치(100)를 제어할 수 있다. 또는, 제어부(301)는 인터페이스부(304)를 통해 제어 정보를 수신하여 통신부를 통해 반송 장치 제어기(200)로 송신할 수 있다.
리프터(305)는 검사가 완료된 반송 장치(100)를 이동시킬 수 있다. 리프터(305)는 반송 장치(100)를 하강시켜 검사기(300)의 투출구로 보낼 수 있다. 제어부(301)는 진단 서버(400)로부터 수신한 반송 장치(100)의 진단 결과에 따라 리프터(305)를 제어할 수 있다. 예를 들어, 제어부(301)는 진단 서버(400)로부터 수신한 반송 장치(100)의 진단 결과가 이상인 경우, 제어부(301)는 리프터(305)를 제어하여 반송 장치(100)를 투출구로 보낼 수 있다. 제어부(301)는 진단 서버(400)로부터 수신한 반송 장치(100)의 검사 결과가 정상인 경우, 리프터(305)를 동작시키지 않을 수 있다. 제어부(301)는 진단 서버(400)로부터 수신한 반송 장치(100)의 검사 결과가 정상인 경우, 반송 장치 제어기(200)가 상기 반송 장치(100)를 제어하도록 할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 상기 반송 장치(100)를 검사기(300)의 외부로 이동하도록 제어할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 상기 반송 장치(100)를 공정 순서에 따라 이동하도록 제어할 수 있다. 또는, 제어부(301)는 인터페이스부(304)를 통해 수신한 제어 정보에 따라 리프터(305)를 제어할 수 있다.
도 7은 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치 검사 시스템을 설명하기 위한 도면이다. 도 8은 본 개시의 일 실시예에 따른 진단 서버가 생성한 검사 일정 정보를 나타내는 도면이다.
도 1, 도 4 및 도 7을 참조하면, 반송 장치(100)들이 반송 경로(RA)를 따라 이동할 수 있다. 반송 경로(RA)에는 복수의 태그(TA)들이 설치될 수 있다. 반송 장치(100)들은 반송 장치(100)들 각각이 구비하고 있는 태그 인식 센서(134)를 통해 태그(TA)를 인식할 수 있다. 예를 들어, 태그는 바코드, 텍스트, 이미지 또는 이들의 조합으로 이루어질 수 있다. 반송 장치(100)들은 태그(TA)를 인식함으로써 반송 장치(100)가 반송 경로(RA) 중 어느 위치에 있는지 나타내는 위치 정보를 생성할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 반송 장치(100)로부터 위치 정보를 수신함으로써 반송 장치(100)가 반송 경로 (RA) 중 어디에 위치하고 있는지 확인할 수 있으며, 위치 정보에 따라 반송 장치(100)의 이동을 제어할 수 있다.
반송 경로(RA)는 제1 경로(RA1)와 제2 경로(RA2)를 포함할 수 있다. 예를 들어, 제1 경로(RA1)는 반송 장치(100)들이 제1 경로(RA1)를 지나면서 물류를 공정 설비 등에 반송할 수 있도록 설치되고, 제2 경로(RA2)는 반송 장치(100)들이 제2 경로(RA2)를 지나면서 검사기(300)에 의해 검사를 받을 수 있도록 설치될 수 있다. 제2 경로(RA2)에는 검사기(300)가 설치될 수 있다. 예를 들어, 제2 경로(RA2)는 제1 경로(RA1)로부터 분기될 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 반송 장치(100)들이 제1 경로(RA1)를 따라 이동하면서 적절한 공정 설비에 물류를 반송하도록 제어할 수 있다.
도 1, 도 7 및 도 8을 참조하면, 반송 장치(100)들은 검사 일정 정보(1)에 따라 제1 경로(RA1)와 제2 경로(RA2)에서 이동할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 검사기(300)로부터 검사 일정 정보(1)를 수신하면, 검사 일정 정보(1)에 따라 반송 장치(100)들을 제1 경로(RA1)와 제2 경로(RA2)에서 이동하도록 제어할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 검사 일정 정보(1)가 포함하는 반송 장치(100)들에 대한 검사 순서에 따라 반송 장치(100)들이 순차로 제2 경로(RA2)로 진입하여, 순차로 검사기(300)(즉, 검사 위치)로 이동하도록 제어할 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 검사 일정 정보(1)에 따라 현재 검사 순서에 해당하는 반송 장치(100)가 검사기(300)로 이동하여 검사기(300)로부터 검사를 받는 동안, 현재 검사 순서가 아닌 반송 장치(100)들이 제2 경로(RA2)로 진입하거나, 검사기(300)에 도착하지 않도록 제어할 수 있다. 또한, 반송 장치 제어기(200)는 수신한 검사 일정 정보(1)에 검사 대상으로 포함되지 않은 반송 장치(100)들에 대해서는 제1 경로(RA1)를 따라 계속 이동하면서 적절한 공정 설비에 물류를 반송하도록 제어할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 반송 장치 검사 시스템은 제1 내지 제5 반송 장치(100a, 100b, 100c, 100d, 100e)들을 포함할 수 있다. 다만, 이는 예시일 뿐이며, 본 발명이 포함할 수 있는 반송 장치들의 개수가 이에 제한되는 것은 아니다. 예를 들어, 제1 반송 장치(100a)의 장비명(ID)은 ST01이고, 제2 반송 장치(100b)의 장비명(ID)은 ST02이고, 제3 반송 장치(100c)의 장비명(ID)은 ST03이고, 제4 반송 장치(100d)의 장비명(ID)은 ST04이고, 제5 반송 장치(100e)의 장비명(ID)은 ST05일 수 있다.
반송 장치 제어기(200)는 검사 일정 정보(1)에 따라 제1 내지 제4 반송 장치(100a, 100b, 100c , 100d)들을 제4 반송 장치(100d), 제2 반송 장치(100b), 제3 반송 장치(100c), 제1 반송 장치(100a)의 순서로 검사기(300)로 이동시킬 수 있다. 먼저, 반송 장치 제어기(200)는 검사 순서가 1 순위인 제4 반송 장치(100d)를 검사기(300) 또는 검사기(300)의 진입부로 이동시킬 수 있다. 제4 반송 장치(100d)는 제1 경로(RA1)를 따라 이동하다가 제1 태그(TA1)가 있는 제1 위치에 도착할 수 있다. 예를 들어, 제1 태그(TA1)가 있는 제1 위치는 제1 경로(RA1)와 제2 경로(RA2)의 분기점일 수 있다. 제4 반송 장치(100d)가 태그 인식 센서를 통해 제1 태그(TA1)를 인식하여 태그 인식 정보를 생성하고, 반송 장치 제어기(200)는 태그 인식 정보를 수신하여 반송 장치 제어기(200)가 제1 위치에 도착했음을 알 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 제1 위치에 도착한 제4 반송 장치(100d)를 제어하여 제2 경로(RA2)로 진입하도록 할 수 있다. 제4 반송 장치(100d)는 제2 경로(RA2)에 위치하는 검사기(300)를 향해 이동할 수 있다. 검사기(300)의 검사 위치에는 제2 태그(TA2)가 설치될 수 있다. 또는, 제4 반송 장치(100d)는 검사기(300)의 진입부에 먼저 도착할 수 있다. 진입부에 도착한 제4 반송 장치(100d)는 검사기(300)와 통신하여 검사기(300)에게 진입부에 도착했음을 알릴 수 있다. 검사기(300)는 제4 반송 장치(100d)가 현재 검사 순위에 해당하는 장비인지 확인한 후에 제4 반송 장치(100d)를 검사 위치로 이동시킬 수 있다. 일 실시예에 있어서, 제4 반송 장치(100d)는 제1 위치에서 검사기(300)로 제1 위치에 도착했음을 알릴 수도 있다. 검사기(300)는 제1 위치에 도착한 제4 반송 장치(100d)가 현재 검사 순위에 해당하는 장비인지 확인한 후에 제4 반송 장치(100d)를 검사 위치로 이동시킬 수도 있다.
반송 장치 제어기(200)는 제4 반송 장치(100d)가 검사 위치에서 검사를 받는 동안 제1 내지 제3 반송 장치(100a, 100b, 100c)들이 제2 경로(RA2)로 진입하지 못하도록 제어할 수 있다. 예를 들어, 반송 장치 제어기(200)는 현재 검사 순위(예를 들어, 1 순위)의 바로 다음 순위(예를 들어, 2 순위)에 해당하는 제2 반송 장치(100b)가 제1 위치에 도착하면, 제2 반송 장치(100b)를 제1 위치에 대기시킬 수 있다. 반송 장치 제어기(200)는 현재 검사 순위(예를 들어, 1 순위)의 바로 다음 순위가 아닌(예를 들어, 3 순위, 4 순위 또는 검사 대상 아님) 반송 장치(100c, 100a, 100e)가 제1 위치에 도착하면, 제1 위치에 도착한 반송 장치(100c, 100a, 100e)를 제1 경로(RA1) 상의 제3 태그(TA3)가 있는 위치로 이동시킬 수 있다.
일 실시예에 있어서, 반송 장치 제어기(200)는 제4 반송 장치(100d)에 대한 검사가 완료된 후에 제1 내지 제3 반송 장치(100c)들을 검사 순서에 따라 검사기(300)로 이동할 수 있도록, 제1 위치 주변에 제1 내지 제3 반송 장치(100a, 100b, 100c)를 검사 순서에 따라 미리 정렬시킬 수 있다.
제4 반송 장치(100d)에 대한 검사가 완료된 후에, 제4 반송 장치(100d)는 검사 위치로부터 벗어날 수 있다. 검사기(300)가 제4 반송 장치(100d)를 리프터를 통해 투출구로 이동시키거나, 반송 장치 제어기(200)가 제4 반송 장치(100d)를 제1 경로(RA1)로 다시 진입시킬 수 있다. 제4 반송 장치(100d)를 리프터를 통해 투출구로 이동시키는 경우, 검사기(300)는 제4 반송 장치(100d)를 제2 경로(RA2) 상의 제4 태그(TA4)가 설치된 위치로 이동시킬 수 있다.
제4 반송 장치(100d)가 검사 위치로부터 벗어나면, 반송 장치 제어기(200)는 검사 순위가 2 순위인 제2 반송 장치(100b)를 검사 위치로 이동시킬 수 있다. 제2 반송 장치(100b)를 검사 위치로 이동시키는 과정은 전술한 제4 반송 장치(100d)를 검사 위치로 이동시키는 과정과 동일하게 반복될 수 있다. 이후, 검사 순위가 3 순위인 제3 반송 장치(100c)와 검사 순위가 4 순위인 제1 반송 장치(100a)에 대해서도 전술한 과정이 순차로 동일하게 적용될 수 있다.
도 9는 본 개시의 일 실시예에 따른 반송 장치가 검사기에서 이동하는 모습을 도시한 도면이다. 도 10는 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 거리 센서에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다. 도 11은 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 카메라에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다. 도 12는 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 측정기에 의한 반송 장치의 검사 모습을 도시한다. 도 13은 본 개시의 일 실시예에 따른 검사기가 포함하는 리프터가 동작하는 모습을 도시한다.
도 7 및 도 9를 참조하면, 제2 경로(RA2)는 제1 레일(R1)과 제2 레일(R2)을 포함할 수 있다. 제1 레일(R1)은 제1 경로(RA1)로부터 분기될 수 있다. 제1 레일(R1)은 제1 경로(RA1)와 이격되어 제1 경로(RA1)에 의한 진동이 제1 레일(R1)에 전달되지 않을 수 있다. 제2 레일(R2)은 제1 경로(RA1)로부터 분기될 수 있다. 제2 레일(R2)은 제1 레일(R1)과 제1 경로(RA1) 사이에 위치할 수 있다. 제2 레일(R2)은 제1 경로(RA1)외 이격되어 제1 경로(RA1)에 의한 진동이 제2 레일(R2)에 전달되지 않을 수 있다. 제2 레일(R2)은 제1 레일(R1)과도 이격되거나, 또는 제1 레일(R1)과 분리 가능하게 연결될 수 있다.
도 9 내지 도 13을 참조하면, 검사기(300)는 판넬(P), 포트(310), 카메라(302a), 측정기(302b), 리프터(305) 및 투출구(390)를 포함할 수 있다. 판넬(P)은 제2 경로(RA2) 상에 위치할 수 있다. 판넬(P)은 제2 경로(RA2)의 제1 레일(R1) 및 제2 레일(R2)의 적어도 일부를 감쌀 수 있다. 판넬(P)은 제2 경로(RA2)의 상면 및 양 측면 상에 위치하며, 하측 방향으로 개방될 수 있다. 반송 장치(100)는 제2 경로(RA2)를 통과하면서 판넬(P)의 내부를 통과할 수 있다. 판넬(P)은 검사기(300)가 카메라(302a)를 이용하여 반송 장치(100)를 촬영할 때에 빛이 외부로 방출되는 것을 방지할 수 있다.
도 6, 도 9 및 도 10를 참조하면, 포트(310)가 제1 레일(R1) 아래에 위치할 수 있다. 포트(310)에는 거리 센서(302c)가 구비될 수 있다. 거리 센서(302c)는 반송 장치(100)의 핸들러(122)가 상하로 이동할 때 수평을 유지하는지 확인할 수 있다. 예를 들어, 거리 센서(302c)는 포트(310) 상에 복수 개가 서로 이격되어 배치되며, 복수 개의 거리 센서(302c)들 각각이 핸들러(122)의 하면까지의 거리를 측정할 수 있다. 검사기(300)의 제어부(301)는 측정된 거리를 진단 서버(400)로 송신하고, 진단 서버(400)의 진단부(401)에서 측정된 거리에 기초하여 핸들러(122)의 수평 유지 여부를 확인함으로써, 반송 장치(100)의 이상 여부를 진단할 수 있다.
도 6, 도 9 및 도 11을 참조하면, 검사기(300)는 카메라(302a)를 포함할 수 있다. 카메라(302a)는 판넬(P)의 내측에 위치하며, 외측에도 더 위치할 수도 있다. 카메라(302a)는 제1 레일(R1)에 도착한 반송 장치(100)의 외관을 촬영할 수 있다. 카메라(302a)는 제1 레일(R1)에 도착한 반송 장치(100)의 각 구성들을 촬영하는데 용이한 위치에 설치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 포트(310) 상에는 물류가 제공될 수 있다. 반송 장치(100)는 포트(310) 상에 제공된 물류를 탑재할 수 있다. 또는 반송 장치(100)는 로드하고 있던 물류를 포트(310) 상에 놓을 수 있다. 카메라(302a)는 반송 장치(100)가 물류를 탑재하거나 놓는 모습을 촬영할 수 있다.
검사기(300)의 제어부(301)는 카메라(302a)에서 촬영한 영상 또는 이미지를 진단 서버(400)로 송신하고, 진단 서버(400)의 진단부(401)에서 촬영된 영상 또는 이미지를 분석하여 반송 장치(100)의 이상 여부를 진단할 수 있다.
도 6, 도 9 및 도 12를 참조하면, 검사기(300)는 측정기(302b)를 포함할 수 있다. 측정기(302b)는 판넬(P)의 내측에 위치하며, 외측에도 더 위치할 수 있다. 측정기(302b)는 제1 레일(R1)에 도착한 반송 장치(100)가 포함하는 센서(130)들의 상태를 검사할 수 있다. 측정기(302b)는 센서(130)들이 조사하는 광을 수광하여 광량을 측정하거나 센서(130)들이 광을 조사 위치하는 위치를 확인할 수 있다.
검사기(300)의 제어부(301)는 센서(130)들로부터 광을 측정한 결과를 진단 서버(400)로 송신하고, 진단 서버(400)의 진단부(401)에서 광을 측정한 결과를 분석하여 반송 장치(100)의 이상 여부를 진단할 수 있다.
도 1 및 도 9 내지 도 12를 참조하면, 검사기(300)는 제1 레일(R1)에 도착한 반송 장치(100)에 대하여 검사를 실시할 수 있다. 검사기(300)는 카메라(302a), 측정기(302b) 및 거리 센서(302c)를 이용하여 반송 장치(100)의 이상 여부를 검사할 수 있다. 검사기(300)는 반송 장치(100)에 대한 검사를 완료한 후, 반송 장치(100)를 제2 레일(R2)로 이동시킬 수 있다. 검사기(300)는 반송 장치(100)에 대한 검사를 완료한 후, 검사 결과를 진단 서버(400)로 송신하고, 진단 서버(400)로부터 상기 검사 결과를 통해 반송 장치(100)의 이상 여부를 진단한 진단 결과를 수신할 수 있다. 검사기(300)는 진단 결과가 정상인 경우, 반송 장치(100)를 제2 레일(R2)을 통과하여 제1 경로(RA1)로 다시 진입하도록 제어할 수 있다.
도 13을 참조하면, 리프터(305)는 제2 레일(R2)을 상하로 이동시킬 수 있다. 예를 들어, 리프터(305)는 모터에 의해 회전하는 회전체(305a)에 벨트(305b)나 체인이 연결되는 구성을 가질 수 있으며, 벨트(305b)나 체인에 제2 레일(R2)이 연결될 수 있다. 리프터(305)는 벨트나 체인의 이동에 따라 제2 레일(R2)을 상하로 이동시킬 수 있다. 다만, 리프터(305)의 구성이 이에 한정되는 것은 아니며, 제2 레일(R2)을 상하로 이동시킬 수 있는 다른 실시 예가 적용될 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 반송 장치(100)가 이상이 있는 것으로 판단된 경우, 리프터(305)는 제2 레일(R2)을 하강시킬 수 있다. 제2 레일(R2)은 리프터(305)를 통해 아래로 하강하여 투출구(390)에 위치하는 제3 레일(RA3)과 정렬될 수 있다. 반송 장치(100)는 제3 레일(RA3)을 통해 투출구(390)로 이동할 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 기술적 사상에 따른 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해하여야 한다.
100: 반송 장치 110: 구동 장치
120: 호이스트 130: 센서부
140: 제어부 200: 반송 장치 제어기
300: 검사기 301: 제어부
302: 검사 모듈 303: 디스플레이부
304: 인터페이스부 305: 리프터
400: 진단 서버 401: 진단부
402: 데이터 베이스 403: 스케쥴링부
404: 디스플레이부 405: 인터페이스부

Claims (10)

  1. 반송 경로를 따라 이동하는 복수의 반송 장치;
    상기 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 진단 서버;
    상기 진단 서버로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사하는 검사기; 및
    상기 검사기로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 복수의 반송 장치를 상기 검사 일정 정보에 따라 순차로 검사 위치로 이동하도록 제어하는 반송 장치 제어기를 포함하는, 반송 장치 검사 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 반송 장치 제어기는,
    상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치 중 현재 검사 순서에 해당하는 반송 장치를 상기 검사 위치로 이동시키고, 및
    현재 검사 순서가 아닌 반송 장치들을 상기 검사 위치로 이동하지 않도록 제어하는, 반송 장치 검사 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 검사기는,
    상기 검사 위치에 있는 반송 장치를 검사하는 검사 모듈; 및
    상기 검사 모듈로부터 검사 결과를 수신하여 상기 진단 서버로 송신하는 제어부를 포함하는, 반송 장치 검사 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 검사기의 진입부에 도착한 반송 장치와 통신하여 상기 반송 장치의 도착을 확인하고, 상기 반송 장치가 현재 검사 순위에 해당하는 반송 장치인지 확인하는, 반송 장치 검사 시스템.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 진단 서버는,
    상기 검사 결과를 분석하여 상기 반송 장치에 대한 이상 여부를 진단하고, 진단 결과를 상기 검사기로 송신하는 진단부를 포함하는, 반송 장치 검사 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 진단 결과가 정상 또는 점검 요망인 경우, 상기 반송 장치 제어기로 상기 반송 장치를 상기 검사 위치 외부로 이동시키도록 요청하고, 및
    상기 진단 결과가 이상인 경우, 상기 반송 장치를 상기 검사기의 투출구로 이동시키는, 반송 장치 검사 시스템.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 진단 서버는,
    상기 진단 결과를 저장하는 데이터 베이스; 및
    상기 데이터 베이스에 저장된 진단 결과들을 기초로 상기 검사 일정 정보를 생성하는 스케쥴링부를 포함하는, 반송 장치 검사 시스템.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 진단 서버는,
    상기 진단 결과를 출력하는 디스플레이부; 및
    사용자로부터 상기 검사 일정 정보를 생성하기 위한 정보를 입력 받는 인터페이스부를 더 포함하고,
    상기 스케쥴링부는,
    상기 인터페이스부를 통해 입력 받은 정보를 기초로 상기 검사 일정 정보를 생성하는, 반송 장치 검사 시스템.
  9. 반송 경로를 따라 이동하는 복수의 반송 장치;
    상기 복수의 반송 장치에 대한 검사 일정 정보를 생성하는 진단 서버;
    상기 진단 서버로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치를 순차로 검사하는 검사기; 및
    상기 검사기로부터 상기 검사 일정 정보를 수신하고, 상기 복수의 반송 장치를 상기 검사 일정 정보에 따라 순차로 검사 위치로 이동하도록 제어하는 반송 장치 제어기를 포함하되,
    상기 검사기는 상기 검사 위치에 도착한 반송 장치를 검사하는 검사 모듈을 포함하고, 및
    상기 진단 서버는 상기 검사기가 상기 반송 장치를 검사한 검사 결과를 수신하고, 상기 검사 결과를 분석하여 상기 반송 장치에 대한 이상 여부를 진단하는 진단부를 포함하는, 반송 장치 검사 시스템.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 반송 장치 제어기는,
    상기 검사 일정 정보에 따라 상기 복수의 반송 장치 중 현재 검사 순서에 해당하는 반송 장치를 상기 검사 위치로 이동시키고, 및
    현재 검사 순서가 아닌 반송 장치들을 상기 검사 위치로 이동하지 않도록 제어하는, 반송 장치 검사 시스템.
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