KR20230058767A - 반도체 배관 연결용 볼 밸브 - Google Patents

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KR20230058767A
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Abstract

본 발명은 반도체 배관 연결용 볼 밸브에 관한 것으로 개시된 본 발명은 내부에 양측을 관통하는 통로가 형성되며, 상기 통로의 중간에는 설치홈이 형성되고, 상기 양측에서 한쪽 단부에는 결합 플랜지가 형성되는 밸브 케이스와, 중심에 양단을 관통하는 관통공이 형성되고, 상기 밸브 케이스의 한쪽을 통해 상기 설치홈에 설치되며, 마주하는 양측에는 볼시트가 구비되고, 상기 설치홈에 설치된 상태에서 상기 밸브 케이스의 상측을 통해 관통 설치되는 밸브 손잡이의 스템과 연결되는 볼 및 중심부는 관통 형성되며, 길이방향의 일측은 상기 밸브 케이스의 한쪽에 끼워져 결합되고, 타측의 단부는 연장 플랜지로 구성되는 인서트 캡이 포함되어 구성된 것이 특징이다.

Description

반도체 배관 연결용 볼 밸브{Ball valve for semiconductor piping connection}
본 발명은 반도체 배관의 연결부위에 사용되는 볼 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 밸브 케이스에 설치된 볼의 고정을 위해 밸브 케이스에 결합되는 인서트 캡으로 인하여 밸브 케이스에 볼이 부정확하게 설치되면서 볼 밸브의 개폐 조작 성능이 불량해지는 현상을 방지할 수 있는 반도체 배관 연결용 볼 밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 제품은 매우 정밀한 반도체 제조 공정 및 반도체 제조 공정을 수행하는 반도체 제조 설비에 의하여 이루어진다.
이와 같은 반도체 제조 설비는 순수 실리콘 웨이퍼에 반도체 박막이 선택적으로 형성될 수 있도록 마스크 역할을 하는 포토 마스크 공정을 수행하는 선행 반도체 제조 설비 그룹 및 포토 마스크를 매개로 웨이퍼에 소정 특성을 갖는 반도체 박막을 증착하는 증착 공정, 웨이퍼 또는 이미 형성된 반도체 박막을 패터닝하기 위한 식각 공정, 확산에 의하여 웨이퍼에 산화막 또는 질화막을 형성하는 확산 공정 등을 포함하는 후속 반도체 제조 설비 그룹으로 나뉘어진다.
이들 중 확산 공정을 수행하는 후속 반도체 제조 설비의 경우, 로딩된 웨이퍼에 산소 및 HCL 가스를 함께 공급하여 순수 실리콘과 산소가 화학 반응함과 동시에 반도체 공정에 치명적인 악영향을 미치는 것으로 알려진 알칼리 이온인 Na,K 등을 제거하는 등의 기능을 수행하는 메인 프로세스 챔버 및 공정 중 발생한 폐가스 및 미반응 가스를 배기하는 배기 배관이 포함된다.
이에 더하여, 배기 배관에는 배기되는 폐가스 및 미반응 가스의 온/오프(ON/OFF)는 물론 정기 사전예방정비(preventive manager) 또는 중간 사전예방정비를 수행할 때 사용되는 개폐 밸브가 설치된다.
특히, 정기 사전예방정비 또는 중간 사전예방정비를 수행할 때에는 개폐 밸브를 풀 오픈(full open) 시키고, 공정 진행 중에는 풀 오픈 상태에 비하여 1/3 정도를 오픈시킨다.
이와 같은 역할을 하는 개폐 밸브는 다양한 종류가 있으며, 이중 볼 밸브는 양단이 관통되는 밸브 케이스의 내부에 중심을 관통하는 관통공이 형성된 볼이 수납되고, 이러한 볼은 밸브 케이스의 외부에 위치하게 되는 스템 및 밸브 손잡이와 결합된다.
이와 같은 볼 밸브는 밸브 손잡이가 회전되면서 관통공이 배기 배관과 일직선을 이룰 경우 유체의 흐름이 발생하게 되고, 관통공이 배기 배관과 직각을 이룰 경우 유체의 흐름은 차단된다.
한편, 이와 같은 볼 밸브의 조립 과정을 보면, 밸브 케이스의 개방된 양측 중 일측을 통해 밸브 케이스 내부에 볼이 설치되고, 밸브 케이스의 개방된 일측으로 인서트 캡이 결합됨에 따라 이러한 인서트 캡을 통해 볼이 설치홈에 이탈 없이 정확하게 설치될 수 있으며, 이후 볼은 밸브 케이스 상측 외부에서 내부로 관통 설치되는 스템의 한쪽과 연결되며, 스템의 다른 한쪽은 밸브 손잡이가 설치된다.
그러나 종래에는 밸브 케이스의 내부에 볼이 설치된 상태에서 밸브 케이스의 개방된 일측으로 인서트 캡이 결합될 때, 인서트 캡이 과도하게 결합될 수 있으며, 이러한 경우에는 인서트 캡이 볼을 불필요하게 가압하게 되면서 볼의 자유로운 회전을 방해하게 되어 볼 밸브의 작동 성능이 저하되고, 유지 관리에 어려움이 발생되는 문제점이 있었다.
대한민국 공개특허 10-2003-0028509호(2003.04.08 공고)
본 발명은 상기한 종래 기술의 문제점을 해소하기 위해 안출 된 것으로, 볼 밸브의 밸브 케이스 내부에 설치된 볼의 고정을 위한 인서트 캡의 결합 불량을 방지하여 볼 밸브의 조립 정확성을 높이고, 볼 밸브의 조작성을 향상시킬 수 있도록 한 반도체 배관 연결용 볼 밸브를 제공하는데 그 목적이 있다.
아울러, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한될 필요는 없으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
바람직한 일 실시 예에 따른 본 발명에 따른 반도체 배관 연결용 볼 밸브는,
내부에 양측을 관통하는 통로가 형성되며, 상기 통로의 중간에는 설치홈이 형성되고, 상기 양측에서 한쪽 단부에는 결합 플랜지가 형성되는 밸브 케이스와,
중심에 양단을 관통하는 관통공이 형성되고, 상기 밸브 케이스의 한쪽을 통해 상기 설치홈에 설치되며, 마주하는 양측에는 볼시트가 구비되고, 상기 설치홈에 설치된 상태에서 상기 밸브 케이스의 상측을 통해 관통 설치되는 밸브 손잡이의 스템과 연결되는 볼 및
중심부는 관통 형성되며, 길이방향의 일측은 상기 밸브 케이스의 한쪽에 끼워져 결합되고, 타측의 단부는 연장 플랜지로 구성되는 인서트 캡을 포함하여 구성된다.
더 바람직하게 상기 밸브 케이스의 한쪽의 통로 내측둘레에 나사 체결홈이 형성되고, 상기 인서트 캡의 일측 외측둘레에는 상기 나사 체결홈에 체결될 수 있도록 나사 체결부가 형성될 수 있다.
더 바람직하게 상기 밸브 케이스의 결합 플랜지 안쪽면은 상기 인서트 캡의 연장 플랜지 바깥면에 대응될 수 있도록 단턱부가 형성되고, 패킹이 설치되는 패킹 설치부가 상기 단턱부로부터 단차를 이루어 함께 형성될 수 있다.
더욱 바람직하게 상기 인서트 캡의 연장 플랜지 안쪽면 끝단에 스토퍼가 돌출 형성되되, 상기 스토퍼는 상기 인서트 캡의 연장 플랜지 안쪽면과 평행을 이루어 형성될 수 있다.
더 바람직하게 상기 인서트 캡의 연장 플랜지 안쪽면에는 동심원 형태의 요철홈이 형성될 수 있다.
더 바람직하게 상기 인서트 캡의 연장 플랜지에 관통 형성되는 중심부 내측둘레에는 공구 설치홈이 구비될 수 있다.
더욱 바람직하게 상기 공구 설치홈은 상기 중심부 내측둘레를 따라 마주하여 대칭을 이루면서 복수개로 구성될 수 있다.
더욱 바람직하게 상기 인서트 캡의 연장 플랜지에 형성되는 상기 스토퍼는 오링이 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 반도체 배관 연결용 볼 밸브는 아래와 같은 효과를 가진다.
즉, 본 발명은 볼 밸브의 밸브 케이스 내부에 형성된 설치홈으로 볼이 설치된 후, 밸브 케이스의 일측으로 볼의 고정을 위한 인서트 캡이 나사 결합될 때, 인서트 캡에 후단에 구비되는 스토퍼가 밸브 케이스 일측의 결합 플랜지에 걸리도록 구성됨으로써, 밸브 케이스에 인서트 캡이 과도하게 결합되면서 이러한 인서트 캡의 과도한 결합으로 인해 볼 밸브의 조작성이 불량해지던 현상을 효과적으로 방지할 수 있는 것이다.
여기서, 이와 같이 기재된 본 발명의 효과는 발명자가 인지하는지 여부와 무관하게 기재된 내용의 구성에 의해 당연히 발휘되게 되는 것이므로 상술한 효과는 기재된 내용에 따른 몇 가지 효과일 뿐 발명자가 파악한 또는 실재하는 모든 효과를 기재한 것이라 인정되어서는 안 된다.
또한, 본 발명의 효과는 명세서의 전체적인 기재에 의해서 추가로 파악되어야 할 것이며, 설사 명시적인 문장으로 기재되어 있지 않더라도 기재된 내용이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 명세서를 통해 그러한 효과가 있는 것으로 인정할 수 있는 효과라면 본 명세서에 기재된 효과로 보아야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따라 볼 밸브를 통해 양쪽 배관이 연결된 상태를 나타낸 요부 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따라 볼 밸브를 구성하는 밸브 케이스와 인서트 캡의 구성을 나타낸 분리 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따라 볼 밸브를 구성하는 볼브 케이스를 나타낸 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시 예에 따라 볼 밸브를 구성하는 인서트 캡을 나타낸 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시 예에 따라 볼 밸브의 구성을 나타낸 단면도이다.
도 6은 도 5의 A부분을 확대한 도면이다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 구성 및 작용을 상세히 설명하기로 한다.
이는 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 내용을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세하게 설명하기 위한 것이며, 이로 인해 본 발명의 기술적인 사상 및 범주가 한정되는 것을 의미하지는 않는다.
또한, 각 도면의 구성요소들에 대해 참조부호를 부가함에 있어, 동일한 구성요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호로 표기되었음에 유의하여야 하며, 본 발명의 구성 및 작용을 고려하여 특별히 정의된 용어들은 사용자, 운용자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있고, 이러한 용어들에 대한 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 판단되어야 한다.
아울러, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
우선, 본 발명의 일 실시 예 따른 반도체 배관 연결용 볼 밸브의 구성은 크게 양측으로 배관이 연결되는 밸브 케이스와, 그러한 밸브 케이스의 내부에 설치되어 스템과 밸브 손잡이를 통해 밸브 케이스 내부에서 회전되면서 밸브 케이스의 유로를 개폐하는 볼과, 밸브 케이스의 일측에 설치되어 밸브 케이스 내부에 설치된 볼을 고정시켜주는 인서트 캡으로 구분될 수 있으며, 이하 예시된 도면을 통해 본 발명의 일 실시 예에 따른 각 구성요소를 보다 구체적으로 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 밸브 케이스(100)는,
볼 밸브의 몸체가 되며, 마주하는 양측으로 배관(400)(500)이 각각 연결되고, 내부는 양측을 연결하는 통로(110)로 형성되며, 그러한 통로(110)의 중간에는 밸브 손잡이(240)가 연결되어 있는 스템(230)과 결합된 상태에서 밸브 손잡이(240)의 조작에 따라 밸브 케이스(100)의 내부에서 회전되는 볼(200)이 설치된다.
밸브 케이스(100)는 주물로 주조될 수 있으며, 일측은 한쪽 배관(400)과 용접 등에 의해 결합될 수 있고, 타측은 볼(200)이 끼워져 설치될 있도록 통로(110)가 확대된 형태로 구성될 수 있으며, 이러한 타측의 끝단은 바깥쪽으로 구부러지면서 체결공이 형성되는 결합 플랜지(130)로 구성되어 다른 한쪽 배관(500)과 플랜지 결합을 통해 연결될 수 있다.
밸브 케이스(100)의 내부에 형성되는 통로(110)의 중간에는 볼(200)이 바람직하게 설치될 수 있도록 설치홈(120)이 형성될 수 있으며, 밸브 케이스(100)에서 설치홈(120)의 위치와 상응하는 위쪽으로는 밸브 손잡이(240)와 연결되는 스템(230)이 관통 설치되어 설치홈(120)에 설치되어 있는 볼(200)과 연결될 수 있다.
볼(200)은,
앞서 설명한 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 설치되어 회전을 통해 밸브 케이스(100)의 통로(110)를 개폐해주는 역할을 하게 된다.
볼(200)은 구형이면서 중심에 양단을 관통하는 관통공(210)이 형성되며, 이러한 관통공(210)은 밸브 케이스(100)의 설치홈(120)에 설치된 상태에서 통로(110)와 동심을 이루게 되고 볼(200)의 회전 상태에 따라 통로(110)와 관통공(210)이 일치하게 되면서 밸브 케이스(100)의 통로(110)가 개방되거나, 통로(110)와 관통공(210)이 불일치하게 되면서 밸브 케이스(100)의 통로(110)가 폐쇄될 수 있다.
볼(200)은 밸브 케이스(100)의 타측을 통해 통로(110)로 삽입되어 통로(110)의 안쪽에 형성되어 있는 설치홈(120)에 설치되며, 볼(200)이 설치홈(120)에 설치된 상태에서는 밸브 케이스(100)의 상측에 관통되어 설치되는 스템(230)의 하단과 연결되고, 이러한 스템(230)의 상단에는 밸브 손잡이(240)가 연결되면서 밸브 손잡이(240)의 회전에 따라 스템(230)을 통해 볼(200)이 설치홈(120) 내에서 회전될 수 있다.
그리고 밸브 케이스(100)의 타측을 통해 통로(110)의 설치홈(120)에 볼(200)이 설치된 후에는 밸브 케이스(100)의 타측으로 인서트 캡(300)이 설치됨에 따라 이러한 인서트 캡(300)에 의해 밸브 케이스(100)의 설치홈(120)에서 볼(200)이 이탈되는 현상이 방지될 수 있다.
한편, 밸브 케이스(100)의 설치홈(120)에 볼(200)이 설치될 때, 볼(200)이 설치홈(120) 내에서 원활하게 회전될 수 있도록 볼(200)의 양측에 볼시트(220)가 구비된 상태에서 설치홈(120)에 설치되며, 이에 따라 설치홈(120) 내에는 이러한 볼시트(220)가 안착될 수 있도록 볼시트 안착홈이 구비될 수 있다.
인서트 캡(300)은,
앞서 설명한 밸브 케이스(100)의 설치홈(120)으로 볼(200)이 설치된 상태에서 설치홈(120)으로부터 볼(200)이 이탈되는 것을 방지해준다.
인서트 캡(300)은 밸브 케이스(100)의 통로(110) 및 볼(200)의 관통공(210)과 서로 연통되어 유체의 흐름이 지속될 수 있도록 중심부는 관통된다.
그리고 길이방향 일측은 소정 길이로 돌출된 상태에서 밸브 케이스(100)의 한쪽을 통해 통로(110)에 끼워져 결합되며, 그러한 일측의 단부는 밸브 케이스(100)의 설치홈(120)에 설치된 볼(200)과 접면하게 되는데, 구체적으로 일측의 단부는 볼(200)의 한쪽에 구비된 볼시트(220)와 접면하게 되며, 이러한 일측 단부에는 볼시트(220)가 안착될 수 있도록 볼시트 안착홈이 구비될 수 있다.
한편, 밸브 케이스(100)의 한쪽을 통해 인서트 캡(300)이 끼워져 결합됨에 있어서, 별도의 결합수단을 통해 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)에 억지끼움으로 결합될 수 있으며, 결합수단의 사용 없이 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)에 억지끼움으로 결합될 수도 있다.
바람직한 실시 예로는 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)의 한쪽을 통해 나사체결의 방식으로 결합될 수도 있다.
즉, 밸브 케이스(100)의 한쪽에 위치한 통로(110) 내부에는 내측둘레를 따라 나사 체결홈(140)이 형성되고, 인서트 캡(300) 일측의 외측둘레에는 밸브 케이스(100)의 한쪽에 위치한 통로(110) 내부에 구비된 나사 체결홈(140)으로 나사 결합될 수 있도록 나사 체결부(320)가 형성될 수 있다.
여기서, 인서트 캡(300)의 길이방향 타측은 단부가 바깥쪽으로 구부러져 연장 플랜지(310)로 구성될 수 있으며, 이러한 연장 플랜지(310)는 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)에 나사체결의 방식으로 결합될 때, 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130)와 접면될 수 있다.
그리고 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130) 안쪽면에는 패킹(133)을 설치함으로써, 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130) 안쪽면으로 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 바깥면이 접면될 때 이러한 패킹(133)의 개재를 통해 결합 플랜지(130)와 연장 플랜지(310)의 연결부위를 통해 기밀이 누설되는 것을 방지할 수 있다.
또한, 밸브 케이스의 결합 플랜지(130) 안쪽면에는 안쪽으로 함몰되는 형태의 단턱부(132)가 형성되고, 이러한 단턱부(132)는 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 바깥면과 대응하게 되며, 그러한 단턱부(132)에는 패킹(133)이 설치될 수 있도록 단차를 두면서 패킹 설치부(131)가 연속하여 형성될 수 있다.
한편, 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 인서트 캡(300)이 나사체결의 방식으로 결합되는 경우, 나사체결의 정도에 따라 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 과도하게 결합되면 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 바깥면이 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130) 안쪽면 패킹 설치부(131)에 설치된 패킹(133)을 필요 이상 가압하게 되어 패킹(133)이 손상 내지 변형될 수 있고, 이러한 경우에는 기밀유지가 어려워지게 되며, 패킹(133)이 손상 내지 변형되지 않더라도 인서트 캡(300)이 볼(200) 쪽으로 필요 이상 이동됨에 따라 인서트 캡(300)이 볼(200)의 회전에 간섭을 주게 되면서 볼(200)의 회전에 의한 유로의 개폐가 불량해질 수도 있다.
이에 따라 본 발명은 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 안쪽면 끝단에 안쪽면으로부터 수평하게 연장되는 스토퍼(311)를 소정 길이로 형성함으로써, 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 인서트 캡(300)이 체결되어 결합될 때, 인서트 캡(300)의 스토퍼(311)가 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130) 안쪽면에 걸리게 되면서 더 이상 과도한 체결이 방지됨에 따라 인서트 캡(300)이 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 체결될 때 과도한 체결로 인하여 패킹(133)이 손상되거나 변형되는 현상을 방지할 수 있으며, 볼(200)의 회전에 간섭을 주는 현상 또한 방지할 수 있다.
여기서, 결합 플랜지(130)의 안쪽면에 접면하게 되는 스토퍼(311) 표면에는 오링(313)을 추가로 설치할 수 있으며, 이와 같이 스토퍼(311)의 표면에 오링(313)이 설치되면 앞서 설명한 결합 플랜지(130)의 패킹(133)과 함께 결합 플랜지(130)와 연장 플랜지(310) 사이의 기밀을 더욱 견고하게 유지시킬 수 있는 것이다.
아울러, 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 안쪽면에는 동심원 형태로 다수의 요철홈(312)이 형성될 수 있으며, 이는 인서트 캡(300)이 결합된 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130)에 다른 한쪽 배관(500)의 플랜지가 결합되어 서로 연결될 때, 기밀의 유지를 더욱 견고하게 할 수 있는 것이다.
또한, 인서트 캡(300)의 관통 형성된 중심부 내측둘레에는 인서트 캡(300)을 밸브 케이스(100)의 통로(110)에 결합시킬 때 공구를 이용하여 효과적이면서 정확하게 결합시킬 수 있도록 공구 설치홈(314)이 형성될 수 있으며, 이러한 공구 설치홈(314)은 중심부 내측둘레를 따라 방사형을 이루면서 서로 마주하여 대칭이 되도록 복수개가 형성될 수 있다.
이상과 같이 본 발명의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관한 설명을 하였으나, 기재된 내용의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로 기재된 내용의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해질 필요는 없으며, 후술하는 청구범위 뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
100 : 밸브 케이스 110 : 통로
120 : 설치홈 130 : 결합 플랜지
131 : 패킹 설치부 132 : 단턱부
133 : 패킹 140 : 나사 체결홈
200 : 볼 210 : 관통공
220 : 볼시트 230 : 스템
240 : 밸브 손잡이 300 : 인서트 캡
310 : 연장 플랜지 311 : 스토퍼
312 : 요철홈 313 : 오링
314 : 공구 설치홈 320 : 나사 체결부
400 : 한쪽 배관 500 : 다른 한쪽 배관

Claims (8)

  1. 내부에 양측을 관통하는 통로(110)가 형성되며, 상기 통로(110)의 중간에는 설치홈(120)이 형성되고, 상기 양측에서 한쪽 단부에는 결합 플랜지(130)가 형성되는 밸브 케이스(100);
    중심에 양단을 관통하는 관통공(210)이 형성되고, 상기 밸브 케이스(100)의 한쪽을 통해 상기 설치홈(120)에 설치되며, 마주하는 양측에는 볼시트(220)가 구비되고, 상기 설치홈(120)에 설치된 상태에서 상기 밸브 케이스(100)의 상측을 통해 관통 설치되는 밸브 손잡이(240)의 스템(230)과 연결되는 볼(200); 및
    중심부는 관통 형성되며, 길이방향의 일측은 상기 밸브 케이스(100)의 한쪽에 끼워져 결합되고, 타측의 단부는 연장 플랜지(310)로 구성되는 인서트 캡(300);
    이 포함된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 케이스(100)의 한쪽의 통로(110) 내측둘레에 나사 체결홈(140)이 형성되고,
    상기 인서트 캡(300)의 일측 외측둘레에는 상기 나사 체결홈(140)에 체결될 수 있도록 나사 체결부(320)가 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 밸브 케이스(100)의 결합 플랜지(130) 안쪽면은,
    상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 바깥면에 대응될 수 있도록 단턱부(132)가 형성되고, 패킹(133)이 설치되는 패킹 설치부(131)가 상기 단턱부(132)로부터 단차를 이루어 함께 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 안쪽면 끝단에 스토퍼(311)가 돌출 형성되되, 상기 스토퍼(311)는 상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 안쪽면과 평행을 이루어 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310) 안쪽면에는 동심원 형태의 요철홈(312)이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310)에 관통 형성되는 중심부 내측둘레에는 공구 설치홈(314)이 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 공구 설치홈(314)은 상기 중심부 내측둘레를 따라 마주하여 대칭을 이루면서 복수개로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
  8. 청구항 4에 있어서,
    상기 인서트 캡(300)의 연장 플랜지(310)에 형성되는 상기 스토퍼(311)는 오링(313)이 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체 배관 연결용 볼 밸브.
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