KR20230058526A - 가스 충전 완료 충전 용기 및 (e)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법 - Google Patents

가스 충전 완료 충전 용기 및 (e)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법 Download PDF

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Abstract

충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 장기간에 걸쳐 저하하기 어려운 가스 충전 완료 충전 용기를 제공한다. 가스 충전 완료 충전 용기는, 충전 용기에 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어서 이루어진다. 충전 용기 중, 충전되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분은 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있다.

Description

가스 충전 완료 충전 용기 및 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법
본 발명은 가스 충전 완료 충전 용기, 및, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법에 관한 것이다.
드라이 에칭에 있어서 미세한 가공을 안정적으로 행하기 위해서는, 드라이 에칭 가스가 고순도(예를 들면 99.9체적% 이상)인 것이 요구된다. 또한, 드라이 에칭 가스는 충전 용기에 충전된 상태로 사용시까지 보관되므로, 충전 용기 속에서 장기간에 걸쳐 고순도가 유지될 필요가 있다.
특허문헌 1에는, 드라이 에칭 가스로서 사용 가능한 2-플루오로부탄, 2-플루오로-2-메틸프로판, 및 2-플루오로펜탄을, 장기간에 걸쳐 고순도를 유지하면서 보관하는 기술이 개시되어 있다. 특허문헌 1에 개시된 기술에서는, 내면에 부착되어 있는 알루미늄의 양이 적은 망간강제의 충전 용기에 2-플루오로부탄, 2-플루오로-2-메틸프로판, 또는 2-플루오로펜탄을 충전함으로써 순도의 저하를 억제하고 있다.
국제공개 제2016/117464호
반도체 제조용의 드라이 에칭 가스로서 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 이용하는 것이 검토되고 있지만, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐은 분자 내에 이중결합을 갖고 있기 때문에, 2-플루오로부탄, 2-플루오로-2-메틸프로판, 및 2-플루오로펜탄과 비교하면 안정성이 낮아, 보관시에 이성화, 중합, 분해 등의 반응을 일으키기 쉬웠다.
그 때문에, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐에 대하여 특허문헌 1에 개시된 기술을 적용하면, 장기간에 걸친 보관 중에 이성화, 중합, 분해 등의 반응이 진행해서 순도가 저하할 경우가 있었다.
본 발명은, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 장기간에 걸쳐 저하하기 어려운 가스 충전 완료 충전 용기, 및, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법을 제공하는 것을 과제로 한다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명의 일양태는 이하의 [1]∼[13]과 같다.
[1] 충전 용기에 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어서 이루어지는 가스 충전 완료 충전 용기로서,
상기 충전 용기 중, 충전되어 있는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 가스 충전 완료 충전 용기.
[2] 상기 충전 용기 중, 충전되어 있는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분이, 구리의 농도가 0.4질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 [1]에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[3] 상기 금속이 강인 [1] 또는 [2]에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[4] 상기 금속이 망간강 및 크롬몰리브덴강 중 적어도 1종인 [1] 또는 [2]에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[5] 상기 구리의 농도는 X선 광전자 분광 분석법에 의해 측정된 것인 [1]∼[4] 중 어느 하나에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[6] 상기 충전 용기가, 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 수용된 봄베와, 상기 봄베의 내부의 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 외부로 흘리는 유로를 개폐하는 밸브를 구비하는 [1]∼[5] 중 어느 하나에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[7] 충전하는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 99.90체적% 이상인 [1]∼[6] 중 어느 하나에 기재된 가스 충전 완료 충전 용기.
[8] 충전 용기에 충전해서 보관하는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법으로서,
상기 충전 용기 중, 충전된 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
[9] 상기 충전 용기 중, 충전된 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.4질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 [8]에 기재된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
[10] 상기 금속이 강인 [8] 또는 [9]에 기재된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
[11] 상기 금속이 망간강 및 크롬몰리브덴강 중 적어도 1종인 [8] 또는 [9]에 기재된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
[12] 상기 구리의 농도는 X선 광전자 분광 분석법에 의해 측정된 것인 [8]∼[11] 중 어느 하나에 기재된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
[13] 충전하는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 99.90체적% 이상인 [8]∼[12] 중 어느 하나에 기재된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
본 발명에 의하면, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 장기간에 걸쳐 저하하기 어렵다.
본 발명의 일실시형태에 대해서 이하에 설명한다. 또, 본 실시형태는 본 발명의 일례를 나타낸 것으로서, 본 발명은 본 실시형태에 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 실시형태에는 여러 가지 변경 또는 개량을 추가하는 것이 가능하고, 그러한 변경 또는 개량을 추가한 형태도 본 발명에 포함될 수 있다.
(E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐은 반도체 제조용의 드라이 에칭 가스로서 이용하는 것이 검토되고 있지만, 공업적으로 많이 이용되고 있는 것이 아니기 때문에 그 물성은 충분히는 해명되어 있지 않고, 장기보존 안정성이나 분해 촉매로 되는 화합물에 대한 보고도 현재까지 거의 존재하지 않는다.
본 발명자들은, 예의 검토한 결과, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐은, 금속 구리, 구리 합금, 또는 구리 화합물에 접촉하면 이성화, 중합, 분해 등의 반응이 생겨서 순도가 저하하는 것을 찾아내어 본 발명을 완성하기에 이르렀다. 본 발명은, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 이성화, 중합, 분해 등의 반응을 억제하기 위해서, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 충전하는 충전 용기의 재질을 규정한 것이다.
즉, 본 실시형태에 따른 가스 충전 완료 충전 용기는, 충전 용기에 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어서 이루어지는 가스 충전 완료 충전 용기로서, 충전 용기 중, 충전되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있다.
또한, 본 실시형태에 따른 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법은, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 충전 용기에 충전해서 보관하는 방법으로서, 충전 용기 중, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있다.
충전 용기 중, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있으므로, 충전되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐에 이성화, 중합, 분해 등의 반응이 생기기 어렵다. 그 때문에, 본 실시형태에 따른 가스 충전 완료 충전 용기를 장기간에 걸쳐 보관했다고 해도, 충전되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 저하하기 어렵다. 따라서, 고순도의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어 있는 가스 충전 완료 충전 용기이면, 장기간의 보관 후도 고순도가 유지되기 쉽다.
또, 상기 구리란 구리원소를 의미하는 것이다. 충전 용기 중, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분을 형성하는 금속이 구리를 함유할 경우에는, 그 구리는 금속 구리이어도 좋고, 구리 합금이어도 좋고, 구리염 등의 구리 화합물이어도 좋다.
또한, 상기 금속이 함유하는 구리의 농도는, 0.5질량% 미만일 필요가 있고, 0.4질량% 이하인 것이 바람직하다. 그리고, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 이성화, 중합, 분해 등의 반응을 보다 억제하기 위해서는, 0.1질량% 이하인 것이 보다 바람직하고, 0.01질량% 이하인 것이 더욱 바람직하다. 구리의 농도의 하한값은 특별히 없지만, 0.001질량% 이상이어도 좋다.
이 구리의 농도의 측정 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, X선 광전자 분광 분석법(X-Ray Photoelectron Spectroscopy: XPS 분석법)에 의해 측정할 수 있다.
〔충전 용기〕
본 실시형태에 따른 가스 충전 완료 충전 용기에 있어서의 충전 용기, 및, 본 실시형태에 따른 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법에 있어서의 충전 용기는, 봄베와 밸브를 구비하는 것이 바람직하다. 봄베는, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 수용되는 부재이다. 이 봄베는, 일체 성형된 이음매가 없는 용기인 것이 바람직하다.
또한, 밸브는, 봄베의 내부의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 외부로 흘리는 유로를 개폐하고, 상기 유로를 흐르는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 흐름을 제어하는 부재이다.
충전 용기 중, 충전된 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분, 예를 들면, 봄베(특히 봄베의 내면)나 밸브는, 강으로 형성되어 있는 것이 바람직하다. 강으로서는, 스테인리스강, 망간강, 및 크롬몰리브덴강 중 적어도 1종을 들 수 있다.
망간강제, 크롬몰리브덴강제의 봄베로서는, 예를 들면 JIS 규격의 JIS G3429(고압 가스 용기용 이음매 무강관)의 STH11, STH12(망간강 강관)이나 STH21, STH22(크롬몰리브덴강 강관)로 정해진 강관으로부터 제조된 봄베가 있다.
단, 이것들의 규격에는 구리의 항목이 없고, 망간강이나 크롬몰리브덴강이 함유하는 구리의 농도는 불분명하기 때문에, 이들 규격을 충족시키는 것 만으로는 불충분하다. 실제로 시판되고 있고 또한 STH12 규격을 충족시키는 복수의 봄베의 내면을 분석한 결과, 구리의 농도가 1.0질량%인 것이나 0.005질량% 미만인 것이 혼재하고 있었다. 그 때문에, 일반적인 망간강, 크롬몰리브덴강을 본 발명에 있어서 사용할 경우는, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 것을 선별할 필요가 있다.
또, 밸브에 대해서는, 봄베와 마찬가지로 강으로 형성되어 있는 것이 바람직하지만, 니켈 도금 등의 도금이 실시되어 있고, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 직접 접촉하지 않도록 되어 있는 것이면, 놋쇠, 모넬(등록상표) 등의 구리 합금으로 형성된 밸브이어도 사용할 수 있다.
〔(E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐〕
충전 용기에 충전하는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도(충전 용기에 충전하기 전의 순도)는, 99.90체적% 이상인 것이 바람직하고, 99.95체적% 이상인 것이 보다 바람직하고, 99.99체적% 이상인 것이 더욱 바람직하다.
상기와 같은 고순도의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 충전 용기에 충전하면, 보관 중에 순도는 거의 저하하지 않으므로 장기간의 보관 후도 고순도가 유지되기 쉽다.
예를 들면, 충전 용기에 충전하기 전의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도를 순도 X, 충전 용기 내에 23℃에서 30일간 정치해서 보관한 후의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도를 순도 Y라고 하면, 순도 Y를 99.90체적% 이상으로 하는 것이 가능하다. 또한, 순도 X와 순도 Y의 차(순도 X-순도 Y)를 0.02퍼센트 포인트 미만으로 하는 것이 가능하다.
순도가 99.90체적% 이상인 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 드라이 에칭 가스로서 사용해서 드라이 에칭을 행하면, 플라즈마의 거동이나 에칭 성능의 재현성이 양호하게 되기 쉽다.
(E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도의 측정 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, 가스 크로마토그래피나 푸리에 변환형 적외 분광 분석법(FT-IR 분석법)에 의해 측정할 수 있다.
충전 용기로의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 충전 방법은 특별히 한정되는 것은 아니지만, 예를 들면, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 질소 가스(N2), 아르곤(Ar), 및 헬륨(He)으로부터 선택되는 불활성 가스에 의해 퍼지 처리한 충전 라인을 통하여 진공 배기한 충전 용기에 충전하는 방법을 들 수 있다.
퍼지 처리는 충전 라인을 불활성 가스로 채운 후에 진공 배기하는 회분 퍼지 처리, 불활성 가스를 충전 라인에 연속적으로 흘리는 유통 퍼지의 어느 방법이라도 좋다.
충전 라인은 부동태화 또는 전해연마로 내면을 처리한 배관으로 구성된 것이 바람직하다.
(E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐과 구리의 접촉에 의해 일어나는 반응에 의한 생성물로서는, 예를 들면, 시스-트랜스 이성화에 의해 생기는 (Z)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이나, 이량체화에 의해 생기는 1,2,3,4-테트라키스(트리플루오로메틸)시클로부탄이나, 중합에 의해 생기는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 중합체를 들 수 있다.
(실시예)
이하에 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 더욱 구체적으로 설명한다.
〔실시예 1〕
구리의 농도가 0.4질량%인 망간강으로 형성되어 있는 용량 10L의 이음매가 없는 용기를 봄베로서 준비했다. 이 봄베의 내면에 대하여 쇼트 블라스트, 산세정, 및 수세를 행하고, 또한 건조를 행하였다. 그 후, 구리의 농도가 0.005질량% 미만인 SUS316L로 형성되어 있는 밸브를 봄베에 부착하여 충전 용기로 했다. 그리고, 이 충전 용기의 내부를 가열 상태로 진공 배기했다.
이 충전 용기를, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 수용하고 있는 SUS316제의 탱크에 연결되어 있는 가스 충전 라인에 접속했다. 가스 크로마토그래피에 의해 분석한 탱크 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 X는 99.95체적%이다. 또한, 이 탱크는 내면이 전해연마된 것이다.
다음에, 가스 충전 라인에 대하여, 질소 가스로 채운 후에 진공 배기를 반복하는 회분 퍼지 처리를 실시한 후에, 이 가스 충전 라인을 통해서 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐 1㎏을 탱크로부터 충전 용기로 옮겨서, 충전 용기에 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어서 이루어지는 가스 충전 완료 충전 용기를 얻었다. 얻어진 가스 충전 완료 충전 용기의 내압(게이지압)은 0.06MPaG이었다.
이와 같이 하여 얻은 가스 충전 완료 충전 용기를, (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 충전하고 나서 30일간 23℃에서 정치한 후에, 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 그 결과, 충전 용기에 충전하기 전의 순도 X로부터의 순도의 저하는 없고, 99.95체적%이었다. 즉, 순도 X와 순도 Y의 차(순도 X-순도 Y)는 0.00퍼센트 포인트이었다. 결과를 표 1에 나타낸다.
Figure pct00001
(E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정한 후에, 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 방출하고, 질소 가스로 채운 후에 진공 배기를 반복하는 회분 퍼지 처리를 실시했다. 그리고, 레이저 절단기를 사용해서 충전 용기를 2㎝×2㎝로 절단하고, 이것을 측정 시료로서 사용해서 충전 용기의 내면의 XPS 분석을 행하여 구리의 농도를 측정했다. 그 결과, 구리의 농도는 당초의 0.4질량%로부터 변화는 없었다.
또, 가스 크로마토그래피에 사용한 분석 장치 및 분석 조건은 이하와 같다.
장치: 가부시키가이샤 시마즈 세이사쿠쇼제 가스 크로마토그래프 GC-2014s
컬럼: CarboPak B 60/80 SP-1000
컬럼 온도: 150℃/200℃
인젝션 온도: 200℃
캐리어 가스: 헬륨
검출기: 수소염 이온화형 검출기(FID)
또한, XPS 분석에 사용한 분석 장치, 분석 조건, 및 스퍼터 조건은 이하와 같다.
장치: 알벡 파이 가부시키가이샤제 X선 광전자 분광 분석 장치 PHI5000VersaProbeII
분위기: 진공(1.0×106Pa 미만)
X선원: 단색화 Al Ka(1486.6eV)
분광기: 정전동심 반구형 분광기
X선 빔 지름: 100㎛(25W, 15kV)
신호의 도입각: 45.0°
패스 에너지: 23.5eV
측정 에너지 범위: Cr2p 570-584eV
Mn2p 632-648eV
Fe2p 704-720eV
Cu2p 930-945eV
스퍼터의 이온원: Ar2, 500+
스퍼터의 가속전압: 10kV
스퍼터 영역: 2㎜×2㎜
스퍼터 시간: 10분
〔실시예 2∼6 및 비교예 1, 2, 4, 5〕
봄베로서 사용한 이음매가 없는 용기를 형성하는 강(표 1에 강종 및 구리의 농도를 나타낸다)이 상이한 점 이외는 실시예 1과 같은 조작을 행하여, 23℃에서 30일간 정치한 후의 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다.
〔실시예7〕
무전해 도금법에 의한 니켈 합금 피막이 봄베의 내면에 성막되어 있는 점 이외는 실시예 1과 같은 조작을 행하여, 23℃에서 30일간 정치한 후의 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또, 니켈 합금 피막의 표면의 구리의 농도가 0.05질량% 미만인 것은 XPS 분석에 의해 확인했다.
〔비교예 3〕
놋쇠제의 밸브를 사용한 점 이외는 실시예 3과 같은 조작을 행하여, 23℃에서 30일간 정치한 후의 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또, 놋쇠의 구리의 농도는 70질량%이다.
〔비교예 6〕
놋쇠제의 밸브를 사용한 점 이외는 실시예 6과 같은 조작을 행하여, 23℃에서 30일간 정치한 후의 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또, 놋쇠의 구리의 농도는 70질량%이다.
〔비교예 7〕
놋쇠제의 밸브를 사용한 점 이외는 실시예 7과 같은 조작을 행하여, 23℃에서 30일간 정치한 후의 가스 충전 완료 충전 용기 내의 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도 Y를 측정했다. 결과를 표 1에 나타낸다. 또, 놋쇠의 구리의 농도는 70질량%이다.
표 1에 나타내는 결과로부터 알 수 있는 바와 같이, 실시예 1∼7은 23℃, 30일간의 보관에 의한 순도의 저하는 없고, 순도 X와 순도 Y의 차는 0.00퍼센트 포인트이었다. 이것에 대하여, 비교예 1∼7은 23℃, 30일간의 보관에 의한 순도의 저하가 보여졌다. 비교예 1∼7에 있어서는, 구리에 의한 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 이성화, 중합, 분해 등의 반응이 일어났다고 생각된다.

Claims (13)

  1. 충전 용기에 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 충전되어서 이루어지는 가스 충전 완료 충전 용기로서,
    상기 충전 용기 중, 충전되어 있는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 가스 충전 완료 충전 용기.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 충전 용기 중, 충전되어 있는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하고 있는 부분이, 구리의 농도가 0.4질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 가스 충전 완료 충전 용기.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 금속이 강인 가스 충전 완료 충전 용기.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 금속이 망간강 및 크롬몰리브덴강 중 적어도 1종인 가스 충전 완료 충전 용기.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구리의 농도는 X선 광전자 분광 분석법에 의해 측정된 것인 가스 충전 완료 충전 용기.
  6. 제 1 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 충전 용기가, 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 수용된 봄베와, 상기 봄베의 내부의 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐을 외부로 흘리는 유로를 개폐하는 밸브를 구비하는 가스 충전 완료 충전 용기.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    충전하는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 99.90체적% 이상인 가스 충전 완료 충전 용기.
  8. 충전 용기에 충전해서 보관하는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법으로서,
    상기 충전 용기 중, 충전된 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.5질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상기 충전 용기 중, 충전된 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐이 접촉하는 부분이, 구리의 농도가 0.4질량% 미만인 금속으로 형성되어 있는 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 금속이 강인 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
  11. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 금속이 망간강 및 크롬몰리브덴강 중 적어도 1종인 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
  12. 제 8 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 구리의 농도는 X선 광전자 분광 분석법에 의해 측정된 것인 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
  13. 제 8 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
    충전하는 상기 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 순도가 99.90체적% 이상인 (E)-1,1,1,4,4,4-헥사플루오로-2-부텐의 보관 방법.
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