KR20230052225A - Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, picture display unit and solid-state imaging device - Google Patents

Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, picture display unit and solid-state imaging device Download PDF

Info

Publication number
KR20230052225A
KR20230052225A KR1020220126397A KR20220126397A KR20230052225A KR 20230052225 A KR20230052225 A KR 20230052225A KR 1020220126397 A KR1020220126397 A KR 1020220126397A KR 20220126397 A KR20220126397 A KR 20220126397A KR 20230052225 A KR20230052225 A KR 20230052225A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
meth
resin
photosensitive composition
compound
acrylate
Prior art date
Application number
KR1020220126397A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
케이이치 콘도
신타로 사쿠라이
슘페이 스즈키
슈헤이 카와오카
히로유키 요시다
Original Assignee
토요잉크Sc홀딩스주식회사
도요 비주얼 솔루션스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 토요잉크Sc홀딩스주식회사, 도요 비주얼 솔루션스 주식회사 filed Critical 토요잉크Sc홀딩스주식회사
Publication of KR20230052225A publication Critical patent/KR20230052225A/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/0005Production of optical devices or components in so far as characterised by the lithographic processes or materials used therefor
    • G03F7/0007Filters, e.g. additive colour filters; Components for display devices
    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials
    • G03F7/09Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers
    • G03F7/105Photosensitive materials characterised by structural details, e.g. supports, auxiliary layers having substances, e.g. indicators, for forming visible images
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Structural Engineering (AREA)
  • Architecture (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Abstract

The purpose of the present invention is to provide a photosensitive composition having excellent pattern formation and capable of forming a cured film with excellent solvent resistance at low-temperature curing. The photosensitive composition of the present invention comprises a resin (A), a polymeric compound (B), a light curing initiator (C), and an organic solvent (D), wherein the resin (A) includes a binder resin (A1) having a block isocyanate group-containing monomer unit (a1) and an acidic group-containing monomer unit (a2) and the polymeric compound (B) includes a polymeric compound (B1) having an acid or hydroxyl group, three or more methacryloyl group and an amine structure.

Description

감광성 조성물, 그것을 이용한 경화막, 광학 필터, 화상 표시 장치 및 고체 촬상 소자{PHOTOSENSITIVE COMPOSITION, CURED FILM USING THE SAME, OPTICAL FILTER, PICTURE DISPLAY UNIT AND SOLID-STATE IMAGING DEVICE}Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, image display device and solid-state imaging device

본 발명은, 감광성 조성물 및 그 용도에 관한 것이다.The present invention relates to a photosensitive composition and its use.

화상 표시 장치나 고체 촬상 소자 등에는, 광학 필터의 1종 컬러 필터가 사용되고 있다.BACKGROUND OF THE INVENTION One type of optical filter color filter is used in an image display device, a solid-state imaging device, and the like.

컬러 필터의 제조는, 감광성 조성물을 유리 기판에 도포하고, 건조에 의해 이 도막으로부터 용제를 제거하는 공정, 이 도막을, 원하는 패턴 형상을 갖는 포토마스크를 개재하여 방사선을 조사·경화(이하, 노광이라고 함)하는 공정, 그 다음에, 이 도막의 미노광부를 세정·제거(이하, 현상이라고 함)하는 공정, 그 후, 경화막을 충분히 경화시키기 위해 가열 처리(이하, 포스트베이크라고 함)하는 공정에 의해 1색째의 패턴을 얻는다. 그리고, 이것과 마찬가지의 조작을 행함으로써 다른 색의 패턴을 형성하고, 컬러 필터가 완성된다.Production of the color filter is a step of applying a photosensitive composition to a glass substrate and removing a solvent from this coating film by drying, and irradiating and curing the coating film with radiation through a photomask having a desired pattern shape (hereinafter, exposure (hereinafter referred to as “development”), followed by a step of washing/removing the unexposed portion of the coating film (hereinafter referred to as “development”), and then a step of heat treatment (hereinafter referred to as “post-bake”) to sufficiently cure the cured film. Thus, the first color pattern is obtained. Then, by performing the same operation as this, patterns of different colors are formed, and the color filter is completed.

포스트베이크는, 통상 200 ∼ 250℃의 온도에서 10 ∼ 60분 정도 행하고, 경화를 촉진시켜, 경화막의 내성을 높인다. 근년, 종래의 유리 기판으로부터 플렉서블한 플라스틱 기판으로의 대체나, 유기 일렉트로 루미네선스 표시 소자(유기 EL) 등의 유기 반도체 소자 상 컬러 필터를 형성하는 것이 검토되고 있지만, 이러한 부재는, 내열성이 낮기 때문에, 저온에서 컬러 필터를 형성하는 것이 요구되고 있다. 그러나, 저온에서 포스트베이크를 행하면 막의 경화가 불충분해져, 경화막의 내용제성이 악화되는 문제가 있었다.Post-baking is usually performed at a temperature of 200 to 250°C for about 10 to 60 minutes to promote curing and improve the resistance of the cured film. In recent years, replacement of conventional glass substrates with flexible plastic substrates and formation of color filters on organic semiconductor elements such as organic electroluminescence display elements (organic EL) have been studied, but these members have low heat resistance. For this reason, it is required to form color filters at low temperatures. However, when post-baking is performed at a low temperature, there is a problem in that curing of the film becomes insufficient and the solvent resistance of the cured film deteriorates.

또한, 현상 공정에서는 피막의 밀착성이 부족하면, 노광된 부분의 결함이나 벗겨짐에 의한 패턴의 형상 불량이 발생하는 문제가 있었다.In addition, in the developing step, if the adhesion of the coating film is insufficient, there is a problem in that a defect in the shape of the pattern occurs due to defects or peeling of the exposed portion.

플라스틱 기판이나 유기 EL 등에 사용할 수 있는 조성물에 대해서, 특허문헌 1에는, 알킬렌옥사이드 구조를 갖는 중합성 화합물을 포함하는 착색 조성물이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 2에는, C.I.피그먼트 바이올렛 19, 적색 안료, 황색 안료, 수지, 중합 화합물 및 중합개시제를 함유하는 착색 수지 조성물이 개시되어 있다. 또한, 특허문헌 3에는, 착색제, 중합체, 중합성 화합물을 포함하고, 착색제, 중합체, 중합성 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종이, 특정의 부분 구조와 수산기를 갖는 착색 조성물이 개시되어 있다.Regarding a composition that can be used for plastic substrates, organic EL, etc., Patent Document 1 discloses a coloring composition containing a polymerizable compound having an alkylene oxide structure. Further, Patent Document 2 discloses a colored resin composition containing C.I. Pigment Violet 19, a red pigment, a yellow pigment, a resin, a polymerization compound, and a polymerization initiator. Further, Patent Document 3 discloses a coloring composition containing a colorant, a polymer, and a polymerizable compound, and having a specific partial structure and a hydroxyl group in at least one selected from the group consisting of a colorant, a polymer, and a polymerizable compound.

일본 특허공개 2014-142582호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-142582 일본 특허공개 2021-103295호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2021-103295 일본 특허공개 2021-102759호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2021-102759

그러나, 특허문헌 1 ∼ 3에 기재된 조성물은, 패턴 형성성, 저온 가열 처리에서의 경화막의 용제 내성을 일정 이상의 수준으로 충족시킬 수는 없었다.However, the compositions described in Patent Literatures 1 to 3 could not satisfy the pattern formability and the solvent resistance of the cured film in low-temperature heat treatment at a level higher than a certain level.

본 발명의 일 실시형태는, 패턴 형성성이 우수하며, 또한 저온 경화에서도 우수한 내용제성을 갖는 경화막을 형성할 수 있는 감광성 조성물의 제공을 목적으로 한다. 또한, 본 발명의 다른 일 실시형태는, 감광성 조성물의 경화물인 경화막, 그리고 경화막을 갖는 광학 필터, 화상 표시 장치, 고체 촬상 소자의 제공을 목적으로 한다.An object of one embodiment of the present invention is to provide a photosensitive composition capable of forming a cured film having excellent pattern formation properties and excellent solvent resistance even at low temperature curing. Another embodiment of the present invention aims to provide a cured film that is a cured product of a photosensitive composition, and an optical filter, an image display device, and a solid-state imaging device having the cured film.

본 발명은, 수지(A), 중합성 화합물(B), 광중합개시제(C) 및 유기 용제(D)를 포함하는 감광성 조성물로서, 상기 중합성 화합물(B)이, 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 포함하는 감광성 조성물에 관한 것이다.The present invention is a photosensitive composition containing a resin (A), a polymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and an organic solvent (D), wherein the polymerizable compound (B) comprises three or more (meth)acrylic compounds. It relates to a photosensitive composition comprising a polymerizable compound (B1) having a loyl group and an amine structure.

또한, 본 발명은, 상기 중합성 화합물(B)이, 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1) 이외의 중합성 화합물(B2)을 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Furthermore, the present invention is the photosensitive composition, wherein the polymerizable compound (B) contains a polymerizable compound (B2) other than the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure. It is about.

또한, 본 발명은, 상기 중합성 화합물(B2)이, 4개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 화합물을 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the said photosensitive composition in which the said polymeric compound (B2) contains the polymeric compound which has 4 or more (meth)acryloyl groups.

또한, 본 발명은, 상기 바인더 수지(A1)가 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 전체 구성 단위 중, 1 ∼ 50몰% 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the said photosensitive composition in which the said binder resin (A1) contains 1-50 mol% of block isocyanate group containing monomeric units (a1) in all structural units.

또한, 본 발명은, 상기 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)의 함유량이, 상기 중합성 화합물(B) 100질량% 중, 5 ∼ 80질량%인, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Further, in the present invention, the content of the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure is 5 to 80% by mass in 100% by mass of the polymerizable compound (B). It relates to the photosensitive composition.

또한, 본 발명은, 착색제(E)를 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the said photosensitive composition containing a coloring agent (E).

또한, 본 발명은, 상기 수지(A)가 분산 수지(A3)를 더 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the said photosensitive composition in which the said resin (A) further contains a dispersion resin (A3).

또한, 본 발명은, 노광 및 온도 130℃ 이하의 포스트베이크에 의해 얻어지는 경화막의 형성에 사용하는 감광성 조성물로서,In addition, the present invention is a photosensitive composition used for formation of a cured film obtained by exposure and post-baking at a temperature of 130 ° C. or lower,

상기 감광성 조성물은, 수지(A), 중합성 화합물(B), 광중합개시제(C) 및 유기 용제(D)를 포함하고,The photosensitive composition contains a resin (A), a polymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and an organic solvent (D),

상기 수지(A)가, 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1) 및 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 갖는 바인더 수지(A1)를 포함하고,The resin (A) contains a binder resin (A1) having a block isocyanate group-containing monomeric unit (a1) and an acidic group-containing monomeric unit (a2),

상기 중합성 화합물(B)이, 산성기 또는 수산기를 갖고 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 포함하는, 상기 감광성 조성물에 관한 것이다.It is related with the said photosensitive composition in which the said polymeric compound (B) contains the polymeric compound (B1) which has an acidic group or a hydroxyl group, and has three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure.

또한, 본 발명은, 상기 감광성 조성물의 경화물인, 경화막에 관한 것이다.Moreover, this invention relates to the cured film which is a hardened|cured material of the said photosensitive composition.

또한, 본 발명은, 상기 경화막을 갖는, 광학 필터에 관한 것이다.Further, the present invention relates to an optical filter having the cured film.

또한, 본 발명은, 상기 광학 필터를 갖는, 화상 표시 장치에 관한 것이다.Further, the present invention relates to an image display device having the optical filter.

또한, 본 발명은, 상기 광학 필터를 갖는, 고체 촬상 소자에 관한 것이다.Further, the present invention relates to a solid-state imaging device having the optical filter.

상기의 본 발명에 의하면, 패턴 형성성이 우수하며, 또한 저온 경화에서도 우수한 내용제성을 갖는 경화막을 형성할 수 있는 감광성 조성물을 제공할 수 있다. 또한, 본 발명은, 경화막, 광학 필터, 화상 표시 장치 및 고체 촬상 소자를 제공할 수 있다.According to the present invention described above, it is possible to provide a photosensitive composition capable of forming a cured film having excellent pattern formation properties and excellent solvent resistance even at low temperature curing. In addition, the present invention can provide a cured film, an optical filter, an image display device, and a solid-state imaging device.

이하, 본 발명의 감광성 조성물을 실시하기 위한 형태에 대해서 상세하게 설명한다. 또, 본 발명은, 이하의 실시형태로 제한되는 것이 아니고, 과제를 해결 가능한 범위 내에서 변형하여 실시할 수 있다.Hereinafter, the form for implementing the photosensitive composition of this invention is demonstrated in detail. In addition, the present invention is not limited to the following embodiments, and can be modified and implemented within a range capable of solving the subject.

본 명세서에서, 「(메타)아크릴로일」, 「(메타)아크릴」, 「(메타)아크릴산」, 「(메타)아크릴레이트」, 또는 「(메타)아크릴아미드」란, 특별히 설명이 없는 한, 각각, 「아크릴로일 및/또는 메타아크릴로일」, 「아크릴 및/또는 메타아크릴」, 「아크릴산 및/또는 메타아크릴산」, 「아크릴레이트 및/또는 메타크릴레이트」, 또는 「아크릴아미드 및/또는 메타아크릴아미드」를 의미한다. 또한, 「C.I.」는, 컬러 인덱스(C.I.; The Society of Dyersand Colourists 발행)를 의미한다. 중합성 불포화기는, 에틸렌성 불포화 이중 결합이다.In the present specification, "(meth)acryloyl", "(meth)acryl", "(meth)acrylic acid", "(meth)acrylate", or "(meth)acrylamide" means unless otherwise specified. , "acryloyl and/or methacryloyl", "acryl and/or methacrylic", "acrylic acid and/or methacrylic acid", "acrylate and/or methacrylate", or "acrylamide and/or methacrylate", respectively. / or methacrylamide”. Also, "C.I." means a color index (C.I.; published by The Society of Dyersand Colourists). The polymerizable unsaturated group is an ethylenically unsaturated double bond.

본 발명에서의 화합물의 분자량에 관해서는, 분자량을 특정할 수 있는 저분자 화합물은, 계산에 의해 산출된 값(식량), 혹은 ESI-MS(일렉트로 스프레이 이온화 질량 분석법)에 의해 측정한 분자량이며, 분자량의 분포를 갖는 화합물은, 테트라히드로퓨란을 용제로 했을 경우의 겔퍼미에이션 크로마토그래피로 측정되는 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량이다.Regarding the molecular weight of the compound in the present invention, the low molecular weight compound whose molecular weight can be specified is the value calculated by calculation (food amount) or the molecular weight measured by ESI-MS (electrospray ionization mass spectrometry), and the molecular weight A compound having a distribution of is a weight average molecular weight in terms of polystyrene measured by gel permeation chromatography in the case of using tetrahydrofuran as a solvent.

단량체는, 중합에 의해 수지를 형성하는 화합물이다. 단량체는, 미반응 상태이며, 단량체 단위는, 단량체가 중합 후에 수지를 형성하고 있는 상태이다.A monomer is a compound that forms a resin by polymerization. The monomer is in an unreacted state, and the monomer unit is in a state in which the monomer forms a resin after polymerization.

<감광성 조성물><Photosensitive composition>

본 발명의 일 실시형태인 감광성 조성물은, 수지(A), 중합성 화합물(B), 광중합개시제(C) 및 유기 용제(D)를 포함하는 감광성 조성물로서, 상기 중합성 화합물(B)이, 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 포함한다.The photosensitive composition according to one embodiment of the present invention is a photosensitive composition containing a resin (A), a polymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and an organic solvent (D), wherein the polymerizable compound (B), and a polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure.

또한, 본 발명의 감광성 조성물은, 노광 및 온도 130℃ 이하의 포스트베이크에 의해 얻어지는 경화막의 형성에 사용하는 것도 바람직하다.Moreover, it is also preferable to use the photosensitive composition of this invention for formation of the cured film obtained by exposure and the post-bake at 130 degreeC or less temperature.

상기 구성의 감광성 조성물에서, 본 발명의 과제를 해결할 수 있는 메카니즘은 분명하지 않지만, 이하와 같이 추측되고 있다.Although the mechanism which can solve the subject of this invention in the photosensitive composition of the said structure is not clear, it is guessed as follows.

감광성 조성물은, 광에 의해 광중합개시제가 분해하여 활성종을 생성한다. 이 활성종이, 중합성 화합물에 부가하여 새롭게 활성종을 생성하고, 이것이 연쇄적으로 진행되어 중합한다. 그러나, 이 활성종은, 외부 요인에 의해 불활성화되면, 중합 반응이 정지해 버린다. 활성종이 라디칼인 경우, 산소가 중합을 저해한다(산소 저해라고도 함). 산소는, 기저(基底) 상태로 삼중항 상태에 있기 때문에 라디칼과의 반응성이 높고, 라디칼 활성종과 용이하게 반응하여 히드록시퍼옥시 라디칼을 형성한다. 이 히드록시퍼옥시 라디칼은, 중합성 화합물과의 반응성이 떨어지기 때문에, 중합 반응의 진행이 저해된다.In the photosensitive composition, the photopolymerization initiator is decomposed by light to generate active species. This active species is added to the polymerizable compound to newly generate an active species, which proceeds in a chain manner and polymerizes. However, when these active species are inactivated by an external factor, the polymerization reaction is stopped. When the active species are radicals, oxygen inhibits polymerization (also called oxygen inhibition). Since oxygen is in a triplet state as a ground state, it has high reactivity with radicals and reacts easily with radical active species to form hydroxyperoxy radicals. Since this hydroxyperoxy radical is inferior in reactivity with a polymerizable compound, advancing of a polymerization reaction is inhibited.

통상, 컬러 필터 등의 광학 필터는, 대기 분위기 하에서 제조되기 때문에, 노광 공정에서 산소에 의한 중합 저해를 받아, 중합이 충분히 진행되지 않지만, 그 후의 고온에서의 가열 처리에 의해 중합을 촉진하고 있었다. 그러나, 저온에서의 가열 처리의 경우는, 충분한 내성을 얻기 위해 노광 공정에서 중합을 충분히 진행시킬 필요가 있었다.Usually, since optical filters such as color filters are produced in an atmospheric atmosphere, polymerization is inhibited by oxygen in the exposure step, and polymerization does not sufficiently proceed. However, subsequent heat treatment at a high temperature promotes polymerization. However, in the case of heat treatment at a low temperature, it was necessary to sufficiently advance polymerization in the exposure step in order to obtain sufficient resistance.

3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)은, 분자 내에 질소 원자를 갖기 때문에, 수소가 인발(引拔)되어 탄소 라디칼을 생성하기 쉽다. 그 때문에, 발생한 히드록시퍼옥시 라디칼이, 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)로부터 수소를 인발함으로써, 새롭게 생성되는 탄소 라디칼이 중합을 개시한다. 또한, 생성된 탄소 라디칼이, 산소를 포착할 수도 있기 때문에, 산소 농도를 저감하는 효과도 있다. 이들 메카니즘에 의해, 산소에 의한 중합 저해가 억제되어, 중합이 충분히 진행되기 때문에, 그 후의 가열 처리가 저온에서도, 충분한 용제 내성이 얻어졌다고 추측된다. 또한, 아민 구조는, 극성을 갖기 때문에, 기재에의 밀착성이 향상됐다고 추측된다.Since the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure has a nitrogen atom in its molecule, hydrogen is easily drawn out to generate carbon radicals. Therefore, when the generated hydroxyperoxy radical withdraws hydrogen from the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure, the newly generated carbon radical initiates polymerization. In addition, since the generated carbon radicals can also capture oxygen, there is also an effect of reducing the oxygen concentration. It is presumed that sufficient solvent resistance was obtained even when the subsequent heat treatment was performed at a low temperature because inhibition of polymerization by oxygen was suppressed by these mechanisms and polymerization proceeded sufficiently. In addition, since the amine structure has polarity, it is estimated that the adhesion to the base material is improved.

[수지(A)][Resin (A)]

수지(A)는, 예를 들면, 안료 등의 입자를 감광성 조성물 중에서 분산시키는 목적이나, 경화막의 내성을 부여시키기 위한 목적으로 이용된다. 또, 주로 안료 등의 입자를 분산시키기 위해 이용되는 수지(A)를 분산 수지, 경화막의 내성을 부여시키기 위해 이용되는 수지(A)를 바인더 수지라고도 한다. 단, 수지(A)의 이러한 용도는 일례이며, 그 이외의 목적으로 사용할 수도 있다.The resin (A) is used, for example, for the purpose of dispersing particles such as a pigment in the photosensitive composition or for imparting resistance to a cured film. In addition, the resin (A) used mainly for dispersing particles such as pigments is also referred to as a dispersion resin, and the resin (A) used for imparting resistance to a cured film is also referred to as a binder resin. However, this use of resin (A) is an example, and it may be used for other purposes.

수지(A)의 중량 평균 분자량(Mw)은, 4,000 ∼ 40,000이 바람직하고, 4,000 ∼ 35,000이 보다 바람직하다.4,000-40,000 are preferable and, as for the weight average molecular weight (Mw) of resin (A), 4,000-35,000 are more preferable.

수지(A)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 5 ∼ 70질량%가 바람직하고, 10 ∼ 60질량%가 보다 바람직하다.The content of the resin (A) is preferably from 5 to 70% by mass, and more preferably from 10 to 60% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

수지(A)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Resin (A) can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지(A)는, 수지(A1), 수지(A2), 수지(A3) 및 수지(A4)를 들 수 있다.Resin (A) includes resin (A1), resin (A2), resin (A3) and resin (A4).

(수지(A1))(Resin (A1))

수지(A)는, 내용제성의 관점에서, 바인더 수지로서 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1) 및 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 갖는 수지(A1)(이하, 단순히 수지(A1)라고도 함)를 포함하는 것이 바람직하다. 이에 따라, 저온에서도, 보다 경화가 진행되어, 경화막의 용제 내성이 보다 향상된다.Resin (A) is a resin (A1) having a block isocyanate group-containing monomeric unit (a1) and an acidic group-containing monomeric unit (a2) as a binder resin (hereinafter, simply referred to as resin (A1)) from the viewpoint of solvent resistance. It is preferable to include. Thereby, even at low temperature, hardening advances more and the solvent resistance of a cured film improves more.

수지(A1)는, 랜덤 공중합체인 것이 바람직하다. 랜덤 공중합체의 분자 구조는, 통상 쇄상(鎖狀)이다.Resin (A1) is preferably a random copolymer. The molecular structure of a random copolymer is usually chain-shaped.

「랜덤 공중합체」란, 2개 이상의 구성 단위가 무질서하게 배열되어 있는 공중합체를 말한다.A "random copolymer" refers to a copolymer in which two or more constituent units are arranged in disorder.

블록 수지 및 그래프트 중합체(빗형 중합체라고도 함)는, 착색제 흡착 부위 및 입체(立體) 반발 부위와 같은 기능성 부위를 갖기 때문에 기능성 부위간의 분자간력의 작용에 의해 분자끼리 응집하기 쉽다. 한편 랜덤 중합체는, 2개 이상의 구성 단위가 무질서하게 배열되어 있기 때문에, 분자간력의 작용이 약하고 분자가 부정형으로 퍼지기 쉽다고 추측되고 있다. 감광성 조성물 중에서 랜덤 중합체는, 전체적으로 확산되어 존재하고 있다. 그 때문에 본 실시형태의 감광성 조성물은, 표면이 평활하고 응집력이 높은 피막을 형성할 수 있다. 이에 따라 기재 밀착성, 패턴 형상, 저온 소성 공정 후의 내용제성의 향상에 기여한다.Since block resins and graft polymers (also referred to as comb polymers) have functional sites such as colorant adsorption sites and steric repulsion sites, molecules tend to aggregate due to the action of intermolecular forces between functional sites. On the other hand, in a random polymer, since two or more constituent units are randomly arranged, intermolecular force is weak and molecules are presumed to spread easily in an irregular shape. In the photosensitive composition, the random polymer diffuses as a whole and exists. Therefore, the photosensitive composition of this embodiment can form a film with a smooth surface and high cohesive force. This contributes to improvements in substrate adhesion, pattern shape, and solvent resistance after the low-temperature baking step.

수지(A1)의 제조 방법은, 특별히 제한이 없고, 공지된 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면, 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 형성하는 단량체, 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 형성하는 단량체 및 임의로 이들과 공중합 가능한 다른 단량체를 공중합함으로써 얻어진다.The method for producing Resin (A1) is not particularly limited, and a known method can be used. For example, it is obtained by copolymerizing the monomer which forms a block isocyanate group containing monomeric unit (a1), the monomer which forms an acidic group containing monomeric unit (a2), and the other monomer which can be copolymerized with these optionally.

〔블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)〕[block isocyanate group-containing monomer unit (a1)]

블록 이소시아네이트기 함유 단량체는, 이소시아네이트기 함유 단량체의 이소시아네이트기를, 열로 탈리(脫離)하는 화합물(이하, 블록제라고도 함)로 보호한 단량체이다.The block isocyanate group-containing monomer is a monomer in which the isocyanate group of the isocyanate group-containing monomer is protected with a compound (hereinafter also referred to as a blocking agent) that desorbs with heat.

이소시아네이트기 함유 단량체는, 예를 들면, 2-이소시아나토에틸(메타)아크릴레이트, 2-이소시아나토프로필(메타)아크릴레이트, 3-이소시아나토프로필(메타)아크릴레이트, 2-이소시아나토-1-메틸에틸(메타)아크릴레이트, 2-이소시아나토-1,1-디메틸에틸(메타)아크릴레이트, 4-이소시아나토시클로헥실(메타)아크릴레이트, 메타크릴로일이소시아네이트 등을 들 수 있다. 또한, 2-히드록시알킬(메타)아크릴레이트와 디이소시아네이트 화합물과의 등몰 반응 생성물도 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 2-이소시아나토에틸(메타)아크릴레이트, 2-이소시아나토프로필(메타)아크릴레이트가 바람직하다.The isocyanate group-containing monomer is, for example, 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate, 2-isocyanatopropyl (meth)acrylate, 3-isocyanatopropyl (meth)acrylate, 2-isocyanate Nato-1-methylethyl (meth)acrylate, 2-isocyanato-1,1-dimethylethyl (meth)acrylate, 4-isocyanatocyclohexyl (meth)acrylate, methacryloyl isocyanate, etc. can be heard Equimolar reaction products of 2-hydroxyalkyl (meth)acrylates and diisocyanate compounds can also be used. Among these, 2-isocyanatoethyl (meth)acrylate and 2-isocyanatopropyl (meth)acrylate are preferable.

블록제는, 옥심 화합물, 락탐 화합물, 페놀 화합물, 알코올 화합물, 아민 화합물, 활성 메틸렌 화합물, 피라졸 화합물, 메르캅탄 화합물, 이미다졸 화합물, 이미드 화합물, 요소 화합물, 이민 화합물 및 중아황산염 화합물 등을 들 수 있다.Blocking agents include oxime compounds, lactam compounds, phenol compounds, alcohol compounds, amine compounds, active methylene compounds, pyrazole compounds, mercaptan compounds, imidazole compounds, imide compounds, urea compounds, imine compounds, and bisulfite compounds. can be heard

옥심 화합물은, 예를 들면, 포름알독심, 아세트알독심, 아세트옥심, 메틸에틸케톡심, 메틸이소부틸케톡심, 시클로헥산온옥심, 벤조페논옥심 등을 들 수 있고, 메틸에틸케톡심이 바람직하다.Examples of the oxime compound include formaldoxime, acetaldoxime, acetoxime, methyl ethyl ketoxime, methyl isobutyl ketoxime, cyclohexanone oxime, and benzophenone oxime, with methyl ethyl ketoxime being preferred. .

락탐 화합물로서는, 예를 들면, ε-카프로락탐, δ-발레로락탐, γ-부티로락탐, β-프로피오락탐 등을 들 수 있다.Examples of the lactam compound include ε-caprolactam, δ-valerolactam, γ-butyrolactam, and β-propiolactam.

페놀 화합물은, 예를 들면, 페놀, 크레졸, 2,6-자일레놀, 3,5-자일레놀, 에틸페놀, p-tert-부틸페놀, 노닐페놀, 2-히드록시벤조산메틸, 4-히드록시벤조산메틸, p-나프톨, p-니트로페놀 등을 들 수 있고, 3,5-자일레놀, 2-히드록시벤조산메틸, 4-히드록시벤조산메틸이 바람직하다.Phenolic compounds include, for example, phenol, cresol, 2,6-xylenol, 3,5-xylenol, ethylphenol, p-tert-butylphenol, nonylphenol, 2-hydroxymethyl benzoate, 4- Methyl hydroxybenzoate, p-naphthol, p-nitrophenol, etc. are mentioned, and 3,5-xylenol, methyl 2-hydroxybenzoate, and methyl 4-hydroxybenzoate are preferable.

알코올 화합물은, 예를 들면, 메탄올, 에탄올, 프로판올, 부탄올, 에틸렌글리콜, 메틸셀로솔브, 부틸셀로솔브, 메틸카르비톨, 벤질알코올, 페닐셀로솔브, 푸르푸릴알코올을 들 수 있다. Examples of the alcohol compound include methanol, ethanol, propanol, butanol, ethylene glycol, methyl cellosolve, butyl cellosolve, methyl carbitol, benzyl alcohol, phenyl cellosolve, and furfuryl alcohol.

아민 화합물은, 예를 들면, 디페닐아민, 페닐나프틸아민, 아닐린, 카바졸 등을 들 수 있다.Examples of the amine compound include diphenylamine, phenylnaphthylamine, aniline, and carbazole.

활성 메틸렌 화합물은, 예를 들면, 말론산디메틸, 말론산디에틸, 아세토아세트산메틸, 아세토아세트산에틸, 아세틸아세톤 등을 들 수 있고, 말론산디에틸이 바람직하다.Examples of the active methylene compound include dimethyl malonate, diethyl malonate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, and acetylacetone, with diethyl malonate being preferable.

피라졸 화합물로서는, 피라졸, 메틸피라졸, 3,5-디메틸피라졸 등을 들 수 있고, 3,5-디메틸피라졸이 바람직하다.Pyrazole, methylpyrazole, 3,5-dimethylpyrazole, etc. are mentioned as a pyrazole compound, 3,5-dimethylpyrazole is preferable.

메르캅탄 화합물은, 예를 들면, 부틸메르캅탄, 티오페놀, tert-도데실메르캅탄 등을 들 수 있다.Examples of the mercaptan compound include butyl mercaptan, thiophenol, and tert-dodecyl mercaptan.

이미다졸 화합물은, 예를 들면, 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 2-에틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-에틸-4-메틸이미다졸, 1-벤질-2-페닐이미다졸 등을 들 수 있다.The imidazole compound is, for example, imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl- 2-phenylimidazole etc. are mentioned.

이미드 화합물은, 예를 들면, 숙신산이미드, 말레산이미드, 말레이미드, 프탈이미드 등을 들 수 있다.Examples of the imide compound include succinimide, maleic acid imide, maleimide, and phthalimide.

요소 화합물은, 예를 들면, 요소, 티오요소, 에틸렌요소 등을 들 수 있다.Examples of the urea compound include urea, thiourea, and ethylene urea.

이민 화합물은, 예를 들면, 에틸렌이민, 폴리에틸렌이민 등을 들 수 있다.As for an imine compound, ethyleneimine, polyethyleneimine, etc. are mentioned, for example.

중아황산염 화합물로서는, 중아황산소다, 중아황산칼륨 등을 들 수 있다.Examples of the bisulfite compound include sodium bisulfite and potassium bisulfite.

이들 블록제는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.These blocking agents can be used individually or in combination of 2 or more types.

블록제는, 옥심 화합물, 락탐 화합물, 페놀 화합물, 알코올 화합물, 아민 화합물, 활성 메틸렌 화합물, 피라졸 화합물, 메르캅탄 화합물, 이미다졸 화합물, 및 이미드 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상이 바람직하고, 보호 반응, 탈보호 반응의 관점에서, 옥심 화합물, 페놀 화합물, 활성 메틸렌 화합물, 피라졸 화합물로 이루어지는 군에서 선택되는 1종 이상이 보다 바람직하다.The blocking agent is preferably at least one selected from the group consisting of oxime compounds, lactam compounds, phenol compounds, alcohol compounds, amine compounds, active methylene compounds, pyrazole compounds, mercaptan compounds, imidazole compounds, and imide compounds. And, from the viewpoint of protection reaction and deprotection reaction, at least one selected from the group consisting of oxime compounds, phenol compounds, active methylene compounds, and pyrazole compounds is more preferred.

블록 이소시아네이트기 함유 단량체는, 예를 들면, 이하의 화합물을 들 수 있다. 또, 본 발명은 이들로 한정되지 않는다.Examples of the block isocyanate group-containing monomer include the following compounds. In addition, this invention is not limited to these.

[화 1][Tue 1]

Figure pat00001
Figure pat00001

블록 이소시아네이트기 함유 단량체의 시판품은, Showa Denko K.K. 제조의 Karenz MOI-DEM(블록제의 탈리 온도: 85 ∼ 95℃), MOI-BP(블록제의 탈리 온도: 105 ∼ 115℃), MOI-BM(블록제의 탈리 온도: 125 ∼ 135℃) 등을 들 수 있다.Commercially available block isocyanate group-containing monomers are available from Showa Denko K.K. manufactured by Karenz MOI-DEM (desorption temperature of blocking agent: 85 to 95 ° C.), MOI-BP (desorption temperature of blocking agent: 105 to 115 ° C.), MOI-BM (desorption temperature of blocking agent: 125 to 135 ° C.) etc. can be mentioned.

블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)의 함유량은, 내용제성의 관점에서, 수지(A1)의 전체 구성 단위 중, 1 ∼ 50몰%인 것이 바람직하고, 5 ∼ 40몰%가 보다 바람직하다.The content of the block isocyanate group-containing monomeric unit (a1) is preferably 1 to 50 mol%, and more preferably 5 to 40 mol%, based on the total constituent units of the resin (A1), from the viewpoint of solvent resistance.

〔산성기 함유 단량체 단위(a2)〕[Acidic Group-Containing Monomer Unit (a2)]

산성기 함유 단량체의 산성기는, 예를 들면, 카르복시기, 설폰산기, 인산기 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 카르복시기가 바람직하다.Examples of the acidic group of the acidic group-containing monomer include a carboxyl group, a sulfonic acid group, and a phosphoric acid group. Among these, a carboxyl group is preferable.

산성기 함유 단량체는, 예를 들면, (메타)아크릴산, 크로톤산, 프로피올산, 신남산, 이타콘산, 무수이타콘산, 말레산, 말레산모노메틸, 말레산모노에틸, 말레산모노이소프로필, 무수말레산, 푸말산, 2-메타크릴로일옥시에틸숙신산, 2-아크릴로일옥시에틸프탈산, 2-아크릴로일옥시에틸헥실히드로프탈산, p-스티렌설폰산, 비닐설폰산, 2-아크릴아미드-2-메틸프로판설폰산, tert-부틸아크릴아미드설폰산, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸 애시드 포스페이트 등을 들 수 있다.Acidic group-containing monomers include, for example, (meth)acrylic acid, crotonic acid, propiolic acid, cinnamic acid, itaconic acid, itaconic anhydride, maleic acid, monomethyl maleate, monoethyl maleate, monoisopropyl maleate, Maleic anhydride, fumaric acid, 2-methacryloyloxyethylsuccinic acid, 2-acryloyloxyethylphthalic acid, 2-acryloyloxyethylhexylhydrophthalic acid, p-styrenesulfonic acid, vinylsulfonic acid, 2-acrylic acid amide-2-methylpropanesulfonic acid, tert-butylacrylamidesulfonic acid, 2-(meth)acryloyloxyethyl acid phosphate, and the like.

산성기 함유 단량체 단위(a2)의 함유량은, 현상성의 관점에서, 수지(A1)의 전체 구성 단위 중, 1 ∼ 50몰%가 바람직하고, 5 ∼ 40몰%가 보다 바람직하다.The content of the acidic group-containing monomeric unit (a2) is preferably from 1 to 50 mol%, more preferably from 5 to 40 mol%, in all the structural units of the resin (A1), from the viewpoint of developability.

수지(A1)는, 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1) 및 산성기 함유 단량체 단위(a2) 이외에 다음의 단량체 단위를 함유할 수 있다. 예를 들면, 수산기 함유 단량체 단위(a3), 에폭시기 함유 단량체 단위(a4), 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(a5), 지환식 탄화수소 함유 단량체 단위(a6), 일반식(1)으로 표시되는 단량체 단위(a7) 및 기타 단량체 단위(a8)를 들 수 있다.Resin (A1) may contain the following monomeric units other than the block isocyanate group-containing monomeric unit (a1) and the acidic group-containing monomeric unit (a2). For example, a hydroxyl group-containing monomer unit (a3), an epoxy group-containing monomer unit (a4), a polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a5), an alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a6), a monomer represented by general formula (1) unit (a7) and other monomeric units (a8).

[화 2][Tue 2]

Figure pat00002
Figure pat00002

일반식(1) 중, R1은, 수소 원자 또는 메틸기를 나타낸다. R2은, 탄소수 2 또는 3의 알킬렌기를 나타낸다. n은, 1 ∼ 15의 정수를 나타낸다. n이 2 이상인 경우, 복수의 R2은, 각각 동일해도 달라도 된다.In General Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms. n represents the integer of 1-15. When n is 2 or more, a plurality of R 2 may be the same or different.

〔수산기 함유 단량체 단위(a3)〕[hydroxyl group-containing monomeric unit (a3)]

수산기 함유 단량체는, 예를 들면, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 2-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 3-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 2,3-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 글리세롤모노(메타)아크릴레이트, 시클로헥산디메탄올모노(메타)아크릴레이트, 2-히드록시-3-페녹시프로필아크릴레이트, 2-아크릴로일옥시에틸-2-히드록시에틸프탈산 등을 들 수 있다.The hydroxyl group-containing monomer is, for example, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, 2-hydroxybutyl (meth)acrylate, 3-hydroxybutyl (meth)acrylate. Acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, 2,3-hydroxypropyl (meth)acrylate, glycerol mono(meth)acrylate, cyclohexanedimethanol mono(meth)acrylate, 2-hydroxy -3-phenoxypropyl acrylate, 2-acryloyloxyethyl-2-hydroxyethyl phthalic acid, etc. are mentioned.

〔에폭시기 함유 단량체 단위(a4)〕[Epoxy group-containing monomeric unit (a4)]

에폭시기 함유 단량체는, 예를 들면, 옥시라닐(메타)아크릴레이트, 글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-메틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-에틸글리시딜(메타)아크릴레이트, 2-옥시라닐에틸(메타)아크릴레이트, 2-글리시딜옥시에틸(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실(메타)아크릴레이트, 3,4-에폭시시클로헥실메틸(메타)아크릴레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸(메타)아크릴레이트, 2-(3,4-에폭시시클로헥실메틸옥시)에틸(메타)아크릴레이트, 3-(3,4-에폭시시클로헥실메틸옥시)프로필(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the epoxy group-containing monomer include oxiranyl (meth)acrylate, glycidyl (meth)acrylate, 2-methylglycidyl (meth)acrylate, 2-ethylglycidyl (meth)acrylate, 2-oxiranylethyl (meth)acrylate, 2-glycidyloxyethyl (meth)acrylate, 3,4-epoxycyclohexyl (meth)acrylate, 3,4-epoxycyclohexylmethyl (meth)acrylate , 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl (meth)acrylate, 2-(3,4-epoxycyclohexylmethyloxy)ethyl (meth)acrylate, 3-(3,4-epoxycyclohexylmethyl Oxy) propyl (meth)acrylate etc. are mentioned.

〔중합성 불포화기 함유 단량체 단위(a5)〕[Polymerizable unsaturated group-containing monomer unit (a5)]

수지(A1)에, 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(a5)를 함유시키는 방법은, 예를 들면, 이하에 나타내는 (ⅰ) ∼ (ⅲ)의 방법이 있다.Examples of the method of making the resin (A1) contain the polymerizable unsaturated group-containing monomeric unit (a5) include methods (i) to (iii) shown below.

<방법 (ⅰ)><Method (i)>

수지(A1)에 포함되는 에폭시기 함유 단량체 단위(a4)의 에폭시기에, 산성기 함유 단량체의 산성기를 부가시키는 방법 (ⅰ)이 있다.There is a method (i) in which an acidic group of an acidic group-containing monomer is added to the epoxy group of the epoxy-group-containing monomeric unit (a4) contained in the resin (A1).

<방법 (ⅱ)><Method (ii)>

수지(A1)에 포함되는 산성기 함유 단량체 단위(a2)의 산성기에, 에폭시기 함유 단량체의 에폭시기를 부가시키는 방법 (ⅱ)이 있다.There is a method (ii) in which an epoxy group of an epoxy group-containing monomer is added to the acidic group of the acidic group-containing monomeric unit (a2) contained in the resin (A1).

또한, 방법 (ⅰ), (ⅱ)의 반응에 의해 생긴 수산기에, 또한, 산무수물을 반응시킨 것도 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(a5)로서 유용하다.Moreover, what made the acid anhydride react with the hydroxyl group produced by the reaction of methods (i) and (ii) is also useful as a polymerizable unsaturated group containing monomeric unit (a5).

산무수물은, 예를 들면, 테트라히드로무수프탈산, 무수프탈산, 헥사히드로무수프탈산, 무수숙신산, 무수말레산 등을 들 수 있다.As for an acid anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, phthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, succinic anhydride, maleic anhydride etc. are mentioned, for example.

<방법 (ⅲ)><Method (iii)>

수지(A1)에 포함되는 수산기 함유 단량체 단위(a3)의 수산기에, 이소시아네이트기 함유 단량체의 이소시아네이트기를 반응시키는 방법 (ⅲ)이 있다.There is a method (iii) in which the isocyanate group of the isocyanate group-containing monomer is reacted with the hydroxyl group of the hydroxyl group-containing monomeric unit (a3) contained in the resin (A1).

이소시아네이트기 함유 단량체는, 예를 들면, 2-(메타)아크릴로일에틸이소시아네이트, 2-(메타)아크릴로일옥시에틸이소시아네이트, 또는 1,1-비스〔메타아크릴로일옥시〕에틸이소시아네이트 등을 들 수 있다.Examples of the isocyanate group-containing monomer include 2-(meth)acryloylethyl isocyanate, 2-(meth)acryloyloxyethyl isocyanate, or 1,1-bis[methacryloyloxy]ethyl isocyanate. can be heard

〔지환식 탄화수소 함유 단량체 단위(a6)〕[Alicyclic Hydrocarbon Containing Monomer Unit (a6)]

지환식 탄화수소 함유 단량체는, 예를 들면, 이소보르닐(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐(메타)아크릴레이트, 디시클로펜타닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 디시클로펜테닐옥시에틸(메타)아크릴레이트, 아다만틸(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Alicyclic hydrocarbon-containing monomers include, for example, isobornyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl (meth)acrylate, dicyclopentenyl (meth)acrylate, dicyclopentanyl Oxyethyl (meth)acrylate, dicyclopentenyloxyethyl (meth)acrylate, adamantyl (meth)acrylate, etc. are mentioned.

〔일반식(1)으로 표시되는 단량체 단위(a7)〕[monomer unit (a7) represented by general formula (1)]

일반식(1)으로 표시되는 단량체는, 예를 들면, 파라쿠밀페놀의 에틸렌옥사이드(EO) 또는 프로필렌옥사이드(PO) 변성 (메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.Examples of the monomer represented by the general formula (1) include ethylene oxide (EO) or propylene oxide (PO) modified (meth)acrylates of paracumylphenol.

〔기타 단량체 단위(a8)〕[Other monomer units (a8)]

기타 단량체 단위(a8)를 형성하는 단량체는, 예를 들면, 에틸(메타)아크릴레이트, n-프로필(메타)아크릴레이트, 이소프로필(메타)아크릴레이트, n-부틸(메타)아크릴레이트, 이소부틸(메타)아크릴레이트, tert-부틸(메타)아크릴레이트, 펜틸(메타)아크릴레이트, 헥실(메타)아크릴레이트, 2-에틸헥실(메타)아크릴레이트, 라우릴(메타)아크릴레이트, 벤질(메타)아크릴레이트, 페녹시에틸(메타)아크릴레이트, 페녹시디에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페놀의 EO 또는 PO 변성 (메타)아크릴레이트, 노닐페놀의 EO 또는 PO 변성 (메타)아크릴레이트, 디메틸아미노에틸(메타)아크릴레이트, 디에틸아미노에틸(메타)아크릴레이트 등의 아크릴산에스테르류; Other monomers forming the monomer unit (a8) include, for example, ethyl (meth)acrylate, n-propyl (meth)acrylate, isopropyl (meth)acrylate, n-butyl (meth)acrylate, iso Butyl (meth)acrylate, tert-butyl (meth)acrylate, pentyl (meth)acrylate, hexyl (meth)acrylate, 2-ethylhexyl (meth)acrylate, lauryl (meth)acrylate, benzyl ( meth)acrylate, phenoxyethyl (meth)acrylate, phenoxydiethylene glycol (meth)acrylate, EO or PO modified (meth)acrylate of phenol, EO or PO modified (meth)acrylate of nonylphenol, dimethyl acrylic acid esters such as aminoethyl (meth)acrylate and diethylaminoethyl (meth)acrylate;

스티렌, α-메틸스티렌, p-비닐톨루엔, p-클로로스티렌, 비닐나프탈렌 등의 방향족 비닐 화합물류;aromatic vinyl compounds such as styrene, α-methylstyrene, p-vinyltoluene, p-chlorostyrene, and vinylnaphthalene;

(메타)아크릴아미드, N,N-디메틸(메타)아크릴아미드, N,N-디에틸(메타)아크릴아미드, N-이소프로필(메타)아크릴아미드, 다이아세톤(메타)아크릴아미드, 또는 아크릴로일모르폴린 등의 (메타)아크릴아미드류; (meth)acrylamide, N,N-dimethyl(meth)acrylamide, N,N-diethyl(meth)acrylamide, N-isopropyl(meth)acrylamide, diacetone(meth)acrylamide, or acrylamide (meth)acrylamides such as ilmorpholine;

에틸비닐에테르, n-프로필비닐에테르, 이소프로필비닐에테르, n-부틸비닐에테르, 또는 이소부틸비닐에테르 등의 비닐에테르류; vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, n-propyl vinyl ether, isopropyl vinyl ether, n-butyl vinyl ether, or isobutyl vinyl ether;

아세트산비닐, 또는 프로피온산비닐 등의 지방산 비닐류;fatty acid vinyls such as vinyl acetate and vinyl propionate;

페닐말레이미드, 메틸말레이미드, 에틸말레이미드, 1,2-비스말레이미드에탄, 1,6-비스말레이미드헥산, 3-말레이미드프로피온산, 6,7-메틸렌디옥시-4-메틸-3-말레이미드쿠마린, 4,4'-비스말레이미드디페닐메탄, 비스(3-에틸-5-메틸-4-말레이미드페닐)메탄, N,N'-1,3-페닐렌디말레이미드, N,N'-1,4-페닐렌디말레이미드, N-(1-피레닐)말레이미드, N-(2,4,6-트리클로로페닐)말레이미드, N-(4-아미노페닐)말레이미드, N-(4-니트로페닐)말레이미드, N-벤질말레이미드, N-브로모메틸-2,3-디클로로말레이미드, N-숙신이미딜-3-말레이미드벤조에이트, N-숙신이미딜-3-말레이미드프로피오네이트, N-숙신이미딜-4-말레이미드부틸레이트, N-숙신이미딜-6-말레이미드헥사노에이트, N-[4-(2-벤조이미다졸릴)페닐]말레이미드, 9-말레이미드아크리딘 등의 N-치환 말레이미드류;Phenylmaleimide, methylmaleimide, ethylmaleimide, 1,2-bismaleimideethane, 1,6-bismaleimidehexane, 3-maleimidepropionic acid, 6,7-methylenedioxy-4-methyl-3- Maleimide coumarin, 4,4'-bismaleimide diphenylmethane, bis(3-ethyl-5-methyl-4-maleimidephenyl)methane, N,N'-1,3-phenylenedimaleimide, N, N'-1,4-phenylenedimaleimide, N-(1-pyrenyl)maleimide, N-(2,4,6-trichlorophenyl)maleimide, N-(4-aminophenyl)maleimide, N-(4-nitrophenyl)maleimide, N-benzylmaleimide, N-bromomethyl-2,3-dichloromaleimide, N-succinimidyl-3-maleimide benzoate, N-succinimidyl- 3-maleimide propionate, N-succinimidyl-4-maleimide butyrate, N-succinimidyl-6-maleimide hexanoate, N-[4-(2-benzoimidazolyl)phenyl] N-substituted maleimides such as maleimide and 9-maleimide acridine;

디메틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디에틸-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(n-프로필-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(이소프로필)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트, 디(2-에틸헥실)-2,2'-[옥시비스(메틸렌)]비스-2-프로페노에이트 등을 들 수 있다.Dimethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, diethyl-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(n-propyl -2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(isopropyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, di(2 -Ethylhexyl)-2,2'-[oxybis(methylene)]bis-2-propenoate, etc. are mentioned.

이들 단량체는, 단독 또는 2종 이상 병용해서 사용할 수 있다.These monomers can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지(A1)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Resin (A1) can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지(A1)의 중량 평균 분자량(Mw)은, 내용제성의 관점에서, 4,000 ∼ 40,000이 바람직하고, 4,000 ∼ 35,000이 보다 바람직하다.From a viewpoint of solvent resistance, 4,000-40,000 are preferable and, as for the weight average molecular weight (Mw) of resin (A1), 4,000-35,000 are more preferable.

수지(A1)의 산가는, 현상성의 관점에서, 30 ∼ 200㎎KOH/g이 바람직하고, 40 ∼ 180㎎KOH/g이 보다 바람직하다. 「산가」란, 수지 고형분 1g을 중화하는데 필요한 수산화칼륨의 ㎎ 수이며, JIS K 0070에 준하여, 전위차 적정법에 따라 구할 수 있다.From a developable viewpoint, 30-200 mgKOH/g is preferable and, as for the acid value of resin (A1), 40-180 mgKOH/g is more preferable. "Acid value" is the number of milligrams of potassium hydroxide required to neutralize 1 g of resin solid content, and can be obtained by potentiometric titration in accordance with JIS K 0070.

수지(A1)의 함유량은, 내용제성의 관점에서, 수지(A) 100질량% 중, 5질량% 이상이 바람직하고, 10 ∼ 100질량%가 보다 바람직하다.The content of the resin (A1) is preferably 5% by mass or more, and more preferably 10 to 100% by mass, based on 100% by mass of the resin (A), from the viewpoint of solvent resistance.

(수지(A2))(Resin (A2))

수지(A2)는, 바인더 수지로서 상술한 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 갖지 않고, 지환식 탄화수소 함유 단량체 단위(a6), 일반식(1)으로 표시되는 단량체 단위(a7)에서 선택되는 적어도 1종의 단량체 단위, 및 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 갖는 수지(A2)(이하, 단순히 수지(A2)라고도 함)이다.Resin (A2) does not have the block isocyanate group-containing monomer unit (a1) described above as a binder resin, and is selected from an alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a6) and a monomer unit (a7) represented by general formula (1) It is resin (A2) (henceforth simply called resin (A2)) which has at least 1 sort(s) of monomeric unit and an acidic-group containing monomeric unit (a2).

수지(A2)는, 상술한 (a1), (a2), (a6) 및 (a7) 이외의 단량체 단위를 함유할 수 있다. 예를 들면, 상술한 (a3) ∼ (a5) 및 (a8)의 단량체 단위를 들 수 있다. 이들 중에서도, 내용제성의 관점에서, 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(a5)를 갖는 것이 바람직하다.Resin (A2) may contain monomer units other than the above-mentioned (a1), (a2), (a6) and (a7). For example, the monomeric units of (a3) to (a5) and (a8) described above are exemplified. Among these, those having a polymerizable unsaturated group-containing monomeric unit (a5) are preferable from the viewpoint of solvent resistance.

수지(A2)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Resin (A2) can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지(A2)의 중량 평균 분자량(Mw)은, 내용제성의 관점에서, 4,000 ∼ 40,000이 바람직하고, 4,000 ∼ 35,000이 보다 바람직하다.From a viewpoint of solvent resistance, 4,000-40,000 are preferable and, as for the weight average molecular weight (Mw) of resin (A2), 4,000-35,000 are more preferable.

수지(A2)의 산가는, 현상성의 관점에서, 30 ∼ 200㎎KOH/g이 바람직하고, 40 ∼ 180㎎KOH/g이 보다 바람직하다.From a developable viewpoint, 30-200 mgKOH/g is preferable and, as for the acid value of resin (A2), 40-180 mgKOH/g is more preferable.

(수지(A3))(Resin (A3))

수지(A3)는, 안료 등의 입자를 분산하는 분산 수지이다.Resin (A3) is a dispersion resin for dispersing particles such as a pigment.

수지(A3)는, 안료 등의 입자에 친화성이 높은 흡착기를 갖고 있는 수지가 바람직하다. 흡착기는, 염기성기 및 산성기 중 1종 이상을 갖고 있는 것이 바람직하다.The resin (A3) is preferably a resin having an adsorbing group having a high affinity for particles such as a pigment. It is preferable that the adsorption group has at least one of a basic group and an acidic group.

염기성기는, 예를 들면, 1급 아미노기, 2급 아미노기, 3급 아미노기, 4급 암모늄염기 및 함(含)질소 복소환 등 질소 원자를 함유하는 기 등을 들 수 있다.Examples of the basic group include groups containing nitrogen atoms such as primary amino groups, secondary amino groups, tertiary amino groups, quaternary ammonium bases, and nitrogen-containing heterocycles.

산성기는, 예를 들면, 카르복시기, 인산기, 및 설폰산기 등을 들 수 있다.The acidic group includes, for example, a carboxyl group, a phosphoric acid group, and a sulfonic acid group.

수지(A3)의 수지종은, 예를 들면, 우레탄 수지, 폴리아크릴레이트 등의 폴리카르복시산에스테르, 불포화 폴리아미드, 폴리카르복시산, 폴리카르복시산 (부분) 아민염, 폴리카르복시산암모늄염, 폴리카르복시산알킬아민염, 폴리실록산, 장쇄(長鎖) 폴리아미노아마이드인산염, 수산기 함유 폴리카르복시산에스테르나, 이들 변성물, 폴리(저급 알킬렌이민)와 유리(遊離)의 카르복시기를 갖는 폴리에스테르와의 반응에 의해 형성된 아미드나 그 염 등, (메타)아크릴산-스티렌 공중합체, (메타)아크릴산-(메타)아크릴산에스테르 공중합체, 스티렌-말레산 공중합체, 폴리비닐알코올, 폴리비닐피롤리돈 등의 수용성 수지나 수용성 고분자 화합물, 폴리에스테르계, 변성 폴리아크릴레이트계, 에틸렌옥사이드/프로필렌옥사이드 부가 화합물, 인산에스테르계 등을 들 수 있다.Examples of the resin species of the resin (A3) include urethane resins, polycarboxylic acid esters such as polyacrylates, unsaturated polyamides, polycarboxylic acids, polycarboxylic acid (partial) amine salts, polycarboxylic acid ammonium salts, polycarboxylic acid alkylamine salts, and polysiloxanes. , long-chain polyaminoamide phosphates, hydroxyl group-containing polycarboxylic acid esters, modified products thereof, amides formed by the reaction of poly(lower alkylenimine) with polyester having a free carboxyl group, and salts thereof Water-soluble resins such as (meth)acrylic acid-styrene copolymer, (meth)acrylic acid-(meth)acrylic acid ester copolymer, styrene-maleic acid copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinylpyrrolidone, water-soluble polymer compounds, poly Ester type, modified polyacrylate type, ethylene oxide/propylene oxide addition compound, phosphoric acid ester type, etc. are mentioned.

수지(A3)의 구조는, 예를 들면, 랜덤 구조, 블록 구조, 그래프트 구조, 빗형 구조 및 성형(星型) 구조 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 분산 안정성의 관점에서, 블록 구조 또는 빗형 구조가 바람직하다.As for the structure of resin (A3), a random structure, a block structure, a graft structure, a comb-shaped structure, and a star-shaped structure etc. are mentioned, for example. Among these, a block structure or a comb structure is preferable from the viewpoint of dispersion stability.

「그래프트 수지(빗형 수지라고도 함)」란, 주쇄가 되는 분자쇄 상에, 상기 주쇄와는 다른 고분자를 측쇄로서 갖는 수지를 말하며, 예를 들면, 주쇄가 되는 (AA…AA)에 측쇄로서 (BB…BB)를 갖는 중합체이다. 또한, 「블록 공중합체」란, 복수의 서로 다른 단독 고분자를 부분 구성 성분(블록)으로 하는 직쇄 고분자로 이루어지는 공중합체를 말하며, 예를 들면, (AA…AA) - (BB…BB) - (AA…AA)와 같은 구조를 갖는다. 상기 주쇄는, 중합체 등으로 이루어져도 되고, 예를 들면, 폴리에스테르로 이루어지는 것이 바람직하다."Graft resin (also referred to as comb resin)" refers to a resin having a polymer different from the main chain as a side chain on a molecular chain serving as the main chain, for example, as a side chain in (AA ... AA) serving as the main chain ( It is a polymer having BB...BB). In addition, "block copolymer" refers to a copolymer composed of a linear polymer having a plurality of different single polymers as partial constituent components (blocks), for example, (AA...AA) - (BB...BB) - ( AA…AA) have the same structure. The main chain may be made of a polymer or the like, and is preferably made of polyester, for example.

수지(A3)는, 랜덤 공중합체보다 그래프트 수지 또는 블록 공중합체가 바람직하다. 이들 중합체는, 착색제 흡착 부위 및 입체 반발 부위와 같은 기능성 부위가 일정한 덩어리로서 존재하기 때문에 착색제를 보다 미세하게 분산할 수 있다.Resin (A3) is preferably a graft resin or a block copolymer rather than a random copolymer. In these polymers, the colorant can be more finely dispersed because functional sites such as the colorant adsorption site and the steric repulsion site exist as a constant mass.

수지(A3)는, 내용제성의 관점에서, 중합성 불포화기를 갖는 수지가 바람직하다.Resin (A3) is preferably a resin having a polymerizable unsaturated group from the viewpoint of solvent resistance.

수지(A3)는, 구체적으로는, BYK JAPAN KK. 제조의 Disperbyk-101, 103, 107, 108, 110, 111, 116, 130, 140, 154, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 170, 171, 174, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 190, 2000, 2001, 2009, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 2155, 2163, 2164, 또는 Anti-Terra-U203, 204, 또는 BYK-P104, P104S, 220S, 또는 Lactimon, Lactimon-WS, 또는 Bykumen 등, The Lubrizol Corporation 제조의 SOLSPERSE3000, 9000, 13000, 13240, 13650, 13940, 16000, 17000, 18000, 20000, 21000, 24000, 26000, 27000, 28000, 31845, 32000, 32500, 32550, 33500, 32600, 34750, 35100, 36600, 38500, 41000, 41090, 53095, 55000, 56000, 76500 등, BASF Japan Ltd. 제조의 EFKA-46, 47, 48, 452, 4008, 4009, 4010, 4015, 4020, 4047, 4050, 4055, 4060, 4080, 4400, 4401, 4402, 4403, 4406, 4408, 4300, 4310, 4320, 4330, 4340, 450, 451, 453, 4540, 4550, 4560, 4800, 5010, 5065, 5066, 5070, 7500, 7554, 1101, 120, 150, 1501, 1502, 1503 등, Ajinomoto Fine-Techno Co., Inc. 제조의 AJISPER PA111, PB711, PB821, PB822, PB824 등, 일본 특허공개 2008-029901호 공보, 일본 특허공개 2009-155406호 공보, 일본 특허공개 2010-185934호 공보, 일본 특허공개 2011-157416호 공보, 국제공개 제2008/007776호, 일본 특허공개 2008-029901호 공보, 일본 특허공개 2009-155406호 공보, 일본 특허공개 2010-185934호 공보, 일본 특허공개 2011-157416호 공보, 일본 특허공개 2012-255128호 공보, 일본 특허공개 2009-251481호 공보, 일본 특허공개 2007-23195호 공보, 일본 특허공개 1996-143651호 공보, 일본 특허공개 2017-206689호 공보, 일본 특허공개 2019-095548호 공보 등에 기재된 수지를 들 수 있다.Resin (A3) is specifically, BYK JAPAN KK. Manufacturing Disperbyk-101, 103, 107, 108, 110, 111, 116, 130, 140, 154, 161, 162, 163, 164, 165, 166, 167, 168, 170, 171, 174, 180, 181, 182, 183, 184, 185, 190, 2000, 2001, 2009, 2010, 2020, 2025, 2050, 2070, 2095, 2150, 2155, 2163, 2164, or Anti-Terra-U203, 204, or 4, BYK-P1 P104S, 220S, or Lactimon, Lactimon-WS, or Bykumen, etc., SOLSPERSE3000, 9000, 13000, 13240, 13650, 13940, 16000, 17000, 18000, 20000, 21000, 24000, 227000, 26000, 26000, 26000, 26000, 26000, or BASF Japan Ltd. Manufacturing EFKA-46, 47, 48, 452, 4008, 4009, 4010, 4015, 4020, 4047, 4050, 4055, 4060, 4080, 4400, 4401, 4402, 4403, 4406, 4408, 43000, 43100, 43100, 43100 4330, 4340, 450, 451, 453, 4540, 4550, 4560, 4800, 5010, 5065, 5066, 5070, 7500, 7554, 1101, 120, 150, 1501, 1502, 1503, etc., Anojino Comoto Inc. Manufactured by AJISPER PA111, PB711, PB821, PB822, PB824, etc., Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-029901, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-155406, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-185934, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-157416, International Publication No. 2008/007776, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-029901, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-155406, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-185934, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-157416, Japanese Unexamined Patent Publication 2012-255128 , Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-251481, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-23195, Japanese Unexamined Patent Publication No. 1996-143651, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-206689, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2019-095548, etc. can be heard

수지(A3)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Resin (A3) can be used individually or in combination of 2 or more types.

수지(A3)의 사용량은, 착색제 100질량부에 대하여, 3 ∼ 200질량부가 바람직하고, 5 ∼ 100질량부가 보다 바람직하다. 적량 사용하면 성막성이 보다 향상된다.The amount of resin (A3) used is preferably 3 to 200 parts by mass, more preferably 5 to 100 parts by mass, based on 100 parts by mass of the coloring agent. When used in an appropriate amount, the film formability is further improved.

또한, 일 실시형태에서, 수지(A3)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량부 중, 2 ∼ 33질량%인 것이 바람직하다.Moreover, in one Embodiment, it is preferable that content of resin (A3) is 2-33 mass % in 100 mass parts of non-volatile matter of the photosensitive composition.

수지(A3)의 폴리스티렌 환산의 중량 평균 분자량은, 과제를 해결할 수 있으면 분자량에 구애되지 않는 바, 분산 안정성, 현상 얼룩, 내용제성, 현상 속도의 관점에서 4,000 이상 100,000 미만이 바람직하고, 5,000 이상 30,000 이하가 더 바람직하다.The weight average molecular weight of the resin (A3) in terms of polystyrene is preferably 4,000 or more and less than 100,000, and is preferably 5,000 or more and 30,000 from the viewpoints of dispersion stability, development unevenness, solvent resistance, and development speed, since the weight average molecular weight in terms of polystyrene is not limited to the molecular weight as long as the problem can be solved. The following is more preferable.

(수지(A4))(Resin (A4))

수지(A4)는, 수지 (A1) ∼ (A3) 이외의 수지이다.Resin (A4) is resin other than Resin (A1) - (A3).

수지(A4)는, 특별히 제한이 없고, 공지된 수지를 이용할 수 있다. 예를 들면, (메타)아크릴 수지, 스티렌 수지, 스티렌·(메타)아크릴 수지, 에폭시 수지, 우레탄 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리에테르 수지, 폴리이미드 수지, 폴리아미드이미드 수지, 환상 올레핀 수지 등을 들 수 있고, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.The resin (A4) is not particularly limited, and known resins can be used. For example, (meth)acrylic resin, styrene resin, styrene-(meth)acrylic resin, epoxy resin, urethane resin, polycarbonate resin, polyester resin, polyether resin, polyimide resin, polyamideimide resin, cyclic olefin Resin etc. are mentioned, It can use individually or in combination of 2 or more types.

[중합성 화합물(B)][Polymerizable compound (B)]

중합성 화합물(B)은, 중합성 불포화기를 갖는 모노머, 올리고머를 들 수 있다. 중합성 불포화기는, 에틸렌성 불포화 이중 결합의 비닐기, (메타)알릴기, (메타)아크릴로일기 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (B) include monomers and oligomers having a polymerizable unsaturated group. Examples of the polymerizable unsaturated group include a vinyl group, a (meth)allyl group, and a (meth)acryloyl group of an ethylenically unsaturated double bond.

(3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1))(Polymerizable compound (B1) having 3 or more (meth)acryloyl groups and an amine structure)

3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)(이하, 단순히 중합성 화합물(B1)이라고도 함) 중의 아민 구조는, 1급 아민, 2급 아민, 3급 아민을 들 수 있는 바, 3급 아민이 바람직하다. 또, 중합성 화합물(B1)의 아민 구조는, 카르보닐기가 질소 원자와 직접 결합하고 있는 아미드 구조, 이미드 구조 및 우레탄 구조는 포함하지 않는다.The amine structure in the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure (hereinafter, simply referred to as the polymerizable compound (B1)) is a primary amine, a secondary amine, and a tertiary amine. Among these, tertiary amines are preferred. In addition, the amine structure of the polymerizable compound (B1) does not include an amide structure, an imide structure, and a urethane structure in which a carbonyl group is directly bonded to a nitrogen atom.

중합성 화합물(B1)의 (메타)아크릴로일기의 수는, 3개 이상이면 특별히 제한은 없지만, 패턴 형성성의 관점에서, 상한은 16개 이하가 바람직하다.The number of (meth)acryloyl groups in the polymerizable compound (B1) is not particularly limited as long as it is three or more, but from the viewpoint of pattern formation, the upper limit is preferably 16 or less.

중합성 화합물(B1)은, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Polymeric compound (B1) can be used individually or in combination of 2 or more types.

중합성 화합물(B1)의 함유량은, 패턴 형성성, 내용제성의 관점에서, 중합성 화합물(B) 100질량% 중, 1질량% 이상이 바람직하고, 5 ∼ 80질량%가 보다 바람직하고, 5 ∼ 60질량%가 특히 바람직하다.The content of the polymerizable compound (B1) is preferably 1% by mass or more, more preferably 5 to 80% by mass, based on 100% by mass of the polymerizable compound (B), from the viewpoint of pattern formation and solvent resistance. - 60 mass % is especially preferable.

중합성 화합물(B1)은, 예를 들면, 트리스(아크릴로일옥시에틸)아민, 트리스(메타아크릴로일옥시에틸)아민, 트리스(2-히드록시-3-메타크릴로일옥시프로필)아민이나, (메타)아크릴레이트 화합물(X)과 아민 화합물(Y)과의 Michael 부가 반응 생성물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound (B1) include tris(acryloyloxyethyl)amine, tris(methacryloyloxyethyl)amine, and tris(2-hydroxy-3-methacryloyloxypropyl)amine. However, the Michael addition reaction product of (meth)acrylate compound (X) and amine compound (Y), etc. are mentioned.

(메타)아크릴레이트 화합물(X)은, 예를 들면, 글리세린트리(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디글리세린트리(메타)아크릴레이트, 디글리세린테트라(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판알킬렌옥사이드 변성 트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판알킬렌옥사이드 변성 트리 및 테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨알킬렌옥사이드 변성 트리 및 테트라(메타)아크릴레이트, 디글리세린알킬렌옥사이드 변성 트리 및 테트라(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨알킬렌옥사이드 변성 테트라, 펜타 및 헥사(메타)아크릴레이트 등을 들 수 있다.The (meth)acrylate compound (X) is, for example, glycerin tri(meth)acrylate, trimethylolpropane tri(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth) Acrylates, ditrimethylolpropane tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol tetra(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaeryth Lithol hexa(meth)acrylate, diglycerin tri(meth)acrylate, diglycerin tetra(meth)acrylate, trimethylolpropanealkylene oxide-modified tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropanealkylene oxide-modified tree, and Tetra(meth)acrylate, pentaerythritolalkylene oxide-modified tri and tetra(meth)acrylate, diglycerin alkylene oxide-modified tri and tetra(meth)acrylate, dipentaerythritolalkylene oxide-modified tetra, penta and Hexa (meth)acrylate etc. are mentioned.

상기 알킬렌옥사이드 변성에 있어서의, 알킬렌옥사이드 단위는, 에틸렌옥사이드, 프로필렌옥사이드 및 부틸렌옥사이드 등을 들 수 있다.As for the alkylene oxide unit in the said alkylene oxide modification, ethylene oxide, a propylene oxide, a butylene oxide, etc. are mentioned.

또한, (메타)아크릴레이트 화합물(X)로서는, 산성기를 갖는 (메타)아크릴레이트 화합물도 들 수 있다.Moreover, as (meth)acrylate compound (X), the (meth)acrylate compound which has an acidic group is also mentioned.

(메타)아크릴레이트 화합물(X)은, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.(Meth)acrylate compound (X) can be used individually or in combination of 2 or more types.

아민 화합물(Y)은, 예를 들면, n-프로필아민, n-부틸아민, n-헥실아민, 벤질아민, 아미노카프론산, 모노에탄올아민, 2-(2-아미노에톡시)에탄올, o-아미노페놀, m-아미노페놀, p-아미노페놀 등의 1급 아민; The amine compound (Y) is, for example, n-propylamine, n-butylamine, n-hexylamine, benzylamine, aminocaproic acid, monoethanolamine, 2-(2-aminoethoxy)ethanol, o- primary amines such as aminophenol, m-aminophenol, and p-aminophenol;

디메틸아민, 디에틸아민, 디프로필아민, 디이소프로필아민, 디부틸아민, 시클로헥실아민, 모르폴린, 피페리진, 1-메틸피페라진, 프롤린, N-메틸에탄올아민, N-아세틸에탄올아민, 디에탄올아민, 3-아닐린페놀, 4-아닐린페놀 등의 2급 아민 등을 들 수 있다.Dimethylamine, diethylamine, dipropylamine, diisopropylamine, dibutylamine, cyclohexylamine, morpholine, piperidine, 1-methylpiperazine, proline, N-methylethanolamine, N-acetylethanolamine, Secondary amines, such as diethanolamine, 3-aniline phenol, and 4-aniline phenol, etc. are mentioned.

아민 화합물(Y)은, 내용제성의 관점에서, 2급 아민이 바람직하고, 수산기를 갖는 2급 아민이 특히 바람직하다. 이것은, 상세한 메카니즘은 불분명하지만, 수산기를 가짐으로써 중합성 화합물(B1)이 용존 산소를 포함하기 어려워져, 노광 공정에서 자외선이 산소에 조사(照射)됨으로써 생기는 히드록시퍼옥시 라디칼에 의한 산소 저해가 억제되며, 효율적으로 광가교 반응이 진행되기 때문에, 가교 밀도가 높은 피막이 얻어지기 때문에 내용제성을 개선하는 것으로 추측된다.The amine compound (Y) is preferably a secondary amine, particularly preferably a secondary amine having a hydroxyl group, from the viewpoint of solvent resistance. Although the detailed mechanism of this is unknown, the presence of a hydroxyl group makes it difficult for the polymerizable compound (B1) to contain dissolved oxygen, and oxygen inhibition by hydroxyperoxy radicals generated when oxygen is irradiated with ultraviolet rays in the exposure step It is estimated that solvent resistance is improved because a film with a high crosslinking density is obtained because the photocrosslinking reaction proceeds efficiently.

아민 화합물(Y)은, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.An amine compound (Y) can be used individually or in combination of 2 or more types.

(메타)아크릴레이트 화합물(X)과 아민 화합물(Y)과의 Michael 부가 반응 생성물의 제조 방법은, 특별히 제한은 없고, 공지된 방법을 이용할 수 있다. 예를 들면, 국제공개 제2006/075754호, 일본 특허공표 2008-545859호 공보, 일본 특허공개 2017-066347호 공보 등에 기재된 방법을 들 수 있다.The method for producing the Michael addition reaction product of the (meth)acrylate compound (X) and the amine compound (Y) is not particularly limited, and a known method can be used. For example, the method described in International Publication No. 2006/075754, Japanese Patent Publication No. 2008-545859, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-066347, etc. is mentioned.

3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)은, 산성기 또는/및 수산기를 가져도 된다. 산성기 또는/및 수산기를 도입하는 방법은, 예를 들면, (메타)아크릴레이트 화합물(X)이나 아민 화합물(Y)에, 산성기 또는/및 수산기를 갖는 화합물을 사용하는 방법이나, Michael 부가 반응 후에, 산무수물을 부가시키는 방법 등을 들 수 있다.The polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure may have an acidic group or/and a hydroxyl group. A method of introducing an acidic group or/and a hydroxyl group is, for example, a method of using a compound having an acidic group or/and a hydroxyl group in the (meth)acrylate compound (X) or amine compound (Y), or Michael addition After reaction, the method of adding an acid anhydride, etc. are mentioned.

아민 구조를 갖는 중합성 화합물이 산성기를 가질 경우, 그 산가는 1 ∼ 200㎎KOH/g인 것이 바람직하다.When the polymerizable compound having an amine structure has an acidic group, the acid value is preferably 1 to 200 mgKOH/g.

아민 구조를 갖는 중합성 화합물이 수산기를 가질 경우, 그 수산기가는 패턴 형성성의 관점에서, 5 ∼ 500㎎KOH/g이 바람직하고, 10 ∼ 200㎎KOH/g이 더 바람직하다.When the polymerizable compound having an amine structure has a hydroxyl group, the hydroxyl value is preferably 5 to 500 mgKOH/g, more preferably 10 to 200 mgKOH/g, from the viewpoint of pattern formation.

중합성 화합물(B1)의 시판품은, TOAGOSEI CO., LTD. 제조의 Aronix MT-3041(수산기가: 156㎎KOH/g), MT-3042 등을 들 수 있다.Commercially available products of the polymerizable compound (B1) are available from TOAGOSEI CO., LTD. Manufacture Aronix MT-3041 (hydroxyl value: 156 mgKOH/g), MT-3042, etc. are mentioned.

(3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1) 이외의 중합성 화합물(B2))(Polymerizable compound (B2) other than the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure)

본 발명의 감광성 조성물은, 내용제성의 관점에서, 중합성 화합물(B)로서 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1) 이외의 중합성 화합물(B2)(이하, 단순히 중합성 화합물(B2)이라고도 함)을 포함하는 것이 바람직하다.The photosensitive composition of the present invention is a polymerizable compound (B2) other than the polymerizable compound (B1) having three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure as the polymerizable compound (B) from the viewpoint of solvent resistance (hereinafter , also simply referred to as polymerizable compound (B2)) is preferably included.

중합성 화합물(B2)은, 예를 들면, 메틸(메타)아크릴레이트, 에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 2-히드록시프로필(메타)아크릴레이트, 시클로헥실(메타)아크릴레이트, 폴리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디(메타)아크릴레이트, 트리에틸렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 폴리프로필렌글리콜디(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 페녹시테트라에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 페녹시헥사에틸렌글리콜(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 PO 변성 트리(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판 EO 변성 트리(메타)아크릴레이트, 이소시아누르산 EO 변성 트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판테트라(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨테트라(메타)아크릴레이트, 1,6-헥산디올디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 비스페놀 A 디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 네오펜틸글리콜디글리시딜에테르디(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨헥사(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 EO 변성 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 PO 변성 펜타(메타)아크릴레이트, 트리시클로데카닐(메타)아크릴레이트, 메틸올화 멜라민의 (메타)아크릴산에스테르, 에폭시(메타)아크릴레이트 등의 각종 아크릴산에스테르 및 메타크릴산에스테르, 스티렌, 아세트산비닐, 히드록시에틸비닐에테르, 에틸렌글리콜디비닐에테르, 펜타에리트리톨트리비닐에테르, (메타)아크릴아미드, N-히드록시메틸(메타)아크릴아미드, N-비닐포름아미드, 아크릴로니트릴 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 반응성, 내용제성의 관점에서, 4개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 화합물을 포함하는 것이 바람직하다.The polymerizable compound (B2) is, for example, methyl (meth)acrylate, ethyl (meth)acrylate, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 2-hydroxypropyl (meth)acrylate, cyclohexyl (meth)acrylate, polyethylene glycol di(meth)acrylate, 1,6-hexanediol di(meth)acrylate, triethylene glycol di(meth)acrylate, polypropylene glycol di(meth)acrylate, trimethylol Propane tri(meth)acrylate, phenoxytetraethylene glycol (meth)acrylate, phenoxyhexaethylene glycol (meth)acrylate, trimethylolpropane PO modified tri(meth)acrylate, trimethylolpropane EO modified tri(meth)acrylate ) Acrylate, isocyanuric acid EO modified tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropanetetra(meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, pentaerythritol tetra(meth)acrylate, 1, 6-hexanediol diglycidyl ether di(meth)acrylate, bisphenol A diglycidyl ether di(meth)acrylate, neopentyl glycol diglycidyl ether di(meth)acrylate, dipentaerythritol hexa (meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol EO modified penta(meth)acrylate, dipentaerythritol PO modified penta(meth)acrylate, tricyclodecanyl(meth) Acrylates, (meth)acrylic acid esters of methylolized melamine, various acrylic acid esters and methacrylic acid esters such as epoxy (meth)acrylate, styrene, vinyl acetate, hydroxyethyl vinyl ether, ethylene glycol divinyl ether, pentaerythritol Trivinyl ether, (meth)acrylamide, N-hydroxymethyl (meth)acrylamide, N-vinylformamide, acrylonitrile, etc. are mentioned. Among these, it is preferable to include a polymerizable compound having 4 or more (meth)acryloyl groups from the viewpoints of reactivity and solvent resistance.

또한, 중합성 화합물(B2)은, 산성기를 함유해도 된다. 산성기로서는, 설폰산기, 카르복시기, 인산기 등을 들 수 있다.In addition, the polymerizable compound (B2) may contain an acidic group. As an acidic group, a sulfonic acid group, a carboxy group, a phosphoric acid group, etc. are mentioned.

산성기를 함유하는 중합성 화합물로서는, 예를 들면, 다가 알코올과 (메타)아크릴산과의 유리 수산기 함유 폴리(메타)아크릴레이트류와, 디카르복시산류와의 에스테르화물; 다가 카르복시산과, 모노히드록시알킬(메타)아크릴레이트류와의 에스테르화물 등을 들 수 있다.Examples of the polymerizable compound containing an acidic group include esterified products of poly(meth)acrylates containing free hydroxyl groups of polyhydric alcohols and (meth)acrylic acids, and dicarboxylic acids; Esterified substances of polyhydric carboxylic acids and monohydroxyalkyl (meth)acrylates, and the like are exemplified.

산성기를 함유하는 중합성 화합물은, 트리메틸올프로판디아크릴레이트, 트리메틸올프로판디메타크릴레이트, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리메타크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타메타크릴레이트 등의 모노히드록시올리고아크릴레이트 또는 모노히드록시올리고메타크릴레이트류와, 말론산, 숙신산, 글루타르산, 테레프탈산 등의 디카르복시산류와의 유리 카르복시기 함유 모노에스테르화물; 프로판-1,2,3-트리카르복시산(트리카르발릴산), 부탄-1,2,4-트리카르복시산, 벤젠-1,2,3-트리카르복시산, 벤젠-1,3,4-트리카르복시산, 벤젠-1,3,5-트리카르복시산 등의 트리카르복시산류와, 2-히드록시에틸아크릴레이트, 2-히드록시에틸메타크릴레이트, 2-히드록시프로필아크릴레이트, 2-히드록시프로필메타크릴레이트 등의 모노히드록시모노아크릴레이트 또는 모노히드록시모노메타크릴레이트류와의 유리 카르복시기 함유 올리고에스테르화물 등을 들 수 있다.The polymerizable compound containing an acidic group is trimethylolpropane diacrylate, trimethylolpropane dimethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaeryth monoester products containing free carboxyl groups of monohydroxyoligoacrylates such as ritolpentamethacrylate or monohydroxyoligomethacrylates and dicarboxylic acids such as malonic acid, succinic acid, glutaric acid and terephthalic acid; Propane-1,2,3-tricarboxylic acid (tricarballylic acid), butane-1,2,4-tricarboxylic acid, benzene-1,2,3-tricarboxylic acid, benzene-1,3,4-tricarboxylic acid, Tricarboxylic acids such as benzene-1,3,5-tricarboxylic acid, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate Oligoester products containing free carboxy groups with monohydroxy monoacrylates or monohydroxy monomethacrylates such as the like are exemplified.

또한, 중합성 화합물(B2)은, 우레탄 결합을 함유해도 된다. 예를 들면, 수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트에 다관능 이소시아네이트를 반응시켜 얻어지는 다관능 우레탄 아크릴레이트나, 알코올에 다관능 이소시아네이트를 반응시키고, 또한 수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트를 반응시켜 얻어지는 다관능 우레탄 아크릴레이트 등을 들 수 있다.In addition, the polymerizable compound (B2) may contain a urethane bond. For example, polyfunctional urethane acrylate obtained by reacting polyfunctional isocyanate with (meth)acrylate having a hydroxyl group, or polyfunctional isocyanate obtained by reacting polyfunctional isocyanate with alcohol and further reacting (meth)acrylate having a hydroxyl group. Functional urethane acrylate etc. are mentioned.

수산기를 갖는 (메타)아크릴레이트로서는, 2-히드록시에틸(메타)아크릴레이트, 4-히드록시부틸(메타)아크릴레이트, 트리메틸올프로판디(메타)아크릴레이트, 이소시아누르산 EO 변성 디(메타)아크릴레이트, 펜타에리트리톨트리(메타)아크릴레이트, 디트리메틸올프로판트리(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 EO 변성 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨 PO 변성 펜타(메타)아크릴레이트, 디펜타에리트리톨카프로락톤 변성 펜타(메타)아크릴레이트, 글리세롤아크릴레이트메타크릴레이트, 글리세롤디메타크릴레이트, 2-히드록시-3-아크릴로일프로필메타크릴레이트, 에폭시기 함유 화합물과 카르복시(메타)아크릴레이트의 반응물, 수산기 함유 폴리올폴리아크릴레이트 등을 들 수 있다.As the (meth)acrylate having a hydroxyl group, 2-hydroxyethyl (meth)acrylate, 4-hydroxybutyl (meth)acrylate, trimethylolpropane di(meth)acrylate, isocyanuric acid EO modified di( meth)acrylate, pentaerythritol tri(meth)acrylate, ditrimethylolpropane tri(meth)acrylate, dipentaerythritol penta(meth)acrylate, dipentaerythritol EO modified penta(meth)acrylate, Dipentaerythritol PO modified penta(meth)acrylate, dipentaerythritol caprolactone modified penta(meth)acrylate, glycerol acrylate methacrylate, glycerol dimethacrylate, 2-hydroxy-3-acryloyl Propyl methacrylate, a reaction product of an epoxy group-containing compound and carboxy (meth)acrylate, a hydroxyl group-containing polyol polyacrylate, and the like are exemplified.

또한, 다관능 이소시아네이트로서는, 톨릴렌디이소시아네이트, 헥사메틸렌디이소시아네이트, 디페닐메틸렌디이소시아네이트, 이소포론디이소시아네이트, 폴리이소시아네이트 등을 들 수 있다.Moreover, as polyfunctional isocyanate, tolylene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, diphenylmethylene diisocyanate, isophorone diisocyanate, polyisocyanate, etc. are mentioned.

중합성 화합물(B2)의 시판품으로서는, Nippon Kayaku Co., Ltd. 제조의 KAYARADR-128H, R526, PEG400DA, MAND, NPGDA, R-167, HX-220, R-551, R712, R-604, R-684, GPO-303, TMPTA, DPHA, DPEA-12, DPHA-2C, D-310, D-330, DPCA-20, DCPA-30, DCPA-60, DCPA-120, TOAGOSEI CO., LTD. 제조의 Aronix M-303, M-305, M-306, M-309, M-310, M-321, M-325, M-350, M-360, M-313, M-315, M-400, M-402, M-403, M-404, M-405, M-406, M-450, M-452, M-408, M-520, M-521, M-211B, M-101A, M-5300, M-5400, M-5700, OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD 제조의 Viscoat #310HP, #335HP, #700, #295, #330, #360, #GPT, #400, #405, #2500, kyoeisha chemical co., ltd. 제조의 AH-600, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H, UF-8001G, SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO., LTD. 제조의 NK ESTETR A-9300, ABE-300, A-DOG, A-DCP, A-BPE-4, UA-160TM, Miwon Specialty Chemical Co., Ltd 제조의 MiramerHR6060, 6100, 6200, DAICEL-ALLNEX LTD. 제조의 EBECRYL40, 130, 140, 145, Osaka Gas Chemicals Co., Ltd. 제조의 OGSOLEA-0200, 0300, GA-5060, GA-2800 등을 들 수 있다.As a commercial item of polymeric compound (B2), Nippon Kayaku Co., Ltd. Manufactured by KAYARADR-128H, R526, PEG400DA, MAND, NPGDA, R-167, HX-220, R-551, R712, R-604, R-684, GPO-303, TMPTA, DPHA, DPEA-12, DPHA- 2C, D-310, D-330, DPCA-20, DCPA-30, DCPA-60, DCPA-120, TOAGOSEI CO., LTD. Manufacturing Aronix M-303, M-305, M-306, M-309, M-310, M-321, M-325, M-350, M-360, M-313, M-315, M-400 , M-402, M-403, M-404, M-405, M-406, M-450, M-452, M-408, M-520, M-521, M-211B, M-101A, M -5300, M-5400, M-5700, Viscoat #310HP, #335HP, #700, #295, #330, #360, #GPT, #400, #405, #2500, and kyoeisha manufactured by OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD chemical co., ltd. Manufactured by AH-600, AT-600, UA-306H, UA-306T, UA-306I, UA-510H, UF-8001G, SHIN-NAKAMURA CHEMICAL CO., LTD. NK ESTETR A-9300, ABE-300, A-DOG, A-DCP, A-BPE-4, UA-160TM manufactured by Miwon Specialty Chemical Co., Ltd. MiramerHR6060, 6100, 6200 manufactured by DAICEL-ALLNEX LTD. Manufactured by EBECRYL40, 130, 140, 145, Osaka Gas Chemicals Co., Ltd. Manufactured OGSOLEA-0200, 0300, GA-5060, GA-2800, etc. are mentioned.

이들 중에서도, 수산기를 갖는 Aronix M-305, M-306, M-400, M-402, M-403, M-404, M-405, M-406, M-450이 특히 바람직하다. 상세한 메카니즘은 불분명하지만, 이들이 갖는 수산기가, 감광성 조성물 중의 용존 산소량을 저감하여, 자외선 노광 시의 산소 저해를 저감하는 효과가 얻어지기 때문에, 광가교가 촉진되어, 내용제성이 향상된다고 추측된다.Among these, Aronix M-305, M-306, M-400, M-402, M-403, M-404, M-405, M-406 and M-450 having a hydroxyl group are particularly preferred. Although the detailed mechanism is unknown, since the hydroxyl groups they have reduce the amount of dissolved oxygen in the photosensitive composition and the effect of reducing oxygen inhibition at the time of ultraviolet exposure is obtained, photocrosslinking is promoted and solvent resistance is estimated to improve.

중합성 화합물(B2)은, 내용제성의 관점에서, 덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물을 포함하는 것이 보다 바람직하다.It is more preferable that the polymerizable compound (B2) contains a polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranched structure from the viewpoint of solvent resistance.

덴드리머 구조를 갖는 중합성 화합물은, 코어를 구성하는 화학 구조(이하, 코어부라고도 함)로부터, 그 외측으로 규칙적으로 분기(分岐)를 반복해서, 그 말단에 중합성 불포화기가 결합한 화학 구조를 갖는 것이며, 구상(球狀)의 고도로 제어된 화학 구조 및 분자량을 갖고 있다.A polymerizable compound having a dendrimer structure has a chemical structure constituting the core (hereinafter also referred to as a core portion) repeatedly branching regularly to the outside thereof, and having a chemical structure in which a polymerizable unsaturated group is bonded to the terminal. It has a spherical, highly controlled chemical structure and molecular weight.

하이퍼브랜치 구조는, 덴드리머 구조와 유사한 화학 구조를 갖는다. 그 때문에, 일반적인 직쇄상의 중합성 화합물에 비해, 분자 내에서의 중합성 불포화기끼리의 거리가 가깝고, 밀도가 높기 때문에, 산소 저해의 영향을 받기 어려워, 노광에 보다 충분히 반응하며, 저온 경화에서도 우수한 용제 내성을 갖는 경화막이 얻어진다고 추측된다.The hyperbranch structure has a chemical structure similar to that of the dendrimer structure. Therefore, compared to general straight-chain polymerizable compounds, since the distance between the polymerizable unsaturated groups in the molecule is short and the density is high, it is less susceptible to oxygen inhibition, responds more sufficiently to exposure, and even at low temperature curing. It is estimated that a cured film having excellent solvent resistance is obtained.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물은, 내용제성의 관점에서, 평균 6 ∼ 18개의 중합성 불포화기를 갖는 것이 바람직하고, 평균 6 ∼ 11개가 특히 바람직하다.The polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranched structure preferably has an average of 6 to 18 polymerizable unsaturated groups, and particularly preferably an average of 6 to 11, from the viewpoint of solvent resistance.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물은, 내용제성의 관점에서, 중합성 불포화기가, 비닐기, (메타)알릴기, (메타)아크릴로일기로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1종인 것이 바람직하고, (메타)아크릴로일기가 보다 바람직하다.In the polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranch structure, from the viewpoint of solvent resistance, the polymerizable unsaturated group is preferably at least one selected from the group consisting of a vinyl group, a (meth)allyl group, and a (meth)acryloyl group. And, a (meth)acryloyl group is more preferable.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물은, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.The polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranch structure can be used alone or in combination of two or more.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물의 함유량은, 내용제성의 관점에서, 중합성 화합물(B2) 100질량% 중, 10질량% 이상이 바람직하고, 20 ∼ 100질량%가 보다 바람직하다.The content of the polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranched structure is preferably 10% by mass or more, and more preferably 20 to 100% by mass, based on 100% by mass of the polymerizable compound (B2), from the viewpoint of solvent resistance.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물은, 적절히 합성한 것을 사용해도 좋고, 시판품을 사용해도 좋다.As the polymerizable compound having a dendrimer structure or a hyperbranched structure, an appropriately synthesized compound may be used, or a commercial item may be used.

덴드리머 구조의 합성 방법으로서는, 코어로부터 외측을 향하여 합성을 진행하는 다이버전트법(divergent method), 말단 중합성 불포화기로부터 내측을 향하여 합성을 진행하는 컨버전트법(convergent method), 이들 2개를 조합한 것이 알려져 있다. 예를 들면, 컨버전트법을 이용하여, 1단계째로서, 2-(4-히드록시페녹시에틸)-아크릴레이트와 5-히드록시이소프탈산을 커플링하고, 2단계째에서 트리메스산과 커플링함으로써 덴드리머 구조를 갖는 중합성 화합물을 얻을 수 있다.As a method for synthesizing the dendrimer structure, a divergent method in which synthesis proceeds outward from the core and a convergent method in which synthesis proceeds inward from the terminal polymerizable unsaturated group, a combination of these two it is known For example, using the convergent method, as the first step, 2-(4-hydroxyphenoxyethyl)-acrylate and 5-hydroxyisophthalic acid are coupled, and in the second step, trimesic acid and coupling By doing so, a polymerizable compound having a dendrimer structure can be obtained.

하이퍼브랜치 구조의 합성 방법으로서는, 1분자 중에 2종의 치환기를 합계 3개 이상 갖는 ABx형 분자의 자기(自己) 축합에 의해 얻어진다. 예를 들면, 3,5-디히드록시벤조산을 원료로 하고, 중축합에 의해 하이퍼브랜치 폴리에스테르가 얻어진다. 이 경우, 말단에는 히드록시기가 존재하지만, 그곳에 (메타)아크릴산을 반응시킴으로써, 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물이 얻어진다.As a method for synthesizing the hyperbranched structure, it is obtained by self-condensation of ABx-type molecules having a total of three or more two types of substituents in one molecule. For example, hyperbranched polyester is obtained by polycondensation using 3,5-dihydroxybenzoic acid as a raw material. In this case, a polymerizable compound having a hyperbranched structure is obtained by reacting (meth)acrylic acid thereto, although a hydroxyl group is present at the terminal.

덴드리머 구조 또는 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물의 시판품은, 예를 들면, OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD 제조의 Viscoat #1000LT(덴드리머 구조, 평균 아크릴로일기 수 14), Miwon Specialty Chemical Co., Ltd 제조의 MiramerSP-1106(덴드리머 구조, 평균 아크릴로일기 수 18), MiramerSP-1108(덴드리머 구조, 평균 아크릴로일기 수 13), SARTOMER사 제조의 CN2301(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 9), CN2302(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 16), CN2303(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 6), CN2304(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 18), Eternal Materials사 제조의 Etercure6361-100(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 8), Etercure6362-100(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 12), Etercure6363(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 16), EtercureDR-E522(하이퍼브랜치 구조, 평균 아크릴로일기 수 15) 등을 들 수 있다.Commercially available polymeric compounds having a dendrimer structure or hyperbranch structure include, for example, Viscoat #1000LT (dendrimer structure, average number of acryloyl groups: 14) manufactured by OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD., manufactured by Miwon Specialty Chemical Co., Ltd. MiramerSP-1106 (dendrimer structure, average number of acryloyl groups 18), MiramerSP-1108 (dendrimer structure, average number of acryloyl groups 13), CN2301 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 9), CN2302 ( Hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 16), CN2303 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 6), CN2304 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 18), Etercure6361-100 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 18) manufactured by Eternal Materials Branch structure, average number of acryloyl groups 8), Etercure6362-100 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 12), Etercure6363 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups 16), EtercureDR-E522 (hyperbranch structure, average number of acryloyl groups) The number of acryloyl groups 15) etc. are mentioned.

중합성 화합물(B1) 및 중합성 화합물(B2)의 질량비는, B1:B2 = 4:96 ∼ 96:4가 바람직하고, 12:88 ∼ 96:4가 보다 바람직하다.The mass ratio of the polymerizable compound (B1) and the polymerizable compound (B2) is preferably B1:B2 = 4:96 to 96:4, and more preferably 12:88 to 96:4.

중합성 화합물(B)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 1 ∼ 60질량%가 바람직하고, 2 ∼ 50질량%가 보다 바람직하다.The content of the polymerizable compound (B) is preferably from 1 to 60% by mass, and more preferably from 2 to 50% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

[광중합개시제(C)][Photoinitiator (C)]

본 발명의 감광성 조성물은, 광중합개시제(C)를 포함한다. 이에 따라, 감광성 조성물을 활성 에너지선의 조사에 의해 경화시킬 수 있다.The photosensitive composition of the present invention contains a photopolymerization initiator (C). Accordingly, the photosensitive composition can be cured by irradiation with active energy rays.

광중합개시제(C)는, 예를 들면, 4-페녹시디클로로아세토페논, 4-t-부틸-디클로로아세토페논, 디에톡시아세토페논, 1-(4-이소프로필페닐)-2-히드록시-2-메틸프로판-1-온, 1-히드록시시클로헥실페닐케톤, 2-메틸-1-[4-(메틸티오)페닐]-2-모르폴리노프로판-1-온, 2-(디메틸아미노)-1-[4-(4-모르폴리노)페닐]-2-(페닐메틸)-1-부타논, 또는 2-(디메틸아미노)-2-[(4-메틸페닐)메틸]-1-[4-(4-모르폴리닐)페닐]-1-부타논 등의 아세토페논계 화합물; The photopolymerization initiator (C) is, for example, 4-phenoxydichloroacetophenone, 4-t-butyl-dichloroacetophenone, diethoxyacetophenone, 1-(4-isopropylphenyl)-2-hydroxy-2 -Methylpropan-1-one, 1-hydroxycyclohexylphenylketone, 2-methyl-1-[4-(methylthio)phenyl]-2-morpholinopropan-1-one, 2-(dimethylamino) -1-[4-(4-morpholino)phenyl]-2-(phenylmethyl)-1-butanone, or 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[ acetophenone-based compounds such as 4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone;

2,4,6-트리클로로-s-트리아진, 2-페닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-메톡시페닐)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(p-톨릴)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-피페로닐-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-비스(트리클로로메틸)-6-스티릴-s-트리아진, 2-(나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2-(4-메톡시나프토-1-일)-4,6-비스(트리클로로메틸)-s-트리아진, 2,4-트리클로로메틸-(피페로닐)-6-트리아진, 또는 2,4-트리클로로메틸-(4'-메톡시스티릴)-6-트리아진 등의 트리아진계 화합물; 2,4,6-trichloro-s-triazine, 2-phenyl-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-methoxyphenyl)-4,6-bis( Trichloromethyl)-s-triazine, 2-(p-tolyl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2-piperonyl-4,6-bis(trichloromethyl) -s-triazine, 2,4-bis(trichloromethyl)-6-styryl-s-triazine, 2-(naphtho-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s -Triazine, 2-(4-methoxynaphtho-1-yl)-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine, 2,4-trichloromethyl-(piperonyl)-6 triazine-based compounds such as triazine or 2,4-trichloromethyl-(4'-methoxystyryl)-6-triazine;

1,2-옥탄디온, 1-〔4-(페닐티오)페닐-, 2-(O-벤조일옥심)〕, 또는 에탄온, 1-〔9-에틸-6-(2-메틸벤조일)9H-카바졸-3-일〕-, 1-(O-아세틸옥심) 등의 옥심계 화합물; 1,2-octanedione, 1-[4-(phenylthio)phenyl-, 2-(O-benzoyloxime)], or ethanone, 1-[9-ethyl-6-(2-methylbenzoyl)9H- oxime compounds such as carbazol-3-yl]- and 1-(O-acetyloxime);

비스(2,4,6-트리메틸벤조일)페닐포스핀옥사이드, 또는 디페닐-2,4,6-트리메틸벤조일포스핀옥사이드 등의 아실포스핀계 화합물; acylphosphine compounds such as bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)phenylphosphine oxide or diphenyl-2,4,6-trimethylbenzoylphosphine oxide;

9,10-페난트렌퀴논, 캄퍼퀴논, 에틸안트라퀴논 등의 퀴논계 화합물; 보레이트계 화합물; 카바졸계 화합물; 이미다졸계 화합물; 혹은, 티타노센계 화합물 등을 들 수 있다.quinone compounds such as 9,10-phenanthrenequinone, camphorquinone, and ethylanthraquinone; borate-based compounds; carbazole-based compounds; imidazole-based compounds; Alternatively, titanocene-based compounds and the like are exemplified.

시판품으로는, 아세토페논계 화합물로서, IGM Resins사 제조의 Omnirad907, 369E, 379EG, 아실포스핀계 화합물로서, IGM Resins사 제조의 Omnirad819, TPO, 옥심계 화합물로서, BASF Japan Ltd. 제조의 IRGACUREOXE-01, 02, 03, 04, ADEKA CORPORATION 제조의 N-1919, NCI-730, 831, 930, Changzhou Tronly New Electronic Materials Co., Ltd. 제조의 TRONLYTRPBG-301, 304, 305, 309, 314, 345, 358, 380, 365, 610, 3054, 3057, IGM Resins사 제조의 Omnirad1312, 1314, 1316, Samyang Corporation 제조의 SPI-02, 03, 04, 05, 06, 07, Daito Chemix Corporation 제조의 DFI-020, 306, EOX-01 등을 들 수 있다.Commercially available products include Omnirad 907, 369E, and 379EG manufactured by IGM Resins as acetophenone-based compounds, and Omnirad 819 manufactured by IGM Resins as acylphosphine-based compounds, TPO, and oxime-based compounds manufactured by BASF Japan Ltd. IRGACUREOXE-01, 02, 03, 04 manufactured by ADEKA CORPORATION, N-1919, NCI-730, 831, 930 manufactured by Changzhou Tronly New Electronic Materials Co., Ltd. TRONLYTRPBG-301, 304, 305, 309, 314, 345, 358, 380, 365, 610, 3054, 3057 manufactured by IGM Resins, Omnirad 1312, 1314, 1316 manufactured by Samyang Corporation, SPI-02, 03, 04 manufactured by Samyang Corporation , 05, 06, 07, DFI-020, 306, and EOX-01 manufactured by Daito Chemix Corporation.

또한, 일본 특허공개 2007-210991호 공보, 일본 특허공개 2009-179619호 공보, 일본 특허공개 2010-037223호 공보, 일본 특허공개 2010-215575호 공보, 일본 특허공개 2011-020998호 공보, 국제공개 제2015/036910호, 국제공개 제2021/175855호 등에 기재된 옥심계 화합물도 들 수 있다.Further, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-210991, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-179619, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-037223, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2010-215575, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2011-020998, International Publication No. The oxime type compound of 2015/036910, international publication 2021/175855, etc. is also mentioned.

본 발명의 감광성 조성물은, 후술하는 착색제(E)를 포함할 경우, 광중합개시제(C)로서, 옥심계 화합물을 포함하는 것이 보다 바람직하다.When the photosensitive composition of this invention contains the coloring agent (E) mentioned later, it is more preferable to contain an oxime type compound as a photoinitiator (C).

옥심계 화합물의 구체예는, 예를 들면, 이하의 것을 들 수 있다. 또, 본 발명은 이들로 한정되지 않는다.As for the specific example of an oxime type compound, the following are mentioned, for example. In addition, this invention is not limited to these.

[화 3][Tue 3]

Figure pat00003
Figure pat00003

[화 4][Tuesday 4]

Figure pat00004
Figure pat00004

[화 5][Tuesday 5]

Figure pat00005
Figure pat00005

[화 6][Tue 6]

Figure pat00006
Figure pat00006

광중합개시제(C)의 함유량은, 중합성 화합물(B) 100질량부에 대하여, 광경화성의 관점에서, 0.5 ∼ 100질량부가 바람직하고, 1 ∼ 50질량부가 보다 바람직하고, 2 ∼ 25질량부가 특히 바람직하다.The content of the photopolymerization initiator (C) is preferably from 0.5 to 100 parts by mass, more preferably from 1 to 50 parts by mass, particularly from 2 to 25 parts by mass, from the viewpoint of photocurability with respect to 100 parts by mass of the polymerizable compound (B). desirable.

[유기 용제(D)][Organic Solvent (D)]

본 발명의 감광성 조성물은, 유기 용제(D)를 포함한다.The photosensitive composition of the present invention contains an organic solvent (D).

유기 용제(D)는, 본 발명의 감광성 조성물에 포함되는 각 성분의 용해성이나, 도공성을 만족하면 특별히 제한은 없고, 공지된 화합물을 사용할 수 있다.The organic solvent (D) is not particularly limited as long as it satisfies the solubility and coatability of each component contained in the photosensitive composition of the present invention, and known compounds can be used.

유기 용제(D)는, 예를 들면, 1,2,3-트리클로로프로판, 1-메톡시-2-프로판올, 젖산에틸, 1,3-부탄디올, 1,3-부틸렌글리콜, 1,3-부틸렌글리콜디아세테이트, 1,4-디옥산, 2-헵탄온, 2-메틸-1,3-프로판디올, 3,5,5-트리메틸-2-시클로헥센-1-온, 3,3,5-트리메틸시클로헥산온, 3-에톡시프로피온산에틸, 3-메틸-1,3-부탄디올, 3-메톡시-3-메틸-1-부탄올, 3-메톡시-3-메틸부틸아세테이트, 3-메톡시부탄올, 3-메톡시부틸아세테이트, 4-헵탄온, m-자일렌, m-디에틸벤젠, m-디클로로벤젠, N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디메틸포름아미드, n-부틸알코올, n-부틸벤젠, n-프로필아세테이트, N-메틸피롤리돈, o-자일렌, 톨루엔, o-클로로톨루엔, 벤젠, o-디에틸벤젠, o-디클로로벤젠, p-클로로톨루엔, p-디에틸벤젠, sec-부틸벤젠, tert-부틸벤젠, γ-부티로락톤, 이소부틸알코올, 이소포론, 에틸렌글리콜디에틸에테르, 에틸렌글리콜디부틸에테르, 에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노tert-부틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르, 에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노프로필에테르, 에틸렌글리콜모노헥실에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 디이소부틸케톤, 디에틸렌글리콜디에틸에테르, 디에틸렌글리콜디메틸에테르, 디에틸렌글리콜모노이소프로필에테르, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르아세테이트, 디에틸렌글리콜모노메틸에테르, 시클로헥산올, 시클로헥산올아세테이트, 시클로헥산온, 디프로필렌글리콜디메틸에테르, 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 디프로필렌글리콜모노부틸에테르, 디프로필렌글리콜모노프로필에테르, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 다이아세톤알코올, 트리아세틴, 트리프로필렌글리콜모노부틸에테르, 트리프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜디아세테이트, 프로필렌글리콜페닐에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노부틸에테르, 프로필렌글리콜모노프로필에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노메틸에테르프로피오네이트, 벤질알코올, 메틸이소부틸케톤, 메틸시클로헥산올, 아세트산n-아밀, 아세트산n-부틸, 아세트산이소아밀, 아세트산이소부틸, 아세트산프로필, 이염기산에스테르 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 수지의 용해성, 도공성의 관점에서, 젖산에틸, 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 프로필렌글리콜모노에틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노메틸에테르아세테이트, 에틸렌글리콜모노에틸에테르아세테이트 등의 글리콜아세테이트류, 다이아세톤알코올 등의 알코올류나 시클로헥산온 등의 케톤류가 바람직하다.The organic solvent (D) is, for example, 1,2,3-trichloropropane, 1-methoxy-2-propanol, ethyl lactate, 1,3-butanediol, 1,3-butylene glycol, 1,3 -Butylene glycol diacetate, 1,4-dioxane, 2-heptanone, 2-methyl-1,3-propanediol, 3,5,5-trimethyl-2-cyclohexen-1-one, 3,3 ,5-trimethylcyclohexanone, 3-ethoxyethylpropionate, 3-methyl-1,3-butanediol, 3-methoxy-3-methyl-1-butanol, 3-methoxy-3-methylbutylacetate, 3 -Methoxybutanol, 3-methoxybutylacetate, 4-heptanone, m-xylene, m-diethylbenzene, m-dichlorobenzene, N,N-dimethylacetamide, N,N-dimethylformamide, n -Butyl alcohol, n-butylbenzene, n-propylacetate, N-methylpyrrolidone, o-xylene, toluene, o-chlorotoluene, benzene, o-diethylbenzene, o-dichlorobenzene, p-chlorotoluene , p-diethylbenzene, sec-butylbenzene, tert-butylbenzene, γ-butyrolactone, isobutyl alcohol, isophorone, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol dibutyl ether, ethylene glycol monoisopropyl ether, ethylene Glycol monoethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monotert-butyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol monohexyl ether, ethylene glycol monomethyl ether , ethylene glycol monomethyl ether acetate, diisobutyl ketone, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoisopropyl ether, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol monobutyl ether, di Ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monomethyl ether, cyclohexanol, cyclohexanol acetate, cyclohexanone, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol methyl ether acetate, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol Monobutyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, diacetone alcohol, triacetin, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, propylene glycol diacetate, propylene glycol phenyl ether, propylene Glycol monoethyl ether, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether propionate, benzyl alcohol, methyl isobutyl ketone, methylcyclohexanol, n-amyl acetate, n-butyl acetate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, propyl acetate, and dibasic acid esters. Among these, glycol acetates such as ethyl lactate, propylene glycol monomethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, ethylene glycol monomethyl ether acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, diacetone, from the viewpoint of solubility and coatability of the resin. Alcohols, such as alcohol, and ketones, such as cyclohexanone, are preferable.

본 발명의 감광성 조성물은, 환경면의 관점에서, 방향족 탄화수소류(톨루엔, 자일렌, 벤젠, 클로로벤젠 등)인 유기 용제는, 실질적으로 함유하지 않는 것이 바람직하다. 실질적으로 함유하지 않는다는 것은, 감광성 조성물 중, 50질량ppm 이하이며, 30질량ppm 이하로 하는 것이 바람직하고, 10질량ppm 이하로 하는 것이 보다 바람직하다.It is preferable that the photosensitive composition of this invention does not substantially contain organic solvents which are aromatic hydrocarbons (toluene, xylene, benzene, chlorobenzene, etc.) from an environmental viewpoint. Substantially not containing is 50 mass ppm or less in the photosensitive composition, it is preferable to be 30 mass ppm or less, and it is more preferable to set it as 10 mass ppm or less.

유기 용제(D)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Organic solvent (D) can be used individually or in combination of 2 or more types.

유기 용제(D)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분이 5 ∼ 50질량%가 될 정도로 함유하는 것이 바람직하다.It is preferable to contain content of the organic solvent (D) to such an extent that the non-volatile content of the photosensitive composition becomes 5 to 50% by mass.

[착색제(E)][Colorant (E)]

본 발명의 감광성 조성물은, 착색제(E)를 함유할 수 있다. 이에 따라, 광학 필터의 각 파장 영역의 투과율을 제어할 수 있으며, 색 분리성이나 차폐성이 향상된다.The photosensitive composition of the present invention may contain a coloring agent (E). Accordingly, the transmittance of each wavelength region of the optical filter can be controlled, and color separation and shielding properties are improved.

착색제(E)는, 안료 및 염료 중 어느 것이어도 좋고, 병용할 수 있다.The coloring agent (E) may be either a pigment or a dye, and may be used in combination.

(안료)(Pigment)

안료는, 컬러 인덱스에 있어서 피그먼트로 분류되고 있는 화합물이 바람직하다.The pigment is preferably a compound classified as a pigment in color index.

적색 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 레드 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53, 53:1, 53:2, 53:3, 57, 57:1, 57:2, 58:4, 60, 63, 63:1, 63:2, 64, 64:1, 68, 69, 81, 81:1, 81:2, 81:3, 81:4, 83, 88, 90:1, 101, 101:1, 104, 108, 108:1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235, 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276, 277, 278, 279, 280, 281, 282, 283, 284, 285, 286, 287, 291, 295, 296, 일본 특허공개 2014-134712호 공보에 기재된 안료, 일본 특허 제6368844호 공보에 기재된 안료 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 내열성, 내광성, 및 투과율의 관점에서, C.I.피그먼트 레드 48:1, 122, 177, 224, 242, 269, 254, 291, 295, 296, 일본 특허공개 2014-134712호 공보에 기재된 안료, 일본 특허 제6368844호 공보에 기재된 안료가 바람직하고, C.I.피그먼트 레드 177, 254, 291, 295, 296, 일본 특허공개 2014-134712호 공보에 기재된 안료, 일본 특허 제6368844호 공보에 기재된 안료가 더 바람직하다.The red pigment is, for example, C.I. Pigment Red 1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 12, 14, 15, 16, 17, 21, 22, 23, 31, 32, 37, 38, 41, 47, 48, 48:1, 48:2, 48:3, 48:4, 49, 49:1, 49:2, 50:1, 52:1, 52:2, 53, 53:1, 53:2, 53:3, 57, 57:1, 57:2, 58:4, 60, 63, 63:1, 63:2, 64, 64:1, 68, 69, 81, 81:1, 81:2, 81:3, 81:4, 83, 88, 90:1, 101, 101:1, 104, 108, 108:1, 109, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 147, 149, 151, 166, 168, 169, 170, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 178, 179, 181, 184, 185, 187, 188, 190, 193, 194, 200, 202, 206, 207, 208, 209, 210, 214, 216, 220, 221, 224, 230, 231, 232, 233, 235, 236, 237, 238, 239, 242, 243, 245, 247, 249, 250, 251, 253, 254, 255, 256, 257, 258, 259, 260, 262, 263, 264, 265, 266, 267, 268, 269, 270, 271, 272, 273, 274, 275, 276, 277, 278, 279, 280, 281, 282, 283, 284, 285, 286, 287, 291, 295, 296, pigments described in Japanese Patent Laid-Open No. 2014-134712, and Japanese Patent No. 6368844 A pigment etc. are mentioned. Among these, pigments described in C.I. Pigment Red 48:1, 122, 177, 224, 242, 269, 254, 291, 295, 296 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2014-134712 from the viewpoint of heat resistance, light resistance, and transmittance. , pigments described in Japanese Patent No. 6368844 are preferred, C.I. Pigment Red 177, 254, 291, 295, 296, pigments described in Japanese Patent Laid-Open No. 2014-134712, and pigments described in Japanese Patent No. 6368844 more preferable

등색(橙色) 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 오렌지 36, 38, 43, 64, 71, 73 등을 들 수 있다.Orange pigments include, for example, C.I. Pigment Orange 36, 38, 43, 64, 71, 73 and the like.

황색 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 옐로우 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 192, 193, 194, 196, 198, 199, 213, 214, 231, 233, 일본 특허공개 2012-226110호 공보, 일본 특허공개 2017-171912호 공보, 일본 특허공개 2017-171913호 공보, 일본 특허공개 2017-171914호 공보, 일본 특허공개 2017-171915호 공보 등에 기재된 안료 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, C.I.피그먼트 옐로우 138, 139, 150, 185, 231, 233, 일본 특허공개 2012-226110호 공보에 기재된 안료가 바람직하다.Yellow pigments are, for example, C.I. Pigment Yellow 1, 2, 3, 4, 5, 6, 10, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 18, 24, 31, 32, 34, 35, 35:1, 36, 36:1, 37, 37:1, 40, 42, 43, 53, 55, 60, 61, 62, 63, 65, 73, 74, 77, 81, 83, 93, 94, 95, 97, 98, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 115, 116, 117, 118, 119, 120, 123, 126, 127, 128, 129, 138, 139, 147, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 161, 162, 164, 166, 167, 168, 169, 170, 171, 172, 173, 174, 175, 176, 177, 179, 180, 181, 182, 185, 187, 188, 192, 193, 194, 196, 198, 199, 213, 214, 231, 233, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-226110, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2017-171912, Japanese Patent The pigment described in Unexamined-Japanese-Patent No. 2017-171913, Unexamined-Japanese-Patent No. 2017-171914, Unexamined-Japanese-Patent No. 2017-171915, etc. are mentioned. Among these, pigments described in C.I. Pigment Yellow 138, 139, 150, 185, 231, 233 and Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-226110 are preferable.

녹색 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 그린 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 37, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 58, 59, 62, 63 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, C.I.피그먼트 그린 36, 58, 59, 62, 63이 바람직하다.Green pigments, for example, C.I. Pigment Green 1, 2, 4, 7, 8, 10, 13, 14, 15, 17, 18, 19, 26, 36, 37, 45, 48, 50, 51, 54, 55, 58, 59, 62, 63 etc. are mentioned. Among these, C.I. Pigment Green 36, 58, 59, 62, 63 are preferable.

청색 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 블루 1, 1:2, 9, 14, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56:1, 60, 61, 61:1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, C.I.피그먼트 블루 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6이 바람직하다.The blue pigment is, for example, C.I. Pigment Blue 1, 1:2, 9, 14, 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, 15:6, 16, 17, 19, 25, 27, 28, 29, 33, 35, 36, 56, 56:1, 60, 61, 61:1, 62, 63, 66, 67, 68, 71, 72, 73, 74, 75, 76, 78, 79 and the like. Among these, C.I. Pigment Blue 15, 15:1, 15:2, 15:3, 15:4, and 15:6 are preferable.

자색 안료는, 예를 들면, C.I.피그먼트 바이올렛 1, 1:1, 2, 2:2, 3, 3:1, 3:3, 5, 5:1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, C.I.피그먼트 바이올렛 19, 23이 바람직하다.The purple pigment is, for example, C.I. Pigment Violet 1, 1:1, 2, 2:2, 3, 3:1, 3:3, 5, 5:1, 14, 15, 16, 19, 23, 25, 27, 29, 31, 32, 37, 39, 42, 44, 47, 49, 50 etc. are mentioned. Among these, C.I. Pigment Violet 19 and 23 are preferable.

흑색 안료는, 구체적으로는, C.I.피그먼트 블랙 1, 6, 7, 12, 20, 31, 32 등을 들 수 있다. 또한, 일본 특허공표 2010-534726호 공보, 일본 특허공표 2012-515233호 공보, 일본 특허공표 2012-515234호 공보, 일본 특허공개 평1-170601호 공보, 일본 특허공개 평2-34664호 공보 등에 기재된 화합물도 들 수 있다.As for the black pigment, C.I. Pigment Black 1, 6, 7, 12, 20, 31, 32 etc. are mentioned specifically,. Further, disclosed in Japanese Patent Publication No. 2010-534726, Japanese Patent Publication No. 2012-515233, Japanese Patent Publication No. 2012-515234, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-170601, Japanese Patent Laid-Open No. 2-34664, etc. Compounds are also included.

본 발명의 감광성 조성물은, 적외선 투과 필터에 이용할 경우, 착색제(E)는, 적색 안료, 황색 안료, 청색 안료, 녹색 안료, 및 자색 안료로 이루어지는 군에서 선택되는 2종 이상의 안료를 포함하고, 흑색을 나타내는 것이 바람직하다.When the photosensitive composition of the present invention is used for an infrared transmission filter, the colorant (E) contains two or more pigments selected from the group consisting of a red pigment, a yellow pigment, a blue pigment, a green pigment, and a purple pigment, and It is desirable to indicate

흑색을 나타내는 조합으로서는, 예를 들면, 이하의 태양을 들 수 있다.As a combination showing black, the following aspects are mentioned, for example.

(1) 황색 안료, 및 자색 안료를 함유한다.(1) It contains a yellow pigment and a purple pigment.

(2) 적색 안료, 황색 안료, 및 자색 안료를 함유한다.(2) It contains a red pigment, a yellow pigment, and a purple pigment.

(3) 적색 안료, 황색 안료, 및 청색 안료를 함유한다.(3) It contains a red pigment, a yellow pigment, and a blue pigment.

(4) 적색 안료, 황색 안료, 및 녹색 안료를 함유한다.(4) It contains a red pigment, a yellow pigment, and a green pigment.

(5) 황색 안료, 청색 안료, 및 자색 안료를 함유한다.(5) It contains a yellow pigment, a blue pigment, and a purple pigment.

(6) 적색 안료, 황색 안료, 청색 안료, 및 자색 안료를 함유한다.(6) It contains a red pigment, a yellow pigment, a blue pigment, and a purple pigment.

또한, 산화티탄, 황산바륨, 아연화, 황산납, 황색 납, 아연 황, 벵갈라(적색 산화철(Ⅲ)), 카드뮴 적, 군청, 감청, 산화크롬 녹, 코발트 녹, 앰버(amber), 합성 철흑 등의 무기 안료도 사용할 수 있다.In addition, titanium oxide, barium sulfate, zinc oxide, lead sulfate, yellow lead, zinc sulfur, red iron oxide (III), cadmium red, ultramarine blue, Prussian blue, chromium oxide rust, cobalt rust, amber, synthetic iron black, etc. Inorganic pigments of can also be used.

(염료)(dyes)

염료는, 예를 들면, 산성 염료, 직접 염료, 염기성 염료, 조염(造鹽) 염료, 유용성(油溶性) 염료, 분산 염료, 반응 염료, 매염(媒染) 염료, 건염(建染) 염료, 황화 염료 등을 들 수 있다. 또한, 이들 유도체나, 염료를 레이크화한 레이크 안료도 들 수 있다.Dyes include, for example, acid dyes, direct dyes, basic dyes, form dyes, oil-soluble dyes, disperse dyes, reactive dyes, mordant dyes, vat dyes, and sulfur dyes. Dye etc. are mentioned. Moreover, these derivatives and lake pigments obtained by forming dyes into lakes are also exemplified.

산성 염료는, 설폰산이나 카르복시산 등의 산성기를 갖는 것이 바람직하다. 또한, 산성 염료와, 4급 암모늄염 화합물, 3급 아민 화합물, 2급 아민 화합물, 또는 1급 아민 화합물 등의 함질소 화합물과의 염인 조염 화합물이 바람직하다. 또한, 이들 관능기를 갖는 수지 성분과 산성 염료와의 염인 조염 화합물도 바람직하다. 또한, 조염 화합물은, 설폰아미드화하여 설폰산아미드 화합물로 변성함으로써 내성(내광성, 내용제성)이 우수한 감광성 조성물을 얻기 쉽다.The acidic dye preferably has an acidic group such as sulfonic acid or carboxylic acid. Further, a salt-formation compound that is a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound such as a quaternary ammonium salt compound, a tertiary amine compound, a secondary amine compound, or a primary amine compound is preferable. Moreover, the salt-formation compound which is a salt of the resin component which has these functional groups and an acidic dye is also preferable. In addition, a photosensitive composition having excellent resistance (light resistance and solvent resistance) is easily obtained by modifying the salt-formation compound into a sulfonic acid amide compound through sulfonamidation.

또한, 산성 염료와 오늄염기를 갖는 화합물과의 조염 화합물도, 내성(내광성, 용제 내성)이 우수하기 때문에 바람직하다. 또, 오늄염기를 갖는 화합물은, 양이온성기를 갖는 수지가 바람직하다.Further, a salt-formation compound of an acid dye and a compound having an onium salt group is also preferable because of its excellent resistance (light resistance, solvent resistance). In addition, the compound having an onium base group is preferably a resin having a cationic group.

염기성 염료는, 그 자체로도 사용할 수 있지만, 유기산이나 과염소산 또는 그 금속염과 염을 형성하는 조염 화합물이 바람직하다. 염기성 염료의 조염 화합물은, 내성(내광성, 내용제성)이나, 안료와의 친화성이 우수하기 때문에 바람직하다. 또한, 염기성 염료의 조염 화합물에서, 카운터 이온으로서 기능하는 음이온 성분은, 유기 설폰산, 유기 황산, 불소기 함유 인 음이온 화합물, 불소기 함유 붕소 음이온 화합물, 시아노기 함유 질소 음이온 화합물, 할로겐화 탄화수소기를 갖는 유기산의 공역염기를 갖는 음이온 화합물, 산성 염료를 조염한 조염 화합물이 바람직하다. 또, 조염 화합물은, 분자 중에 중합성 불포화기를 함유하면 내성이 보다 향상된다.The basic dye can be used by itself, but a salt-formation compound that forms a salt with an organic acid, perchloric acid, or a metal salt thereof is preferable. Salt-formation compounds of basic dyes are preferable because they are excellent in resistance (light resistance, solvent resistance) and affinity with pigments. Further, in the salt-formation compound of the basic dye, the anion component functioning as a counter ion is an organic sulfonic acid, an organic sulfuric acid, a phosphorus anion compound containing a fluorine group, a boron anion compound containing a fluorine group, a nitrogen anion compound containing a cyano group, and a halogenated hydrocarbon group-containing compound. An anion compound having a conjugate base of an organic acid and a salt-formation compound obtained by forming an acidic dye are preferred. Moreover, resistance improves more when a salt-formation compound contains a polymerizable unsaturated group in a molecule|numerator.

염료의 화학 구조는, 예를 들면, 아조계 염료, 디스아조계 염료, 아조메틴계 염료(인도아닐린계 염료, 인도페놀계 염료 등), 디피로메텐계 염료, 퀴논계 염료(벤조퀴논계 염료, 나프토퀴논계 염료, 안트라퀴논계 염료, 안트라피리돈계 염료 등), 카르보늄계 염료(디페닐메탄계 염료, 트리페닐메탄계 염료, 크산텐계 염료, 아크리딘계 염료 등), 퀴논이민계 염료(옥사진계 염료, 티아진계 염료 등), 아진계 염료, 폴리메틴계 염료(옥소놀계 염료, 메로시아닌계 염료, 아릴리덴계 염료, 스티릴계 염료, 시아닌계 염료, 스쿠아릴륨계 염료, 크로코늄계 염료 등), 퀴노프탈론계 염료, 프탈로시아닌계 염료, 서브프탈로시아닌계 염료, 페리논계 염료, 인디고계 염료, 티오인디고계 염료, 퀴놀린계 염료, 니트로계 염료, 니트로소계 염료, 로다민계 염료, 및 그들의 금속 착체계 염료 등에서 선택되는 염료에 유래하는 색소 구조를 들 수 있다.The chemical structure of dyes, for example, azo dyes, disazo dyes, azomethine dyes (indoaniline dyes, indophenol dyes, etc.), dipyrromethene dyes, quinone dyes (benzoquinone dyes, naphthoquinone-based dyes, anthraquinone-based dyes, anthrapyridone-based dyes, etc.), carbonium-based dyes (diphenylmethane-based dyes, triphenylmethane-based dyes, xanthene-based dyes, acridine-based dyes, etc.), quinoneimine-based dyes ( Oxazine-based dyes, thiazine-based dyes, etc.), azine-based dyes, polymethine-based dyes (oxonol-based dyes, merocyanine-based dyes, arylidene-based dyes, styryl-based dyes, cyanine-based dyes, squarylium-based dyes, croconium-based dyes dyes, etc.), quinophthalone dyes, phthalocyanine dyes, subphthalocyanine dyes, perinone dyes, indigo dyes, thioindigo dyes, quinoline dyes, nitro dyes, nitroso dyes, rhodamine dyes, and their A dye structure derived from a dye selected from metal complex dyes and the like is exemplified.

이들 중에서도, 색상, 색 분리성, 색 얼룩 등의 색 특성의 관점에서, 아조계 염료, 크산텐계 염료, 시아닌계 염료, 트리페닐메탄계 염료, 안트라퀴논계 염료, 디피로메텐계 염료, 스쿠아릴륨계 염료, 퀴노프탈론계 염료, 프탈로시아닌계 염료, 서브프탈로시아닌계 염료에서 선택되는 색소에 유래하는 색소 구조가 바람직하고, 크산텐계 염료, 시아닌계 염료, 트리페닐메탄계 염료, 안트라퀴논계 염료, 디피로메텐계 염료, 프탈로시아닌계 염료에서 선택되는 색소에 유래하는 색소 구조가 보다 바람직하다.Among these, from the viewpoint of color characteristics such as color, color separability, color unevenness, azo dyes, xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyrromethene dyes, squarylium dyes A dye structure derived from a dye selected from dyes, quinophthalone dyes, phthalocyanine dyes, and subphthalocyanine dyes is preferable, and xanthene dyes, cyanine dyes, triphenylmethane dyes, anthraquinone dyes, dipyrrome A dye structure derived from a dye selected from tene-based dyes and phthalocyanine-based dyes is more preferable.

착색제(E)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.A coloring agent (E) can be used individually or in combination of 2 or more types.

착색제(E)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 5 ∼ 70질량%가 바람직하고, 10 ∼ 60질량%가 보다 바람직하다.5-70 mass % is preferable in 100 mass % of the non-volatile matter of a photosensitive composition, and, as for content of a coloring agent (E), 10-60 mass % is more preferable.

(안료의 미세화)(Pigment Refinement)

안료는, 미세화하여 이용하는 것이 바람직하다. 미세화 방법은, 특별히 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 습식 마쇄, 건식 마쇄, 용해 석출법 모두 사용할 수 있다. 이들 중에서도, 습식 마쇄의 1종인 니더법에 의한 솔트 밀링 처리가 바람직하다. 미세화 안료의 TEM(투과형 전자 현미경)에 의해 구해지는 평균 1차 입자경은, 5 ∼ 90㎚가 바람직하다. 또, 분산성, 콘트라스트비의 관점에서, 평균 1차 입자경은 10 ∼ 70㎚가 보다 바람직하다.It is preferable to micronize and use a pigment. The miniaturization method is not particularly limited, and for example, wet grinding, dry grinding, and dissolution/precipitation methods can all be used. Among these, salt milling treatment by a kneader method, which is one type of wet grinding, is preferable. As for the average primary particle diameter calculated|required by TEM (transmission electron microscope) of a micronized pigment, 5-90 nm is preferable. Moreover, as for an average primary particle diameter, from a viewpoint of dispersibility and a contrast ratio, 10-70 nm is more preferable.

솔트 밀링 처리란, 안료와 수용성 무기염과 수용성 유기 용제와의 혼합물을, 니더, 2개 롤 밀, 3개 롤 밀, 볼 밀, 어트리터, 샌드 밀 등의 혼련기를 이용하여, 가열하면서 기계적으로 혼련한 후, 수세(水洗)에 의해 수용성 무기염과 수용성 유기 용제를 제거하는 처리이다. 수용성 무기염은, 파쇄 조제로서 기능하는 것이며, 솔트 밀링 시에 무기염의 경도의 높이를 이용하여 안료가 파쇄된다. 안료를 솔트 밀링 처리할 때의 조건을 최적화함으로써, 1차 입자경이 매우 미세하며, 또한, 분포의 폭이 좁아, 샤프한 입도 분포를 갖는 안료를 얻을 수 있다.The salt milling treatment is a mechanical process while heating a mixture of a pigment, a water-soluble inorganic salt, and a water-soluble organic solvent using a kneading machine such as a kneader, two-roll mill, three-roll mill, ball mill, attritor, or sand mill. It is a treatment of removing water-soluble inorganic salts and water-soluble organic solvents by washing with water after kneading. The water-soluble inorganic salt functions as a crushing aid, and the pigment is crushed using the high hardness of the inorganic salt at the time of salt milling. By optimizing the conditions for salt milling the pigment, it is possible to obtain a pigment having a very fine primary particle size, a narrow distribution, and a sharp particle size distribution.

수용성 무기염은, 염화나트륨, 염화칼륨, 황산나트륨 등을 들 수 있고, 가격의 점에서 염화나트륨(식염)이 바람직하다. 수용성 무기염의 사용량은, 처리 효율과 생산 효율의 양면으로부터, 안료 100질량부에 대하여, 50 ∼ 2,000질량부가 바람직하고, 300 ∼ 1,000질량부가 보다 바람직하다.Examples of the water-soluble inorganic salt include sodium chloride, potassium chloride, and sodium sulfate, and sodium chloride (table salt) is preferable from the viewpoint of cost. The amount of water-soluble inorganic salt used is preferably 50 to 2,000 parts by mass, more preferably 300 to 1,000 parts by mass, based on both treatment efficiency and production efficiency, based on 100 parts by mass of the pigment.

수용성 유기 용제는, 안료 및 수용성 무기염을 습윤하는 기능을 하는 것이며, 물에 용해(혼화)하며, 또한 이용하는 무기염을 실질적으로 용해하지 않는 것이면 특별히 한정되지 않는다. 단, 솔트 밀링 시에 온도가 상승하여, 용제가 증발하기 쉬운 상태가 되기 때문에, 안전성의 점에서, 비점 120℃ 이상의 고(高)비점 용제가 바람직하다. 예를 들면, 2-메톡시에탄올, 2-부톡시에탄올, 2-(이소펜틸옥시)에탄올, 2-(헥실옥시)에탄올, 디에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜모노에틸에테르, 디에틸렌글리콜모노부틸에테르, 트리에틸렌글리콜, 트리에틸렌글리콜모노메틸에테르, 액상의 폴리에틸렌글리콜, 1-메톡시-2-프로판올, 1-에톡시-2-프로판올, 디프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜모노메틸에테르, 디프로필렌글리콜모노에틸에테르, 액상의 폴리프로필렌글리콜 등이 이용된다. 수용성 유기 용제의 사용량은, 안료 100질량부에 대하여, 5 ∼ 1,000질량부가 바람직하고, 50 ∼ 500질량부가 보다 바람직하다.The water-soluble organic solvent functions to wet the pigment and the water-soluble inorganic salt, and is not particularly limited as long as it dissolves (miscibles) in water and does not substantially dissolve the inorganic salt to be used. However, since the temperature rises during salt milling and the solvent becomes easily evaporated, a high boiling point solvent having a boiling point of 120°C or higher is preferable from the viewpoint of safety. For example, 2-methoxyethanol, 2-butoxyethanol, 2-(isopentyloxy)ethanol, 2-(hexyloxy)ethanol, diethylene glycol, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl Ether, triethylene glycol, triethylene glycol monomethyl ether, liquid polyethylene glycol, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, dipropylene glycol, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol Monoethyl ether, liquid polypropylene glycol, and the like are used. The amount of the water-soluble organic solvent used is preferably 5 to 1,000 parts by mass, more preferably 50 to 500 parts by mass, based on 100 parts by mass of the pigment.

솔트 밀링 처리에는, 필요에 따라 수지를 첨가해도 된다. 상기 수지의 종류는 특별히 한정되지 않고, 천연 수지, 변성 천연 수지, 합성 수지, 천연 수지에 의해 변성된 합성 수지 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 실온에서 고체이며, 수불용성인 것이 바람직하며, 또한 상기 유기 용제에 일부 가용이 바람직하다. 수지의 첨가량은, 안료 100질량부에 대하여, 2 ∼ 200질량부가 바람직하다.In the salt milling process, you may add resin as needed. The type of the resin is not particularly limited, and examples thereof include natural resins, modified natural resins, synthetic resins, and synthetic resins modified by natural resins. Among these, those that are solid at room temperature and insoluble in water are preferable, and partially soluble in the above organic solvents are preferable. As for the addition amount of resin, 2-200 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of pigments.

[증감제(F)][sensitizer (F)]

본 발명의 감광성 조성물은, 증감제(F)를 함유할 수 있다.The photosensitive composition of this invention can contain a sensitizer (F).

증감제(F)는, 예를 들면, 칼콘계 화합물, 디벤잘아세톤 등으로 대표되는 불포화 케톤류, 벤질이나 캄퍼퀴논 등으로 대표되는 1,2-디케톤계 화합물, 벤조인계 화합물, 플루오렌계 화합물, 나프토퀴논계 화합물, 안트라퀴논계 화합물, 크산텐계 화합물, 티오잔텐계 화합물, 크산톤계 화합물, 티오잔톤계 화합물, 쿠마린계 화합물, 케토쿠마린계 화합물, 시아닌계 화합물, 메로시아닌계 화합물, 옥소놀계 화합물 등의 폴리메틴 색소, 아크리딘계 화합물, 아진계 화합물, 티아진계 화합물, 옥사진계 화합물, 인돌린계 화합물, 아줄렌계 화합물, 아줄레늄계 화합물, 스쿠아릴륨계 화합물, 포르피린계 화합물, 테트라페닐포르피린계 화합물, 트리아릴메탄계 화합물, 테트라벤조포르피린계 화합물, 테트라피라지노포르피라진계 화합물, 프탈로시아닌계 화합물, 테트라아자포르피라진계 화합물, 테트라퀴녹살리로포르피라진계 화합물, 나프탈로시아닌계 화합물, 서브프탈로시아닌계 화합물, 피릴륨계 화합물, 티오피릴륨계 화합물, 테트라피린계 화합물, 아눌렌계 화합물, 스피로피란계 화합물, 스피로옥사진계 화합물, 티오스피로피란계 화합물, 금속 아렌 착체, 유기 루테늄 착체, 또는 벤조페논계 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 현상성, 패턴 형성성의 관점에서, 티오잔톤계 화합물, 벤조페논계 화합물이 바람직하다.The sensitizer (F) is, for example, a chalcone-based compound, an unsaturated ketone represented by dibenzalacetone, etc., a 1,2-diketone-based compound represented by benzyl or camphorquinone, a benzoin-based compound, a fluorene-based compound, Naphthoquinone-based compounds, anthraquinone-based compounds, xanthene-based compounds, thioxanthene-based compounds, xanthone-based compounds, thioxantone-based compounds, coumarin-based compounds, ketocoumarin-based compounds, cyanine-based compounds, merocyanine-based compounds, oxonol-based compounds Polymethine pigments such as compounds, acridine-based compounds, azine-based compounds, thiazine-based compounds, oxazine-based compounds, indoline-based compounds, azulene-based compounds, azulenium-based compounds, squarylium-based compounds, porphyrin-based compounds, tetraphenylporphyrin-based Compound, triarylmethane-based compound, tetrabenzoporphyrin-based compound, tetrapyrazinoporphyrazine-based compound, phthalocyanine-based compound, tetraazaporphyrazine-based compound, tetraquinoxaliloporphyrazine-based compound, naphthalocyanine-based compound, subphthalocyanine-based compound Compound, pyrylium-based compound, thiopyrylium-based compound, tetrapyrine-based compound, annulene-based compound, spiropyran-based compound, spirooxazine-based compound, thiospiropyran-based compound, metal arene complex, organic ruthenium complex, or benzophenone-based compound etc. can be mentioned. Among these, from the viewpoints of developability and pattern formation, thioxanthone-based compounds and benzophenone-based compounds are preferable.

티오잔톤계 화합물은, 예를 들면, 2,4-디에틸티오잔톤, 2-클로로티오잔톤, 2,4-디클로로티오잔톤, 2-이소프로필티오잔톤, 4-이소프로필티오잔톤, 1-클로로-4-프로폭시티오잔톤 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 2,4-디에틸티오잔톤이 바람직하다.Thioxanthone compounds, for example, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 4-isopropylthioxanthone, 1-chloro -4-propoxythioxanthone etc. are mentioned. Among these, 2,4-diethylthioxanthone is preferable.

벤조페논계 화합물은, 예를 들면, 4,4'-비스(디메틸아미노)벤조페논, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논, 2-아미노벤조페논 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 4,4'-비스(디에틸아미노)벤조페논이 바람직하다.As for a benzophenone type compound, 4,4'-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone, 2-amino benzophenone etc. are mentioned, for example. Among these, 4,4'-bis (diethylamino) benzophenone is preferable.

증감제(F)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.A sensitizer (F) can be used individually or in combination of 2 or more types.

증감제(F)의 함유량은, 패턴 형성성의 관점에서, 광중합개시제(C) 100질량부에 대하여, 10 ∼ 400질량부가 바람직하고, 20 ∼ 300질량부가 보다 바람직하다.The content of the sensitizer (F) is preferably 10 to 400 parts by mass, more preferably 20 to 300 parts by mass, based on 100 parts by mass of the photopolymerization initiator (C), from the viewpoint of pattern formation.

[색소 유도체(G)][Dye Derivative (G)]

본 발명의 감광성 조성물은, 색소 유도체(G)를 함유할 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may contain a dye derivative (G).

색소 유도체(G)는, 예를 들면, 색소의 일부가, 산성기, 염기성기, 중성기 등으로 치환된 구조를 갖는 화합물을 들 수 있다. 색소 유도체(G)는, 예를 들면, 설포기, 카르복시기, 인산기 등의 산성 치환기를 갖는 화합물, 및 이들 아민염이나, 설폰아미드기나 말단에 3급 아미노기 등의 염기성 치환기를 갖는 화합물, 페닐기나 프탈이미드알킬기 등의 중성 치환기를 갖는 화합물을 들 수 있다.The pigment derivative (G) includes, for example, a compound having a structure in which a part of the pigment is substituted with an acidic group, a basic group, a neutral group or the like. The dye derivative (G) is, for example, a compound having an acidic substituent such as a sulfo group, a carboxy group, or a phosphoric acid group, and these amine salts, a sulfonamide group or a compound having a basic substituent such as a tertiary amino group at the terminal, a phenyl group or a phthal and compounds having neutral substituents such as imide alkyl groups.

상기 색소는, 예를 들면, 디케토피롤로피롤 화합물, 프탈로시아닌 화합물, 안트라퀴논 화합물, 퀴나크리돈 화합물, 디옥사진 화합물, 페리논 화합물, 페릴렌 화합물, 티아진인디고 화합물, 트리아진 화합물, 벤즈이미다졸론 화합물, 벤조이소인돌 화합물, 이소인돌린 화합물, 이소인돌리논 화합물, 퀴노프탈론 화합물, 나프톨 화합물, 스쿠아릴륨 화합물, 스렌 화합물, 나프탈로시아닌 화합물 등을 들 수 있다.The dye is, for example, a diketopyrrolopyrrole compound, a phthalocyanine compound, an anthraquinone compound, a quinacridone compound, a dioxazine compound, a perinone compound, a perylene compound, a thiazine indigo compound, a triazine compound, and a benzimida. A zolone compound, a benzoisoindole compound, an isoindoline compound, an isoindolinone compound, a quinophthalone compound, a naphthol compound, a squarylium compound, a threne compound, a naphthalocyanine compound, etc. are mentioned.

구체적으로는, 피롤로피롤계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2001-220520호 공보, 국제공개 제2009/081930호, 국제공개 제2011/052617호, 국제공개 제2012/102399호, 일본 특허공개 2017-156397호 공보, 국제공개 제2018/101189호, 프탈로시아닌계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2007-226161호 공보, 국제공개 제2016/163351호, 일본 특허공개 2017-165820호 공보, 일본 특허 제5753266호 공보, 안트라퀴논계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 소 63-264674호 공보, 일본 특허공개 평 09-272812호 공보, 일본 특허공개 평 10-245501호 공보, 일본 특허공개 평 10-265697호 공보, 일본 특허공개 2007-079094호 공보, 국제공개 제2009/025325호, 퀴나크리돈계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 소 48-54128호 공보, 일본 특허공개 평 03-9961호 공보, 일본 특허공개 2000-273383호 공보, 디옥사진계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2011-162662호 공보, 티아진인디고계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2007-314785호 공보, 트리아진계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 소 61-246261호 공보, 일본 특허공개 평 11-199796호 공보, 일본 특허공개 2003165922호 공보, 일본 특허공개 2003-168208호 공보, 일본 특허공개 2004-217842호 공보, 일본 특허공개 2007-314681호 공보, 벤조이소인돌계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2009-57478호 공보, 퀴노프탈론계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2003-167112호 공보, 일본 특허공개 2006-291194호 공보, 일본 특허공개 2008-31281호 공보, 일본 특허공개 2012-226110호 공보, 나프톨계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2012-208329호 공보, 일본 특허공개 2014-5439호 공보, 스쿠아릴륨계 색소 유도체로서는, 국제공개 제2020/054718호, 아조계 색소 유도체로서는, 일본 특허공개 2001-172520호 공보, 일본 특허공개 2012-172092호 공보, 산성 치환기로서는, 일본 특허공개 2004-307854호 공보, 염기성 치환기로서는, 일본 특허공개 2002-201377호 공보, 일본 특허공개 2003-171594호 공보, 일본 특허공개 2005-181383호 공보, 일본 특허공개 2005-213404호 공보 등에 기재된 공지된 색소 유도체를 들 수 있다. 또, 이들 문헌에는, 유도체, 안료 유도체, 분산제, 분산 조제, 안료 분산제 혹은 단순히 화합물 등이라고 기재하고 있는 경우가 있지만, 색소 유도체(G)와 동의(同義)이다.Specifically, as a pyrrolopyrrole pigment derivative, Japanese Patent Application Laid-open No. 2001-220520, International Laid-open No. 2009/081930, International Laid-open No. 2011/052617, International Laid-open No. 2012/102399, Japanese Patent Laid-Open 2017- Publication No. 156397, International Publication No. 2018/101189, As phthalocyanine-based pigment derivatives, Japanese Patent Application Publication No. 2007-226161, International Publication No. 2016/163351, Japanese Patent Application Publication No. 2017-165820, Japanese Patent No. 5753266 , As an anthraquinone-based pigment derivative, Japanese Patent Laid-Open No. 63-264674, Japanese Patent Laid-Open No. 09-272812, Japanese Patent Laid-Open No. 10-245501, Japanese Patent Laid-Open No. 10-265697, Japanese Patent Publication No. 2007-079094, International Publication No. 2009/025325, as quinacridone-based pigment derivatives, Japanese Unexamined Patent Publication No. 48-54128, Japanese Unexamined Patent Publication No. 03-9961, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2000-273383 , Japanese Patent Laid-Open No. 2011-162662 as a dioxazine-based pigment derivative, Japanese Patent Laid-Open No. 2007-314785 as a thiazine-based pigment derivative, and Japanese Unexamined Patent Publication No. 61-246261 as a triazine-based pigment derivative, Japan Japanese Unexamined Patent Publication No. 11-199796, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003165922, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-168208, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-217842, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2007-314681, as benzoisoindole-based pigment derivatives , Japanese Unexamined Patent Publication No. 2009-57478, as quinophthalone-based pigment derivatives, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2003-167112, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2006-291194, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2008-31281, Japanese Unexamined Patent Publication 2012- 226110, as a naphthol-based pigment derivative, Japanese Patent Laid-Open No. 2012-208329, Japanese Patent Laid-Open No. 2014-5439, as a squarylium-based pigment derivative, International Publication No. 2020/054718, as an azo-type pigment derivative, Japan Japanese Unexamined Patent Publication No. 2001-172520, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2012-172092, Japanese Unexamined Patent Publication No. 2004-307854 as an acidic substituent, Japanese Unexamined Patent Publication 2002-201377, and Japanese Unexamined Patent Publication 2003-171594 as a basic substituent Publication, Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-181383, Unexamined-Japanese-Patent No. 2005-213404, etc. can mention the well-known pigment derivative described. In addition, although these documents may describe as a derivative, a pigment derivative, a dispersing agent, a dispersing aid, a pigment dispersing agent, or simply a compound, etc., it is synonymous with a pigment derivative (G).

색소 유도체(G)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Dye derivative (G) can be used individually or in combination of 2 or more types.

[열경화성 화합물(H)][Thermosetting compound (H)]

본 발명의 감광성 조성물은, 열경화성 화합물(H)을 함유할 수 있다. 이에 따라, 가열 공정에서 열경화성 화합물(H)이 반응하여, 가교 밀도가 높아지기 때문에 내열성이 향상된다.The photosensitive composition of the present invention may contain a thermosetting compound (H). As a result, the thermosetting compound (H) reacts in the heating step to increase the crosslinking density, thereby improving heat resistance.

열경화성 화합물(H)은, 저분자 화합물이나, 수지와 같은 고분자량 화합물이어도 된다. 열경화성 화합물(H)은, 예를 들면, 에폭시 화합물, 옥세탄 화합물, 벤조구아나민 화합물, 로진 변성 말레산 화합물, 로진 변성 푸말산 화합물, 멜라민 화합물, 요소 화합물, 및 페놀 화합물을 들 수 있다. 이들 중에서도 에폭시 화합물 및 옥세탄 화합물이 바람직하다.The thermosetting compound (H) may be a low molecular weight compound or a high molecular weight compound such as a resin. Examples of the thermosetting compound (H) include epoxy compounds, oxetane compounds, benzoguanamine compounds, rosin-modified maleic acid compounds, rosin-modified fumaric acid compounds, melamine compounds, urea compounds, and phenol compounds. Among these, an epoxy compound and an oxetane compound are preferable.

시판품은, 예를 들면, Mitsui Chemicals, Inc. 제조의 TECHMORE VG3101L, Nippon Kayaku Co., Ltd. 제조의 EPPN-201, 501H, 502H, EOCN-102S, 103S, 104S, 1020, Mitsubishi Chemical Corporation 제조의 Epikote 807, 815, 825, 827, 828, 190P, 191P, 1004, 1256, JER1032H60, 157S65, 157S70, 152, 154, Daicel Corporation 제조의 CELLOXIDE 2021, EHPE-3150, Tetra-Chem사 제조의 TTA3150, Nagase Chemtex Corporation 제조의 DENACOL EX-211, 212, 252, 313, 314, 321, 411, 421, 512, 521, 611, 612, 614, 614B, 622, 711, 721, Nissan Chemical Industries, Ltd 제조의 TEPIC-L, H, S 등을 들 수 있다.Commercially available products are, for example, Mitsui Chemicals, Inc. Manufactured by TECHMORE VG3101L, Nippon Kayaku Co., Ltd. EPPN-201, 501H, 502H, EOCN-102S, 103S, 104S, 1020 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation Epikote 807, 815, 825, 827, 828, 190P, 191P, 1004, 1256, JER1032H60, 157S65, 0, 157S65 152, 154, CELLOXIDE 2021 manufactured by Daicel Corporation, EHPE-3150, TTA3150 manufactured by Tetra-Chem, DENACOL EX-211, 212, 252, 313, 314, 321, 411, 421, 512, 521 manufactured by Nagase Chemtex Corporation , 611, 612, 614, 614B, 622, 711, 721, TEPIC-L, H, S manufactured by Nissan Chemical Industries, Ltd., and the like.

내약품성의 관점에서, 지환식 구조를 갖는 에폭시 화합물이 바람직하고, 그 중에서도 EHPE-3150이 특히 바람직하다. 지환식 구조를 가짐으로써, 약품의 침투를 억제할 수 있다.From the viewpoint of chemical resistance, epoxy compounds having an alicyclic structure are preferred, and among these, EHPE-3150 is particularly preferred. By having an alicyclic structure, penetration of chemicals can be suppressed.

또한, 에폭시 화합물과 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 배합함으로써, 메카니즘은 불분명하지만 내약품성이 더 향상된다.Furthermore, by blending the epoxy compound with the polymerizable compound (B1) having a (meth)acryloyl group and an amine structure, the chemical resistance is further improved although the mechanism is unknown.

에폭시 화합물(H1)의 함유량은, 내용제성의 관점에서, 감광성 착색 조성물의 불휘발분 100질량부에 대하여, 0.5 ∼ 30질량부가 바람직하고, 1.0 ∼ 20질량부가 보다 바람직하다.The content of the epoxy compound (H1) is preferably 0.5 to 30 parts by mass, and more preferably 1.0 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the non-volatile matter of the photosensitive coloring composition from the viewpoint of solvent resistance.

에폭시 화합물(H1)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.5 ∼ 50질량%가 바람직하고, 1 ∼ 40질량%가 보다 바람직하다.The content of the epoxy compound (H1) is preferably from 0.5 to 50% by mass, and more preferably from 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

옥세탄 화합물(H2)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.5 ∼ 50질량%가 바람직하고, 1 ∼ 40질량%가 보다 바람직하다.The content of the oxetane compound (H2) is preferably from 0.5 to 50% by mass, and more preferably from 1 to 40% by mass, based on 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

열경화성 화합물(H)은, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.A thermosetting compound (H) can be used individually or in combination of 2 or more types.

[경화제(경화 촉진제)][Curing Agent (Curing Accelerator)]

본 발명의 감광성 조성물은, 열경화성 화합물(H)의 경화를 보조하기 위해, 경화제(경화 촉진제)를 병용할 수 있다. 경화제는, 예를 들면, 아민계 화합물, 산무수물, 활성 에스테르, 카르복시산계 화합물, 설폰산계 화합물 등을 들 수 있다.In the photosensitive composition of the present invention, a curing agent (curing accelerator) may be used in combination to assist curing of the thermosetting compound (H). Examples of the curing agent include amine compounds, acid anhydrides, active esters, carboxylic acid compounds, and sulfonic acid compounds.

경화제는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.A hardening|curing agent can be used individually or in combination of 2 or more types.

경화제의 함유량은, 열경화성 화합물(H) 100질량부에 대하여, 0.01 ∼ 15질량부가 바람직하다.The content of the curing agent is preferably 0.01 to 15 parts by mass based on 100 parts by mass of the thermosetting compound (H).

[티올계 연쇄 이동제(I)][Thiol chain transfer agent (I)]

본 발명의 감광성 조성물은, 티올계 연쇄 이동제(I)를 함유할 수 있다. 티올계 연쇄 이동제(I)는, 광중합개시제(C)와 병용하면 광조사 후의 라디칼 중합 시, 산소에 의한 중합 저해를 받기 어려운 티일 라디칼(thiyl radical)이 발생하며, 감광성 조성물의 광감도가 향상된다.The photosensitive composition of the present invention may contain a thiol chain transfer agent (I). When the thiol-based chain transfer agent (I) is used in combination with the photopolymerization initiator (C), during radical polymerization after light irradiation, thiyl radicals that are less susceptible to polymerization inhibition by oxygen are generated, and the photosensitivity of the photosensitive composition is improved.

티올계 연쇄 이동제(I)는, 티올기(SH기)를 2 이상 갖는 다관능 티올이 바람직하고, 4 이상 갖는 다관능 티올이 보다 바람직하다. 관능기 수가 증가하면 막의 표면부터 최심부까지 광경화되기 쉬워진다.The thiol chain transfer agent (I) is preferably a polyfunctional thiol having two or more thiol groups (SH groups), and more preferably a polyfunctional thiol having four or more thiol groups. When the number of functional groups increases, photocuring becomes easier from the surface to the deepest part of the film.

다관능 티올은, 예를 들면, 헥산디티올, 데칸디티올, 1,4-부탄디올비스티오프로피오네이트, 1,4-부탄디올비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오글리콜레이트, 에틸렌글리콜비스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오글리콜레이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스(3-메르캅토부틸레이트), 펜타에리트리톨테트라키스티오글리콜레이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트, 트리메르캅토프로피온산트리스(2-히드록시에틸)이소시아누레이트, 1,4-디메틸메르캅토벤젠, 2,4,6-트리메르캅토-s-트리아진, 2-(N,N-디부틸아미노)-4,6-디메르캅토-s-트리아진 등을 들 수 있고, 바람직하게는, 에틸렌글리콜비스티오프로피오네이트, 트리메틸올프로판트리스티오프로피오네이트, 펜타에리트리톨테트라키스티오프로피오네이트 등을 들 수 있다.Examples of the polyfunctional thiol include hexanedithiol, decanedithiol, 1,4-butanediol bisthiopropionate, 1,4-butanediol bisthioglycolate, ethylene glycol bisthioglycolate, and ethylene glycol bisthiopropionate. Cionate, trimethylolpropanetrithioglycolate, trimethylolpropanetrithiopropionate, trimethylolpropanetris(3-mercaptobutyrate), pentaerythritol tetrakithioglycolate, pentaerythritol tetrakithiopropio nate, trimercaptopropionic acid tris(2-hydroxyethyl)isocyanurate, 1,4-dimethylmercaptobenzene, 2,4,6-trimercapto-s-triazine, 2-(N,N- dibutylamino)-4,6-dimercapto-s-triazine and the like, preferably ethylene glycol bisthiopropionate, trimethylolpropane trithiopropionate, and pentaerythritol tetrakisthio Propionate etc. are mentioned.

티올계 연쇄 이동제(I)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Thiol-type chain transfer agent (I) can be used individually or in combination of 2 or more types.

티올계 연쇄 이동제(I)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량부에 대하여, 1 ∼ 10질량부가 바람직하고, 2 ∼ 8질량부가 보다 바람직하다. 적량 함유하면 광감도가 향상되어, 경화막의 표면에 주름이 발생하기 어려워진다.The content of the thiol chain transfer agent (I) is preferably 1 to 10 parts by mass, more preferably 2 to 8 parts by mass, based on 100 parts by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition. When an appropriate amount is contained, the photosensitivity is improved and wrinkles are less likely to occur on the surface of the cured film.

[중합 금지제(J)][Polymerization inhibitor (J)]

본 발명의 감광성 조성물은, 중합 금지제(J)를 함유할 수 있다.The photosensitive composition of this invention can contain a polymerization inhibitor (J).

중합 금지제(J)는, 예를 들면, 카테콜, 레조르시놀, 1,4-히드로퀴논, 2-메틸카테콜, 3-메틸카테콜, 4-메틸카테콜, 2-에틸카테콜, 3-에틸카테콜, 4-에틸카테콜, 2-프로필카테콜, 3-프로필카테콜, 4-프로필카테콜, 2-n-부틸카테콜, 3-n-부틸카테콜, 4-n-부틸카테콜, 2-t-부틸카테콜, 3-t-부틸카테콜, 4-t-부틸카테콜, 3,5-디-t-부틸카테콜 등의 알킬카테콜계 화합물, 2-메틸레조르시놀, 4-메틸레조르시놀, 2-에틸레조르시놀, 4-에틸레조르시놀, 2-프로필레조르시놀, 4-프로필레조르시놀, 2-n-부틸레조르시놀, 4-n-부틸레조르시놀, 2-t-부틸레조르시놀, 4-t-부틸레조르시놀 등의 알킬레조르시놀계 화합물, 메틸히드로퀴논, 에틸히드로퀴논, 프로필히드로퀴논, t-부틸히드로퀴논, 2,5-디-t-부틸히드로퀴논 등의 알킬히드로퀴논계 화합물, 트리부틸포스핀, 트리옥틸포스핀, 트리시클로헥실포스핀, 트리페닐포스핀, 트리벤질포스핀 등의 포스핀 화합물, 트리옥틸포스핀옥사이드, 트리페닐포스핀옥사이드 등의 포스핀옥사이드 화합물, 트리페닐포스파이트, 트리스노닐페닐포스파이트 등의 포스파이트 화합물, 피로갈롤, 플로로글루신 등을 들 수 있다.The polymerization inhibitor (J) is, for example, catechol, resorcinol, 1,4-hydroquinone, 2-methylcatechol, 3-methylcatechol, 4-methylcatechol, 2-ethylcatechol, 3 -Ethylcatechol, 4-ethylcatechol, 2-propylcatechol, 3-propylcatechol, 4-propylcatechol, 2-n-butylcatechol, 3-n-butylcatechol, 4-n-butyl Alkyl catechol compounds such as catechol, 2-t-butylcatechol, 3-t-butylcatechol, 4-t-butylcatechol, and 3,5-di-t-butylcatechol; 4-methylresorcinol, 2-ethylresorcinol, 4-ethylresorcinol, 2-propylresorcinol, 4-propylresorcinol, 2-n-butylresorcinol, 4-n- Alkylresorcinol compounds such as butylresorcinol, 2-t-butylresorcinol, and 4-t-butylresorcinol, methylhydroquinone, ethylhydroquinone, propylhydroquinone, t-butylhydroquinone, 2,5-di- Alkylhydroquinone compounds such as t-butylhydroquinone, phosphine compounds such as tributylphosphine, trioctylphosphine, tricyclohexylphosphine, triphenylphosphine and tribenzylphosphine, trioctylphosphine oxide, triphenyl and phosphine oxide compounds such as phosphine oxide, phosphite compounds such as triphenyl phosphite and trisnonylphenyl phosphite, pyrogallol, and phloroglucine.

중합 금지제(J)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.01 ∼ 0.4질량%가 바람직하다.As for content of a polymerization inhibitor (J), 0.01-0.4 mass % is preferable in 100 mass % of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

[자외선 흡수제(K)][Ultraviolet rays absorbent (K)]

본 발명의 감광성 조성물은, 자외선 흡수제(K)를 함유할 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may contain a UV absorber (K).

자외선 흡수제(K)는, 자외선 흡수 기능을 갖는 유기 화합물이며, 벤조트리아졸계 유기 화합물, 트리아진계 유기 화합물, 벤조페논계 유기 화합물, 살리실산에스테르계 유기 화합물, 시아노아크릴레이트계 유기 화합물, 및 살리실레이트계 유기 화합물 등을 들 수 있다.The ultraviolet absorber (K) is an organic compound having an ultraviolet ray absorbing function, and includes benzotriazole-based organic compounds, triazine-based organic compounds, benzophenone-based organic compounds, salicylic acid ester-based organic compounds, cyanoacrylate-based organic compounds, and salicyl A rate organic compound etc. are mentioned.

자외선 흡수제(K)의 함유량은, 광중합개시제(C)와 자외선 흡수제(K)와의 합계 100질량% 중, 5 ∼ 70질량%가 바람직하다.The content of the ultraviolet absorber (K) is preferably 5 to 70% by mass based on 100% by mass of the total of the photopolymerization initiator (C) and the ultraviolet absorber (K).

[산화 방지제(L)][Antioxidant (L)]

본 발명의 감광성 조성물은, 산화 방지제(L)를 함유할 수 있다. 산화 방지제(L)는, 감광성 착색 조성물 중의 광중합개시제(C)나 열경화성 화합물(H)이, 열경화나 ITO 어닐 시의 열공정에 의해 산화되는 황변을 방지한다.The photosensitive composition of the present invention may contain an antioxidant (L). The antioxidant (L) prevents the photopolymerization initiator (C) and the thermosetting compound (H) in the photosensitive coloring composition from being oxidized by a thermal process during thermal curing or ITO annealing to prevent yellowing.

산화 방지제(L)는, 예를 들면, 힌더드페놀계, 힌더드아민계, 인계, 황계 및 히드록실아민계의 화합물 등을 들 수 있다. 이들 중에서도, 힌더드페놀계 산화 방지제, 힌더드아민계 산화 방지제, 인계 산화 방지제, 황계 산화 방지제가 바람직하다.Examples of the antioxidant (L) include hindered phenol-based, hindered amine-based, phosphorus-based, sulfur-based, and hydroxylamine-based compounds. Among these, hindered phenol-based antioxidants, hindered amine-based antioxidants, phosphorus-based antioxidants, and sulfur-based antioxidants are preferable.

산화 방지제(L)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Antioxidant (L) can be used individually or in combination of 2 or more types.

산화 방지제(L)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.5 ∼ 5.0질량%가 바람직하다. 적량 함유하면 투과율, 분광 특성, 및 감도가 향상된다.As for content of antioxidant (L), 0.5-5.0 mass % is preferable in 100 mass % of the non-volatile matter of the photosensitive composition. When contained in an appropriate amount, transmittance, spectral characteristics, and sensitivity are improved.

[레벨링제(M)][Leveling agent (M)]

본 발명의 감광성 조성물은, 레벨링제(M)를 함유할 수 있다. 이에 따라, 도공 시의 기판에 대한 젖음성 및 건조성이 보다 향상된다. 레벨링제(M)는, 예를 들면, 실리콘계 계면활성제, 불소계 계면활성제, 비이온성 계면활성제, 양이온성 계면활성제, 음이온성 계면활성제, 양성 계면활성제 등을 들 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may contain a leveling agent (M). Thereby, the wettability and dryness with respect to the board|substrate at the time of coating are further improved. Examples of the leveling agent (M) include silicone surfactants, fluorine surfactants, nonionic surfactants, cationic surfactants, anionic surfactants, and amphoteric surfactants.

실리콘계 계면활성제는, 예를 들면, 실록산 결합으로 이루어지는 직쇄상 폴리머나, 측쇄나 말단에 유기기를 도입한 변성 실록산 폴리머를 들 수 있다.Examples of the silicone surfactant include straight-chain polymers formed of siloxane bonds and modified siloxane polymers having organic groups introduced into side chains and terminals.

시판품은, 예를 들면, BYK사 제조의 BYK-300, 306, 310, 313, 315N, 320, 322, 323, 330, 331, 333, 342, 345, 346, 347, 348, 349, 370, 377, 378, 3455, UV3510, 3570, Dow Corning Toray Co., Ltd. 제조의 FZ-7002, 2110, 2122, 2123, 2191, 5609, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. 제조의 X-22-4952, X-22-4272, X-226266, KF-351A, KF-354L, KF-355A, KF-945, KF-640, KF-642, KF-643, X-22-4515, KF-6004, KP-341 등을 들 수 있다.Commercially available products are, for example, BYK-300, 306, 310, 313, 315N, 320, 322, 323, 330, 331, 333, 342, 345, 346, 347, 348, 349, 370, 377 manufactured by BYK. , 378, 3455, UV3510, 3570, Dow Corning Toray Co., Ltd. Manufactured by FZ-7002, 2110, 2122, 2123, 2191, 5609, Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Manufactured by X-22-4952, X-22-4272, X-226266, KF-351A, KF-354L, KF-355A, KF-945, KF-640, KF-642, KF-643, X-22- 4515, KF-6004, KP-341, etc. are mentioned.

불소계 계면활성제는, 예를 들면, 플루오로카본쇄를 갖는 계면활성제 또는 레벨링제를 들 수 있다.Examples of the fluorine-based surfactant include a surfactant or leveling agent having a fluorocarbon chain.

시판품은, 예를 들면, AGC SEIMI CHEMICAL CO., LTD. 제조의 SURFLON S-242, 243, 420, 611, 651, 386, DIC Corporation 제조의 메가팍 F-253, 477, 551, 552, 555, 558, 560, 570, 575, 576, R-40-LM, R-41, RS-72-K, DS-21, Sumitomo 3M Limited 제조의 FC-4430, 4432, Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd. 제조의 EF-PP31N09, EF-PP33G1, EF-PP32C1, NEOS COMPANY LIMITED 제조 FTERGENT의 602A 등을 들 수 있다.Commercially available products are, for example, AGC SEIMI CHEMICAL CO., LTD. SURFLON S-242, 243, 420, 611, 651, 386 manufactured by DIC Corporation, Megafac F-253, 477, 551, 552, 555, 558, 560, 570, 575, 576, R-40-LM manufactured by DIC Corporation , R-41, RS-72-K, DS-21, FC-4430, 4432 manufactured by Sumitomo 3M Limited, Mitsubishi Materials Electronic Chemicals Co., Ltd. EF-PP31N09 manufactured by, EF-PP33G1, EF-PP32C1, 602A manufactured by FTERGENT manufactured by NEOS COMPANY LIMITED, etc. are mentioned.

비이온성 계면활성제는, 예를 들면, 폴리옥시에틸렌라우릴에테르, 폴리옥시에틸렌세틸에테르, 폴리옥시에틸렌스테아릴에테르, 폴리옥시에틸렌올레일에테르, 폴리옥시에틸렌알킬에테르, 폴리옥시에틸렌미리스테르에테르, 폴리옥시에틸렌옥틸도데실에테르, 폴리옥시알킬렌알킬에테르, 폴리옥시페닐렌디스티렌화페닐에테르, 폴리옥시에틸렌트리벤질페닐에테르, 폴리옥시에틸렌폴리옥시프로필렌글리콜, 폴리옥시알킬렌알케닐에테르, 폴리옥시에틸렌노닐페닐에테르, 폴리옥시에틸렌알킬에테르인산에스테르, 소르비탄모노라우레이트, 소르비탄모노팔미테이트, 소르비탄모노스테아레이트, 소르비탄디스테아레이트, 소르비탄트리스테아레이트, 소르비탄모노올레이트, 소르비탄트리올레이트, 소르비탄세스퀴올레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노라우레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노팔미테이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄트리스테아레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄모노올레이트, 폴리옥시에틸렌소르비탄트리이소스테아레이트, 테트라올레산폴리옥시에틸렌소르비트, 글리세롤모노스테아레이트, 글리세롤모노올레이트, 폴리에틸렌글리콜모노라우레이트, 폴리에틸렌글리콜모노스테아레이트, 폴리에틸렌글리콜디스테아레이트, 폴리에틸렌글리콜모노올레이트, 폴리옥시에틸렌 경화 피마자유, 폴리옥시에틸렌알킬아민, 알킬알칸올아미드, 알킬이미다졸린 등을 들 수 있다.Nonionic surfactants include, for example, polyoxyethylene lauryl ether, polyoxyethylene cetyl ether, polyoxyethylene stearyl ether, polyoxyethylene oleyl ether, polyoxyethylene alkyl ether, polyoxyethylene myrister ether , polyoxyethylene octyldodecyl ether, polyoxyalkylene alkyl ether, polyoxyphenylene distyrenated phenyl ether, polyoxyethylene tribenzylphenyl ether, polyoxyethylene polyoxypropylene glycol, polyoxyalkylene alkenyl ether, polyoxy Ethylene nonylphenyl ether, polyoxyethylene alkyl ether phosphoric acid ester, sorbitan monolaurate, sorbitan monopalmitate, sorbitan monostearate, sorbitan distearate, sorbitan tristearate, sorbitan monooleate, sorbitan Bitane Trioleate, Sorbitan Sesquioleate, Polyoxyethylene Sorbitan Monolaurate, Polyoxyethylene Sorbitan Monopalmitate, Polyoxyethylene Sorbitan Monostearate, Polyoxyethylene Sorbitan Tristearate, Polyoxyethylene Sorbitan monooleate, polyoxyethylene sorbitan triisostearate, polyoxyethylene sorbitol tetraoleate, glycerol monostearate, glycerol monooleate, polyethylene glycol monolaurate, polyethylene glycol monostearate, polyethylene glycol distea rate, polyethylene glycol monooleate, polyoxyethylene hydrogenated castor oil, polyoxyethylene alkylamine, alkyl alkanolamide, alkyl imidazoline and the like.

시판품은, 예를 들면, Kao Corporation 제조의 EMULGEN 103, 104P, 106, 108, 109P, 120, 123P, 130K, 147, 150, 210P, 220, 306P, 320P, 350, 404, 408, 409PV, 420, 430, 705, 707, 709, 1108, 1118S-70, 1135S-70, 1150S-60, 2020G-HA, 2025G, LS-106, LS-110, LS-114, MS-110, A-60, A-90, B-66, PP-290, LATEMUL PD-420, PD-430, PD-430S, PD-450, RHEODOL SP-L10, SP-P10, SP-S10V, SP-S20, SP-S30V, SP-O10V, SP-O30V, 슈퍼 SP-L10, AS-10V, AO-10V, AO-15V, TW-L120, TW-L106, TWP120, TW-S120V, TW-S320V, TW-O120V, TW-O106V, TW-IS399C, 슈퍼 TW-L120, 430V, 440V, 460V, MS-50, MS-60, MO-60, MS-165V, EMANON 1112, 3199V, 3299V, 3299RV, 4110, CH-25, CH-40, CH-60(K), ameet 102, 105, 105A, 302, 320, Aminon PK-02S, L-02, Homogenol L-95, ADEKA CORPORATION 제조의 ADEKA Pluronic(등록상표) L-23, 31, 44, 61, 62, 64, 71, 72, 101, 121, TR-701, 702, 704, 913R, kyoeisha chemical co., ltd. 제조의 (메타)아크릴산계 (공)중합체 폴리플로우 No.75, No.90, No.95 등을 들 수 있다.Commercial products include, for example, EMULGEN 103, 104P, 106, 108, 109P, 120, 123P, 130K, 147, 150, 210P, 220, 306P, 320P, 350, 404, 408, 409PV, 420, 430, 705, 707, 709, 1108, 1118S-70, 1135S-70, 1150S-60, 2020G-HA, 2025G, LS-106, LS-110, LS-114, MS-110, A-60, A- 90, B-66, PP-290, LATEMUL PD-420, PD-430, PD-430S, PD-450, RHEODOL SP-L10, SP-P10, SP-S10V, SP-S20, SP-S30V, SP- O10V, SP-O30V, Super SP-L10, AS-10V, AO-10V, AO-15V, TW-L120, TW-L106, TWP120, TW-S120V, TW-S320V, TW-O120V, TW-O106V, TW -IS399C, Super TW-L120, 430V, 440V, 460V, MS-50, MS-60, MO-60, MS-165V, EMANON 1112, 3199V, 3299V, 3299RV, 4110, CH-25, CH-40, CH -60(K), ameet 102, 105, 105A, 302, 320, Amino PK-02S, L-02, Homogenol L-95, ADEKA Pluronic® L-23, 31, 44, 61 manufactured by ADEKA CORPORATION , 62, 64, 71, 72, 101, 121, TR-701, 702, 704, 913R, kyoeisha chemical co., ltd. manufactured (meth)acrylic acid-based (co)polymer Polyflow No.75, No.90, No.95, and the like.

양이온성 계면활성제는, 예를 들면 알킬아민염이나 라우릴트리메틸암모늄 클로라이드, 스테아릴트리메틸암모늄 클로라이드, 세틸트리메틸암모늄 클로라이드 등의 알킬 4급 암모늄염이나 그들의 에틸렌옥사이드 부가물을 들 수 있다.Cationic surfactants include, for example, alkylamine salts, alkyl quaternary ammonium salts such as lauryltrimethylammonium chloride, stearyltrimethylammonium chloride, and cetyltrimethylammonium chloride, and ethylene oxide adducts thereof.

시판품은, 예를 들면, Kao Corporation 제조의 아세타민 24, 코타민 24P, 60W, 86P 콘크(CONC) 등을 들 수 있다.As for a commercial item, Acetamine 24 by Kao Corporation, Kotamine 24P, 60W, 86P CONC, etc. are mentioned, for example.

음이온성 계면활성제는, 예를 들면, 폴리옥시에틸렌알킬에테르황산염, 도데실벤젠설폰산나트륨, 스티렌-아크릴산 공중합체의 알칼리염, 알킬나프탈렌설폰산나트륨, 알킬디페닐에테르디설폰산나트륨, 라우릴황산모노에탄올아민, 라우릴황산트리에탄올아민, 라우릴황산암모늄, 스테아르산모노에탄올아민, 스테아르산나트륨, 라우릴황산나트륨, 스티렌-아크릴산 공중합체의 모노에탄올아민, 폴리옥시에틸렌알킬에테르인산에스테르 등을 들 수 있다.Anionic surfactants include, for example, polyoxyethylene alkyl ether sulfate, sodium dodecylbenzenesulfonate, alkali salts of styrene-acrylic acid copolymers, sodium alkylnaphthalenesulfonate, sodium alkyldiphenyletherdisulfonate, lauryl sulfate monoethanolamine, triethanolamine lauryl sulfate, ammonium lauryl sulfate, monoethanolamine stearate, sodium stearate, sodium lauryl sulfate, monoethanolamine of a styrene-acrylic acid copolymer, polyoxyethylene alkyl ether phosphate ester, and the like. there is.

시판품은, 예를 들면, NEOS COMPANY LIMITED 제조의 FTERGENT 100, 150, ADEKA CORPORATION 제조의 아데카 호프 YES-25, 아데카 콜 TS-230E, PS-440E, EC-8600 등을 들 수 있다.Examples of commercially available products include FTERGENT 100 and 150 manufactured by NEOS COMPANY LIMITED, Adeka Hop YES-25 manufactured by ADEKA CORPORATION, Adeka Cole TS-230E, PS-440E, and EC-8600.

양성 계면활성제는, 예를 들면, 라우린산아미드프로필베타인, 라우릴베타인, 코카미도프로필베타인, 스테아릴베타인, 알킬디메틸아미노아세트산베타인 등의 알킬베타인, 라우릴디메틸아민옥사이드 등의 알킬아민옥사이드 등을 들 수 있다.Amphoteric surfactants include, for example, alkyl betaines such as lauric acid amide propyl betaine, lauryl betaine, cocamidopropyl betaine, stearyl betaine, and alkyldimethylaminoacetic acid betaine, and lauryldimethylamine oxide. Alkylamine oxides, such as these, etc. are mentioned.

시판품은, Kao Corporation 제조의 AMPHITOL 20AB, 20BS, 24B, 55AB, 86B, 20Y-B, 20N 등을 들 수 있다.Examples of commercially available products include AMPHITOL 20AB, 20BS, 24B, 55AB, 86B, 20Y-B, and 20N manufactured by Kao Corporation.

레벨링제(M)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.A leveling agent (M) can be used individually or in combination of 2 or more types.

레벨링제(M)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.001 ∼ 2.0질량%가 바람직하고, 0.005 ∼ 1.0질량%가 보다 바람직하다. 적량 함유하면 감광성 조성물의 도공성과 밀착성의 밸런스가 보다 향상된다.The content of the leveling agent (M) is preferably 0.001 to 2.0% by mass, and more preferably 0.005 to 1.0% by mass in 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition. When an appropriate amount is contained, the coatability of the photosensitive composition and the adhesive balance are further improved.

[저장 안정제(N)][Storage Stabilizer (N)]

본 발명의 감광성 조성물은, 저장 안정제(N)를 함유할 수 있다. 이에 따라, 감광성 조성물의 경시(經時) 점도가 안정화된다. 저장 안정제(N)는, 예를 들면, 벤질트리메틸 클로라이드, 디에틸히드록시아민 등의 4급 암모늄 클로라이드, 젖산, 옥살산 등의 유기산 및 그 메틸에테르, t-부틸피로카테콜, 테트라에틸포스핀, 테트라페닐 등의 유기 포스핀, 아인산염 등을 들 수 있다.The photosensitive composition of the present invention may contain a storage stabilizer (N). This stabilizes the viscosity of the photosensitive composition over time. The storage stabilizer (N) is, for example, quaternary ammonium chlorides such as benzyltrimethyl chloride and diethylhydroxyamine, organic acids such as lactic acid and oxalic acid and their methyl ethers, t-butylpyrocatechol, tetraethylphosphine, Organic phosphines, such as tetraphenyl, phosphite, etc. are mentioned.

저장 안정제(N)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.05 ∼ 5질량%가 바람직하다.As for content of a storage stabilizer (N), 0.05-5 mass % is preferable in 100 mass % of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

[밀착 향상제(O)][adhesion improver (O)]

본 발명의 감광성 조성물은, 밀착 향상제(O)를 함유할 수 있다. 이에 따라, 경화막과 기재의 밀착성이 향상된다. 또한, 포토리소그래피법으로 폭이 좁은 패턴을 형성하기 쉬워진다.The photosensitive composition of the present invention may contain an adhesion improver (O). Thereby, the adhesiveness of a cured film and a base material improves. Moreover, it becomes easy to form a pattern with a narrow width by the photolithography method.

밀착 향상제(O)는, 예를 들면, 실란커플링제 등을 들 수 있다. 실란커플링제는, 예를 들면, 비닐트리메톡시실란, 비닐트리에톡시실란 등의 비닐실란류, 3-메타크릴옥시프로필메틸디메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리메톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필메틸디에톡시실란, 3-메타크릴옥시프로필트리에톡시실란, 3-아크릴옥시프로필트리메톡시실란 등의 (메타)아크릴실란류, 2-(3,4-에폭시시클로헥실)에틸트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디메톡시실란, 3-글리시독시프로필트리메톡시실란, 3-글리시독시프로필메틸디에톡시실란, 3-글리시독시프로필트리에톡시실란 등의 에폭시실란류, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필메틸디메톡시실란, N-2-(아미노에틸)-3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리메톡시실란, 3-아미노프로필트리에톡시실란, 3-트리에톡시실릴-N-(1,3-디메틸-부틸리덴)프로필아민, N-페닐-3-아미노프로필트리메톡시실란, N-(비닐벤질)-2-아미노에틸-3-아미노프로필트리메톡시실란의 염산염 등의 아미노실란류, 3-메르캅토프로필메틸디메톡시실란, 3-메르캅토프로필트리메톡시실란 등의 메르캅토류, p-스티릴트리메톡시실란 등의 스티릴류, 3-우레이드프로필트리에톡시실란 등의 우레이드류, 비스(트리에톡시실릴프로필)테트라설파이드 등의 설파이드류, 3-이소시아네이트프로필트리에톡시실란 등의 이소시아네이트류 등의 실란커플링제를 들 수 있다.As for the adhesion improving agent (0), a silane coupling agent etc. are mentioned, for example. Examples of the silane coupling agent include vinylsilanes such as vinyltrimethoxysilane and vinyltriethoxysilane, 3-methacryloxypropylmethyldimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, and 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane. (meth)acrylic silanes such as methacryloxypropylmethyldiethoxysilane, 3-methacryloxypropyltriethoxysilane, and 3-acryloxypropyltrimethoxysilane; 2-(3,4-epoxycyclohexyl)ethyl trimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane, 3-glycidoxypropyltriethoxysilane, etc. Epoxysilanes, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3 -Aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N-(1,3-dimethyl-butylidene)propylamine, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-(vinylbenzyl) -Aminosilanes such as hydrochloride of 2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, mercaptos such as 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane and 3-mercaptopropyltrimethoxysilane, p-sti Styryls such as yltrimethoxysilane, ureides such as 3-ureidpropyltriethoxysilane, sulfides such as bis(triethoxysilylpropyl)tetrasulfide, 3-isocyanatepropyltriethoxysilane, etc. Silane coupling agents, such as isocyanates, are mentioned.

밀착 향상제(O)는, 단독 또는 2종류 이상을 병용해서 사용할 수 있다.Adhesion improver (O) can be used individually or in combination of 2 or more types.

밀착 향상제(O)의 함유량은, 감광성 조성물의 불휘발분 100질량% 중, 0.05 ∼ 5질량%가 바람직하다.The content of the adhesion improver (O) is preferably from 0.05 to 5% by mass in 100% by mass of the non-volatile matter of the photosensitive composition.

[감광성 조성물의 제조 방법][Method for producing photosensitive composition]

본 발명의 감광성 조성물은, 착색제(E)를 사용할 경우, 예를 들면, 수지(A), 유기 용제(D) 및 착색제(E) 등을 더하여 분산 처리를 행함으로써, 분산체를 제조한다. 그 후, 상기 분산체에, 수지(A), 중합성 화합물(B) 및 광중합개시제(C) 등을 배합하여 혼합함으로써 제조할 수 있다. 또, 각 재료를 배합하는 타이밍은, 임의이다. 또한, 분산 공정을 복수 회 행할 수도 있다.In the photosensitive composition of the present invention, when using a colorant (E), for example, a dispersion is prepared by adding a resin (A), an organic solvent (D) and a colorant (E) and performing a dispersion treatment. After that, the dispersion can be prepared by blending and mixing the resin (A), the polymerizable compound (B), the photopolymerization initiator (C), and the like. In addition, the timing of blending each material is arbitrary. Further, the dispersing step may be performed a plurality of times.

분산 처리를 행하는 분산기는, 예를 들면, 2개 롤 밀, 3개 롤 밀, 볼 밀, 횡형 샌드 밀, 종형 샌드 밀, 애뉼러형(annular type) 비드 밀, 또는 어트리터 등을 들 수 있다.Examples of the disperser that performs the dispersion treatment include a two-roll mill, a three-roll mill, a ball mill, a horizontal sand mill, a vertical sand mill, an annular type bead mill, or an attritor.

분산체 중의 착색제(E)의 평균 분산 입자경(2차 입자경)은, 30 ∼ 200㎚가 바람직하고, 40 ∼ 200㎚가 보다 바람직하다. 적당한 입자경을 가지면 분산 안정성이 높은 감광성 조성물을 얻기 쉽다.The average dispersed particle diameter (secondary particle diameter) of the colorant (E) in the dispersion is preferably 30 to 200 nm, and more preferably 40 to 200 nm. When it has an appropriate particle diameter, it is easy to obtain a photosensitive composition with high dispersion stability.

평균 분산 입자경(2차 입자경)의 측정 방법은, 예를 들면, 동적 광산란법(FFT 파워 스펙트럼법)을 채용한 Nikkiso Co., Ltd.의 마이크로 트랙 UPA-EX150을 이용하여, 입자 투과성을 흡수 모드, 입자 형상을 비구형(非球形)으로 하고, D50 입자경을 평균경으로 한다. 측정용의 희석 용제는 분산에 사용한 유기 용제를 각각 이용하여, 초음파로 처리한 샘플에 대해서 샘플 조정 직후에 측정하면 불균일이 적은 결과가 얻어지기 쉬워 바람직하다.The method for measuring the average dispersed particle size (secondary particle size) is, for example, Nikkiso Co., Ltd.'s Microtrac UPA-EX150 employing a dynamic light scattering method (FFT power spectrum method), and the particle permeability is measured in an absorption mode. , the particle shape is non-spherical, and the D50 particle diameter is the average diameter. The diluting solvent for measurement is preferable because it is easy to obtain a result with little non-uniformity when the organic solvent used for dispersion is respectively used and the sample treated with ultrasonic waves is measured immediately after sample preparation.

감광성 조성물은, 원심 분리, 소결 필터나 멤브레인 필터에 의한 여과 등의 수단으로, 5㎛ 이상의 조대(粗大) 입자, 바람직하게는 1㎛ 이상의 조대 입자, 더 바람직하게는 0.5㎛ 이상의 조대 입자, 및 혼입된 티끌의 제거를 행하는 것이 바람직하다. 본 발명의 감광성 조성물은, 실질적으로 0.5㎛ 이상의 입자를 포함하지 않는 것이 바람직하고, 0.3㎛ 이하의 입자를 포함하지 않는 것이 보다 바람직하다.The photosensitive composition is obtained by means such as centrifugal separation, filtration with a sinter filter or membrane filter, and coarse particles of 5 µm or more, preferably 1 µm or more, more preferably 0.5 µm or more, and mixing. It is desirable to perform the removal of the dust. The photosensitive composition of the present invention preferably does not substantially contain particles of 0.5 μm or more, and more preferably does not contain particles of 0.3 μm or less.

<경화막><cured film>

본 발명의 경화막은, 감광성 조성물의 경화물이다. 본 발명의 경화막은, 광학 필터에 이용할 수 있다.The cured film of the present invention is a cured product of a photosensitive composition. The cured film of the present invention can be used for an optical filter.

[경화막의 제조 방법][Method for producing cured film]

경화막의 제조 방법은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면, 기판 상에 감광성 조성물을 도포하여 조성물의 층을 형성하는 공정 (1), 상기 층에, 마스크를 개재하여 패턴상으로 노광하는 공정 (2), 미노광 부분을 알칼리 현상하여 패턴상의 경화막을 형성하는 공정 (3), 상기 패턴을 가열 처리(포스트베이크)하는 공정 (4)를 행하는 방법을 들 수 있다. 본 발명에서는, 경화막의 작성은, 전체 공정을 통해서 130℃ 이하의 온도에서 행하는 것이 바람직하고, 100℃ 이하의 온도에서 행하는 것이 보다 바람직하다.The manufacturing method of a cured film is not specifically limited, For example, the process (1) of apply|coating a photosensitive composition on a board|substrate and forming the layer of a composition, the process of exposing this layer to light in a pattern shape through a mask (2) ), a step (3) of alkali developing the unexposed portion to form a patterned cured film, and a method of performing a step (4) of heating the pattern (post-bake). In the present invention, the formation of the cured film is preferably performed at a temperature of 130° C. or less, and more preferably at a temperature of 100° C. or less throughout the entire process.

이하, 경화막의 제조 방법을 상세하게 설명한다.Hereinafter, the manufacturing method of a cured film is demonstrated in detail.

(공정 (1))(Process (1))

조성물의 층을 형성하는 공정 (1)은, 감광성 조성물을 기판 상에, 예를 들면, 회전 도포, 롤 도포, 슬릿 도포, 유연(流延) 도포, 또는 잉크젯 도포 등의 방법으로 도포하고, 필요에 따라 오븐, 핫플레이트 등을 이용하여, 50 ∼ 100℃의 온도에서 10 ∼ 120초 건조(프리베이크)한다.In step (1) of forming a layer of a composition, a photosensitive composition is applied onto a substrate by, for example, spin coating, roll coating, slit coating, casting coating, or inkjet coating, if necessary. Dry (prebake) for 10 to 120 seconds at a temperature of 50 to 100 ° C. using an oven, hot plate, etc. according to the method.

상기 기판은, 예를 들면, 유리 기판, 수지 기판, 실리콘 기판 등을 들 수 있다. 수지 기판으로서는, 폴리카보네이트 기판, 폴리에스테르 기판, 방향족 폴리아미드 기판, 폴리아미드이미드 기판, 폴리이미드 기판 등을 들 수 있다. 이들 기판 상에는 유기 발광층이 형성되어도 된다. 실리콘 기판은, 예를 들면, 표면에 CCD, CMOS 등의 촬상 소자가 형성되어 있어도 된다. 또한, 기판 상에는, 필요에 따라, 상부와의 층과의 밀착 개량, 물질의 확산 방지, 기판 표면의 평탄화를 위해 밑칠층을 마련해도 된다.As for the said board|substrate, a glass substrate, a resin substrate, a silicon substrate etc. are mentioned, for example. Examples of the resin substrate include a polycarbonate substrate, a polyester substrate, an aromatic polyamide substrate, a polyamideimide substrate, and a polyimide substrate. An organic light emitting layer may be formed on these substrates. The silicon substrate may have, for example, imaging elements such as CCD and CMOS formed on the surface. Further, on the substrate, if necessary, an undercoating layer may be provided for improving adhesion to the upper layer, preventing diffusion of substances, and flattening the surface of the substrate.

층의 막두께는, 특별히 제한은 없지만, 건조 후 0.05 ∼ 10.0㎛가 되도록 도포하는 것이 바람직하고, 0.3 ∼ 5.0㎛가 되도록 도포하는 것이 보다 바람직하다.The film thickness of the layer is not particularly limited, but it is preferable to apply so as to be 0.05 to 10.0 μm after drying, and more preferably to be applied so that it is 0.3 to 5.0 μm.

(공정 (2))(Process (2))

노광 공정은, 공정 (1)에서 얻어진 층을, 예를 들면, 스테퍼 등의 노광 장치를 이용하여, 마스크를 개재하여 특정의 패턴을 노광한다. 이에 따라 경화막이 얻어진다.An exposure process exposes the layer obtained at process (1) to a specific pattern through a mask, for example using exposure apparatuses, such as a stepper. In this way, a cured film is obtained.

노광에 이용하는 방사선은, 예를 들면, g선(파장 436㎚), h선(파장 405㎚), i선(파장 365㎚) 등의 자외선을 들 수 있다. 또한, 파장 300㎚ 이하의 광을 이용할 수도 있다. 파장 300㎚ 이하의 광으로서는, KrF선(파장 248㎚), ArF(파장 193㎚) 등을 들 수 있다. 또한, 노광 시에는, 광을 연속적으로 조사하여 노광해도 좋고, 단시간(예를 들면, 밀리초 레벨 이하)의 사이클로 광의 조사와 휴지(休止)를 반복해서 노광(펄스 노광)해도 좋다.Examples of the radiation used for exposure include ultraviolet rays such as g-line (wavelength 436 nm), h-line (wavelength 405 nm), and i-line (wavelength 365 nm). In addition, light with a wavelength of 300 nm or less can also be used. Examples of light having a wavelength of 300 nm or less include KrF rays (wavelength of 248 nm) and ArF (wavelength of 193 nm). In the exposure, light may be continuously irradiated and exposed, or light irradiation and pause may be repeatedly exposed (pulse exposure) in cycles of a short time (for example, millisecond level or less).

(공정 (3))(Process (3))

공정 (2)에서 얻어진 경화막은, 알칼리 현상 처리를 행함으로써, 미노광 부분의 조성물의 층이 알칼리 수용액에 용출(溶出)하여, 경화 부분만이 남아 패턴상의 경화막이 얻어진다. 현상액은, 예를 들면, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 탄산나트륨, 규산나트륨, 메타규산나트륨, 암모니아수, 에틸아민, 디에틸아민, 디메틸에탄올아민, 테트라메틸암모늄히드록시드, 테트라에틸암모늄히드록시드, 콜린, 피롤, 피페리진, 1,8-디아자비시클로-〔5.4.0〕-7-운데센 등의 알칼리성 화합물을 들 수 있다.When the cured film obtained in step (2) is subjected to alkali development treatment, the layer of the composition in the unexposed portion is eluted into aqueous alkali solution, and only the cured portion remains, resulting in a patterned cured film. The developer is, for example, sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, choline , pyrrole, piperidine, and 1,8-diazabicyclo-[5.4.0]-7-undecene and the like.

알칼리 현상액의 농도는, 0.001 ∼ 10질량%가 바람직하고, 0.01 ∼ 1질량%가 보다 바람직하다.The concentration of the alkali developing solution is preferably 0.001 to 10% by mass, and more preferably 0.01 to 1% by mass.

알칼리 현상액의 pH는, 11 ∼ 13이 바람직하고, 11.5 ∼ 12.5가 보다 바람직하다. 적당한 pH로 사용하면 패턴의 거칠기나 박리를 억제하여, 현상 후의 잔막률이 향상된다.11-13 are preferable and, as for pH of alkaline developing solution, 11.5-12.5 are more preferable. When used at an appropriate pH, pattern roughness and peeling are suppressed, and the remaining film rate after development is improved.

현상 방법은, 예를 들면, 담금법(dip method), 스프레이법, 패들법 등을 들 수 있다. 현상 온도는 15 ∼ 40℃가 바람직하다. 또, 알칼리 현상 후는, 순수(純水)로 세정하는 것이 바람직하다Developing methods include, for example, a dip method, a spray method, and a paddle method. The developing temperature is preferably 15 to 40°C. In addition, it is preferable to wash with pure water after alkali development.

(공정 (4))(Process (4))

가열 처리(포스트베이크)는, 공정 (3)에서 얻어진 패턴상의 경화막을 가열에 의해 충분히 경화시킨다. 포스트베이크의 가열 온도는, 130℃ 이하가 바람직하고, 100℃ 이하가 보다 바람직하다. 가열 온도의 하한은, 경화를 촉진할 수 있으면 특별히 제한은 없지만, 50℃ 이상이 바람직하다. 또한, 가열 시간은, 특별히 제한은 없지만, 5분간 ∼ 1시간이 바람직하다.The heat treatment (postbake) sufficiently cures the patterned cured film obtained in step (3) by heating. 130 degrees C or less is preferable, and, as for the heating temperature of a post-bake, 100 degrees C or less is more preferable. The lower limit of the heating temperature is not particularly limited as long as curing can be accelerated, but is preferably 50°C or higher. The heating time is not particularly limited, but is preferably 5 minutes to 1 hour.

<광학 필터><Optical filter>

본 발명의 광학 필터는, 본 발명의 감광성 조성물로 형성되는 경화막을 갖는다. 광학 필터는, 다양한 용도로 사용할 수 있다. 예를 들면, 컬러 필터, 블랙 매트릭스, 적외선 투과 필터, 적외선 컷 필터, 차광 필터, 마이크로 렌즈, 유기 EL표시 장치용의 원 편광판 기능을 갖는 컬러 필터 등에 이용할 수 있다.The optical filter of the present invention has a cured film formed from the photosensitive composition of the present invention. An optical filter can be used for various purposes. For example, it can be used for a color filter, a black matrix, an infrared transmission filter, an infrared cut filter, a light blocking filter, a microlens, a color filter having a circular polarizing function for an organic EL display device, and the like.

예를 들면, 컬러 필터는, 사용하는 착색제(E)의 종류를 적절히 선택함으로써, 레드, 그린, 및 블루 화소로서, 본 발명의 경화막을 갖는다. 또한, 마찬가지로 마젠타 화소, 시안 화소, 옐로우 화소, 화이트 화소, 그레이 화소, 블랙 화소를 가질 수도 있다. 또한, 클리어 화소를 가질 수도 있다. 본 발명의 광학 필터는, 상술한 경화막과 마찬가지의 방법으로 제조할 수 있다.For example, a color filter has the cured film of this invention as red, green, and blue pixels by appropriately selecting the kind of coloring agent (E) to be used. Also, similarly, a magenta pixel, a cyan pixel, a yellow pixel, a white pixel, a gray pixel, and a black pixel may be included. Also, it may have a clear pixel. The optical filter of the present invention can be manufactured by the same method as the cured film described above.

<화상 표시 장치><Image Display Device>

본 발명의 화상 표시 장치는, 본 발명의 광학 필터를 구비한다. 화상 표시 장치는, 예를 들면, 액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등을 들 수 있다. 화상 표시 장치에 이용하는 형태는, 화상 표시 장치로서 기능하면 되고, 특별히 제한되지 않는다. 예를 들면, 「차세대 액정 디스플레이 기술(Uchida Tatsuo저, Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd., 1994년 발행)에 기재되어 있는 구성 등을 들 수 있다. 화상 표시 장치의 정의나 각 화상 표시 장치의 상세에 대해서는, 예를 들면, 「전자 디스플레이 디바이스(Sasaki Akio저, Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd., 1990년 발행)」, 「디스플레이 디바이스(Ibuki Sumiaki저, Sangyo Tosho Publishing Co., Ltd., 헤이세이 원년 발행)」 등에 기재되어 있다.The image display device of the present invention includes the optical filter of the present invention. As for an image display device, a liquid crystal display, an organic electroluminescent display, etc. are mentioned, for example. The form used for the image display device is not particularly limited as long as it functions as an image display device. For example, the configuration described in “Next-generation liquid crystal display technology (authored by Tatsuo Uchida, published by Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd., 1994) and the like are exemplified. For definitions of image display devices and details of each image display device, see, for example, "Electronic display device (authored by Sasaki Akio, published by Kogyo Chosakai Publishing Co., Ltd., 1990)", "display device (authored by Ibuki Sumiaki)" , Sangyo Tosho Publishing Co., Ltd., published in the first year of Heisei)” and the like.

<고체 촬상 소자><Solid-state imaging device>

본 발명의 고체 촬상 소자는, 본 발명의 광학 필터를 구비한다.The solid-state imaging device of the present invention includes the optical filter of the present invention.

고체 촬상 소자에 이용하는 형태는, 특별히 제한되지 않지만, 예를 들면, 기재 상에, 고체 촬상 소자(CCD 이미지 센서, CMOS 이미지 센서 등)의 수광 에어리어를 구성하는 복수의 포토 다이오드 및 폴리실리콘 등으로 이루어지는 전송 전극을 갖고, 포토 다이오드 및 전송 전극 상에 포토 다이오드의 수광부만 개구한 차광막을 갖고, 차광막 상에 차광막 전면(全面) 및 포토 다이오드 수광부를 덮도록 형성된 질화실리콘 등으로 이루어지는 디바이스 보호막을 갖고, 디바이스 보호막 상에, 필터를 갖는 구성이다. 또한, 디바이스 보호막 상이며 필터 하(기재에 가까운 측)에 집광 수단(예를 들면, 마이크로 렌즈 등. 이하 같음)을 갖는 구성이나, 필터 상에 집광 수단을 갖는 구성 등이어도 된다. 또한, 필터는, 격벽에 의해 예를 들면 격자상(格子狀)으로 구획된 공간에, 각 착색 화소를 형성하는 경화막이 매립된 구조를 갖고 있어도 된다. 이 경우의 격벽은, 각 착색 화소에 대하여 저굴절률이 바람직하다.The form used for the solid-state imaging device is not particularly limited, but, for example, a plurality of photodiodes constituting a light-receiving area of a solid-state imaging device (CCD image sensor, CMOS image sensor, etc.), polysilicon, etc. It has a transfer electrode, has a photodiode and a light-shielding film opening only the light-receiving portion of the photodiode on the transfer electrode, and has a device protective film made of silicon nitride or the like formed to cover the entire surface of the light-shielding film and the photodiode light-receiving portion on the light-shielding film; It is a configuration having a filter on the protective film. Further, a configuration in which a concentrating unit (for example, a micro lens, as described below) is provided on the device protective film and under the filter (on the side close to the substrate) may be provided, or a configuration in which the condensing unit is provided on the filter may be used. Further, the filter may have a structure in which a cured film forming each color pixel is embedded in a space partitioned by partitions in a lattice shape, for example. The barrier rib in this case preferably has a low refractive index for each color pixel.

본 발명의 고체 촬상 소자를 구비한 촬상 장치는, 예를 들면, 디지털 카메라, 촬상 기능을 갖는 전자 기기(휴대 전화, 스마트폰 등), 차재 카메라, 감시 카메라, 광 센서 등 다양한 용도로 사용할 수 있다.An imaging device having a solid-state imaging device of the present invention can be used for various purposes, such as, for example, digital cameras, electronic devices having an imaging function (mobile phones, smart phones, etc.), in-vehicle cameras, monitoring cameras, and optical sensors. .

[실시예][Example]

이하, 실시예에서 본 발명을 보다 구체적으로 설명한다. 단, 본 발명은 이들로 한정되지 않는다. 또, 「부」는 「질량부」, 「%」는 「질량%」이다.Hereinafter, the present invention will be described in more detail in Examples. However, the present invention is not limited to these. In addition, "part" is a "mass part", and "%" is a "mass %".

또한, 본 발명에서, 불휘발분 혹은 불휘발분 농도는, 230℃에서 30분간 오븐 정치(靜置) 후의, 질량 잔분(殘分)을 말한다.In addition, in this invention, a non-volatile matter or non-volatile matter concentration refers to the mass residue after oven standing at 230 degreeC for 30 minute(s).

실시예에 앞서, 각 측정 방법에 대해서 설명한다.Prior to Examples, each measurement method will be described.

수지의 중량 평균 분자량(Mw), 수평균 분자량(Mn), 산가(㎎KOH/g), 아민가(㎎KOH/g)의 측정은, 이하와 같다.Measurements of the weight average molecular weight (Mw), number average molecular weight (Mn), acid value (mgKOH/g), and amine value (mgKOH/g) of the resin are as follows.

(수지의 평균 분자량)(average molecular weight of resin)

수지의 수평균 분자량(Mn), 중량 평균 분자량(Mw)은, RI 검출기를 장비한 겔퍼미에이션 크로마토그래피(GPC)로 측정했다. 장치로서 HLC-8220GPC(TOSOH CORPORATION 제조)를 이용하여, 분리 칼럼을 2개 직렬로 연결하고, 양쪽의 충전제에는 「TSK-GELSUPERHZM-N」을 2줄로 연결하여 사용하고, 오븐 온도 40℃, 용리액으로서 테트라히드로퓨란(THF) 용액을 이용하여, 유속 0.35ml/min으로 측정했다. 샘플은 1질량%의 상기 용리액으로 이루어지는 용제에 용해하고, 20μl 주입했다. 분자량은, 폴리스티렌 환산치이다.The number average molecular weight (Mn) and weight average molecular weight (Mw) of the resin were measured by gel permeation chromatography (GPC) equipped with an RI detector. Using HLC-8220GPC (manufactured by TOSOH CORPORATION) as an apparatus, two separation columns are connected in series, and "TSK-GELSUPERHZM-N" is used as an eluent at an oven temperature of 40 ° C. Measurement was performed at a flow rate of 0.35 ml/min using a tetrahydrofuran (THF) solution. The sample was dissolved in a solvent composed of 1% by mass of the above eluent, and 20 µl of the sample was injected. Molecular weight is a polystyrene conversion value.

수지 용액 0.5 ∼ 1g에, 아세톤 80ml 및 물 10ml를 더하여 교반해서 균일하게 용해시키고, 0.1mol/L의 KOH 수용액을 적정액으로 하여, 자동 적정 장치(「COM-555」 HIRANUMA Co., Ltd. 제조)를 이용하여 적정하고, JIS K 0070의 방법에 준거하여, 산가(㎎KOH/g)를 측정했다. 그리고, 수지 용액의 산가와 수지 용액의 불휘발분 농도로부터, 수지의 불휘발분당의 산가를 산출했다.Add 80 ml of acetone and 10 ml of water to 0.5 to 1 g of the resin solution, stir to dissolve uniformly, use a 0.1 mol/L aqueous KOH solution as a titrant, and use an automatic titration device ("COM-555" manufactured by HIRANUMA Co., Ltd.) ), and the acid value (mgKOH/g) was measured based on the method of JIS K 0070. Then, the acid value per non-volatile content of the resin was calculated from the acid value of the resin solution and the concentration of the non-volatile content of the resin solution.

(수지의 아민가)(amine value of resin)

수지의 아민가는, ASTMD2074의 방법에 준거하여, 측정한 전체 아민가(㎎KOH/g)를 불휘발분 환산한 값이다.The amine titer of resin is the value obtained by converting the total amine titer (mgKOH/g) measured in accordance with the method of ASTMD2074 into non-volatile matter.

「아민가」란, 분산제 고형 1g 중에 포함되는 염기성 질소를 중화(中和)하는데 필요로 하는 염산과 당량의 수산화칼륨의 ㎎ 수이며, ASTM D 2074에 준하여, 전위차 적정법에 따라 구할 수 있다."Amine value" is the number of milligrams of potassium hydroxide equivalent to hydrochloric acid required to neutralize the basic nitrogen contained in 1 g of the solid dispersant, and can be obtained by potentiometric titration in accordance with ASTM D 2074.

<수지(A)의 제조><Preparation of Resin (A)>

(수지(A1-1) 용액)(Resin (A1-1) solution)

교반 장치, 적하 로트, 콘덴서, 온도계 및 가스 도입관을 구비한 플라스크에, 257.3g의 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(이하, PGMAc)를 넣은 후, 질소 치환하면서 교반하고, 78℃로 승온했다. 다음으로, 지환식 탄화수소 함유 단량체 단위(a6)를 형성하는 단량체인 디시클로펜타닐메타크릴레이트를 22.4부, 산성기 함유 단량체(a2)를 형성하는 단량체인 메타크릴산을 17.2부, 기타 단량체 단위(a8)를 형성하는 단량체인 메틸메타크릴레이트를 49.8부, 및 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 형성하는 단량체인 Karenz MOI-DEM(Showa Denko K.K. 제조의 말론산-2-[[[2-메틸-1-옥소-2-프로페닐]옥시]에틸]아미노]카르보닐]-1,3-디에틸에스테르)를 63.0부와, 11.0부의 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴)(중합개시제)를 78.7부의 PGMAc에 첨가하여 용해시킨 것을 적하 로트로부터 플라스크 중으로 적하했다. 적하 종료 후, 78℃에서 3시간 교반했다.257.3 g of propylene glycol monomethyl ether acetate (hereinafter referred to as PGMAc) was placed in a flask equipped with a stirrer, a dropping funnel, a condenser, a thermometer and a gas inlet pipe, followed by stirring while purging with nitrogen, and the temperature was raised to 78°C. Next, 22.4 parts of dicyclopentanyl methacrylate, a monomer forming the alicyclic hydrocarbon-containing monomer unit (a6), 17.2 parts of methacrylic acid, a monomer forming the acidic group-containing monomer (a2), and other monomer units ( 49.8 parts of methyl methacrylate, which is a monomer forming a8), and Karenz MOI-DEM, a monomer forming monomer unit (a1) containing a block isocyanate group (malonic acid-2-[[[2-, manufactured by Showa Denko K.K.) methyl-1-oxo-2-propenyl]oxy]ethyl]amino]carbonyl]-1,3-diethyl ester) with 63.0 parts and 11.0 parts of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvale ronitrile) (polymerization initiator) was added and dissolved in 78.7 parts of PGMAc and was added dropwise into the flask from the dropping funnel. After completion of the dropping, the mixture was stirred at 78°C for 3 hours.

그 후, 불휘발분이 40질량%가 되도록 PGMAc를 첨가하여, 수지(A1-1) 용액을 조제했다. 수지(A1-1)는, 산가 111㎎KOH/g, 중량 평균 분자량 9,500이었다.Then, PGMAc was added so that the non-volatile content might be 40 mass %, and the resin (A1-1) solution was prepared. Resin (A1-1) had an acid value of 111 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 9,500.

(수지 (A1-2) ∼ (A1-4) 용액)(Resin (A1-2) to (A1-4) solution)

표 1에 기재된 각 구성 성분과 몰비가 되도록, 수지 (A1-2) ∼ (A1-4)를 합성하고, PGMAc를 첨가하여 불휘발분을 40질량%로 했다.Resins (A1-2) to (A1-4) were synthesized so as to have a molar ratio with each constituent component shown in Table 1, and PGMAc was added to make the non-volatile content 40% by mass.

[표 1][Table 1]

Figure pat00007
Figure pat00007

(수지(A2-1) 용액)(Resin (A2-1) solution)

세퍼러블 4구 플라스크에 온도계, 냉각관, 질소 가스 도입관, 적하관 및 교반 장치를 장착한 반응 용기에 시클로헥산온 196부를 투입하고, 80℃로 승온하고, 반응 용기 내를 질소 치환한 후, 적하관으로부터, 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 형성하는 단량체인 메타크릴산 20.2부, 수산기 함유 단량체 단위(a3)를 형성하는 단량체인 2-히드록시에틸메타크릴레이트 21.8부, 일반식(1)으로 표시되는 단량체인 Aronix M-110(TOAGOSEI CO., LTD. 제조의 파라쿠밀페놀 EO 변성 아크릴레이트) 38.9부, 기타 단량체 단위(b8)를 형성하는 단량체인 벤질메타크릴레이트 39.0부, n-부틸메타크릴레이트 35.8부, 및 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 1.0부의 혼합물을 2시간 걸쳐 적하했다. 적하 종료 후, 3시간 더 반응시켰다. 실온까지 냉각한 후, 불휘발분이 40질량%가 되도록 PGMAc를 첨가하여, 랜덤 중합체의 수지(A21) 용액을 조제했다. 수지(A2-1)는, 산가 81㎎KOH/g, 중량 평균 분자량 28,000이었다.196 parts of cyclohexanone was added to a reaction vessel equipped with a thermometer, a cooling tube, a nitrogen gas inlet tube, a dropping tube, and a stirring device in a separable four-necked flask, the temperature was raised to 80 ° C, and the inside of the reaction vessel was substituted with nitrogen, From the dropping tube, 20.2 parts of methacrylic acid as a monomer forming the acidic group-containing monomer unit (a2), 21.8 parts of 2-hydroxyethyl methacrylate as a monomer forming the hydroxyl group-containing monomer unit (a3), general formula (1 ) 38.9 parts of Aronix M-110 (paracumylphenol EO modified acrylate manufactured by TOAGOSEI CO., LTD.), 39.0 parts of benzyl methacrylate, a monomer forming other monomer units (b8), n- A mixture of 35.8 parts of butyl methacrylate and 1.0 part of 2,2'-azobisisobutyronitrile was added dropwise over 2 hours. It was made to react for 3 hours after completion|finish of dripping. After cooling to room temperature, PGMAc was added so that the non-volatile content would be 40 mass %, and the resin (A21) solution of random polymer was prepared. Resin (A2-1) was an acid value of 81 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 28,000.

(수지 (A2-2) 및 (A2-3) 용액)(Resin (A2-2) and (A2-3) solution)

표 2에 기재된 각 구성 성분과 몰비가 되도록, 랜덤 중합체의 수지 (A2-2) 및 (A2-3)을 합성하고, PGMAc를 첨가하여 불휘발분을 40질량%로 했다.Random polymer resins (A2-2) and (A2-3) were synthesized so as to have a molar ratio with each component shown in Table 2, and PGMAc was added to make the non-volatile content 40% by mass.

[표 2][Table 2]

Figure pat00008
Figure pat00008

표 2에 기재된 GMA + AA는, 글리시딜메타크릴레이트(이하, GMA라고도 함)의 에폭시기에, 아크릴산(이하, AA라고도 함)을 부가시킨 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(b5)를 나타낸다. GMA + AA + THPA는, GMA + AA의 수산기와 테트라히드로무수프탈산(이하, THPA라고도 함)을 반응시킨 중합성 불포화기 함유 단량체 단위(b5)를 나타낸다.GMA+AA described in Table 2 represents a polymerizable unsaturated group-containing monomeric unit (b5) obtained by adding acrylic acid (hereinafter also referred to as AA) to an epoxy group of glycidyl methacrylate (hereinafter also referred to as GMA). GMA + AA + THPA represents a polymerizable unsaturated group-containing monomeric unit (b5) obtained by reacting the hydroxyl group of GMA + AA with tetrahydrophthalic anhydride (hereinafter also referred to as THPA).

(수지(A3-1) 용액)(Resin (A3-1) solution)

가스 도입관, 온도계, 콘덴서, 교반기를 구비한 반응 용기에, 1-티오글리세롤 108부, 피로멜리트산무수물 174부, PGMAc 650부, 촉매로서 모노부틸주석옥사이드 0.2부를 투입하고, 질소 가스로 치환한 후, 120℃에서 5시간 반응시켰다(제1 공정). 산가의 측정으로 95% 이상의 산무수물이 하프 에스테르화하고 있는 것을 확인했다. 다음으로, 제1 공정에서 얻어진 화합물을 불휘발분 환산으로 160부, 2-히드록시프로필메타크릴레이트 200부, 에틸아크릴레이트 200부, t-부틸아크릴레이트 150부, 2-메톡시에틸아크릴레이트 200부, 메틸아크릴레이트 200부, 메타크릴산 50부, PGMAc 663부를 투입하고, 반응 용기 내를 80℃로 가열하여, 2,2'-아조비스(2,4-디메틸발레로니트릴) 1.2부를 첨가하고, 12시간 반응했다(제2 공정). 불휘발분 측정에 의해 95%가 반응한 것을 확인했다. 마지막으로, 제2 공정에서 얻어진 화합물의 50% PGMAc 용액을 500부, 2-메타크릴로일옥시에틸이소시아네이트(MOI) 27.0부, 히드로퀴논 0.1부를 투입하고, IR에 의해 이소시아네이트기에 의거하는 2270㎝-1의 피크의 소실을 확인할 때까지 반응을 행했다(제3 공정). 피크 소실의 확인 후, 반응 용액을 냉각하여, PGMAc로 불휘발분 조정함으로써 불휘발분 30질량%의 빗형 구조의 수지(A3-1) 용액을 얻었다. 수지(A3-1)는, 산가 68㎎KOH/g, 불포화 이중 결합 당량은 1,593, 중량 평균 분자량은 13,000이었다.108 parts of 1-thioglycerol, 174 parts of pyromellitic anhydride, 650 parts of PGMAc, and 0.2 part of monobutyltin oxide as a catalyst were added to a reaction vessel equipped with a gas inlet tube, thermometer, condenser, and stirrer, and the mixture was replaced with nitrogen gas. Then, it was made to react at 120 degreeC for 5 hours (1st process). It was confirmed by the measurement of the acid value that 95% or more of the acid anhydrides were half esterified. Next, 160 parts of the compound obtained in the first step in terms of non-volatile content, 200 parts of 2-hydroxypropyl methacrylate, 200 parts of ethyl acrylate, 150 parts of t-butyl acrylate, 200 parts of 2-methoxyethyl acrylate 200 parts of methyl acrylate, 50 parts of methacrylic acid, and 663 parts of PGMAc were added, the inside of the reaction vessel was heated to 80°C, and 1.2 parts of 2,2'-azobis(2,4-dimethylvaleronitrile) was added. and reacted for 12 hours (second step). It was confirmed that 95% reacted by non-volatile content measurement. Finally, 500 parts of the 50% PGMAc solution of the compound obtained in the second step, 27.0 parts of 2-methacryloyloxyethyl isocyanate (MOI), and 0.1 part of hydroquinone were added, and IR was applied to the isocyanate group at 2270 cm -1 . The reaction was performed until disappearance of the peak of was confirmed (third step). After confirmation of the peak disappearance, the reaction solution was cooled and a resin (A3-1) solution having a non-volatile content of 30% by mass and having a comb-shaped structure was obtained by adjusting the non-volatile content with PGMAc. Resin (A3-1) had an acid value of 68 mgKOH/g and an unsaturated double bond equivalent of 1,593 and a weight average molecular weight of 13,000.

(수지(A3-2) 용액)(Resin (A3-2) solution)

가스 도입관, 온도, 콘덴서, 교반기를 구비한 반응 용기에, 메타크릴산 10부, 메틸메타크릴레이트 100부, i-부틸메타크릴레이트 70부, 벤질메타크릴레이트 20부, PGMAc 50부를 투입하고, 질소 가스로 치환했다. 반응 용기 내를 50℃로 가열 교반하고, 3-메르캅토-1,2-프로판디올 12부를 첨가했다. 90℃로 승온하고, 2,2'-아조비스이소부티로니트릴 0.1부를 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트(이하, PGMAc) 90부에 더한 용액을 첨가하면서 7시간 반응했다. 불휘발분 측정에 의해 95%가 반응한 것을 확인했다. 피로멜리트산무수물 19부, PGMAc 50부, 시클로헥산온 50부, 촉매로서 1,8-디아자비시클로[5.4.0]-7-운데센 0.4부를 추가하여, 100℃에서 7시간 반응시켰다. 산가의 측정으로 98% 이상의 산무수물이 하프 에스테르화하고 있는 것을 확인하여 반응을 종료하고, 불휘발분 30질량%가 되도록 PGMAc를 더하여 희석하고, 빗형 구조의 수지(A3-2) 용액을 얻었다. 수지(A3-2)는, 산가 70㎎KOH/g, 중량 평균 분자량 8,500이었다.10 parts of methacrylic acid, 100 parts of methyl methacrylate, 70 parts of i-butyl methacrylate, 20 parts of benzyl methacrylate, and 50 parts of PGMAc were added to a reaction vessel equipped with a gas inlet pipe, temperature, condenser, and stirrer. , replaced by nitrogen gas. The inside of the reaction vessel was heated and stirred at 50°C, and 12 parts of 3-mercapto-1,2-propanediol was added. It heated up to 90 degreeC, and reacted for 7 hours, adding the solution which added 0.1 part of 2,2'- azobisisobutyronitrile to 90 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate (following, PGMAc). It was confirmed that 95% reacted by non-volatile content measurement. 19 parts of pyromellitic anhydride, 50 parts of PGMAc, 50 parts of cyclohexanone, and 0.4 part of 1,8-diazabicyclo[5.4.0]-7-undecene as a catalyst were added and reacted at 100°C for 7 hours. By measuring the acid value, it was confirmed that 98% or more of the acid anhydrides were half-esterified, the reaction was terminated, and PGMAc was added and diluted so that the non-volatile content was 30% by mass, and a resin (A3-2) solution having a comb structure was obtained. Resin (A3-2) had an acid value of 70 mgKOH/g and a weight average molecular weight of 8,500.

(수지(A3-3) 용액)(Resin (A3-3) solution)

가스 도입관, 콘덴서, 교반 날개, 및 온도계를 장착한 반응 장치에, 메틸메타크릴레이트 30부, n-부틸메타크릴레이트 30부, 히드록시에틸메타크릴레이트 20부, 테트라메틸에틸렌디아민 13.2부를 투입하고, 질소를 흘리면서 50℃에서 1시간교반하고, 계 내를 질소 치환했다. 다음으로, 브로모이소부티르산에틸 9.3부, 염화 제1 구리 5.6부, PGMAc 133부를 투입하고, 질소 기류 하에서, 110℃까지 승온하여 제1 블록(B 블록)의 중합을 개시했다. 4시간 중합 후, 중합 용액을 샘플링하여 불휘발분 측정을 행하고, 불휘발분으로부터 환산하여 중합 전화율이 98% 이상인 것을 확인했다. 다음으로, 이 반응 장치에, PGMAc 61부, 제2 블록(A 블록) 모노머로서 1,2,2,6,6-펜타메틸피페리딜메타크릴레이트 20부(Showa Denko Materials co., Ltd. 제조, FANCRYL FA-711MM)를 투입하고, 110℃·질소 분위기 하를 유지한 채로 교반하고, 반응을 계속했다. 1,2,2,6,6-펜타메틸피페리딜메타크릴레이트 투입으로부터 2시간 후, 중합 용액을 샘플링하여 불휘발분 측정을 행하고, 불휘발분으로부터 환산하여 제2 블록(A 블록)의 중합 전화율이 98% 이상인 것을 확인하고, 반응 용액을 실온까지 냉각하여 중합을 정지했다. 불휘발분 측정으로 불휘발분 30질량%가 되도록 PGMAc를 더하여 희석하고, 수지(A3-3) 용액을 얻었다. 블록 구조의 수지(A3-3)는, 아민가 57㎎KOH/g, 수평균 분자량 4,500이었다.30 parts of methyl methacrylate, 30 parts of n-butyl methacrylate, 20 parts of hydroxyethyl methacrylate, and 13.2 parts of tetramethylethylenediamine were put into a reaction device equipped with a gas inlet pipe, condenser, stirring blades, and thermometer. Then, the mixture was stirred at 50°C for 1 hour while flowing nitrogen, and the inside of the system was substituted with nitrogen. Next, 9.3 parts of ethyl bromoisobutyrate, 5.6 parts of cuprous chloride, and 133 parts of PGMAc were introduced, and the temperature was raised to 110°C under a nitrogen stream to initiate polymerization of the first block (block B). After polymerization for 4 hours, the polymerization solution was sampled, the non-volatile content was measured, and it was confirmed that the polymerization conversion rate was 98% or more in terms of the non-volatile content. Next, to this reaction apparatus, 61 parts of PGMAc and 20 parts of 1,2,2,6,6-pentamethylpiperidyl methacrylate (Showa Denko Materials co., Ltd. Manufacture, FANCRYL FA-711MM) was added, stirred while maintaining under a nitrogen atmosphere at 110°C, and the reaction was continued. Two hours after the introduction of 1,2,2,6,6-pentamethylpiperidyl methacrylate, the polymerization solution was sampled, the non-volatile content was measured, and the polymerization conversion rate of the second block (A block) was calculated from the non-volatile content. After confirming that the content was 98% or higher, the reaction solution was cooled to room temperature to stop polymerization. PGMAc was added and diluted so that it might become 30 mass % of non-volatile content by the non-volatile content measurement, and the resin (A3-3) solution was obtained. Resin (A3-3) of block structure had an amine value of 57 mgKOH/g and a number average molecular weight of 4,500.

<중합성 화합물(B)의 제조><Preparation of polymerizable compound (B)>

(중합성 화합물(B1-3))(Polymerizable compound (B1-3))

온도계, 교반기 및 환류관을 구비한 4구 플라스크에, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, Aronix M-402) 250부(0.247몰)를 더하고, 디-n-부틸아민 17.3부(0.134몰)를 실온에서 더한 후, 50℃에서 4시간 반응을 행하고, 중합성 화합물(B1-3)을 얻었다. 반응은, 공기/질소의 혼합 분위기 하에서 행했다. 수산기가 30㎎KOH/g이었다.To a four-necked flask equipped with a thermometer, stirrer and reflux tube, 250 parts (0.247 mol) of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., Aronix M-402) ) was added, and after adding 17.3 parts (0.134 mol) of di-n-butylamine at room temperature, the mixture was reacted at 50°C for 4 hours to obtain a polymerizable compound (B1-3). The reaction was performed in an air/nitrogen mixed atmosphere. The hydroxyl value was 30 mgKOH/g.

(아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1-5))(Polymerizable compound (B1-5) having an amine structure)

온도계, 교반기 및 환류관을 구비한 4구 플라스크에, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트 및 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트의 혼합물(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, Aronix M-305) 118부(0.247몰)를 더하고, 디-n-부틸아민 17.3부(0.134몰)를 실온에서 더한 후, 50℃에서 4시간 반응을 행하고, 수산기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B-1)을 얻었다. 반응은, 공기/질소의 혼합 분위기 하에서 행했다. 수산기가 155㎎KOH/g이었다.In a four-necked flask equipped with a thermometer, stirrer and reflux tube, 118 parts (0.247 mol) of a mixture of pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., Aronix M-305) were added. After adding and adding 17.3 parts (0.134 mol) of di-n-butylamine at room temperature, reaction was performed at 50 degreeC for 4 hours, and the polymeric compound (B-1) which has a hydroxyl group and an amine structure was obtained. The reaction was performed in an air/nitrogen mixed atmosphere. The hydroxyl value was 155 mgKOH/g.

(아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1-6))(Polymerizable compound (B1-6) having an amine structure)

온도계, 교반기 및 환류관을 구비한 4구 플라스크에, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 및 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, Aronix M-402) 250부(0.247몰)를 더하고, 디에탄올아민 14.1부(0.134몰)를 실온에서 더한 후, 50℃에서 4시간 반응을 행하고, 수산기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1-5)을 얻었다. 반응은, 공기/질소의 혼합 분위기 하에서 행했다. 수산기가 125㎎KOH/g이었다.To a four-necked flask equipped with a thermometer, stirrer and reflux tube, 250 parts (0.247 mol) of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., Aronix M-402) ) was added, and after adding 14.1 parts (0.134 mol) of diethanolamine at room temperature, reaction was performed at 50°C for 4 hours to obtain a polymerizable compound (B1-5) having a hydroxyl group and an amine structure. The reaction was performed in an air/nitrogen mixed atmosphere. The hydroxyl value was 125 mgKOH/g.

(아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1-7))(Polymerizable compound having an amine structure (B1-7))

온도계, 교반기 및 환류관을 구비한 4구 플라스크에, 펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 및 펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, Aronix M-305) 118부(0.247몰)를 더하고, 디에탄올아민 14.1부(0.067몰)를 실온에서 더한 후, 50℃에서 4시간 반응을 행하고, 수산기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B-2)을 얻었다. 반응은, 공기/질소의 혼합 분위기 하에서 행했다. 수산기가 180㎎KOH/g이었다.In a four-necked flask equipped with a thermometer, stirrer and reflux tube, 118 parts (0.247 mol) of a mixture of pentaerythritol pentaacrylate and pentaerythritol hexaacrylate (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., Aronix M-305) were added. After adding and adding 14.1 parts (0.067 mol) of diethanolamine at room temperature, reaction was performed at 50 degreeC for 4 hours, and the polymeric compound (B-2) which has a hydroxyl group and an amine structure was obtained. The reaction was performed in an air/nitrogen mixed atmosphere. The hydroxyl value was 180 mgKOH/g.

(중합성 화합물(B2-8))(polymerizable compound (B2-8))

교반기, 환류 냉각관, 질소 도입관, 온도계, 적하관을 구비한 5구 플라스크에, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트 400부, PGMAc 100부, N,N-디메틸벤질아민 0.5부를 투입하고, 70℃로 승온하고, 적하관으로부터 톨루엔디이소시아네이트 66부와 PGMAc 66부의 혼합물을 2시간 걸쳐 적하했다. 적하 후, 50 ∼ 70℃의 온도에서 8시간 반응시켜, IR에 의해 2180㎝-1의 이소시아네이트의 흡수의 소실을 확인했다. 그 다음에, 메르캅토아세트산 35부, 4-메톡시페놀 0.6부를 투입하고, 50 ∼ 60℃의 온도에서 6시간 반응시켜, 산성기 및 우레탄 결합을 갖는 중합성 화합물(B2-8)을 얻었다. 불휘발분이 50질량%가 되도록 PGMAc를 더했다.400 parts of dipentaerythritol pentaacrylate, 100 parts of PGMAc, and 0.5 part of N,N-dimethylbenzylamine were added to a five-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, nitrogen inlet pipe, thermometer, and dropping pipe, and heated to 70°C. The temperature was raised, and a mixture of 66 parts of toluene diisocyanate and 66 parts of PGMAc was added dropwise from the dropping tube over 2 hours. After dripping, it was made to react at the temperature of 50-70 degreeC for 8 hours, and disappearance of the isocyanate absorption of 2180 cm <-1> was confirmed by IR. Then, 35 parts of mercaptoacetic acid and 0.6 part of 4-methoxyphenol were added and reacted at a temperature of 50 to 60°C for 6 hours to obtain a polymerizable compound (B2-8) having an acidic group and a urethane bond. PGMAc was added so that the non-volatile content might be 50% by mass.

<착색제(E)의 제조><Manufacture of coloring agent (E)>

(미세화된 청색 안료(E-2))(micronized blue pigment (E-2))

C.I.피그먼트 블루 15:6을 100부, 염화나트륨 1,000부 및 디에틸렌글리콜 100부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조)에 투입하고, 50℃에서 12시간 혼련했다. 이 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 약 70℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 약 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조하고, 분쇄함으로써 미세화된 청색 안료(E-2)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Blue 15:6, 1,000 parts of sodium chloride and 100 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 50°C for 12 hours. This mixture was added to 3,000 parts of hot water, stirred with a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70 ° C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80 ° C for 24 hours. By drying and pulverizing, a micronized blue pigment (E-2) was obtained.

(미세화된 자색 안료(E-3))(micronized purple pigment (E-3))

C.I.피그먼트 바이올렛 23을 100부, 염화나트륨 1,000부 및 디에틸렌글리콜 100부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조)에 투입하고, 70℃에서 12시간 혼련했다. 이 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 약 70℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 약 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조하고, 분쇄함으로써 미세화된 자색 안료(E-3)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Violet 23, 1,000 parts of sodium chloride and 100 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 70°C for 12 hours. This mixture was added to 3,000 parts of hot water, stirred with a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70 ° C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80 ° C for 24 hours. A micronized purple pigment (E-3) was obtained by drying and pulverizing.

(미세화된 적색 안료(E-4))(micronized red pigment (E-4))

C.I.피그먼트 레드 254를 100부, 염화나트륨 1,200부 및 디에틸렌글리콜 120부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조) 중에 투입하고, 60℃에서 6시간 혼련했다. 다음으로, 혼련한 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 약 80℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과·수세를 하여 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조시키고, 분쇄함으로써 미세화된 적색 안료(E-4)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Red 254, 1,200 parts of sodium chloride and 120 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 60 ° C. for 6 hours. Next, the kneaded mixture was added to 3,000 parts of warm water, stirred with a high-speed mixer for 1 hour while heating to about 80 ° C. to form a slurry, filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then at 80 ° C. It was dried for 24 hours and pulverized to obtain a finely divided red pigment (E-4).

(미세화된 적색 안료(E-5))(micronized red pigment (E-5))

C.I.피그먼트 레드 177을 100부, 염화나트륨 1,200부 및 디에틸렌글리콜 120부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조) 중에 투입하고, 60℃에서 6시간 혼련했다. 다음으로, 이 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 약 80℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과·수세를 하여 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조시키고, 분쇄함으로써 미세화된 적색 안료(E-5)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Red 177, 1,200 parts of sodium chloride and 120 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 60 ° C. for 6 hours. Next, this mixture was added to 3,000 parts of warm water, stirred with a high-speed mixer for 1 hour while heating to about 80 ° C. to form a slurry, filtered and washed with water to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated to 24 ° C. It was dried for an hour and then pulverized to obtain a micronized red pigment (E-5).

(미세화된 황색 안료(E-6))(micronized yellow pigment (E-6))

C.I.피그먼트 옐로우 138을 100부, 염화나트륨 1,000부 및 디에틸렌글리콜 100부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조)에 투입하고, 80℃에서 6시간 혼련했다. 이 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 80℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조하고, 분쇄함으로써 미세화된 황색 안료(E-6)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Yellow 138, 1,000 parts of sodium chloride and 100 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 80°C for 6 hours. This mixture was added to 3,000 parts of hot water, stirred with a high-speed mixer for 1 hour while heating at 80 ° C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then dried at 80 ° C for 24 hours. , to obtain a micronized yellow pigment (E-6) by pulverization.

(미세화된 황색 안료(E-7))(micronized yellow pigment (E-7))

C.I.피그먼트 옐로우 139를 100부, 염화나트륨 800부 및 디에틸렌글리콜 100부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조)에 투입하고, 70에서 12시간 혼련했다. 이 혼합물을 온수 3,000부에 투입하고, 약 70℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 약 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 24시간 건조하고, 분쇄함으로써 미세화된 황색 안료(E-7)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Yellow 139, 800 parts of sodium chloride and 100 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 70°C for 12 hours. This mixture was added to 3,000 parts of hot water, stirred with a high-speed mixer for about 1 hour while heating to about 70 ° C to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then kept at 80 ° C for 24 hours. By drying and pulverizing, a micronized yellow pigment (E-7) was obtained.

(미세화된 녹색 안료(E-8))(micronized green pigment (E-8))

C.I.피그먼트 그린 58을 100부, 염화나트륨 1,200부, 및 디에틸렌글리콜 120부를 스테인리스제 1갤런 니더(Inoue Seisakusho Co., Ltd. 제조)에 투입하고, 70℃에서 6시간 혼련했다. 이 혼련물을 3,000부의 온수에 투입하고, 70℃로 가열하면서 하이스피드 믹서로 1시간 교반하여 슬러리상으로 하고, 여과, 수세를 반복해서 염화나트륨 및 디에틸렌글리콜을 제거한 후, 80℃에서 일주야(一晝夜) 건조하고, 분쇄함으로써 미세화된 녹색 안료(E-8)를 얻었다.100 parts of C.I. Pigment Green 58, 1,200 parts of sodium chloride, and 120 parts of diethylene glycol were put into a stainless steel 1 gallon kneader (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.), and kneaded at 70°C for 6 hours. This kneaded material was put into 3,000 parts of warm water, stirred with a high-speed mixer for 1 hour while heating at 70 ° C. to form a slurry, filtered and washed repeatedly to remove sodium chloride and diethylene glycol, and then heated at 80 ° C. overnight ( By drying and pulverizing on one light night, a micronized green pigment (E-8) was obtained.

<분산체의 제조><Preparation of dispersion>

(분산체 1)(Dispersion 1)

하기의 원료를 균일해지도록 교반 혼합한 후, 직경 0.5㎜의 지르코니아 비드를 이용하여, 아이거 밀(Eiger Japan co., ltd 「미니모델 M-250MKII」)로 3시간 분산한 후, 구멍 직경 1.0㎛의 필터로 여과하여, 분산체 1을 제작했다. 유기 용제(D-1)는, PGMAc이다.After stirring and mixing the following raw materials to be uniform, using zirconia beads with a diameter of 0.5 mm, after dispersing in an Eiger mill (Eiger Japan co., ltd "Mini Model M-250MKII") for 3 hours, a hole diameter of 1.0 μm It filtered with a filter of , and produced dispersion 1. The organic solvent (D-1) is PGMAc.

카본 블랙(Mitsubishi Chemical Corporation 제조 #850): 15.0부Carbon black (#850 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation): 15.0 parts

수지(A3-1) 용액: 15.0부Resin (A3-1) solution: Part 15.0

수지(A3-2) 용액: 5.0부Resin (A3-2) solution: Part 5.0

색소 유도체(G-1): 0.5부Pigment Derivative (G-1): 0.5 part

유기 용제(D-1): 64.5부Organic solvent (D-1): Part 64.5

Mitsubishi Chemical Corporation 제조 #850은, 평균 1차 입자경 17㎚, 비표면적 220㎡/g의 카본 블랙이다.#850 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation is carbon black having an average primary particle diameter of 17 nm and a specific surface area of 220 m 2 /g.

색소 유도체(G-1): 하기 구조Pigment Derivative (G-1): Structure shown below

[화 7][Tue 7]

Figure pat00009
Figure pat00009

(분산체 2 ∼ 8)(Dispersion 2-8)

표 3에 기재한 원료, 양을 바꾼 것 이외에는, 분산체 1과 마찬가지로 하여 분산체 2 ∼ 8을 제작했다.Dispersions 2 to 8 were produced in the same manner as in Dispersion 1, except that the raw materials and amounts described in Table 3 were changed.

[표 3][Table 3]

Figure pat00010
Figure pat00010

표 3의 색소 유도체(G-2): 하기 구조Pigment derivative (G-2) of Table 3: the following structure

[화 8][Tue 8]

Figure pat00011
Figure pat00011

표 3의 색소 유도체(G-3): 하기 구조Pigment derivative (G-3) of Table 3: the following structure

[화 9][Tue 9]

Figure pat00012
Figure pat00012

표 3의 색소 유도체(G-4): 하기 구조Pigment derivative (G-4) of Table 3: the following structure

[화 10][Tue 10]

Figure pat00013
Figure pat00013

<감광성 조성물의 제조><Preparation of photosensitive composition>

[실시예 1][Example 1]

(감광성 조성물 1)(Photosensitive composition 1)

이하의 원료를 혼합, 교반하고, 구멍 직경 1.0㎛의 필터로 여과하여 감광성 조성물 1을 얻었다.The following raw materials were mixed and stirred, and filtered with a filter having a pore diameter of 1.0 µm to obtain the photosensitive composition 1.

분산체 2: 32.0부Dispersion 2: Part 32.0

분산체 3: 2.0부Dispersion 3: Part 2.0

수지(A1-2) 용액: 5.0부Resin (A1-2) solution: Part 5.0

중합성 화합물(B1-1): 1.0부Polymerizable compound (B1-1): Part 1.0

중합성 화합물(B2-1): 4.0부Polymerizable compound (B2-1): Part 4.0

광중합개시제(C-1): 0.4부Photopolymerization initiator (C-1): 0.4 parts

증감제(F): 0.6부Sensitizer (F): 0.6 part

레벨링제(M): 1.0부Leveling agent (M): Part 1.0

유기 용제(D): 54.0부Organic Solvent (D): Part 54.0

[실시예 2 ∼ 58, 비교예 1][Examples 2 to 58, Comparative Example 1]

(감광성 조성물 2 ∼ 59)(Photosensitive compositions 2 to 59)

실시예 1의 감광성 조성물 1을, 표 4-1 ∼ 표 4-6에 기재한 원료, 양으로 바꾼 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 하여 감광성 조성물 2 ∼ 59를 제작했다.Photosensitive compositions 2 to 59 were produced in the same manner as in Example 1, except that the photosensitive composition 1 of Example 1 was changed to the raw materials and amounts described in Tables 4-1 to 4-6.

[표 4-1][Table 4-1]

Figure pat00014
Figure pat00014

[표 4-2][Table 4-2]

Figure pat00015
Figure pat00015

[표 4-3][Table 4-3]

Figure pat00016
Figure pat00016

[표 4-4][Table 4-4]

Figure pat00017
Figure pat00017

[표 4-5][Table 4-5]

Figure pat00018
Figure pat00018

[표 4-6][Table 4-6]

Figure pat00019
Figure pat00019

표 4-1 ∼ 표 4-6에 기재한 각각의 원료에 대해서는, 이하와 같다.About each raw material described in Table 4-1 - Table 4-6, it is as follows.

[중합성 화합물(B)][Polymerizable compound (B)]

(중합성 화합물(B1))(Polymerizable compound (B1))

B1-1: Aronix MT-3041(TOAGOSEI CO., LTD. 제조 수산기 함유)B1-1: Aronix MT-3041 (containing hydroxyl group manufactured by TOAGOSEI CO., LTD.)

B1-2: Aronix MT-3042(TOAGOSEI CO., LTD. 제조 수산기 함유)B1-2: Aronix MT-3042 (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., containing hydroxyl groups)

B1-4: 트리스(아크릴로일옥시에틸)아민B1-4: tris (acryloyloxyethyl) amine

(중합성 화합물(B2))(Polymerizable compound (B2))

B2-1: Etercure6361-100(Eternal Materials사 제조, 평균 아크릴로일기 수 8의 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물)B2-1: Etercure6361-100 (manufactured by Eternal Materials, a polymeric compound having a hyperbranched structure with an average number of acryloyl groups of 8)

B2-2: CN2303(SARTOMER사 제조, 평균 아크릴로일기 수 6의 하이퍼브랜치 구조를 갖는 중합성 화합물)B2-2: CN2303 (manufactured by SARTOMER, a polymerizable compound having a hyperbranched structure with an average number of acryloyl groups of 6)

B2-3: Etercure6363(Eternal Materials사 제조, 평균 아크릴로일기 수 16의 하이퍼브랜치 구조를 갖는 화합물)B2-3: Etercure6363 (manufactured by Eternal Materials, a compound having a hyperbranched structure with an average number of acryloyl groups of 16)

B2-4: MiramerSP-1106(Miwon Specialty Chemical Co., Ltd 제조, 평균 아크릴로일기 수 18의 덴드리머 구조를 갖는 중합성 화합물)B2-4: MiramerSP-1106 (manufactured by Miwon Specialty Chemical Co., Ltd, a polymerizable compound having a dendrimer structure with an average number of acryloyl groups of 18)

B2-5: Viscoat #1000LT(OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD 제조, 평균 아크릴로일기 수 14의 덴드리머 구조를 갖는 중합성 화합물)B2-5: Viscoat #1000LT (manufactured by OSAKA ORGANIC CHEMICAL INDUSTRY LTD., a polymerizable compound having a dendrimer structure with an average number of acryloyl groups of 14)

B2-6: Aronix M-402(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, 디펜타에리트리톨펜타아크릴레이트와 디펜타에리트리톨헥사아크릴레이트의 혼합물 수산기 함유)B2-6: Aronix M-402 (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., containing a hydroxyl group of a mixture of dipentaerythritol pentaacrylate and dipentaerythritol hexaacrylate)

B2-7: Aronix M-520(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, 산성기를 갖는 5관능의 아크릴레이트)B2-7: Aronix M-520 (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., a pentafunctional acrylate having an acidic group)

B2-9: Aronix M-309(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, 트리메틸올프로판트리아크릴레이트)B2-9: Aronix M-309 (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., trimethylolpropane triacrylate)

B2-10: Aronix M-306(TOAGOSEI CO., LTD. 제조, 펜타에리트리톨트리아크릴레이트와 펜타에리트리톨테트라아크릴레이트의 혼합물 수산기 함유)B2-10: Aronix M-306 (manufactured by TOAGOSEI CO., LTD., containing a hydroxyl group of a mixture of pentaerythritol triacrylate and pentaerythritol tetraacrylate)

[광중합개시제(C)][Photoinitiator (C)]

C-1: 상술한 화학식(8)의 광중합개시제C-1: photopolymerization initiator of the above formula (8)

C-2: 상술한 화학식(9)의 광중합개시제C-2: photopolymerization initiator of the above formula (9)

C-3: 상술한 화학식(10)의 광중합개시제C-3: photopolymerization initiator of the above-mentioned formula (10)

C-4: Omnirad369E(IGMResins사 제조, 아세토페논계 화합물)C-4: Omnirad369E (manufactured by IGMResins, an acetophenone compound)

[유기 용제(D)][Organic Solvent (D)]

D-1: 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트 30부D-1: 30 parts of propylene glycol monomethyl ether acetate

D-2: 시클로헥산온 30부D-2: 30 parts of cyclohexanone

D-3: 3-에톡시프로피온산에틸 10부D-3: 10 parts of ethyl 3-ethoxypropionate

D-4: 프로필렌글리콜모노메틸에테르 10부D-4: 10 parts of propylene glycol monomethyl ether

D-5: 시클로헥산올아세테이트 10부D-5: 10 parts of cyclohexanol acetate

D-6: 디프로필렌글리콜메틸에테르아세테이트 10부D-6: 10 parts of dipropylene glycol methyl ether acetate

이상, (D-1) ∼ (D-6)을 각각 상기 질량부로 혼합하고, 유기 용제(D)로 했다.In the above, (D-1) to (D-6) were respectively mixed in the above parts by mass to obtain the organic solvent (D).

[증감제(F)][sensitizer (F)]

F-1: KAYACURE DETX-S(Nippon Kayaku Co., Ltd. 제조, 티오잔톤계 화합물)F-1: KAYACURE DETX-S (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., thioxanthone-based compound)

F-2: CHEMARKDEABP(Chemark Chemical사 제조, 벤조페논계 화합물)F-2: CHEMARKDEABP (manufactured by Chemark Chemical, benzophenone-based compound)

이상, (F-1) 및 (F-2)를 각각 동량(同量)으로 혼합하고, 증감제(F)로 했다.As mentioned above, (F-1) and (F-2) were mixed in the same quantity, respectively, and it was set as the sensitizer (F).

[레벨링제(M)][Leveling agent (M)]

M-1: BYK-330(BYK JAPAN KK. 제조, 실리콘 계면활성제)M-1: BYK-330 (manufactured by BYK JAPAN KK., silicone surfactant)

M-2: 메가팍 F-551(DIC Corporation 제조, 불소계 계면활성제)M-2: Megafac F-551 (manufactured by DIC Corporation, fluorine-based surfactant)

이상, (M-1) 및 (M-2)를 각각 1부 혼합하고, PGMAc 98부에 용해시킨 혼합 용액을 레벨링제(M)로 했다.As mentioned above, each 1 part of (M-1) and (M-2) was mixed, and the mixed solution which melt|dissolved in 98 parts of PGMAc was used as the leveling agent (M).

[열경화성 화합물(H)][Thermosetting compound (H)]

H-1: EHPE-3150(Daicel Corporation 제조, 에폭시 화합물)H-1: EHPE-3150 (manufactured by Daicel Corporation, epoxy compound)

H-2: DENACOL EX-611(Nagase Chemtex Corporation 제조, 에폭시 화합물)H-2: DENACOL EX-611 (manufactured by Nagase Chemtex Corporation, epoxy compound)

<감광성 조성물의 평가><Evaluation of photosensitive composition>

얻어진 감광성 조성물 1 ∼ 49(실시예 1 ∼ 48, 비교예 1)에 대해서, 패턴 형성성, 내용제성의 평가를 하기의 방법으로 행했다. 평가 결과를 표 5에 나타낸다.About the obtained photosensitive compositions 1-49 (Examples 1-48, Comparative Example 1), pattern formation property and solvent resistance were evaluated by the following method. Table 5 shows the evaluation results.

[패턴 형성성 평가: 밀착성][Evaluation of pattern formation: adhesion]

얻어진 감광성 조성물을, 스핀 코팅법에 의해 종 100㎜ × 횡 100㎜, 0.7㎜ 두께의 유리 기판(Corning Inc. 제조 EAGLE 2000)에, 건조 후의 막두께가 2.0㎛가 되도록 도공하고, 70℃ 1분간 핫플레이트로 건조했다. 그 다음에, 이 기판을 실온에 냉각 후, 고압 수은등 램프를 이용하여, 폭 5 ∼ 25㎛까지 5㎛ 폭 간격의 스트라이프 패턴의 포토마스크를 개재하여 조도 30mW/㎠, 50mJ/㎠로 노광했다. 그 후, 이 기판을 23℃의 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 포함하는 수계 현상액을 이용하여 스프레이 현상한 후, 이온 교환수로 세정, 풍건했다. 스프레이 현상은, 각각의 감광성 조성물에서의 피막에 대해서, 현상 남김 없이 패턴 형성 가능한 최단 시간에 행했다.The obtained photosensitive composition was applied to a glass substrate (EAGLE 2000 manufactured by Corning Inc.) having a length of 100 mm × a width of 100 mm and a thickness of 0.7 mm by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm, and the composition was heated at 70° C. for 1 minute. dried on a hot plate. Then, after cooling the substrate to room temperature, it was exposed to light at an illuminance of 30 mW/cm 2 and 50 mJ/cm 2 using a high pressure mercury lamp through a photomask having a stripe pattern of 5 μm to 25 μm in width at intervals of 5 μm. Thereafter, the substrate was subjected to spray development using an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 23°C, followed by washing with ion-exchanged water and air drying. Spray development was performed in the shortest time possible for pattern formation without leaving development on the film in each photosensitive composition.

얻어진 기판의 폭 5, 10, 15, 20, 및 25㎛의 패턴에 대해서, 광학 현미경으로 관찰하여, 잔존한 패턴의 최소 선폭을 확인했다. 평가 기준은, 이하와 같으며, 3 이상을 실용 가능으로 한다.The patterns of the resulting substrates having a width of 5, 10, 15, 20, and 25 μm were observed under an optical microscope to confirm the minimum line width of the remaining pattern. The evaluation criteria are as follows, and three or more are considered practical.

5: 10㎛ 이하의 세선(細線)이 잔존해 있다.5: A thin wire of 10 μm or less remains.

4: 15㎛ 이상의 세선이 잔존해 있다.4: Fine lines of 15 μm or more remain.

3: 20㎛ 이상의 세선이 잔존해 있다.3: Fine wires of 20 μm or more remain.

2: 25㎛의 세선이 잔존해 있다.2: A thin wire of 25 µm remains.

1: 세선이 잔존해 있지 않다.1: Fine lines do not remain.

[내용제성 평가(1): 130℃ 포스트베이크][Evaluation of solvent resistance (1): post-bake at 130 ° C]

얻어진 감광성 조성물을, 스핀 코팅법에 의해 종 100㎜ × 횡 100㎜, 0.7㎜두께의 유리 기판(Corning Inc. 제조 EAGLE 2000)에, 건조 후의 막두께가 2.0㎛가 되도록 도공하고, 70℃ 1분간 핫플레이트로 건조했다. 그 다음에, 이 기판을 실온에 냉각 후, 고압 수은등 램프를 이용하여, 조도 30mW/㎠, 50mJ/㎠로, 100㎛ 폭 스트라이프 패턴의 포토마스크를 개재하여 자외선을 노광했다. 또한, 이 기판을 실온에 냉각 후, 23℃의 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 포함하는 수계 현상액을 이용하여, 스프레이 현상한 후, 이온 교환수로 세정, 풍건했다. 그 후, 클린 오븐에서, 130℃ 60분간 포스트베이크하여 평가용 기판을 얻었다.The obtained photosensitive composition was coated on a glass substrate (EAGLE 2000 manufactured by Corning Inc.) having a length of 100 mm × a width of 100 mm and a thickness of 0.7 mm by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm, and the composition was heated at 70° C. for 1 minute. dried on a hot plate. Then, after cooling this board|substrate to room temperature, it exposed to ultraviolet rays using the high-pressure mercury-vapor lamp lamp at the illumination intensity of 30 mW/cm<2>, 50 mJ/cm<2>, through the photomask of the 100 micrometer width stripe pattern. Further, after cooling the substrate to room temperature, spray development was performed using an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 23°C, followed by washing with ion-exchanged water and air drying. Thereafter, in a clean oven, it was postbaked at 130°C for 60 minutes to obtain a substrate for evaluation.

얻어진 평가용 기판을, 실온에서 15분간 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트에 침지 후, 이온 교환수로 세정, 풍건하여, 폭 100㎛의 스트라이프 패턴 부분에 대해서 광학 현미경을 이용하여 관찰했다. 평가 기준은, 이하와 같으며, 3 이상을 실용 가능으로 한다.The obtained substrate for evaluation was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate at room temperature for 15 minutes, then washed with ion-exchanged water and air-dried, and a stripe pattern portion having a width of 100 μm was observed using an optical microscope. The evaluation criteria are as follows, and three or more are considered practical.

5: 외관, 색에 변화가 없다.5: No change in appearance or color.

4: 근소하게 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.4: Although wrinkles etc. occur slightly, there is no change in color.

3: 일부에 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.3: Wrinkles and the like occur in parts, but there is no change in color.

2: 전면에 주름 등이 발생하고, 조금 퇴색된다.2: Wrinkles and the like occur on the entire surface, and the color is slightly faded.

1: 벗겨짐이나 퇴색이 발생.1: Peeling or discoloration occurred.

[내용제성 평가(2): 100℃ 포스트베이크][Evaluation of solvent resistance (2): 100 ° C post-bake]

얻어진 감광성 조성물을, 스핀 코팅법에 의해 종 100㎜ × 횡 100㎜, 0.7㎜ 두께의 유리 기판(Corning Inc. 제조 EAGLE 2000)에, 건조 후의 막두께가 2.0㎛가 되도록 도공하고, 70℃ 1분간 핫플레이트로 건조했다. 그 다음에, 이 기판을 실온에 냉각 후, 고압 수은등 램프를 이용하여, 조도 30mW/㎠, 50mJ/㎠로, 100㎛ 폭 스트라이프 패턴의 포토마스크를 개재하여 자외선을 노광했다. 또한, 이 기판을 실온에 냉각 후, 23℃의 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 포함하는 수계 현상액을 이용하여 스프레이 현상한 후, 이온 교환수로 세정, 풍건했다. 그 후, 클린 오븐에서, 100℃ 60분간 포스트베이크하여 평가용 기판을 얻었다. 얻어진 평가용 기판을, 실온에서 15분간 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트에 침지 후, 이온 교환수로 세정, 풍건하여, 폭 100㎛의 스트라이프 패턴 부분에 대해서 광학 현미경을 이용하여 관찰했다. 평가 기준은, 이하와 같으며, 3 이상을 실용 가능으로 한다.The obtained photosensitive composition was applied to a glass substrate (EAGLE 2000 manufactured by Corning Inc.) having a length of 100 mm × a width of 100 mm and a thickness of 0.7 mm by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm, and the composition was heated at 70° C. for 1 minute. dried on a hot plate. Then, after cooling this board|substrate to room temperature, it exposed to ultraviolet rays using the high-pressure mercury-vapor lamp lamp at the illumination intensity of 30 mW/cm<2>, 50 mJ/cm<2>, through the photomask of the 100 micrometer width stripe pattern. Further, after cooling the substrate to room temperature, spray development was performed using an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 23°C, followed by washing with ion-exchanged water and air drying. Thereafter, in a clean oven, it was postbaked at 100°C for 60 minutes to obtain a substrate for evaluation. The obtained substrate for evaluation was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate at room temperature for 15 minutes, then washed with ion-exchanged water and air-dried, and a stripe pattern portion having a width of 100 μm was observed using an optical microscope. The evaluation criteria are as follows, and three or more are considered practical.

5: 외관, 색에 변화가 없다.5: No change in appearance or color.

4: 근소하게 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.4: Although wrinkles etc. occur slightly, there is no change in color.

3: 일부에 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.3: Wrinkles and the like occur in parts, but there is no change in color.

2: 전면에 주름 등이 발생하고, 조금 퇴색된다.2: Wrinkles and the like occur on the entire surface, and the color is slightly faded.

1: 벗겨짐이나 퇴색이 발생.1: Peeling or discoloration occurred.

[내용제성 평가(3): 90℃ 포스트베이크][Evaluation of solvent resistance (3): 90 ° C post-baking]

얻어진 감광성 조성물을, 스핀 코팅법에 의해 종 100㎜ × 횡 100㎜, 0.7㎜ 두께의 유리 기판(Corning Inc. 제조 EAGLE 2000)에, 건조 후의 막두께가 2.0㎛가 되도록 도공하고, 70℃ 1분간 핫플레이트로 건조했다. 그 다음에, 이 기판을 실온에 냉각 후, 고압 수은등 램프를 이용하여, 조도 30mW/㎠, 50mJ/㎠로, 100㎛ 폭 스트라이프 패턴의 포토마스크를 개재하여 자외선을 노광했다. 또한, 이 기판을 실온에 냉각 후, 23℃의 비이온계 계면활성제 0.12%와 수산화칼륨 0.04%를 포함하는 수계 현상액을 이용하여 스프레이 현상한 후, 이온 교환수로 세정, 풍건했다. 그 후, 클린 오븐에서, 90℃ 60분간 포스트베이크하여 평가용 기판을 얻었다. 얻어진 평가용 기판을, 실온에서 15분간 프로필렌글리콜모노메틸에테르아세테이트에 침지 후, 이온 교환수로 세정, 풍건하여, 폭 100㎛의 스트라이프 패턴 부분에 대해서 광학 현미경을 이용하여 관찰했다. 평가 기준은, 이하와 같으며, 3 이상을 실용 가능으로 한다. 평가 기준The obtained photosensitive composition was applied to a glass substrate (EAGLE 2000 manufactured by Corning Inc.) having a length of 100 mm × a width of 100 mm and a thickness of 0.7 mm by spin coating so that the film thickness after drying was 2.0 μm, and the composition was heated at 70° C. for 1 minute. dried on a hot plate. Then, after cooling this board|substrate to room temperature, it exposed to ultraviolet rays using the high-pressure mercury-vapor lamp lamp at the illumination intensity of 30 mW/cm<2>, 50 mJ/cm<2>, through the photomask of the 100 micrometer width stripe pattern. Further, after cooling the substrate to room temperature, spray development was performed using an aqueous developing solution containing 0.12% of a nonionic surfactant and 0.04% of potassium hydroxide at 23°C, followed by washing with ion-exchanged water and air drying. Thereafter, in a clean oven, it was postbaked at 90°C for 60 minutes to obtain a substrate for evaluation. The obtained substrate for evaluation was immersed in propylene glycol monomethyl ether acetate at room temperature for 15 minutes, then washed with ion-exchanged water and air-dried, and a stripe pattern portion having a width of 100 μm was observed using an optical microscope. The evaluation criteria are as follows, and three or more are considered practical. Evaluation standard

6: 외관, 색에 변화가 없다.6: No change in appearance or color.

5: 극히 근소하게 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.5: Although wrinkles etc. occur very slightly, there is no change in color.

4: 근소하게 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.4: Although wrinkles etc. occur slightly, there is no change in color.

3: 일부에 주름 등이 발생하지만, 색에 변화는 없다.3: Wrinkles and the like occur in parts, but there is no change in color.

2: 전면에 주름 등이 발생하고, 조금 퇴색된다.2: Wrinkles and the like occur on the entire surface, and the color is slightly faded.

1: 벗겨짐이나 퇴색이 발생.1: Peeling or discoloration occurs.

[표 5][Table 5]

Figure pat00020
Figure pat00020

Claims (12)

수지(A), 중합성 화합물(B), 광중합개시제(C) 및 유기 용제(D)를 포함하는 감광성 조성물로서,
상기 수지(A)는, 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1) 및 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 갖는 바인더 수지(A1)를 포함하고,
상기 중합성 화합물(B)은, 산성기 또는 수산기를 갖고 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 포함하는, 감광성 조성물.
A photosensitive composition comprising a resin (A), a polymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and an organic solvent (D),
The resin (A) includes a binder resin (A1) having a block isocyanate group-containing monomeric unit (a1) and an acidic group-containing monomeric unit (a2),
The photosensitive composition in which the said polymeric compound (B) contains the polymeric compound (B1) which has an acidic group or a hydroxyl group, and has three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure.
제1항에 있어서,
상기 중합성 화합물(B)은, 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1) 이외의 중합성 화합물(B2)을 포함하는, 감광성 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive composition in which the said polymeric compound (B) contains polymeric compounds (B2) other than the polymeric compound (B1) which has three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure.
제2항에 있어서,
상기 중합성 화합물(B2)은, 4개 이상의 (메타)아크릴로일기를 갖는 중합성 화합물을 포함하는, 감광성 조성물.
According to claim 2,
The photosensitive composition in which the said polymeric compound (B2) contains the polymeric compound which has 4 or more (meth)acryloyl groups.
제1항에 있어서,
상기 바인더 수지(A1)는 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 전체 구성 단위 중, 1 ∼ 50몰% 포함하는, 감광성 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive composition in which the said binder resin (A1) contains 1-50 mol% of block isocyanate group containing monomeric units (a1) in all structural units.
제1항에 있어서,
상기 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)의 함유량은, 상기 중합성 화합물(B) 100질량% 중, 5 ∼ 80질량%인, 감광성 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive composition in which content of the polymeric compound (B1) which has three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure is 5-80 mass % in 100 mass % of the said polymeric compound (B).
제1항에 있어서,
착색제(E)를 포함하는, 감광성 조성물.
According to claim 1,
A photosensitive composition comprising a colorant (E).
제1항에 있어서,
상기 수지(A)는 분산 수지(A3)를 더 포함하는, 감광성 조성물.
According to claim 1,
The photosensitive composition, wherein the resin (A) further comprises a dispersion resin (A3).
노광 및 온도 130℃ 이하의 포스트베이크에 의해 얻어지는 경화막의 형성에 사용하는 감광성 조성물로서,
상기 감광성 조성물은, 수지(A), 중합성 화합물(B), 광중합개시제(C) 및 유기 용제(D)를 포함하고,
상기 수지(A)는, 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1) 및 산성기 함유 단량체 단위(a2)를 갖는 바인더 수지(A1)를 포함하며, 또한 블록 이소시아네이트기 함유 단량체 단위(a1)를 바인더 수지(A1)의 전체 구성 단위 중, 1 ∼ 50몰%포함하고,
상기 중합성 화합물(B)은, 산성기 또는 수산기를 갖고 3개 이상의 (메타)아크릴로일기 및 아민 구조를 갖는 중합성 화합물(B1)을 포함하는, 감광성 조성물.
As a photosensitive composition used for formation of a cured film obtained by exposure and post-baking at a temperature of 130 ° C. or lower,
The photosensitive composition contains a resin (A), a polymerizable compound (B), a photopolymerization initiator (C) and an organic solvent (D),
The resin (A) includes a binder resin (A1) having a block isocyanate group-containing monomer unit (a1) and an acidic group-containing monomer unit (a2), and the block isocyanate group-containing monomer unit (a1) is a binder resin ( 1 to 50 mol% of all structural units of A1),
The photosensitive composition in which the said polymeric compound (B) contains the polymeric compound (B1) which has an acidic group or a hydroxyl group, and has three or more (meth)acryloyl groups and an amine structure.
제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 감광성 조성물의 경화물인, 경화막.A cured film that is a cured product of the photosensitive composition according to any one of claims 1 to 8. 제9항에 기재된 경화막을 갖는, 광학 필터.An optical filter comprising the cured film according to claim 9. 제10항에 기재된 광학 필터를 갖는, 화상 표시 장치.An image display device comprising the optical filter according to claim 10 . 제10항에 기재된 광학 필터를 갖는, 고체 촬상 소자.A solid-state imaging device comprising the optical filter according to claim 10 .
KR1020220126397A 2021-10-12 2022-10-04 Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, picture display unit and solid-state imaging device KR20230052225A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021167114A JP7272397B2 (en) 2021-10-12 2021-10-12 Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, image display device and solid-state imaging device
JPJP-P-2021-167114 2021-10-12

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230052225A true KR20230052225A (en) 2023-04-19

Family

ID=85957050

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220126397A KR20230052225A (en) 2021-10-12 2022-10-04 Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, picture display unit and solid-state imaging device

Country Status (4)

Country Link
JP (2) JP7272397B2 (en)
KR (1) KR20230052225A (en)
CN (1) CN115981098A (en)
TW (1) TW202315919A (en)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014142582A (en) 2012-12-26 2014-08-07 Jsr Corp Coloring composition, color filter and display element
JP2021103295A (en) 2019-12-24 2021-07-15 住友化学株式会社 Colored resin composition
JP2021102759A (en) 2019-12-20 2021-07-15 Jsr株式会社 Colored composition, colored cured film and method for producing the same, color filter, display element, light receiving-element, and curable composition

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09179297A (en) * 1995-12-22 1997-07-11 Mitsubishi Chem Corp Photopolymerizable composition
JP5339781B2 (en) 2008-05-30 2013-11-13 富士フイルム株式会社 Colored curable composition, color filter, and solid-state imaging device
JP5274151B2 (en) 2008-08-21 2013-08-28 富士フイルム株式会社 Photosensitive resin composition, color filter, method for producing the same, and solid-state imaging device
JP2020020925A (en) 2018-07-31 2020-02-06 東洋インキScホールディングス株式会社 Colored composition for color filter and color filter
JP7375330B2 (en) 2019-04-24 2023-11-08 東洋インキScホールディングス株式会社 Colored compositions, photosensitive coloring compositions, color filters, and liquid crystal display devices
KR102449532B1 (en) 2019-07-30 2022-09-29 히가시야마 필름 가부시키가이샤 anti-reflection film

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014142582A (en) 2012-12-26 2014-08-07 Jsr Corp Coloring composition, color filter and display element
JP2021102759A (en) 2019-12-20 2021-07-15 Jsr株式会社 Colored composition, colored cured film and method for producing the same, color filter, display element, light receiving-element, and curable composition
JP2021103295A (en) 2019-12-24 2021-07-15 住友化学株式会社 Colored resin composition

Also Published As

Publication number Publication date
TW202315919A (en) 2023-04-16
JP2023086757A (en) 2023-06-22
CN115981098A (en) 2023-04-18
JP2023057578A (en) 2023-04-24
JP7272397B2 (en) 2023-05-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5446423B2 (en) Coloring composition, color filter and color liquid crystal display element
KR101883596B1 (en) Black photo sensitive resin composition, a color filter comprising a column spacer, a black metrics or a black column spacer prepared by using the composition, and a display device comprising the color filter
JP2010262027A (en) Colored radiation-sensitive composition, color filter and color liquid crystal display element
TW202302659A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state imaging device capable of suppressing water stain on a film after image development and forming an excellent pattern, and having good heat resistance
KR20230052225A (en) Photosensitive composition, cured film using the same, optical filter, picture display unit and solid-state imaging device
KR101910734B1 (en) Colored photo sensitive resin composition, a color filter comprising the same, and a display devide comprising the color filter
JP7448757B1 (en) Photosensitive compositions, films, optical filters, solid-state imaging devices, image display devices, and infrared sensors
JP7397269B1 (en) Photosensitive compositions, optical filters, solid-state imaging devices, image display devices, and infrared sensors
JP7267532B1 (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state imaging device
JP7267533B1 (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state imaging device
JP2024023129A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device and solid state image sensor
KR102508343B1 (en) A colored photo sensitive resin composition, a color filter comprising the same, and a display devide comprising the color filter
JP2023089820A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device and solid state image sensor
JP2023109541A (en) Curable composition, cured film using the same, optical filter, image display device, solid imaging element, and infrared sensor
JP2023180607A (en) Resin composition, and film, optical filter, solid state image sensor, image display device, and infrared sensor, each including the same
JP2024000587A (en) Photosensitive coloring composition, and film, color filter, solid state image sensor, and image display device each including the same
JP2023157137A (en) Resin composition, and film, optical filter, solid state image sensor, and infrared sensor each including the resin composition
JP2024064331A (en) Photosensitive coloring composition, optical filter, image display device, and solid-state image pickup device
JP2022099839A (en) Photosensitive coloring composition, color filter using the same, image display device, and solid state imaging element
JP2023074038A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state image sensor
TW202409615A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device, and solid-state imaging device
JP2023060391A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device and solid-state imaging device
JP2024049908A (en) Photosensitive composition, optical filter, solid-state image pickup device, image display device, and infrared sensor
JP2024059150A (en) Photosensitive composition, optical filter, image display device and solid-state image pickup device
JP2024033691A (en) Colored composition, film using the same, color filter, solid-state imaging device, and image display device