KR20230049359A - 기판 이송 장치 - Google Patents
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Abstract
일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징, 및 상기 하우징 내에서 상기 기판을 고정하는 기판 고정 구조체를 포함하는 기판 이송 장치를 제공하되, 상기 기판 고정 구조체는 상기 하우징의 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 하부면 상으로 연장되고, 상기 기판 아래의 제 1 고정 단자를 포함하는 하부 지지부 및 상기 하우징의 상기 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 일측으로 연장되고, 제 2 고정 단자를 포함하는 상부 지지부를 포함하고, 상기 상부 지지부의 작동에 의해, 상기 제 2 고정 단자는 상기 기판 상으로 이동되어 상기 기판의 상부면과 접하고, 상기 기판을 사이에 두고 상기 제 1 고정 단자와 중첩되고, 상기 상부 지지부의 연장부는 상기 하우징을 관통하여 상기 하우징의 외측면 상으로 돌출될 수 있다.
Description
본 발명은 기판 이송 장치에 관한 것으로, 상세하게는 자동 반송 시스템의 기판 이송 장치에 관한 것이다.
반도체, 액정 등의 제조 설비에서, 공정에 사용되는 물품(예를 들어, 웨이퍼 또는 기판)이 격납되어 있는 캐리어 등은 제조 프로세스에 따라 제조 장치와 보관 설비의 사이에서 반송된다. 이러한 제조 공정 내의 물품 반송을 위하여 자동 재료 취급 시스템(AMHS)이 제조 설비에서 주로 채용되어 있다. 반송 시스템으로서는, 천장에 매달린 궤도상을 주행해서 피반송물을 반송하는 OHT(Overhead Hoist Transport) 시스템과 OHS(Over Head Shuttle) 시스템 및 마루 위를 자동 주행하는 반송 대차를 채용한 반송 시스템을 포함하는, 궤도상을 주행하는 반송 대차에 의한 반송 시스템이 주류가 되고 있다.
반도체 제조 공정은 일반적으로 웨이퍼 이송용 대기로봇이 로드 포트(load port)에 놓인 FOUP(front opening unified pod)이나 공정을 수행하는 챔버들 간에 기판을 반송하여 진행된다.
이러한 반송 장치는 기판의 반송을 반복함에 따라 내부 부품에 의한 기판의 마모 또는 기판의 휘어짐(warpage) 등으로 인하여 반송 정밀도가 낮아지거나 불량 및 돌발 고장이 발생할 수 있는데, 이는 결과적으로 반도체 설비 전체의 생산성 저하로 이어질 수 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 수납 안정성이 향상된 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 수납 양이 향상된 기판 이송 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 이상에서 언급한 과제에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징, 및 상기 하우징 내에서 상기 기판을 고정하는 기판 고정 구조체를 포함할 수 있다. 상기 기판 고정 구조체는 상기 하우징의 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 하부면 상으로 연장되고, 상기 기판 아래의 제 1 고정 단자를 포함하는 하부 지지부 및 상기 하우징의 상기 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 일측으로 연장되고, 제 2 고정 단자를 포함하는 상부 지지부를 포함할 수 있다. 상기 상부 지지부의 작동에 의해, 상기 제 2 고정 단자는 상기 기판 상으로 이동되어 상기 기판의 상부면과 접하고, 상기 기판을 사이에 두고 상기 제 1 고정 단자와 중첩될 수 있다. 상기 상부 지지부의 연장부는 상기 하우징을 관통하여 상기 하우징의 외측면 상으로 돌출될 수 있다.
상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징, 상기 하우징의 제 1 내측면에 고정되고, 상기 기판을 아래에서 지지하는 하부 지지부, 및 상기 하우징의 상기 제 1 내측면에 수직한 방향을 축으로 회전 동작이 가능하도록 상기 제 1 내측면에 연결되고, 상기 기판 상으로 연장되는 상부 지지부를 포함할 수 있다. 상기 하부 지지부는 상기 기판의 아래에 위치하는 제 1 고정 단자를 가질 수 있다. 상기 상부 지지부는 상기 기판의 위에 위치하는 제 2 고정 단자를 가질 수 있다. 상기 상부 지지부는 상기 회전 동작에 의해 상기 상부 지지부가 상기 기판과 평면적으로 중첩되지 않는 제 1 동작, 및 상기 제 2 고정 단자가 상기 기판 상으로 이동하여 상기 기판을 상기 하부 지지부로 밀착시키는 제 2 동작을 수행할 수 있다.
상술한 기술적 과제들을 해결하기 위한 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징, 상기 하우징은 서로 인접한 제 1 내측면 및 제 2 내측면을 갖고, 상기 하우징의 상기 제 1 내측면으로부터 상기 기판의 하부면 상으로 연장되는 하부 지지부, 및 상기 하우징의 상기 제 2 내측면으로부터 상기 기판의 상부면 상으로 연장되되, 상기 하우징의 상기 제 2 내측면에 수직한 방향을 축으로 회전 동작이 가능하도록 상기 제 2 내측면에 연결되는 상부 지지부를 포함할 수 있다. 상기 하부 지지부는 상기 기판의 아래에 위치하는 제 1 고정 단자를 가질 수 있다. 상기 상부 지지부는 상기 기판의 위에 위치하는 제 2 고정 단자를 가질 수 있다. 상기 상부 지지부는 상기 회전 동작에 의해 상기 상부 지지부가 상기 기판의 일측으로 이동하는 제 1 동작, 및 상기 상부 지지부가 상기 기판의 상기 상부면 상으로 이동하여, 상기 상부 지지부가 상기 기판의 상기 상부면과 접하는 제 2 동작을 수행할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치는 기판이 보다 견고하게 고정될 수 있으며, 기판의 이송 또는 보관 시 기판의 탈락이 발생하지 않을 수 있다. 또한, 기판을 상하에서 밀착하여 고정함에 따라, 기판의 휘어짐 등의 변형이 방지될 수 있다. 즉, 수납 안정성이 향상된 기판 이송 장치가 제공될 수 있다.
더욱이, 기판을 하부면에서만 지지하는 것이 아니며, 기판의 모서리에서만 지지부들이 제공되기 때문에 고정 구조체의 구조가 단순할 수 있으며, 그 크기가 작을 수 있다. 또한, 기판의 휘어짐을 방지할 수 있는 바, 기판의 휘어짐을 고려한 여분의 공간이 필요하지 않을 수 있으며, 기판들 간의 상하 간격이 작도록 고정 구조체들이 배치될 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치 내에 기판들을 수납할 수 있는 양이 향상될 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 전면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 4는 도 3의 A 영역을 확대 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치의 작동을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 전면도이다.
도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도들이다.
도 4는 도 3의 A 영역을 확대 도시한 도면이다.
도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치의 작동을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 8 및 도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도들이다.
도면들 참조하여 본 발명의 개념에 따른 기판 이송 장치를 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 사시도이다. 도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 전면도이다. 도 3은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도들이다. 도 4는 도 3의 A 영역을 확대 도시한 도면이다. 도 5는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 1 내지 도 5를 참조하여, 기판 이송 장치(10)는 하우징(110), 기판 고정 구조체들(120) 및 도어(130)를 포함할 수 있다.
하우징(110)은 기판 이송 장치(10)의 몸체를 이룰 수 있다. 하우징(110)은 소위 전면 개방형 호환 포드 또는 풉(front opening unified pod: FOUP)이라 지칭되는 카세트(cassette)에 해당할 수 있다. 예를 들어, 하우징(110)은 전체적으로 육면체 형상을 가질 수 있다. 또는, 도시된 바와는 다르게, 하우징(110)은 전체적으로 육면체 형상을 가지되 상부에서 볼 때 후방(개구가 형성된 면의 반대 방향)이 원형 또는 타원형을 이루는 형상을 가지는 용기로 제공될 수 있다. 상기와 같은 하우징(110)의 형태는 기판 이송 장치(10)에 수납되는 기판(SUB)의 형태에 따라 달라질 수 있다. 하우징(110)은 기판(SUB)이 수납되는 내부 공간을 가질 수 있다. 하우징(110)은 후술되는 개구(OP)와 인접하고 서로 대향하는 제 1 내측면(110a) 및 제 2 내측면(110b), 그리고 개구(OP)와 대향하는 제 3 내측면(110c)을 가질 수 있다.
하우징(110) 상에는 오버헤드 트랜스퍼(overhead transfer: OHT)와 같은 풉 이송 장치가 기판 이송 장치(10)를 파지하기 위한 결착 부재(112)가 제공될 수 있다.
하우징(110)의 전면에는 개구(OP)가 제공될 수 있다. 개구(OP)는 사각형 형상일 수 있다. 개구(OP)를 통하여 기판(SUB)이 기판 이송 장치(10)에 수납될 수 있다. 예를 들어, 개구(OP)로는 반송 로봇 등에 의하여 하우징(110) 내로 기판(SUB)이 반입되거나, 또는 하우징(110)으로부터 기판(SUB)이 반출될 수 있다.
도어(130)는 하우징(110)의 개구(OP)를 개폐할 수 있다. 도어(130)는 하우징(110)의 개구(OP)가 형성된 전면에 이탈 가능하도록 설치될 수 있다. 도어(130)는 반송 로봇 또는 로드 포트나 그 외의 반도체 설비에 마련된 도어 오프너(door opener)에 의해 하우징(110)으로부터 이탈되거나 하우징(110)에 장착될 수 있다. 이에 따라 개구(OP)가 개폐될 수 있다.
하우징(110)의 내측 측면에는 기판 고정 구조체(120)가 제공될 수 있다. 기판 고정 구조체(120)는 상부에서 볼 때 하우징(110)의 전면을 제외한 나머지 내측면들 중 적어도 일부 상에 제공될 수 있다. 기판 고정 구조체(120)에는 기판(SUB)이 안착될 수 있다.
기판 이송 장치(10)는 동시에 여러 장의 기판을 수용하기 위해 복수의 기판 고정 구조체들(120)이 상하로 이격되어 제공될 수 있다. 예를 들어, 하우징(110) 내에 25매의 기판들(SUB)을 수용하기 위해 25개의 기판 고정 구조체들(120)이 제공될 수 있다. 도 1 및 도 2에서는 설명의 편의를 위하여, 7개의 기판 고정 구조체들(120)이 제공되는 것을 도시하였으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 이하 하나의 기판 고정 구조체(120)를 기준으로 기판 고정 구조체(120)의 구성을 상세히 설명하도록 한다.
기판 고정 구조체(120)는 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 및 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각에 대응되는 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)를 가질 수 있다.
제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)은 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있으며, 제 1 내측면(110a)에 고정될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)은 제 1 내측면(110a)로부터 제 2 내
측면(110b)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)은 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있으며, 제 2 내측면(110b)에 고정될 수 있다. 즉, 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)은 제 2 내측면(110b)로부터 제 1 내측면(110a)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 2 및 제 4 하부 지지부들(LSP2, LSP4)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 인접하여 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 평면적 관점에서 하우징(110)의 내부 공간의 네 모서리에 각각 인접하여 배치될 수 있다. 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 서로 동일한 레벨에 제공될 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 하우징(110)의 바닥면과 평행한 일 평면 상에 위치할 수 있다. 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각은 일자 또는 직사각형 형태의 평면 형상을 가질 수 있다. 그러나 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 기판(SUB)을 충분히 견고하게 지지할 수 있는 다양한 형태를 가질 수 있다.
제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각은 제 1 고정 단자(LOM1)를 가질 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 일단에 제공될 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)과 먼 쪽의 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)의 일단에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)과 먼 쪽의 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)의 일단에 위치할 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 상부면 상으로 노출될 수 있다. 예를 들어, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 상부면은 그들의 제 1 고정 단자(LOM1)의 상부면과 공면(coplanar)을 이룰 수 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 상부면으로부터 상방으로 돌출되는 형태를 가질 수 있다. 또는, 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 내부에 매립되도록 제공되거나, 또는 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 하부면 상으로 노출될 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 자성을 갖는 자성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 1 고정 단자들(LOM1)은 자석일 수 있다. 상기 제 1 자성은 N극 또는 S극 중 어느 하나일 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 제 1 고정 단자들(LOM1) 각각의 자성이 서로 동일하지 않을 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 각각 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)에 대응될 수 있다.
제 1 및 제 2 상부 지지부들(USP1, USP2)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 및 제 2 상부 지지부들(USP1, USP2)은 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 2 상부 지지부들(USP1, USP2)은 제 1 내측면(110a)로부터 제 2 내측면(110b)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 3 및 제 4 상부 지지부들(USP3, USP4)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 및 제 4 상부 지지부들(USP3, USP4)은 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있다. 즉, 제 3 및 제 4 상부 지지부들(USP3, USP4)은 제 2 내측면(110b)로부터 제 1 내측면(110a)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 인접하여 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 평면적 관점에서 하우징(110)의 내부 공간의 네 모서리에 각각 인접하여 배치될 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 서로 동일한 레벨에 제공될 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 하우징(110)의 바닥면과 평행한 일 평면 상에 위치할 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)보다 높은 레벨에 위치할 수 있다. 평면적 관점에서, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)에 비해 개구(OP)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 평면적 관점에서, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)은 제 2 및 제 4 하부 지지부들(LSP2, LSP4)에 비해 제 3 내측면(110c)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 내측에 위치할 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 기판(SUB)이 수납되는 바, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 기판(SUB)과 개구(OP) 사이를 가로지르도록 연장되고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)은 기판(SUB)과 제 3 내측면(110c) 사이를 가로지르도록 연장될 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각은 회전 가능하도록 하우징(110)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각은 연장부(ETP)을 가질 수 있다. 연장부들(ETP)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 일단으로부터 각각 연장될 수 있다. 제 1 및 제 2 상부 지지부들(USP1, USP2)의 연장부들(ETP)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)을 관통할 수 있다. 제 3 및 제 4 상부 지지부들(USP3, USP4)의 연장부들(ETP)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)을 관통할 수 있다. 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 연장부들(ETP)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)의 연장부들(ETP)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 인접하여 배치될 수 있다.
도 4를 참조하여, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 하우징(110)에 결합되는 것을 보다 상세히 설명한다.
도 3 및 도 4를 참조하여, 하우징(110)의 제 1 내측면(110a) 및 제 2 내측면(110b)에 관통 홀들(TH)이 제공될 수 있다. 관통 홀들(TH)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)에 대응되도록 배치될 수 있다. 관통 홀들(TH)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a) 또는 제 2 내측면(110b)을 완전히 관통하여 하우징(110)의 내부와 하우징(110)의 외부를 연결할 수 있다.
연장부들(ETP) 각각은 하우징(110)에 형성된 관통 홀들(TH)을 관통할 수 있다. 연장부들(ETP)은 각각 제 1 내측면(110a) 또는 제 2 내측면(110b)에 수직한 방향(상기 방향을 도 4에서는 수직 방향(ND)으로 기재하도록 한다.)으로 연장되는 원기둥 형상을 가질 수 있다. 연장부들(ETP)의 형상은 수직 방향(ND)을 축으로 연장부들(ETP)이 회전하기 용이한 다양한 형상을 가질 수 있다.
관통 홀들(TH) 내에는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 연장부들(ETP)이 관통 홀들(TH) 내에서 회전하기 용이하게 하는 회전 구조체들(114, 116)이 제공될 수 있다. 회전 구조체들(114, 116)은 한 쌍의 리테이너 링들(retainer ring, 114) 및 리테이너 링들(114) 사이의 베어링(bearing, 116)을 포함할 수 있다. 리테이너 링들(114) 및 베어링(116)은 하나의 관통 홀(TH) 내에서 그를 관통하는 연장부(ETP)를 둘러쌀 수 있다. 즉, 리테이너 링들(114) 및 베어링(116)은 상기 연장부(ETP)와 상기 관통 홀(TH) 사이의 마찰을 감소시킬 수 있다. 그러나 회전 구조체들(114, 116)의 구성은 이에 한정되지 않을 수 있으며, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전을 보조할 수 있는 다양한 구성들이 제공되거나, 또는 회전 구조체들(114, 116)이 제공되지 않을 수 있다.
연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)는 하우징(110)의 외측면 상으로 돌출될 수 있다. 연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)은 기판 이송 장치(10)의 외부에서 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전 동작을 제어하기 위한 구성일 수 있다. 이하, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전 동작은 뒤에서 도 6 및 도 7을 참조하여 상세히 설명하도록 한다.
도 1 내지 도 5를 다시 참조하여, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각은 회전부(RTP)를 가질 수 있다. 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 타단에 각각 인접할 수 있다. 이때, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 상기 타단은 연장부들(ETP)이 연결되는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 일단에 대향하는 부분일 수 있다. 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)로부터 각각 돌출될 수 있다. 이때, 회전부들(RTP)이 돌출되는 방향은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 연장되는 방향에 수직한 방향일 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각은 L형태의 평면 형상을 가질 수 있다.
회전부들(RTP)은, 도 3에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)로부터 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 대향하는 방향으로 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 개구(OP)를 향하여 연장될 수 있고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)의 회전부들(RTP)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)을 향하는 방향으로 돌출될 수 있다. 이에 따라, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)는 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)와 수직으로 중첩되지 않을 수 있다. 또는, 회전부들(RTP)은, 도 5에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)로부터 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 상방으로 돌출될 수 있다. 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 위치할 수 있다. 보다 상세하게는, 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 각각 위치할 수 있다. 그러나, 회전부들(RTP)이 하우징(110)에 회전 가능하도록 연결됨에 따라, 회전부들(RTP)의 위치는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 동작에 따라 달라지는 것이며, 회전부들(RTP)의 위치가 어느 한 위치로 고정되는 것은 아니다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 수직으로 이격될 수 있다. 예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)보다 높은 레벨에 위치할 수 있다. 기판 이송 장치(10)에 수직한 단면으로 볼 때, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)과 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 사이의 수직 간극(즉, 회전부들(RTP)과 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 사이의 수직 간극)은 기판(SUB)의 두께에 대응될 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)과 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 기판(SUB)을 사이에 두고 기판(SUB)을 고정하기 위한 고정 부재들일 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각은 제 2 고정 단자(LOM2)를 가질 수 있다. 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각의 회전부(RTP)에 제공될 수 있다. 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치할 수 있으며, 제 2 고정 단자들(LOM2) 각각은 그에 대응되는 제 1 고정 단자들(LOM1)과 수직으로 중첩될 수 있다. 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 하부면 상으로 노출될 수 있다. 여기서, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 하부면은 도 3의 도면을 기준으로 하며, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)을 바라보는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)의 일면에 해당할 수 있다. 예를 들어, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP) 각각의 상기 일면은 그들의 제 2 고정 단자(LOM2)의 상부면과 공면(coplanar)을 이룰 수 있다. 그러나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP) 각각의 상기 일면으로부터 돌출되는 형태를 가질 수 있다. 또는, 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP) 각각의 내부에 매립되도록 제공되거나, 또는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP) 각각의 상부면 상으로 노출될 수 있다. 제 2 고정 단자들(LOM2)은 제 2 자성을 갖는 자성 물질을 포함할 수 있다. 예를 들어, 제 2 고정 단자들(LOM2)은 자석일 수 있다. 상기 제 2 자성은 제 1 고정 단자들(LOM1)의 제 1 자성과는 서로 반대되는 자성일 수 있다. 상기 제 2 자성은 N극 또는 S극 중 어느 하나일 수 있다. 다른 실시예들에 따르면, 제 2 고정 단자들(LOM2) 각각의 자성이 서로 동일하지 않을 수 있다. 이 경우, 서로 대향하는 제 1 고정 단자(LOM1) 및 제 2 고정 단자(LOM2)가 서로 다른 자성을 가지면 될 뿐, 제 1 고정 단자들(LOM1) 사이 또는 제 2 고정 단자들(LOM2) 사이에서의 자성은 서로 같거나 또는 다를 수 있다.
회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전 동작에 의해 실질적으로 위치를 이동하는 부분일 수 있다. 일 예로, 도 3에 도시된 바와 같이, 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)로부터 멀어지는 방향에 위치할 수 있다. 이 경우, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 서로 중첩되지 않을 수 있으며, 특히 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 제 2 고정 단자들(LOM2)은 서로 중첩되지 않을 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 연장부들(ETP)을 축으로 회전될 경우, 도 5에 도시된 바와 같이, 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 상방에 위치할 수 있다. 이 경우, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)은 서로 중첩될 수 있으며, 특히 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 제 2 고정 단자들(LOM2)은 수직으로 중첩될 수 있다.
도 6 및 도 7은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치의 작동을 설명하기 위한 평면도들이다.
도 1 및 도 6을 참조하여, 기판 이송 장치(10)는 오버헤드 트랜스퍼 등의 이송 장치 또는 작업자에 의해 로드 포트 등에 안착될 수 있다. 기판 이송 장치(10)가 상기 로드 포트 등에 안착되면, 도어 오프너 등이 하우징(110)으로부터 도어(130)를 탈착시킬 수 있다. 상기와 같이 하우징(110)의 전면 개구(OP)가 개방될 수 있다.
이때, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 1 동작을 수행할 수 있다. 보다 상세하게는, 하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)을 조작하여, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 회전될 수 있다. 상기 제 1 동작에서 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 중첩되지 않도록 이동될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 개구(OP)에 인접하도록 이동될 수 있고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)의 회전부들(RTP)은 제 3 내측면(110c)에 인접하도록 이동될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 위치하지 않을 수 있으며, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 내측의 공간 상에는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 위치하지 않을 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상방의 공간이 오픈될 수 있다.
하우징(110)이 개방되면 하우징(110) 내로 기판(SUB)이 반입될 수 있다. 기판(SUB)은 사각형의 평면 형상을 갖는 패널(panel)일 수 있다. 그러나, 기판(SUB)의 평면 형상이 이에 한정되는 것은 아니다. 기판(SUB)은 반송 로봇(T)에 의해 하우징(110) 내로 반입될 수 있다. 반송 로봇(T)은 개구(OP)를 통하여 반입 완료 지점까지 기판(SUB)을 반입시킬 수 있다.
도 1 및 도 7을 참조하여, 기판(SUB)의 반입이 완료되면 반송 로봇(T)이 정지하여 기판(SUB)의 이동이 정지될 수 있다. 이후, 반송 로봇(T)이 하강하여 기판(SUB)이 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 안착될 수 있다. 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 각각 기판(SUB)의 네 모서리를 지지할 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)은 하우징(110)의 제 1 및 제 2 내측면들(110a, 110b)로부터 기판(SUB)의 하부면 상으로 연장된 형태를 가질 수 있으며, 기판(SUB)의 상기 하부면과 접할 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)보다 하우징(110)에 보다 인접하도록 배치됨에 따라, 반송 로봇(T)에 의한 기판(SUB)의 하강이 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)에 의해 방해받지 않을 수 있다. 다르게 설명하자면, 기판(SUB)이 하강하는 동안, 그리고 기판(SUB)이 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 지지되는 동안, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 기판(SUB)과 평면적으로 중첩되지 않을 수 있다.
도 1, 도 2 및 도 7을 참조하여, 기판(SUB)이 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 안착된 후, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 2 동작을 수행할 수 있다. 보다 상세하게는, 하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)을 조작하여, 도 7에서 화살표로 표시한 바와 같이 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 회전될 수 있다. 상기 제 2 동작에서 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 위치하도록 이동될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 개구(OP)에서 멀어지도록 이동될 수 있고, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2, USP4)의 회전부들(RTP)은 제 3 내측면(110c)에서 멀어지도록 이동될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)이 위치할 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)은 기판(SUB)의 상부면과 접할 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 제 2 동작에 의해 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)의 제 2 고정 단자들(LOM2)은 각각 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치될 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 2 고정 단자들(LOM2)이 서로 다른 자성을 가짐에 따라, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)의 회전부들(RTP)은 서로 끌어당길 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 기판(SUB)을 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)에 밀착시킬 수 있으며, 기판(SUB)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)에 의해 고정될 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따르면, 기판(SUB)이 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 2 고정 단자들(LOM2)을 갖는 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)에 의해 고정될 수 있다. 이에 따라, 기판(SUB)이 보다 견고하게 고정될 수 있으며, 기판의 이송 또는 보관 시 기판(SUB)의 탈락이 발생하지 않을 수 있다. 또한, 기판(SUB)을 상하에서 밀착하여 고정함에 따라, 기판(SUB)의 휘어짐(warpage) 등의 변형이 방지될 수 있다. 즉, 수납 안정성이 향상된 기판 이송 장치(10)가 제공될 수 있다.
더욱이, 기판(SUB)을 하부면에서만 지지하는 것이 아니며, 기판(SUB)의 모서리에서만 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 및 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 제공되기 때문에 고정 구조체(120)의 구조가 단순할 수 있으며, 그 크기가 작을 수 있다. 또한, 기판(SUB)의 휘어짐을 방지할 수 있는 바, 기판(SUB)의 휘어짐을 고려한 여분의 공간이 필요하지 않을 수 있으며, 기판들(SUB) 간의 상하 간격이 작도록 고정 구조체들(120)이 배치될 수 있다. 따라서, 기판 이송 장치(10) 내에 기판들(SUB)을 수납할 수 있는 양이 향상될 수 있다.
도 1 및 도 7을 계속 참조하여, 기판(SUB)이 고정 구조체(120)에 수납 및 고정된 후, 반송 로봇(T)은 하우징(110) 밖으로 이동될 수 있다. 이후, 도어(130)가 하우징(110)을 폐쇄할 수 있다.
도시하지는 않았으나, 기판 이송 장치(10)에서 기판(SUB)을 반출하는 공정은 기판(SUB)을 수납하는 공정의 역순에 해당할 수 있다. 이하, 기판 이송 장치(10)에서 기판(SUB)을 반출하는 공정을 개략적으로 설명하도록 한다.
기판 이송 장치(10)가 상기 로드 포트 등에 안착되면, 도어 오프너 등이 하우징(110)으로부터 도어(130)를 탈착시켜, 하우징(110)의 전면 개구(OP)가 개방될 수 있다.
반송 로봇(T)이 하우징(110) 내로 이동하여 기판(SUB)의 하방에 위치할 수 있다. 이때, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 1 동작을 수행할 수 있다. 일 예로, 하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)을 조작하여, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 회전될 수 있다. 상기 제 1 동작에서 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 중첩되지 않도록 이동될 수 있다. 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상방의 공간이 오픈될 수 있다.
반송 로봇(T)이 상방으로 이동하여 기판(SUB)을 상승시킬 수 있다. 기판(SUB)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)로부터 분리될 수 있다. 기판(SUB)은 반송 로봇(T)에 의해 지지될 수 있다.
기판(SUB)은 반송 로봇(T)에 의해 하우징(110) 외부로 반출될 수 있다. 반송 로봇(T)은 개구(OP)를 통하여 반출 완료 지점까지 기판(SUB)을 반출시킬 수 있다.
기판(SUB)이 반출된 후, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)은 제 2 동작을 수행할 수 있다. 보다 상세하게는, 하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP)의 일부분(ETPa)을 조작하여, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4)이 회전될 수 있다. 상기 제 2 동작에서 회전부들(RTP)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 위치하도록 이동될 수 있다. 상기 제 2 동작은 필요에 따라 수행되지 않을 수 있다.
기판(SUB)이 고정 구조체(120)에 반출된 후, 도어(130)가 하우징(110)을 폐쇄할 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 이하의 실시예들에서, 도 1 내지 도 7을 참조하여 설명된 구성 요소들은 동일한 참조 부호들을 사용하며, 설명의 편의를 위하여 이에 대한 설명들은 생략되거나 간략히 설명한다. 즉, 도 1 내지 도 7의 실시예들과 아래의 실시예들 간의 차이점들을 중심으로 설명한다.
도 8을 참조하여, 기판 고정 구조체(120)는 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 및 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각에 대응되는 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')를 가질 수 있다.
제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)은 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있으며, 제 1 내측면(110a)에 고정될 수 있다. 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)은 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있으며, 제 2 내측면(110b)에 고정될 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 2 및 제 4 하부 지지부들(LSP2, LSP4)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 인접하여 배치될 수 있다.
제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각은 제 1 고정 단자(LOM1)를 가질 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 각각의 일단에 제공될 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)과 먼 쪽의 제 1 및 제 2 하부 지지부들(LSP1, LSP2)의 일단에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)과 먼 쪽의 제 3 및 제 4 하부 지지부들(LSP3, LSP4)의 일단에 위치할 수 있다.
하우징(110) 내로 수납되는 기판(SUB)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)에 의해 지지될 수 있다. 보다 상세하게는, 기판(SUB)은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치할 수 있다.
제 1 상부 지지부(USP1)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 상부 지지부(USP1)는 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있다. 즉, 제 1 상부 지지부(USP1)는 제 1 내측면(110a)로부터 제 2 내측면(110b)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 3 상부 지지부(USP3)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 상부 지지부(USP3)는 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있다. 즉, 제 3 상부 지지부(USP3)는 제 2 내측면(110b)로부터 제 1 내측면(110a)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2', USP4')은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 제공될 수 있다. 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2', USP4')은 제 3 내측면(110c)에 연결될 수 있다. 즉, 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2', USP4)는 제 3 내측면(110c)로부터 개구(OP)를 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 2 상부 지지부(USP2')는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 4 상부 지지부(USP4')는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 인접하여 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')은 평면적 관점에서 하우징(110)의 내부 공간의 네 모서리에 각각 인접하여 배치될 수 있다. 평면적 관점에서, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)에 비해 개구(OP)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 평면적 관점에서, 제 2 상부 지지부(USP2')는 제 2 하부 지지부(LSP2)의 제 1 고정 단자(LOM1)에 비해 제 1 내측면(110a)에 보다 인접하게 배치될 수 있고, 제 4 상부 지지부(USP4')는 제 4 하부 지지부(LSP4)의 제 1 고정 단자(LOM1)에 비해 제 2 내측면(110b)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 내측에 위치할 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 기판(SUB)이 수납되는 바, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 기판(SUB)과 개구(OP) 사이를 가로지르도록 연장되고, 제 2 상부 지지부(USP2')는 기판(SUB)과 제 1 내측면(110a) 사이를 가로지르도록 연장되고, 제 4 상부 지지부(USP4')는 기판(SUB)과 제 2 내측면(110b) 사이를 가로지르도록 연장될 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4') 각각은 회전 가능하도록 하우징(110)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4') 각각은 연장부(ETP, ETP')을 가질 수 있다. 연장부들(ETP, ETP')은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 일단으로부터 연장될 수 있다. 제 1 상부 지지부(USP1)의 연장부(ETP)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)을 관통할 수 있다. 제 3 상부 지지부들(USP3)의 연장부(ETP)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)을 관통할 수 있다. 제 2 및 제 4 상부 지지부들(USP2', USP4')의 연장부들(ETP')은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)을 관통할 수 있다. 하우징(110)의 외부로 돌출되는 연장부들(ETP, ETP')의 일부분(ETPa, ETPa')을 이용하여 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전 동작이 제어될 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4') 각각은 회전부(RTP, RTP')를 가질 수 있다. 회전부들(RTP, RTP') 각각은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2, USP3, USP4) 각각의 일단에 인접할 수 있다. 회전부들(RTP, RTP') 각각은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')로부터 돌출될 수 있다. 이때, 회전부들(RTP, RTP')이 돌출되는 방향은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4') 각각이 연장되는 방향에 수직한 방향일 수 있다. 회전부들(RTP, RTP')은 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')로부터 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)의 제 1 고정 단자들(LOM1)과 대향하는 방향으로 돌출될 수 있다.
하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP, ETP')의 일부분(ETPa, ETPa')을 조작하여, 도 8에서 화살표로 표시한 바와 같이, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')이 회전될 수 있다. 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전에 의해, 회전부들(RTP, RTP')은 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에 위치하도록 이동될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 개구(OP)에서 멀어지도록 이동될 수 있고, 제 2 상부 지지부(USP2')의 회전부(RTP')는 제 1 내측면(110a)에서 멀어지도록 이동될 수 있고, 제 4 상부 지지부(USP4')의 회전부(RTP')는 제 2 내측면(110b)에서 멀어지도록 이동될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상에는 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전부들(RTP, RTP')이 위치할 수 있다.
제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전부들(RTP, RTP')이 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4) 상으로 이동함에 따라, 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전부들(RTP, RTP')의 제 2 고정 단자들(LOM2)은 각각 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치될 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 2 고정 단자들(LOM2)이 서로 다른 자성을 가짐에 따라, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전부들(RTP, RTP')은 서로 끌어당길 수 있다. 즉, 제 1 내지 제 4 하부 지지부들(LSP1, LSP2, LSP3, LSP4)과 제 1 내지 제 4 상부 지지부들(USP1, USP2', USP3, USP4')의 회전부들(RTP, RTP')은 그들 사이에 위치하는 기판(SUB)을 고정할 수 있다.
도 9는 본 발명의 실시예들에 따른 기판 이송 장치를 설명하기 위한 평면도이다. 기판 고정 구조체(120)는 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 및 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 각각에 대응되는 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)를 가질 수 있다.
제 1 하부 지지부(LSP1)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 하부 지지부(LSP1)는 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있으며, 제 1 내측면(110a)에 고정될 수 있다. 제 3 하부 지지부(LSP3)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 하부 지지부(LSP3)는 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있으며, 제 2 내측면(110b)에 고정될 수 있다. 복수의 제 5 하부 지지부들(LSP5)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 제공될 수 있다. 제 5 하부 지지부들(LSP5)은 제 3 내측면(110c)에 연결될 수 있으며, 제 3 내측면(110c)에 고정될 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있다. 제 5 하부 지지부들(LSP5)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c) 상에서 제 1 내측면(110a)으로부터 제 2 내측면(110b)을 향하는 방향을 따라 배열될 수 있다.
제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 각각은 제 1 고정 단자(LOM1)를 가질 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 각각의 일단에 제공될 수 있다. 예를 들어, 제 1 하부 지지부(LSP1)의 제 1 고정 단자(LOM1)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)과 먼 쪽의 제 1 하부 지지부(LSP1)의 일단에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제 3 하부 지지부(LSP3)의 제 1 고정 단자(LOM1)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)과 먼 쪽의 제 3 하부 지지부(LSP3)의 일단에 위치할 수 있다. 예를 들어, 제 5 하부 지지부들(LSP5)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)과 먼 쪽의 제 5 하부 지지부들(LSP5)의 일단에 위치할 수 있다.
하우징(110) 내로 수납되는 기판(SUB)은 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)에 의해 지지될 수 있다. 보다 상세하게는, 기판(SUB)은 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)의 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치할 수 있다.
제 1 상부 지지부(USP1)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)에 제공될 수 있다. 제 1 상부 지지부(USP1)는 제 1 내측면(110a)에 연결될 수 있다. 즉, 제 1 상부 지지부(USP1)는 제 1 내측면(110a)로부터 제 2 내측면(110b)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 3 상부 지지부(USP3)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)에 제공될 수 있다. 제 3 상부 지지부(USP3)는 제 2 내측면(110b)에 연결될 수 있다. 즉, 제 3 상부 지지부(USP3)는 제 2 내측면(110b)로부터 제 1 내측면(110a)을 향하여 돌출된 형태를 가질 수 있다. 제 5 상부 지지부들(USP5)은 하우징(110)의 제 1 내측면(110a) 및 제 2 내측면(110b)을 연결할 수 있다. 이때, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 개구(OP)에 인접하여 배치될 수 있고, 제 5 상부 지지부(USP5)는 하우징(110)의 제 3 내측면(110c)에 인접하여 배치될 수 있다. 평면적 관점에서, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 제 1 및 제 3 하부 지지부들(LSP1, LSP3)에 비해 개구(OP)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 또한, 평면적 관점에서, 제 5 상부 지지부(USP5)는 제 5 하부 지지부들(LSP5)의 제 1 고정 단자(LOM1)에 비해 제 3 내측면(110c)에 보다 인접하게 배치될 수 있다. 다르게 설명하자면, 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)의 제 1 고정 단자들(LOM1)은 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 내측에 위치할 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 기판(SUB)이 수납되는 바, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)은 기판(SUB)과 개구(OP) 사이를 가로지르도록 연장되고, 제 5 상부 지지부(USP5)는 기판(SUB)과 제 3 내측면(110c) 사이를 가로지르도록 연장될 수 있다.
제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5) 각각은 회전 가능하도록 하우징(110)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5) 각각은 연장부(ETP, ETP'')을 가질 수 있다. 연장부들(ETP, ETP'')은 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 일단으로부터 연장될 수 있다. 제 1 상부 지지부(USP1)의 연장부(ETP)는 하우징(110)의 제 1 내측면(110a)을 관통할 수 있다. 제 3 상부 지지부들(USP3)의 연장부(ETP)는 하우징(110)의 제 2 내측면(110b)을 관통할 수 있다. 제 5 상부 지지부(USP5)는 복수의 연장부들(ETP'')을 갖되, 제 5 상부 지지부(USP5)의 연장부들(ETP'')은 각각 하우징(110)의 제 1 내측면(110a) 및 제 2 내측면(110b)을 관통할 수 있다. 하우징(110)의 외부로 돌출되는 연장부들(ETP, ETP'')의 일부분(ETPa, ETPa'')을 이용하여 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전 동작이 제어될 수 있다.
제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5) 각각은 회전부(RTP, RTP'')를 가질 수 있다. 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP) 각각은 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 일단으로부터 돌출될 수 있다. 제 5 상부 지지부(USP5)는 복수의 회전부들(RTP'')을 갖되, 제 5 상부 지지부(USP5)의 회전부들(RTP'') 각각은 제 5 상부 지지부(USP5)의 중간부로부터 돌출될 수 있다. 제 5 상부 지지부(USP5)의 회전부들(RTP'')은 제 5 상부 지지부(USP5)가 연장되는 방향을 따라 일정 간격을 두고 서로 이격될 수 있다. 이때, 회전부들(RTP, RTP'')이 돌출되는 방향은 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5) 각각이 연장되는 방향에 수직한 방향일 수 있다. 예를 들어, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)로부터 개구(OP)를 향하여 돌출될 수 있다. 예를 들어, 제 5 상부 지지부(USP5)의 회전부들(RTP'')은 제 5 상부 지지부(USP5)로부터 제 3 내측면(110c)을 향하여 돌출될 수 있다. 다르게 설명하자면, 회전부들(RTP, RTP'')은 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)로부터 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)의 제 1 고정 단자들(LOM1)과 대향하는 방향으로 돌출될 수 있다.
하우징(110) 외측으로 돌출되는 연장부들(ETP, ETP'')의 일부분(ETPa, ETPa'')을 조작하여, 도 9에서 화살표로 표시한 바와 같이, 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)이 회전될 수 있다. 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전에 의해, 회전부들(RTP, RTP'')은 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 상에 위치하도록 이동될 수 있다. 즉, 제 1 및 제 3 상부 지지부들(USP1, USP3)의 회전부들(RTP)은 개구(OP)에서 멀어지도록 이동될 수 있고, 제 5 상부 지지부(USP5)의 회전부들(RTP'')은 제 3 내측면(110c)에서 멀어지도록 이동될 수 있다. 이에 따라, 평면적 관점에서 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 상에는 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전부들(RTP, RTP'')이 위치할 수 있다.
제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전부들(RTP, RTP')'이 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5) 상으로 이동함에 따라, 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전부들(RTP, RTP'')의 제 2 고정 단자들(LOM2)은 각각 제 1 고정 단자들(LOM1) 상에 위치될 수 있다. 제 1 고정 단자들(LOM1)과 제 2 고정 단자들(LOM2)이 서로 다른 자성을 가짐에 따라, 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)과 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전부들(RTP, RTP'')은 서로 끌어당길 수 있다. 즉, 제 1, 제 3 및 제 5 하부 지지부들(LSP1, LSP3, LSP5)과 제 1, 제 3 및 제 5 상부 지지부들(USP1, USP3, USP5)의 회전부들(RTP, RTP')은 그들 사이에 위치하는 기판(SUB)을 고정할 수 있다.
이상, 첨부된 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 기판 이송 장치
110: 하우징
120: 기판 고정 구조체 130: 도어
LSP1~5: 하부 지지부 USP1~5: 상부 지지부
RTP: 회전부 ETP: 연장부
LOM1, LOM2: 고정 단자
T: 반송 로봇 SUB: 기판
120: 기판 고정 구조체 130: 도어
LSP1~5: 하부 지지부 USP1~5: 상부 지지부
RTP: 회전부 ETP: 연장부
LOM1, LOM2: 고정 단자
T: 반송 로봇 SUB: 기판
Claims (10)
- 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징; 및
상기 하우징 내에서 상기 기판을 고정하는 기판 고정 구조체를 포함하되,
상기 기판 고정 구조체는:
상기 하우징의 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 하부면 상으로 연장되고, 상기 기판 아래의 제 1 고정 단자를 포함하는 하부 지지부; 및
상기 하우징의 상기 내측면들 중 어느 하나로부터 상기 기판의 일측으로 연장되고, 제 2 고정 단자를 포함하는 상부 지지부를 포함하고,
상기 상부 지지부의 작동에 의해, 상기 제 2 고정 단자는 상기 기판 상으로 이동되어 상기 기판의 상부면과 접하고, 상기 기판을 사이에 두고 상기 제 1 고정 단자와 중첩되고,
상기 상부 지지부의 연장부는 상기 하우징을 관통하여 상기 하우징의 외측면 상으로 돌출되는 기판 이송 장치.
- 제 1 항에 있어서,
상기 상부 지지부의 상기 작동은,
상기 하우징의 상기 외측면 상으로 돌출되는 상기 상부 지지부의 상기 연장부를 축으로 하여 상기 상부 지지부를 회전시키는 것을 포함하는 기판 이송 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 하부 지지부는 상기 하우징의 상기 내측면들 중 제 1 내측면에 고정되고,
상기 상부 지지부의 상기 연장부는 상기 제 1 내측면을 관통하고, 상기 상부 지지부는 상기 하우징의 상기 내측면들 중 상기 제 1 내측면과 인접한 제 2 내측면과 상기 기판 사이로 연장되고,
상기 상부 지지부의 상기 제 2 고정 단자는 상기 제 2 내측면과 상기 기판 사이에서 상기 상부 지지부로부터 수직한 방향으로 돌출되는 회전부에 제공되는 기판 이송 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 하부 지지부는 상기 하우징의 상기 내측면들 중 제 1 내측면에 고정되고,
상기 상부 지지부의 상기 연장부는 상기 하우징의 상기 내측면들 중 상기 제 1 내측면과 인접한 제 2 내측면을 관통하고, 상기 상부 지지부는 상기 하우징의 상기 제 1 내측면과 상기 기판 사이로 연장되고,
상기 상부 지지부의 상기 제 2 고정 단자는 상기 제 1 내측면과 상기 기판 사이에서 상기 상부 지지부로부터 수직한 방향으로 돌출되는 회전부에 제공되는 기판 이송 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 상부 지지부는 상기 하우징의 상기 내측면들 중 제 3 내측면과 상기 기판 사이를 가로지르고, 상기 상부 지지부의 연장부는 복수로 제공되되, 상기 연장부들 각각은 상기 하우징의 상기 내측면들 중 상기 제 3 내측면과 인접하고 서로 대향하는 제 4 및 제 5 내측면들을 관통하고,
상기 하부 지지부는 복수로 제공되되, 상기 하부 지지부들은 상기 하우징의 상기 제 3 내측면에 고정되고,
상기 상부 지지부의 상기 제 2 고정 단자는 복수로 제공되되, 상기 제 2 고정 단자들은 상기 제 3 내측면과 상기 기판 사이에서 상기 상부 지지부로부터 수직한 방향으로 돌출되는 회전부에 제공되는 기판 이송 장치. - 제 1 항에 있어서,
상기 상부 지지부는 L형상을 갖되,
상기 상부 지지부는:
상기 하우징을 관통하도록 연장되는 상기 연장부; 및
상기 기판과 상기 하우징 사이에 위치하는 상기 상부 지지부 일단으로부터 상기 기판의 상기 상부면 상으로 돌출되는 회전부;
를 포함하되,
상기 제 2 고정 단자는 상기 회전부에 배치되는 기판 이송 장치.
- 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징;
상기 하우징의 제 1 내측면에 고정되고, 상기 기판을 아래에서 지지하는 하부 지지부; 및
상기 하우징의 상기 제 1 내측면에 수직한 방향을 축으로 회전 동작이 가능하도록 상기 제 1 내측면에 연결되고, 상기 기판 상으로 연장되는 상부 지지부를 포함하되,
상기 하부 지지부는 상기 기판의 아래에 위치하는 제 1 고정 단자를 갖고,
상기 상부 지지부는 상기 기판의 위에 위치하는 제 2 고정 단자를 갖고,
상기 상부 지지부는 상기 회전 동작에 의해:
상기 상부 지지부가 상기 기판과 평면적으로 중첩되지 않는 제 1 동작; 및
상기 제 2 고정 단자가 상기 기판 상으로 이동하여 상기 기판을 상기 하부 지지부로 밀착시키는 제 2 동작을 수행하는 기판 이송 장치.
- 제 7 항에 있어서,
상기 상부 지지부는 상기 하우징을 관통하여 상기 하우징의 외측면 상으로 돌출되는 연장부를 더 포함하되,
상기 상부 지지부의 상기 회전 동작은 상기 하우징의 상기 외측면 상으로 돌출되는 상기 연장부를 회전시켜 수행되는 기판 이송 장치. - 제 7 항에 있어서,
상기 상부 지지부의 상기 제 2 동작에서,
상기 제 1 고정 단자와 상기 제 2 고정 단자를 수직으로 중첩되고,
상기 제 1 고정 단자는 상기 기판의 하부면과 접하고,
상기 제 2 고정 단자는 상기 기판의 상부면과 접하는 기판 이송 장치.
- 일 측면에 기판이 반입되는 개구가 형성되는 하우징, 상기 하우징은 서로 인접한 제 1 내측면 및 제 2 내측면을 갖고;
상기 하우징의 상기 제 1 내측면으로부터 상기 기판의 하부면 상으로 연장되는 하부 지지부; 및
상기 하우징의 상기 제 2 내측면으로부터 상기 기판의 상부면 상으로 연장되되, 상기 하우징의 상기 제 2 내측면에 수직한 방향을 축으로 회전 동작이 가능하도록 상기 제 2 내측면에 연결되는 상부 지지부를 포함하되,
상기 하부 지지부는 상기 기판의 아래에 위치하는 제 1 고정 단자를 갖고,
상기 상부 지지부는 상기 기판의 위에 위치하는 제 2 고정 단자를 갖고,
상기 상부 지지부는 상기 회전 동작에 의해:
상기 상부 지지부가 상기 기판의 일측으로 이동하는 제 1 동작; 및
상기 상부 지지부가 상기 기판의 상기 상부면 상으로 이동하여, 상기 상부 지지부가 상기 기판의 상기 상부면과 접하는 제 2 동작을 수행하는 기판 이송 장치.
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210132410A KR20230049359A (ko) | 2021-10-06 | 2021-10-06 | 기판 이송 장치 |
| US17/715,782 US20230108525A1 (en) | 2021-10-06 | 2022-04-07 | Substrate transfer device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210132410A KR20230049359A (ko) | 2021-10-06 | 2021-10-06 | 기판 이송 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20230049359A true KR20230049359A (ko) | 2023-04-13 |
Family
ID=85775033
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210132410A KR20230049359A (ko) | 2021-10-06 | 2021-10-06 | 기판 이송 장치 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20230108525A1 (ko) |
| KR (1) | KR20230049359A (ko) |
-
2021
- 2021-10-06 KR KR1020210132410A patent/KR20230049359A/ko unknown
-
2022
- 2022-04-07 US US17/715,782 patent/US20230108525A1/en active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20230108525A1 (en) | 2023-04-06 |
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