KR20230047711A

KR20230047711A - 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치

Info

Publication number: KR20230047711A
Application number: KR1020210130862A
Authority: KR
Inventors: 정창용; 문재환
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2021-10-01
Filing date: 2021-10-01
Publication date: 2023-04-10
Also published as: KR102630973B1

Abstract

디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치는 로워 챔버(LOWER CHAMBER); 로워 챔버(LOWER CHAMBER)에 배치되되 피부착 자재가 로딩되는 피부착 자재 로딩 스테이지; 피부착 자재와 부착(lamination)될 부착 자재가 로딩되는 시트(sheet)를 구비하되 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 자재 부착부; 및 자재 부착부가 그 내부에 마련되되 로워 챔버의 상부에 배치되며, 로워 챔버에 접하고 로워 챔버와의 내부 공간이 진공 유지된 상태에서 자재 부착부의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 진행되게 하는 어퍼 챔버(UPPER CHAMBER)를 포함한다.

Description

디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치{Display sheet lamination apparatus for vacuum}

본 발명은, 디스플레이 자재의 진공 환경 내(內) 시트 부착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 두 자재를 용이하고 효과적으로 부착(lamination)할 수 있으며, 이로 인해 제품의 품질향상에 이바지할 수 있는, 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치에 관한 것이다.

전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기술 역시 빠르게 발전하고 있다. OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와, 능동형인 AMOLED로 나뉠 수 있는데, 이러한 OLED 제조 시 여러 종류의 디스플레이(Display) 자재가 사용된다.

참고로, 디스플레이 자재는 Flexible Film(Cover Film), Flexible Display 자재(Flexible Display Device), UTG (박판 Glass), 박판의 금속 자재, Flexible(유연) OCA 자재(광학용 접착 소재), Polarizing Film(POL), Protection Film 등의 모든 Flexible & Rigid 자재를 가리킨다.

이러한 자재들 중 하나를 피부착 자재로, 다른 하나를 부착 자재로 선정한 후, 피부착 자재에 부착 자재를 부착, 즉 라미네이션(lamination)하기 위한 방안으로서 기존에는 세트 테이블(Set Table)을 적용한 롤 투 스테이지(Roll to Stage) 방식 또는 드럼(Drum)을 적용한 드럼 투 스테이지(Drum to Stage) 방식을 사용해 왔다.

전자의 롤 투 스테이지 방식은 세트 테이블 상에 피부착 자재가 배치되고, 어태치 롤러부(Attach Roller)가 회전하면서 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 방식인데, 이러한 방식은 자재의 오버행(Overhang) 현상으로 인한 오차로 고(高)부착 정도 구현에 한계가 있는 문제점이 있다.

참고로, 롤 투 스테이지 방식 방식은 그 특성상 어태치 롤러부에 부착 자재가 제대로 흡착되지 못하고 처지는 현상이 발생할 소지가 크고, 이로 인해 피부착 자재와의 얼라인(Align)이 틀어질 수밖에 없어 부착에 오차가 발생하는데, 이를 오버행 현상이라 한다.

이에 반해, 후자의 드럼 투 스테이지 방식은 드럼의 표면에 부착 자재를 흡착시킨 후, 드럼의 회전 동작에 따라 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 방식이다. 다만, 이 방식은 부착 자재와 피부착 자재의 초기 컨택 시 넓은 압축 면적으로 피부착 자재의 일측 패드(Pad)에 접촉에 의한 손상을 일으킬 수 있고, 또한 드럼의 진공 영역(Vacuum Area) 제한으로 인해 다양한 자재 사이즈(Panel Size) 변경에 제약이 다른 문제점이 있다.

이처럼 현재까지는 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 방식으로서 전술한 롤 투 스테이지 방식과 드럼 투 스테이지 방식이 주류를 이루었으나 각 방식들은 전술한 것처럼 여러 문제점을 발생시키고 있다는 점에서 시트(sheet), 특히 점착 시트를 사용하는 방식이 대안으로 제시되고 있다.

시트 방식은 약한 점성을 갖는 점착 시트에 부착 자재를 미리 점착시킨 후, 피부착 자재에 부착 자재를 배치한 다음, 점착 시트를 가압해서 부착 자재가 피부착 자재에 부착되게 하는 것이다. 부착 자재가 피부착 자재에 부착되고 나면 점착 시트가 부착 자재에서 박리된다.

한편, 이러한 시트 부착 방식이 전술한 롤 투 스테이지 방식과 드럼 투 스테이지 방식보다 효과적이라서 현재 여러 업체에서 기술 개발을 시도하고 있기는 하지만, 아직은 기술적인 한계로 인해 서로 부착되는 두 자재 사이에 기포(bubble)가 갇혀(TRAP) 제품 불량을 일으키는 문제점이 있다.

특히, 디스플레이 자재의 사이즈가 커지면 커질수록 두 자재 사이에 기포가 잔존하면서 BM(Black Matrix) 단차 높이에 따라 발생하는 기포 불량문제가 더욱 심화될 수 있는데, 이러한 기포는 오토클레이브(AUTOCLAVE) 공정 후에도 제거되지 않아 제품 불량으로 이어질 수밖에 없다는 점을 두루 고려해볼 때, 기존에 알려지지 않은 신개념의 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치에 관한 기술개발이 요구된다.

대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0063468호

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 두 자재를 용이하고 효과적으로 부착(lamination)할 수 있으며, 이로 인해 제품의 품질향상에 이바지할 수 있는, 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 로워 챔버(LOWER CHAMBER); 상기 로워 챔버(LOWER CHAMBER)에 배치되되 피부착 자재가 로딩되는 피부착 자재 로딩 스테이지; 상기 피부착 자재와 부착(lamination)될 부착 자재가 로딩되는 시트(sheet)를 구비하되 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재를 부착시키는 자재 부착부; 및 상기 자재 부착부가 그 내부에 마련되되 상기 로워 챔버의 상부에 배치되며, 상기 로워 챔버에 접하고 상기 로워 챔버와의 내부 공간이 진공 유지된 상태에서 상기 자재 부착부의 작용으로 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 부착공정이 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 진행되게 하는 어퍼 챔버(UPPER CHAMBER)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치가 제공될 수 있다.

상기 로워 챔버 또는 상기 어퍼 챔버에 연결되며, 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 서로 접근 또는 이격되게 상기 로워 챔버 또는 상기 어퍼 챔버를 업/다운(up/down) 구동시키는 챔버 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 어퍼 챔버와 상기 챔버 업/다운 구동부를 연결하는 복수 개의 상부 연결 브릿지; 및 상기 상부 연결 브릿지 영역에서 상기 어퍼 챔버 내의 진공이 새지 않게 상기 상부 연결 브릿지를 밀봉하는 한편 상기 상부 연결 브릿지의 이동을 허용하는 상부 벨로우즈를 더 포함할 수 있다.

상기 어퍼 챔버에는 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버 내의 공간을 진공 유지시키기 위한 진공압 포트(PNEUMATIC PORT) 및 피드스루(FEED THROUGH)가 마련될 수 있다.

상기 피부착 자재 로딩 스테이지에 연결되며, 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 얼라인(align)을 위하여 상기 피부착 자재 로딩 스테이지를 구동시키는 스테이지 얼라인 구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지 얼라인 구동부는 평면 좌표상의 X축 방향, 상기 X축에 교차하는 Y축 방향, 그리고 상기 X축과 상기 Y축 사이의 각도인 W축 방향으로 상기 피부착 자재 로딩 스테이지가 이동될 수 있게 동작할 수 있다.

상기 피부착 자재 로딩 스테이지와 상기 스테이지 얼라인 구동부를 연결하는 복수 개의 하부 연결 브릿지; 및 상기 하부 연결 브릿지 영역에서 상기 로워 챔버 내의 진공이 새지 않게 상기 하부 연결 브릿지를 밀봉하는 한편 상기 하부 연결 브릿지의 이동을 허용하는 하부 벨로우즈를 더 포함할 수 있다.

상기 스테이지 얼라인 구동부에 연결되며, 상기 스테이지 얼라인 구동부 및 상기 로워 챔버를 쉬프트(shift) 구동하는 로워 챔버 쉬프트 로봇(LOWER CHAMBER SHIFT ROBOT)을 더 포함할 수 있다.

상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 접하는 영역에는 기밀유지를 위한 실링부재가 개재될 수 있다.

상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 닫히고 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버 내의 공간이 진공 유지된 상태에서 상기 자재 부착부의 작용으로 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 장치를 컨트롤하는 장치 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.

상기 시트는 점착(이온) 시트, ESC 시트 또는 마이크로 포켓(MICRO POCKET) 중에서 선택될 수 있다.

상기 자재 부착부는, 상기 시트가 착탈 가능하게 결합하는 시트 결합부; 및 상기 시트 결합부에 결합한 시트를 이용해서 롤러(roller)의 회전 방식으로 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재를 부착시키는 자재 부착용 롤러 어셈블리를 포함할 수 있다.

상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는, 상기 시트의 표면에 상기 부착 자재가 부착되도록 하거나 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재가 순차적 롤링(rolling) 부착되도록 상기 시트 상에서 가압 이동되는 부착 롤러; 및 상기 부착 롤러에 외접하며, 상기 부착 롤러의 회전을 지지하는 백업 롤러를 포함할 수 있다.

상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는, 상기 부착 롤러의 주변에 배치되며, 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재의 부착이 완료된 때 상기 부착 자재에서 상기 시트가 이탈되도록 하는 시트 이탈 롤러를 더 포함할 수 있다.

상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는, 상기 부착 롤러, 상기 백업 롤러 및 상기 시트 이탈 롤러와 연결되고 상기 부착 롤러, 상기 백업 롤러 및 상기 시트 이탈 롤러를 한 몸체로 연결하는 롤러 지지모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는, 상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부; 및

상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈을 주행시키는 모듈 주행부를 더 포함할 수 있다.

상기 모듈 주행부는, 상기 어퍼 챔버 내에 마련되며, 상기 롤러 지지모듈의 주행을 위한 구동력을 발생시키는 진공 모터; 상기 진공 모터의 모터축에 연결되고 상기 진공 모터의 작용으로 정역 방향 회전하는 볼 스크루; 상기 볼 스크루에 연결되고 상기 볼 스크루의 길이 방향을 따라 주행하는 스크루 너트; 및 상기 스크루 너트와 상기 롤러 지지모듈을 연결하는 모듈 연결부를 포함할 수 있다.

상기 모듈 업/다운 구동부는, 상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동을 위한 구동력을 발생시키는 실린더; 상기 모듈 연결부에 연결되어 지지되는 연결 지지대; 및 상기 연결 지지대에 이동 가능하게 연결되되 일측은 상기 실린더의 로드에 연결되고 타측은 상기 롤러 지지모듈에 연결되는 업/다운 플레이트를 포함할 수 있다.

상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는, 상기 부착 롤러에 이웃하게 배치되고 상기 시트를 지지하는 지지대를 더 포함할 수 있다.

상기 자재 부착부는, 상기 시트 결합부와 상기 자재 부착용 롤러 어셈블리 사이에 배치되고 상기 시트를 가이드하는 시트 아이들 롤러; 및 상기 시트 아이들 롤러를 회전 가능하게 지지하는 아이들 롤러 지지대를 더 포함할수 있다.

상기 자재 부착부는, 상기 시트 결합부와 연결되며, 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재가 부착될 때 레귤레이터(regulator)를 적용해서 상기 시트의 텐션을 유지시키는 시트 텐션 유지부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 두 자재를 용이하고 효과적으로 부착(lamination)할 수 있으며, 이로 인해 제품의 품질향상에 이바지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 측면 구조도이다.
도 2는 도 1의 정면 구조도로서 로워 챔버와 어퍼 챔버가 열린 상태의 도면이다.
도 3은 도 2의 자재 부착부 영역에 대한 확대도이다.
도 4는 도 2의 자재 부착부 반대편 영역에 대한 확대도이다.
도 5 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 공정별 동작도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 제어블록도이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 측면 구조도이고, 도 2는 도 1의 정면 구조도로서 로워 챔버와 어퍼 챔버가 열린 상태의 도면이며, 도 3은 도 2의 자재 부착부 영역에 대한 확대도이고, 도 4는 도 2의 자재 부착부 반대편 영역에 대한 확대도이며, 도 5 내지 도 9는 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 공정별 동작도이고, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치의 제어블록도이다.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내(內) 시트 부착장치(100)는 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 두 자재를 용이하고 효과적으로 부착(lamination)할 수 있으며, 이로 인해 제품의 품질향상에 이바지할 수 있게끔 한다.

다시 말해, 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)는 진공 분위기 속에서 시트(101, sheet)를 이용해서 피부착 자재와 부착 자재를 부착(lamination)하는 장치로서, 특히 피부착 자재와 부착 자재 사이에 기포(bubble)가 발생하거나 갇히는 것을 방지한다.

앞서 기술한 것처럼 피부착 자재와 부착 자재는 디스플레이 자재로서, Flexible Film(Cover Film), Flexible Display 자재(Flexible Display Device), UTG (박판 Glass), 박판의 금속 자재, Flexible(유연) OCA 자재(광학용 접착 소재), Polarizing Film(POL), Protection Film 등의 모든 Flexible & Rigid 자재를 가리킬 수 있다. 즉 위의 자재들 중 하나가 피부착 자재일 수 있고, 나머지가 부착 자재일 수 있으며, 이 두 자재는 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)를 통한 순차적 롤링(rolling) 부착으로 기포(bubble) 잔존 없이 용이하고 효과적으로 부착, 즉 라미네이션(lamination)할 수 있다.

그리고, 본 실시예의 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)에 적용되는 시트(SHEET)는 점착(이온) 시트, ESC 시트, 마이크로 포켓(MICRO POCKET) 시트 등 모든 디스플레이 자재 부착용 시트일 수 있다. 따라서, 이하의 설명에서는 단순히 시트(101)라 해서 설명하기로 한다.

본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)는 로워 챔버(110, LOWER CHAMBER)와 어퍼 챔버(180, UPPER CHAMBER)를 포함하며, 이들 내에 피부착 자재 로딩 스테이지(111)와 자재 부착부(120)가 마련되고 이들의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 한다.

특히, 본 실시예의 경우, 진공 분위기 속에서 시트(101)를 이용한 부착공정을 진행하기 때문에, 피부착 자재와 부착 자재 사이에 기포(bubble)가 발생하거나 갇혀(TRAP) 제품 불량을 일으키는 문제점을 해소할 수 있다. 특히, 디스플레이 자재의 사이즈가 커지더라도 기포 발생문제를 해소할 수 있다.

로워 챔버(110)는 위치 고정된다. 물론, 로워 챔버(110)가 업/다운(up/down) 될 수도 있다.

이러한 로워 챔버(110)에는 피부착 자재 로딩 스테이지(111)가 마련된다. 즉 피부착 자재 로딩 스테이지(111)는 로워 챔버(110)에 배치되되 피부착 자재가 로딩되는 장소를 이룬다. 로딩의 방식은 진공압 흡착일 수 있다.

피부착 자재 로딩 스테이지(111)에는 스테이지 얼라인 구동부(112)가 연결된다. 스테이지 얼라인 구동부(112)는 피부착 자재 로딩 스테이지(111)에 연결되며, 피부착 자재와 부착 자재 간의 얼라인(align)을 위하여 피부착 자재 로딩 스테이지(111)를 구동시키는 역할을 한다.

본 실시예에서 스테이지 얼라인 구동부(112)는 평면 좌표상의 X축 방향, X축에 교차하는 Y축 방향, 그리고 X축과 Y축 사이의 각도인 W축 방향으로 피부착 자재 로딩 스테이지(111)가 이동될 수 있게 동작한다. 이러한 스테이지 얼라인 구동부(112)는 복수 개의 모터, 볼스크루 등의 구조로 적용할 수 있다.

피부착 자재 로딩 스테이지(111)와 스테이지 얼라인 구동부(112)의 연결을 위해 복수 개의 하부 연결 브릿지(113)가 마련된다. 즉 하부 연결 브릿지(113)는 피부착 자재 로딩 스테이지(111)와 스테이지 얼라인 구동부(112)를 연결하는 구성이며, 복수 개로 적용된다.

이때, 하부 연결 브릿지(113)로 피부착 자재 로딩 스테이지(111)와 스테이지 얼라인 구동부(112)를 단순히 연결하면 로워 챔버(110) 내의 진공이 샐 수 있다. 이에, 이를 방지하기 위해 하부 벨로우즈(114)가 더 적용된다.

하부 벨로우즈(114)는 하부 연결 브릿지(113) 영역에서 로워 챔버(110) 내의 진공이 새지 않게 하부 연결 브릿지(113)를 밀봉하는 한편 하부 연결 브릿지(113)의 이동을 허용하는 역할을 한다.

스테이지 얼라인 구동부(112)에는 로워 챔버 쉬프트 로봇(116, LOWER CHAMBER SHIFT ROBOT)이 연결된다. 로워 챔버 쉬프트 로봇(116)는 스테이지 얼라인 구동부(112) 및 로워 챔버(110)를 쉬프트(shift) 구동하는 역할을 한다.

어퍼 챔버(180)는 로워 챔버(110)의 상부에서 업/다운(up/down) 이동하는 챔버이다. 즉 어퍼 챔버(180)는 자재 부착부(120)가 내부에 마련되되 로워 챔버(110)의 상부에 배치되며, 로워 챔버(110)에 접하고 로워 챔버(110)와의 내부 공간이 진공 유지된 상태에서 자재 부착부(120)의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 하는 역할을 한다.

이러한 어퍼 챔버(180)의 업/다운(up/down) 이동, 구동을 위해 챔버 업/다운 구동부(181)가 마련된다. 즉 챔버 업/다운 구동부(181)는 어퍼 챔버(180)에 연결되며, 어퍼 챔버(180)를 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 리니어 모터나 실린더 구조로 챔버 업/다운 구동부(181)를 구현할 수 있다.

물론, 본 실시예에서는 어퍼 챔버(180)를 업/다운(up/down) 이동, 구동시키고 있지만, 챔버 업/다운 구동부(181)를 로워 챔버(110)에 같은 방식으로 연결해서 로워 챔버(110)를 업/다운(up/down) 이동, 구동시킬 수도 있을 것인데, 이러한 사항 모두가 본 발명의 권리범위에 속한다고 하여야 할 것이다.

어퍼 챔버(180)와 챔버 업/다운 구동부(181)의 연결을 위해 복수 개의 상부 연결 브릿지(184)가 마련된다. 즉 상부 연결 브릿지(184)는 어퍼 챔버(180)와 챔버 업/다운 구동부(181)를 연결하는 역할을 한다. 이러한 상부 연결 브릿지(184) 역시, 복수 개로 적용된다.

앞서 기술한 하부 벨로우즈(114)의 역할과 마찬가지로, 상부 연결 브릿지(184)로 어퍼 챔버(180)와 챔버 업/다운 구동부(181)를 단순히 연결하면 어퍼 챔버(180) 내의 진공이 샐 수 있다. 이에, 이를 방지하기 위해 상부 벨로우즈(185)가 더 적용된다.

상부 벨로우즈(185)는 상부 연결 브릿지(184) 영역에서 어퍼 챔버(180) 내의 진공이 새지 않게 상부 연결 브릿지(184)를 밀봉하는 한편 상부 연결 브릿지(184)의 이동을 허용하는 역할을 한다.

어퍼 챔버(180)에는 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180) 내의 공간을 진공 유지시키기 위한 수단으로서 진공압 포트(182, PNEUMATIC PORT) 및 피드스루(183, FEED THROUGH)가 마련된다.

앞서 기술한 것처럼 본 실시예의 경우, 진공 분위기 속에서 즉 도 7 및 도 8처럼 어퍼 챔버(180)와 로워 챔버(110)가 닫히고 이들 사이에 진공이 형성된 상태에서 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되는데, 이를 위해 실링부재(118)가 마련된다. 실링부재(118)는 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 접하는 영역에 기밀유지를 위해 마련된다. 본 실시예에서는 실링부재(118)가 로워 챔버(110)에 마련되나 어퍼 챔버(180)에 마련될 수도 있다. 따라서, 도면의 형상에 본 발명의 권리범위가 제한되지 않는다.

한편, 자재 부착부(120)는 피부착 자재와 부착(lamination)될 부착 자재가 로딩되는 시트(101, sheet)를 구비하되 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 역할을 한다. 즉 진공 분위기가 형성된 이후에, 실질적인 부착공정을 진행하는 수단이 자재 부착부(120)에 해당한다.

이러한 자재 부착부(120)는 시트(101)가 착탈 가능하게 결합하는 시트 결합부(130)와, 시트 결합부(130)에 결합한 시트(101)를 이용해서 롤러(roller)의 회전 방식으로 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 자재 부착용 롤러 어셈블리(150)를 포함할 수 있다.

시트 결합부(130)는 시트(101)가 결합하고 또한 제거될 수 있게끔 하는 장소를 이룬다. 롤(roll) 형태로 된 시트(101)의 양단부를 단순히 지지하는 형태로 시트 결합부(130)를 적용할 수 있다.

물론, 시트(101)의 양단부에 클램프(미도시)를 마련하고 클램프가 걸리는 형태로 시트 결합부(130)를 구현할 수도 있을 것인데, 이러한 사항 모두가 본 발명의 권리범위에 속한다고 하여야 할 것이다.

자재 부착용 롤러 어셈블리(150)는 전술한 것처럼 시트 결합부(130)에 결합한 시트(101)를 이용해서 롤러(roller)의 회전 방식으로 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 실질적인 구성이다. 즉 피부착 자재 로딩 스테이지(111) 상에 로딩된 피부착 자재에 롤러의 회전 방식으로 시트(101)를 밀어 가압함으로써 부착 자재가 부착되게끔 한다.

다시 말해, 자재 부착용 롤러 어셈블리(150)는 부착 자재를 시트(101)에 먼저 부착시킨 후, 부착 자재를 기준으로 부착 자재에 대한 피부착 자재의 상대 위치를 얼라인시킨 다음, 시트(101)를 가압 및 순차적 롤링(rolling)함으로써 피부착 자재에 부착 자재가 부착될 수 있도록 한다. 부착 자재가 피부착 자재에 부착되고 나면 시트(101)가 부착 자재에서 박리, 즉 이탈된다.

이러한 역할을 담당하는 자재 부착용 롤러 어셈블리(150)는 롤러 지지모듈(155)에 의해 한 몸체로 연결되는 부착 롤러(151), 백업 롤러(152) 및 시트 이탈 롤러(153)와, 롤러 지지모듈(155)을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부(160)와, 롤러 지지모듈(155)을 주행시키는 모듈 주행부(170)를 포함할 수 있다.

부착 롤러(151)는 시트(101)의 표면에 부착 자재가 부착되도록 하거나 피부착 자재에 부착 자재가 부착되도록 시트(101) 상에서 가압 이동되는 롤러이다. 특히, 부착 롤러(151)는 진공 환공 내에서 순차적 롤링(rolling) 부착을 통해 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 한다.

다시 말해, 부착 롤러(151)는 시트(101) 상에서 회전 이동되면서 시트(101)를 일측에서 타측으로 가압한다. 따라서 시트(101)에 부착 자재가 부착되는 공정이 진행될 수 있고, 또한 피부착 자재에 부착 자재가 부착되는 공정이 진행될 수 있다.

부착 롤러(151)의 주변에 지지대(157)가 배치된다. 지지대(157)는 부착자재 박리 시 흡착 역할을 담당한다.

백업 롤러(152)는 부착 롤러(151)에 외접하며, 부착 롤러(151)의 회전을 지지하는 롤러이다. 반드시 그러한 것은 아니나 백업 롤러(152)는 부착 롤러(151)보다 직경이 큰 것이 사용될 수도 있다. 이러한 백업 롤러(152)의 작용으로 인해 부착 롤러(151)의 강성을 보완하는 역할을 한다.

시트 이탈 롤러(153)는 피부착 자재에 부착 자재의 부착이 완료된 때 부착 자재에서 시트(101)가 이탈되도록 하는 기능의 롤러이다.

시트 이탈 롤러(153)는 부착 롤러(151)보다 높은 위치에서 시트(101)의 하부에 배치된다. 이처럼 시트 이탈 롤러(153)가 시트(101)의 하부에 배치되기 때문에 시트 이탈 롤러(153)를 업(up)시키면 시트(101)가 부착 자재에서 박리, 즉 이탈될 수 있다.

이상 설명한 부착 롤러(151), 백업 롤러(152) 및 시트 이탈 롤러(153)는 롤러 지지모듈(155)에 의해 한 몸체로 지지된다. 따라서 모듈 업/다운 구동부(160)의 작용으로 롤러 지지모듈(155)을 업(up)시키면 부착 롤러(151), 백업 롤러(152) 및 시트 이탈 롤러(153) 역시 함께 업(up)될 수 있고, 롤러 지지모듈(155)을 다운(down)시키면 부착 롤러(151), 백업 롤러(152) 및 시트 이탈 롤러(153) 역시 함께 다운(down)될 수 있다.

이뿐만 아니라 모듈 주행부(170)의 작용으로 롤러 지지모듈(155)을 주행시키면 부착 롤러(151), 백업 롤러(152) 및 시트 이탈 롤러(153) 역시 함께 주행할 수 있다.

모듈 업/다운 구동부(160)는 롤러 지지모듈(155)과 연결되며, 롤러 지지모듈(155)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 그리고, 모듈 주행부(170)는 롤러 지지모듈(155)과 연결되며, 롤러 지지모듈(155)을 주행시키는 역할을 한다.

모듈 주행부(170)에 대해 먼저 알아보면, 모듈 주행부(170)는 어퍼 챔버(180) 내에 마련되며, 롤러 지지모듈(155)의 주행을 위한 구동력을 발생시키는 진공 모터(171)와, 진공 모터(171)의 모터축에 연결되고 진공 모터(171)의 작용으로 정역 방향 회전하는 볼 스크루(172)와, 볼 스크루(172)에 연결되고 볼 스크루(172)의 길이 방향을 따라 주행하는 스크루 너트(173)와, 스크루 너트(173)와 롤러 지지모듈(155)을 연결하는 모듈 연결부(174)를 포함할 수 있다. 특히, 모듈 주행부(170)에 진공 모터(171)가 적용되기 때문에 진공 하에서 구동력을 제공할 수 있다. 이에, 진공 모터(171)가 동작해서 볼 스크루(172)를 회전시키면 이에 연동해서 스크루 너트(173) 및 모듈 연결부(174)가 이동함에 따라 정해진 방향으로 롤러 지지모듈(155)이 함께 주행할 수 있다. 모듈 주행부(170)는 리니어 모터(linear motor, 일반 또는 진공용)로 대체될 수 있다.

모듈 업/다운 구동부(160)는 롤러 지지모듈(155)을 업/다운(up/down) 구동을 위한 구동력을 발생시키는 실린더(161)와, 모듈 연결부(174)에 연결되어 지지되는 연결 지지대(162)와, 연결 지지대(162)에 이동 가능하게 연결되되 일측은 실린더(161)의 로드에 연결되고 타측은 롤러 지지모듈(155)에 연결되는 업/다운 플레이트(163)를 포함할 수 있다. 이에, 실린더(161)가 동작해서 업/다운 플레이트(163)를 업/다운(up/down) 구동시키면 이에 연동해서 롤러 지지모듈(155)이 함께 업/다운(up/down) 구동될 수 있다. 실린더(161)에는 레귤레이터(regulator)가 적용됨으로써 부착 압력의 컨트롤이 가능케 할 수 있다.

이러한 구성 외에도 자재 부착부(120)에는 시트 아이들 롤러(134)가 더 배치된다. 시트 아이들 롤러(134)는 시트 결합부(130)와 자재 부착용 롤러 어셈블리(150) 사이에 배치되고 이들을 지나는 시트(101)를 가이드하는 역할을 한다. 시트 아이들 롤러(134)는 아이들 롤러 지지대(135)에 회전 가능하게 연결된다.

한편, 시트 아이들 롤러(134)들의 작용으로 시트(101)가 가이드되기는 하지만, 부착 자재의 부착 시 시트(101)가 피부착 자재 측으로 가압되기 때문에 이러한 동작이 반복적으로 진행되다 보면 시트(101)의 초기 텐션(tension)이 틀어질 우려가 있다. 이에, 시트 텐션 유지부(140)가 마련된다.

즉 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)는 시트(101)를 이용해서 피부착 자재에 부착 자재를 부착시키는 방식이라서 시트(101)가 부착 자재에 직접 맞붙기 때문에 시트(101)의 연신 혹은 수축 정도에 따라 피부착 자재에 부착되는 부착 자재에 영향을 줄 수 있다.

따라서 부착 자재의 연신량에 맞게 시트(101)의 텐션(tension)을 적절한 상태, 즉 공정에서 요구되는 수준으로 일정하게 유지시키면서 피부착 자재에 부착 자재를 가압해야 부착 자재의 부착 품질을 높일 수 있는데, 이를 위해 시트 텐션 유지부(140)가 마련되는 것이다. 이러한 시트 텐션 유지부(140)는 레귤레이터(regulator)를 적용함으로써 텐션을 일정한 힘으로 유지한다.

시트 텐션 유지부(140)는 피부착 자재에 상기 부착 자재가 부착될 때 레귤레이터(regulator)를 적용해서 시트(101)의 텐션을 유지시키는 역할을 한다. 이러한 시트 텐션 유지부(140)는 상호작용하는 헤드(head) 실린더 유닛(141) 및 테일(tail) 실린더 유닛(143)을 포함할 수 있으며, 시트 결합부(130)와 연결될 수 있다.

결과적으로, 시트(101)를 이용해서 피부착 자재에 부착 자재를 부착시킬 때, 시트 텐션 유지부(140)를 이루는 헤드 실린더 유닛(141)과 테일 실린더 유닛(143)이 작용함으로써 시트(101)의 텐션이 공정에서 요구되는 일정한 수준으로 유지될 수 있다. 즉 헤드 실린더 유닛(141)과 테일 실린더 유닛(143)이 공정에서 요구되는 미리 결정된 일정한 압력을 제공하기 때문에 초기 세팅된 값의 텐션을 그대로 유지할 수 있으며, 이로 인해 시트(101)는 과도하게 늘어나거나 수축하지 않는다. 이렇게 그 텐션이 잘 유지되는 시트(101)가 부착 자재를 피부착 자재 쪽으로 가압하기 때문에 부착 자재의 부착 품질이 향상될 수 있다. 특히, 부착 자재가 얇더라도 부착 품질을 일정하게 유지시킬 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)에는 장치의 컨트롤을 위해 장치 컨트롤러(190)가 더 탑재된다.

장치 컨트롤러(190)는 도 5 내지 도 9의 공정이 자동으로 진행될 수 있도록, 즉 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 닫히고 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180) 내의 공간이 진공 유지된 상태에서 자재 부착부(120)의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 장치를 컨트롤한다.

이러한 역할을 수행하는 장치 컨트롤러(190)는 중앙처리장치(191, CPU), 메모리(192, MEMORY), 그리고 서포트 회로(193, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.

중앙처리장치(191)는 본 실시예에서 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 닫히고 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180) 내의 공간이 진공 유지된 상태에서 자재 부착부(120)의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 장치를 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.

메모리(192, MEMORY)는 중앙처리장치(191)와 연결된다. 메모리(192)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.

서포트 회로(193, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(191)와 결합하여 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(193)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.

본 실시예에서 장치 컨트롤러(190)는로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 닫히고 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180) 내의 공간이 진공 유지된 상태에서 자재 부착부(120)의 작용으로 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 장치를 컨트롤하는데, 이러한 일련의 컨트롤 프로세스 등은 메모리(192)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(192)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.

본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.

이하, 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)의 작용을 설명한다.

우선, 도 5처럼 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 열린 상태에서 로봇 등의 수단을 통해 도 6처럼 로워 챔버(110) 내의 피부착 자재 로딩 스테이지(111)로 피부착 자재가 로딩되어 위치 고정되고, 어퍼 챔버(180) 내의 자재 부착부(120)의 시트(101)로 부착 자재가 로딩되어 부착된다.

피부착 자재 로딩 스테이지(111)에 로딩된 피부착 자재는 보호지가 박리되기 전 혹은 후에 얼라인(align) 촬상된다. 그리고, 부착 자재는 전사, 박리, 얼라인 촬상 또는 전사, 얼라인 촬상, 박리가 완료된 상태로 시트(101) 상에 부착된다. 촬영된 정보를 토대로 스테이지 얼라인 구동부(112)의 작용을 통해 피부착 자재와 부착 자재 간의 얼라인 작업이 진행되고 완료된다. 물론, 이를 위해서는 본 실시예에 따른 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치(100)에 카메라가 마련되어야 할 것인데, 이는 일반적인 사항이라 생략했다.

다음, 도 7처럼 챔버 업/다운 구동부(181)의 작용으로 어퍼 챔버(180)가 다운(down) 동작해서 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 닫히고, 그 내부가 진공으로 형성된다. 앞서 기술한 것처럼 때에 따라 로워 챔버(110)가 업(up) 동작해서 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 닫히고, 그 내부가 진공으로 형성될 수도 있다.

그런 다음, 도 8처럼 진공 분위기 속에서 자재 부착부(120)의 작용으로 피부착 자재에 부착 자재를 부착시킨다.

다음, 피부착 자재와 부착 자재 간의 부착공정이 완료되면, 도 9처럼 챔버 업/다운 구동부(181)의 작용으로 어퍼 챔버(180)가 업(up) 또는 로워 챔버(110)가 다운(down) 동작해서 로워 챔버(110)와 어퍼 챔버(180)가 열린 후, 완성 제품이 취출된다.

이상 설명한 바와 같은 구조로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 기포(bubble)가 디스플레이 자재들 사이에 잔존하지 않게끔 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 두 자재를 용이하고 효과적으로 부착(lamination)할 수 있으며, 이로 인해 제품의 품질향상에 이바지할 수 있게 된다.

이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.

100 : 시트 부착장치 101 : 시트
110 : 로워 챔버 111 : 피부착 자재 로딩 스테이지
112 : 스테이지 얼라인 구동부 113 : 하부 연결 브릿지
114 : 하부 벨로우즈 116 : 로워 챔버 쉬프트 로봇
118 : 실링부재 120 : 자재 부착부
130 : 시트 탑재부 140 : 시트 텐션 유지부
150 : 자재 부착용 롤러 어셈블리 151 : 부착 롤러
152 : 백업 롤러 153 : 시트 이탈 롤러
155 : 롤러 지지모듈 160 : 모듈 업/다운 구동부
161 : 저마찰 실린더 170 : 모듈 주행부
180 : 어퍼 챔버 181 : 챔버 업/다운 구동부
182 : 진공압 포트 183 : 피드스루
184 : 상부 연결 브릿지 185 : 상부 벨로우즈
190 : 장치 컨트롤러

Claims

로워 챔버(LOWER CHAMBER);
상기 로워 챔버(LOWER CHAMBER)에 배치되되 피부착 자재가 로딩되는 피부착 자재 로딩 스테이지;
상기 피부착 자재와 부착(lamination)될 부착 자재가 로딩되는 시트(sheet)를 구비하되 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재를 부착시키는 자재 부착부; 및
상기 자재 부착부가 그 내부에 마련되되 상기 로워 챔버의 상부에 배치되며, 상기 로워 챔버에 접하고 상기 로워 챔버와의 내부 공간이 진공 유지된 상태에서 상기 자재 부착부의 작용으로 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 부착공정이 진공 환경 내에서 순차적 롤링(rolling)을 통해 진행되게 하는 어퍼 챔버(UPPER CHAMBER)를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 로워 챔버 또는 상기 어퍼 챔버에 연결되며, 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 서로 접근 또는 이격되게 상기 로워 챔버 또는 상기 어퍼 챔버를 업/다운(up/down) 구동시키는 챔버 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제2항에 있어서,
상기 어퍼 챔버와 상기 챔버 업/다운 구동부를 연결하는 복수 개의 상부 연결 브릿지; 및
상기 상부 연결 브릿지 영역에서 상기 어퍼 챔버 내의 진공이 새지 않게 상기 상부 연결 브릿지를 밀봉하는 한편 상기 상부 연결 브릿지의 이동을 허용하는 상부 벨로우즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 어퍼 챔버에는 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버 내의 공간을 진공 유지시키기 위한 진공압 포트(PNEUMATIC PORT) 및 피드스루(FEED THROUGH)가 마련되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 피부착 자재 로딩 스테이지에 연결되며, 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 얼라인(align)을 위하여 상기 피부착 자재 로딩 스테이지를 구동시키는 스테이지 얼라인 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제5항에 있어서,
상기 스테이지 얼라인 구동부는 평면 좌표상의 X축 방향, 상기 X축에 교차하는 Y축 방향, 그리고 상기 X축과 상기 Y축 사이의 각도인 W축 방향으로 상기 피부착 자재 로딩 스테이지가 이동될 수 있게 동작하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제5항에 있어서,
상기 피부착 자재 로딩 스테이지와 상기 스테이지 얼라인 구동부를 연결하는 복수 개의 하부 연결 브릿지; 및
상기 하부 연결 브릿지 영역에서 상기 로워 챔버 내의 진공이 새지 않게 상기 하부 연결 브릿지를 밀봉하는 한편 상기 하부 연결 브릿지의 이동을 허용하는 하부 벨로우즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제5항에 있어서,
상기 스테이지 얼라인 구동부에 연결되며, 상기 스테이지 얼라인 구동부 및 상기 로워 챔버를 쉬프트(shift) 구동하는 로워 챔버 쉬프트 로봇(LOWER CHAMBER SHIFT ROBOT)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 접하는 영역에는 기밀유지를 위한 실링부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버가 닫히고 상기 로워 챔버와 상기 어퍼 챔버 내의 공간이 진공 유지된 상태에서 상기 자재 부착부의 작용으로 상기 피부착 자재와 상기 부착 자재 간의 부착공정이 진행되게 장치를 컨트롤하는 장치 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 시트는 점착(이온) 시트, ESC 시트 또는 마이크로 포켓(MICRO POCKET) 중에서 선택되는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 자재 부착부는,
상기 시트가 착탈 가능하게 결합하는 시트 결합부; 및
상기 시트 결합부에 결합한 시트를 이용해서 롤러(roller)의 회전 방식으로 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재를 부착시키는 자재 부착용 롤러 어셈블리를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제1항에 있어서,
상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는,
상기 시트의 표면에 상기 부착 자재가 부착되도록 하거나 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재가 순차적 롤링(rolling) 부착되도록 상기 시트 상에서 가압 이동되는 부착 롤러; 및
상기 부착 롤러에 외접하며, 상기 부착 롤러의 회전을 지지하는 백업 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제13항에 있어서,
상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는,
상기 부착 롤러의 주변에 배치되며, 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재의 부착이 완료된 때 상기 부착 자재에서 상기 시트가 이탈되도록 하는 시트 이탈 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제14항에 있어서,
상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는,
상기 부착 롤러, 상기 백업 롤러 및 상기 시트 이탈 롤러와 연결되고 상기 부착 롤러, 상기 백업 롤러 및 상기 시트 이탈 롤러를 한 몸체로 연결하는 롤러 지지모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제15항에 있어서,
상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는,
상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부; 및
상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈을 주행시키는 모듈 주행부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제16항에 있어서,
상기 모듈 주행부는,
상기 어퍼 챔버 내에 마련되며, 상기 롤러 지지모듈의 주행을 위한 구동력을 발생시키는 진공 모터;
상기 진공 모터의 모터축에 연결되고 상기 진공 모터의 작용으로 정역 방향 회전하는 볼 스크루;
상기 볼 스크루에 연결되고 상기 볼 스크루의 길이 방향을 따라 주행하는 스크루 너트; 및
상기 스크루 너트와 상기 롤러 지지모듈을 연결하는 모듈 연결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제17항에 있어서,
상기 모듈 업/다운 구동부는,
상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동을 위한 구동력을 발생시키는 실린더;
상기 모듈 연결부에 연결되어 지지되는 연결 지지대; 및
상기 연결 지지대에 이동 가능하게 연결되되 일측은 상기 실린더의 로드에 연결되고 타측은 상기 롤러 지지모듈에 연결되는 업/다운 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제15항에 있어서,
상기 자재 부착용 롤러 어셈블리는,
상기 부착 롤러에 이웃하게 배치되고 상기 시트를 지지하는 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제12항에 있어서,
상기 자재 부착부는,
상기 시트 결합부와 상기 자재 부착용 롤러 어셈블리 사이에 배치되고 상기 시트를 가이드하는 시트 아이들 롤러; 및
상기 시트 아이들 롤러를 회전 가능하게 지지하는 아이들 롤러 지지대를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.
제12항에 있어서,
상기 자재 부착부는,
상기 시트 결합부와 연결되며, 상기 피부착 자재에 상기 부착 자재가 부착될 때 레귤레이터(regulator)를 적용해서 상기 시트의 텐션을 유지시키는 시트 텐션 유지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 디스플레이 자재의 진공 환경 내 시트 부착장치.