KR20230047332A - 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개 - Google Patents

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다카시 가바사와
겐고 사에구사
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에드워즈 가부시키가이샤
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Abstract

반응 생성물의 퇴적을 효과적으로 억제할 수 있는 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개를 제공한다. 회전 가능하게 유지된 회전축(113)과, 회전축(113)의 구동 기구와, 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개(201)와, 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 제1 회전 날개(201)보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개(202)와, 회전축(113), 제1 회전 날개(201) 및 제2 회전 날개(202)를 내포하는 케이싱(204)을 갖는 진공 펌프로서, 제1 회전 날개(201)에, 제2 회전 날개(202)가 단열부(203)를 통하여 배치되어 있다.

Description

진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개
본 발명은, 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개에 관한 것이다.
반도체 제조 장치, 액정 제조 장치, 전자 현미경, 표면 분석 장치 또는 미세 가공 장치 등은, 장치 내의 환경을 고도의 진공 상태로 하는 것이 필요하다. 이들 장치의 내부를 고도의 진공 상태로 하기 위하여, 진공 펌프가 이용되고 있다.
진공 펌프의 내부에, 반도체 제조 등으로 발생한 반응 생성물이 퇴적되는 것을 방지하기 위하여, 진공 펌프의 하류 측에 설치되어 있는 드래그 펌프 기구를, 반응 생성물의 승화 온도 이상으로 보온하는 기술이 고안되어 있다. 그러나, 반도체의 제조 프로세스에 따라서는, 반응 생성물의 승화 온도가 높아, 체적을 방지할 수 없는 경우도 있다. 그 경우에는, 정기적으로 드래그 펌프 기구를 분리하여 분해 세정하게 되기 때문에, 그 작업에 시간과 비용이 소비된다.
이에, 특허문헌 1에서는, 회전 날개의 하류 측의 부분을 내열성이 높은 재료로 치환함으로써, 반응 생성물이 퇴적되는 부분의 온도를 고온으로 유지하는 기술이 고안되어 있다.
일본국 특허공개 2007-71139호 공보
상술한 특허문헌 1에 기재된 기술에 의하면, 진공 펌프의 하류 측의 부분을 고온으로 유지할 수 있을 것처럼 보이지만, 실제로는, 하류 측의 고온부로부터 상류 측의 저온부로 다량의 열이 유입되어, 저온부가 용이하게 허용 온도를 초과할 가능성이 있다. 이 때문에, 진공 펌프의 하류 측의 부분의 온도를 충분히 올릴 수 없어, 반응 생성물이 퇴적하기 쉬워진다고 하는 과제가 있다.
본 발명은, 상술한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 반응 생성물의 퇴적을 효과적으로 억제할 수 있는 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하는 본 발명에 따른 진공 펌프는, 회전 가능하게 유지된 회전축과, 상기 회전축의 구동 기구와, 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개와, 상기 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 상기 제1 회전 날개보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개와, 상기 회전축, 상기 제1 회전 날개 및 상기 제2 회전 날개를 내포하는 케이싱을 갖는 진공 펌프로서, 상기 회전축, 또는, 상기 제1 회전 날개 중 적어도 한쪽에, 상기 제2 회전 날개가 단열부를 통하여 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기 목적을 달성하는 본 발명에 따른 진공 펌프용 회전 날개는, 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개와, 상기 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 상기 제1 회전 날개보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개를 갖는 진공 펌프용 회전 날개로서, 상기 제1 회전 날개에 상기 제2 회전 날개가 단열부를 통하여 배치되어 있는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 구성한 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개는, 제1 회전 날개보다 하류 측의 제2 회전 날개가, 단열부를 통하여 배치되어 있기 때문에, 하류 측의 제2 회전 날개를 고온으로 해도, 상류 측의 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 상류 측의 제1 회전 날개가 과열되는 것을 억제하면서, 하류 측의 제2 회전 날개를 고온으로 할 수 있기 때문에, 진공 펌프의 내부에 반응 생성물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 회전축, 또는, 제1 회전 날개 중 적어도 한쪽에 대하여 단열부를 통하여 배치되어 있는 제2 회전 날개는, 단열부만을 통하여 직접적으로 배치되는 경우뿐만 아니라, 단열부에 더하여 단열부 이외의 부재나 부위를 통하여 간접적으로 배치되는 경우도 있을 수 있다.
상기 단열부는, 상기 제1 재료 및 상기 제2 재료보다 열전도율이 낮은 제3 재료로 형성되어도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 제3 재료로 형성된 단열부에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 제3 재료는, 다공질 재료여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 다공질 재료에 의하여 형성된 단열부에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 제3 재료는, 스테인리스강 또는 티탄 합금이어도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 스테인리스강 또는 티탄 합금에 의하여 형성된 단열부에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 제3 재료는, 세라믹스여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 세라믹스에 의하여 형성된 단열부에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 제3 재료는, 수지 재료여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 수지 재료에 의하여 형성된 단열부에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 단열부는, 소정의 길이와 두께로 형성된 단열 구조여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개로부터 제1 회전 날개에 대한 열의 유입을, 소정의 길이와 두께로 형성된 단열 구조의 단열부에 의하여, 효과적으로 억제할 수 있다.
상기 제1 회전 날개는, 당해 제1 회전 날개의 측면에 배치된 복수 단(段)의 회전 블레이드의 날개열을 갖고, 상기 진공 펌프는, 상기 회전 블레이드의 날개열의 사이에 배치된 정지(靜止) 블레이드의 날개열을 갖고, 상기 회전 블레이드의 날개열과 상기 정지 블레이드의 날개열로, 터보 분자 펌프 기구를 형성해도 된다. 이에 의하여, 낮은 압력까지 효과적으로 배기할 수 있다.
상기 제2 회전 날개는, 당해 제2 회전 날개에 배치된 적어도 1개의 회전 원통부를 갖고, 상기 진공 펌프는, 상기 회전 원통부의 외주면 또는 내주면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원통부를 갖고, 상기 회전 원통부와 상기 정지 원통부로, 홀벡(Holweck)형 드래그 펌프 기구를 형성해도 된다. 이에 의하여, 펌프의 배기구 부근의 압력이, 비교적 높은 압력인 경우에도 효과적으로 배기할 수 있다.
상기 제2 회전 날개는, 당해 제2 회전 날개의 측면에 배치된 적어도 1개의 회전 원판부를 갖고, 상기 진공 펌프는, 상기 회전 원판부의 축방향을 향하는 면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원판부를 갖고, 상기 회전 원판부와 상기 정지 원판부로, 시그반(Siegbahn)형 드래그 펌프 기구를 형성해도 된다. 이에 의하여, 펌프의 배기구 부근의 압력이, 비교적 높은 압력인 경우에도 효과적으로 배기할 수 있다.
상기 제1 회전 날개는, 적어도 일부가 상기 단열부보다 하류 측으로 돌출된 구조여도 된다. 이에 의하여, 제1 회전 날개의 표면적을 증가시키고, 제1 회전 날개로부터, 제1 회전 날개의 표면에 대향하여 배치되는 부재에 대한 방열을 촉진할 수 있다.
도 1은, 진공 펌프의 종단면도이다.
도 2는, 앰프 회로의 회로도이다.
도 3은, 전류 지령값이 검출값보다 큰 경우의 제어를 나타내는 타임 차트이다.
도 4는, 전류 지령값이 검출값보다 작은 경우의 제어를 나타내는 타임 차트이다.
도 5는, 제1 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도이다.
도 6은, 제2 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도이다.
도 7은, 제3 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도이다.
도 8은, 제4 실시 형태에 따른 진공 펌프의 종단면도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태를 설명한다. 또한, 도면의 치수는, 설명의 편의상, 과장되어 실제 치수와는 상이한 경우가 있다. 또, 본 명세서 및 도면에 있어서, 실질적으로 동일한 기능 구성을 갖는 구성 요소에 대해서는, 동일한 부호를 붙임으로써 중복 설명을 생략한다.
<제1 실시 형태>
본 발명의 제1 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 고속 회전하는 회전체의 회전 블레이드가 기체 분자를 튕겨 냄으로써 가스를 배기하는 터보 분자 펌프(100)이다. 터보 분자 펌프(100)는, 예를 들면 반도체 제조 장치 등의 챔버로부터 가스를 흡인하여 배기하기 위해서 사용된다.
이 터보 분자 펌프(100)의 종단면도를 도 1에 나타낸다. 도 1에 있어서, 터보 분자 펌프(100)는, 원통 형상의 외통(127)의 상단에 흡기구(101)가 형성되어 있다. 그리고, 외통(127)의 안쪽에는, 가스를 흡인 배기하기 위한 터빈 블레이드인 복수의 회전 블레이드(102(102a, 102b, 102c···))를 둘레부에 방사 형상 또한 다단으로 형성한 회전체(103)가 구비되어 있다. 이 회전체(103)의 중심에는 회전축(113)이 장착되어 있고, 이 회전축(113)은, 예를 들면 5축 제어의 자기 베어링에 의하여 공중에 부상 지지되고 또한 위치 제어되어 있다.
상측 경방향 전자석(104)은, 4개의 전자석이 X축과 Y축에 쌍을 이루어 배치되어 있다. 이 상측 경방향 전자석(104)의 근접에, 또한 상측 경방향 전자석(104)의 각각에 대응되어 4개의 상측 경방향 센서(107)가 구비되어 있다. 상측 경방향 센서(107)는, 예를 들면 전도 권선을 갖는 인덕턴스 센서나 와전류 센서 등이 이용되고, 회전축(113)의 위치에 따라 변화하는 이 전도 권선의 인덕턴스의 변화에 의거하여 회전축(113)의 위치를 검출한다. 이 상측 경방향 센서(107)는 회전축(113), 즉 그것에 고정된 회전체(103)의 경방향 변위를 검출하고, 도시하지 않은 제어 장치에 보내도록 구성되어 있다.
이 제어 장치에 있어서는, 예를 들면 PID 조절 기능을 갖는 보상 회로가, 상측 경방향 센서(107)에 의하여 검출된 위치 신호에 의거하여, 상측 경방향 전자석(104)의 여자 제어 지령 신호를 생성하고, 도 2에 나타내는 앰프 회로(150)(후술한다)가, 이 여자 제어 지령 신호에 의거하여, 상측 경방향 전자석(104)을 여자 제어함으로써, 회전축(113)의 상측의 경방향 위치가 조정된다.
그리고, 이 회전축(113)은, 고투자율재(철, 스테인리스 등) 등에 의하여 형성되고, 상측 경방향 전자석(104)의 자력에 의하여 흡인되도록 되어 있다. 이러한 조정은, X축 방향과 Y축 방향에 각각 독립적으로 행해진다. 또, 하측 경방향 전자석(105) 및 하측 경방향 센서(108)가, 상측 경방향 전자석(104) 및 상측 경방향 센서(107)와 동일하게 배치되고, 회전축(113)의 하측의 경방향 위치를 상측의 경방향 위치와 동일하게 조정하고 있다.
또한, 축방향 전자석(106A, 106B)이, 회전축(113)의 하부에 구비한 원판 형상의 금속 디스크(111)를 상하로 끼고 배치되어 있다. 금속 디스크(111)는, 철 등의 고투자율재로 구성되어 있다. 회전축(113)의 축방향 변위를 검출하기 위하여 축방향 센서(109)가 구비되고, 그 축방향 위치 신호가 제어 장치에 보내지도록 구성되어 있다.
그리고, 제어 장치에 있어서, 예를 들면 PID 조절 기능을 갖는 보상 회로가, 축방향 센서(109)에 의하여 검출된 축방향 위치 신호에 의거하여, 축방향 전자석(106A)과 축방향 전자석(106B) 각각의 여자 제어 지령 신호를 생성하고, 앰프 회로(150)가, 이들 여자 제어 지령 신호에 의거하여, 축방향 전자석(106A)과 축방향 전자석(106B)을 각각 여자 제어함으로써, 축방향 전자석(106A)이 자력에 의하여 금속 디스크(111)를 상방으로 흡인하고, 축방향 전자석(106B)이 금속 디스크(111)를 하방으로 흡인하여, 회전축(113)의 축방향 위치가 조정된다.
이와 같이, 제어 장치는, 이 축방향 전자석(106A, 106B)이 금속 디스크(111)에 미치는 자력을 적당하게 조절하여, 회전축(113)을 축방향으로 자기 부상시켜, 공간에 비접촉으로 유지하도록 되어 있다. 또한, 이들 상측 경방향 전자석(104), 하측 경방향 전자석(105) 및 축방향 전자석(106A, 106B)을 여자 제어하는 앰프 회로(150)에 대해서는, 후술한다.
한편, 모터(121)는, 회전축(113)을 둘러싸도록 둘레 형상으로 배치된 복수의 자극을 구비하고 있다. 각 자극은, 회전축(113)과의 사이에 작용하는 전자력을 통하여 회전축(113)을 회전 구동하도록, 제어 장치에 의하여 제어되어 있다. 또, 모터(121)에는 도시하지 않은 예를 들면 홀 소자, 리졸버, 인코더 등의 회전 속도 센서가 내장되어 있고, 이 회전 속도 센서의 검출 신호에 의하여 회전축(113)의 회전 속도가 검출되도록 되어 있다.
또한, 예를 들면 하측 경방향 센서(108) 근방에, 도시하지 않은 위상 센서가 장착되어 있어, 회전축(113)의 회전의 위상을 검출하도록 되어 있다. 제어 장치에서는, 이 위상 센서와 회전 속도 센서의 검출 신호를 함께 이용하여 자극의 위치를 검출하도록 되어 있다.
회전 블레이드(102(102a, 102b, 102c···))와 약간의 공극을 두고 복수 장의 정지 블레이드(123a, 123b, 123c···)가 배치되어 있다. 회전 블레이드(102(102a, 102b, 102c···))는, 각각 배기 가스의 분자를 충돌에 의하여 아래 방향으로 이송하기 위하여, 회전축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 형성되어 있다.
또, 정지 블레이드(123)도, 마찬가지로 회전축(113)의 축선에 수직인 평면으로부터 소정의 각도만큼 경사져 형성되고, 또한 외통(127)의 안쪽을 향하여 회전 블레이드(102)의 단과 번갈아 배치되어 있다. 그리고, 정지 블레이드(123)의 외주단은, 복수의 단 쌓기된 정지 블레이드 스페이서(125(125a, 125b, 125c···))의 사이에 끼워 넣어진 상태로 지지되어 있다.
정지 블레이드 스페이서(125)는 링 형상의 부재이며, 예를 들면 알루미늄, 철, 스테인리스, 구리 등의 금속, 또는 이들 금속을 성분으로서 포함하는 합금 등의 금속에 의하여 구성되어 있다. 정지 블레이드 스페이서(125)의 외주에는, 약간의 공극을 두고 외통(127)이 고정되어 있다. 외통(127)의 바닥부에는 베이스부(129)가 배치되어 있다. 챔버 측으로부터 흡기구(101)로 들어가 베이스부(129)에는 배기구(133)가 형성되어, 외부에 연통되어 있다. 베이스부(129)로 이송되어 온 배기 가스는, 배기구(133)로 보내진다.
또한, 터보 분자 펌프(100)의 용도에 따라, 정지 블레이드 스페이서(125)의 하부와 베이스부(129)의 사이에는, 나사 스페이서(131)가 배치된다. 나사 스페이서(131)는, 알루미늄, 구리, 스테인리스, 철, 또는 이들 금속을 성분으로 하는 합금 등의 금속에 의하여 구성된 원통 형상의 부재이며, 그 내주면에 나선 형상의 나사 홈(131a)이 복수 줄 새겨져 형성되어 있다. 나사 홈(131a)의 나선의 방향은, 회전체(103)의 회전 방향으로 배기 가스의 분자가 이동했을 때에, 이 분자가 배기구(133) 쪽으로 이송되는 방향이다. 회전체(103)의 회전 블레이드(102(102a, 102b, 102c···))에 이어지는 최하부에는 회전 원통부(102d)가 수하(垂下)되어 있다. 이 회전 원통부(102d)의 외주면은, 원통 형상이고, 또한 나사 스페이서(131)의 내주면을 향하여 돌출되어 있으며, 이 나사 스페이서(131)의 내주면과 소정의 간극을 두고 근접되어 있다. 회전 블레이드(102) 및 정지 블레이드(123)에 의하여 나사 홈(131a)으로 이송되어 온 배기 가스는, 나사 홈(131a)으로 안내되면서 베이스부(129)로 보내진다.
베이스부(129)는, 터보 분자 펌프(100)의 기저부를 구성하는 원반 형상의 부재이며, 일반적으로는 철, 알루미늄, 스테인리스 등의 금속에 의하여 구성되어 있다. 베이스부(129)는 터보 분자 펌프(100)를 물리적으로 유지함과 더불어, 열의 전도로(傳導路)의 기능도 겸비하고 있으므로, 철, 알루미늄이나 구리 등의 강성이 있고, 열전도율도 높은 금속이 사용되는 것이 바람직하다.
이러한 구성에 있어서, 회전 블레이드(102)가 회전축(113)과 함께 모터(121)에 의하여 회전 구동되면, 회전 블레이드(102)와 정지 블레이드(123)의 작용에 의하여, 흡기구(101)를 통하여 챔버로부터 배기 가스가 흡기된다. 흡기구(101)로부터 흡기된 배기 가스는, 회전 블레이드(102)와 정지 블레이드(123)의 사이를 통과하여, 베이스부(129)로 이송된다. 이때, 배기 가스가 회전 블레이드(102)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열이나, 모터(121)에서 발생한 열의 전도 등에 의하여, 회전 블레이드(102)의 온도는 상승하지만, 이 열은, 복사 또는 배기 가스의 기체 분자 등에 의한 전도에 의하여 정지 블레이드(123) 측에 전달된다.
정지 블레이드 스페이서(125)는, 외주부에서 서로 접합하고 있고, 정지 블레이드(123)가 회전 블레이드(102)로부터 받은 열이나 배기 가스가 정지 블레이드(123)에 접촉할 때에 발생하는 마찰열 등을 외부로 전달한다.
또한, 상기에서는, 나사 스페이서(131)는 회전체(103)의 회전 원통부(102d)의 외주에 배치하고, 나사 스페이서(131)의 내주면에 나사 홈(131a)이 새겨져 형성되어 있다고 설명했다. 그러나, 이것과는 반대로 회전 원통부(102d)의 외주면에 나사 홈이 새겨져 형성되고, 그 주위에 원통 형상의 내주면을 갖는 스페이서가 배치되는 경우도 있다.
또, 터보 분자 펌프(100)의 용도에 따라서는, 흡기구(101)로부터 흡인된 가스가 상측 경방향 전자석(104), 상측 경방향 센서(107), 모터(121), 하측 경방향 전자석(105), 하측 경방향 센서(108), 축방향 전자석(106A, 106B), 축방향 센서(109) 등으로 구성되는 전장부에 침입하는 일이 없도록, 전장부는 주위를 스테이터 칼럼(122)으로 덮고, 이 스테이터 칼럼(122) 내는 퍼지 가스로 소정 압으로 유지되는 경우도 있다.
이 경우에는, 베이스부(129)에는 도시하지 않은 배관이 배치되고, 이 배관을 통하여 퍼지 가스가 도입된다. 도입된 퍼지 가스는, 보호 베어링(120)과 회전축(113) 사이, 모터(121)의 로터와 스테이터 사이, 스테이터 칼럼(122)과 회전 블레이드(102)의 내주 측 원통부 사이의 간극을 통하여 배기구(133)로 송출된다.
여기에, 터보 분자 펌프(100)는, 기종의 특정과, 개별적으로 조정된 고유의 파라미터(예를 들면, 기종에 대응하는 여러 특성)에 의거한 제어를 필요로 한다. 이 제어 파라미터를 저장하기 위하여, 상기 터보 분자 펌프(100)는, 그 본체 내에 전자 회로부(141)를 구비하고 있다. 전자 회로부(141)는, EEP-ROM 등의 반도체 메모리 및 그 액세스를 위한 반도체 소자 등의 전자 부품, 그들의 실장용 기판(143) 등으로 구성된다. 이 전자 회로부(141)는, 터보 분자 펌프(100)의 하부를 구성하는 베이스부(129)의 예를 들면 중앙 부근의 도시하지 않은 회전 속도 센서의 하부에 수용되고, 기밀성의 바닥 덮개(145)에 의하여 닫혀 있다.
그런데, 반도체의 제조 공정에서는, 챔버에 도입되는 프로세스 가스 중에는, 그 압력이 소정 값보다 높아지거나, 혹은, 그 온도가 소정 값보다 낮아지면, 고체가 되는 성질을 갖는 것이 있다. 터보 분자 펌프(100) 내부에서는, 배기 가스의 압력은, 흡기구(101)에서 가장 낮고 배기구(133)에서 가장 높다. 프로세스 가스가 흡기구(101)로부터 배기구(133)로 이송되는 도중에, 그 압력이 소정 값보다 높아지거나, 그 온도가 소정 값보다 낮아지거나 하면, 프로세스 가스는, 고체 형상이 되어, 터보 분자 펌프(100) 내부에 부착되어 퇴적된다.
예를 들면, Al 에칭 장치에 프로세스 가스로서 SiCl4가 사용된 경우, 저진공(760[torr]~10-2[torr]) 또한, 저온(약 20[℃])일 때, 고체 생성물(예를 들면 AlCl3)이 석출되어, 터보 분자 펌프(100) 내부에 부착 퇴적되는 것을 증기압 곡선으로부터 알 수 있다. 이에 의하여, 터보 분자 펌프(100) 내부에 프로세스 가스의 석출물이 퇴적되면, 이 퇴적물이 펌프 유로를 좁혀, 터보 분자 펌프(100)의 성능을 저하시키는 원인이 된다. 그리고, 상술한 생성물은, 배기구 부근이나 나사 스페이서(131) 부근의 압력이 높은 부분에서 응고, 부착되기 쉬운 상황에 있었다.
그 때문에, 이 문제를 해결하기 위하여, 종래는 베이스부(129) 등의 외주에 도시하지 않은 히터나 환상의 수랭관(149)을 감고, 또한 예를 들면 베이스부(129)에 도시하지 않은 온도 센서(예를 들면 서미스터)를 매설하고, 이 온도 센서의 신호에 의거하여 베이스부(129)의 온도를 일정한 높은 온도(설정 온도)로 유지하도록 히터의 가열이나 수랭관(149)에 의한 냉각의 제어(이하 TMS라고 한다. TMS; Temperature Management System)가 행해지고 있다.
다음으로, 이와 같이 구성되는 터보 분자 펌프(100)에 관하여, 그 상측 경방향 전자석(104), 하측 경방향 전자석(105) 및 축방향 전자석(106A, 106B)을 여자 제어하는 앰프 회로(150)에 대하여 설명한다. 이 앰프 회로(150)의 회로도를 도 2에 나타낸다.
도 2에 있어서, 상측 경방향 전자석(104) 등을 구성하는 전자석 권선(151)은, 그 일단이 트랜지스터(161)를 통하여 전원(171)의 양극(171a)에 접속되어 있고, 또, 그 타단이 전류 검출 회로(181) 및 트랜지스터(162)를 통하여 전원(171)의 음극(171b)에 접속되어 있다. 그리고, 트랜지스터(161, 162)는, 이른바 파워 MOSFET으로 되어 있고, 그 소스-드레인 간에 다이오드가 접속된 구조를 갖고 있다.
이때, 트랜지스터(161)는, 그 다이오드의 캐소드 단자(161a)가 양극(171a)에 접속됨과 더불어, 애노드 단자(161b)가 전자석 권선(151)의 일단과 접속되도록 되어 있다. 또, 트랜지스터(162)는, 그 다이오드의 캐소드 단자(162a)가 전류 검출 회로(181)에 접속됨과 더불어, 애노드 단자(162b)가 음극(171b)과 접속되도록 되어 있다.
한편, 전류 회생용 다이오드(165)는, 그 캐소드 단자(165a)가 전자석 권선(151)의 일단에 접속됨과 더불어, 그 애노드 단자(165b)가 음극(171b)에 접속되도록 되어 있다. 또, 이것과 마찬가지로, 전류 회생용 다이오드(166)는, 그 캐소드 단자(166a)가 양극(171a)에 접속됨과 더불어, 그 애노드 단자(166b)가 전류 검출 회로(181)를 통하여 전자석 권선(151)의 타단에 접속되도록 되어 있다. 그리고, 전류 검출 회로(181)는, 예를 들면 홀 센서식 전류 센서나 전기 저항 소자로 구성되어 있다.
이상과 같이 구성되는 앰프 회로(150)는, 하나의 전자석에 대응되는 것이다. 그 때문에, 자기 베어링이 5축 제어이고, 전자석(104, 105, 106A, 106B)이 합계 10개 있는 경우에는, 전자석 각각에 대하여 동일한 앰프 회로(150)가 구성되고, 전원(171)에 대하여 10개의 앰프 회로(150)가 병렬로 접속되도록 되어 있다.
또한, 앰프 제어 회로(191)는, 예를 들면, 제어 장치의 도시하지 않은 디지털·시그널·프로세서부(이하, DSP부라고 한다)에 의하여 구성되고, 이 앰프 제어 회로(191)는, 트랜지스터(161, 162)의 on/off를 전환하도록 되어 있다.
앰프 제어 회로(191)는, 전류 검출 회로(181)가 검출한 전류값(이 전류값을 반영한 신호를 전류 검출 신호(191c)라고 한다)과 소정의 전류 지령값을 비교하도록 되어 있다. 그리고, 이 비교 결과에 의거하여, PWM 제어에 의한 1주기인 제어 사이클(Ts) 내에 발생시키는 펄스폭의 크기(펄스폭 시간(Tp1, Tp2))를 결정하도록 되어 있다. 그 결과, 이 펄스폭을 갖는 게이트 구동 신호(191a, 191b)를, 앰프 제어 회로(191)로부터 트랜지스터(161, 162)의 게이트 단자에 출력하도록 되어 있다.
또한, 회전체(103)의 회전 속도의 가속 운전 중에 공진점을 통과할 때나 정속 운전 중에 외란이 발생했을 때 등에, 고속이고 또한 강한 힘으로의 회전체(103)의 위치 제어를 할 필요가 있다. 그 때문에, 전자석 권선(151)에 흐르는 전류의 급격한 증가(혹은 감소)가 가능하도록, 전원(171)으로서는, 예를 들면 50V 정도의 고전압이 사용되도록 되어 있다. 또, 전원(171)의 양극(171a)과 음극(171b)의 사이에는, 전원(171)의 안정화를 위하여, 통상 콘덴서가 접속되어 있다(도시 생략).
이러한 구성에 있어서, 트랜지스터(161, 162)의 양쪽 모두를 on으로 하면, 전자석 권선(151)에 흐르는 전류(이하, 전자석 전류(iL)라고 한다)가 증가하고, 양쪽 모두를 off로 하면, 전자석 전류(iL)가 감소한다.
또, 트랜지스터(161, 162) 중 한쪽을 on으로 하고, 다른 쪽을 off로 하면, 이른바 플라이휠 전류가 유지된다. 그리고, 이와 같이 앰프 회로(150)에 플라이휠 전류를 흐르게 함으로써, 앰프 회로(150)에 있어서의 히스테리시스 손실을 감소시켜, 회로 전체적인 소비 전력을 낮게 억제할 수 있다. 또, 이와 같이 트랜지스터(161, 162)를 제어함으로써, 터보 분자 펌프(100)에 발생하는 고조파 등의 고주파 노이즈를 저감시킬 수 있다. 또한, 이 플라이휠 전류를 전류 검출 회로(181)로 측정함으로써 전자석 권선(151)을 흐르는 전자석 전류(iL)가 검출 가능해진다.
즉, 검출한 전류값이 전류 지령값보다 작은 경우에는, 도 3에 나타내는 바와 같이 제어 사이클(Ts)(예를 들면 100μs) 중에서 1회만, 펄스폭 시간(Tp1)에 상당하는 시간분만큼 트랜지스터(161, 162)의 양쪽 모두를 on으로 한다. 그 때문에, 이 기간 중의 전자석 전류(iL)는, 양극(171a)으로부터 음극(171b)으로, 트랜지스터(161, 162)를 통하여 흐르게 할 수 있는 전류값(iLmax)(도시하지 않음)을 향하여 증가한다.
한편, 검출한 전류값이 전류 지령값보다 큰 경우에는, 도 4에 나타내는 바와 같이 제어 사이클(Ts) 중에서 1회만 펄스폭 시간(Tp2)에 상당하는 시간분만큼 트랜지스터(161, 162)의 양쪽 모두를 off로 한다. 그 때문에, 이 기간 중의 전자석 전류(iL)는, 음극(171b)으로부터 양극(171a)으로, 다이오드(165, 166)를 통하여 회생할 수 있는 전류값(iLmin)(도시하지 않음)을 향하여 감소한다.
그리고, 어떤 경우에도, 펄스폭 시간(Tp1, Tp2)의 경과 후에는, 트랜지스터(161, 162) 중 어느 1개를 on으로 한다. 그 때문에, 이 기간 중에는, 앰프 회로(150)에 플라이휠 전류가 유지된다.
제1 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 회전체(103)에, 복수의 회전 블레이드(102(102a, 102b, 102c···))를 구비하는 제1 회전 날개(201)와, 회전 원통부(102d)를 구비하는 제2 회전 날개(202)와, 제1 회전 날개(201) 및 제2 회전 날개(202)의 사이에 배치되는 단열부(203)를 구비하는 진공 펌프용 회전 날개(200)를 갖고 있다.
단열부(203)는, 고온이 되는 제2 회전 날개(202)로부터, 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 억제하는 부재이다. 단열부(203)는, 링 형상 또는 원통 형상의 스페이서이다. 단열부(203)의 내주면은, 제1 회전 날개(201)의 하류 측의 부위의 외주면에 연결되고, 단열부(203)의 외주면은, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 부위의 내주면에 연결된다. 단열부(203)는, 제1 회전 날개(201)의 가장 하류 측의 회전 블레이드(102)보다 더욱 하류 측의 부위의 외주면에 연결된다. 단열부(203)가 설치됨으로써, 제2 회전 날개(202)는, 제1 회전 날개(201)에 대하여 직접 연결되지 않고, 단열부(203)를 통하여 간접적으로 연결되어 배치된다. 또한, 제1 회전 날개(201)와 제2 회전 날개(202)가 직접적으로 연결되지 않으면, 제1 회전 날개(201)가 단열부(203)에 연결되는 부위는 특별히 한정되지 않고, 또한 제2 회전 날개(202)가 단열부(203)에 연결되는 부위는 특별히 한정되지 않는다.
제1 회전 날개(201)는, 단열부(203)에 연결되는 부위보다 하류 측으로 돌출되는 원통 형상의 돌출부(204)를 갖고 있다. 돌출부(204)를 포함하는 제1 회전 날개(201)의 내주면은, 스테이터 칼럼(122)의 외주면에 대향한다. 이 때문에, 돌출부(204)는, 스테이터 칼럼(122)과 열교환하여, 스테이터 칼럼(122)으로 방열할 수 있다.
제2 회전 날개(202)는, 회전 원통부(102d)를 구비하고 원통 형상이며, 상류 측의 부위의 내주면에, 단열부(203)의 외주면이 연결되어 있다.
제1 회전 날개(201)를 형성하는 제1 부재는, 특별히 한정되지 않지만, 진공 펌프의 회전 성능을 향상시키기 위하여 비교적 경량인 것이 바람직하고, 예를 들면 알루미늄 합금이다. 제2 회전 날개(202)를 형성하는 제2 부재는, 특별히 한정되지 않지만, 높은 내열성을 갖는 것이 바람직하고, 예를 들면 스테인리스강이다. 제1 부재는, 제2 부재보다 경량이며, 제2 부재는, 제1 부재보다 높은 내열성을 갖는다.
단열부(203)를 형성하는 제3 부재는, 제1 재료 및 제2 재료보다 열전도율이 낮은 저열전도율 재료이다. 이 때문에, 단열부(203)는, 하류 측에 배치되는 고온부인 제2 회전 날개(202)로부터, 하류 측에 배치되고 고온부만큼 고온이 되지 않는 저온부인 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 억제할 수 있다. 제3 부재는, 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면 이산화 지르코늄 등의 세라믹스, 폴리아미드이미드 등의 수지 재료, 또는 미세한 구멍이 다수 뚫려 있는 다공질 재료이다. 다공질 재료는, 예를 들면 스테인리스강이나 티탄 합금 등의 금속 재료, 세라믹스 또는 수지 재료 등에 의하여 형성된다. 다공질 재료의 제조 방법은, 특별히 한정되지 않고, 예를 들면 3D 프린터에 의하여 소재를 적층하여 형성하거나, 또는 분말을 소결하여 형성할 수 있다.
외통(127) 및 베이스부(129)는, 케이싱(204)을 구성한다. 케이싱(204)은, 회전축(113), 제1 회전 날개(201) 및 제2 회전 날개(202)를 회전 가능하게 내포한다.
다음으로, 상술한 진공 펌프의 작용을 설명한다. 진공 펌프의 회전축(113)이 구동 기구인 모터(121)에 의하여 구동되면, 회전체(103)가 회전한다. 이에 의하여, 회전 블레이드(102)와 정지 블레이드(123)의 작용에 의하여, 흡기구(101)를 통하여 챔버로부터의 배기 가스가 흡기된다.
흡기구(101)로부터 흡기된 배기 가스는, 제1 회전 날개(201)의 회전 블레이드(102)와 정지 블레이드(123)에 의하여 형성되는 터보 분자 펌프 기구에 의하여, 하류 측으로 이송된다. 하류 측으로 이송되어 온 배기 가스는, 제2 회전 날개(202)의 회전 원통부(102d) 및 정지 원통부인 나사 스페이서(131)에 의하여 형성되는 홀벡형 드래그 펌프 기구에 안내된 후, 배기구(133)로 이송된다. 또한, 본 실시 형태에서는, 나사 스페이서(131)는 제2 회전 날개(202)의 외주에 배치되고, 나사 스페이서(131)의 내주면에 나사 홈(131a)이 형성되어 있다. 그러나, 이것과는 반대로, 제2 회전 날개(202)의 외주면에 나사 홈이 형성되고, 그 주위에 원통 형상의 내주면을 갖는 스페이서가 배치되어도 된다.
이상과 같이, 제1 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 회전 가능하게 유지된 회전축(113)과, 회전축(113)의 구동 기구(모터(121))와, 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개(201)와, 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 제1 회전 날개(201)보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개(202)와, 회전축(113), 제1 회전 날개(201) 및 제2 회전 날개(202)를 내포하는 케이싱(204)을 갖는 진공 펌프이며, 제1 회전 날개(201)에, 제2 회전 날개(202)가 단열부(203)를 통하여 배치되어 있다.
또, 진공 펌프용 회전 날개(200)는, 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개(201)와, 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 제1 회전 날개(201)보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개(202)를 갖는 진공 펌프용 회전 날개(200)이며, 제1 회전 날개(201)에 제2 회전 날개(202)가 단열부(203)를 통하여 배치되어 있다.
상기와 같이 구성한 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개(200)는, 제1 회전 날개(201)보다 하류 측의 제2 회전 날개(202)가, 단열부(203)를 통하여 배치되어 있기 때문에, 하류 측의 제2 회전 날개(202)를 고온으로 해도, 상류 측의 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 저감시킬 수 있다. 이 때문에, 상류 측의 제1 회전 날개(201)가 과열되는 것을 억제하면서, 하류 측의 제2 회전 날개(202)를 고온으로 유지할 수 있기 때문에, 진공 펌프의 내부에 반응 생성물이 퇴적되는 것을 억제할 수 있다. 이 때문에, 진공 펌프의 분해 세정이 불필요해지거나, 또는 분해 세정의 횟수가 감소하여, 작업 시간 및 작업 비용을 삭감할 수 있다. 또, 상류 측의 부분의 과열을 억제할 수 있기 때문에, 연속 배기하는 가스의 유량을 제한할 필요가 없어지기 때문에, 가스의 유량을 적절히 유지할 수 있다.
또한, 제1 회전 날개(201)에 대하여 단열부(203)를 통하여 배치되어 있는 제2 회전 날개(202)는, 단열부(203)만을 통하여 직접적으로 배치되어 있는 경우뿐만 아니라, 단열부(203) 및 단열부(203) 이외의 부위나 부재를 통하여 간접적으로 배치되어 있는 경우도 있을 수 있다.
또, 단열부(203)는, 제1 재료 및 제2 재료보다 열전도율이 낮은 제3 재료로 형성되어도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 제3 재료로 형성된 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제3 재료는, 다공질 재료여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 다공질 재료에 의하여 형성된 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제3 재료는, 스테인리스강 또는 티탄 합금이어도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 스테인리스강 또는 티탄 합금에 의하여 형성된 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제3 재료는, 세라믹스여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 세라믹스에 의하여 형성된 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제3 재료는, 수지 재료여도 된다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 열전도율이 낮은 수지 재료에 의하여 형성된 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제1 회전 날개(201)는, 당해 제1 회전 날개(201)의 측면에 배치된 복수 단의 회전 블레이드(102)의 날개열을 갖고, 진공 펌프는, 회전 블레이드(102)의 날개열의 사이에 배치된 정지 블레이드(123)의 날개열을 갖고, 회전 블레이드(102)의 날개열과 정지 블레이드(123)의 날개열로, 터보 분자 펌프 기구가 형성된다. 이에 의하여, 낮은 압력까지 효과적으로 배기할 수 있다. 또, 제1 회전 날개(201)를 포함하는 터보 분자 펌프 기구에 대한 열의 유입을, 단열부(203)에 의하여 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제2 회전 날개(202)는, 당해 제2 회전 날개(202)에 배치된 적어도 1개의 회전 원통부(102d)를 갖고, 진공 펌프는, 회전 원통부(102d)의 외주면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원통부(나사 스페이서(131))를 갖고, 회전 원통부(102d)와 정지 원통부로, 홀벡형 드래그 펌프 기구가 형성된다. 이에 의하여, 펌프의 배기구(133) 부근의 압력이, 비교적 높은 압력인 경우에도 효과적으로 배기할 수 있다. 또, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 단열부(203)에 의하여 저감시키고, 제2 회전 날개(202)를 포함하는 홀벡형 드래그 펌프 기구를 고온으로 유지하여, 드래그 펌프 기구의 내부의 반응 생성물의 퇴적을 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제1 회전 날개(201)는, 적어도 일부가 단열부(203)보다 하류 측으로 돌출된 구조이다. 이에 의하여, 제1 회전 날개(201)의 표면적(내주면의 면적)을 증가시키고, 제1 회전 날개(201)로부터, 제1 회전 날개(201)의 내측에 배치되는 부재(스테이터 칼럼(122))에 대한 방열을 촉진할 수 있다.
<제2 실시 형태>
제2 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 도 6에 나타내는 바와 같이, 단열부(302)의 구조가, 제1 실시 형태와 상이하다.
제2 실시 형태에 따른 진공 펌프의 진공 펌프용 회전 날개(300)는, 제1 회전 날개(201)와, 제1 회전 날개(201)의 하류 측의 단부에 연결된 링 형상의 제1 연결부(301)와, 제1 연결부(301)로부터 상류 측으로 연장되는 원통 형상의 단열부(302)와, 단열부(302)의 상류 측의 단부에 연결된 링 형상의 제2 연결부(303)와, 제2 연결부(303)로부터 하류 측으로 연장되는 원통 형상의 제2 회전 날개(202)를 구비하고 있다. 제1 연결부(301), 단열부(302), 제2 연결부(303) 및 제2 회전 날개(202)는, 동일한 재료(예를 들면 스테인리스강)에 의하여 일체적으로 형성되어 있다.
제1 연결부(301)는, 제1 회전 날개(201)의 하류 측의 단부와, 단열부(302)의 하류 측의 단부를 연결하고 있다. 제1 연결부(301)는, 제1 회전 날개(201)의 하류 측의 단부의 외주면으로부터 경방향 외측으로 돌출되어 있다.
제2 연결부(303)는, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 단부와, 단열부(302)의 상류 측의 단부를 연결하고 있다. 제2 연결부(303)는, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 단부의 내주면으로부터 경방향 내측으로 돌출되어 있다.
단열부(302)는, 제1 회전 날개(201)의 외주면과 제2 회전 날개(202)의 내주면의 사이에, 제1 회전 날개(201)의 외주면 및 제2 회전 날개(202)의 내주면으로부터 떨어져 배치되어 있다. 단열부(302)는, 경방향으로 소정의 두께(W1)와, 축방향으로 소정의 길이(L1)를 갖는 단열 구조이다. 축방향이란, 회전체(103)의 회전의 중심축을 따르는 방향이다. 경방향이란, 회전체(103)의 회전의 중심축과 직교하는 단면에 있어서, 중심축에 대하여 이격 또는 접근하는 방향이다. 두께(W1)는, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 1~10mm, 보다 바람직하게는 2~5mm이며, 예를 들면 3mm이다. 길이(L1)는, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 10~50mm, 보다 바람직하게는 20~40mm이며, 예를 들면 30mm이다. 두께(W1)가 얇고, 또한 길이(L1)가 길수록, 단열부(302)의 전열량이 저하하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 저감시킬 수 있다. 두께(W1)는, 예를 들면, 제1 회전 날개(201)의 가장 하류 측의 회전 블레이드(102)보다 하류 측의 부위의 경방향의 두께보다 작고, 또한 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 부위의 경방향의 두께보다 작다. 이에 의하여, 단열부(302)의 전열량이 저하하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 저감시킬 수 있다.
이상과 같이, 제2 실시 형태에 따른 진공 펌프의 단열부(302)는, 소정의 길이(L1)와 두께(W1)로 형성된 단열 구조이다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 소정의 길이(L1)와 두께(W1)를 갖는 단열 구조의 단열부(302)에 의하여, 효과적으로 억제할 수 있다.
또, 제1 연결부(301)는, 제2 연결부(303)보다 하류 측에 배치되기 때문에, 제1 회전 날개(201)를 축방향으로 길게 형성할 수 있다. 이 때문에, 제1 회전 날개(201)가 스테이터 칼럼(122)에 대향하는 면적을 넓게 확보할 수 있어, 제1 회전 날개(201)로부터 스테이터 칼럼(122)에 대한 방열을 촉진할 수 있다.
<제3 실시 형태>
제3 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 도 7에 나타내는 바와 같이, 회전축(113) 및 제1 회전 날개(201)의 양쪽 모두에, 제2 회전 날개(202)가 단열부(402)를 통하여 배치되어 있는 점에서, 제1~제2 실시 형태와 상이하다.
제3 실시 형태에 따른 진공 펌프의 진공 펌프용 회전 날개(400)는, 제1 회전 날개(201)와, 회전축(113) 및 제1 회전 날개(201)의 상류 측의 부위에 연결되는 대략 링 형상의 제1 연결부(401)와, 제1 연결부(401)로부터 하류 측으로 연장되는 원통 형상의 단열부(402)와, 단열부(402)의 하류 측의 단부에 연결되는 링 형상의 제2 연결부(403)와, 제2 연결부(403)로부터 하류 측으로 연장되는 원통 형상의 제2 회전 날개(202)를 구비하고 있다. 제1 연결부(401), 단열부(402), 제2 연결부(403) 및 제2 회전 날개(202)는, 동일한 재료(예를 들면 스테인리스강)에 의하여 일체적으로 형성되어 있다.
제1 연결부(401)는, 회전축(113)의 외주면에 연결되고, 또한 축방향에 있어서 회전축(113)과 제1 회전 날개(201)의 사이에 끼어 연결되어 있다. 제1 연결부(401)는, 회전축(113)의 외주면으로부터 경방향 외측으로 펼쳐져, 더욱 하류 측으로 돌출되어 있다.
제2 연결부(403)는, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 단부와, 단열부(402)의 하류 측의 단부를 연결하고 있다. 제2 연결부(403)는, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 단부의 내주면으로부터 경방향 내측으로 돌출되어 있다.
단열부(402)는, 스테이터 칼럼(122)의 외주면과 제1 회전 날개(201)의 내주면의 사이에, 스테이터 칼럼(122)의 외주면 및 제1 회전 날개(201)의 내주면으로부터 떨어져 배치되어 있다. 단열부(402)는, 경방향으로 소정의 두께(W2)와, 축방향으로 소정의 길이(L2)를 갖는 단열 구조이다. 두께(W2)는, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 1~15mm, 보다 바람직하게는 2~8mm이며, 예를 들면 5mm이다. 길이(L2)는, 특별히 한정되지 않지만, 바람직하게는 20~160mm, 보다 바람직하게는 50~120mm이며, 예를 들면 80mm이다. 두께(W2)가 얇고, 길이(L2)가 길수록, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 저감시킬 수 있다. 두께(W2)는, 예를 들면, 제2 회전 날개(202)의 상류 측의 부위의 경방향의 두께보다 작다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 더욱 저감시킬 수 있다.
이상과 같이, 제3 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 회전축(113) 및 제1 회전 날개(201)의 양쪽 모두에, 제2 회전 날개(202)가 단열부(402)를 통하여 배치되어 있다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 단열부(402)에 의하여, 효과적으로 억제할 수 있다. 또한, 제2 회전 날개(202)는, 회전축(113) 및 제1 회전 날개(201)에 단열부(402)만을 통하여 직접적으로 배치되어도 되지만, 단열부(402) 및 단열부(402) 이외의 부위나 부재를 통하여 간접적으로 배치되어도 된다. 또, 제2 회전 날개(202)는, 제1 회전 날개(201)가 아니라 회전축(113)만에 대하여, 단열부(402)를 통하여 직접적으로 또는 간접적으로 배치되어도 된다.
또, 제3 실시 형태에 따른 진공 펌프의 단열부(402)는, 소정의 길이(L2)와 두께(W2)로 형성된 단열 구조이다. 이에 의하여, 제2 회전 날개(202)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을, 소정의 길이(L2)와 두께(W2)를 갖는 단열 구조의 단열부(402)에 의하여, 효과적으로 억제할 수 있다.
<제4 실시 형태>
제4 실시 형태에 따른 진공 펌프는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 단열부(503) 및 제2 회전 날개(501)의 구조가, 제1~제3 실시 형태와 상이하다.
제4 실시 형태에 따른 진공 펌프의 진공 펌프용 회전 날개(500)는, 제1 회전 날개(201)와, 제1 회전 날개(201)의 하류 측의 단부와 제2 회전 날개(501)의 상류 측의 단부에 연결되는 단열부(503)와, 축방향으로 늘어서는 2개의 회전 원판부(502)를 구비하는 제2 회전 날개(501)를 구비하고 있다.
진공 펌프는, 또한, 2개의 회전 원판부(502)의 사이에, 2개의 회전 원판부(502)의 축방향을 향하는 면에 대향하여 배치된 정지 원판부(504)를 구비하고 있다. 정지 원판부(504)의 축방향을 향하는 양면(하류 측의 면 및 상류 측의 면)에는, 나선 형상의 홈(505)이 복수 줄 새겨져 형성되어 있다. 홈(505)의 나선의 방향은, 회전체(103)의 회전 방향으로 배기 가스의 분자가 이동했을 때에, 이 분자가 배기구(133) 쪽으로 이송되는 방향이다.
제4 실시 형태에서는, 회전 원판부(502)는 2개, 정지 원판부(504)는 1개 설치되지만, 회전 원판부(502) 및 정지 원판부(504)의 수는 특별히 한정되지 않는다. 따라서, 예를 들면 회전 원판부(502) 및 정지 원판부(504)는 1개씩 설치되어도, 회전 원판부(502) 및 정지 원판부(504)의 각각이 2개 이상 설치되어도 된다.
단열부(503)를 형성하는 제3 부재는, 제1 재료 및 제2 재료보다 열전도율이 낮은 저열전도율 재료이다. 이 때문에, 단열부(503)는, 고온부인 제2 회전 날개(501)로부터, 저온부인 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 억제할 수 있다.
제4 실시 형태에 있어서, 제2 회전 날개(501)는, 당해 제2 회전 날개(501)의 측면에 배치된 적어도 1개의 회전 원판부(502)를 갖고, 진공 펌프는, 회전 원판부(502)의 축방향을 향하는 면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원판부(504)를 갖고, 회전 원판부(502)와 정지 원판부(504)로, 시그반형 드래그 펌프 기구가 형성된다. 이에 의하여, 펌프의 배기구(133) 부근의 압력이, 비교적 높은 압력인 경우에도 효과적으로 배기할 수 있다. 또, 제2 회전 날개(501)로부터 제1 회전 날개(201)에 대한 열의 유입을 단열부(503)에 의하여 저감시키고, 제2 회전 날개(501)를 포함하는 시그반형 드래그 펌프 기구를 고온으로 유지하여, 드래그 펌프 기구의 내부의 반응 생성물의 퇴적을 효과적으로 억제할 수 있다.
또한, 본 발명은, 상술한 실시 형태에만 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상 내에 있어서 당업자에 의하여 다양한 변경이 가능하다. 예를 들면, 진공 펌프의 하류 측의 고온부는, 시그반형 드래그 펌프 기구와, 홀벡형 드래그 펌프 기구를 조합하여 형성되어도 된다. 예를 들면, 상류 측에 시그반형 드래그 펌프 기구가 배치되고, 하류 측에 홀벡형 드래그 펌프 기구가 배치되어도 되고, 또는 반대로 배치되어도 된다. 또, 상술한 제1~제3 실시 형태에 있어서, 홀벡형 드래그 펌프 기구는, 회전 원통부(102d)의 외주면과 정지 원통부(나사 스페이서(131))의 내주면에 의하여 형성되지만, 회전 원통부의 내주면과 정지 원통부의 외주면에 의하여 형성되어도 된다.
100: 터보 분자 펌프 101: 흡기구
102: 회전 블레이드 102d: 회전 원통부
103: 회전체 113: 회전축
121: 모터(구동 기구) 122: 스테이터 칼럼
123: 정지 블레이드 131: 나사 스페이서(정지 원통부)
133: 배기구
200, 300, 400, 500: 진공 펌프용 회전 날개
201: 제1 회전 날개 202, 501: 제2 회전 날개
203, 302, 402, 503: 단열부 204: 케이싱
502: 회전 원판부 504: 정지 원판부
L1, L2: 단열부의 길이 W1, W2: 단열부의 폭

Claims (12)

  1. 회전 가능하게 유지된 회전축과,
    상기 회전축의 구동 기구와,
    제1 재료로 형성된 제1 회전 날개와,
    상기 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 상기 제1 회전 날개보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개와,
    상기 회전축, 상기 제1 회전 날개 및 상기 제2 회전 날개를 내포하는 케이싱을 갖는 진공 펌프로서,
    상기 회전축, 또는, 상기 제1 회전 날개 중 적어도 한쪽에, 상기 제2 회전 날개가 단열부를 통하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 단열부는, 상기 제1 재료 및 상기 제2 재료보다 열전도율이 낮은 제3 재료로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 제3 재료는, 다공질 재료인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  4. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제3 재료는, 스테인리스강 또는 티탄 합금인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  5. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제3 재료는, 세라믹스인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  6. 청구항 2 또는 청구항 3에 있어서,
    상기 제3 재료는, 수지 재료인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  7. 청구항 1 내지 청구항 6 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단열부는, 소정의 길이와 두께로 형성된 단열 구조인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  8. 청구항 1 내지 청구항 7 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 회전 날개는, 당해 제1 회전 날개의 측면에 배치된 복수 단(段)의 회전 블레이드의 날개열을 갖고,
    상기 진공 펌프는, 상기 회전 블레이드의 날개열의 사이에 배치된 정지(靜止) 블레이드의 날개열을 갖고,
    상기 회전 블레이드의 날개열과 상기 정지 블레이드의 날개열로, 터보 분자 펌프 기구를 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 회전 날개는, 당해 제2 회전 날개에 배치된 적어도 1개의 회전 원통부를 갖고,
    상기 진공 펌프는, 상기 회전 원통부의 외주면 또는 내주면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원통부를 갖고,
    상기 회전 원통부와 상기 정지 원통부로, 홀벡(Holweck)형 드래그 펌프 기구를 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  10. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제2 회전 날개는, 당해 제2 회전 날개의 측면에 배치된 적어도 1개의 회전 원판부를 갖고,
    상기 진공 펌프는, 상기 회전 원판부의 축방향을 향하는 면에 대향하여 배치된 적어도 1개의 정지 원판부를 갖고,
    상기 회전 원판부와 상기 정지 원판부로, 시그반(Siegbahn)형 드래그 펌프 기구를 형성한 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  11. 청구항 1 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제1 회전 날개는, 적어도 일부가 상기 단열부보다 하류 측으로 돌출된 구조인 것을 특징으로 하는 진공 펌프.
  12. 제1 재료로 형성된 제1 회전 날개와,
    상기 제1 재료보다 내열성이 높은 제2 재료로 형성되고, 상기 제1 회전 날개보다 하류 측에 배치된 제2 회전 날개를 갖는 진공 펌프용 회전 날개로서,
    상기 제1 회전 날개에 상기 제2 회전 날개가 단열부를 통하여 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 펌프용 회전 날개.
KR1020227045353A 2020-08-07 2021-07-30 진공 펌프 및 진공 펌프용 회전 날개 KR20230047332A (ko)

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003269367A (ja) * 2002-03-13 2003-09-25 Boc Edwards Technologies Ltd 真空ポンプ
JP5156640B2 (ja) * 2006-11-22 2013-03-06 エドワーズ株式会社 真空ポンプ
JP6692635B2 (ja) * 2015-12-09 2020-05-13 エドワーズ株式会社 連結型ネジ溝スペーサ、および真空ポンプ
GB2579665B (en) * 2018-12-12 2021-05-19 Edwards Ltd Multi-stage turbomolecular pump

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007071139A (ja) 2005-09-08 2007-03-22 Osaka Vacuum Ltd 複合真空ポンプのロータ

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