CN115867728A - 真空泵及真空泵用旋转翼 - Google Patents

Abstract

本发明提供能够有效地抑制反应产物的堆积的真空泵及真空泵用旋转翼。真空泵具有被旋转自如地保持的旋转轴(113)、旋转轴(113)的驱动机构、由第1材料形成的第1旋转翼(201)、由耐热性比第1材料高的第2材料形成而比第1旋转翼(201)靠下游侧地配设的第2旋转翼(202)、内置旋转轴(113)、第1旋转翼(201)及第2旋转翼(202)的壳(204)，前述真空泵的特征在于，第2旋转翼(202)经由隔热部(203)配设于第1旋转翼(201)。

Description

真空泵及真空泵用旋转翼

技术领域

本发明涉及真空泵及真空泵用旋转翼。

背景技术

半导体制造装置、液晶制造装置、电子显微镜、表面分析装置或精密加工装置等需要使装置内的环境为高度的真空状态。为了使这些装置的内部为高度的真空状态而使用真空泵。

在真空泵的内部，为了防止由于半导体制造等而产生的反应产物堆积，研究将在真空泵的下游侧设置的牵引泵机构保温成反应产物的升华温度以上的技术。但是，根据半导体的制造工艺，也有反应产物的升华温度高而不能防止堆积的情况。该情况下，定期地将牵引泵机构卸下来分解洗涤，所以该作业消耗时间和费用。

因此，专利文献1中，研究通过将旋转翼的下游侧的部分置换成耐热性高的材料来将反应产物堆积的部分的温度保持成高温的技术。

专利文献1：日本特开2007-71139号公报。

发明内容

根据上述的专利文献1中记载的技术，看起来能够将真空泵的下游侧的部分保持成高温，但实际上，有大量的热从下游侧的高温部流入上游侧的低温部而低温部容易超过允许温度的可能性。因此，有不能充分提高真空泵的下游侧的部分的温度而变得反应产物容易堆积的问题。

本发明是为了解决上述的问题而作出的，其目的在于提供能够有效地抑制反应产物的堆积的真空泵及真空泵用旋转翼。

实现上述目的的本发明的真空泵具有被旋转自如地保持的旋转轴、前述旋转轴的驱动机构、由第1材料形成的第1旋转翼、由耐热性比前述第1材料高的第2材料形成而比前述第1旋转翼靠下游侧地配设的第2旋转翼、内置前述旋转轴、前述第1旋转翼及前述第2旋转翼的壳，前述真空泵的特征在于，前述第2旋转翼经由隔热部配设于前述旋转轴或前述第1旋转翼的至少一方。

实现上述目的的本发明的真空泵用旋转翼具备第1旋转翼和第2旋转翼，前述第1旋转翼由第1材料形成，前述第2旋转翼由耐热性比前述第1材料高的第2材料形成，比前述第1旋转翼靠下游侧地配设，前述真空泵用旋转翼的特征在于，前述第2旋转翼经由隔热部配设于前述第1旋转翼。

发明效果

如上所述地构成的真空泵及真空泵用旋转翼为，比第1旋转翼靠下游侧的第2旋转翼经由隔热部配设，所以即使下游侧的第2旋转翼为高温，也能够减少热向上游侧的第1旋转翼流入。因此，能够抑制上游侧的第1旋转翼过热，且能够使下游侧的第2旋转翼为高温，所以能够抑制反应产物在真空泵的内部堆积。另外，相对于旋转轴或第1旋转翼的至少一方经由隔热部配设的第2旋转翼不仅有仅经由隔热部直接配设的情况，也可以有除了经由隔热部还经由隔热部以外的部位、部件间接配设的情况。

前述隔热部也可以由热传导率比前述第1材料及前述第2材料低的第3材料形成。由此，能够借助由第3材料形成的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

前述第3材料也可以是多孔质材料。由此，能够借助由热传导率低的多孔质材料形成的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

前述第3材料也可以是不锈钢或钛合金。由此，能够借助由热传导率低的不锈钢或钛合金形成的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

前述第3材料也可以是陶瓷。由此，能够借助由热传导率低的陶瓷形成的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

前述第3材料也可以是树脂材料。由此，能够借助由热传导率低的树脂材料形成的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

前述隔热部也可以是以既定的长度和厚度形成的隔热构造。由此，能够借助以既定的长度和厚度形成的隔热构造的隔热部有效地抑制热从第2旋转翼向第1旋转翼流入。

也可以是，前述第1旋转翼具有在该第1旋转翼的侧面配设的多层旋转叶片的翼列，前述真空泵具有在前述旋转叶片的翼列之间配设的静止叶片的翼列，由前述旋转叶片的翼列和前述静止叶片的翼列形成涡轮分子泵机构。由此，直至较低压力都能够有效地排气。

也可以是，前述第2旋转翼具有在该第2旋转翼配设的至少一个旋转圆筒部，前述真空泵具有与前述旋转圆筒部的外周面或内周面相向地配设的至少一个静止圆筒部，借助前述旋转圆筒部和前述静止圆筒部形成霍尔威克型牵引泵机构。由此，在泵的排气口附近的压力比较高的情况下也能够有效地排气。

也可以是，前述第2旋转翼具有在该第2旋转翼的侧面配设的至少一个旋转圆板部，前述真空泵具有与前述旋转圆板部的朝向轴向的面相向地配设的至少一个静止圆板部，借助前述旋转圆板部和前述静止圆板部形成西格巴恩型牵引泵机构。由此，在泵的排气口附近的压力比较高的情况下也能够有效地排气。

前述第1旋转翼也可以是至少一部分从前述隔热部向下游侧突出的构造。由此，使第1旋转翼的表面积增加，能够促进从第1旋转翼向与第1旋转翼的表面相向地配置的部件的放热。

附图说明

图1是真空泵的纵剖视图。

图2是放大回路的回路图。

图3是表示电流指令值比检测值大的情况下的控制的时间图。

图4是表示电流指令值比检测值小的情况下的控制的时间图。

图5是第1实施方式的真空泵的纵剖视图。

图6是第2实施方式的真空泵的纵剖视图。

图7是第3实施方式的真空泵的纵剖视图。

图8是第4实施方式的真空泵的纵剖视图。

具体实施方式

以下，参照附图，对本发明的实施方式进行说明。另外，为了方便说明，有附图的尺寸被夸张而与实际的尺寸不同的情况。此外，本说明书及附图中，关于实质上具有同一功能结构的结构要素，通过标注同一附图标记而省略重叠说明。

＜第1实施方式＞

本发明的第1实施方式的真空泵为，通过高速旋转的旋转体的旋转叶片将气体分子弹飞来排出气体的涡轮分子泵100。涡轮分子泵100例如用于从半导体制造装置等的腔抽吸气体来排气。

将该涡轮分子泵100的纵剖视图在图1中表示。图1中，涡轮分子泵100在圆筒状的外筒127的上端形成有吸气口101。并且，在外筒127的内侧具备旋转体103，前述旋转体103将用于将气体抽吸排出的涡轮叶片即多个旋转叶片102(102a、102b、102c···)在周部放射状且多层地形成。在该旋转体103的中心安装有旋转轴113，该旋转轴113例如被5轴控制的磁轴承在空中悬浮支承且被位置控制。

上侧径向电磁铁104为，4个电磁铁被在X轴和Y轴上成对地配置。在该上侧径向电磁铁104的附近且与上侧径向电磁铁104的每个对应地具备4个上侧径向传感器107。上侧径向传感器107利用例如具有传导绕组的电感传感器、涡电流传感器等，基于与旋转轴113的位置对应地变化的该传导绕组的电感的变化检测旋转轴113的位置。该上侧径向传感器107构成为，检测旋转轴113、即固定于旋转轴113的旋转体103的径向位移，送向未图示的控制装置。

该控制装置中，例如具有PID调节功能的补偿回路基于被上侧径向传感器107检测的位置信号生成上侧径向电磁铁104的励磁控制指令信号，图2中表示的放大回路150(后述)基于该励磁控制指令信号对上侧径向电磁铁104进行励磁控制，由此，旋转轴113的上侧的径向位置被调整。

并且，该旋转轴113由高透磁率材料(铁、不锈钢等)等形成，由于上侧径向电磁铁104的磁力而被吸引。该调整在X轴方向和Y轴方向上分别独立地进行。此外，下侧径向电磁铁105及下侧径向传感器108被与上侧径向电磁铁104及上侧径向传感器107同样地配置，将旋转轴113的下侧的径向位置与上侧的径向位置同样地调整。

进而，轴向电磁铁106A、106B被上下夹着旋转轴113的下部具备的圆板状的金属盘111地配置。金属盘111由铁等的高透磁率材料构成。为了检测旋转轴113的轴向位移而具备轴向传感器109，构成为其轴向位置信号被送向控制装置。

并且，控制装置中，例如具有PID调节功能的补偿回路基于由轴向传感器109检测到的轴向位置信号生成轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B的各自的励磁控制指令信号，放大回路150基于这些励磁控制指令信号，对轴向电磁铁106A和轴向电磁铁106B分别进行励磁控制，由此，轴向电磁铁106A借助磁力将金属盘111向上方吸引，轴向电磁铁106B将金属盘111向下方吸引，旋转轴113的轴向位置被调整。

这样，控制装置适当地调节该轴向电磁铁106A、106B对金属盘111施加的磁力，使旋转轴113在轴向上磁悬浮，在空间上非接触地保持。另外，关于对这些上侧径向电磁铁104、下侧径向电磁铁105及轴向电磁铁106A、106B进行励磁控制的放大回路150在后说明。

另一方面，马达121具备以包围旋转轴113的方式周状地配置的多个磁极。各磁极被控制装置控制，使得经由在与旋转轴113之间作用的电磁力将旋转轴113旋转驱动。此外，图中未示出的例如霍尔元件、分析器、编码器等的旋转速度传感器被装入马达121，借助该旋转速度传感器的检测信号检测旋转轴113的旋转速度。

进而，例如在下侧径向传感器108附近安装有图中未示出的相位传感器，检测旋转轴113的旋转的相位。控制装置中，将该相位传感器和旋转速度传感器的检测信号一同使用来检测磁极的位置。

与旋转叶片102(102a、102b、102c···)隔开些许空隙地配设有多个静止叶片123a、123b、123c···。旋转叶片102(102a、102b、102c···)为了分别将排出气体的分子通过碰撞向下移送，形成为从与旋转轴113的轴线垂直的平面倾斜既定的角度。

此外，静止叶片123也同样形成为从与旋转轴113的轴线垂直的平面倾斜既定的角度，且被向外筒127的内侧与旋转叶片102的层交替地配设。并且，静止叶片123的外周端被以嵌插于多个被层叠的静止叶片间隔件125(125a、125b、125c···)之间的状态支承。

静止叶片间隔件125为环状的部件，例如由铝、铁、不锈钢、铜等的金属、或包括这些金属作为成分的合金等的金属构成。在静止叶片间隔件125的外周，隔开些许空隙地固定有外筒127。在外筒127的底部配设有基座部129。从腔侧进入吸气口101而在基座部129形成有排气口133，与外部连通。被向基座部129移送来的排出气体被送向排气口133。

进而，根据涡轮分子泵100的用途，在静止叶片间隔件125的下部和基座部129之间配设带螺纹的间隔件131。带螺纹的间隔件131是由铝、铜、不锈钢、铁、或以这些金属为成分的合金等的金属构成的圆筒状的部件，在其内周面刻设有多条螺旋状的螺纹槽131a。螺纹槽131a的螺旋的方向为，排出气体的分子在旋转体103的旋转方向上移动时该分子被向排气口133移送的方向。在与旋转体103的旋转叶片102(102a、102b、102c···)连续的最下部，旋转圆筒部102d垂下。该旋转圆筒部102d的外周面为圆筒状，且向带螺纹的间隔件131的内周面伸出，与该带螺纹的间隔件131的内周面隔开既定的间隙地接近。被旋转叶片102及静止叶片123向螺纹槽131a移送来的排出气体被螺纹槽131a引导且被送向基座部129。

基座部129是构成涡轮分子泵100的基底部的圆盘状的部件，一般由铁、铝、不锈钢等的金属构成。基座部129将涡轮分子泵100物理性地保持，并且也兼具热的传导路的功能，所以希望使用铁、铝、铜等的具有刚性且热传导率也高的金属。

该结构中，旋转叶片102与旋转轴113一同被马达121旋转驱动时，通过旋转叶片102和静止叶片123的作用，排出气体被穿过吸气口101从腔抽吸。被从吸气口101抽吸的排出气体穿过旋转叶片102和静止叶片123之间，被向基座部129移送。此时，由于排出气体与旋转叶片102接触时产生的摩擦热、由马达121产生的热的传导等，旋转叶片102的温度上升，但该热通过辐射或排出气体的气体分子等的传导向静止叶片123侧传递。

静止叶片间隔件125在外周部彼此接合，将静止叶片123从旋转叶片102接收到的热、排出气体与静止叶片123接触时产生的摩擦热等向外部传递。

另外，上述内容中，说明了带螺纹的间隔件131在旋转体103的旋转圆筒部102d的外周配设，在带螺纹的间隔件131的内周面刻设有螺纹槽131a。然而，也有与此相反地在旋转圆筒部102d的外周面刻设螺纹槽、在其周围配置具有圆筒状的内周面的间隔件的情况。

此外，根据涡轮分子泵100的用途，也有如下情况：电装部将周围借助定子柱122覆盖，使得被从吸气口101抽吸的气体不会进入由上侧径向电磁铁104、上侧径向传感器107、马达121、下侧径向电磁铁105、下侧径向传感器108、轴向电磁铁106A、106B、轴向传感器109等构成的电装部，该定子柱122内借助冲洗气体保持成既定压。

该情况下，在基座部129处配设图中未示出的配管，冲洗气体被穿过该配管地导入。被导入的冲洗气体穿过保护轴承120和旋转轴113之间、马达121的转子和定子之间、定子柱122和旋转叶片102的内周侧圆筒部之间的间隙，被向排气口133送出。

这里，涡轮分子泵100需要基于机种的确定、分别调整的固有的参数(例如，与机种对应的诸多特性)的控制。为了储存该控制参数，上述涡轮分子泵100在其主体内具备电子回路部141。电子回路部141由EEP-ROM等半导体存储器及用于其存取的半导体元件等电子零件、用于安装它们的基板143等构成。该电子回路部141被容纳于基座部129的例如中央附近的图中未示出的旋转速度传感器的下部，被气密性的底盖145关闭，前述基座部129构成涡轮分子泵100的下部。

但是，半导体的制造工序中，被导入腔的工艺气体中，存在具有其压力变得比既定值高或者其温度变得比既定值低时变为固体的性质的物质。在涡轮分子泵100内部，排出气体的压力在吸气口101处最低而在排气口133处最高。在工艺气体被从吸气口101向排气口133移送的中途，其压力变得比既定值高、其温度变得比既定值低时，工艺气体呈固体状，在涡轮分子泵100内部附着而堆积。

例如，对于Al蚀刻装置使用SiCl₄作为工艺气体的情况下，根据蒸气压曲线可知，低真空(760[torr]～10^-2[torr])且低温(约20[℃])时，固体产物(例如AlCl₃)析出，在涡轮分子泵100内部附着堆积。由此，工艺气体的析出物在涡轮分子泵100内部堆积时，该堆积物使泵流路变窄，成为使涡轮分子泵100的性能下降的原因。并且，前述产物在排气口附近、带螺纹的间隔件131附近的压力高的部分处于容易凝固、附着的状况。

因此，为了解决该问题，以往在基座部129等的外周缠绕图中未示出的加热器、环状的水冷管149，且例如在基座部129处埋入图中未示出的温度传感器(例如热敏电阻)，以基于该温度传感器的信号将基座部129的温度保持成恒定的较高的温度(设定温度)的方式进行加热器的加热、水冷管149的冷却的控制(以下称作TMS。TMS；Temperature ManagementSystem)。

接着，关于这样构成的涡轮分子泵100，关于对该上侧径向电磁铁104、下侧径向电磁铁105及轴向电磁铁106A、106B进行励磁控制的放大回路150进行说明。在图2中表示该放大回路150的回路图。

图2中，构成上侧径向电磁铁104等的电磁铁绕组151为，其一端经由晶体管161与电源171的正极171a连接，此外，其另一端经由电流检测回路181及晶体管162与电源171的负极171b连接。并且，晶体管161、162为所谓的功率场效应晶体管，具有二极管与其源-漏间连接的构造。

此时，晶体管161为，其二极管的阴极端子161a与正极171a连接，并且阳极端子161b与电磁铁绕组151的一端连接。此外，晶体管162为，其二极管的阴极端子162a与电流检测回路181连接，并且阳极端子162b与负极171b连接。

另一方面，电流再生用的二极管165为，其阴极端子165a与电磁铁绕组151的一端连接，并且其阳极端子165b与负极171b连接。此外，与此相同地，电流再生用的二极管166为，其阴极端子166a与正极171a连接，并且其阳极端子166b经由电流检测回路181与电磁铁绕组151的另一端连接。并且，电流检测回路181由例如霍尔传感器式电流传感器、电阻元件构成。

如上所述地构成的放大回路150与一个电磁铁对应。因此，磁轴承为5轴控制且电磁铁104、105、106A、106B为合计10个的情况下，关于各个电磁铁构成同样的放大回路150，相对于电源171，10个放大回路150被并联地连接。

进而，放大控制回路191例如由控制装置的图中未示出的数字·信号·处理器部(以下称作DSP部)构成，该放大控制回路191切换晶体管161、162的接通/切断。

放大控制回路191将电流检测回路181检测到的电流值(将反映该电流值的信号称作电流检测信号191c)与既定的电流指令值比较。并且，基于该比较结果，确定PWM控制的一个周期即控制周期Ts内产生的脉冲宽度的大小(脉冲宽度时间Tp1、Tp2)。结果，将具有该脉冲宽度的栅极驱动信号191a、191b从放大控制回路191向晶体管161、162的栅极端子输出。

另外，旋转体103的旋转速度的加速运转中通过共振点时、定速运转中发生外部扰动时等，需要进行高速且强力的旋转体103的位置控制。因此，为了能够进行流向电磁铁绕组151的电流的急剧的增加(或者减少)，作为电源171，例如使用50V左右的高电压。此外，为了电源171的稳定化，通常电容器连接在电源171的正极171a和负极171b之间(图示略)。

该结构中，将晶体管161、162的两方接通时，流向电磁铁绕组151的电流(以下称作电磁铁电流iL)增加，将两方切断时，电磁铁电流iL减少。

此外，将晶体管161、162的一方接通而将另一方切断时，所谓的飞轮电流被保持。并且，这样飞轮电流在放大回路150中流动，由此，使放大回路150的磁滞损耗减少，能够将作为回路整体的消耗电力抑制成较低。此外，通过这样地控制晶体管161、162，能够减少在涡轮分子泵100处产生的高调波等高频率噪音。进而，通过借助电流检测回路181测定该飞轮电流，能够检测在电磁铁绕组151流动的电磁铁电流iL。

即，检测到的电流值比电流指令值小的情况下，如图3所示，在控制周期Ts(例如100μs)中将晶体管161、162的两方以相当于脉冲宽度时间Tp1的时间接通1次。因此，该期间中的电磁铁电流iL从正极171a朝向负极171b向能够流经晶体管161、162的电流值iLmax(未图示)增加。

另一方面，检测到的电流值比电流指令值大的情况下，如图4所示，在控制周期Ts中将晶体管161、162的两方以相当于脉冲宽度时间Tp2的时间切断1次。因此，该期间中的电磁铁电流iL从负极171b朝向正极171a向能够经由二极管165、166再生的电流值iLmin(未图示)减少。

并且，哪种情况下，经过脉冲宽度时间Tp1、Tp2后，均使晶体管161、162的某1个接通。因此，该期间中，放大回路150处飞轮电流被保持。

第1实施方式的真空泵具有真空泵用旋转翼200，前述真空泵用旋转翼200如图5所示，在旋转体103处具有具备多个旋转叶片102(102a、102b、102c···)的第1旋转翼201、具备旋转圆筒部102d的第2旋转翼202、在第1旋转翼201及第2旋转翼202之间配设的隔热部203。

隔热部203是抑制热从高温的第2旋转翼202向第1旋转翼201流入的部件。隔热部203是环状或圆筒状的间隔件。隔热部203的内周面与第1旋转翼201的下游侧的部位的外周面连结，隔热部203的外周面与第2旋转翼202的上游侧的部位的内周面连结。隔热部203与比第1旋转翼201的最下游侧的旋转叶片102更靠下游侧的部位的外周面连结。通过设置隔热部203，第2旋转翼202配设成不相对于第1旋转翼201直接连结，而是经由隔热部203间接地连结。另外，只要第1旋转翼201和第2旋转翼202不直接连结即可，第1旋转翼201与隔热部203连结的部位没有特别限定，且第2旋转翼202与隔热部203连结的部位也不被特别限定。

第1旋转翼201具有与连结于隔热部203的部位相比向下游侧突出的圆筒状的突出部204。包括突出部204的第1旋转翼201的内周面与定子柱122的外周面相向。因此，突出部204与定子柱122热交换，能够向定子柱122放热。

第2旋转翼202具备旋转圆筒部102d，为圆筒状，在上游侧的部位的内周面连结有隔热部203的外周面。

形成第1旋转翼201的第1部件没有特别限定，但为了提高真空泵的旋转性能优选为比较轻，例如铝合金。形成第2旋转翼202的第2部件没有特别限定，但优选为具有高的耐热性，例如不锈钢。第1部件比第2部件轻，第2部件与第1部件相比具有高的耐热性。

形成隔热部203的第3部件是与第1材料及第2材料相比热传导率低的低热传导率材料。因此，隔热部203能够抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入，前述第2旋转翼202是在下游侧配置的高温部，前述第1旋转翼201配置于下游侧，是与高温部相比不为高温的低温部。第3部件没有特别限定，但例如是二氧化锆等陶瓷、聚酰胺酰亚胺等树脂材料、或开有多个细孔的多孔质材料。多孔质材料例如由不锈钢、钛合金等金属材料、陶瓷或树脂材料等形成。多孔质材料的制造方法没有特别限定，例如借助3D打印机将材料层叠来形成，或将粉末烧结来形成。

外筒127及基座部129构成壳204。壳204将旋转轴113、第1旋转翼201及第2旋转翼202能够旋转地内置。

接着，对上述的真空泵的作用进行说明。真空泵的旋转轴113被作为驱动机构的马达121驱动时，旋转体103旋转。由此，通过旋转叶片102和静止叶片123的作用，穿过吸气口101抽吸来自腔的排出气体。

从吸气口101抽吸的排出气体借助由第1旋转翼201的旋转叶片102和静止叶片123形成的涡轮分子泵机构被向下游侧移送。向下游侧移送来的排出气体被向由第2旋转翼202的旋转圆筒部102d及作为静止圆筒部的带螺纹的间隔件131形成的霍尔威克型牵引泵机构引导后，被向排气口133移送。另外，在本实施方式中，带螺纹的间隔件131配置于第2旋转翼202的外周，在带螺纹的间隔件131的内周面形成有螺纹槽131a。然而，也可以是，与此相反，在第2旋转翼202的外周面形成螺纹槽，在其周围配置具有圆筒状的内周面的间隔件。

如上所述，第1实施方式的真空泵具有被旋转自如地保持的旋转轴113、旋转轴113的驱动机构(马达121)、由第1材料形成的第1旋转翼201、由耐热性比第1材料高的第2材料形成而比第1旋转翼201靠下游侧地配设的第2旋转翼202、内置旋转轴113、第1旋转翼201及第2旋转翼202的壳204，前述真空泵的特征在于，第2旋转翼202经由隔热部203配设于第1旋转翼201。

此外，真空泵用旋转翼200具备第1旋转翼201和第2旋转翼201，前述第1旋转翼201由第1材料形成，前述第2旋转翼202由耐热性比第1材料高的第2材料形成，比第1旋转翼201靠下游侧地配设，前述真空泵用旋转翼200的特征在于，第2旋转翼202经由隔热部配设于第1旋转翼201。

如上所述地构成的真空泵及真空泵用旋转翼200为，比第1旋转翼201靠下游侧的第2旋转翼202经由隔热部203配设，所以即使下游侧的第2旋转翼202为高温，也能够减少热向上游侧的第1旋转翼201流入。因此，能够抑制上游侧的第1旋转翼201过热，且能够将下游侧的第2旋转翼202保持为高温，所以能够抑制反应产物在真空泵的内部堆积。因此，无需真空泵的分解洗涤，或减少分解洗涤的次数，能够削减作业时间及作业费用。此外，能够抑制上游侧的部分的过热，所以无需限制连续排出的气体的流量，因此能够适当地维持气体的流量。

另外，相对于第1旋转翼201经由隔热部203配设的第2旋转翼202不仅有仅经由隔热部203直接配设的情况，也可以有经由隔热部203及隔热部203以外的部位、部件间接配设的情况。

此外，隔热部203也可以由热传导率比第1材料及第2材料低的第3材料形成。由此，能够借助由第3材料形成的隔热部203有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第3材料也可以是多孔质材料。由此，能够借助由热传导率低的多孔质材料形成的隔热部203有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第3材料也可以是不锈钢或钛合金。由此，能够借助由热传导率低的不锈钢或钛合金形成的隔热部203有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第3材料也可以是陶瓷。由此，能够借助由热传导率低的陶瓷形成的隔热部203有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第3材料也可以是树脂材料。由此，能够借助由热传导率低的树脂材料形成的隔热部203有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第1旋转翼201具有在该第1旋转翼201的侧面配设的多层旋转叶片102的翼列，真空泵具有在旋转叶片102的翼列之间配设的静止叶片123的翼列，由旋转叶片102的翼列和静止叶片123的翼列形成涡轮分子泵机构。由此，直至较低压力都能够有效地排气。此外，能够借助隔热部203有效地抑制热向包括第1旋转翼201的涡轮分子泵机构流入。

此外，第2旋转翼202具有在该第2旋转翼202处配设的至少一个旋转圆筒部102d，真空泵具有与旋转圆筒部102d的外周面相向地配设的至少一个静止圆筒部(带螺纹的间隔件131)，借助旋转圆筒部102d和静止圆筒部形成霍尔威克型牵引泵机构。由此，在泵的排气口133附近的压力比较高的情况下也能够有效地排气。此外，借助隔热部203减少热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入，将包括第2旋转翼202的霍尔威克型牵引泵机构保持成高温，能够有效地抑制牵引泵机构的内部的反应产物的堆积。

此外，第1旋转翼201是至少一部分从隔热部203向下游侧突出的构造。由此，使第1旋转翼201的表面积(内周面的面积)增加，能够促进从第1旋转翼201向在第1旋转翼201的内侧配置的部件(定子柱122)的放热。

＜第2实施方式＞

第2实施方式的真空泵如图6所示，隔热部302的构造与第1实施方式不同。

第2实施方式的真空泵的真空泵用旋转翼300具备第1旋转翼201、与第1旋转翼201的下游侧的端部连结的环状的第1连结部301、从第1连结部301向上游侧延伸的圆筒状的隔热部302、与隔热部302的上游侧的端部连结的环状的第2连结部303、从第2连结部303向下游侧延伸的圆筒状的第2旋转翼202。第1连结部301、隔热部302、第2连结部303及第2旋转翼202由同一材料(例如不锈钢)一体地形成。

第1连结部301将第1旋转翼201的下游侧的端部和隔热部302的下游侧的端部连结。第1连结部301从第1旋转翼201的下游侧的端部的外周面向径向外侧突出。

第2连结部303将第2旋转翼202的上游侧的端部和隔热部302的上游侧的端部连结。第2连结部303从第2旋转翼202的上游侧的端部的内周面向径向内侧突出。

隔热部302在第1旋转翼201的外周面和第2旋转翼202的内周面之间配设成从第1旋转翼201的外周面及第2旋转翼202的内周面离开。隔热部302是具有朝向径向的既定的厚度W1、朝向轴向的既定的长度L1的隔热构造。轴向是指沿着旋转体103的旋转的中心轴的方向。径向是指在与旋转体103的旋转的中心轴正交的截面中相对于中心轴离开或接近的方向。厚度W1没有特别限定，但优选为1～10mm，更优选为2～5mm，例如3mm。长度L1没有特别限定，但优选为10～50mm，更优选为20～40mm，例如30mm。厚度W1越薄且长度L1越长，隔热部302的传热量越下降，越能够减少热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。厚度W1例如是，与比第1旋转翼201的最下游侧的旋转叶片102靠下游侧的部位的径向的厚度相比较小，且比第2旋转翼202的上游侧的部位的径向的厚度小。由此，隔热部302的传热量下降，能够减少热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

如上所述，第2实施方式的真空泵的隔热部302是以既定的长度L1和厚度W1形成的隔热构造。由此，能够借助具有既定的长度L1和厚度W1的隔热构造的隔热部302有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

此外，第1连结部301配置成比第2连结部303靠下游侧，所以能够将第1旋转翼201向轴向较长地形成。因此，能够确保第1旋转翼201与定子柱122相向的面积较大，能够促进从第1旋转翼201向定子柱122的放热。

＜第3实施方式＞

第3实施方式的真空泵如图7所示，在第2旋转翼202经由隔热部402配设于旋转轴113及第1旋转翼201的两方的方面与第1～第2实施方式不同。

第3实施方式的真空泵的真空泵用旋转翼400具备第1旋转翼201、与旋转轴113及第1旋转翼201的上游侧的部位连结的大致环状的第1连结部401、从第1连结部401向下游侧延伸的圆筒状的隔热部402、与隔热部402的下游侧的端部连结的环状的第2连结部403、从第2连结部403向下游侧延伸的圆筒状的第2旋转翼202。第1连结部401、隔热部402、第2连结部403及第2旋转翼202由同一材料(例如不锈钢)一体地形成。

第1连结部401与旋转轴113的外周面连结，且在轴向上以夹在旋转轴113和第1旋转翼201之间的方式连结。第1连结部401从旋转轴113的外周面向径向外侧伸展，进而向下游侧突出。

第2连结部403将第2旋转翼202的上游侧的端部和隔热部402的下游侧的端部连结。第2连结部403从第2旋转翼202的上游侧的端部的内周面向径向内侧突出。

隔热部402在定子柱122的外周面和第1旋转翼201的内周面之间配设成从定子柱122的外周面及第1旋转翼201的内周面离开。隔热部402是具有朝向径向的既定的厚度W2、朝向轴向的既定的长度L2的隔热构造。厚度W2没有特别限定，但优选为1～15mm，更优选为2～8mm，例如5mm。长度L2没有特别限定，但优选为20～160mm，更优选为50～120mm，例如80mm。厚度W2越薄、长度L2越长，越能够减少热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。厚度W2例如比第2旋转翼202的上游侧的部位的径向的厚度小。由此，能够进一步减少热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

如上所述，第3实施方式的真空泵在旋转轴113及第1旋转翼201的两方经由隔热部402配设有第2旋转翼202。由此，借助隔热部402，能够有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。另外，第2旋转翼202可以仅经由隔热部402直接配设于旋转轴113及第1旋转翼201，但也可以经由隔热部402及隔热部402以外的部位、部件间接地配设。此外，第2旋转翼202也可以不相对于第1旋转翼201而仅相对于旋转轴113，经由隔热部402直接或间接地配设。

此外，第3实施方式的真空泵的隔热部402是以既定的长度L2和厚度W2形成的隔热构造。由此，能够借助具有既定的长度L2和厚度W2的隔热构造的隔热部402有效地抑制热从第2旋转翼202向第1旋转翼201流入。

＜第4实施方式＞

第4实施方式的真空泵如图8所示，隔热部503及第2旋转翼501的构造与第1～第3实施方式不同。

第4实施方式的真空泵的真空泵用旋转翼500具备第1旋转翼201、隔热部503、第2旋转翼501，前述隔热部503与第1旋转翼201的下游侧的端部和第2旋转翼501的上游侧的端部连结，前述第2旋转翼501具备沿轴向排列的两个旋转圆板部502。

真空泵还具备静止圆板部504，前述静止圆板部504在两个旋转圆板部502之间与两个旋转圆板部502的朝向轴向的面相向地配设。在静止圆板部504的朝向轴向的两面(下游侧的面及上游侧的面)刻设有多条漩涡状的槽505。槽505的漩涡的方向为，排出气体的分子在旋转体103的旋转方向上移动时该分子被向排气口133移送的方向。

第4实施方式中，设置有两个旋转圆板部502，设置有一个静止圆板部504，但旋转圆板部502及静止圆板部504的数量不被特别地限定。因此，例如可以是旋转圆板部502及静止圆板部504各设置一个，也可以是旋转圆板部502及静止圆板部504分别设置两个以上。

形成隔热部503的第3部件是与第1材料及第2材料相比热传导率低的低热传导率材料。因此，隔热部503是抑制热从作为高温部的第2旋转翼501向作为低温部的第1旋转翼201流入的部件。

第4实施方式中，第2旋转翼501具有在该第2旋转翼501的侧面配设的至少一个旋转圆板部502，真空泵具有与旋转圆板部502的朝向轴向的面相向地配设的至少一个静止圆板部504，借助旋转圆板部502和静止圆板部504形成西格巴恩型牵引泵机构。由此，在泵的排气口133附近的压力比较高的情况下也能够有效地排气。此外，借助隔热部503减少热从第2旋转翼501向第1旋转翼201流入，将包括第2旋转翼501的西格巴恩型牵引泵机构保持成高温，能够有效地抑制牵引泵机构的内部的反应产物的堆积。

另外，本发明不仅限于上述的实施方式，本领域技术人员能够在本发明的技术的思想内进行各种改变。例如，真空泵的下游侧的高温部也可以将西格巴恩型牵引泵机构和霍尔威克型牵引泵机构组合来形成。例如，也可以是，在上游侧配置西格巴恩型牵引泵机构，在下游侧配置霍尔威克型牵引泵机构，或相反地配置。此外，在上述的第1～第3实施方式中，霍尔威克型牵引泵机构由旋转圆筒部102d的外周面和静止圆筒部(带螺纹的间隔件131)的内周面形成，但也可以由旋转圆筒部的内周面和静止圆筒部的外周面形成。

附图标记说明

100涡轮分子泵

101吸气口

102旋转叶片

102d旋转圆筒部

103旋转体

113旋转轴

121马达(驱动机构)

122定子柱

123静止叶片

131带螺纹的间隔件(静止圆筒部)

133排气口

200、300、400、500真空泵用旋转翼

201第1旋转翼

202、501第2旋转翼

203、302、402、503隔热部

204壳

502旋转圆板部

504静止圆板部

L1、L2隔热部的长度

W1、W2隔热部的宽度。

Claims (12)

1.一种真空泵，具有旋转轴、前述旋转轴的驱动机构、第1旋转翼、第2旋转翼、壳，

前述旋转轴被旋转自如地保持，

前述第1旋转翼由第1材料形成，

前述第2旋转翼由耐热性比前述第1材料高的第2材料形成，比前述第1旋转翼靠下游侧地配设，

前述壳内置前述旋转轴、前述第1旋转翼及前述第2旋转翼，

前述真空泵的特征在于，

前述第2旋转翼经由隔热部配设于前述旋转轴或前述第1旋转翼的至少一方。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述隔热部由热传导率比前述第1材料及前述第2材料低的第3材料形成。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述第3材料为多孔质材料。

4.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述第3材料为不锈钢或钛合金。

5.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述第3材料为陶瓷。

6.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

前述第3材料为树脂材料。

7.如权利要求1至6中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述隔热部为以既定的长度和厚度形成的隔热构造。

8.如权利要求1至7中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述第1旋转翼具有在该第1旋转翼的侧面配设的多层旋转叶片的翼列，

前述真空泵具有在前述旋转叶片的翼列之间配设的静止叶片的翼列，

由前述旋转叶片的翼列和前述静止叶片的翼列形成涡轮分子泵机构。

9.如权利要求1至8中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述第2旋转翼具有在该第2旋转翼处配设的至少一个旋转圆筒部，

前述真空泵具有与前述旋转圆筒部的外周面或内周面相向地配设的至少一个静止圆筒部，

由前述旋转圆筒部和前述静止圆筒部形成霍尔威克型牵引泵机构。

10.如权利要求1至8中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述第2旋转翼具有在该第2旋转翼的侧面配设的至少一个旋转圆板部，

前述真空泵具有与前述旋转圆板部的朝向轴向的面相向地配设的至少一个静止圆板部，

由前述旋转圆板部和前述静止圆板部形成西格巴恩型牵引泵机构。

11.如权利要求1至10中任一项所述的真空泵，其特征在于，

前述第1旋转翼是至少一部分从前述隔热部向下游侧突出的构造。

12.一种真空泵用旋转翼，前述真空泵用旋转翼具备第1旋转翼和第2旋转翼，前述第1旋转翼由第1材料形成，前述第2旋转翼由耐热性比前述第1材料高的第2材料形成，比前述第1旋转翼靠下游侧地配设，前述真空泵用旋转翼的特征在于，

前述第2旋转翼经由隔热部配设于前述第1旋转翼。

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