KR20230042235A - Assembly for distributing fluid and Apparatus for flowing fluid having the same - Google Patents

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KR20230042235A
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박태현
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세메스 주식회사
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Abstract

A fluid-flowing apparatus according to exemplary embodiments of the present invention may comprise a supply unit, a discharge unit, and a fluid distribution unit. The supply unit is provided to supply a fluid. The discharge unit is provided to discharge the fluid supplied from the supply unit. The fluid distribution unit may include: a body; a flow path formed in a structure integrated with the body so as to include a path branched from one inlet to at least two outlets at one point; a supply end connected to the inlet so as to supply the fluid from the supply unit through the flow path; and a discharge end connected to the outlet so as to discharge the fluid to the discharge unit through the flow path. Each of the supply end and the discharge end can be formed to protrude from the body. Each of the supply end and the discharge end can be coupled to the supply unit and the discharge unit by using a ring joint. The fluid distribution unit is capable of preventing a defect caused by a difference in a discharge amount of fluid.

Description

유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치{Assembly for distributing fluid and Apparatus for flowing fluid having the same}Fluid distribution assembly and fluid flow device including the same {Assembly for distributing fluid and Apparatus for flowing fluid having the same}

본 발명은 유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖는 유로를 포함하는 유체 분배 어셈블리 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid distribution assembly and a fluid flow device including the same. More specifically, it relates to a fluid distribution assembly including a flow path having a branching path from one inlet to at least two outlets, and a fluid flow device including the same.

일반적으로 반도체 소자, 평판 디스플레이(Flat Panel Display : FPD) 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에서는 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 사용하고 있다. 그리고 집적회로 소자의 제조에 사용되는 유체는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖는 유로를 따라 흐를 수도 있다.In general, in the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display (FPD) devices, various types of fluids such as cleaning solutions, etching gases, and photoresists are used. Further, the fluid used in manufacturing the integrated circuit device may flow along a flow path having a branching path from one inlet to at least two outlets.

그러나 종래에는 유로가 분기되는 구조가 배관들을 용접 등으로 연결하는 형태이기 때문에 연결 부위에서 누설이 발생할 수 있어 유체가 균등하게 분배되지 못하는 상황이 발생할 수는 문제점이 있고, 또한 배관 내에 기포 등이 발생할 수 있는 문제점이 있다.However, in the prior art, since the structure in which the flow paths diverge is in the form of connecting pipes by welding, etc., there is a problem in that leakage may occur at the connection portion and a situation in which fluid is not evenly distributed may occur, and bubbles may occur in the pipe. There are possible problems.

본 발명의 일 과제는 누설 영역이 발생하지 않도록 단일 구조의 몸체에 유로가 분기되는 구조를 갖도록 형성하는 유체 분배 어셈블리를 제공하는데 있다.One object of the present invention is to provide a fluid distribution assembly formed to have a structure in which a flow path is branched from a body of a unitary structure so that a leakage area does not occur.

본 발명의 다른 과제는 언급한 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 제공하는데 있다.Another object of the present invention is to provide a fluid flow device comprising the aforementioned fluid distribution assembly.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리는 단일 구조물로서의 블록 구조를 갖도록 구비되는 몸체와, 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 하나의 입구로부터 한 지점에서 상기 블록 구조의 타측에 형성되는 적어도 (2n+1)개(상기 n은 자연수)의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 블록 구조의 몸체에 일체 구조로 형성되되, 상기 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 상기 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되도록 형성될 수 있고, 그리고 상기 하나의 입구로부터 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되는 경로 중 하나의 경로는 상기 입구로부터 상기 출구로 직선 경로를 갖고, 상기 하나의 경로를 제외한 나머지 경로는 상기 직선 경로를 갖는 상기 하나의 입구로부터의 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 적어도 한 쌍이 분기되도록 구비되는 유로와, 상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 블록 구조의 몸체 타측에 형성되는 출구와 연결되는 배출단을 포함할 수 있다.The fluid distribution assembly according to exemplary embodiments for achieving one object of the present invention is a body provided to have a block structure as a single structure, and the body at one point from one inlet formed on one side of the body of the block structure. It is formed integrally with the body of the block structure so as to have a branching path to at least (2n+1) (where n is a natural number) exits formed on the other side of the block structure, while the one entrance has a vertex structure. It may be formed to branch to the at least (2n + 1) outlets, and one of the paths branching from the one inlet to the at least (2n + 1) outlets has a straight path from the inlet to the outlet. , The rest of the paths except for the one path include a flow path provided so that at least one pair diverges to both sides based on the one point from the one inlet having the straight path, and the block structure so that fluid is supplied through the flow path. It may include a supply end connected to the inlet formed on one side of the body of the body, and a discharge end connected to the outlet formed on the other side of the body of the block structure so that the fluid is discharged through the flow path.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 공급 배관 및 배출 배관 각각과 링 조인트(ring joint)를 사용하여 결합되도록 상기 몸체로부터 돌출되는 구조로 형성될 수 있다.In exemplary embodiments, each of the supply end and the discharge end may be formed in a structure protruding from the body so as to be coupled to each of the supply pipe and the discharge pipe using a ring joint.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 적어도 한 쌍은 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 동일 각도를 갖도록 분기되되, 상기 적어도 한 쌍 중 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째 이후로 분기되는 한 쌍 또한 상기 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 수 있다.In exemplary embodiments, the at least one pair is branched to have the same angle on both sides based on the one point, and when a first branched pair of the at least one pair is branched to have the first same angle, the two A pair branching after the th may also branch to have the same first angle.

상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치는 유체를 공급하는 공급부; 상기 공급부로부터 공급되는 상기 유체를 배출하는 배출부; 및 단일 구조물로서의 블록 구조를 갖도록 구비되는 몸체와, 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 하나의 입구로부터 한 지점에서 상기 블록 구조의 타측에 형성되는 적어도 (2n+1)개(상기 n은 자연수)의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 블록 구조의 몸체에 일체 구조로 형성되되, 상기 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 상기 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되도록 형성될 수 있고, 그리고 상기 하나의 입구로부터 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되는 경로 중 하나의 경로는 상기 입구로부터 상기 출구로 직선 경로를 갖고, 상기 하나의 경로를 제외한 나머지 경로는 상기 직선 경로를 갖는 상기 하나의 입구로부터의 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 적어도 한 쌍이 분기되도록 구비되는 유로와, 상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 블록 구조의 몸체 타측에 형성되는 출구와 연결되는 배출단으로 이루어지는 유체 분배부를 포함할 수 있고, 특히 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 몸체로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 공급부 및 상기 배출부 각각과 링 조인트를 사용하여 결합될 수 있다.A fluid flow device according to exemplary embodiments for achieving the object of the present invention includes a supply unit for supplying a fluid; a discharge unit discharging the fluid supplied from the supply unit; and a body provided to have a block structure as a single structure, and at least (2n+1) pieces formed on the other side of the block structure at one point from one entrance formed on one side of the body of the block structure, where n is a natural number. It is integrally formed in the body of the block structure to have a branching path to the exit of, but the one entrance can be formed to branch to the at least (2n + 1) exits while having a vertex structure, and the one Among the paths branching from the inlet to at least (2n+1) outlets, one path has a straight path from the inlet to the outlet, and the rest of the paths except for the one path are from the one inlet having the straight path. A flow path provided so that at least one pair diverges on both sides based on the one point of the flow path, a supply end connected to an inlet formed on one side of the body of the block structure so that the fluid is supplied through the flow path, and the fluid is discharged through the flow path It may include a fluid distribution part consisting of a discharge end connected to an outlet formed on the other side of the body of the block structure, in particular, the supply end and the discharge end are each formed to protrude from the body, and the supply end and the discharge end Each stage may be coupled to each of the supply unit and the discharge unit using a ring joint.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 적어도 한 쌍은 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 동일 각도를 갖도록 분기되되, 상기 적어도 한 쌍 중 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째 이후로 분기되는 한 쌍 또한 상기 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 수 있다.In exemplary embodiments, the at least one pair is branched to have the same angle on both sides based on the one point, and when a first branched pair of the at least one pair is branched to have the first same angle, the two A pair branching after the th may also branch to have the same first angle.

예시적인 실시예들에 있어서, 상기 배출부는 기판을 향하여 상기 유체를 분사하는 분사 노즐과 연결될 수 있다.In example embodiments, the discharge unit may be connected to a spray nozzle that sprays the fluid toward the substrate.

예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 단일 구조의 몸체에 유로가 분기되는 구조를 갖도록 형성되기 때문에 용접 등으로 형성됨에 의한 누설 영역이 생략될 수 있고, 또한 분기되는 경로가 동일한 크기를 갖도록 형성할 수 있다.Since the fluid distribution assembly and the fluid flow device according to exemplary embodiments are formed to have a structure in which flow paths diverge from a body of a single structure, leakage areas formed by welding or the like can be omitted, and branching paths are the same. It can be formed to any size.

따라서 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 유체를 균등하게 분배시켜 배출시킬 수 있기 때문에 유체의 배출량의 차이로 인한 불량을 사전에 방지할 수 있다. 아울러 누설로 인하여 기포가 발생할 수 있는 상황을 사전에 방지할 수도 있기 때문에 기포 발생으로 인한 불량까지도 사전에 방지할 수 있다.Therefore, since the fluid distribution assembly and the fluid flow device according to exemplary embodiments can equally distribute and discharge fluid, defects due to differences in fluid discharge rates can be prevented in advance. In addition, since a situation in which bubbles may be generated due to leakage may be prevented in advance, even defects due to bubble generation may be prevented in advance.

다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.However, the effects of the present invention are not limited to the above-mentioned effects, and may be variously extended without departing from the spirit and scope of the present invention.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a fluid flow device including a fluid distribution assembly according to exemplary embodiments.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention can be applied with various changes and can have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to a specific form disclosed, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. Like reference numbers have been used for like elements in describing each figure. Terms such as first and second may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. These terms are only used for the purpose of distinguishing one component from another. Terms used in this application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. Singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprise" or "consisting of" are intended to designate that there is a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It should be understood that it does not preclude the possibility of the presence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which the present invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and unless explicitly defined in the present application, they should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning. don't

이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to the accompanying drawings. The same reference numerals are used for the same components in the drawings, and redundant descriptions of the same components are omitted.

도 1은 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리를 포함하는 유체 흐름 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram illustrating a fluid flow device including a fluid distribution assembly according to exemplary embodiments.

도 1을 참조하면, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100) 및 이를 포함하는 유체 흐름 장치(200)는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에 적용될 수 있다. 특히, 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 사용하는 집적회로 소자의 제조에 적용될 수 있다.Referring to FIG. 1 , a fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments and a fluid flow device 200 including the same may be applied to manufacturing integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display devices. In particular, it can be applied to the manufacture of integrated circuit devices using various types of fluids such as cleaning liquid, etching gas, and photoresist.

먼저 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100)는 몸체(11), 유로(13), 공급단(15), 배출단(17) 등을 포함할 수 있다.First, the fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments may include a body 11, a flow path 13, a supply end 15, a discharge end 17, and the like.

몸체(11)는 단일 구조물로서, 금속 재질로 이루어질 수 있고, 특히 내부식성 등이 우수한 스테인리스 스틸(stainless steel)로 이루어질 수 있다.The body 11 is a single structure, and may be made of a metal material, and in particular, may be made of stainless steel having excellent corrosion resistance.

유로(13)는 몸체(11)에 형성되는 것으로서, 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 이루어질 수 있다. 유로(13)는 분기되는 경로가 적어도 두 개일 경우 그 분기되는 개수에 한정되지 않는다.The flow path 13 is formed in the body 11 and may have a path branching from one inlet to at least two outlets. The flow path 13 is not limited to the number of branches when there are at least two branches.

다만, 예시적인 실시예들 따른 유체 분배 어셈블리(100)에서의 유로(13)는 블록 구조의 몸체(11) 일측에 형성되는 하나의 입구로부터 한 지점에서 블록 구조의 타측에 형성되는 적어도 (2n+1)개(n은 자연수)의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 형성될 수 있는 것으로써, 예를 들면 세 개가 분기되는 경로를 갖도록 형성될 수 있거나, 다섯 개가 분기되는 경로를 갖도록 형성될 수 있다.However, the flow path 13 in the fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments is at least (2n+) formed on the other side of the block structure at one point from one inlet formed on one side of the body 11 of the block structure. 1) It can be formed to have a branching path to two (n is a natural number) exit, for example, it can be formed to have three branching paths or five branching paths.

그리고 유로(13)가 몸체(11)에 형성되는 구조를 갖기 때문에 유로(13) 및 몸체(11)는 단일 구조체로 이루어지도록 구비될 수 있다. 이에, 유로(13)는 하나의 입구로부터 적어도 두 개의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 몸체(11)에 일체 구조로 형성될 수 있다.And since the passage 13 has a structure formed in the body 11, the passage 13 and the body 11 may be provided to be made of a single structure. Accordingly, the flow path 13 may be integrally formed with the body 11 to have a branching path from one inlet to at least two outlets.

유로(13)에서, 분기되는 경로는 한 지점에서 이루어지는 것이 바람직하다. 이에, 분기되는 경로인 한 지점은 꼭짓점을 가질 수 있다. 즉, 분기되는 경로가 삼각형에서의 꼭짓점 구조를 가질 수 있는 것이다.In the flow path 13, it is preferable that the branching path is made at one point. Accordingly, one branching path may have a vertex. That is, a branching path can have a vertex structure in a triangle.

특히, 예시적인 실시예들 따른 유체 분배 어셈블리(100)에서의 유로(13)는 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되도록 형성될 수 있는데, 하나의 입구로부터 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되는 경로 중 하나의 경로는 입구로부터 출구로 직선 경로를 갖고, 하나의 경로를 제외한 나머지 경로는 직선 경로를 갖는 하나의 입구로부터의 한 지점을 기준으로 양쪽으로 적어도 한 쌍이 분기되도록 구비될 수 있는데, 구체적으로 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 3개의 출구로 분기되도록 유로(13)가 형성될 경우 직선 경로로 분기되는 유로는 화살대 구조일 수 있을 것이고, 한 쌍이 동일 각도를 갖도록 분기되는 유로는 화살촉 구조일 수 있을 것이다.In particular, the flow path 13 in the fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments may be formed so that one inlet has a vertex structure and branches to at least (2n+1) outlets, from one inlet Of the paths branching to at least (2n+1) exits, one path has a straight path from the inlet to the exit, and the rest of the paths except for one path have a straight path from one inlet to both sides of a point. At least one pair may be provided to diverge. Specifically, when the flow path 13 is formed so that one inlet has a vertex structure and branches to three exits, the flow path branching in a straight path may have a shaft structure, and one The flow path in which the pair diverge to have the same angle may have an arrowhead structure.

특히, 꼭짓점을 갖도록 분기될 때 서로 이웃하는 경로에서의 유로(13)들 각각이 최소 각도로 분기되는 것이 적절한 것으로써, 이는 분기되는 각도가 커질수록 유체가 균등하게 분배되는데 방해되기 때문이다. 다시 말해, 유로(13)의 분기되는 경로가 직선 구조에 가깝게 분기되는 것이 유체를 균등하게 분배하는데 유리하기 때문이다.In particular, when diverging to have vertices, it is appropriate that each of the passages 13 in adjacent paths diverge at a minimum angle, because as the divergence angle increases, uniform distribution of fluid is hindered. In other words, it is advantageous to evenly distribute the fluid when the branching path of the flow path 13 is branched close to a straight structure.

또한, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100)의 유로(13)에서의 적어도 한 쌍은 한 지점을 기준으로 양쪽으로 동일 각도를 갖도록 분기될 수 있고, 나아가 적어도 한 쌍 중 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째 이후로 분기되는 한 쌍 또한 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 수 있는 것으로써, 예를 들면 한 지점을 기준으로 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 대략 5°의 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째로 분기되는 한 쌍 또한 5°의 각도를 갖도록 분기될 수 있을 것이다.In addition, at least one pair in the flow path 13 of the fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments may be branched to have the same angle on both sides based on a point, and furthermore, the first of the at least one pair When a pair that diverges diverges to have the same first angle, a pair that diverges secondly and later can also branch to have the same first angle. For example, a pair that diverges first based on a point When diverging to have an angle of about 5°, the second diverged pair may also diverge to have an angle of 5°.

공급단(15)은 몸체(11)로 유체가 공급되도록 구비되는 것으로서, 즉 유로(13)를 통하여 유체가 공급되도록 언급한 하나의 입구에 연결되도록 구비될 수 있다.The supply end 15 is provided to supply fluid to the body 11, that is, it may be provided to be connected to one of the inlets mentioned so that the fluid is supplied through the flow path 13.

배출단(17)은 몸체(11)로부터 유체가 배출되도록 구비되는 것으로서, 즉 유로(13)를 통하여 유체가 배출되도록 언급한 적어도 두 개의 출구 각각에 연결되도록 구비될 수 있다.The discharge end 17 is provided to discharge fluid from the body 11, that is, may be provided to be connected to each of the at least two outlets mentioned so that the fluid is discharged through the passage 13.

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리(100)는 하나의 입구로부터 적어도 두 개로 분기되는 경로를 갖는 유로(13)가 몸체(11)에 일체 구조를 갖도록 형성하되 분기되는 구조를 직선 구조에 가깝게 형성함으로써 몸체(11)를 통과하는 유체의 균등한 분배가 가능할 것이고, 나아가 누설 영역의 생략도 가능하기 때문에 유체의 균등한 분배는 물론이고 누설로 인하여 기포가 발생하는 상황까지도 방지할 수도 있을 것이다.In this way, in the fluid distribution assembly 100 according to exemplary embodiments, the flow path 13 having a path branching from one inlet to at least two is formed to have an integral structure in the body 11, but the diverging structure is a straight line. By forming it close to the structure, even distribution of the fluid passing through the body 11 will be possible, and furthermore, since the leakage area can be omitted, not only the even distribution of the fluid but also the occurrence of air bubbles due to leakage can be prevented. There will be.

그리고 공급단(15)은 공급 배관(19)과 연결될 수 있고, 배출단(17)은 배출 배관(21)과 연결될 수 있다. 아울러, 공급단(15) 및 배출단(17) 각각은 몸체(11)로부터 돌출되는 구조를 갖도록 형성될 수 있다.Also, the supply end 15 may be connected to the supply pipe 19 and the discharge end 17 may be connected to the discharge pipe 21 . In addition, each of the supply end 15 and the discharge end 17 may be formed to have a structure protruding from the body 11 .

따라서 공급단(15)의 돌출되는 부분과 공급 배관(19)이 연결될 수 있고, 배출단(17)의 돌출되는 부분과 배출 배관(21)이 연결될 수 있다.Therefore, the protruding part of the supply end 15 and the supply pipe 19 may be connected, and the protruding part of the discharge end 17 and the discharge pipe 21 may be connected.

예시적인 실시예들에 있어서, 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21)의 연결은 링 조인트(23)를 사용하여 결합시킬 수 있다. 이와 같이, 링 조인트(23)를 사용하여 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21) 각각을 연결할 수 있기 때문에 조립성의 향상을 도모할 수 있다. 아울러, 공급단(15)과 공급 배관(19) 및 배출단(17)과 배출 배관(21)의 연결시 정렬 구조가 틀어지는 것을 어느 정도 방지할 수 있을 것이다.In exemplary embodiments, the connection between the supply end 15 and the supply pipe 19 and the discharge end 17 and the discharge pipe 21 may be coupled using a ring joint 23 . In this way, since the supply end 15 and the supply pipe 19 and the discharge end 17 and the discharge pipe 21 can be connected using the ring joint 23, respectively, it is possible to improve the assemblability. In addition, when the supply end 15 and the supply pipe 19 and the discharge end 17 and the discharge pipe 21 are connected, distortion of the alignment structure can be prevented to some extent.

이하, 언급한 유체 분배 어셈블리(100)를 포함하는 유체 흐름 장치(200)에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a fluid flow device 200 including the aforementioned fluid distribution assembly 100 will be described.

먼저 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)에서의 유체 분배 어셈블리(100)는 유체 분배부로 표현하기로 하고, 그리고 유체 분배 어셈블리(100)와 유체 분배부는 동일한 구성을 갖기 때문에 동일 부품에 대해서는 동일 부호를 사용하고 그 상세한 설명은 생략하기로 한다.First, the fluid distribution assembly 100 in the fluid flow device 200 according to exemplary embodiments will be expressed as a fluid distribution unit, and since the fluid distribution assembly 100 and the fluid distribution unit have the same configuration, they are in the same part. The same reference numerals are used, and a detailed description thereof will be omitted.

예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 언급한 바와 같이 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에서 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등과 같은 다양한 종류의 유체를 제공하기 위한 것으로서, 특히 기판 상에 세정액 등과 같은 약액의 제공시 균등하게 분배시켜 제공하기 위한 것이다.As mentioned above, the fluid flow device 200 according to exemplary embodiments is for providing various types of fluids such as cleaning liquid, etching gas, photoresist, etc. in the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display devices. , In particular, it is to distribute and provide evenly when providing a chemical solution such as a cleaning solution on a substrate.

이에, 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 유체 분배부(100) 이외에도 공급부(25), 배출부(27), 분사 노즐(29) 등을 포함할 수 있다.Accordingly, the fluid flow device 200 according to exemplary embodiments may include a supply unit 25 , a discharge unit 27 , a spray nozzle 29 , and the like in addition to the fluid distribution unit 100 .

공급부(25)는 유체를 공급하기 위한 것으로서, 유체 분배부(100)로 유체를 공급할 수 있도록 언급한 공급 라인(19)과 연결될 수 있다. 이에, 유체 흐름 장치(200)는 공급부(25) 및 공급 라인(19)을 통하여 유체 분배부(100)로 유체를 공급하는 구조를 가질 수 있다.The supply unit 25 is for supplying fluid and may be connected to the aforementioned supply line 19 to supply the fluid to the fluid distribution unit 100 . Accordingly, the fluid flow device 200 may have a structure in which fluid is supplied to the fluid distribution unit 100 through the supply unit 25 and the supply line 19 .

배출부(27)는 유체를 배출하기 위한 것으로서, 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출할 수 있도록 언급한 배출 라인(21)과 연결될 수 있다. 이에, 유체 흐름 장치(200)는 배출 라인(21) 및 배출부(27)를 통하여 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출하는 구조를 가질 수 있다.The discharge unit 27 is for discharging fluid and may be connected to the aforementioned discharge line 21 to discharge the fluid from the fluid distribution unit 100 . Accordingly, the fluid flow device 200 may have a structure in which fluid is discharged from the fluid distribution unit 100 through the discharge line 21 and the discharge unit 27 .

이와 같이, 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 공급부(25) 및 공급 라인(19)을 통하여 유체 분배부(100)로 유체를 공급함과 아울러 배출 라인(21) 및 배출부(27)를 통하여 유체 분배부(100)로부터 유체를 배출하는 구조를 가짐과 아울러 유체 분배부(100)에서의 유로(13)가 몸체(11)에 일체 구조를 갖도록 형성되고 그리고 분기되는 구조가 직선 구조에 가깝게 형성되기 때문에 유체의 균등한 분배가 가능하여 기판 상에 균등하게 분배가 이루어지는 유체를 제공할 수 있을 뿐만 아니라 누설 영역의 생략도 가능하기 때문에 기포가 발생하는 유체의 제공을 사전에 방지할 수 있다.As such, the fluid flow device 200 according to exemplary embodiments supplies fluid to the fluid distribution unit 100 through the supply unit 25 and the supply line 19, and also to the discharge line 21 and the discharge unit ( 27) and has a structure for discharging the fluid from the fluid distribution unit 100, and the flow path 13 in the fluid distribution unit 100 is formed to have an integral structure with the body 11 and the diverging structure is straight Since it is formed close to the structure, it is possible to distribute the fluid evenly, providing a fluid that is evenly distributed on the substrate, and since it is possible to omit the leak area, it is possible to prevent the provision of a fluid that generates bubbles in advance. can

그리고 배출부(27)는 기판을 향하여 유체를 분사하는 분사 노즐(29)과 연결될 수도 있다. 이에, 배출부(27)로부터 배출이 이루어지는 유체는 분사 노즐(29)을 통하여 기판 상에 분사되는 구조를 가질 수 있는 것이다.Also, the discharge unit 27 may be connected to a spray nozzle 29 that sprays fluid toward the substrate. Thus, the fluid discharged from the discharge unit 27 may have a structure in which it is injected onto the substrate through the spray nozzle 29 .

따라서 예시적인 실시예들에 따른 유체 흐름 장치(200)는 분사 노즐(29)을 사용하여 기판 상에 유체를 제공하는 공정에 보다 적극적으로 적용할 수 있을 것이다.Accordingly, the fluid flow device 200 according to exemplary embodiments may be more actively applied to a process of providing fluid on a substrate using the spray nozzle 29 .

예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 세정액, 식각 가스, 포토레지스트 등을 기판 상에 제공하는 공정에 적용할 수 있다. 이에, 예시적인 실시예들에 따른 유체 분배 어셈블리 및 유체 흐름 장치는 언급한 유체를 사용하는 반도체 소자, 평판 디스플레이 소자와 같은 집적회로 소자의 제조에 적용할 수 있다.A fluid distribution assembly and a fluid flow device according to example embodiments may be applied to a process of providing a cleaning liquid, an etching gas, a photoresist, and the like on a substrate. Accordingly, the fluid distribution assembly and the fluid flow device according to exemplary embodiments may be applied to manufacturing integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display devices using the aforementioned fluid.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention without departing from the spirit and scope of the present invention described in the claims below. You will understand that you can.

11 : 몸체 13 : 유로
15 : 공급단 17 : 배출단
19 : 공급 배관 21 : 배출 배관
23 : 링 조인트 25 : 공급부
27 : 배출부 29 : 분사 노즐
100 : 유체 분배 어셈블리(유체 분배부)
200 : 유체 흐름 장치11: body 13: euro
15: supply stage 17: discharge stage
19: supply piping 21: discharge piping
23: ring joint 25: supply unit
27: discharge unit 29: injection nozzle
100: fluid distribution assembly (fluid distribution unit)
200: fluid flow device

Claims (6)

단일 구조물로서의 블록 구조를 갖도록 구비되는 몸체;
상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 하나의 입구로부터 한 지점에서 상기 블록 구조의 타측에 형성되는 적어도 (2n+1)개(상기 n은 자연수)의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 블록 구조의 몸체에 일체 구조로 형성되되, 상기 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 상기 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되도록 형성될 수 있고, 그리고 상기 하나의 입구로부터 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되는 경로 중 하나의 경로는 상기 입구로부터 상기 출구로 직선 경로를 갖고, 상기 하나의 경로를 제외한 나머지 경로는 상기 직선 경로를 갖는 상기 하나의 입구로부터의 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 적어도 한 쌍이 분기되도록 구비되는 유로;
상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 입구와 연결되는 공급단; 및
상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 블록 구조의 몸체 타측에 형성되는 출구와 연결되는 배출단을 포함하는 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.A body provided to have a block structure as a single structure;
The body of the block structure has a path branching from one inlet formed on one side of the body of the block structure to at least (2n+1) outlets formed on the other side of the block structure at a point. It is formed as an integral structure, but the one inlet may be formed to branch to the at least (2n + 1) outlets while having a vertex structure, and branching from the one inlet to at least (2n + 1) outlets. One of the paths has a straight path from the inlet to the outlet, and the rest of the paths except for the one path diverge at least one pair on both sides of the one point from the one inlet having the straight path. a flow path provided so as to be;
a supply end connected to an inlet formed on one side of the body of the block structure so that fluid is supplied through the passage; and
and a discharge end connected to an outlet formed on the other side of the body of the block structure so that the fluid is discharged through the passage. 제1 항에 있어서,
상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 공급 배관 및 배출 배관 각각과 링 조인트(ring joint)를 사용하여 결합되도록 상기 몸체로부터 돌출되는 구조로 형성되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.According to claim 1,
The fluid distribution assembly, wherein each of the supply end and the discharge end is formed in a structure protruding from the body so as to be coupled to each of the supply pipe and the discharge pipe using a ring joint. 제1 항에 있어서,
상기 적어도 한 쌍은 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 동일 각도를 갖도록 분기되되, 상기 적어도 한 쌍 중 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째 이후로 분기되는 한 쌍 또한 상기 제1 동일 각도를 갖도록 분기되는 것을 특징으로 하는 유체 분배 어셈블리.According to claim 1,
The at least one pair is branched to have the same angle on both sides based on the one point, and if the first branched pair of the at least one pair is branched to have the first same angle, the second and subsequent branched pairs are also The fluid distribution assembly, characterized in that branched to have the same first angle. 유체를 공급하는 공급부;
상기 공급부로부터 공급되는 상기 유체를 배출하는 배출부;
단일 구조물로서의 블록 구조를 갖도록 구비되는 몸체와, 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 하나의 입구로부터 한 지점에서 상기 블록 구조의 타측에 형성되는 적어도 (2n+1)개(상기 n은 자연수)의 출구로 분기되는 경로를 갖도록 상기 블록 구조의 몸체에 일체 구조로 형성되되, 상기 하나의 입구가 꼭짓점 구조를 가지면서 상기 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되도록 형성될 수 있고, 그리고 상기 하나의 입구로부터 적어도 (2n+1)개의 출구로 분기되는 경로 중 하나의 경로는 상기 입구로부터 상기 출구로 직선 경로를 갖고, 상기 하나의 경로를 제외한 나머지 경로는 상기 직선 경로를 갖는 상기 하나의 입구로부터의 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 적어도 한 쌍이 분기되도록 구비되는 유로와, 상기 유로를 통하여 유체가 공급되도록 상기 블록 구조의 몸체 일측에 형성되는 입구와 연결되는 공급단과, 상기 유로를 통하여 유체가 배출되도록 상기 블록 구조의 몸체 타측에 형성되는 출구와 연결되는 배출단으로 이루어지는 유체 분배부를 포함하고,
상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 몸체로부터 돌출되도록 형성되고, 상기 공급단 및 상기 배출단 각각은 상기 공급부 및 상기 배출부 각각과 링 조인트를 사용하여 결합되는 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.a supply unit supplying fluid;
a discharge unit discharging the fluid supplied from the supply unit;
A body provided to have a block structure as a single structure, and at least (2n + 1) (n is a natural number) formed on the other side of the block structure at one point from one entrance formed on one side of the body of the block structure. It is integrally formed in the body of the block structure to have a branching path to the outlet, and the one inlet may be formed to branch to the at least (2n + 1) outlets while having a vertex structure, and the one Among the paths branching from the inlet to at least (2n+1) outlets, one path has a straight path from the inlet to the outlet, and the remaining paths excluding the one path are from the one inlet having the straight path. A flow path provided so that at least one pair diverges on both sides of the one point, a supply end connected to an inlet formed on one side of the body of the block structure so that fluid is supplied through the flow path, and a fluid discharged through the flow path. A fluid distribution unit comprising a discharge end connected to an outlet formed on the other side of the body of the block structure,
Each of the supply end and the discharge end is formed to protrude from the body, and each of the supply end and the discharge end is coupled to the supply part and the discharge part using a ring joint. 제4 항에 있어서,
상기 적어도 한 쌍은 상기 한 지점을 기준으로 양쪽으로 동일 각도를 갖도록 분기되되, 상기 적어도 한 쌍 중 첫 번째로 분기되는 한 쌍이 제1 동일 각도를 갖도록 분기될 경우 두 번째 이후로 분기되는 한 쌍 또한 상기 제1 동일 각도를 갖도록 분기되는 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.According to claim 4,
The at least one pair is branched to have the same angle on both sides based on the one point, and if the first branched pair of the at least one pair is branched to have the first same angle, the second and subsequent branched pairs are also The fluid flow device, characterized in that branched to have the same first angle. 제4 항에 있어서,
상기 배출부는 기판을 향하여 상기 유체를 분사하는 분사 노즐과 연결되는 것을 특징으로 하는 유체 흐름 장치.According to claim 4,
The fluid flow device, characterized in that the discharge portion is connected to a spray nozzle for spraying the fluid toward the substrate.
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