KR20230029523A - 진공 장치, 전자 디바이스의 제조 장치 - Google Patents

진공 장치, 전자 디바이스의 제조 장치 Download PDF

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KR20230029523A
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줌페이 사이토
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Abstract

(과제) 내부를 감압 가능하게 구성되는 복수의 챔버를 구비하는 진공 장치에 있어서, 복수의 챔버를 일체적으로 작은 스페이스에서 수송 가능하게 하고, 조립시의 수고를 저감시킨다.
(해결 수단) 제1 챔버(21)와, 제1 챔버(21)에 연결되는 제2 챔버(22)와, 제1 챔버(21)와 제2 챔버(22)를 지지하는 지지 유닛(25)을 구비하는 진공 장치로서, 지지 유닛(25)은, 제1 챔버(21)의 저면이 고정되는 제1 고정면(251a)을 가지는 제1 대좌(251)와, 제2 챔버(22)의 저면이 고정되는 제2 고정면(252a)을 가지는 제2 대좌(252)와, 제1 대좌(251)와 제2 대좌(252)를 접속하는 접속부(253)를 구비하고, 지지 유닛(25)은, 접속부(253)에 의해 제1 고정면(251a)을 따르는 면과 상기 제2 고정면(252a)을 따르는 면이 이루는 각의 각도가 변화하도록 굴곡된다.

Description

진공 장치, 전자 디바이스의 제조 장치{VACUUM DEVICE, MANUFACTURING APPARATUS OF ELECTRONIC DEVICE}
본 발명은, 진공 장치, 전자 디바이스의 제조 장치에 관한 것이다.
진공 장치에서는, 내부를 감압 가능하도록 구성되는 복수의 챔버를 구비하는 장치가 알려져 있다. 예를 들면, 유기 EL 표시 장치 등의 전자 디바이스의 제조 장치는, 일반적으로 복수의 클러스터 장치와 중계 장치가 교대로 배치된다. 클러스터 장치는 반송실이나 성막실 등의 챔버를 가지고, 기판의 성막 처리 등이 행해진다. 중계 장치는 선회실이나 패스실 등의 챔버를 가지고, 클러스터 장치 사이에 배치되어, 기판의 반송 등을 행한다. 이들 장치의 챔버는 각각이 독립된 가대(架台)에 설치되어 있고, 각각의 챔버가 분리된 상태에서 공장 등으로 수송된다. 따라서 제조 장치를 조립할 때에는, 각 챔버끼리를 접속하기 위해서 챔버의 높이 방향이나 수평 방향의 위치 조정을 행할 필요가 있다.
한편, 특허문헌 1에서는, 1개의 가대로 복수의 챔버를 지지하고 있는 구성이 개시되어 있다. 가대로 지지되는 챔버의 양단에 다른 챔버가 접속되고, 복수의 챔버를 소위 캔틸레버 보 상태로 지지함으로써, 1개의 가대로 복수의 챔버를 지지하고 있다.
일본특허공개 평10-247675호 공보
상술한 바와 같이 1개의 가대로 복수의 챔버를 지지하는 구성은, 수송 후의 장치 조립시의 위치 조정의 수고를 줄인다. 그러나, 장치가 대형인 경우, 캔틸레버 보 상태에서는 챔버의 기울어짐이나 접속부의 파손 등의 문제나 수송의 사이즈 제한에 의한 제약이 상정되기 때문에, 이와 같은 구성은 채용할 수 없다.
본 발명은, 내부를 감압 가능하도록 구성되는 복수의 챔버를 구비하는 진공 장치에 있어서, 복수의 챔버를 일체적으로 작은 스페이스에서 수송 가능하게 하고, 조립시의 수고를 저감시키는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 진공 장치는,
제1 챔버와,
상기 제1 챔버에 연결되는 제2 챔버와,
상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버를 지지하는 지지 유닛,
을 구비하는 진공 장치로서,
상기 지지 유닛은, 상기 제1 챔버의 저면이 고정되는 제1 고정면을 가지는 제1 대좌와, 상기 제2 챔버의 저면이 고정되는 제2 고정면을 가지는 제2 대좌와, 상기 제1 대좌와 상기 제2 대좌를 접속하는 접속부를 구비하고,
상기 지지 유닛은, 상기 접속부에 의해 상기 제1 고정면을 따르는 면과 상기 제2 고정면을 따르는 면이 이루는 각의 각도가 변화하도록 굴곡되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 내부를 감압 가능하게 구성되는 복수의 챔버를 구비하는 진공 장치에 있어서, 복수의 챔버를 일체적으로 작은 스페이스에서 수송 가능하게 하고, 조립시의 수고를 저감시킬 수 있다.
도 1은, 전자 디바이스의 제조 장치의 일부를 나타내는 모식도이다.
도 2는, 설치 상태의 중계 장치의 모식도이다.
도 3은, 설치 상태의 중계 장치의 모식적 사시도이다.
도 4는, 수송 상태의 중계 장치의 모식도이다.
도 5는, 수송 상태의 중계 장치의 모식적 사시도이다.
도 6은, 수송 상태의 접속부의 모식도이다.
도 7은, 설치 상태의 접속부의 모식적 정면도이다.
도 8은, 설치 상태의 접속부의 모식적 하면도이다.
도 9는, 접속부의 모식적 사시도이다.
도 10은, 다리 부재의 구동을 나타내는 모식도이다.
도 11은, 변형예에 관한 수송 상태의 접속부의 모식적 정면도이다.
도 12는, 본 발명의 실시예에 관한 유기 EL 표시 장치의 설명도이다.
이하에 도면을 참조하여, 이 발명을 실시하기 위한 형태를, 실시예에 기초하여 예시적으로 상세하게 설명한다. 단, 이 실시형태에 기재되어 있는 구성 부품의 치수, 재질, 형상, 그것들의 상대 배치 등은, 발명이 적용되는 장치의 구성이나 각종 조건에 따라 적절히 변경되어야 하는 것이다. 즉, 이 발명의 범위를 이하의 실시형태에 한정하는 취지의 것은 아니다.
본 발명은, 내부를 감압 가능하도록 구성되는 복수의 챔버를 구비하는 진공 장치에 관한 것이다. 본 발명은, 예를 들면, 기판의 표면에 각종 재료를 퇴적시켜 성막을 행하는 장치에 적용할 수 있고, 진공 증착에 의해 원하는 패턴의 박막(재료막)을 형성하는 장치에 바람직하게 적용할 수 있다. 기판의 재료로서는, 유리, 고분자 재료의 필름, 실리콘 웨이퍼, 금속 등의 임의의 재료를 선택할 수 있고, 기판은, 예를 들면, 유리 기판 상에 폴리이미드 등의 필름이 퇴적된 기판이어도 된다. 또한, 증착 재료로서도, 유기 재료, 금속제 재료(금속, 금속 산화물 등) 등의 임의의 재료를 선택해도 된다. 한편, 이하의 설명에서 설명하는 진공 증착 장치 이외에도, 스퍼터 장치나 CVD(Chemical Vapor Deposition) 장치를 포함하는 성막 장치에도, 본 발명을 적용할 수 있다. 본 발명의 기술은, 구체적으로는, 유기 전자 디바이스(예를 들면, 유기 발광 소자, 박막 태양 전지), 광학 부재 등의 제조 장치에 적용 가능하다. 그 중에서도, 증착 재료를 증발시켜 마스크를 통해 기판에 증착시킴으로써 유기 발광 소자를 형성하는 유기 발광 소자의 제조 장치는, 본 발명의 바람직한 적용예의 하나이다. 이하, 본 발명을 전자 디바이스의 제조 장치에 적용한 경우를 예로 설명하지만, 본 발명의 진공 장치는 이것에 한정되지 않고, 복수의 챔버를 구비하는 각종 진공 장치에 적용 가능하다.
<전자 디바이스의 제조 장치>
도 1은, 전자 디바이스의 제조 장치의 일부 구성을 모식적으로 나타내는 평면도이다. 도 1의 제조 장치는, 예를 들면, 스마트폰용의 유기 EL 표시 장치, 또는 VRHMD용의 유기 EL 표시 장치의 표시 패널의 제조에 사용된다. 스마트폰용의 표시 패널의 경우, 예를 들면, 4.5세대의 기판(약700mm×약900mm)이나 6세대의 풀사이즈(약1500mm×약1850mm) 또는 하프컷 사이즈(약1500mm×약925mm)의 기판이 사용된다. 해당 기판에 유기 EL 소자의 형성을 위한 성막을 행한 후, 상기 기판을 잘라내 복수의 작은 사이즈의 패널로 제작한다. VRHMD용의 표시 패널의 경우, 예를 들면, 소정의 사이즈(예를 들면, 300mm)의 실리콘 웨이퍼가 사용된다. 상기 실리콘 웨이퍼에 유기 EL 소자의 형성을 위한 성막을 행한 후, 소자 형성 영역의 사이의 영역(스크라이브 영역)을 따라 상기 실리콘 웨이퍼를 잘라내 복수의 작은 사이즈의 패널로 제작한다.
전자 디바이스의 제조 장치는, 일반적으로, 복수의 클러스터 장치(1)와, 클러스터 장치의 사이를 연결하는 중계 장치(2)를 포함한다. 클러스터 장치(1)는, 기판에 대한 처리(예를 들면, 성막)를 행하는 복수의 성막 장치(11)와, 사용 전후의 마스크를 수납하는 복수의 마스크 저장 장치(12)와, 그 중앙에 배치되는 반송실(13)을 구비한다. 반송실(13)은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 복수의 성막 장치(11) 및 마스크 저장 장치(12)의 각각과 접속되어 있다.
반송실(13) 내에는, 기판 및 마스크를 반송하는 반송 로봇(14)이 배치되어 있다. 반송 로봇(14)은, 상류측에 배치된 중계 장치(2)의 패스실(22)로부터 성막 장치(11)로 기판을 반송한다. 또한, 반송 로봇(14)은, 성막 장치(11)와 마스크 저장 장치(12)의 사이에서 마스크를 반송한다. 반송 로봇(14)은, 예를 들면, 다관절 아암에, 기판 또는 마스크를 보유지지하는 로봇 핸드가 장착된 구조를 가지는 로봇이다.
성막 장치(11)(성막실, 또는 증착 장치라고도 부른다)에서는, 증발원에 수납된 증착 재료가 히터에 의해 가열되어 증발하고, 마스크를 통해 기판 위에 증착된다. 반송 로봇(14)과의 기판의 전달, 기판과 마스크의 상대 위치의 조정(얼라인먼트), 마스크 위로의 기판의 고정, 성막(증착) 등의 일련의 성막 프로세스는, 성막 장치(11)에 의해 행해진다.
마스크 저장 장치(12)에는, 성막 장치(11)에서의 성막 공정에 사용되는 새로운 마스크와, 사용이 완료된 마스크가, 2개의 카세트에 나뉘어 수납된다. 반송 로봇(14)은, 사용이 완료된 마스크를 성막 장치(11)로부터 마스크 저장 장치(12)의 카세트에 반송하고, 마스크 저장 장치(12)의 다른 카세트에 수납된 새로운 마스크를 성막 장치(11)에 반송한다.
클러스터 장치(1)에는, 기판의 흐름 방향에서 상류측으로부터의 기판을 해당 클러스터 장치(1)에 공급하는 패스실(22), 해당 클러스터 장치(1)로 성막 처리가 완료된 기판을 하류측의 다른 클러스터 장치에 공급하는 패스실(22)이 연결된다. 반송실(13)의 반송 로봇(14)은, 상류측의 패스실(22)로부터 기판을 수취하여, 해당 클러스터 장치(1) 내의 성막 장치(11)의 하나에 반송한다. 또한, 반송 로봇(14)은, 해당 클러스터 장치(1)에서의 성막 처리가 완료된 기판을 복수의 성막 장치(11)의 하나로부터 수취하여, 하류측으로 연결된 중계 장치(2)의 패스실(22)에 반송한다.
중계 장치(2)는, 기판의 방향을 바꾸는 선회실(21)과, 선회실(21)의 상류측과 하류측의 각각에 패스실(22)이 설치되고, 상류측의 클러스터 장치(1)로부터 반송된 기판을 하류측의 클러스터 장치(1)로 반송한다. 선회실(21)에는, 상류측의 패스실(22)로부터 기판을 수취하여 기판을 180°회전시키고, 하류측의 패스실(22)로 반송하기 위한 반송 로봇(24)이 설치된다. 이에 의해, 상류측의 클러스터 장치(1)와 하류측의 클러스터 장치(1)에서 반입되는 기판의 방향이 같아지기 때문에, 기판 처리가 용이해진다.
본 실시예에서의 패스실(22)은, 기판 재치용의 스테이지를 구비한다. 중계 장치(2) 중에서 선회실(21)의 상류측에 설치되는 패스실(22)은, 이동이나 회전을 행하지 않는 고정 스테이지를 구비한다. 한편, 선회실(21)의 하류측에 설치되는 패스실(22)은 얼라인먼트 기구를 구비하고, 스테이지는 재치면에 평행한 제1 방향으로의 이동, 재치면에 평행하고 제1 방향과 직교하는 제2 방향으로의 이동, 및 제1 방향 및 제2 방향과 직교하는 제3 방향을 중심으로 회전하는 구동이 가능하다. 클러스터 장치(1)의 반송실(13) 내로 기판이 반송되기 전에, 사전에 중계 장치(2)에서 기판의 얼라인먼트를 행함으로써 얼라인먼트 공정을 효율화할 수 있다.
한편, 클러스터 장치(1)의 하류측에는 패스실(22) 대신에 버퍼실(23)이 설치되어도 된다. 클러스터 장치(1)의 상류측 및/또는 하류측에 설치되는 중계 장치(2)는, 선회실(21)과, 패스실(22), 버퍼실(23)의 적어도 1개를 포함한다.
클러스터 장치(1)와 중계 장치(2)는, 각각을 구성하는 복수의 챔버의 내부가 감압 가능하도록 구성되어 있는 진공 장치이다. 성막 장치(11), 마스크 저장 장치(12), 반송실(13), 버퍼실(23), 선회실(21) 등은, 유기 발광 소자의 제조 과정에서, 고진공 상태로 유지된다. 패스실(22)은, 통상, 저진공 상태로 유지되지만, 필요에 따라 고진공 상태로 유지되어도 된다.
본 실시예에서는, 도 1을 참조하여, 전자 디바이스의 제조 장치의 구성에 대해 설명했지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않고, 다른 종류의 장치나 챔버를 가져도 되고, 이들 장치나 챔버의 배치가 바뀌어도 된다. 예를 들면, 본 발명의 일 실시형태에 의한 전자 디바이스의 제조 장치는, 도 1에 나타내는 클러스터 타입이 아니라, 인라인 타입이어도 된다. 즉, 기판과 마스크를 캐리어에 탑재하여, 일렬로 나열되어 있는 복수의 성막 장치 내를 반송시키면서 성막을 행하는 구성을 가져도 된다. 또한, 클러스터 타입과 인라인 타입을 조합한 타입의 구조를 가져도 된다. 예를 들면, 유기층의 성막까지는 클러스터 타입의 제조 장치로 행하고, 전극층(캐소드층)의 성막 공정부터, 봉지 공정 및 절단 공정 등은 인라인 타입의 제조 장치로 행할 수도 있다.
<중계 장치>
도2∼도5를 참조하여, 본 발명의 실시예에 관한 중계 장치(2)에 대해 설명한다. 본 실시예에서는, 기판의 반송 방향의 상류측의 챔버로부터 하류측의 챔버로 기판이 반송되는 길이 방향을 X방향, 길이 방향과 직교하는 폭 방향을 Y방향, 길이 방향 및 폭 방향과 직교하는 높이 방향을 Z방향이라 하고 있다. 길이 방향(X방향)은, 각 챔버간을 기판이 이동하는 이동 방향이기도 한다.
본 실시예의 중계 장치(2)는, 클러스터 장치 사이에서 기판의 반송 등을 행하는 설치 상태와, 공장 등으로 장치가 수송되기 위한 수송 상태의 2종류의 상태로 전환된다고 하는 특징적인 구성을 가진다. 도 2a는, 선회실(21)과 패스실(22)이 접속하고, 선회실(21)과 패스실(22)의 사이에서 기판의 반송이 가능한 설치 상태의 중계 장치(2)의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도 2b는 그 모식적 정면도이다. 도 3은, 설치 상태의 중계 장치(2)를 나타내는 모식적 사시도이다. 본 실시예의 중계 장치(2)는, 선회실(21)(제1 챔버)의 상하류측 각각에 패스실(22)(제2 챔버, 제3 챔버)이 인접하여 설치되고, 선회실(21)과 패스실(22)을 지지하는 지지 유닛(25)을 구비한다. 중계 장치(2)는 선회실(21)과 패스실(22)의 사이에 게이트 밸브(26)를 더 구비하고, 게이트 밸브(26)와 패스실(22)은 어댑터 플레이트(27)를 통해 접속된다.
지지 유닛(25)은, 선회실(21)을 지지하는 대좌(251)(제1 대좌)와, 패스실(22)을 지지하는 가동 대좌(252)(제2 대좌, 제3 대좌)와, 대좌(251)와 가동 대좌(252)를 접속하는 접속부(253)를 구비한다. 선회실(21)의 저면은, 대좌(251)의 고정면(251a)(제1 고정면)에 고정된다. 마찬가지로 패스실(22)의 저면은, 가동 대좌(252)의 고정면(252a)(제2 고정면, 제3 고정면)에 고정된다. 지지 유닛(25)은, 대좌(251)를 하방에서부터 지지하는 지주 구조(254)와, 가동 대좌(252)를 하방에서부터 지지하는 다리 부재(255)와, 다리 부재(255)와 가동 대좌(252)를 접속하는 다리 접속 부재로서의 축 클램프 부재(256)를 더 구비한다.
본 실시예의 선회실(21)은, 상면으로부터 보면 6각 형상이며, 대좌(251)를 통해 선회실(21)을 하방으로부터 지지하는 지주 구조(254)는 6각형의 각 정점을 지지하는 지주를 포함하는 복수의 지주로 구성된다. 지주 구조(254)는, 장치의 조립시에 높이 방향의 위치 조정을 가능하게 하는 레벨 조정기(2541)를 더 구비한다.
본 실시예의 패스실(22)은 상면으로부터 보면 장방 형상이며, 가동 대좌(252)에 고정된다. 설치 상태의 중계 장치(2)에서, 선회실(21)이 고정되는 대좌(251)의 고정면(251a)과 패스실(22)이 고정되는 가동 대좌(252)의 고정면(252a)은 평행이 되도록 설치된다. 가동 대좌(252)는, 축 클램프 부재(256)를 통해 다리 부재(255)에 지지된다. 나아가, 가동 대좌(252)는, 복수의 부재로 구성되는 접속부(253)를 통해 대좌(251)에 접속된다. 즉 설치 상태에서, 가동 대좌(252)는 다리 부재(255)와 접속부(253)에 지지된다. 또한, 다리 부재(255)는 레벨 조정기(2551)를 구비하고, 지주 구조(254)와 마찬가지로 높이 방향의 위치 조정이 가능하다.
나아가, 본 실시예의 가동 대좌(252)는, 폭 방향(Y방향)을 회전축으로 하여 회전 가능하게 접속부(253)에 지지되어 있다. 패스실(22)과 선회실(21)의 접속을 해제하여, 가동 대좌(252)를 회전시키면, 패스실(22)은 가동 대좌(252)와 함께 회전한다. 또한, 다리 부재(255)도 폭 방향을 회전축으로 하여 회전 가능하게 축 클램프 부재(256)에 지지되어 있다. 설치 상태의 중계 장치(2)는, 가동 대좌(252)와 다리 부재(255)를 각각 회전시킴으로써, 후술하는 수송 상태로 전환하는 것이 가능하다. 가동 대좌(252)나 다리 부재(255)를 회전 가능하게 하는 구성에 대해, 상세한 것은 후술한다.
도 4a는, 수송 상태의 중계 장치(2)의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도 4b는 그 모식적 정면도이다. 도 5는, 수송 상태의 중계 장치(2)를 나타내는 모식적 사시도이다. 수송 상태의 중계 장치(2)에 있어서, 지지 유닛(25)은, 대좌(251)의 고정면(251a)과 가동 대좌(252)의 고정면(252a)이 이루는 각도가 대략 직각이 되도록 굴곡한다. 나아가 다리 부재(255)는, 가동 대좌(252)의 고정면(252a)에 평행한 방향으로 연장되도록 가동 대좌(252)에 대해 접힌다. 본 실시예의 중계 장치(2)는, 가동 대좌(252)의 회전 중심이 되는 회전축부(252b)로부터 지주 구조(254)의 하방측의 단부까지의 거리(M1)는, 회전축부(252b)로부터 가동 대좌(252)의 접속부(253)로부터 먼 쪽의 단부까지의 거리(M2)보다 크게 되도록 구성된다. 이러한 구성으로 함으로써, 가동 대좌(252)가 대좌(251)에 대해 회전했을 때에, 가동 대좌(252)가 지면에 간섭하지 않고 지지 유닛(25)이 대략 직각으로 굴곡되어, 중계 장치(2)의 수송시의 사이즈를 작게 할 수 있다.
나아가, 다리 부재(255)가 지주 구조(254) 등과 간섭하는 것을 피하기 위해서, 다리 부재(255)는, 가동 대좌(252)와 접속한 축 클램프 부재(256)에 회전 가능하게 지지되고, 가동 대좌(252)에 대해 접기 가능하다. 즉, 수송 상태에서는, 가동 대좌(252)는 접속부(253)에 의해서만 지지된다. 한편, 패스실(22)을 포함하는 가동 대좌(252)의 중량이 과대하여 접속부(253)에 의한 지지만으로는 불충분한 경우, 가동 대좌(252)와 지주 구조(254)를 다른 부재로 접속하여, 수송시에는 더욱 강고하게 지지하는 것과 같은 구성도 변형예로서 생각할 수 있다.
상술한 바와 같이, 고정면(252a)의 고정면(251a)에 대한 각도가 변화하도록 지지 유닛(25)이 굴곡 가능하게 구성됨으로써, 설치 상태의 중계 장치(2)의 길이 방향의 전체 길이(L1)와 비교하여 수송 상태의 중계 장치(2)의 길이 방향의 전체 길이(L2)를 작게 할 수 있다. 장치의 최대 변이 되는 전체 길이가 작아지도록 변형함으로써, 수송 스페이스의 삭감이나 수송시의 사이즈 제한의 저촉 회피 등 수송시에 큰 이점이 얻어진다. 즉, 본 발명의 중계 장치(2)는, 복수의 챔버를 일체적으로 수송할 수 있기 때문에, 장치를 설치할 때의 위치 조정 등을 간이적으로 행할 수 있다. 나아가서는, 단순히 각 챔버나 가대가 접속된 경우와 비교하여, 장치의 사이즈를 작게 하여 수송할 수 있기 때문에, 공간 절약화에 기여하고, 수송시의 사이즈 제한의 저촉도 면할 수 있다.
게이트 밸브(26)는, 디스크(261)(밸브체)와 보디(262)(밸브 본체)를 구비하고, 디스크(261)의 이동에 의해 선회실(21)의 내부로부터 패스실(22)의 내부에 이르는 기판이 통과하기 위한 통로를 개폐한다. 게이트 밸브(26)의 선회실(21)과 접속하는 면과 반대측의 면에는, 패스실(22)과 접속하기 위한 어댑터 플레이트(27)가 설치된다. 어댑터 플레이트(27)와 패스실(22)은 나사 부품(도시하지 않음)으로 접속되고, 패스실(22)의 상면에 설치된 덮개를 제거함으로써 나사 부품에 의한 체결 작업이 가능하다. 또한, 어댑터 플레이트(27)는, 게이트 밸브(26)와의 접속면과 패스실(22)과의 접속면의 양면에 시일 링(28)이 설치되는 시일 홈(27a)을 구비한다. 시일 홈(27a)이 설치된 어댑터 플레이트(27)를 통해, 게이트 밸브(26)와 패스실(22)을 접속함으로써, 게이트 밸브(26)와 패스실(22)의 접속부로부터 공기가 누출되는 것을 막는다. 기판이 통과하는 길을 가로막도록 디스크(261)를 상승시켜 게이트 밸브(26)를 닫힘 상태로 하고, 각 챔버를 밀봉하고 나서 펌프로 진공배기함으로써, 각 챔버를 저진공 상태, 혹은 고진공 상태로 유지할 수 있다.
수송 상태의 중계 장치(2)는, 해상 수송시 등에 수분 등이 챔버 내로 들어가지 않도록, 각 챔버를 밀폐해도 된다. 이에, 수송 상태에서, 선회실(21)의 양단에 설치된 게이트 밸브(26)를 닫힘 상태로 함으로써, 선회실(21)은 밀폐 상태가 된다. 나아가, 패스실(22)은 양단에 블랭크재(41)를 장착하여 밀폐된다. 블랭크재(41)에는, 두께 5∼20mm 정도의 SUS제의 금속판 등이 사용된다. 밀폐 후에, 선회실(21)과 패스실(22)의 내부를 각각 감압함으로써, 내부를 진공 상태로 하여 수송한다.
<접속부(253)>
도 6∼도 9를 참조하여, 대좌(251)와 가동 대좌(252)를 접속하는 접속부(253)에 대해 설명한다. 이하, 선회실(21)에 대해 하류측에 설치된 패스실(22)과 접속하는 가동 대좌(252)(제2 대좌), 접속부(253)에 대해 도면을 사용하여 설명한다. 한편, 선회실(21)에 대해 상류측에 설치된 패스실(22)과 접속하는 가동 대좌(252)(제3 대좌)나 접속부(253)(제3 대좌용 접속부)는 하류측과 마찬가지의 구성이기 때문에 설명은 생략한다.
도 6a는 수송 상태의 접속부(253)의 구성을 나타내는 모식적 평면도이며, 도 6b는 그 모식적 정면도이다. 본 실시예의 접속부(253)는, 대좌(251)와 접속하는 대좌 접속 부재(2531), 패스실(22)의 하면에 접속된 핀 부품(38)과 계합하는 중간 부재(2532), 및 가동 대좌(252)의 회전축부(252b)가 삽통(揷通)되는 축 클램프 부재(2533)의 3종류의 부재로 구성된다. 대좌 접속 부재(2531)는, 대좌(251)와 나사(35)로 접속되고, 게이트 밸브(26)의 디스크(261)가 이동하는 공간의 옆을 통과하도록 길이 방향(X방향)으로 연장되는 부재이며, 중계 장치(2)의 폭 방향 양측에 각각 설치된다. 중간 부재(2532)는, 중계 장치(2)의 폭 방향(Y방향)으로 긴 부재이며, 폭 방향의 양단에서 대좌 접속 부재(2531)와 나사(33, 34)에 의해 접속된다. 즉, 대좌(251), 대좌 접속 부재(2531) 및 중간 부재(2532)로, 게이트 밸브(26)의 보디(262)와, 디스크(261)가 이동하는 공간을 둘러싸도록 접속부(253)는 설치되어 있다. 나아가, 중간 부재(2532)에는, 패스실(22)에 접속된 핀 부품(38)이 계합하는 핀 구멍(2532a)이 설치되어 있다. 한 쌍의 축 클램프 부재(2533)는, 중간 부재(2532)의 폭 방향의 양단과 나사(32)로 접속된다. 나아가, 축 클램프 부재(2533)는, 회전축 지지 구멍(2533a)에서 가동 대좌(252)의 회전축부(252b)와 계합하여 가동 대좌(252)를 지지한다.
도 7a는 설치 상태의 접속부(253)의 상세 구성을 나타내는 모식적 정면도이며, 도 7b는 도 7a의 나사 부품 등을 표시하지 않은 모식적 정면도이다. 축 클램프 부재(2533)는, 회전축 지지 구멍(2533a), 절결(2533b), 클램프 나사 구멍(2533c), 관통 구멍(2533d)(비나사 구멍), 및 관통 장공(長孔)(2533e)을 가진다. 회전축 지지 구멍(2533a)에는, 가동 대좌(252)의 회전축부(252b)가 삽통된다. 절결(2533b)은, 회전축 지지 구멍(2533a)으로부터 축 클램프 부재(2533)의 단부까지 연장된다. 클램프 나사 구멍(2533c)과 관통 구멍(2533d)은, 동일한 중심축으로 절결(2533b)의 면에 수직으로 연장되어 있고, 클램프 나사(31)가 삽통된다. 클램프 나사 구멍(2533c)에 클램프 나사(31)를 장착하여 체결함으로써, 축 클램프 부재(2533)가 탄성 변형하여 회전축 지지 구멍(2533a)에서 가동 대좌(252)의 회전축부(252b)를 조인다. 즉, 클램프 나사(31)를 느슨하게 함으로써 가동 대좌(252)는 대좌(251)에 대해 회전시키는 것이 가능하게 되고, 클램프 나사(31)를 조임으로써 가동 대좌(252)는 대좌(251)에 대한 소정의 회전 위치에서 고정 가능하다.
관통 장공(2533e)은, 중간 부재(2532)와 접속하기 위한 나사(32)가 삽통되는 구멍으로서, 각각의 축 클램프 부재(2533)에 2개씩 설치된다. 관통 장공(2533e)은, 가동 대좌(252)를 어댑터 플레이트(27)에 접속할 때에, 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 길이 방향 위치를 조정하기 위해서 길이 방향(X방향)으로 긴 장공 형상이다. 관통 장공(2533e)을 2개 설치함으로써, 가동 대좌(252)를 강고하게 지지하고, 나사(32)를 느슨하게 했을 때에 축 클램프 부재(2533)가 중간 부재(2532)에 대해 회전하는 것을 막아, 장치의 설치 작업의 작업성이 향상된다. 가동 대좌(252)의 위치를 조정하면서, 가동 대좌(252)를 어댑터 플레이트(27)에 접속하여, 중계 장치(2)를 설치 상태로 하는 작업의 상세에 대해서는 후술한다.
대좌 접속 부재(2531)와 중간 부재(2532)는, 측면측에 장착되는 나사(33)와, 하면측에 장착되는 나사(34)에 의해 접속된다. 대좌 접속 부재(2531)는, 종벽부(2531a)를 가지고, 종벽부(2531a)에 설치된 관통 구멍(253lb)에 나사(33)가 삽통된다. 대좌 접속 부재(2531)의 하면측에 장착되는 나사(34)는, 중간 부재(2532)의 하부에 설치된 나사 구멍에 삽통된다. 또한, 패스실(22)에 접속된 핀 부품(38)은, 중간 부재(2532)의 핀 구멍(2532a)과 계합한다.
도 8a는 접속부(253)의 상세 구성을 나타내는 모식적 하면도이며, 도 8b는 도 8a의 나사 부품 등을 표시하지 않은 모식적 하면도이다. 또한, 도 9는 접속부(253)의 상세 구성을 나타내는 상세도이다. 대좌 접속 부재(2531)는, 측면측의 종벽부(2531a)에 설치된 관통 구멍(253lb)에 삽통되는 나사(33)와 하면측에 설치된 관통 장공(2531c)에 삽통되는 나사(34)에 의해 중간 부재(2532)와 접속된다. 관통 장공(2531c)은, 가동 대좌(252)를 어댑터 플레이트(27)에 접속할 때에, 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 폭 방향 위치를 조정하기 위해서 폭 방향(Y방향)으로 긴 장공 형상이다. 즉, 축 클램프 부재(2533)의 관통 장공(2533e)과 대좌 접속 부재(2531)의 관통 장공(2531c)은, 서로 직교하는 방향으로 길다. 또한, 대좌 접속 부재(2531)의 종벽부(2531a)와, 종벽부(2531a)에 대향하는 중간 부재(2532)의 단부의 사이에는, 중간 부재(2532)가 패스실(22)과 함께 대좌 접속 부재(2531)에 대해 폭 방향으로 이동하기 위한 간극이 5∼20mm 정도 설치된다.
한편, 본 실시예의 접속부(253)는 3종류의 부재로 구성되는 것으로 했지만, 접속부(253)는 보다 많은 복수의 부재로 구성되어도 된다. 또한, 접속부(253)에는 게이트 밸브(26)의 디스크(261)가 이동하는 공간을 설치한 구성이었지만, 디스크(261)가 상방으로 이동하는 게이트 밸브(26)를 사용하여, 접속부(253)에는 디스크(261)가 이동하는 공간을 설치하지 않고 구성하는 변형예도 상정된다.
또한, 접속부에 설치되는 장공에 대해서도, 상술한 바와 같은 구성에 한정되는 것이 아니고, 예를 들면, 접속부(253)와 대좌(251)를 접속하기 위해서 나사가 삽통되는 구멍을 장공으로 해도 된다.
<다리 부재>
도 10a는 가동 대좌(252)에 대해 다리 부재(255)가 접힌 상태를 나타내는 모식도이며, 도 10b는 다리 부재(255)가 가동 대좌(252)를 지지하는 상태를 나타내는 모식도이다. 가동 대좌(252)에는, 중계 장치(2)가 설치 상태일 때에, 가동 대좌(252)를 지지하는 다리 부재(255)가 축 클램프 부재(256)를 통해 접속된다. 또한, 가동 대좌(252)가 대좌(251)에 대해 회전할 때에, 다리 부재(255)가 지면과 간섭하여 회전할 수 없는 사태를 막기 위해서, 다리 부재(255)도 가동 대좌(252)에 대해 회전 가능하게 축 클램프 부재(256)에 지지된다.
축 클램프 부재(256)는, 회전축 지지 구멍, 절결, 클램프 나사 구멍, 관통 구멍(비나사 구멍)을 가지고, 나사(36)로 가동 대좌(252)에 접속된다. 회전축 지지 구멍은, 다리 부재(255)의 회전축부(255a)와 계합한다. 절결은, 회전축 지지 구멍으로부터 축 클램프 부재(256)의 단부까지 연장된다. 클램프 나사 구멍과 관통 구멍은, 동일한 중심축에서 절결의 면에 수직으로 연장되어 있고, 클램프 나사가 삽통된다. 클램프 나사 구멍에 클램프 나사(37)를 장착하여 체결함으로써, 축 클램프 부재(256)가 탄성 변형하여 회전축 지지 구멍에서 다리 부재(255)의 회전축부(255a)를 조인다. 즉, 클램프 나사(37)를 느슨하게 함으로써 다리 부재(255)는 가동 대좌(252)에 대해 회전시키는 것이 가능하게 되고, 클램프 나사(37)를 조임으로써 다리 부재(255)는 가동 대좌(252)에 대해 위치가 고정된다. 상기와 같은 구성으로 함으로써, 수송 상태에서는 다리 부재(255)가 가동 대좌(252)에 대해 접힌 상태로 고정되어, 다리 부재(255)가 지주 구조(254)와 간섭하는 일도 없다.
한편, 본 실시예의 중계 장치(2)는, 수송 상태에서도 다리 부재(255)가 가동 대좌(252)에 접속되는 구성으로 했지만, 다리 부재(255)를 분리하여 수송하는 것을 전제로 한 회전 기능을 갖지 않는 구성으로 해도 된다. 또한, 중계 장치(2)가 굴곡되었을 때에 다리 부재(255)가 지주 구조(254)와 간섭하지 않기 위해서, 다리 부재(255)의 길이를 신축 가능한 구조로 해도 된다. 나아가, 다리 부재의 개수를 늘려 보다 강고하게 지지하는 구성 등도 변형예로서 당연히 상정할 수 있다.
<중계 장치(2)의 설치 작업>
수송 상태로 공장 등에 반입된 중계 장치(2)를 설치 상태로 조립하는 방법에 대해 설명한다. 먼저, 중계 장치(2)를 클러스터 장치(1)와 같은 패스 라인의 높이로 하여 접속하기 위해서, 지주 구조(254)에 설치된 레벨 조정기(2541)로 높이 방향의 위치 조정이 행해진다. 계속해서, 가동 대좌(252)의 고정면(252a)이 대좌(251)의 고정면(251a)과 대략 평행이 되도록, 축 클램프 부재(2533)의 체결을 느슨하게 하여 가동 대좌(252)를 회전시킨다. 이 때, 아울러 축 클램프 부재(256)의 체결도 느슨하게 하여, 가동 대좌(252)와 패스실(22)을 지지할 수 있도록 다리 부재(255)를 회전시킨다. 그리고, 가동 대좌(252)의 자세를 고정시켜 하방으로부터 패스실(22)을 지지할 수 있도록 다리 부재(255)의 레벨 조정기(2551)를 사용하여 조정한다. 이렇게 하여, 패스실(22)은 가동 대좌(252)를 통해 접속부(253)와 다리 부재(255)에 지지된다.
다음으로, 패스실(22)과 선회실(21)을 접속하기 위해서, 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 위치의 미세 조정을 행한다. 패스실(22)은, 어댑터 플레이트(27)에 나사 부품으로 접속되기 때문에, 나사 체결용의 구멍 위치가 서로의 부품에서 맞도록 각종 방향에서의 위치 조정이 필요하게 된다. 패스실(22)은, 가동 대좌(252)의 저부로부터 삽통되는 나사 부품에 의해 가동 대좌(252)에 고정되어 있고, 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 높이 방향의 위치는, 패스실(22)과 가동 대좌(252)의 사이에 심(shim) 테이프를 끼움으로써 미세 조정이 가능하다. 나아가, 길이 방향(X방향)으로 긴 관통 장공(2533e)과 폭 방향(Y방향)으로 긴 관통 장공(2531c)에 의해, 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 수평 방향 위치의 미세 조정이 가능하다. 이상의 구성에 의해, 복수의 챔버를 구비하는 장치를 일체적으로 작은 스페이스에서 수송하는 것이 가능하고, 또한 수송 후에는 패스실(22)의 선회실(21)에 대한 위치를 미세 조정하여 간이하게 접속하여 장치를 조립하는 것이 가능하다.
한편, 본 발명의 구성은 상술한 구성에 한정된 것이 아니고, 다양한 변경이 가능하다. 예를 들면, 중계 장치(2)에 패스실(22) 대신에 버퍼실(23)이 설치되어 있는 구성이나, 선회실(21) 대신에 클러스터 장치(1)의 반송실(13)의 양단에 접속부(253)를 사용하여 패스실(22)을 설치하는 구성 등을 생각할 수 있다.
그 밖의 변형예로서, 핀 부품(38) 대신에 나사 등을 사용하여, 패스실(22)과 접속부(253)를 접속하는 구성도 생각할 수 있다. 도 11은, 나사(39)를 사용한 변형예의 설치 상태의 접속부(253)의 상세 구성을 나타내는 모식적 정면도이다. 본 변형예에서는, 나사(39)가 대좌 접속 부재(2531)와 중간 부재(2532)에 설치된 관통 구멍을 삽통하여, 패스실(22)의 하면에 설치된 나사 구멍에 삽통함으로써, 패스실(22)과 접속부(253)가 접속된다. 이러한 구성으로 함으로써, 패스실(22)과 접속부(253)가 서로 가까워지는 방향으로 체결력이 작용하기 때문에, 단순히 핀을 구멍에 계합시키는 경우와 비교하여 보다 강고하게 접속할 수 있다. 또한, 수송 상태에서는, 나사(39)는 패스실(22)의 하면에 장착한 상태로 하여, 대좌 접속 부재(2531)와 중간 부재(2532)를 볼트와 너트 등의 다른 부재로 접속함으로써, 나사 구멍이나 관통 구멍으로의 이물질의 혼입을 막을 수 있다. 한편, 패스실(22)과 중간 부재(2532)의 접속, 및 중간 부재(2532)와 대좌 접속 부재(2531)의 접속에 사용하는 나사와 구멍을 각각 개별적으로 설치하여 접속하는 구성으로 하는 것도 당연히 상정된다.
<전자 디바이스의 제조 방법>
다음으로, 본 실시예에 관한 진공 장치를 사용한 전자 디바이스의 제조 방법의 일 예를 설명한다. 이하, 전자 디바이스의 예로서 유기 EL 표시 장치의 구성을 나타내고, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법을 예시한다.
먼저, 제조하는 유기 EL 표시 장치에 대해 설명한다. 도 12a는 유기 EL 표시 장치(50)의 전체도, 도 12b는 1 화소의 단면 구조를 나타내고 있다.
도 12a에 나타낸 바와 같이, 유기 EL 표시 장치(50)의 표시 영역(501)에는, 발광 소자를 복수 구비하는 화소(502)가 매트릭스 형상으로 복수 배치되어 있다. 상세한 것은 후에 설명하지만, 발광 소자의 각각은, 한 쌍의 전극에 끼워진 유기층을 구비한 구조를 가지고 있다. 한편, 여기서 말하는 화소란, 표시 영역(501)에서 원하는 색의 표시를 가능하게 하는 최소 단위를 가리키고 있다. 본 실시예에 관한 유기 EL 표시 장치의 경우, 서로 다른 발광을 나타내는 제1 발광 소자(502R), 제2 발광 소자(502G), 제3 발광 소자(502B)의 조합에 의해 화소(502)가 구성되어 있다. 화소(502)는, 적색 발광 소자와 녹색 발광 소자와 청색 발광 소자의 조합으로 구성되는 경우가 많지만, 황색 발광 소자와 시안 발광 소자와 백색 발광 소자의 조합이어도 되고, 적어도 1색 이상이라면 특별히 제한되는 것은 아니다.
도 12b는, 도 12a의 S-S선에 있어서의 부분 단면 모식도이다. 화소(502)는, 복수의 발광 소자로 이루어지고, 각 발광 소자는, 기판(503) 위에, 제1 전극(양극)(504)과, 정공 수송층(505)과, 발광층(506R, 506G, 506B) 중 어느 하나와, 전자 수송층(507)과, 제2 전극(음극)(508)을 가지고 있다. 이것들 중, 정공 수송층(505), 발광층(506R, 506G, 506B), 전자 수송층(507)이 유기층에 해당한다. 또한, 본 실시예에서는, 발광층(506R)은 적색을 발하는 유기 EL층, 발광층(506G)은 녹색을 발하는 유기 EL층, 발광층(506B)은 청색을 발하는 유기 EL층이다. 발광층(506R, 506G, 506B)은, 각각 적색, 녹색, 청색을 발하는 발광 소자(유기 EL 소자라고 기술하는 경우도 있다)에 대응하는 패턴으로 형성되어 있다.
또한, 제1 전극(504)은, 발광 소자마다 분리하여 형성되어 있다. 정공 수송층(505)과 전자 수송층(507)과 제2 전극(508)은, 복수의 발광 소자(502R, 502G, 502B)에서 공통으로 형성되어 있어도 되고, 발광 소자마다 형성되어 있어도 된다. 한편, 제1 전극(504)과 제2 전극(508)이 이물질에 의해 쇼트되는 것을 막기 위해서, 제1 전극(504) 사이에 절연층(509)이 설치되어 있다. 나아가, 유기 EL층은 수분이나 산소에 의해 열화하기 때문에, 수분이나 산소로부터 유기 EL 소자를 보호하기 위한 보호층(510)이 설치되어 있다.
도 12b에서는 정공 수송층(505)이나 전자 수송층(507)은 하나의 층으로 나타내고 있지만, 유기 EL 표시 소자의 구조에 따라서는, 정공 블록층이나 전자 블록층을 구비하는 복수의 층으로 형성되어도 된다. 또한, 제1 전극(504)과 정공 수송층(505)의 사이에는 제1 전극(504)으로부터 정공 수송층(505)으로의 정공의 주입이 원활하게 행해지도록 할 수 있는 에너지 밴드 구조를 가지는 정공 주입층을 형성할 수도 있다. 마찬가지로, 제2 전극(508)과 전자 수송층(507)의 사이에도 전자 주입층을 형성할 수도 있다.
다음으로, 유기 EL 표시 장치의 제조 방법의 예에 대해 구체적으로 설명한다.
먼저, 유기 EL 표시 장치를 구동하기 위한 회로(도시하지 않음) 및 제1 전극(504)이 형성된 기판(마더 글래스)(503)을 준비한다.
제1 전극(504)이 형성된 기판(503) 위에 아크릴 수지를 스핀 코팅으로 형성하고, 아크릴 수지를 리소그래피법에 의해, 제1 전극(504)이 형성된 부분에 개구가 형성되도록 패터닝하여 절연층(509)을 형성한다. 이 개구부가, 발광 소자가 실제로 발광하는 발광 영역에 상당한다.
절연층(509)이 패터닝된 기판(503)을 점착 부재가 배치된 기판 캐리어에 재치한다. 점착 부재에 의해, 기판(503)은 보유지지된다. 제1 유기 재료 성막 장치에 반입하고, 반전 후, 정공 수송층(505)을, 표시 영역의 제1 전극(504) 위에 공통되는 층으로서 성막한다. 정공 수송층(505)은 진공 증착에 의해 성막된다. 실제로는 정공 수송층(505)은 표시 영역(501)보다 큰 사이즈로 형성되기 때문에, 매우 세밀한(고정세) 마스크는 불필요하다.
다음으로, 정공 수송층(505)까지가 형성된 기판(503)을 제2 유기 재료 성막 장치에 반입한다. 기판과 마스크의 얼라인먼트를 행하고, 기판을 마스크 위에 재치하고, 기판(503)의 적색을 발하는 소자를 배치하는 부분에, 적색을 발하는 발광층(506R)을 성막한다.
발광층(506R)의 성막과 마찬가지로, 제3 유기 재료 성막 장치에 의해 녹색을 발하는 발광층(506G)을 성막하고, 제4 유기 재료 성막 장치에 의해 청색을 발하는 발광층(506B)을 더 성막한다. 발광층(506R, 506G, 506B)의 성막이 완료된 후, 제5 성막 장치에 의해 표시 영역(501)의 전체에 전자 수송층(507)을 성막한다. 전자 수송층(507)은, 3색의 발광층(506R, 506G, 506B)에 공통의 층으로서 형성된다.
전자 수송층(507)까지 형성된 기판을 금속성 증착 재료 성막 장치로 이동시켜 제2 전극(508)을 성막한다.
그 후 플라스마 CVD 장치로 이동하여 보호층(510)을 성막하여, 기판(503)에의 성막 공정을 완료한다. 반전 후, 상술한 실시 형태 혹은 실시예에서 설명한 바와 같이 점착 부재를 기판(503)으로부터 박리함으로써, 기판 캐리어로부터 기판(503)을 분리한다. 그 후, 재단을 거쳐 유기 EL 표시 장치(50)가 완성된다.
절연층(509)이 패터닝된 기판(503)을 성막 장치에 반입하고 나서 보호층(510)의 성막이 완료될 때까지는, 수분이나 산소를 포함하는 분위기에 노출되게 되면, 유기 EL 재료로 이루어지는 발광층이 수분이나 산소에 의해 열화하게 될 우려가 있다. 따라서, 본 실시예에 있어서, 성막 장치간의 기판의 반입 반출은, 진공 분위기 또는 불활성 가스 분위기하에서 행해진다.
21; 선회실(제1 챔버)
22; 패스실(제2 챔버)
25; 지지 유닛
251; 대좌(제1 대좌)
251a; 고정면(제1 고정면)
252; 가동 대좌(제2 대좌)
252a; 고정면(제2 고정면)
253; 접속부

Claims (15)

  1. 제1 챔버와,
    상기 제1 챔버에 연결되는 제2 챔버와,
    상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버를 지지하는 지지 유닛,
    을 구비하는 진공 장치로서,
    상기 지지 유닛은, 상기 제1 챔버의 저면이 고정되는 제1 고정면을 가지는 제1 대좌와, 상기 제2 챔버의 저면이 고정되는 제2 고정면을 가지는 제2 대좌와, 상기 제1 대좌와 상기 제2 대좌를 접속하는 접속부를 구비하고,
    상기 지지 유닛은, 상기 접속부에 의해 상기 제1 고정면을 따르는 면과 상기 제2 고정면을 따르는 면이 이루는 각의 각도가 변화하도록 굴곡되는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 사이에 설치되고, 제1 챔버의 내부로부터 제2 챔버의 내부에 이르는 기판이 통과하기 위한 통로를 개폐하는 게이트 밸브를 더 가지는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지 유닛의 상기 접속부에는, 상기 게이트 밸브의 밸브체가 이동하기 위한 공간이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 접속부는, 나사 부품의 체결에 의해 서로 접속되는 복수의 부재로 구성되고,
    상기 제1 대좌는, 나사 부품의 체결에 의해 상기 접속부와 접속되고,
    상기 복수의 부재를 서로 접속하기 위한 상기 나사 부품의 축부가 삽통(揷通)되는 관통 구멍과, 상기 접속부와 상기 제1 대좌를 접속하기 위한 상기 나사 부품의 축부가 삽통되는 관통 구멍 중 적어도 하나는, 상기 제1 챔버와 상기 제2 챔버의 사이에서 기판이 이동하는 이동 방향으로 긴 장공인 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 복수의 부재를 서로 접속하기 위한 상기 나사 부품의 축부가 삽통되는 관통 구멍과, 상기 접속부와 상기 제1 대좌를 접속하기 위한 상기 나사 부품의 축부가 삽통되는 관통 구멍 중 적어도 하나는, 상기 이동 방향과 직교하는 방향으로 긴 장공인 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 지지 유닛은, 상기 제1 대좌와 접속하고, 상기 제1 대좌를 하방에서부터 지지하는 지주를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 대좌는, 상기 제1 고정면에 평행한 방향으로 연장되는 회전 축부를 구비하여, 상기 접속부에 회전 가능하게 지지되고,
    상기 접속부는, 미리 정해진 회전 위치에서 상기 회전 축부를 조여, 상기 제1 대좌에 대한 상기 제2 대좌의 위치를 고정 가능한 축 클램프 부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 지지 유닛은, 상기 제2 고정면의 상기 제1 고정면에 대한 각도가 실질적으로 직각이 되도록 굴곡 가능하고,
    상기 회전 축부로부터 상기 지주의 하방측의 단부까지의 상기 제1 고정면과 직교하는 방향의 거리는, 상기 회전 축부로부터 상기 제2 대좌의 상기 접속부로부터 먼 쪽의 단부까지의 거리보다 큰 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 지지 유닛은, 상기 제2 대좌를 하방에서부터 지지하는 다리 부재와, 상기 제2 대좌와 상기 다리 부재를 접속하는 다리 접속 부재를 더 구비하고,
    상기 다리 부재는, 회전 가능하게 상기 다리 접속 부재에 지지되는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 제1 고정면과 상기 제2 고정면이 평행일 때에, 상기 다리 부재는 상기 제2 고정면을 따르는 면에 수직이 되고,
    상기 제1 고정면과 상기 제2 고정면이 평행이 아닐 때에, 상기 다리 부재는 상기 제2 고정면을 따르는 방향에 위치하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제1 챔버는, 기판을 반송하는 로봇 핸드를 구비하는 선회실인 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 제2 챔버는, 상기 제1 챔버에 대해 상기 기판의 반송 방향의 하류측에 위치하고, 상기 기판이 재치되는 스테이지를 구비하는 패스실이고,
    상기 스테이지는, 상기 기판의 재치면에 평행한 제1 방향으로의 이동, 상기 제1 방향과 직교하는 상기 기판의 재치면에 평행한 제2 방향으로의 이동, 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직교하는 제3 방향을 회전축으로 한 회전 중 적어도 하나의 구동이 가능한 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 제1 챔버에 대해 상기 기판의 반송 방향의 상류측에 연결되는 제3 챔버를 더 구비하고,
    상기 지지 유닛은, 상기 제3 챔버가 고정되는 제3 고정면을 갖는 제3 대좌와, 상기 제1 대좌와 상기 제3 대좌를 접속하는 제3 대좌용 접속부를 구비하고,
    상기 지지 유닛은, 상기 제3 대좌용 접속부에 의해 상기 제1 고정면을 따르는 면과 상기 제3 고정면을 따르는 면이 이루는 각의 각도가 변화하도록 굴곡하는 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 제3 챔버는, 상기 기판이 재치되는 고정 스테이지를 구비하는 패스실인 것을 특징으로 하는 진공 장치.
  15. 기판에 성막을 행하는 성막실을 구비한 복수의 클러스터 장치와,
    서로 이웃하는 상기 클러스터 장치의 사이에 각각 설치되어, 상기 기판의 반송 방향의 상류측에서부터 하류측의 상기 클러스터 장치로 상기 기판을 반송하는 중계 장치,
    를 가지는 전자 디바이스의 제조 장치로서,
    상기 중계 장치는, 제1항 내지 제14항 중 어느 한 항에 기재된 진공 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자 디바이스의 제조 장치.
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