KR20230016097A

KR20230016097A - Mask assembly, apparatus and method for manufacturing a display device

Info

Publication number: KR20230016097A
Application number: KR1020210096703A
Authority: KR
Inventors: 김용환; 이상민
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2021-07-22
Filing date: 2021-07-22
Publication date: 2023-02-01
Also published as: CN115679252A; CN218115571U

Abstract

A mask assembly, and an apparatus and a method for manufacturing a display device are disclosed. The present invention comprises a mask frame including an opening, a first support stick disposed in the opening in parallel to one side of the mask frame, and a second support stick disposed in the opening so as to intersect the first support stick while passing through the inside of the first support stick. The mask assembly of the present invention enables deposition with a precise pattern.

Description

Mask assembly, apparatus for manufacturing a display device, and method for manufacturing a display device

본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to an apparatus and method, and more particularly, to a mask assembly, an apparatus for manufacturing a display device, and a method for manufacturing a display apparatus.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. As a mobile electronic device, a tablet PC has recently been widely used in addition to a small electronic device such as a mobile phone.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다.Such a mobile electronic device includes a display device to provide visual information such as an image or video to a user in order to support various functions. Recently, as other components for driving the display device have been miniaturized, the proportion of the display device in electronic devices has gradually increased, and a structure that can be bent to have a predetermined angle in a flat state has been developed.

표시 장치의 제조 시 일정한 패턴을 갖는 층을 형성하기 위하여 마스크 조립체를 사용한다. 이때, 마스크 조립체는 고온의 환경에 노출되거나 반복 사용으로 인하여 자체 하중으로 인하여 마스크 조립체의 구성 중 적어도 하나가 쳐지는 문제가 발생할 수 있다. 이러한 경우 마스크 조립체를 통하요 표시 장치를 제조할 때 증착물질이 통과하는 영역이 가변하거나 마스크 시트를 지지하지 못함으로써 기판 상에 배치되는 층의 배열이 기 설계된 것과 상이해 질 수 있다. 본 발명의 실시예들은 정밀한 패턴으로 증착이 가능한 마스크 조립체, 표시 장치의 제조장치 및 표시장치의 제조방법을 제공한다. When manufacturing a display device, a mask assembly is used to form a layer having a certain pattern. At this time, the mask assembly may cause a problem that at least one of the components of the mask assembly sags due to its own load due to exposure to a high temperature environment or repeated use. In this case, when the display device is manufactured through the mask assembly, the area through which the deposition material passes is variable or the mask sheet is not supported, so that the arrangement of the layers disposed on the substrate may be different from the previously designed one. Embodiments of the present invention provide a mask assembly capable of depositing in a precise pattern, a display device manufacturing device, and a display device manufacturing method.

본 발명의 일 실시예는 개구부를 포함하는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱과, 상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱을 포함하는 마스크 조립체를 개시한다.One embodiment of the present invention is a mask frame including an opening, a first support stick disposed in the opening parallel to one side of the mask frame, and disposed in the opening to intersect the first support stick, Disclosed is a mask assembly including a second support stick disposed to pass through an inside of a first support stick.

본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱은, 제1지지스틱바디와, 상기 제1지지스틱바디에 연결되며, 개구영역을 포함하고, 상기 제2지지스틱을 지지하는 지지부와, 상기 제1지지스틱바디와 연결되며 상기 지지부와 이격되도록 배치된 브릿지부를 포함할 수 있다. In this embodiment, the first support stick includes a first support stick body, a support portion connected to the first support stick body, including an opening area, and supporting the second support stick; It is connected to the support stick body and may include a bridge part disposed to be spaced apart from the support part.

본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부에는 관통홀이 형성될 수 있다. In this embodiment, a through hole may be formed in the bridge part.

본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께와 상이할 수 있다. In this embodiment, a thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion may be different from a thickness of another portion of the second support stick.

본 실시예에 있어서, 상기 브릿지부와 중첩되는 상기 제2지지스틱 일부분의 두께는 상기 제2지지스틱의 다른 부분의 두께보다 작을 수 있다. In this embodiment, a thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion may be smaller than a thickness of another portion of the second support stick.

본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 중첩되는 상기 제2지지스틱 부분에 관통홀이 배치될 수 있다. In this embodiment, a through hole may be disposed in a portion of the second support stick overlapping the first support stick.

본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱이 서로 중첩되는 부위는 용접으로 고정될 수 있다. In this embodiment, the portion where the first support stick and the second support stick overlap each other may be fixed by welding.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 프레임 상에 배치되는 마스크 시트를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a mask sheet disposed on the mask frame may be further included.

본 실시예에 있어서, 상기 제1지지스틱과 상기 제2지지스틱은 각각 복수개 구비되며, 상기 복수개의 제1지지스틱은 제1방향으로 서로 이격되도록 배치되며, 상기 복수개의 제2지지스틱은 제2방향으로 서로 이격되도록 배치되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 일부에 삽입되고, 상기 각 제2지지스틱은 상기 복수개의 제1지지스틱 중 다른 일부 상에 배치될 수 있다. In this embodiment, the first support stick and the second support stick are provided in plurality, respectively, the plurality of first support sticks are arranged to be spaced apart from each other in a first direction, and the plurality of second support sticks are It is arranged to be spaced apart from each other in two directions, each second support stick is inserted into a part of the plurality of first support sticks, and each second support stick is disposed on another part of the plurality of first support sticks. can

본 발명의 다른 실시예는, 기판과 마주보도록 배치되는 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체를 마주보도록 배치되는 소스부를 포함하고, 상기 마스크 조리체는, 개구부를 포함하는 마스크 프레임과, 상기 마스크 프레임의 일변에 평행하도록 상기 개구부에 배치되는 제1지지스틱과, 상기 제1지지스틱과 교차하도록 상기 개구부에 배치되며, 상기 제1지지스틱의 내부를 관통하도록 배치되는 제2지지스틱을 포함하는 표시 자치의 제조장치를 개시한다. Another embodiment of the present invention includes a mask assembly disposed to face a substrate and a source unit disposed to face the mask assembly, wherein the mask cooking body includes a mask frame including an opening, and one side of the mask frame. A display device including a first support stick disposed in the opening parallel to and a second support stick disposed in the opening to cross the first support stick and penetrating the inside of the first support stick. Initiate manufacturing equipment.

본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체를 기판과 대향하도록 배치하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 상기 기판을 정렬하는 단계와, 상기 마스크 조립체와 마주보도록 배치된 소스부로 증착물질을 공급하여 상기 기판 상에 상기 증착물질을 증착시키는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조방법을 개시한다. Another embodiment of the present invention includes arranging a mask assembly to face a substrate, aligning the mask assembly and the substrate, and supplying a deposition material to a source unit disposed to face the mask assembly to face the substrate. Disclosed is a method of manufacturing a display device including depositing the deposition material on the surface.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체를 세정하는 단계를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the step of cleaning the mask assembly may be further included.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be practiced using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, or computer programs.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체는 장시간 사용하더라도 지지스틱이 쳐지는 것을 방지할 수 있다. The mask assembly according to the embodiments of the present invention can prevent the support stick from sagging even when used for a long time.

본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 정밀한 패턴을 기판 상에 형성하는 것이 가능하다. The display device manufacturing apparatus and display device manufacturing method according to embodiments of the present invention can form a precise pattern on a substrate.

본 발명의 실시예들에 관한 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 균일한 품질의 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다. The display device manufacturing apparatus and display device manufacturing method according to the embodiments of the present invention can manufacture a display device of uniform quality.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 2c는 도 2b의 I부분을 확대하여 보여주는 사시도이다.
도 2d는 도 2c의 Ⅱ-Ⅱ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 3b는 도 3a의 Ⅲ-Ⅲ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다.
도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 6b는 도 6a의 Ⅵ-Ⅵ´선을 따라 취한 단면도이다.
도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 9는 도 8의 A-A´선을 따라 취한 단면도이다. 1 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
Figure 2a is a perspective view showing a mask assembly according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick shown in FIG. 2A.
Figure 2c is a perspective view showing an enlarged portion I of Figure 2b.
Fig. 2d is a cross-sectional view taken along the line II-II' of Fig. 2c.
3A is a perspective view showing parts of a first support stick and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line III-III′ of FIG. 3A.
4A is a perspective view showing parts of a first support stick and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
FIG. 4B is a cross-sectional view taken along the line IV-IV′ of FIG. 4A.
5 is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
6A is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the line VI-VI′ of FIG. 6A.
7 is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.
8 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view taken along line AA′ of FIG. 8 .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and methods for achieving them will become clear with reference to the embodiments described later in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, the terms first, second, etc. are used for the purpose of distinguishing one component from another component without limiting meaning.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, expressions in the singular number include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have mean that features or components described in the specification exist, and do not preclude the possibility that one or more other features or components may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a film, region, component, etc. is said to be on or on another part, not only when it is directly above the other part, but also when another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including if there is

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to the three axes of the Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including these. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.When an embodiment is otherwise implementable, a specific process sequence may be performed differently from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order reverse to the order described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.1 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 1을 참고하면, 표시 장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 제1지지부(120), 제2지지부(130), 마스크 조립체(150), 소스부(140), 자기력부(160), 비젼부(170) 및 압력조절부(180)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 1 , an apparatus for manufacturing a display device 100 includes a chamber 110, a first support part 120, a second support part 130, a mask assembly 150, a source part 140, and a magnetic force part 160. ), a vision unit 170 and a pressure control unit 180 may be included.

챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개구될 수 있다. 이때, 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110-1)가 설치될 수 있다. 이러한 경우 게이트밸브(110-1)의 작동에 따라서 챔버(110)의 개구된 부분은 개방되거나 폐쇄될 수 있다. A space may be formed inside the chamber 110 and a portion thereof may be opened. At this time, a gate valve 110-1 may be installed in the open portion of the chamber 110. In this case, the opened portion of the chamber 110 may be opened or closed according to the operation of the gate valve 110-1.

제1지지부(120)는 디스플레이 기판(D)을 안착하여 지지할 수 있다. 이때, 제1지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정된 플레이트 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(120)는 디스플레이 기판(D)이 안착되며, 챔버(110) 내부에서 선형 운동 가능한 셔틀 형태인 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 제1지지부(120)는 챔버(110)에 고정되거나 챔버(110) 내부에서 승하강 가능하도록 챔버(110)에 배치되는 정전척이나 점착척을 포함하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(120)는 챔버(110) 내부에 고정되는 플레이트 형태인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The first support part 120 may seat and support the display substrate D. In this case, the first support part 120 may be in the form of a plate fixed inside the chamber 110 . As another embodiment, the first support 120 may have a shuttle shape in which the display substrate D is seated and linearly movable inside the chamber 110 . As another embodiment, the first support part 120 may be fixed to the chamber 110 or may include an electrostatic chuck or an adhesive chuck disposed in the chamber 110 so as to move up and down inside the chamber 110 . Hereinafter, for convenience of description, a case in which the first support 120 is fixed to the inside of the chamber 110 in the form of a plate will be described in detail.

제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착될 수 있다. 이때, 제2지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정 가능할 수 있다. 이때, 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)를 서로 상이한 방향으로 이동 가능하도록 별도의 구동부 내지는 얼라인유닛 등을 구비할 수 있다. The mask assembly 150 may be seated on the second support part 130 . In this case, the second support part 130 may be disposed inside the chamber 110 . The second support part 130 may finely adjust the position of the mask assembly 150 . In this case, the second support unit 130 may include a separate driving unit or an align unit to move the mask assembly 150 in different directions.

다른 실시예로서 제2지지부(130)는 셔틀 형태인 것도 가능하다. 이러한 경우 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)가 안착되며, 마스크 조립체(150)를 이송 가능할 수 있다. 예를 들면, 제2지지부(130)는 챔버(110) 외부로 이동하여 마스크 조립체(150)가 안착된 후 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 진입할 수 있다. As another embodiment, the second support part 130 may also have a shuttle shape. In this case, the mask assembly 150 is seated on the second support part 130 and the mask assembly 150 may be transported. For example, the second support part 130 may move to the outside of the chamber 110 and enter the inside of the chamber 110 from the outside of the chamber 110 after the mask assembly 150 is seated thereon.

상기와 같은 경우 제1지지부(120)와 제2지지부(130)가 일체로 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 이동 가능한 셔틀을 포함할 수 있다. 이때, 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150) 상에 디스플레이 기판(D)이 안착된 상태로 마스크 조립체(150)와 디스플레이 기판(D)을 고정시키는 구조를 포함하며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)를 동시에 선형 운동시키는 것도 가능하다. In the above case, it is also possible that the first support part 120 and the second support part 130 are integrally formed. In this case, the first support part 120 and the second support part 130 may include a movable shuttle. At this time, the first support part 120 and the second support part 130 include a structure for fixing the mask assembly 150 and the display substrate D in a state where the display substrate D is seated on the mask assembly 150. In addition, it is also possible to linearly move the display substrate D and the mask assembly 150 at the same time.

다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 서로 구분되도록 형성되어 서로 상이한 위치에 배치되는 형태, 제1지지부(120)와 제2지지부(130)는 챔버(110) 내부에 배치되는 형태를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. However, in the following, for convenience of description, the first support 120 and the second support 130 are formed to be distinguished from each other and disposed in different positions, the first support 120 and the second support 130 are The shape disposed inside the chamber 110 will be described in detail.

소스부(140)는 마스크 조립체(150)와 대향하도록 배치될 수 있다. 이때, 소스부(140)에는 증착 물질이 수납될 수 있으며, 증착 물질에 열을 가함으로써 증착 물질을 증발시키거나 승화시킬 수 있다. 소스부(140)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되거나 일 방향을 따라 선형 운동 가능하도록 챔버(110) 내부에 배치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 소스부(140)가 챔버(110) 내부에 고정되도록 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The source unit 140 may be disposed to face the mask assembly 150 . At this time, a deposition material may be stored in the source unit 140, and the deposition material may be evaporated or sublimated by applying heat to the deposition material. The source unit 140 may be disposed to be fixed inside the chamber 110 or disposed inside the chamber 110 to be linearly movable along one direction. However, hereinafter, for convenience of description, a case in which the source unit 140 is disposed to be fixed inside the chamber 110 will be described in detail.

마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지스틱(153,154)를 포함할 수 있다. The mask assembly 150 may include a mask frame 151 , a mask sheet 152 , and support sticks 153 and 154 .

자기력부(160)는 디스플레이 기판(D)과 대향하도록 챔버(110) 내부에 배치될 수 있다. 이때, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)에 자기력을 가하여 디스플레이 기판(D) 측으로 마스크 조립체(150)를 가력할 수 있다. 특히 자기력부(160)는 마스크 시트(152)의 쳐짐을 방지할 뿐만 아니라 마스크 시트(152)를 디스플레이 기판(D)에 인접시킬 수 있다. 또한, 자기력부(160)는 마스크 시트(152)와 디스플레이 기판(D) 사이의 간격을 마스크 시트(152)의 길이 방향에 대해서 균일하게 유지시킬 수 있다. The magnetic force unit 160 may be disposed inside the chamber 110 to face the display substrate D. At this time, the magnetic force unit 160 may apply magnetic force to the mask sheet 152 to press the mask assembly 150 toward the display substrate D. In particular, the magnetic force unit 160 can prevent the mask sheet 152 from sagging and also bring the mask sheet 152 adjacent to the display substrate D. In addition, the magnetic force unit 160 may maintain a uniform distance between the mask sheet 152 and the display substrate D in the longitudinal direction of the mask sheet 152 .

비젼부(170)는 챔버(110)에 설치되며, 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D) 및 마스크 조립체(150)를 촬영하는 카메라를 포함할 수 있다. 비젼부(170)에서 촬영된 이미지를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있으며, 상기 이미지를 근거로 제1지지부(120)에서 디스플레이 기판(D)의 위치를 미세 조정하거나 제2지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다. 다만, 이하에서는 제2지지부(130)에서 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정하여 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 정렬하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The vision unit 170 is installed in the chamber 110 and can capture the positions of the display substrate D and the mask assembly 150 . At this time, the vision unit 170 may include a camera that photographs the display substrate D and the mask assembly 150 . The position of the display substrate D and the mask assembly 150 can be grasped based on the image taken by the vision unit 170, and the position of the display substrate D in the first support unit 120 can be determined based on the image. Fine adjustment or the position of the mask assembly 150 on the second support 130 may be finely adjusted. However, hereinafter, a case of aligning the position of the display substrate D and the mask assembly 150 by finely adjusting the position of the mask assembly 150 on the second support part 130 will be described in detail.

압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되어 챔버(110) 내부의 압력을 조절할 수 있다. 예를 들면, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 대기압과 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. 또한, 압력조절부(180)는 챔버(110) 내부의 압력을 진공 상태와 동일 또는 유사하게 조절할 수 있다. The pressure controller 180 may be connected to the chamber 110 to adjust the pressure inside the chamber 110 . For example, the pressure controller 180 may adjust the pressure inside the chamber 110 to be equal to or similar to atmospheric pressure. In addition, the pressure controller 180 may adjust the pressure inside the chamber 110 to be the same as or similar to a vacuum state.

압력조절부(180)는 챔버(110)와 연결되는 연결배관(181)과 연결배관(181)에 설치되는 펌프(182)를 포함할 수 있다. 이때, 펌프(182)의 작동에 따라서 연결배관(181)을 통하여 외기가 유입되거나 챔버(110) 내부의 기체를 연결배관(181)을 통하여 외부로 안내할 수 있다. The pressure regulator 180 may include a connection pipe 181 connected to the chamber 110 and a pump 182 installed in the connection pipe 181 . At this time, according to the operation of the pump 182, outside air may be introduced through the connection pipe 181 or gas inside the chamber 110 may be guided to the outside through the connection pipe 181.

한편, 상기와 같은 표시 장치의 제조장치(100)는 후술할 표시 장치(미도시)를 제조하는데 사용될 수 있다. 구체적으로 압력조절부(180)가 챔버(110) 내부를 대기압과 동일 또는 유사한 상태로 만들면, 게이트밸브(110-1)가 작동하여 챔버(110)의 개구된 부분을 개방할 수 있다. Meanwhile, the display device manufacturing apparatus 100 as described above may be used to manufacture a display device (not shown) to be described later. Specifically, when the pressure regulator 180 makes the inside of the chamber 110 equal to or similar to atmospheric pressure, the gate valve 110-1 may operate to open the open portion of the chamber 110.

이후 외부에서 디스플레이 기판(D)을 챔버(110) 외부에서 내부로 장입할 수 있다. 이때, 디스플레이 기판(D)은 다양한 방식으로 챔버(110)로 장입될 수 있다. 예를 들면, 디스플레이 기판(D)은 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입될 수 있다. 다른 실시예로써 제1지지부(120)가 셔틀 형태로 형성되는 경우 제1지지부(120)가 챔버(110) 내부에서 챔버(110) 외부로 반출된 후 챔버(110) 외부에 배치된 별도의 로봇암 등을 통하여 디스플레이 기판(D)을 제1지지부(120)에 안착시키고 제1지지부(120)가 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 챔버(110) 외부에 배치된 로봇암을 통하여 디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. Thereafter, the display substrate D may be loaded from the outside to the inside of the chamber 110 . At this time, the display substrate D may be loaded into the chamber 110 in various ways. For example, the display substrate D may be loaded into the chamber 110 from the outside of the chamber 110 through a robot arm or the like disposed outside the chamber 110 . As another embodiment, when the first support 120 is formed in a shuttle shape, a separate robot disposed outside the chamber 110 after the first support 120 is transported from the inside of the chamber 110 to the outside of the chamber 110. It is also possible to seat the display substrate D on the first support part 120 through an arm or the like, and insert the first support part 120 into the chamber 110 from the outside of the chamber 110 . Hereinafter, for convenience of description, a case in which the display substrate D is loaded into the chamber 110 from the outside of the chamber 110 through a robot arm disposed outside the chamber 110 will be described in detail.

마스크 조립체(150)는 상기와 같이 챔버(110) 내부에 배치된 상태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 디스플레이 기판(D)과 동일 또는 유사하게 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)는 챔버(110) 내부에 배치된 상태에서 디스플레이 기판(D)만 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The mask assembly 150 may be disposed inside the chamber 110 as described above. As another embodiment, the mask assembly 150 may be loaded into the chamber 110 from the outside of the chamber 110 in the same or similar manner as the display substrate D. However, in the following, for convenience of description, the mask assembly 150 is placed in the chamber 110 in a state in which only the display substrate D is loaded from the outside of the chamber 110 into the chamber 110 in detail. Let's explain.

상기와 같은 경우 다른 실시예로서 상기에서 설명한 것과 같이 제1지지부(120)와 제2지지부(130)가 셔틀 형태로써 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)를 고정시킨 후 챔버(110) 외부에서 챔버(110) 내부로 장입하는 것도 가능하다. In the above case, as another embodiment, as described above, the first support part 120 and the second support part 130 fix the display substrate D and the mask assembly 150 in the form of a shuttle, and then the outside of the chamber 110 It is also possible to charge into the chamber 110 from.

디스플레이 기판(D)이 챔버(110) 내부로 장입되면, 디스플레이 기판(D)은 제1지지부(120)에 안착할 수 있다. 이때, 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 특히 비젼부(170)는 디스플레이 기판(D)의 제1얼라인마크 및 마스크 조립체(150)의 제2얼라인마크를 촬영할 수 있다. When the display substrate D is loaded into the chamber 110 , the display substrate D may be seated on the first support 120 . At this time, the vision unit 170 may capture the positions of the display substrate D and the mask assembly 150 . In particular, the vision unit 170 may capture the first alignment mark of the display substrate D and the second alignment mark of the mask assembly 150 .

상기와 같이 촬영된 제1얼라인마크와 제2얼라인마크를 근거로 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다. 이때, 표시 장치의 제조장치(100)는 별도의 제어부(미도시)가 구비되어 디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치를 파악할 수 있다. The positions of the display substrate D and the mask assembly 150 can be grasped based on the first alignment mark and the second alignment mark captured as described above. At this time, the manufacturing apparatus 100 of the display device is provided with a separate control unit (not shown) to detect the positions of the display substrate D and the mask assembly 150 .

디스플레이 기판(D)과 마스크 조립체(150)의 위치 파악이 완료되면, 제2지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 미세 조정할 수 있다. When the positioning of the display substrate D and the mask assembly 150 is completed, the second support part 130 may finely adjust the position of the mask assembly 150 .

이후 소스부(140)가 작동하여 증착 물질을 마스크 조립체(150) 측으로 공급하고, 마스크 시트(152)의 복수 개의 개구부를 통과한 증착 물질은 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 펌프(182)는 챔버(110) 내부의 기체를 흡입하여 외부로 배출시킴으로써 챔버(110) 내부의 압력을 진공과 동일 또는 유사한 형태로 유지시킬 수 있다. Thereafter, the source unit 140 operates to supply the deposition material to the mask assembly 150, and the deposition material passing through the plurality of openings of the mask sheet 152 may be deposited on the display substrate D. At this time, the pump 182 may maintain the pressure inside the chamber 110 in the same or similar form as vacuum by sucking in gas inside the chamber 110 and discharging it to the outside.

상기와 같은 경우 증착 물질은 상기에서 설명한 증착 영역(미도시) 상에 배치된 개구부를 통과하여 디스플레이 기판(D)에 증착될 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 상기에서 설명한 바와 같이 설계된 증착 영역과 동일 또는 유사한 상기 증착 영역을 제공할 수 있다. In this case, the deposition material may be deposited on the display substrate D by passing through the opening disposed on the above-described deposition region (not shown). In this case, the mask assembly 150 may provide the same or similar deposition area as the deposition area designed as described above.

상기와 같은 작업은 복수개의 디스플레이 기판(D)에서 반복하여 수행될 수 있다. 이때, 복수개의 디스플레이 기판(D)에 대한 증착 횟수가 기 설정된 횟수와 동일해지는 경우 표시장치의 제조장치(100)의 작동은 중지되고, 마스크 조립체(150)를 챔버(110) 외부로 인출할 수 있다. The above operation may be repeatedly performed on a plurality of display substrates D. At this time, when the number of depositions on the plurality of display substrates D becomes equal to the preset number, the operation of the manufacturing apparatus 100 for the display device is stopped, and the mask assembly 150 can be taken out of the chamber 110. there is.

마스크 조립체(150)에는 증착 시 사용되는 증착물질이 증착된 상태일 수 있으므로 마스크 조립체(150)에 세정액을 분사형 마스크 조립체(150)를 세정할 수 있다. 특히 이러한 경우 마스크 시트(152)의 개구부에 증착물질이 증착되는 경우 디스플레이 기판(D) 상에 기 설계된 영역만큼 증착물질이 증착되지 못함으로써 정밀한 증착이 어려울 수 있다. 그러나 상기와 같이 마스크 조립체(150) 외면 및/또는 마스크 시트(152)의 개구부의 내면에 흡착된 증착물질을 세정함으로써 상기와 같은 문제를 해결할 수 있다. Since deposition materials used during deposition may be deposited on the mask assembly 150 , a cleaning liquid may be applied to the mask assembly 150 to clean the spray type mask assembly 150 . In particular, in this case, when the deposition material is deposited in the opening of the mask sheet 152, the deposition material is not deposited as much as the pre-designed area on the display substrate D, so precise deposition may be difficult. However, the above problem can be solved by cleaning the deposition material adsorbed on the outer surface of the mask assembly 150 and/or the inner surface of the opening of the mask sheet 152 as described above.

따라서 표시 장치의 제조장치(100)는 디스플레이 기판(D)에 설계된 형태와 동일 또는 유사한 영역에 증착 물질을 증착시키는 것이 가능하다. 또한, 표시 장치의 제조장치(100)는 정밀한 패턴으로 증착물질을 증착하는 것이 가능하므로 정밀한 이미지 구현이 가능한 표시 장치를 제조하는 것이 가능하다.Accordingly, the manufacturing apparatus 100 of the display device may deposit the deposition material on the area identical to or similar to the designed shape of the display substrate D. In addition, since the apparatus 100 for manufacturing a display device is capable of depositing a deposition material in a precise pattern, it is possible to manufacture a display device capable of implementing precise images.

도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2b는 도 2a에 도시된 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다. 도 2c는 도 2b의 I부분을 확대하여 보여주는 사시도이다. 도 2d는 도 2c의 Ⅱ-Ⅱ´선을 따라 취한 단면도이다. Figure 2a is a perspective view showing a mask assembly according to an embodiment of the present invention. FIG. 2B is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick shown in FIG. 2A. Figure 2c is a perspective view showing an enlarged portion I of Figure 2b. Fig. 2d is a cross-sectional view taken along the line II-II' of Fig. 2c.

도 2a 내지 도 2d를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 지지스틱(153,154)를 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 2A to 2D , the mask assembly 150 may include a mask frame 151 , a mask sheet 152 , and support sticks 153 and 154 .

마스크 조립체(150)는 내부에 공간이 형성되도록 복수 개의 프레임이 서로 연결될 수 있다. 일 실시예로써 마스크 조립체(150)는 중앙에 하나의 개구부가 형성된 액자 형태일 수 있다. 다른 실시예로써 마스크 조립체(150)는 복수 개의 개구부를 포함하는 창틀과 같은 격자 형태로 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 조립체(150)가 중앙에 하나의 개구부가 형성된 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In the mask assembly 150, a plurality of frames may be connected to each other to form a space therein. As an embodiment, the mask assembly 150 may have a frame shape with one opening formed in the center. As another embodiment, the mask assembly 150 may be formed in a lattice shape such as a window frame including a plurality of openings. Hereinafter, for convenience of description, a case in which one opening is formed in the center of the mask assembly 150 will be described in detail.

마스크 시트(152)는 적어도 1개 이상 구비될 수 있으며, 마스크 시트(152)가 적어도 2개 이상 구비되는 경우 적어도 2개 이상의 마스크 시트(152)는 서로 이격되도록 마스크 프레임(151)에 배치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 제1방향(예를 들면, 도 1의 Y축 방향 또는 도 1의 X방향 중 하나)으로 배열될 수 있다. At least one mask sheet 152 may be provided, and when at least two mask sheets 152 are provided, at least two or more mask sheets 152 may be disposed on the mask frame 151 to be spaced apart from each other. there is. In this case, the mask sheet 152 may be arranged in a first direction (eg, one of the Y-axis direction of FIG. 1 or the X-direction of FIG. 1 ).

마스크 시트(152)는 적어도 하나 이상의 개구부(152a)를 포함할 수 있다. 특히 마스크 시트(152)에는 길이 방향으로 복수 개의 개구부(152a)가 형성될 수 있다. 이때, 복수 개의 개구부(152a)는 서로 일정 간격 이격되도록 배치될 수 있으며, 마스크 시트(152)의 전면에 형성될 수 있다. The mask sheet 152 may include at least one opening 152a. In particular, a plurality of openings 152a may be formed in the longitudinal direction of the mask sheet 152 . In this case, the plurality of openings 152a may be arranged to be spaced apart from each other by a predetermined distance and may be formed on the entire surface of the mask sheet 152 .

지지스틱(153,154)은 마스크 프레임(151)과 마스크 시트(152) 사이에 배치될 수 있다. 지지스틱(153,154)은 디스플레이 기판(D)에 증착되는 증착물질이 통과하는 증착 영역(미도시)를 정의할 수 있다. 이때, 지지스틱(153,154)은 복수 개 구비될 수 있으며, 마스크 프레임(151)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 복수 개의 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 서로 이격되도록 배열될 수 있다. 또한, 각 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)와 일정 각도를 형성할 수 있다. 이러한 경우 각 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향과 수직한 방향(예를 들면, 도 1의 X방향 또는 도 1의 Y방향)으로 배열될 수 있다. 다른 실시예로써 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되는 것도 가능하다. 또 다른 실시예로써 지지스틱(153,154)은 복수개 구비되며, 복수개의 지지스틱(153,154) 중 일부는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되고, 복수개의 지지스틱(153,154) 중 다른 일부는 마스크 시트(152)의 길이 방향과 일정 각도를 형성하도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 지지스틱(153,154) 중 적어도 2개는 서로 교차하도록 배열될 수 있다. 이때, 복수개의 지지스틱(153,154)은 마스크 시트(152)의 길이 방향과 일정 각도를 형성하도록 배치되며, 복수개의 마스크 시트(152)를 가로지르도록 배치되는 제2지지스틱(153)과, 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 배치되며, 인접하는 마스크 시트(152) 사이에 배치되는 제1지지스틱(154)을 포함할 수 있다. The support sticks 153 and 154 may be disposed between the mask frame 151 and the mask sheet 152 . The support sticks 153 and 154 may define a deposition area (not shown) through which a deposition material deposited on the display substrate D passes. In this case, a plurality of support sticks 153 and 154 may be provided, and may be arranged to be spaced apart from each other in the mask frame 151 . For example, the plurality of support sticks 153 and 154 may be arranged to be spaced apart from each other in the longitudinal direction of the mask sheet 152 . In addition, each of the support sticks 153 and 154 may form a certain angle with the mask sheet 152 . In this case, each of the support sticks 153 and 154 may be arranged in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the mask sheet 152 (eg, the X direction of FIG. 1 or the Y direction of FIG. 1 ). As another embodiment, the support sticks 153 and 154 may be disposed in the longitudinal direction of the mask sheet 152 . As another embodiment, a plurality of support sticks 153 and 154 are provided, some of the plurality of support sticks 153 and 154 are disposed in the longitudinal direction of the mask sheet 152, and some of the plurality of support sticks 153 and 154 are a mask sheet. It may be arranged to form a certain angle with the longitudinal direction of (152). In this case, at least two of the plurality of support sticks 153 and 154 may be arranged to cross each other. At this time, the plurality of support sticks 153 and 154 are disposed to form a predetermined angle with the longitudinal direction of the mask sheet 152, and the second support stick 153 disposed to cross the plurality of mask sheets 152, and the mask It is disposed in the longitudinal direction of the sheet 152 and may include a first support stick 154 disposed between adjacent mask sheets 152 .

상기와 같은 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 각각 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제1지지스틱(154)은 제1방향(예를 들면, 도 2a의 X축 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있고, 복수개의 제2지지스틱(153)은 제2방향(예를 들면, 도 2a의 Y축 방향)으로 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 상기와 같은 경우 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 마스크 프레임(151)의 개구영역(154c)을 복수개로 구분할 수 있다. 이러한 경우 복수개로 구분된 마스크 프레임(151)의 개구영역은 디스플레이 기판(D)의 표시 영역(DA)에 증착되는 증착물질이 통과하는 하나의 통과영역(S)을 형성할 수 있다. Each of the first support stick 154 and the second support stick 153 as described above may be provided in plurality. At this time, the plurality of first support sticks 154 may be arranged to be spaced apart from each other in a first direction (eg, the X-axis direction of FIG. 2A), and the plurality of second support sticks 153 may be arranged in a second direction ( For example, it may be arranged to be spaced apart from each other in the Y-axis direction of FIG. 2A). In the above case, the first support stick 154 and the second support stick 153 may divide the opening area 154c of the mask frame 151 into a plurality. In this case, the plurality of opening areas of the mask frame 151 may form one pass area S through which the deposition material deposited on the display area DA of the display substrate D passes.

상기와 같은 경우 제2지지스틱(153)은 제1지지스틱(154)을 통과하도록 배치될 수 있다. 이때, 제1지지스틱(154)에는 제2지지스틱(153)이 삽입되도록 홀이 형성될 수 있다. 구체적으로 제1지지스틱(154)은 일정한 두께를 갖는 제1지지스틱바디(154e)와, 제2지지스틱(153)이 삽입될 때 제2지지스틱(153)을 지지하는 지지부(154a), 제1지지스틱바디(154e)와 연결되는 브릿지부(154b)를 포함할 수 있다. 이때, 지지부(154a)는 서로 이격되도록 2개가 구비될 수 있으며, 2개의 지지부(154a) 사이에는 개구영역(154c)이 형성될 수 있다. 또한, 브릿지부(154b)는 개구영역(154c)과 평면 상에서 볼 때 중첩되도록 배치될 수 있다. 이러한 경우 평면 상에서 볼 때 2개의 지지부(154a) 사이에는 브릿지부(154b)가 배치될 수 있다. In the above case, the second support stick 153 may pass through the first support stick 154 . At this time, a hole may be formed in the first support stick 154 to insert the second support stick 153 therein. Specifically, the first support stick 154 includes a first support stick body 154e having a certain thickness, a support portion 154a supporting the second support stick 153 when the second support stick 153 is inserted, A bridge part 154b connected to the first support stick body 154e may be included. In this case, two support parts 154a may be provided to be spaced apart from each other, and an opening area 154c may be formed between the two support parts 154a. In addition, the bridge portion 154b may be disposed to overlap the opening area 154c when viewed from a plane. In this case, a bridge part 154b may be disposed between the two support parts 154a when viewed from a plan view.

제2지지스틱(153)의 두께는 제2지지스틱(153)의 길이 방향에 따라 가변할 수 있다. 예를 들면, 제2지지스틱(153)의 일 부분(153a)의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께와 상이할 수 있다. 구체적으로 브릿지부(154b)와 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분(153a)의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께보다 작을 수 있다. 특히 브릿지부(154b)와 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분의 두께는 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께의 1/2일수 있다. 이러한 경우 브릿지부(154b)와 중첩되도록 배치된 제2지지스틱(153) 부분(153a)은 홈이 형성된 상태일 수 있다. 이때, 상기와 같은 두께는 도 2a의 Z축 방향으로 측정될 수 있다. The thickness of the second support stick 153 may vary along the length direction of the second support stick 153 . For example, the thickness of one portion 153a of the second support stick 153 may be different from the thickness of other portions of the second support stick 153 . Specifically, the thickness of the portion 153a of the second support stick 153 overlapping the bridge portion 154b may be smaller than the thickness of other portions of the second support stick 153. In particular, the thickness of the portion of the second support stick 153 overlapping the bridge portion 154b may be 1/2 of the thickness of other portions of the second support stick 153. In this case, the portion 153a of the second support stick 153 disposed to overlap with the bridge portion 154b may be in a grooved state. In this case, the thickness as described above may be measured in the Z-axis direction of FIG. 2A.

상기와 같은 제2지지스틱(153)은 복수개의 제2지지스틱(153)을 모두 관통하도록 배치될 수 있다. The second support stick 153 as described above may be disposed to pass through all of the plurality of second support sticks 153 .

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)의 제조방법을 살펴보면, 마스크 프레임(151)에 지지스틱(153,154)을 배치한 후 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다. 이때, 지지스틱(153,154)은 인장된 상태에서 마스크 프레임(151)에 고정될 수 있으며, 마스크 시트(152)와 간섭을 방지하도록 마스크 프레임(151)에 형성된 홈에 끝단이 삽입될 수 있다. Meanwhile, looking at the manufacturing method of the mask assembly 150 as described above, the support sticks 153 and 154 may be disposed on the mask frame 151 and then fixed to the mask frame 151 . At this time, the support sticks 153 and 154 may be fixed to the mask frame 151 in a tensioned state, and ends may be inserted into grooves formed in the mask frame 151 to prevent interference with the mask sheet 152.

상기와 같은 경우 지지스틱(153,154)을 마스크 프레임(151)에 인장된 상태로 고정되므로 마스크 프레임(151)이 휘어지거나 변형될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 부착하는 경우 마스크 시트(152)와 마스크 프레임(151) 사이가 들뜨거나 마스크 시트(152)가 휘어진 상태가 될 수 있다. In the above case, since the support sticks 153 and 154 are fixed to the mask frame 151 in a tensioned state, the mask frame 151 may be bent or deformed. In this case, when the mask sheet 152 is attached to the mask frame 151, a gap between the mask sheet 152 and the mask frame 151 may be lifted or the mask sheet 152 may be bent.

상기와 같은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 제2지지스틱(153)이 제1지지스틱(154)에 삽입된 상태로 마스크 프레임(151)에 배치될 수 있다. 이때, 브릿지부(154b)의 상면과 제2지지스틱(153)의 상면은 동일한 평면을 형성함으로써 마스크 시트(152)가 배치되는 경우 마스크 시트(152)의 표면이 굴곡지지 않도록 할 수 있다. The first support stick 154 and the second support stick 153 as described above may be disposed on the mask frame 151 in a state in which the second support stick 153 is inserted into the first support stick 154 . At this time, the top surface of the bridge portion 154b and the top surface of the second support stick 153 form the same plane, so that when the mask sheet 152 is disposed, the surface of the mask sheet 152 may not be curved.

상기와 같이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)을 배치한 후 마스크 시트(152)를 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 인장시켜 마스크 프레임(151)에 용접으로 고정시킬 수 있다. After disposing the first support stick 154 and the second support stick 153 as described above, the mask sheet 152 may be tensioned in the longitudinal direction of the mask sheet 152 and fixed to the mask frame 151 by welding. there is.

한편, 상기와 같은 마스크 조립체(150)를 사용하는 경우 제2지지스틱(153)은 마스크 시트(152)의 하중 및/또는 제2지지스틱(153) 자체하중으로 인하여 중력 방향으로 쳐질 수 있다. 이때, 제1지지스틱(154)은 제2지지스틱(153)을 지지함으로써 마스크 시트(152)의 쳐짐 및/또는 제2지지스틱(153)의 쳐짐을 저감시킬 수 있다. On the other hand, when using the mask assembly 150 as described above, the second support stick 153 may be struck in the direction of gravity due to the load of the mask sheet 152 and/or the load of the second support stick 153 itself. At this time, the first support stick 154 supports the second support stick 153 to reduce sagging of the mask sheet 152 and/or the second support stick 153 .

따라서 마스크 조립체(150)는 제조 후 마스크 조립체(150)의 변형을 최소화함으로써 기 설계된 증착 영역에 동일하거나 유사한 증착 영역을 구현하는 것이 가능하다.Accordingly, by minimizing deformation of the mask assembly 150 after fabrication, it is possible to implement a deposition area identical to or similar to a pre-designed deposition area.

도 3a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 3b는 도 3a의 Ⅲ-Ⅲ´선을 따라 취한 단면도이다.3A is a perspective view showing parts of a first support stick and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. FIG. 3B is a cross-sectional view taken along line III-III′ of FIG. 3A.

도 3a 및 도 3b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. Referring to FIGS. 3A and 3B , the mask assembly 150 may include a mask frame (not shown), a mask sheet (not shown), a first support stick 154 and a second support stick 153 . In this case, the mask frame, the mask sheet, and the second support stick 153 may be the same as or similar to those described with reference to FIGS. 2A to 2D.

제1지지스틱(154)은 제2지지스틱(153)이 삽입되는 부분에 배치되는 지지부(154a)와 브릿지부(154b)를 포함할 수 있다. 이때, 브릿지부(154b)는 제1관통홀(154d)을 구비할 수 있다. 이러한 제1관통홀(154d)은 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우 세정액이 통과하도록 브릿지부(154b)를 관통하여 형성될 수 있다. The first support stick 154 may include a support part 154a and a bridge part 154b disposed at a portion where the second support stick 153 is inserted. In this case, the bridge portion 154b may have a first through hole 154d. The first through hole 154d may be formed to pass through the bridge portion 154b so that the cleaning solution passes when the mask assembly is cleaned.

상기와 같은 경우 세정액을 상기 마스크 조립체에 분사하는 경우 세정액은 제1관통홀(154d)을 통과하여 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 분사됨으로써 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하는 증착물질을 제거할 수 있다. 뿐만 아니라 세정이 완료된 후 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 잔존하는 세정액이 지지부(154a) 사이의 공간, 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 사이 및/또는 제1관통홀(154d)로 배출될 수 있다. In the above case, when the cleaning liquid is sprayed onto the mask assembly, the cleaning liquid passes through the first through hole 154d and is sprayed to the portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap, thereby causing the first support stick 154 to overlap. The deposition material remaining in the portion where the stick 154 and the second support stick 153 overlap may be removed. In addition, after cleaning is completed, the cleaning liquid remaining in the portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap each other is applied to the space between the support parts 154a, the first support stick 154 and the second support stick 154. It may be discharged between the sticks 153 and/or through the first through hole 154d.

따라서 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우에도 세정액이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하지 않음으로써 세정액의 잔존으로 인한 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 중 적어도 하나의 변형을 최소화할 수 있다. 상기와 같은 제1관통홀(154d)은 도면에 도시되어 있지는 않지만 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 복수개의 제1관통홀(154d)은 브릿지부(154b)에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. Therefore, even when the mask assembly is cleaned, the cleaning liquid does not remain at the portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap. Deformation of at least one of the support sticks 153 may be minimized. The first through hole 154d as described above may be provided in plurality, although not shown in the drawings. In this case, the plurality of first through holes 154d may be arranged to be spaced apart from each other in the bridge portion 154b.

도 4a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 제1지지스틱과 제2지지스틱의 일부를 보여주는 사시도이다. 도 4b는 도 4a의 Ⅳ-Ⅳ´선을 따라 취한 단면도이다. 4A is a perspective view showing parts of a first support stick and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. FIG. 4B is a cross-sectional view taken along line IV-IV′ of FIG. 4A.

도 4a 및 도 4b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트 및 제1지지스틱(154)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. Referring to FIGS. 4A and 4B , the mask assembly 150 may include a mask frame (not shown), a mask sheet (not shown), a first support stick 154 and a second support stick 153 . In this case, the mask frame, the mask sheet, and the first support stick 154 may be the same as or similar to those described with reference to FIGS. 2A to 2D.

제2지지스틱(153)은 제2관통홀(153b)을 구비할 수 있다. 이때, 제2관통홀(153b)은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 배치될 수 있다. 특히 제2관통홀(153b)은 브릿지부(154b)에 중첩되는 제2지지스틱(153) 부분에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제2관통홀(153b)은 제2지지스틱(153)의 두께가 제2지지스틱(153)의 다른 부분의 두께보다 작은 제2지지스틱(153) 부분에 배치될 수 있다. The second support stick 153 may have a second through hole 153b. In this case, the second through hole 153b may be disposed at a portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap each other. In particular, the second through hole 153b may be disposed at a portion of the second support stick 153 overlapping the bridge portion 154b. In this case, the second through hole 153b may be disposed in a portion of the second support stick 153 where the thickness of the second support stick 153 is smaller than the thickness of other portions of the second support stick 153 .

상기 마스크 조립체를 세정하는 경우 세정액은 제2관통홀(153b)을 통과할 수 있다. 상기와 같은 경우 세정액을 상기 마스크 조립체에 분사하는 경우 세정액은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 서로 중첩되는 부분에 잔존하는 세정액이 지지부(154a) 사이의 공간, 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 사이 및/또는 제2관통홀(153b)로 배출될 수 있다. When cleaning the mask assembly, the cleaning liquid may pass through the second through hole 153b. In the above case, when the cleaning liquid is sprayed onto the mask assembly, the cleaning liquid remaining in the portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap each other is applied to the space between the support parts 154a, the first support stick 154a, and the first support stick 154a. It may be discharged between the support stick 154 and the second support stick 153 and/or through the second through hole 153b.

따라서 상기 마스크 조립체를 세정하는 경우에도 세정액이 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)이 중첩되는 부분에 잔존하지 않음으로써 세정액의 잔존으로 인한 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153) 중 적어도 하나의 변형을 최소화할 수 있다.Therefore, even when the mask assembly is cleaned, the cleaning liquid does not remain at the portion where the first support stick 154 and the second support stick 153 overlap. Deformation of at least one of the support sticks 153 may be minimized.

도면에 도시되어 있지 않지만 제2관통홀(153b)은 복수개 구비될 수 있다. 이때, 복수개의 제2관통홀(153b)은 두께가 다른 부분과 상이한 제2지지스틱(153) 부분에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. 또한, 도면에 도시되어 있지는 않지만 제1지지스틱(154)은 도 3a 및 도 3b에 도시된 것과 같이 제1관통홀(154d)을 구비하는 것도 가능하다. Although not shown in the drawings, a plurality of second through holes 153b may be provided. In this case, the plurality of second through holes 153b may be spaced apart from each other in a portion of the second support stick 153 having a different thickness from other portions. In addition, although not shown in the drawing, the first support stick 154 may also have a first through hole 154d as shown in FIGS. 3A and 3B.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.5 is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.

도 5를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. Referring to FIG. 5 , the mask assembly 150 may include a mask frame (not shown), a mask sheet (not shown), a first support stick 154 and a second support stick 153 . In this case, the mask frame, the mask sheet, the first support stick 154 and the second support stick 153 may be the same as or similar to those described with reference to FIGS. 2A to 2D.

상기와 같은 경우 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 각각 복수개 구비될 수 있다. 이러한 경우 각 제2지지스틱(153)은 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)만을 관통하여 배치되고 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)의 상면에 배치될 수 있다. In the above case, a plurality of first support sticks 154 and second support sticks 153 may be provided. In this case, each second support stick 153 is disposed through only a part 154-2 of the plurality of first support sticks 154 and passes through the other part 154-1 of the plurality of first support sticks 154. Can be placed on top.

상기와 같은 경우 복수개의 제1지지스틱(154)의 중 다른 일부(154-1)의 상면은 제2지지스틱(153)이 관통하는 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)의 상면보다 낮게 배치될 수 있다. In the above case, the upper surface of the other part 154-1 of the plurality of first support sticks 154 is part (154-2) of the plurality of first support sticks 154 through which the second support stick 153 passes. ) can be placed lower than the upper surface of the

즉, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)는 제2지지스틱(153)이 관통하는 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)보다 마스크 프레임(151)에 더 깊게 삽입될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)가 배치되는 평면은 제2지지스틱(153)의 상면과 평행할 수 있다. That is, the other part 154-1 of the plurality of first support sticks 154 is a mask frame ( 151) can be inserted more deeply. In this case, the plane on which the mask sheet 152 is disposed may be parallel to the upper surface of the second support stick 153 .

도 6a는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다. 도 6b는 도 6a의 Ⅵ-Ⅵ´선을 따라 취한 단면도이다.6A is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line VI-VI′ of FIG. 6A.

도 6a 및 도 6b를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. Referring to FIGS. 6A and 6B , the mask assembly 150 may include a mask frame (not shown), a mask sheet (not shown), a first support stick 154 and a second support stick 153 . In this case, the mask frame, the mask sheet, the first support stick 154 and the second support stick 153 may be the same as or similar to those described with reference to FIGS. 2A to 2D.

상기와 같은 제1지지스틱(154)과 제2지지스틱(153)은 서로 교차하는 지점에서 용접을 통하여 고정될 수 있다. 이러한 경우 제1지지스틱(154)의 브릿지부(154b)는 제2지지스틱(153)의 두께가 제2지지스틱(153)의 다른 부분과 상이한 제2지지스틱(153)의 일부분과 용접으로 인하여 서로 연결될 수 있다. 이때, 용접으로 인해 발생한 용접점(SP)는 브릿지부(154b)와 제2지지스틱(153)의 오목한 부분(153a)에 일체로 형성되어 브릿지부(154b)와 제2지지스틱(153)의 오목한 부분(153a)를 연결할 수 있다. The first support stick 154 and the second support stick 153 as described above may be fixed through welding at a point where they intersect each other. In this case, the bridge portion 154b of the first support stick 154 is welded to a part of the second support stick 153 whose thickness is different from that of other parts of the second support stick 153. can be connected to each other. At this time, the welding point (SP) generated by welding is integrally formed in the concave portion 153a of the bridge portion 154b and the second support stick 153, so that the bridge portion 154b and the second support stick 153 are formed integrally. The concave portion 153a may be connected.

도 7은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 마스크 조립체의 마스크 프레임, 제1지지스틱 및 제2지지스틱을 보여주는 사시도이다.7 is a perspective view showing a mask frame, a first support stick, and a second support stick of a mask assembly according to another embodiment of the present invention.

도 7을 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(미도시), 마스크 시트(미도시), 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)을 포함할 수 있다. 이때, 상기 마스크 프레임, 상기 마스크 시트, 제1지지스틱(154) 및 제2지지스틱(153)은 상기 도 2a 내지 도 2d에서 설명한 것과 동일 또는 유사할 수 있다. Referring to FIG. 7 , the mask assembly 150 may include a mask frame (not shown), a mask sheet (not shown), a first support stick 154 and a second support stick 153 . In this case, the mask frame, the mask sheet, the first support stick 154 and the second support stick 153 may be the same as or similar to those described with reference to FIGS. 2A to 2D.

상기와 같은 경우 복수개의 제1지지스틱(154) 중 일부(154-2)는 각 제2지지스틱(153)과 용접으로 연결되며, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 일부(154-1)는 각 제2지지스틱(153)과 용접으로 연결될 수 있다. 이러한 경우 각 제1지지스틱(154)에 배치되는 용접점(SP)는 지그재그 형태로 배열될 수 있다. 예를 들면, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 하나(154-2)에 배치되는 용접점(SP)는 도 7의 상측에 배치될 수 있으며, 복수개의 제1지지스틱(154) 중 다른 하나(154-2)에 배치되는 용접점(SP)는 도 7의 하측에 배치될 수 있다. 이러한 경우 하나의 제1지지스틱(154)은 하나의 제2지지스틱(153)과 용접점(SP)으로 연결될 수 있다. 즉, 서로 다른 제1지지스틱(154)은 서로 다른 제2지지스틱(153)과 용접을 통하여 연결될 수 있다. In the above case, some of the plurality of first support sticks 154 (154-2) are connected to each of the second support sticks 153 by welding, and some of the plurality of first support sticks 154 (154-2) 1) may be connected to each of the second support sticks 153 by welding. In this case, the welding points SP disposed on each of the first support sticks 154 may be arranged in a zigzag shape. For example, the welding point SP disposed on one 154-2 of the plurality of first support sticks 154 may be disposed on the upper side of FIG. 7, and the other of the plurality of first support sticks 154 The welding point SP disposed on one 154-2 may be disposed on the lower side of FIG. 7 . In this case, one first support stick 154 may be connected to one second support stick 153 through a welding point SP. That is, the different first support sticks 154 may be connected to the different second support sticks 153 through welding.

도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 9는 도 8의 A-A´선을 따라 취한 단면도이다.8 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 9 is a cross-sectional view taken along the line A-A' of FIG. 8 .

도8 및 도 9를 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역(NDA)이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 유기 발광 소자(28)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 8 and 9 , the display device 20 may define a display area DA on a substrate 21 and a non-display area NDA outside the display area DA. An organic light emitting device 28 may be disposed in the display area DA, and a power supply wire (not shown) may be disposed in the non-display area. Also, a pad part C may be disposed in the non-display area.

상기와 같은 표시 영역(DA)에는 상기에서 설명한 증착 영역(미표시)을 통과한 복수 개의 증착물질 패턴이 배치될 수 있다. 이때, 표시 영역(DA)은 비정형 형태일 수 있다. In the display area DA as described above, a plurality of deposition material patterns passing through the above-described deposition area (not displayed) may be disposed. In this case, the display area DA may have an irregular shape.

표시 장치(20)는 디스플레이 기판(D), 디스플레이 기판(D) 상에 배치된 중간층(28-2)과, 중간층(28-2) 상에 배치된 대향 전극(28-3)을 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 대향 전극(28-3)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E)을 포함할 수 있다. The display device 20 may include a display substrate D, an intermediate layer 28-2 disposed on the display substrate D, and a counter electrode 28-3 disposed on the intermediate layer 28-2. there is. In addition, the display device 20 may include a thin film encapsulation layer E formed on the counter electrode 28 - 3 .

디스플레이 기판(D)은 기판(21), 박막 트랜지스터(TFT), 패시베이션막(27) 및 화소 전극(28-1)을 포함할 수 있다. The display substrate D may include a substrate 21, a thin film transistor (TFT), a passivation film 27, and a pixel electrode 28-1.

기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.For the substrate 21, a plastic material may be used, and a metal material such as SUS or Ti may be used. In addition, the substrate 21 may use polyimide (PI, Polyimide). Hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the substrate 21 is formed of polyimide will be described in detail.

기판(21) 상에 박막 트랜지스터(TFT)가 형성되고, 박막 트랜지스터(TFT)를 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.A thin film transistor (TFT) may be formed on a substrate 21, a passivation film 27 may be formed to cover the thin film transistor (TFT), and an organic light emitting element 28 may be formed on the passivation film 27. there is.

기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiOx(x≥1), SiNx(x≥1)로 형성될 수 있다.A buffer layer 22 made of an organic compound and/or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the substrate 21, and may be formed of SiOx (x≥1) or SiNx (x≥1).

이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23-1)과 드레인 영역(23-3)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23-2)을 더 포함한다. After the active layer 23 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 22, the active layer 23 is buried by the gate insulating layer 24. The active layer 23 has a source region 23-1 and a drain region 23-3, and further includes a channel region 23-2 therebetween.

이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. This active layer 23 may be formed to contain various materials. For example, the active layer 23 may contain an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or crystalline silicon. As another example, the active layer 23 may contain an oxide semiconductor. As another example, the active layer 23 may contain an organic semiconductor material. However, hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the active layer 23 is formed of amorphous silicon will be described in detail.

이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 TFT(미도시), 스위칭 TFT(미도시) 등 TFT 종류에 따라, 그 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)이 불순물에 의해 도핑 된다. The active layer 23 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 22, crystallizing the amorphous silicon film, and then patterning the polycrystalline silicon film. The active layer 23 is doped with impurities in its source region 23-1 and drain region 23-3 depending on the type of TFT, such as a driving TFT (not shown) or a switching TFT (not shown).

게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다. A gate electrode 25 corresponding to the active layer 23 and an interlayer insulating layer 26 filling the gate electrode 25 are formed on the upper surface of the gate insulating layer 24 .

그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27-1) 및 드레인 전극(27-2)을 각각 소스 영역(23-1) 및 드레인 영역(23-3)에 콘택되도록 형성한다. Then, after forming the contact hole H1 in the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 24, the source electrode 27-1 and the drain electrode 27-2 are formed on the interlayer insulating layer 26. They are formed to contact the source region 23-1 and the drain region 23-3, respectively.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28-1)이 형성된다. 이 화소 전극(28-1)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 TFT의 드레인 전극(27-2)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개 층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.A passivation film 27 is formed on the top of the thin film transistor thus formed, and a pixel electrode 28-1 of an organic light emitting element 28 (OLED) is formed on the passivation film 27. The pixel electrode 28-1 is brought into contact with the drain electrode 27-2 of the TFT through a via hole H2 formed in the passivation film 27. The passivation film 27 may be formed of an inorganic material and/or organic material, a single layer, or two or more layers, and may be formed of a planarization film so that the upper surface is flat regardless of the curvature of the lower film. It may be formed so that the curve goes along the curve. And, it is preferable that this passivation film 27 is formed of a transparent insulator so that a resonance effect can be achieved.

패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28-1)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28-1) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28-1)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 28-1 is formed on the passivation film 27, a pixel-defining film 29 is formed by organic and/or inorganic materials to cover the pixel electrode 28-1 and the passivation film 27. formed, and is opened to expose the pixel electrode 28-1.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(28-1) 상에 중간층(28-2) 및 대향 전극(28-3)이 형성된다. 다른 실시예로써 대향 전극(28-3)은 디스플레이 기판(D)의 전면에 형성되는 것도 가능하다. 이러한 경우 대향 전극(28-3)은 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성될 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 대향 전극(28-3)이 중간층(28-2), 화소정의막(29) 상에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. An intermediate layer 28-2 and a counter electrode 28-3 are formed on at least the pixel electrode 28-1. As another embodiment, the counter electrode 28-3 may be formed on the entire surface of the display substrate D. In this case, the counter electrode 28-3 may be formed on the intermediate layer 28-2 and the pixel defining layer 29. Hereinafter, for convenience of description, a case in which the counter electrode 28-3 is formed on the intermediate layer 28-2 and the pixel defining layer 29 will be described in detail.

화소 전극(28-1)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28-3)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 28-1 functions as an anode electrode, and the counter electrode 28-3 functions as a cathode electrode. The polarity of can be reversed.

화소 전극(28-1)과 대향 전극(28-3)은 상기 중간층(28-2)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28-2)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 28-1 and the counter electrode 28-3 are insulated from each other by the intermediate layer 28-2, and the organic light emitting layer emits light by applying voltages of different polarities to the intermediate layer 28-2. let it be

중간층(28-2)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28-2)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28-2)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다. The intermediate layer 28-2 may include an organic light emitting layer. As another selective example, the intermediate layer 28-2 includes an organic emission layer, and in addition to that, a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, and an electron transport layer. layer) and at least one of an electron injection layer. The present embodiment is not limited thereto, and the intermediate layer 28-2 includes an organic light emitting layer and may further include various other functional layers (not shown).

이때, 상기와 같은 중간층(28-2)은 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다. In this case, the intermediate layer 28 - 2 as described above may be formed through the manufacturing apparatus (not shown) of the display device described above.

상기와 같은 중간층(28-2)은 복수 개 구비될 수 있으며, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA)을 형성할 수 있다. 이때, 복수 개의 중간층(28-2)은 표시 영역(DA) 내부에 서로 이격되도록 배치될 수 있다. A plurality of intermediate layers 28-2 may be provided, and the plurality of intermediate layers 28-2 may form the display area DA. In this case, the plurality of intermediate layers 28 - 2 may be disposed to be spaced apart from each other within the display area DA.

한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다. Meanwhile, one unit pixel is composed of a plurality of sub-pixels, and the plurality of sub-pixels can emit light of various colors. For example, the plurality of subpixels may include subpixels emitting red, green, and blue light, respectively, and may include subpixels (not shown) emitting red, green, blue, and white light.

상기와 같은 부화소는 하나의 중간층(28-2)을 포함할 수 있다. 이때, 하나의 부화소를 형성하는 경우 상기에서 설명한 표시 장치의 제조장치를 통하여 중간층(28-2)을 형성할 수 있다. The sub-pixel as described above may include one intermediate layer 28-2. In this case, in the case of forming one sub-pixel, the intermediate layer 28-2 may be formed through the manufacturing apparatus of the display device described above.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the thin film encapsulation layer E as described above may include a plurality of inorganic layers or may include an inorganic layer and an organic layer.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The organic layer of the thin film encapsulation layer (E) is formed of a polymer, and preferably may be a single film or a laminated film formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene and polyacrylate. More preferably, the organic layer may be formed of polyacrylate, and specifically, may include a polymerized monomer composition including a diacrylate-based monomer and a triacrylate-based monomer. A monoacrylate-based monomer may be further included in the monomer composition. In addition, a known photoinitiator such as TPO may be further included in the monomer composition, but is not limited thereto.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al₂O₃, SiO₂, TiO₂ 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The inorganic layer of the thin film encapsulation layer E may be a single layer or a multi-layered layer including a metal oxide or a metal nitride. Specifically, the inorganic layer may include any one of SiNx, Al ₂ O ₃ , SiO ₂ , and TiO ₂ .

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.An uppermost layer exposed to the outside of the thin film encapsulation layer E may be formed of an inorganic layer in order to prevent permeation of moisture into the organic light emitting device.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다. The thin film encapsulation layer E may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers. As another example, the thin film encapsulation layer E may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers and a sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. .

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층을 포함할 수 있다. The thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting diode OLED.

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층, 제2유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting diode OLED.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1무기층, 제1유기층, 제2무기층, 상기 제2유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may sequentially include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, a third inorganic layer, and a third organic layer from the top of the organic light emitting diode OLED. An organic layer and a fourth inorganic layer may be included.

유기 발광 소자(OLED)와 제1무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.A metal halide layer containing LiF may be further included between the organic light emitting diode (OLED) and the first inorganic layer. The metal halide layer may prevent the organic light emitting diode OLED from being damaged when the first inorganic layer is formed by sputtering.

제1유기층은 제2무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may also have a smaller area than the third inorganic layer.

따라서 표시 장치(20)는 설계된 표시 영역과 동일 또는 유사한 표시 영역이 구현될 수 있다.Accordingly, the display device 20 may have the same or similar display area as the designed display area.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As such, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and variations of the embodiment are possible therefrom. Therefore, the true technical scope of protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

110: 챔버
120: 제1지지부
130: 제2지지부
140: 소스부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153: 제2지지스틱
154: 제1지지스틱
160: 자기력부
170: 비젼부
180: 압력조절부
20: 표시 장치110: chamber
120: first support
130: second support
140: source part
150: mask assembly
151: mask frame
152: mask sheet
153: second support stick
154: first support stick
160: magnetic force unit
170: vision unit
180: pressure control unit
20: display device

Claims

a mask frame including an opening;
a first support stick disposed in the opening so as to be parallel to one side of the mask frame; and
A mask assembly including a second support stick disposed in the opening to cross the first support stick and disposed to pass through the inside of the first support stick.

According to claim 1,
The first support stick,
a first support stick body;
a support portion connected to the first support stick body, including an opening area, and supporting the second support stick; and
A mask assembly including a bridge portion connected to the first support stick body and disposed to be spaced apart from the support portion.

According to claim 2,
A mask assembly having a through hole formed in the bridge portion.

According to claim 2,
A thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion is different from a thickness of another portion of the second support stick.

According to claim 4,
A mask assembly in which a thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion is smaller than a thickness of another portion of the second support stick.

According to claim 1,
A mask assembly in which a through hole is disposed in a portion of the second support stick overlapping the first support stick.

According to claim 1,
A mask assembly in which the portion where the first support stick and the second support stick overlap each other is fixed by welding.

According to claim 1,
A mask assembly further comprising a mask sheet disposed on the mask frame.

According to claim 1,
The first support stick and the second support stick are each provided with a plurality,
The plurality of first support sticks are arranged to be spaced apart from each other in a first direction,
The plurality of second support sticks are arranged to be spaced apart from each other in a second direction,
Each of the second support sticks is inserted into some of the plurality of first support sticks,
The mask assembly wherein each of the second support sticks is disposed on another part of the plurality of first support sticks.

a mask assembly disposed to face the substrate; and
A source unit disposed to face the mask assembly; includes,
The mask cooking body,
a mask frame including an opening;
a first support stick disposed in the opening so as to be parallel to one side of the mask frame; and
and a second support stick disposed in the opening to cross the first support stick and disposed to pass through the inside of the first support stick.

According to claim 10,
The first support stick,
a first support stick body;
a support portion connected to the first support stick body, including an opening area, and supporting the second support stick; and
A manufacturing apparatus for a display device comprising: a bridge portion connected to the first support stick body and disposed to be spaced apart from the support portion.

According to claim 11,
An apparatus for manufacturing a display device in which a through hole is formed in the bridge portion.

According to claim 11,
A thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion is different from a thickness of another portion of the second support stick.

According to claim 13,
A thickness of a portion of the second support stick overlapping the bridge portion is smaller than a thickness of another portion of the second support stick.

According to claim 10,
An apparatus for manufacturing a display device in which a through hole is disposed in a portion of the second support stick overlapping the first support stick.

According to claim 10,
Where the first support stick and the second support stick overlap each other are fixed by welding.

According to claim 10,
The mask assembly,
The apparatus for manufacturing a display device further comprising a mask sheet disposed on the mask frame.

According to claim 10,
The first support stick and the second support stick are each provided with a plurality,
The plurality of first support sticks are arranged to be spaced apart from each other in a first direction,
The plurality of second support sticks are arranged to be spaced apart from each other in a second direction,
Each of the second support sticks is inserted into some of the plurality of first support sticks,
Each of the second support sticks is disposed on another part of the plurality of first support sticks.

disposing the mask assembly of any one of claims 1 to 9 facing the substrate;
aligning the mask assembly and the substrate; and
and depositing the deposition material on the substrate by supplying the deposition material to a source unit disposed to face the mask assembly.

According to claim 19,
The method of manufacturing a display device further comprising cleaning the mask assembly.