KR20230055469A

KR20230055469A - Mask assembly, apparatus and method for manufacturing the same

Info

Publication number: KR20230055469A
Application number: KR1020210138800A
Authority: KR
Inventors: 이종대; 장원영
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2021-10-18
Filing date: 2021-10-18
Publication date: 2023-04-26
Also published as: CN115992339A; CN218812024U

Abstract

The present invention relates to a mask assembly, a device for manufacturing a display device including the same, and a method for manufacturing the display device. The present invention comprises: a mask frame provided with an opening area and a groove; a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction; and a first support frame having the mask sheet disposed on an upper part, disposed across the opening area, and disposed between adjacent mask sheets among the plurality of mask sheets, wherein an end of the mask sheet and an end of the first support frame are disposed inside the groove when viewed in plan, thereby capable of preventing damage to a substrate.

Description

Mask assembly, manufacturing apparatus and method for manufacturing a display device including the same {Mask assembly, apparatus and method for manufacturing the same}

본 발명의 실시예들은 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법에 관한 것이다. Embodiments of the present invention relate to an apparatus and method, and more particularly, to a mask assembly, an apparatus for manufacturing a display device including the mask assembly, and a method for manufacturing the display apparatus.

이동성을 기반으로 하는 전자 기기가 폭 넓게 사용되고 있다. 이동용 전자 기기로는 모바일 폰과 같은 소형 전자 기기 이외에도 최근 들어 태블릿 PC가 널리 사용되고 있다.Electronic devices based on mobility are widely used. As a mobile electronic device, a tablet PC has recently been widely used in addition to a small electronic device such as a mobile phone.

이와 같은 이동형 전자 기기는 다양한 기능을 지원하기 위하여, 이미지 또는 영상과 같은 시각 정보를 사용자에게 제공하기 위하여 표시 장치를 포함한다. 최근, 표시 장치를 구동하기 위한 기타 부품들이 소형화됨에 따라, 표시 장치가 전자 기기에서 차지하는 비중이 점차 증가하고 있는 추세이며, 평평한 상태에서 소정의 각도를 갖도록 구부릴 수 있는 구조도 개발되고 있다. 이러한 표시 장치는 박막을 형성하기 위하여 마스크 조립체를 사용할 수 있다. Such a mobile electronic device includes a display device to provide visual information such as an image or video to a user in order to support various functions. Recently, as other components for driving the display device have been miniaturized, the proportion of the display device in electronic devices has gradually increased, and a structure that can be bent to have a predetermined angle in a flat state has been developed. Such a display device may use a mask assembly to form a thin film.

일반적으로 마스크 조립체와 기판을 밀착시켜 증착을 수행할 때 기판이 마스크 조립체에 의하여 파손되거나 크랙이 기판 내부에 발생하는 경우가 있다. 이러한 경우 최종 제품의 불량을 야기할 뿐만 아니라 최종 제품의 사용 시 수명이 단축되는 문제가 발생할 수 있다. 본 발명의 실시예들은 기판의 파손을 방지하는 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법을 제공한다. In general, when deposition is performed by bringing the mask assembly and the substrate into close contact, the substrate may be damaged by the mask assembly or cracks may occur inside the substrate. In this case, a problem of shortening the lifespan of the final product may occur as well as causing defects in the final product. Embodiments of the present invention provide a mask assembly that prevents damage to a substrate, a display device manufacturing apparatus including the mask assembly, and a display device manufacturing method.

본 발명의 일 실시예는 개구영역이 구비되며, 홈을 구비하는 마스크 프레임과, 상기 개구영역에 배치되며 제1방향으로 서로 이격되도록 배치된 복수개의 마스크 시트와, 상기 마스크 시트가 상부에 배치되고, 상기 개구영역을 가로지르도록 배치되며, 상기 복수개의 마스크 시트 중 서로 인접하는 상기 마스크 시트 사이에 배치된 제1지지프레임을 포함하고, 평면 상에서 볼 때 상기 마스크 시트의 끝단과 상기 제1지지프레임의 끝단이 상기 홈과 내부에 배치된 마스크 조립체를 개시한다. An embodiment of the present invention includes a mask frame having an opening area and having a groove, a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction, and the mask sheet disposed on an upper portion. , a first support frame disposed to cross the opening region and disposed between the mask sheets adjacent to each other among the plurality of mask sheets; Discloses a mask assembly with an end disposed within the groove.

본 실시예에 있어서, 상기 홈은 상기 제1방향으로 연장될 수 있다. In this embodiment, the groove may extend in the first direction.

본 실시예에 있어서, 상기 홈의 측면 중 적어도 하나는 경사질 수 있다. In this embodiment, at least one of the side surfaces of the groove may be inclined.

본 실시에에 있어서, 상기 홈의 측면 중 경사진 측면은 상기 홈의 테두리로부터 상기 홈의 중앙부분으로 갈수록 낮아질 수 있다. In this embodiment, the inclined side of the side of the groove may be lowered from the rim of the groove to the central portion of the groove.

본 실시에에 있어서, 상기 마스크 시트의 끝단과 상기 제1지지프레임의 끝단 중 적어도 하나는 상기 마스크 프레임으로부터 멀어지는 방향으로 돌출될 수 있다.In this embodiment, at least one of the end of the mask sheet and the end of the first support frame may protrude in a direction away from the mask frame.

본 실시예에 있어서, 상기 개구영역을 가로지르며, 상기 제1지지프레임과 교차하도록 상기 마스크 프레임에 배치된 제2지지프레임을 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a second support frame disposed on the mask frame to cross the opening area and cross the first support frame may be further included.

본 발명의 다른 실시예는, 기판과 대향하도록 배치된 마스크 조립체와, 상기 마스크 조립체를 기준으로 상기 기판과 반대편에 배치되어 상기 기판으로 증착물질을 공급하는 증착원을 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구영역이 구비되며, 홈을 구비하는 마스크 프레임과, 상기 개구영역에 배치되며 제1방향으로 서로 이격되도록 배치된 복수개의 마스크 시트와, 상기 마스크 시트가 상부에 배치되고, 상기 개구영역을 가로지르도록 배치되며, 상기 복수개의 마스크 시트 중 서로 인접하는 상기 마스크 시트 사이에 배치된 제1지지프레임을 포함하고, 평면 상에서 볼 때 상기 마스크 시트의 끝단과 상기 제1지지프레임의 끝단이 상기 홈과 내부에 배치된 표시장치의 제조장치를 개시한다. Another embodiment of the present invention includes a mask assembly disposed to face a substrate, and a deposition source disposed opposite to the substrate based on the mask assembly to supply a deposition material to the substrate, the mask assembly comprising: A mask frame having an opening area and having a groove, a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction, the mask sheet disposed on an upper portion, and crossing the opening area and a first support frame disposed between the mask sheets adjacent to each other among the plurality of mask sheets, and when viewed from a plan view, an end of the mask sheet and an end of the first support frame are in the groove and the inside Disclosed is an apparatus for manufacturing a display device disposed in

본 실시예에 있어서, 상기 홈의 측면 중 경사진 측면은 상기 홈의 테두리로부터 상기 홈의 중앙부분으로 갈수록 낮아질 수 있다. In this embodiment, the inclined side of the side of the groove may be lowered from the rim of the groove to the central portion of the groove.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 시트의 끝단과 상기 제1지지프레임의 끝단 중 적어도 하나는 상기 마스크 프레임으로부터 멀어지는 방향으로 돌출될 수 있다. In this embodiment, at least one of the end of the mask sheet and the end of the first support frame may protrude in a direction away from the mask frame.

본 실시예에 있어서, 상기 기판을 중심으로 상기 마스크 조립체의 반대편에 배치되는 냉각플레이트를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, a cooling plate disposed on the opposite side of the mask assembly with respect to the substrate may be further included.

본 실시예에 있어서, 상기 기판을 중심으로 상기 마스크 조립체의 반대편에 배치되는 자기력부를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the magnetic force part disposed on the opposite side of the mask assembly with respect to the substrate may be further included.

본 발명의 또 다른 실시예는, 마스크 조립체 상에 기판을 배치하는 단계와, 상기 기판 상에 냉각플레이트를 접촉시키는 단계와, 증착원에서 증착물질을 공급하여 상기 마스크 조립체를 통과한 상기 증착물질이 상기 기판에 증착되는 단계를 포함하고, 상기 마스크 조립체는, 개구영역이 구비되며, 홈을 구비하는 마스크 프레임과, 상기 개구영역에 배치되며 제1방향으로 서로 이격되도록 배치된 복수개의 마스크 시트와, 상기 마스크 시트가 상부에 배치되고, 상기 개구영역을 가로지르도록 배치되며, 상기 복수개의 마스크 시트 중 서로 인접하는 상기 마스크 시트 사이에 배치된 제1지지프레임을 포함하고, 평면 상에서 볼 때 상기 마스크 시트의 끝단과 상기 제1지지프레임의 끝단이 상기 홈과 내부에 배치된 표시 장치의 제조방법을 개시한다.Another embodiment of the present invention includes the steps of disposing a substrate on a mask assembly, contacting a cooling plate on the substrate, supplying a deposition material from a deposition source so that the deposition material passing through the mask assembly is and depositing on the substrate, the mask assembly comprising: a mask frame having an opening area and having a groove; a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction; a first support frame disposed on an upper portion of the mask sheet, disposed to cross the opening area, and disposed between adjacent mask sheets among the plurality of mask sheets; Disclosed is a method of manufacturing a display device in which an end of the and an end of the first support frame are disposed inside the groove.

본 실시예에 있어서, 상기 마스크 조립체에 자기력을 제공하여 상기 마스크 조립체를 상기 기판에 밀착시키는 단계를 더 포함할 수 있다. In this embodiment, the method may further include attaching the mask assembly to the substrate by applying magnetic force to the mask assembly.

전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점이 이하의 도면, 특허청구범위 및 발명의 상세한 설명으로부터 명확해질 것이다. Other aspects, features and advantages other than those described above will become apparent from the following drawings, claims and detailed description of the invention.

이러한 일반적이고 구체적인 측면이 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램, 또는 어떠한 시스템, 방법, 컴퓨터 프로그램의 조합을 사용하여 실시될 수 있다.These general and specific aspects may be practiced using a system, method, computer program, or any combination of systems, methods, or computer programs.

본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 표시 장치의 제조 시 기판의 파손을 저감시킬 수 있다. 또한, 본 발명의 실시예들에 관한 마스크 조립체, 이를 포함하는 표시장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법은 표시 장치의 제조 시 불량율을 저감시킬 수 있다. The mask assembly according to embodiments of the present invention, a display device manufacturing apparatus including the mask assembly, and a display device manufacturing method may reduce damage to a substrate during manufacture of a display device. In addition, the mask assembly according to the embodiments of the present invention, a display device manufacturing apparatus including the mask assembly, and a display device manufacturing method can reduce a defect rate when manufacturing a display device.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 단면도이다.
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 마스크 시트의 끝단과 제1지지프레임의 끝단을 보여주는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.1 is a perspective view showing a mask assembly according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a cross-sectional view showing the mask assembly shown in Figure 1;
3 and 4 are cross-sectional views showing an end of the mask sheet and an end of the first support frame shown in FIG. 2 .
5 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
6 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 7 is a cross-sectional view showing the display device shown in FIG. 6 .

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다. Since the present invention can apply various transformations and have various embodiments, specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. Effects and features of the present invention, and methods for achieving them will become clear with reference to the embodiments described later in detail together with the drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below and may be implemented in various forms.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and when describing with reference to the drawings, the same or corresponding components are assigned the same reference numerals, and overlapping descriptions thereof will be omitted. .

이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다. In the following embodiments, terms such as first and second are used for the purpose of distinguishing one component from another component without limiting meaning.

이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.In the following examples, expressions in the singular number include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise.

이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다. In the following embodiments, terms such as include or have mean that features or components described in the specification exist, and do not preclude the possibility that one or more other features or components may be added.

이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다. In the following embodiments, when a part such as a film, region, component, etc. is said to be on or on another part, not only when it is directly above the other part, but also when another film, region, component, etc. is interposed therebetween. Including if there is

도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.In the drawings, the size of components may be exaggerated or reduced for convenience of description. For example, since the size and thickness of each component shown in the drawings are arbitrarily shown for convenience of description, the present invention is not necessarily limited to the illustrated bar.

이하의 실시예에서, x축, y축 및 z축은 직교 좌표계 상의 세 축으로 한정되지 않고, 이를 포함하는 넓은 의미로 해석될 수 있다. 예를 들어, x축, y축 및 z축은 서로 직교할 수도 있지만, 서로 직교하지 않는 서로 다른 방향을 지칭할 수도 있다.In the following embodiments, the x-axis, y-axis, and z-axis are not limited to the three axes of the Cartesian coordinate system, and may be interpreted in a broad sense including these. For example, the x-axis, y-axis, and z-axis may be orthogonal to each other, but may refer to different directions that are not orthogonal to each other.

어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.When an embodiment is otherwise implementable, a specific process sequence may be performed differently from the described sequence. For example, two processes described in succession may be performed substantially simultaneously, or may be performed in an order reverse to the order described.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 마스크 조립체를 보여주는 사시도이다. 도 2는 도 1에 도시된 마스크 조립체를 보여주는 단면도이다.1 is a perspective view showing a mask assembly according to an embodiment of the present invention. Figure 2 is a cross-sectional view showing the mask assembly shown in Figure 1;

도 1 및 도 2를 참고하면, 마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 제1지지프레임(153) 및 제2지지프레임(154)을 포함할 수 있다. Referring to FIGS. 1 and 2 , the mask assembly 150 may include a mask frame 151 , a mask sheet 152 , a first support frame 153 and a second support frame 154 .

마스크 프레임(151)은 창틀 형태로 형성될 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151)은 복수개 프레임을 구비할 수 있으며, 복수개의 프레임은 서로 연결될 수 있다. 상기와 같은 마스크 프레임(151)은 중앙 부분에 하나의 개구영역이 형성될 수 있으며, 다른 실시예로써 중앙 부분에 복수개의 홀이 형성되는 것도 가능하다. 이때, 마스크 프레임(151)의 중앙 부분에 복수개의 홀이 형성되는 경우 마스크 프레임(151)의 중앙 부분은 격자 형태로 형성될 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 프레임(151)은 마스크 프레임(151)의 중앙부분에 하나의 개구영역이 배치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The mask frame 151 may be formed in a window frame shape. In this case, the mask frame 151 may include a plurality of frames, and the plurality of frames may be connected to each other. In the mask frame 151 as described above, one opening area may be formed in the central portion, and as another embodiment, a plurality of holes may be formed in the central portion. In this case, when a plurality of holes are formed in the central portion of the mask frame 151, the central portion of the mask frame 151 may be formed in a lattice shape. However, hereinafter, for convenience of description, the mask frame 151 will be described in detail focusing on the case where one opening area is disposed in the central portion of the mask frame 151.

상기와 같은 마스크 프레임(151)은 홈(151a)을 구비할 수 있다. 이때, 홈(151a)은 마스크 프레임(151)의 장변에 배치될 수 있다. 또한 홈(151a)은 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단에 평면 상에서 볼 때 중첩되도록 배치될 수 있다. 즉, 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단은 홈(151a)의 저면에서 이격되도록 배치된 형태일 수 있다. The mask frame 151 as described above may have a groove 151a. In this case, the groove 151a may be disposed on the long side of the mask frame 151 . In addition, the groove 151a may be arranged to overlap the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 when viewed in plan. That is, the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 may be arranged to be spaced apart from the bottom surface of the groove 151a.

마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151) 상에 설치될 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 용접을 통하여 부착될 수 있다. The mask sheet 152 may be installed on the mask frame 151 . In this case, the mask sheet 152 may be attached to the mask frame 151 through welding.

마스크 시트(152)는 복수개 구비되어 마스크 프레임(151)의 일변 방향으로 서로 인접하도록 배열될 수 있다. 이때, 복수개의 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 개구된 중앙 부분을 차폐할 수 있다. 예를 들면, 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)의 장변 방향으로 서로 인접하도록 배치될 수 있다. A plurality of mask sheets 152 may be provided and arranged to be adjacent to each other in a direction of one side of the mask frame 151 . In this case, the plurality of mask sheets 152 may shield the open central portion of the mask frame 151 . For example, the mask sheets 152 may be arranged to be adjacent to each other in the long side direction of the mask frame 151 .

각 마스크 시트(152)는 마스크 프레임(151)에 인장된 상태로 부착될 수 있다. 예를 들면, 각 마스크 시트(152)는 마스크 시트(152)의 길이 방향으로 인장시킨 상태에서 마스크 프레임(151)에 용접하여 고정될 수 있다. Each mask sheet 152 may be attached to the mask frame 151 in a tensioned state. For example, each mask sheet 152 may be welded and fixed to the mask frame 151 while being stretched in the longitudinal direction of the mask sheet 152 .

각 마스크 시트(152)는 적어도 한 개 이상의 개구부(미표기)를 포함할 수 있다. 이때, 상기 복수개의 개구부는 서로 이격되도록 배치될 수 있다. Each mask sheet 152 may include at least one opening (not indicated). In this case, the plurality of openings may be arranged to be spaced apart from each other.

각 마스크 시트(152)에 형성되는 적어도 한 개 이상의 상기 개구부는 각 마스크 시트(152) 전체에 형성될 수 있다. 다른 실시예로써 각 마스크 시트(152)에 형성되는 적어도 한 개 이상의 상기 개구부는 하나의 그룹 형태를 형성하고, 각 마스크 시트(152)에는 상기 그룹이 복수개 형성되는 것도 가능하다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 적어도 한 개 이상의 상기 개구부는 각 마스크 시트(152) 전체에 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. At least one opening formed in each mask sheet 152 may be formed throughout each mask sheet 152 . In another embodiment, at least one or more openings formed in each mask sheet 152 may form a group shape, and a plurality of groups may be formed in each mask sheet 152 . Hereinafter, for convenience of description, a case in which at least one or more openings are formed on the entirety of each mask sheet 152 will be described in detail.

상기와 같은 마스크 시트(152)는 마스크 시트(152)의 측면에 배치되며, 마스크 시트(152)의 상면으로 돌출되는 제1돌기(152a)를 포함할 수 있다. 이러한 제1돌기(152a)는 홈(151a)의 상부에 배치될 수 있다. The mask sheet 152 as described above is disposed on a side surface of the mask sheet 152 and may include a first protrusion 152a protruding from an upper surface of the mask sheet 152 . The first protrusion 152a may be disposed above the groove 151a.

제1지지프레임(153)은 마스크 프레임(151)의 개구영역에 배치될 수 있다. 제1지지프레임(153)은 마스크 프레임(151)의 일변과 평행하도록 설치될 수 있다. 제1지지프레임(153)는 마스크 시트(152)의 사이에 배치될 수 있다. 이때, 제1지지프레임(153)는 마스크 시트(152)를 지지함으로써 마스크 시트(152)의 열변형시 하중 등으로 인하여 마스크 시트(152)가 쳐지는 것을 방지할 수 있다. The first support frame 153 may be disposed in the opening area of the mask frame 151 . The first support frame 153 may be installed parallel to one side of the mask frame 151 . The first support frame 153 may be disposed between the mask sheet 152 . In this case, the first support frame 153 supports the mask sheet 152 to prevent the mask sheet 152 from sagging due to a load or the like when the mask sheet 152 is thermally deformed.

제1지지프레임(153)은 측면에 배치되며, 상면으로 일부가 도출되는 제2돌기(153a)를 포함할 수 있다. 이때, 제2돌기(153a)는 제1돌기(152a)와 일체로 형성되거나 서로 분리되도록 형성될 수 있다. 또한, 제2돌기(153a)는 제1돌기(152a)와 유사하게 홈(151a)의 상부에 배치될 수 있다. The first support frame 153 is disposed on a side surface and may include a second protrusion 153a, a portion of which is protruded toward the upper surface. In this case, the second protrusion 153a may be integrally formed with the first protrusion 152a or may be formed to be separated from each other. Also, the second protrusion 153a may be disposed above the groove 151a similarly to the first protrusion 152a.

제2지지프레임(154)은 마스크 프레임(151)의 개구영역에 배치될 수 있다. 이때, 제2지지프레임(154)은 제1지지프레임(153)과 교차하도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 제1지지프레임(153)은 마스크 프레임(151)의 테두리 중 하나(예를 들면, 단변)과 평행하게 배치되고, 제2지지프레임(154)은 마스크 프레임(151)의 테두리 중 다른 하나(예를 들면, 장변)과 평행하게 배치될 수 있다. The second support frame 154 may be disposed in the opening area of the mask frame 151 . In this case, the second support frame 154 may be disposed to cross the first support frame 153 . For example, the first support frame 153 is disposed parallel to one of the edges (eg, short side) of the mask frame 151, and the second support frame 154 is one of the edges of the mask frame 151. It can be arranged parallel to one another (eg, the long side).

상기와 같은 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154) 중 적어도 하나는 적어도 하나 구비될 수 있다. 이때, 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 서로 교차하도록 배치됨으로써 마스크 프레임(151)의 개구영역을 복수개의 부분으로 구획할 수 있다. At least one of the first support frame 153 and the second support frame 154 as described above may be provided. At this time, the first support frame 153 and the second support frame 154 are arranged to cross each other, so that the opening area of the mask frame 151 can be partitioned into a plurality of parts.

상기와 같은 경우 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 서로 적층되도록 배치될 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(151), 제1지지프레임(153), 제2지지프레임(154) 및 마스크 시트(152)은 하부에서 상부로 순차적으로 적층되게 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 마스크 프레임(151), 제2지지프레임(154), 제1지지프레임(153) 및 마스크 시트(152)은 하부에서 상부로 순차적으로 적층되게 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 마스크 프레임(151)에 일부가 삽입되는 형태로 배치될 수 있다. 예를 들면, 마스크 프레임(151)은 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)이 삽입되도록 결합홈이 구비될 수 있으며, 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 이러한 결합홈에 삽입됨으로써 서로 간섭하지 않을 수 있다. 이때, 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 서로 교차하는 지점에서 만날 수 있다. 특히 제1지지프레임(153)과 제2지지프레임(154)은 마스크 시트(152)의 하중, 자신의 자중 등에 의하여 서로 만날 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 마스크 프레임(151), 제1지지프레임(153), 제2지지프레임(154) 및 마스크 시트(152)은 하부에서 상부로 순차적으로 적층되게 배치하는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. In the above case, the first support frame 153 and the second support frame 154 may be stacked with each other. For example, the mask frame 151, the first support frame 153, the second support frame 154, and the mask sheet 152 may be sequentially stacked from bottom to top. As another embodiment, the mask frame 151, the second support frame 154, the first support frame 153, and the mask sheet 152 may be sequentially stacked from bottom to top. In this case, the first support frame 153 and the second support frame 154 may be disposed in a form in which parts are inserted into the mask frame 151 . For example, the mask frame 151 may have coupling grooves into which the first support frame 153 and the second support frame 154 are inserted, and the first support frame 153 and the second support frame 154 may be provided. ) may not interfere with each other by being inserted into these coupling grooves. At this time, the first support frame 153 and the second support frame 154 may meet at a point where they intersect each other. In particular, the first support frame 153 and the second support frame 154 may meet each other due to the load of the mask sheet 152 or their own weight. Hereinafter, for convenience of description, the mask frame 151, the first support frame 153, the second support frame 154, and the mask sheet 152 are sequentially stacked from bottom to top in detail. Let's explain.

상기와 같은 마스크 조립체(150)의 제조방법을 살펴보면, 마스크 프레임(151) 상에 홈(151a)을 형성한 후 제1지지프레임(153) 및 제2지지프레임(154)을 마스크 프레임(151)에 배치할 수 있다. Looking at the manufacturing method of the mask assembly 150 as described above, after forming the groove 151a on the mask frame 151, the first support frame 153 and the second support frame 154 are formed in the mask frame 151. can be placed on

상기와 같은 경우 제1지지프레임(153) 및 제2지지프레임(154) 각각은 길이 방향으로 인장된 상태로 마스크 프레임(151) 상에 배치하여 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다. In the above case, each of the first support frame 153 and the second support frame 154 may be placed on the mask frame 151 in a tensioned state in the longitudinal direction and fixed to the mask frame 151 .

상기의 과정이 완료되면, 마스크 시트(152)를 길이 방향으로 인장한 상태에서 마스크 프레임(151) 상에 배치한 후 마스크 시트(152)를 마스크 프레임(151)에 고정시킬 수 있다. When the above process is completed, the mask sheet 152 may be placed on the mask frame 151 while being stretched in the longitudinal direction, and then the mask sheet 152 may be fixed to the mask frame 151 .

마스크 시트(152)를 고정시킨 후 마스크 시트(152)의 일부와 제1지지프레임(153)의 일부를 절단하여 제거할 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)와 제1지지프레임(153)은 동시에 절단될 수 있으며, 절단되는 부위는 홈(151a)의 상부에 배치될 수 있다. 예를 들면, 마스크 시트(152)와 제1지지프레임(153)의 절단되는 부위는 홈(151a)의 중앙 부분에 배치될 수 있다. 이러한 경우 제1지지프레임(153) 상에는 마스크 시트(152)가 안착된 상태일 수 있다. After the mask sheet 152 is fixed, a portion of the mask sheet 152 and a portion of the first support frame 153 may be cut and removed. At this time, the mask sheet 152 and the first support frame 153 may be simultaneously cut, and the cut portion may be disposed above the groove 151a. For example, the cut portions of the mask sheet 152 and the first support frame 153 may be disposed at the central portion of the groove 151a. In this case, the mask sheet 152 may be seated on the first support frame 153 .

마스크 시트(152)와 제1지지프레임(153)의 절단은 레이저를 사용할 수 있다. 이때, 마스크 시트(152)의 절단되는 부위와 제1지지프레임(153)의 절단되는 부위는 용융됨으로써 제1돌기(152a) 및 제2돌기(153a)가 형성될 수 있다. 이러한 제1돌기(152a) 및 제2돌기(153a)는 마스크 시트(152)의 상면으로부터 돌출될 수 있다. A laser may be used to cut the mask sheet 152 and the first support frame 153 . At this time, the cut portion of the mask sheet 152 and the cut portion of the first support frame 153 may be melted to form the first protrusion 152a and the second protrusion 153a. The first protrusion 152a and the second protrusion 153a may protrude from the upper surface of the mask sheet 152 .

상기와 같은 마스크 조립체(150)는 기판 상에 유기물을 증착할 때 사용할 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 기판과 접촉하는 경우에도 기판을 파손시키지 않을 수 있다. The mask assembly 150 as described above may be used when depositing an organic material on a substrate. In this case, the mask assembly 150 may not damage the substrate even when in contact with the substrate.

도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 마스크 시트의 끝단과 제1지지프레임의 끝단을 보여주는 단면도이다.3 and 4 are cross-sectional views showing an end of the mask sheet and an end of the first support frame shown in FIG. 2 .

도 3 및 도 4를 참고하면, 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단이 배치되는 홈(151a)은 다양한 형태일 수 있다. 이때, 홈(151a)의 측면은 경사지게 형성될 수 있다. 예를 들면, 홈(151a)의 경사는 홈(151a)의 중앙으로 갈수록 낮아지는 형태일 수 있다. Referring to FIGS. 3 and 4 , the groove 151a in which the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 are disposed may have various shapes. At this time, the side of the groove 151a may be formed to be inclined. For example, the slope of the groove 151a may be lowered towards the center of the groove 151a.

상기와 같은 홈(151a)의 측면의 경사는 도 3에 도시된 것과 같이 홈(151a)의 측면 중 하나에만 배치될 수 있다. 다른 실시예로서 홈(151a)의 측면의 경사는 도 4에 도시된 것과 같이 홈(151a)의 측면 중 양측에 배치될 수 있다. 이러한 경우 홈(151a)의 경사진 면의 길이 방향은 마스크 시트(152)의 길이 방향 및 제1지지프레임(153)의 길이 방향에 대해서 수직한 방향일 수 있다. As shown in FIG. 3, the slope of the side of the groove 151a as described above may be disposed on only one of the side surfaces of the groove 151a. In another embodiment, as shown in FIG. 4 , the slope of the side of the groove 151a may be disposed on both sides of the side of the groove 151a. In this case, the longitudinal direction of the inclined surface of the groove 151a may be perpendicular to the longitudinal direction of the mask sheet 152 and the longitudinal direction of the first support frame 153 .

상기와 같은 경우 마스크 시트(152) 상에 기판이 배치될 때 기판이 마스크 시트(152)에 힘을 가하는 경우 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단이 홈(151a)의 내부로 변형됨으로써 제1돌기(152a) 및 제2돌기(153a)가 기판을 파손시키지 않을 수 있다. In the above case, when the substrate is placed on the mask sheet 152, when the substrate applies force to the mask sheet 152, the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 form a groove 151a By being deformed into the inside of the first protrusion 152a and the second protrusion 153a may not damage the substrate.

한편, 상기와 같은 홈(151a)의 측면은 도면에 도시되어 있지는 않지만 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들면, 홈(151a)의 측면은 단면 형상이 라운드지게 형성될 수 있다. 다른 실시예로서 홈(151a)의 측면은 계단형태와 같이 다단지게 형성되는 것도 가능하다. Meanwhile, the side surface of the groove 151a as described above may be formed in various shapes although not shown in the drawing. For example, a side surface of the groove 151a may be formed to have a round cross-sectional shape. As another embodiment, the side surface of the groove 151a may be multi-leveled like a staircase.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 표시장치의 제조장치를 보여주는 단면도이다.5 is a cross-sectional view showing an apparatus for manufacturing a display device according to an exemplary embodiment of the present invention.

도 5를 참고하면, 표시장치의 제조장치(100)는 챔버(110), 마스크 조립체(150), 지지부(130), 증착원(160), 비젼부(140), 압력조절부(170) 및 접촉부(121, 122)를 포함할 수 있다. Referring to FIG. 5 , the apparatus 100 for manufacturing a display device includes a chamber 110, a mask assembly 150, a support part 130, a deposition source 160, a vision part 140, a pressure control part 170, and Contact parts 121 and 122 may be included.

챔버(110)는 내부에 공간이 형성될 수 있으며, 일부가 개방되도록 형성될 수 있다. 챔버(110)의 개구된 부분에는 게이트밸브(110a)가 설치되어 개구된 부분을 개폐할 수 있다. A space may be formed inside the chamber 110 and a portion thereof may be open. A gate valve 110a is installed in the open portion of the chamber 110 to open and close the opened portion.

마스크 조립체(150)는 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152) 및 제1지지프레임(153) 및 제2지지프레임(154)을 포함할 수 있다. 이때, 마스크 프레임(151), 마스크 시트(152), 제1지지프레임(153) 및 제2지지프레임(154)은 상기에서 설명한 것과 동일 또는 유사하므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. The mask assembly 150 may include a mask frame 151 , a mask sheet 152 , a first support frame 153 and a second support frame 154 . At this time, since the mask frame 151, the mask sheet 152, the first support frame 153, and the second support frame 154 are the same as or similar to those described above, a detailed description thereof will be omitted.

지지부(130)는 마스크 프레임(151)이 안착할 수 있다. 이때, 지지부(130)는 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치될 수 있다. 또한, 지지부(130)는 마스크 조립체(150)의 위치를 가변시켜 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 상대적인 위치를 조절하는 것도 가능하다. The support part 130 may seat the mask frame 151 thereon. In this case, the support part 130 may be installed to be fixed inside the chamber 110 . In addition, the support part 130 may change the position of the mask assembly 150 to adjust the relative positions of the substrate 21 and the mask assembly 150 .

증착원(160)은 마스크 조립체(150)와 대향하도록 설치될 수 있다. 이때, 증착원(160)은 챔버(110)에 고정되도록 설치될 수 있으며, 다른 실시예로써 챔버(110)에 이동 가능하도록 설치되는 것도 가능하다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 증착원(160)은 챔버(110) 내부에 고정되도록 설치되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. The deposition source 160 may be installed to face the mask assembly 150 . At this time, the deposition source 160 may be installed to be fixed to the chamber 110, or may be installed to be movable to the chamber 110 as another embodiment. However, hereinafter, for convenience of description, a case in which the deposition source 160 is installed to be fixed inside the chamber 110 will be described in detail.

증착원(160)은 내부에 증착물질이 수납될 수 있다. 이때, 증착원(160) 내부에는 증착물질에 열을 가하는 히터(160a)가 배치될 수 있다. A deposition material may be stored in the deposition source 160 . At this time, a heater 160a for applying heat to the deposition material may be disposed inside the deposition source 160 .

비젼부(140)는 챔버(110)에 설치되어 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영할 수 있다. 이때, 비젼부(140)는 촬영된 영상을 제어부(미도시)로 전송할 수 있다. 상기 제어부는 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 근거로 지지부(130)를 통하여 기판(21)과 마스크 조립체(150)를 얼라인시킬 수 있다. 다른 실시예로서 상기 제어부는 기판(21)이 챔버(110)에 삽입되기 전에 비젼부(140)를 통하여 마스크 조립체(150)의 위치를 촬영하여 마스크 조립체(150)의 위치를 조절하고 기판(21)을 마스크 조립체(150)의 위치에 대응되도록 배치하는 것도 가능하다. 이때, 기판(21)은 챔버(110) 외부의 로봇암 등을 통하여 마스크 조립체(150) 상에 배치할 수 있다. 또 다른 실시예로서 상기 제어부는 비젼부(140)에서 측정된 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 근거로 증착원(160)과 마스크 조립체(150)의 위치를 정렬하는 것도 가능하다. The vision unit 140 may be installed in the chamber 110 to capture positions of the substrate 21 and the mask assembly 150 . At this time, the vision unit 140 may transmit the captured image to a controller (not shown). The control unit may align the substrate 21 and the mask assembly 150 through the support unit 130 based on positions of the substrate 21 and the mask assembly 150 . As another embodiment, the control unit controls the position of the mask assembly 150 by photographing the position of the mask assembly 150 through the vision unit 140 before the substrate 21 is inserted into the chamber 110, and adjusts the position of the substrate 21 ) It is also possible to arrange so as to correspond to the position of the mask assembly 150. At this time, the substrate 21 may be placed on the mask assembly 150 through a robot arm outside the chamber 110 . As another embodiment, the control unit may align the positions of the deposition source 160 and the mask assembly 150 based on the positions of the substrate 21 and the mask assembly 150 measured by the vision unit 140. .

압력조절부(170)는 챔버(110)에 연결되어 챔버(110) 내부의 기체를 외부로 배출시킬 수 있다. 이때, 압력조절부(170)는 챔버(110)에 연결되는 연결배관(171)과, 연결배관(171)에 설치되는 압력조절펌프(172)를 포함할 수 있다. 압력조절펌프(172)는 작동에 따라서 챔버(110) 내부의 압력을 대기압 또는 진공 상태로 유지시킬 수 있다. The pressure regulator 170 may be connected to the chamber 110 to discharge gas inside the chamber 110 to the outside. At this time, the pressure regulator 170 may include a connection pipe 171 connected to the chamber 110 and a pressure control pump 172 installed in the connection pipe 171 . The pressure control pump 172 may maintain the pressure inside the chamber 110 at atmospheric pressure or vacuum according to operation.

접촉부(121, 122)는 기판(21)과 접촉하여 기판(21)과 마스크 조립체(150)를 밀착시킬 수 있다. 또한, 접촉부(121, 122)는 기판(21)과 접촉하여 기판(21)의 온도를 조절하는 것도 가능하다. 예를 들면, 접촉부(121, 122)는 마스크 조립체(150)에 자기력을 제공하는 자기력부(121)와, 자기력부(121)와 기판(21) 사이에 배치되는 냉각플레이트(122)를 포함할 수 있다. 이때, 냉각플레이트(122)는 기판(21)과 접촉할 수 있으며, 기판(21)에 증착물질이 증착 시 기판(21)의 온도를 하강시킬 수 있다.The contact portions 121 and 122 may contact the substrate 21 to bring the substrate 21 and the mask assembly 150 into close contact. In addition, the contact portions 121 and 122 may contact the substrate 21 to adjust the temperature of the substrate 21 . For example, the contact portions 121 and 122 may include a magnetic force portion 121 providing magnetic force to the mask assembly 150 and a cooling plate 122 disposed between the magnetic force portion 121 and the substrate 21. can At this time, the cooling plate 122 may come into contact with the substrate 21 , and when a deposition material is deposited on the substrate 21 , the temperature of the substrate 21 may be lowered.

상기와 같은 표시장치의 제조장치(100)의 작동방법을 살펴보면, 외부로부터 마스크 조립체(150)를 챔버(110)로 삽입할 수 있다. 마스크 조립체(150)를 지지부(130)에 안착시킬 수 있다. 이때, 마스크 조립체(150)는 챔버(110) 외부에 별도로 구비되는 로봇암 등을 통하여 챔버(110) 외부로부터 챔버(110) 내부로 진입할 수 있다. 다른 실시예로서 마스크 조립체(150)는 챔버(110)와 연결되며, 마스크 조립체(150)를 저장하는 별도의 챔버에서 공급되는 것도 가능하다. Looking at the operation method of the display device manufacturing apparatus 100 as described above, the mask assembly 150 may be inserted into the chamber 110 from the outside. The mask assembly 150 may be seated on the support 130 . At this time, the mask assembly 150 may enter the inside of the chamber 110 from the outside of the chamber 110 through a robot arm or the like provided separately outside the chamber 110 . As another embodiment, the mask assembly 150 is connected to the chamber 110 and may be supplied from a separate chamber storing the mask assembly 150 .

상기의 과정이 완료되면, 기판(21)을 챔버(110) 외부에서 로봇암을 통하여 마스크 조립체(150) 상에 배치할 수 있다. 이때, 비젼부(140)에서 촬영된 이미지를 근거로 기판(21)과 마스크 조립체(150)의 위치를 조절할 수 있다. When the above process is completed, the substrate 21 may be placed on the mask assembly 150 from the outside of the chamber 110 through the robot arm. At this time, the positions of the substrate 21 and the mask assembly 150 may be adjusted based on the image captured by the vision unit 140 .

상기의 과정이 완료되면 접촉부(121, 122)는 기판(21)의 일면에 접촉할 수 있다. 이러한 경우 지지부(130) 또는 접촉부(121, 122)는 선형 운동 가능하도록 배치될 수 있다. 일 실시예로서 지지부(130)가 승하강하는 경우 지지부(130)가 승강 함으로써 기판(21)을 접촉부(121, 122)에 접촉시킬 수 있다. 다른 실시예로서 접촉부(121, 122)가 승하강하는 경우 접촉부(121, 122)가 하강하여 접촉부(121, 122)는 기판(21)과 접촉할 수 있다. When the above process is completed, the contact portions 121 and 122 may contact one surface of the substrate 21 . In this case, the support part 130 or the contact parts 121 and 122 may be arranged to be linearly movable. As an example, when the support part 130 moves up and down, the substrate 21 can come into contact with the contact parts 121 and 122 by moving the support part 130 up and down. In another embodiment, when the contact parts 121 and 122 move up and down, the contact parts 121 and 122 move down so that the contact parts 121 and 122 may come into contact with the substrate 21 .

상기와 같이 접촉부(121, 122)가 하강하는 경우 기판(21)과 접촉하여 기판(21)을 마스크 조립체(150)에 밀착시킬 있다. 이때, 기판(21)을 마스크 조립체(150)에 밀착시키는 방법은 접촉부(121, 122)가 기판(21)을 마스크 조립체(150) 측으로 힘을 가하는 방법과 마스크 조립체(150)에 자기력을 제공하여 마스크 조립체(150)를 접촉부(121, 122) 측으로 끌어당김으로써 기판(21)과 마스크 조립체(150)를 밀착시킬 수 있다. As described above, when the contact portions 121 and 122 descend, they contact the substrate 21 to bring the substrate 21 into close contact with the mask assembly 150 . At this time, the method of bringing the substrate 21 into close contact with the mask assembly 150 is a method in which the contact portions 121 and 122 apply force to the substrate 21 toward the mask assembly 150 and a method in which magnetic force is provided to the mask assembly 150. By pulling the mask assembly 150 toward the contact portions 121 and 122 , the substrate 21 and the mask assembly 150 may be brought into close contact with each other.

상기와 같은 경우 마스크 시트(152)의 제1돌기(152a)와 제1지지프레임(153)의 제2돌기(153a) 중 적어도 하나는 마스크 시트(152)의 상면(즉, 기판(21)과 접촉하는 마스크 시트(152)의 면)보다 기판(21) 측으로 돌출될 수 있으며, 제1돌기(152a)와 제2돌기(153a) 중 적어도 하나는 기판(21)에 과도한 힘을 제공할 수 있다. In the above case, at least one of the first protrusion 152a of the mask sheet 152 and the second protrusion 153a of the first support frame 153 is formed on the upper surface of the mask sheet 152 (ie, the substrate 21 and the substrate 21). It may protrude toward the substrate 21 rather than the contacting surface of the mask sheet 152, and at least one of the first protrusion 152a and the second protrusion 153a may provide excessive force to the substrate 21. .

상기와 같은 경우 제1돌기(152a)와 제2돌기(153a)는 홈(151a)의 내면에 접촉하지 않음으로써 상기와 같은 힘이 발생하는 경우 제1돌기(152a)와 제2돌기(153a)가 배치된 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단은 홈(151a)의 내부로 삽입될 수 있다. 즉, 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단은 평면 상에서 볼 때 홈(151a)의 경계에 배치되지 않고 홈(151a)의 내부에 배치됨으로써 외팔보 형태가 될 수 있다. 이러한 경우 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단은 자유롭게 흔들리 수 있는 구조가 되므로 기판(21)에 가해지는 힘에 의하여 기판(21)에 지속적으로 힘을 가하는 것이 아니라 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단이 변형될 수 있다. In the above case, the first protrusion 152a and the second protrusion 153a do not contact the inner surface of the groove 151a, and thus the first protrusion 152a and the second protrusion 153a The end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 may be inserted into the groove 151a. That is, the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 may be disposed inside the groove 151a rather than at the boundary of the groove 151a when viewed from a plan view, thereby forming a cantilever shape. In this case, since the end of the mask sheet 152 and the end of the first support frame 153 have a structure that can be freely shaken, the force applied to the substrate 21 is not continuously applied to the substrate 21, but An end of the mask sheet 152 and an end of the first support frame 153 may be deformed.

상기와 같은 경우 마스크 시트(152)의 끝단과 제1지지프레임(153)의 끝단이 기판(21)에 가하는 힘이 감소함으로써 기판(21)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. In the above case, since the force applied to the substrate 21 by the ends of the mask sheet 152 and the ends of the first support frame 153 is reduced, it is possible to prevent the substrate 21 from being damaged.

상기의 과정이 완료되면, 히터(160a)가 작동하여 증착물질이 기화 또는 승화하면 증착물질은 마스크 조립체(150)를 통과하여 기판(21)에 증착될 수 있다. 이때, 냉각플레이트(122)가 작동하여 기판(21)의 온도를 하강시킴으로써 증착물질이 기판(21)에 증착된 후 이탈되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 압력조절펌프(172)가 작동하여 챔버(110) 내부의 증착물질을 외부로 배출시킬 수 있다. When the above process is completed, when the heater 160a is operated to vaporize or sublimate the deposition material, the deposition material may pass through the mask assembly 150 and be deposited on the substrate 21 . At this time, since the cooling plate 122 operates to lower the temperature of the substrate 21 , it is possible to prevent the deposition material from being separated after being deposited on the substrate 21 . In addition, the pressure regulating pump 172 may operate to discharge the deposition material inside the chamber 110 to the outside.

따라서 표시장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 증착물질을 기판(21)에 증착 시 기판(21)이 파손되는 것을 방지할 수 있다. 표시장치의 제조장치(100) 및 표시장치의 제조방법은 증착 시 기판(21)의 파손을 방지함으로써 제품의 품질을 향상시킬 수 있을 뿐만 아니라 제조 시 발생하는 불량을 최소화할 수 있다. Therefore, the display device manufacturing apparatus 100 and the display device manufacturing method can prevent the substrate 21 from being damaged when the deposition material is deposited on the substrate 21 . The display device manufacturing apparatus 100 and the display device manufacturing method prevent damage to the substrate 21 during deposition, thereby improving product quality and minimizing defects occurring during manufacturing.

표시장치의 제조장치(100) 및 표시 장치의 제조방법은 기판(21)의 파손으로 인하여 제조된 표시 장치의 수명이 저감되는 것을 방지할 수 있다. The apparatus 100 for manufacturing a display device and the method for manufacturing a display device can prevent a decrease in the lifespan of a manufactured display device due to damage to the substrate 21 .

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 표시 장치를 보여주는 평면도이다. 도 7은 도 6에 도시된 표시 장치를 보여주는 단면도이다.6 is a plan view illustrating a display device according to an exemplary embodiment of the present invention. FIG. 7 is a cross-sectional view showing the display device shown in FIG. 6 .

도 6 및 도 7을 참고하면, 표시 장치(20)는 기판(21) 상에서 표시 영역(DA)과 표시 영역(DA)의 외곽에 비표시 영역이 정의할 수 있다. 표시 영역(DA)에는 발광부(D)가 배치되고, 비표시 영역에는 전원 배선(미도시) 등이 배치될 수 있다. 또한, 비표시 영역에는 패드부(C)가 배치될 수 있다.Referring to FIGS. 6 and 7 , the display device 20 may define a display area DA and a non-display area outside the display area DA on the substrate 21 . A light emitting unit D may be disposed in the display area DA, and a power wiring (not shown) may be disposed in the non-display area. Also, a pad part C may be disposed in the non-display area.

표시 장치(20)는 기판(21) 및 발광부(D)를 포함할 수 있다. 또한, 표시 장치(20)는 발광부(D)의 상부에 형성되는 박막 봉지층(E) 을 포함할 수 있다. 이때, 기판(21)은 플라스틱재를 사용할 수 있으며, SUS, Ti과 같은 금속재를 사용할 수도 있다. 또한, 기판(21)는 폴리이미드(PI, Polyimide)를 사용할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)이 폴리이미드로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The display device 20 may include a substrate 21 and a light emitting part D. In addition, the display device 20 may include a thin film encapsulation layer E formed on the light emitting portion D. At this time, the substrate 21 may be made of a plastic material or a metal material such as SUS or Ti. In addition, the substrate 21 may use polyimide (PI, Polyimide). Hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the substrate 21 is formed of polyimide will be described in detail.

기판(21) 상에 발광부(D)가 형성될 수 있다. 이때, 발광부(D)는 박막 트랜지스터(TFT) 이 구비되고, 이들을 덮도록 패시베이션막(27)이 형성되며, 이 패시베이션막(27) 상에 유기 발광 소자(28)가 형성될 수 있다.A light emitting part D may be formed on the substrate 21 . At this time, the light emitting unit D is provided with a thin film transistor (TFT), a passivation film 27 is formed to cover them, and an organic light emitting element 28 may be formed on the passivation film 27 .

기판(21)은 단일층 또는 복수의 층을 포함할 수 있다. 일 실시예로서 기판(21)이 단일층인 경우 기판(21)은 폴리이미드(polyimide: PI), 폴리에테르술폰(PES, polyethersulfone), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르 이미드(PEI, polyetherimide), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN, polyethyelenene napthalate), 폴리에틸렌 테레프탈레이드(PET, polyethyeleneterepthalate), 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide: PPS), 폴리카보네이트(PC), 셀룰로오스 트리 아세테이트(TAC), 또는/및 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트(cellulose acetate propionate: CAP) 등을 포함할 수 있다. 다른 실시예로서 기판(21)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 무기층을 포함하는 다층 구조일 수 있다. 예컨대, 기판(21)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층과 무기절연층의 배리어층을 포함할 수 있다. 이하에서는 설명의 편의를 위하여 기판(21)은 고분자 수지를 포함하는 베이스층 및 무기층을 포함하는 다층 구조인 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다.The substrate 21 may include a single layer or a plurality of layers. As an example, when the substrate 21 is a single layer, the substrate 21 is made of polyimide (PI), polyethersulfone (PES), polyarylate, or polyetherimide (PEI). ), polyethylenene napthalate (PEN), polyethyeleneterepthalate (PET), polyphenylene sulfide (PPS), polycarbonate (PC), cellulose triacetate (TAC), or/and cellulose acetate Propionate (cellulose acetate propionate: CAP) and the like may be included. As another embodiment, the substrate 21 may have a multilayer structure including a base layer including a polymer resin and an inorganic layer. For example, the substrate 21 may include a base layer including a polymer resin and a barrier layer of an inorganic insulating layer. Hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the substrate 21 has a multilayer structure including a base layer including a polymer resin and an inorganic layer will be described in detail.

기판(21)의 상면에는 유기화합물 및/또는 무기화합물로 이루어진 버퍼층(22)이 더 형성되는 데, SiO_x(x≥1), SiN_x(x≥1)로 형성될 수 있다.A buffer layer 22 made of an organic compound and/or an inorganic compound is further formed on the upper surface of the substrate 21, and may be formed of SiO _x (x≥1) or SiN _x (x≥1).

이 버퍼층(22) 상에 소정의 패턴으로 배열된 활성층(23)이 형성된 후, 활성층(23)이 게이트 절연층(24)에 의해 매립된다. 활성층(23)은 소스 영역(23a)과 드레인 영역(23c)을 갖고, 그 사이에 채널 영역(23b)을 더 포함한다. After the active layer 23 arranged in a predetermined pattern is formed on the buffer layer 22, the active layer 23 is buried by the gate insulating layer 24. The active layer 23 has a source region 23a and a drain region 23c, and further includes a channel region 23b therebetween.

이러한 활성층(23)은 다양한 물질을 함유하도록 형성될 수 있다. 예를 들면, 활성층(23)은 비정질 실리콘 또는 결정질 실리콘과 같은 무기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다른 예로서 활성층(23)은 산화물 반도체를 함유할 수 있다. 또 다른 예로서, 활성층(23)은 유기 반도체 물질을 함유할 수 있다. 다만, 이하에서는 설명의 편의를 위하여 활성층(23)이 비정질 실리콘으로 형성되는 경우를 중심으로 상세히 설명하기로 한다. This active layer 23 may be formed to contain various materials. For example, the active layer 23 may contain an inorganic semiconductor material such as amorphous silicon or crystalline silicon. As another example, the active layer 23 may contain an oxide semiconductor. As another example, the active layer 23 may contain an organic semiconductor material. However, hereinafter, for convenience of explanation, a case in which the active layer 23 is formed of amorphous silicon will be described in detail.

이러한 활성층(23)은 버퍼층(22) 상에 비정질 실리콘막을 형성한 후, 이를 결정화하여 다결정질 실리콘막으로 형성하고, 이 다결정질 실리콘막을 패터닝하여 형성할 수 있다. 상기 활성층(23)은 구동 박막트랜지스터(미도시), 스위칭 박막 트랜지스터(미도시) 등 박막 트랜지스터 종류에 따라, 그 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23c)이 불순물에 의해 도핑된다. The active layer 23 may be formed by forming an amorphous silicon film on the buffer layer 22, crystallizing the amorphous silicon film, and then patterning the polycrystalline silicon film. The active layer 23 is doped with impurities in its source region 23a and drain region 23c depending on the type of thin film transistor, such as a driving thin film transistor (not shown) and a switching thin film transistor (not shown).

게이트 절연층(24)의 상면에는 활성층(23)과 대응되는 게이트 전극(25)과 이를 매립하는 층간 절연층(26)이 형성된다. A gate electrode 25 corresponding to the active layer 23 and an interlayer insulating layer 26 filling the gate electrode 25 are formed on the upper surface of the gate insulating layer 24 .

그리고, 층간 절연층(26)과 게이트 절연층(24)에 콘택홀(H1)을 형성한 후, 층간 절연층(26) 상에 소스 전극(27a) 및 드레인 전극(27b)을 각각 소스 영역(23a) 및 드레인 영역(23c)에 콘택되도록 형성한다. Then, after forming the contact hole H1 in the interlayer insulating layer 26 and the gate insulating layer 24, the source electrode 27a and the drain electrode 27b are respectively formed on the interlayer insulating layer 26 in the source region ( 23a) and the drain region 23c.

이렇게 형성된 상기 박막 트랜지스터의 상부로는 패시베이션막(27)이 형성되고, 이 패시베이션막(27) 상부에 유기 발광 소자(28, OLED)의 화소 전극(28a)이 형성된다. 이 화소 전극(28a)은 패시베이션막(27)에 형성된 비아 홀(H2)에 의해 박막 트랜지스터의 드레인 전극(27b) 또는 소스 전극(27a)에 콘택된다. 상기 패시베이션막(27)은 무기물 및/또는 유기물, 단층 또는 2개층 이상으로 형성될 수 있는 데, 하부 막의 굴곡에 관계없이 상면이 평탄하게 되도록 평탄화막으로 형성될 수도 있는 반면, 하부에 위치한 막의 굴곡을 따라 굴곡이 가도록 형성될 수 있다. 그리고, 이 패시베이션막(27)은, 공진 효과를 달성할 수 있도록 투명 절연체로 형성되는 것이 바람직하다.A passivation film 27 is formed above the thin film transistor thus formed, and a pixel electrode 28a of an organic light emitting element 28 (OLED) is formed on the passivation film 27. The pixel electrode 28a is in contact with the drain electrode 27b or the source electrode 27a of the thin film transistor through a via hole H2 formed in the passivation film 27. The passivation film 27 may be formed of an inorganic material and/or organic material, a single layer, or two or more layers, and may be formed as a planarization film so that the upper surface is flat regardless of the curvature of the lower film, while the curvature of the lower film. It can be formed so that the curve goes along. And, it is preferable that this passivation film 27 is formed of a transparent insulator so that a resonance effect can be achieved.

패시베이션막(27) 상에 화소 전극(28a)을 형성한 후에는 이 화소 전극(28a) 및 패시베이션막(27)을 덮도록 화소 정의막(29)이 유기물 및/또는 무기물에 의해 형성되고, 화소 전극(28a)이 노출되도록 개구된다.After the pixel electrode 28a is formed on the passivation film 27, a pixel defining film 29 is formed of an organic material and/or an inorganic material so as to cover the pixel electrode 28a and the passivation film 27. It is opened so that the electrode 28a is exposed.

그리고, 적어도 상기 화소 전극(28a) 상에 중간층(28b) 및 대향 전극(28c)이 형성된다.An intermediate layer 28b and a counter electrode 28c are formed on at least the pixel electrode 28a.

화소 전극(28a)은 애노드 전극의 기능을 하고, 대향 전극(28c)은 캐소오드 전극의 기능을 하는 데, 물론, 이들 화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)의 극성은 반대로 되어도 무방하다. The pixel electrode 28a functions as an anode electrode, and the counter electrode 28c functions as a cathode electrode. Of course, the polarities of the pixel electrode 28a and the counter electrode 28c may be reversed.

화소 전극(28a)과 대향 전극(28c)은 상기 중간층(28b)에 의해 서로 절연되어 있으며, 중간층(28b)에 서로 다른 극성의 전압을 가해 유기 발광층에서 발광이 이뤄지도록 한다.The pixel electrode 28a and the counter electrode 28c are insulated from each other by the intermediate layer 28b, and voltages of different polarities are applied to the intermediate layer 28b to emit light from the organic light emitting layer.

중간층(28b)은 유기 발광층을 구비할 수 있다. 선택적인 다른 예로서, 중간층(28b)은 유기 발광층(organic emission layer)을 구비하고, 그 외에 정공 주입층(HIL:hole injection layer), 정공 수송층(hole transport layer), 전자 수송층(electron transport layer) 및 전자 주입층(electron injection layer) 중 적어도 하나를 더 구비할 수 있다. 본 실시예는 이에 한정되지 아니하고, 중간층(28b)이 유기 발광층을 구비하고, 기타 다양한 기능층(미도시)을 더 구비할 수 있다. The intermediate layer 28b may include an organic emission layer. As another selective example, the intermediate layer 28b includes an organic emission layer and, in addition, a hole injection layer (HIL), a hole transport layer, and an electron transport layer. and at least one of an electron injection layer. The present embodiment is not limited thereto, and the intermediate layer 28b may include an organic light emitting layer and may further include various other functional layers (not shown).

이때, 상기와 같은 중간층(28b)은 상기에서 설명한 표시장치의 제조장치(미도시)를 통하여 형성될 수 있다. 예를 들면, 중간층(28b) 중 유기 발광층은 상기에서 설명한 표시장치의 제조장치를 통하여 형성될 수 있다. In this case, the intermediate layer 28b as described above may be formed through the manufacturing apparatus (not shown) of the display device described above. For example, the organic light emitting layer of the intermediate layer 28b may be formed through the manufacturing apparatus of the display device described above.

한편, 하나의 단위 화소는 복수의 부화소로 이루어지는데, 복수의 부화소는 다양한 색의 빛을 방출할 수 있다. 예를 들면 복수의 부화소는 각각 적색, 녹색 및 청색의 빛을 방출하는 부화소를 구비할 수 있고, 적색, 녹색, 청색 및 백색의 빛을 방출하는 부화소(미표기)를 구비할 수 있다. Meanwhile, one unit pixel is composed of a plurality of sub-pixels, and the plurality of sub-pixels can emit light of various colors. For example, the plurality of subpixels may include subpixels emitting red, green, and blue light, respectively, and may include subpixels (not shown) emitting red, green, blue, and white light.

한편, 상기와 같은 박막 봉지층(E)은 복수의 무기층들을 포함하거나, 무기층 및 유기층을 포함할 수 있다.Meanwhile, the thin film encapsulation layer E as described above may include a plurality of inorganic layers or may include an inorganic layer and an organic layer.

박막 봉지층(E)의 상기 유기층은 고분자로 형성되며, 바람직하게는 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴라카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 더욱 바람직하게는, 상기 유기층은 폴리아크릴레이트로 형성될 수 있으며, 구체적으로는 디아크릴레이트계 모노머와 트리아크릴레이트계 모노머를 포함하는 모노머 조성물이 고분자화된 것을 포함할 수 있다. 상기 모노머 조성물에 모노아크릴레이트계 모노머가 더 포함될 수 있다. 또한, 상기 모노머 조성물에 TPO와 같은 공지의 광개시제가 더욱 포함될 수 있으나 이에 한정되는 것은 아니다.The organic layer of the thin film encapsulation layer (E) is formed of a polymer, and preferably may be a single film or a laminated film formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene and polyacrylate. More preferably, the organic layer may be formed of polyacrylate, and specifically, may include a polymerized monomer composition including a diacrylate-based monomer and a triacrylate-based monomer. A monoacrylate-based monomer may be further included in the monomer composition. In addition, a known photoinitiator such as TPO may be further included in the monomer composition, but is not limited thereto.

박막 봉지층(E)의 상기 무기층은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 구체적으로, 상기 무기층은 SiNx, Al₂O₃, SiO₂, TiO₂ 중 어느 하나를 포함할 수 있다.The inorganic layer of the thin film encapsulation layer E may be a single layer or a multi-layered layer including a metal oxide or a metal nitride. Specifically, the inorganic layer may include any one of SiNx, Al ₂ O ₃ , SiO ₂ , and TiO ₂ .

박막 봉지층(E) 중 외부로 노출된 최상층은 유기 발광 소자에 대한 투습을 방지하기 위하여 무기층으로 형성될 수 있다.An uppermost layer exposed to the outside of the thin film encapsulation layer E may be formed of an inorganic layer in order to prevent permeation of moisture into the organic light emitting device.

박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 적어도 하나 포함할 수 있다. 또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 적어도 2개의 무기층 사이에 적어도 하나의 유기층이 삽입된 샌드위치 구조 및 적어도 2개의 유기층 사이에 적어도 하나의 무기층이 삽입된 샌드위치 구조를 포함할 수도 있다. The thin film encapsulation layer E may include at least one sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers. As another example, the thin film encapsulation layer E may include at least one sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. As another example, the thin film encapsulation layer E may include a sandwich structure in which at least one organic layer is inserted between at least two inorganic layers and a sandwich structure in which at least one inorganic layer is inserted between at least two organic layers. .

박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층을 포함할 수 있다. The thin film encapsulation layer E may include a first inorganic layer, a first organic layer, and a second inorganic layer sequentially from the top of the organic light emitting diode OLED.

다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 제2 유기층, 제3 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may sequentially include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, and a third inorganic layer from the top of the organic light emitting diode OLED.

또 다른 예로서, 박막 봉지층(E)은 상기 유기 발광 소자(OLED)의 상부로부터 순차적으로 제1 무기층, 제1 유기층, 제2 무기층, 상기 제2 유기층, 제3 무기층, 제3 유기층, 제4 무기층을 포함할 수 있다. As another example, the thin film encapsulation layer E may sequentially include a first inorganic layer, a first organic layer, a second inorganic layer, a second organic layer, a third inorganic layer, and a third inorganic layer from the top of the organic light emitting diode OLED. An organic layer and a fourth inorganic layer may be included.

유기 발광 소자(OLED)와 제1 무기층 사이에 LiF를 포함하는 할로겐화 금속층이 추가로 포함될 수 있다. 상기 할로겐화 금속층은 제1 무기층을 스퍼터링 방식으로 형성할 때 상기 유기 발광 소자(OLED)가 손상되는 것을 방지할 수 있다.A metal halide layer including LiF may be further included between the organic light emitting diode (OLED) and the first inorganic layer. The metal halide layer may prevent the organic light emitting diode OLED from being damaged when the first inorganic layer is formed by sputtering.

제1 유기층은 제2 무기층 보다 면적이 좁게 할 수 있으며, 상기 제2 유기층도 제3 무기층 보다 면적이 좁을 수 있다.The first organic layer may have a smaller area than the second inorganic layer, and the second organic layer may also have a smaller area than the third inorganic layer.

따라서 표시 장치(20)는 정밀한 패턴을 형성하는 중간층(28b)을 구비하고, 중간층(28b)이 정확한 위치에 증착되어 형성됨으로써 정밀한 이미지 구현이 가능하다. 또한, 표시 장치(20)는 반복적으로 중간층(28b)을 증착하더라도 일정한 패턴을 형성함으로써 지속적인 생산에 따라 균일한 품질을 나타낸다.Accordingly, the display device 20 includes an intermediate layer 28b forming a precise pattern, and since the intermediate layer 28b is deposited and formed at an accurate location, precise images can be realized. In addition, the display device 20 exhibits uniform quality according to continuous production by forming a constant pattern even when the intermediate layer 28b is repeatedly deposited.

이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 하여 설명하였으나 이는 예시적인 것에 불과하며 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 실시예의 변형이 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.As such, the present invention has been described with reference to one embodiment shown in the drawings, but this is merely exemplary, and those skilled in the art will understand that various modifications and variations of the embodiment are possible therefrom. Therefore, the true technical scope of protection of the present invention should be determined by the technical spirit of the appended claims.

100: 표시 장치의 제조장치
110: 챔버
121: 자기력부
122: 냉각플레이트
130: 지지부
140: 비젼부
150: 마스크 조립체
151: 마스크 프레임
152: 마스크 시트
153: 제1지지프레임
154: 제2지지프레임
160: 증착원
170: 압력조절부
20: 표시 장치
21: 기판100: display device manufacturing device
110: chamber
121: magnetic force part
122: cooling plate
130: support
140: vision unit
150: mask assembly
151: mask frame
152: mask sheet
153: first support frame
154: second support frame
160: deposition source
170: pressure control unit
20: display device
21: substrate

Claims

a mask frame having an opening area and having a groove;
a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction; and
A first support frame disposed on top of the mask sheet, disposed to cross the opening area, and disposed between the mask sheets adjacent to each other among the plurality of mask sheets,
A mask assembly in which an end of the mask sheet and an end of the first support frame are disposed inside the groove when viewed from a plan view.

According to claim 1,
The groove is a mask assembly extending in the first direction.

According to claim 1,
At least one of the sides of the groove is inclined mask assembly.

According to claim 3,
Of the side surfaces of the groove, the inclined side faces lower toward the central portion of the groove from the rim of the groove.

According to claim 1,
At least one of the end of the mask sheet and the end of the first support frame protrudes in a direction away from the mask frame.

According to claim 1,
The mask assembly further comprising a second support frame disposed on the mask frame to cross the opening area and to cross the first support frame.

a mask assembly disposed to face the substrate; and
A deposition source disposed on the opposite side of the substrate with respect to the mask assembly to supply a deposition material to the substrate; includes,
The mask assembly,
a mask frame having an opening area and having a groove;
a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction; and
A first support frame disposed on top of the mask sheet, disposed to cross the opening area, and disposed between the mask sheets adjacent to each other among the plurality of mask sheets,
An apparatus for manufacturing a display device in which an end of the mask sheet and an end of the first support frame are disposed inside the groove when viewed from a plan view.

According to claim 7,
wherein the groove extends in the first direction.

According to claim 7,
At least one of the side surfaces of the groove is inclined.

According to claim 9,
Among the sides of the groove, the inclined side is lowered from the rim of the groove toward the central portion of the groove.

According to claim 7,
At least one of the end of the mask sheet and the end of the first support frame protrudes in a direction away from the mask frame.

According to claim 7,
The apparatus for manufacturing a display device further comprising a second support frame disposed on the mask frame to cross the opening area and to cross the first support frame.

According to claim 7,
The apparatus for manufacturing a display device further comprising a cooling plate disposed on an opposite side of the mask assembly with respect to the substrate.

According to claim 7,
The manufacturing apparatus of a display device further comprising; a magnetic force part disposed on the opposite side of the mask assembly with the substrate as the center.

placing a substrate on the mask assembly;
contacting a cooling plate on the substrate; and
Supplying a deposition material from a deposition source and depositing the deposition material passing through the mask assembly on the substrate;
The mask assembly,
a mask frame having an opening area and having a groove;
a plurality of mask sheets disposed in the opening area and spaced apart from each other in a first direction;
A first support frame disposed on the upper portion of the mask sheet, disposed to cross the opening area, and disposed between adjacent mask sheets among the plurality of mask sheets,
The manufacturing method of the display device of claim 1 , wherein an end of the mask sheet and an end of the first support frame are disposed inside the groove when viewed from a plan view.

According to claim 15,
The groove extends in the first direction.

According to claim 15,
At least one of the side surfaces of the groove is inclined.

According to claim 15,
At least one of the end of the mask sheet and the end of the first support frame protrudes in a direction away from the mask frame.

According to claim 15,
The method of manufacturing a display device further comprising a second support frame disposed on the mask frame to cross the opening area and cross the first support frame.

According to claim 15,
The method of manufacturing a display device further comprising: applying magnetic force to the mask assembly to bring the mask assembly into close contact with the substrate.