KR20230011526A - 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판 및 대상 기판을 이용한 잉크젯 프린팅 방법 - Google Patents

잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판 및 대상 기판을 이용한 잉크젯 프린팅 방법 Download PDF

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Abstract

일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 공정은 스테이지 상에 대상 기판을 로딩하는 단계, 잉크젯 헤드를 상기 대상 기판 상에 배치하는 단계, 그리고 상기 대상 기판 상에 잉크를 토출하는 단계를 포함하고, 상기 대상 기판은, 행렬 형태로 배치된 복수의 패널 영역을 포함하고, 상기 복수의 패널 영역 중 적어도 일부는 제1 방향을 따라 쉬프트된다.

Description

잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판 및 대상 기판을 이용한 잉크젯 프린팅 방법 {SUBSTRATE FOR INKJET PRITING PROCESS AND INKJET PRINTING METHOD USING THE SUBSTRATE}
본 개시는 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판 및 대상 기판을 이용한 잉크젯 프린팅 방법에 관한 것이다.
표시 장치는 화면을 표시하는 장치로서, 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display, LCD), 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode, OLED) 등이 있다. 이러한 표시 장치는 휴대 전화, 네비게이션, 디지털 사진기, 전자 북, 휴대용 게임기, 또는 각종 단말기 등과 같이 다양한 전자 기기들에 사용되고 있다.
이러한 표시 장치를 제조하는 과정에서 유기 발광층, 색 필터 등과 같은 층을 형성하기 위해 잉크젯 프린팅 공정이 이용될 수 있다.
실시예들은 1회 잉크젯 프린팅 공정에서 잉크가 토출되는 노즐의 개수를 증가시켜, 노즐의 사용률을 향상시키기 위한 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판, 및 이를 이용한 잉크젯 프린팅 방법을 제공하고자 한다. 이를 통해 안정적인 토출 상태를 가지는 노즐을 사용하는 잉크젯 프린팅 방법을 제공하고자 한다.
일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판은 행렬 형태로 배치된 복수의 패널 영역을 포함하고, 상기 복수의 패널 영역 중 적어도 일부는 제1 방향을 따라 쉬프트된다.
상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고, 복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리일 수 있다.
상기 제1 거리는 0.2 mm 내지 0.3 mm일 수 있다.
상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 인접한 패널 영역들의 가장자리 사이의 거리는 제2 거리일 수 있다.
상기 제2 거리는 0.1 mm 내지 50 마이크로미터일 수 있다.
일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 공정은 스테이지 상에 대상 기판을 로딩하는 단계, 잉크젯 헤드를 상기 대상 기판 상에 배치하는 단계, 그리고 상기 잉크젯 헤드가 이동하면서 상기 대상 기판 상에 잉크를 토출하는 단계를 포함하고, 상기 대상 기판은, 행렬 형태로 배치된 복수의 패널 영역을 포함하고, 상기 복수의 패널 영역 중 적어도 일부는 제1 방향을 따라 쉬프트된다.
상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 이동할 수 있다.
상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 포함하고, 상기 복수의 노즐은, n번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제1 노즐 세트, 그리고 n+1 번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제2 노즐 세트를 포함할 수 있다.
상기 제1 노즐 세트와 상기 제2 노즐 세트는 서로 다른 노즐을 하나 이상 포함할 수 있다.
상기 복수의 노즐은 n+2번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제3 노즐 세트를 더 포함할 수 있다.
상기 제3 노즐 세트는 상기 제1 노즐 세트 및 상기 제2 노즐 세트와 서로 다른 노즐을 하나 이상을 포함할 수 있다.
상기 제1 노즐 세트, 상기 제2 노즐 세트 및 상기 제3 노즐 세트는 교번하여 배치될 수 있다.
상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 포함하고, 상기 잉크젯 헤드가 제2 방향을 따라 1회 이동하며 잉크를 토출하는 공정에서, 상기 복수의 노즐 중 50% 이상의 노즐이 사용될 수 있다.
상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고, 복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리일 수 있다.
상기 제1 거리는 0.2 mm 내지 0.3 mm일 수 있다.
상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 인접한 패널 영역들의 가장자리 사이의 거리는 제2 거리일 수 있다.
상기 제2 거리는 0.1 mm 내지 50 마이크로미터일 수 있다.
상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고, 상기 복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리이며, 상기 복수의 패널 영역은 상기 제1 방향을 따라 적어도 제2 거리만큼 쉬프트되고, 상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작을 수 있다.
n번째 행에 배치된 패널 영역의 가장자리를 기준으로, n+1번째 행에 배치된 패널 영역은 적어도 상기 제2 거리만큼 상기 제1 방향을 따라 쉬프트될 수 있다.
n+1번째 행에 배치된 패널 영역의 가장자리를 기준으로, n+2번째 행에 배치된 패널 영역은 적어도 상기 제2 거리만큼 상기 제1 방향을 따라 쉬프트될 수 있다.
실시예들에 따른 대상 기판을 사용하면 잉크젯 헤드가 1회 이동하는 공정에서 잉크가 토출되는 노즐의 개수를 증가시켜, 노즐의 사용률을 향상시킬 수 있다. 이를 통해 안정적인 토출 상태를 가지는 노즐을 이용하는 잉크젯 프린팅 방법을 제공할 수 있다. 이러한 잉크젯 프린팅 방법을 이용하여 신뢰성이 향상된 표시 패널을 제공할 수 있다.
도 1은 일 실시예에 따른 대상 기판의 개략적인 평면도이다.
도 2는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도이다.
도 3은 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 개략적인 평면도이다.
도 4는 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 동작을 나타내는 개략도이다.
도 5는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 방법에 대한 순서도이다.
도 6은 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 방법을 사용하는 표시 패널의 제조 방법에 관한 개략도이다.
도 7은 비교예에 따른 잉크젯 프린팅 방법을 사용하는 표시 패널의 제조 방법에 관한 개략도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
이하에서는 도 1을 참조하여 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판에 대해 살펴본다. 도 1은 일 실시예에 따른 대상 기판의 개략적인 평면도이다.
도 1을 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판(SUB)은 복수의 패널 영역(PA)을 포함할 수 있다. 복수의 패널 영역(PA)은 가장자리를 따라 절단되어, 복수의 패널을 형성할 수 있다. 본 명세서는 하나의 대상 기판(SUB)이 6개의 패널 영역(PA)을 포함하는 실시예를 도시하였으나 이러한 개수에 제한되는 것은 아니다.
일 실시예에 따른 복수의 패널 영역(PA)은 제1 방향(DR1)을 따라 일부의 패널 영역(PA)이 쉬프트된 상태로 배치될 수 있다. 구체적으로 1행에 배치된 패널 영역(PA1)의 가장자리를 기준으로, 2행에 배치된 패널 영역(PA2)의 가장자리는 제1 방향을 따라 제2 거리(d2)만큼 쉬프트되도록 배치될 수 있다. 또한 2행에 배치된 패널 영역(PA2)의 가장자리를 기준으로, 3행에 배치된 패널 영역(PA3)의 가장자리는 제1 방향을 따라 제2 거리(d2)만큼 쉬프트되도록 배치될 수 있다. 본 명세서는 2행 및 3행 각각에 배치된 패널 영역(PA2, PA3)이 1행에 배치된 패널 영역(PA1) 대비 쉬프트된 상태로 배치되는 실시예를 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 다양한 형태로 쉬프트될 수 있다. 일 예로 2행에 배치된 패널 영역(PA2)은 1행에 배치된 패널 영역(PA1) 대비 쉬프트될 수 있으며, 3행에 배치된 패널 영역(PA3)은 1행에 배치된 패널 영역(PA1)과 동일한 위치에 정렬될 수 있다.
일 실시예에 따른 패널 영역(PA1, PA2, PA3) 각각은 복수의 화소 영역(PX1, PX2, PX3)을 포함할 수 있다. 복수의 화소 영역(PX1, PX2, PX3) 중 제1 방향(DR1)을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리를 제1 거리(d1)라고 칭한다. 제2 거리(d2)는 제1 거리(d1) 보다 작을 수 있다. 일 예로 제2 거리(d2)는 제1 거리(d1)의 50% 이하일 수 있다. 제1 거리(d1)는 0.2 mm 내지 0.3 mm일 수 있으며, 제2 거리(d2)는 0.1 mm 내지 50 마이크로미터일 수 있다.
이하에서는 이러한 대상 기판(SUB)을 사용하는 잉크젯 프린팅 방법에 대해 살펴본다.
이하에서는 도 2 내지 도 4를 참조하여 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 방법에 사용되는 잉크젯 프린팅 장치에 대해 설명한다. 도 2는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치의 사시도이고, 도 3은 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 개략적인 평면도이고, 도 4는 일 실시예에 따른 프린트 헤드 유닛의 동작을 나타내는 개략도이다. 전술한 구성과 동일한 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 2에서는 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2) 및 제3 방향(DR3)이 정의되어 있다. 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)은 동일 면 상에 위치하며 서로 직교하는 방향이고, 제3 방향(DR3)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)에 각각 수직한 방향이다. 제1 방향(DR1)은 도면 상 가로 방향을 의미하고, 제2 방향(DR2)은 도면 상 세로 방향을 의미하며, 제3 방향(DR3)은 도면 상 상부 및 하부 방향을 의미하는 것으로 이해될 수 있다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 장치(IP)는 복수의 잉크젯 헤드(IH)를 포함하는 프린트 헤드 유닛(HU), 베이스 프레임(BF), 기판 정렬 유닛(AL), 스테이지(STA) 및 서브 스테이지(SSTA)를 더 포함할 수 있다.
베이스 프레임(BF)은 지지부(SUP) 및 헤드 이동 유닛(HTU)을 포함할 수 있다. 지지부(SUP)는 수평 방향인 제1 방향(DR1)으로 연장된 제1 지지부(SUP1) 및 제1 지지부(SUP1)와 연결되고 수직 방향인 제3 방향(DR3)으로 연장된 제2 지지부(SUP2)를 포함할 수 있다.
헤드 이동 유닛(HTU)은 제1 지지부(SUP1)에 거치되고 일 방향으로 이동할 수 있는 헤드 이동부(HT) 및 헤드 이동부(HT)의 하면에 배치되어 프린트 헤드 유닛(HU)이 배치되는 헤드 고정부(HF)를 포함할 수 있다.
헤드 이동부(HT)는 제1 지지부(SUP1) 상에서 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다. 프린트 헤드 유닛(HU)은 고정부(HF)에 고정되어 헤드 이동부(HT)와 함께 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있다.
프린트 헤드 유닛(HU)은 도 3에 도시된 바와 같이 복수의 잉크젯 헤드(IH)를 포함하며, 베이스 프레임(BF)에 배치될 수 있다. 프린트 헤드 유닛(HU)은 별도의 잉크 저장부와 연결된 잉크젯 헤드(IH)를 이용하여 대상 기판(SUB) 상에 소정의 잉크를 분사할 수 있다.
프린트 헤드 유닛(HU)은 베이스 프레임(BF)의 하부에서 스테이지(STA)로부터 일정 간격 이격될 수 있다. 프린트 헤드 유닛(HU)이 스테이지(STA)와 이격된 간격은 베이스 프레임(BF)의 제2 지지부(SUP2)의 높이에 의해 조절될 수 있다.
복수의 잉크젯 헤드(IH)는 일 방향으로 서로 이격되어 배치되고, 하나의 열 또는 복수의 열로 배열될 수 있다. 도 3에서는 잉크젯 헤드(IH)들이 2열로 배치되고 각 열의 잉크젯 헤드(IH)들이 서로 엇갈리게 배치된 것을 도시하고 있다. 다만, 이에 제한되지 않고, 잉크젯 헤드(IH)들은 더 많은 수의 열로 배열될 수 있고 서로 엇갈리지 않고 중첩되도록 배치될 수도 있다. 잉크젯 헤드(IH)의 형상은 특별히 제한되지 않으나, 일 예로 잉크젯 헤드(IH)는 사각형의 형상을 가질 수 있다.
도면에는 프린트 헤드 유닛(HU)에 배치된 잉크젯 헤드(IH)를 6개만 도시하고 있으나, 이는 프린트 헤드 유닛(HU)을 개략적으로 도시하기 것이며 잉크젯 헤드(IH)의 수는 이에 제한되지 않는다.
프린트 헤드 유닛(HU)에 배치된 잉크젯 헤드(IH)는 스테이지(STA) 상부에 배치되는 대상 기판(SUB) 상에 잉크를 분사할 수 있다. 일 실시예에 따르면, 프린트 헤드 유닛(HU)은 제1 지지부(SUP1) 상에서 제1 방향을 따라 이동할 수 있고, 잉크젯 헤드(IH)는 특정 위치로 이동하여 대상 기판(SUB) 상부에 잉크를 분사할 수 있다.
프린트 헤드 유닛(HU)은 제1 지지부(SUP1)가 연장된 제1 방향(DR1)으로 이동할 수 있고, 잉크젯 헤드(IH)는 제1 방향(DR1)으로 이동하며 대상 기판(SUB) 상부에 잉크를 분사할 수 있다.
예시적인 실시예에서, 잉크는 용액 또는 콜로이드(colloid) 상태로 제공될 수 있다. 예컨대, 용매는 아세톤, 물, 알코올, 톨루엔, 프로필렌글리콜(Propylene glycol, PG) 또는 프로필렌글리콜메틸아세테이트(Propylene glycol methyl acetate, PGMA) 등일 수 있으나 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에 따른 대상 기판(SUB)은 제1 방향(DR1)으로 측정된 폭이 프린트 헤드 유닛(HU)의 폭보다 클 수 있다. 이 경우, 프린트 헤드 유닛(HU)은 제1 방향(DR1)으로 이동하며 대상 기판(SUB) 상에 전면적으로 잉크를 분사할 수 있다.
일 실시예에 따르면, 복수의 잉크젯 헤드(IH) 각각은 도 4에 도시된 바와 같이 복수의 노즐(NZ)을 포함할 수 있다. 복수의 노즐(NZ)을 통해 잉크가 대상 기판(SUB)에 분사될 수 있다. 잉크젯 헤드(IH)는 복수의 노즐(NZ)을 통해 잉크를 토출할 수 있다. 노즐(NZ)로부터 토출된 잉크는 스테이지(STA) 또는 서브 스테이지(SSTA) 상에 제공된 대상 기판(SUB)에 분사될 수 있다. 복수의 노즐(NZ)은 잉크젯 헤드(IH)의 저면에 위치하고, 잉크젯 헤드(IH)가 연장된 일 방향을 따라 배열될 수 있다.
프린트 헤드 유닛(HU)은 스테이지(STA)가 제2 방향(DR2)으로 이동하여 베이스 프레임(BF)의 하부에 위치하게 되면, 제1 레일(RL1)과 제2 레일(RL2) 사이로 이동하여 잉크젯 헤드(IH)를 통해 잉크를 분사할 수 있다. 이러한 잉크젯 헤드(IH)의 동작은 이에 제한되지 않으며, 이를 구현할 수 있는 범위 내에서 다양하게 변형될 수 있다. 잉크젯 헤드(IH)의 동작에 대한 자세한 설명은 생략하기로 한다.
스테이지(STA)는 대상 기판(SUB)을 고정할 수 있는 판 형상의 부분과 이를 이동시킬 수 있는 레일(RL1, RL2)을 포함할 수 있다. 스테이지(STA)는 2개의 레일(RL1, RL2)을 포함할 수 있으며, 레일(RL1, RL2)을 이용하여 대상 기판(SUB)을 제2 방향(DR2) 등으로 이동시킬 수 있다. 대상 기판(SUB)은 잉크젯 프린팅의 대상으로, 스테이지(STA)에 의해 대상 기판(SUB)의 위치를 이동시키면서 대상 기판(SUB)의 상부면에 전체적으로 잉크를 분사하여 소정의 층을 형성할 수 있다. 예를 들면, 대상 기판(SUB) 위에 유기 발광층을 형성할 수 있다.
한편 본 명세서는 프린트 헤드 유닛(HU)이 제1 방향을 따라 이동하고, 스테이지(STA)가 제2 방향을 따라 이동하여, 잉크젯 헤드(IH)로부터 토출되는 잉크가 제공되는 위치를 조절하는 실시예를 도시하고 있으나, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 프린트 헤드 유닛(HU)이 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하여 잉크가 토출되는 위치를 조절하거나, 스테이지(STA)가 제1 방향 및 제2 방향을 따라 이동하여 잉크가 토출되는 위치를 조절할 수 있다.
서브 스테이지(SSTA)는 대상 기판(SUB)이 배치되는 공간을 제공할 수 있다. 또한, 서브 스테이지(SSTA) 상에는 기판 정렬 유닛(AL)이 배치될 수 있다. 서브 스테이지(SSTA)의 형상은 특별히 제한되지 않으나, 일 예로, 서브 스테이지(SSTA)는 도면에 도시된 바와 같이 양 변이 제1 방향(DR1) 및 제2 방향(DR2)으로 연장된 사각형의 형상을 가질 수 있다. 서브 스테이지(SSTA)는 제1 방향(DR1)으로 연장된 장변과 제2 방향(DR2)으로 연장된 단변을 포함할 수 있다. 다만, 서브 스테이지(SSTA)의 전반적인 평면 형상은 대상 기판(SUB)의 평면상 형상에 따라 달라질 수 있다. 예를 들어 대상 기판(SUB)이 평면상 직사각형일 경우, 도면에 도시된 바와 같이 서브 스테이지(SSTA)의 형상은 직사각형일 수 있고, 대상 기판(SUB)이 원형의 평면을 갖는 경우, 서브 스테이지(SSTA)도 평면상 형상이 원형일 수 있다. 본 명세서는 대상 기판(SUB)이 서브 스테이지(SSTA) 상에 배치되는 실시예를 도시하였으나 이에 제한되지 않고 서브 스테이지(SSTA)가 생략되어 스테이지(STA) 바로 위에 위치할 수도 있다.
기판 정렬 유닛(AL)은 서브 스테이지(SSTA) 상에 배치될 수 있다. 기판 정렬 유닛(AL)은 서브 스테이지(SSTA)의 각 변 상에 배치되며, 복수의 기판 정렬 유닛(AL)들이 둘러싸는 영역은 대상 기판(SUB)이 배치되는 영역일 수 있다.
이하에서는 도 5 내지 도 6을 참조하여 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 방법에 대해 설명한다. 도 5는 일 실시예에 따른 잉크젯 프린팅 방법에 대한 순서도이고, 도 6은 일 실시예에 따른 전술한 잉크젯 프린팅 장치 및 잉크젯 프린팅 방법을 이용한 표시 패널의 제조 방법에 관한 개략도이다. 전술한 잉크젯 프린팅 장치를 이용하는 바, 중복되는 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 먼저 스테이지(STA) 또는 서브 스테이지(SSTA) 상에 복수의 대상 기판(SUB)을 로딩한다(S100). 복수의 대상 기판(SUB)은 스테이지(STA) 또는 서브 스테이지(SSTA) 상에 안착될 수 있다.
잉크젯 프린팅 공정이 진행되는 과정에서 스테이지(STA) 또는 잉크젯 헤드(IH)는 제2 방향(DR2)을 따라 이동할 수 있으나, 이에 한정되지 않고 스테이지(STA) 또는 잉크젯 헤드(IH)의 이동 방향은 다양하게 변경될 수 있다.
이어, 대상 기판(SUB) 상에 프린트 헤드 유닛(HU)을 위치시키고(S200), 대상 기판(SUB) 상에 잉크를 토출한다(S300). 이때, 프린트 헤드 유닛(HU)이 1행에 배치된 대상 기판(SUB)의 일측 가장자리 위에 위치하도록 대응시킬 수 있다. 프린트 헤드 유닛(HU)은 일측 가장자리로부터 제2 방향(DR2)을 따라 이동하면서 잉크를 토출할 수 있다.
이하 도 6을 참조하여 일 실시예에 따른 대상 기판을 이용한 잉크젯 프린팅 방법에 대해 살펴본다.
도 6의 우측에 도시된 바와 같이 일 실시예에 따른 대상 기판(SUB)은 복수의 패널 영역(PA1, PA2, PA3)을 포함할 수 있다. 복수의 패널 영역(PA1, PA2, PA3)은 제1 방향(DR1)을 따라 일부의 패널 영역(PA1, PA2, PA3)이 쉬프트된 상태로 배치될 수 있다. 구체적으로 1행에 배치된 패널 영역(PA1)의 가장자리를 기준으로, 2행에 배치된 패널 영역(PA2)의 가장자리는 제1 방향을 따라 제2 거리(d2)만큼 쉬프트되도록 배치될 수 있다. 또한 2행에 배치된 패널 영역(PA2)의 가장자리를 기준으로, 3행에 배치된 패널 영역(PA3)의 가장자리는 제1 방향을 따라 제2 거리(d2)만큼 쉬프트되도록 배치될 수 있다. 본 명세서는 2행 및 3행 각각에 배치된 패널 영역(PA2, PA3)이 1행에 배치된 패널 영역(PA1) 대비 쉬프트된 상태로 배치되는 실시예를 도시하였으나, 이에 제한되지 않고 다양한 형태로 쉬프트될 수 있다.
대상 기판(SUB) 상에 배치된 잉크젯 헤드(IH)는 제2 방향(DR2)을 따라 잉크를 토출할 수 있다. 제2 방향을 따라 1회 이동하는 공정을 기준으로 설명한다.
n행에 배치된 패널 영역(PA1)에 잉크를 토출하는 공정에서, 잉크젯 헤드(IH)는 복수의 노즐(NZ) 중 일부를 사용할 수 있다. 구체적으로 각 화소 영역(PX1)과 중첩하는 제1 노즐 세트(NZ1)가 사용될 수 있다.
다음 n+1행에 배치된 패널 영역(PA2)에 잉크를 토출하는 공정에서, 잉크젯 헤드(IH)는 복수의 노즐(NZ) 중 일부를 사용할 수 있다. 구체적으로 각 화소 영역(PX2)과 중첩하는 제2 노즐 세트(NZ2)가 사용될 수 있다.
이어 n+2행에 배치된 패널 영역(PA3)에 잉크를 토출하는 공정에서 잉크젯 헤드(IH)는 복수의 노즐(NZ) 중 일부를 사용할 수 있다. 구체적으로 각 화소 영역(PX3)과 중첩하는 제3 노즐 세트(NZ3)가 사용될 수 있다.
제1 노즐 세트(NZ1), 제2 노즐 세트(NZ2) 및 제3 노즐 세트(NZ3) 각각은 서로 다른 노즐을 포함할 수 있다. 다만 이에 제한되지 않고 제1 노즐 세트(NZ1) 및 제2 노즐 세트(NZ2)는 적어도 일부가 동일한 노즐을 포함하거나, 제2 노즐 세트(NZ2) 및 제3 노즐 세트(NZ3)는 적어도 일부가 동일한 노즐을 포함하는 실시예도 가능할 수 있다. 제1 노즐 세트(NZ1), 제2 노즐 세트(NZ2) 및 제3 노즐 세트(NZ3)는 교번하여 반복 배치될 수 있다.
이에 따르면, 일 실시예에 따라 잉크젯 헤드(IH)가 제2 방향(DR2)을 따라 1회 이동하는 공정에서, 제1 노즐 세트(NZ1), 제2 노즐 세트(NZ2) 및 제3 노즐 세트(NZ3)가 사용될 수 있다. 제1 노즐 세트(NZ1), 제2 노즐 세트(NZ2) 및 제3 노즐 세트(NZ3)가 포함하는 노즐의 개수는 하나의 잉크젯 헤드가 포함하는 노즐의 개수의 50% 이상일 수 있다.
제1 잉크젯 헤드(IH)가 제2 방향(DR2)을 따라 1회 이동하는 공정에서, 잉크가 토출되도록 사용되는 노즐의 개수가 증가할 수 있다. 복수의 노즐 중 사용되는 노즐의 개수가 증가함에 따라 잉크의 토출 안정성이 향상될 수 있다.
이하에서는 도 7을 참조하여 비교예에 따른 잉크젯 프린팅 방법에 대해 설명한다. 도 7은 비교예에 따른 잉크젯 프린팅 방법을 사용하는 표시 패널의 제조 방법에 관한 개략도이다.
비교예에 따르면 스테이지 상에 실장되는 대상 기판(SUB)은 복수의 패널 영역(PA)의 일 가장자리가 정렬되도록 배치될 수 있다. 이에 따르면 잉크젯 헤드(IH)가 제2 방향(DR2)을 따라 1회 이동하는 공정에서, 제1 노즐 세트(NZ1)만이 사용될 수 있다. 화소 영역 사이에 위치하는 노즐들은 전혀 사용되지 않는다. 이에 따르면 잉크가 토출되는 노즐의 개수가 실시예 대비 상당히 적을 수 있다.
이에 따르면 잉크젯 프린팅 공정에서 사용되는 노즐이 제한적이며, 장시간 사용되지 않은 노즐은 해당 노즐을 사용해야 하는 공정에서 잉크 미토출, 또는 이상 토출과 같은 현상을 통해 화소 불량을 야기할 수 있다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
SUB: 대상 기판 STA: 스테이지
AL: 기판 정렬 유닛 IH: 잉크젯 헤드
NZ: 노즐 NZ1: 제1 노즐 세트
NZ2: 제2 노즐 세트 NZ3: 제3 노즐 세트
PA1, PA2, PA3: 패널 영역

Claims (20)

  1. 행렬 형태로 배치된 복수의 패널 영역을 포함하고,
    상기 복수의 패널 영역 중 적어도 일부는 제1 방향을 따라 쉬프트된 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판.
  2. 제1항에서,
    상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고,
    복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리인 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판.
  3. 제2항에서,
    상기 제1 거리는 0.2 mm 내지 0.3 mm인 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판.
  4. 제2항에서,
    상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 인접한 패널 영역들의 가장자리 사이의 거리는 제2 거리인 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판.
  5. 제4항에서,
    상기 제2 거리는 0.1 mm 내지 50 마이크로미터인 잉크젯 프린팅 공정용 대상 기판.
  6. 스테이지 상에 대상 기판을 로딩하는 단계,
    잉크젯 헤드를 상기 대상 기판 상에 배치하는 단계, 그리고
    상기 대상 기판 상에 잉크를 토출하는 단계를 포함하고,
    상기 대상 기판은,
    행렬 형태로 배치된 복수의 패널 영역을 포함하고,
    상기 복수의 패널 영역 중 적어도 일부는 제1 방향을 따라 쉬프트된 잉크젯 프린팅 방법.
  7. 제6항에서,
    상기 잉크젯 헤드는 상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 이동하는 잉크젯 프린팅 방법.
  8. 제6항에서,
    상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 포함하고,
    상기 복수의 노즐은,
    n번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제1 노즐 세트, 그리고
    n+1 번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제2 노즐 세트를 포함하는 잉크젯 프링팅 방법.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 노즐 세트와 상기 제2 노즐 세트는 서로 다른 노즐을 하나 이상 사용하는 잉크젯 프린팅 방법.
  10. 제8항에서,
    상기 복수의 노즐은 n+2번째 행에 배치된 패널 영역에 잉크를 토출하는 제3 노즐 세트를 더 포함하는 잉크젯 프린팅 방법.
  11. 제10항에서,
    상기 제3 노즐 세트는 상기 제1 노즐 세트 및 상기 제2 노즐 세트와 서로 다른 노즐을 하나 이상을 사용하는 잉크젯 프린팅 방법.
  12. 제10항에서,
    상기 제1 노즐 세트, 상기 제2 노즐 세트 및 상기 제3 노즐 세트는 교번하여 배치되는 잉크젯 프린팅 방법.
  13. 제6항에서,
    상기 잉크젯 헤드는 복수의 노즐을 포함하고,
    상기 잉크젯 헤드가 제2 방향을 따라 1회 이동하며 잉크를 토출하는 공정에서, 상기 복수의 노즐 중 50% 이상의 노즐이 사용되는 잉크젯 프린팅 방법.
  14. 제6항에서,
    상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고,
    상기 복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리인 잉크젯 프린팅 방법.
  15. 제14항에서,
    상기 제1 거리는 0.2 mm 내지 0.3 mm인 잉크젯 프린팅 방법.
  16. 제14항에서,
    상기 제1 방향과 수직한 제2 방향을 따라 인접한 패널 영역들의 가장자리 사이의 거리는 제2 거리인 잉크젯 프린팅 방법.
  17. 제16항에서,
    상기 제2 거리는 0.1 mm 내지 50 마이크로미터인 잉크젯 프린팅 방법.
  18. 제6항에서,
    상기 복수의 패널 영역 각각은 복수의 화소 영역을 포함하고,
    상기 복수의 화소 영역 중 상기 제1 방향을 따라 인접한 2개의 화소 영역 사이의 거리는 제1 거리이며,
    상기 복수의 패널 영역은 상기 제1 방향을 따라 적어도 제2 거리만큼 쉬프트되고,
    상기 제2 거리는 상기 제1 거리보다 작은 잉크젯 프린팅 방법.
  19. 제18항에서,
    n번째 행에 배치된 패널 영역의 가장자리를 기준으로, n+1번째 행에 배치된 패널 영역은 적어도 상기 제2 거리만큼 상기 제1 방향을 따라 쉬프트된 잉크젯 프린팅 방법.
  20. 제19항에서,
    n+1번째 행에 배치된 패널 영역의 가장자리를 기준으로, n+2번째 행에 배치된 패널 영역은 적어도 상기 제2 거리만큼 상기 제1 방향을 따라 쉬프트된 잉크젯 프린팅 방법.
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