KR20220164952A

KR20220164952A - 광 조사 장치

Info

Publication number: KR20220164952A
Application number: KR1020210073314A
Authority: KR
Inventors: 윤주영; 하영덕; 김은식; 정홍채; 박세휘; 김소리; 김영훈
Original assignee: 유니램 주식회사
Priority date: 2021-06-07
Filing date: 2021-06-07
Publication date: 2022-12-14
Also published as: US11830719B2; EP4102542A3; KR102585542B1; US20220392760A1; EP4102542A2

Abstract

본 발명의 실시예는 광 조사 효율 및 냉각 효율이 높으며 소형화가 가능한 광 조사 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및 상기 엑시머 램프가 수용되는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 램프 전극과 연결되는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치가 제공된다.

Description

광 조사 장치 {LIGHT IRRADIATION DEVICE}

본 발명의 실시예는 광 조사 효율 및 냉각 효율이 높고 소형화가 가능하며 실시간 작동이 가능한 광 조사 장치에 관한 것이다.

최근에 자외선을 이용한 광 조사 장치는 산업, 환경, 의료, 살균 등 다양한 분야에서 사용되고 있다. 이러한 광 조사 장치에 사용되는 광원 중, 엑시머 램프는 유전체 배리어 방전(Dielectric Barrier Discharge)을 이용한 램프의 일 종류이다. 이때, 유전체 배리어 방전이란, 절연 유전체에 의해 분리된 두 전극 사이에 발생하는 방전을 의미하며, 이에 의해 발광관 내부에 봉입된 방전 가스를 여기 후 가스 분자가 기저 상태로 복귀하는 과정에서 특정 파장을 갖는 광을 방출할 수 있다. 이와 같이 엑시머 램프는 발광관 내부에 봉입된 방전 가스의 종류에 따라 방출되는 광의 파장이 다르고, 다양한 광의 파장에 따라 광 세정, 공기정화, 표면 개질, 피부 치료, 살균 등 다양한 용도로 사용될 수 있다.

종래의 엑시머 램프는 단일관 형태의 엑시머 램프, 이중관 형태의 엑시머 램프, 외부 전극 형태의 엑시머 램프, 사각형 엑시머 램프 등 다양한 종류의 엑시머 램프가 존재하며, 광 조사 장치 내부에 장착되어 유전체 배리어 방전에 의해 특정 파장을 방출한다.

이 중 종래의 사각형 엑시머 램프를 도 1을 참조하여 설명하면 다음과 같다.

도 1은 종래 사각형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래 사각형 엑시머 램프는, 내부에 방전 가스가 봉입되는 방전 공간을 가지며 사각형 단면 형태를 갖는 발광관(1)과, 상기 발광관(1)의 상면과 하면에 구비되어 고전압이 인가되는 한 쌍의 전극(2, 3)을 포함하여 구성된다.

이에 따라, 상기 한 쌍의 전극(2, 3)에 고주파 및 고전압의 전원이 인가됨으로써, 유전체 배리어 방전이 발생되고 이 방전에 의해 상기 발광관(1)으로부터 광이 방출된다. 이때, 방출된 광의 파장에 따라 광 세정, 공기 정화, 표면 개질, 피부 치료, 세균 및 바이러스 등 다양한 용도로 사용된다.

이때, 엑시머 램프는 세균 및 바이러스 제거를 위하여 UV-C 영역 중 207nm 또는 222nm 파장 영역의 광을 방출하는데, 특히 207nm 또는 222nm 파장 영역은 UV-C 영역 중 Far UV-C 영역에 분류 해당된다. 상기 Far UV-C 영역의 광은 세균 및 바이러스 제거에 효과적이면서, 파장의 세포 침투력 특성에 의해 사람에게 노출되더라도 인체에 무해하다.

그러나, 종래 엑시머 램프로부터 방출되는 UV-C 광의 스펙트럼을 확인하면 실제로 방출되는 광은 일정 선폭(Spectral Narrow Width)을 가지되, 그 중심 파장은 Far UV-C 파장 영역을 가지나 상기 중심 파장 외의 영역에서는 240nm이상 즉 240nm~300nm의 파장 영역을 가짐으로써 중심 파장보다 낮은 광의 세기(Intensity)를 가지는 밴드 스펙트럼(Band Spectrum)을 포함한다. 이때, 상기 240nm~300nm의 파장 영역의 광은 인체에 유해한 파장 영역이다.

따라서, 종래 엑시머 램프를 광 조사 장치에 적용할 경우 유해한 파장 영역의 광을 선택적으로 차단하거나 감소시키기 위한 별도의 필터부재를 광 조사 장치 내부에 설치하여야 한다.

그리고, 종래 엑시머 램프를 광 조사 장치에 적용할 경우 한 쌍의 전극(2, 3)에 전원을 인가하기 위해서는 전원장치와 연결된 리드 와이어(lead wire)를 엑시머 램프에 전기적으로 연결하여야 한다.

따라서, 종래 광 조사 장치는 내부에 전원장치와 엑시머 램프를 연결하는 리드 와이어의 설치 공간 확보 등에 의해 소형화에 한계가 존재하며, 유지 보수 시 리드 와이어의 분리 및/또는 필터부재를 분리해야 함으로써 유지 보수 작업이 복잡하고 불편하며 시간이 많이 소요되는 문제점이 있었다.

대한민국 등록특허공보 제10-1949001호 (2019.02.11.)

본 발명의 실시예들은 광 조사 효율 및 냉각 효율을 높일 수 있는 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.

그리고, 본 발명의 실시예들은 소형화 및 제조비용 절감이 가능한 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.

또한, 본 발명의 실시예들은 실시간 살균이 가능하고 살균과 함께 조명 기능이 가능한 광 조사 장치를 제공하기 위한 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및 상기 엑시머 램프가 수용되는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 램프 전극과 연결되는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치가 제공된다.

여기서, 상기 접속 지지부는 상기 케이스 본체의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 이루어질 수 있다.

이때, 상기 접속 지지부는 상기 램프 전극을 탄력적으로 고정 지지할 수도 있으며, 상기 램프 전극을 착탈 가능하게 고정 지지할 수도 있다.

그리고, 상기 케이스 전극은 상기 접속 지지부와 대향된 상기 케이스 본체의 내측면에 밀착 고정될 수 있다.

여기서, 상기 케이스 전극은 상기 발광관의 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면을 가질 수 있으며, 이때 상기 접촉면은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 이루어질 수 있다.

그리고, 상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지도록 상기 발광관의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지며 상기 발광관의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어질 수도 있다.

이때, 상기 램프 전극은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태로 이루어진 전극층 또는 전극부재로 형성될 수 있다.

한편, 상기 램프 전극과 마주보는 상기 케이스 본체의 일측면에는 개방된 투과부가 형성될 수 있다.

여기서, 상기 투과부에는 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 여과되는 필터가 구비될 수 있다.

이때, 상기 필터는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 투과부에는 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 투과되어 외부로 조사되는 윈도우가 구비될 수도 있다.

한편, 상기 발광관은 내부에 방전 공간을 가지며, 원형, 타원형, 다각형 중 적어도 어느 하나의 단면을 갖는 밀폐된 관 형태로 이루어질 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 상기 케이스 본체에 구비되는 조명용 광원을 포함할 수 있다.

이때, 상기 조명용 광원은 상기 엑시머 램프와 연동하여 작동될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치는, 상기 케이스 본체에 구비되는 감지 센서를 더 포함할 수도 있다.

본 발명의 실시예들에 따르면, 별도의 리드 와이어 없이 엑시머 램프의 전기적 연결을 수행하고 엑시머 램프에 구비된 단일 전극만으로 전원 공급이 가능하여 광 조사 장치의 소형화 및 제조비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.

그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 케이스 전극을 통해 발광관으로부터 발생되는 열을 케이스 측으로 효과적으로 방열하여 광 조사 장치의 냉각 효율 및 성능을 향상할 수 있는 이점이 있다.

그리고, 본 발명의 실시예들에 따르면, 발광관으로부터 방출되는 일부 광을 케이스 전극을 통해 반사하여 조사함으로써 광 조사 장치의 광 효율 및 광 균일도를 향상할 수 있는 이점이 있다.

또한, 본 발명의 실시예들에 따르면, 실시간 살균이 가능하고 이에 전원을 효율적으로 사용할 수 있으며 살균과 함께 조명 기능이 가능한 이점이 있다.

도 1은 종래 사각형 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 단면도
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도
도 3a는 도 2의 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 사시도
도 3b는 도 2의 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도
도 3c는 도 2의 평면도
도 3d는 도 2의 Ⅰ-Ⅰ’선을 따른 단면도
도 3e는 도 2의 Ⅱ-Ⅱ’선을 따른 단면도
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도

이하, 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시형태를 설명하기로 한다. 이하의 상세한 설명은 본 명세서에서 기술된 방법, 장치 및/또는 시스템에 대한 포괄적인 이해를 돕기 위해 제공된다. 그러나 이는 예시에 불과하며 개시되는 실시예들은 이에 제한되지 않는다.

실시예들을 설명함에 있어서, 관련된 공지기술에 대한 구체적인 설명이 개시되는 실시예들의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고, 후술되는 용어들은 개시되는 실시예들에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다. 상세한 설명에서 사용되는 용어는 단지 실시예들을 기술하기 위한 것이며, 결코 제한적이어서는 안 된다. 명확하게 달리 사용되지 않는 한, 단수 형태의 표현은 복수 형태의 의미를 포함한다. 본 설명에서, "포함" 또는 "구비"와 같은 표현은 어떤 특성들, 숫자들, 단계들, 동작들, 요소들, 이들의 일부 또는 조합을 가리키기 위한 것이며, 기술된 것 이외에 하나 또는 그 이상의 다른 특성, 숫자, 단계, 동작, 요소, 이들의 일부 또는 조합의 존재 또는 가능성을 배제하도록 해석되어서는 안 된다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이며, 도 3a는 도 2의 엑시머 램프를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 3b는 도 2의 케이스를 개략적으로 나타낸 사시도, 도 3c는 도 2의 평면도, 도 3d는 도 2의 Ⅰ-Ⅰ’선을 따른 단면도, 그리고 도 3e는 도 2의 Ⅱ-Ⅱ’선을 따른 단면도이다.

도 2 내지 도 3e를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 광 조사 장치(100)는, 크게 광을 방출하는 엑시머 램프(110)와 상기 엑시머 램프(110)가 수용되는 케이스(120)를 포함할 수 있다.

상기 엑시머 램프(110)는, 내부에 방전 가스가 봉입되어 유전체 배리어 방전시 광을 방출하는 발광관(111)과, 상기 발광관(111)의 상측면에 구비되는 램프 전극(112)을 포함할 수 있다.

상기 케이스(120)는, 상기 엑시머 램프(110)가 수용되고 외관을 형성하는 케이스 본체(121)와, 상기 엑시머 램프(110)의 램프 전극(112)이 연결되는 접속 지지부(122)와, 상기 엑시머 램프(110)의 발광관(111)이 접촉되는 케이스 전극(123)을 포함할 수 있다.

보다 상세하게, 상기 접속 지지부(122)는 상기 케이스 본체(121)의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 형성될 수 있다. 이때, 상기 접속 지지부(122)는 상기 램프 전극(112)을 탄력적으로 고정 지지할 수 있으며, 또는 상기 램프 전극(112)을 착탈 가능하게 고정 지지할 수도 있다. 본 실시예에서 상기 접속 지지부(122)는 전도성 소재로 이루어진 탄성체를 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 탄성편, 탄성클립, 후크 등 상기 램프 전극(112)과 전기적으로 연결되면서 상기 램프 전극(112)을 탈부착 가능하게 고정 지지하는 다양한 구조를 가질 수 있다.

상기 케이스 전극(123)은 상기 발광관(111)의 표면 중 광이 조사되는 방향 반대측 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면(123a)을 가질 수 있다. 즉, 상기 케이스 전극(123)의 상측면이 접촉면(123a)이 되어 상기 발광관(111)의 하측면과 접촉함으로써, 상기 케이스 전극(123)은 상기 램프 전극(112)과 함께 상기 발광관(111)의 유전체 배리어 방전을 위한 한 쌍의 전극 역할을 수행할 수 있다. 이때, 상기 케이스 전극(123)은 상기 접속 지지부(122)와 대향된 상기 케이스 본체(121)의 내측면에 밀착 고정될 수 있다. 즉, 상기 접속 지지부(122)가 상기 케이스 본체(121)의 내부 상측면에 구비될 경우, 상기 케이스 전극(123)은 상기 케이스 본체(121)의 내부 하측면에 구비될 수 있다.

여기서, 상기 접속 지지부(122)에는 그라운드(GND) 전압이 연결될 수 있고 상기 케이스 전극(123)에는 플러스(+) 전압이 연결될 수 있으며, 이에 따라 상기 접속 지지부(122) 및 상기 케이스 전극(123)에 전압이 인가되면 상기 램프 전극(112) 및 케이스 전극(123)에 의한 유전체 배리어 방전을 통해 상기 발광관(111)으로부터 광이 방출될 수 있다.

이때, 상기 케이스 전극(123)의 접촉면(123a)은 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 작용할 수 있다. 따라서, 상기 접촉면(123a)을 통해 반사되는 광이 상기 발광관(111)의 내부로 유입된 후 다시 반대측으로 방출됨으로써, 상기 엑시머 램프(110)의 광 조사 효율을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에서 상기 케이스 전극(123)은 사각형 구조의 발광관(111)과 대응되는 사각형 구조를 가짐으로써 상기 접촉면(123a)이 평면 형태로 광을 반사하여 광 균일도를 증가시킬 수 있다. 또한, 상기 케이스 전극(123)은 상기 접촉면(123a)을 통해 상기 발광관(111)으로부터 발생되는 열을 상기 케이스 본체(121) 측으로 전달하여 외부로 방출하는 매개체 역할을 함으로써, 상기 발광관(111)의 광 방출시 발생하는 열을 효과적으로 냉각할 수 있다.

한편, 상기 엑시머 램프(110)의 램프 전극(112)은 상기 발광관(111)의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가질 수 있다. 즉, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광은 상기 램프 전극(112)의 개구부를 통해 외부로 조사될 수 있다. 여기서, 상기 램프 전극(112)은 상기 발광관(111)의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어질 수 있으며, 일 예로 상기 램프 전극(112)은 상기 발광관(111)의 표면에 전도성 물질을 패턴 형성하여 전극층으로 제조할 수 있다. 이때, 상기 램프 전극(112)의 형태는 메쉬 형태로 형성되거나 교차되는 복수의 선 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 상기 접속 지지부(122)와 전기적으로 연결 가능하고 상기 발광관(111)으로부터 광이 방출될 수 있도록 개구부를 갖는 다양한 구조의 적용이 가능하다. 또한, 상기 램프 전극(112)의 형태는 외부에서 광 조사 장치를 응시할 경우 다양한 표현과 표시 등을 인식할 수 있는 디자인적인 형태를 가질 수도 있다.

그리고, 상기 램프 전극(112)은 상기 발광관(111)의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어질 수도 있다. 즉, 상기 램프 전극(112)은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태를 갖는 전도성 물질로 전극부재를 별도로 제작하여 상기 발광관(111)의 표면에 상기 전극부재를 부착함으로써 전술한 전극층을 대체할 수도 있다.

한편, 상기 케이스 본체(121)의 일측면에는 개방된 투과부(121a)가 형성될 수 있으며, 이에 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광은 상기 투과부(121a)를 통해 외부로 조사될 수 있다. 여기서, 상기 투과부(121a)에는 필터(124)가 구비되어, 상기 발광관(111)으로부터 방출되는 광을 여과함으로써 여과된 광이 외부로 조사되도록 할 수 있다. 이때, 상기 필터(124)는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 필터(124)는 사용 용도에 따라 숏 패스 필터(Short Pass Filter), 롱 패스 필터(Long Pass Filter), 밴드 패스 필터(Band Pass Filter), 밀도 필터(Density Filter) 등이 적용될 수 있다. 즉, 상기 필터(124)는 투과되는 광(UV광)이 240nm 이내의 파장을 가지도록 투과되는 광의 세기를 조절하고, 이에 따라 최종적으로 본 실시예의 광 조사 장치는 인체에 무해하고 안전한 240nm 이내의 파장을 갖는 광을 선택하여 방출할 수 있다.

한편, 광원의 사용 용도에 따라 상기 필터(124)에 의한 광 여과가 불필요한 경우 상기 투과부(121a)에는 필터 대신, 광 투과가 가능한 재질의 윈도우가 구비될 수도 있다. 이때, 상기 윈도우는 설치되지 않을 수도 있으나, 상기 케이스 본체(121) 내부에 구비된 엑시머 램프(110) 등을 보호하기 위한 목적으로 구비되는 것이 바람직하다.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치를 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 4를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 광 조사 장치 역시 전술한 실시예와 유사하게, 광을 방출하는 엑시머 램프를 수용하는 케이스(120)를 포함하여 구성될 수 있다.

그러나, 본 실시예의 광 조사 장치는 상기 케이스(120)에 구비되는 조명용 광원(130)을 더 포함할 수 있다. 보다 상세하게, 상기 조명용 광원(130)은 케이스 본체(121)의 광 조사 방향 외측면 즉 투과부가 위치된 외측면 일측에 적어도 하나 이상 구비될 수 있으며, 이에 따라 엑시머 램프로부터 살균을 위한 광을 조사하는 것과 함께 외부 조명을 위한 광을 조사할 수 있다. 여기서, 상기 조명용 광원(130)은 엑시머 램프에 전원 공급시 동시에 전원이 공급되어 상기 엑시머 램프와 연동하여 작동될 수 있다. 이때, 상기 조명용 광원(130)은 LED 등이 적용될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며 다양한 종류의 광원이 적용될 수 있다.

아울러, 본 실시예의 광 조사 장치는 상기 케이스(120)에 구비되는 감지 센서(140)를 더 포함할 수도 있다. 보다 상세하게, 상기 감지 센서(140)는 케이스 본체(121)의 광 조사 방향 외측면 즉 투과부가 위치된 외측면 일측에 구비될 수 있으며, 이에 따라 본 실시예의 광 조사 장치는 상기 감지 센서(140)에서 살균 대상이 감지될 경우 즉, 광 조사가 필요한 상황에서만 실시간으로 광을 조사하도록 제어됨으로써 전원 낭비를 방지하고 엑시머 램프의 전체적인 수명기간을 늘릴 수 있다. 즉, 상기 감지 센서(140)에서 외부 움직임 등을 감지할 경우 엑시머 램프가 점등됨과 아울러 조명용 광원(130)이 점등될 수 있고, 소정 시간동안 외부 움직임 등이 미감지될 경우 엑시머 램프 및 조명용 광원(130)이 소등될 수 있다. 이때, 상기 감지 센서(140)는 움직임 등 동작을 감지하는 센서, 열 또는 초음파를 감지하는 센서 등 다양한 종류의 감지 센서가 적용될 수 있다.

한편, 본 발명의 실시예에서 엑시머 램프는 사각형 발광관으로 이루어진 실시 형태를 개시하였으나, 이에 한정되는 것은 아니며 내부에 방전 가스가 봉입되는 방전 공간을 가지면서 원형, 타원형, 다각형 등 다양한 단면으로 이루어진 밀폐된 관 형태로 구성될 수도 있다.

이때, 상기 엑시머 램프의 발광관의 달라지는 형태에 대응하여 램프 전극과 접속 지지부의 형태가 달라질 수 있으며, 특히 케이스 전극은 상기 발광관의 형태가 달라짐에 따라 발광관의 표면과 대응되는 형태의 접촉면을 가짐으로써 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 효율적으로 반사하고 상기 발광관으로부터 발생되는 열을 효과적으로 방열하도록 구성될 수 있다.

이상에서 본 발명의 대표적인 실시예들을 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.

100 : 광 조사 장치
110 : 엑시머 램프
111 : 발광관
112 : 램프 전극
120 : 케이스
121 : 케이스 본체
121a : 투과부
122 : 접속 지지부
123 : 케이스 전극
123a : 접촉면
124 : 필터
130 : 조명용 광원
140 : 감지 센서

Claims

광을 방출하는 발광관과, 상기 발광관의 외측에 구비되는 램프 전극을 포함하는 엑시머 램프; 및
상기 엑시머 램프가 수용되는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 일측에 구비되어 상기 램프 전극과 연결되는 접속 지지부와, 상기 케이스 본체의 타측에 구비되어 상기 발광관의 일부 표면과 접촉되는 케이스 전극을 포함하는 케이스;를 포함하는, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 접속 지지부는 상기 케이스 본체의 내측면에 고정되고 전도성 소재로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 2에 있어서,
상기 접속 지지부는 상기 램프 전극을 탄력적으로 고정 지지하는, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 케이스 전극은 상기 접속 지지부와 대향된 상기 케이스 본체의 내측면에 밀착 고정되는, 광 조사 장치.
청구항 1 또는 청구항 4에 있어서,
상기 케이스 전극은 상기 발광관의 표면과 대응되는 형태로 이루어진 접촉면을 가지는, 광 조사 장치.
청구항 5에 있어서,
상기 접촉면은 상기 발광관으로부터 방출되는 광을 반사시키는 반사면으로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지도록 상기 발광관의 표면에 형성되는 전극층으로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 램프 전극은 상기 발광관의 표면 중 광이 조사되는 방향 일부 표면이 노출되는 개구부를 가지며 상기 발광관의 표면에 부착되는 전극부재로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 7 또는 청구항 8에 있어서,
상기 램프 전극은 메쉬 형태 또는 교차되는 복수의 선 형태로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 램프 전극과 마주보는 상기 케이스 본체의 일측면에는 개방된 투과부가 형성되는, 광 조사 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 여과되는 필터;를 포함하는, 광 조사 장치.
청구항 11에 있어서,
상기 필터는 투과되는 광의 파장이 240nm 이내가 되도록 광을 여과하는, 광 조사 장치.
청구항 10에 있어서,
상기 투과부에 구비되어 상기 발광관으로부터 방출되는 광이 투과되어 외부로 조사되는 윈도우;를 포함하는, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 발광관은 내부에 방전 공간을 가지며, 원형, 타원형, 다각형 중 적어도 어느 하나의 단면을 갖는 밀폐된 관 형태로 이루어진, 광 조사 장치.
청구항 1에 있어서,
상기 케이스 본체에 구비되는 조명용 광원을 포함하는, 광 조사 장치.
청구항 15에 있어서,
상기 조명용 광원은 상기 엑시머 램프와 연동하여 작동되는, 광 조사 장치.
청구항 1 또는 청구항 15에 있어서,
상기 케이스 본체에 구비되는 감지 센서를 포함하는, 광 조사 장치.