KR20220139690A - Semiconductor light emitting device and light emitting device package having the same - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 129
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 278
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 claims abstract description 36
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 13
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 13
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 12
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 claims description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 230000007547 defect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 238000012858 packaging process Methods 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 3
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- -1 for example Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017083 AlN Inorganic materials 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000927 Ge alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018100 Ni-Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018532 Ni—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000676 Si alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010037 TiAlN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008482 TiSiN Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N isoniazide Chemical compound NNC(=O)C1=CC=NC=C1 QRXWMOHMRWLFEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- PNHVEGMHOXTHMW-UHFFFAOYSA-N magnesium;zinc;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Mg+2].[Zn+2] PNHVEGMHOXTHMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N oxotin;zinc Chemical compound [Zn].[Sn]=O KYKLWYKWCAYAJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
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- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/36—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes
- H01L33/38—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape
- H01L33/382—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the electrodes with a particular shape the electrode extending partially in or entirely through the semiconductor body
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- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/50—Wavelength conversion elements
- H01L33/505—Wavelength conversion elements characterised by the shape, e.g. plate or foil
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- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0008—Processes
- H01L2933/0033—Processes relating to semiconductor body packages
- H01L2933/005—Processes relating to semiconductor body packages relating to encapsulations
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2933/00—Details relating to devices covered by the group H01L33/00 but not provided for in its subgroups
- H01L2933/0083—Periodic patterns for optical field-shaping in or on the semiconductor body or semiconductor body package, e.g. photonic bandgap structures
Abstract
Description
본 발명은 반도체 발광소자 및 이를 구비한 발광소자 패키지에 관한 것이다.The present invention relates to a semiconductor light emitting device and a light emitting device package having the same.
반도체 발광소자는 종래의 광원에 비해 긴 수명, 낮은 소비전력, 빠른 응답 속도, 환경 친화성 등의 장점을 갖는 차세대 광원으로 알려져 있다. 특히, 반도체 발광소자는 우수한 광속을 가지므로, 전장 장치 및 조명 장치와 같은 다양한 제품의 주요 광원으로서 주목받고 있다. 한편, 반도체 발광소자를 패키징하는 과정에서 반도체 발광소자에 가해지는 스트레스를 감소시켜 불량률을 감소시키기 위한 방안이 요청되고 있다.The semiconductor light emitting device is known as a next-generation light source having advantages such as a long lifespan, low power consumption, fast response speed, and environmental friendliness compared to conventional light sources. In particular, since the semiconductor light emitting device has an excellent luminous flux, it is attracting attention as a main light source for various products such as electric devices and lighting devices. Meanwhile, there is a demand for a method for reducing the defect rate by reducing stress applied to the semiconductor light emitting device in the process of packaging the semiconductor light emitting device.
본 발명이 해결하려는 과제들 중 하나는 패키징 과정에서 가해지는 스트레스가 감소된 반도체 발광소자를 제공하는데 있다. One of the problems to be solved by the present invention is to provide a semiconductor light emitting device in which stress applied during a packaging process is reduced.
본 발명이 해결하려는 과제들 중 다른 하나는 패키징 과정에서 반도체 발광소자에 가해지는 스트레스가 감소된 발광소자 패키지를 제공하는 데 있다.Another object of the present invention is to provide a light emitting device package in which stress applied to a semiconductor light emitting device during a packaging process is reduced.
본 발명의 일 실시예는, 제1 및 제2 영역을 갖는 제1 전극층; 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층을 통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결된 복수의 홀을 갖는 발광 구조물 - 상기 제1 도전형 반도체층은 상기 발광 구조물의 제1 면을 이루며, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 이룸-; 상기 제1 면의 일 영역에 배치된 요철 패턴; 상기 제1 면의 일 영역을 둘러싸며 상기 제1 면의 모서리에 배치된 댐 구조물; 상기 제1 전극층과 상기 발광 구조물의 사이에, 상기 제1 영역과 중첩하여 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층과 접하는 투명 전극층; 상기 투명 전극층과 상기 제1 전극층의 사이에 배치되며, 상기 복수의 홀과 각각 연결된 복수의 제1 개구 및 상기 투명 전극층에 연결되는 복수의 제2 개구를 갖는 층간 절연층; 상기 제1 전극층과 상기 층간 절연층 사이에 배치되며, 상기 복수의 제2 개구를 통해 상기 투명 전극층과 접속되고, 상기 제1 전극층과 분리되도록 배치되고, 상기 제1 전극층의 상기 제2 영역 상으로 연장된 제2 전극층; 상기 제2 전극층 상에 상기 제2 영역과 중첩되도록 배치된 전극 패드; 및 상기 제2 전극층, 상기 층간 절연층, 상기 투명 전극층을 관통하여 상기 복수의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 접속되는 복수의 콘택 전극을 포함하는 반도체 발광소자를 제공한다.An embodiment of the present invention includes a first electrode layer having first and second regions; A plurality of layers disposed on the first electrode layer to overlap the first region, including a first conductivity-type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity-type semiconductor layer, and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the active layer a light emitting structure having a hole, wherein the first conductivity type semiconductor layer forms a first surface of the light emitting structure, and the second conductivity type semiconductor layer forms a second surface opposite to the first surface; a concave-convex pattern disposed on one region of the first surface; a dam structure surrounding an area of the first surface and disposed at a corner of the first surface; a transparent electrode layer disposed between the first electrode layer and the light emitting structure, overlapping the first region, and in contact with the second conductivity-type semiconductor layer; an interlayer insulating layer disposed between the transparent electrode layer and the first electrode layer and having a plurality of first openings respectively connected to the plurality of holes and a plurality of second openings connected to the transparent electrode layer; It is disposed between the first electrode layer and the interlayer insulating layer, is connected to the transparent electrode layer through the plurality of second openings, is disposed to be separated from the first electrode layer, and is disposed on the second region of the first electrode layer. an extended second electrode layer; an electrode pad disposed on the second electrode layer to overlap the second region; and a plurality of contact electrodes passing through the second electrode layer, the interlayer insulating layer, and the transparent electrode layer and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the plurality of holes.
본 발명의 일 실시예는, 제1 및 제2 리드 프레임을 갖는 패키지 기판; 상기 제1 리드 프레임에 접하며 제1 및 제2 영역을 갖는 제1 전극층과, 상기 제1 전극층의 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치된 발광 구조물과, 상기 제2 리드 프레임에 전기적으로 연결된 전극 패드를 갖는 반도체 발광소자; 상기 반도체 발광소자를 덮는 파장변환필름; 및 상기 패키지 기판 상에 배치되며, 상기 반도체 발광소자의 측면 및 상기 파장변환필름의 측면을 덮는 반사성 수지층을 포함하며, 상기 반도체 발광소자는, 상기 제1 전극층과, 상기 제1 전극층 상에 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층을 통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결된 복수의 홀을 갖는 발광 구조물 - 상기 제1 도전형 반도체층은 상기 발광 구조물의 제1 면을 이루며, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 이룸-과, 상기 제1 면의 일 영역에 배치된 요철 패턴과, 상기 제1 면의 일 영역을 둘러싸며 상기 제1 면의 모서리에 배치된 댐 구조물과, 상기 제1 전극층과 상기 발광 구조물의 사이에, 상기 제1 영역과 중첩하여 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층과 접하는 투명 전극층과, 상기 투명 전극층과 상기 제1 전극층의 사이에 배치되며, 상기 복수의 홀과 각각 연결된 복수의 제1 개구 및 상기 투명 전극층에 연결되는 복수의 제2 개구를 갖는 층간 절연층과, 상기 제1 전극층과 상기 층간 절연층 사이에 배치되며, 상기 복수의 제2 개구를 통해 상기 투명 전극층과 접속되고, 상기 제1 전극층과 분리되도록 배치되고, 상기 제1 전극층의 상기 제2 영역 상으로 연장된 제2 전극층과, 상기 제2 전극층 상에 상기 제2 영역과 중첩되도록 배치된 전극 패드와, 상기 제2 전극층, 상기 층간 절연층, 상기 투명 전극층을 관통하여 상기 복수의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 접속되는 복수의 콘택 전극을 포함하는 발광소자 패키지를 제공한다One embodiment of the present invention, a package substrate having first and second lead frames; a first electrode layer in contact with the first lead frame and having first and second regions; a light emitting structure disposed to overlap the first region of the first electrode layer; and an electrode pad electrically connected to the second lead frame; a semiconductor light emitting device having; a wavelength conversion film covering the semiconductor light emitting device; and a reflective resin layer disposed on the package substrate and covering a side surface of the semiconductor light emitting device and a side surface of the wavelength conversion film, wherein the semiconductor light emitting device includes the first electrode layer and the first electrode layer on the first electrode layer. A light emitting structure disposed to overlap the first region, including a first conductivity type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity type semiconductor layer, and having a plurality of holes connected to the first conductivity type semiconductor layer through the active layer - the The first conductivity type semiconductor layer forms a first surface of the light emitting structure, and the second conductivity type semiconductor layer forms a second surface opposite to the first surface - and is disposed in one region of the first surface A concave-convex pattern, a dam structure surrounding a region of the first surface and disposed at a corner of the first surface, is disposed between the first electrode layer and the light emitting structure, and overlaps the first area; A transparent electrode layer in contact with the second conductivity-type semiconductor layer, and disposed between the transparent electrode layer and the first electrode layer, a plurality of first openings respectively connected to the plurality of holes and a plurality of second openings connected to the transparent electrode layer an interlayer insulating layer having a second electrode layer extending onto the second region of; an electrode pad disposed on the second electrode layer to overlap the second region; Provided is a light emitting device package including a plurality of contact electrodes connected to the first conductivity-type semiconductor layer through a plurality of holes.
패키징 과정에서 반도체 발광소자에 가해지는 스트레스가 감소되어, 제조과정에서 불량률이 감소된 반도체 발광소자 및 발광소자 패키지를 제공할 수 있다.It is possible to provide a semiconductor light emitting device and a light emitting device package having a reduced defect rate in the manufacturing process by reducing stress applied to the semiconductor light emitting device during the packaging process.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 발광소자를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절개하여 본 측단면도이다.
도 3은 도 1의 II방향에서 바라본 평면도이다.
도 4(a) 내지 도 4(c)는 도 3에 도시된 댐 구조물의 다양한 변형예이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 발광소자를 탑재한 발광소자 패키지의 단면도이다.
도 6(a)는 도 5의 A부분의 확대도이다.
도 6(b) 및 도 6(c)는 반도체 발광소자에 댐 구조물이 배치되지 않은 비교예이다.1 is a perspective view schematically illustrating a semiconductor light emitting device according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a side cross-sectional view taken along line I-I' of FIG. 1 .
FIG. 3 is a plan view viewed from the II direction of FIG. 1 .
4 (a) to 4 (c) are various modifications of the dam structure shown in FIG.
5 is a cross-sectional view of a light emitting device package in which a semiconductor light emitting device according to an embodiment of the present invention is mounted.
FIG. 6(a) is an enlarged view of part A of FIG. 5 .
6(b) and 6(c) are comparative examples in which a dam structure is not disposed in the semiconductor light emitting device.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예들을 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, various embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 발광소자를 개략적으로 나타내는 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I'선을 따라 절개하여 본 측단면도이며, 도 3은 도 1의 II방향에서 바라본 평면도이다.1 is a perspective view schematically showing a semiconductor light emitting device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side cross-sectional view taken along line I-I' of FIG. 1 , and FIG. 3 is a view taken in the II direction of FIG. This is the flat view.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 의한 반도체 발광소자(100)는 제1 전극층(131), 발광 구조물(110), 투명 전극층(122), 층간 절연층(124), 제2 전극층(126) 및 전극 패드(BP)를 포함할 수 있다. 1 and 2, the semiconductor
제1 전극층(131)은 제1 및 제2 영역(R1, R2)을 갖는 상면(131A)을 가질 수 있다. 제1 영역(R1)은 광이 방출되는 영역으로 제공될 수 있으며, 제2 영역(R2)은 상부에 전극 패드(BP)가 배치되는 영역으로 제공될 수 있다. 본 실시예에서 제2 영역(R2)은 제1 영역(R1)의 일 측에 길게 배치될 수 있다. The
제1 전극층(131)은 도전성 기판(138)과 접합 금속층(136)을 포함할 수 있다. 제1 전극층(131)은 발광 구조물(110)을 지지하며, 도전성으로 인해 전원이 인가되는 전극으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 도전성 기판(138)은 실리콘, 스트레인 실리콘(strained Si), 실리콘 합금, SOI(Silicon-On-Insulator), 실리콘 카바이드(SiC), 실리콘 게르마늄(SiGe), 실리콘 게르마늄 카바이드(SiGeC), 게르마늄, 게르마늄 합금, 갈륨 아세나이드(GaAs), 인듐 아세나이드(InAs) 및 III-V 반도체, II-VI반도체 중 하나일 수 있다. 접합 금속층(195)은 Au, Sn, Ni, Au-Sn, Ni-Sn 또는 Ni-Au-Sn와 같은 본딩 금속일 수 있다. 따라서, 제1 전극층(131)을 통해 제1 도전형 반도체층(112)에 전원이 인가될 수 있다. 본 실시예의 경우, 제1 전극층(131) 및 콘택 전극(134)을 통해 제1 도전형 반도체층(112)에 전원이 인가될 수 있다.The
도 2를 참조하면, 발광 구조물(110)은 제1 전극층(131)의 제1 영역(R1) 상에 배치될 수 있다. 발광 구조물(110)은 제1 도전형 반도체층(112), 활성층(114) 및 제2 도전형 반도체층(116)을 포함할 수 있다. 일 실시예의 경우, 발광 구조물(110)은 제1 전극층(131) 상에 제2 도전형 반도체층(116), 활성층(114) 및 제1 도전형 반도체층(112)의 순서로 적층된 구조일 수 있다.Referring to FIG. 2 , the
예를 들어, 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 InxAlyGa1-x-yN (0≤x<1, 0≤y<1, 0≤x+y<1)을 만족하는 질화물 반도체를 포함할 수 있으며, n형 불순물은 Si일 수 있다. 예를 들어, 제1 도전형 반도체층(112)은 n형 GaN층을 포함할 수 있다. 제2 도전형 반도체층(116)은 p형 InxAlyGa1-x-yN (0≤x<1, 0≤y<1, 0≤x+y<1)을 만족하는 질화물 반도체층일 수 있으며, p형 불순물은 Mg일 수 있다. 일부 실시예에서는, 제2 도전형 반도체층(116)은 단층 구조로 구현될 수도 있으나, 다른 실시예에서는 서로 다른 조성을 갖는 다층 구조를 가질 수 있다. 활성층(114)은 양자우물층과 양자장벽층이 서로 교대로 적층된 다중 양자우물(MQW) 구조일 수 있다. 예를 들어, 양자우물층과 양자장벽층은 서로 다른 조성을 갖는 InxAlyGa1-x-yN (0≤x≤1, 0≤y≤1, 0≤x+y≤1)일 수 있다. 특정 예에서, 양자우물층은 InxGa1-xN (0<x≤1)이며, 양자장벽층은 GaN 또는 AlGaN일 수 있다. For example, the first conductivity
본 실시예에서, 발광 구조물(110)은 제2 도전형 반도체층(116) 및 활성층(114)을 통하여 제1 도전형 반도체층(112)에 연결된 복수의 홀(H)을 가질 수 있다. 복수의 홀(H)은 후술하는 층간 절연층(124)의 복수의 제1 개구(OPA)에 각각 연결되어, 제1 도전형 반도체층(112)과 제1 전극층(131)을 연결하는 복수의 비아홀(V)을 이룰 수 있다. 복수의 홀(H)은 발광 구조물(110)의 표면에 실질적으로 동일한 이격거리를 갖도록 주기적으로 배치될 수 있다. 다만, 이에 한정하는 것은 아니며, 실시예에 따라서는, 복수의 홀(H)은 비 주기적으로 배치될 수도 있다. In this embodiment, the
도 2 및 도 3을 참조하면, 발광 구조물(110)의 상면(112A)에는 요철 패턴(140) 및 댐 구조물(150)이 배치될 수 있다. 요철 패턴(140)은 발광 구조물(110)의 상면(112A)의 중앙 영역에 배치될 수 있으며, 복수의 볼록부(141)를 포함할 수 있다. 요철 패턴(140) 및 발광 구조물(110)은 발광 구조물(110)의 제1 도전형 반도체층(112)을 건식 또는 습식 식각하여 형성할 수 있다. 또한, 제1 도전형 반도체층(112) 상에 절연층을 적층한 후, 건식 또는 습식 식각하여 형성할 수도 있다. 절연층은 SiO2, SiN 및 SiOxNy와 같은 투광성 절연물질로 이루어질 수 있다. 따라서, 요철 패턴(140) 및 발광 구조물(110)은 제1 도전형 반도체층(112)과 동일한 물질로 이루어질 수 있으며, 제1 도전형 반도체층(112)과 상이한 물질로 이루어질 수 도 있다. 실시예에 따라서는, 요철 패턴(140) 및 발광 구조물(110) 중 어느 하나는 제1 도전형 반도체층(112)과 동일한 물질로 이루어지고, 다른 하나는 제1 도전형 반도체층(112)과 상이한 물질로 이루어질 수도 있다.2 and 3 , the concave-
요철 패턴(140)은 활성층(114)에서 방출된 광의 광추출 효율을 향상시키기 위한 것이며, 댐 구조물(150)은 반도체 발광소자(100)를 이용한 발광소자 패키지를 제조하는 과정에서, 반도체 발광소자(100)와 파장변환필름(30)의 사이에 반사성 수지층이 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이에 관해서는 후술한다.The
복수의 볼록부(141)는 각각 원형 또는, 삼각형 사각형과 같은 다각형의 단면을 가지며, 격자형 또는 스트라이트(stripe)형으로 배치될 수 있다. Each of the plurality of
댐 구조물(150)은 요철 패턴(140)을 둘러싸도록 발광 구조물(110)의 상면(112A)의 가장자리를 둘러싸도록 배치될 수 있다. 댐 구조물(150)은 요철 패턴(140) 보다 높은 레벨을 갖도록, 요철 패턴(140)의 높이(H1) 보다 큰 높이(H2)를 가질 수 있다. 또한, 댐 구조물(150)은 요철 패턴(140)의 폭(W1) 보다 큰 폭(W2)을 가질 수 있다. 일 실시예의 경우, 댐 구조물(150)은 8~10 ㎛의 폭을 가질 수 있다.The
댐 구조물(150)은 발광 구조물(110)의 상면(112A)의 모서리 영역(E)을 따라, 발광 구조물(110)의 측면(112S)과 공면(coplanar)인 측면(150S)을 갖도록 배치될 수 있다. 댐 구조물(150)은 발광 구조물(110)의 상면(112A)의 각 모서리 영역(E)을 따라 연장 배치될 수 있다. 댐 구조물(150)은 평탄한 상면(150A)을 갖는 사각형의 단면을 가질 수 있으며, 스트라이프형으로 배치될 수 있다. 다만, 댐 구조물(150)의 단면 형상을 사각형으로 한정하는 것은 아니며, 평탄한 상면(150A)을 가지는 다양한 단면구조로 변형될 수 있다.The
또한, 댐 구조물(150)은 다양하게 변형될 수 있다. 도 4(a) 내지 도 4(c)를 참조하여 이에 대해 설명한다. 도 4(a) 내지 도 4(c)는 도 3에 도시된 댐 구조물의 다양한 변형예이다.In addition, the
도 4(a)의 반도체 발광소자(200)는 앞서 설명한 실시예와 비교할 때, 댐 구조물(250)이 요철 구조(240)를 둘러싸도록 제1 면(212A)의 모서리 영역(E)을 따라 배치된 점에서는 유사하나, 제1 면(212A)의 꼭지점 영역(C)을 제외한 영역에만 댐 구조물(250)이 배치된 차이점이 있다. Compared to the embodiment described above, the semiconductor
도 4(b)의 반도체 발광소자(300)는 앞서 설명한 실시예와 비교할 때, 댐 구조물(350)이 요철 구조(240)를 둘러싸도록 제1 면(212A)의 모서리 영역(E)을 따라 배치된 점에서는 유사하나, 제1 면(312A)의 모서리 영역(E) 중 중앙 영역(EC)을 제외한 영역에만 댐 구조물(350)이 배치된 차이점이 있다. The semiconductor
도 4(c)의 반도체 발광소자(400)는 앞서 설명한 실시예와 비교할 때, 제1 댐 구조물(450)이 요철 구조(440)를 둘러싸도록 제1 면(412A)의 모서리 영역(E)을 따라 배치된 점에서는 유사하나, 제1 면(412A)의 중앙에 제2 댐 구조물(460)이 더 배치된 차이점이 있다.Compared to the embodiment described above, the semiconductor
다시 도 2를 참조하면, 제1 전극층(131)과 발광 구조물(110)의 사이에는 층간 절연층(124)이 배치될 수 있다. 층간 절연층(124)은 제1 전극층(131)의 제1 영역(R1)과 중첩하도록 배치될 수 있다. 층간 절연층(124)은 활성층(114)에서 방출된 빛 중 투명 전극층(122)으로 향하는 빛을 제1 도전형 반도체층(112) 방향으로 반사하기 위한 반사체이다. 층간 절연층(124)에는 층간 절연층(124)을 두께 방향으로 관통하도록 형성된 복수의 제1 개구(OPA) 및 복수의 제2 개구(OPB)가 형성될 수 있다.Referring back to FIG. 2 , an
층간 절연층(124)은 절연 특성 및 광투과 특성을 지닌 물질로 이루어질 수 있다. 층간 절연층(124)은 실리콘 산화물 또는 실리콘 질화물을 포함하여 이루어질 수 있으며, 예를 들어, SiO2, SiN, SiOxNy, TiO2, Si3N4, Al2O3, TiN, AlN, ZrO2, TiAlN, TiSiN 등으로 이루어질 수 있다.The interlayer insulating
층간 절연층(124)은 다층막 또는 단일막 구조로 이루어질 수 있다. 이러한 다층막 구조는 서로 다른 굴절률인 제1 및 제2 굴절률을 갖는 제1 절연층(124A)과 제2 절연층(124B)이 교대로 적층된 구조일 수 있다. 이러한 적층구조를 통해, 층간 절연층(124)은 분산형 브래그 반사기(Distributed Bragg Reflector, DBR)를 이룰 수 있다. The interlayer insulating
실시예에 따라서, 층간 절연층(124)은 단일막 구조로 이루어질 수 있으며, 층간 절연층(124)과 접하여 배치된 제2 전극층(126)과 전향성 반사기(Omni Directional Reflector, ODR)를 이룰 수 있다.According to an embodiment, the
제2 전극층(126)은 제1 전극층(131)과 층간 절연층(124)의 사이에, 층간 절연층(124)과 접하여 배치될 수 있으며, 제2 영역(R2)까지 연장될 수 있다. 제2 전극층(126) 중 제2 영역(R2)까지 연장된 부분에는 전극 패드(BP)가 배치될 수 있다. 제2 전극층(126)은 층간 절연층(124)의 제2 개구(OPB)를 채우도록 배치될 수 있다. 따라서, 제2 전극층(126)은 층간 절연층(124)의 제2 개구(OPB)를 통하여 투명 전극층(122)에 접속될 수 있다. 또한, 제2 전극층(126)에는 층간 절연층(124)의 제1 개구(OPA)가 연장되어 형성될 수 있다. 제2 전극층(126)은 투명 전극층(122)과 오믹 특성을 갖는 도전성 물질이 1층 또는 다층 구조로 이루어질 수 있다. 예를 들어, 제2 전극층(126)은 Au, W, Pt, Si, Ir, Ag, Cu, Ni, Ti, Cr 등과 같은 반사성이 높은 물질 및 그 합금 중 하나 이상을 포함한 물질로 형성될 수 있다. 제1 전극층(131)과 제2 전극층(126) 사이에는 절연성 분리층(128)이 개재되어, 이들을 전기적으로 절연시킬 수 있다. 절연성 분리층 (128)은 예컨대, 실리콘 산화막을 포함할 수 있다.The
콘택 전극(134)은 비아 전극으로 제1 전극층(131)과 제1 도전형 반도체층(112)을 전기적으로 접속하도록 배치될 수 있다. 콘택 전극(134)은 절연성 분리층 (128), 제2 전극층(126), 층간 절연층(124), 투명 전극층(122), 제2 도전형 반도체층(116) 및 활성층(114)을 관통하여, 제1 전극층(131)과 제1 도전형 반도체층(112)을 전기적으로 접속할 수 있다. 콘택 전극(134)은 발광 구조물(110)의 복수의 홀(H)과 층간 절연층(124)의 제1 개구(OPA)가 연장되어 형성된 비아홀(V) 내에 배치될 수 있다. 따라서, 콘택 전극(134)은 제1 개구(OPA)에 각각 대응되는 개수로 배치될 수 있다. 콘택 전극(134)은 Cu, Al 또는 W과 같은 금속 물질을 포함할 수 있다. 콘택 전극(134)의 둘레에는 절연 스페이서(132)가 배치될 수 있다. 절연 스페이서(132)는 실리콘 산화막 또는 실리콘 질화막을 포함할 수 있다. 일 실시예의 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 반도체 발광소자(100)의 상면에서 보았을 때, 25개의 콘택 전극(134)이 배치되었으나, 이에 한정하는 것은 아니며, 콘택 전극(134)의 개수는 2개 이상의 범위에서 다양하게 변형될 수 있다.The contact electrode 134 may be a via electrode and may be disposed to electrically connect the
층간 절연층(124)과 발광 구조물(110)의 사이에는 투명 전극층(122)이 배치될 수 있다. 투명 전극층(122)은 제1 전극층(131)의 제1 영역(R1)에 중첩하여 배치되며, 발광 구조물(110)의 제2 도전형 반도체층(116)과 접촉하여 배치될 수 있다. 투명 전극층(122)은 제2 전극층(126)으로부터 주입되는 전류를 확산시켜, 주입된 전류가 제2 도전형 반도체층(116)의 일 영역에 집중되는 것을 완화할 수 있다. 투명 전극층(122)은 제2 도전형 반도체층(116)을 전체적으로 덮도록 배치될 수 있으나, 실시예에 따라서는 제2 도전형 반도체층(116)의 일부 영역만 접하도록 배치될 수 있다. 투명 전극층(122)은 ITO(Indium Tin Oxide), ZITO(Zinc-doped Indium Tin Oxide), ZIO(Zinc Indium Oxide), GIO(Gallium Indium Oxide), ZTO(Zinc TinOxide), FTO(Fluorine-doped Tin Oxide), AZO(Aluminium-doped Zinc Oxide), GZO(Gallium-doped Zinc Oxide), In4Sn3O12 또는 Zn(1-x)MgxO(Zinc Magnesium Oxide, 0≤x≤1)과 같은 TCO(Transparent Conductive Oxide)물질을 채용할 수 있으며, Ag 나노와이어(nano wire) 및 CNT(carbon nano tube) 중 적어도 하나가 포함되어 전도성을 가지는 광투과성 폴리머 레진을 채용할 수도 있다.A
투명 전극층(122)에는 층간 절연층(124)의 제1 개구(OPA)가 연장되어 형성될 수 있다. 따라서, 콘택 전극(134)은 투명 전극층(122)과 절연된 상태로 발광 구조물(110)의 제1 도전형 반도체층(112)과 전기적으로 접할 수 있다.The first opening OPA of the interlayer insulating
전극 패드(BP)는 제2 전극층(126) 중 제2 영역(R2)과 중첩하는 영역에 배치될 수 있다. 전극 패드(BP)는 전원을 인가하기 위한 와이어가 본딩되는 영역으로, 와이어를 통해 공급된 전류는 제2 전극층(126)을 거쳐 투명 전극층(122)에 주입될 수 있다. 본 실시예에서, 전극 패드(BP)가 1개 배치된 형태로 예시되어 있으나, 실시예에 따라서, 전극 패드(BP)는 제2 영역(R2)에 복수개가 배치될 수 있다.The electrode pad BP may be disposed in a region overlapping the second region R2 of the
도 5는 도 1의 반도체 발광소자를 채용한 발광소자 패키지를 나타내는 측단면도이다. 5 is a side cross-sectional view illustrating a light emitting device package employing the semiconductor light emitting device of FIG. 1 .
도 5를 참조하면, 발광소자 패키지(1)는, 제1 및 제2 리드 프레임(16, 18)을 갖는 패키지 기판(10)과, 패키지 기판(10) 상에 배치된 반도체 발광소자(100)를 포함할 수 있다. 반도체 발광소자(100)는 도 3에 도시된 반도체 발광소자일 수 있다.Referring to FIG. 5 , the light emitting
패키지 기판(10)은 제1 및 제2 리드 프레임(16, 18)을 포함하며, 제1 및 제2 리드 프레임(16, 18)은 각각 패키지 기판(10)의 상면(10A)에 위치하도록 구성될 수 있다. 반도체 발광소자(100)는 제1 리드 프레임(16)에 전기적으로 접속될 수 있다. 반도체 발광소자(100)의 전극 패드(BP)는 와이어(W)를 이용하여 제2 리드 프레임(18)에 전기적으로 접속될 수 있다.The
반도체 발광소자(100)의 상부에는 파장변환필름(30)이 배치될 수 있다. 파장변환필름(30)은 반도체 발광소자(100)에서 생성된 광의 파장을 변환하는 형광체 또는 양자점과 같은 파장변환물질을 포함할 수 있다. 파장변환필름(30)은 반도체 발광소자(100)의 상면에 접착층(50)으로 부착될 수 있다. The
또한, 발광소자 패키지(1)는 패키지 기판(10) 상에 배치되며 반도체 발광소자(100)를 둘러싸는 반사성 수지층(40)을 더 포함할 수 있다. 반사성 수지층(40)은 TiO2, Al2O3 등과 같은 광반사성 분말들을 포함하는 몰딩부재를 포함할 수 있다.In addition, the light emitting
일 실시예의 반도체 발광소자(100)의 댐 구조물(150)은, 발광소자 패키지(1) 제조공정에서, 반사성 수지층(40)이 반도체 발광소자(100)의 상면에 유입되어 반도체 발광소자(100)에 스트레스(stress)를 가하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 접착층(50)이 반도체 발광소자(100)의 측면으로 유출되는 것을 방지할 수 있다. In the
도 6(a) 내지 도 6(c)를 참조하여, 이에 대해 설명한다. 도 6(a)는 도 5의 A부분의 확대도이며, 도 6(b) 및 도 6(c)는 반도체 발광소자에 댐 구조물이 배치되지 않은 비교예이다.6(a) to 6(c), this will be described. 6(a) is an enlarged view of part A of FIG. 5, and FIGS. 6(b) and 6(c) are comparative examples in which a dam structure is not disposed in the semiconductor light emitting device.
도 6(a)를 참조하면, 일 실시예의 경우, 댐 구조물(150)에 의해 반사성 수지층(40)이 차단되어, 반사성 수지층(40)이 반도체 발광소자(100)의 상면(112A)으로 유입되는 것이 방지된 것을 볼 수 있다. 또한, 댐 구조물(150)에 의해 접착층(50)이 반도체 발광소자(100)의 측면으로 유출되는 것이 차단된 것을 볼 수 있다. Referring to FIG. 6( a ), in the case of one embodiment, the
반면에, 도 6(b)의 비교예는, 반도체 발광소자(100)의 상면(112A) 중 접착층(50)이 도포되지 않은 영역에 반사성 수지층(40)이 유입된 것을 볼 수 있다. 파장변환필름(30)과 반도체 발광소자(100)의 상면(112A) 사이에 유입된 반사성 수지층(40)은, 경화과정에서 반도체 발광소자(100)에 스트레스를 가하여, 발광소자 패키지(1)의 신뢰성을 감소시킬 수 있다.On the other hand, in the comparative example of FIG. 6(b) , it can be seen that the
또한, 도 6(c)의 비교예는, 반도체 발광소자(100)의 상면(112A)에 도포된 접착층(50)이 반도체 발광소자(100)의 측면(112S)으로 흘러나와, 반사성 수지층(40)을 향하여 돌출된 영역(51)을 갖는 것을 볼 수 있다. 이 경우, 반사성 수지층(40)에서 반사되는 광의 경로가 왜곡되는 문제가 발생할 수 있다.In addition, in the comparative example of FIG. 6(c), the
본 발명은 상술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, but is intended to be limited by the appended claims. Therefore, various types of substitution, modification and change will be possible by those skilled in the art within the scope not departing from the technical spirit of the present invention described in the claims, and it is also said that it falls within the scope of the present invention. something to do.
1: 발광소자 패키지
16: 제1 리드 프레임
18: 제2 리드 프레임
30: 파장변환필름
40: 반사성 수지층
100: 반도체 발광소자
110: 발광 구조물
112: 제1 도전형 반도체층
114: 활성층
116: 제2 도전형 반도체층
122: 투명 전극층
124: 층간 절연층
126: 제2 전극층
128: 절연성 분리층
131: 제1 전극층
132: 절연 스페이서
134: 연결 콘택
138: 도전 기판
BP: 전극 패드
W: 와이어
R1: 제1 영역
R2: 제2 영역1: light emitting device package 16: first lead frame
18: second lead frame 30: wavelength conversion film
40: reflective resin layer 100: semiconductor light emitting device
110: light emitting structure 112: first conductivity type semiconductor layer
114: active layer 116: second conductivity type semiconductor layer
122: transparent electrode layer 124: interlayer insulating layer
126: second electrode layer 128: insulating separation layer
131: first electrode layer 132: insulating spacer
134: connection contact 138: conductive substrate
BP: electrode pad W: wire
R1: first region R2: second region
Claims (10)
상기 제1 전극층 상에 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층을 통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결된 복수의 홀을 갖는 발광 구조물 - 상기 제1 도전형 반도체층은 상기 발광 구조물의 제1 면을 이루며, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 이룸-;
상기 제1 면의 일 영역에 배치된 요철 패턴;
상기 제1 면의 일 영역을 둘러싸며 상기 제1 면의 모서리에 배치된 댐 구조물;
상기 제1 전극층과 상기 발광 구조물의 사이에, 상기 제1 영역과 중첩하여 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층과 접하는 투명 전극층;
상기 투명 전극층과 상기 제1 전극층의 사이에 배치되며, 상기 복수의 홀과 각각 연결된 복수의 제1 개구 및 상기 투명 전극층에 연결되는 복수의 제2 개구를 갖는 층간 절연층;
상기 제1 전극층과 상기 층간 절연층 사이에 배치되며, 상기 복수의 제2 개구를 통해 상기 투명 전극층과 접속되고, 상기 제1 전극층과 분리되도록 배치되고, 상기 제1 전극층의 상기 제2 영역 상으로 연장된 제2 전극층;
상기 제2 전극층 상에 상기 제2 영역과 중첩되도록 배치된 전극 패드; 및
상기 제2 전극층, 상기 층간 절연층, 상기 투명 전극층을 관통하여 상기 복수의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 접속되는 복수의 콘택 전극을 포함하는 반도체 발광소자.
a first electrode layer having first and second regions;
A plurality of layers disposed on the first electrode layer to overlap the first region, including a first conductivity-type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity-type semiconductor layer, and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the active layer a light emitting structure having a hole, wherein the first conductivity type semiconductor layer forms a first surface of the light emitting structure, and the second conductivity type semiconductor layer forms a second surface opposite to the first surface;
a concave-convex pattern disposed on one region of the first surface;
a dam structure surrounding an area of the first surface and disposed at a corner of the first surface;
a transparent electrode layer disposed between the first electrode layer and the light emitting structure, overlapping the first region, and in contact with the second conductivity-type semiconductor layer;
an interlayer insulating layer disposed between the transparent electrode layer and the first electrode layer and having a plurality of first openings respectively connected to the plurality of holes and a plurality of second openings connected to the transparent electrode layer;
It is disposed between the first electrode layer and the interlayer insulating layer, is connected to the transparent electrode layer through the plurality of second openings, is disposed to be separated from the first electrode layer, and is disposed on the second region of the first electrode layer. an extended second electrode layer;
an electrode pad disposed on the second electrode layer to overlap the second region; and
and a plurality of contact electrodes passing through the second electrode layer, the interlayer insulating layer, and the transparent electrode layer and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the plurality of holes.
상기 댐 구조물의 측면은 상기 발광 구조물의 측면과 공면(coplanar)을 이루는 반도체 발광소자.
According to claim 1,
A side surface of the dam structure is a semiconductor light emitting device coplanar with a side surface of the light emitting structure.
상기 요철 패턴 및 상기 댐 구조물은 상기 제1 도전형 반도체층과 동일한 물질로 이루어진 반도체 발광소자.
According to claim 1,
The concave-convex pattern and the dam structure are made of the same material as the first conductivity type semiconductor layer.
상기 요철 패턴 및 상기 댐 구조물은 상기 제1 도전형 반도체층과 상이한 물질로 이루어진 반도체 발광소자.
According to claim 1,
The concave-convex pattern and the dam structure are made of a material different from that of the first conductivity-type semiconductor layer.
상기 요철 패턴 및 상기 댐 구조물은 SiO2, SiN 및 SiOxNy 중 적어도 하나의 물질을 포함하는 반도체 발광소자.
5. The method of claim 4,
The concave-convex pattern and the dam structure may include at least one of SiO 2 , SiN, and SiO x N y .
상기 댐 구조물은 상기 제1 면에 대하여, 상기 요철 패턴 보다 높은 레벨을 갖는 반도체 발광소자.
According to claim 1,
The dam structure is a semiconductor light emitting device having a higher level than the concave-convex pattern with respect to the first surface.
상기 댐 구조물은 상기 제1 면의 각 모서리를 따라 연장 배치된 반도체 발광소자.
According to claim 1,
The dam structure is a semiconductor light emitting device extending along each edge of the first surface.
상기 제1 리드 프레임에 접하며 제1 및 제2 영역을 갖는 제1 전극층과, 상기 제1 전극층의 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치된 발광 구조물과, 상기 제2 리드 프레임에 전기적으로 연결된 전극 패드를 갖는 반도체 발광소자;
상기 반도체 발광소자를 덮는 파장변환필름; 및
상기 패키지 기판 상에 배치되며, 상기 반도체 발광소자의 측면 및 상기 파장변환필름의 측면을 덮는 반사성 수지층을 포함하며,
상기 반도체 발광소자는,
상기 제1 전극층과,
상기 제1 전극층 상에 상기 제1 영역과 중첩하도록 배치되며, 제1 도전형 반도체층, 활성층 및 제2 도전형 반도체층을 포함하고, 상기 활성층을 통하여 상기 제1 도전형 반도체층에 연결된 복수의 홀을 갖는 발광 구조물 - 상기 제1 도전형 반도체층은 상기 발광 구조물의 제1 면을 이루며, 상기 제2 도전형 반도체층은 상기 제1 면에 반대되는 제2 면을 이룸-과,
상기 제1 면의 일 영역에 배치된 요철 패턴과,
상기 제1 면의 일 영역을 둘러싸며 상기 제1 면의 모서리에 배치된 댐 구조물과,
상기 제1 전극층과 상기 발광 구조물의 사이에, 상기 제1 영역과 중첩하여 배치되며, 상기 제2 도전형 반도체층과 접하는 투명 전극층과,
상기 투명 전극층과 상기 제1 전극층의 사이에 배치되며, 상기 복수의 홀과 각각 연결된 복수의 제1 개구 및 상기 투명 전극층에 연결되는 복수의 제2 개구를 갖는 층간 절연층과,
상기 제1 전극층과 상기 층간 절연층 사이에 배치되며, 상기 복수의 제2 개구를 통해 상기 투명 전극층과 접속되고, 상기 제1 전극층과 분리되도록 배치되고, 상기 제1 전극층의 상기 제2 영역 상으로 연장된 제2 전극층과,
상기 제2 전극층 상에 상기 제2 영역과 중첩되도록 배치된 전극 패드와,
상기 제2 전극층, 상기 층간 절연층, 상기 투명 전극층을 관통하여 상기 복수의 홀을 통해 상기 제1 도전형 반도체층과 접속되는 복수의 콘택 전극을 포함하는 발광소자 패키지.
a package substrate having first and second lead frames;
a first electrode layer in contact with the first lead frame and having first and second regions; a light emitting structure disposed to overlap the first region of the first electrode layer; and an electrode pad electrically connected to the second lead frame; a semiconductor light emitting device having;
a wavelength conversion film covering the semiconductor light emitting device; and
and a reflective resin layer disposed on the package substrate and covering a side surface of the semiconductor light emitting device and a side surface of the wavelength conversion film,
The semiconductor light emitting device,
the first electrode layer;
A plurality of layers disposed on the first electrode layer to overlap the first region, including a first conductivity-type semiconductor layer, an active layer, and a second conductivity-type semiconductor layer, and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the active layer a light emitting structure having a hole, wherein the first conductivity type semiconductor layer forms a first surface of the light emitting structure, and the second conductivity type semiconductor layer forms a second surface opposite to the first surface;
a concave-convex pattern disposed on one region of the first surface;
a dam structure surrounding a region of the first surface and disposed at a corner of the first surface;
a transparent electrode layer disposed between the first electrode layer and the light emitting structure, overlapping the first region, and in contact with the second conductivity-type semiconductor layer;
an interlayer insulating layer disposed between the transparent electrode layer and the first electrode layer and having a plurality of first openings respectively connected to the plurality of holes and a plurality of second openings connected to the transparent electrode layer;
It is disposed between the first electrode layer and the interlayer insulating layer, is connected to the transparent electrode layer through the plurality of second openings, is disposed to be separated from the first electrode layer, and is disposed on the second region of the first electrode layer. an extended second electrode layer;
an electrode pad disposed on the second electrode layer to overlap the second region;
and a plurality of contact electrodes passing through the second electrode layer, the interlayer insulating layer, and the transparent electrode layer and connected to the first conductivity-type semiconductor layer through the plurality of holes.
상기 반도체 발광소자와 상기 파장변환필름의 사이를 채우는 접착층을 더 포함하는 발광소자 패키지.
9. The method of claim 8,
The light emitting device package further comprising an adhesive layer filling between the semiconductor light emitting device and the wavelength conversion film.
상기 댐 구조물의 상면은 상기 파장변환필름과 접하는 발광소자 패키지.
10. The method of claim 9,
The upper surface of the dam structure is a light emitting device package in contact with the wavelength conversion film.
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