KR20220135194A - Glass substrate manufacruting device - Google Patents

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KR20220135194A
KR20220135194A KR1020220037229A KR20220037229A KR20220135194A KR 20220135194 A KR20220135194 A KR 20220135194A KR 1020220037229 A KR1020220037229 A KR 1020220037229A KR 20220037229 A KR20220037229 A KR 20220037229A KR 20220135194 A KR20220135194 A KR 20220135194A
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KR
South Korea
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cover
tube
glass substrate
flange
axial direction
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Application number
KR1020220037229A
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Korean (ko)
Inventor
가즈토 수가하라
마나부 이치카와
아키오 아타라시
슌스케 스즈키
šœ스케 스즈키
Original Assignee
아반스트레이트 가부시키가이샤
아반스트레이트 타이완 인크
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B5/00—Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
    • C03B5/16—Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/167—Means for preventing damage to equipment, e.g. by molten glass, hot gases, batches
    • C03B5/1672—Use of materials therefor
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    • C03B5/20—Bridges, shoes, throats, or other devices for withholding dirt, foam, or batch

Abstract

Provided is a device for manufacturing a glass substrate capable of suppressing leakage and outflow of molten glass from between tube portions divided in an axial direction. The device for manufacturing a glass substrate comprises: a pipe member made of a material containing a platinum group metal and through which molten glass flows, having two pipe portions divided in an axial direction, narrowing a space between the pipe portions spaced apart in the axial direction by being heated; and a cover member covering an axial area of the pipe member including an axial end part of the pipe portion facing each other over the entire circumference to come into contact with a circumferential wall surface of the pipe portion.

Description

유리 기판 제조 장치{GLASS SUBSTRATE MANUFACRUTING DEVICE}Glass substrate manufacturing apparatus {GLASS SUBSTRATE MANUFACRUTING DEVICE}

본 발명은, 축 방향으로 분할된 관 부재를 구비하는 유리 기판 제조 장치에 관한 것이다.This invention relates to the glass substrate manufacturing apparatus provided with the tube member divided|segmented in the axial direction.

액정 디스플레이, 유기 EL 디스플레이 등의 디스플레이에 사용되는 유리 기판은, 유리 원료를 용해하여 제조된 용융 유리에 이송, 청징, 균질화 등의 처리를 행한 후, 판형으로 성형하는 공정을 거쳐 제조된다.The glass substrate used for displays, such as a liquid crystal display and an organic electroluminescent display, is manufactured through the process of shape|molding into plate shape, after performing processes, such as transfer, clarification, and homogenization, to the molten glass manufactured by dissolving glass raw material.

용융 유리를 이송하기 위해, 백금족 금속을 포함하는 재료로 이루어진 관 부재가 사용되어 있다. 관 부재는, 조업을 위해 승온될 때 열팽창되는데, 관 부재와 접속된 다른 관 부재나, 관 부재의 주변에 배치된 내화 벽돌 등의 구조체에 의해 구속되고, 열팽창이 제한되어 관 부재에 내부 응력이 발생한다. 관 부재에 내부 응력이 발생하여 왜곡이 생기면, 관 부재는 변형하며 파손되는 경우가 있다.In order to transport the molten glass, a tube member made of a material containing a platinum group metal is used. The tube member thermally expands when the temperature is raised for operation, and is constrained by other tube members connected to the tube member or structures such as fire bricks disposed around the tube member, thermal expansion is limited, and internal stress in the tube member Occurs. When an internal stress is generated in a tubular member and distortion occurs, the tubular member may deform and break.

종래, 조업을 위해 승온되었을 때 관 부재의 열팽창이 제한되지 않도록, 관 부재를 축 방향으로 분할한 2개의 관을 서로 이격하여 배치하는 것이 알려져 있다. 특허문헌 1에는, 이격하여 설치되는 제1 관 및 제2 관과, 제1 관 및 제2 관 사이에 형성된, 조업시의 열팽창을 허용하는 열팽창 허용 공간을 덮개 부재로 덮는 것이 기재되어 있다. 덮개 부재는, 단면(斷面)이 대략 반원의 원호 형상의 2개의 덮개부로 이루어지고, 열팽창 허용 공간으로부터 누출된 용융 유리를, 덮개부 사이의 둘레 방향의 간극으로부터 지름 방향으로 연장되어 서로 대향하는 덮개부의 플랜지 사이로 흘려보내는 것에 의해 용융 유리의 점도를 높이는 것이 특허문헌 1에 기재되어 있다. 이로써, 용융 유리가 외부로 누출되는 것을 억제할 수 있다고 한다.Conventionally, it is known that two tubes in which the tube member is divided in the axial direction are spaced apart from each other so that the thermal expansion of the tube member is not limited when the temperature is raised for operation. In Patent Document 1, it is described that the first tube and the second tube provided to be spaced apart, and the thermal expansion allowable space formed between the first tube and the second tube to allow thermal expansion during operation is covered with a cover member. The lid member is composed of two lid portions having a substantially semicircular arc shape in cross section, and the molten glass leaked from the thermal expansion allowable space extends in the radial direction from the circumferential gap between the lid portions to face each other. It is described in patent document 1 to raise the viscosity of a molten glass by flowing between the flanges of a cover part. It is said that it can suppress that a molten glass leaks to the outside by this.

[선행기술문헌][Prior art literature]

[특허문헌][Patent Literature]

[특허문헌 1] 국제공개 제2012/132368호[Patent Document 1] International Publication No. 2012/132368

특허문헌 1에 기재된 상기 기술에서는, 관 부재를 흐르는 용융 유리의 점도나, 덮개부의 플랜지 간의 간극의 크기에 따라서는, 열팽창 허용 공간으로부터 누출된 용융 유리의 점도를 충분히 높이지 못하고 외부로 유출하는 경우가 있다는 것이 알게 되었다. 용융 유리가 외부로 유출하면, 관 부재의 주변 영역뿐만 아니라, 유리 기판의 생산 설비의 다른 영역으로 퍼져 나가 설비가 파손되는 것에 의해 유리 기판의 생산을 정지해야 하는 경우가 있다.In the above technique described in Patent Document 1, depending on the viscosity of the molten glass flowing through the pipe member and the size of the gap between the flanges of the cover, the viscosity of the molten glass leaked from the thermal expansion allowable space cannot be sufficiently increased and flows out found out that there is When a molten glass flows out to the outside, it may spread to the other area|region of the production facility of a glass substrate as well as the peripheral area|region of a tube member, and production of a glass substrate may have to be stopped by a facility being damaged.

이에, 본 발명은, 축 방향으로 분할된 관 부분 사이로부터 용융 유리가 누출되어 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있는 유리 기판 제조 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, an object of this invention is to provide the glass substrate manufacturing apparatus which can suppress that a molten glass leaks from between the pipe parts divided|segmented in the axial direction, and flows out to the outside.

본 발명의 일 태양은, 유리 기판 제조 장치이다.One aspect of this invention is a glass substrate manufacturing apparatus.

유리 기판 제조 장치는, 백금족 금속을 포함하는 재료로 이루어지며, 용융 유리가 흐르는 관 부재로서, 축 방향으로 분할된 2개의 관 부분을 가지고, 가열되는 것에 의해 축 방향으로 이격하여 배치된 상기 관 부분 사이의 간극이 좁혀지도록 구성된 관 부재와,The glass substrate manufacturing apparatus is made of a material containing a platinum group metal, is a tube member through which molten glass flows, has two tube portions divided in the axial direction, and the tube portion is arranged spaced apart in the axial direction by being heated A tube member configured to narrow the gap therebetween;

서로 대향하는 상기 관 부분의 축 방향의 단부(端部)를 포함하는 상기 관 부재의 축 방향 영역을 전주(全周)에 걸쳐서 상기 관 부분의 둘레 형상의 벽면과 접하도록 덮는 덮개 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.A cover member for covering an axial region of the tube member including the axial ends of the tube portion opposite to each other so as to be in contact with the circumferential wall surface of the tube portion over the entire pole characterized in that

상기 관 부분의 각각은, 상기 덮개 부재에 대하여 축 방향 양측에 위치하는 한 쌍의 플랜지 중 1개로서, 상기 벽면으로부터 외주측으로 연장되도록 설치된 플랜지를 가지고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that each of the said pipe part has a flange provided so that it may extend to the outer peripheral side from the said wall surface as one of a pair of flanges located on both sides of the axial direction with respect to the said cover member.

상기 덮개 부재는, 상기 덮개 부재의 축 방향 양측의 단부로부터 상기 플랜지와 대향하도록 외주측으로 연장되는 한 쌍의 플랜지를 가지고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the said lid member has a pair of flanges extended to the outer peripheral side so that it may oppose the said flange from the edge part of the axial direction both sides of the said lid member.

상기 덮개 부재의 상기 플랜지 및 상기 관 부분의 상기 플랜지의 서로 대향하는 표면은 간극 없이 접하고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the mutually opposing surfaces of the flange of the cover member and the flange of the tube portion abut without a gap.

상기 관 부분의 상기 플랜지의 지름 방향 길이는, 상기 덮개 부재의 상기 플랜지의 지름 방향 길이보다 긴 것이 바람직하다.It is preferable that the radial length of the said flange of the said pipe part is longer than the radial length of the said flange of the said cover member.

상기 덮개 부재는, 둘레 방향으로 분할된 복수의 덮개를 가지고,The cover member has a plurality of covers divided in the circumferential direction,

상기 덮개는, 서로 대향하는 상기 덮개의 둘레 방향의 단부가 간극을 두지 않고 서로 접속되어 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the said lid|cover is mutually connected with the edge part in the circumferential direction of the said lid|cover which opposes mutually without a clearance gap.

상기 덮개는, 지름 방향으로 중첩되어 배치되는 내측 덮개 및 외측 덮개를 가지고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the said cover has an inner cover and an outer cover which are overlapped in the radial direction and are arrange|positioned.

상기 내측 덮개 및 상기 외측 덮개의 각각은, 일부의 축 방향 영역에 있어서 서로 중첩되지 않는 비중첩 영역을 가지고,Each of the inner cover and the outer cover has a non-overlapping area that does not overlap with each other in a part of the axial direction area,

상기 내측 덮개 및 상기 외측 덮개의 각각은, 상기 비중첩 영역에 위치하는 상기 덮개의 축 방향의 단부에 상기 덮개 부재의 상기 플랜지 중 1개를 가지고 있는 것이 바람직하다.Each of the inner cover and the outer cover preferably has one of the flanges of the cover member at an axial end of the cover positioned in the non-overlapping region.

가열에 의해 상기 간극이 좁혀진 상기 관 부재에 있어서, 상기 관 부분 중 제1 관 부분은, 제2 관 부분과 비하여 온도가 높고,In the tube member in which the gap is narrowed by heating, a first tube portion of the tube portion has a higher temperature than a second tube portion,

상기 내측 덮개의 상기 플랜지는, 상기 제1 관 부분의 상기 플랜지와 대향하고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the said flange of the said inner cover faces the said flange of the said 1st pipe part.

가열에 의해 상기 간극이 좁혀진 상기 관 부재에 있어서, 상기 관 부분은 축 방향으로 간극 없이 접하고 있는 것이 바람직하다.In the tubular member in which the gap is narrowed by heating, it is preferable that the tubular portion is in contact with no gap in the axial direction.

전술한 태양의 유리 기판 제조 장치에 의하면, 축 방향으로 분할된 관 부분 사이로부터 용융 유리가 누출되어 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있다.According to the glass substrate manufacturing apparatus of the aspect mentioned above, it can suppress that a molten glass leaks and flows out to the outside from between the tube parts divided|segmented in the axial direction.

도 1은 유리 기판 제조 장치에 의해 행하여지는 유리 기판의 제조 방법의 개략 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 유리 기판 제조 장치의 개략 구성을 나타낸 도면이다.
도 3은 관 부재 및 덮개 부재의 일예의 분해 사시도이다.
도 4는 관 부분의 열팽창을 설명한 도면이며, (a)는 조업 전의 관 부재를 나타내며, (b)는 조업 중의 관 부재를 나타낸 도면이다.
도 5는 관 부재 및 덮개 부재의 다른 일예를 나타낸 일부 분해도이다.
도 6은 덮개의 일예를 나타낸 외관도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is the figure which showed the schematic structure of the manufacturing method of the glass substrate performed with a glass substrate manufacturing apparatus.
It is a figure which showed the schematic structure of a glass substrate manufacturing apparatus.
3 is an exploded perspective view of an example of a tube member and a cover member.
It is a figure explaining the thermal expansion of a pipe part, (a) shows the pipe member before operation, (b) is the figure which showed the pipe member during operation.
5 is a partial exploded view showing another example of the tube member and the cover member.
6 is an external view showing an example of the cover.

이하, 본 실시형태의 유리 기판 제조 장치에 대해 설명한다.Hereinafter, the glass substrate manufacturing apparatus of this embodiment is demonstrated.

도 1은, 본 실시형태에 따른 유리 기판 제조 장치에 의해 행하여지는 유리 기판의 제조 방법의 일부의 흐름도이다. 이하, 도 1을 참조하여 유리판의 제조 방법에 대해 설명한다.1 : is a flowchart of a part of the manufacturing method of the glass substrate performed by the glass substrate manufacturing apparatus which concerns on this embodiment. Hereinafter, with reference to FIG. 1, the manufacturing method of a glass plate is demonstrated.

유리판은, 도 1에 나타낸 바와 같이, 용해 공정 ST1, 청징 공정 ST2, 균질화 공정 ST3, 공급 공정 ST4 및 성형 공정 ST5를 포함하는 각종 공정을 거쳐 제조된다. 이하, 이들의 공정에 대해 상세하게 설명한다.As shown in FIG. 1, a glass plate is manufactured through melt|dissolution process ST1, clarification process ST2, homogenization process ST3, supply process ST4, and various processes including shaping|molding process ST5. Hereinafter, these processes are demonstrated in detail.

용해 공정 ST1에서는, 유리 원료를 용해한다. 유리 원료는, SiO2, Al2O3 등의 조성으로 이루어진다. 노(爐)로 투입된 유리 원료는, 가열되어 용해되어 용융 유리로 되고, 다음 공정인 청징 공정 ST2가 행하여지는 청징조로 유출된다.In melting process ST1, glass-making feedstock is melt|dissolved. Glass - making feedstock consists of compositions, such as SiO2 and Al2O3. The glass-making feedstock injected|thrown-in to the furnace is heated, melt|dissolved, becomes a molten glass, and flows out to the clarification tank in which clarification process ST2 which is a next process is performed.

청징 공정 ST2에서는, 용융 유리를 청징한다. 구체적으로는, 용융 유리 중에 포함되는 가스 성분을 기포로서 용융 유리 외로 방출하거나 혹은 용융 유리 중에 용해시킨다. 청징된 용융 유리는, 다음 공정인 균질화 공정 ST3이 행하여지는 교반조를 향하여 이송관으로 유출된다.In clarification process ST2, a molten glass is clarified. Specifically, the gas component contained in the molten glass is discharged as bubbles to the outside of the molten glass or dissolved in the molten glass. The clarified molten glass flows out to a conveyance pipe toward the stirring tank in which the homogenization process ST3 which is the next process is performed.

균질화 공정 ST3에서는, 용융 유리를 균질화한다. 구체적으로는, 용융 유리를 교반하는 것에 의해 균질화한다. 또한, 상기 공정에서는, 청징이 완료된 용융 유리의 온도 조정을 행한다. 균질화된 용융 유리는, 다음 공정인 공급 공정 ST4가 행하여지는 유리 공급관으로 유출된다.In homogenization process ST3, a molten glass is homogenized. Specifically, it homogenizes by stirring a molten glass. In addition, at the said process, temperature adjustment of the clarification completed molten glass is performed. The homogenized molten glass flows out to the glass supply pipe|tube in which supply process ST4 which is the next process is performed.

공급 공정 ST4에서는, 용융 유리를 성형하는 장치에 공급한다. 상기 공정에서는, 시트형 시트 유리의 성형을 개시하기에 적당한 온도가 되도록 용융 유리를 냉각한다.In supply process ST4, it supplies to the apparatus which shape|molds a molten glass. At the said process, a molten glass is cooled so that it may become a suitable temperature for starting shaping|molding of sheet-like sheet glass.

성형 공정 ST5에서는, 용융 유리를 시트 유리로 성형한다. 성형된 시트 유리판은, 절단 장치를 사용하여 절단 공정에서 절단되어 유리판이 된다. 성형 방법으로서는, 다운드로법, 플로트법, 롤아웃법 등을 이용할 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 다운드로법의 오버다운드로법을 이용하는 것이 바람직하다. 오버다운드로법에 대해서는 후술한다. 또한, 절단된 유리판은, 이 후 절단, 연삭·연마 등의 가공이 행하여지며 세정, 검사가 행하여진다.In shaping|molding process ST5, a molten glass is shape|molded into sheet glass. The shape|molded sheet glass plate is cut|disconnected at a cutting process using a cutting device, and becomes a glass plate. As a shaping|molding method, the down-draw method, the float method, the roll-out method, etc. can be used. In addition, in this embodiment, it is preferable to use the over-down-draw method of a down-draw method. The over-down draw method will be described later. In addition, processing, such as cutting|disconnection, grinding|polishing, grinding|polishing, is performed after this, and washing|cleaning and inspection are performed for the cut|disconnected glass plate.

(유리 기판 제조 장치의 개요 구성) (Outline configuration of glass substrate manufacturing apparatus)

도 2는, 본 실시형태에 따른 유리 기판 제조 장치(100)의 일예를 나타낸 것이다.2 : shows an example of the glass substrate manufacturing apparatus 100 which concerns on this embodiment.

도 2에 나타낸 바와 같이, 유리 기판 제조 장치(100)는, 용해조(101), 청징조(102), 교반조(103), 성형 장치(104), 이송관(105)(관 부재에 상당), 유리 공급관(106)을 가진다.As shown in FIG. 2, the glass substrate manufacturing apparatus 100 is the dissolution tank 101, the clarification tank 102, the stirring tank 103, the shaping|molding apparatus 104, the transfer pipe 105 (corresponding to a pipe member). , has a glass supply pipe 106 .

용해조(101)는, 유리 원료를 용해하기 위한 조이다. 용해조(101)는, 벽돌 등의 내화물에 의해 구성되어 있고, 하부에 용융 유리가 배치되는 액조를 가진다. 예를 들어, 용해조(101)는, 적당히 벽면에 배치되는 버너에 의해 가열된다. 그리고, 벽면이 버너에 의해 가열되는 것에 의해 복사열이 발생하고, 상기 복사열에 의해 유리 원료가 가열되어 용해된다. 액조에는, 용융 유리를 통전하는 것에 의해 용융 유리에 주울열을 발생시키기 위한 통전 가열 장치가 설치되어 있다. 액조의 벽면에는, 용융 유리와 접하도록 통전 가열 장치의 전극이 설치되어 있다. 용해조(101)에서는, 용해 공정 ST1을 행한다. 또한, 상기에서는 유리 원료의 가열 수단으로서 버너와 전극을 가지는 것을 예를 들어 설명했으나 이에 한정되는 것이 아니고, 어느 하나를 가지고 있으면 된다. 또한, 유리 원료의 용해 방법은 특별히 이에 한정되는 것이 아니고, 다른 가열 수단을 이용하여 유리 원료를 용해하는 것도 가능하다.The dissolution tank 101 is a tank for melt|dissolving glass-making feedstock. The melting tank 101 is comprised by refractory materials, such as a brick, and has a liquid tank in which a molten glass is arrange|positioned at the lower part. For example, the dissolution tank 101 is suitably heated by the burner arrange|positioned on the wall surface. And when a wall surface is heated by a burner, radiant heat generate|occur|produces, and glass-making feedstock is heated and melt|dissolved by the said radiant heat. The energization heating apparatus for generating Joule heat to a molten glass by energizing a molten glass is provided in a liquid tank. On the wall surface of the liquid tank, the electrode of the electric heating apparatus is provided so that it may contact with a molten glass. In the dissolution tank 101, dissolution process ST1 is performed. In addition, although having a burner and an electrode was demonstrated as an example as a heating means of glass-making feedstock in the above, it is not limited to this, What is necessary is just to have any one. In addition, the melt|dissolution method in particular of glass-making feedstock is not limited to this, It is also possible to melt|dissolve glass-making feedstock using another heating means.

청징조(102)는, 용해조(101)에서 용해된 용융 유리로부터 거품을 제거하기 위한 조이다. 용해조(101)로부터 보내어진 용융 유리를 청징조(102)에서 더 가열하는 것에 의해 용융 유리 중의 기포의 탈포가 촉진된다. 청징조(102)에서는, 청징 공정 ST2를 행한다. 보다 상세하게는, 청징조(102)에서의 용융 유리의 온도는, 청징제가 가스 성분(예를 들어, 산화주석이면 산소)을 방출하는 온도 이상으로서, 용융 유리 중의 기존의 거품에 상기 가스 성분이 확산되어 기존의 거품의 거품 직경이 확대되는 온도로 승온된다. 또한, 용융 유리 중의 기포가 충분한 부상 속도로 되는 점도(200∼800poise)를 실현하는 온도 이상으로 용융 유리의 온도가 승온된다. 이로써, 용융 유리 중의 기포는 용융 유리 내부로부터 외부로 방출된다. 이 후, 용융 유리는 강온되고, 용융 유리 중에 잔존하고 있는 기포가 청징제에 흡수된다. 이로써, 용융 유리 중의 거품을 소멸시킬 수 있어 청징이 행하여진다. 또한, 거품의 소멸은, 청징조(102), 이송관(105) 및 교반조(103)에서 행하여져도 된다.The clarification tank 102 is a tank for removing a bubble from the molten glass melt|dissolved in the melting tank 101. Degassing|defoaming of the bubble in a molten glass is accelerated|stimulated by further heating the molten glass sent from the dissolution tank 101 in the clarification tank 102. In the clarification tank 102, clarification process ST2 is performed. More specifically, the temperature of the molten glass in the clarification tank 102 is higher than the temperature at which the clarifier releases a gas component (for example, oxygen if it is tin oxide), and the gas component is present in the existing bubbles in the molten glass. The temperature is raised to a temperature at which the bubble diameter of the existing bubble expands as it diffuses. Moreover, the temperature of a molten glass is heated up more than the temperature at which the bubble in a molten glass realize|achieves the viscosity (200-800 poise) used as a sufficient floating velocity. Thereby, the bubble in a molten glass is discharged|emitted to the outside from the inside of a molten glass. Thereafter, the temperature of the molten glass is decreased, and the bubbles remaining in the molten glass are absorbed by the clarifier. Thereby, the bubble in a molten glass can be extinguished and clarification is performed. In addition, extinction of a bubble may be performed by the clarification tank 102, the transfer pipe 105, and the stirring tank 103.

교반조(103)는, 용융 유리를 수용하는 용기, 회전축, 상기 회전축에 설치되는 교반 날개를 포함하는 교반 장치를 가지고 있다. 용기, 회전축 및 교반 날개로서는, 예를 들어 백금 등의 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금제의 것을 사용할 수 있으나 이에 한정되지 않는다. 모터 등의 구동부(미도시)의 구동에 의해 회전축이 회전하는 것에 의해 회전축에 설치된 교반 날개가 용융 유리를 교반한다. 교반조(103)에서는, 균질화 공정 ST3을 행한다.The stirring tank 103 has the stirring apparatus containing the container which accommodates a molten glass, a rotation shaft, and the stirring blade provided in the said rotation shaft. As the container, the rotating shaft, and the stirring blade, for example, a platinum group element such as platinum or a platinum group element alloy can be used, but is not limited thereto. When the rotating shaft rotates by driving of a driving unit (not shown) such as a motor, the stirring blade provided on the rotating shaft stirs the molten glass. In the stirring tank 103, homogenization process ST3 is performed.

성형 장치(104)는, 상부에 홈이 형성되고 종방향의 단면이 쐐기형 형상을 지닌 성형체를 구비한다. 홈은, 성형체의 길이 방향을 따라 형성되어 있다. 성형체는 내화물이다. 또한, 성형 장치(104)는, 성형체를 흘러 넘쳐 성형체의 하단에서 합류한 용융 유리를 하방으로 연신하는 롤러, 유리를 서서히 냉각하는 냉각 장치 등을 구비한다. 성형 장치(104)에서는, 성형 공정 ST5를 행한다. 또한, 공급 공정 ST4에서는, 1일당 6t 이상의 용융 유리가 성형 장치(104)에 공급된다.The molding device 104 includes a molded body having a wedge-shaped cross section in the longitudinal direction and having a groove formed thereon. The groove is formed along the longitudinal direction of the molded body. The molded body is a refractory material. Moreover, the shaping|molding apparatus 104 is equipped with the roller which draws downward the molten glass which overflowed the molded object and joined at the lower end of the molded object, the cooling apparatus which cools glass gradually, etc. are provided. In the shaping|molding apparatus 104, shaping|molding process ST5 is performed. In addition, in supply process ST4, 6t or more of molten glass is supplied to the shaping|molding apparatus 104 per day.

이송관(105) 및 유리 공급관(106)은, 백금족 원소(백금, 이리듐, 오스뮴, 팔라듐, 로듐, 루테늄 등) 또는 백금족 원소 합금제의 배관이다. 이송관(105)은, 청징조(102)와 교반조(103)를 접속하는 배관이다. 유리 공급관(106)은, 교반조(103)와 성형 장치(104)를 접속하는 배관이다.The transfer pipe 105 and the glass supply pipe 106 are pipes made of a platinum group element (platinum, iridium, osmium, palladium, rhodium, ruthenium, etc.) or a platinum group element alloy. The transfer pipe 105 is a pipe which connects the clarification tank 102 and the stirring tank 103 . The glass supply pipe 106 is a pipe connecting the stirring tank 103 and the molding apparatus 104 .

또한, 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금으로 이루어진 청징조(102), 이송관(105), 교반조(103), 유리 공급관(106)은, 상기 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금에 직접 전류를 흘리는 것에 의해 가열되는 것이 바람직하다. 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금에 직접 전류를 흘려 가열하는 것에 의해 효율적으로 용융 유리의 온도를 조절할 수 있다. 이로써, 청징제로서 산화주석을 사용한 경우라도, 산화주석이 청징제로서 효과적으로 기능하는 온도(예를 들어 1620℃ 이상으로)로 용융 유리를 쉽게 승온시킬 수 있다.In addition, the clarification tank 102, the transfer pipe 105, the stirring tank 103, and the glass supply pipe 106 made of a platinum group element or a platinum group element alloy are heated by passing an electric current directly to the platinum group element or the platinum group element alloy. It is preferable to be The temperature of a molten glass can be efficiently adjusted by heating a platinum group element or a platinum group element alloy by sending an electric current directly. Thereby, even when a tin oxide is used as a clarifier, a molten glass can be easily heated up to the temperature (for example, to 1620 degreeC or more) at which a tin oxide functions effectively as a clarifier.

또한, 청징조(102), 이송관(105), 교반조(103), 유리 공급관(106)의 가열 방법은 상기 방법에 한정되지 않고, 예를 들어 청징조(102), 이송관(105), 교반조(103), 유리 공급관(106)의 둘레에 전기 히터 등의 가열 장치를 설치하고, 상기 가열 장치에 의해 가열하는 것도 가능하다.In addition, the heating method of the clarification tank 102, the conveyance pipe 105, the stirring tank 103, and the glass supply pipe|tube 106 is not limited to the said method, For example, the clarification tank 102, the conveyance pipe 105. , It is also possible to provide a heating device such as an electric heater around the stirring tank 103 and the glass supply pipe 106, and to heat by the heating device.

도 3은, 이송관(105) 및 덮개 부재(113)의 일예의 분해 사시도이다.3 is an exploded perspective view of an example of the transfer pipe 105 and the cover member 113 .

(이송관) (Transfer pipe)

이송관(105)은, 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112)을 가진다.The transfer tube 105 has a first tube portion 111 and a second tube portion 112 .

제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)은, 이송관(105)이 축 방향으로 2개로 분할되어 이루어진 이송관(105)의 부분이다. 본 명세서에 있어서, 축 방향이란, 관 부재의 중심축이 연장되는 방향 및 이것과 평행한 방향을 의미하며, 도 3∼도 5의 좌우 방향이다.The first tube portion 111 and the second tube portion 112 are portions of the transfer tube 105 in which the transfer tube 105 is divided into two in the axial direction. In this specification, the axial direction means the direction in which the central axis of a tube member extends, and a direction parallel to this, and is a left-right direction in FIGS.

제1 관 부분(111)은, 청징조(102)와 접속되어 있다.The 1st pipe part 111 is connected with the clarification tank 102.

제2 관 부분(112)은, 교반조(103)와 접속되어 있다. 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)에는, 예를 들어 지름은 10∼1000㎜, 바람직하게는 70㎜∼200㎜인 관이 사용된다.The second pipe portion 112 is connected to the stirring tank 103 . For the first tube portion 111 and the second tube portion 112 , for example, a tube having a diameter of 10 to 1000 mm, preferably 70 mm to 200 mm is used.

이송관(105)은 가열되는 것에 의해 축 방향으로 이격하여 배치된 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112) 사이의 간극이 좁혀지도록 구성되어 있다. 구체적으로, 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112) 사이에는, 적어도 유리 기판 제조 장치(100)의 운전(조업) 전에 있어서 이격부(S1)가 존재한다. 즉, 적어도 조업 전에 있어서, 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112)은 이격되어 설치되어 있다. 이격부(S1)는, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 가열에 따른 축 방향의 팽창을 허용하는 공간이며, 미리 계산된 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 열팽창량에 따라 축 방향의 길이가 정해져 있다.The transfer pipe 105 is configured to narrow the gap between the first tube portion 111 and the second tube portion 112 arranged to be spaced apart in the axial direction by being heated. Specifically, between the first tube portion 111 and the second tube portion 112 , the separation portion S1 exists at least before the operation (operation) of the glass substrate manufacturing apparatus 100 . That is, at least before operation, the 1st pipe|tube part 111 and the 2nd pipe|tube part 112 are spaced apart and provided. The separation portion (S1) is a space that allows expansion in the axial direction according to the heating of the first tube portion 111 and the second tube portion 112, and the first tube portion 111 and the second tube calculated in advance. The length in the axial direction is determined according to the amount of thermal expansion of the portion 112 .

도 4는, 이송관(105)의 열팽창을 설명한 도면이며, (a)는 조업 전의 이송관(105)을 나타내고, (b)는 조업 중의 이송관(105)을 나타낸 도면이다. 전술한 바와 같이, 조업 전에 있어서, 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112)은, 도 4의 (a)에 나타낸 바와 같이, 이격부(S1)를 개재하여 이격되어 있다. 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)은, 청징조(102) 및 교반조(103)와 접속되어 있으므로, 조업을 위해 가열되어 승온될 때 서로 접근하도록 축 방향으로 팽창하여, 이격부(S1)를 축 방향으로 좁힌다. 이와 같이, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 열팽창이 제한되지 않는 것에 의해, 이송관(105)에 내부 응력이 발생하여 왜곡이 생기는 것을 억제할 수 있다. 일 실시형태에 의하면, 가열에 의해 간극이 좁혀진 조업 중의 관 부분(111, 112)의 서로 대향하는 단부는, 도 4의(b)에 나타낸 바와 같이, 축 방향으로 간극 없이 접하고 있는 것이 바람직하다. 이로써, 관 부분(111, 112) 사이로부터 용융 유리가 누출되는 것을 저지할 수 있다.4 : is a figure explaining the thermal expansion of the conveyance pipe 105, (a) is the figure which showed the conveyance pipe 105 before operation, (b) is the figure which showed the conveyance pipe 105 during operation. As mentioned above, before operation, the 1st pipe|tube part 111 and the 2nd pipe|tube part 112 are spaced apart through the spaced part S1, as shown to Fig.4 (a). Since the first tube portion 111 and the second tube portion 112 are connected to the clarification tank 102 and the stirring tank 103, they expand in the axial direction to approach each other when heated and heated for operation, The spaced portion S1 is narrowed in the axial direction. In this way, by not restricting the thermal expansion of the first tube portion 111 and the second tube portion 112 , it is possible to suppress the occurrence of distortion due to internal stress generated in the transfer tube 105 . According to one embodiment, as shown in FIG.4(b), it is preferable that the mutually opposing end parts of the pipe|tube parts 111 and 112 in operation in which the clearance gap was narrowed by heating are in contact with the axial direction without a clearance gap. Thereby, it is possible to prevent the molten glass from leaking from between the tube portions 111 and 112 .

(덮개 부재)(no cover)

덮개 부재(113)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 서로 대향하는 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 축 방향의 단부를 포함하는 이송관(105)의 축 방향 영역(AR)을 전주에 걸쳐서 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 외주면(둘레 형상의 벽면)과 접하도록 덮는다. 즉, 덮개 부재(113)는, 이격된 상태에 있는 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)을 간극 없이 연결하는 연결부로서 기능한다. 이로써, 제1 관 부분(111)의 내부를 흐르는 용융 유리가 제2 관 부분(112)의 내부에 흐르도록 할 수 있고, 이 때 용융 유리가 제1 관 부분(111)과 제2 관 부분(112) 사이로부터 관 부분(111, 112)의 외주측으로 누출하는 것을 저지할 수 있다. 이로써, 용융 유리가 이송관(105)의 외부로 유출하는 것을 억제할 수 있어, 용융 유리가 이송관(105)의 주변 영역뿐만 아니라, 유리 기판 제조 장치(100)의 다른 영역으로 퍼져 나가 유리 기판 제조 장치(100)의 전술한 구성 요소(생산 설비)가 파손되는 것을 방지할 수 있으며, 조업을 계속할 수 있다. 덮개 부재(113)는, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 외주면과 간극 없이 접하고 있는 한편, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)이 덮개 부재(113)에 대하여 축 방향으로 이동 가능한 것이 바람직하다. The cover member 113 is, as shown in FIG. 4 , an axial region ( AR) is covered so as to be in contact with the outer circumferential surface (wall surface of the circumferential shape) of the first tube portion 111 and the second tube portion 112 over the entire pole. That is, the cover member 113 functions as a connecting portion connecting the first tube portion 111 and the second tube portion 112 in a spaced apart state without a gap. Thereby, the molten glass flowing through the inside of the first pipe part 111 can flow inside the second pipe part 112, and at this time, the molten glass flows into the first pipe part 111 and the second pipe part ( It is possible to prevent leakage from between the 112 and the outer periphery of the pipe portions 111 and 112 . Thereby, it is possible to suppress the flow of the molten glass to the outside of the transfer pipe 105 , so that the molten glass spreads to other areas of the glass substrate manufacturing apparatus 100 as well as the peripheral area of the transfer pipe 105 to the glass substrate It is possible to prevent the above-described components (production equipment) of the manufacturing apparatus 100 from being damaged, and the operation can be continued. The cover member 113 is in contact with the outer peripheral surfaces of the first tube portion 111 and the second tube portion 112 without a gap, while the first tube portion 111 and the second tube portion 112 are connected to the cover member ( 113) is preferably movable in the axial direction.

일 실시형태에 의하면, 덮개 부재(113)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 둘레 방향으로 분할된 복수의 덮개를 가지고 있는 것이 바람직하다. 도 3 및 도 4에 나타낸 덮개 부재(113)는, 상부 덮개(114)와 하부 덮개(115)를 가진다. 상부 덮개(114) 및 하부 덮개(115)는, 이송관(105)의 중심축을 경계로 하여 상하로 대칭인 형상을 가지고 있다.According to one embodiment, it is preferable that the cover member 113 has a some cover divided|segmented in the circumferential direction as shown in FIG.3 and FIG.4. The lid member 113 shown in FIGS. 3 and 4 has an upper lid 114 and a lower lid 115 . The upper cover 114 and the lower cover 115 have a vertically symmetrical shape with the central axis of the transfer pipe 105 as a boundary.

상부 덮개(114)는, 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금제이며, 이송관(105)의 축 방향 영역(AR)의 상부를 덮는다.The upper cover 114 is made of a platinum group element or a platinum group element alloy, and covers the upper part of the axial direction region AR of the transfer pipe 105 .

도 3 및 도 4에 나타낸 예의 상부 덮개(114)는, 덮개부(213a)와 플랜지부(213b, 213c)를 가진다. 덮개부(213a)는, 제1 관 부분(111), 제2 관 부분(112) 및 이격부(S1)를 덮는 부분이다. 덮개부(213a)는, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)을 덮을 수 있도록, 축 방향과 직교하는 단면이 대략 반원의 원호 형상을 가지고 있다. 플랜지부(213b, 213c)는, 덮개부(213a)의 둘레 방향의 양단부로부터 각각 지름 방향 외측으로 수평 방향으로 연장된다.The upper cover 114 of the example shown in FIGS. 3 and 4 has the cover part 213a and the flange parts 213b, 213c. The cover part 213a is a part which covers the 1st pipe part 111, the 2nd pipe part 112, and the spaced part S1. The cover portion 213a has a substantially semicircular arc shape in cross section orthogonal to the axial direction so as to cover the first tube portion 111 and the second tube portion 112 . The flange portions 213b and 213c extend from both ends of the cover portion 213a in the circumferential direction in the horizontal direction outward in the radial direction, respectively.

하부 덮개(115)는, 백금족 원소 또는 백금족 원소 합금제이며, 이송관(105)의 축 방향 영역(AR)의 하부를 덮는다.The lower cover 115 is made of a platinum group element or a platinum group element alloy, and covers the lower portion of the axial region AR of the transfer pipe 105 .

하부 덮개(115)는, 덮개부(214a)와 플랜지부(214b, 214c)를 가진다.The lower lid 115 has a lid portion 214a and flange portions 214b and 214c.

이와 같이, 덮개 부재(113)가 둘레 방향으로 분할되어 있는 것에 의해, 덮개 부재(113)를 이송관(105)에 씌우도록 설치된다. 덮개 부재(113)는, 도 3 및 도 4에 나타낸 예에 있어서, 둘레 방향으로 2개로 분할되어 있으나 이에 한정되지 않고, 3개 혹은 4개 이상으로 분할되어 있어도 된다. 또한, 덮개 부재(113)는, 둘레 상의 1개소에서 끊어진, 축 방향과 직교하는 단면이 대략 C자형의 형태를 가지고 있어도 된다.In this way, when the cover member 113 is divided|segmented in the circumferential direction, it is provided so that the cover member 113 may cover the conveyance pipe 105. As shown in FIG. In the example shown in FIG.3 and FIG.4, although the cover member 113 is divided into two in the circumferential direction, it is not limited to this, You may divide|segment into three or four or more. In addition, the cover member 113 may have the form of a substantially C-shaped cross section orthogonal to the axial direction, cut off at one location on the periphery.

한편, 둘레 방향으로 분할된, 혹은 둘레 상의 1개소에서 끊어진 형태의 덮개 부재(113)는, 서로 대향하는 덮개의 둘레 방향의 단부가 둘레 방향으로 간극 없이 서로 접속되어 있는 것이 바람직하다. 구체적으로, 덮개의 둘레 방향의 단부끼리 용접되거나, 플랜지부를 가지고 있는 경우에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 서로 대향하는 플랜지부끼리 밀착 혹은 용접되어 있는 것이 바람직하다. 이로써, 덮개 부재(113)의 이송관(105)에 대한 설치 용이성을 확보하면서, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112) 사이로부터 용융 유리가 노출되어 관 부분(111, 112)의 외주측으로 유출하는 것을 저지할 수 있다.On the other hand, it is preferable that the circumferential ends of the cover members 113 divided in the circumferential direction or cut off at one point on the circumference are connected to each other without a gap in the circumferential direction. Specifically, in the case where the ends of the lid are welded to each other in the circumferential direction, or when they have a flange portion, as shown in FIG. 4 , it is preferable that the flange portions facing each other are closely contacted or welded to each other. Thereby, the molten glass is exposed from between the 1st pipe part 111 and the 2nd pipe part 112, ensuring the installation easiness with respect to the conveyance pipe 105 of the cover member 113, and the pipe parts 111 and 112 outflow to the outer periphery of

도 5는, 이송관(105) 및 덮개 부재(113)의 다른 일예를 나타낸 일부 분해도이다.5 is a partial exploded view showing another example of the transfer pipe 105 and the cover member 113 .

도 5에 나타낸 예의 이송관(105)은, 덮개 부재(113)의 축 방향 양측에 위치하는 한 쌍의 플랜지(111a, 112a)를 가지고 있다. 플랜지(111a, 112a)는, 관 부분(111, 112)의 외주면으로부터 외주측으로 연장되도록 설치된 부분이다. 도 5에 나타낸 예의 플랜지(111a, 112a)는, 이송관(105)의 지름 방향 외측으로 연장되는 원판형의 부분이다. 일 실시형태에 의하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 관 부분(111)은 플랜지(111a)를 가지며, 제2 관 부분(112)은 플랜지(112a)를 가지고 있는 것이 바람직하다.The conveyance pipe 105 of the example shown in FIG. 5 has a pair of flange 111a, 112a located in the axial direction both sides of the cover member 113. As shown in FIG. The flanges 111a and 112a are provided so as to extend from the outer circumferential surface of the pipe portions 111 and 112 to the outer circumferential side. The flanges 111a and 112a of the example shown in FIG. 5 are disk-shaped portions extending outward in the radial direction of the transfer pipe 105 . According to one embodiment, as shown in FIG. 5 , it is preferable that the 1st pipe part 111 has the flange 111a, and the 2nd pipe part 112 has the flange 112a.

전술한 바와 같이, 덮개 부재(113)는, 이송관(105)의 축 방향 영역(AR)을, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 외주면과 접하도록 덮고 있으나, 그 가공 정밀도나 조업 중의 변형에 따라, 덮개 부재와 관 부분의 외주면 사이에 약간의 간극이 생겨서 용융 유리가 들어가며, 덮개 부재와 관 부분의 외주면 사이로부터 누출되는 경우가 있다. 상기 실시형태와 같이, 이송관(105)에 플랜지(111a, 112a)가 설치되어 있으면, 덮개 부재(113)와 관 부분(111, 112)의 외주면 사이로부터 용융 유리가 만일 누출되어도 이것을 저지하고, 플랜지(111a, 112a)의 외측으로 돌아 들어가도록 유출하는 것을 방지할 수 있다. 이로써, 유리 기판 제조 장치(100)의 운전을 정지시키는 등의 생산 설비의 파손을 확실하게 방지할 수 있다.As described above, the cover member 113 covers the axial region AR of the transfer tube 105 so as to be in contact with the outer peripheral surfaces of the first tube portion 111 and the second tube portion 112 , but the Depending on the processing precision or deformation during operation, a slight gap is formed between the outer peripheral surface of the cover member and the tube portion, the molten glass enters, and it may leak from between the outer peripheral surface of the cover member and the tube portion. As in the above embodiment, if the flanges 111a and 112a are provided on the transfer pipe 105, even if the molten glass leaks from between the outer peripheral surfaces of the cover member 113 and the tube parts 111 and 112, this is prevented, It is possible to prevent outflow so as to return to the outside of the flanges (111a, 112a). Thereby, damage to production facilities, such as stopping the operation|movement of the glass substrate manufacturing apparatus 100, can be prevented reliably.

덮개 부재(113)의 축 방향 길이는, 플랜지(111a, 112a)의 간극보다 짧고, 조업 전에 있어서, 예를 들어 플랜지(111a, 112a)의 간극의 90∼98%의 길이인 것이 바람직하다. 이로써, 만일 덮개 부재(113)와 관 부분(111, 112)의 외주면 사이로부터 용융 유리가 누출되어도 이것을 확실하게 저지하면서, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 열팽창에 의해 플랜지(111a, 112a) 간의 거리가 축소되어도, 제1 관 부분(111) 및 제2 관 부분(112)의 열팽창은 저해되지 않는다.The axial length of the cover member 113 is shorter than the gap between the flanges 111a and 112a, and before operation, it is preferable that, for example, it is a length of 90 to 98% of the gap between the flanges 111a and 112a. Thereby, even if the molten glass leaks from between the cover member 113 and the outer peripheral surfaces of the tube portions 111 and 112, while reliably blocking this, by thermal expansion of the first tube portion 111 and the second tube portion 112, Even if the distance between the flanges 111a and 112a is reduced, the thermal expansion of the first tube portion 111 and the second tube portion 112 is not inhibited.

이 실시형태에서는, 덮개 부재(113)는, 덮개 부재(113)의 축 방향 양측의 단부로부터 상기 플랜지(111a, 112a)와 대향하도록 외주측으로 연장되는 한 쌍의 플랜지를 더 가지고 있는 것이 바람직하다. 도 5에 나타낸 예에 있어서, 덮개 부재(113)는, 관 부분(111, 112)의 플랜지(111a, 112a)와 대향하는 플랜지로서, 도 5에 나타낸 바와 같이, 플랜지(116a, 117a, 118a, 119a)를 가지고 있다. 이 중, 플랜지(116a) 및 플랜지(117a)가 이송관(105)의 상부에 있어서 쌍을 이루며, 플랜지(118a) 및 플랜지(119a)가 이송관(105)의 하부에 있어서 쌍을 이루고 있다. 덮개 부재(113)가 이러한 플랜지(116a∼119a)를 가지고 있는 것에 의해, 만일 덮개 부재(113)와 관 부분(111, 112)의 외주면 사이로부터 용융 유리가 누출되어도, 관 부분(111, 112)의 플랜지(111a, 112a)와 덮개 부재(113)의 플랜지(116a∼119a) 사이에 수용되도록 저지할 수 있고, 플랜지(111a, 112a)의 외측으로 돌아 들어가도록 유출하는 것을 효율적으로 방지할 수 있다.In this embodiment, it is preferable that the cover member 113 further has a pair of flanges extended to the outer peripheral side so that it may oppose the said flanges 111a, 112a from the both ends of the axial direction of the cover member 113. In the example shown in FIG. 5, the cover member 113 is a flange opposite to the flanges 111a, 112a of the tube parts 111, 112, and, as shown in FIG. 5, the flanges 116a, 117a, 118a, 119a). Among them, the flange 116a and the flange 117a form a pair in the upper part of the transfer pipe 105 , and the flange 118a and the flange 119a form a pair in the lower part of the transfer pipe 105 . Because the cover member 113 has such flanges 116a to 119a, even if the molten glass leaks from between the cover member 113 and the outer peripheral surfaces of the tube portions 111 and 112, the tube portions 111 and 112 It can be blocked to be accommodated between the flanges 111a and 112a of the cover member 113 and the flanges 116a to 119a of the cover member 113, and can effectively prevent outflow to return to the outside of the flanges 111a and 112a. .

이 관점에서, 일 실시형태에 의하면, 관 부분(111, 112)의 플랜지(111a, 112a) 및 덮개 부재(113)의 플랜지(116a∼119a)의 서로 대향하는 표면은 간극 없이 접하고 있는 것이 바람직하다. 이로써, 조업 중에 간극 없이 접하는 플랜지끼리 확산 접합할 수 있고, 덮개 부재(113)와 관 부분(111, 112)의 외주면 사이로부터 누출된 용융 유리가 외부를 향하여 유출하는 경로를 끊을 수 있고, 용융 유리의 유출을 효과적으로 저지할 수 있다.From this point of view, according to one embodiment, it is preferable that the mutually opposing surfaces of the flanges 111a and 112a of the tube portions 111 and 112 and the flanges 116a to 119a of the cover member 113 are in contact without a gap. . Thereby, the flanges in contact with each other without a gap can be diffusion bonded during operation, and the path through which the molten glass leaked from between the outer peripheral surfaces of the cover member 113 and the tube parts 111 and 112 flows out toward the outside can be cut off, and the molten glass can effectively prevent the outflow of

일 실시형태에 의하면, 전술한 상부 덮개(114) 및 하부 덮개(115)의 각각은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 지름 방향으로 중첩되어 배치되는 내측 덮개(117, 119) 및 외측 덮개(116, 118)를 가지고 있는 것이 바람직하다. 상부 덮개(114)는, 내측 덮개(117) 및 외측 덮개(116)를 가지고 있다. 하부 덮개(115)는, 내측 덮개(119) 및 외측 덮개(118)를 가지고 있다. 내측 덮개(117)와 내측 덮개(119)는, 이송관(105)의 중심축을 경계로 하여 상하로 대칭인 형상을 가지고 있다. 외측 덮개(116)와 외측 덮개(118)는, 이송관(105)의 중심축을 경계로 하여 상하로 대칭인 형상을 가지고 있다. 또한, 도 5에 있어서, 하부 덮개 중 내측 덮개(119) 및 외측 덮개(118)가 지름 방향으로 분해되어 도시되어 있다.According to one embodiment, each of the above-mentioned upper cover 114 and lower cover 115, as shown in FIG. 118) is preferred. The upper cover 114 has an inner cover 117 and an outer cover 116 . The lower cover 115 has an inner cover 119 and an outer cover 118 . The inner lid 117 and the inner lid 119 have a vertically symmetrical shape with the central axis of the transfer pipe 105 as a boundary. The outer cover 116 and the outer cover 118 have a vertically symmetrical shape with the central axis of the transfer pipe 105 as a boundary. Also, in FIG. 5 , the inner cover 119 and the outer cover 118 of the lower cover are disassembled in the radial direction.

도 6에, 덮개(115∼119) 중 대표로 내측 덮개(117)의 일예의 외관을 나타낸다. 내측 덮개(117)는, 덮개부(213a)와 플랜지부(213b, 213c)를 가지고 있다. 내측 덮개(119), 외측 덮개(116, 118)도 마찬가지로 덮개부와 플랜지부를 가지고 있다.In FIG. 6, the external appearance of an example of the inner lid|cover 117 is shown as a representative among the lid|covers 115-119. The inner lid 117 has a lid portion 213a and flange portions 213b and 213c. The inner lid 119 and the outer lids 116 and 118 also have a lid portion and a flange portion.

내측 덮개(117) 및 외측 덮개(116)의 각각은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 일부의 축 방향 영역에 있어서 서로 중첩되지 않는 비중첩 영역(NR1, NR2)을 가지고 있다. 마찬가지로, 내측 덮개(119) 및 외측 덮개(118)의 각각은, 도 5에 나타낸 바와 같이, 일부의 축 방향 영역에 있어서 서로 중첩되지 않는 비중첩 영역(NR3, NR4)을 가지고 있다.Each of the inner lid 117 and the outer lid 116 has non-overlapping regions NR1 and NR2 that do not overlap each other in a part of the axial direction region, as shown in FIG. 5 . Similarly, each of the inner lid 119 and the outer lid 118 has non-overlapping regions NR3 and NR4 that do not overlap each other in a part of the axial direction region, as shown in FIG. 5 .

일 실시형태에 의하면, 도 5에 나타낸 바와 같이, 비중첩 영역(NR1)에 위치하는 외측 덮개(116)의 축 방향의 단부에 한 쌍의 플랜지(117a, 116a) 중 플랜지(116a)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 비중첩 영역(NR3)에 위치하는 내측 덮개(117)의 축 방향의 단부에 한 쌍의 플랜지(117a, 116a) 중 플랜지(117a)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.According to one embodiment, as shown in FIG. 5 , a flange 116a of a pair of flanges 117a and 116a is provided at the end in the axial direction of the outer cover 116 located in the non-overlapping region NR1 , It is preferable to have Moreover, it is preferable that the flange 117a of a pair of flanges 117a, 116a is provided at the edge part of the axial direction of the inner cover 117 located in the non-overlapping area|region NR3.

마찬가지로, 도 5에 나타낸 바와 같이, 비중첩 영역(NR3)에 위치하는 외측 덮개(118)의 축 방향의 단부에 한 쌍의 플랜지(119a, 118a) 중 플랜지(118a)가 설치되어 있는 것이 바람직하다. 또한, 비중첩 영역(NR4)에 위치하는 내측 덮개(119)의 축 방향의 단부에 한 쌍의 플랜지(119a, 118a) 중 플랜지(119a)가 설치되어 있는 것이 바람직하다.Similarly, as shown in Fig. 5, it is preferable that the flange 118a of the pair of flanges 119a and 118a is provided at the end of the outer cover 118 in the axial direction located in the non-overlapping region NR3. . Moreover, it is preferable that the flange 119a of a pair of flanges 119a, 118a is provided at the edge part of the axial direction of the inner cover 119 located in non-overlapping area|region NR4.

이러한 내측 덮개(117, 119) 및 외측 덮개(116, 118)의 형태에 의하면, 관 부분(111, 112)의 열팽창을 허용하면서, 열팽창에 따라 축 방향으로 이동하는 플랜지(111a, 112a)에 추종하여 플랜지(117a∼119a)가 축 방향으로 이동할 수 있고, 플랜지(111a)와 플랜지(117a, 119a)가 대향한 상태(바람직하게는 밀착한 상태)가 유지된다. 마찬가지로, 플랜지(112a)와 플랜지(118a, 116a)가 대향한 상태(바람직하게는 밀착한 상태)가 유지된다. 또한, 이러한 내측 덮개(117, 119) 및 외측 덮개(116, 118)의 형태에 의하면, 덮개(117∼119)의 이송관(105)에 대한 설치 용이성이 확보된다.According to the shape of the inner cover (117, 119) and the outer cover (116, 118), while allowing the thermal expansion of the tube portion (111, 112), follow the flange (111a, 112a) moving in the axial direction according to the thermal expansion Thus, the flanges 117a to 119a can move in the axial direction, and a state in which the flanges 111a and the flanges 117a and 119a face each other (preferably in close contact) is maintained. Similarly, the state in which the flange 112a and the flanges 118a, 116a face each other (preferably in close contact) is maintained. In addition, according to the shapes of the inner covers 117 and 119 and the outer covers 116 and 118, the ease of installation of the covers 117 to 119 to the transfer pipe 105 is ensured.

외측 덮개(116, 118)는, 비중첩 영역(NR1, NR3)에 있어서 제1 관 부분(111)의 외주면과 접하고 있는 것이 바람직하다.It is preferable that the outer covers 116 and 118 are in contact with the outer peripheral surface of the first tube portion 111 in the non-overlapping regions NR1 and NR3 .

관 부분(111, 112)의 플랜지(111a, 112a)의 지름 방향 길이는, 도 5에 나타낸 바와 같이, 덮개 부재(113)의 플랜지(116a∼119a)의 지름 방향 길이보다 긴 것이 바람직하다. 여기서 말하는 지름 방향 길이는, 이송관(105)의 중심축으로부터의 길이를 의미한다. 이로써, 덮개 부재(113)와 관 부분(111, 112)의 외주면 사이로부터 누출된 용융 유리를 확실하게 저지하고, 플랜지(111a, 112a)의 외측으로 돌아 들어가도록 유출하는 것을 방지하는 효과를 향상시킬 수 있다.It is preferable that the radial length of the flanges 111a, 112a of the pipe parts 111, 112 is longer than the radial length of the flanges 116a-119a of the cover member 113, as shown in FIG. The length in the radial direction here means the length from the central axis of the transfer pipe 105 . Thereby, the molten glass leaking from between the outer peripheral surfaces of the cover member 113 and the tube parts 111 and 112 is reliably prevented, and the effect of preventing the leakage so as to return to the outside of the flanges 111a and 112a can be improved. can

가열에 의해 간극이 좁혀진 관 부분(111, 112)에 있어서, 관 부분(111, 112) 중 제1 관 부분(111)은, 제2 관 부분(112)과 비하여 온도가 높아지는 경우가 있다. 이 경우, 일 실시형태에 의하면, 내측 덮개의 플랜지는, 제1 관 부분(111)의 플랜지(111a)와 대향하고 있는 것이 바람직하다. 이로써, 보다 고온의 용융 유리가 누출될 가능성이 높은 제1 관 부분(111)측에 있어서, 제1 관 부분(111)과 내측 덮개와의 밀착한 영역을 확보하고, 용융 유리가 누출되는 것을 방지하는 효과를 향상시킬 수 있다.In the tube portions 111 and 112 in which the gap is narrowed by heating, the temperature of the first tube portion 111 among the tube portions 111 and 112 may be higher than that of the second tube portion 112 . In this case, according to one embodiment, it is preferable that the flange of the inner cover opposes the flange 111a of the 1st pipe part 111. As shown in FIG. Thereby, on the 1st pipe part 111 side with a high possibility that a hotter molten glass leaks, the 1st pipe part 111 and the area|region which closely_contact|adhered to an inner cover is ensured, and a molten glass is prevented from leaking. effect can be improved.

이상, 본 발명의 유리 기판 제조 장치에 대해 상세하게 설명했으나, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되지 않고, 본 발명의 주지를 벗어나지 않는 범위에서 각종 개량이나 변경이 가능한 것은 물론이다.As mentioned above, although the glass substrate manufacturing apparatus of this invention was demonstrated in detail, this invention is not limited to the said embodiment, It goes without saying that various improvement and change are possible in the range which does not deviate from the main point of this invention.

100 유리 기판 제조 장치
101 용해조
102 청징조
103 교반조
104 성형 장치
105 이송관(관 부재)
111 제1 관 부분
111a 플랜지
112 제2 관 부분
112a 플랜지
113 덮개 부재
114 상부 덮개
114a 비중첩 영역
115 하부 덮개
115a 비중첩 영역
117, 119 내측 덮개
116, 118 내측 덮개
116a, 117a, 118a, 119a 플랜지
213a, 214a 덮개부
213b, 213c, 214b, 214c 플랜지부
S1 이격부
AR 축 방향 영역
NR1, NR2, NR3, NR4 비중첩 영역100 Glass Substrate Manufacturing Equipment
101 melting tank
102 clarification joe
103 stirring tank
104 forming device
105 transfer pipe (pipe member)
111 first tube part
111a flange
112 second tube part
112a flange
113 Cover member
114 top cover
114a non-overlapping regions
115 lower cover
115a non-overlapping area
117, 119 inner cover
116, 118 inner cover
116a, 117a, 118a, 119a flange
213a, 214a cover part
213b, 213c, 214b, 214c flange portion
S1 Separator
AR axial area
NR1, NR2, NR3, NR4 non-overlapping regions

Claims (10)

백금족 금속을 포함하는 재료로 이루어지며, 용융 유리가 흐르는 관 부재로서, 축 방향으로 분할된 2개의 관 부분을 가지고, 가열되는 것에 의해 축 방향으로 이격하여 배치된 상기 관 부분 사이의 간극이 좁혀지도록 구성된 관 부재와,
서로 대향하는 상기 관 부분의 축 방향의 단부(端部)를 포함하는 상기 관 부재의 축 방향 영역을 전주(全周)에 걸쳐서 상기 관 부분의 둘레 형상의 벽면과 접하도록 덮는 덮개 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 제조 장치.A tubular member made of a material containing a platinum group metal and through which molten glass flows, it has two axially divided tubular parts, and is heated to narrow a gap between the axially spaced apart tubular parts a tube member configured to
A cover member for covering an axial region of the tube member including the axial ends of the tube portion opposite to each other so as to be in contact with the circumferential wall surface of the tube portion over the entire pole Glass substrate manufacturing apparatus, characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 관 부분의 각각은, 상기 덮개 부재에 대하여 축 방향 양측에 위치하는 한 쌍의 플랜지 중 1개로서, 상기 벽면으로부터 외주측으로 연장되도록 설치된 플랜지를 가지고 있는, 유리 기판 제조 장치.According to claim 1,
Each of the tube portions is one of a pair of flanges positioned on both sides in the axial direction with respect to the lid member, and has a flange provided so as to extend from the wall surface to the outer circumferential side. 제2항에 있어서,
상기 덮개 부재는, 상기 덮개 부재의 축 방향 양측의 단부로부터 상기 플랜지와 대향하도록 외주측으로 연장되는 한 쌍의 플랜지를 가지고 있는, 유리 기판 제조 장치.3. The method of claim 2,
The said cover member has a pair of flanges extended to the outer peripheral side so that it may oppose the said flange from the edge part of the axial direction both sides of the said cover member, The glass substrate manufacturing apparatus of the said cover member. 제3항에 있어서,
상기 덮개 부재의 상기 플랜지 및 상기 관 부분의 상기 플랜지의 서로 대향하는 표면은 간극 없이 접하고 있는, 유리 기판 제조 장치.4. The method of claim 3,
The mutually opposing surfaces of the said flange of the said lid member and the said flange of the said tube part are contact|abutting without a clearance gap, The glass substrate manufacturing apparatus. 제3항 또는 제4항에 있어서,
상기 관 부분의 상기 플랜지의 지름 방향 길이는, 상기 덮개 부재의 상기 플랜지의 지름 방향 길이보다 긴, 유리 기판 제조 장치.5. The method of claim 3 or 4,
The diameter direction length of the said flange of the said pipe part is longer than the radial direction length of the said flange of the said lid|cover member, The glass substrate manufacturing apparatus. 제3항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 덮개 부재는, 둘레 방향으로 분할된 복수의 덮개를 가지고,
상기 덮개는, 서로 대향하는 상기 덮개의 둘레 방향의 단부가 간극을 두지 않고 서로 접속되어 있는, 유리 기판 제조 장치.6. The method according to any one of claims 3 to 5,
The cover member has a plurality of covers divided in the circumferential direction,
The said lid|cover is a glass substrate manufacturing apparatus with which the edge part of the said lid|cover which opposes mutually is mutually connected without leaving a space|interval. 제6항에 있어서,
상기 덮개는, 지름 방향으로 중첩되어 배치되는 내측 덮개 및 외측 덮개를 가지고 있는, 유리 기판 제조 장치.7. The method of claim 6,
The said cover has an inner cover and an outer cover which are overlapped in the radial direction and are arrange|positioned, The glass substrate manufacturing apparatus which has it. 제7항에 있어서,
상기 내측 덮개 및 상기 외측 덮개의 각각은, 일부의 축 방향 영역에 있어서 서로 중첩되지 않는 비중첩 영역을 가지고,
상기 내측 덮개 및 상기 외측 덮개의 각각은, 상기 비중첩 영역에 위치하는 상기 덮개의 축 방향의 단부에 상기 덮개 부재의 상기 플랜지 중 1개를 가지고 있는, 유리 기판 제조 장치.8. The method of claim 7,
Each of the inner cover and the outer cover has a non-overlapping area that does not overlap with each other in a part of the axial direction area,
Each of the said inner cover and the said outer cover has one of the said flanges of the said cover member at the edge part of the axial direction of the said cover located in the said non-overlapping area, The glass substrate manufacturing apparatus. 제8항에 있어서,
가열에 의해 상기 간극이 좁혀진 상기 관 부재에 있어서, 상기 관 부분 중 제1 관 부분은, 제2 관 부분과 비하여 온도가 높고,
상기 내측 덮개의 상기 플랜지는, 상기 제1 관 부분의 상기 플랜지와 대향하고 있는, 유리 기판 제조 장치.9. The method of claim 8,
In the tube member in which the gap is narrowed by heating, a first tube portion of the tube portion has a higher temperature than a second tube portion,
The said flange of the said inner cover is opposing the said flange of the said 1st tube part, The glass substrate manufacturing apparatus of the. 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,
가열에 의해 상기 간극이 좁혀진 상기 관 부재에 있어서, 상기 관 부분은 축 방향으로 간극 없이 접하고 있는, 기판 제조 장치.10. The method according to any one of claims 1 to 9,
In the tube member in which the gap is narrowed by heating, the tube portion is in contact without a gap in the axial direction.
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