KR20220120794A - 윈도우 및 이의 제조 방법 - Google Patents

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KR20220120794A
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window substrate
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plasma
substrate
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윤현경
고지현
서현승
이동성
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삼성디스플레이 주식회사
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Abstract

본 발명은 윈도우 기판을 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)하는 단계; 상기 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계; 및 상기 플라즈마가 조사된 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하는 단계;를 포함하는 윈도우의 제조 방법이 제공된다.

Description

윈도우 및 이의 제조 방법{Window and method of manufacturing the same}
본 발명은 윈도우 및 이의 제조 방법에 관한 것이다.
이동성을 기반으로 하는 다양한 형태의 표시 장치가 이용되고 있으며, 이러한 표시 장치는 이미지를 제공하는 표시 패널과 상기 표시 패널을 보호하는 윈도우를 포함할 수 있다.
상기 윈도우는 기름, 지문, 각종 이물질을 포함하는 오염원으로부터 상기 표시 패널을 보호하기 위한 코팅층을 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들은 윈도우 기판에 에이징(Aging) 공정을 수행한 후, 상기 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마 처리를 수행함으로써, 플라즈마 처리의 효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 일 관점에 따르면, 윈도우 기판을 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)하는 단계; 상기 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계; 및 상기 플라즈마가 조사된 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하는 단계;를 포함하는, 윈도우의 제조 방법이 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판을 에이징하는 단계는 20℃ 내지 100℃의 온도에서 수행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판을 에이징하는 단계는 50% 내지 100%의 습도에서 수행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계는 상기 에이징된 윈도우 기판에 산소 플라즈마를 조사하는 단계일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계는 30초 내지 90초 동안 수행될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층은 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 가질 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 포함할 수 있다.
<화학식 1>
(PFPE)x-Si-[(NH-R)n-NH2]y
상기 화학식 1 중,
PFPE는 퍼플루오로폴리에테르기이고,
R은 C2 내지 C10의 탄소 원자를 갖는 알킬렌기이며,
x 및 y는 1 내지 3의 정수이고,
x+y = 4 이며,
n은 1 내지 5의 정수이다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량이 0.7 이상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층은 물에 대한 접촉각이 100도 이상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판을 에이징(Aging)하는 단계 이전에, 상기 윈도우 기판 상에 하드코팅층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 하드코팅층은 아크릴(Acryl), 실세스퀴옥세인(Silsesquioxane), 에폭시(Epoxy), 및 우레탄(Urethane) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 관점에 따르면, 윈도우 기판; 및 상기 윈도우 기판 상에 배치되고 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 지문방지층;을 구비하는, 윈도우가 제공된다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 포함할 수 있다.
<화학식 1>
(PFPE)x-Si-[(NH-R)n-NH2]y
상기 화학식 1 중,
PFPE는 퍼플루오로폴리에테르기이고,
R은 C2 내지 C10의 탄소 원자를 갖는 알킬렌기이며,
x 및 y는 1 내지 3의 정수이고,
x+y = 4 이며,
n은 1 내지 5의 정수이다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량이 0.7 이상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 지문방지층은 물에 대한 접촉각이 100도 이상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판은 고분자 수지를 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 윈도우 기판과 상기 지문방지층 사이에 개재되는 하드코팅층을 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 하드코팅층은 아크릴(Acryl), 실세스퀴옥세인(Silsesquioxane), 에폭시(Epoxy), 및 우레탄(Urethane) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
상기한 바와 같이 이루어진 본 발명의 일 실시예에 따르면, 윈도우 기판에 에이징(Aging) 공정을 수행한 후, 상기 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마 처리를 함으로써, 플라즈마 처리의 효율을 향상시킬 수 있고 동시에 지문방지층의 증착 효율을 향상시킬 수 있다.
또한, 지문방지층이 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 포함함으로써, 윈도우의 내구성이 향상될 수 있다.
물론 이러한 효과에 의해 본 발명의 범위가 한정된 것은 아니다.
도 1 내지 도 3은 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도들이다.
도 4는 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 5는 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 6은 비교예 1 및 실험예 1 내지 실험예 3의 접촉각 측정 결과를 도시한 그래프이다.
도 7은 비교예 2 및 실험예 4의 접촉각 측정 결과를 도시한 그래프이다.
도 8a 내지 도 8c는 각각 비교예1, 비교예 2 및 실험예 4에 포함된 지문방지층의 깊이에 따른 원자들의 개수 비를 도시한 그래프들이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 본 발명의 효과 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 다양한 형태로 구현될 수 있다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등의 부분이 다른 부분 위에 또는 상에 있다고 할 때, 다른 부분의 바로 위에 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 있는 경우도 포함한다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예를 들어, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
본 명세서에서 "A 및/또는 B"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다. 또한, 본 명세서에서 "A 및 B 중 적어도 어느 하나"는 A이거나, B이거나, A와 B인 경우를 나타낸다.
이하의 실시예에서, 배선이 "제1 방향 또는 제2 방향으로 연장된다"는 의미는 직선 형상으로 연장되는 것뿐 아니라, 제1 방향 또는 제2 방향을 따라 지그재그 또는 곡선으로 연장되는 것도 포함한다.
이하의 실시예들에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다. 이하의 실시예들에서, "중첩"이라 할 때, 이는 "평면상" 및 "단면상" 중첩을 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하기로 한다.
도 1 내지 도 3은 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 단면도들이다. 이하, 도 1 내지 도 3을 참조하여 윈도우의 제조 방법을 순차적으로 설명하기로 한다.
도 1 내지 3을 참조하면, 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법은 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계, 에이징된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계, 및 플라즈마(150)가 조사된 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)을 형성하는 단계를 포함할 수 있다.
도 1을 참조하면, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계가 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)은 고분자 수지를 포함할 수 있다. 예를 들어, 윈도우 기판(100)은 폴리에테르술폰, 폴리아크릴레이트, 폴리에테르 이미드, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리페닐렌설파이드, 폴리아릴레이트, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 셀룰로오스 트리 아세테이트, 셀룰로오스 아세테이트 프로피오네이트, 폴리아릴렌에테르술폰, 벤조시클로부텐, 헥사메틸디실록산, 폴리메틸 메타크릴레이트로 이루어진 그룹으로부터 선택되는 하나 이상의 물질을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계에서는 윈도우 기판(100)을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)할 수 있다. 이때, 습도는 상대 습도일 수 있다.
또는, 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계에서는 윈도우 기판(100)을 0℃ 내지 90℃의 온도, 및 80% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging) 할 수 있다.
또는, 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계에서는 윈도우 기판(100)을 0℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging) 할 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계는 챔버에서 수행될 수 있다. 예를 들어, 항온, 및/또는 항습 챔버 내에서 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계가 수행될 수 있다.
윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 온도가 20℃ 미만(또는, 0℃ 미만)인 경우, 에이징(Aging) 시간이 증가하여 공정 효율이 감소할 수 있다. 반면에, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 온도가 100℃ 초과(또는, 90℃ 초과)인 경우, 고분자 수지로 구비된 윈도우 기판(100)이 손상될 수 있다. 따라서, 윈도우 기판(100)을 20℃ 내지 100℃(또는, 0℃ 내지 90℃)의 온도에서 에이징(Aging)함으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있고 동시에 윈도우 기판(100)이 손상되는 것을 방지 또는 최소화할 수 있다.
윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 습도가 50% 미만(또는, 80% 미만)인 경우, 에이징(Aging) 시간이 증가하여 공정 효율이 감소할 수 있다. 따라서, 윈도우 기판(100)을 50% 내지 100%(또는, 80% 내지 100%)의 습도에서 에이징(Aging)함으로써, 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 시간이 48시간 미만인 경우, 에이징(Aging) 시간이 부족하여 제조된 윈도우의 내구성이 저하될 수 있다. 반면에, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 시간이 72시간 초과인 경우, 에이징(Aging) 시간이 증가하여 공정 효율이 감소할 수 있다. 따라서, 윈도우 기판(100)을 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)함으로써, 윈도우의 내구성을 향상시킬 수 있고 동시에 공정 효율을 향상시킬 수 있다.
윈도우 기판(100)을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)함으로써, 윈도우 기판(100) 표면의 수분 흡습량을 증가시킬 수 있다. 구체적으로, 윈도우 기판(100)을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)함으로써, 윈도우 기판(100) 표면이 수분을 흡수하는 성질을 가져 윈도우 기판(100) 표면의 수분량이 증가할 수 있다. 윈도우 기판(100) 표면의 수분량이 증가함으로써, 에이징된 윈도우 기판(100)에 표면 처리 효율이 향상될 수 있다. 즉, 후술할 에이징된 윈도우 기판(100)에 플라즈마를 조사하는 공정의 효율이 향상될 수 있다.
도 2를 참조하면, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계 이후에, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계가 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소(O2) 플라즈마(150)를 조사할 수 있다. 예컨대, 플라즈마 발생을 위해 사용되는 방전 가스로 산소(O2)를 이용할 수 있다. 또는, 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 질소 플라즈마(150)를 조사할 수 있다. 예컨대, 플라즈마 발생을 위해 사용되는 방전 가스로 질소를 이용할 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소 또는 질소 가스를 이용한 플라즈마 처리를 수행함으로써, 윈도우 기판(100)의 표면을 개질시킬 수 있다. 구체적으로, 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소 또는 질소 가스를 이용한 플라즈마 처리를 수행함으로써, 윈도우 기판(100)의 표면의 산소 조성을 증가시킬 수 있어, 윈도우 기판(100)의 표면이 친수성을 갖도록 할 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소 플라즈마(150)를 30초 내지 90초 동안 조사하여, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)의 표면을 처리할 수 있다.
또는, 일 실시예에서, 윈도우 기판(100)에 플라즈마를 조사하는 단계에서는 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소 플라즈마(150)를 60초 내지 90초 동안 조사하여, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)의 표면을 처리할 수 있다.
윈도우 기판(100)에 산소(O2) 플라즈마(150)가 조사되는 경우, 윈도우 기판(100)의 표면이 친수성으로 개질되는데, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 시간이 30초 미만(또는, 60초 미만)이면, 플라즈마가 조사되는 시간이 너무 짧아 윈도우 기판(100)의 표면이 미처 친수성으로 개질되지 않은 부분이 존재하여, 후술할 지문방지층(200)을 증착하는 공정에서의 증착 효율이 저하될 수 있다. 반면에, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 시간이 90초 초과인 경우, 플라즈마(150) 조사 시간이 증가하여 공정 효율이 저하될 수 있고, 후술할 지문방지층(200)을 증착하는 공정에서의 증착 효율이 저하될 수도 있다.
따라서, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 산소(O2) 플라즈마(150)를 30초 내지 90초 동안 조사함으로써, 윈도우 기판(100)의 표면에 친수성 작용기가 형성될 수 있고, 윈도우 기판(100)의 표면이 친수성으로 개질될 수 있다. 또한, 윈도우 기판(100)의 표면 거칠기가 향상되어 윈도우 기판(100)의 표면적이 증가함으로써, 후술할 지문방지층(200)을 증착하는 공정에서의 증착 효율이 향상될 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100) 상에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하기 전에 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)함으로써, 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마) 조사 공정의 효율을 향상시킬 수 있다. 구체적으로, 윈도우 기판(100) 상에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하기 전 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 경우, 윈도우 기판(100) 상에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하기 전 윈도우 기판(100)에 에이징(Aging)을 하지 않는 경우에 비해, 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마) 조사 후의 윈도우 기판(100)의 표면의 산소 조성이 증가될 수 있고, 윈도우 기판(100)의 표면이 더욱 친수성을 가질 수 있다.
도 3을 참조하면, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(150)를 조사하는 단계 이후에, 플라즈마(150)가 조사된 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)을 형성하는 단계가 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 전자 빔 물리적 증착법(Electron-beam physical vapor deposition)을 이용하여 플라즈마(150)가 조사된 윈도우 기판(100)에 지문방지층(200)을 형성할 수 있다. 또는, 일 실시예에서, 물리기상증착법(PVD, Physical Vapor Deposition), 또는 화학기상증착법(CVD, chemical vapor deposition)을 이용하여 플라즈마(150)가 조사된 윈도우 기판(100)에 지문방지층(200)을 형성할 수 있다.
일 실시예에서, 지문방지층(200)은 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 화합물(또는, 물질)을 이용하여 형성될 수 있다. 따라서, 지문방지층(200)은 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 화합물(또는, 물질)을 포함할 수 있다. 이때, 실라잔(Silazane)은 규소(Si) 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 가질 수 있다. 예를 들어, 실라잔(Silazane)은 규소(Si) 원자에 하나 이상의 아미노기(Amino group)가 공유 결합된 구조로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 실라잔(Silazane)은 규소(Si) 원자와 아미노기(Amino group)가 직접 연결된 구조를 가질 수 있다.
일 실시예에서, 지문방지층(200)은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 이용하여 제조될 수 있다. 예를 들어, 지문방지층(200)은 하기 화학식 1로 표시된 화합물과 용제를 이용하여 제조될 수 있다. 따라서, 지문방지층(200)은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 포함할 수 있다.
이때, 용제는 메탄올, 에탄올, 프로필알코올, 이소프로필알코올, n-부틸알코올, 이소부틸알코올, sec-부틸알코올, t-부틸알코올, 디아세톤알코올 등의 알코올류, 에틸렌글리콜 모노메틸에테르, 에틸렌글리콜 모노에틸에테르, 프로필렌글리콜 모노메틸에테르, 프로필렌글리콜 모노에틸에테르 등의 글리콜에테르류, 아세톤, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 아세틸아세톤 등의 케톤류, 아세트산에틸, 아세트산부틸, 아세토아세트산에틸 등의 에스테르류, 크실렌, 톨루엔, 7H-퍼플루오로-1-헵탄알, 메틸히드라진 등일 수 있다. 이들은 단독 또는 2종 이상 혼합하여 사용할 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다.
<화학식 1>
(PFPE)x-Si-[(NH-R)n-NH2]y
상기 화학식 1 중, PFPE는 퍼플루오로폴리에테르기이고, R은 C2 내지 C10의 탄소 원자를 갖는 알킬렌기이며, x 및 y는 1 내지 3의 정수이고, x+y = 4 이며, n은 1 내지 5의 정수이다.
일 실시예에서, 화학식 1에서 Si 에 3개의 PFPE 가 결합(예컨대, 직접 결합)되는 경우, 1개의 [(NH-R)n-NH2] 가 Si 에 결합(예컨대, 직접 결합)될 수 있고, Si 에 2개의 PFPE 가 결합(예컨대, 직접 결합)되는 경우, 2개의 [(NH-R)n-NH2] 가 Si 에 결합(예컨대, 직접 결합)될 수 있으며, Si 에 1개의 PFPE 가 결합(예컨대, 직접 결합)되는 경우, 3개의 [(NH-R)n-NH2] 가 Si 에 결합(예컨대, 직접 결합)될 수 있다. 즉, Si 는 4개의 결합 사이트를 가지므로, 4개의 결합 사이트 중 [(NH-R)n-NH2] 가 결합된 사이트를 제외하고 나머지 사이트에는 PFPE 가 결합될 수 있다.
일 실시예에서, 지문방지층(200)의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량은 0.7 이상일 수 있다. 따라서, 지문방지층(200)의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량은 0.7 이상으로 구비됨으로써, 지문방지층(200)의 내지문성, 및/또는 내알콜성이 향상될 수 있다. 또한, 지문방지층(200)의 내지문성, 및/또는 내알콜성이 향상됨으로써, 지문방지층(200)을 포함하는 윈도우의 내지문성, 및/또는 내알콜성이 향상될 수 있다.
도 4는 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 4의 실시예는 윈도우 기판(100)이 제1 윈도우 기판(110)과 제2 윈도우 기판(120)을 포함한다는 점에서 도 1 내지 3의 실시예와 차이가 있다. 도 4에 있어서, 도 1 내지 도 3과 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 일컫는 바 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 4를 참조하면, 일 실시예에서 윈도우 기판(100)은 제1 윈도우 기판(110), 및/또는 제2 윈도우 기판(120)을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 제1 윈도우 기판(110)과 제2 윈도우 기판(120)은 서로 다른 물질로 구비될 수 있다. 일 실시예에서, 제1 윈도우 기판(110)과 제2 윈도우 기판(120)은 동일한 물질로 구비될 수 있다.
도시되지는 않았으나, 윈도우 기판(100)은 제3 윈도우 기판 및/또는 제4 윈도우 기판을 더 포함할 수 있다.
도 5는 일 실시예에 따른 윈도우의 제조 방법을 개략적으로 도시한 도면이다. 도 5의 실시예는 윈도우 기판(100)과 지문방지층(200) 사이에 하드코팅층(300)이 형성된다는 점에서 도 1 내지 도 3의 실시예와 차이가 있다. 도 5에 있어서, 도 1 내지 도 3과 동일한 참조 부호는 동일한 부재를 일컫는 바 이들의 중복 설명은 생략한다.
도 5를 참조하면, 윈도우 기판(100)과 지문방지층(200) 사이에는 하드코팅층(300)이 형성될 수 있다. 일 실시예에서, 하드코팅층(300)은 고분자 수지로 구비되는 윈도우 기판(100)의 낮은 경도를 보완하기 위한 부재로서, 윈도우 기판(100)보다 큰 경도를 가지며, 윈도우 기판(100) 상에 직접 형성될 수 있다.
일 실시예에서, 하드코팅층(300)은 유기 물질 및/또는 무기 물질을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 하드코팅층(300)은 아크릴(Acryl), 실세스퀴옥세인(Silsesquioxane), 에폭시(Epoxy), 및 우레탄(Urethane) 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
도시되지는 않았으나, 하드코팅층(300)은 제1 하드코팅층과 제2 하드코팅층을 포함할 수 있다. 이때, 제1 하드코팅층과 제2 하드코팅층은 서로 다른 물질로 구비될 수 있다. 또는, 제1 하드코팅층과 제2 하드코팅층은 동일한 물질로 구비될 수 있다.
또한, 도시되지는 않았으나, 윈도우 기판(100)이 제1 윈도우 기판 및/또는 제2 윈도우 기판을 포함할 수 있고, 하드코팅층(300)이 제1 하드코팅층 및/또는 제 2하드코팅층을 포함할 수도 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판(100) 상에 하드코팅층(300)이 형성되는 경우, 하드코팅층(300)을 에이징(Aging)하는 단계, 에이징(Aging)된 하드코팅층(300)에 플라즈마를 조사하는 단계, 및 플라즈마가 조사된 하드코팅층(300)에 지문방지층(200)을 형성하는 단계가 수행될 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우는 도 3에 도시된 구조로 구비될 수 있다. 예컨대, 윈도우는 윈도우 기판(100)과 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)이 배치된 구조로 구비될 수 있다. 또는, 일 실시예에서, 윈도우는 도 4에 도시된 구조로 구비될 수 있다. 예컨대, 윈도우는 제1 윈도우 기판(110)과 제2 윈도우 기판(120)을 포함하는 윈도우 기판(100)과 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)이 배치된 구조로 구비될 수 있다. 또는, 일 실시예에서, 윈도우는 도 5에 도시된 구조로 구비될 수 있다. 예컨대, 윈도우는 순차적으로 윈도우 기판(100), 하드코팅층(300), 및 지문방지층(200)이 적층된 구조로 구비될 수 있다. 다만, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 윈도우 기판(100)은 제1 윈도우 기판(110), 및/또는 제2 윈도우 기판(120)으로 구비될 수 있고, 하드코팅층(300) 역시 제1 하드코팅층, 및/또는 제2 하드코팅층으로 구비될 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우의 지문방지층(200)의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량이 0.7 이상으로 구비될 수 있다.
도 6은 비교예 1 및 실험예 1 내지 실험예 3의 접촉각 측정 결과를 도시한 그래프이다.
비교예 1은 에이징(Aging)을 수행하지 않은 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 Si-OX(X: methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 지문방지층을 형성하였다. 구체적으로, 비교예 1은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하였다. 따라서, 비교예 1의 지문방지층은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 구조를 가질 수 있다.
실험예 1은 윈도우 기판을 85℃의 온도, 및 85%의 습도에서 48시간 동안 에이징(Aging)하고, 에이징된 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 Si-OX(X는 methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 지문방지층을 형성하였다. 구체적으로, 실험예 1은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하였다. 따라서, 실험예 1의 지문방지층은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 구조를 가질 수 있다.
실험예 2는 윈도우 기판을 25℃의 온도, 및 85%의 습도에서 72시간 동안 에이징(Aging)하고, 에이징된 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 Si-OX(X는 methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 지문방지층을 형성하였다. 구체적으로, 실험예 2는 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하였다. 따라서, 실험예 2의 지문방지층은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 구조를 가질 수 있다.
실험예 3은 윈도우 기판을 25℃의 온도, 및 85%의 습도에서 48시간 동안 에이징(Aging)하고, 에이징된 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 Si-OX(X는 methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 지문방지층을 형성하였다. 구체적으로, 실험예 3은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하였다. 따라서, 실험예 3의 지문방지층은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 구조를 가질 수 있다.
이후, 비교예 1 및 실험예 1 내지 실험예 3에 대해 초기 접촉각 평가, 내마모 평가, 및 내알콜 평가를 실시하였다. 이때, 지문방지층의 물에 대한 접촉각이 95도 미만인 경우 스펙 아웃으로 판정되므로, 지문방지층의 물에 대한 접촉각이 95도 이상인 경우 평가 기준을 만족하는 것으로 판단하였다.
먼저, 초기 접촉각 평가는 물리적, 및/또는 화학적 처리를 하지 않은 지문방지층의 표면에 물 3ul를 떨어트린 후, 지문방지층의 물에 대한 접촉각을 측정하였다. 내마모 평가는 1kg의 고무지우개를 이용하여 3000회 문지른 후(40회/min), 지문방지층의 물에 대한 접촉각을 측정하였다. 또한, 내알콜 평가는 에틸 알코올 조건 하에서 1kg의 고무지우개를 이용하여 3000회 문지른 후(40회/min), 지문방지층의 물에 대한 접촉각을 측정하였다. 예컨대, 지문방지층 표면의 물에 대한 접촉각을 측정하였다.
도 6을 참조하면, 비교예 1 및 실험예 1 내지 실험예 3의 초기 접촉각은 모두 95도 이상으로 측정되는 것을 확인할 수 있다.
비교예 1의 경우 내마모 평가 결과 물에 대한 접촉각이 78도로 측정되어, 비교예 1은 내마모 접촉각이 95도 미만이므로 비교예 1은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하지 않는 것을 확인할 수 있다. 반면에, 실험예 1 내지 실험예 3의 경우 모두 내마모 평가 결과 물에 대한 접촉각이 100도 이상으로 측정되었음으로, 실험예 1 내지 실험예 3은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하는 것을 확인할 수 있다.
따라서, 윈도우 기판에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하기 전 윈도우 기판을 에이징(Aging)하는 경우, 윈도우 기판을 에이징(Aging)하지 않는 경우에 비해, 윈도우 기판 상에 형성된 지문방지층의 내마모성이 향상되는 것을 확인할 수 있다. 구체적으로, 윈도우 기판에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하기 전 윈도우 기판을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)하는 경우, 윈도우 기판을 에이징(Aging)하지 않는 경우에 비해, 윈도우 기판 상에 형성된 지문방지층의 내마모성이 향상되는 것을 확인할 수 있다. 예컨대, 윈도우 기판을 에이징(Aging)하지 않는 경우에 비해 윈도우 기판을 상기와 같은 조건에서 에이징(Aging)하는 경우 지문방지층의 내마모성이 약 40% 개선되는 것을 확인할 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)하는 경우, 윈도우 기판의 표면의 수분 흡습량이 증가하여 윈도우 기판 표면의 수분량이 증가할 수 있다. 또한, 윈도우 기판의 표면의 수분 흡습량이 증가하여 윈도우 기판 표면의 수분량이 증가하는 경우, 윈도우 기판의 표면을 친수성으로 개질시키기위한 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마) 조사 공정의 효율이 향상될 수 있다. 또한, 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마) 조사 공정의 효율이 향상되는 경우, 윈도우 기판의 표면의 거칠기가 향상되어 윈도우 기판의 표면적이 증가함으로써, 지문방지층의 증착 효율이 향상될 수 있다. 따라서, 윈도우 기판을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)함으로써, 윈도우 기판의 표면적이 증가하여 윈도우 기판에 지문방지층을 증착하는 공정의 효율이 향상될 수 있고, 이로 인해 윈도우 기판 상에 형성된 지문방지층의 내마모성이 향상될 수 있다.
도 7은 비교예 2 및 실험예 4의 접촉각 측정 결과를 도시한 그래프이다.
비교예 2는 윈도우 기판을 25℃의 온도, 및 85%의 습도에서 48시간 동안 에이징(Aging)하고, 에이징된 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 Si-OX(X는 methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 지문방지층을 형성하였다. 구체적으로, 비교예 2는 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하였다. 따라서, 비교예 2의 지문방지층은 PFPE 와 Si-OX 가 결합된 구조를 가질 수 있다.
실험예 4는 윈도우 기판을 25℃의 온도 및 85%의 습도에서 48시간 동안 에이징(Aging)하고, 에이징된 윈도우 기판에 60초 동안 산소 플라즈마를 조사한 후, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 하기 화학식 2로 표시된 화합물을 이용하여 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하였다.
<화학식 2>
Figure pat00001
화학식 2에서 n은 1 이상 10 이하의 정수이다.
화학식 2로 표시된 화합물은 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물에 해당한다.
따라서, 화학식 2로 표시된 화합물을 이용하여 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하였음으로, 실험예 4의 지문방지층은 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 포함할 수 있다. 즉, 비교예 2의 지문방지층은 실라잔(Silazane)을 포함하지 않지만, 실험예 4의 지문방지층은 실라잔(Silazane)을 포함할 수 있다.
이후, 비교예 2, 및 실험예 4에 대해 초기 접촉각 평가, 내마모 평가, 및 내알콜 평가를 실시하였다. 이때, 지문방지층의 물에 대한 접촉각이 95도 미만인 경우 스펙 아웃으로 판정되므로, 95도 이상의 접촉각을 갖는 경우 평가 기준을 만족하는 것으로 판단하였다.
도 7을 참조하면, 비교예 2 및 실험예 4의 초기 접촉각은 모두 95도 이상으로 측정되는 것을 확인할 수 있다.
비교예 2의 경우 내마모 평과 결과 물에 대한 접촉각이 111.8도로 측정되어 비교예 2의 내마모 접촉각은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하지만, 비교예 2의 내알콜 평과 결과 물에 대한 접촉각이 82도로 측정되어 비교예 2의 내알콜 접촉각은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하지 못하는 것을 확인할 수 있다. 즉, 지문방지층이 실라잔(Silazane)을 포함하지 않는 경우, 지문방지층의 내알콜성이 평가 기준(예컨대, 95도 이상)에 부합하지 않음을 확인할 수 있다.
반면에, 실험예 4의 경우 내마모 평가 결과 물에 대한 접촉각이 108.8도로 측정되어 실험예 4의 내마모 접촉각은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하고, 내알콜 평가 결과 물에 대한 접촉각이 109.2도로 측정되어 실험예 4의 내알콜 접촉각은 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족하는 것을 확인할 수 있다. 즉, 실험예 4의 경우 내마모 접촉각, 및 내알콜 접촉각 모두 평가 기준(예컨대, 95도 이상)을 만족할 수 있다. 따라서, 지문방지층이 실라잔(Silazane)을 포함하는 경우, 지문방지층이 실라잔(Silazane)을 포함하지 않는 경우에 비해, 지문방지층의 내알콜성이 향상되는 것을 확인할 수 있다.
구체적으로, 지문방지층이 Si-N 결합을 포함하는 경우 지문방지층이 Si-O 결합을 포함하는 경우에 비해 지문방지층의 내알콜성이 향상되는 것을 확인할 수 있다. 따라서, 지문방지층이 규소(Si) 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)을 포함하는 경우, 지문방지층(또는, 윈도우)의 내알콜성이 향상될 수 있다.
일 실시예에서, 플라즈마 공정 전 윈도우 기판에 에이징(Aging)을 수행함으로써, 지문방지층의 내마모성을 향상시킬 수 있고, 윈도우 상에 형성된 지문방지층이 실라잔(Silazane)을 포함함으로써, 지문방지층의 내알콜성을 향상시킬 수 있다.
구체적으로, 플라즈마 공정 전 윈도우 기판을 20℃ 내지 100℃의 온도, 및 50% 내지 100%의 습도에서 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)함으로써, 지문방지층의 내마모성을 향상시킬 수 있고, 윈도우 상에 형성된 지문방지층이 규소(Si) 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)을 포함함으로써, 지문방지층의 내알콜성을 향상시킬 수 있다.
따라서, 윈도우 기판, 및 지문방지층을 포함하는 윈도우의 내구성(예컨대, 내마모성, 및/또는 내알콜성)이 향상될 수 있다.
일 실시예에서, 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 통해 지문방지층을 제조할 수 있고, 상기 화합물을 통해 제조된 지문방지층은 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 포함하는 지문방지층의 물에 대한 접촉각은 100도 이상일 수 있다. 예를 들어, 규소 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 화합물을 포함하는 지문방지층의 물에 대한 초기 접촉각은 100도 이상일 수 있고, 1kg의 고무지우개를 이용하여 3000회 문지른 후(40회/min)의 물에 대한 접촉각은 100도 이상일 수 있으며, 에틸 알코올 조건 하에서 1kg의 고무지우개를 이용하여 3000회 문지른 후(40회/min)의 물에 대한 접촉각은 100도 이상일 수 있다.
일 실시예에서, 지문방지층(200)은 물에 대한 접촉각이 100도 이상일 수 있다. 구체적으로, 윈도우 기판(100)을 에이징(Aging)하는 단계, 에이징(Aging)된 윈도우 기판(100)에 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)를 조사하는 단계, 및 플라즈마(예컨대, 산소 플라즈마)가 조사된 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)을 형성하는 단계를 통해 제조된 지문방지층(200)은 물에 대한 접촉각이 100도 이상일 수 있다.
도 8a 내지 도 8c는 각각 비교예 1, 비교예 2 및 실험예 4에 포함된 지문방지층의 깊이에 따른 원자들의 개수 비를 도시한 그래프들이다. 도 8a 내지 도 8c의 그래프는 나노 스케일 2차 이온 질량 분석법(Nanoscale secondary ion mass spectrometry)을 이용하여 측정한 결과를 도시한 그래프들이다.
도 8a 내지 도 8c를 참조하면, 비교예 1의 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량은 약 0.419 이고, 비교예 2의 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량은 약 0.686 이며, 실험예 4의 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량은 약 0.767 인 것을 확인할 수 있다.
지문방지층(200)이 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)를 포함하는 경우, 지문방지층(200)은 내지문성 및/또는 내알콜성을 가질 수 있다. 특히, 지문방지층(200)의 표면의 플루오르 함량이 높을수록 지문방지층(200)의 내지문성 및/또는 내알콜성이 향상될 수 있다. 따라서, 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)을 형성하는 증착 공정의 효율을 향상시키는 경우, 지문방지층(200)의 표면의 플루오린 함량이 증가되어 지문방지층(200)의 내지문성 및/또는 내알콜성이 향상될 수 있다. 이는, 지문방지층(200)의 표면의 플루오린 함량이 높은 경우, 윈도우 기판(100) 상에 지문방지층(200)을 형성하는 증착 공정이 효율이 증가된 것을 의미할 수 있다.
비교예 1의 표면의 플루오린 함량보다 비교예 2의 표면의 플루오린 함량이 더 높으므로, 윈도우 기판에 에이징(Aging) 공정을 수행한 경우, 윈도우 기판 상에 형성된 지문방지층의 표면의 플루오린 함량이 증가하는 것을 확인할 수 있다. 따라서, 플라즈마 공정 전에 윈도우 기판에 에이징(Aging) 공정을 수행하는 경우, 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하는 공정의 증착 효율이 향상될 수 있다.
또한, 비교예 2의 표면의 플루오린 함량보다 실험예 4의 표면의 플루오린 함량이 더 높으므로, 지문방지층이 규소(Si) 원자와 아미노기(Amino group)가 연결된 구조를 갖는 실라잔(Silazane)을 포함하는 경우, 지문방지층이 Si-OX(X: methoxy, ethoxy 등)을 포함하는 경우에 비해 지문방지층의 내지문성 및/또는 내알콜성이 향상되는 것을 알 수 있다.
따라서, 윈도우 기판에 에이징(Aging) 공정을 수행하고, 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하며, 플라즈마가 조사된 윈도우 기판에 실라잔(Silazane)을 포함하는 화합물을 이용하여 지문방지층을 형성하는 경우, 윈도우의 내마모성, 및 내알콜성이 향상될 수 있다.
일 실시예에서, 윈도우 기판 상에 프라이머 증착 없이 에이징(Aging) 공정의 수행, 및 실라잔(Silazane)을 포함하는 화합물로 지문방지층을 형성함으로써, 지문방지층이 우수한 내마모성, 및 내알콜성을 가질 수 있다. 또한, 지문방지층의 내마모성, 및 내알콜성이 향상되므로, 지문방지층을 포함하는 윈도우의 내마모성, 및 내알콜성이 향상될 수 있다.
일 실시예에서, 지문방지층을 포함하는 윈도우의 내구성이 향상되므로 표시 소자가 형성된 표시 패널을 기름, 지문, 각종 이물질을 포함하는 오염원으로부터 효과적으로 보호할 수 있다.
본 발명은 도면에 도시된 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 당해 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이다.
100: 윈도우 기판
200: 지문방지층
300: 하드코팅층

Claims (19)

  1. 윈도우 기판을 48시간 내지 72시간 동안 에이징(Aging)하는 단계;
    상기 에이징된 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계; 및
    상기 플라즈마가 조사된 윈도우 기판 상에 지문방지층을 형성하는 단계;
    를 포함하는, 윈도우의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우 기판을 에이징하는 단계는 20℃ 내지 100℃의 온도에서 수행되는, 윈도우의 제조 방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 윈도우 기판을 에이징하는 단계는 50% 내지 100%의 습도에서 수행되는, 윈도우의 제조 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계는 상기 에이징된 윈도우 기판에 산소 플라즈마를 조사하는 단계인, 윈도우의 제조 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 윈도우 기판에 플라즈마를 조사하는 단계는 30초 내지 90초 동안 수행되는, 윈도우의 제조 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 지문방지층은 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는, 윈도우의 제조 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 지문방지층은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 포함하는, 윈도우의 제조 방법.
    <화학식 1>
    (PFPE)x-Si-[(NH-R)n-NH2]y
    상기 화학식 1 중,
    PFPE는 퍼플루오로폴리에테르기이고,
    R은 C2 내지 C10의 탄소 원자를 갖는 알킬렌기이며,
    x 및 y는 1 내지 3의 정수이고,
    x+y = 4 이며,
    n은 1 내지 5의 정수이다.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량이 0.7 이상인, 윈도우의 제조 방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 지문방지층은 물에 대한 접촉각이 100도 이상인, 윈도우의 제조 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우 기판은 고분자 수지를 포함하는, 윈도우의 제조 방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 윈도우 기판을 에이징(Aging)하는 단계 이전에,
    상기 윈도우 기판 상에 하드코팅층을 형성하는 단계를 더 포함하는, 윈도우의 제조 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 하드코팅층은 아크릴(Acryl), 실세스퀴옥세인(Silsesquioxane), 에폭시(Epoxy), 및 우레탄(Urethane) 중 적어도 하나를 포함하는, 윈도우의 제조 방법.
  13. 윈도우 기판; 및
    상기 윈도우 기판 상에 배치되고 실라잔(Silazane)과 퍼플루오로폴리에테르(Perfluoropolyether, PFPE)가 결합된 구조를 갖는 지문방지층;
    을 구비하는, 윈도우.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 지문방지층은 하기 화학식 1로 표시된 화합물을 포함하는, 윈도우.
    <화학식 1>
    (PFPE)x-Si-[(NH-R)n-NH2]y
    상기 화학식 1 중,
    PFPE는 퍼플루오로폴리에테르기이고,
    R은 C2 내지 C10의 탄소 원자를 갖는 알킬렌기이며,
    x 및 y는 1 내지 3의 정수이고,
    x+y = 4 이며,
    n은 1 내지 5의 정수이다.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 지문방지층의 표면에서의 총 원자 개수 대비 플루오린 원자의 개수 함량이 0.7 이상인, 윈도우.
  16. 제13항에 있어서,
    상기 지문방지층은 물에 대한 접촉각이 100도 이상인, 윈도우.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 윈도우 기판은 고분자 수지를 포함하는, 윈도우.
  18. 제13항에 있어서,
    상기 윈도우 기판과 상기 지문방지층 사이에 개재되는 하드코팅층을 더 포함하는, 윈도우.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 하드코팅층은 아크릴(Acryl), 실세스퀴옥세인(Silsesquioxane), 에폭시(Epoxy), 및 우레탄(Urethane) 중 적어도 하나를 포함하는, 윈도우.
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