KR20220118648A - 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치 - Google Patents

동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 3차원 스캐닝 장치에 관한 것으로서, 광원으로부터 전달된 레이저광의 경로를 변경하여 반사하는 하부 반사경부와, 상기 하부반사경부를 회전시키는 하부 본체부와, 상기 하부반사경부로부터 전달된 레이저광을 반사하는 상부 반사경부와, 상기 상부 반사경부를 회전시키는 상부 본체부를 포함하며, 상기 하부 반사경부는 서로 이격하여 배치된 한 쌍의 하부 미러를 포함하고, 상기 한 쌍의 하부 미러 각각은 상기 하부 반사경부의 회전축으로부터 서로 다른 이격 거리에 배치되어, 상기 레이저광의 조사와 상기 하부 반사경부의 회전시에 상기 하부 반사경부와 상기 상부 반사경 사이에 원추형 선회광선 경로를 형성하며, 상기 상부 본체부는, 상기 상부 반사경을 회전시키고 상기 하부 구동부의 상측에 적층되어 배치되는 상부 구동부를 포함하고, 상기 상부 구동부는 중공 모터로 형성되어, 복수의 레이저나 복수의 모터를 설치하는 등 복잡한 구조가 필요없이, 상하로 배치된 반사경을 통해 이중선회방식으로 원추형 선회광선을 형성할 수 있으므로, 360°회전하면서 상하 방향의 영역을 용이하게 스캐닝할 수 있고, 상부의 반사경을 구동시키기 위한 연결전선에 의해 스캐닝 광선의 가림부분이 발생하는 것을 방지할 수 있는 3차원 스캔가능한 라이다 스캐닝 장치를 제공할 수 있다.

Description

동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치{3 DIMENSIONAL SCANNING DEVICE USING CONE SHAPE ROTATION WITH COAXIAL MIRROR}
본 발명은 3차원 스캐닝 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 서로 마주보도록 배치된 2개의 회전 반사경을 이용하여 상하 방향의 영역을 용이하게 스캐닝할 수 있는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝 장치에 관한 것이다.
일반적으로, 라이다(Light Detection And Ranging, LiDAR)는 레이저를 발사하여 특정 대상물체에 도달하고 레이저가 반사 또는 산란되어 돌아오는 시간을 계산하여 거리를 측정함으로써 특정 물체나 장애물 등의 존재를 감지하기 위한 센서이다.
이러한 라이다는 물체 감지와 거리 측정을 하기 위한 수단이 레이저이므로 흔히 레이저 레이더 또는 3차원 스캐너라고 불린다. 레이더와 비교하여 전자기파 대신 파장이 짧은 레이저를 사용하여 측정 정밀도가 높아져 주변 정보를 정확히 파악할 수 있다는 점에서 최근 이슈가 되고 있는 자율주행시스템에 적용되고 있다.
종래의 스캐닝 라이다는 레이저를 고정된 특정 방향으로 방사한 뒤, 360도 회전시켜 정해진 영역에 대한 스캐닝 정보를 얻기 때문에, 측정영역에 한계점을 가지는 문제점이 있었다.
이러한 문제를 해경하기 위한 방법으로서, 다수의 수직방향에 대한 정보를 획득하기 위한 여러 개의 레이저를 각각의 특정 방향으로 방사하여 스캐닝 정보를 얻는 방법이 있으나, 이러한 방법의 경우, 넓은 영역의 수직방향 정보를 획득하기 위해는 적어도 4개 내지 64개 이상의 다수의 레이저를 수직방향으로 적층하여 스캐닝 정보를 획득하기 때문에, 다수의 레이저 및 수광부 등의 사용으로 제조 비용이 고가화되고, 구현되는 구조가 복잡해지는 문제가 있다.
또한, 수직방향에 대한 정보를 획득하기 위한 방법으로서, 광원이나 미러를 360°회전시키는 모터와, 광원이나 미러를 상하방향으로 이동시키는 모터를 설치하여 2개의 모터에 의해 광원이나 미러를 회전시키면서 상하방향으로 이동시켜 수직방향 또는 상하방향에 대한 정보를 획득하는 방법이 제시되고 있다.
그러나, 2개의 모터에 의해 회전시키면서 상하 이동시키는 구조는 장치의 구조가 복잡해지고 제조비용이 고가가 될 뿐만 아니라, 장치 자체를 기계적으로 회전시켜야 하므로 장치의 내구성이 저하되는 문제가 있다.
또한 확산렌즈를 이용하여 스캔영역을 확장시키는 방안으로 수직방향의 정보를 획득하는 방법도 제시되고 있으나, 라이다 장치의 경우, 레이저의 확산으로 인해 측정 거리가 줄어드는 문제가 있다.
한편, 서로 마주보도록 배치되는 2개의 회전 반사경을 이용하여 3차원 스캐닝을 하는 경우, 상하부의 회전반사경을 회전시키기 위하여 각각 구동부를 설치하여야 하는데, 상하부의 구동부를 구동하기 위해서는 각각의 구동부에 전원을 공급하는 전선이 배치될 수 밖에 없다.
이러한 전원공급 전선을 설치하는 경우 상부 구동부에 전원을 공급하기 위한 연결전선이 프레임 또는 보호경통을 가로질러 상하로 설치하여야 하므로, 상기 연결전선에 의해 스캐닝 광선의 가림 부분이 발생하는 문제점이 있었다.
한국특허 10-1903960호(라이다 장치)
본 발명은 상술한 종래기술의 문제점을 해결하고자 하는 것으로서, 본 발명의 목적은 상하에 각각 배치된 반사경을 통해 원추형 선회광선으로 변환시켜 상하 방향의 영역을 용이하게 스캐닝하면서도, 상부의 반사경을 구동시키기 위한 연결전선에 의해 스캐닝 광선의 가림부분이 발생하는 것을 방지할 수 있는 3차원 스캔가능한 라이다 스캐닝 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 단일광원을 이용하더라도 상하방향의 영역을 용이하게 스캐닝 할 수 있도록 하여, 구조가 간단하고 소형화가 가능한 3차원 스캔 가능한 라이다 스캐닝 장치를 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 의한 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치는 광원으로부터 전달된 레이저광의 경로를 변경하여 반사하는 하부 반사경부와, 상기 하부반사경부를 회전시키는 하부 본체부와, 상기 하부반사경부로부터 전달된 레이저광을 반사하는 상부 반사경부와, 상기 상부 반사경부를 회전시키는 상부 본체부를 포함하며, 상기 하부 반사경부는 서로 이격하여 배치된 한 쌍의 하부 미러를 포함하고, 상기 한 쌍의 하부 미러 각각은 상기 하부 반사경부의 회전축으로부터 서로 다른 이격 거리에 배치되어, 상기 레이저광의 조사와 상기 하부 반사경부의 회전시에 상기 하부 반사경부와 상기 상부 반사경 사이에 원추형 선회광선 경로를 형성하며, 상기 상부 본체부는, 상기 상부 반사경을 회전시키고 상기 하부 구동부의 상측에 적층되어 배치되는 상부 구동부를 포함하고, 상기 상부 구동부는 중공 모터로 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 본체부는 일측이 상기 상부 구동부의 중공에 삽입되고 타측은 상기 상부 반사경부가 부착되는 원통형상의 보호경통을 더욱 구비하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 본체부에는 상기 상부 반사경부가 설치되는 경사면이 형성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 한 쌍의 하부 미러는, 상기 하부 반사경부의 회전축에 근접하여 배치되는 제 1 하부 미러와, 상기 하부 반사경부의 외주면에 근접하여 배치되는 제 2 하부 미러를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 제 1 하부 미러와 상기 제 2 하부 미러는 수평면에 대하여 서로 다른 경사각으로 설치되고, 상기 상부 반사경부는 수평면에 대하여 경사져 배치되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 본체부는, 레이저광을 조사하는 광원부와, 상기 광원부로부터 조사된 레이저광을 전달하는 광경로부와, 상기 하부 반사경부를 회전시키고 상기 레이저광이 통과하는 중공부가 형성된 하부구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 하부 반사경부는 한 쌍의 하부 미러를 대체하여 2개의 반사면을 가지는 펜타프리즘으로 형성되고, 상기 펜타프리즘은 상기 하부 반사경부의 중심축에 대하여 편심으로 배치되어 상기 레이저광의 조사와 상기 하부 반사경부의 회전시에 상기 펜타프리즘과 상기 상부 반사경 사이에 원추형 선회광선 경로를 형성하는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 상부 반사경부는 상기 상부 반사경을 대체하여 설치되는 직각 프리즘인 것을 특징으로 한다.
상술한 구성을 가지는 본 발명에 의하면, 종래의 라이다 스캐닝 장치에서와 같이 복수의 레이저나 복수의 모터를 설치하는 등 복잡한 구조가 필요없이, 상하로 배치된 반사경을 통해 이중선회방식으로 원추형 선회광선을 형성할 수 있으므로, 360°회전하면서 상하 방향의 영역을 용이하게 스캐닝할 수 있고, 상부의 반사경을 구동시키기 위한 연결전선에 의해 스캐닝 광선의 가림부분이 발생하는 것을 방지할 수 있는 3차원 스캔가능한 라이다 스캐닝 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 광학렌즈를 사용하지 않으므로 저렴한 비용으로 경제적으로 구현이 가능할 뿐만 아니라, 전장부품이 회전하지 않고 상하부의 반사경만 회전하는 구조이므로 슬립링 등 고가의 부품을 필요로 하지 않아 경제적으로 간단한 3차원 스캐닝 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 단일광원을 이용하더라도 상하방향의 영역을 용이하게 스캐닝 할 수 있고, 상하부의 반사경을 고속으로 회전시킬 수 있으므로 초고속 스캐닝이 가능하고 구조가 간단하고 소형화가 가능한 3차원 스캔 가능한 라이다 스캐닝 장치를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 2a, 2b는 본 발명의 하부 반사경부의 일예를 나타내는 도면이다.
도 3a, 3b는 본 발명의 상부 반사경부의 일예를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 원추형 선회광선의 경로를 설명하는 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치에 대하여 실시예로써 상세하게 설명한다.
도 1 내지 도 4에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 의한 3차원 스캐닝장치(1)는 상부 본체부(10)와, 보호 경통(20)과, 하부 본체부(30)와, 상부 반사경부(40)와, 하부 반사경부(50)를 포함한다.
상기 상부 본체부(10)는 상기 상부 반사경부(40)를 회전시키도록 구성된다.
본 실시예에서, 상기 상부 본체부(10)는 상부 구동부(11)와, 보호경통(12)을 포함한다.
상부 구동부에 전원을 공급하기 위한 연결전선이 상기 보호경통을 가로질러 상하로 설치하여야 하므로, 상기 연결전선에 의해 스캐닝 광선의 가림 부분이 발생하는데, 본 실시예에 의한 스캐닝 장치는 상술한 연결전선을 형성하지 않는 구조로 구성되어 있다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 상기 상부 구동부(11)는 하부 구동부(32)의 상측에 적층되어 배치된다. 상기 상부 구동부(11)는 상기 하부 구동부(32)와 마찬가지로, 중공축을 가지는 중공모터로 형성된다.
상기 상부 본체부는 원통형상의 보호경통(12)을 구비한다.
상기 보호경통(12)은 내측면과 외측면이 모두 비반사 코팅으로 이루어지며 적외선 투과율과 기계적 강도가 높은 소재로 형성되어 반사경의 고속회전에 의한 발열과 온도상승을 견딜 수 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 보호경통(10)은 구면형 경통 또는 실린더형 경통으로 형성되고, 내부를 진공으로 유지하거나 불활성 기체(예를 들면, 질소) 등으로 충전되어 온도상승과 반사경표면의 시효산화를 방지하는 것이 바람직하다.
상기 보호경통(12)은 하부측은 상기 상부 구동부(11)의 중공축에 삽입되어 상기 상부 구동부(11)와의 사이에 베어링을 매개로 하여 연결되어 상기 상부 구동부에 의해 회전된다. 또한, 상기 보호경통(12)의 상부면에는 경사면(13)이 형성되고, 상기 경사면의 내측면에는 상기 상부 반사경부(20)가 부착된다.
상술한 구성에 의해, 각각 중공 모터로 구성된 상기 하부 구동부와 상기 상부 구동부를 각각 회전구동시킴으로써, 상기 하부 반사경부와 상기 상부 반사경부를 각각 회전시킬 수 있고 동시에 상술한 바와 같은 연결전선을 생략할 수 있다.
상기 상부 본체부에는 상부 반사경부(20)가 설치된다.
상기 상부 반사경부(20)는, 도 3a에 나타낸 바와 같이, 반사경으로 설치되되 수평면에 대하여 경사져 배치되어 하부반사경부로부터 전달된 레이저광을 광조사대상물측을 향하여 반사하도록 구성된다. 본 실시예에서, 상기 상부 반사경부(20)는 수평면에 대하여 45°로 경사져 배치되는 것을 예로 하였으나, 반드시 이에 한정되지 않고 45도 이하의 각도로 경사각을 변화시켜 고저각 스캔 범위를 약간 아래를 내려보도록 구성할 수도 있다.
상기 상부본체부(10)의 하부측에는 하부 반사경부(50)를 회전시키는 하부 본체부(30)가 설치된다.
상기 하부 본체부(30)는 광원부(31)와, 하부 구동부(32)를 포함한다.
상기 광원부(31)는 거리측정 대상물을 스캐닝하기 위한 레이저광을 발생하여 조사한다. 상기 광원부(31)에 연결되는 광경로부(31a)는 상기 광원부로부터 조사된 레이저광을 전달하는 광경로를 형성한다. 상기 광경로부(31a)는 대략 중공 원통형 형상으로 형성된다. 상기 광경로부(31a)의 끝단에는 광경로변경미러(34)가 설치된다.
상기 광경로변경 미러(34)는 상기 광경로부의 끝단에 설치되되 상기 광경로부의 광경로에 대하여 대략 45°의 각도를 가지도록 설치되어, 상기 광원부(31)로부터 조사된 레이저광을 상기 하부 반사경부(50)를 향하여 반사하도록 구성된다.
상기 광경로변경 미러 및 상기 광경로부의 상부에는 하부 구동부(32)가 설치된다. 상기 하부 구동부(32)는 중앙에 중공축을 가지고, 중공축을 중심으로 중공형 로터가 마련되는 중공 모터로 구성된다. 상기 광경로변경 미러(34)에서 경로변경된 레이저광이 상기 하부 구동부의 중공부를 통과하여 상기 하부 반사경부(50)측으로 전달된다.
이로써, 상기 광경로부의 광경로를 용이하게 확보하면서도 상기 하부 구동부 및 하부 본체부의 구성을 전체적으로 간결하게 구성될 수 있다.
상기 하부 본체부의 상부에는 하부 반사경부(50)가 설치된다.
상기 하부 반사경부(50)는 한 쌍의 하부 미러(51, 52)를 포함하며, 상기 한 쌍의 하부 미러(51, 52)는 하부 반사경 지지체(50a)의 상부에 설치된다.
상기 하부 구동부(32)의 내부에는 하부 베어링(33)을 매개로 하여 상기 하부 반사경부의 하부 반사경 지지체(50a)가 체결되어 상기 하부 구동부(32)의 회전구동에 의해 상기 하부 반사경 지지체가 회전된다.
상기 한 쌍의 하부 미러 각각은 상기 하부 반사경부(50)의 회전중심축으로부터 서로 다른 이격 거리에 배치된다. 도 2a에 나타내 바와 같이, 제 1 하부미러(51)는 상기 하부 반사경부의 회전축에 근접하여 배치되고, 제 2 하부미러(52)는 상기 하부 반사경부의 외주면에 근접하여 배치된다.
또한, 상기 제 1 하부 미러(51)와 상기 제 2 하부 미러(52)는 수평면에 대하여 서로 다른 경사각으로 설치된다.
도 1 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 수평으로 조사된 상기 광원으로부터 조사된 레이저광은 상기 광경로변경 미러에 의해 반사되어 수직방향으로 광경로가 변경되고, 수직방향으로 조사된 레이저광은 상기 하부 구동부의 중공부를 통과한 후 상기 하부반사경부의 중심축에 근접하여 배치된 상기 제 1 하부미러(51)에 의해 반사되어 상기 제 2 하부 미러(52)측으로 전달된다. 상기 제 2 하부 미러(52)측으로 조사된 레이저광은 수평면에 대하여 경사져 배치된 상기 제 2 하부미러(52)에 의해 상기 상부 반사경부(20)를 향하여 α의 각도를 이루면서 조사된다.
상술한 바와 같이 구성된 상기 하부 반사경부는, 도 2a 및 도 4에 나타낸 바와 같이, w1의 속도로 회전할 때에, 제 2 하부 미러(52)에서 반사되어 상기 상부 반사경부(20)로 조사되는 레이저광은 상기 상부 반사경부에 대하여 α의 각도를 갖는 원추형의 선회광선 경로를 형성한다.
도 3a 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 원추형의 선회광선 경로를 이루는 레이저광은 수평면에 대하여 45도 경사진 상태로 고속으로 회전하는 상기 상부 반사경부(20)에 의해 반사되어, ψ의 고저각과 θ의 방위각을 가지면서 조사되어 스캔 대상면에 대하여 원추형의 선회광선이 조사되어 상하방향의 영역을 스캔할 수 있다.
여기서, 상기 제 2 하부 미러(52)의 설치위치, 상기 제 1 및 제 2 하부 미러의 설치각도, 상기 상부 반사경부의 설치 각도를 조절하여 스캔 대상면의 스캔범위를 조절할 수 있다.
한편, 상기 하부 반사경부와 상기 상부반사경부는 서로 다른 속도로 회전구동될 수 있다.
상기 하부 반사경부(50)가 1회전 구동될 때, 1주기당 원추형 선회광선이 1회씩 생성되어, 상부영역과 하부영역을 각각 스캐닝할 수 있다. 여기서, 상기 하부 반사경부의 1회전당 주사수에 따라 상기 하부미러부의 회전속도를 조절하고, 상기 하부 반사경부의 회전속도에 맞추어 상기 상부 반사경부의 회전속도를 조절할 수 있다. 상기 하부 반사경부의 회전속도를 낮추고, 상기 상부 반사경부의 회전속도를 증가시켜 동일한 스캔 분해능을 구현할 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 스캐닝장치에 의하면, 복수의 레이저나 복수의 모터를 설치하는 등 복잡한 구조가 필요없이도 상기 하부 반사경부를 이용하여 360°회전하면서 상하 방향의 영역을 용이하게 스캐닝할 수 있다. 또한, 상기 하부 반사경부의 회전속도를 조절하고, 상기 하부 반사경부의 회전속도에 맞추어 상기 상부 반사경부의 회전속도를 조절하여 스캔 분해능을 조절할 수 있다.
한편, 상기 하부 반사경부는, 도 2a에 나타낸 바와 같은 한 쌍의 하부 미러를 대신하여, 도 2b에 나타낸 바와 같이 펜타프리즘(53)으로 형성할 수 있다.
상기 펜타프리즘(53)은 2개의 반사면(54)을 가지도록, 펜타프리즘의 2면을 코팅하여 구성되고, 상기 하부 반사경부의 중심축에 대하여 편심으로 배치된다.
편심으로 배치된 상기 펜타프리즘(53)은, 도 2에 나타낸 바와 같이, 상기 반사면(54)을 통해 반사된 레이저광이 상기 상부 반사경부(20)를 향하여 α의 각도를 이루면서 조사되도록 구성되고, w1의 속도로 회전할 때에, 상기 상부 반사경부에 대하여 α의 각도를 갖는 원추형의 선회광선 경로를 형성하도록 구성된다.
또한, 상기 상부 반사경부는, 도 3b에 나타낸 바와 같이, 상기 상부 반사경을 대체하여 설치되는 직각 프리즘(21)으로 형성할 수 있다.
상술한 바와 같이, 상기 하부 반사경부를 한 쌍의 하부 미러 또는 펜타프리즘으로 형성하고, 상기 상부 반사경부를 반사경 또는 직가프리즘으로 형성함으로써, 도 5a 내지 도 5d에 나타내 바와 같이, 상하부 반사경부를 복수의 조합으로 형성할 수 있다.
즉, 하부를 한 쌍의 미러로 구성하고 상부를 반사경으로 구성하거나, 하부를 펜타프리즘으로 구성하고 상부를 반사경으로 구성하거나, 하부를 한 쌍의 미러로 구성하고 상부를 직각프리즘으로 구성하거나, 하부를 펜타프리즘으로 구성하고 상부를 직각프리즘으로 구성하여, 필요에 따라 적절한 구성으로 용이하게 설치할 수 있다.
본 실시예는 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서에 포함된 기술적 사상의 범위내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 기술적 사상에 포함되는 것은 자명하다.
1 : 동축거울 이중선회방식 스캐닝장치
10 : 상부 본체부
20 : 상부 반사경부
30 : 하부본체부
50 : 하부 반사경부

Claims (8)

  1. 광원으로부터 전달된 레이저광의 경로를 변경하여 반사하는 하부 반사경부와,
    상기 하부반사경부를 회전시키는 하부 본체부와,
    상기 하부반사경부로부터 전달된 레이저광을 반사하는 상부 반사경부와,
    상기 상부 반사경부를 회전시키는 상부 본체부를 포함하며,
    상기 하부 반사경부는 서로 이격하여 배치된 한 쌍의 하부 미러를 포함하고, 상기 한 쌍의 하부 미러 각각은 상기 하부 반사경부의 회전축으로부터 서로 다른 이격 거리에 배치되어,
    상기 레이저광의 조사와 상기 하부 반사경부의 회전시에 상기 하부 반사경부와 상기 상부 반사경 사이에 원추형 선회광선 경로를 형성하며,
    상기 상부 본체부는, 상기 상부 반사경을 회전시키고 상기 하부 구동부의 상측에 적층되어 배치되는 상부 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 구동부는 중공모터로 형성되고,
    상기 상부 본체부는 일측이 상기 상부 구동부의 중공에 삽입되고 타측은 상기 상부 반사경부가 부착되는 원통형상의 보호경통을 더욱 구비하는 것을 특징으로 하는 동축거울 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 상부 본체부에는 상기 상부 반사경부가 설치되는 경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 하부 미러는,
    상기 하부 반사경부의 회전축에 근접하여 배치되는 제 1 하부 미러와,
    상기 하부 반사경부의 외주면에 근접하여 배치되는 제 2 하부 미러를 포함하는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 하부 미러와 상기 제 2 하부 미러는 수평면에 대하여 서로 다른 경사각으로 설치되고,
    상기 상부 반사경부는 수평면에 대하여 경사져 배치되는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 본체부는,
    레이저광을 조사하는 광원부와,
    상기 광원부로부터 조사된 레이저광을 전달하는 광경로부와,
    상기 하부 반사경부를 회전시키고 상기 레이저광이 통과하는 중공부가 형성된 하부구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 하부 반사경부는 한 쌍의 하부 미러를 대체하여 2개의 반사면을 가지는 펜타프리즘으로 형성되고,
    상기 펜타프리즘은 상기 하부 반사경부의 중심축에 대하여 편심으로 배치되어,
    상기 레이저광의 조사와 상기 하부 반사경부의 회전시에 상기 펜타프리즘과 상기 상부 반사경 사이에 원추형 선회광선 경로를 형성하는 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 상부 반사경부는 상기 상부 반사경을 대체하여 설치되는 직각 프리즘인 것을 특징으로 하는 동축거울 이중선회방식의 3차원 스캐닝장치.


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