KR20220104150A

KR20220104150A - 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법

Info

Publication number: KR20220104150A
Application number: KR1020227014428A
Authority: KR
Inventors: 교스케 데라무라
Original assignee: 미쓰이금속광업주식회사
Priority date: 2019-11-21
Filing date: 2020-06-24
Publication date: 2022-07-26
Also published as: JP7139453B2; JPWO2021100233A1; CN114651086A; WO2021100233A1; TWI815025B; TW202120721A

Abstract

휘어진 원통형 기재를 구성 재료로서 사용할 수 있는 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 비교적 길어도, 또한 접합재 충전 시의 가열을 거쳐도, 원통형 기재의 휨을 해소할 수 있는, 새로운 스퍼터링 타깃의 제조 방법을 제공한다. 원통형 기재의 휨 폭을 측정하고, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 하고, 상기 가공된 원통형 기재의 외측에, 복수의 원통형 타깃재를 축방향으로 간격을 두고 나란히 배치하고, 해당 원통형 기재와 상기 원통형 타깃재를 접합재로 접합하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법을 제안한다.

Description

스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법

본 발명은, 원통형 기재와, 복수의 원통형 타깃재를 구비한 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 특히 만곡 변형되어 휘어진 원통형 기재를 재료로서 사용할 수 있는 스퍼터링 타깃의 제조 방법에 관한 것이다.

유기 EL, 액정 디스플레이나 터치 패널, 그 밖의 표시 디바이스의 제조 시에, ITO 등으로 이루어지는 투명 도전 박막을 형성하기 위한 스퍼터링에서는, 평판형의 기재 위에 타깃재를 접합하여 이루어지는 평판형 스퍼터링 타깃을 사용한 마그네트론 스퍼터링이 주류였다.

근년, 원통형 기재의 외주면에 타깃재를 접합한 원통형 스퍼터링 타깃을 축선의 주위에서 회전시켜서 스퍼터링하는 로터리 스퍼터링이 실용화되고 있다. 이와 같은 로터리 스퍼터링에 의하면, 평판형 스퍼터링 타깃에 비하여, 현격하게 높은 사용 효율을 실현할 수 있다는 점에서 높은 생산성이 얻어지는 등의 장점이 있다.

플랫 패널 디스플레이나 태양 전지로 사용되는 유리 기판의 대형화가 진행되고, 이 대형화된 기판 위에 박막을 형성하기 위해서, 길이 2m 이상의 긴 원통형 스퍼터링 타깃이 필요해지고 있다. 그러나, 길이 2m 이상의 원통형 타깃을 제조하는 것은 곤란하기 때문에, 긴 원통형 기재의 외측에, 복수의 원통형 타깃재(「분할 타깃재」라고도 칭함)를 축선 방향으로 복수개 나란히 배치하는 것이 행해지고 있다.

예를 들어 특허문헌 1, 2에는, 타깃재를 축선 방향으로 복수개로 분할한 복수의 타깃재를 제작하고, 이러한 복수의 타깃재를, 원통형 기재의 외주측에 축선 방향으로 나란히 배치함과 함께, 그것들을 접합재에 의해 접합함으로써, 당해 스퍼터링 타깃을 제조하는 것이 개시되어 있다.

전술한 바와 같이 원통형 스퍼터링 타깃이 길게 되는 데 수반하여, 원통형 기재가 길게 되면, 원통형 기재의 휨의 영향을 무시할 수 없게 된다. 특히 2m를 초과하는 긴 원통형 기재는, 휘어 있는 것이 많고, 또한, 그 휨 폭도 크다는 과제를 안고 있었다. 원통형 기재의 휨이 크면, 접합재의 두께가 불균일해져서, 접합재의 두께가 얇은 부분에서는 냉각 부족으로 되어, 스퍼터링 시에 크랙의 발생을 초래하는 등의 문제가 발생해버린다.

근년, 더욱 대형의 제10세대의 유리 기판에 성막하는 스퍼터링 장치가 사용되도록 되고 있으며, 타깃의 전체 길이는 3m를 초과하도록 되고 있다. 타깃의 전체 길이가 3m를 초과하는 경우에는, 상기와 같은 휨의 과제는 더욱 현저하다.

그래서, 특허문헌 2에는, 기재와 타깃재의 편심에 착안하여, 이것을 억제하기 위해서, 원통형 타깃을 제조하는 데 앞서서 원통형 기재의 휨을 확인하고, 휨이 큰 경우에는, 프레스기 등을 사용하여 원통형 기재의 휨을 교정하는 방법이 제안되어 있다.

또한, 특허문헌 3은, 원통형 기재가 만곡하고 있는 것을 전제로 하여, 복수의 원통형 타깃재의 각각을 원통형 기재의 만곡 변형에 맞춰서 배치한다. 즉, 각 원통형 타깃재의 중심 축선을 경사시키거나, 둘레 방향의 어느 위치에서 직경 방향으로 한 쪽으로 치우거나 하여, 원통형 타깃재의 내주면과 원통형 기재의 외주면 사이의 필요한 접합재 두께를 확보하는 방법을 개시하고 있다.

일본 특허 공개 제2010-100930호 공보 국제 공개 제2016/067717호 일본 특허 공개 제2018-159105호 공보

특허문헌 2에 기재된 발명은, 원통형 기재의 휨을 미리 측정하고, 휨이 큰 경우에는, 프레스기 등을 사용하여 휨을 교정할 것을 제안하고 있다. 그러나, 접합재 충전 시에, 원통형 기재를 미리 가열하거나, 원통형 기재와 타깃재 사이에 가열 용융된 접합재가 충전되고, 원통형 기재가 가열되거나 하면, 교정된 휨이 원래대로 돌아온다(「휨 복원」라고도 칭함)는 과제를 안고 있었다.

또한, 특허문헌 3에 기재된 발명은, 만곡하여 있는 원통형 기재를 사용하는 것을 전제로 하고 있기 때문에, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 750㎜ 미만인 경우에는, 필요한 접합재 두께를 확보할 수 있는 반면, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 그 이상이 되면, 필요한 접합재 두께를 확보하는 것이 곤란하다는 과제를 안고 있었다.

원통형 기재의 외측에, 복수의 원통형 타깃재를 복수개 나란히 배치해서 원통형 스퍼터링 타깃을 구성하는 경우, 원통형 타깃재 사이의 간극이, 스퍼터링 시에 노듈의 원인이 되기 때문에, 원통형 타깃재의 분할수는 가능한 한 저감시키는 것이 바람직하다. 그 때문에, 전술한 바와 같이 원통형 스퍼터링 타깃의 길이가 매년 길어지는 데 수반하여, 원통형 타깃재의 축방향 길이도 매년 길어지고 있으며, 원통형 타깃재도 길어지는 경향이 있어, 750㎜ 미만에는 들어가지 못하게 되어 있다.

그래서 본 발명은, 휘어진 원통형 기재를 구성 재료로서 사용할 수 있는 스퍼터링 타깃 및 그 제조 방법에 관하여, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 비교적 길어도, 또한 접합재 충전 시의 가열을 거쳐도, 즉, 접합재 충전 시에, 원통형 기재를 미리 가열하거나, 원통형 기재와 타깃재 사이에 가열 용융된 접합재가 충전되고, 원통형 기재가 가열되거나 해도, 사용하는 원통형 기재의 휨의 영향을 억제할 수 있고, 그 결과, 접합재의 두께가 균일하며, 또한, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 단차량이 작고, 또한, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리가 균일한 스퍼터링 타깃을 제조할 수 있는, 새로운 스퍼터링 타깃의 제조 방법 및 새로운 스퍼터링 타깃을 제공하려고 하는 것이다.

본 발명은, 원통형 기재와, 원통형 타깃재를 구비한 스퍼터링 타깃의 제조 방법으로서,

원통형 기재의 휨 폭을 측정하고,

휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 하고,

상기 가공된 원통형 기재의 외측에, 복수의 원통형 타깃재를 축방향으로 간격을 두고 나란히 배치하고, 해당 원통형 기재와 상기 원통형 타깃재를 접합재로 접합하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법을 제안한다.

본 발명은 또한, 원통형 기재와, 원통형 타깃재를 구비하고, 상기 원통형 기재와 상기 원통형 타깃재를 접합재로 접합하여 이루어지는 스퍼터링 타깃으로서,

상기 원통형 타깃재 중 적어도 1개의 축방향의 길이가 750㎜ 이상이며, 접합재의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재의 외주면 사이에 있어서의 단차량의 최댓값이 0.5㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하인 스퍼터링 타깃을 제안한다.

본 발명이 제안하는 제조 방법은, 원통형 기재를 가공한 후의 가열에 의해 다시 변형되는, 즉 전술한 휨 복원을 고려하여, 원래 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 소정의 폭만큼 반대로 휘도록 원통형 기재를 가공하는 방법이다. 따라서, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 비교적 길어도, 또한 접합재 충전 시의 가열을 거쳐도, 사용한 원통형 기재의 휨의 영향을 해소할 수 있어, 접합재의 두께가 균일하며, 또한, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 단차량이 작고, 또한, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리가 균일한 스퍼터링 타깃을 제조할 수 있다.

따라서, 본 발명이 제안하는 제조 방법에 의하면, 원통형 기재와, 복수의 원통형 타깃재를 구비한 스퍼터링 타깃으로서, 상기 원통형 타깃재 중 적어도 하나는 축방향 길이가 750㎜ 이상이고, 접합재의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재의 외주면 사이에 있어서의 단차량의 최댓값이 0.5㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하인 스퍼터링 타깃을 제조할 수 있다.

그리고, 이와 같은 스퍼터링 타깃이면, 접합층의 두께가 균일하게 확보되어 있기 때문에, 스퍼터링 시에 균열이 발생하기 어려울 뿐만 아니라, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 외주면 사이에 있어서의 단차량이 작고, 더구나, 당해 간극의 간격이 균일하기 때문에, 스퍼터링 시의 이상 발생의 확률을 현저하게 적게 할 수 있다. 나아가서는, 휨, 즉 굽힘이 적기 때문에, 타깃을 회전시켰을 때에 흔들림이 작고, 원통형 타깃과 기판의 거리를 일정하게 유지할 수 있어, 스퍼터링에 의해 형성하는 막의 질을 균일하게 할 수 있다.

도 1은 스퍼터링 타깃의 일례를 개념적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 휘어진 원통형 기재의 일례를 개념적으로 나타낸 사시도이다.
도 3은 원통형 기재의 휨 폭을 측정하는 방법의 일례를 개념적으로 나타낸 도면이다.
도 4는 원통형 기재의 가공 방법의 일례를 개념적으로 나타낸 측면도이며, (A)는 가공 전의 상태, (B)는 가공 후의 상태를 나타낸 도면이다.
도 5는 제조한 스퍼터링 타깃의 일례의 주요부를 확대해서 나타낸 종단면도이다.
도 6은 인접하는 타깃재 사이의 단차량 h와, 축방향 거리 d를 설명하기 위한 주요부 확대 단면도이다.
도 7은 실시예에서 사용한 스퍼터링 타깃의 제조 장치를 나타낸 종단면도이다.

다음으로, 실시 형태예에 기초하여 본 발명을 설명한다. 단, 본 발명이 다음에 설명하는 실시 형태에 한정되는 것은 아니다.

<본 타깃 제조 방법>

본 발명의 실시 형태의 일례에 따른 스퍼터링 타깃의 제조 방법(「본 타깃 제조 방법」이라고 칭함)은, 원통형 기재(2)와, 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥)를 구비한 스퍼터링 타깃의 제조 방법으로서,

원통형 기재(2)의 휨 폭 내지 휨 방향을 측정하고(「측정 공정」이라고 칭함),

휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재(2)를 휘게 하는 가공을 하고(「가공 공정」이라고 칭함),

상기 가공된 원통형 기재(2)의 외측에, 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥)를, 원통형 기재(2)의 축방향으로 간격을 두고 나란히 배치하고, 해당 원통형 기재(2)와 상기 원통형 타깃재(3)를 접합재(4)로 접합하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법이다.

(본 스퍼터링 타깃)

도 1에 도시한 바와 같이, 본 타깃 제조 방법으로 제조하는 스퍼터링 타깃 (「본 스퍼터링 타깃」)(1)은, 1개의 원통형 기재(2)의 외측에, 복수의 원통형 타깃재(3)를, 원통형 기재(2)의 축방향으로 간격을 두고 나란히 배치하고, 원통형 기재(2)와 상기 원통형 타깃재(3)를, 접합재(4)(도시생략)로 접합하여 이루어지는 스퍼터링 타깃이다.

본 스퍼터링 타깃(1)의 상세에 대해서는 후술한다. 여기에서는 우선, 구성 부재에 대하여 설명한다.

(타깃재)

타깃재는, 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥)로 이루어지는 것으로, 당해 복수의 원통형 타깃재(3)는, 원통형 기재(2)의 외주측에, 원통형 기재(2)의 축선 방향으로 적절히 간격을 두고 배치된다.

각 원통형 타깃재(3)는, 원통형 기재(2)의 외경보다도 큰 내경을 갖고 있으면 된다.

원통형 타깃재의 길이는 매년 길어지는 경향이 있는 반면, 원통형 타깃재의 길이가 길어지면, 특히 750㎜ 이상이 되면 접합재 두께를 확보할 수 없게 된다는 과제가 지적되고 있다. 그러나, 본 타깃 제조 방법에 의하면, 그와 같은 과제를 해소할 수 있어, 본 발명의 효과를 보다 한층 향수할 수 있다.

따라서, 상기 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥) 중 적어도 하나는, 본 발명의 효과를 보다 향수할 수 있다는 관점에서, 그 축방향 길이 L₃이 750㎜ 이상인 것이 바람직하고, 그 중에서도 850㎜ 이상, 그 중에서 950㎜ 이상, 그 중에서도 1400㎜ 이상인 것이 더욱 바람직하다.

원통형 타깃재(3)는, 그 재료를 특별히 한정하는 것은 아니다. 예를 들어 Cu, Al, In, Sn, Ti, Ba, Ca, Zn, Mg, Ge, Y, La, Al, Si, Ga, W 중 어느 1종 이상을 포함하는 산화물을 들 수 있다.

상기 산화물로서는, 예를 들어 In-Sn-O, In-Ti-O, In-Ga-Zn-O, In-Zn-Sn-O, In-Ga-Zn-Sn-O, Ga-Zn-O, In-Zn-O, In-Ga-O, I-W-O, I-Zn-W-O, Zn-O, Sn-Ba-O, Sn-Zn-O, Sn-Ti-O, Sn-Ca-O, Sn-Mg-O, Zn-Mg-O, Zn-Ge-O, Zn-Ca-O, Zn-Sn-Ge-O, Cu₂O, CuAlO₂, CuGaO₂, CuInO₂ 등을 들 수 있다.

(원통형 기재)

원통형 기재(2)는, 중심축이 직선이며, 외주면도 당해 축과 병행인 원통형을 이루고 있는 것이 이상적이다. 그러나, 새롭게 사용하는 원통형 기재나 재활용으로 사용하는 원통형 기재(2)는, 도 2에 도시한 바와 같이, 만곡형 다시 말해 아치형으로 휘고, 원통형 기재(2)의 외주면이 직선축 방향으로부터 편차를 갖고 있다.

원통형 기재(2)의 재질은, Ti, SUS 또는 Cu 등의 금속이면 된다. 단, 이들에 한정하는 것은 아니다.

(접합재)

접합재(4)는, 스퍼터링 타깃의 제조 시에, 원통형 기재(2)와, 그 외주측의 소정 개소에 배치된 각 원통형 타깃재(3) 사이의 간극에 용융 상태로 공급되어, 당해 간극에 충전된 후에 경화하여, 원통형 기재(2)와 원통형 타깃재(3)를 접합하는 것이다.

접합재(4)의 재질은, 이러한 종류의 타깃재와 기재의 접합에 사용될 수 있는 것이면 특별히 한정되지는 않는다. 예를 들어 In 메탈, In-Sn 메탈 또는, In에 미량 금속 성분을 첨가한 In 합금 메탈 등의 저융점 땜납을 들 수 있다.

상기 저융점 땜납의 융점은 150 내지 250℃이기 때문에, 접합재(4)를 충전할 때는, 접합재(4)를 150 내지 300℃로 가열하여 용융시키는 것이 통상이다.

<측정 공정>

측정 공정에서는, 구성 재료로서 사용하는 원통형 기재(2)의 휨 폭 내지 휨 방향을 측정한다.

휨 폭의 측정 방법은, 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 원통형 기재(2)를 축 회전시켜 외주면의 변위 폭, 즉 휨 폭을 측정하도록 해도 되고, 또한 원통형 기재(2)를 횡방향으로 정반 위에 적재하고, 정반의 평활면과 원통형 기재(2)의 외주면(2a)의 거리를, 정반에 세운 수선을 따라 변위 폭, 즉 휨 폭을 측정하도록 해도 된다. 그 밖의 방법으로 측정해도 된다.

휨 폭을 측정하는 개소는, 원통형 기재(2)의 길이 방향에 있어서 1군데여도 되고, 2군데 이상이어도 된다.

원통형 기재(2)는 아치형으로 휘어 있는 경우가 많기 때문에, 길이 방향 중심부 부근에 있어서 휨 폭을 측정하면, 최대 휨 폭과 그 휨 방향을 측정할 수 있다.

단, 반드시 아치형으로 휘어 있다고는 할 수 없기 때문에, 길이 방향으로 간격을 두고 복수 개소에서, 휨 폭을 측정하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 100㎜ 내지 1000㎜의 간격으로 측정하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 200㎜ 이상 혹은 800㎜ 이하의 간격, 그 중에서도 특히 500㎜ 이하의 간격으로 측정하는 것이 더욱 바람직하다.

휨 폭을 측정하는 구체적인 측정 방법의 일례에 대하여 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 원통형 기재(2)를 수평이면서 또한 축 회전 가능하게 설치하고, 상기 원통형 기재(2)의 외주면(2a)에 다이얼 게이지(5)를 맞춰서, 상기 원통형 기재(2)를 1회전시켜 상기 다이얼 게이지(5)의 읽기를 측정한다. 그리고, 상기 다이얼 게이지(5)의 읽기의 최댓값 Hmax와 최솟값 Hmin의 차(Hmax-Hmin)를 휨 폭으로 할 수 있다.

이때, 원통형 기재(2)를 축 회전시키는 수단은 임의이다. 예를 들어 2개의 회전 롤러 사이 위에 얹어서 회전시키도록 하거나, 원통형 기재의 양단 부근을, V자형의 홈을 구비한 지지대의 해당 홈에 넣어 얹어서, 손으로 또는 롤러로 회전시키도록 하거나, 그 수단은 임의이다.

측정 공정에서는, 입수한 원통형 기재(2)의 그대로의 휨 폭 X 내지 휨 방향을 상술한 바와 같이 측정해도 되며, 또한 입수한 원통형 기재(2)를 가열하여, 가열 후의 원통형 기재(2)의 휨 폭 Y 내지 휨 방향을 상술한 바와 같이 측정해도 된다.

원통형 기재(2)를 가열하여, 가열 후의 원통형 기재의 휨 폭 Y 내지 휨 방향을 측정하는 경우, 원통형 기재(2)의 가열 온도는, 접합재 충전 시 즉 원통형 기재(2)와 원통형 타깃재(3) 사이에 가열 용융된 접합재(4)를 충전할 때에 원통형 기재(2)를 가열하는 온도, 혹은 충전한 접합재(4)에 의해 원통형 기재(2)가 가열되는 온도를 상정하는 것이 바람직하다. 단, 너무 고온이면, 원통형 기재(2)가 표면 산화될 가능성이 있다. 이러한 관점에서, 이 때의 원통형 기재(2)의 가열 온도에 관해서는, 그 표면 온도가 150 내지 300℃가 되도록 가열하는 것이 바람직하며, 그 중에서도 160℃ 이상 혹은 240℃ 이하, 그 중에서도 170℃ 이상 혹은 230℃ 이하로 되도록 가열하는 것이 더욱 바람직하다.

원통형 기재(2)의 가열 방법은 특별히 한정되는 것은 아니다. 예를 들어 기재를 전기로 등에 넣고, 외부로부터 가열해도 되며, 기재의 내부에 히터를 설치하고, 내부로부터 가열해도 된다.

<가공 공정>

가공 공정에서는, 원래 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 소정의 폭 α만큼 반대로 휘도록 원통형 기재(2)를 가공한다.

예를 들어, 도 4에 도시한 바와 같이, 측정 공정에서의 측정 위치에 있어서, 상기 측정 공정에서 측정된, 휨 방향과는 반대 방향으로 가압하여 원통형 기재(2)를 구부려서, 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 폭 α만큼 반대로 휘도록, 다시 말해, 직선축으로부터 α만큼 변위하도록 원통형 기재(2)를 가공하면 된다.

가압하는 위치에 관해서는, 예를 들어 원통형 기재(2)가 아치형으로 휘어 있는 경우 등, 축방향 중앙부를 1군데 가압하여 변형시킬 수 있다. 또한, 측정 공정에서 측정된 위치를 가압하는 것이 바람직하다. 예를 들어 100㎜ 내지 1000㎜의 간격으로 측정하고, 각 측정점에서 가압하여 변형시키는 것이 바람직하다.

원통형 기재(2)를, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 휘게 하는 폭 α(㎜)는, 상기 측정 공정에서 측정된 휨 폭 X 또는 Y에 기초하여 결정하는 것이 바람직하다. 휨 폭 X 또는 Y가 크면 큰만큼, 가공 후의 가열에 의해, 휨 복원의 크기가 크기 때문이다.

예를 들어, 측정 공정에 있어서, 입수한 원통형 기재(2)의 그대로의 휨 폭을 측정하여 휨 폭 X가 얻어진 경우, 휘게 하는 폭 α(㎜)는, X(㎜)×(0.10 내지 2.00)으로 하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 X(㎜)×0.50 이상 혹은 X(㎜)×1.50 이하, 그 중에서도 X(㎜)×0.80 이상 혹은 X(㎜)×1.40 이하, 그 중에서도 X(㎜)×0.90 이상 혹은 X(㎜)×1.30 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다.

또한, 측정 공정에 있어서, 입수한 원통형 기재(2)를 가열하여, 가열 후의 원통형 기재(2)의 휨 폭을 측정하여 휨 폭이 얻어진 경우, 휘게 하는 폭 α(㎜)는, Y(㎜)×(0.50 내지 1.50)으로 하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 Y(㎜)×0.80 이상 혹은 Y(㎜)×1.40 이하, 그 중에서도 Y(㎜)×0.90 이상 혹은 Y(㎜)×1.30 이하, 그 중에서도 Y(㎜)×0.95 이상 혹은 Y(㎜)×1.25 이하로 하는 것이 더욱 바람직하다.

실제로 가열하여 가열 후의 휨 폭 Y를 측정하고, 당해 휨 폭 Y에 기초하여 휘게 하는 폭 α를 결정하면, 입수한 원통형 기재(2)의 가열 거동을 가미한 후에 폭 α를 결정할 수 있다는 점에서, 휨 복원을 보다 한층 적게 할 수 있다.

원통형 기재(2)를 가압하여 휘게 하는 가공 방법으로서는, 예를 들어, 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이, 측정 공정에서의 측정 위치(1군데 또는 복수 개소)에 있어서, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재(2)를 가압하는 방법을 들 수 있다. 또한, 도 4의 (A)에 있어서의 P는 가압 방향을 나타낸다. 이때, 가압하는 수단으로서는, 예를 들어 기계적인 프레스 가공, 단조 가공 등을 들 수 있다.

단, 원통형 기재(2)를 원하는 폭만큼 휘게 하는 수단이면, 임의의 수단을 채용할 수 있다.

이때, 원통형 기재의 진원도가 변화하지 않도록, 가압을 가하는 단자에 원통형 기재(2)의 형상에 맞춘 원호형의 것을 사용하는 등으로 해도 된다.

또한, 필요에 따라 열처리(어닐링)를 더 실시해도 된다.

또한, 원통형 기재(2)를 가압하여 휘게 하는 가공 방법을 반복해서 행해도 된다. 즉, 원통형 기재(2)를 가압하여 휘게 하고, 더 가압해서 휘게 하는 등, 가압해서 휘게 하는 처리를 반복해서 행하여, 최종적으로 소정 폭 α만큼 원통형 기재(2)를 휘게 하도록 해도 된다.

또한, 원통형 기재(2)를 가열하고(휨 폭 Y를 측정하고) 가압해서 휘게 하고, 더 가열해서 가압하여 휘게 하는 등, 가열해서 가압하여 휘게 하는 처리를 반복해서 행하여, 최종적으로 소정 폭 α만큼 원통형 기재(2)를 휘게 하도록 해도 된다. 이때, 가열한 후에 휨 폭 Y를 측정하는 것은, 처음에만 행하면 된다.

<원통형 타깃재의 배치>

상기와 같이 가공을 실시한 원통형 기재(2)를 사용하여, 해당 원통형 기재(2)의 외주측에, 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥)를 축선 방향으로 적절히 간격을 두고 나란히 배치한다.

원통형 타깃재(3)는, 축선 방향으로 0.15㎜ 내지 0.50㎜의 간격을 두고 나란히 배치하는 것이 바람직하다.

<접합>

상술한 바와 같이 원통형 타깃재(3)를 배치하면, 원통형 기재(2) 및 원통형 타깃재(3)를 가온하고, 원통형 기재(2)와 원통형 타깃재(3)의 간극에, 용융 상태의 접합재(4)를 충전하고, 접합재(4)를 냉각해서, 접합재(4)에 의해 원통형 기재(2)의 주위에 각 원통형 타깃재(3)를 접합하도록 하면 된다.

접합재(4)를 충전하기 전에, 원통형 기재(2) 및 원통형 타깃재(3)를 가온하는 온도는, 접합재(4)의 온도 이상으로 하는 것이 바람직하다.

접합재(4)를 충전할 때의 접합재(4)의 온도는, 접합재의 융점 이상의 온도이며, 150 내지 300℃가 되도록 가열하는 것이 바람직하고, 그 중에서도 160℃ 이상 혹은 240℃ 이하, 그 중에서도 170℃ 이상 혹은 230℃ 이하가 되도록 가열하는 것이 더욱 바람직하다.

접합재의 충전 및 냉각의 방법은, 공지된 방법을 채용할 수 있다.

<본 스퍼터링 타깃>

본 타깃 제조 방법에 의하면, 접합재 충전 시의 가열을 거쳐도 원통형 기재(2)의 휨의 영향을 해소할 수 있기 때문에, 다음과 같은 본 스퍼터링 타깃을 제조하는 것이 가능하다.

본 스퍼터링 타깃의 바람직한 일례로서, 원통형 기재(2)와, 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥)를 구비한 스퍼터링 타깃이며, 상기 복수의 원통형 타깃재(3, 3‥) 중 적어도 하나는 축방향의 길이 L₃이 750㎜ 이상이며, 접합재(4)의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재(3, 3)의 외주면 사이(3a, 3a)에 있어서의 단차량 h의 최댓값이 0.5㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재(3, 3) 사이의 축방향 거리 d의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하인 스퍼터링 타깃을 들 수 있다.

또한, 원통형 기재(2)의 길이는, 본 발명의 효과를 보다 향수할 수 있다는 관점에서, 2.0m 내지 4m인 것이 바람직하고, 그 중에서도 3.0m 이상 혹은 3.8m 이하, 그 중에서도 3.3m 이상 혹은 3.7m 이하인 것이 더욱 바람직하다.

원통형 기재(2)의 외경은, 125㎜ 내지 140㎜인 것이 바람직하고, 그 중에서도 130㎜ 이상 혹은 135㎜ 이하, 그 중에서도 132㎜ 이상 혹은 134㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

원통형 타깃재(3)의 내경은, 127㎜ 내지 142㎜인 것이 바람직하고, 그 중에서도 132㎜ 이상 혹은 137㎜ 이하, 그 중에서도 134㎜ 이상 혹은 136㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

원통형 타깃재(3)의 두께는, 5㎜ 내지 20㎜인 것이 바람직하고, 그 중에서도 6㎜ 이상 혹은 16㎜ 이하, 그 중에서도 8㎜ 이상 혹은 13㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

원통형 타깃재(3)의 적어도 1개의 축방향 길이 L₃은, 본 발명의 효과를 보다 향수할 수 있다는 관점에서, 750㎜ 내지 1500㎜인 것이 바람직하고, 그 중에서도 850㎜ 이상 혹은 1450㎜ 이하, 그 중에서도 950㎜ 이상 혹은 1450㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

접합재(4)의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이면 접합재(4)의 두께가 균일하게 확보되어 있기 때문에, 예를 들어 접합재의 두께가 얇은 부분에 있어서 냉각 부족이 되어 타깃이 균열되는 것 등을 방지할 수 있어, 스퍼터링 시의 균열의 발생을 억제할 수 있다.

이러한 관점에서, 접합재(4)의 두께의 최댓값과 최솟값의 차는 0.5㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 0.3㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

이때, 접합재(4)의 두께는 0.5㎜ 이상, 그 중에서 0.7㎜ 이상, 그 중에서 1㎜ 이상인 것이 바람직하다.

접합재(4)의 두께는, 초음파 탐상 장치에 의해 측정할 수 있다.

인접하는 원통형 타깃재(3, 3)의 외주면(3a, 3a) 사이에 있어서의 단차량 h의 최댓값, 즉, 축선 방향에 인접하는 한 쌍의 원통형 타깃재(3, 3)에 있어서, 각각의 외주면(3a, 3a)에 있어서의, 서로 인접하는 축선 방향의 외단 연부의 단차량 h의 최댓값이 0.5㎜ 이하이면 스퍼터링 시의 이상 발생, 구체적으로는 아킹의 발생이나, 그에 수반되는 칩핑이나 균열의 발생 등의 발생 확률을 적게 할 수 있다. 반대로 단차량 h의 최댓값이 0.5㎜보다 크면, 편측의 원통형 타깃재(3)가 튀어나온 형상이 되고, 튀어나온 에지부에서 이상 방전 등의 악영향이 발생할 가능성이 있다.

이러한 관점에서, 당해 단차량 h의 최댓값은 0.3㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 0.2㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

또한, 당해 단차량 h는, 예를 들어 심도계 등을 사용하여 측정 할 수 있다.

또한 인접하는 원통형 타깃재(3, 3) 사이의 축방향 거리(간격) d의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하이면 스퍼터링 시의 이상 발생, 예를 들어 스퍼터링 시의 열팽창에 의해 단부끼리가 접촉해서 칩핑이나 균열 등이 발생할 확률을 더욱 적게 할 수 있다. 예를 들어, 축방향의 거리 d가 큰 부분에서는, 원통형 기재(2)가 노출되고, 기재 성분이 스퍼터되어 막에 불순물로서 혼입될 가능성이 있다. 한편, 축방향의 거리 d가 작은 부분에서는, 인접하는 원통형 타깃재(3, 3)끼리가 스퍼터링의 열에 의해 열팽창했을 때에 맞부딪쳐서 원통형 타깃재(3)가 균열될 가능성이 있다.

이러한 관점에서, 인접하는 원통형 타깃재(3, 3) 사이의 축방향 거리 d의 최댓값과 최솟값의 차는 0.15㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하고, 0.1㎜ 이하인 것이 더욱 바람직하다.

또한, 상기 축방향 거리(간격) d는, 예를 들어 심도계 등을 사용하여 측정 할 수 있다.

<어구의 설명>

본 명세서에 있어서 「A∼B」(당해 A, B는 임의의 숫자)로 표현하는 경우, 특별히 언급하지 않는 한 「A 이상 B 이하」의 의미와 함께, 「바람직하게는 A보다 크다」 혹은 「바람직하게는 B보다 작다」는 의미도 포함한다.

또한, 「A 이상」(A는 임의의 숫자) 혹은 「B 이하」(B는 임의의 숫자)로 표현한 경우, 「A보다 큰 것이 바람직하다」 혹은 「B 미만인 것이 바람직하다」는 취지의 의도도 포함한다.

실시예

이하의 실시예에 의해, 본 발명에 대하여 더 설명한다. 단, 이하의 실시예는 본 발명을 한정하는 것을 의도하는 것은 아니다.

<실시예 1>

재활용품인 원통형 기재(길이 3400㎜, 직경 133㎜, 두께 4㎜)를, 축 회전 가능하게 지지할 수 있는 받침대에 적재하고, 수평이면서 축 회전 가능하게 설치하고, 당해 원통형 기재의 길이 방향 중앙부의 외표면에, 상방으로부터 수하 고정된 다이얼 게이지를 맞춰서, 당해 원통형 기재를 1회전시켜서 상기 다이얼 게이지의 읽기를 측정하고, 읽기의 최댓값 Hmax와 최솟값 Hmin의 차(Hmax-Hmin)를 휨 폭 X(초기)로 하여 측정하였다.

다음으로, 상기 원통형 기재를 전기로 내에 넣어서, 그 표면 온도가 230℃를 1시간만 유지하도록 가열하고, 가열 후의 휨 폭 Y(가열 후)를 상기한 바와 마찬가지로 측정하였다.

다음으로, 상기 원통형 기재의 길이 방향 중앙부를, 프레스기를 사용하여, 휘어 있던 방향(+방향)과는 반대 방향(-방향)으로 가압하여, 당해 반대 방향(-방향)으로 폭 α(=Y×1.0)만큼 휘도록 가공하였다.

다음으로, 상기와 같이 가공한 원통형 기재를 사용하여, 도 7에 도시한 제조 장치(40)를 사용하여, 다음과 같이 ITO 원통형 스퍼터링 타깃을 제조하였다.

즉, 외경 153㎜, 내경 133㎜, 길이 300㎜, 750㎜, 750㎜, 300㎜의 ITO 원통형 분할 타깃재 4개를 준비하고, 원통형 분할 타깃재의 외주면을 내열성 필름과 테이프로 마스킹하고, 접합면(내주면)에 초음파 납땜 인두를 사용하여 In 땜납을 기초 도포하였다.

한편, 상기와 같이 가공한 원통형 기재의 접합면(외주면)에도 초음파 납땜 인두를 사용하여 In 땜납을 기초 도포하였다.

상기 원통형 기재를 테플론(등록상표)제 O링(48)이 장착된 기재 보유 지지부 (43c)에 설치하였다.

다음으로, 타깃재 보유 지지부(43b)에 테플론(등록상표)제 O링(47)을 장착하고, 상기 원통형 분할 타깃재를 타깃재 보유 지지부(43b)에 1개 설치하였다. 이때, 하부 보유 지지 부재(43)에 의해, 상기 원통형 기재 하단부와 상기 원통형 분할 타깃재 하단부의 어긋남은 0.1㎜로 되도록 조정하였다. 또한, 상기 원통형 기재와 상기 원통형 분할 타깃재 사이에 공극부(49)를 형성하였다.

또한 상기 원통형 분할 타깃재의 위에 나머지 원통형 분할 타깃재를 적층하였다. 원통형 분할 타깃재 사이에는 두께 0.5㎜의 테플론(등록상표)제 O링(51)을 개재시켰다. 맨위에 놓인 원통형 분할 타깃재 위에 O링(50)을 장착하고, 맨위의 원통형 분할 타깃재를 타깃재 보유 지지부(44b)에 설치하고, 타깃재 보유 지지부(44b)에 의해 원통형 타깃재를 그 상측으로부터 꽉 눌렀다. 이때 9개의 원통형 분할 타깃재의 위치를 조정하고, 원통형 분할 타깃재 사이의 모든 단차가 0.2㎜ 이하가 되도록 하였다. 이와 같이 타깃재 보유 지지 부재(44)에 의해 원통형 타깃재의 상단부를 보유 지지하였다.

다음으로, 상기 원통형 기재의 상단부에 기재 누름부(45b)를 압박 접촉하여, 기재 보유 지지 부재(45)에 의해 원통형 기재의 상단부를 보유 지지하였다. 이때, 원통형 기재 상단부와 원통형 타깃재 상단부의 어긋남이 0.1㎜ 이하가 되도록 심도계로 원통형 타깃재의 표면과 원통형 기재 표면의 거리를 측정하면서, 지그의 위치를 조정하였다.

마지막으로 하부 보유 지지 부재(43)를 고정구(43d)로, 타깃재 보유 지지 부재(44)를 고정구(44c)로, 기재 보유 지지 부재(45)를 고정구(45c)로 티타늄제의 연결 부재(46)에 고정함으로써, 원통형 기재 및 원통형 타깃재를 확실히 제조 장치(40)에 고정하였다.

제조 장치(40), 원통형 기재 및 원통형 타깃재를 180℃로 가온하였다.

타깃재 보유 지지 부재(44)의 상측으로부터, 원통형 타깃재와 원통형 기재의 접합에 충분한 양의 융해된 175℃의 In 땜납을 공극부(49)에 주입하였다.

제조 장치(40), 원통형 기재, 원통형 타깃재 및 공극부(49)에 주입된 융해한 땜납을 냉각하였다.

In 땜납이 고화되었음을 확인 후, 제조된 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조 장치(40)로부터 분리하고, O링을 제거하여, 원통형 분할 타깃재 사이에 잔존하는 In 땜납을 긁어내었다.

이와 같이 제조한 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)에 있어서, 접합재의 두께를, 다음과 같이 초음파 탐상 검사기((주)히타치 파워 솔루션즈 제조: FS LINE)를 사용하여 측정하였다. 구체적으로는, 타깃재와 접합층의 계면에서의 반사파와, 접합층과 기재의 계면에서의 반사파의 검출 시간의 차와, 접합층 중의 초음파의 전파 속도로부터 접합층의 두께를 산출하였다. 또한, 프로브는 10㎒인 것을 사용하고, 접합층(In 메탈) 중의 초음파의 전파 속도는 2700m/s로 하였다.

접합재의 두께의 측정 위치는, 1개의 타깃 세그먼트에 관하여, 축선 방향에서, 타깃 세그먼트의 양단의 각각으로부터 내측으로 10㎜ 이격된 2점과, 그것들의 2점간을 등분한 값이 50㎜ 이하가 되도록 등분한 각 점으로 하고, 축선 방향의 당해 측정점의 각각에 있어서, 둘레 방향으로 30° 간격의 12군데(0°, 30°, 60°,… 및 330°의 각 위치)로 하였다. 하나의 기재에 있어서, 접합된 각 타깃 세그먼트에 대하여, 전술한 위치에서 측정을 행하고, 최댓값과 최솟값의 차를 접합재의 두께 차로 하였다.

또한, 인접하는 타깃재 사이의 모든 단차량 h를, 심도계를 사용하여 측정하고, 단차량 h의 최댓값을 구하였다.

또한, 인접하는 타깃재 사이의 모든 축방향 거리 d를, 심도계를 사용하여 측정하고, 그것들의 최댓값과 최솟값의 차를 구하였다.

인접하는 타깃재 사이의 모든 단차량 h 및 축방향 거리 d의 측정 위치는, 둘레 방향으로 30° 간격의 12군데(0°, 30°, 60°,… 및 330°의 각 위치)로 하였다.

<실시예 2>

실시예 1에 있어서, 가장 긴 원통형 타깃재를 850㎜의 것으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<실시예 3>

실시예 1에 있어서, 가장 긴 원통형 타깃재를 1100㎜의 것으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<실시예 4>

실시예 1에 있어서, 가장 긴 원통형 타깃재를 1450㎜의 것으로 변경한 것 이외에는, 실시예 1과 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<실시예 5>

실시예 4에 있어서, 원통형 기재의 가열을 미실시로 변경하였다. 즉, 원통형 기재를 전기로 내에 넣어서 가열하고, 가열 후의 휨 폭 Y를 측정하는 대신에, 가열하지 않고, 원통형 기재의 길이 방향 중앙부를, 프레스기를 사용하여, 휘어 있던 방향(+방향)과는 반대 방향(-방향)으로 가압하고, 당해 반대 방향(-방향)으로 폭 α(=X×1.0)만큼 휘도록 가공한 것 이외에는, 실시예 4와 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<실시예 6>

실시예 3에 있어서, 원통형 타깃재의 재질을 IGZO로 변경한 것 이외에는, 실시예 3과 마찬가지로 IGZO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<비교예 1>

실시예 2에 있어서, 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 미실시로 변경한 것 이외에는, 실시예 2와 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

<비교예 2>

실시예 2에 있어서, 원통형 기재를 휘게 하는 가공 공정에 있어서, 원래 휘어 있던 방향의 반대측까지는 휘게 할 수 없도록 한 것 이외에는, 실시예 2와 마찬가지로 ITO 원통형 스퍼터링 타깃(샘플)을 제조하고, 각 값을 측정하였다.

사용하는 원통형 기재의 휨 폭을 측정하고, 원래 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 해당 원통형 기재를 가압하고, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 역으로 원통형 기재를 휘게 하도록 가공함으로써, 원통형 타깃재의 축방향 길이가 길어도, 즉, 적어도 하나의 원통형 타깃재의 축방향 길이가 750㎜ 이상인 경우라도, 또한 접합재 충전 시의 가열을 거쳐도, 즉, 접합재 충전 시에, 원통형 기재를 미리 가열하거나, 원통형 기재와 타깃재 사이에 가열 용융된 접합재가 충전되고, 원통형 기재가 가열되거나 해도, 원통형 기재의 휨의 영향을 해소할 수 있어, 그 결과, 접합재의 두께의 최댓값과 최솟값의 차를 작게 할 수 있고, 인접하는 원통형 타깃재의 외주면 사이에 있어서의 단차량도 작게 할 수 있어, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리의 최댓값과 최솟값의 차도 작게 할 수 있다는 것을 알 수 있다.

1: 스퍼터링 타깃
2: 기재
2a: 외주면
3: 타깃재
4: 접합재
5: 다이얼 게이지
40: 제조 장치
43: 하부 보유 지지 부재
43b: 타깃재 보유 지지부
43c: 기재 보유 지지부
43d: 고정구
44: 타깃재 보유 지지 부재
44b: 타깃재 보유 지지부
44c: 고정구
45: 기재 보유 지지 부재
45b: 기재 누름부
45c: 고정구
46: 연결 부재
47: O링
48: O링
49: 공극부
50: O링
51: O링

Claims

원통형 기재와, 원통형 타깃재를 구비한 스퍼터링 타깃의 제조 방법으로서,
원통형 기재의 휨 폭을 측정하고(「측정 공정」이라고 칭함),
휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 하고(「가공 공정」이라고 칭함),
상기 가공된 원통형 기재의 외측에, 복수의 원통형 타깃재를 축방향으로 간격을 두고 나란히 배치하고, 해당 원통형 기재와 상기 원통형 타깃재를 접합재로 접합하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항에 있어서,
상기 가공 공정에서는, 상기 측정 공정에서 측정된 휨 폭에 기초하여, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 폭을 결정하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 가공 공정에서는, 상기 측정 공정에서 휨 폭X가 측정된 경우, X×0.10 내지 2.00의 폭만큼, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 측정 공정에서는, 상기 원통형 기재를 가열한 후, 가열 후의 원통형 기재의 휨 폭을 측정하고,
상기 가공 공정에서는, 상기 측정 공정에서 휨 폭 Y가 측정된 경우, Y×0.50 내지 1.50의 폭만큼, 휘어 있던 방향과는 반대 방향으로 원통형 기재를 휘게 하는 가공을 하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제4항에 있어서,
상기 측정 공정에서는, 상기 원통형 기재를 150 내지 300℃로 가열한 후, 가열 후의 원통형 기재의 휨 폭 Y를 측정하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 측정 공정에서는, 원통형 기재의 외주면이 변위하여 있는 폭을 휨 폭으로서 측정하는 것을 특징으로 하는, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 원통형 타깃재 중 적어도 1개는, 축방향 길이가 750㎜ 이상인, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,
제조된 스퍼터링 타깃은, 접합재의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 외주면 사이에 있어서의 단차량의 최댓값이 0.5㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하인, 스퍼터링 타깃의 제조 방법.
원통형 기재와, 원통형 타깃재를 구비하고, 상기 원통형 기재와 상기 원통형 타깃재를 접합재로 접합하여 이루어지는 스퍼터링 타깃으로서,
상기 원통형 타깃재 중 적어도 1개의 축방향의 길이가 750㎜ 이상이고, 접합재의 두께의 최댓값과 최솟값의 차가 1.0㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재의 외주면 사이에 있어서의 단차량의 최댓값이 0.5㎜ 이하이고, 인접하는 원통형 타깃재 사이의 축방향 거리의 최댓값과 최솟값의 차가 0.2㎜ 이하인, 스퍼터링 타깃.
제9항에 있어서,
상기 원통형 기재의 길이가 2m 이상인, 스퍼터링 타깃.