KR20220099897A - Machining apparatus and method for taking out workpiece - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 가공 장치 및 피가공물의 반출 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a processing apparatus for unloading a workpiece from a holding table and a method for unloading the workpiece.
유지 테이블로 유지한 피가공물을 가공하고, 가공 후의 피가공물을 유지 테이블로부터 반출하는 가공 장치가 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1, 2 참조).The processing apparatus which processes the to-be-processed object hold|maintained by the holding table, and carries out the to-be-processed object after a process from the holding table is known (for example, refer patent document 1, 2).
가공 후에 유지 테이블로부터 피가공물을 반출할 때에, 피가공물과 유지 테이블의 유지면 사이에 들어간 가공용의 액체(물)의 표면 장력에 의해 반출할 수 없다고 하는 문제가 있었다. 그래서, 유지면에 모인 물을 발출하기 위해 피가공물의 반출 시에 유지면에 부압을 도입하여, 피가공물을 흡인 유지하면서 물을 흡인함으로써 물을 발출하여, 표면 장력에 의한 고정을 해제하고 있지만, 피가공물과 유지면 사이가 진공이 된 상태에서 아무리 흡인하여도 유지면에 남은 물을 전부 제거할 수 없어, 유지면으로부터의 반출 시 에러가 발생하는 경우가 있다고 하는 문제가 있었다.When a workpiece was taken out from the holding table after processing, there was a problem that it could not be taken out due to the surface tension of the processing liquid (water) entered between the workpiece and the holding surface of the holding table. Therefore, in order to drain the water collected on the holding surface, negative pressure is introduced to the holding surface when the workpiece is taken out, and water is extracted by sucking the water while sucking and holding the workpiece to release the fixing by the surface tension, There was a problem in that all the water remaining on the holding surface could not be removed no matter how much suction was performed in a state where a vacuum was created between the workpiece and the holding surface, and an error might occur when discharging from the holding surface.
본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은 가공 후의 피가공물을 반출할 때에, 유지면 상의 물 발출을 보다 강력하게 행하여, 피가공물의 반출을 보다 확실하게 행할 수 있는 가공 장치 및 피가공물의 반출 방법을 제공하는 것이다.The present invention has been made in view of these problems, and an object thereof is a processing apparatus and a workpiece capable of more reliably discharging the workpiece by more powerfully draining water on the holding surface when the workpiece is unloaded after processing. to provide a method for exporting
전술한 과제를 해결하여, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 가공 장치는, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 가공 유닛으로 가공되는 가공점에 가공용의 액체를 공급하는 액체 공급 노즐과, 상기 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 반출 유닛과, 제어 유닛을 갖는 가공 장치로서, 상기 유지 테이블은, 피가공물을 흡인 유지하는 중앙 영역을 갖는 포러스판과, 상기 포러스판을 수용하는 오목부를 갖는 프레임체와, 상기 프레임체의 저면에 형성되어 상기 중앙 영역과 흡인원을 연통시키는 흡인 라인과, 상기 중앙 영역을 위요하는 외주 영역으로부터 에어를 분출시키는, 에어 공급원과 연통된 에어 공급 라인을 구비하고, 상기 제어 유닛은, 상기 흡인 라인에 의해 상기 포러스판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 중앙 영역에서 피가공물을 흡인하여, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물을 제거하면서, 상기 에어 공급 라인에 에어를 공급하여, 상기 외주 영역으로부터 에어를 분출시켜 피가공물의 외주부를 상기 유지면으로부터 부상시켜, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물의 표면 장력을 해제한 상태에서, 상기 반출 유닛에 의해 피가공물을 상기 유지 테이블로부터 반출하는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above problems and achieve the object, the processing apparatus of the present invention includes: a holding table having a holding surface for holding a work; a machining unit for machining the work held by the holding table; A processing apparatus comprising: a liquid supply nozzle for supplying a processing liquid to a processing point to be processed by a unit; a discharging unit for unloading a workpiece from the holding table; A porous plate having a central region, a frame having a recess for accommodating the porous plate, a suction line formed on a bottom surface of the frame to communicate the central region and a suction source, and an outer peripheral region surrounding the central region and an air supply line communicating with an air supply source for ejecting air from the control unit, wherein the control unit communicates the porous plate and the suction source with the suction line to suck the workpiece in the central region, the porous While removing the water between the plate and the workpiece, air is supplied to the air supply line, and the air is blown out from the outer peripheral region to float the outer peripheral part of the workpiece from the holding surface, so that the water between the porous plate and the workpiece is removed. It is characterized in that the workpiece is unloaded from the holding table by the unloading unit in a state in which the surface tension is released.
전술한 과제를 해결하여, 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 피가공물의 반출 방법은, 피가공물을 유지하는 유지면을 갖는 유지 테이블과, 상기 유지 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 유닛과, 상기 가공 유닛으로 가공되는 가공점에 가공용의 액체를 공급하는 액체 공급 노즐과, 상기 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 반출 유닛을 갖는 가공 장치에 있어서, 피가공물을 상기 반출 유닛에 의해 상기 유지 테이블로부터 반출하는 반출 방법으로서, 상기 유지 테이블은, 피가공물을 흡인 유지하는 중앙 영역을 갖는 포러스판과, 상기 포러스판을 수용하는 오목부를 갖는 프레임체와, 상기 프레임체의 저면에 형성되어 상기 중앙 영역과 흡인원을 연통시키는 흡인 라인과, 상기 중앙 영역을 위요하는 외주 영역으로부터 에어를 분출시키는, 에어 공급원과 연통된 에어 공급 라인을 구비하고, 상기 흡인 라인에 의해 상기 포러스판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 중앙 영역에서 피가공물을 흡인하여, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물을 제거하면서, 상기 에어 공급 라인에 에어를 공급하여 상기 외주 영역으로부터 에어를 분출시켜 피가공물의 외주부만을 상기 유지면으로부터 부상시켜, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물의 표면 장력을 해제하는 외주 부상 단계와, 상기 반출 유닛에 의해 피가공물을 유지하는 피가공물 유지 단계와, 상기 피가공물 유지 단계 및 상기 외주 부상 단계 후, 상기 중앙 영역에 있어서의 피가공물의 흡인을 차단하여 상기 유지 테이블로부터 피가공물 전체를 이격시켜 상기 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 반출 단계를 구비한다.In order to solve the above-mentioned problem and achieve the object, the method for discharging a to-be-processed object of this invention is a holding table which has a holding surface which holds a to-be-processed, A processing unit which processes the to-be-processed object hold|maintained by the said holding table, , a processing apparatus having a liquid supply nozzle for supplying a processing liquid to a processing point processed by the processing unit, and a unloading unit for unloading a workpiece from the holding table, wherein the processing unit transfers the workpiece to the holding table A method for unloading from a porous plate, wherein the holding table includes: a porous plate having a central region for sucking and holding a workpiece; a frame body having a concave portion for accommodating the porous plate; and a suction line communicating with the suction source, and an air supply line communicating with an air supply source for blowing air from an outer peripheral region surrounding the central region, wherein the porous plate and the suction source are communicated by the suction line to suck the workpiece in the central region to remove water between the porous plate and the workpiece, supply air to the air supply line to blow air from the outer peripheral region, and only the outer periphery of the workpiece from the holding surface An outer flotation step of releasing the surface tension of water between the porous plate and the work piece by flotation, a work piece holding step of holding the work piece by the discharging unit, and the work piece holding step and after the outer circumferential floating step, and a discharging step of removing the work piece from the holding table by blocking the suction of the work piece in the central region to separate the entire work piece from the holding table.
본 발명은 가공 후의 피가공물을 반출할 때에, 유지면 상의 물 발출을 보다 강력하게 행하여, 피가공물의 반출을 보다 확실하게 행할 수 있다.In the present invention, when the processed object is taken out, the water on the holding surface can be more strongly drained, and the processed object can be taken out more reliably.
도 1은 실시형태에 따른 가공 장치의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 2는 도 1의 가공 장치의 주요부를 나타내는 단면도이다.
도 3은 도 1의 가공 장치(1)의 주요부를 나타내는 사시도이다.
도 4는 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the structural example of the processing apparatus which concerns on embodiment.
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a main part of the processing apparatus of FIG. 1 .
3 : is a perspective view which shows the principal part of the processing apparatus 1 of FIG.
It is a flowchart which shows an example of the processing sequence of the to-be-processed object carrying-out method which concerns on embodiment.
본 발명을 실시하기 위한 형태(실시형태)에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또한, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절하게 조합하는 것이 가능하다. 또한, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 행할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The form (embodiment) for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. This invention is not limited by the content described in the following embodiment. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, and those that are substantially the same. In addition, it is possible to combine the structures described below as appropriate. In addition, various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the gist of the present invention.
〔실시형태〕[Embodiment]
본 발명의 실시형태에 따른 가공 장치(1) 및 피가공물의 반출 방법을 도면에 기초하여 설명한다. 도 1은 실시형태에 따른 가공 장치(1)의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 2는 도 1의 가공 장치(1)의 주요부를 나타내는 단면도이다. 도 3은 도 1의 가공 장치(1)의 주요부를 나타내는 사시도이다. 실시형태에 따른 가공 장치(1)는, 도 1에 나타내는 바와 같이, 유지 테이블(10)과, 가공 유닛(20)과, 액체 공급 노즐(30)과, 제1 반출 유닛(40)과, 제2 반출 유닛(50)과, 제어 유닛(60)과, 표시 유닛(70)과, 세정 유닛(80)과, 카세트 배치대(90)를 갖는다.The processing apparatus 1 which concerns on embodiment of this invention and the carrying out method of a to-be-processed object are demonstrated based on drawing. 1 : is a perspective view which shows the structural example of the processing apparatus 1 which concerns on embodiment. 2 : is sectional drawing which shows the principal part of the processing apparatus 1 of FIG. 3 : is a perspective view which shows the principal part of the processing apparatus 1 of FIG. As shown in FIG. 1 , a processing apparatus 1 according to the embodiment includes a holding table 10 , a
본 실시형태에 있어서, 가공 장치(1)가 가공하는 가공 대상인 피가공물(100)은, 예컨대, 실리콘, 사파이어, 실리콘카바이드(SiC), 갈륨비소, 유리 등을 모재로 하는 원판형의 반도체 웨이퍼나 광 디바이스 웨이퍼 등이다. 피가공물(100)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 평탄한 표면(101)의 격자형으로 형성되는 복수의 분할 예정 라인(102)에 의해 구획된 영역에 칩 사이즈의 디바이스(103)가 형성되어 있다. 본 발명에 있어서 피가공물(100)은, 점착 테이프에 접착되지 않고, 피가공물(100)의 단체로 처리되어도 좋다. 예컨대 완전히 분할하지 않는 깊이의 홈을 형성하는 하프 컷트를 정밀도 좋게 실시하고자 하는 경우는 점착 테이프의 두께 편차에 영향을 받지 않도록 하기 위해, 피가공물(100)의 단체로 가공되는 경우가 많다. 또한, 피가공물(100)은, 표면(101)의 이면의 이면(104)에 점착 테이프가 접착되어, 점착 테이프의 바깥 가장자리부에 환형 프레임이 장착되어도 좋다. 또한, 환형 프레임에 장착되지 않고, 동형태의 점착 테이프에 접착되어 있어도 좋다. 또한, 피가공물(100)은, 본 발명에서는, 수지에 의해 밀봉된 디바이스를 복수 갖는 직사각 형상의 패키지 기판, 세라믹스판, 또는 유리판 등이어도 좋다.In the present embodiment, the
유지 테이블(10)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 포러스판(11)과, 프레임체(12)와, 흡인 라인(16)과, 에어 공급 라인(18)을 구비한다. 포러스판(11)은, 다수의 포러스 구멍을 구비한 포러스 세라믹 등으로 원반 형상으로 형성되어 있다. 프레임체(12)는, 스테인레스 등으로 원반형으로 형성되어 있고, 중앙에 포러스판(11)을 수용하는 오목부(14)가 형성되어 있다. 포러스판(11)은, 프레임체(12)의 오목부(14)에 끼워 넣어진다.As shown in FIG. 2 , the holding table 10 includes a
유지 테이블(10)은, 피가공물(100)이 배치되고, 배치된 피가공물(100)을 유지하는 유지면(13)을 갖는다. 유지면(13)은, 포러스판(11)의 상면과, 프레임체(12)의 상면에 의해 구성된다. 포러스판(11)의 상면과 프레임체(12)의 상면은, 동일 평면 상에 배치되어 있고, 또한, 수평면인 XY 평면에 평행하게 형성되어 있다. 유지면(13)은, 본 실시형태에서는, 피가공물(100)이 표면(101)을 상방을 향하게 하여 배치되고, 배치된 피가공물(100)을 이면(104)측으로부터 직접 유지한다. 프레임체(12)의 상면은, 피가공물(100)보다 포러스판(11)의 직경이 작은 경우, 포러스판(11)으로부터 비어져 나온 피가공물(100)의 외주부를 지지한다.The holding table 10 has the
흡인 라인(16)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 프레임체(12)의 오목부(14)의 저면(14-1)의 중앙 부분(15-1)에 형성되며, 흡인 밸브(16-1)를 통해 포러스판(11)의 중앙 영역(13-1)과 흡인원(17)을 연통시킨다. 포러스판(11)의 중앙 영역(13-1)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 흡인 밸브(16-1)를 개방하여 흡인 라인(16)에 의해 흡인원(17)으로부터의 부압이 도입됨으로써, 배치된 피가공물(100)을 흡인 유지하는 흡인 에어리어가 된다.The
에어 공급 라인(18)은, 도 2에 나타내는 바와 같이, 프레임체(12)의 오목부(14)의 저면(14-1)의 외주 부분(15-2)에 형성되며, 에어 공급 밸브(18-1)를 통해 포러스판(11)의 중앙 영역(13-1)을 위요하는 외주 영역(13-2)과 에어 공급원(19)을 연통시켜, 중앙 영역(13-1)을 위요하는 외주 영역(13-2)으로부터 에어를 분출시킨다. 여기서, 포러스판(11)의 상면은, 중앙 영역(13-1)과 외주 영역(13-2)을 갖고, 외주 영역(13-2)은, 중앙 영역(13-1)의 외주측에 위치하고 있다. 에어 공급 라인(18)은, 도 2에 나타내는 예에 한정되지 않고, 오목부(14)를 위요하는 프레임체(12)의 내측면(14-2)이나 프레임체(12)의 환형 볼록부(14-3)의 상면으로부터 에어가 분출되도록 형성되어도 좋다.The
여기서, 본 실시형태에서는 예컨대, 외주 부분(15-2)은, 저면(14-1)과 동심이며, 저면(14-1)의 내직경의 절반의 원의 외측의 영역의 부분을 가리킨다. 또한, 중앙 부분(15-1)은, 저면(14-1)에 있어서 에어 공급 라인(18)을 형성한 위치보다 직경 방향의 내측의 영역의 부분을 가리킨다.Here, in this embodiment, for example, the outer peripheral part 15-2 is concentric with the bottom surface 14-1, and points out the part of the area|region outside the half circle of the inner diameter of the bottom surface 14-1. In addition, the center part 15-1 points out the part of the area|region inside the radial direction rather than the position where the
유지 테이블(10)에 있어서, 도 2에 나타내는 바와 같이, 흡인 밸브(16-1)를 개방하여 흡인 라인(16)에 의해 흡인원(17)으로부터의 부압이 도입되고, 더욱이, 에어 공급 밸브(18-1)를 개방하여 에어 공급 라인(18)에 의해 에어 공급원(19)으로부터의 에어가 도입되면, 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)은, 유지면(13) 상의 피가공물(100)을 흡인하면서, 유지면(13)과 피가공물(100) 사이에 들어간 가공용의 액체(35)를 흡인하여 제거하는 흡인 에어리어가 되고, 외주 영역(13-2)은, 중앙 영역(13-1)을 둘러싸며, 적어도 1개소에 에어를 분출시키는 에어분출구를 갖고, 유지면(13) 상의 피가공물(100)의 외주부를 유지면(13)으로부터 부상시키는 분출 영역이 된다.In the holding table 10, as shown in FIG. 2, the suction valve 16-1 is opened and the negative pressure from the
또한, 포러스판(11)의 상면의 중앙 영역(13-1)과 외주 영역(13-2)의 경계는, 본 실시형태에서는, 흡인 라인(16) 및 에어 공급 라인(18)이 형성된 위치 및 흡인 라인(16)으로부터의 부압의 압력값(게이지압) 및 에어 공급 라인(18)으로부터의 에어의 공급량이나 공급압 등에 따라 변한다.Further, the boundary between the central region 13-1 and the outer peripheral region 13-2 of the upper surface of the
유지 테이블(10)은, 도시하지 않는 X축 이동 유닛에 의해 수평 방향의 일방향인 X축 방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 유지 테이블(10)은, X축 이동 유닛에 의해 X축 방향을 따라 이동함으로써, 도 1에 나타내는 바와 같이, 피가공물(100)을 반입 및 반출하는 반출입 영역(3)과, 피가공물(100)을 가공 유닛(20)에 의해 가공하는 가공 영역(4) 사이를 오간다. 유지 테이블(10)은, 도시하지 않는 회전 구동원에 의해 연직 방향이며 XY 평면에 직교하는 Z축 둘레로 회전 가능하게 마련되어 있다.The holding table 10 is provided so that it can move in the X-axis direction which is one horizontal direction by an X-axis movement unit (not shown). The holding table 10 is moved along the X-axis direction by the X-axis moving unit, so that, as shown in FIG. 1 , the carrying-in/out
가공 유닛(20)은, 도 1에 나타내는 바와 같이 가공 영역(4)에 마련되어 있고, 가공 영역(4)에 위치된 유지 테이블(10)의 유지면(13)에서 유지된 피가공물(100)을 가공한다. 가공 유닛(20)은, 본 실시형태에서는, 스핀들의 선단에 장착된 절삭 블레이드를 갖고, 스핀들에 의해 수평 방향의 별도의 일방향이며 X축 방향에 직교하는 Y축 방향과 평행한 축심 둘레의 회전 동작이 부가된 절삭 블레이드로, 가공 영역(4)에 위치된 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)을 예컨대 분할 예정 라인(102)을 따라 절삭하는 절삭 유닛이다.The
또한, 가공 유닛(20)은, 본 발명에서는 이러한 절삭 유닛에 한정되지 않고, 예컨대, 스핀들의 선단에 장착된 연삭 휠을 갖고, 스핀들에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레의 회전 동작이 부가된 연삭 휠로, 가공 영역(4)에 위치된 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)의 예컨대 이면(104)측을 연삭하는 연삭 유닛이어도 좋다. 또한, 가공 유닛(20)은, 스핀들의 선단에 장착된 연마 패드를 갖고, 스핀들에 의해 Z축 방향과 평행한 축심 둘레의 회전 동작이 부가된 연마 패드로, 가공 영역(4)에 위치된 유지 테이블(10)에 유지된 피가공물(100)의 예컨대 이면(104)측을 연마하는 연마 유닛이어도 좋다.In addition, the
액체 공급 노즐(30)은, 가공 유닛(20)에 인접하여 가공 영역(4)에 마련되어, 도시하지 않는 액체 공급원으로부터 공급되는 가공용의 액체(35)를, 피가공물(100)에 있어서 가공 유닛(20)으로 가공되는 가공점 및 가공점의 근방의 영역에 공급한다. 가공점은, 가공 유닛(20)이 전술한 절삭 유닛인 경우, 피가공물(100)이 절삭 블레이드로 절삭되어 있는 점이다. 가공점은, 가공 유닛(20)이 연삭 유닛이나 연마 유닛인 경우, 피가공물(100)이 연삭 휠이나 연마 패드로 연삭이나 연마되어 있는 면 상의 임의의 점이다. 가공용의 액체(35)는, 가공 유닛(20)의 가공의 종류나 조건, 사양 등에 따라 적절하게 선택하여 사용할 수 있고, 본 실시형태에서는, 절삭수, 연삭수, 연마수로서 사용하는 물(순수)이다.The
제1 반출 유닛(40)은, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제1 반출 아암(41)과, Y축 이동 유닛(42)과, Z축 이동 유닛(43)과, 판부재(44)와, 홈(45)과, 파지부(46)와, 에어 공급원(47)과, 에어 공급 라인(48)을 갖는다. 제1 반출 아암(41)은, 상방측이 Z축 방향을 따라 연장되며, 하방측이 X축 방향을 따라 연장되는 L자형의 부재이고, 상방이 Z축 이동 유닛(43)을 통해 Y축 이동 유닛(42)에 접속되어 있고, 하방에 판부재(44)가 고정되어 있다.1 and 2, the 1st carrying out
Y축 이동 유닛(42)은, Z축 이동 유닛(43)과 함께 제1 반출 아암(41)을 Y축 방향을 따라 이동시킨다. Z축 이동 유닛(43)은, 제1 반출 아암(41)을 Z축 방향을 따라 이동시킨다. Y축 이동 유닛(42) 및 Z축 이동 유닛(43)은, 각각, 예컨대, Y축 및 Z축의 축심 둘레로 회전 가능하게 마련된 주지의 볼나사, 볼나사를 축심 둘레로 회전시키는 주지의 펄스 모터 및 제1 반출 아암(41)을 Y축 방향 또는 Z축 방향으로 이동 가능하게 지지하는 주지의 가이드 레일을 구비하여 구성되어 있다.The Y-
판부재(44)는, 도 1 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 원판형으로 형성되어 있고, 상방측이 제1 반출 아암(41)에 지지되어 있고, 하방측에는, 중앙으로부터 방사형으로 복수개(도 1 및 도 3에 나타내는 예에서는 3개)의 홈(45)이 형성되어 있다. 판부재(44)는, 후술하는 카세트 배치대(90)에 배치된 카세트(95)의 개구와 대향하는 위치에, 피가공물(100)에 장착된 환형 프레임(106)을 파지하는 파지부(46)가 마련되어 있다.As shown in Figs. 1 and 3, the
홈(45)은, 도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 판부재(44)의 내부에 형성된 에어 공급 라인(48)을 통해, 에어 공급원(47)과 연통하고 있다. 홈(45)은, 에어 공급 라인(48)과의 접속 부분에 있어서, 홈(45)이 연장되는 방향에 직교하는 단면에 있어서의 홈(45)의 단면적이, 에어가 흐르는 방향에 직교하는 단면에 있어서의 에어 공급 라인(48)의 단면적보다 커지도록 형성된다.The
에어 공급원(47)으로부터 공급된 에어는, 홈(45) 내를 중앙으로부터 방사 방향을 향하여 고속으로 흐른다. 에어 공급원(47)으로부터 공급된 에어는, 홈(45)과 에어 공급 라인(48)의 단면적의 관계로부터, 에어 공급 라인(48)으로부터 홈(45)에 흐를 때에 가속하여, 홈(45)의 양편의 주위의 공기를 흡인하면서 홈(45) 내를 흐르기 때문에, 베르누이 효과에 의해 홈(45)의 근방에 부압이 생긴다. 제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)는, 이 홈(45)의 근방에 생기는 부압에 의해, 판부재(44)가 홈(45)이 형성된 측에 대향하는 유지 테이블(10)의 유지면(13) 상의 피가공물(100)을 비접촉으로 유지한다.Air supplied from the air supply source 47 flows through the
제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)는, 본 실시형태에서는, 홈(45) 내에 에어를 흐르게 함으로써 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 비접촉으로 유지 테이블(10) 상의 피가공물(100)을 유지하지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 판부재(44)의 하방측에 마련된 흡인 패드를 피가공물(100)의 표면(101)에 접촉시켜 흡인 패드에 의해 피가공물(100)을 흡인 유지하여도 좋고, 흡인 패드에 의해 피가공물(100)에 점착 테이프를 통해 장착된 환형 프레임의 상면측을 흡인 유지하여도 좋다.In this embodiment, the
제1 반출 유닛(40)은, 카세트 배치대(90)에 배치된 카세트(95) 내의 가공 전의 피가공물(100)을 파지부(46)로 파지하여 추출하여, 반출입 영역(3)에 유지 테이블(10)의 이동 영역보다 상방에 마련된 피가공물(100)의 가배치용의 한쌍의 가이드 레일(93) 상에 배치한다. 제1 반출 유닛(40)은, 한쌍의 가이드 레일(93) 상에 배치한 가공 전의 피가공물(100)을 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 비접촉으로 유지하여, 반출입 영역(3)에 위치된 유지 테이블(10)의 유지면(13) 상에 배치한다. 제1 반출 유닛(40)은, 반출입 영역(3)에 위치된 유지 테이블(10)의 유지면(13) 상의 가공 후의 피가공물(100)을 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 비접촉으로 유지하여 반출하여, 세정 유닛(80)에 반송한다. 제1 반출 유닛(40)은, 세정 유닛(80)으로 세정된 피가공물(100)을 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 비접촉으로 유지하여, 한쌍의 가이드 레일(93) 상에 배치한다. 제1 반출 유닛(40)은, 한쌍의 가이드 레일(93) 상에 배치한 가공 후 및 세정 후의 피가공물(100)을 파지부(46)로 파지하여, 카세트 배치대(90)에 배치된 카세트(95) 내에 반송한다.The first discharging
제2 반출 유닛(50)은, 제1 반출 유닛(40)과 대략 동일한 구성을 갖고 있고, 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 제2 반출 아암(51)과, Y축 이동 유닛(52)과, Z축 이동 유닛(53)과, 판부재(54)와, 홈(55)과, 파지부(56)와, 에어 공급원(57)과, 에어 공급 라인(58)을 갖는다. 제2 반출 아암(51), Y축 이동 유닛(52), Z축 이동 유닛(53), 판부재(54), 홈(55), 파지부(56), 에어 공급원(57) 및 에어 공급 라인(58)은, 각각, 제1 반출 아암(41), Y축 이동 유닛(42), Z축 이동 유닛(43), 판부재(44), 홈(45), 파지부(46), 에어 공급원(47) 및 에어 공급 라인(48)과 대략 동일한 구성을 갖고 있다. 제2 반출 유닛(50)은, 판부재(54)로 가공 후의 피가공물(100)을 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 비접촉으로 유지하여, 유지 테이블(10)로부터 세정 유닛(80)에 반송한다. 제1 반출 유닛(40)과 제2 반출 유닛(50)은, 서로 부딪치지 않도록 Z축 방향의 위치를 옮기면서, 교대로 피가공물(100)을 반송한다. 가공 장치(1)는, 도 1에 나타내는 예에서는 제1 반출 유닛(40)과 제2 반출 유닛(50)의 2개의 반출 유닛을 구비하고 있지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 어느 한쪽의 하나의 반출 유닛만 구비하고 있어도, 3개 이상의 복수의 반출 유닛을 구비하고 있어도 좋다.The 2nd carrying out
제어 유닛(60)은, 가공 장치(1)의 각종 구성 요소의 동작을 제어하여, 피가공물(100)의 가공 처리를 가공 장치(1)에 실시시킨다. 제어 유닛(60)은, 흡인 라인(16)의 흡인 밸브(16-1)의 개폐 및 에어 공급 라인(18)의 에어 공급 밸브(18-1)의 개폐를 제어함으로써, 유지면(13) 상의 흡인 에어리어 및 분출 영역의 형성을 제어한다. 제어 유닛(60)은, 흡인원(17)을 제어함으로써 흡인 라인(16)으로부터 유지면(13)에 도입하는 부압의 압력값(게이지압)을 제어하고, 에어 공급원(19)을 제어함으로써 에어 공급 라인(18)으로부터의 에어의 공급량이나 공급압 등을 제어한다.The
제어 유닛(60)은, Y축 이동 유닛(42, 52) 및 Z축 이동 유닛(43, 53)을 제어함으로써, 제1, 제2 반출 유닛(40, 50)의 제1, 제2 반출 아암(41, 51)의 Y축 방향 및 Z축 방향의 위치 및 이동을 제어한다. 제어 유닛(60)은, 에어 공급원(47, 57)으로부터 홈(45, 55)에의 에어의 공급을 제어함으로써, 홈(45, 55) 내에 에어를 흐르게 함으로써 베르누이 효과에 의해 생기는 부압을 제어하여, 제1 반출 유닛(40, 50)의 판부재(44, 54)에 의한 피가공물(100)의 유지를 제어한다. 제어 유닛(60)은, 파지부(46, 56)를 제어함으로써, 피가공물(100)의 파지를 제어한다.The
제어 유닛(60)은, 본 실시형태에서는, 컴퓨터 시스템을 포함한다. 제어 유닛(60)이 포함하는 컴퓨터 시스템은, CPU(Central Processing Unit)와 같은 마이크로 프로세서를 갖는 연산 처리 장치와, ROM(Read Only Memory) 또는 RAM(Random Access Memory)과 같은 메모리를 갖는 기억 장치와, 입출력 인터페이스 장치를 구비한다. 제어 유닛(60)의 연산 처리 장치는, 제어 유닛(60)의 기억 장치에 기억되어 있는 컴퓨터 프로그램에 따라 연산 처리를 실시하여, 가공 장치(1)를 제어하기 위한 제어 신호를, 제어 유닛(60)의 입출력 인터페이스 장치를 통해 가공 장치(1)의 각 구성 요소에 출력한다.The
표시 유닛(70)은, 가공 장치(1)의 가공 조건의 설정의 화면, 가공 처리의 결과의 화면, 제어 유닛(60)에 의한 흡인 밸브(16-1)의 개폐 및 에어 공급 밸브(18-1)의 개폐의 제어에 관한 설정의 화면, 제어 유닛(60)에 의한 제1, 제2 반출 유닛(40, 50)의 동작의 제어에 관한 설정의 화면 등을 표시한다. 표시 유닛(70)은, 본 실시형태에서는, 액정 표시 장치 등에 의해 구성된다. 표시 유닛(70)은, 오퍼레이터가 가공 장치(1)의 각종 설정에 관한 정보 등을 입력할 때에 사용하는 입력 유닛이 마려되어 있다. 표시 유닛(70)에 마련된 입력 유닛은, 본 실시형태에서는, 표시 유닛(70)에 마련된 터치 패널과, 키보드 등 중 적어도 하나에 의해 구성된다. 또한, 가공 장치(1)는, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 표시 유닛(70)을 갖고 있지 않아도 좋다. 또한, 가공 장치(1)는, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 표시 유닛(70) 대신에, 유선 또는 무선으로, 스마트 폰, 태블릿, 웨어러블 디바이스, 컴퓨터 등의 정보 기기에 접속되어, 정보 기기의 표시부에 표시하거나, 정보 기기의 입력부를 통해 조작되거나 하여도 좋다.The
세정 유닛(80)은, 가공 후의 피가공물(100)을 세정하여, 피가공물(100)에 부착된 가공 부스러기 등의 이물을 제거한다. 카세트 배치대(90)는, 복수의 피가공물(100)을 수용하기 위한 수용기인 카세트(95)를 배치하는 배치대이며, 배치된 카세트(95)를 Z축 방향으로 승강시킨다. 또한, 가공 장치(1)는, 본 실시형태에서는, 제2 반출 유닛(50)에 의한 피가공물(100)의 반출처의 하나로서 세정 유닛(80)을 갖고 있지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 제2 반출 유닛(50)에 의한 피가공물(100)의 반출처로서 가공 후의 피가공물(100)의 품질을 검사하는 검사 장치를 더 가져도 좋고, 또한 세정 유닛(80)을 갖고 있지 않아도 좋다.The
다음에, 본 명세서는 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법을 도면에 기초하여 설명한다. 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법은, 피가공물(100)을 제1, 제2 반출 유닛(40, 50)에 의해 유지 테이블(10)로부터 반출하는 방법으로서, 가공 장치(1)를 이용하여 실시된다. 도 4는 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법의 처리 순서의 일례를 나타내는 흐름도이다. 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법은, 도 4에 나타내는 바와 같이, 외주 부상 단계(1001)와, 피가공물 유지 단계(1002)와, 반출 단계(1003)를 구비한다. 실시형태에 따른 피가공물의 반출 방법은, 예컨대, 유지 테이블(10)의 유지면(13)으로 흡인 유지한 피가공물(100)을 가공 유닛(20)에서의 가공 후에 반출할 때에 실시된다.Next, this specification describes the carrying out method of the to-be-processed object which concerns on embodiment based on drawing. The method of carrying out the to-be-processed object which concerns on embodiment is a method of carrying out the to-
외주 부상 단계(1001)는, 흡인 라인(16)에 의해 포러스판(11)과 흡인원(17)을 연통시켜 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에서 피가공물(100)을 흡인하여, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)를 제거하면서, 에어 공급 라인(18)에 에어를 공급하여, 중앙 영역(13-1)을 위요하는 외주 영역(13-2)으로부터 에어를 분출시켜 피가공물(100)의 외주부만을 유지면(13)으로부터 부상시켜, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력을 해제하는 단계이다.In the outer circumferential floating
외주 부상 단계(1001)에서는, 제어 유닛(60)은, 흡인원(17)의 부압의 압력값(게이지압)을 포러스판(11)의 유지면(13)의 전체면에서 피가공물(100)을 흡인 유지할 때보다 약하게 제어하면서, 흡인 라인(16)의 흡인 밸브(16-1)를 개방함으로써, 흡인 라인(16)에 의해 포러스판(11)과 흡인원(17)을 연통시켜, 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에서 피가공물(100)을 흡인하여, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35) 등의 물을 제거한다. 또한, 외주 부상 단계(1001)에서는, 제어 유닛(60)은, 에어 공급 라인(18)의 에어 공급 밸브(18-1)를 개방함으로써, 에어 공급 라인(18)에 에어 공급원(19)으로부터의 에어를 공급하여 유지면(13)의 외주 영역(13-2)으로부터 에어를 분출시켜 피가공물(100)의 외주부만을 유지면(13)으로부터 부상시킨다. 외주 부상 단계(1001)에서는, 이와 같이, 흡인원(17)의 부압의 압력값(게이지압)을 약하게 하여, 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에 있어서의 흡인 라인(16)에 의한 흡인과, 유지면(13)의 외주 영역(13-2)에 있어서의 에어 공급 라인(18)으로부터의 에어의 분출에 의한 피가공물(100)의 외주부의 부상을 동시에 실시함으로써, 유지면(13) 상의 가공용의 액체(35)(물)와 유지면(13) 상의 피가공물(100)의 이면(104)측을 강제적으로 떼어 놓아, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이에 형성된 진공 상태를 파괴하여, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력을 해제할 수 있다. 또한, 에어 분출구가 형성되는 외주 영역(13-2)은, 도 2에 나타내는 바와 같이 포러스판(11)의 상면의 외주 영역이어도 좋고, 포러스판(11)을 위요하는 프레임체(12)의 상면이어도 좋다. 피가공물(100)의 직경이 포러스판(11)보다 큰 경우는, 프레임체(12)의 상면에 피가공물(100)의 외주부가 지지되기 때문에, 프레임체(12)의 상면에 에어 분출구가 형성되는 쪽이 바람직하다.In the outer circumferential floating
피가공물 유지 단계(1002)는, 외주 부상 단계(1001)에서 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력을 해제한 상태에서, 제1 반출 유닛(40)에 의해 피가공물(100)을 유지하는 단계이다. 피가공물 유지 단계(1002)에서는, 제어 유닛(60)은, 홈(45) 내에 에어를 흐르게 함으로써 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해, 제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)로, 유지면(13) 상에서 포러스판(11)과의 사이의 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력이 해제된 상태의 피가공물(100)을 비접촉으로 유지한다.In the
반출 단계(1003)는, 외주 부상 단계(1001) 및 피가공물 유지 단계(1002) 후, 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에 있어서의 피가공물(100)의 흡인을 차단하여 유지 테이블(10)로부터 피가공물(100)의 전체를 이격시켜, 유지 테이블(10)로부터 피가공물(100)을 반출하는 단계이다. 반출 단계(1003)에서는, 제어 유닛(60)은, 흡인 라인(16)의 흡인 밸브(16-1)를 폐쇄함으로써, 흡인 라인(16)에 의한 포러스판(11)과 흡인원(17)의 연통을 차단함으로써, 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에 있어서의 피가공물(100)의 흡인을 차단하여 유지 테이블(10)로부터 피가공물(100)의 전체를 이격시킨다. 반출 단계(1003)에서는, 이에 의해, 제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)는, 홈(45) 내에 에어를 흐르게 함으로써 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해, 피가공물(100)을 비접촉으로 유지한다. 반출 단계(1003)에서는, 그 후, 제어 유닛(60)은, 제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)에 의해 비접촉으로 유지한 피가공물(100)을 반출한다.In the
제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)는, 피가공물 유지 단계(1002)에서의 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의한 비접촉으로의 흡인력이 약하기 때문에 피가공물(100)을 완전히 유지할 수 없는 경우, 다음 반출 단계(1003)에서 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에 있어서의 피가공물(100)의 흡인을 차단하여 유지 테이블(10)로부터 피가공물(100)의 전체를 이격시켰을 때에, 피가공물(100)을 완전하게 유지한다.When the
또한, 피가공물 유지 단계(1002) 및 반출 단계(1003)에서는, 본 실시형태에서는, 제1 반출 유닛(40)의 판부재(44)가 홈(45) 내에 에어를 흐르게 함으로써 베르누이 효과에 의해 생기는 부압에 의해 피가공물(100)을 비접촉으로 유지하지만, 본 발명에서는 이에 한정되지 않고, 판부재(44)의 하방측에 설치된 흡인 패드에 의해 피가공물(100)을 직접 접촉하여 흡인 유지하여도 좋다.In addition, in the
이상과 같은 구성을 갖는 실시형태에 따른 가공 장치(1) 및 피가공물의 반출 방법은, 유지 테이블(10)이 흡인 라인(16) 및 에어 공급 라인(18)을 구비하고, 가공 후의 피가공물(100)을 반출할 때에, 흡인 라인(16)에 의해 유지면(13)의 중앙 영역(13-1)에서 피가공물(100)을 비교적 약한 부압으로 흡인하여, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)를 제거하면서, 에어 공급 라인(18)에 의해 피가공물(100)의 외주부를 유지면(13)으로부터 부상시켜, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이에 형성된 진공 상태를 파괴하여, 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력을 해제한다. 이 때문에, 실시형태에 따른 가공 장치(1) 및 피가공물의 반출 방법은, 유지면(13) 상의 물 발출을 보다 강력하게 행할 수 있으며, 이 표면 장력에 의해 피가공물(100)의 유지면(13)에의 고정을 해제할 수 있다. 또한, 실시형태에 따른 가공 장치(1) 및 피가공물의 반출 방법은, 가공 후의 피가공물(100)을 반출할 때에, 피가공물(100)의 반출을 보다 확실하게 행할 수 있다고 하는 작용 효과를 발휘한다.In the processing apparatus 1 and the method for discharging the workpiece according to the embodiment having the configuration as described above, the holding table 10 includes a
예컨대, 피가공물(100)을 분할 예정 라인(102)을 따라 절삭 가공하여 피가공물(100)의 두께 이하(예컨대 두께의 절반 정도)의 깊이의 절삭홈을 형성하는 소위 하프 컷트를 실시하는 것 같은 경우나, 피가공물(100)을 매우 얇게 연삭 가공하는 것 같은 경우, 피가공물(100)의 외주부의 전체 둘레를 환형으로 절삭하는 엣지 트리밍 가공을 하는 것 같은 경우에는, 피가공물(100)의 파손을 막기 위해, 제1 반출 유닛(40)으로 베르누이 효과를 이용하여 비접촉으로 피가공물(100)을 유지한다. 실시형태에 따른 가공 장치(1) 및 피가공물의 반출 방법은, 이와 같이 제1 반출 유닛(40)에 의해 베르누이 효과를 이용하여 비접촉으로 약한 힘으로 피가공물(100)을 유지하는 것 같은 경우에는, 특히, 포러스판(11)과 피가공물(100) 사이의 가공용의 액체(35)(물)의 표면 장력을 해제함으로써, 이 표면 장력에 의해 피가공물(100)의 유지면(13)에의 고정을 해제할 수 있는 것에 따른 전술한 실시형태의 효과를 크게 발휘할 수 있다.For example, a so-called half-cut in which the
또한, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니다. 즉, 본 발명의 골자를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형하여 실시할 수 있다.In addition, this invention is not limited to the said embodiment. That is, it can be implemented with various modifications within a range that does not deviate from the gist of the present invention.
1 가공 장치 10 유지 테이블
11 포러스판 12 프레임체
13 유지면 13-1 중앙 영역(흡인 에어리어)
13-2 외주 영역(흡인 에어리어의 외주 부분)
14 오목부 14-1 저면
14-2 내측면 15-1 중앙 부분
15-2 외주 부분 16 흡인 라인
17 흡인원 18 에어 공급 라인
19 에어 공급원 20 가공 유닛
30 액체 공급 노즐 35 가공용의 액체(물)
40 제1 반출 유닛 50 제2 반출 유닛
60 제어 유닛 100 피가공물1 Machining
11
13 Retaining surface 13-1 Central area (suction area)
13-2 Outer periphery area (outer periphery of suction area)
14 Concave 14-1 Bottom
14-2 Inner side 15-1 Central part
15-2
17
19
30
40 first carrying out
60
Claims (2)
상기 유지 테이블에 유지된 피가공물을 가공하는 가공 유닛과,
상기 가공 유닛으로 가공되는 가공점에 가공용의 액체를 공급하는 액체 공급 노즐과,
상기 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 반출 유닛과,
제어 유닛을 갖는 가공 장치로서,
상기 유지 테이블은,
피가공물을 흡인 유지하는 중앙 영역을 갖는 포러스판과,
상기 포러스판을 수용하는 오목부를 갖는 프레임체와,
상기 프레임체의 저면에 형성되어 상기 중앙 영역과 흡인원을 연통시키는 흡인 라인과,
상기 중앙 영역을 위요하는 외주 영역으로부터 에어를 분출시키는, 에어 공급원과 연통된 에어 공급 라인을 구비하고,
상기 제어 유닛은, 상기 흡인 라인에 의해 상기 포러스판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 중앙 영역에서 피가공물을 흡인하여, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물을 제거하면서, 상기 에어 공급 라인에 에어를 공급하여, 상기 외주 영역으로부터 에어를 분출시켜 피가공물의 외주부를 상기 유지면으로부터 부상시켜, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물의 표면 장력을 해제한 상태에서, 상기 반출 유닛에 의해 피가공물을 상기 유지 테이블로부터 반출하는 것을 특징으로 하는 가공 장치.a holding table having a holding surface for holding a workpiece;
a processing unit for processing the workpiece held on the holding table;
a liquid supply nozzle for supplying a processing liquid to a processing point processed by the processing unit;
a discharging unit discharging the workpiece from the holding table;
A processing device having a control unit, comprising:
The maintenance table is
A porous plate having a central area for holding a workpiece by suction;
a frame body having a concave portion for accommodating the porous plate;
a suction line formed on the bottom surface of the frame to communicate the central region and the suction source;
an air supply line communicating with an air supply source for blowing air from an outer peripheral region surrounding the central region;
The control unit communicates the porous plate and the suction source by the suction line to suck the workpiece in the central region, and removes water between the porous plate and the workpiece, while supplying air to the air supply line. supply, blowing air from the outer periphery region to float the outer periphery of the work piece from the holding surface to release the surface tension of water between the porous plate and the work piece, and hold the work piece by the discharging unit A processing device characterized in that it is carried out from the table.
상기 유지 테이블은,
피가공물을 흡인 유지하는 중앙 영역을 갖는 포러스판과,
상기 포러스판을 수용하는 오목부를 갖는 프레임체와,
상기 프레임체의 저면에 형성되어 상기 중앙 영역과 흡인원을 연통시키는 흡인 라인과,
상기 중앙 영역을 위요하는 외주 영역으로부터 에어를 분출시키는, 에어 공급원과 연통된 에어 공급 라인을 구비하고,
상기 흡인 라인에 의해 상기 포러스판과 상기 흡인원을 연통시켜 상기 중앙 영역에서 피가공물을 흡인하여, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물을 제거하면서, 상기 에어 공급 라인에 에어를 공급하여 상기 외주 영역으로부터 에어를 분출시켜 피가공물의 외주부만을 상기 유지면으로부터 부상시켜, 상기 포러스판과 피가공물 사이의 물의 표면 장력을 해제하는 외주 부상 단계와,
상기 반출 유닛에 의해 피가공물을 유지하는 피가공물 유지 단계와,
상기 피가공물 유지 단계 및 상기 외주 부상 단계 후, 상기 중앙 영역에 있어서의 피가공물의 흡인을 차단하여 상기 유지 테이블로부터 피가공물 전체를 이격시켜 상기 유지 테이블로부터 피가공물을 반출하는 반출 단계
를 포함하는 피가공물의 반출 방법.a holding table having a holding surface for holding a workpiece; a processing unit for processing the workpiece held by the holding table; a liquid supply nozzle for supplying a processing liquid to a processing point processed by the processing unit; In a processing apparatus having a discharging unit for discharging a workpiece from a table, the discharging method comprising:
The maintenance table is
A porous plate having a central area for holding a workpiece by suction;
a frame body having a concave portion for accommodating the porous plate;
a suction line formed on the bottom surface of the frame to communicate the central region and the suction source;
an air supply line communicating with an air supply source for blowing air from an outer peripheral region surrounding the central region;
The porous plate and the suction source are communicated by the suction line to suck the workpiece in the central region, and while removing water between the porous plate and the workpiece, air is supplied to the air supply line to supply air to the outer peripheral region an outer circumferential floating step of releasing the surface tension of water between the porous plate and the workpiece by blowing air from
a workpiece holding step of holding the workpiece by the unloading unit;
After the step of holding the workpiece and the step of floating on the outer periphery, a discharging step of blocking the suction of the workpiece in the central region to separate the entire workpiece from the holding table and discharging the workpiece from the holding table
A method of discharging a workpiece comprising a.
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