KR20220099191A - 레이저 결정화 장치 - Google Patents

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류제길
박철호
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Abstract

실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 광원부, 그리고 상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 경로 변환부를 포함하고, 상기 경로 변환부는 상기 제2 방향과 나란하게 뻗은 입사창, 상기 제1 방향과 나란하게 뻗은 출사창, 상기 입사창의 측면에 위치하는 제1 반사부, 상기 출사창의 측면에 위치하는 제2 반사부를 포함할 수 있다.

Description

레이저 결정화 장치{LASER CRYSTALLIZATION APPARATUS}
본 개시는 레이저 결정화 장치에 관한 것이다.
평판 표시 장치의 일종인 액정 표시 장치(liquid crystal display; LCD)와 유기발광 표시 장치(organic light emitting display; OLED)는 소형화 및 경량화 제작이 가능하여 휴대용 전자기기의 표시 장치로 널리 사용되고 있으며, 대면적의 표시 장치로도 적용 영역을 넓혀가고 있다. 특히, 최근 들어 고속 동작특성이 요구되는 표시 장치의 필요성이 대두되어 그 연구가 활발하게 진행되고 있다.
고속 동작특성을 만족하기 위해서 비정질 실리콘(amorphous silicon) 대신 다결정 실리콘(poly-silicon)을 이용하여 박막 트랜지스터의 채널부를 형성한다.
다결정 실리콘을 형성하는 방법으로 레이저를 이용한 어닐링(annealing) 방법이 개시되었다.
한편, 표시 장치를 형성하기 위한 유리 기판이 대형화됨에 따라 넓은 면적에 균일한 레이저빔을 조사하는 것이 중요하다.
실시예들은 대면적에 균일한 레이저빔을 조사할 수 있는 레이저 결정화 장치를 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 목적은 상술한 목적으로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.
실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 광원부, 그리고 상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 경로 변환부를 포함하고, 상기 경로 변환부는 상기 제2 방향과 나란하게 뻗은 입사창, 상기 제1 방향과 나란하게 뻗은 출사창, 상기 입사창의 측면에 위치하는 제1 반사부, 상기 출사창의 측면에 위치하는 제2 반사부를 포함할 수 있다.
상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직각을 이루는 제3 방향을 따라 서로 마주볼 수 있다.
상기 입사창, 상기 출사창, 상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 일체로 형성될 수 있다.
상기 레이저 결정화 장치는 상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고 상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함할 수 있다.
실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 복수의 광원부, 그리고 상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 제1 경로 변환부와 제2 경로 변환부를 포함하고, 상기 제1 경로 변환부는 제1 입사창과 제1 출사창, 제1 반사부와 제2 반사부를 포함하고, 상기 제2 경로 변환부는 제2 입사창과 제2 출사창, 제3 반사부와 제4 반사부를 포함하고, 상기 제1 방향을 따라, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 입사창, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 반사부, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제3 반사부, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제2 입사창이 순서대로 위치하고, 상기 제2 방향을 따라, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 출사창과 상기 제1 경로 변환부의 상기 제2 반사부가 순서대로 위치하고, 상기 제2 방향을 따라, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제2 출사창과 상기 제2 경로 변환부의 상기 제4 반사부가 순서대로 위치할 수 있다.
실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 복수의 광원부, 그리고 상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 제1 경로 변환부와 제2 경로 변환부를 포함하고, 상기 제1 경로 변환부는 제1 입사창과 제1 출사창, 제1 반사부와 제2 반사부를 포함하고, 상기 제2 경로 변환부는 제2 입사창과 제2 출사창, 제3 반사부와 제4 반사부를 포함하고, 상기 제1 입사창과 상기 제2 입사창은 상기 제2 방향과 나란하게 뻗고, 상기 제1 출사창과 상기 제2 출사창은 상기 제1 방향과 나란하게 뻗을 수 있다.
상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직각을 이루는 제3 방향을 따라 서로 마주볼 수 있고, 상기 제2 반사부와 상기 제4 반사부는 상기 제3 방향을 따라 서로 마주볼 수 있다.
상기 제1 입사창, 상기 제1 출사창, 상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 일체로 형성될 수 있고, 상기 제2 입사창, 상기 제2 출사창, 상기 제3 반사부와 상기 제4 반사부는 일체로 형성될 수 있다.
상기 제1 경로 변환부와 상기 제2 경로 변환부는 상기 제1 방향을 따라 서로 이격될 수 있다.
실시예들에 따른 레이저 결정화 장치에 따르면, 대면적에 균일한 레이저빔을 조사할 수 있다.
본 발명의 효과는 상술한 효과에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있음이 자명하다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치를 나타내는 개략적인 배치도이다.
도 2는 도 1의 레이저 결정화 장치의 일부를 도시한 도면이다.
도 3은 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 레이저빔 경로 변환 방법을 개념적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 배치를 개념적으로 도시한 도면이다.
도 5는 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 레이저빔 경로 변환 방법을 개념적으로 도시한 사시도이다.
도 6a 및 도 6b는 한 실험예의 결과를 도시한 도면이다.
도 7은 다른 한 실험예의 결과를 도시한 도면이다.
도 8은 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부를 도시한 도면이다.
도 9는 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부의 배치를 도시한 도면이다.
도 10은 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부를 도시한 도면이다.
도 11은 한 실험예의 결과를 도시한 도면이다.
도 12는 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
도 13은 한 실험예의 결과를 도시한 도면이다.
도 14는 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
도 15 및 도 16은 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.
또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.
또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.
또한, 명세서 전체에서, "연결된다"라고 할 때, 이는 둘 이상의 구성요소가 직접적으로 연결되는 것만을 의미하는 것이 아니고, 둘 이상의 구성요소가 다른 구성요소를 통하여 간접적으로 연결되는 것, 물리적으로 연결되는 것뿐만 아니라 전기적으로 연결되는 것, 또는 위치나 기능에 따라 상이한 명칭들로 지칭되었으나 일체인 것을 의미할 수 있다.
도 1 및 도 2를 참고하여, 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치에 대하여 설명한다. 도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치를 나타내는 개략적인 배치도이고, 도 2는 도 1의 레이저 결정화 장치의 일부를 도시한 도면이다.
먼저, 도 1을 참고하면, 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치(100)는 복수의 광원부(LS1, LS2), 복수의 경로 변환부(M1, M2), 그리고 광학부(OP)를 포함한다.
레이저 결정화 장치(100)는 비정질 실리콘 박막(20)을 포함하는 기판(10) 위에 레이저빔(LB)을 공급한다.
레이저빔(LB)이 공급되면 기판(10)의 비정질 실리콘 박막(20)은 용융 후 고상화 과정을 거쳐 다결정 실리콘으로 변화될 수 있다.
레이저빔(LB)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 뻗어 있는 라인 형태를 가질 수 있고, 라인 형태의 레이저빔(LB)의 길이 방향인 제1 방향(DR1)과 레이저빔(LB)의 폭 방향인 제2 방향(DR2)으로, 균일한 세기의 레이저빔이 조사되어야 다결정 실리콘으로 변화하는 결정화 단계가 균일하게 이루어질 수 있다.
복수의 광원부(LS1, LS2)로부터 제3 방향(DR3)으로 공급된 레이저빔(LB1, LB2)은 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 통과하여, 제1 방향(DR1)을 따라 확산되어, 광학부(OP)를 지나 라인 형태의 레이저빔(LB)으로 공급된다.
도시한 실시예에서, 광학부(OP)는 렌즈로 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 광학부(OP)는 장축용 집광 렌즈(condenser lens), 미러(mirror), 단축용 확산 렌즈(projection lens), 윈도우(window)와 같은 광학 장치 중 적어도 하나를 포함할 수 있다.
그러면, 도 2를 참고하여, 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 구조에 대하여 설명한다. 도 2는 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부를 도시한 사시도이다.
도 2를 참고하면, 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부(M1, M2)는 레이저빔이 입사되는 입사창(IW)과 입사된 레이저빔이 반사되도록 서로 마주보는 두 개의 반사부(Ra, Rb), 반사된 레이저빔이 출사되는 출사창(OW)을 포함하는 일체형 구조를 가진다.
입사창(IW)과 출사창(OW)은 빛을 투과할 수 있다.
입사창(IW)은 제1 길이 방향(DL1)과 나란한 방향으로 길게 뻗어 있는 직사각 형태일 수 있고, 출사창(OW)은 제2 길이 방향(DL2)과 나란한 방향으로 길게 뻗어 있는 직사각 형태일 수 있다. 입사창(IW)과 출사창(OW)의 형상은 직사각 형태로 한정되지 않고 변형 가능하다.
제1 길이 방향(DL1)과 제2 길이 방향(DL2)은 서로 직각을 이루는 방향일 수 있다.
입사창(IW)의 제1 길이 방향(DL1)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 폭 방향인 제2 방향(DR2)과 나란한 방향일 수 있고, 출사창(OW)의 제2 길이 방향(DL2)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 길이 방향인 제1 방향(DR1)과 거의 나란한 방향일 수 있다.
도 1과 함께 도 2를 참고하면, 입사창(IW)의 제1 길이 방향(DL1)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 폭 방향인 제2 방향(DR2)과 나란한 방향일 수 있고, 출사창(OW)의 제2 길이 방향(DL2)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 길이 방향인 제1 방향(DR1)과 거의 나란한 방향일 수 있다.
레이저빔(LB)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 뻗어 있는 라인 형태를 가질 수 있고, 라인 형태의 레이저빔(LB)의 길이 방향인 제1 방향(DR1)과 레이저빔(LB)의 폭 방향인 제2 방향(DR2)으로, 균일한 세기의 레이저빔이 조사되어야 다결정 실리콘으로 변화하는 결정화 단계가 균일하게 이루어질 수 있다.
두 개의 반사부(Ra, Rb)는 제1 길이 방향(DL1) 및 제2 길이 방향(DL2)과 수직을 이루는 방향과 나란한 방향, 예를 들어 레이저빔이 입사되는 제3 방향(DR3)과 나란한 방향을 따라 서로 마주본다.
반사부(Ra)와 입사창(IW)은 경로 변환부(M1, M2)의 제1 면을 이루고, 반사부(Rb)와 출사창(OW)은 경로 변환부(M1, M2)의 제2 면을 이룬다. 제1 면과 제2 면은 서로 마주하는 면이고, 제1 면과 제2 면의 면적은 서로 같을 수 있으나, 이에 한정되지 않는다.
서로 마주하는 두 반사부(Ra, Rb)는 빛을 반사하는 층을 포함하고, 예를 들어, 미러를 포함할 수 있다.
경로 변환부(M1, M2)는 입사창(IW)과 출사창(OW), 그리고 서로 마주하는 두 개의 반사부(Ra, Rb)가 일체(one body)로 형성된 형태를 가진다. 예를 들어, 도 2에 도시한 바와 같이, 경로 변환부(M1, M2)는 육면체의 형태를 가지고, 반사부(Ra) 및 입사창(IW)과 반사부(Rb) 및 출사창(OW)은 육면체 중 서로 마주보는 두 면을 이룰 수 있다. 그러나, 이에 한정되지 않고, 경로 변환부(M1, M2)는 입사창(IW)과 출사창(OW), 그리고 서로 마주하는 두 개의 반사부(Ra, Rb)가 일체로 형성되는 다른 다양한 형태를 가질 수 있다.
실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부(M1, M2)는 각기 입사창(IW)과 출사창(OW)을 가지고 서로 마주하는 두 개의 반사부(Ra, Rb)를 포함함으로써, 간단한 구조를 통해 입사되는 레이저빔을 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 뻗어 있는 라인 형태의 레이저빔으로 변환할 수 있다.
또한, 실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 포함함으로써, 제1 방향(DR1) 및 제1 방향(DR1)과 수직을 이루는 제2 방향(DR2), 즉 레이저빔의 장축 방향과 단축 방향으로 대칭을 이루도록 균일한 레이저빔으로 변환할 수 있다. 이에 대하여 뒤에서 보다 구체적으로 설명한다.
그러면, 도 1 및 도 2와 함께, 도 3 내지 도 5를 참고하여, 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치(100)에 대하여 보다 구체적으로 설명한다. 도 3은 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 레이저빔 경로 변환 방법을 개념적으로 도시한 평면도이고, 도 4는 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 배치를 개념적으로 도시한 도면이고, 도 5는 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 레이저빔 경로 변환 방법을 개념적으로 도시한 사시도이다.
도 1 및 도 2와 함께, 도 3 내지 도 5를 참고하면, 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치(100)의 복수의 경로 변환부(M1, M2)는 제1 방향(DR1)을 따라 이격되어 배치되는 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)를 포함한다.
레이저 결정화 장치(100)의 복수의 광원부(LS1, LS2) 중 제1 광원부(LS1)에서 공급된 제1 레이저빔(LB1)은 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)을 통해 입사된 후, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 반사부(R1)와 제2 반사부(R2)에서 반사를 반복한 후, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)을 통해 출사된다. 예를 들어, 제1 광원부(LS1)에서 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)으로 입사된 제1 레이저빔(LB1)은 제1 반사부(R1)의 표면과 제2 반사부(R2)의 표면에서 복수 회 반사한 후, 복수의 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)으로 나뉘어 제1 방향(DR1)으로 확산되어 출사된다. 복수의 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)은 제1 방향(DR1)을 따라 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)으로부터 멀어지는 순서대로 제1 빔(LB11a), 제2 빔(LB11b), 제3 빔(LB11c), 제4 빔(LB11d), 제5 빔(LB11e), 제6 빔(LB11f)을 포함할 수 있다.
제1 빔(LB11a), 제2 빔(LB11b), 제3 빔(LB11c), 제4 빔(LB11d), 제5 빔(LB11e), 제6 빔(LB11f)은 제1 반사부(R1)의 표면과 제2 반사부(R2)의 표면에서 반사되는 반사 횟수가 서로 다를 수 있다. 도시한 실시예에서는 복수의 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)은 제1 빔(LB11a) 내지 제6 빔(LB11f)을 포함하는 것으로 도시하였지만, 이에 한정되지 않으며, 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)은 제1 출사창(OW1)을 통해 출사되는 연속 빔일 수 있고, 수많은 빔들을 포함할 수 있다.
이와 유사하게, 레이저 결정화 장치(100)의 복수의 광원부(LS1, LS2) 중 제2 광원부(LS2)에서 공급된 제2 레이저빔(LB2)은 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)을 통해 입사된 후, 제2 경로 변환부(M2)의 제3 반사부(R3)와 제4 반사부(R4)에서 반사를 반복한 후, 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)을 통해 출사된다. 예를 들어, 제2 광원부(LS2)에서 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)으로 입사된 제2 레이저빔(LB2)은 제3 반사부(R3)의 표면과 제4 반사부(R4)의 표면에서 복수 회 반사한 후, 복수의 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)으로 나뉘어 제1 방향(DR1)을 따라 확산되어 출사된다. 복수의 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제1 방향(DR1)과 나란한 방향을 따라 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)으로부터 멀어지는 순서대로 제7 빔(LB21a), 제8 빔(LB21b), 제9 빔(LB21c), 제10 빔(LB21d), 제11 빔(LB21e), 제12 빔(LB21f)을 포함할 수 있다.
제7 빔(LB21a), 제8 빔(LB21b), 제9 빔(LB21c), 제10 빔(LB21d), 제11 빔(LB21e), 제12 빔(LB21f)은 제3 반사부(R3)의 표면과 제4 반사부(R4)의 표면에서 반사되는 반사 횟수가 서로 다를 수 있다. 도시한 실시예에서는 복수의 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제7 빔(LB21a) 내지 제12 빔(LB21f)을 포함하는 것으로 도시하였지만, 이에 한정되지 않으며, 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제2 출사창(OW2)을 통해 출사되는 연속 빔일 수 있고, 수많은 빔들을 포함할 수 있다.
복수의 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)과 복수의 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 함께 도 1의 광학부(OP)를 지나 기판(10)에 레이저빔(LB)으로 조사될 수 있다.
도 4를 참고하면, 제1 방향(DR1)과 나란한 방향을 기준으로, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)은 제1 반사부(R1)에 대하여 제1 측면, 예를 들어 오른쪽 방향에 위치할 수 있고, 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)은 제3 반사부(R3)에 대하여 제1 측면과 반대인 제2 측면, 예를 들어 왼쪽 방향에 위치할 수 있다. 즉, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)은 제1 방향(DR1)을 따라 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)의 가장자리에 배치될 수 있다.
또한, 제2 방향(DR2)과 나란한 방향을 기준으로, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)은 제2 반사부(R2)에 대하여 제3 측면, 예를 들어 아래쪽 방향에 위치할 수 있고, 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)은 제4 반사부(R4)에 대하여 제3 측면과 반대인 제4 측면, 예를 들어 위쪽 방향에 위치할 수 있다. 즉, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)은 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대향하는 위치에 배치될 수 있다.
이처럼, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1) 및 제1 출사창(OW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2) 및 제2 출사창(OW2)의 상대적 위치를 서로 다르게 배치함으로써, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사되는 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사되는 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이룰 수 있고, 이에 의해 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일정한 강도를 가지는 레이저빔(LB)을 출사할 수 있다.
도 3을 참고하면, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)는 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)과 일정한 각도를 이루도록 배치될 수 있고, 제1 경로 변환부(M1)와 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)이 이루는 각도는 제2 경로 변환부(M2)와 제1 방향(DR1) 및 제3 방향(DR3)이 이루는 각도와 같거나 다를 수 있다.
또한, 도 5를 참고하면, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)는 제2 방향(DR2)과도 일정한 각도를 이루도록 배치될 수 있고, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 방향(DR2)이 이루는 각도는 제2 경로 변환부(M2)와 제2 방향(DR2)이 이루는 각도와 같거나 다를 수 있다.
이처럼, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)는 제1 방향(DR1), 제2 방향(DR2), 제3 방향(DR3)과 나란하지 않도록 배치될 수 있으며, 실시예에 따라 제1 방향(DR1)과 나란한 방향으로 배치될 수도 있다. 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)의 배치는 입사되는 레이저빔(LB1, LB2)과 광학부(OP)의 위치, 기판(10)의 위치 등에 따라 변화 가능하다.
도 3과 함께 도 5를 참고하면, 제1 방향(DR1)을 따라, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1), 제1 경로 변환부(M1)의 상기 제1 반사부(R1), 제2 경로 변환부(M2)의 제3 반사부(R3), 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)이 순서대로 위치하고, 제2 방향(DR2)을 따라, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)과 제1 경로 변환부(M1)의 제2 반사부(R2)가 순서대로 위치하고, 이와 유사하게, 제2 방향(DR2)을 따라, 제2 경로 변환부(M2)의 제4 반사부(R4)와 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)이 순서대로 위치할 수 있다.
도 5에 도시한 실시예에 따르면, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)이 제1 방향(DR1)을 따라 나란하게 배치된 것으로 도시하였으나, 이에 한정되지 않으며, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)은 제1 방향(DR1)을 따라 서로 어긋나게 배치될 수 있으며, 제1 출사창(OW1)과 제2 방향(DR2)이 이루는 각도와 제2 출사창(OW2)과 제2 방향(DR2)이 이루는 각도를 조절함으로써, 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)과 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제2 방향(DR2)을 따라 거의 같은 폭을 가지도록 출사될 수 있다.
그러면, 도 3 내지 도 5와 함께, 도 6a 및 도 6b, 도 7을 참고하여, 한 실시예에 따른 시뮬레이션 결과에 설명한다. 도 6a 및 도 6b는 한 실험예의 결과를 도시한 도면이고, 도 7은 다른 한 실험예의 결과를 도시한 도면이다.
도 6a는 제1 경로 변환부(M1)의 제1 출사창(OW1)을 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 레이저빔 강도의 시뮬레이션 결과를 도시한 이미지이고, 도 6b는 제2 경로 변환부(M2)의 제2 출사창(OW2)을 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 레이저빔 강도의 시뮬레이션 결과를 도시한 이미지이다. 도 7은 제1 출사빔과 제2 출사빔을 합한 레이저빔의 강도를 시뮬레이션한 결과를 도시한 이미지이다.
도 3 내지 도 5와 함께, 도 6a 및 도 6b를 참고하면, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제1 빔(LB11a)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제7 빔(LB21a)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가진다.
이와 유사하게, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제2 빔(LB11b)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제8 빔(LB21b)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가진다.
이와 유사하게, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제3 빔(LB11c)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제9 빔(LB21c)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가지고, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제4 빔(LB11d)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제10 빔(LB21d)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가진다.
또한, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제5 빔(LB11e)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제11 빔(LB21e)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가지고, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)의 제6 빔(LB11f)은 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)의 제12 빔(LB21f)과 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가진다.
따라서, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)이 합해진 출사 레이저빔(LB)은 도 7에 도시한 바와 같이, 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이루는 강도를 가진다.
앞서 설명한 바와 같이, 실시예에 따른 레이저 결정화 장치(100)에 따르면, 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1) 및 제1 출사창(OW1)과 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2) 및 제2 출사창(OW2)의 상대적 위치를 서로 다르게 배치됨으로써, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사되는 제1 출사빔(LB11a, LB11b, LB11c, LB11d, LB11e, LB11f)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사되는 제2 출사빔(LB21a, LB21b, LB21c, LB21d, LB21e, LB21f)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 서로 대칭을 이룰 수 있고, 이에 의해 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 일정한 강도를 가지는 레이저빔(LB)을 출사할 수 있다.
그러면, 도 8 및 도 9를 참고하여, 본 발명의 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부에 대하여 설명한다. 도 8은 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부를 도시한 도면이고, 도 9는 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 일부의 배치를 도시한 도면이다.
도 8을 참고하면, 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부는 제1 경로 변환부(M1), 제2 경로 변환부(M2), 제3 경로 변환부(M3)를 포함한다.
도 8의 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)는 앞서 설명한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)와 같을 수 있다. 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.
본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 제3 경로 변환부(M3)는 앞서 도 2를 참고로 설명한 바와 같이, 서로 마주하는 두 개의 반사부(Ra, Rb)와 제2 방향(DR2)과 거의 나란한 방향으로 뻗어 있는 제1 길이 방향(DL1)으로 길게 뻗은 형태의 입사창(IW)과 제1 방향(DR1)과 거의 나란한 방향으로 뻗어 있는 제2 길이 방향(DL2)을 길게 뻗은 형태의 출사창(OW)을 포함할 수 있다.
도 9를 참고하면, 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 제3 경로 변환부(M3)의 제3 입사창(IW3)과 제3 출사창(OW3)은 제1 경로 변환부(M1)의 제1 입사창(IW1)과 제1 출사창(OW1)과 같은 배치를 가질 수 있다. 그러나, 이와 다르게 제3 경로 변환부(M3)의 제3 입사창(IW3)과 제3 출사창(OW3)은 제2 경로 변환부(M2)의 제2 입사창(IW2)과 제2 출사창(OW2)과 같은 배치를 가질 수도 있다. 또한, 이와는 다르게, 제3 경로 변환부(M3)는 제1 경로 변환부(M1) 및 제2 경로 변환부(M2)와는 다른 배치를 가질 수도 있다.
제1 경로 변환부(M1)를 통과한 제1 출사빔(LB11), 제2 경로 변환부(M2)를 통과한 제2 출사빔(LB21), 제3 경로 변환부(M3)를 통과한 제3 출사빔(LB31)은 제1 방향(DR1)으로 확산되어, 제1 방향(DR1)과 나란한 장축을 가지는 레이저빔(LB) 형태로 기판(10)에 출사될 수 있다.
도 8에 도시한 실시예에서는 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2) 외에 제3 경로 변환부(M3)를 더 포함하는 것으로 설명하였으나, 이에 한정되지 않고, 레이저 결정화 장치는 추가적인 경로 변환부를 더 포함할 수도 있다. 즉, 실시예에 따른 레이저 결정화 장치는 복수의 경로 변환부를 포함하고, 복수의 경로 변환부는 적어도 두 개의 경로 변환부를 포함할 수 있다.
앞서 설명한 실시예들에 따른 레이저 결정화 장치의 많은 특징들은 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치에 모두 적용 가능하다.
그러면, 도 10을 참고하여, 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 구조에 대하여 설명한다. 도 10은 다른 한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부를 도시한 도면이다.
도 10을 참고하면, 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 구조는 도 2를 참고로 설명한 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부의 구조와 유사하다.
본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부(M)는 레이저빔이 입사되는 입사창(IW)과 입사된 레이저빔이 반사되도록 서로 마주보는 두 개의 반사부(Ra, Rb), 반사된 레이저빔이 출사되는 출사창(OW)을 포함한다.
입사창(IW)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 폭 방향인 제2 방향(DR2)과 나란한 방향으로 길게 뻗어 있는 형태일 수 있고, 출사창(OW)은 기판(10)에 조사되는 라인 형태의 레이저빔(LB)의 길이 방향인 제1 방향(DR1)과 거의 나란한 방향으로 길게 뻗어 있는 형태일 수 있다.
두 개의 반사부(Ra, Rb)는 서로 마주보고, 반사부(Ra)와 입사창(IW)은 경로 변환부(M1, M2)의 제1 면을 이루고, 반사부(Rb)와 출사창(OW)은 경로 변환부(M1, M2)의 제2 면을 이룬다.
서로 마주하는 두 개의 반사부(Ra, Rb)는 빛을 반사하는 층을 포함하고, 예를 들어, 미러를 포함할 수 있다.
본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부(M)는 앞서 도 2를 참고로 설명한 실시예에 따른 경로 변환부(M1, M2, M3)와 다르게 두 개의 반사부(Ra, Rb)의 외부에 부착되어 있는 제1 히트 싱크(HS1)와 제2 히트 싱크 (HS2)를 더 포함할 수 있다.
제1 히트 싱크(HS1)와 제2 히트 싱크(HS2)는 레이저빔이 반사되는 두 개의 반사부(Ra, Rb)의 가열을 방지하여, 반사부(Ra, Rb)의 가열에 의한 열 렌즈 효과(thermal lens effect)에 의해 출사되는 레이저빔의 위치가 변형되는 것을 방지할 수 있다.
이처럼, 본 실시예에 따른 레이저 결정화 장치의 경로 변환부에 따르면, 서로 마주하는 두 개의 반사부의 외부에 두 개의 히트 싱크를 부착함으로써, 레이저빔의 반사에 영향을 주지 않으면서도, 반사부의 가열을 방지함으로써, 레이저빔이 균일하게 출사될 수 있다.
도 10를 참고로 설명한 실시예에 따른 경로 변환부의 특징은 앞서 설명한 실시예들에 따른 레이저 결정화 장치에 모두 적용 가능하다.
그러면, 도 11 및 도 12를 참고하여, 한 실험예에 대하여 설명한다. 도 11은 한 실험예의 결과를 도시한 도면이고, 도 12는 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
본 실험예에서는 실시예에 따른 레이저 결정화 장치와 같이, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 형성하고, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 통과한 출사빔(LB11, LB21)의 위치에 따른 강도를 측정하였고, 선형의 레이저빔(LB)의 장축과 단축에 따른 시뮬레이션 결과를 도 11에 나타내었고, 선형의 레이저빔(LB)의 단축에 대한 강도의 그래프를 도 12에 나타내었다.
도 11을 참고하면, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21)은 선형의 레이저빔(LB)의 장축 방향과 나란한 제1 방향(DR1)과 선형의 레이저빔(LB)의 단축 방향과 나란한 제2 방향(DR2)에 대하여, 서로 대칭을 이룸을 알 수 있었다.
따라서, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)가 레이저빔에 의해 가열되어 열 렌즈 효과가 발생하더라도 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21)이 합해진 선형 레이저빔(LB)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)을 따라 대칭을 이루는 균일한 강도를 가질 수 있다.
도 12를 참고하면, 선형 레이저빔(LB)은 단축 방향(Y-coordinate)을 따라 균일한 강도를 가짐을 알 수 있었다.
다음으로, 도 13 및 도 14를 참고하여, 다른 한 실험예에 대하여 설명한다. 도 13은 한 실험예의 결과를 도시한 도면이고, 도 14는 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
본 실험예에서는 실시예에 따른 레이저 결정화 장치와 같이, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 형성하고, 도 10에 도시한 실시예와 같이 복수의 경로 변환부(M1, M2)의 서로 마주보는 두 반사부(Ra, Rb)의 외부에 히트 싱크(HS1, HS2)를 설치한 경우에 대하여, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 통과한 출사빔(LB11, LB21)의 위치에 따른 강도를 측정하였고, 선형의 레이저빔(LB)의 장축과 단축에 따른 시뮬레이션 결과를 도 13에 나타내었고, 선형의 레이저빔(LB)의 단축에 대한 강도의 그래프를 도 14에 나타내었다.
도 13을 참고하면, 앞서 설명한 바와 같이, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21)은 선형의 레이저빔(LB)의 장축 방향과 나란한 제1 방향(DR1)과 선형의 레이저빔(LB)의 단축 방향과 나란한 제2 방향(DR2)에 대하여, 서로 대칭을 이루며, 제1 출사빔(LB11)과 제2 출사빔(LB21)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)에 대하여 각각 서로 대칭을 이루는 강도를 가짐을 알 수 있었다. 이처럼, 복수의 경로 변환부(M1, M2)의 서로 마주보는 두 반사부(Ra, Rb)의 외부에 히트 싱크(HS1, HS2)를 설치함으로써, 제1 경로 변환부(M1)를 통해 출사된 제1 출사빔(LB11)과 제2 경로 변환부(M2)를 통해 출사된 제2 출사빔(LB21)은 제1 방향(DR1)과 제2 방향(DR2)에 대하여 서로 대칭을 이루는 강도를 가짐과 동시에 각기 대칭을 이루는 강도를 가짐을 알 수 있었다.
이처럼, 제1 경로 변환부(M1)와 제2 경로 변환부(M2)에 강한 에너지의 레이저빔이 조사되어도, 히트 싱크에 의해 열 렌즈 효과가 발생하지 않음으로써, 넓은 면적에 균일한 강도의 선형 빔을 조사할 수 있음을 알 수 있었다.
도 14를 참고하면, 선형 레이저빔(LB)은 단축 방향(Y-coordinate)을 따라 균일한 강도를 가짐을 알 수 있었다.
그러면, 도 15 및 도 16을 참고하여, 다른 한 실험예에 대하여 설명한다. 도 15 및 도 16은 한 실험예의 결과를 도시한 그래프이다.
본 실험예에서는 실시예에 따른 레이저 결정화 장치와 같이, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 형성한 제1 경우와 종래와 같이 복수 개의 미러들을 사용한 제2 경우에 대하여, 복수의 경로 변환부(M1, M2)를 통과한 출사빔과 복수 개의 미러들에 의해 반사된 출사빔의 단축에 대한 강도를 측정하였고, 그 결과를 도 15 및 도 16에 나타내었다. 도 15는 제1 경우의 결과를 도시하고, 도 16은 제2 경우의 결과를 도시한다.
도 15를 참고하면, 실시예에 따른 레이저 결정화 장치와 같은 제1 경우는 단축 방향(Y-coordinate)을 따라 일정한 강도를 가짐을 알 수 있었으나, 도 16을 참고하면, 종래와 같은 제2 경우는 단축 방향을 따라 출사빔의 강도가 일정하지 않음을 알 수 있었다.
이처럼, 실시예에 따른 레이저 결정화 장치에 따르면, 서로 마주보는 두 개의 반사부, 입사창과 출사창을 포함하는 일체형 경로 변환부를 포함함으로써, 단순한 구조를 통해 입사빔을 선형의 출사빔으로 변환할 수 있으며, 입사창 및 출사창과 두 개의 반사부의 상대적 위치가 서로 다른 복수의 경로 변환부를 포함함으로써 선형 레이저빔의 장축 방향과 단축 방향을 따라 균일한 강도를 가지는 선형 레이저빔을 제공할 수 있음을 알 수 있었다.
이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
10: 기판 100: 레이저 결정화 장치
HS1, HS2: 히트 싱크 IW, IW1, IW2, IW3: 입사창
LB, LB1, LB2: 레이저 빔 LB11, LB21, LB31: 출사빔
LS1, LS2: 광원부 M, M1, M2, M3: 경로 변환부
OP: 광학부 OW, OW1, OW2, OW3: 출사창
R1, R2, R3, R3, Ra, Rb: 반사부

Claims (18)

  1. 광원부, 그리고
    상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 경로 변환부를 포함하고,
    상기 경로 변환부는 상기 제2 방향과 나란하게 뻗은 입사창, 상기 제1 방향과 나란하게 뻗은 출사창, 상기 입사창의 측면에 위치하는 제1 반사부, 상기 출사창의 측면에 위치하는 제2 반사부를 포함하는 레이저 결정화 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직각을 이루는 제3 방향을 따라 서로 마주보는 레이저 결정화 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 입사창, 상기 출사창, 상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 일체로 형성된 레이저 결정화 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  6. 복수의 광원부, 그리고
    상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 제1 경로 변환부와 제2 경로 변환부를 포함하고,
    상기 제1 경로 변환부는 제1 입사창과 제1 출사창, 제1 반사부와 제2 반사부를 포함하고,
    상기 제2 경로 변환부는 제2 입사창과 제2 출사창, 제3 반사부와 제4 반사부를 포함하고,
    상기 제1 방향을 따라, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 입사창, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 반사부, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제3 반사부, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제2 입사창이 순서대로 위치하고,
    상기 제2 방향을 따라, 상기 제1 경로 변환부의 상기 제1 출사창과 상기 제1 경로 변환부의 상기 제2 반사부가 순서대로 위치하고,
    상기 제2 방향을 따라, 상기 제2 경로 변환부의 상기 제2 출사창과 상기 제2 경로 변환부의 상기 제4 반사부가 순서대로 위치하는 레이저 결정화 장치.
  7. 제6항에서,
    상기 제1 입사창과 상기 제2 입사창은 상기 제2 방향과 나란하게 뻗고,
    상기 제1 출사창과 상기 제2 출사창은 상기 제1 방향과 나란하게 뻗은 레이저 결정화 장치.
  8. 제7항에서,
    상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직각을 이루는 제3 방향을 따라 서로 마주보고,
    상기 제2 반사부와 상기 제4 반사부는 상기 제3 방향을 따라 서로 마주보는 레이저 결정화 장치.
  9. 제8항에서,
    상기 제1 입사창, 상기 제1 출사창, 상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 일체로 형성되고,
    상기 제2 입사창, 상기 제2 출사창, 상기 제3 반사부와 상기 제4 반사부는 일체로 형성된 레이저 결정화 장치.
  10. 제9항에서,
    상기 제1 경로 변환부와 상기 제2 경로 변환부는 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되는 레이저 결정화 장치.
  11. 제9항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  12. 제6항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  13. 복수의 광원부, 그리고
    상기 광원으로부터 입사된 레이저빔을 제1 방향과 나란한 장축과 제2 방향과 나란한 단축을 가지는 선형 빔으로 변환하는 제1 경로 변환부와 제2 경로 변환부를 포함하고,
    상기 제1 경로 변환부는 제1 입사창과 제1 출사창, 제1 반사부와 제2 반사부를 포함하고,
    상기 제2 경로 변환부는 제2 입사창과 제2 출사창, 제3 반사부와 제4 반사부를 포함하고,
    상기 제1 입사창과 상기 제2 입사창은 상기 제2 방향과 나란하게 뻗고,
    상기 제1 출사창과 상기 제2 출사창은 상기 제1 방향과 나란하게 뻗은 레이저 결정화 장치.
  14. 제13항에서,
    상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 직각을 이루는 제3 방향을 따라 서로 마주보고,
    상기 제2 반사부와 상기 제4 반사부는 상기 제3 방향을 따라 서로 마주보는 레이저 결정화 장치.
  15. 제14항에서,
    상기 제1 입사창, 상기 제1 출사창, 상기 제1 반사부와 상기 제2 반사부는 일체로 형성되고,
    상기 제2 입사창, 상기 제2 출사창, 상기 제3 반사부와 상기 제4 반사부는 일체로 형성된 레이저 결정화 장치.
  16. 제15항에서,
    상기 제1 경로 변환부와 상기 제2 경로 변환부는 상기 제1 방향을 따라 서로 이격되는
    레이저 결정화 장치.
  17. 제15항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
  18. 제13항에서,
    상기 제1 반사부의 외측에 위치하는 제1 히트 싱크, 그리고
    상기 제2 반사부의 외측에 위치하는 제2 히트 싱크를 더 포함하는 레이저 결정화 장치.
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