KR20220090662A - 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 글래스의 양면에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계, 상기 적층체에 레이저를 조사하여 레이저 조사선을 따라 레진을 제거하는 단계, 상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계, 상기 복수 개의 적층체를 수직 적층하는 단계, 상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계를 포함한다.

Description

표시 장치의 제조 방법{MANUFACTORING METHOD OF DISPLAY DEVICE}

본 개시는 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 표시 장치 중 글래스의 제조 방법에 관한 것이다.

최근, 액정 표시(liquid crystal display; LCD) 장치 또는 유기 발광 표시(organic light emitting display; OLED) 장치 등의 표시 장치가 적용된 휴대 전화, 내비게이션, 디지털 카메라, 전자책, 휴대용 게임기 또는 각종 단말기와 같은 다양한 모바일 전자 기기들이 사용되고 있다.

이러한 모바일 전자 기기에 사용되는 통상의 표시 장치에는, 표시 패널의 전방에서 사용자가 표시부를 볼 수 있도록 투명하게 구성된 커버 윈도우가 구비될 수 있다. 이러한 커버 윈도우는 표시 장치의 가장 외부에 형성된 구성이기 때문에, 표시 장치의 내부의 표시 패널 등을 보호할 수 있도록 외부 충격에 강해야 한다.

또한, 스위치나 키보드를 입력 장치로 사용하던 종래의 전자 기기들 대신, 최근에는 표시 화면과 일체로 구성되는 터치 패널을 사용하는 구조가 널리 보급되어 종래의 모바일 기기에 비해 커버 윈도우의 표면이 손가락 등과 접촉하는 일이 많아지게 되었고, 이에 따라 보다 강한 강도의 커버 윈도우가 요구되고 있다.

또한 표시 장치의 박형화에 따라 커버 윈도우의 두께 또한 얇아지고 있으며, 이러한 얇은 두께의 커버 윈도우는 제조 과정에서의 취급이 용이하지 않다.

실시예들은 측면이 정곡률을 가져 파손에 강한 글래스의 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.

일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 글래스의 양면에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계, 상기 적층체에 레이저를 조사하여 레이저 조사선을 따라 레진을 제거하는 단계, 상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계, 상기 복수 개의 적층체를 수직 적층하는 단계, 상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계를 포함한다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성될 수 있다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변할 수 있다.

상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계 이후 상기 글래스의 측면의 곡률 반경이, 상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후 상기 글래스의 측면의 곡률 반경보다 클 수 있다.

상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계에서, 상기 글래스 측면의 곡률 반경은 상기 글래스의 두께보다 클 수 있다.

상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후, 상기 글래스 측면의 곡률 직경과 상기 글래스의 두께의 차이는 10% 이하일 수 있다.

상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다.

상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후, 상기 구조물에서 레진을 제거하여 상기 글래스를 개별로 분리하는 단계를 더 포함할 수 있다.

다른 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 글래스의 양면에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계, 상기 적층체에 레이저를 조사하여 레이저 조사선을 따라 레진을 제거하는 단계, 상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계, 상기 적층체에서 레진을 제거하는 단계를 포함할 수 있다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성될 수 있다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변할 수 있다.

상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계에서, 상기 글래스 측면의 곡률 반경은 상기 글래스의 두께보다 클 수 있다.

상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛일 수 있다.

다른 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 글래스에 레이저를 조사하는 단계, 상기 레이저가 조사된 글래스를 식각액 조성물을 이용하여 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계를 포함한다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성될 수 있다.

상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서, 상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변할 수 있다.

상기 레이저가 조사된 글래스를 식각액 조성물을 이용하여 에칭하여 복수개로 분리하는 단계 이후, 상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계를 더 포함할 수 있다.

상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계 이후, 상기 글래스 측면의 곡률 직경과 상기 글래스의 두께의 차이는 10% 이하일 수 있다.

상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계는 회전 에칭으로 수행될 수 있다.

상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛ 일 수 있다.

실시예들에 따르면, 측면이 정곡률을 가져 파손에 강한 글래스의 제조 방법을 제공한다.

도 1은 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다.
도 2는 레진이 적층된 글래스를 도시한 것이다.
도 3은 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 구성을 도시한 것이다.
도 4는 레이저 조사 후 글래스에 홈이 형성된 구성을 도시한 것이다.
도 5는 레이저 조사 후 글래스의 물성이 변한 구성을 도시한 것이다.
도 6은 1차로 화학적 에칭하는 공정을 도시한 것이다.
도 7은 챔버 내에 투입될 때의 적층체의 형상이다.
도 8은 1차 화학적 에칭 후 적층체의 형상이다.
도 9는 1차 화학적 식각 후 분리된 적층체를 도시한 것이다.
도 10은 도 9의 적층체에서 글래스만을 도시한 것이다.
도 11은 복수개의 적층체가 적층된 구조물을 도시한 것이다.
도 12는 2차 화학적 회전 에칭 공정을 도시한 것이다.
도 13은 2차 화학적 식각 후의 적층체를 도시한 것이다.
도 14는 도 13의 적층체에서 글래스만을 도시한 것이다.
도 15는 측면 충격 파손 테스트를 간단하게 도시한 것이다
도 16은 충격 파손 테스트를 측면에서 도시한 것이다.
도 17는 측면 형상이 다양한 글래스에 대하여 도 15 및 도 16의 충격 파손 테스트를 수행하고 그 결과를 도시한 것이다.
도 18은 실시예 1 내지 3의 측면을 갖는 글래스에 대하여 10도를 기울인 후에 도 17과 동일한 테스트를 수행하고 그 결과를 도시한 것이다.
도 19는 다른 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다.
도 20은 레진이 제거된 글래스를 도시한 것이다.
도 21은 도 19의 실시예에 따라 제조된 글래스의 측면을 도시한 것이다.
도 22는 다른 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다.
도 23은 레이저 조사 공정을 도시한 것이다.
도 24는 레이저 조사 후 글래스에 홈이 형성된 구성을 도시한 것이다.
도 25는 레이저 조사 후 글래스의 물성이 변한 구성을 도시한 것이다.
도 26은 1차로 화학적 에칭하는 공정을 도시한 것이다.
도 27은 챔버 내에 투입될 때의 글래스의 형상이다.
도 28은 1차 화학적 에칭 후 글래스의 형상이다.
도 29는 1차 화학적 식각 후 분리된 글래스를 도시한 것이다.
도 30은 도 29의 글래스를 도시한 것이다.
도 31은 1차 에칭된 글래스를 2차 에칭하는 공정을 도시한 것이다.
도 32는 도 31의 2차 에칭 후의 글래스를 도시한 것이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 여러 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.

본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.

또한, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타내었으므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다. 도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 그리고 도면에서, 설명의 편의를 위해, 일부 층 및 영역의 두께를 과장되게 나타내었다.

또한, 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다. 또한, 기준이 되는 부분 "위에" 또는 "상에" 있다고 하는 것은 기준이 되는 부분의 위 또는 아래에 위치하는 것이고, 반드시 중력 반대 방향 쪽으로 "위에" 또는 "상에" 위치하는 것을 의미하는 것은 아니다.

또한, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함" 한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

또한, 명세서 전체에서, "평면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 위에서 보았을 때를 의미하며, "단면상"이라 할 때, 이는 대상 부분을 수직으로 자른 단면을 옆에서 보았을 때를 의미한다.

그러면 이하에서 도면을 참고로 하여 일 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다. 본 발명은 표시 장치 중 글래스의 제조 방법에 대한 것이다.

도 1은 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다. 도 1을 참고로 하면 일 실시예에 따른 글래스의 제조 과정은 글래스의 상하부에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계(S10), 레이저를 조사하여 레진을 제거하고 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시키는 단계(S20), 1차로 화학적 에칭하여 적층체를 컷팅하는 단계(S30), 복수개의 적층체를 적층하는 단계(S40), 2차로 화학적 회전 에칭하는 단계(S50)를 포함한다. 도 1에 도시된 바와 같이 본 실시예에 따른 글래스의 제조 공정은 레이저 조사 후 1차, 2차 에칭을 통해 글래스의 측면에 정곡률에 가까운 곡면을 형성할 수 있다.

그러면 이하에서 본 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 상세하게 설명한다.

도 2는 레진(200)이 적층된 글래스(100)를 도시한 것이다. 도 2를 참고로 하면, 글래스(100)의 상면 및 하면에 레진(200)을 형성하여 적층체(300)를 형성한다. 본 실시예에서 가공되는 글래스(100)의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛으로 매우 얇기 때문에, 공정 과정에서의 파손을 방지하고 취급을 용이하게 하기 위하여 상하부에 레진(200)이 위치할 수 있다.

도 3은 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 구성을 도시한 것이다. 도 3을 참고로 하면, 레이저를 조사하여 레이저의 조사선을 따라 레진을 제거하고 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시킨다(S20). 레이저 조사에 의해 레진(200)은 제거되지만 글래스(100)는 완전히 제거되지 않고 홈이 형성되거나 홈이 형성되지 않고 물성이 변할 수 있다.

도 4는 레이저 조사 후 글래스(100)에 홈(110)이 형성된 구성을 도시한 것이다. 도 4에 도시된 바와 같이 레이저 조사선을 따라 글래스(100)에 복수개의 홈(110)이 형성될 수 있다.

도 5는 레이저 조사 후 글래스(100)의 물성이 변한 구성을 도시한 것이다. 도 5에 도시된 바와 같이 레이저 조사선을 따라 글래스(100)의 물성이 변할 수 있다. 도 5에서 글래스(100)에 레이저가 조사된 조사 영역(120)을 도시하였다. 레이저가 조사된 조사 영역(120)의 물성은 다른 글래스(100) 영역과 상이하며, 이후 화학적 에칭등의 공정에서 식각액이 침투하기 용이해질 수 있다.

도 6은 1차로 화학적 에칭하는 공정을 도시한 것이다. 도 6을 참고로 하면 레이저가 조사된 적층체(300)를 1차로 화학적 에칭한다(S30). 도 6에 도시된 바와 같이 챔버(700) 내에 식각액 조성물이 담겨 있고, 챔버(700) 내에서 적층체(300)가 이동하면서 식각액 조성물에 의해 노출된다. 도 4에서와 같이 글래스(100)에 형성된 홈(110)이나 물성이 달라진 조사 영역(120)으로 식각액 조성물이 침투하며, 글래스(100)가 식각되어 레이저 조사선을 따라 분리될 수 있다.

도 7은 챔버(700) 내에 투입될 때의 적층체의 형상이다. 도 7과 같은 상태로 식각액 조성물이 담긴 챔버(700) 내에 투입된 적층체(300)는 챔버(700) 내에서의 화학적 에칭에 의해 도 8과 같이 서로 분리될 수 있다. 도 8은 1차 화학적 에칭 후 적층체의 형상이다. 이때 화학적 식각에 의해 글래스가 분리될 뿐 아니라, 글래스의 측면에 곡면이 형성될 수 있다.

도 9는 1차 화학적 식각 후 분리된 적층체(300)를 도시한 것이다. 도 10은 도 9의 적층체(300)에서 글래스(100)만을 도시한 것이다. 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 1차 화학적 식각 후 글래스(100)의 측면에 곡면이 형성된다. 이는 1차 화학적 에칭 과정에서 식각액 조성물이 침투하면서 글래스(100)의 측면이 식각되기 때문이다. 이러한 1차 식각에 의해 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이 글래스(100)의 측면이 곡면을 갖는다. 이때 곡면의 곡률 반경 R은 글래스(100)의 두께(d)보다 클 수 있다.

도 11은 복수개의 적층체가 적층된 구조물을 도시한 것이다. 도 11을 참고로 하면 복수개의 적층체를 적층한다(S40), 도 12는 2차 화학적 회전 에칭 공정을 도시한 것이다. 도 12를 참고로 하면 적층체(300)를 2차로 화학적 회전 에칭한다(S50). 도 12에 도시된 바와 같이 챔버(700) 내에 식각액 조성물이 담겨 있고 복수개의 적층체가 적층된 구조물을 회전하여 식각한다. 이때, 적층체가 회전하면서 동시에 하부에서 회전 날개(710)에 의해 식각액 또한 회전할 수 있다.

도 13은 2차 화학적 식각 후의 적층체(300)를 도시한 것이다. 도 14는 도 13의 적층체(300)에서 글래스(100)만을 도시한 것이다. 도 13 및 도 14에 도시되 바와 같이 2차 화학적 식각 후에 글래스(100)의 측면에 곡면이 형성된다. 이를 도 9 및 도 10에서 형성된 곡면과 비교하면, 더 곡률반경이 작은 곡면이 형성된 것을 확인할 수 있다.

도 14에 도시된 바와 같이 2차 화학적 식각 후 형성된 글래스(100)의 곡면의 곡률 반경 R은 글래스(100)의 두께(d)의 1/2일 수 있다. 즉, 도 14에 도시된 바와 같이 1차 에칭 후 2차 에칭을 통해 곡면이 형성된 글래스(100)의 곡률 반경은 정곡률 또는 이와 유사 수준일 수 있다. 구체적으로, 2차 화학적 식각 후 형성된 글래스(100)의 곡면의 지름 2R과 글래스(100)의 두께(d)의 차이는 10% 이내일 수 있다.

이렇게 글래스(100)의 곡면이 정곡률에 유사하게 형성되는 경우 측면에 가해지는 충격 강도를 높일 수 있다.

도 15는 측면 충격 파손 테스트를 간단하게 도시한 것이다. 도 15에 도시된 바와 같이 가이드 부재(800) 내에 글래스(100)를 위치시키고, 충격 부재(900)를 글래스(100)의 측면으로 떨어뜨린다. 도 16은 충격 파손 테스트를 측면에서 도시한 것이다. 도 16에 도시된 바와 같이 충격 부재(900)가 글래스(100)의 측면에 떨어지면서 글래스(100)가 파괴되는 강도를 측정할 수 있다.

도 17는 측면 형상이 다양한 글래스에 대하여 도 15 및 도 16의 충격 파손 테스트를 수행하고 그 결과를 도시한 것이다. 도 17에 도시된 바와 같이 글래스(100)의 측면이 정곡률에 가까워질수록(실시예 3)충격에 대한 강도가 커지는 것을 확인할 수 있었다.

도 18은 실시예 1 내지 3의 측면을 갖는 글래스에 대하여, 10도를 기울인 후에 동일한 실험을 수행한 것이다. 10도를 기울인 구성은 도 18에 개략적으로 도시되었다. 도 18에서 확인한 바와 같이, 글래스(100)의 측면이 정곡률에 가까워질수록(실시예 3)충격에 대한 강도가 커지는 것을 확인할 수 있었다.

즉 본 실시예에 따른 글래스의 제조 방법은 레이저 조사, 1차 식각, 2차 식각을 통해 글래스(100)의 측면이 정곡률에 가까운 곡면을 가질 수 있다. 따라서 글래스(100)의 측면 충격에 의한 강도를 높일 수 있다.

그러면 이하에서 다른 일 실시예에 따른 글래스의 제조 방법에 대하여 설명한다. 도 19는 다른 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다. 도 19를 참고로 하면, 본 실시예에 따른 글래스의 제조 방법은 글래스의 상하부에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계(S10), 레이저를 조사하여 레진을 제거하고 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시키는 단계(S20), 1차로 화학적 에칭하여 적층체를 컷팅하는 단계(S30) 및 레진을 제거하는 단계(S60)를 포함한다.

글래스의 상하부에 레진을 적층하하여 적층체를 형성하는 단계(S10), 레이저를 조사하여 레진을 제거하고 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시키는 단계(S20) 및 1차로 화학적 에칭하여 적층체를 컷팅하는 단계(S30)에 대한 설명은 도 1에서와 동일하다. 동일한 단계에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

본 실시예에 따른 제조 방법은, 1차 화학적 에칭 후 레진을 제거한다는 점에서 도 1의 실시예와 상이하다.

도 20을 참고로 하면, 1차 에칭된 적층제에 대하여 레진을 제거한다. 도 20에는 레진이 제거된 글래스(100)가 도시되어 있다. 도 21은 도 19의 실시예에 따라 제조된 글래스(100)의 측면을 도시한 것이다. 도 21에 도시된 바와 같이 도 19의 실시예에 따라 제조된 글래스(100)의 측면의 곡률 반경은 도 1의 실시예에 따르 제조된 글래스(100)의 측면의 곡률 반경보다 크다. 사용 환경에 따라 1차 식각 후 도 21와 같은 글래스(100)를 제조하여 사용할 수 있다.

도 22는 다른 일 실시예에 따른 글래스의 제조 공정을 간단하게 나타낸 흐름도이다. 도 22를 참고로 하면 본 실시예에 따른 글래스의 제조 공정은 레이저를 조사하여 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시키는 단계(S20), 1차로 화학적 에칭하여 글래스를 컷팅하는 단계(S30)를 포함한다. 또한, 추가로, 2차로 2차로 화학적 회전 에칭하는 단계(S70)를 더 포함할 수 있다.

도 22의 실시예에 따른 표시 장치의 제조 방법은 글래스(100)의 상하면에 레진(200)을 형성하는 단계가 생략되었다는 점을 제외하고는 도 1의 실시예에 따른 제조 방법과 동일할 수 있다. 동일한 구성요소에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

도 23은 레이저 조사 공정을 도시한 것이다. 도 23을 참고로 하면, 레이저를 조사하여 글래스에 홈을 형성하거나 물성을 변화시킨다(S20). 도 24는 레이저 조사 후 글래스(100)에 홈(110)이 형성된 구성을 도시한 것이다. 도 24에 도시된 바와 같이 레이저 조사 선을 따라 글래스(100)에 복수개의 홈(110)이 형성될 수 있다.

도 25는 레이저 조사 후 글래스(100)의 물성이 변한 구성을 도시한 것이다. 도 25에 도시된 바와 같이 레이저 조사선을 따라 글래스(100)의 물성이 변할 수 있다. 도 25에서 글래스(100)에 레이저가 조사된 조사 영역(120)을 도시하였다. 레이저가 조사된 조사 영역(120)의 물성은 다른 글래스(100) 영역과 상이하며, 이후 화학적 에칭등의 공정에서 식각액이 침투하기 용이해질 수 있다.

도 26은 1차로 화학적 에칭하는 공정을 도시한 것이다. 도 26을 참고로 하면 레이저가 조사된 글래스(100)를 1차로 화학적 에칭한다(S30). 도 26에 도시된 바와 같이 챔버(700) 내에 식각액 조성물이 담겨 있고, 챔버(700) 내에서 글래스(100)가 이동하면서 식각액 조성물에 의해 노출된다. 도 24 및 도 25에서와 같이 글래스(100)에 형성된 홈(110)이나 물성이 달라진 조사 영역(120)으로 식각액 조성물이 침투하며, 글래스(100)가 식각되어 레이저 조사선을 따라 분리될 수 있다.

도 27은 챔버(700) 내에 투입될 때의 글래스의 형상이다. 도 28은 1차 화학적 에칭 후 글래스의 형상이다. 도 27과 같은 상태로 식각액 조성물이 담긴 챔버(700) 내에 투입된 글래스(100)는 챔버(700) 내에서의 화학적 에칭에 의해 도 28과 같이 서로 분리될 수 있다. 이때 화학적 식각에 의해 글래스가 분리될 뿐 아니라, 글래스의 측면에 곡면이 형성될 수 있다.

도 29는 1차 화학적 식각 후 분리된 글래스(100)를 도시한 것이다. 도 30은 도 29의 글래스(100)를 도시한 것이다. 도 29 및 도 30에 도시된 바와 같이 1차 화학적 식각 후 글래스(100)의 측면에 곡면이 형성된다. 이는 1차 화학적 에칭 과정에서 식각액 조성물이 침투하면서 글래스(100)의 측면이 식각되기 때문이다. 이러한 1차 식각에 의해 도 29 및 도 30에 도시된 바와 같이 글래스(100)의 측면이 곡면을 갖는다. 이때 곡면의 곡률 반경 R은 글래스(100)의 두께(d)보다 클 수 있다.

도 31은 1차 에칭된 글래스를 2차 에칭하는 공정을 도시한 것이다. 2차 에칭은 챔버(700) 내에서 회전 날개(710)에 의한 회전 에칭으로 수행될 수 있다. 도 32는 도 31의 2차 에칭 후의 글래스(100)를 도시한 것이다. 도 32에 도시된 바와 같이 2차 화학적 식각 후 형성된 글래스(100)의 곡면의 곡률 반경 R은 글래스(100)의 두께(d)의 1/2일 수 있다. 즉, 도 32에 도시된 바와 같이 1차 에칭 후 2차 에칭을 통해 곡면이 형성된 글래스(100)의 곡률 반경은 정곡률 또는 이와 유사 수준일 수 있다. 구체적으로, 2차 화학적 식각 후 형성된 글래스(100)의 곡면의 지름 2R과 글래스(100)의 두께(d)의 차이는 10% 이내일 수 있다.

이렇게 글래스(100)의 곡면이 정곡률에 유사하게 형성되는 경우 측면에 가해지는 충격 강도를 높일 수 있다.

이상에서 본 발명의 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

100; 글래스 200: 레진
300: 적층체 700: 챔버

Claims (20)

1. 글래스의 양면에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계;
   상기 적층체에 레이저를 조사하여 레이저 조사선을 따라 레진을 제거하는 단계;
   상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계;
   상기 복수 개의 적층체를 수직 적층하는 단계;
   상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
2. 제1항에서,
   상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
   상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
3. 제1항에서,
   상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
   상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변하는 표시 장치의 제조 방법.
4. 제1항에서,
   상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계 이후 상기 글래스의 측면의 곡률 반경이,
   상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후 상기 글래스의 측면의 곡률 반경보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
5. 제1항에서,
   상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계에서,
   상기 글래스 측면의 곡률 반경은 상기 글래스의 두께보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
6. 제1항에서,
   상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후,
   상기 글래스 측면의 곡률 직경과 상기 글래스의 두께의 차이는 10% 이하인 표시 장치의 제조 방법.
7. 제1항에서,
   상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛인 표시 장치의 제조 방법.
8. 제1항에서,
   상기 복수의 적층체가 적층된 구조물을 2차로 회전 에칭하는 단계 이후,
   상기 구조물에서 레진을 제거하여 상기 글래스를 개별로 분리하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
9. 글래스의 양면에 레진을 적층하여 적층체를 형성하는 단계;
   상기 적층체에 레이저를 조사하여 레이저 조사선을 따라 레진을 제거하는 단계;
   상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계;
   상기 적층체에서 레진을 제거하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
10. 제9항에서,
    상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
    상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
11. 제9항에서,
    상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
    상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변하는 표시 장치의 제조 방법.
12. 제9항에서,
    상기 적층체를 식각액 조성물을 이용하여 1차로 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계에서,
    상기 글래스 측면의 곡률 반경은 상기 글래스의 두께보다 큰 표시 장치의 제조 방법.
13. 제9항에서,
    상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛인 표시 장치의 제조 방법.
14. 글래스에 레이저를 조사하는 단계;
    상기 레이저가 조사된 글래스를 식각액 조성물을 이용하여 에칭하여 복수 개로 분리하는 단계를 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
15. 제14항에서,
    상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
    상기 글래스에 상기 레이저의 조사선을 따라 복수개의 홈이 형성되는 표시 장치의 제조 방법.
16. 제14항에서,
    상기 적층체에 레이저를 조사하여 레진을 제거하는 단계에서,
    상기 글래스는 상기 레이저의 조사선을 따라 물성이 변하는 표시 장치의 제조 방법.
17. 제14항에서,
    상기 레이저가 조사된 글래스를 식각액 조성물을 이용하여 에칭하여 복수개로 분리하는 단계 이후,
    상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계를 더 포함하는 표시 장치의 제조 방법.
18. 제18항에서,
    상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계 이후,
    상기 글래스 측면의 곡률 직경과 상기 글래스의 두께의 차이는 10% 이하인 표시 장치의 제조 방법.
19. 제17항에서,
    상기 분리된 개별 글래스를 2차로 에칭하는 단계는 회전 에칭으로 수행되는 표시 장치의 제조 방법.
20. 제14항에서,
    상기 글래스의 두께는 30 ㎛ 내지 100 ㎛인 표시 장치의 제조 방법.

Images