KR20220090521A - 회전 위치 결정 장치 - Google Patents

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KR20220090521A
KR20220090521A KR1020227015270A KR20227015270A KR20220090521A KR 20220090521 A KR20220090521 A KR 20220090521A KR 1020227015270 A KR1020227015270 A KR 1020227015270A KR 20227015270 A KR20227015270 A KR 20227015270A KR 20220090521 A KR20220090521 A KR 20220090521A
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rotation member
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KR1020227015270A
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나오유키 다카하시
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가부시끼가이샤 산쿄 세이사쿠쇼
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Abstract

회전 각도를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정하는 것이 가능한 회전 위치 결정 장치를 제공한다. 회전 위치 결정 장치(100)는, 하우징(101)과, 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전 가능한 회전 부재(102)로서, 그 적어도 일부가 하우징(101) 내에 수용되어 있는, 회전 부재(102)와, 하우징(101)에 설치된 적어도 1개의 센서(104)를 구비하며, 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 회전 부재(102)에 일체로 형성되고, 적어도 1개의 센서(104)는, 복수의 눈금에 기초하여 회전 부재(102)의 회전에 의한 각도 변화량을 검출하고, 회전 부재(102)는, 각도 변화량에 기초하여 목표 각도 위치에 위치 결정된다.

Description

회전 위치 결정 장치
본 발명은, 회전 각도를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정하는 것이 가능한 회전 위치 결정 장치에 관한 것이다.
회전 위치 결정 장치는, 일반적으로, 모터 등의 구동력이 입력되는 입력축과, 공작 기계의 가공 워크 등을 적재하기 위한 회전 테이블이 장착되는 출력축을 가지며, 입력축이나 출력축에 장착된 인코더 등의 각도 검출기에 의해, 회전 테이블의 회전에 의한 각도 변화량을 검출하고, 검출된 각도 변화량을 바탕으로 드라이버 및 모터를 제어함으로써, 회전 테이블을 회전시켜 목표 각도 위치에 위치 결정한다.
특허문헌 1에는, 서로 입체 교차하는 2개의 회전축선의 둘레로 각각 회전 가능하게 마련되고, 서로 맞물려진 롤러 기어와 롤러 기어 캠을 포함하는 롤러 터렛 캠 인덱스 장치가 개시되어 있다. 이 롤러 터렛 캠 인덱스 장치에 있어서는, 회전 각도 검출기인 인코더를, 어댑터에 의해 하우징에 고정하고, 인코더의 입력축을, 커플링에 의해 롤러 기어의 롤러 기어축에 상대 회전 불가능하게 접속하여, 롤러 기어축의 회전을 인코더에 의해 검출한다. 인코더에 의한 검출값은, 롤러 기어의 회전 정지 위치, 즉 산출 위치를 나타낸다.
특허문헌 2에는, 워크가 탑재되는 원 테이블과, 원 테이블을 지지하는 회전축과, 회전축을 회전 가능하게 지지하는 프레임과, 프레임과 회전축의 사이에 수용되는 모터를 구비하는 회전 테이블 장치가 개시되어 있다. 모터를 구동시키면, 프레임에 대하여 원 테이블이 회전축과 함께, 회전축의 축선을 중심으로 회전하여, 그 각도 위치가 산출된다. 회전축은, 2개의 축 부재로 이루어지고, 양쪽 축 부재를 그들의 축선을 일치시킨 상태로 조합하고, 나사 부재에 의해 연결한 구성이다. 프레임과 회전축의 사이에 고리 형상의 공간부가 존재하고, 공간부에, 모터, 스러스트 베어링, 레이디얼 베어링, 회전 검출기가 마련된다. 회전 검출기는, 회전축의 회전량을 검출하기 위한 인코더와, 인코더에 검출되는 피검출자를 구비하며, 회전축의 일방의 축 부재에 별도 마련된 피검출자를, 프레임에 마련된 인코더가 검출하고, 인코더로부터의 검출 신호에 기초하여 회전축의 회전량이 검출된다.
일본공개특허 특개2000-158293호 공보 일본공개특허 특개2010-99789호 공보 일본공개특허 특개2006-98392호 공보 일본공개특허 특개2011-99802호 공보 일본공개특허 특개2011-99804호 공보
특허문헌 1의 롤러 터렛 캠 인덱스 장치에 있어서는, 인코더를 외장형으로 하고 있기 때문에, 인코더의 체적만큼, 롤러 터렛 캠 인덱스 장치의 사이즈가 대형화되고, 나아가서는 고비용화로 연결된다는 문제점이 있다. 또한, 인코더를 외장형으로 하는 경우, 인코더의 입력축과 롤러 기어축을 접속할 때의 조립 시에, 인코더의 입력축의 회전축선과 롤러 기어축의 회전축선의 사이의 오프셋, 이른바 정렬 불량이 생겨, 이 정렬 불량에 의한 조립 오차의 영향을 받음으로써, 인코더에 의해 검출된 롤러 기어의 각도 변화량에 오차가 생기고, 나아가서는 롤러 기어의 목표 각도 위치에도 오차가 생긴다는 문제점이 있다. 또한, 롤러 기어는 통상, 중공(中空)으로 되어 있지만, 인코더를 외장형으로 하는 경우, 구조상, 중공의 일방의 개구가 막혀 버리므로, 중공을 개재하여 케이블, 유압 부품 등을 관통할 수 없다는 문제점이 있다.
특허문헌 2의 회전 테이블 장치에 있어서는, 회전축이 2개의 축 부재로 이루어지고, 양쪽 축 부재를 그들의 축선을 일치시킨 상태로 조합하고 있지만, 인용문헌 1과 마찬가지로, 2개의 축 부재를 조합할 때의 조립 시에 정렬 불량이 생기고, 또한, 회전축의 일방의 축 부재에 피검출자를 별도 마련할 때의 조립 시에도 정렬 불량이 생겨, 이러한 정렬 불량에 의한 조립 오차의 영향을 받음으로써, 회전 검출기에 의해 검출된 회전축의 각도 변화량에 오차가 생기고, 나아가서는 회전축의 목표 각도 위치에도 오차가 생긴다는 문제점이 있다. 또한, 베어링의 궤도면이 회전축에 별도 마련되어 있어, 궤도면을 별도 마련할 때의 조립 시에 있어서의 조립 오차에 의해, 회전 검출기에 의해 검출된 회전축의 각도 변화량에 오차가 생기고, 나아가서는 회전축의 목표 각도 위치에도 오차가 생긴다는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 상기 문제점을 해결하여, 회전 각도를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정하는 것이 가능한 회전 위치 결정 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 1개의 관점에 의하면, 회전 위치 결정 장치가, 하우징과, 회전 부재 축선을 중심으로 회전 가능한 회전 부재로서, 회전 부재의 적어도 일부가 하우징 내에 수용되어 있는, 회전 부재와, 하우징에 설치된 적어도 1개의 센서를 구비하며, 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일이, 회전 부재의 원주 방향을 따라 회전 부재에 일체로 형성되고, 적어도 1개의 센서가, 복수의 눈금에 기초하여 회전 부재의 회전에 의한 각도 변화량을 검출하고, 회전 부재가, 각도 변화량에 기초하여 목표 각도 위치에 위치 결정된다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 눈금 스케일이, 회전 부재 축선에 대하여 방사 방향으로 또는 회전 부재 축선에 대하여 평행 방향으로, 회전 부재에 일체로 형성되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 하우징에는, 적어도 1개의 시트부가 마련되고, 적어도 1개의 센서의 각각이, 각 센서의 위치 및 각 센서와 눈금의 사이의 간극을 획정하도록 그 대응하는 시트부에 설치되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 적어도 1개의 시트부가, 센서 플랜지를 개재하여 하우징에 마련된다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 센서 플랜지에는, 회전 부재의 적어도 일부를 통과시키기 위한 회전 부재 구멍이 마련되고, 회전 부재 구멍의 중심 축선이 회전 부재 축선과 정렬되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 적어도 1개의 시트부가, 회전 부재의 원주 방향을 따라 마련된 2개 이상의 시트부이며, 2개 이상의 시트부가, 회전 부재 축선으로부터의 거리가 동일해지도록, 또한 인접하는 시트부간의 거리가 동일해지도록 마련되고, 적어도 1개의 센서가, 2개 이상의 센서이며, 2개 이상의 센서의 각각이, 2개 이상의 시트부 중 어느 것에 설치되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치가, 하우징에 대하여 회전 부재의 회전을 지지하기 위한 베어링을 더 구비하고, 베어링의 궤도면이, 회전 부재에 일체로 형성되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 눈금 스케일이, 하우징 내에 수용되어 있는 회전 부재의 부분에 일체로 형성되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 회전 부재가 출력축으로서, 출력축의 단부(端部)에는 회전 테이블이 마련되고, 눈금 스케일이, 회전 테이블에 인접하는 출력축의 부분에 일체로 형성되어 있다.
본 발명의 일 구체예에 의하면, 회전 위치 결정 장치에 있어서, 회전 부재가 입력축이며, 회전 위치 결정 장치가, 출력 축선을 중심으로 회전 가능한 출력축으로서, 출력축의 원주 방향을 따라 전달 기구가 설치된 출력축을 더 구비하고, 출력축이, 입력축이 전달 기구에 접촉함으로써 입력축의 회전에 따라 회전할 수 있다.
본 발명에 의하면, 회전 위치 결정 장치는, 고정밀도로 회전 부재의 각도 변화량을 검출할 수 있고, 나아가서는 회전 부재를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다.
또한, 본 발명의 다른 목적, 특징 및 이점은, 첨부 도면에 관한 이하의 본 발명의 실시예의 기재로부터 분명해질 것이다.
도 1은, 본 발명의 일 실시형태로서의, 눈금 스케일이 회전 부재 축선에 대하여 방사 방향으로 일체로 형성되는, 회전 위치 결정 장치의 단면도이다.
도 2는, 본 발명의 다른 실시형태로서의, 눈금 스케일이 회전 부재 축선에 대하여 평행 방향으로 일체로 형성되는, 회전 위치 결정 장치의 단면도이다.
도 3은, 본 발명의 다른 실시형태로서의, 눈금 스케일이 회전 부재 축선에 대하여 평행 방향으로 일체로 형성되는, 회전 위치 결정 장치의 일부 단면도이다.
도 4a는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 4b는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 내부의 사시도이다.
도 4c는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서의 사시도이다.
도 4d는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서 플랜지의 상방 및 하방으로부터 본 사시도이다.
도 4e는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서 플랜지의 저면도이다.
도 5a는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 사시도이다.
도 5b는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 내부의 사시도이다.
도 5c는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서의 사시도이다.
도 5d는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서 플랜지의 상방 및 하방으로부터 본 사시도이다.
도 5e는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치에 있어서의 센서 플랜지의 저면도이다.
도 6a는, 본 발명의 다른 실시형태로서의, 눈금 스케일이 회전 부재 축선에 대하여 방사 방향으로 일체로 형성되는, 회전 위치 결정 장치의 내부의 일부 사시도이다.
도 6b는, 본 발명의 다른 실시형태로서의, 눈금 스케일이 회전 부재 축선에 대하여 평행 방향으로 일체로 형성되는, 회전 위치 결정 장치의 내부의 일부 사시도이다.
도 7a는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 내부의 사시도이다.
도 7b는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치의 일부 단면도이다.
도 8a는, 본 발명에 의한 지령 위치에 대한 위치 결정 정밀도를 나타내는 도이다.
도 8b는, 종래 기술에 의한 지령 위치에 대한 위치 결정 정밀도를 나타내는 도이다.
도 9a는, 본 발명에 의한 회전 위치 결정 장치의 단면도이다.
도 9b는, 종래 기술에 의한 회전 위치 결정 장치의 단면도이다.
도 10a는, 일 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기의 개략도이다.
도 10b는, 도 10a의 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기의 각 센서에 의한 눈금 번호에 대한 위치 결정 정밀도를 나타내는 도이다.
도 10c는, 도 10a의 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기로부터 산출된 눈금 번호에 대한 자기 교정값을 나타내는 도이다.
도 10d는, 다른 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기의 개략도이다.
도 11a는, 본 발명의 일 실시형태로서의 위치 결정 제어 방법의 도이다.
도 11b는, 본 발명의 다른 실시형태로서의 위치 결정 제어 방법의 도이다.
이하, 본 발명의 실시예에 관하여 도면을 참조하여 설명하지만, 본 발명은 이들 실시예에 한정되는 것은 아니다.
먼저 도 1∼도 3을 참조하여, 본 발명에 의한 몇 가지의 실시형태로서의 회전 위치 결정 장치(100)에 관하여 설명한다. 도 1∼도 3은, 회전 위치 결정 장치(100)의 단면도를 나타낸다. 회전 위치 결정 장치(100)는, 하우징(101)과, 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전 가능한 회전 부재(102)와, 하우징(101)에 설치되어 있는, 각도 검출기로서의 적어도 1개의 센서(104)를 구비한다. 도 1에 있어서는, 회전 부재(102)는, 전체가 하우징(101) 내에 수용되어 있지만, 회전 부재(102)의 적어도 일부가 하우징(101) 내에 수용되어 있어도 된다. 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 회전 부재(102)에 일체로 형성된다.
눈금 스케일(105)의 눈금은, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라, 도 1에 나타내는 바와 같이, 회전 부재 축선(103)에 대하여 방사 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성되어도 되고, 또는 도 2에 나타내는 바와 같이, 회전 부재 축선(103)에 대하여 평행 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성되어도 된다. 눈금은, 기어 형상으로 회전 부재(102)에 일체로 형성된 것이어도 되고, 또는 선 형상으로 회전 부재(102)를 새긴 것이어도 된다. 또한, 눈금은, 시각적으로 인식할 수 있는 것뿐만 아니라, 눈금 스케일(105)에 있어서의 소정의 위치 간격을 1눈금분의 간격으로 하여 센서(104)에 대하여 판독하게 할 수 있는 것이면 된다. 눈금 스케일(105)은, 회전 부재(102) 중의 어느 부분의 원주 방향을 따라, 회전 부재(102)에 일체로 형성되어도 된다. 예를 들면, 눈금 스케일(105)은, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)의 하측의 부분에 형성되어도 되고, 도 3에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)의 상측의 부분에 형성되어도 된다. 또한, 눈금 스케일(105)은, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 하우징(101) 내에 있는 회전 부재(102)의 부분에 형성되어도 되고, 도 3에 나타내는 바와 같이, 하우징(101) 밖에 있는 회전 부재(102)의 부분에 형성되어도 된다.
회전 위치 결정 장치(100)에 있어서 회전 부재(102)가 출력축인 경우에는, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 출력축으로서의 회전 부재(102)의 단부에는 회전 테이블(113)이 마련된다. 회전 테이블(113)은, 회전 부재(102)가 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전하면, 그에 따라 회전한다. 눈금 스케일(105)은, 도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 하우징(101) 내에 수용되어 있는 출력축으로서의 회전 부재(102)의 부분에 일체로 형성되어도 된다. 눈금 스케일(105)은, 회전 부재(102)의 하측의 부분에 형성되어도 되고, 회전 부재(102)의 상측의 부분에 형성되어도 된다. 출력축으로서의 회전 부재(102)에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성함으로써, 회전 테이블(113)의 각도 변화량을 고정밀도로 검출할 수 있고, 그리고 회전 테이블(113)을 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 또한, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)에는 전달 기구(114)가 마련되어도 되고, 입력축으로부터의 구동력을, 전달 기구(114)를 개재하여 전달하여, 출력축으로서의 회전 부재(102)를 회전시켜도 된다. 또한, 회전 부재(102)에는 전달 기구(114)가 마련되어 있지 않아도 되고, 회전 부재(102)에 모터 등의 구동 장치를 직접 접속하여, 회전 부재(102)를 회전시켜도 된다.
눈금 스케일(105)은, 회전 테이블(113)에 인접하는 출력축으로서의 회전 부재(102)의 부분에 일체로 형성되어도 된다. 예를 들면, 눈금 스케일(105)은, 도 3에 나타내는 바와 같이, 하우징(101)과 회전 테이블(113)의 사이의 출력축으로서의 회전 부재(102)의 부분에 일체로 형성되어도 된다. 눈금 스케일(105)을 회전 테이블(113)에 인접하도록 출력축으로서의 회전 부재(102)에 일체로 형성함으로써, 더 회전 테이블(113)의 각도 변화량을 고정밀도로 검출할 수 있고, 그리고 회전 테이블(113)을 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다.
센서(104)는, 눈금 스케일(105)의 눈금을 판독할 수 있으면 특별히 원리는 따지지 않는다. 센서(104)로서는, 예를 들면, 광학식 센서, 자기식 센서, 코일 등이 있다. 예를 들면, 센서(104)로서 광학식 센서를 설치하는 경우에는, 빛의 반사 상태나 투과 상태를 변화시키기 위하여, 선 형상으로 회전 부재(102)를 새긴 것을 눈금으로 하여 회전 부재(102)에 일체로 형성하고, 센서(104)로서 자기식 센서를 설치하는 경우에는, 자극(磁極)을 변화시키기 위하여, 기어 형상으로 회전 부재(102)에 구성된 것을 눈금으로 하여 회전 부재(102)에 일체로 형성해도 된다. 센서(104)가, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 회전 부재(102)에 일체로 형성된 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)을 판독하는 것에 의해, 복수의 눈금에 기초하여, 회전 부재(102)의 회전에 의한 각도 변화량이 검출된다. 이와 같이, 회전 부재(102)에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성함으로써, 눈금 스케일(105)에 의한 정렬 불량의 영향을 작게 할 수 있어, 회전 위치 결정 장치(100)는, 고정밀도로 회전 부재(102)의 각도 변화량을 검출할 수 있고, 그리고 회전 부재(102)를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 또한, 회전 위치 결정 장치(100)의 컴팩트화와 부품수 삭감을 실현하여, 비용도 저감할 수 있다.
하우징(101)에는, 적어도 1개의 센서(104)를 설치하기 위한 적어도 1개의 시트부(106)가 마련된다. 하우징(101)에 2개 이상의 시트부(106)가 마련되는 경우에는, 각 시트부(106)는, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 마련되고, 각 시트부(106)는, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)으로부터의 거리가 동일해지도록, 또한 인접하는 시트부(106) 사이의 거리가 동일해지도록 마련된다. 각 센서(104)는, 2개 이상의 시트부(106) 중 어느 것에 설치된다. 또한, 모든 시트부(106)에 센서(104)를 설치하지 않아도 되고, 임의의 시트부(106)에만 센서(104)를 설치해도 된다. 각 센서(104)는 그 대응하는 시트부(106)에 설치되어, 회전 부재(102)에 대한 각 센서(104)의 위치가 획정되고, 각 센서(104)와 눈금 스케일(105)의 눈금의 사이의 간극(107)(P)이 획정된다. 시트부(106)에 의해, 간극(107)(P)이 보증되고, 또한, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)으로부터의 각 센서(104)의 거리가 결정된다. 2개 이상의 센서(104)가 설치되는 경우에는 인접하는 2개의 센서(104) 사이의 거리가 결정되고, 각 센서(104)가 눈금 스케일(105)의 눈금을 판독하기 위한 위치(Q)가 보증된다. 이에 의해, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)에 대하여, 센서(104) 및 눈금 스케일(105)이 위치 결정되어 있어, 회전 위치 결정 장치(100)는, 고정밀도로 회전 부재(102)의 각도 변화량을 검출할 수 있고, 그리고 회전 부재(102)를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다.
회전 위치 결정 장치(100)는, 하우징(101)에 대하여 회전 부재(102)의 회전을 지지하기 위한 베어링(111)을 더 구비해도 된다. 베어링(111)의 궤도면(112)은, 도 1∼도 3에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)에 일체로 형성되어도 된다. 이에 의해, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)에 대하여, 센서(104), 눈금 스케일(105), 및 베어링(111)이 위치 결정되어 있어, 회전 위치 결정 장치(100)는, 고정밀도로 회전 부재(102)의 각도 변화량을 검출할 수 있고, 그리고 회전 부재(102)를 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 또한, 궤도면(112)에 대응하는 하우징(101)의 부분의 내경(D1)의 중심 축선은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)과 정렬하도록 되어 있다. 또한, 도 1∼도 3에 있어서는, 베어링(111)으로서 레이디얼 베어링(111a), 제 1 스러스트 베어링(111b), 및 제 2 스러스트 베어링(111c)이 마련되어 있지만, 베어링의 형상은 이에 한정되는 것은 아니고, 베어링(111)의 궤도면(112)이, 회전 부재(102)에 일체로 형성되어 있으면 된다.
도 4a∼도 4e는, 도 1의 실시형태의 회전 위치 결정 장치(100)에 관련되며, 회전 부재(102)를 출력축으로 하고, 출력축으로서의 회전 부재(102)의 단부에는 회전 테이블(113)이 마련된다. 복수의 대략 등간격의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라, 회전 부재 축선(103)에 대하여 방사 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성된다. 또한, 회전 위치 결정 장치(100)는, 제 2 회전 부재 축선(120)을 중심으로 회전 가능한 제 2 회전 부재(119)를 더 구비해도 된다. 도 4b의 회전 위치 결정 장치(100)에 있어서는, 회전 부재(102)를 출력축으로 하고, 제 2 회전 부재(119)를 입력축으로 하는 롤러 기어 캠 기구가 채용되며, 제 2 회전 부재(119)는, 스크루 형상의 캠 리브를 갖는, 제 2 회전 부재 축선(120)을 중심으로 회전 가능한 캠이고, 회전 부재(102)는, 제 2 회전 부재 축선(120)에 직교하는 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전 가능하다. 회전 부재(102)에는, 그 원주 방향을 따라, 전달 기구(114)로서의 복수의 베어링이 배치된다. 제 2 회전 부재(119)에는 모터(121)가 접속되고, 모터(121)가 구동하여 제 2 회전 부재(119)를 제 2 회전 부재 축선(120)을 중심으로 회전시킴으로써, 캠의 입력 토크를 전달 기구(114)로서의 복수의 베어링을 개재하여 회전 부재(102)에 전달하여, 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전 부재(102)를 회전시킨다. 전달 기구(114)로서의 복수의 베어링의 각각은, 제 2 회전 부재(119)의 캠 리브에 대하여 구름 접촉해도 되고, 롤러 팔로어 또는 캠 팔로어여도 된다. 또한, 전달 기구(114)로서의 복수의 베어링의 각각은, 축 부재, 축 부재의 외주면을 따라 회전 가능한 외륜부 등을 구비하며, 축 부재와 외륜부의 사이에 굴림대 등을 포함하는 구름 접촉의 베어링이어도 되고, 굴림대 등을 포함하지 않는 슬라이딩 접촉의 베어링이어도 된다. 이 경우, 축 부재가, 회전 부재(102)에 직접 감합(嵌合)되어도 된다.
도 4b에 있어서는, 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)는 장구형 캠이지만, 원통형 캠(cylindrical cam, barrel cam), 북형 캠(globoidal cam)이어도 된다. 또한, 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)와 출력축으로서의 회전 부재(102)는 외접하는 위치 관계에 있지만, 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)의 캠의 형상에 따라, 내접하는 위치 관계에 있어도 된다. 또한, 도 4b의 회전 위치 결정 장치(100)에 있어서는 롤러 기어 캠 기구가 채용되어 있지만, 제 2 회전 부재(119)의 입력 토크를 회전 부재(102)에 전달 기구(114)를 개재하여 전달할 수 있는 것이면 되고, 예를 들면, 배럴 캠 기구가 채용되어도 되고, 기어 기구가 채용되어도 된다.
적어도 1개의 시트부(106)는, 도 4d, 도 4e에 나타내는 센서 플랜지(108)를 개재하여 하우징(101)에 마련되어도 된다. 즉, 센서(104)는, 센서 플랜지(108)에 마련된 시트부(106)를 개재하여 하우징(101)에 설치된다. 도 4c에, 센서 플랜지(108)의 시트부(106)에 설치하기 위한 센서(104)의 형상을 나타낸다. 센서 플랜지(108)에는, 회전 부재(102)의 적어도 일부를 통과시키기 위한 회전 부재 구멍(109)이 마련된다. 회전 부재 구멍(109)의 중심 축선(110)은, 도 1에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)과 정렬하도록 되어 있다. 그리고, 센서 플랜지(108)에 대응하는 하우징(101)의 부분의 내경(D2)의 중심 축선도 또한, 도 1에 나타내는 바와 같이, 회전 부재(102)의 회전 부재 축선(103)과 정렬하도록 되어 있고, 그 결과, 회전 부재 구멍(109)의 중심 축선(110)과도 정렬하도록 되어 있다. 센서 플랜지(108)를 개재하여 센서(104)를 하우징(101)에 설치함으로써, 센서 플랜지(108)에 의해 센서(104)의 위치가 결정되어, 회전 위치 결정 장치(100)의 조립 후라도, 센서(104)의 위치를 조정하는 것이 용이해진다. 센서 플랜지(108)는, 하우징(101)에 센서 플랜지(108)를 장착하기 위한 센서 플랜지(108)의 장착면으로부터, 센서 플랜지(108)에 설치된 센서(104)까지의 거리(A)를 획정하고, 간극(107)(P)을 보증한다. 또한, 센서 플랜지(108)는, 회전 부재 구멍(109)의 중심 축선(110)으로부터의 시트부(106)의 거리(B)를 획정하고, 회전 부재 구멍(109)의 원주 방향의 시트부(106)의 위치(C)를 획정하고, 센서(104)가 눈금 스케일(105)의 눈금을 판독하기 위한 위치(Q)를 보증한다. 또한, 센서 플랜지(108)에는, 케이블 구멍(118)이 마련되어도 되며, 케이블 구멍(118)을 개재하여 케이블을 센서(104)에 접속하여, 센서(104)에 의해 검출된 회전 부재(102)의 회전에 의한 각도 변화량에 관한 신호를 받을 수 있도록 해도 된다.
도 1, 도 2에 나타내는 바와 같이, 하우징(101)에는 시일 플랜지(115)가 마련되어도 되고, 센서 플랜지(108)와 시일 플랜지(115)에 의해, 그들의 사이에 센서·케이블 설치 공간(117)이 마련되어도 된다. 회전 부재(102)와 센서 플랜지(108)의 사이에 시일(116)을 마련하여, 윤활제가 센서·케이블 설치 공간(117)에 들어가지 않도록 해도 되고, 또한, 회전 부재(102)와 시일 플랜지(115)의 사이에 시일(116)을 마련하여, 센서·케이블 설치 공간(117)을 외부 공간으로부터 격리해도 된다.
도 5a∼도 5e는, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치(100)에 관련되고, 대체로 도 4a∼도 4e와 동일하지만, 도 5b에 나타내는 바와 같이, 복수의 대략 등간격의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라, 회전 부재 축선(103)에 대하여 평행 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성되는 점에 있어서 상이하다. 또한, 형성되는 눈금 스케일(105)에 따라, 도 5d, 도 5e에 나타내는 바와 같이, 센서 플랜지(108)의 형상은 변경되고, 도 5c에 나타내는 바와 같이, 센서(104)의 형상은 변경된다.
회전 위치 결정 장치(100)에 있어서는, 공작 기계의 가공 워크 등을 적재하기 위한 회전 테이블(113)의 회전에 의한 각도 변화량을 검출할 수 있으면 되므로, 도 4d, 도 5d에 나타내는 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성해도 된다. 이 경우에는, 도 6a, 도 6b에 나타내는 바와 같이, 회전 위치 결정 장치(100)는, 하우징(101)과, 제 2 회전 부재 축선(120)을 중심으로 회전 가능한 제 2 회전 부재(119)와, 하우징(101)에 설치되어 있는, 각도 검출기로서의 적어도 1개의 센서(104)를 구비한다. 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)이, 제 2 회전 부재(119)의 원주 방향을 따라 제 2 회전 부재(119)에 일체로 형성된다. 눈금 스케일(105)의 눈금은, 제 2 회전 부재(119)의 원주 방향을 따라, 도 6a에 나타내는 바와 같이, 제 2 회전 부재 축선(120)에 대하여 방사 방향으로 제 2 회전 부재(119)에 일체로 형성되어도 되고, 또는 도 6b에 나타내는 바와 같이, 제 2 회전 부재 축선(120)에 대하여 평행 방향으로 제 2 회전 부재(119)에 일체로 형성되어도 된다. 회전 위치 결정 장치(100)는, 회전 부재 축선(103)을 중심으로 회전 가능한 출력축으로서의 회전 부재(102)를 더 구비하고, 출력축으로서의 회전 부재(102)에는, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 전달 기구(114)가 설치되며, 출력축으로서의 회전 부재(102)는, 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)가 전달 기구(114)에 접촉함으로써 제 2 회전 부재(119)의 회전에 따라 회전할 수 있다. 또한, 이 경우, 회전 부재(102)에 눈금 스케일(105)을 반드시 형성할 필요는 없고, 또한 회전 부재(102)와 제 2 회전 부재(119)의 양방에 눈금 스케일(105)을 형성해도 된다.
이와 같이, 입력축에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성함으로써, 회전 위치 결정 장치(100)의 사이즈를 작게 할 수 있다. 또한, 입력축과 출력축의 사이의 각도 전달 정밀도가 좋은 경우에는, 출력축에 각도 검출기를 설치하는 것보다 저정밀도로 할 수 있다. 예를 들면, 입력축과 출력축의 사이의 감속비를 16으로 하고, 출력축의 목표 위치 결정 정밀도를 22bit(360°/222)로 한 경우에는, 출력축에 각도 검출기를 설치하는 경우에는 직접 22bit의 정밀도가 필요해지지만, 입력축에 각도 검출기를 설치하는 경우에는 4bit분(16=24) 저정밀도, 즉 18bit로도 동등한 정밀도를 실현할 수 있어, 비용을 저감할 수 있다.
도 7a, 도 7b에, 도 2의 실시형태의 회전 위치 결정 장치(100)의 내부의 확대도를 나타낸다. 용도에 따라, 회전 위치 결정 장치(100)의 사이즈는 변경되지만, 어느 사이즈라도, 마찬가지로 회전 부재(102)에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성하고, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 센서(104)를 설치할 뿐이어서, 사이즈에 제한되지 않는 회전 위치 결정 장치(100)를 실현할 수 있다.
도 8a에, 회전 부재(102)와 눈금 스케일(105)의 사이에 정렬 불량이 없는 경우의 지령 위치에 대한 위치 결정 정밀도의 예를 나타내고, 도 8b에, 회전 부재(102)와 눈금 스케일(105)의 사이에 정렬 불량이 있는 경우의 지령 위치에 대한 위치 결정 정밀도의 예를 나타낸다. 회전 부재(102)에 눈금 스케일(105)을 일체로 형성하는 것에 의해, 출력축으로서의 회전 부재(102)의 목표 각도 위치인 지령 위치에 대하여 위치 결정 정밀도가, 최대 약 800arcsec에서 최대 약 200arcsec로, 약 600arcsec 개선된 구체예이다.
도 9a에, 눈금 스케일(105)을, 하우징(101) 내에 수용되어 있는 회전 부재(102)의 부분에 일체로 형성하고, 하우징(101) 내의 센서·케이블 설치 공간(117)에 센서(104)를 설치한 경우의 회전 위치 결정 장치(100)의 단면도를 나타낸다. 도 9b에, 각도 검출기가 외장형으로 되어 있는 경우의 회전 위치 결정 장치를 나타낸다. 도 9b의 회전 위치 결정 장치에 있어서는, 각도 검출기로서의 외장형 인코더(122)는, 장착 베이스(123)를 개재하여 하우징에 고정되고, 인코더 칼라(124) 및 연장 플랜지(125)를 개재하여 출력축에 감합축(126)이 접속된다. 한편, 도 9a의 회전 위치 결정 장치(100)에 있어서는, 종래부터 구성상 데드 스페이스로 되어 있었던 공간에, 센서(104)가 설치되고, 눈금 스케일(105)이 형성되는 점에서, 종래와 비교하여 회전 위치 결정 장치(100)를 컴팩트화할 수 있으며, 나아가서는 부품수 삭감을 실현하여, 비용도 저감할 수 있다.
회전 위치 결정 장치(100)는, 각도 검출기로서, 특허문헌 3∼5에 개시되어 있는 바와 같은 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기를 채용해도 된다. 도 10a에 나타나 있는 바와 같은 1개의 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기에 의하면, 그 구성상, 복수의 센서(104)가, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 배치되고, 복수의 센서(104)의 각각이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 회전 부재 축선(103)에 대하여 방사 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성된 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)을 판독함으로써, 복수의 눈금에 기초하여, 회전 부재(102)의 회전에 의한 각도 변화량이 검출된다. 도 10b에, 복수의 센서(104)의 각각에 의해 검출된 각도 변화량으로부터 산출된 눈금 번호에 대한 위치 결정 정밀도를 나타낸다. 복수의 센서(104)의 각각에 의해 검출된 각도 변화량에 기초하여, 도 10c에 나타내는 각도 오차를 제거하는 교정 곡선이 산출된다. 그리고, 대표가 되는 1개의 센서(104)의 각도 변화량으로부터 이 교정 곡선에 의한 각도 오차를 빼는 것에 의해, 회전 테이블(113)의 회전에 의한 참의 각도 변화량을 산출할 수 있다. 이와 같이, 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기를 채용함으로써, 회전 테이블(113)의 각도 변화량을 고정밀도로 검출할 수 있고, 그리고 회전 테이블(113)을 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정할 수 있다. 또한, 도 10a에서는 센서의 수는 8개이지만, 2개 이상이면 된다.
또한, 도 10d에 나타내는 바와 같은 다른 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기에 의하면, 그 구성상, 복수의 센서(104)가, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 배치되고, 복수의 센서(104)의 각각이, 회전 부재(102)의 원주 방향을 따라 회전 부재 축선(103)에 대하여 평행 방향으로 회전 부재(102)에 일체로 형성된 복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일(105)을 판독함으로써, 복수의 눈금에 기초하여, 회전 부재(102)의 회전에 의한 각도 변화량이 검출된다. 도 10d에 나타내는 바와 같은 자기 교정 기능을 가지는 각도 검출기에 있어서도, 도 10b, 도 10c와 마찬가지의 결과를 얻을 수 있다. 또한, 도 10d에서는 센서의 수는 5개이지만, 2개 이상이면 된다.
도 11a에, 출력축으로서의 회전 부재(102)에 일체로서 눈금 스케일(105)이 형성된 회전 위치 결정 장치(100)에 의한 위치 결정 제어 방법의 예를 나타낸다. 도 11b에, 입력축으로서의 제 2 회전 부재(119)에 일체로서 눈금 스케일(105)이 형성된 회전 위치 결정 장치(100)에 의한 위치 결정 제어 방법의 예를 나타낸다. 회전 위치 결정 장치(100)에 있어서는, 입력축이 화살표와 같이 회전하면, 입력축의 회전 각도가 전달되어 출력축이 화살표와 같이 회전하고, 그에 따라 회전 테이블(113)도 회전한다. 각도 검출기로서의 센서(104)는, 눈금 스케일(105)의 복수의 눈금에 기초하여, 출력축 또는 입력축의 회전에 의한 각도 변화량을 검출하고, 각도 변화량은, 모터(121)를 구동하는 컨트롤러 또는 드라이버(127)에, 회전 테이블(113)의 위치 결정을 위한 참조 각도로서 통신된다. 컨트롤러 또는 드라이버(127)는, 목표 각도 위치와 참조 각도의 사이의 차에 따라 모터(121)를 제어하고, 회전 테이블(113)을 목표 각도 위치에 고정밀도로 위치 결정한다.
상기 기재는 특정한 실시예에 관하여 행해졌지만, 본 발명은 그에 한하지 않고, 본 발명의 원리와 첨부의 특허청구범위의 범위 내에서 다양한 변경 및 수정할 수 있음은 당업자에게 명백하다.
100 : 회전 위치 결정 장치
101 : 하우징
102 : 회전 부재
103 : 회전 부재 축선
104 : 센서
105 : 눈금 스케일
106 : 시트부
107 : 간극
108 : 센서 플랜지
109 : 회전 부재 구멍
110 : 중심 축선
111 : 베어링
111a : 레이디얼 베어링
111b : 제 1 스러스트 베어링
111c : 제 2 스러스트 베어링
112 : 궤도면
113 : 회전 테이블
114 : 전달 기구
115 : 시일 플랜지
116 : 시일
117 : 센서·케이블 설치 공간
118 : 케이블 구멍
119 : 제 2 회전 부재
120 : 제 2 회전 부재 축선
121 : 모터
122 : 외장형 인코더
123 : 장착 베이스
124 : 인코더 칼라
125 : 연장 플랜지
126 : 감합축
127 : 컨트롤러 또는 드라이버

Claims (10)

  1. 하우징과,
    회전 부재 축선을 중심으로 회전 가능한 회전 부재로서, 상기 회전 부재의 적어도 일부가 상기 하우징 내에 수용되어 있는, 회전 부재와,
    상기 하우징에 설치된 적어도 1개의 센서
    를 구비하는 회전 위치 결정 장치에 있어서,
    복수의 눈금을 가지는 눈금 스케일이, 상기 회전 부재의 원주 방향을 따라 상기 회전 부재에 일체로 형성되고, 상기 적어도 1개의 센서는, 상기 복수의 눈금에 기초하여 상기 회전 부재의 회전에 의한 각도 변화량을 검출하고, 상기 회전 부재는, 상기 각도 변화량에 기초하여 목표 각도 위치에 위치 결정되는, 회전 위치 결정 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 눈금 스케일은, 상기 회전 부재 축선에 대하여 방사 방향으로 또는 상기 회전 부재 축선에 대하여 평행 방향으로, 상기 회전 부재에 일체로 형성되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 하우징에는, 적어도 1개의 시트부가 마련되고, 상기 적어도 1개의 센서의 각각은, 각 센서의 위치 및 각 센서와 상기 눈금의 사이의 간극을 획정하도록 그 대응하는 시트부에 설치되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 적어도 1개의 시트부는, 센서 플랜지를 개재하여 상기 하우징에 마련되는, 회전 위치 결정 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 센서 플랜지에는, 상기 회전 부재의 적어도 일부를 통과시키기 위한 회전 부재 구멍이 마련되고, 상기 회전 부재 구멍의 중심 축선은 상기 회전 부재 축선과 정렬되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  6. 제 3 항 내지 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 적어도 1개의 시트부는, 상기 회전 부재의 원주 방향을 따라 마련된 2개 이상의 시트부이며, 상기 2개 이상의 시트부는, 상기 회전 부재 축선으로부터의 거리가 동일해지도록, 또한 인접하는 시트부간의 거리가 동일해지도록 마련되고, 상기 적어도 1개의 센서는, 2개 이상의 센서이며, 상기 2개 이상의 센서의 각각은, 상기 2개 이상의 시트부 중 어느 것에 설치되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  7. 제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전 위치 결정 장치는, 상기 하우징에 대하여 상기 회전 부재의 회전을 지지하기 위한 베어링을 더 구비하고, 상기 베어링의 궤도면이, 상기 회전 부재에 일체로 형성되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  8. 제 3 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 눈금 스케일은, 상기 하우징 내에 수용되어 있는 상기 회전 부재의 부분에 일체로 형성되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  9. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전 부재는 출력축으로서, 상기 출력축의 단부에는 회전 테이블이 마련되고, 상기 눈금 스케일은, 상기 회전 테이블에 인접하는 상기 출력축의 부분에 일체로 형성되어 있는, 회전 위치 결정 장치.
  10. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전 부재는 입력축이며, 상기 회전 위치 결정 장치는, 출력 축선을 중심으로 회전 가능한 출력축으로서, 상기 출력축의 원주 방향을 따라 전달 기구가 설치된 출력축을 더 구비하고, 상기 출력축은, 상기 입력축이 상기 전달 기구에 접촉함으로써 상기 입력축의 회전에 따라 회전할 수 있는, 회전 위치 결정 장치.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI771530B (zh) * 2018-01-31 2022-07-21 日商三共製作所股份有限公司 凸輪裝置
JP7322095B2 (ja) * 2021-05-27 2023-08-07 日本トムソン株式会社 回転テーブル
CN115388278B (zh) * 2022-08-12 2024-05-14 贵州电网有限责任公司 一种用于变电站伸缩旋转支架的旋转限位机构
CN117804519A (zh) * 2024-01-03 2024-04-02 重庆日联科技有限公司 一种x射线检测设备重复定位精度调整设备及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000158293A (ja) 1998-09-24 2000-06-13 Takahiro Kogyo Kk ロ―ラタレットおよびその製造方法
JP2006098392A (ja) 2004-08-31 2006-04-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 自己校正機能付き角度検出器
JP2010099789A (ja) 2008-10-24 2010-05-06 Tsudakoma Corp 工作機械用の割出し装置におけるクランプ装置
JP2011099804A (ja) 2009-11-09 2011-05-19 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 複合自己校正機能付き角度検出器
JP2011099802A (ja) 2009-11-09 2011-05-19 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 軸ぶれ計測方法及び軸ぶれ計測機能を具備した自己校正機能付き角度検出器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3255508B2 (ja) * 1993-09-17 2002-02-12 有限会社リブレット 回転間欠割出装置
US5508806A (en) * 1995-02-13 1996-04-16 Hewlett-Packard Company Apparatus and method for making rotary calibrations of a machine tool table
JP2004160642A (ja) * 2002-10-22 2004-06-10 Sankyo Mfg Co Ltd 傾斜回動テーブル装置
JPWO2007111261A1 (ja) * 2006-03-27 2009-08-13 パイオニア株式会社 電子ビーム記録装置及びビーム調整方法
JP5132398B2 (ja) * 2008-04-10 2013-01-30 株式会社リコー パルスコードホイールの製造方法、パルスコードホイール、ロータリーエンコーダ、回転制御装置、ベルト搬送装置、及び画像形成装置
CN104764473B (zh) * 2008-08-26 2017-07-07 株式会社尼康 编码器系统、信号处理方法
CN103827637B (zh) * 2011-07-08 2016-02-24 卡尔蔡司工业测量技术有限公司 旋转装置的校准和运行、尤其是用于使坐标测量仪的探触头和/或探触件旋转的旋转装置的校准和运行
EP2828577B8 (en) * 2012-03-20 2017-06-28 Martin Professional ApS Moving head light fixture with yoke and head position encoding means
DE102015221599A1 (de) * 2015-11-04 2017-05-04 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Werkzeugmaschine
JP6651962B2 (ja) * 2016-04-12 2020-02-19 株式会社デンソー 位置検出装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000158293A (ja) 1998-09-24 2000-06-13 Takahiro Kogyo Kk ロ―ラタレットおよびその製造方法
JP2006098392A (ja) 2004-08-31 2006-04-13 National Institute Of Advanced Industrial & Technology 自己校正機能付き角度検出器
JP2010099789A (ja) 2008-10-24 2010-05-06 Tsudakoma Corp 工作機械用の割出し装置におけるクランプ装置
JP2011099804A (ja) 2009-11-09 2011-05-19 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 複合自己校正機能付き角度検出器
JP2011099802A (ja) 2009-11-09 2011-05-19 National Institute Of Advanced Industrial Science & Technology 軸ぶれ計測方法及び軸ぶれ計測機能を具備した自己校正機能付き角度検出器

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