KR20220089105A - 탈취용 클린부스 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 클린룸 또는 드라이룸내에서 진행되는 반도체 공정 중에 악취가 나고 유독한 휘발성 유기화합물들의 타공정으로의 확산을 효과적으로 방지할 수 있는 탈취용 클린부스에 관한 것으로서, 상기 탈취용 클린부스의 내부에 소정의 밀폐된 공간인 클린챔버를 형성하는 클린부스본체, 상기 탈취용 클린부스 상부에 구비되어 상기 클린챔버 내부로 상기 클린룸 또는 드라이룸내의 공기를 급기하기 위한 제1팬필터유닛, 및 상기 탈취용 클린부스 측면에 구비되어 상기 클린챔버 내부의 공기를 흡입하여 정화한 후에 상기 클린챔버 외부의 상기 클린룸 또는 드라이룸으로 배기하기 위한 제2팬필터유닛을 포함한다.

Description

탈취용 클린부스{Odor Removal Clean Booth}
본 발명은 탈취용 클린부스에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 또는 드라이룸 내부에 설치되어 휘발성 유기화학물질에 의한 냄새가 타 공정으로 확산되는 것을 방지하기 위한 탈취용 클린부스에 관한 것이다.
산업용 클린룸은 반도체와 디스플레이 생산 과정에서 활용되며, 이는 눈에 보이지 않을 정도로 작은 실내 부유입자가 제품에 달라붙어 불량이 발생하는 것을 방지해 수율을 향상시키는 역할을 한다. 반도체와 디스플레이에 이어 최근에는 이차전지와 제약·바이오 시장에서 저습도를 유지하기 위한 드라이룸과 클린룸을 도입하는 추세다.
반도체의 경우, 회로 최소 선폭의 1/10 이상 사이즈의 부유입자는 치명적 불량을 일으킬 수 있고 온도와 습도에도 영향을 받아 클린룸과 같은 부유입자, 온도, 습도 등의 조건이 제어될 수 있는 공간이 필수적이다.
그러나, 종래기술로는 클린룸 내부에서 발생하는 냄새 및 부유입자들이 타공정으로 확산되는 것을 효과적으로 방지하지 못하는 문제점이 있다.
따라서, 클린룸 또는 드라이룸내에서 진행되는 반도체 공정 중 악취가 나고 유독한 휘발성 유기화합물(예컨대, NMP(N-Methyl-2-pyrrolidone))을 취급할 경우 타 공정으로의 확산을 방지하기 위해 클린부스 등의 설비를 갖추는 것이 필요하다.
일반적으로 클린부스는 작업실의 일부를 고청정화 할 필요가 있거나 공정 중 일부에서 기기장치의 운전을 할 필요가 있는 경우에 적합한 설비이다. 즉, 청정공간이 필요한 곳에 국부적 설치가 가능하며 팬, 필터를 통해 공기가 유입되므로 원하는 청정도를 얻을 수 있는 저렴하고 간편한 설비이다.
이러한 클린부스와 관련된 선행기술로서, 대한민국 등록특허 제20-0420912호가 나타나 있다.
그러나 상기 선행기술과 같은 클린부스는 클린부스내의 공기를 정화하기 않고 그대로 배기하여 클린룸 또는 드라이룸으로의 휘발성 유기화합물들의 확산을 막지 못하게 되고, 따로 덕트 등이 마련되어 클린부스의 공기를 외부로 배기하게 되는 구성을 갖추게 되면 클린룸 또는 드라이룸의 양압 및 제습량을 설정된 값으로 유지하기 어려워 공조효율이 떨어지는 문제점이 있다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 클린룸 또는 드라이룸내에서 진행되는 반도체 공정 중에 악취가 나고 유독한 휘발성 유기화합물들의 타공정으로의 확산을 효과적으로 방지할 수 있는 탈취용 클린부스를 제공하고자 함에 그 목적이 있다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 탈취용 클린부스는, 클린룸 또는 드라이룸에 국소적으로 마련되고, 상기 탈취용 클린부스의 내부에 구비되며 소정의 밀폐된 공간인 클린챔버를 형성하는 클린부스본체, 상기 클린부스본체의 상부에 구비되어 상기 클린챔버 내부로 상기 클린룸 또는 드라이룸내의 공기를 급기하기 위한 제1팬필터유닛, 및 상기 탈취용 클린부스 측면에 구비되어 상기 클린챔버 내부의 공기를 흡입하여 정화한 후에 상기 클림챔버 외부의 상기 클린룸 또는 드라이룸으로 배기하기 위한 제2팬필터유닛을 포함한다.
상기 탈취용 클린부스를 구성하는 소재는 무정전비닐로 이루어질 수 있다.
상기 제2팬필터유닛은, 몸체를 이루는 하우징, 상기 하우징 일측면에 공기를 상기 하우징의 내부로 빨아들이기 위한 흡기구, 상기 하우징 내부에 설치되는 팬, 상기 팬을 통해 흡입된 공기를 정화하기 위한 필터부, 및 상기 필터부에서 정화된 공기를 상기 하우징 외부로 배출하기 위해 타공부가 형성된 배기구로 구성된다.
상기 제2팬필터유닛은 복수로 배치되고, 상기 복수의 제2팬필터유닛에 구비된 복수개의 상기 흡기구에 병렬으로 연결되는 흡기덕트를 더 포함할 수 있다.
상기 필터부는 복수개의 카본필터로 이루어질 수 있다.
상기 필터부는 헤파필터를 더 포함할 수 있다.
상기 제2팬필터유닛의 상부면에는 개폐가 가능한 점검구를 구비할 수 있다.
본 발명의 탈취용 클린부스에 의하면, 클린룸 또는 드라이룸 내부에서 급기와 배기가 이루어지는 순환구조로 양압 및 제습량이 유지되어 클린룸 또는 드라이룸의 공조 효율을 유지하고, 악취가 나고 유독한 휘발성 유기화합물들의 타공정으로의 확산을 효과적으로 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 클린부스가 설치된 클린룸 또는 드라이룸의 평면도,
도 2는 도 1에 적용되는 제2팬필터유닛 내부의 측면도,
도 3은 도 2를 상부에서 바라본 평면도,
도 4는 도 1에 적용되는 제2팬필터유닛의 배기구를 나타내는 평면도이다.
먼저, 본 발명의 탈취용 클린부스는 클린룸 또는 드라이룸(100)의 내부에 국소적으로 설치되는 것으로 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)은 수직층류방식, 수평층류방식, 난류방식, 혼류방식, 터널방식 등이 있다.
요소들이 설명되지 않은 각각의 유닛, 모듈, 부, 부재 또는 임의구조는 각기 부여된 기능을 갖기 위한 통상적인 하부 요소들이 포함되거나 포함 가능한 것으로 상정하며, 도면에 도시된 하부요소들이나 세부구조로 제한하진 않는다. 도시되었으나 통상적인 내용으로 그 설명이 생략된 구성 요소들은, 실시예들의 상세한 설명에 내재된 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 탈취용 클린부스는, 클린룸 또는 드라이룸(100)에 국소적으로 마련되고, 상기 탈취용 클린부스의 내부에 소정의 밀폐된 공간인 클린챔버(200)를 형성하는 클린부스본체(1), 상기 클린부스본체(1)의 상부에 구비되어 상기 클린챔버(200) 내부로 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)내의 공기를 급기하기 위한 제1팬필터유닛(210), 상기 클린부스본체(1)의 측면에 구비되어 상기 클린챔버(200) 내부의 공기를 흡입하여 정화한 후에 상기 클린챔버(200) 외부의 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)으로 배기하기 위한 제2팬필터유닛(300)을 포함한다.
상기 탈취용 클린부스는 반도체, LCD제조용 표면박리제, 리튬이온전지 제조시 등에 사용되는 화학제품으로 악취가 나며 흡입시 구역질이나 두통, 지남력 상실을 유발하는 반도체 공정에 사용되는 휘발성 화학물질들이 타공정으로 확산되는 것을 방지하기 위한 작업공간을 마련해준다.
상기 클린부스본체(1)의 한 측면에는 출입구(미도시됨)가 형성되어 작업자가 출입할 수 있도록 하는 공간이 마련된다.
상기 클린부스본체(1)의 소재는 무정전비닐 등으로 이루어질 수 있다.
무정전비닐은 정전기발생을 억제하여 상기 클린챔버(200) 내부에 먼지 및 이물질의 발생 및 유입을 효과적으로 방지할 수 있다.
상기 제1팬필터유닛(210)은 상기 클린부스본체(1)의 상부에 설치되어 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)의 공기를 흡기하여 상기 클린챔버(200)내부로 배기하도록 설치되며, 이와 같이 제1팬필터유닛(210)이 클린부스본체(1)의 상부에 설치되어 상기한 역할을 수행하게 되는 구성은 공지된 기술이므로 세부적인 구성의 설명은 생략하도록 한다.
도 2 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 상기 탈취용 클린부스에 구비되는 상기 제2팬필터유닛(300)은, 몸체를 이루는 하우징(310), 상기 하우징(310) 일측면에 구비되어 상기 하우징(310)의 내부로 공기를 빨아들이기 위한 흡기구(320), 상기 하우징(310) 내부에 설치되는 팬(330), 상기 팬(330)을 통해 흡입된 공기를 정화하기 위한 필터부(340), 상기 필터부(340)에서 정화된 공기를 상기 하우징(310) 외부로 배출하기 위해 타공부(350a)가 형성된 배기구(350)로 구성된다.
상기 팬(330)은 상기 클린챔버(200) 내에서 휘발성 유기화합물의 사용으로 인해 TVOC(총 휘발성 유기화합물)농도가 높은 공기를 상기 흡기구(320)를 통해 상기 하우징(310) 내부로 흡기하는 역할을 수행한다.
상기 필터부(340)는 상기 팬(330)을 통해 흡기한 공기 중에 떠다니는 휘발성 화학물질을 포집하여 TVOC(총 휘발성 유기화합물) 농도를 낮춰주는 역할을 수행한다.
상기 필터부(340)를 거쳐 정화 및 탈취가 이루어진 공기는 상기 하우징(310)의 한 측면에 타공부(350a)가 형성된 상기 배기구(350)로 빠져나가 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)으로 배기가 이루어진다.
상기 필터부(340)는 복수개의 카본필터(341)와 헤파필터(342)로 이루어지는 것이 바람직하다.
강한 흡착력을 가져 대기오염물의 제거에 탁월한 상기 카본필터(341)와 헤파필터(342)는 휘발성 유기화합물에 의한 냄새를 타공정으로 확산되지 않도록 하여 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)의 환경을 공정에 적합한 상태로 유지할 수 있도록 한다.
상기 제2팬필터유닛(300)의 상부면에는 개폐가 가능한 점검구(360)가 구비될 수 있다. 상기 점검구(360)는 상기 제2팬필터유닛(300)의 유지보수 및 필터들의 교체를 용이하게 해준다.
상술한 바와 같이 구성되는 본 발명의 탈취용 클린부스는, 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)내의 공기가 상기 제1팬필터유닛(210)을 통해 상기 클린챔버(200) 내로 급기되고, 상기 클린챔버(200) 내의 공기를 상기 제2팬필터유닛(300)을 통해 정화한 후에 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)으로 배기하여 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)내부에서 공기의 순환구조를 이룬다.
위와 같이 상기 클린룸 또는 드라이룸(100) 내부에서 급기와 배기가 이루어지는 순환구조는 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)의 양압 및 제습량이 일정하게 유지되어 공조효율에 영향을 끼치지 아니한다.
따라서, 상기 탈취용 클린부스는 상기 클린룸 또는 드라이룸(100)의 공조효율을 떨어뜨리지 않으면서도 악취가 나고 유독한 휘발성 유기화합물들의 타공정으로의 확산을 효과적으로 방지할 수 있게 되는 것이다.
본 발명의 일 실시예로, 도 1에 나타난 바와 같이 복수개의 상기 제2팬필터유닛(300)이 배치되고 복수개의 상기 흡기구(320)를 병렬로 연결하는 흡기덕트(400)를 구비하여 상기 탈취용 클린부스의 정화 효율을 높일 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.
1 : 클린부스본체 100 : 클린룸, 드라이룸
200 : 클린챔버 210 : 제1팬필터유닛
300 : 제2팬필터유닛 310 : 하우징
320 : 흡기구 330 : 팬
340 : 필터부 341 : 카본필터
342 : 헤파필터 350 : 배기구
350a : 타공부 360 : 점검구
400 : 흡기덕트

Claims (7)

  1. 클린룸 또는 드라이룸에 국소적으로 마련되는 탈취용 클린부스로서,
    상기 탈취용 클린부스의 내부에 소정의 밀폐된 공간인 클린챔버를 형성하는 클린부스본체;
    상기 클린부스본체의 상부에 구비되어 상기 클린챔버 내부로 상기 클린룸 또는 드라이룸내의 공기를 급기하기 위한 제1팬필터유닛; 및
    상기 클린부스본체 측면에는 상기 클린챔버 내부의 공기를 흡입하여 정화한 후에 상기 클램챔버 외부의 상기 클린룸 또는 드라이룸으로 배기하기 위한 제2팬필터유닛;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 클린부스본체를 구성하는 소재는 무정전비닐로 이루어진 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제2팬필터유닛은,
    몸체를 이루는 하우징;
    상기 하우징 일측면에 구비되어 상기 하우징의 내부로 공기를 빨아들이기 위한 흡기구;
    상기 하우징 내부에 설치되는 팬;
    상기 팬을 통해 흡입된 공기를 정화하기 위한 필터부; 및
    상기 필터부에서 정화된 공기를 상기 하우징 외부로 배출하기 위해 타공부가 형성된 배기구;로 구성되는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 제2팬필터유닛은 복수로 배치되고, 상기 복수의 제2팬필터유닛에 구비된 복수개의 상기 흡기구에 병렬으로 연결되는 흡기덕트를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 필터부는 복수개의 카본필터로 이루어지는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 필터부는 헤파필터를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.
  7. 제3항에 있어서,
    상기 제2팬필터유닛의 상부면에는 개폐가 가능한 점검구를 구비하는 것을 특징으로 하는 탈취용 클린부스.

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